JP5468913B2 - Multilayer polyimide film with resist and method for producing the same - Google Patents

Multilayer polyimide film with resist and method for producing the same Download PDF

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Description

本発明は、フレキシブルプリント配線板に好適に使用できる多層ポリイミドフィルムおよび金属張積層板に関する。   The present invention relates to a multilayer polyimide film and a metal-clad laminate that can be suitably used for flexible printed wiring boards.

近年、エレクトロニクス製品の軽量化、小型化、高密度化にともない、各種プリント基板の需要が伸びているが、中でも、フレキシブル積層板(フレキシブルプリント配線板(FPC)等とも称する)の需要が特に伸びている。フレキシブル積層板は、ポリイミドフィルム等の絶縁性フィルム上に金属層からなる回路が形成された構造を有している。   In recent years, the demand for various printed circuit boards has increased along with the reduction in weight, size and density of electronic products. ing. The flexible laminate has a structure in which a circuit made of a metal layer is formed on an insulating film such as a polyimide film.

上記フレキシブル配線板の元になるフレキシブル金属張積層板は、一般に、各種絶縁材料により形成され、柔軟性を有する絶縁性フィルムを基板とし、この基板の表面に、各種接着材料を介して金属箔を加熱・圧着することにより貼り合わせる方法により製造される。上記絶縁性フィルムとしては、ポリイミドフィルム等が好ましく用いられる。上記接着材料としては、エポキシ系、アクリル系等の熱硬化性接着剤が一般的に用いられている。   The flexible metal-clad laminate that is the basis of the flexible wiring board is generally formed of various insulating materials, and a flexible insulating film is used as a substrate, and metal foil is applied to the surface of the substrate via various adhesive materials. Manufactured by a method of bonding by heating and pressure bonding. A polyimide film or the like is preferably used as the insulating film. As the adhesive material, epoxy-based, acrylic-based thermosetting adhesives are generally used.

熱硬化性接着剤は、比較的低温での接着が可能であるという利点があるが、耐熱性、屈曲性、電気的信頼性といった要求特性が厳しくなるに従い、熱硬化性接着剤を用いた三層FPCでは対応が困難になると考えられる。このため、絶縁性フィルムに直接金属層を設けたり、接着層に熱可塑性ポリイミドを使用した二層FPCが提案されている。この二層FPCは、三層FPCよりも優れた特性を有し、今後需要が伸びていくと期待される。   Thermosetting adhesives have the advantage that they can be bonded at relatively low temperatures. However, as the required properties such as heat resistance, flexibility, and electrical reliability become stricter, three types of thermosetting adhesives are used. It is considered difficult to cope with the layer FPC. For this reason, a two-layer FPC has been proposed in which a metal layer is directly provided on an insulating film or a thermoplastic polyimide is used for an adhesive layer. This two-layer FPC has characteristics superior to those of the three-layer FPC, and demand is expected to increase in the future.

一方、FPCに加工する際、フレキシブル金属張積層板の金属層をエッチング等で回路パターンを形成し、その後、カバーレイフィルム又はレジストフィルム、レジスト液で回路上を覆い、回路の保護を行う。このカバーレイ又はレジストは、引き剥がし難いことが要求されているが、二層FPCの熱可塑性ポリイミドは、カバーレイフィルムの接着剤や、レジストとの接着力が低く、剥がれてしまうことがあった。例えば、銅箔上に、ポリイミド前駆体を複数回塗布・乾燥し、加熱圧着で両面金属張積層板を得ているが、配線パターン形成後、配線の上から、レジストを形成した場合、ポリイミド樹脂層とレジストの密着性が弱く、レジストが剥がれるという問題があった(引用文献1)。   On the other hand, when processing into an FPC, a circuit pattern is formed by etching or the like on the metal layer of the flexible metal-clad laminate, and then the circuit is covered with a coverlay film, a resist film, or a resist solution to protect the circuit. The cover lay or resist is required to be difficult to peel off, but the thermoplastic polyimide of the two-layer FPC may be peeled off due to the low adhesive strength with the cover lay film adhesive or resist. . For example, a polyimide precursor is applied and dried multiple times on a copper foil, and a double-sided metal-clad laminate is obtained by thermocompression bonding. If a resist is formed over the wiring after the wiring pattern is formed, polyimide resin There was a problem that the adhesion between the layer and the resist was weak and the resist peeled off (Cited document 1).

従って、市場からは、カバーレイフィルムの接着剤及びレジストと密着性の良い、ポリイミド接着層が待ち望まれている。   Therefore, a polyimide adhesive layer having good adhesion to the adhesive and resist of the coverlay film is awaited from the market.

特許第3934057号Japanese Patent No. 3934057

本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、カバーレイフィルムの接着剤、レジストとの密着性が高く、FPCの形態で、カバーレイフィルムやレジストが剥がれ難い多層ポリイミドフィルム及びそれを用いたフレキシブル金属張積層板を提供する。   The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and the object thereof is a multilayer in which the coverlay film and resist are difficult to peel off in the form of FPC with high adhesiveness to the adhesive and resist of the coverlay film. A polyimide film and a flexible metal-clad laminate using the same are provided.

本発明者らは、上記の課題に鑑み鋭意検討した結果、多層ポリイミドフィルムの最外層の熱可塑性ポリイミド層の熱可塑性ポリイミドの末端がアミンであることにより、カバーレイフィルムの接着剤やレジストとの密着性が向上することを見出し、本発明に至った。   As a result of intensive studies in view of the above problems, the inventors of the present invention have an amine at the end of the thermoplastic polyimide layer of the outermost thermoplastic polyimide layer of the multilayer polyimide film, so that the adhesive and resist of the coverlay film The inventors have found that the adhesion is improved and have arrived at the present invention.

すなわち本発明は、非熱可塑性ポリイミド層の少なくとも片面に熱可塑性ポリイミド層を有する多層ポリイミドフィルムであって、
該熱可塑性ポリイミド層で用いる芳香族ジアミンが、4,4´−ジアミノジフェニルエーテル、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、及び2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパンからなる群より選ばれる少なくとも1種であり、
該熱可塑性ポリイミド層で用いる芳香族酸二無水物が、ピロメリット酸二無水物、3,3´,4,4´−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3´,4´−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3´,4,4´−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物からなる群より選ばれる少なくとも1種であり、
該熱可塑性ポリイミド層が、以下の工程(a)と(b)によって得られた両末端アミノ基を有するポリアミド酸溶液をイミド化して得られたポリイミドからなることを特徴とする多層ポリイミドフィルムの製造方法に関する。
(a)芳香族酸二無水物と、これに対して過剰モル量の芳香族ジアミンとを有機極性溶媒中で反応させ、両末端にアミノ基を有するプレポリマーを得る工程、
(b)全工程における芳香族酸二無水物と芳香族ジアミンのモル比が、97.0:100.0〜99.8:100.0となるように、該プレポリマーに、芳香族酸二無水物を添加して反応させる工程。
That is, the present invention is a multilayer polyimide film having a thermoplastic polyimide layer on at least one side of the non-thermoplastic polyimide layer,
The aromatic diamine used in the thermoplastic polyimide layer is 4,4′-diaminodiphenyl ether, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, and 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl]. At least one selected from the group consisting of propane,
The aromatic dianhydride used in the thermoplastic polyimide layer is pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3,3 ′, 4′-. Is at least one selected from the group consisting of biphenyltetracarboxylic dianhydride and 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride,
Production of a multilayer polyimide film, wherein the thermoplastic polyimide layer comprises a polyimide obtained by imidizing a polyamic acid solution having amino groups at both ends obtained by the following steps (a) and (b) Regarding the method.
(A) reacting an aromatic acid dianhydride with an excess molar amount of an aromatic diamine in an organic polar solvent to obtain a prepolymer having amino groups at both ends;
(B) To the prepolymer, the aromatic acid dianhydride and aromatic diamine have a molar ratio of 97.0: 100.0 to 99.8: 100.0 in all steps. A step of adding an anhydride to react.

好ましい実施態様としては、前記非熱可塑性ポリイミド層が、下記の工程(c)〜(e)によって得られたポリアミド酸溶液をイミド化して得られることを特徴とする多層ポリイミドフィルムの製造方法に関する。
(c)芳香族酸二無水物と、これに対し過剰モル量の芳香族ジアミンとを有機極性溶媒中で反応させ、両末端にアミノ基を有するプレポリマーを得る工程、
(d)該プレポリマーに、芳香族ジアミンを追加添加する工程、
(e)全工程における芳香族酸二無水物と芳香族ジアミンが実質的に等モルとなるように芳香族酸二無水物を添加して反応する工程。
As a preferred embodiment, the non-thermoplastic polyimide layer is obtained by imidizing a polyamic acid solution obtained by the following steps (c) to (e), and relates to a method for producing a multilayer polyimide film.
(C) a step of reacting an aromatic acid dianhydride with an excess molar amount of an aromatic diamine in an organic polar solvent to obtain a prepolymer having amino groups at both ends;
(D) adding an aromatic diamine to the prepolymer;
(E) A step of adding and reacting the aromatic acid dianhydride so that the aromatic acid dianhydride and the aromatic diamine in all steps are substantially equimolar.

好ましい実施態様としては、前記非熱可塑性ポリイミド層で用いる芳香族ジアミンが、ジアミン成分を基準として、10〜50mol%の2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、30〜70mol%のp−フェニレンジアミン、10〜30mol%の4,4´−ジアミノジフェニルエーテルであることを特徴とする多層ポリイミドフィルムの製造方法に関する。   In a preferred embodiment, the aromatic diamine used in the non-thermoplastic polyimide layer is 10 to 50 mol% of 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 30 to 30% based on the diamine component. It is related with the manufacturing method of the multilayer polyimide film characterized by being 70 mol% p-phenylenediamine and 10-30 mol% 4,4'- diaminodiphenyl ether.

好ましい実施態様としては、前記非熱可塑性ポリイミド層で用いる酸二無水物が、酸二無水物成分を基準として、60〜90mol%のピロメリット酸二無水物、10〜40mol%の3,3´,4,4´−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物であることを特徴とする多層ポリイミドフィルムの製造方法に関する。   In a preferred embodiment, the acid dianhydride used in the non-thermoplastic polyimide layer is 60 to 90 mol% pyromellitic dianhydride, 10 to 40 mol% 3,3 ′ based on the acid dianhydride component. It is related with the manufacturing method of the multilayer polyimide film characterized by being 4,4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride.

好ましい実施態様としては、前記多層ポリイミドフィルムが、多層共押出によって得られることを特徴とする多層ポリイミドフィルムの製造方法に関する。   As a preferred embodiment, the present invention relates to a method for producing a multilayer polyimide film, wherein the multilayer polyimide film is obtained by multilayer coextrusion.

また本発明は、上記記載の製造方法によって得られたことを特徴とする多層ポリイミドフィルムに関する。   The present invention also relates to a multilayer polyimide film obtained by the production method described above.

また本発明は、上記記載の多層ポリイミドフィルムに金属箔を貼り合わせて得られることを特徴とするフレキシブル金属張積層板に関する。   The present invention also relates to a flexible metal-clad laminate obtained by bonding a metal foil to the multilayer polyimide film described above.

本発明により、カバーレイフィルムの接着剤、レジストとの密着性が高く、FPCの形態で、カバーレイフィルムやレジストが剥がれ難い多層ポリイミドフィルム及びそれを用いたフレキシブル金属張積層板を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a multilayer polyimide film having a high adhesiveness to the adhesive and resist of the cover lay film and in which the cover lay film and the resist are difficult to peel in the form of FPC and a flexible metal-clad laminate using the same it can.

本発明の実施の一形態について、以下に説明する。   One embodiment of the present invention will be described below.

本発明は、非熱可塑性ポリイミド層の少なくとも片面に熱可塑性ポリイミド層を有する多層ポリイミドフィルムであって、
該熱可塑性ポリイミド層で用いる芳香族ジアミンが、4,4´−ジアミノジフェニルエーテル、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、及び2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパンからなる群より選ばれる少なくとも1種であり、
該熱可塑性ポリイミド層で用いる芳香族酸二無水物が、ピロメリット酸二無水物、3,3´,4,4´−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3´,4´−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3´,4,4´−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物からなる群より選ばれる少なくとも1種であり、
該熱可塑性ポリイミド層が、以下の工程(a)と(b)によって得られた両末端アミノ基を有するポリアミド酸溶液をイミド化して得られたポリイミドからなることを特徴とする多層ポリイミドフィルムの製造方法である。
(a)芳香族酸二無水物と、これに対して過剰モル量の芳香族ジアミンとを有機極性溶媒中で反応させ、両末端にアミノ基を有するプレポリマーを得る工程、
(b)全工程における芳香族酸二無水物と芳香族ジアミンのモル比が、97.0:100.0〜99.8:100.0となるように、該プレポリマーに、芳香族酸二無水物を添加して反応させる工程。
The present invention is a multilayer polyimide film having a thermoplastic polyimide layer on at least one side of the non-thermoplastic polyimide layer,
The aromatic diamine used in the thermoplastic polyimide layer is 4,4′-diaminodiphenyl ether, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, and 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl]. At least one selected from the group consisting of propane,
The aromatic dianhydride used in the thermoplastic polyimide layer is pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3,3 ′, 4′-. Is at least one selected from the group consisting of biphenyltetracarboxylic dianhydride and 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride,
Production of a multilayer polyimide film, wherein the thermoplastic polyimide layer comprises a polyimide obtained by imidizing a polyamic acid solution having amino groups at both ends obtained by the following steps (a) and (b) Is the method.
(A) reacting an aromatic acid dianhydride with an excess molar amount of an aromatic diamine in an organic polar solvent to obtain a prepolymer having amino groups at both ends;
(B) To the prepolymer, the aromatic acid dianhydride and aromatic diamine have a molar ratio of 97.0: 100.0 to 99.8: 100.0 in all steps. A step of adding an anhydride to react.

熱可塑性ポリイミド中の酸二無水物とジアミンの比は、熱可塑性ポリイミドを剥がしたり、削ったりして取得し、その後5N〜10NのNaOH水溶液で、加熱して熱可塑性ポリイミドをモノマーにまで分解する。分解したモノマーは、LC−MS(液体クロマトグラフィ−質量分析)や、1H−NMR等で、モノマー構造を決定する。その後、そのモノマーを用いて検量線を作成し、HPLC分析でモノマー量を測定する。モノマーは数種類用いることができ、芳香族酸二無水物と芳香族ジアミンのトータル量を算出する。 The ratio of acid dianhydride to diamine in the thermoplastic polyimide is obtained by peeling or scraping the thermoplastic polyimide, and then heating with a 5N to 10N NaOH aqueous solution to decompose the thermoplastic polyimide into monomers. . The monomer structure of the decomposed monomer is determined by LC-MS (liquid chromatography-mass spectrometry), 1 H-NMR, or the like. Thereafter, a calibration curve is prepared using the monomer, and the monomer amount is measured by HPLC analysis. Several types of monomers can be used, and the total amount of aromatic dianhydride and aromatic diamine is calculated.

芳香族酸二無水物と芳香族ジアミンの比は、芳香族ジアミンを100.0とした時の芳香族酸二無水物の比率を算出した。非熱可塑性ポリイミド層の両面に配している熱可塑性ポリイミド層の熱可塑性ポリイミドで用いる芳香族酸二無水物と芳香族ジアミンの比が、97.0:100.0〜99.8:100.0のであり、98.0:100.0〜99.8:100.0は、高分子量化して膜強度を高めるために好ましく、99.0:100.0〜99.8:100.0がさらに好ましく、99.2:100.0〜99.8:100.0が特に好ましい。   The ratio of aromatic dianhydride and aromatic diamine was calculated as the ratio of aromatic dianhydride when the aromatic diamine was 100.0. The ratio of aromatic dianhydride and aromatic diamine used in the thermoplastic polyimide of the thermoplastic polyimide layer disposed on both sides of the non-thermoplastic polyimide layer is 97.0: 100.0-99.8: 100. 98.0: 100.0 to 99.8: 100.0 is preferable for increasing the molecular weight and increasing the film strength, and 99.0: 100.0 to 99.8: 100.0 is more preferable. 99.2: 100.0 to 99.8: 100.0 is particularly preferable.

熱可塑性ポリイミドの熱可塑性ポリアミド酸の製造方法は、(a)芳香族酸二無水物と、これに対して過剰モル量の芳香族ジアミンとを有機極性中で反応させ、両末端にアミノ基を有するプレポリマーを得る工程、(b)全工程における芳香族酸二無水物と芳香族ジアミンのモル比が、97.0:100.0〜99.8:100.0となるように、該プレポリマーに芳香族酸二無水物を添加して反応させる工程を含む。(b)で、芳香族酸二無水物を添加する方法として、粉末を投入する方法、予め酸二無水物を有機極性溶媒に溶解した酸溶液を投入する方法等があるが、反応が均一に進行しやすい面で、酸溶液を投入する方法が好ましい。   A method for producing a thermoplastic polyamic acid of a thermoplastic polyimide is as follows: (a) an aromatic acid dianhydride and an excess molar amount of an aromatic diamine are reacted in an organic polarity, and amino groups are formed at both ends. (B) a prepolymer having a molar ratio of aromatic dianhydride to aromatic diamine in all steps of 97.0: 100.0 to 99.8: 100.0. A step of adding an aromatic acid dianhydride to the polymer and reacting the polymer. In (b), there are a method of adding an aromatic acid dianhydride, a method of adding a powder, a method of adding an acid solution in which an acid dianhydride is dissolved in an organic polar solvent in advance, and the reaction is uniform. In view of easy progress, a method of adding an acid solution is preferable.

重合時の固形成分濃度は、10〜30重量%であることが好ましい。固形成分濃度は、重合速度、重合粘度で決めることができる。重合粘度は、熱可塑性ポリイミドのポリアミド酸溶液を、支持体フィルムに塗工する場合、又は非熱可塑性ポリイミドと共押出する場合に合わせて設定することができるが、塗工する場合、例えば、固形成分濃度14重量%において重合粘度は100poise以下であることが好ましい。また、共押出する場合、例えば、固形成分濃度14重量%において重合粘度が100poise〜1200poiseであることが好ましく、150poise〜800poiseは、得られる多層ポリイミドフィルムの膜厚を均一にできることで好ましい。   The solid component concentration during the polymerization is preferably 10 to 30% by weight. The solid component concentration can be determined by the polymerization rate and the polymerization viscosity. The polymerization viscosity can be set according to the case where the polyamic acid solution of thermoplastic polyimide is applied to the support film, or when it is coextruded with non-thermoplastic polyimide. The polymerization viscosity is preferably 100 poise or less at a component concentration of 14% by weight. In the case of coextrusion, for example, the polymerization viscosity is preferably 100 poise to 1200 poise at a solid component concentration of 14% by weight, and 150 poise to 800 poise is preferable because the film thickness of the resulting multilayer polyimide film can be made uniform.

前記のように、熱可塑性ポリイミドに用いるジアミンが酸二無水物よりもモル比で多く含まれることで、熱可塑性ポリイミドの末端がアミノ基となる。アミノ基は、カバーレイフィルムの接着剤やレジストと反応して化学結合を形成することで、カバーレイフィルム及びレジストが剥がれ難くなることを見出した。   As mentioned above, the terminal of thermoplastic polyimide becomes an amino group because more diamine used for thermoplastic polyimide is contained in molar ratio than acid dianhydride. It has been found that the amino group reacts with the adhesive and resist of the coverlay film to form a chemical bond, thereby making it difficult for the coverlay film and the resist to peel off.

本発明においてポリアミド酸を合成するための好ましい溶媒は、ポリアミド酸を溶解する溶媒であればいかなるものも用いることができるが、アミド系溶媒、すなわちN,N−ジメチルフォルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドンなどを例示することができる。中でも、N,N−ジメチルフォルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミドを特に好ましく用いることができる。   As the preferred solvent for synthesizing the polyamic acid in the present invention, any solvent can be used as long as it dissolves the polyamic acid. However, amide solvents, that is, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethyl are used. Examples include acetamide and N-methyl-2-pyrrolidone. Of these, N, N-dimethylformamide and N, N-dimethylacetamide can be particularly preferably used.

また、摺動性、熱伝導性、導電性、耐コロナ性等のフィルムの諸特性を改善する目的でフィラーを添加することもできる。フィラーとしては特に制限されないが、好ましい例としてはシリカ、酸化チタン、アルミナ、窒化珪素、窒化ホウ素、リン酸水素カルシウム、リン酸カルシウム、雲母などが挙げられる。   In addition, a filler can be added for the purpose of improving various properties of the film such as slidability, thermal conductivity, conductivity, and corona resistance. The filler is not particularly limited, and preferred examples include silica, titanium oxide, alumina, silicon nitride, boron nitride, calcium hydrogen phosphate, calcium phosphate, mica and the like.

フィラーの粒子径は改質すべきフィルム特性と添加するフィラーの種類によって決定されるため、特に限定されるものではないが、一般的には平均粒径が0.05〜20μm、好ましくは0.1〜10μm、更に好ましくは0.1〜7μm、特に好ましくは0.1〜5μmである。粒子径がこの範囲を下回ると改質効果が現れにくくなり、この範囲を上回ると表面性を大きく損なったり、機械的特性が大きく低下したりする可能性がある。また、フィラーの添加部数についても改質すべきフィルム特性やフィラー粒子径などにより決定されるため特に限定されるものではない。一般的にフィラーの添加量はポリイミド100重量部に対して0.01〜50重量部、好ましくは0.01〜20重量部、更に好ましくは0.02〜10重量部である。フィラー添加量がこの範囲を下回るとフィラーによる改質効果が現れにくく、この範囲を上回るとフィルムの機械的特性が大きく損なわれる可能性がある。   The particle size of the filler is not particularly limited because it is determined by the film characteristics to be modified and the type of filler to be added, but generally the average particle size is 0.05 to 20 μm, preferably 0.1. It is 10-10 micrometers, More preferably, it is 0.1-7 micrometers, Most preferably, it is 0.1-5 micrometers. If the particle size is below this range, the modification effect is less likely to appear. If the particle size is above this range, the surface properties may be greatly impaired or the mechanical properties may be greatly deteriorated. Further, the number of added parts of the filler is not particularly limited because it is determined by the film properties to be modified, the filler particle diameter, and the like. Generally, the addition amount of the filler is 0.01 to 50 parts by weight, preferably 0.01 to 20 parts by weight, and more preferably 0.02 to 10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the polyimide. If the amount of filler added is less than this range, the effect of modification by the filler hardly appears, and if it exceeds this range, the mechanical properties of the film may be greatly impaired.

フィラーの添加は、例えば、
(1)重合前または途中に重合反応液に添加する方法
(2)重合完了後、3本ロールなどを用いてフィラーを混錬する方法
(3)フィラーを含む分散液を用意し、これをポリアミド酸有機溶媒溶液に混合する方法
(4)ビーズミル等により分散する方法
などいかなる方法を用いてもよいが、フィラーを含む分散液をポリアミド酸溶液に混合する方法、特に製膜直前に混合する方法が、製造ラインのフィラーによる汚染が最も少なくてすむため、好ましい。
Addition of the filler is, for example,
(1) A method of adding to a polymerization reaction solution before or during polymerization (2) A method of kneading fillers using three rolls after the completion of polymerization (3) A dispersion containing fillers is prepared, and this is added to polyamide Method of mixing with acid organic solvent solution (4) Any method such as a method of dispersing by bead mill or the like may be used, but a method of mixing a dispersion containing filler with a polyamic acid solution, particularly a method of mixing just before film formation It is preferable because the contamination by the filler in the production line is minimized.

フィラーを含む分散液を用意する場合、ポリアミド酸の重合溶媒と同じ溶媒を用いるのが好ましい。また、フィラーを良好に分散させ、また分散状態を安定化させるために、分散剤、増粘剤等をフィルム物性に影響を及ぼさない範囲内で用いることもできる。   When preparing a dispersion containing a filler, it is preferable to use the same solvent as the polymerization solvent for the polyamic acid. Moreover, in order to disperse | distribute a filler favorably and stabilize a dispersion state, a dispersing agent, a thickener, etc. can also be used in the range which does not affect a film physical property.

フィルムの摺動性改善のために添加する場合、粒子径は0.1〜10μm、好ましくは0.1〜5μmである。粒子径がこの範囲を下回ると摺動性改善の効果が発現しにくく、この範囲を上回ると高精細な配線パターンを作成し難くなる傾向にある。またさらにこの場合、フィラーの分散状態も重要であり、20μm以上のフィラーの凝集物が50個/m2以下、好ましくは40個/m2以下にするのが好ましい。20μm以上のフィラー凝集物がこの範囲よりも多いと、接着剤塗工時にはじきの原因となったり、高精細配線パターンを作成したときに接着面積の減少をきたしてフレキシブルプリント基板そのものの絶縁信頼性を落とす傾向にある。 When added for improving the slidability of the film, the particle size is 0.1 to 10 μm, preferably 0.1 to 5 μm. If the particle diameter is below this range, the effect of improving the slidability is hardly exhibited, and if it exceeds this range, it tends to be difficult to produce a high-definition wiring pattern. Furthermore, in this case, the dispersion state of the filler is also important, and it is preferable that the aggregate of fillers of 20 μm or more is 50 / m 2 or less, preferably 40 / m 2 or less. If there are more filler aggregates of 20 μm or more than this range, it may cause repellency when the adhesive is applied, or decrease the adhesion area when creating a high-definition wiring pattern, and the insulation reliability of the flexible printed circuit board itself Tend to drop.

熱可塑性ポリイミドのガラス転移温度は、DSC(昇温速度:10℃/min)での変曲点の温度である。熱可塑性ポリイミドのガラス転移温度は230℃〜320℃が好ましい。280℃〜320℃は、耐熱性が高いためより好ましい。   The glass transition temperature of the thermoplastic polyimide is the temperature at the inflection point in DSC (temperature increase rate: 10 ° C./min). The glass transition temperature of the thermoplastic polyimide is preferably 230 ° C to 320 ° C. 280 ° C. to 320 ° C. is more preferable because of high heat resistance.

多層ポリイミドフィルムの熱可塑性ポリイミド層で用いる芳香族ジアミンは、4,4´−ジアミノジフェニルエーテル、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、及び2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパンからなる群より選ばれる少なくとも1種である。その中でも4,4´−ジアミノジフェニルエーテル、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパンは、得られたフィルムが均質な非晶性で得られやすい面でさらに好ましく、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパンは、特に好ましい。   The aromatic diamine used in the thermoplastic polyimide layer of the multilayer polyimide film is 4,4′-diaminodiphenyl ether, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, and 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy). ) Phenyl] propane. At least one selected from the group consisting of Among these, 4,4′-diaminodiphenyl ether and 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane are more preferable in terms of the obtained film being homogeneous and amorphous and easily obtained. 2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane is particularly preferred.

多層ポリイミドフィルムの熱可塑性ポリイミド層で用いる芳香族酸二無水物は、ピロメリット酸二無水物、3,3´,4,4´−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3´,4´−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3´,4,4´−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物からなる群より選ばれる少なくとも1種である。中でも、ピロメリット酸二無水物、3,3´,4,4´−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を用いることが、熱ロールラミによる金属張積層体の製造のしやすさと、金属張積層体の金属層と多層ポリイミドフィルムの引き剥がし強度とのバランスがとれる面で好ましく、ピロメリット酸二無水物と3,3´,4,4´−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物のmol比が、95:5〜65:35が、さらに好ましく、90:10〜80:20が特に好ましい。   Aromatic acid dianhydrides used in the thermoplastic polyimide layer of the multilayer polyimide film are pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3,3 ′, It is at least one selected from the group consisting of 4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride and 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride. Among them, the use of pyromellitic dianhydride and 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride makes it easy to produce a metal-clad laminate by hot roll lamination, It is preferable in terms of a balance between the peel strength of the metal layer and the multilayer polyimide film, and the molar ratio of pyromellitic dianhydride to 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride is 95: 5-65: 35 is more preferable, and 90: 10-80: 20 is particularly preferable.

本発明における非熱可塑性ポリイミドとは、一般に加熱しても軟化、接着性を示さないポリイミドをいう。本発明では、フィルムの状態で380℃、2分間加熱を行い、シワが入ったり伸びたりせず、形状を保持しているポリイミド、若しくは実質的にガラス転移温度を有しないポリイミドをいう。   The non-thermoplastic polyimide in the present invention generally means a polyimide that does not soften or show adhesiveness even when heated. In the present invention, it refers to a polyimide which is heated at 380 ° C. for 2 minutes in the state of a film and does not wrinkle or stretch and maintains its shape, or a polyimide having substantially no glass transition temperature.

本発明において非熱可塑性ポリアミド酸の重合にはいかなるモノマーの添加方法を用いても良い。代表的な重合方法として、次のような方法が挙げられる。すなわち、
1)芳香族ジアミンを有機極性溶媒中に溶解し、これと実質的に等モルの芳香族テトラカルボン酸二無水物を反応させて重合する方法、
2)芳香族テトラカルボン酸二無水物とこれに対し過小モル量の芳香族ジアミン化合物とを有機極性溶媒中で反応させ、両末端に酸無水物基を有するプレポリマーを得る。続いて、全工程において芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミン化合物が実質的に等モルとなるように芳香族ジアミン化合物を用いて重合させる方法、
3)芳香族テトラカルボン酸二無水物とこれに対し過剰モル量の芳香族ジアミン化合物とを有機極性溶媒中で反応させ、両末端にアミノ基を有するプレポリマーを得る。続いてここに芳香族ジアミン化合物を追加添加後、全工程において芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミン化合物が実質的に等モルとなるように芳香族テトラカルボン酸二無水物を用いて重合する方法、
4)芳香族テトラカルボン酸二無水物を有機極性溶媒中に溶解および/または分散させた後、実質的に等モルとなるように芳香族ジアミン化合物を用いて重合させる方法、
5)実質的に等モルの芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミンの混合物を有機極性溶媒中で反応させて重合する方法、
などのような方法である。これらの方法を単独で用いても良いし、部分的に組み合わせて用いることもできる。
In the present invention, any monomer addition method may be used for the polymerization of the non-thermoplastic polyamic acid. As typical polymerization methods, the following methods may be mentioned. That is,
1) A method in which an aromatic diamine is dissolved in an organic polar solvent, and this is reacted with a substantially equimolar aromatic tetracarboxylic dianhydride for polymerization.
2) An aromatic tetracarboxylic dianhydride is reacted with a small molar amount of an aromatic diamine compound in an organic polar solvent to obtain a prepolymer having acid anhydride groups at both ends. Subsequently, a method of polymerizing with an aromatic diamine compound so that the aromatic tetracarboxylic dianhydride and the aromatic diamine compound are substantially equimolar in all steps,
3) An aromatic tetracarboxylic dianhydride and an excess molar amount of the aromatic diamine compound are reacted in an organic polar solvent to obtain a prepolymer having amino groups at both ends. Subsequently, after adding an aromatic diamine compound here, using the aromatic tetracarboxylic dianhydride so that the aromatic tetracarboxylic dianhydride and the aromatic diamine compound are substantially equimolar in all steps. How to polymerize,
4) A method in which an aromatic tetracarboxylic dianhydride is dissolved and / or dispersed in an organic polar solvent and then polymerized using an aromatic diamine compound so as to be substantially equimolar,
5) A method of polymerizing by reacting a mixture of substantially equimolar aromatic tetracarboxylic dianhydride and aromatic diamine in an organic polar solvent,
And so on. These methods may be used singly or in combination.

中でも、非熱可塑性ポリアミド酸は、下記の工程(c)〜(e)
(c)芳香族酸二無水物と、これに対し過剰モル量の芳香族ジアミンとを有機極性溶媒中で反応させ、両末端にアミノ基を有するプレポリマーを得る工程、
(d)該プレポリマーに芳香族ジアミンを追加添加する
(e)全工程における芳香族酸二無水物と芳香族ジアミンが実質的に等モルとなるように芳香族酸二無水物を添加して反応する工程、
と経ることによって得られることが好ましい。
Among them, the non-thermoplastic polyamic acid is used in the following steps (c) to (e).
(C) a step of reacting an aromatic acid dianhydride with an excess molar amount of an aromatic diamine in an organic polar solvent to obtain a prepolymer having amino groups at both ends;
(D) Add additional aromatic diamine to the prepolymer (e) Add aromatic dianhydride so that the aromatic dianhydride and aromatic diamine in all steps are substantially equimolar. Reacting,
It is preferable that it is obtained by going through.

前記方法で得られたポリアミド酸が、イミド化され、多層ポリイミドフィルムが得られる。   The polyamic acid obtained by the above method is imidized to obtain a multilayer polyimide film.

多層ポリイミドフィルムの非熱可塑性ポリイミド層で用いる芳香族ジアミンは、特に限定されないが、4,4´−ジアミノジフェニルエーテル、3,4´−ジアミノジフェニルエーテル、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、p−フェニレンジアミン、4,4´−ジアミノジフェニルプロパン、4,4´−ジアミノジフェニルメタン、ベンジジン、3,3’−ジクロロベンジジン、4,4´−ジアミノジフェニルスルフィド、3,3´−ジアミノジフェニルスルホン、4,4´−ジアミノジフェニルスルホン、4,4´−ジアミノジフェニルエーテル、3,3´−ジアミノジフェニルエーテル、3,4´−ジアミノジフェニルエーテル、1,5−ジアミノナフタレン、4,4´−ジアミノジフェニルジエチルシラン、4,4’−ジアミノジフェニルシラン、4,4´−ジアミノジフェニルエチルホスフィンオキシド、4,4´−ジアミノジフェニルN−メチルアミン、4,4´−ジアミノジフェニル N−フェニルアミン、1,4−ジアミノベンゼン(p−フェニレンジアミン)、1,3−ジアミノベンゼン、1,2−ジアミノベンゼン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン及びそれらの誘導体などが挙げられ、これらを単独で、または任意の割合で混合した混合物を好ましく用いることができる。中でも、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、p−フェニレンジアミン、4,4´−ジアミノジフェニルエーテルから少なくとも1種選ばれるジアミンであることがフィルム強度、線膨張係数、粘弾性のバランスが良いことで好ましく、10〜50mol%の2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、30〜70mol%のp−フェニレンジアミン、10〜30mol%の4,4´−ジアミノジフェニルエーテルが特に好ましい。   The aromatic diamine used in the non-thermoplastic polyimide layer of the multilayer polyimide film is not particularly limited, but is 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,4′-diaminodiphenyl ether, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, p-phenylenediamine, 4,4'-diaminodiphenylpropane, 4,4'-diaminodiphenylmethane, benzidine, 3,3'-dichlorobenzidine, 4,4'- Diaminodiphenyl sulfide, 3,3′-diaminodiphenyl sulfone, 4,4′-diaminodiphenyl sulfone, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′-diaminodiphenyl ether, 3,4′-diaminodiphenyl ether, 1,5- Diaminonaphthalene, 4,4'-diamy Nodiphenyldiethylsilane, 4,4′-diaminodiphenylsilane, 4,4′-diaminodiphenylethylphosphine oxide, 4,4′-diaminodiphenyl N-methylamine, 4,4′-diaminodiphenyl N-phenylamine, 1 , 4-diaminobenzene (p-phenylenediamine), 1,3-diaminobenzene, 1,2-diaminobenzene, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane and derivatives thereof. These can be preferably used alone or in a mixture of any proportions. Among them, film strength, linear expansion coefficient, and diamine selected from at least one selected from 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, p-phenylenediamine, and 4,4′-diaminodiphenyl ether, It is preferable because of a good balance of viscoelasticity, and 10 to 50 mol% 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 30 to 70 mol% p-phenylenediamine, 10 to 30 mol% 4, 4'-diaminodiphenyl ether is particularly preferred.

多層ポリイミドフィルムの非熱可塑性ポリイミド層で用いる芳香族酸二無水物は、特に限定されないが、ピロメリット酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,3´,4,4´−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,2´,3,3´−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボン酸二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、1,1−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,1−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、オキシジフタル酸二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、p−フェニレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)、エチレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)、ビスフェノールAビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)及びそれらの誘導体を含み、これらを単独で、または任意の割合で混合した混合物を好ましく用いることができる。中でも、ピロメリット酸二無水物、3,3´,4,4´−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3´,4,4´−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物から少なくとも1種選ばれる酸二無水物であることが好ましく、60〜90mol%のピロメリット酸二無水物、10〜40mol%の3,3´,4,4´−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物又は3,3´,4,4´−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物物を用いることが、熱ロールラミによる金属張積層体の製造のしやすさの面で好ましい。   The aromatic dianhydride used in the non-thermoplastic polyimide layer of the multilayer polyimide film is not particularly limited, but pyromellitic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,2', 3,3'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3 , 3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic dianhydride , Bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 1,1-bis (2,3-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, 1,1-bis (3,4-dicarboxyphenyl) D Dianhydride, bis (2,3-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, oxydiphthalic dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) ) Sulfone dianhydride, p-phenylenebis (trimellitic acid monoester acid anhydride), ethylene bis (trimellitic acid monoester acid anhydride), bisphenol A bis (trimellitic acid monoester acid anhydride) and their A mixture containing a derivative and mixing them alone or in an arbitrary ratio can be preferably used. Among them, at least one selected from pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, and 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride is selected. Preferably it is an acid dianhydride, 60-90 mol% pyromellitic dianhydride, 10-40 mol% 3,3 ', 4,4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride or 3,3', It is preferable to use 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride in terms of ease of manufacturing a metal-clad laminate by hot roll lamination.

多層ポリイミドフィルムの製造方法としては、非熱可塑性ポリイミドフィルムを製造した後、熱可塑性ポリアミド酸溶液をフィルム両面に塗布・乾燥した後、高温加熱により、イミド化反応を進行させ、多層ポリイミドフィルムを得ることができる。熱可塑性ポリアミド酸のイミド化方法として、公知技術を用いればよい。例えば、熱のみでイミド化反応を進める熱イミド化、脱水剤を用いてイミド化反応を進める化学イミド化がある。支持体フィルムに熱可塑性ポリアミド酸を塗工する場合、共押出の場合、熱イミド化又は化学イミド化のどちらを選択しても良いが、共押出の場合は、化学イミド化により、イミド化させる方法が好ましい。イミド化剤は、熱可塑性ポリアミド酸溶液に添加しても良く、非熱可塑性ポリアミド酸溶液に添加しても良い。   As a method for producing a multilayer polyimide film, after producing a non-thermoplastic polyimide film, a thermoplastic polyamic acid solution is applied to both sides of the film and dried, and then the imidization reaction is advanced by high-temperature heating to obtain a multilayer polyimide film. be able to. A known technique may be used as an imidization method for the thermoplastic polyamic acid. For example, there are thermal imidization in which an imidization reaction is advanced only by heat, and chemical imidation in which an imidization reaction is advanced using a dehydrating agent. When thermoplastic polyamic acid is applied to the support film, either thermal imidization or chemical imidization may be selected in the case of coextrusion. In the case of coextrusion, imidization is performed by chemical imidization. The method is preferred. The imidizing agent may be added to the thermoplastic polyamic acid solution or may be added to the non-thermoplastic polyamic acid solution.

イミド化反応を進める際、ピリジン、ピコリン、ルチジン、イソキノリン等の3級複素環式アミンを用いる場合、無水酢酸等の脱水剤を併用して用いることができる。   When the imidization reaction proceeds, when a tertiary heterocyclic amine such as pyridine, picoline, lutidine, or isoquinoline is used, a dehydrating agent such as acetic anhydride can be used in combination.

フレキシブル金属積層板で用いられる銅箔は、厚みは1〜25μmを用いることができ、圧延銅箔、電解銅箔のどちらを用いても良い。ソルダーレジストの密着強度を考慮すると、銅箔の表面粗さが粗いものを用いる方が好ましい。   The copper foil used in the flexible metal laminate may have a thickness of 1 to 25 μm, and either a rolled copper foil or an electrolytic copper foil may be used. Considering the adhesion strength of the solder resist, it is preferable to use a copper foil having a rough surface.

以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されるものではない。なお、合成例、実施例及び比較例におけるポリイミドフィルムのガラス転移温度、ソルダーレジストの密着強度、金属箔の引き剥がし強度の評価法は次の通りである。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention concretely, this invention is not limited only to these Examples. In addition, the evaluation method of the glass transition temperature of the polyimide film in the synthesis example, an Example, and a comparative example, the adhesive strength of a soldering resist, and the peeling strength of metal foil is as follows.

(ガラス転移温度測定)
熱可塑性ポリアミド酸溶液を、18μm圧延銅箔(BHY−22B−T 日鉱金属製)のシャイン面に最終厚みが20μmとなるように流延し、130℃で3分間、200℃で2分間、250℃で2分間、300℃で2分間、330℃で2分間乾燥を行った。乾燥後、エッチングにより銅箔を除去し、50℃で30分間乾燥させ熱可塑性ポリイミドフィルムを得た。得られた熱可塑性ポリイミドフィルムを用い、セイコーインスツルメンツ製DSC220により、アルミをリファレンスとして使用し、昇温速度10℃/min、降温速度40℃/minにて、0℃から450℃の範囲で測定し、変曲点をガラス転移温度とした。
(Glass transition temperature measurement)
The thermoplastic polyamic acid solution was cast on a shine surface of 18 μm rolled copper foil (BHY-22B-T made by Nikko Metal Co., Ltd.) to a final thickness of 20 μm, and the temperature was 130 ° C. for 3 minutes, 200 ° C. for 2 minutes, 250 Drying was performed at 2 ° C. for 2 minutes, 300 ° C. for 2 minutes, and 330 ° C. for 2 minutes. After drying, the copper foil was removed by etching and dried at 50 ° C. for 30 minutes to obtain a thermoplastic polyimide film. Using the obtained thermoplastic polyimide film, using a DSC220 manufactured by Seiko Instruments Inc., using aluminum as a reference, measuring at a temperature increase rate of 10 ° C./min and a temperature decrease rate of 40 ° C./min in the range of 0 ° C. to 450 ° C. The inflection point was taken as the glass transition temperature.

(金属張積層板の作製方法)
多層ポリイミドフィルムの両面に18μmの圧延銅箔(BHY−22B−T;日鉱金属製)、さらにその両側に保護材料(アピカル125NPI;カネカ製)を配して、熱ロールラミネート機を用いて、ラミネート温度380℃、ラミネート圧力196N/cm(20kgf/cm)、ラミネート速度1.5m/分の条件で連続的に熱ラミネートを行い、フレキシブル金属張積層板を作製した。
(Method for producing metal-clad laminate)
Laminated copper foil (BHY-22B-T; manufactured by Nikko Metal) on both sides of the multilayer polyimide film, and protective materials (Apical 125NPI; manufactured by Kaneka) are arranged on both sides of the multilayer polyimide film using a hot roll laminator. Thermally laminating was performed continuously under the conditions of a temperature of 380 ° C., a laminating pressure of 196 N / cm (20 kgf / cm), and a laminating speed of 1.5 m / min, and a flexible metal-clad laminate was produced.

(ソルダーレジストの密着強度測定)
上記で得られた金属張積層板の片面をエッチング・水洗浄した後、100℃で30分間乾燥した。エッチングした面にベーカー式アプリケーターで、乾燥厚みが25μmになるように、NPR−80 ID−60(日本ポリテック製)を、塗布し、80℃で30分間乾燥した。レジスト面を露光(600mJ/cm2)した後、現像(1%Na2CO3水溶液、30℃、0.2MPa)し、最後に150℃で60分間乾燥した。その後、ソルダーレジスト面を基板に接着剤を介して貼り付け、多層ポリイミドフィルムとレジストの界面を剥がし、2mm幅で180°方向へ引き剥がし、密着強度を測定した。
(Measurement of adhesion strength of solder resist)
One side of the metal-clad laminate obtained above was etched and washed with water, and then dried at 100 ° C. for 30 minutes. NPR-80 ID-60 (manufactured by Nippon Polytech) was applied to the etched surface with a Baker type applicator so that the dry thickness was 25 μm, and dried at 80 ° C. for 30 minutes. The resist surface was exposed (600 mJ / cm 2), developed (1% Na 2 CO 3 aqueous solution, 30 ° C., 0.2 MPa), and finally dried at 150 ° C. for 60 minutes. Thereafter, the solder resist surface was affixed to the substrate via an adhesive, the interface between the multilayer polyimide film and the resist was peeled off, peeled off in a 180 ° direction with a width of 2 mm, and the adhesion strength was measured.

(金属箔の引き剥がし強度)
JIS C6471の「6.5 引きはがし強さ」に従って、サンプルを作製し、5mm幅の金属箔部分を、180度の剥離角度、50mm/分の条件で剥離し、その荷重を測定した。
(Stripping strength of metal foil)
A sample was prepared according to “6.5 Peel Strength” of JIS C6471, and a 5 mm wide metal foil part was peeled off at a peeling angle of 180 degrees and 50 mm / min, and the load was measured.

以下に、合成例で用いるモノマーの略称を示す。
DMF:N,N−ジメチルホルムアミド
BAPP:2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン
ODA:4,4´−ジアミノジフェニルエーテル
PDA:p−フェニレンジアミン
BPDA:3,3´,4,4´−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
BTDA:3,3´,4,4´−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物
PMDA:ピロメリット酸二無水物
以下に、ポリアミド酸溶液の合成例を示す。
The abbreviations of monomers used in the synthesis examples are shown below.
DMF: N, N-dimethylformamide BAPP: 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane ODA: 4,4′-diaminodiphenyl ether PDA: p-phenylenediamine BPDA: 3, 3 ′, 4 , 4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride BTDA: 3,3 ', 4,4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride PMDA: pyromellitic dianhydride The following is a synthesis example of a polyamic acid solution.

(合成例1)
10℃に冷却したDMF(1173.5g)に、BAPP(57.3g:0.140mol)、ODA(18.6g:0.093mol)、を溶解した。ここに、BTDA(30.0g:0.093mol)、PMDA(25.4g:0.086mol)を添加して、30分間均一攪拌し、プレポリマーを得た。
(Synthesis Example 1)
BAPP (57.3 g: 0.140 mol) and ODA (18.6 g: 0.093 mol) were dissolved in DMF (1173.5 g) cooled to 10 ° C. BTDA (30.0 g: 0.093 mol) and PMDA (25.4 g: 0.086 mol) were added thereto, and the mixture was stirred uniformly for 30 minutes to obtain a prepolymer.

この溶液にPDA(25.2g:0.232mol)を溶解した後、PMDA(54.2g:0.248mol)を溶解し、別途調製してあったPMDAの7.2重量%DMF溶液を注意深く115.1g(PMDA:0.038mol)添加し、粘度が2500poise程度に達したところで添加を止めた。1時間撹拌を行って、23℃での回転粘度が2600ポイズのポリアミック酸溶液を得た。   After PDA (25.2 g: 0.232 mol) was dissolved in this solution, PMDA (54.2 g: 0.248 mol) was dissolved and carefully prepared separately with a 7.2 wt% DMF solution of PMDA prepared separately. 0.1 g (PMDA: 0.038 mol) was added, and the addition was stopped when the viscosity reached about 2500 poise. Stirring was performed for 1 hour to obtain a polyamic acid solution having a rotational viscosity at 23 ° C. of 2600 poise.

このポリアミック酸溶液100gに対して、無水酢酸/イソキノリン/DMF(重量比25.6g/7.3g/67.1g)からなる硬化剤を50g添加して、0℃以下の温度で撹拌・脱泡し、非熱可塑性ポリアミド酸溶液を得た。   50 g of a curing agent composed of acetic anhydride / isoquinoline / DMF (weight ratio 25.6 g / 7.3 g / 67.1 g) is added to 100 g of this polyamic acid solution, and stirring and defoaming are performed at a temperature of 0 ° C. or lower. Thus, a non-thermoplastic polyamic acid solution was obtained.

(合成例2)
N,N−ジメチルホルムアミド(DMF)937.6gに、BAPP(118.6g:0.289mol)を溶解した。ここに、BPDA(76.5g:0.260mol)を投入し、50℃に加熱し3時間攪拌し、プレポリマーを得た。
(Synthesis Example 2)
BAPP (118.6 g: 0.289 mol) was dissolved in 937.6 g of N, N-dimethylformamide (DMF). BPDA (76.5 g: 0.260 mol) was added thereto, heated to 50 ° C. and stirred for 3 hours to obtain a prepolymer.

その後、BPDA(7.9g:0.027mol)を注意深く添加し、固形成分濃度約17%で粘度が23℃において800poiseのポリアミド酸溶液を得た。この時の、芳香族酸二無水物と芳香族ジアミンの比は、99.3:100.0であった。   Thereafter, BPDA (7.9 g: 0.027 mol) was carefully added to obtain a polyamic acid solution having a solid component concentration of about 17% and a viscosity of 23 p. At this time, the ratio of aromatic dianhydride to aromatic diamine was 99.3: 100.0.

(合成例3)
合成例2と同様にして得られた、プレポリマーを用い、BPDA(6.2g:0.021mol)を注意深く添加し、固形成分濃度約17%で粘度が23℃において10poiseのポリアミド酸溶液を得た。この時の、芳香族酸二無水物と芳香族ジアミンの比は、97.2:100.0であった。
(Synthesis Example 3)
Using the prepolymer obtained in the same manner as in Synthesis Example 2, BPDA (6.2 g: 0.021 mol) was carefully added to obtain a polyamic acid solution having a solid component concentration of about 17% and a viscosity of 10 poise at 23 ° C. It was. At this time, the ratio of the aromatic dianhydride to the aromatic diamine was 97.2: 100.0.

(合成例4)
合成例2と同様にして得られた、プレポリマーを用い、BPDA(5.6g:0.019mol)を注意深く添加し、固形成分濃度約17%で粘度が23℃において3poiseのポリアミド酸溶液を得た。この時の、芳香族酸二無水物と芳香族ジアミンの比は、96.5:100.0であった。
(Synthesis Example 4)
Using the prepolymer obtained in the same manner as in Synthesis Example 2, BPDA (5.6 g: 0.019 mol) was carefully added to obtain a polyamic acid solution having a solid component concentration of about 17% and a viscosity of 3 poise at 23 ° C. It was. At this time, the ratio of the aromatic dianhydride to the aromatic diamine was 96.5: 100.0.

(合成例5)
合成例2と同様にして得られた、プレポリマーを用い、BPDA(8.5g:0.029mol)を注意深く添加し、固形成分濃度約17%のポリアミド酸溶液を得た。この時の、芳香族酸二無水物と芳香族ジアミンの比は、100.0:100.0であった。
(Synthesis Example 5)
Using a prepolymer obtained in the same manner as in Synthesis Example 2, BPDA (8.5 g: 0.029 mol) was carefully added to obtain a polyamic acid solution having a solid component concentration of about 17%. At this time, the ratio of aromatic dianhydride to aromatic diamine was 100.0: 100.0.

(合成例6)
N,N−ジメチルホルムアミド(DMF)937.6gに、BPDA(85.0g:0.289mol)を添加した後、BAPP(117.8g:0.287mol)を添加し、固形成分濃度約17%で粘度が23℃において800poiseのポリアミド酸溶液を得た。この時の、芳香族酸二無水物と芳香族ジアミンの比は、100.7:100.0であった。
(Synthesis Example 6)
BPDA (85.0 g: 0.289 mol) was added to 937.6 g of N, N-dimethylformamide (DMF), then BAPP (117.8 g: 0.287 mol) was added, and the solid component concentration was about 17%. A polyamic acid solution having a viscosity of 800 poise at 23 ° C. was obtained. At this time, the ratio between the aromatic dianhydride and the aromatic diamine was 100.7: 100.0.

(合成例7)
N,N−ジメチルホルムアミド(DMF)843.4gに、BAPP(118.6g:0.289mol)を溶解した。ここに、BPDA(17.1g:0.058mol)を投入し、50℃に加熱した後、10℃に冷却し、PMDA(45.3g:0.208mol)を添加し、プレポリマーを得た。
(Synthesis Example 7)
BAPP (118.6 g: 0.289 mol) was dissolved in 843.4 g of N, N-dimethylformamide (DMF). BPDA (17.1 g: 0.058 mol) was added thereto, heated to 50 ° C., cooled to 10 ° C., and PMDA (45.3 g: 0.208 mol) was added to obtain a prepolymer.

その後、別途調製してあったPMDAの7重量%DMF溶液65.4g(PMDA:0.021mol)を注意深く添加し、固形成分濃度約17%で粘度が23℃において800poiseのポリアミド酸溶液を得た。この時の、芳香族酸二無水物と芳香族ジアミンの比は、99.3:100.0であった。   Thereafter, 65.4 g (PMDA: 0.021 mol) of 7 wt% DMF solution of PMDA prepared separately was carefully added to obtain a polyamic acid solution having a solid component concentration of about 17% and a viscosity of 800 poise at 23 ° C. . At this time, the ratio of aromatic dianhydride to aromatic diamine was 99.3: 100.0.

(合成例8)
N,N−ジメチルホルムアミド(DMF)838.3gに、BAPP(118.6g:0.289mol)を溶解した。ここに、BPDA(12.7g:0.043mol)を投入し、50℃に加熱した後、10℃に冷却し、PMDA(48.6g:0.223mol)を添加し、プレポリマーを得た。
(Synthesis Example 8)
BAPP (118.6 g: 0.289 mol) was dissolved in 838.3 g of N, N-dimethylformamide (DMF). BPDA (12.7 g: 0.043 mol) was added thereto, heated to 50 ° C., cooled to 10 ° C., and PMDA (48.6 g: 0.223 mol) was added to obtain a prepolymer.

その後、別途調製してあったPMDAの7重量%DMF溶液65.4g(PMDA:0.021mol)を注意深く添加し、固形成分濃度約17%で粘度が23℃において800poiseのポリアミド酸溶液を得た。この時の、芳香族酸二無水物と芳香族ジアミンの比は、99.3:100.0であった。   Thereafter, 65.4 g (PMDA: 0.021 mol) of 7 wt% DMF solution of PMDA prepared separately was carefully added to obtain a polyamic acid solution having a solid component concentration of about 17% and a viscosity of 800 poise at 23 ° C. . At this time, the ratio of aromatic dianhydride to aromatic diamine was 99.3: 100.0.

(合成例9)
N,N−ジメチルホルムアミド(DMF)855.3gに、BAPP(118.6g:0.289mol)を溶解した。ここに、BPDA(5.9g:0.020mol)を投入し、50℃に加熱した後、10℃に冷却し、PMDA(55.6g:0.255mol)を添加し、プレポリマーを得た。
(Synthesis Example 9)
BAPP (118.6 g: 0.289 mol) was dissolved in 855.3 g of N, N-dimethylformamide (DMF). BPDA (5.9 g: 0.020 mol) was added thereto, heated to 50 ° C., cooled to 10 ° C., and PMDA (55.6 g: 0.255 mol) was added to obtain a prepolymer.

その後、別途調製してあったPMDAの7重量%DMF溶液34.3g(PMDA:0.011mol)を注意深く添加し、固形成分濃度約17%で粘度が23℃において100poiseのポリアミド酸溶液を得た。この時の、芳香族酸二無水物と芳香族ジアミンの比は、99.0:100.0であった。   Thereafter, 34.3 g (PMDA: 0.011 mol) of a 7% by weight PMDA solution separately prepared was carefully added to obtain a polyamic acid solution having a solid component concentration of about 17% and a viscosity of 100 poise at 23 ° C. . At this time, the ratio of aromatic dianhydride to aromatic diamine was 99.0: 100.0.

(合成例10)
N,N−ジメチルホルムアミド(DMF)855.3gに、BAPP(118.6g:0.289mol)を溶解した。ここに、BPDA(4.3g:0.015mol)を投入し、50℃に加熱した後、10℃に冷却し、PMDA(55.6g:0.255mol)を添加し、プレポリマーを得た。
(Synthesis Example 10)
BAPP (118.6 g: 0.289 mol) was dissolved in 855.3 g of N, N-dimethylformamide (DMF). BPDA (4.3 g: 0.015 mol) was added thereto, heated to 50 ° C., cooled to 10 ° C., and PMDA (55.6 g: 0.255 mol) was added to obtain a prepolymer.

その後、別途調製してあったPMDAの7重量%DMF溶液56.1g(PMDA:0.018mol)を注意深く添加し、固形成分濃度約17%で粘度が23℃において2000poiseのポリアミド酸溶液を得た。この時の、芳香族酸二無水物と芳香族ジアミンの比は、99.7:100.0であった。   Thereafter, 56.1 g (PMDA: 0.018 mol) of a 7 wt% DMF solution of PMDA prepared separately was carefully added to obtain a polyamic acid solution having a solid component concentration of about 17% and a viscosity of 2000 poise at 23 ° C. . At this time, the ratio of the aromatic dianhydride to the aromatic diamine was 99.7: 100.0.

(実施例1)
リップ幅200mmのマルチマニホールド式の3層共押出多層ダイを用い、合成例2で得られたポリアミド酸溶液/合成例1で得られたポリアミド酸溶液/合成例2で得られたポリアミド酸溶液の順の3層構造でアルミ箔上に押出し流延した。次いで、この多層膜を130℃×100秒で加熱した後、自己支持性を有するゲルフィルムを引き剥がして、金属枠に固定し、250℃×20秒、300℃×40秒、350℃×30秒、370℃×20秒で乾燥・イミド化し、熱可塑性ポリイミド層/非熱可塑性ポリイミド層/熱可塑性ポリイミド層の厚みが、2μm/10μm/2μmの多層ポリイミドフィルムを得た。
Example 1
Using a multi-manifold type three-layer coextrusion multilayer die having a lip width of 200 mm, the polyamic acid solution obtained in Synthesis Example 2 / the polyamic acid solution obtained in Synthetic Example 1 / the polyamic acid solution obtained in Synthetic Example 2 It was extruded and cast on an aluminum foil with a three-layer structure in order. Next, after heating this multilayer film at 130 ° C. × 100 seconds, the gel film having self-supporting properties is peeled off and fixed to a metal frame, 250 ° C. × 20 seconds, 300 ° C. × 40 seconds, 350 ° C. × 30 Second, 370 ° C. × 20 seconds, and imidized to obtain a multilayer polyimide film having a thermoplastic polyimide layer / non-thermoplastic polyimide layer / thermoplastic polyimide layer thickness of 2 μm / 10 μm / 2 μm.

多層ポリイミドフィルムを用い金属張積層板を作製した後、ソルダーレジストの密着強度測定、金属箔の引き剥がし強度を測定した。結果は表2にまとめた。   After producing a metal-clad laminate using a multilayer polyimide film, the adhesion strength measurement of the solder resist and the peeling strength of the metal foil were measured. The results are summarized in Table 2.

(実施例2)
合成例2の代わりに合成例3で得られたポリアミド酸溶液を用いた以外は実施例1と同様に実施した。結果は表2にまとめた。
(Example 2)
The same procedure as in Example 1 was performed except that the polyamic acid solution obtained in Synthesis Example 3 was used instead of Synthesis Example 2. The results are summarized in Table 2.

(実施例3)
合成例2の代わりに合成例7で得られたポリアミド酸溶液を用いた以外は実施例1と同様に実施した。結果は表2にまとめた。
(Example 3)
The same procedure as in Example 1 was performed except that the polyamic acid solution obtained in Synthesis Example 7 was used instead of Synthesis Example 2. The results are summarized in Table 2.

(実施例4)
合成例2の代わりに合成例8で得られたポリアミド酸溶液を用いた以外は実施例1と同様に実施した。結果は表2にまとめた。
Example 4
The same procedure as in Example 1 was performed except that the polyamic acid solution obtained in Synthesis Example 8 was used instead of Synthesis Example 2. The results are summarized in Table 2.

(実施例5)
合成例2の代わりに合成例9で得られたポリアミド酸溶液を用いた以外は実施例1と同様に実施した。結果は表2にまとめた。
(Example 5)
The same procedure as in Example 1 was performed except that the polyamic acid solution obtained in Synthesis Example 9 was used instead of Synthesis Example 2. The results are summarized in Table 2.

(実施例6)
合成例2の代わりに合成例10で得られたポリアミド酸溶液を用いた以外は実施例1と同様に実施した。結果は表2にまとめた。
(Example 6)
The same procedure as in Example 1 was performed except that the polyamic acid solution obtained in Synthesis Example 10 was used instead of Synthesis Example 2. The results are summarized in Table 2.

(比較例1)
合成例2の代わりに合成例4で得られたポリアミド酸溶液を用いた以外は実施例1と同様に実施した。結果は表2にまとめた。
(Comparative Example 1)
The same procedure as in Example 1 was performed except that the polyamic acid solution obtained in Synthesis Example 4 was used instead of Synthesis Example 2. The results are summarized in Table 2.

(比較例2)
合成例2の代わりに合成例5で得られたポリアミド酸溶液を用いた以外は実施例1と同様に実施した。結果は表2にまとめた。
(Comparative Example 2)
The same procedure as in Example 1 was performed except that the polyamic acid solution obtained in Synthesis Example 5 was used instead of Synthesis Example 2. The results are summarized in Table 2.

(比較例3)
合成例2の代わりに合成例6で得られたポリアミド酸溶液を用いた以外は実施例1と同様に実施した。結果は表2にまとめた。
(Comparative Example 3)
The same procedure as in Example 1 was performed except that the polyamic acid solution obtained in Synthesis Example 6 was used instead of Synthesis Example 2. The results are summarized in Table 2.

Figure 0005468913
Figure 0005468913

Figure 0005468913
Figure 0005468913

Claims (6)

非熱可塑性ポリイミド層の少なくとも片面に熱可塑性ポリイミド層を有する多層ポリイミドフィルムに対して金属層からなる回路が形成されており、さらに前記回路を保護するために形成されたソルダーレジストを有する、レジスト付き多層ポリイミドフィルムの製造方法であって、
該熱可塑性ポリイミド層は、レジストと接着しており、
該熱可塑性ポリイミド層で用いる芳香族ジアミンが、4,4´−ジアミノジフェニルエーテル、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、及び2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパンからなる群より選ばれる少なくとも1種であり、
該熱可塑性ポリイミド層で用いる芳香族酸二無水物が、ピロメリット酸二無水物、3,3´,4,4´−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3´,4´−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、及び3,3´,4,4´−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物からなる群より選ばれる少なくとも1種であり、
該熱可塑性ポリイミド層が、以下の工程(a)と(b)によって得られた両末端アミノ基を有するポリアミド酸溶液をイミド化して得られたポリイミドからなることを特徴とするレジスト付き多層ポリイミドフィルムの製造方法:
(a)芳香族酸二無水物と、これに対して過剰モル量の芳香族ジアミンとを有機極性溶媒中で反応させ、両末端にアミノ基を有するプレポリマーを得る工程、
(b)全工程における芳香族酸二無水物と芳香族ジアミンのモル比が、97.0:100.0〜99.8:100.0となるように、該プレポリマーに、芳香族酸二無水物を添加して反応させる工程。
Nonthermal are circuit comprising a metallic layer is formed for the multilayer polyimide film having a thermoplastic polyimide layer on at least one surface of the thermoplastic polyimide layer, having a solder resist formed to further protect the circuit, Les resist A method for producing a multilayer polyimide film with a coating,
Thermoplastic polyimide layer is bonded to the Les resist,
The aromatic diamine used in the thermoplastic polyimide layer is 4,4′-diaminodiphenyl ether, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, and 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl]. At least one selected from the group consisting of propane,
The aromatic dianhydride used in the thermoplastic polyimide layer is pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3,3 ′, 4′-. And at least one selected from the group consisting of biphenyltetracarboxylic dianhydride and 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride,
The thermoplastic polyimide layer is made of a polyimide obtained by imidizing a polyamic acid solution having amino groups at both ends obtained by the following steps (a) and (b). Manufacturing method:
(A) reacting an aromatic acid dianhydride with an excess molar amount of an aromatic diamine in an organic polar solvent to obtain a prepolymer having amino groups at both ends;
(B) To the prepolymer, the aromatic acid dianhydride and aromatic diamine have a molar ratio of 97.0: 100.0 to 99.8: 100.0 in all steps. A step of adding an anhydride to react.
前記非熱可塑性ポリイミド層が、下記の工程(c)〜(e)によって得られたポリアミド酸溶液をイミド化して得られることを特徴とする請求項1に記載のレジスト付き多層ポリイミドフィルムの製造方法:
(c)芳香族酸二無水物と、これに対し過剰モル量の芳香族ジアミンとを有機極性溶媒中で反応させ、両末端にアミノ基を有するプレポリマーを得る工程、
(d)該プレポリマーに、芳香族ジアミンを追加添加する工程、
(e)全工程における芳香族酸二無水物と芳香族ジアミンが実質的に等モルとなるように芳香族酸二無水物を添加して反応する工程。
The method for producing a resist-coated multilayer polyimide film according to claim 1, wherein the non-thermoplastic polyimide layer is obtained by imidizing a polyamic acid solution obtained by the following steps (c) to (e). :
(C) a step of reacting an aromatic acid dianhydride with an excess molar amount of an aromatic diamine in an organic polar solvent to obtain a prepolymer having amino groups at both ends;
(D) adding an aromatic diamine to the prepolymer;
(E) A step of adding and reacting the aromatic acid dianhydride so that the aromatic acid dianhydride and the aromatic diamine in all steps are substantially equimolar.
前記非熱可塑性ポリイミド層で用いる芳香族ジアミンが、ジアミン成分を基準として、10〜50mol%の2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、30〜70mol%のp−フェニレンジアミン、10〜30mol%の4,4´−ジアミノジフェニルエーテルであることを特徴とする請求項1または2に記載のレジスト付き多層ポリイミドフィルムの製造方法。   The aromatic diamine used in the non-thermoplastic polyimide layer is 10-50 mol% 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 30-70 mol% p-phenylene based on the diamine component. The method for producing a resist-coated multilayer polyimide film according to claim 1 or 2, wherein the diamine is 10 to 30 mol% of 4,4'-diaminodiphenyl ether. 前記非熱可塑性ポリイミド層で用いる酸二無水物が、酸二無水物成分を基準として、60〜90mol%のピロメリット酸二無水物、10〜40mol%の3,3´,4,4´−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のレジスト付き多層ポリイミドフィルムの製造方法。   The acid dianhydride used in the non-thermoplastic polyimide layer is 60 to 90 mol% pyromellitic dianhydride, 10 to 40 mol% 3,3 ′, 4,4′− based on the acid dianhydride component. It is a benzophenone tetracarboxylic dianhydride, The manufacturing method of the multilayer polyimide film with a resist of any one of Claims 1-3 characterized by the above-mentioned. 前記多層ポリイミドフィルムが、多層共押出によって得られることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のレジスト付き多層ポリイミドフィルムの製造方法。   The said multilayer polyimide film is obtained by multilayer coextrusion, The manufacturing method of the multilayer polyimide film with a resist of any one of Claims 1-4 characterized by the above-mentioned. 請求項1〜5のいずれか1項に記載の製造方法によって得られたレジスト付き多層ポリイミドフィルム。
The multilayer polyimide film with a resist obtained by the manufacturing method of any one of Claims 1-5.
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