JP2007230019A - Manufacturing method of metal clad laminated sheet - Google Patents

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正美 ▲柳▼田
Masami Yanagida
Kenji Uejima
健二 上島
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of a metal clad laminated sheet, which is suitably used in a flexible printed wiring board or the like and composed of at least a conductor and a plurality of polyimide layers, having drastically higher productivity as compared with that of a conventional method. <P>SOLUTION: The manufacturing method of the metal clad laminated sheet wherein at least two kinds of the polyimide layers are provided on the conductor includes a process for forming at least two layers by casting at least two kinds of solutions, each of which is a solution selected from a solution containing a precursor of a polyimide resin and a solution containing the polyimide resin and contains a solution containing at least one kind of the precursor of the polyimide resin, on the conductor by coextrusion and is characterized in that a chemical dehydrating agent and a catalyst are added to the solution containing at least one kind of the precursor of the polyimide of the solutions used in coextrusion. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、フレキシブルプリント配線板等に好適に用いられる金属張積層板に関する。更に詳しくは、少なくとも導体と複数のポリイミド層からなる、金属張積層板の製造方法に関する。   The present invention relates to a metal-clad laminate suitably used for a flexible printed wiring board and the like. More specifically, the present invention relates to a method for producing a metal-clad laminate comprising at least a conductor and a plurality of polyimide layers.

近年、エレクトロニクス製品の軽量化、小型化、高密度化にともない、各種プリント基板の需要が伸びている。これらのプリント基板の中でも、フレキシブル配線板の需要が特に伸びている。フレキシブル配線板は、フレキシブルプリント配線板(FPC)等とも称する。フレキシブル積層板は、絶縁性フィルム上に金属箔からなる回路が形成された構造を有している。   In recent years, the demand for various printed circuit boards has increased with the reduction in weight, size and density of electronic products. Among these printed boards, the demand for flexible wiring boards is growing. The flexible wiring board is also referred to as a flexible printed wiring board (FPC). The flexible laminate has a structure in which a circuit made of a metal foil is formed on an insulating film.

上記フレキシブル積層板は、一般に、各種絶縁材料により形成され、柔軟性を有する絶縁性フィルムを基板とし、この基板の表面に、各種接着材料を介して金属箔を加熱・圧着することにより貼りあわせる方法により製造される。上記絶縁性フィルムとしては、ポリイミドフィルム等が好ましく用いられており、上記接着材料としては、エポキシ系、アクリル系等の熱硬化性接着剤が一般的に用いられている。このような熱硬化性接着剤を用いたフレキシブル配線板は、基板/接着材料/金属箔の三層構造を有しているので、三層FPCともいう。   The flexible laminate is generally formed of various insulating materials, and a flexible insulating film is used as a substrate, and a metal foil is bonded to the surface of the substrate by heating and pressure bonding via various adhesive materials. Manufactured by. A polyimide film or the like is preferably used as the insulating film, and an epoxy or acrylic thermosetting adhesive is generally used as the adhesive material. A flexible wiring board using such a thermosetting adhesive has a three-layer structure of substrate / adhesive material / metal foil, and is also referred to as a three-layer FPC.

上記三層FPCに用いられる熱硬化性接着剤は、比較的低温での接着が可能であるという利点がある。しかし今後、FPCに対して耐熱性、屈曲性、電気的信頼性といった各種特性に対する要求が厳しくなるに従い、熱硬化性接着剤を用いた三層FPCでは対応が困難になると考えられている。   The thermosetting adhesive used for the three-layer FPC has an advantage that it can be bonded at a relatively low temperature. However, as the requirements for various characteristics such as heat resistance, flexibility, and electrical reliability for FPC become stricter in the future, it is considered that the three-layer FPC using a thermosetting adhesive becomes difficult to cope with.

これに対し、絶縁性フィルムに直接金属層を設けたFPCや、接着層に熱可塑性ポリイミドを使用したFPCが提案されている。このようなFPCは、絶縁性の基板に直接金属層を形成している状態にあるため、二層FPCとも呼ばれる。この二層FPCは、三層FPCより優れた特性を有し、上記各種特性に対する要求にも十分対応可能であることから、今後需要が伸びていくことが期待される。   On the other hand, FPCs in which a metal layer is directly provided on an insulating film and FPCs using thermoplastic polyimide as an adhesive layer have been proposed. Such an FPC is also called a two-layer FPC because a metal layer is directly formed on an insulating substrate. This two-layer FPC has characteristics superior to those of the three-layer FPC and can sufficiently meet the demands for the various characteristics described above, so that demand is expected to increase in the future.

上記二層FPCは、基板に金属箔を積層した構造を有する金属張積層板を用いて製造される。この金属張積層板の作製方法としては、導体上にポリイミドの前駆体であるポリアミド酸を流延、塗布した後イミド化するキャスト法、スパッタ、メッキによりポリイミドフィルム上に直接金属層を設けるメタライジング法、熱可塑性ポリイミドを介してポリイミドフィルムと金属箔とを貼り合わせるラミネート法が挙げられる。   The two-layer FPC is manufactured using a metal-clad laminate having a structure in which a metal foil is laminated on a substrate. The metal-clad laminate can be produced by casting a polyamic acid, which is a polyimide precursor, on a conductor, casting it, then imidizing it, and metalizing by directly forming a metal layer on the polyimide film by sputtering or plating. And a laminating method in which a polyimide film and a metal foil are bonded via a thermoplastic polyimide.

これらのうち、キャスト法は、最も生産性に優れており、従って最もローコストで金属張積層板を製造可能な方法である。   Of these, the casting method is the most productive, and is therefore the most cost effective method for producing metal-clad laminates.

キャスト法では、接着性と寸法安定性の両方を付与するため、複数層のポリイミド樹脂層を導体上に設けることが一般的に行われている。複数層のポリイミド樹脂層を導体上に作製する方法としては、1つのポリイミド前駆体溶液を導体上にキャストし乾燥した後、次のポリイミド前駆体溶液をその上にキャストする、逐次キャスト法(例えば特許文献1)や、複数のポリイミド前駆体溶液を、共押出ダイを使用して導体上に同時にキャストする、共押出法(例えば特許文献2)が知られている。   In the casting method, in order to provide both adhesiveness and dimensional stability, it is generally performed to provide a plurality of polyimide resin layers on a conductor. As a method of producing a plurality of polyimide resin layers on a conductor, one polyimide precursor solution is cast on a conductor and dried, and then the next polyimide precursor solution is cast thereon (for example, a sequential casting method (for example, Patent Document 1) and a coextrusion method (for example, Patent Document 2) in which a plurality of polyimide precursor solutions are simultaneously cast on a conductor using a coextrusion die are known.

このうち共押出法は、逐次キャスト法と比較して生産性に優れていることや、工程が少ないことから異物混入などの欠陥要因が少ないことから、より優位な方法である。   Among these, the co-extrusion method is more advantageous than the sequential casting method because it is superior in productivity and because there are fewer steps of defects such as contamination due to fewer steps.

しかしながら従来の共押出法は、実質的に加熱によってのみイミド化を行う、所謂熱キュア法を前提にして検討されてきた。熱キュア法では、製膜工程における溶媒の揮散・除去及びイミド化の工程が極めて長時間となるため、生産性が低いという問題点があった。生産性の低さは、トータルコストの増大に繋がるという問題点があった。
特開平10−323935号公報 特公平4−79713号公報
However, the conventional coextrusion method has been studied on the premise of a so-called thermal curing method in which imidization is substantially performed only by heating. The thermal curing method has a problem in that productivity is low because the process of volatilization / removal of the solvent and imidization in the film forming process takes a very long time. The low productivity has the problem of increasing the total cost.
Japanese Patent Laid-Open No. 10-323935 Japanese Patent Publication No. 4-79713

本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであって、従来の方法に比して飛躍的に高い生産性を有する金属張積層板の製造方法を提供することにある。   This invention is made | formed in view of said subject, Comprising: It is providing the manufacturing method of a metal-clad laminated board which has productivity significantly higher than the conventional method.

本発明者らは、上記の課題に鑑み鋭意検討した結果、高い生産性を有する金属張積層板の製造方法を独自に見出し、本発明を完成させるに至った。すなわち本発明は、以下の新規な製造方法によって、上記課題を解決しうる。   As a result of intensive studies in view of the above-mentioned problems, the present inventors have uniquely found a method for producing a metal-clad laminate having high productivity, and have completed the present invention. That is, this invention can solve the said subject with the following novel manufacturing methods.

即ち、本発明は、導体上に少なくとも2種以上のポリイミド層を有する金属張積層板の製造方法であって、ポリイミド樹脂の前駆体を含む溶液またはポリイミド樹脂を含む溶液から選択される溶液であって、少なくとも1種のポリイミド樹脂の前駆体を含む溶液を含む、少なくとも2種以上の溶液を共押出によって導体上に流延して2層以上の複数層を形成する工程を含み、前記共押出に用いる溶液のうち、少なくとも1種のポリイミド樹脂の前駆体を含む溶液には化学脱水剤及び触媒を含有せしめることを特徴とする、金属張積層板の製造方法に関する。   That is, the present invention is a method for producing a metal-clad laminate having at least two polyimide layers on a conductor, which is a solution selected from a solution containing a polyimide resin precursor or a solution containing a polyimide resin. A step of casting at least two kinds of solutions including a solution containing a precursor of at least one type of polyimide resin onto a conductor by coextrusion to form a plurality of layers of two or more layers. Among the solutions used in the above, a solution containing at least one polyimide resin precursor contains a chemical dehydrating agent and a catalyst, and relates to a method for producing a metal-clad laminate.

好ましい実施態様は、前記化学脱水剤及び触媒が、化学脱水剤及び触媒を含有せしめる溶液に含まれるポリアミド酸中のアミド酸ユニット1モルに対して0.5〜4.0モルの化学脱水剤と0.05〜2.0モルの触媒であることを特徴とする、前記の金属張積層板の製造方法に関する。   In a preferred embodiment, the chemical dehydrating agent and the catalyst are used in an amount of 0.5 to 4.0 mol of chemical dehydrating agent with respect to 1 mol of amic acid unit in the polyamic acid contained in the solution containing the chemical dehydrating agent and catalyst. It is a 0.05-2.0 mol catalyst, It is related with the manufacturing method of the said metal-clad laminated board characterized by the above-mentioned.

更に好ましい実施態様は、ポリイミド層が、少なくとも高耐熱性ポリイミド層及び熱可塑性ポリイミド層からなることを特徴とする、前記の金属張積層板の製造方法に関する。   A more preferred embodiment relates to the method for producing a metal-clad laminate, wherein the polyimide layer comprises at least a high heat resistant polyimide layer and a thermoplastic polyimide layer.

更に好ましい実施態様は、ポリイミド層が、高耐熱性ポリイミド層の両面に熱可塑性ポリイミド層を設けてなることを特徴とする前記の金属張積層板の製造方法に関する。   A more preferred embodiment relates to the method for producing a metal-clad laminate, wherein the polyimide layer is provided with a thermoplastic polyimide layer on both sides of the high heat-resistant polyimide layer.

更に好ましい実施態様は、導体上に、熱可塑性ポリイミドの前駆体溶液−高耐熱性ポリイミドの前駆体溶液−熱可塑性ポリイミドの前駆体溶液を前記順で共押出によって導体上に流延した後に、乾燥・焼成せしめ、導体−熱可塑性ポリイミド層−高耐熱性ポリイミド層−熱可塑性ポリイミド層からなる積層体を作製した後、当該積層体の導体と接触していない側の熱可塑性ポリイミド層と、第二導体を熱ラミネートすることを特徴とする、前記の金属張積層板の製造方法に関する。   In a more preferred embodiment, the precursor solution of thermoplastic polyimide-precursor solution of high heat-resistant polyimide-precursor solution of thermoplastic polyimide is cast on the conductor by coextrusion in this order, and then dried. After firing, a laminate composed of a conductor-thermoplastic polyimide layer-high heat-resistant polyimide layer-thermoplastic polyimide layer is prepared, and then the thermoplastic polyimide layer on the side not in contact with the conductor of the laminate and the second It is related with the manufacturing method of the said metal-clad laminated board characterized by carrying out heat lamination of a conductor.

本発明によれば、金属張積層板の生産性を、従来法に比して飛躍的に向上せしめることができ、ひいては、金属張積層板を安価に提供可能となる。   According to the present invention, the productivity of the metal-clad laminate can be dramatically improved as compared with the conventional method, and as a result, the metal-clad laminate can be provided at a low cost.

本発明の実施の形態について、以下に説明する。   Embodiments of the present invention will be described below.

本発明に係る金属張積層板の製造方法は、導体上に少なくとも2種以上のポリイミド層を有する金属張積層板の製造方法であって、ポリイミド樹脂の前駆体を含む溶液またはポリイミド樹脂を含む溶液から選択される溶液であって、少なくとも1種のポリイミド樹脂の前駆体を含む溶液を含む、少なくとも2種以上の溶液を共押出によって導体上に流延して2層以上の複数層を形成する工程を含み、前記共押出に用いる溶液のうち、少なくとも1種のポリイミド樹脂の前駆体を含む溶液には化学脱水剤及び触媒を含有せしめることを特徴としている。   The method for producing a metal-clad laminate according to the present invention is a method for producing a metal-clad laminate having at least two kinds of polyimide layers on a conductor, and a solution containing a polyimide resin precursor or a polyimide resin A solution selected from the group consisting of at least one polyimide resin precursor and a solution containing at least one polyimide resin precursor is cast on the conductor by coextrusion to form two or more layers. Among the solutions used for the coextrusion, a solution containing at least one polyimide resin precursor contains a chemical dehydrating agent and a catalyst.

前記ポリイミド層は、2層以上であれば特に限定されないが、好適には、寸法安定性を付与する高耐熱性ポリイミド層と、導体との接着性を付与する熱可塑性ポリイミド層の少なくとも2層であることが好ましい。   The polyimide layer is not particularly limited as long as it is two or more layers. Preferably, the polyimide layer is preferably at least two layers of a high heat resistant polyimide layer imparting dimensional stability and a thermoplastic polyimide layer imparting adhesiveness to the conductor. Preferably there is.

以下、実施の形態の一例に基づき説明する。   Hereinafter, description will be given based on an example of the embodiment.

<高耐熱性ポリイミド層>
本発明に係る高耐熱性ポリイミド層とは、非熱可塑性ポリイミド樹脂を90wt%以上含有すれば、その分子構造、厚みは特に限定されない。高耐熱性ポリイミド層に用いられる非熱可塑性ポリイミドは、ポリアミド酸を前駆体として用いて製造される。ポリアミド酸の製造方法としては公知のあらゆる方法を用いることができ、通常、芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミンを、実質的等モル量を有機溶媒中に溶解させて、制御された温度条件下で、上記酸二無水物とジアミンの重合が完了するまで攪拌することによって製造される。これらのポリアミド酸溶液は通常5〜35wt%、好ましくは10〜30wt%の濃度で得られる。この範囲の濃度である場合に適当な分子量と溶液粘度を得る。
<High heat resistant polyimide layer>
The high heat resistant polyimide layer according to the present invention is not particularly limited in its molecular structure and thickness as long as it contains 90 wt% or more of a non-thermoplastic polyimide resin. The non-thermoplastic polyimide used for the high heat resistant polyimide layer is manufactured using polyamic acid as a precursor. Any known method can be used as a method for producing the polyamic acid, and usually, the aromatic tetracarboxylic dianhydride and the aromatic diamine are controlled by dissolving substantially equimolar amounts in an organic solvent. It is produced by stirring under temperature conditions until the polymerization of the acid dianhydride and diamine is completed. These polyamic acid solutions are usually obtained at a concentration of 5 to 35 wt%, preferably 10 to 30 wt%. When the concentration is in this range, an appropriate molecular weight and solution viscosity are obtained.

重合方法としてはあらゆる公知の方法およびそれらを組み合わせた方法を用いることができる。ポリアミド酸の重合における重合方法の特徴はそのモノマーの添加順序にあり、このモノマー添加順序を制御することにより得られるポリイミドの諸物性を制御することができる。従い、本発明においてポリアミド酸の重合にはいかなるモノマーの添加方法を用いても良い。代表的な重合方法として次のような方法が挙げられる。すなわち、
1)芳香族ジアミンを有機極性溶媒中に溶解し、これと実質的に等モルの芳香族テトラカルボン酸二無水物を反応させて重合する方法。
2)芳香族テトラカルボン酸二無水物とこれに対し過小モル量の芳香族ジアミン化合物とを有機極性溶媒中で反応させ、両末端に酸無水物基を有するプレポリマーを得る。続いて、全工程において芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミン化合物が実質的に等モルとなるように芳香族ジアミン化合物を用いて重合させる方法。
3)芳香族テトラカルボン酸二無水物とこれに対し過剰モル量の芳香族ジアミン化合物とを有機極性溶媒中で反応させ、両末端にアミノ基を有するプレポリマーを得る。続いてここに芳香族ジアミン化合物を追加添加後、全工程において芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミン化合物が実質的に等モルとなるように芳香族テトラカルボン酸二無水物を用いて重合する方法。
4)芳香族テトラカルボン酸二無水物を有機極性溶媒中に溶解及び/または分散させた後、実質的に等モルとなるように芳香族ジアミン化合物を用いて重合させる方法。
5)実質的に等モルの芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミンの混合物を有機極性溶媒中で反応させて重合する方法。
などのような方法である。これら方法を単独で用いても良いし、部分的に組み合わせて用いることもできる。
As the polymerization method, any known method and a combination thereof can be used. The characteristic of the polymerization method in the polymerization of polyamic acid is the order of addition of the monomers, and the physical properties of the polyimide obtained can be controlled by controlling the order of addition of the monomers. Therefore, in the present invention, any method of adding monomers may be used for the polymerization of polyamic acid. The following method is mentioned as a typical polymerization method. That is,
1) A method in which an aromatic diamine is dissolved in an organic polar solvent and this is reacted with a substantially equimolar amount of an aromatic tetracarboxylic dianhydride for polymerization.
2) An aromatic tetracarboxylic dianhydride is reacted with a small molar amount of an aromatic diamine compound in an organic polar solvent to obtain a prepolymer having acid anhydride groups at both ends. Then, the method of superposing | polymerizing using an aromatic diamine compound so that an aromatic tetracarboxylic dianhydride and an aromatic diamine compound may become substantially equimolar in all the processes.
3) An aromatic tetracarboxylic dianhydride and an excess molar amount of the aromatic diamine compound are reacted in an organic polar solvent to obtain a prepolymer having amino groups at both ends. Subsequently, after adding an aromatic diamine compound here, using the aromatic tetracarboxylic dianhydride so that the aromatic tetracarboxylic dianhydride and the aromatic diamine compound are substantially equimolar in all steps. How to polymerize.
4) A method in which an aromatic tetracarboxylic dianhydride is dissolved and / or dispersed in an organic polar solvent and then polymerized using an aromatic diamine compound so as to be substantially equimolar.
5) A method in which a substantially equimolar mixture of aromatic tetracarboxylic dianhydride and aromatic diamine is reacted in an organic polar solvent for polymerization.
And so on. These methods may be used singly or in combination.

本発明において、上記のいかなる重合方法を用いて得られたポリアミド酸を用いても良く、重合方法は特に限定されるのもではない。   In the present invention, the polyamic acid obtained by using any of the above polymerization methods may be used, and the polymerization method is not particularly limited.

本発明において、後述する剛直構造を有するジアミン成分を用いてプレポリマーを得る重合方法を用いることも好ましい。本方法を用いることにより、弾性率が高く、吸湿膨張係数が小さいポリイミドフィルムが得やすくなる傾向にある。本方法においてプレポリマー調製時に用いる剛直構造を有するジアミンと酸二無水物のモル比は100:70〜100:99もしくは70:100〜99:100、さらには100:75〜100:90もしくは75:100〜90:100が好ましい。この比が上記範囲を下回ると弾性率および吸湿膨張係数の改善効果が得られにくく、上記範囲を上回ると線膨張係数が小さくなりすぎたり、引張伸びが小さくなるなどの弊害が生じることがある。   In this invention, it is also preferable to use the polymerization method which obtains a prepolymer using the diamine component which has a rigid structure mentioned later. By using this method, a polyimide film having a high elastic modulus and a small hygroscopic expansion coefficient tends to be easily obtained. The molar ratio of the diamine having a rigid structure and the acid dianhydride used in preparing the prepolymer in the present method is 100: 70 to 100: 99 or 70: 100 to 99: 100, and further 100: 75 to 100: 90 or 75: 100-90: 100 is preferable. When this ratio is less than the above range, it is difficult to obtain the effect of improving the elastic modulus and the hygroscopic expansion coefficient, and when it exceeds the above range, there are cases where the linear expansion coefficient becomes too small or the tensile elongation becomes small.

ここで、本発明にかかるポリアミド酸組成物に用いられる材料について説明する。   Here, the material used for the polyamic acid composition concerning this invention is demonstrated.

本発明において用いうる適当なテトラカルボン酸二無水物は、ピロメリット酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、4,4’−オキシフタル酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボン酸二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、1,1−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,1−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、オキシジフタル酸二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、p−フェニレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)、エチレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)、ビスフェノールAビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)及びそれらの類似物を含み、これらを単独または、任意の割合の混合物が好ましく用い得る。   Suitable tetracarboxylic dianhydrides that can be used in the present invention are pyromellitic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetra. Carboxylic dianhydride, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′, 3,3′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′- Benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 4,4′-oxyphthalic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic acid Dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 1,1-bis (2,3-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, 1,1-bis (3,4-dicarboxy) Phenyl) eta Dianhydride, bis (2,3-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, oxydiphthalic dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) Sulfone dianhydride, p-phenylenebis (trimellitic acid monoester acid anhydride), ethylene bis (trimellitic acid monoester acid anhydride), bisphenol A bis (trimellitic acid monoester acid anhydride) and the like These can be used alone or in a mixture of any proportion.

これら酸二無水物の中で特にはピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、4,4’−オキシフタル酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物から選択される少なくとも一種を用いることが好ましい。   Among these acid dianhydrides, pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 4,4′-oxyphthalic dianhydride, 3,3 ′ It is preferable to use at least one selected from 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride.

またこれら酸二無水物の中で3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、4,4’−オキシフタル酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物から選択される少なくとも一種を用いる場合の好ましい使用量は、全酸二無水物に対して、60mol%以下、好ましくは55mol%以下、更に好ましくは50mol%以下である。3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、4,4’−オキシフタル酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物から選択される少なくとも一種を用いる場合、その使用量がこの範囲を上回るとポリイミドフィルムのガラス転移温度が低くなりすぎたり、熱時の貯蔵弾性率が低くなりすぎて製膜そのものが困難になったりすることがあるため好ましくない。   Among these acid dianhydrides, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 4,4′-oxyphthalic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetra The preferred amount of use in the case of using at least one selected from carboxylic dianhydrides is 60 mol% or less, preferably 55 mol% or less, more preferably 50 mol% or less, based on the total acid dianhydrides. 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 4,4′-oxyphthalic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride When using at least one kind, if the amount used exceeds this range, the glass transition temperature of the polyimide film may become too low, or the storage elastic modulus at the time of heating may become too low, making film formation itself difficult. Therefore, it is not preferable.

また、ピロメリット酸二無水物を用いる場合、好ましい使用量は40〜100mol%、更に好ましくは45〜100mol%、特に好ましくは50〜100mol%である。ピロメリット酸二無水物をこの範囲で用いることによりガラス転移温度および熱時の貯蔵弾性率を使用または製膜に好適な範囲に保ちやすくなる。   Moreover, when using pyromellitic dianhydride, the preferable usage-amount is 40-100 mol%, More preferably, it is 45-100 mol%, Most preferably, it is 50-100 mol%. By using pyromellitic dianhydride in this range, the glass transition temperature and the storage elastic modulus at the time of heating can be easily maintained in a range suitable for use or film formation.

本発明にかかる非熱可塑性ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸組成物において使用し得る適当なジアミンとしては、4,4’−ジアミノジフェニルプロパン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、ベンジジン、3,3’−ジクロロベンジジン、3,3‘−ジメチルベンジジン、2,2’−ジメチルベンジジン、3,3’−ジメトキシベンジジン、2,2’−ジメトキシベンジジン、4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−オキシジアニリン、3,3’−オキシジアニリン、3,4’−オキシジアニリン、1,5−ジアミノナフタレン、4,4’−ジアミノジフェニルジエチルシラン、4,4’−ジアミノジフェニルシラン、4,4’−ジアミノジフェニルエチルホスフィンオキシド、4,4’−ジアミノジフェニルN−メチルアミン、4,4’−ジアミノジフェニル N−フェニルアミン、1,4−ジアミノベンゼン(p−フェニレンジアミン)、1,3−ジアミノベンゼン、1,2−ジアミノベンゼン、ビス{4−(4−アミノフェノキシ)フェニル}スルホン、ビス{4−(4−アミノフェノキシ)フェニル}プロパン、ビス{4−(3−アミノフェノキシ)フェニル}スルホン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、4,4'−ジアミノベンゾフェノン及びそれらの類似物などが挙げられる。   Suitable diamines that can be used in the polyamic acid composition that is a precursor of the non-thermoplastic polyimide according to the present invention include 4,4′-diaminodiphenylpropane, 4,4′-diaminodiphenylmethane, benzidine, and 3,3 ′. -Dichlorobenzidine, 3,3'-dimethylbenzidine, 2,2'-dimethylbenzidine, 3,3'-dimethoxybenzidine, 2,2'-dimethoxybenzidine, 4,4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'- Diaminodiphenylsulfone, 4,4′-diaminodiphenylsulfone, 4,4′-oxydianiline, 3,3′-oxydianiline, 3,4′-oxydianiline, 1,5-diaminonaphthalene, 4,4 '-Diaminodiphenyldiethylsilane, 4,4'-diaminodiphenylsilane, 4,4'- Aminodiphenylethylphosphine oxide, 4,4′-diaminodiphenyl N-methylamine, 4,4′-diaminodiphenyl N-phenylamine, 1,4-diaminobenzene (p-phenylenediamine), 1,3-diaminobenzene, 1,2-diaminobenzene, bis {4- (4-aminophenoxy) phenyl} sulfone, bis {4- (4-aminophenoxy) phenyl} propane, bis {4- (3-aminophenoxy) phenyl} sulfone, 4 , 4′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, 4,4′-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) ) Benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (3-amino) Phenoxy) benzene, 3,3'-diaminobenzophenone, 4,4'-diaminobenzophenone and the like.

ジアミン成分として、剛直構造を有するジアミンと柔構造を有するアミンを併用することもでき、その場合の好ましい使用比率はモル比で80/20〜20/80、さらには70/30〜30/70、特には60/40〜30/70である。剛構造のジアミンの使用比率が上記範囲を上回ると得られるフィルムの引張伸びが小さくなる傾向にあり、またこの範囲を下回るとガラス転移温度が低くなりすぎたり、熱時の貯蔵弾性率が低くなりすぎて製膜が困難になるなどの弊害を伴う場合がある。   As the diamine component, a diamine having a rigid structure and an amine having a flexible structure can be used in combination, and the preferred use ratio in that case is 80/20 to 20/80, more preferably 70/30 to 30/70, in molar ratio. Particularly, it is 60/40 to 30/70. If the use ratio of the rigid diamine exceeds the above range, the tensile elongation of the resulting film tends to be small, and if it falls below this range, the glass transition temperature becomes too low or the storage modulus during heat decreases. In some cases, the film formation is difficult, and it may be harmful.

本発明において、剛直構造を有するジアミンとは、下記一般式(1)   In the present invention, the diamine having a rigid structure is the following general formula (1).

Figure 2007230019
(ただし、式中のR2は、下記一般式群(1)
Figure 2007230019
(In the formula, R 2 represents the following general formula group (1)

Figure 2007230019
で表される2価の芳香族基からなる群から選択される基であり、式中のR3は同一または異なっていてもよく、H−、CH3−、−OH、−CF3、−SO4、−COOH、−CO-NH2、Cl−、Br−、F−及びCH3O−からなる群より選択される何れかの1つの基である。)
で表されるものをいう。
Figure 2007230019
R 3 in the formula may be the same or different, and H—, CH 3 —, —OH, —CF 3 , — One group selected from the group consisting of SO 4 , —COOH, —CO—NH 2 , Cl—, Br—, F— and CH 3 O—. )
The one represented by

また、柔構造を有するジアミンとは、エーテル基、スルホン基、ケトン基、スルフィド基などの柔構造を有するジアミンであり、好ましくは、下記一般式(2)で表されるものである。   The diamine having a flexible structure is a diamine having a flexible structure such as an ether group, a sulfone group, a ketone group, or a sulfide group, and is preferably represented by the following general formula (2).

Figure 2007230019
(ただし、式中のR4は、下記一般式群(2)
Figure 2007230019
(In the formula, R 4 represents the following general formula group (2)

Figure 2007230019
で表される2価の有機基からなる群から選択される基であり、式中のR5は同一または異なっていてもよく、H−、CH3−、−OH、−CF3、−SO4、−COOH、−CO-NH2、Cl−、Br−、F−及びCH3O−からなる群より選択される何れかの1つの基である。)
本発明において用いられる高耐熱性ポリイミド層は、上記の範囲の中で所望の特性を有するように適宜芳香族酸二無水物および芳香族ジアミンの種類、配合比を決定して用いることにより得ることができる。
Figure 2007230019
In a divalent radical selected from the group consisting of organic groups represented, R 5 in the formula may be the same or different, H-, CH 3 -, - OH, -CF 3, -SO 4 , any one group selected from the group consisting of —COOH, —CO—NH 2 , Cl—, Br—, F— and CH 3 O—. )
The high heat-resistant polyimide layer used in the present invention is obtained by appropriately determining the type and blending ratio of aromatic dianhydride and aromatic diamine so as to have desired characteristics within the above range. Can do.

ポリアミド酸を合成するための好ましい溶媒は、ポリアミド酸を溶解する溶媒であればいかなるものも用いることができるが、アミド系溶媒すなわちN,N−ジメチルフォルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドンなどであり、N,N−ジメチルフォルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミドが特に好ましく用い得る。   As the preferred solvent for synthesizing the polyamic acid, any solvent can be used as long as it dissolves the polyamic acid. However, amide solvents such as N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N- Examples thereof include methyl-2-pyrrolidone, and N, N-dimethylformamide and N, N-dimethylacetamide can be particularly preferably used.

また、摺動性、熱伝導性、導電性、耐コロナ性、ループスティフネス等のフィルムの諸特性を改善する目的でフィラーを添加することもできる。フィラーとしてはいかなるものを用いても良いが、好ましい例としてはシリカ、酸化チタン、アルミナ、窒化珪素、窒化ホウ素、リン酸水素カルシウム、リン酸カルシウム、雲母などが挙げられる。   In addition, a filler can be added for the purpose of improving various film properties such as slidability, thermal conductivity, conductivity, corona resistance, and loop stiffness. Any filler may be used, but preferred examples include silica, titanium oxide, alumina, silicon nitride, boron nitride, calcium hydrogen phosphate, calcium phosphate, mica and the like.

フィラーの粒子径は改質すべきフィルム特性と添加するフィラーの種類によって決定されるため、特に限定されるものではないが、一般的には平均粒径が0.05〜100μm、好ましくは0.1〜75μm、更に好ましくは0.1〜50μm、特に好ましくは0.1〜25μmである。粒子径がこの範囲を下回ると改質効果が現れにくくなり、この範囲を上回ると表面性を大きく損なったり、機械的特性が大きく低下したりする可能性がある。また、フィラーの添加部数についても改質すべきフィルム特性やフィラー粒子径などにより決定されるため特に限定されるものではない。一般的にフィラーの添加量はポリイミド100重量部に対して0.01〜100重量部、好ましくは0.01〜90重量部、更に好ましくは0.02〜80重量部である。フィラー添加量がこの範囲を下回るとフィラーによる改質効果が現れにくく、この範囲を上回るとフィルムの機械的特性が大きく損なわれる可能性がある。フィラーの添加は、
1.重合前または途中に重合反応液に添加する方法
2.重合完了後、3本ロールなどを用いてフィラーを混錬する方法
3.フィラーを含む分散液を用意し、これをポリアミド酸有機溶媒溶液に混合する方法
などいかなる方法を用いてもよいが、フィラーを含む分散液をポリアミド酸溶液に混合する方法、特に製膜直前に混合する方法が製造ラインのフィラーによる汚染が最も少なくすむため、好ましい。フィラーを含む分散液を用意する場合、ポリアミド酸の重合溶媒と同じ溶媒を用いるのが好ましい。また、フィラーを良好に分散させ、また分散状態を安定化させるために分散剤、増粘剤等をフィルム物性に影響を及ぼさない範囲内で用いることもできる。
The particle size of the filler is not particularly limited because it is determined by the film characteristics to be modified and the kind of filler to be added, but generally the average particle size is 0.05 to 100 μm, preferably 0.1. It is -75 micrometers, More preferably, it is 0.1-50 micrometers, Most preferably, it is 0.1-25 micrometers. If the particle size is below this range, the modification effect is less likely to appear. If the particle size is above this range, the surface properties may be greatly impaired or the mechanical properties may be greatly deteriorated. Further, the number of added parts of the filler is not particularly limited because it is determined by the film properties to be modified, the filler particle diameter, and the like. Generally, the addition amount of the filler is 0.01 to 100 parts by weight, preferably 0.01 to 90 parts by weight, and more preferably 0.02 to 80 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the polyimide. If the amount of filler added is less than this range, the effect of modification by the filler hardly appears, and if it exceeds this range, the mechanical properties of the film may be greatly impaired. Addition of filler
1. 1. A method of adding to a polymerization reaction solution before or during polymerization 2. A method of kneading fillers using three rolls after the completion of polymerization. Any method such as preparing a dispersion containing filler and mixing it with a polyamic acid organic solvent solution may be used, but a method of mixing a dispersion containing filler with a polyamic acid solution, particularly immediately before film formation. This method is preferable because the contamination by the filler in the production line is minimized. When preparing a dispersion containing a filler, it is preferable to use the same solvent as the polymerization solvent for the polyamic acid. Further, in order to disperse the filler satisfactorily and stabilize the dispersion state, a dispersant, a thickener and the like can be used within a range not affecting the film physical properties.

このようにして得られた非熱可塑性ポリイミド樹脂の前駆体を有する溶液を、高耐熱性ポリイミドの前駆体を含む溶液ともいう。   The solution containing the precursor of the non-thermoplastic polyimide resin thus obtained is also referred to as a solution containing a precursor of high heat resistant polyimide.

<熱可塑性ポリイミド層>
本発明に係る熱可塑性ポリイミド層は、導体との有為な接着力や好適な線膨張係数など、所望の特性が発現されれば、当該層に含まれる熱可塑性ポリイミド樹脂の含有量、分子構造、厚みは特に限定されない。しかしながら、有為な接着力や好適な線膨張係数などの所望の特性の発現のためには、実質的には熱可塑性ポリイミド樹脂を50wt%以上含有することが好ましい。
<Thermoplastic polyimide layer>
The thermoplastic polyimide layer according to the present invention has a thermoplastic polyimide resin content and molecular structure contained in the layer as long as desired properties such as a significant adhesive force with a conductor and a suitable linear expansion coefficient are expressed. The thickness is not particularly limited. However, it is preferable that substantially 50 wt% or more of the thermoplastic polyimide resin is substantially contained in order to exhibit desired properties such as a significant adhesive force and a suitable linear expansion coefficient.

熱可塑性ポリイミド層に含有される熱可塑性ポリイミドとしては、熱可塑性ポリイミド、熱可塑性ポリアミドイミド、熱可塑性ポリエーテルイミド、熱可塑性ポリエステルイミド等を好適に用いることができる。中でも、低吸湿特性の点から、熱可塑性ポリエステルイミドが特に好適に用いられる。   As the thermoplastic polyimide contained in the thermoplastic polyimide layer, thermoplastic polyimide, thermoplastic polyamideimide, thermoplastic polyetherimide, thermoplastic polyesterimide and the like can be suitably used. Among these, thermoplastic polyesterimide is particularly preferably used from the viewpoint of low moisture absorption characteristics.

本発明に係る熱可塑性ポリイミド層に含有される熱可塑性ポリイミドは、その前駆体のポリアミド酸からの転化反応により得られる。該ポリアミド酸の製造方法としては、高耐熱性ポリイミド層の前駆体と同様、公知のあらゆる方法を用いることができる。   The thermoplastic polyimide contained in the thermoplastic polyimide layer according to the present invention is obtained by a conversion reaction from the precursor polyamic acid. As the method for producing the polyamic acid, any known method can be used as in the precursor of the high heat resistant polyimide layer.

また、導体層との有為な接着力を発現し、かつ得られる金属張積層板の耐熱性を損なわないという点から考えると、本発明における熱可塑性ポリイミドは、150〜300℃の範囲にガラス転移温度(Tg)を有していることが好ましい。なお、Tgは動的粘弾性測定装置(DMA)により測定した貯蔵弾性率の変曲点の値により求めることができる。   Further, considering that it exhibits a significant adhesive force with the conductor layer and does not impair the heat resistance of the resulting metal-clad laminate, the thermoplastic polyimide in the present invention is glass in the range of 150 to 300 ° C. It preferably has a transition temperature (Tg). In addition, Tg can be calculated | required from the value of the inflexion point of the storage elastic modulus measured with the dynamic viscoelasticity measuring apparatus (DMA).

本発明に用いられる熱可塑性ポリイミドの前駆体のポリアミド酸についても、特に限定されるわけではなく、公知のあらゆるポリアミド酸を用いることができる。ポリアミド酸溶液の製造に関しても、前記原料および前記製造条件等を全く同様に用いることができる。   The polyamic acid that is a precursor of the thermoplastic polyimide used in the present invention is not particularly limited, and any known polyamic acid can be used. Regarding the production of the polyamic acid solution, the raw materials and the production conditions can be used in exactly the same manner.

なお、熱可塑性ポリイミドは、使用する原料を種々組み合わせることにより、諸特性を調節することができるが、一般に剛直構造のジアミン使用比率が大きくなるとガラス転移温度高くなる及び/又は熱時の貯蔵弾性率が大きくなり接着性・加工性が低くなるため好ましくない。剛直構造のジアミン比率は好ましくは40mol%以下、さらに好ましくは30mol%以下、特に好ましくは20mol%以下である。   The properties of thermoplastic polyimide can be adjusted by combining various raw materials to be used, but generally the glass transition temperature becomes higher and / or the storage elastic modulus during heat when the ratio of rigid diamine is increased. Is unfavorable because it increases the adhesion and processability. The diamine ratio of the rigid structure is preferably 40 mol% or less, more preferably 30 mol% or less, and particularly preferably 20 mol% or less.

好ましい熱可塑性ポリイミド樹脂の具体例としては、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物類を含む酸二無水物とアミノフェノキシ基を有するジアミンを重合反応せしめたものが挙げられる。   Specific examples of preferable thermoplastic polyimide resins include those obtained by polymerization reaction of acid dianhydrides including biphenyltetracarboxylic dianhydrides and diamines having aminophenoxy groups.

さらに、本発明に係る接着フィルムの特性を制御する目的で、必要に応じて無機あるいは有機物のフィラー、さらにはその他樹脂を添加しても良い。   Furthermore, for the purpose of controlling the properties of the adhesive film according to the present invention, inorganic or organic fillers, and other resins may be added as necessary.

<金属張積層板の製造>
本発明に係る金属張積層板を得る方法は、共押出法であることが必須である。本発明に係る、共押出法とは、例えば、高耐熱性ポリイミドの前駆体を含む溶液と、熱可塑性ポリイミドを含む溶液若しくは熱可塑性ポリイミドの前駆体を含む溶液とを、二層以上の多層ダイを有する押出成形機へ同時に供給して、前記多層ダイの吐出口から両溶液を少なくとも二層の薄膜状体として押出す工程を含むフィルムの製造方法である。一般的に用いられる方法について説明すると、二層以上の多層ダイから押出された前記の両溶液を、バックアップロールに抱かせた導体上に連続的に押し出し、次いで、前記支持体上の多層の薄膜状体の溶媒の少なくとも一部を揮散せしめ、さらに高温(250−600℃)で充分に加熱処理することによって、溶媒を実質的に除去すると共にイミド化を進行させることで、目的の金属張積層板が得られる。また、接着層の熔融流動性を改善する目的で、意図的にイミド化率を低くする及び/又は溶媒を残留させてもよい。
<Manufacture of metal-clad laminates>
The method for obtaining the metal-clad laminate according to the present invention must be a coextrusion method. The co-extrusion method according to the present invention includes, for example, a solution containing a precursor of a high heat resistant polyimide and a solution containing a thermoplastic polyimide or a solution containing a precursor of a thermoplastic polyimide. And simultaneously extruding both solutions as at least two layers of thin film from the outlet of the multilayer die. To describe a generally used method, both solutions extruded from two or more multilayer dies are continuously extruded onto a conductor held in a backup roll, and then a multilayer thin film on the support. By volatilizing at least a part of the solvent in the form and further sufficiently heat-treating at a high temperature (250-600 ° C.), the solvent is substantially removed and imidization proceeds, so that the target metal-clad laminate is obtained. A board is obtained. Further, for the purpose of improving the melt fluidity of the adhesive layer, the imidization rate may be intentionally lowered and / or the solvent may be left.

本発明に係る導体とは、金属箔であればその種別を問わないが、銅箔、特に5〜20μmの厚みの銅箔、もしくはキャリア銅箔付きの極薄銅箔であることが好ましい。前記銅箔は、圧延銅箔、電解銅箔の何れでも好適に使用可能であり、また、銅箔の表面処理も、公知の如何なる処理も使用可能である。   The conductor according to the present invention is not limited as long as it is a metal foil, but is preferably a copper foil, particularly a copper foil having a thickness of 5 to 20 μm, or an ultrathin copper foil with a carrier copper foil. As the copper foil, either a rolled copper foil or an electrolytic copper foil can be suitably used, and any known treatment can be used for the surface treatment of the copper foil.

一般的にポリイミドは、ポリイミドの前駆体、即ちポリアミド酸からの脱水転化反応により得られ、当該転化反応を行う方法としては、熱によってのみ行う熱キュア法と、化学硬化剤を使用する化学キュア法の2法が最も広く知られている。しかしながら、本発明では、化学キュア法の採用が必須である。   In general, polyimide is obtained by a dehydration conversion reaction from a polyimide precursor, that is, a polyamic acid. As a method for performing the conversion reaction, a thermal curing method performed only by heat and a chemical curing method using a chemical curing agent are used. The two methods are most widely known. However, in the present invention, it is essential to employ a chemical curing method.

ここで、化学硬化剤とは、化学脱水剤及び触媒を含むものである。ここでいう化学脱水剤とは、ポリアミド酸に対する脱水閉環剤であり、その主成分として、脂肪族酸無水物、芳香族酸無水物、N,N′−ジアルキルカルボジイミド、低級脂肪族ハロゲン化物、ハロゲン化低級脂肪族酸無水物、アリールスルホン酸ジハロゲン化物、チオニルハロゲン化物またはそれら2種以上の混合物を好ましく用いることができる。その中でも特に、脂肪族酸無水物及び芳香族酸無水物が良好に作用する。化学脱水剤の好適な導入量は、化学脱水剤を含有せしめる溶液に含まれるポリアミド酸中のアミド酸ユニット1モルに対して0.5〜4.0モル、好ましくは0.7〜4.0モル、特に好ましくは1.0〜4.0モルである。前記範囲を超えると、導体が腐食することがある。また、前記範囲を下回ると、硬化速度が充分でなく、本発明の効果を発揮できないことがある。   Here, the chemical curing agent includes a chemical dehydrating agent and a catalyst. The chemical dehydrating agent here is a dehydrating ring-closing agent for polyamic acid, and as its main component, aliphatic acid anhydride, aromatic acid anhydride, N, N'-dialkylcarbodiimide, lower aliphatic halide, halogen A lower aliphatic acid anhydride, an arylsulfonic acid dihalide, a thionyl halide, or a mixture of two or more thereof can be preferably used. Of these, aliphatic acid anhydrides and aromatic acid anhydrides work particularly well. A suitable introduction amount of the chemical dehydrating agent is 0.5 to 4.0 mol, preferably 0.7 to 4.0, relative to 1 mol of the amic acid unit in the polyamic acid contained in the solution containing the chemical dehydrating agent. Mol, particularly preferably 1.0 to 4.0 mol. If the above range is exceeded, the conductor may corrode. On the other hand, below the above range, the curing rate is not sufficient and the effects of the present invention may not be exhibited.

また、触媒とは化学脱水剤のポリアミド酸に対する脱水閉環作用を促進する効果を有する成分であるが、例えば、脂肪族3級アミン、芳香族3級アミン、複素環式3級アミンを用いることができる。そのうち、イミダゾ−ル、ベンズイミダゾ−ル、イソキノリン、キノリン、またはβ−ピコリンなどの含窒素複素環化合物であることが好ましい。さらに、化学脱水剤及び触媒からなる溶液中に、有機極性溶媒を導入することも適宜選択されうる。触媒の好適な導入量は、触媒を含有せしめる溶液に含まれるポリアミド酸中のアミド酸ユニット1モルに対して0.05〜2.0モル、好ましくは0.1〜2.0モル、特に好ましくは0.2〜2.0モルである。前記範囲を超えると、ポリイミド層に触媒が残存し、長期耐熱性に劣る場合がある。また、前記範囲を下回ると、硬化速度が充分でなく、本発明の効果を発揮できないことがある。   The catalyst is a component having an effect of promoting the dehydration ring-closing action of the chemical dehydrating agent on the polyamic acid. For example, an aliphatic tertiary amine, an aromatic tertiary amine, or a heterocyclic tertiary amine is used. it can. Of these, nitrogen-containing heterocyclic compounds such as imidazole, benzimidazole, isoquinoline, quinoline, or β-picoline are preferred. Furthermore, introduction of an organic polar solvent into a solution composed of a chemical dehydrating agent and a catalyst can be appropriately selected. A suitable introduction amount of the catalyst is 0.05 to 2.0 mol, preferably 0.1 to 2.0 mol, particularly preferably 0.1 mol to 1 mol of amic acid unit in the polyamic acid contained in the solution containing the catalyst. Is 0.2 to 2.0 mol. When the above range is exceeded, the catalyst may remain in the polyimide layer and may be inferior in long-term heat resistance. On the other hand, below the above range, the curing rate is not sufficient and the effects of the present invention may not be exhibited.

化学硬化剤を導入するポリイミド前駆体は、何れの層を構成するものであっても本発明の効果を好適に発現しうるが、高耐熱性ポリイミド層のみに化学硬化剤を導入する方法が、装置の簡略化、導体の腐食の防止、ポリイミド層の物性に関して最も好ましい結果を享受可能である。   The polyimide precursor for introducing the chemical curing agent can suitably express the effect of the present invention regardless of which layer is formed, but the method of introducing the chemical curing agent only in the high heat-resistant polyimide layer, The most favorable results can be obtained with respect to simplification of the apparatus, prevention of corrosion of the conductor, and physical properties of the polyimide layer.

二層以上の多層ダイから押出された高耐熱性ポリイミドの前駆体溶液と、熱可塑性ポリイミドを含有する溶液若しくは熱可塑性ポリイミドの前駆体を含有する溶液中の溶媒の揮散方法に関しては特に限定されないが、加熱かつ/または送風による方法が最も簡易な方法である。上記加熱の際の温度は、高すぎると溶媒が急激に揮散し、当該揮散の痕が最終的に得られる接着フィルム中に微小欠陥を形成せしめる要因となるため、用いる溶媒の沸点+50℃未満であることが好ましい。   There is no particular limitation regarding the method of volatilization of the solvent in the precursor solution of the high heat-resistant polyimide extruded from the multilayer die having two or more layers and the solution containing the thermoplastic polyimide or the solution containing the precursor of the thermoplastic polyimide. The method using heating and / or blowing is the simplest method. When the temperature at the time of heating is too high, the solvent is volatilized rapidly, and the trace of the volatilization causes a micro defect to be formed in the finally obtained adhesive film. Preferably there is.

イミド化時間に関しては、実質的にイミド化および乾燥が完結するに十分な時間を取ればよく、一義的に限定されるものではないが、一般的には1〜600秒程度の範囲で適宜設定される。   As for the imidization time, it suffices to take a sufficient time for the imidization and drying to be substantially completed, and although it is not uniquely limited, generally it is appropriately set within a range of about 1 to 600 seconds. Is done.

上記の二層以上の多層ダイとしては各種構造のものが使用できるが、例えば複数層用フィルム作成用のTダイス等が使用できる。また、従来既知のあらゆる構造のものを好適に使用可能であるが、特に好適に使用可能なものとして、フィードブロックTダイやマルチマニホールドTダイが例示される。   As the above-mentioned multilayer die having two or more layers, those having various structures can be used. For example, a T die for forming a film for a plurality of layers can be used. In addition, any conventionally known structure can be suitably used, and feed block T dies and multi-manifold T dies are exemplified as particularly suitable ones.

また、得られた金属張積層板の導体と接触していない側の熱可塑性ポリイミド層と、第二導体を熱ラミネートすることで、ポリイミド層の両面に導体を設けることも好ましく選択されうる。本発明に係る第二導体とは、前記導体同様金属箔であればその種別を問わないが、銅箔、特に5〜20μmの厚みの銅箔、もしくはキャリア銅箔付きの極薄銅箔であることが好ましい。前記銅箔は、圧延銅箔、電解銅箔の何れでも好適に使用可能であり、また、銅箔の表面処理も、公知の如何なる処理も使用可能である。   Moreover, it can also be preferably selected to provide a conductor on both sides of the polyimide layer by thermally laminating the second conductor with the thermoplastic polyimide layer on the side not in contact with the conductor of the obtained metal-clad laminate. The second conductor according to the present invention is not limited as long as it is a metal foil like the conductor, but is a copper foil, particularly a copper foil with a thickness of 5 to 20 μm, or an ultrathin copper foil with a carrier copper foil. It is preferable. As the copper foil, either a rolled copper foil or an electrolytic copper foil can be suitably used, and any known treatment can be used for the surface treatment of the copper foil.

熱ラミネートの方法も特に限定されず、ダブルベルト法や1対の熱ロールで加圧する熱ロール法などが例示される。また、熱ロール法においても、熱ロールと金属張積層板の間に保護フィルムを挟む方法や、熱ロールをブースで囲い、当該ブース内を不活性ガスで充満させる方法などが挙げられる。   The method of thermal lamination is not particularly limited, and examples thereof include a double belt method and a hot roll method in which pressure is applied with a pair of hot rolls. Also in the hot roll method, a method of sandwiching a protective film between the hot roll and the metal-clad laminate, a method of surrounding the hot roll with a booth, and filling the inside of the booth with an inert gas can be mentioned.

次に、本発明に係る接着フィルムの製造方法を実施例により詳しく説明する。 Next, the manufacturing method of the adhesive film which concerns on this invention is demonstrated in detail by an Example.

(合成例1;高耐熱性ポリイミドの前駆体のポリアミド酸の合成)
10℃に冷却したN,N−ジメチルホルムアミド(以下、DMFともいう)239kgに4,4’−オキシジアニリン(以下、ODAともいう)6.9kg、p−フェニレンジアミン(以下、p−PDAともいう)6.2kg、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン(以下、BAPPともいう)9.4kgを溶解した後、ピロメリット酸二無水物(以下、PMDAともいう)10.4kgを添加し1時間撹拌して溶解させた。ここに、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(以下、BTDAともいう)20.3kgを添加し1時間撹拌させて溶解させた。
(Synthesis Example 1; Synthesis of Polyamic Acid as Precursor of High Heat-Resistant Polyimide)
239 kg of N, N-dimethylformamide (hereinafter also referred to as DMF) cooled to 10 ° C., 6.9 kg of 4,4′-oxydianiline (hereinafter also referred to as ODA), p-phenylenediamine (hereinafter also referred to as p-PDA) After dissolving 9.4 kg of 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane (hereinafter also referred to as BAPP) 6.2 kg, pyromellitic dianhydride (hereinafter also referred to as PMDA). ) 10.4 kg was added and dissolved by stirring for 1 hour. To this, 20.3 kg of benzophenone tetracarboxylic dianhydride (hereinafter also referred to as BTDA) was added and dissolved by stirring for 1 hour.

別途調製しておいたPMDAのDMF溶液(PMDA:DMF=0.9kg:7.0kg)を上記反応液に徐々に添加し、粘度が3500ポイズ程度に達したところで添加を止めた。1時間撹拌を行って固形分濃度18重量%、23℃での回転粘度が3500ポイズの、高耐熱性ポリイミド系化合物の前駆体のポリアミド酸溶液を得た。   A separately prepared DMF solution of PMDA (PMDA: DMF = 0.9 kg: 7.0 kg) was gradually added to the reaction solution, and the addition was stopped when the viscosity reached about 3500 poise. Stirring was performed for 1 hour to obtain a polyamic acid solution of a precursor of a high heat resistant polyimide compound having a solid content concentration of 18% by weight and a rotational viscosity at 23 ° C. of 3500 poise.

(合成例2;熱可塑性ポリイミドの前駆体のポリアミド酸の合成)
300Lの反応槽にDMFを78kg、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン(BAPP)を11.56kg加え、窒素雰囲気下で攪拌しながら、3,3’4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)を7.87kg徐々に添加した。続いて、エチレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)(TMEG)を0.38kg添加し、氷浴下で30分間撹拌した。0.2kgのTMEGを4kgのDMFに溶解させた溶液を別途調製し、これを上記反応溶液に、粘度に注意しながら徐々に添加、撹拌を行った。粘度が3300poiseに達したところで添加、撹拌をやめ、熱可塑性ポリイミド系化合物の前駆体のポリアミド酸溶液を得た。
(Synthesis Example 2; Synthesis of Polyamic Acid as Precursor of Thermoplastic Polyimide)
To a 300 L reaction vessel, 78 kg of DMF and 11.56 kg of 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane (BAPP) were added, and while stirring under a nitrogen atmosphere, 3,3′4,4 7.87 kg of '-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) was gradually added. Subsequently, 0.38 kg of ethylenebis (trimellitic acid monoester acid anhydride) (TMEG) was added and stirred for 30 minutes in an ice bath. A solution prepared by dissolving 0.2 kg of TMEG in 4 kg of DMF was separately prepared, and this was gradually added to the above reaction solution while paying attention to the viscosity and stirred. When the viscosity reached 3300 poise, addition and stirring were stopped to obtain a polyamic acid solution as a precursor of a thermoplastic polyimide compound.

(実施例1)
合成例1で得られた高耐熱性ポリイミドの前駆体のポリアミド酸溶液に、以下の化学脱水剤及び触媒を含有せしめた。
化学脱水剤:無水酢酸を高耐熱性ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸のアミド酸ユニット1モルに対して2.0モル
触媒:イソキノリンを高耐熱性ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸のアミド酸ユニット1モルに対して0.5モル
次いで、リップ幅520mmのマルチマニホールド式の3層共押出多層ダイから、両外層が合成例2で得られた熱可塑性ポリイミドの前駆体のポリアミド酸溶液、内層が高耐熱性ポリイミド溶液の前駆体のポリアミド酸溶液となる順番で形成された3層構造の多層膜を連続的に押出して、当該Tダイスの下50mmを走行している銅箔のマット面上に流延した。前記銅箔としては、12μ厚の日本電解社製銅箔USLP−SEを用いた。次いで、多層膜着きの銅箔を130℃×100秒で乾燥せしめ、次いでテンター炉で300℃×16秒、400℃×29秒、450℃×17秒で乾燥・イミド化を完了させ、各熱可塑性ポリイミド層2μm、高耐熱性ポリイミド層10μmの良好な形状の金属張積層板を得た。
Example 1
The following chemical dehydrating agent and catalyst were contained in the polyamic acid solution of the precursor of the high heat-resistant polyimide obtained in Synthesis Example 1.
Chemical dehydrating agent: 2.0 mol per 1 mol of polyamic acid amic acid unit which is acetic anhydride as precursor of high heat-resistant polyimide Catalyst: Amido acid unit of polyamic acid which is isoquinoline as precursor of high heat-resistant polyimide 0.5 mol per mol Next, from the multi-manifold type three-layer coextrusion multilayer die having a lip width of 520 mm, both outer layers are the polyamic acid solution of the precursor of the thermoplastic polyimide obtained in Synthesis Example 2, and the inner layer is A multilayer film having a three-layer structure formed in the order of becoming a polyamic acid solution as a precursor of a high heat-resistant polyimide solution is continuously extruded, and on a mat surface of a copper foil running 50 mm below the T die. Casted. As the copper foil, a copper foil USLP-SE made by Nippon Electrolytic Co., Ltd. having a thickness of 12 μm was used. Next, the multilayered copper foil was dried at 130 ° C. for 100 seconds, then dried and imidized at 300 ° C. for 16 seconds, 400 ° C. for 29 seconds, and 450 ° C. for 17 seconds in a tenter furnace. A metal-clad laminate having a good shape with a plastic polyimide layer of 2 μm and a high heat-resistant polyimide layer of 10 μm was obtained.

得られた金属張積層板の、銅箔が接着されていない側の熱可塑性ポリイミド層と12μ厚の日本電解社製銅箔USLP−SEを、熱ロールを用いて加圧接着せしめた。加圧接着の条件は、熱ロールと金属張積層板の両側に保護材料(アピカル125NPI;株式会社カネカ製)を用い、ラミネート温度380℃、ラミネート圧力30N/cm、ラミネート速度1.5m/分とした。   The thermoplastic polyimide layer on the side of the obtained metal-clad laminate, to which the copper foil was not bonded, and a 12 μm thick copper foil USLP-SE made by Nippon Electrolytic Co., Ltd. were pressure-bonded using a hot roll. The pressure bonding conditions were as follows: protective material (Apical 125 NPI; manufactured by Kaneka Corporation) was used on both sides of the heat roll and the metal-clad laminate, laminating temperature 380 ° C., laminating pressure 30 N / cm, laminating speed 1.5 m / min. did.

得られた金属張積層板は、外観良好であった。   The obtained metal-clad laminate had good appearance.

(実施例2)
導体及び第二導体として、18μ厚のジャパンエナジー社製圧延銅箔BHY−22BTを用いた以外、実施例1と同様に金属張積層板を作製した。
(Example 2)
A metal-clad laminate was produced in the same manner as in Example 1 except that 18 μ-thick Japan Energy rolled copper foil BHY-22BT was used as the conductor and the second conductor.

得られた金属張積層板は、外観良好であった。   The obtained metal-clad laminate had good appearance.

(比較例1)
化学脱水剤及び触媒を用いないことを除いて、実施例1と同様の手段で金属張積層板の作製を試みた。しかしながらテンター炉の出口でポリアミド酸溶液が充分に乾燥しておらず、熱ロールで銅箔を接着せしめた際に、ポリイミド層からの溶剤揮散により金属張積層板が発泡し、極度の外観不良により金属張積層板を得ることができなかった。
(Comparative Example 1)
An attempt was made to produce a metal-clad laminate by the same means as in Example 1 except that no chemical dehydrating agent and catalyst were used. However, the polyamic acid solution is not sufficiently dried at the exit of the tenter furnace. A metal-clad laminate could not be obtained.

Claims (5)

導体上に少なくとも2種以上のポリイミド層を有する金属張積層板の製造方法であって、ポリイミド樹脂の前駆体を含む溶液またはポリイミド樹脂を含む溶液から選択される溶液であって、少なくとも1種のポリイミド樹脂の前駆体を含む溶液を含む、少なくとも2種以上の溶液を共押出によって導体上に流延して2層以上の複数層を形成する工程を含み、前記共押出に用いる溶液のうち、少なくとも1種のポリイミド樹脂の前駆体を含む溶液には化学脱水剤及び触媒を含有せしめることを特徴とする、金属張積層板の製造方法。   A method for producing a metal-clad laminate having at least two polyimide layers on a conductor, wherein the solution is selected from a solution containing a polyimide resin precursor or a solution containing a polyimide resin, and at least one kind Including a step of forming a plurality of two or more layers by coextrusion of at least two or more kinds of solutions including a solution containing a polyimide resin precursor, and among the solutions used for the coextrusion, A method for producing a metal-clad laminate, wherein a solution containing at least one polyimide resin precursor contains a chemical dehydrating agent and a catalyst. 前記化学脱水剤及び触媒が、化学脱水剤及び触媒を含有せしめる溶液に含まれるポリアミド酸中のアミド酸ユニット1モルに対して0.5〜4.0モルの化学脱水剤と0.05〜2.0モルの触媒であることを特徴とする、請求項1に記載の金属張積層板の製造方法。   The chemical dehydrating agent and the catalyst are added in an amount of 0.5 to 4.0 mol of chemical dehydrating agent and 0.05 to 2 with respect to 1 mol of amic acid unit in the polyamic acid contained in the solution containing the chemical dehydrating agent and the catalyst. The method for producing a metal-clad laminate according to claim 1, wherein the catalyst is 0.0 mol of catalyst. ポリイミド層が、少なくとも高耐熱性ポリイミド層及び熱可塑性ポリイミド層からなることを特徴とする、請求項1乃至2に記載の金属張積層板の製造方法。   The method for producing a metal-clad laminate according to claim 1, wherein the polyimide layer comprises at least a high heat resistant polyimide layer and a thermoplastic polyimide layer. ポリイミド層が、高耐熱性ポリイミド層の両面に熱可塑性ポリイミド層を設けてなることを特徴とする、請求項1乃至3に記載の金属張積層板の製造方法。   The method for producing a metal-clad laminate according to any one of claims 1 to 3, wherein the polyimide layer is provided with a thermoplastic polyimide layer on both sides of the high heat-resistant polyimide layer. 導体上に、熱可塑性ポリイミドの前駆体溶液−高耐熱性ポリイミドの前駆体溶液−熱可塑性ポリイミドの前駆体溶液を前記順で共押出によって導体上に流延した後に、乾燥・焼成せしめ、導体−熱可塑性ポリイミド層−高耐熱性ポリイミド層−熱可塑性ポリイミド層からなる積層体を作製した後、当該積層体の導体と接触していない側の熱可塑性ポリイミド層と、第二導体を熱ラミネートすることを特徴とする、請求項1乃至4に記載の金属張積層板の製造方法。   On the conductor, a precursor solution of a thermoplastic polyimide-a precursor solution of a highly heat-resistant polyimide-a precursor solution of a thermoplastic polyimide is cast on the conductor by coextrusion in the above order, and then dried and fired. After producing a laminate comprising a thermoplastic polyimide layer, a high heat resistance polyimide layer, and a thermoplastic polyimide layer, the thermoplastic polyimide layer on the side not in contact with the conductor of the laminate and the second conductor are thermally laminated. The method for producing a metal-clad laminate according to claim 1, wherein:
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