KR102031747B1 - 기판 이송을 위한 가이드 핀 및 브릿지를 구비한 기판 이송 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판에 액체를 분사하는 플러드 디바이스와 기판을 공급하는 롤러 사이에 삽입되어 기판을 안정적으로 이송하기 위한 가이드 핀과 각각의 회전축에 하나씩 설치된 긴 드럼형의 회전 롤러 사이의 간극에 배치되어 기판의 이송을 지지하는 브릿지 어셈블리를 구비한 기판 이송 시스템을 개시한다.

Description

기판 이송을 위한 가이드 핀 및 브릿지를 구비한 기판 이송 시스템 {Substrate transmitting system incorporating guide pin and bridge assembly}

본 발명은 기판 이송을 위한 가이드 핀 및 브릿지를 구비한 기판 이송 시스템에 관한 것이다. 더욱 구체적으로 본 발명은 PCB와 같은 반도체 초박막 기판을 플러드 디바이스(Flood device)로 안정적이고 정확하게 안내하기 위한 가이드 핀과 회전 롤러 사이에서 안정적이고 정확하게 안내하기 위한 브릿지 어셈블리를 구비한 기판 이송 시스템에 관한 것이다.

반도체 기판을 포함하여 초박막의 PCB에 잉크 또는 수지와 같은 액체를 분사하여 도금 또는 코팅하는 작업은, 롤러를 회전시켜 기판을 플러드 디바이스 위로 보내면서 디바이스에 설치된 슬롯을 통하여 액체를 분사하는 방법을 이용하고 있다.

그런데 플러드 디바이스와 롤러 사이에 간격이 존재하고, 분사 슬롯에서 고압으로 유출되는 잉크 등의 유체 압력이 센 이유로 인하여, 특히 기판이 박막인 경우, 플러드 디바이스에 진입하면서 펄럭이는 현상이 발생하고 이로 인하여 플러드 디바이스와 부딪혀 데미지를 입는 문제가 발생하였다. 출원인은 이 문제를 해결하기 위하여 2019년 3월 26일 출원한 10-2019-0034269호에서 기판에 액체를 분사하는 플러드 디바이스와 기판을 공급하는 롤러 사이에 삽입되어 기판을 안정적으로 이송하기 위한 가이드 핀을 제안하였다. 가이드 핀은 기판을 안내할 뿐만 아니라 디바이스와 롤러 사이의 간격을 없애 기판의 요동과 충격을 방지하며, 가이드 핀은 견고한 플라스틱으로 간편하게 제작되며 견고하다.

또, 반도체 기판을 포함하여 초박막의 PCB를 이송시키는 많은 경우, 회전 롤러를 이용하여 기판을 선형 이동시키고 있고, 회전 롤러는 기판의 이송 방향으로 복수 행 배치된다. 그런데, 기판이 고속으로 회전하는 회전 롤러를 통과하는 경우 롤러와 롤러 사이의 간극에 빠지거나 걸려 원활히 통과하지 못하는 문제가 있다. 출원인은 이 문제를 해결하기 위하여 2019년 3월 26일 출원한 10-2019-0034312호에서 회전축에 하나씩 설치된 긴 드럼형의 회전 롤러 사이의 간극에 배치되어 기판의 이송을 지지하는 브릿지 어셈블리로서, 회전 롤러 사이의 간극을 덮는 긴 프레임의 플레이트와, 플레이트의 상부에 현가되어 좌우로 이동 가능하며 플레이트에 조립되는 서포트로 이루어진 브릿지 어셈블리를 제안하였다.

본 발명은 상기 두 부재를 구비한 기판 이송 시스템에 관한 것이다.

그러므로 본 발명은 PCB와 같은 반도체 초박막 기판을 플러드 디바이스(Flood device)로 안정적이고 정확하게 안내하기 위한 가이드 핀과, 회전 롤러 사이에서 안정적이고 정확하게 안내하기 위한 브릿지 어셈블리를 구비한 기판 이송 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 초박막 기판을 클린, 세정, 에칭, 프리 딥, 동도금 및 건조 공정을 거쳐 언로딩 하는 기판 이송 시스템에 있어서, 상기 기판 이송 시스템은 상기 공정 중의 어느 하나 이상의 공정에 가이드핀과 브릿지 어셈블리를 설치하고, 상기 가이드핀은; 기판에 액체를 분사하는 플러드 디바이스와, 플러드 디바이스의 전면에 인접하여 설치되는 복수의 롤러 사이에 장착되는 가이드 핀으로서, 가이드 격벽과 가이드 격벽에 설치되는 가이드를 포함하고, 상기 가이드 격벽은 상기 롤러의 일부를 수용하는 수용부와 상기 가이드가 장착되는 삽입 공간을 제공하는 지지부가 교대적으로 반복하여 형성되며, 상기 브릿지 어셈블리는; 각각의 회전축에 설치된 회전 롤러 사이의 간극에 배치되어 기판의 이송을 지지하는 브릿지 어셈블리로서, 상기 브릿지 어셈블리는 상기 회전 롤러 사이의 간극을 덮는 긴 프레임의 플레이트와, 상기 플레이트의 상부에 현가되어 좌우로 이동 가능하며 상기 플레이트에 조립되는 서포트로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템을 제공한다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 이송 시스템은 상술한 가이드 핀 또는 브릿지 어셈블리를 선택적으로 구비할 수 있다.

본 발명은 플러드 디바이스로 공급되는 초박막 기판이 요동하거나 펄럭이는 것을 최대한 방지하고 플러드 디바이스와의 충돌에 의하여 데미지를 입는 현상을 방지하고, 기판 제작의 불량률을 줄이고 생산성을 향상시킬 수 있다.

본 발명의 브릿지 어셈블리는 회전 롤러 사이의 간극을 없애거나 최소화하므로 고속으로 초박막 기판을 안정적이고 신속하게 이송할 수 있으며, 조립형으로 제작되므로 기판의 제조 공정에 맞추어 호한성을 높일 수 있고 유지보수가 편리하다.

본 발명의 기판 이송 시스템은 상기 플러드 디바이스와 브릿지 어셈블리를 구비하므로 생산성과 작업 효율을 비약적으로 향상시키고 불량률을 줄일 수 있다.

도 1은 본 발명의 가이드 핀의 가이드 격벽의 사시도;
도 2는 본 발명의 가이드 핀의 가이드 격벽의 전면도;
도 3a는 본 발명의 가이드 격벽의 삽입 공간에 체결되는 가이드의 사시도;
도 3b는 가이드의 전면도;
도 4는 가이드 격벽에 가이드가 체결된 사시도;
도 5는 도 4의 가이드 핀을 도 1의 롤러와 플러드 디바이스 사이에 장착한 것을 보인 사시도;
도 6은 도 5의 측면 일부 확대도;
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 가이드 핀의 장착례를 보인 도면;
도 8은 본 발명의 브릿지 어셈블리의 사시도;
도 9는 본 발명의 플레이트의 사시도;
도 10은 본 발명의 서포트의 측면도;
도 11은 본 발명의 브릿지 어셈블리를 3행으로 배치된 회전 롤러의 간극 사이에 삽입하여 장착한 것을 보인 사시도;
도 12는 도 11 A-A선 단면도;
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 시스템의 평면도; 그리고
도 14는 도 13의 측면도이다.

본 발명은 특허출원 제10-2019-0034269호 및 제10-2019-0034312호의 내용을 토대로 하며, 위 두 출원은 여기서의 언급으로 본 발명의 내용에 통합되는 것으로 한다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부 도면을 참조로 상세히 설명한다.

1. 가이드 핀

먼저 본 발명의 가이드핀(1A)에 대하여 설명한다.

본 발명의 가이드핀의 특징은 플러드 디바이스와 롤러 사이에 초박막의 기판을 안정적으로 유도하고 두 부재 사이의 갭을 최소화할 수 있는 구성으로서 가이드 핀(1A)을 제공하는 점에 있다. 본 발명의 플러드 디바이스는 기판을 도금, 코팅, 세정 또는 세척하기 위하여 기판에 액체를 분사하는 장치를 말한다. 가이드 핀(1A)은 가이드 격벽(2A)과, 가이드 격벽(2A)에 조립되는 가이드(30A)로 이루어진다.

도 1은 본 발명의 가이드 핀(1A)의 가이드 격벽(2A)의 사시도이고, 도 2는 전면도이다.

가이드 격벽(2A)은 롤러(RA)와 플러드 디바이스(100A) 사이에 장착되며 따라서 좌우로 긴 형상이다. 가이드 격벽(2A)은 도시한 것과 같이 높이가 좌우에 비하여 긴 직사각형 형상의 지지부(4A)를 일정한 간격으로, 예를 들어 9개 형성하고 있다. 가이드 격벽(2A)의 상부 및 하부는 긴 판 형상의 테두리(52Aa, 52Ab)로 경계가 이루어진다. 지지부(4A)는 상부로 돌출된 직사각형의 프레임(40A)을 포함하며, 프레임(40A)의 중앙에는 상부테두리(52Aa)에서 프레임(40A)의 중간 높이를 지난 지점까지 슬림한 사각형상으로 천공된 제1슬롯(42A)과, 제1슬롯(42A)에 연속하여 제1슬롯(42A)보다 폭이 넓은 사각형상으로 형성된 제2슬롯(44A)이 형성된다. 제1 및 제2슬롯(42A,44A)은 삽입 공간(46A)을 형성하며, 삽입 공간(46A)으로는 후술하는 가이드가 체결된다. 프레임(40A)의 전면(50A)과 양 측면은 최소한 상부 및 하부 테두리(52Aa,52Ab)보다 긴 높이로 형성된 볼록한 입체 구조이다.

인접한 지지부(4A) 사이에는 상부 및 하부 프레임(52Aa,52Ab)으로 경계가 이루어지는 공간인 수용부(60A)가 교대적으로 복수 개 형성된다. 수용부(60A)의 폭은 지지부(4A)의 폭과 동일하지만 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 후술하는 것과 같이 롤러(RA)의 일부가 수용부(60A) 내부에 삽입되며, 롤러(RA)를 연결하는 축은 지지부(40A)와 대면하도록 설치되므로, 가이드 격벽(2A)은, 볼록한 지지부(4A)와 오목한 수용부(60A)로 이루어지는 요철 구조가 반복된 구조를 취한다.

도 3a는 본 발명의 가이드 격벽(2A)의 삽입 공간(46A)에 체결되는 가이드(30A)의 사시도이고, 도 3b는 전면도이다.

두 도면을 같이 참조하면, 가이드(30A)는 직사각형 형상의 두터운 베이스(38A)와, 베이스(38A)의 중앙에서 일체로 위로 연장된 슬림한 사각 형상의 컬럼(36A)과, 컬럼(36A)의 일측면에서 전방으로 연장되며 선단이 곡면으로 구부러진 안내부(32A)로 이루어진다. 안내부(32A)와 컬럼(36A)이 교차하는 부분에는 단차(34A)가 형성된다. 가이드(30A)의 높이는, 가이드 격벽(2A)을 하면에서 보았을 때 베이스(38A)와 칼럼(36A)이 보이도록, 즉 삽입 공간(46A)을 모두 채우도록 제작된다.

도 4는 가이드 격벽(2A)에 가이드(30A)가 체결된 사시도를 도시하고 있다. 두 부재의 결합으로 본 발명의 가이드 핀(1A)이 완성된다.

가이드(30A)의 베이스(38A)는 제2슬롯(44A)에 압입되며, 컬럼(36A)은 제1슬롯(42A)에 압입된다. 두 부재가 안정적으로 체결되도록 제1 및 제2슬롯(42A,44A)은 컬럼(36A) 및 베이스(38A)와 실질적으로 동일하거나 미세하게 큰 크기를 가지도록 제작된다. 가이드(30A)의 안내부(32A)는 프레임(40A)에서 전방을 향하여 후크와 같이 돌출된다. 또, 단차(34A)는 상부테두리(52Aa)와 맞닿아 결착되며, 따라서 가이드(30A)는 삽입 공간(46A)을 빈틈없이 채우게 된다. 이로써 본 발명의 가이드 핀(1A)의 조립이 완성된다.

가이드 핀(1A)은 견고한 플라스틱 재료로 제작되지만 이에 한정되지 않는다. 또, 가이드 격벽(2A)과 가이드(30A)의 조립형을 설명하였지만, 일체로 제작하는 것도 가능하다. 조립형의 경우는 가이드(30A), 특히 그 안내부(32A)의 형상이나 크기를 변경하여 기판 이송 조건과 환경에 맞추어 변경 사용할 수 있는 장점이 있으며, 유지 보수에 편하다. 가이드(30A)는 가이드 격벽(2A)의 모든 삽입 공간(46A)에 체결할 수도 있지만 기판의 이송 환경에 따라서는 펄럭임이나 요동이 발생하는 위치에 선택적으로 조립해서 사용하는 것도 가능하다.

도 5는 도 4의 가이드 핀(1A)을 도 1의 롤러(RA)와 플러드 디바이스(100A) 사이에 장착한 것을 보인 사시도이고, 도 6은 도 5의 측면 일부 확대도이다.

도 4의 가이드 핀(1A)을 수직으로 입설한 상태에서 롤러(RA)와 플러드 디바이스(100A) 사이에서, 가이드 핀(1A)의 상면이 플러드 디바이스(100A)의 상면과 동일한 높이까지 가이드 핀(1A)을 삽입한다. 이 위치는 가이드(30A)의 안내부(32A)의 하면이 롤러(RA)의 축(RA’)과 막 맞닿기 시작하는 지점이다. 이 위치에서, 롤러(RA)의 외주면 일부는 디바이스(100A)의 수용부(60A) 내부에 삽입된다. 또, 롤러(RA)를 연결하는 축(RA’)은 측면에서는 지지부(4A)와 대면함과 동시에 상면은 가이드(30A)의 안내부(32A)의 하면과 접촉한다. 기판(SA)의 이송 작업 중, 롤러(RA)와 롤러(RA)의 축(RA’)은 지지부(4A)와는 직접 접촉하지 않음으로써 롤러(RA)의 회전 운동이 방해되지 않도록 설계하는 것이 좋다.

본 발명의 가이드 핀(1A)에 의하면, 도 6에서 알 수 있는 것과 같이, 기판(SA)이 가이드(30A)의 안내부(32A)의 상면을 통하여 안정적으로 지지되면서 플러드 디바이스(100A)로 진입하고, 롤러(RA)와 플러드 디바이스(100A) 사이의 간격은 상부 테두리(52Aa)에 의하여 좁혀지고, 롤러축(RA’)과 플러드 디바이스(100A) 사이의 간격은 지지부(4A)에 의하여 좁혀지므로, 초박막의 기판(SA)이 이송되면서 펄럭이거나 흔들리는 현상이 감소하며 플러드 디바이스(100A)와 충돌하여도 큰 데미지를 입지 않게 된다.

가이드 핀(1A)은 롤러(RA)와 플러드 디바이스(100A) 사이에서 필요한 곳에 부분 설치되거나 또는 모든 공간을 덮도록 긴 하나의 아이템으로 제작될 수 있다.

또, 가이드 핀(1A)의 상면이 플러드 디바이스(100A)의 상면보다 약간 높은 위치까지 삽입하는 것도 가능하다.

도 7은 본 발명의 다른 실시예로서 플러드 디바이스(100A)와 롤러(RA)가 상하 셋트를 이루어 배열된 경우 한 쌍의 가이드핀(1A)이 각각의 플러드 디바이스(100A)와 롤러(RA) 사이에 배치된 것을 보이고 있다. 가이드 핀(1A)은 플러드 디바이스(100A)의 입구뿐만 아니라 필요한 경우에는 출구에도 배치되어 코팅 또는 도금을 마친 기판을 안정적으로 안내할 수 있다. 입구에서의 가이드핀(1A)은 앞서의 실시예와 달리 플러드 디바이스(100A)의 입구부의 상부를 커버하는 보호부(1AA)를 더 형성하고 있다. 기판(SA)이 상하의 보호부(1AA)에 의해 간극에 걸리지 않고 유체의 분사력에 흔들리지 않고 롤러(RA) 사이에 압착되므로 안정적으로 전진한다. 출구에서의 가이드핀(1A)은 플러드 디바이스와 면하지 않고 유체의 분사에 펄럭일 위험이 없으므로 전술한 실시예와 같은 가이드핀(1A)을 사용하여도 무방하다.

이와 같이 본 발명의 가이드 핀(1A)은 플러드 디바이스(100A)와 관련하여 작업 환경에 따라 적절한 위치에 장착할 수 있으므로 활용도가 높고 실용적이다.

2. 브릿지 어셈블리

다음, 본 발명의 브릿지 어셈블리(1B)에 대하여 설명한다.

본 발명의 특징은 회전 롤러와 회전 롤러 사이에 초박막의 기판을 안정적으로 유도하고 두 부재 사이의 갭을 메울 수 있는 구성으로서 브릿지 어셈블리(1B)를 제공하는 것에 있다.

도 8에 도시한 것과 같이 본 발명의 브릿지 어셈블리(1B)는 플레이트(2B)와, 플레이트(2B)에 조립되는 이동 가능한 서포트(4B)로 이루어진다. 브릿지 어셈블리(1B)는 회전 롤러와의 간극 사이에 배치되어 간극을 덮도록 회전 롤러(RB)의 축 방향 길이보다 큰 길이를 가지도록 제작된다. 서포트(4B)는 플레이트(2B)상에서 길이 방향으로 이동 가능하다. 여기서 플레이트(2)의 길이 방향은 플레이트(2)가 설치되는 경우 긴 변을 따르는 방향이며, 도 1에서는 좌우 방향에 해당한다.

도 9는 플레이트(2B)의 사시도이다. 플레이트(2B)는 SUS재질로 견고한 물성을 가진다. 플레이트(2B)는 좌우 길이가 긴 슬림한 판 형상이며, 슬림한 사각형의 윈도우(22B)가 비교적 상부에 형성되고, 윈도우(22B)를 기준으로 아래에는 베이스(20B), 위에는 브릿지(26B)가 위치한다. 플레이트(2B)의 양측면은 보강부(24B)로 강화되어 있다.

도 10은 서포트(4B)의 측면도이다. 서포트(4B)는 플라스틱으로 제작되나, 재질이 한정되는 것은 아니다. 서포트(4B)의 상부에는 타원형 또는 사각형의 제1채널(46B)이 형성되고, 제1채널(46B)과 연통해서는 슬림한 사각 형상의 제2채널(48B)이 형성된다. 제2채널(48B)의 폭은 제1채널(46B)의 폭보다 작으며, 따라서 경계부에는 소정 각도의 단차(426B)가 형성된다. 제1채널(46B)을 둘러서는 레그(44B)가, 제2채널(48B)을 둘러서는 지지부(40B)가 형성된다. 본 발명의 특징 중의 하나는 지지부(40B)의 상면, 즉 서포트(4B)의 상면(42Ba)이 도시한 것처럼 오른쪽으로 상향 경사진 것에 있다. 오른쪽이 기판의 진행 방향이며, 이와 같이 경사진 상면(42Ba)은 기판이 재치되거나 접촉하는 경우 다음 회전 롤러로 기판을 밀어 올려 부드럽게 이송하는데 도움을 준다. 상면(42Ba)의 경사각은 40도 내지 50도의 범위가 바람직하나, 이는 일례이며, 회전 롤러(RB)나 간극의 크기에 따라 적절히 변경될 수 있음은 물론이다.

지지부(40B)의 일측면(우측)은 약간 곡선형으로 오목한 곡면을 포함하는 제1측면부(420B)가 형성되고, 타측면(좌측)에는 역시 약간 곡선형으로 오목한 곡면을 포함하는 제2측면부(422B)가 형성된다. 제1측면부(420B)가 제2측면부(422B)보다 더 오목하고 곡률 변화율이 큰 이유는 상면(42Ba)이 우측으로 상향 경사하여 타측면인 우측이 회전 롤러(RB)와 접촉하는 면적이 더 많아 진 것을 고려하였기 때문이다.

본 발명의 다른 특징 중의 하나는 서포트(4B)를 플레이트(2B)에 조립식으로 탈부착할 수 있다는 점에 있다. 조립 시, 작업자는 서포트(4B)의 제2채널(48B)로 플레이트(2B)의 브릿지(26B)를 강제로 밀어 넣는다. 그러면, 브릿지(26B)는 제2채널(48B)을 통과하여 제1채널(46B) 내부에 안착된다. 서포트(4B)는 브릿지(26B)에 현가된 상태가 되므로, 작업자는 이송되는 기판의 크기, 간극 문제가 발생하는 지점 등 작업 환경을 고려하여 브릿지(26B)를 따라 서포트(4B)의 위치를 좌우로 적절히 이동시킬 수 있다. 서포트(4B)는 브릿지(26B)를 따라 윈도우(22B)를 덮으면서 이동되어 그 위치에서 고정된다.

브릿지(26B)의 폭은 제2채널(48B)의 폭 이상으로 제작되고, 제1채널(46B)의 폭 보다는 작게 제작되어 일단 조립된 후 서포트(4B)가 플레이트(2B)에서 빠지지 않고, 브릿지(26B)가 단차(426B)에 걸림으로써 서포트(4B)가 안정적으로 현가되는 것이 바람직하다. 서포트(4B)가 조립형으로 공급되므로 상이한 공정에서 상이한 수치의 회전 롤러를 배치한 현장에서도 그 규격을 변경하여 대응할 수 있으므로 호환성과 범용성이 우수하다.

도 11은 본 발명의 브릿지 어셈블리(1B)를 3행으로 배치된 회전 롤러(RB)의 간극 사이에 삽입하여 장착한 것을 보인 사시도이다.

브릿지 어셈블리(1B)가 적용되는 회전 롤러(RB)는 도시한 것과 같이 회전축에 하나씩 설치된 긴 드럼형의 회전 롤러(RB)로서 상호 간 어느 정도 간극이 있는 것이 바람직하다. 또는 1. 항목에서 살펴본 것과 같은 다수의 소형 롤러에도 서포트(4B)를 다수 형성하여 적용할 수 있다. 플레이트(2B)는 회전 롤러(RB) 사이의 간극에서, 서포트(4B)의 제1측면부(420B)와 제2측면부(422B)가 각각 인접하는 롤러(RB)의 외면과 맞닿는 위치까지 아래로 삽입된다. 플레이트(2B) 뿐만 아니라 특히 복수의 서포트(4B)가 회전 롤러(RB) 사이의 간극을 완전히 채우므로 이송 중인 기판이 회전 롤러(RB) 사이의 간극에 걸리거나 끼일 염려 없이 원활하고 신속하게 운반될 수 있다.

도 12는 도 11의 A-A 단면도이다. 기판은 화살표 방향으로 이송된다. 전술한 것과 같이 기판의 이송 방향으로 상향 경사진 상면(42Ba)은 기판이 재치되거나 접촉하는 경우 다음 회전 롤러로 기판을 밀어 올려 부드럽게 이송하는데 도움을 준다. 서포트(4B)의 제1측면부(420B)와 제2측면부(422B)는 곡면형이므로 회전하는 롤러(RB)의 외주부와 간극 없이 맞닿는다. 제1 및 제2측면부(420B,422B)의 형상이 다소 상이한 이유는 전술한 것과 같다.

3. 기판 이송 시스템

다음, 본 발명의 기판 이송 시스템(1)에 대하여 설명한다. 도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 시스템(1)의 평면도, 도 14는 그 측면도이다.

기판 이송 시스템(1)은 기판의 로딩(loading)에서 언로딩(unloading)까지 도면의 좌측에서 우측을 향하여 차례로 클리너(cleaner;12), 1차 세정기(rinse device;14), 에칭 클리너(16), 2차 세정기(18), 프리 딥 장치(pre-dip device;20), 활성화기(activator; 22), 3차 세정기(23), 환원기(reducer;24), 4차 세정기(25), 무전해 동도금 장치(26), 5차 세정기(27) 및 건조기(28)를 구비하고 있다. 따라서, 로더(loader;10)에 재치된 기판은 클린, 세정, 에칭, 프리 딥, 동도금 및 건조 과정을 거쳐 언로더(unloader;30)에 의하여 외부로 반출된다.

본 발명의 기판 이송 시스템(1)에서, 가이드 핀(1A)은, 클리닝, 세정, 에칭, 프리-딥, 활성화 및 환원 공정에 사용될 수 있다. 즉, 가이드핀(1A)은 액체의 종류나 용도에 제한 없이, 액체가 분사되는 플러드 디바이스(100A)가 이용될 수 있는 공정으로서 롤러로 기판을 이송시키는 공정에 적용될 수 있다. 이와 달리 작업 환경과 효율을 고려하여 공정 중의 어느 일부에 한정하여 사용하거나 한 공정에서 일부 구간에만 적용하는 것도 가능함은 물론이다.

본 발명의 기판 이송 시스템에서, 브릿지 어셈블리(1B)는, 클리닝, 세정, 에칭, 프리-딥, 활성화, 환원, 동도금 건조 및 건조공정에 두루 사용될 수 있다. 즉, 브릿지 어셈블리(1B)는 롤러로 기판을 이송시키는 공정에는 모두 적용될 수 있는 점에서 가이드 핀(1A)보다 적용 범위는 넓다. 다만, 작업 환경과 효율을 고려하여 공정 중의 어느 일부에 한정하여 사용하거나 한 공정에서 일부 구간에만 적용하는 것도 가능하다.

도 14의 확대도는 1차 세정 공정에서 기판이 브릿지 어셈블리(1B)와 가이드핀(1A)을 차례로 통과하는 것을 도시하고 있다.

플러드 디바이스(100A)를 중심으로 기판이 들어오는 입구부의 상하에 가이드핀(1A)을 장착하고, 출구부의 상부에 가이드핀(1A)을 부착하고 있다. 가이드핀(1A)의 구조와 형상은 도 7의 가이드핀(1A)과 동일하다. 가이드핀(1A)이 설치되는 롤러는 롤러(RA)로 표시하였다.

기판은 플러드 디바이스(100A)로 진입하기 이전에 도 12에 도시한 것과 같은 플레이트(2B)와 서포트(4B)로 이루어진 브릿지 어셈블리(1B)를 통과하여 전달된다. 브릿지 어셈블리(1B)에 관여하는 롤러는 롤러(RB)로 표시하였다. 브릿지 어셈블리(1B)는 플러드 디바이스(100A)의 출구부에도 설치하는 등 다양한 변경이 가능함은 물론이다.

이상 본 발명의 기판 이송 시스템(1)은 일례를 든 것이며, 본 발명의 가이드핀(1A)과 브릿지 어셈블리(1B)는 플러드 디바이스 및/또는 롤러 이동 구조를 가지는 어느 시스템에도 유연하게 적용할 수 있다.

(1A): 가이드 핀 (2A): 가이드 격벽 (4A): 지지부 (46A): 삽입 공간 (60A): 수용부 (100A): 플러드 디바이스 (RA, RB): 롤러 (S): 기판 (1B): 브릿지 어셈블리 (2B): 플레이트 (4B): 서포트

Claims (3)

1. 초박막 기판을 클린, 세정, 에칭, 프리 딥, 동도금 및 건조 공정을 거쳐 언로딩 하는 기판 이송 시스템(1)에 있어서, 상기 기판 이송 시스템(1)은 상기 공정 중의 어느 하나 이상의 공정에 가이드핀(1A)과 브릿지 어셈블리(1B)를 설치하고.
   상기 가이드핀(1A)은; 기판에 액체를 분사하는 플러드 디바이스와, 플러드 디바이스의 전면에 인접하여 설치되는 복수의 롤러(RA) 사이에 장착되는 가이드 핀으로서, 가이드 격벽과 가이드 격벽에 설치되는 가이드를 포함하고, 상기 가이드 격벽은 상기 롤러(RA)의 일부를 수용하는 수용부와 상기 가이드가 장착되는 삽입 공간을 제공하는 지지부가 교대적으로 반복하여 형성되며, 상기 가이드는 상기 삽입 공간에 수용되는 경우 롤러를 향하여 연장되어 기판의 이송을 안내하기 위한 안내부를 포함하며, 상기 삽입 공간은 슬림한 형상으로 천공된 제1슬롯과, 제1슬롯에 연속하여 형성된 제2슬롯에 의하여 제공되며, 상기 가이드는 제2슬롯에 압입되는 베이스와 제1슬롯에 압입되는 컬럼을 포함하고,
   상기 브릿지 어셈블리(1B)는; 각각의 회전축에 설치된 회전 롤러(RB) 사이의 간극에 배치되어 기판의 이송을 지지하는 브릿지 어셈블리(1B)로서, 상기 브릿지 어셈블리(1B)는 상기 회전 롤러(RB) 사이의 간극을 덮는 긴 프레임의 플레이트와, 상기 플레이트의 상부에 현가되어 플레이트의 길이 방향으로 이동 가능하며 상기 플레이트에 조립되는 서포트로 이루어지며,
   상기 서포트의 기판이 이송되는 방향 쪽의 일측면은 곡선형으로 오목한 곡면을 포함하는 제1측면부가 형성되고, 기판이 접근하는 방향 쪽의 타측면은 곡면을 포함하는 제2측면부가 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
   
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