KR102010330B1 - Heat exchanger and heat exchanger module and manufacturing method of heat exchanger - Google Patents

Heat exchanger and heat exchanger module and manufacturing method of heat exchanger Download PDF

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Abstract

본 발명은 약액을 열교환 시키기 위한 열교환 면적을 증대시켜 열교환 효율을 향상시킬 수 있도록 하는 열교환기 및 이의 제조방법과, 열교환 모듈 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명은 기판처리장치의 약액 배출구에 연결되고, 상기 약액 배출구로 배출되는 고온의 약액을 열교환 시키기 위한 열교환 공간을 형성하는 본체하우징을 갖는 본체유닛; 상기 본체하우징의 내부에 배치되는 고정부재와, 상기 고정부재의 전단을 밀폐하는 전단플레이트와, 상기 고정부재의 후단을 밀폐하는 후단플레이트를 포함하는 고정유닛; 상기 고정부재의 외측면에 코일 형태로 감기도록 설치되되, 상기 고정부재의 반경방향으로 적층되는 제1층 냉각관 및 제2층 냉각관을 가지며, 상기 약액과 열교환 되도록 냉각유체가 흐르는 적어도 하나의 냉각관; 및 상기 제1층 냉각관과 상기 제2층 냉각관 사이에 배치되어, 상기 제1층 냉각관과 제2층 냉각관 사이의 간격을 유지시키기 위한 간격유지부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 열교환기 및 이의 제조방법과, 열교환 모듈 및 이의 제조방법을 제공한다.The present invention relates to a heat exchanger and a method for manufacturing the same, and a heat exchange module and a method for manufacturing the same to increase the heat exchange area for heat-exchanging the chemical liquid.
The present invention is connected to the chemical liquid outlet of the substrate processing apparatus, the main body unit having a body housing for forming a heat exchange space for heat-exchanging the high temperature chemical liquid discharged to the chemical liquid outlet; A fixing unit including a fixing member disposed inside the main body housing, a front plate sealing the front end of the fixing member, and a rear end plate sealing the rear end of the fixing member; At least one cooling coil is installed on the outer surface of the fixing member in a coil form and has a first layer cooling tube and a second layer cooling tube stacked in a radial direction of the fixing member, and a cooling fluid flows to exchange heat with the chemical liquid. Cooling tube; And a spacing member disposed between the first layer cooling tube and the second layer cooling tube to maintain a gap between the first layer cooling tube and the second layer cooling tube. And a method for manufacturing the same, and a heat exchange module and a method for manufacturing the same.

Figure R1020170104717
Figure R1020170104717

Description

열교환기와 열교환기 모듈 및 열교환기의 제조방법{HEAT EXCHANGER AND HEAT EXCHANGER MODULE AND MANUFACTURING METHOD OF HEAT EXCHANGER}Heat exchanger and heat exchanger module and manufacturing method of heat exchanger {HEAT EXCHANGER AND HEAT EXCHANGER MODULE AND MANUFACTURING METHOD OF HEAT EXCHANGER}

본 발명은 열교환기와 열교환기 모듈 및 열교환기의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 약액을 열교환 시키기 위한 열교환 면적을 증대시켜 열교환 효율을 향상시킬 수 있도록 하는 열교환기와 열교환기 모듈 및 열교환기의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a heat exchanger, a heat exchanger module, and a heat exchanger, and more particularly, to manufacture a heat exchanger, a heat exchanger module, and a heat exchanger to increase a heat exchange area for heat exchange of a chemical liquid to improve heat exchange efficiency. It is about a method.

일반적으로 반도체 디바이스 또는 평판 디스플레이(FPD; flat panel display)의 제조공정에서는 피처리기판(실리콘 웨이퍼 또는 유리 기판)상의 특정 기능을 수행하는 박막, 예를 들면, 산화 박막, 금속 박막, 반도체 박막 등이 원하는 형상으로 패터닝(patterning)되도록 광원과 반응하는 감광액(sensitive material)을 상기 박막상에 도포하는 공정이 수행된다.In general, in the manufacturing process of a semiconductor device or flat panel display (FPD), a thin film that performs a specific function on a substrate (silicon wafer or glass substrate), for example, an oxide thin film, a metal thin film, a semiconductor thin film, etc. A process of applying a sensitive material on the thin film, which reacts with a light source, is patterned so as to be patterned into a desired shape.

이처럼 피처리기판의 박막에 소정의 회로패턴이 구현되도록 감광액을 도포하여 감광막 코팅하고, 회로패턴에 대응하여 상기 감광막을 노광하며, 노광된 부위 또는 노광되지 않은 부위를 현상처리 하여 제거하는 일련의 과정을 사진공정 또는 포토리소그래피(Photolithography)공정이라 한다.As described above, a photoresist is coated by applying a photoresist to a thin film of a substrate to be processed so as to realize a predetermined circuit pattern. The photoresist film is exposed to correspond to the circuit pattern, and a series of processes of developing and removing exposed or unexposed parts are performed. This is called a photo process or a photolithography process.

일례로, 상기한 사진공정에서는 감광막에 노광 완료된 기판을 컨베이어 등으로 일방향 수평이송하며 현상하는 과정이 진행된다.For example, in the above-described photo process, the process of developing the substrate having been exposed to the photosensitive film by horizontally transferring the substrate in one direction is performed.

구체적으로, 기판 현상 처리시에는 일방향으로 수평 이송되는 기판의 표면에 현상을 위한 약액을 분사하여 기판의 노광된 부위 또는 노광되지 않은 부위를 약액에 의해 제거하고, 기판 현상에 사용된 약액을 회수 처리하는 과정이 진행된다.Specifically, during the substrate development process, chemicals for development are sprayed onto the surface of the substrate horizontally transported in one direction to remove the exposed or unexposed portions of the substrate with the chemicals, and the chemicals used for the substrate development are recovered. The process proceeds.

한편, 약액을 회수하는 과정에서 약액의 온도를 제어하기 위한 열교환기를 이용한 열교환 과정이 진행된다.Meanwhile, in the process of recovering the chemical liquid, a heat exchange process using a heat exchanger for controlling the temperature of the chemical liquid is performed.

종래의 열교환기는 여러 다발의 냉각관 튜브들의 양단을 각각 하나의 고정부재로 묶은 후 약액이 채워진 열교환챔버 내부에 배치된 구조를 가진다. 즉. 약액이 채워진 열교환챔버 내부에 냉각관 튜브들이 흐트러진 상태로 배치되며, 냉각관 튜브들의 양단은 각각 융착된 상태에서 하나의 고정부재로 묶인 상태로 상기 열교환챔버에 배치된다.A conventional heat exchanger has a structure in which both ends of a plurality of cooling tube tubes are bundled into one fixing member, and then disposed inside a heat exchange chamber filled with a chemical liquid. In other words. Cooling tube tubes are disposed in a state in which the chemical liquid is filled in the heat exchange chamber, and both ends of the cooling tube tubes are disposed in the heat exchange chamber in a state in which the cooling tube tubes are fused and bound by one fixing member.

그러나, 종래의 열교환기에 따르면 고정부재에 의하여 묶여진 냉각관 튜브들의 양단에서 냉각관튜브들이 서로 접촉하면서 사이 간격이 없는 상태로 뭉쳐지게 되므로 외관상 깔끔하지 않을 뿐만 아니라 열교환이 일어나지 않는 영역이 발생하게 되어 열교환 효율이 떨어지는 문제점이 있었다.However, according to the conventional heat exchanger, the cooling tube tubes at both ends of the cooling tube tubes bundled by the fixing member are brought together in contact with each other with no gap therebetween so that they are not neat in appearance and heat exchange does not occur. There was a problem of low efficiency.

또한, 열교환챔버 내부에 배치된 냉각관튜브들이 무작위로 풀어진 상태로 배치됨으로써 냉각관튜브와 약액 상호간의 열교환이 균일하지 않게 되어 열교환 효율이 균일하지 못한 문제점이 있었다. In addition, since the cooling tube tubes disposed in the heat exchange chamber are randomly disposed in a state in which the cooling tube tubes are randomly released, the heat exchange efficiency between the cooling tube tube and the chemical liquid is not uniform and thus the heat exchange efficiency is not uniform.

대한민국 등록특허공보 제10-1725717호(발명의 명칭 : 이중 원통 다관형 열교환기, 2017. 04. 04. 등록)Republic of Korea Patent Publication No. 10-1725717 (Invention name: Double Cylindrical Shell And Tube Heat Exchanger, 2017. 04. 04. registration)

본 발명의 목적은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 냉각관의 제1층 냉각관 및 제2층 냉각관 사이에 간격유지부재를 배치하여 제1층 냉각관과 제2층 냉각관 사이 간격을 유지시킴으로써, 약액과 냉각관 간의 열교환 면적을 증가시킬 수 있도록 하는 열교환기와 열교환기 모듈 및 열교환기의 제조방법을 제공하는데 있다.Disclosure of Invention An object of the present invention is to solve a conventional problem, by providing a space keeping member between a first layer cooling tube and a second layer cooling tube of a cooling tube to reduce a gap between a first layer cooling tube and a second layer cooling tube. The present invention provides a heat exchanger, a heat exchanger module, and a method of manufacturing a heat exchanger, by which the heat exchange area between the chemical liquid and the cooling tube can be increased.

상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 열교환기는 기판처리장치의 약액 배출구에 연결되고, 상기 약액 배출구로 배출되는 고온의 약액을 열교환 시키기 위한 열교환 공간을 형성하는 본체하우징을 갖는 본체유닛; 상기 본체하우징의 내부에 배치되는 고정부재와, 상기 고정부재의 전단을 밀폐하는 전단플레이트와, 상기 고정부재의 후단을 밀폐하는 후단플레이트를 포함하는 고정유닛; 상기 고정부재의 외측면에 코일 형태로 감기도록 설치되되, 상기 고정부재의 반경방향으로 적층되는 제1층 냉각관 및 제2층 냉각관을 가지며, 상기 약액과 열교환 되도록 냉각유체가 흐르는 적어도 하나의 냉각관; 및 상기 제1층 냉각관과 상기 제2층 냉각관 사이에 배치되어, 상기 제1층 냉각관과 제2층 냉각관 사이의 간격을 유지시키기 위한 간격유지부재;를 포함한다.In order to achieve the above object of the present invention, the heat exchanger of the present invention is connected to the chemical liquid outlet of the substrate processing apparatus, the body unit having a body housing for forming a heat exchange space for heat-exchanging the high temperature chemical liquid discharged to the chemical liquid outlet ; A fixing unit including a fixing member disposed inside the main body housing, a front plate sealing the front end of the fixing member, and a rear end plate sealing the rear end of the fixing member; At least one cooling coil is installed on the outer surface of the fixing member in a coil form and has a first layer cooling tube and a second layer cooling tube stacked in a radial direction of the fixing member, and a cooling fluid flows to exchange heat with the chemical liquid. Cooling tube; And a gap maintaining member disposed between the first layer cooling tube and the second layer cooling tube to maintain a gap between the first layer cooling tube and the second layer cooling tube.

이때, 상기 본체유닛은 상기 본체하우징의 전단을 밀폐시키고, 상기 기판처리장치의 약액 배출구와 연결되어 상기 약액을 상기 열교환 공간으로 유입시키기 위한 약액 유입포트가 설치되는 제1 커버를 더 포함할 수 있다.In this case, the main body unit may further include a first cover which seals the front end of the main body housing, and is connected to the chemical liquid outlet of the substrate processing apparatus and is provided with a chemical liquid inlet port for introducing the chemical liquid into the heat exchange space. .

한편, 본 발명의 열교환기는 상기 본체하우징의 전단부에 설치되되, 상기 본체하우징의 내부와 연통되게 설치되고, 상기 냉각관의 일측 단부가 관통 설치되어 외부로 노출되도록 하기 위한 제1 냉각관 설치구;를 더 포함할 수 있다. On the other hand, the heat exchanger of the present invention is installed in the front end of the main body housing, is installed in communication with the inside of the main body housing, one end of the cooling pipe is installed through the first cooling pipe installation port to be exposed to the outside It may further include;

또한, 본 발명의 열교환기는 상기 본체하우징의 내부에 설치되되, 상기 제1 커버와 상기 전단플레이트 사이에 배치되어, 유입된 약액을 상기 열교환 공간으로 분산시키기 위한 제1 유동제어부재를 더 포함할 수 있다.The heat exchanger of the present invention may further include a first flow control member installed inside the body housing and disposed between the first cover and the front end plate to disperse the introduced chemical liquid into the heat exchange space. have.

한편, 상기 제1 유동제어부재는, 중공의 원통 형상으로 형성되고, 외벽에는 상기 약액 유입포트를 통해 내측으로 유입된 약액이 상기 열교환 공간 측으로 이동될 수 있도록 하는 복수개의 제1 이동홀이 형성될 수 있다.On the other hand, the first flow control member is formed in a hollow cylindrical shape, the outer wall is formed with a plurality of first moving holes for the chemical liquid introduced inward through the chemical liquid inlet port to be moved to the heat exchange space side Can be.

또한, 상기 전단플레이트는, 제1 외측프레임; 상기 제1 외측프레임 보다 작은 직경을 갖도록 형성되고 상기 제1 외측프레임의 반경방향 내측으로 일정간격 이격된 상태로 배치되어 상기 고정부재의 전단에 결합되는 제1 내측플레이트; 일단은 제1 외측프레임에 연결되고 타단은 제1 내측플레이트 연결되어, 상기 제1 외측프레임과 상기 제1 내측플레이트를 연결시키기 위한 복수개의 제1 연결프레임; 및 이웃하는 상기 제1 연결프레임의 사이에 형성되어, 상기 약액이 통과되는 제1 통과홀;을 포함할 수 있다.In addition, the front end plate, the first outer frame; A first inner plate formed to have a smaller diameter than the first outer frame and disposed at a predetermined interval spaced radially inwardly of the first outer frame and coupled to a front end of the fixing member; One end connected to a first outer frame and the other end connected to a first inner plate, the plurality of first connecting frames for connecting the first outer frame and the first inner plate; And a first passage hole formed between the neighboring first connection frames to allow the chemical to pass therethrough.

이때, 상기 전단플레이트는 이웃하는 상기 제1 연결프레임 사이에 형성되어, 상기 냉각관이 상기 제1층 냉각관을 형성한 다음, 상기 제2층 냉각관을 형성하기 위해 이동될 수 있도록 하기 위한 제1 이동홈부를 더 포함할 수 있다.At this time, the front plate is formed between the adjacent first connecting frame, the cooling tube to form the first layer cooling tube, and then to be moved to form the second layer cooling tube It may further include a moving groove.

한편, 상기 간격유지부재는 그물 형상으로 형성된 메쉬망이 사용될 수 있다.On the other hand, the spacing member may be used a mesh net formed in the shape of a net.

본 발명에 따른 열교환기 제조방법은, 제1 커버에 약액 유입포트와 제1 유동제어부재를 결합시키는 제1 결합단계; 상기 본체하우징의 전단에 상기 약액 유입포트 및 상기 제1 유동제어부재가 결합된 상기 제1 커버를 결합시키는 제2 결합단계; 상기 전단 플레이트 및 후단 플레이트가 결합된 상기 고정부재의 둘레에 상기 제1층 냉각관을 형성하고, 상기 제1층 냉각관의 둘레에 상기 간격유지부재를 배치시킨 다음, 상기 간격유지부재의 둘레에 상기 제2층 냉각관을 형성하는 과정을 반복하는 냉각관 설치단계; 및 상기 냉각관이 설치된 상기 고정부재를 상기 본체하우징의 내부로 삽입시켜 배치시키는 고정부재 배치단계;를 포함할 수 있다.Heat exchanger manufacturing method according to the invention, the first coupling step of coupling the chemical liquid inlet port and the first flow control member to the first cover; A second coupling step of coupling the first cover having the chemical liquid inflow port and the first flow control member coupled to a front end of the main body housing; The first layer cooling tube is formed around the fixing member to which the front plate and the rear end plate are coupled, and the gap holding member is disposed around the first layer cooling tube, and then around the gap holding member. A cooling tube installation step of repeating the process of forming the second layer cooling tube; And a fixing member disposing step of inserting and fixing the fixing member in which the cooling tube is installed, into the body housing.

본 발명에 따른 열교환기 모듈은 상술한 열교환기; 상기 열교환기와 이웃하게 배치되는 추가 열교환기; 상기 열교환기의 본체하우징 일측에 결합되는 제1 플랜지; 및 일측은 상기 추가 열교환기의 제2 본체하우징 일측에 결합되고, 타측은 상기 제1 플랜지와 결합되는 제2 플랜지;를 포함하고, 상기 열교환기의 열교환 공간과 상기 추가 열교환기의 제2 열교환 공간은 서로 연통될 수 있다.The heat exchanger module according to the present invention includes the heat exchanger described above; An additional heat exchanger disposed adjacent to the heat exchanger; A first flange coupled to one side of the body housing of the heat exchanger; And a second flange coupled to one side of the second body housing of the additional heat exchanger and the other coupled to the first flange, wherein the heat exchange space of the heat exchanger and the second heat exchange space of the additional heat exchanger are included. May be in communication with each other.

이때, 본 발명에 따른 열교환기 모듈은 상기 제1 플랜지와 상기 제2 플랜지가 결합되는 부위에 설치되어, 상기 제1 플랜지와 상기 제2 플랜지가 결합된 부위로 상기 약액이 유출되는 것을 방지하기 위한 실링부재를 더 포함할 수 있다.At this time, the heat exchanger module according to the present invention is installed at a portion where the first flange and the second flange are coupled, to prevent the chemical liquid from leaking to the portion where the first flange and the second flange are coupled. It may further include a sealing member.

또한, 본 발명에 따른 열교환기 모듈은 상기 열교환기의 본체하우징의 전단부에 관통 설치되고, 상기 냉각관의 일측 단부가 관통 설치되어 외부로 노출되도록 하기 위한 제1 냉각관 설치구; 상기 열교환기의 본체하우징의 후단부에 관통 설치되고, 상기 냉각관의 타측 단부가 관통 설치되어 외부로 노출되도록 하기 위한 제2 냉각관 설치구; 상기 추가 열교환기의 본체하우징의 전단부에 관통 설치되고, 제2 냉각관의 일측 단부가 관통 설치되어 외부로 노출되도록 하기 위한 제3 냉각관 설치구; 및 상기 추가 열교환기의 본체하우징의 후단부에 관통 설치되고, 상기 제2 냉각관의 타측 단부가 관통 설치되어 외부로 노출되도록 하기 위한 제4 냉각관 설치구;를 더 포함하며, 상기 열교환기의 본체하우징과 상기 추가 열교환기의 본체하우징은 직렬로 배치되고, 상기 냉각관과 상기 제2 냉각관은 병렬로 배치될 수 있다.In addition, the heat exchanger module according to the present invention is installed through the front end of the main body housing of the heat exchanger, one end of the cooling pipe is installed through the first cooling pipe installation port to be exposed to the outside; A second cooling pipe fitting hole installed at a rear end of the main body housing of the heat exchanger and configured to expose the other end of the cooling pipe to the outside; A third cooling pipe installation hole installed through the front end of the main body housing of the additional heat exchanger, and having one end of the second cooling pipe penetrated therein so as to be exposed to the outside; And a fourth cooling pipe installation hole installed at a rear end of the main body housing of the additional heat exchanger and configured to expose the other end of the second cooling pipe through and exposed to the outside. The main body housing and the main body housing of the additional heat exchanger may be arranged in series, and the cooling tube and the second cooling tube may be arranged in parallel.

본 발명에 따른 열교환기 모듈의 제조방법은 상기 열교환기의 본체하우징 후단에 상기 제1 플랜지를 결합시키는 제1 모듈결합단계; 상기 추가 열교환기의 제2 본체하우징의 전단에 상기 제2 플랜지를 결합시키는 제2 모듈결합단계; 및 상기 열교환기와 상기 추가 열교환기를 연결시키기 위해 상기 제1 플랜지에 상기 제2 플랜지를 결합시키는 제3 모듈결합단계;를 포함할 수 있다.The method of manufacturing a heat exchanger module according to the present invention includes: a first module coupling step of coupling the first flange to a rear end of a main body housing of the heat exchanger; A second module coupling step of coupling the second flange to a front end of the second body housing of the additional heat exchanger; And a third module coupling step of coupling the second flange to the first flange to connect the heat exchanger with the additional heat exchanger.

본 발명에 따른 열교환기 및 이의 제조방법과 열교환 모듈 및 이의 제조방법은, 냉각관의 제1층 냉각관과 제2층 냉각관 사이에 간격유지부재가 설치된 것에 의해 약액이 제1 층냉각관과 제2층 냉각관 사이사이로 유동될 수 있도록 함으로써, 약액과 냉각관 간의 열교환 면적이 증가되어 열교환 효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In the heat exchanger according to the present invention and a method for manufacturing the same, and a heat exchange module and a method for manufacturing the same, the chemical solution is formed by the gap holding member between the first layer cooling tube and the second layer cooling tube of the cooling tube. By allowing the flow between the second layer cooling tubes, the heat exchange area between the chemical liquid and the cooling tubes is increased, thereby improving heat exchange efficiency.

또한, 본 발명의 열교환 모듈은 열교환기와 추가 열교환기에 의해 이차적으로 약액을 열교환시킴에 따라 열교환 효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, the heat exchange module of the present invention has the effect of improving the heat exchange efficiency by heat-exchanging the chemical liquid secondary by the heat exchanger and the additional heat exchanger.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 열교환기의 구조에서 내부가 보이도록 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 본체하우징에 제1 커버 및 제2 커버가 결합되는 상태를 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 고정유닛의 구조를 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 전단 플레이트에서 냉각관이 제1층 냉각관 및 제2 냉각관을 형성하기 위해 이동되는 구조를 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 냉각관의 제1층 냉각관과 제2층 냉각관 사이에 간격유지부재가 설치되는 과정을 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 열교환기 모듈의 구조에서 내부가 보이도록 나타낸 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 열교환기 모듈의 열교환기와 추가 열교환기가 결합되기 전 상태를 나타낸 도면이다.1 is a view showing the interior view in the structure of a heat exchanger according to an embodiment of the present invention.
2 is a view showing a state in which the first cover and the second cover is coupled to the main body housing according to an embodiment of the present invention.
3 is a view showing the structure of a fixing unit according to an embodiment of the present invention.
4 is a view illustrating a structure in which a cooling tube is moved to form a first layer cooling tube and a second cooling tube in a shear plate according to an exemplary embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a view illustrating a process of installing a space keeping member between a first layer cooling tube and a second layer cooling tube of a cooling tube according to an exemplary embodiment of the present invention.
6 is a view showing the inside of the structure of the heat exchanger module according to an embodiment of the present invention.
7 is a view showing a state before coupling the heat exchanger and the additional heat exchanger of the heat exchanger module according to an embodiment of the present invention.

이하, 상술한 해결하고자 하는 과제가 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시 예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시 예들을 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 하기에서 생략된다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, preferred embodiments of the present invention in which the above-described problem to be solved may be specifically realized. In describing the present embodiments, the same name and the same reference numerals are used for the same configuration and additional description thereof will be omitted below.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 열교환기(100)의 구조에서 내부가 보이도록 나타낸 도면이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 본체하우징(110)에 제1 커버(112) 및 제2 커버(113)가 결합되는 상태를 나타낸 도면이다. 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 고정유닛(120)의 구조를 나타낸 도면이고, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 전단 플레이트에서 냉각관이 제1층 냉각관 및 제2 냉각관을 형성하기 위해 이동되는 구조를 나타낸 도면이다.1 is a view showing the inside in the structure of the heat exchanger 100 according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a first cover 112 and the first in the main body housing 110 according to an embodiment of the present invention; 2 is a view showing a state in which the cover 113 is coupled. 3 is a view showing the structure of the fixing unit 120 according to an embodiment of the present invention, Figure 4 is a cooling tube in the shear plate according to an embodiment of the present invention forms a first layer cooling tube and the second cooling tube. It is a figure which shows the structure moved to make.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 열교환기(100)는 본체유닛(110)과, 고정유닛(120)과, 냉각관(140) 및 간격유지부재(150)를 포함한다.1 to 4, the heat exchanger 100 according to the embodiment of the present invention includes a main body unit 110, a fixed unit 120, a cooling tube 140, and a space keeping member 150. do.

상기 본체유닛(110)은 원통 형상으로 형성되어 기판처리장치(미도시)의 약액 배출구(미도시)에 연결되고, 상기 약액 배출구로 배출되는 고온의 약액을 열교환 시키기 위한 열교환 공간(111a)을 형성하는 본체하우징(111)을 포함한다.The body unit 110 is formed in a cylindrical shape and connected to a chemical liquid outlet (not shown) of a substrate processing apparatus (not shown), and forms a heat exchange space 111a for heat-exchanging high temperature chemical liquid discharged to the chemical liquid outlet. It includes a main body housing (111).

상기 본체유닛(110)은 제1 커버(112) 및 제2 커버(113)를 더 포함할 수 있다.The body unit 110 may further include a first cover 112 and a second cover 113.

상기 제1 커버(112)는 원판 형상으로 형성되어, 상기 본체하우징(111)의 전단을 밀폐시킨다.The first cover 112 is formed in a disc shape, and seals the front end of the main body housing 111.

이때, 상기 제1 커버(112)의 후면에는 상기 본체하우징(111)과의 결합을 위해 상기 제1 커버(112)의 후면으로부터 돌출 형성된 제1 결합단(112a)이 마련될 수 있다. In this case, a first coupling end 112a protruding from the rear surface of the first cover 112 may be provided on the rear surface of the first cover 112 to be coupled to the main body housing 111.

즉, 상기 제1 커버(112)의 제1 결합단(112a)을 상기 본체하우징(111)의 전단측 내부에 삽입시킨 다음, 용접에 의해 상기 제1 커버(112)를 상기 본체하우징(111)의 전단에 고정시킬 수 있다.That is, the first coupling end 112a of the first cover 112 is inserted into the front end side of the main housing 111, and then the first cover 112 is welded to the main housing 111. It can be fixed to the front end of.

상기 제1 커버(112)에는 상기 기판처리장치의 상기 약액 배출구와 연결되어 상기 약액을 상기 열교환 공간(111a)으로 유입시키기 위한 약액 유입포트(114)가 설치될 수 있다.The first cover 112 may be provided with a chemical liquid inlet port 114 connected to the chemical liquid outlet of the substrate processing apparatus to introduce the chemical liquid into the heat exchange space 111a.

상기 제2 커버(113)는 상기 제1 커버(112)와 동일한 형상으로 형성되어, 상기 본체하우징(111)의 후단을 밀폐시킨다. 이때, 상기 제2 커버(113)의 후면에는 제2 결합단(113a)이 마련될 수 있으며, 상기 제1 커버(112)와 동일하게 상기 제2 결합단(113a)을 이용하여 상기 제2 커버(113)를 상기 본체하우징(111)에 고정시킬 수 있다.The second cover 113 is formed in the same shape as the first cover 112 to seal the rear end of the main body housing 111. In this case, a second coupling end 113a may be provided on the rear surface of the second cover 113, and the second cover may be provided using the second coupling end 113a in the same manner as the first cover 112. 113 may be fixed to the main body housing 111.

상기 제2 커버(113)에는 상기 열교환 공간(111a)에서 열교환된 약액을 외부로 배출시키기 위한 약액 배출포트(115)가 설치될 수 있다.The second cover 113 may be provided with a chemical liquid discharge port 115 for discharging the chemical liquid heat exchanged in the heat exchange space 111a to the outside.

본 발명의 실시예에 따른 열교환기는 제1 냉각관 설치구(161)와 제2 냉각관 설치구(162)를 더 포함할 수 있다.The heat exchanger according to the embodiment of the present invention may further include a first cooling tube installation hole 161 and a second cooling tube installation hole 162.

상기 제1 냉각관 설치구(161)는 원통 형상으로 형성되어 상기 본체하우징(111)의 전단부에 설치될 수 있다.The first cooling tube installation hole 161 may be formed in a cylindrical shape and installed at the front end of the main body housing 111.

이때, 상기 제1 냉각관 설치구(161)는 상기 냉각관(140)의 일측 단부가 관통 설치되어 상기 본체하우징(111)의 외부로 노출되도록 설치시킬 수 있다.At this time, the first cooling tube installation port 161 may be installed so that one end of the cooling tube 140 is penetrated and exposed to the outside of the main body housing 111.

즉, 상기 제1 냉각관 설치구(161)는 상기 본체하우징(111)의 내부에 설치되는 냉각관(140)의 일측 단부가 외부로 노출되도록 설치되어 외부의 냉각유체 공급장치(미도시)로부터 냉각유체를 공급받을 수 있다.That is, the first cooling tube installation hole 161 is installed so that one end of the cooling tube 140 installed inside the main body housing 111 is exposed to the outside from an external cooling fluid supply device (not shown). Cooling fluid can be supplied.

상기 제2 냉각관 설치구(162)는 상기 제1 냉각관 설치구(161)와 동일한 형상으로 형성되어 상기 본체하우징(111)의 후단부에 설치될 수 있다.The second cooling tube mounting hole 162 may be formed in the same shape as the first cooling tube mounting hole 161 and may be installed at the rear end of the main body housing 111.

이때, 상기 제2 냉각관 설치구(162)는 상기 냉각관(140)의 타측 단부가 관통 설치되어 외부로 노출되도록 설치시킬 수 있다.In this case, the second cooling tube installation hole 162 may be installed so that the other end of the cooling tube 140 is penetrated and exposed to the outside.

즉, 상기 제2 냉각관 설치구(162)는 상기 본체하우징(111)의 내부에 설치되는 상기 냉각관(140)의 타측 단부가 외부로 노출되도록 설치되어 상기 열교환 공간(111a)에서 열교환된 냉각유체를 외부로 배출시킬 수 있다.That is, the second cooling tube installation hole 162 is installed so that the other end of the cooling tube 140 installed inside the body housing 111 is exposed to the outside, and is heat-exchanged in the heat exchange space 111a. The fluid can be discharged to the outside.

본 발명의 실시예에 따른 열교환기는 상기 본체하우징(111)의 내부에 설치되되, 상기 제1 커버(112)와 상기 전단플레이트(122) 사이에 배치되어, 유입된 약액을 상기 열교환 공간(111a)으로 분산시키기 위한 제1 유동제어부재(170)를 더 포함할 수 있다.The heat exchanger according to the embodiment of the present invention is installed inside the main body housing 111, and is disposed between the first cover 112 and the front end plate 122, and the introduced chemical liquid is introduced into the heat exchange space 111a. It may further include a first flow control member 170 for dispersing.

이때, 상기 제1 유동제어부재(170)는 중공의 원통 형상으로 형성되고, 외벽에는 상기 약액 유입포트를 통해 내측으로 유입된 약액이 상기 열교환 공간(111a) 측으로 이동될 수 있도록 하는 복수개의 제1 이동홀(171)이 형성될 수 있다.At this time, the first flow control member 170 is formed in a hollow cylindrical shape, a plurality of first to allow the chemical liquid introduced inward through the chemical liquid inlet port on the outer wall to the heat exchange space (111a) side. The moving hole 171 may be formed.

더욱 구체적으로, 상기 제1 커버(112)의 후면과 상기 전단플레이트(122)의 전면 사이에 상기 제1 유동제어부재(170)가 배치되면, 상기 약액 유입포트(114)와 상기 제1 유동제어부재(170)의 내부는 연통된 상태가 된다.More specifically, when the first flow control member 170 is disposed between the rear surface of the first cover 112 and the front surface of the front end plate 122, the chemical liquid inlet port 114 and the first flow control The inside of the member 170 is in a communication state.

이때, 상기 약액은 상기 약액 유입포트(114)를 통해 상기 제1 유동제어부재(170)의 내부로 유입되고, 상기 제1 유동제어부재(170)의 내부로 유입된 상기 약액은 상기 제1 유동제어부재(170)에 형성된 상기 제1 이동홀(171)들을 통과하면서 분산되어 상기 열교환 공간(111a)으로 이동될 수 있다.In this case, the chemical liquid is introduced into the first flow control member 170 through the chemical liquid inflow port 114, and the chemical liquid introduced into the first flow control member 170 is the first flow. Dispersed while passing through the first moving holes 171 formed in the control member 170 may be moved to the heat exchange space (111a).

본 발명의 실시예에 따른 열교환기는 상기 본체하우징(111)의 내부에 설치되되, 상기 제2 커버(113)와 상기 후단플레이트(128) 사이에 배치되어, 상기 열교환 공간(111a)을 지난 약액을 상기 약액 배출포트(115) 측으로 이동될 수 있도록 하기 위한 제2 유동제어부재(180)를 더 포함할 수 있다.The heat exchanger according to the embodiment of the present invention is installed inside the main body housing 111, and is disposed between the second cover 113 and the rear end plate 128 to pass the chemical liquid past the heat exchange space 111a. It may further include a second flow control member 180 to be moved to the chemical liquid discharge port 115 side.

이때, 상기 제2 유동제어부재(180)는 상기 제1 유동제어부재(170)와 동일하게 형성되고, 외벽에는 상기 열교환 공간(111a)을 지난 상기 약액을 상기 제2 유동제어부재(180)의 내부로 이동될 수 있도록 하는 복수개의 제2 이동홀(181)이 형성될 수 있다.At this time, the second flow control member 180 is formed in the same manner as the first flow control member 170, the outer wall of the chemical liquid passing through the heat exchange space (111a) of the second flow control member 180 A plurality of second moving holes 181 may be formed to move inside.

더욱 구체적으로, 상기 제2 커버(113)의 후면과 상기 후단플레이트(128)의 전면 사이에 상기 제2 유동제어부재(180)가 배치되면, 상기 약액 배출포트(115)와 상기 제2 유동제어부재(180)의 내부는 연통된 상태가 된다.More specifically, when the second flow control member 180 is disposed between the rear surface of the second cover 113 and the front surface of the rear end plate 128, the chemical liquid discharge port 115 and the second flow control. The inside of the member 180 is in a communication state.

이때, 상기 열교환 공간(111a)을 지난 상기 약액은 상기 제2 유동제어부재(180)의 상기 제2 통과홀(132)들을 통과하여 상기 제2 유동제어부재(180)의 내부로 유입되고, 상기 제2 유동제어부재(180)의 내부로 유입된 상기 약액은 상기 약액 배출포트(115)에 의해 외부로 배출될 수 있다.In this case, the chemical liquid passing through the heat exchange space 111a passes through the second passage holes 132 of the second flow control member 180 and flows into the second flow control member 180. The chemical liquid introduced into the second flow control member 180 may be discharged to the outside by the chemical liquid discharge port 115.

도 3을 참조하면, 상기 고정유닛(120)은 후술하는 냉각관(140)을 설치하기 위한 구성으로서, 이러한 상기 고정유닛(120)은 고정부재(121)와, 전단플레이트(122) 및 후단플레이트(128)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 3, the fixing unit 120 is configured to install a cooling tube 140 to be described later. The fixing unit 120 includes a fixing member 121, a front plate 122, and a rear end plate. (128).

상기 고정부재(121)는 원통 형상으로 형성될 수 있으며, 상기 전단플레이트(122) 및 후단플레이트(128)에 의해 밀폐된 구조를 가지게 된다. 이때, 상기 냉각관(140)이 상기 고정부재(121)의 둘레에 감기면서 설치된다.The fixing member 121 may be formed in a cylindrical shape, and has a structure sealed by the front plate 122 and the rear plate 128. At this time, the cooling pipe 140 is installed while winding around the fixing member 121.

상기 전단플레이트(122)는 제1 외측프레임(123)과, 제1 내측플레이트(124)와, 복수개의 제1 연결프레임(125) 및 제1 통과홀(126)을 포함할 수 있다.The front plate 122 may include a first outer frame 123, a first inner plate 124, a plurality of first connection frames 125, and a first through hole 126.

상기 제1 외측프레임(123)은 링 형상으로 형성될 수 있으며, 상기 제1 내측플레이트(124)는 원판 형상으로 형성될 수 있다.The first outer frame 123 may be formed in a ring shape, the first inner plate 124 may be formed in a disk shape.

이때, 상기 제1 내측플레이트(124)는 상기 제1 외측프레임(123) 보다 작은 직경을 갖도록 형성될 수 있으며, 상기 제1 외측프레임(123)의 반경방향 내측으로 일정간격 이격된 상태로 배치되어 상기 고정부재(121)의 전단에 결합될 수 있다. 결과적으로, 상기 고정부재(121)의 전단은 상기 전단플레이트(122)의 상기 제1 내측플레이트(124)에 의해서 밀폐되는 것이다.In this case, the first inner plate 124 may be formed to have a smaller diameter than the first outer frame 123, it is disposed in a predetermined interval spaced radially inward of the first outer frame 123 It may be coupled to the front end of the fixing member 121. As a result, the front end of the fixing member 121 is sealed by the first inner plate 124 of the front end plate 122.

상기 제1 연결프레임(125)은 일단이 제1 외측프레임(123)에 연결되고 타단이 제1 내측플레이트(124)에 연결되어, 상기 제1 외측프레임(123)과 상기 제1 내측플레이트(124)를 연결시킨다. One end of the first connection frame 125 is connected to the first outer frame 123 and the other end is connected to the first inner plate 124, so that the first outer frame 123 and the first inner plate 124 are closed. ).

상기 제1 통과홀(126)은 이웃하는 상기 제1 연결프레임(125) 사이에 형성되어, 후술하는 제1 유동제어부재(170)의 제1 이동홀(171)을 통해 이동된 상기 약액이 상기 열교환 공간(111a)으로의 이동을 위해 통과될 수 있다.The first through hole 126 is formed between the neighboring first connection frame 125, the chemical liquid moved through the first moving hole 171 of the first flow control member 170 to be described later is It may be passed for movement to the heat exchange space 111a.

상기 후단플레이트(128)는 제2 외측프레임(129)과, 제2 내측플레이트(130)와, 복수개의 제2 연결프레임(131) 및 제2 통과홀(132)을 포함할 수 있다. The rear end plate 128 may include a second outer frame 129, a second inner plate 130, a plurality of second connection frames 131, and a second through hole 132.

상기 후단플레이트(128)는 상술한 전단플레이트(122)의 구조 및 작용이 동일하여 상세한 설명은 생략하기로 한다.The rear end plate 128 has the same structure and operation as the front plate 122 described above, and thus, detailed description thereof will be omitted.

이때, 상기 후단플레이트(128)의 제2 내측플레이트(130)는 상기 고정부재(121)의 후단에 결합되어 상기 고정부재(121)의 후단을 밀폐시킨다.At this time, the second inner plate 130 of the rear end plate 128 is coupled to the rear end of the fixing member 121 to seal the rear end of the fixing member 121.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 전단 플레이트(122)에서 냉각관(140)이 제1층 냉각관(도 5, 141) 및 제2 냉각관(도 5, 142)을 형성하기 위해 이동되는 구조를 나타낸 도면이다.4 is a cooling tube 140 in the shear plate 122 according to an embodiment of the present invention is moved to form the first layer cooling tube (FIGS. 5, 141) and the second cooling tube (FIGS. 5, 142). It is a figure which shows a structure.

도 4를 참조하면, 상기 전단플레이트(122)는 이웃하는 상기 제1 연결프레임(125) 사이에 형성되어, 후술하는 냉각관(140)이 상기 제1층 냉각관(141)을 형성한 다음, 상기 제2층 냉각관(142)을 형성하기 위해 이동될 수 있도록 하기 위한 제1 이동홈부(127)를 더 포함할 수 있다.4, the front plate 122 is formed between the adjacent first connecting frame 125, the cooling tube 140 to be described later to form the first layer cooling tube 141, It may further include a first moving groove 127 to be moved to form the second layer cooling tube 142.

더욱 구체적으로, 상기 제1 이동홈부(127)는 상기 냉각관(140)이 상기 고정부재(121)의 둘레에 감기면서 상기 제1층 냉각관(141)을 형성하게 되면, 상기 제2층 냉각관(142)을 형성하기 위해 상기 냉각관(140)은 상기 제1 이동홈부(127)를 지나 상기 제1 이동홈부(127)의 일측에 형성된 상기 제1 연결프레임(125)에 걸리도록 한 다음, 상기 제1 통과홀(126)을 통과시킨다.More specifically, when the cooling pipe 140 is wound around the fixing member 121 to form the first layer cooling pipe 141, the first moving groove 127 may cool the second layer. In order to form the tube 142, the cooling tube 140 passes through the first moving groove 127 and is caught by the first connection frame 125 formed at one side of the first moving groove 127. The first through hole 126 is passed through.

상기 제1층 냉각관(141)을 형성한 다음, 상기 후술하는 간격유지부재(150)를 상기 제1층 냉각관(141)을 감게 된다. 그 후에 상기 제1 통과홀(126)을 통과한 상기 냉각관(140)이 다시 간격유지부재(150)를 감아 상기 제2층 냉각관(142)을 형성시키게 된다.After the first layer cooling tube 141 is formed, the first layer cooling tube 141 is wound around the space keeping member 150 to be described later. After that, the cooling tube 140 passing through the first through hole 126 is wound around the space keeping member 150 to form the second layer cooling tube 142.

또한, 마찬가지로, 상기 후단플레이트(128)는 이웃하는 상기 제2 연결프레임(131) 사이에 형성되어, 상기 냉각관(140)이 상기 제2층 냉각관(142)을 형성한 다음, 다시 상기 제1층 냉각관(141)을 형성하기 위해 이동될 수 있도록 하기 위한 제2 이동홈부(133)를 더 포함할 수 있다.In addition, similarly, the rear end plate 128 is formed between the neighboring second connection frames 131, so that the cooling pipe 140 forms the second layer cooling pipe 142, and then the second It may further include a second moving groove 133 to be moved to form the first floor cooling tube 141.

상기 제2 이동홈부(133)는 상술한 상기 제1 이동홈부(127)의 구조 및 작용이 동일하여 상세한 설명은 상략한다.The second moving groove 133 has the same structure and operation as the above-described first moving groove 127, and thus detailed description thereof will be omitted.

한편, 상기 전단플레이트(122)에 형성된 상기 제1 이동홈부(122)에 대해 상기 후단플레이트(128)에 형성된 상기 제2 이동홈부(133)의 배치 각도는 대략 120도 정도 틀어지게 배치되는 것이 바람직하다. 이는 상기 냉각관(140)이 상기 고정부재(121)에 감겨서 설치가 완료된 상태에서, 상기 냉각관(140)의 일측단부를 상기 제1 냉각관 설치구(161)를 통해 외부로 노출시키고, 타측단부를 상기 제2 냉각관 설치구(162)를 통해 외부로 노출시킬 경우, 상기 냉각관(140)이 꺾이지 않도록 하기 위함이다.On the other hand, the placement angle of the second moving groove 133 formed in the rear end plate 128 with respect to the first moving groove 122 formed in the front plate 122 is preferably arranged to be turned about 120 degrees. Do. This exposes one end of the cooling tube 140 to the outside through the first cooling tube installation hole 161 in a state where the cooling tube 140 is wound around the fixing member 121 and the installation is completed. This is to prevent the cooling tube 140 from being bent when the other end is exposed to the outside through the second cooling tube installation opening 162.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 냉각관(140)의 제1층 냉각관(141)과 제2층 냉각관(142) 사이에 간격유지부재(150)가 설치되는 과정을 나타낸 도면이다.5 is a view illustrating a process in which the gap maintaining member 150 is installed between the first layer cooling tube 141 and the second layer cooling tube 142 of the cooling tube 140 according to the embodiment of the present invention.

이때, 도 5의 (a)는 상기 냉각관(140)이 상기 고정부재(121)의 둘레에 감겨서 제1층 냉각관(141)이 형성된 상태를 나타낸 도면이고, 도 5의 (b)는 상기 제1층 냉각관(141)의 둘레에 간격유지부재(150)가 설치된 상태를 나타낸 도면이며, 도 5의 (c)는 상기 냉각관(140)이 간격유지부재(150)의 둘레에 감겨서 제2층 냉각관(142)이 형성된 상태를 나타낸 도면이다.At this time, (a) of Figure 5 is a view showing a state in which the cooling pipe 140 is wound around the fixing member 121, the first layer cooling pipe 141 is formed, Figure 5 (b) 5 is a view illustrating a state in which the space maintaining member 150 is installed around the first layer cooling tube 141, and FIG. 5C illustrates that the cooling tube 140 is wound around the space maintaining member 150. 2 is a view showing a state in which the second layer cooling pipe 142 is formed.

도 5를 참조하면, 상기 냉각관(140)은 상기 고정부재(121)의 외측면에 코일 형태로 감기도록 설치될 수 있다.Referring to FIG. 5, the cooling tube 140 may be installed to be wound in a coil form on the outer surface of the fixing member 121.

상기 냉각관(140)은 상기 고정부재(121)의 반경방향으로 적층되는 제1층 냉각관(141) 및 제2층 냉각관(142)을 가지며, 내부에는 상기 약액과 열교환 시키기 위한 냉각유체가 흐를 수 있다. 이때, 상기 냉각유체는 냉각수(Process cooling water: PCW) 및 냉매 등의 사용될 수 있다.The cooling tube 140 has a first layer cooling tube 141 and a second layer cooling tube 142 stacked in the radial direction of the fixing member 121, and a cooling fluid for heat-exchanging with the chemical liquid is provided therein. Can flow. In this case, the cooling fluid may be used as a cooling water (PCW) and a refrigerant.

즉, 상기 냉각관(140)은 상기 고정부재(121)에 외측면 둘레를 따라 상하방향 및 반경방향으로 감기게 되는데, 상기 냉각관(140)이 상기 고정부재(121)의 반경방향으로 적층되도록 감기면서 상기 제1층 냉각관(141) 및 상기 제2층 냉각관(142)을 형성되는 것이다.That is, the cooling tube 140 is wound in the vertical direction and the radial direction along the outer surface circumference to the fixing member 121, so that the cooling tube 140 is laminated in the radial direction of the fixing member 121. While winding, the first layer cooling tube 141 and the second layer cooling tube 142 are formed.

상기 간격유지부재(150)는 상기 제1층 냉각관(141)과 상기 제2층 냉각관(142) 사이에 배치되어, 상기 제1층 냉각관(141)과 상기 제2층 냉각관(142) 사이의 간격을 유지시킨다. 이때, 상기 제1층 냉각관(141)과 상기 제2층 냉각관(142) 사이의 간격은 1mm~5mm 범위 내에서 형성되는 것이 바람직하다.The gap maintaining member 150 is disposed between the first layer cooling tube 141 and the second layer cooling tube 142, and the first layer cooling tube 141 and the second layer cooling tube 142 are provided. Maintain the gap between them. At this time, the interval between the first layer cooling tube 141 and the second layer cooling tube 142 is preferably formed within the range of 1mm ~ 5mm.

즉, 상기 제1층 냉각관(141)과 제2층 냉각관(142) 사이에 상기 간격유지부재(150)를 설치함에 따라, 상기 제1층 냉각관(141)과 상기 제2층 냉각관(142) 사이에는 공간이 형성된다. That is, as the gap maintaining member 150 is installed between the first layer cooling tube 141 and the second layer cooling tube 142, the first layer cooling tube 141 and the second layer cooling tube are installed. A space is formed between the 142.

이때, 상기 제1층 냉각관(141)과 상기 제2층 냉각관(142) 사이에 형성된 공간으로 상기 약액이 흐르게 됨에 따라, 상기 약액과 상기 냉각관(140) 간의 열교환 면적이 증대되어 열교환 효율을 향상시킬 수 있게 된다.At this time, as the chemical liquid flows into the space formed between the first layer cooling tube 141 and the second layer cooling tube 142, the heat exchange area between the chemical liquid and the cooling tube 140 is increased, thereby exchanging heat exchange efficiency. It will be possible to improve.

한편, 상기 간격유지부재(150)는 그물 형상으로 형성된 메쉬망이 사용될 수 있다.On the other hand, the gap maintaining member 150 may be a mesh net formed in a net shape.

즉, 상기 간격유지부재(150)로 상기 메쉬망이 사용됨에 따라 상기 제1층 냉각관(141)과 상기 제2층 냉각관(142) 사이를 통과되는 상기 약액이 상기 메쉬망의 촘촘한 홀 사이사이로 통과되면서 상기 약액과 상기 냉각관(140) 간의 열교환 면적이 더욱 증대될 수 있다.That is, as the mesh network is used as the gap maintaining member 150, the chemical liquid passing between the first layer cooling tube 141 and the second layer cooling tube 142 is formed between the tight holes of the mesh network. As it passes through, the heat exchange area between the chemical liquid and the cooling tube 140 may be further increased.

한편, 본 발명의 실시예에서는 상기 간격유지부재(150)가 메쉬망이 사용된 것을 제시하였으나, 상기 제1층 냉각관(141)과 상기 제2층 냉각관(142) 사이에 간격을 유지할 수 있는 구조물이라면 어는 구조물이라도 가능하여 상기 간격유지부재(150)에 대한 소재 및 구조에 대해서는 제한하지 않는다. On the other hand, in the embodiment of the present invention, but the gap maintaining member 150 has been suggested that the mesh network is used, it is possible to maintain a gap between the first layer cooling tube 141 and the second layer cooling tube 142. If the structure is any structure can be any structure and the material and structure for the space maintaining member 150 is not limited.

지금부터는 도 1 내지 도 5를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 열교환기의 제조방법에 대해 설명하면 다음과 같다.1 to 5, the manufacturing method of the heat exchanger according to an embodiment of the present invention will now be described.

본 발명의 실시예에 따른 열교환기의 제조방법은 제1 결합단계와, 제2 결합단계와, 냉각관 설치단계와, 고정부재 배치단계와, 설치구 결합단계 및 제4 결합단계를 포함한다.The method of manufacturing a heat exchanger according to an embodiment of the present invention includes a first coupling step, a second coupling step, a cooling tube installation step, a fixing member arrangement step, an installation port coupling step, and a fourth coupling step.

먼저, 상기 제1 커버(112)에 상기 약액 유입포트(114)와 상기 제1 유동제어부재(170)를 결합시키는 제1 결합단계가 수행된다. 이때, 상기 약액 유입포트(114)는 상기 제1 커버(112)의 전면에 설치되고, 상기 제1 유동제어부재(170)는 상기 제1 커버(112)의 후면에 설치된다.First, a first coupling step of coupling the chemical liquid inlet port 114 and the first flow control member 170 to the first cover 112 is performed. At this time, the chemical liquid inlet port 114 is installed on the front of the first cover 112, the first flow control member 170 is installed on the rear of the first cover 112.

이때, 상기 약액 유입포트(114)는 상기 제1 커버(112)의 전면에 본딩에 의해 접착시킨 다음, 상기 본딩에 이용된 본드가 건조되면 상기 본딩 부위를 용접에 의해 고정시킬 수 있으며, 상기 제1 유동제어부재(170)는 상기 제1 커버(112)의 후면에 본딩에 의해 접착 고정시킬 수 있다.At this time, the chemical liquid inlet port 114 is bonded to the front surface of the first cover 112 by bonding, and when the bond used for the bonding is dried, the bonding portion can be fixed by welding, the first The first flow control member 170 may be adhesively fixed to the rear surface of the first cover 112 by bonding.

이와 동시에, 상기 제2 커버(113)에 상기 제1 커버(112)와 동일한 과정을 통해 상기 약액 배출포트(115)와 상기 제2 유동제어부재(180)를 고정시킬 수 있다. At the same time, the chemical liquid discharge port 115 and the second flow control member 180 may be fixed to the second cover 113 through the same process as the first cover 112.

다음으로, 상기 본체하우징(111)의 전단에 상기 약액 유입포트(114) 및 상기 제1 유동제어부재(170)가 결합된 상기 제1 커버(112)를 결합시키는 제2 결합단계가 수행된다.Next, a second coupling step of coupling the first cover 112 to which the chemical liquid inlet port 114 and the first flow control member 170 are coupled to the front end of the main body housing 111 is performed.

이때, 상기 제1 커버(112)에 형성된 제1 결합단(112a)을 상기 본체하우징(111)의 전단 내부로 삽입시킨 후, 본딩에 의해 접착시킨 다음, 상기 본딩에 의해 사용된 본드가 건조되면 상기 본딩 부위를 용접에 의해 고정시킬 수 있다.At this time, the first coupling end 112a formed on the first cover 112 is inserted into the front end of the main housing 111, and then bonded by bonding, and then the bond used by the bonding is dried. The bonding site can be fixed by welding.

다음으로, 상기 전단플레이트(122) 및 후단플레이트(128)가 결합된 상기 고정부재(121)의 둘레에 상기 냉각관(140)을 감아 상기 제1층 냉각관(141)을 형성하고, 상기 제1층 냉각관(141)의 둘레에 상기 간격유지부재(150)를 배치시킨 다음, 상기 간격유지부재(150)의 둘레에 상기 냉각을 감아 상기 제2층 냉각관(142)을 형성하는 과정을 반복하는 냉각관(140) 설치단계가 수행된다.Next, the cooling pipe 140 is wound around the fixing member 121 to which the front plate 122 and the rear plate 128 are coupled to form the first layer cooling tube 141. Arranging the gap holding member 150 around the first floor cooling tube 141, and then winding the cooling around the gap holding member 150 to form the second floor cooling tube 142. Repeated cooling tube 140 installation step is performed.

한편, 상기 냉각관(140) 설치단계는 상기 제1 결합단계 전에 수행되는 것도 무방하다.On the other hand, the cooling tube 140 installation step may be performed before the first coupling step.

다음으로, 상기 냉각관(140)이 설치된 상기 고정부재(121)를 상기 본체하우징(111)의 내부로 삽입시켜 배치시키는 고정부재(121) 배치단계가 수행된다. 이때, 상기 냉각관(140)의 일측 단부 및 타측 단부는 상기 본체하우징(111)에 제1 냉각관 설치구(161) 및 제2 냉각관 설치구(162)를 결합시키기 위해 형성된 각 결합공(미도시)을 통해 외부로 노출되도록 배치시킨다.Next, a step of arranging the fixing member 121 for inserting and placing the fixing member 121 in which the cooling tube 140 is installed into the body housing 111 is performed. At this time, one side end and the other end of the cooling tube 140 is each coupling hole formed to couple the first cooling tube installation port 161 and the second cooling tube installation hole 162 to the body housing 111 ( (Not shown) to be exposed to the outside.

다음으로, 상기 본체하우징(111)의 전단 부위 및 후단 부위에 제1 냉각관 설치구(161) 및 제2 냉각관 설치구(162)를 결합시키는 설치구 결합단계가 수행된다.Next, an installation unit coupling step of coupling the first cooling tube installation hole 161 and the second cooling tube installation hole 162 to the front end portion and the rear end portion of the main body housing 111 is performed.

이때, 상기 제1 냉각관 설치구(161)의 내부에 외부로 노출된 상기 냉각관(140)의 일측 단부를 관통시킨 상태로 상기 본체하우징(111)의 전단 부위에 형성된 결합공에 결합시키고, 상기 제2 냉각관 설치구(162)의 내부에 외부로 노출된 상기 냉각관(140)의 타측 단부를 관통시킨 상태로 상기 본체하우징(111)의 후단부에 형성된 결합공에 결합시킨다.At this time, the one side end of the cooling tube 140 exposed to the outside inside the first cooling pipe installation port 161 is coupled to the coupling hole formed in the front end portion of the main body housing 111, It is coupled to the coupling hole formed in the rear end portion of the main body housing 111 while penetrating the other end of the cooling tube 140 exposed to the outside in the second cooling tube installation port 162.

다음으로, 상기 제2 커버(113)를 상기 제1 커버(112)와 동일한 과정을 통해 상기 본체하우징(111)의 후단에 결합시킨다.Next, the second cover 113 is coupled to the rear end of the main housing 111 through the same process as the first cover 112.

상술한 과정을 통하여 본 발명의 실시예에 따른 열교환기가 제조될 수 있다.Through the above process, the heat exchanger according to the embodiment of the present invention can be manufactured.

상술한 바와 같은, 본 발명에 따른 열교환기 및 이의 제조방법과 열교환 모듈 및 이의 제조방법은, 상기 냉각관의 상기 제1층 냉각관과 상기 제2층 냉각관 사이에 간격유지부재가 설치된 것에 의해 상기 약액이 상기 제1 층냉각관과 상기 제2층 냉각관 사이사이로 유동될 수 있도록 함으로써, 상기 약액과 상기 냉각관 간의 열교환 면적이 증가되어 열교환 효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.As described above, the heat exchanger according to the present invention and a method for manufacturing the same, and a heat exchange module and a method for manufacturing the same are provided by a gap maintaining member disposed between the first layer cooling tube and the second layer cooling tube of the cooling tube. By allowing the chemical liquid to flow between the first layer cooling tube and the second layer cooling tube, the heat exchange area between the chemical liquid and the cooling tube is increased, thereby improving heat exchange efficiency.

지금부터는 본 발명의 실시예에 따른 열교환 모듈에 대해여 설명한다.The heat exchange module according to the embodiment of the present invention will now be described.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 열교환기 모듈의 구조에서 내부가 보이도록 나타낸 도면이이고, 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 열교환기 모듈의 열교환기와 추가 열교환기가 결합되기 전 상태를 나타낸 도면이다.6 is a view showing the inside of the structure of the heat exchanger module according to an embodiment of the present invention, Figure 7 shows a state before the heat exchanger and the additional heat exchanger of the heat exchanger module according to an embodiment of the present invention. Drawing.

도 6 및 도 7을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 열교환 모듈은 열교환기(1000)와, 상기 열교환기(1000)와 이웃하게 배치되는 추가 열교환기(200)와, 상기 열교환기(1000)의 일측에 결합되는 제1 플랜지(300) 및 일측은 상기 열교환기의 일측에 결합되고 타측은 상기 제1 플랜지(300)와 결합되는 제2 플랜지(400)를 포함한다.6 and 7, a heat exchange module according to an embodiment of the present invention includes a heat exchanger 1000, an additional heat exchanger 200 disposed adjacent to the heat exchanger 1000, and the heat exchanger 1000. The first flange 300 is coupled to one side of the) and one side is coupled to one side of the heat exchanger and the other side includes a second flange 400 coupled to the first flange 300.

이때, 상기 열교환기의 열교환 공간(111a)과 상기 추가 열교환기의 제2 열교환 공간(211a)은 서로 연통되도록 설치되는 것이 바람직하다.At this time, the heat exchange space 111a of the heat exchanger and the second heat exchange space 211a of the additional heat exchanger are preferably installed to communicate with each other.

한편, 본 실시예에 따른 열교환기 모듈에 구비된 열교환기(1000)는 앞서 상술한 열교환기(100)와 유사한 구조를 가진다. 다만, 본 실시 예에 따른 열교환기(1000)에는 상술한 열교환기(100)의 제2 커버(도1의 113)가 구비되어 있지 않다. On the other hand, the heat exchanger 1000 provided in the heat exchanger module according to the present embodiment has a structure similar to the heat exchanger 100 described above. However, the heat exchanger 1000 according to the present embodiment is not provided with the second cover 113 of FIG. 1 of the heat exchanger 100 described above.

또한, 상기 추가 열교환기(200)는 앞서 상술한 열교환기(100)와 유사한 구조를 가진다. 다만, 본 실시 예에 따른 추가열교환기(200)에는 상술한 열교환기(100)의 제1 커버(도 1의 112)가 구비되어 있지 않다.In addition, the additional heat exchanger 200 has a structure similar to the heat exchanger 100 described above. However, the additional heat exchanger 200 according to the present embodiment is not provided with the first cover 112 of FIG. 1 of the heat exchanger 100 described above.

즉, 본 실시 예에 따른 열교환기(1000)와 추가열교환기(200)는 서로 연통되어야 하기 때문에 상기 열교환기(1000)와 상기 추가열교환기(200)의 결합을 위한 상기 제1 플랜지(300) 및 상기 제2 플랜지(400)가 배치된다. That is, since the heat exchanger 1000 and the additional heat exchanger 200 according to the present embodiment must communicate with each other, the first flange 300 and the coupling for the heat exchanger 1000 and the additional heat exchanger 200 are The second flange 400 is disposed.

상기 열교환기의 열교환 공간(111a)과 상기 추가열교환기의 열교환 공간(211a)을 연통되도록 함으로써, 상기 열교환기의 열교환 공간(111a)을 통과한 약액이 상기 추가 열교환기(200)의 제2 열교환 공간(211a)으로 이동될 수 있게 된다.By allowing the heat exchange space 111a of the heat exchanger to communicate with the heat exchange space 211a of the additional heat exchanger, the chemical liquid passing through the heat exchange space 111a of the heat exchanger is the second heat exchange space of the additional heat exchanger 200. It can be moved to (211a).

상기 추가 열교환기(200)는 제2 본체유닛(210)과, 제2 고정유닛과, 제2 냉각관(미도시)과, 제2 간격유지부재(미도시)를 포함한다.The additional heat exchanger 200 includes a second body unit 210, a second fixing unit, a second cooling tube (not shown), and a second spacing member (not shown).

상기 제2 본체유닛(210)은 제2 본체하우징(211)과, 제2 커버(213)를 포함한다.The second body unit 210 includes a second body housing 211 and a second cover 213.

상기 제2 본체하우징(211)은 제2 열교환 공간(211a)을 형성한다. 이때, 상기 추가 열교환기(200)의 제2 열교환 공간(211a)은 상기 열교환기(1000)의 열교환 공간(111a)과 연통된 상태를 이룬다.The second body housing 211 forms a second heat exchange space 211a. In this case, the second heat exchange space 211a of the additional heat exchanger 200 is in communication with the heat exchange space 111a of the heat exchanger 1000.

상기 열교환 모듈에서는 상기 제2 커버(213)가 추가 열교환기(200)의 제2 본체하우징(211)의 후단을 밀폐시키는 역할을 수행한다. 이때, 상기 제2 커버(213)에는 상기 열교환 공간(111a) 및 상기 제2 열교환 공간(211a)에서 열교환된 약액을 외부로 배출시키기 위한 약액 배출포트(215)가 설치된다.In the heat exchange module, the second cover 213 serves to seal the rear end of the second body housing 211 of the additional heat exchanger 200. At this time, the second cover 213 is provided with a chemical liquid discharge port 215 for discharging the chemical liquid heat exchanged in the heat exchange space (111a) and the second heat exchange space (211a) to the outside.

상기 제2 고정유닛은 제2 고정부재(221)와, 제2 전단플레이트(222) 및 제2 후단플레이트(228)를 포함할 수 있다.The second fixing unit may include a second fixing member 221, a second front end plate 222, and a second rear end plate 228.

이때, 상기 제2 전단플레이트(222)는 제3 외측프레임(223)과 제3 내측플레이트(224)와 복수개의 제3 연결프레임(225)과, 제3 통과홀(226) 및 제3 이동홈부(227)를 포함할 수 있다.In this case, the second front end plate 222 may include a third outer frame 223, a third inner plate 224, a plurality of third connecting frames 225, a third passage hole 226, and a third moving groove. 227 may include.

상기 제2 후단플레이트(128)는 제4 외측프레임(229)과 제4 내측플레이트(230)와 복수개의 제4 연결프레임(231)과, 제4 통과홀(232) 및 제4 이동홈부(233)를 포함할 수 있다.The second rear end plate 128 includes a fourth outer frame 229, a fourth inner plate 230, a plurality of fourth connecting frames 231, a fourth through hole 232, and a fourth moving groove 233. ) May be included.

상술한 상기 추가 열교환기(200)의 제2 고정유닛의 구성은 앞서 상술한 상기 열교환기의 고정유닛(도 3의 120)에 대한 구성 및 작용이 동일하여 상기 제2 고정유닛에 대한 상세한 설명은 생략한다.The configuration of the second fixing unit of the additional heat exchanger 200 described above is the same as the configuration and operation of the fixing unit (120 of FIG. 3) of the heat exchanger described above. Omit.

도시되지는 않았지만, 상기 제2 냉각관은 제3층 냉각관 및 제4층 냉각관을 포함할 수 있으며, 상기 제2 냉각관은 상기 열교환기(100)의 냉각관(도 5의 140)의 구성 및 작용이 동일하여 상세한 설명은 생략한다.Although not shown, the second cooling tube may include a third layer cooling tube and a fourth layer cooling tube, and the second cooling tube may include a cooling tube (140 in FIG. 5) of the heat exchanger 100. Since the configuration and operation are the same, detailed description is omitted.

상기 제2 간격유지부재(미도시)는 상기 제3층 냉각관 및 제4층 냉각관 사이에 배치되고, 상기 제2 간격유지부재는 상술한 간격유지부재(도 5의 150)의 구성 및 작용이 동일하여 상세한 설명은 생략한다.The second spacing member (not shown) is disposed between the third layer cooling tube and the fourth layer cooling tube, and the second spacing member is configured and operated by the aforementioned spacing member (150 in FIG. 5). The same detailed description is omitted.

상기 추가 열교환기(200)는 제3 냉각관 설치구(261)와 제4 냉각관 설치구(262)를 더 포함할 수 있으며, 상기 제3 냉각관 설치구(261)와 제4 냉각관 설치구(262)는 상기 열교환기의 제1 냉각관 설치구(도 2의 161) 및 제2 냉각관 설치구(도 2의 162)의 구성 및 작용이 동일하여 상세한 설명은 생략한다.The additional heat exchanger 200 may further include a third cooling tube installation hole 261 and a fourth cooling tube installation hole 262, and the third cooling tube installation hole 261 and the fourth cooling tube installation hole may be installed. The sphere 262 has the same configuration and operation as that of the first cooling tube installation hole (161 of FIG. 2) and the second cooling tube installation hole (162 of FIG. 2) of the heat exchanger, and thus a detailed description thereof will be omitted.

상기 추가 열교환기(200)는 제3 이동홀(271)이 형성된 제3 유동제어부재(270)와 제4 이동홀(미도시)이 형성된 제4 유동제어부재(미도시)를 더 포함할 수 있으며, 상기 제3 유동제어부재(270)와 제4 유동제어부재는 상기 열교환기의 제1 유동제어부재(도 2의 170)와 제2 유동제어부재(도 2의 180)의 구성 및 작용이 동일하여 상세한 설명은 생략한다.The additional heat exchanger 200 may further include a third flow control member 270 having a third moving hole 271 and a fourth flow control member (not shown) having a fourth moving hole (not shown). The third flow control member 270 and the fourth flow control member may be configured and operated by the first flow control member (170 of FIG. 2) and the second flow control member (180 of FIG. 2) of the heat exchanger. The same detailed description is omitted.

한편, 본 발명의 실시예에 따른 열교환기 모듈은 상기 열교환기(1000)의 본체하우징(111)과 상기 추가 열교환기(200)의 본체하우징(211)은 직렬로 배치되고, 상기 냉각관(140)과 상기 제2 냉각관은 병렬로 배치된 구조를 제시한다.On the other hand, in the heat exchanger module according to the embodiment of the present invention, the body housing 111 of the heat exchanger 1000 and the body housing 211 of the additional heat exchanger 200 are disposed in series, and the cooling pipe 140 ) And the second cooling tube present a structure arranged in parallel.

즉, 상기 냉각관(140)과 상기 제2 냉각관을 상기 각 본체하우징(111, 211)에 대해 병렬로 설치함에 따라 각 본체하우징(111,211)의 내부로 유동되는 상기 약액과 상기 냉각유체 간의 열교환 효율을 향상시킬 수 있다.That is, as the cooling tube 140 and the second cooling tube are installed in parallel with respect to each of the main body housings 111 and 211, heat exchange between the chemical liquid and the cooling fluid flowing into each of the main body housings 111 and 211. The efficiency can be improved.

상기 제1 플랜지(300)는 상기 열교환기의 본체하우징(111) 후단에 결합될 수 있다.The first flange 300 may be coupled to a rear end of the main body housing 111 of the heat exchanger.

상기 제2 플랜지(400)는 일측은 상기 추가열교환기(200)의 제2 본체하우징(211) 전단에 결합되고 타측은 상기 제1 플랜지(300)와 결합될 수 있다.One side of the second flange 400 may be coupled to the front end of the second body housing 211 of the additional heat exchanger 200, and the other side thereof may be coupled to the first flange 300.

이때, 상기 제1 플랜지(300)와 상기 제2 플랜지(400)는 나사 체결에 의해 결합시킬 수 있다.In this case, the first flange 300 and the second flange 400 may be coupled by screwing.

즉, 상기 열교환기의 본체하우징(111) 후단에 결합된 상기 제1 플랜지(300)에 상기 추가 열교환기의 제2 본체하우징(211)의 전단에 결합된 상기 제2 플랜지(400)를 상호 결합시킴으로써, 상기 열교환기(1000)와 상기 추가 열교환기(200)가 연결될 수 있다.That is, the second flange 400 coupled to the front end of the second body housing 211 of the additional heat exchanger is coupled to the first flange 300 coupled to the rear end of the body housing 111 of the heat exchanger. By doing so, the heat exchanger 1000 and the additional heat exchanger 200 may be connected.

한편, 본 발명의 실시예에 따른 열교환 모듈은 실링부재(500)를 더 포함할 수 있다.On the other hand, the heat exchange module according to an embodiment of the present invention may further include a sealing member (500).

즉, 상기 실링부재(500)는 상기 제1 플랜지(300)와 상기 제2 플랜지(400)가 결합되는 부위에 설치되어, 상기 제1 플랜지(300)와 상기 제2 플랜지(400)가 결합된 부위로 상기 약액이 유출되는 것을 방지한다.That is, the sealing member 500 is installed at a portion where the first flange 300 and the second flange 400 are coupled to each other, and the first flange 300 and the second flange 400 are coupled to each other. Prevents the drug solution from spilling to the site.

지금부터는 본 발명의 실시예에 따른 열교환기 모듈의 제조방법에 대해 설명한다.Now, a method of manufacturing a heat exchanger module according to an embodiment of the present invention will be described.

본 발명의 실시예에 따른 열교환기 모듈의 제조방법은 제1 모듈결합단계와, 제2 모듈결합단계 및 제3 모듈결합단계를 포함할 수 있다.The method of manufacturing a heat exchanger module according to an embodiment of the present invention may include a first module coupling step, a second module coupling step, and a third module coupling step.

먼저, 상기 열교환기(1000)의 본체하우징(111) 후단에 상기 제1 플랜지(300)를 결합시키는 상기 제1 모듈결합단계가 수행된다. 이때, 상기 제1 플랜지(300)는 상기 본체하우징(111)의 후단에 본딩에 의해 접착시킨 다음, 상기 본딩에 이용된 본드가 건조되면 상기 본딩 부위를 용접에 의해 고정시킬 수 있다.First, the first module coupling step of coupling the first flange 300 to the rear end of the main body housing 111 of the heat exchanger 1000 is performed. In this case, the first flange 300 may be bonded to the rear end of the main housing 111 by bonding, and then the bonding portion may be fixed by welding when the bond used for the bonding is dried.

다음으로, 상기 추가 열교환기(200)의 제2 본체하우징(211) 전단에 상기 제2 플랜지(400)를 결합시키는 상기 제2 모듈결합단계가 수행된다. 이때, 상기 제2 플랜지(400)는 상기 제2 본체하우징(211)의 전단에 본딩에 의해 접착시킨 다음, 상기 본딩에 이용된 본드가 건조되면 상기 본딩 부위를 용접에 의해 고정시킬 수 있다.Next, the second module coupling step of coupling the second flange 400 to the front end of the second body housing 211 of the additional heat exchanger 200 is performed. In this case, the second flange 400 may be bonded to the front end of the second body housing 211 by bonding, and then the bonding portion may be fixed by welding when the bond used for the bonding is dried.

다음으로, 상기 열교환기(1000)와 상기 추가 열교환기(200)를 연결시키기 위해 상기 제1 플랜지(300)에 상기 제2 플랜지(400)를 결합시키는 제3 모듈결합단계가 수행된다. 이때, 상기 제1 플랜지(300)와 상기 제2 플랜지(400)는 나사 체결에 의해 결합시킬 수 있다.Next, a third module coupling step of coupling the second flange 400 to the first flange 300 is performed to connect the heat exchanger 1000 and the additional heat exchanger 200. In this case, the first flange 300 and the second flange 400 may be coupled by screwing.

상기한 바와 같은 과정을 거치게 되면, 상기 열교환기의 열교환 공간(111a)과 상기 추가 열교환기(200)의 상기 제2 열교환 공간(211a)은 연통된 상태가 된다.When the process as described above, the heat exchange space 111a of the heat exchanger and the second heat exchange space 211a of the additional heat exchanger 200 are in communication.

상기와 같은 과정을 통해 본 발명의 실시예에 따른 상기 열교환 모듈이 제조될 수 있다.Through the above process, the heat exchange module according to the embodiment of the present invention may be manufactured.

또한, 본 발명의 열교환 모듈은 상기 열교환기와 상기 추가 열교환기에 의해 이차적으로 약액을 열교환시킴에 따라 열교환 효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, the heat exchange module of the present invention has the effect of improving the heat exchange efficiency by heat-exchanging the second chemical by the heat exchanger and the additional heat exchanger.

상술한 바와 같이 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면, 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변경시킬 수 있다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described with reference to the drawings as described above, those skilled in the art can variously change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims below. Can be modified or changed.

100: 열교환기 110: 본체유닛
111: 본체하우징 111a: 열교환 공간
112: 제1 커버 112a: 제1 결합단
113: 제2 커버 113a: 제2 결합단
114: 약액 유입포트 115: 약액 배출포트
120: 고정유닛 121: 고정부재
122: 전단플레이트 123: 제1 외측프레임
124: 제1 내측플레이트 125: 제1 연결프레임
126: 제1 통과홀 127: 제1 이동홈부
128: 후단플레이트 129: 제2 외측프레임
130: 제2 내측플레이트 131: 제2 연결프레임
132: 제2 통과홀 133: 제2 이동홈부
140: 냉각관 141: 제1층 냉각관
142: 제2층 냉각관 150: 간격유지부재
161: 제1 냉각관 설치구 162: 제2 냉각관 설치구
170: 제1 유동제어부재 171: 제1 이동홀
180: 제2 유동제어부재 181: 제2 이동홀
200: 추가 열교환기 210: 제2 본체유닛
211: 제2 본체하우징 211a: 제2 열교환 공간
220: 제2 고정유닛 221: 제2 고정부재
222: 제2 전단플레이트 223: 제3 외측프레임
224: 제3 내측플레이트 225: 제3 연결프레임
226: 제3 통과홀 227: 제3 이동홈부
228: 제2 후단플레이트 229: 제4 외측프레임
230: 제4 내측플레이트 231: 제4 연결프레임
232: 제4 통과홀 233: 제4 이동홈부
261: 제3 냉각관 설치구 262: 제3 냉각관 설치구
270: 제3 유동제어부재 271: 제3 이동홀
300: 제1 플랜지 400: 제2 플랜지
500: 실링부재100: heat exchanger 110: body unit
111: main body housing 111a: heat exchange space
112: first cover 112a: first coupling end
113: second cover 113a: second coupling end
114: chemical liquid inlet port 115: chemical liquid inlet port
120: fixing unit 121: fixing member
122: shear plate 123: first outer frame
124: first inner plate 125: first connecting frame
126: first passage hole 127: first moving groove
128: rear plate 129: second outer frame
130: second inner plate 131: second connecting frame
132: second passage hole 133: second moving groove
140: cooling tube 141: first layer cooling tube
142: second layer cooling pipe 150: space keeping member
161: first cooling pipe mounting port 162: second cooling pipe mounting port
170: first flow control member 171: first moving hole
180: second flow control member 181: second moving hole
200: additional heat exchanger 210: second body unit
211: second body housing 211a: second heat exchange space
220: second fixing unit 221: second fixing member
222: second shear plate 223: third outer frame
224: third inner plate 225: third connecting frame
226: third passage hole 227: third moving groove
228: second rear plate 229: fourth outer frame
230: fourth inner plate 231: fourth connecting frame
232: fourth through hole 233: fourth moving groove
261: third cooling tube mounting hole 262: third cooling tube mounting hole
270: third flow control member 271: third moving hole
300: first flange 400: second flange
500: sealing member

Claims (13)

기판처리장치의 약액 배출구에 연결되고, 상기 약액 배출구로 배출되는 고온의 약액을 열교환 시키기 위한 열교환 공간을 형성하는 본체하우징을 갖는 본체유닛;
상기 본체하우징의 내부에 배치되는 고정부재와, 상기 고정부재의 전단을 밀폐하는 전단플레이트와, 상기 고정부재의 후단을 밀폐하는 후단플레이트를 포함하는 고정유닛;
상기 고정부재의 외측면에 코일 형태로 감기도록 설치되되, 상기 고정부재의 반경방향으로 적층되는 제1층 냉각관 및 제2층 냉각관을 가지며, 상기 약액과 열교환 되도록 냉각유체가 흐르는 적어도 하나의 냉각관; 및
상기 제1층 냉각관과 상기 제2층 냉각관 사이에 배치되어, 상기 제1층 냉각관과 상기 제2층 냉각관 사이의 간격을 유지시키기 위한 간격유지부재;를 포함하고,
상기 간격유지부재는 그물 형상으로 형성된 메쉬망인 것을 특징으로 하는 열교환기.A main body unit connected to a chemical liquid outlet of the substrate processing apparatus and having a body housing configured to form a heat exchange space for exchanging high temperature chemical liquid discharged to the chemical liquid outlet;
A fixing unit including a fixing member disposed inside the main body housing, a front plate sealing the front end of the fixing member, and a rear end plate sealing the rear end of the fixing member;
At least one cooling coil is installed on the outer surface of the fixing member in a coil form and has a first layer cooling tube and a second layer cooling tube stacked in a radial direction of the fixing member, and a cooling fluid flows to exchange heat with the chemical liquid. Cooling tube; And
And a gap maintaining member disposed between the first layer cooling tube and the second layer cooling tube to maintain a gap between the first layer cooling tube and the second layer cooling tube.
The gap maintaining member is a heat exchanger, characterized in that the mesh network formed in a net shape. 제1항에 있어서,
상기 본체유닛은
상기 본체하우징의 전단을 밀폐시키고, 상기 기판처리장치의 약액 배출구와 연결되어 상기 약액을 상기 열교환 공간으로 유입시키기 위한 약액 유입포트가 설치되는 제1 커버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열교환기.The method of claim 1,
The main unit is
And a first cover which seals the front end of the main body housing and is connected to a chemical liquid outlet of the substrate processing apparatus and is provided with a chemical liquid inlet port for introducing the chemical liquid into the heat exchange space. 제2항에 있어서,
상기 본체하우징의 전단부에 설치되되, 상기 본체하우징의 내부와 연통되게 설치되고, 상기 냉각관의 일측 단부가 관통 설치되어 외부로 노출되도록 하기 위한 제1 냉각관 설치구;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열교환기.The method of claim 2,
Is installed in the front end of the main body housing, is installed in communication with the inside of the main body housing, one side end of the cooling tube is installed through the first cooling tube installation port for exposing to the outside; further comprising a Heat exchanger made. 제2항에 있어서,
상기 본체하우징의 내부에 설치되되, 상기 제1 커버와 상기 전단플레이트 사이에 배치되어, 유입된 약액을 상기 열교환 공간으로 분산시키기 위한 제1 유동제어부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열교환기.The method of claim 2,
And a first flow control member disposed inside the main body housing and disposed between the first cover and the front end plate to disperse the introduced chemical liquid into the heat exchange space. 제4항에 있어서,
상기 제1 유동제어부재는,
중공의 원통 형상으로 형성되고, 외벽에는 상기 약액 유입포트를 통해 내측으로 유입된 약액이 상기 열교환 공간 측으로 이동될 수 있도록 하는 복수개의 제1 이동홀이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 열교환기.The method of claim 4, wherein
The first flow control member,
It is formed in a hollow cylindrical shape, the heat exchanger, characterized in that the outer wall is formed with a plurality of first moving holes for allowing the chemical liquid introduced inward through the chemical liquid inlet port to move to the heat exchange space side. 제1항에 있어서,
상기 전단플레이트는,
제1 외측프레임;
상기 제1 외측프레임 보다 작은 직경을 갖도록 형성되고 상기 제1 외측프레임의 반경방향 내측으로 일정간격 이격된 상태로 배치되어 상기 고정부재의 전단에 결합되는 제1 내측플레이트;
일단은 제1 외측프레임에 연결되고 타단은 제1 내측플레이트 연결되어, 상기 제1 외측프레임과 상기 제1 내측플레이트를 연결시키기 위한 복수개의 제1 연결프레임; 및
이웃하는 상기 제1 연결프레임의 사이에 형성되어, 상기 약액이 통과되는 제1 통과홀;을 포함하는 것을 특징으로 하는 열교환기. The method of claim 1,
The shear plate,
First outer frame;
A first inner plate formed to have a smaller diameter than the first outer frame and disposed at a predetermined interval spaced radially inwardly of the first outer frame and coupled to a front end of the fixing member;
One end connected to a first outer frame and the other end connected to a first inner plate, the plurality of first connecting frames for connecting the first outer frame and the first inner plate; And
And a first passage hole formed between the neighboring first connection frames and through which the chemical liquid passes. 제6항에 있어서,
상기 전단플레이트는
상기 복수개의 제1 연결프레임 중 서로 이웃하는 제1 연결프레임들 사이에 형성되어, 상기 냉각관이 상기 제1층 냉각관을 형성한 다음, 상기 제2층 냉각관을 형성하기 위해 이동될 수 있도록 하기 위한 제1 이동홈부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열교환기.The method of claim 6,
The shear plate is
It is formed between the first connection frame adjacent to each other of the plurality of first connection frame, so that the cooling tube can be moved to form the second layer cooling tube after forming the first layer cooling tube. The heat exchanger further comprises a first moving groove for. 삭제delete 제1항에 기재된 열교환기를 제조하기 위한 제조방법에 있어서,
제1 커버에 약액 유입포트와 제1 유동제어부재를 결합시키는 제1 결합단계;
상기 본체하우징의 전단에 상기 약액 유입포트 및 상기 제1 유동제어부재가 결합된 상기 제1 커버를 결합시키는 제2 결합단계;
상기 전단 플레이트 및 상기 후단 플레이트가 결합된 상기 고정부재의 둘레에 상기 제1층 냉각관을 형성하고, 상기 제1층 냉각관의 둘레에 상기 간격유지부재를 배치시킨 다음, 상기 간격유지부재의 둘레에 상기 제2층 냉각관을 형성하는 과정을 반복하는 냉각관 설치단계; 및
상기 냉각관이 설치된 상기 고정부재를 상기 본체하우징의 내부로 삽입시켜 배치시키는 고정부재 배치단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 열교환기의 제조방법.In the manufacturing method for manufacturing the heat exchanger of Claim 1,
A first coupling step of coupling the chemical liquid inlet port and the first flow control member to the first cover;
A second coupling step of coupling the first cover having the chemical liquid inflow port and the first flow control member coupled to a front end of the main body housing;
The first layer cooling tube is formed around the fixing member to which the front plate and the rear end plate are coupled, and the gap holding member is disposed around the first layer cooling tube, and then the circumference of the gap holding member. Cooling pipe installation step of repeating the process of forming the second layer cooling pipe in; And
And a fixing member disposing step of inserting and fixing the fixing member having the cooling tube installed into the body housing. 제1항에 기재된 열교환기;
상기 열교환기와 이웃하게 배치되는 추가 열교환기;
상기 열교환기의 본체하우징 일측에 결합되는 제1 플랜지; 및
일측은 상기 추가 열교환기의 제2 본체하우징 일측에 결합되고, 타측은 상기 제1 플랜지와 결합되는 제2 플랜지;를 포함하고,
상기 열교환기의 열교환 공간과 상기 추가 열교환기의 제2 열교환 공간은 서로 연통되는 것을 특징으로 하는 열교환기 모듈.A heat exchanger according to claim 1;
An additional heat exchanger disposed adjacent to the heat exchanger;
A first flange coupled to one side of the body housing of the heat exchanger; And
One side is coupled to one side of the second body housing of the additional heat exchanger, and the other side is coupled to the first flange;
And a heat exchange space of the heat exchanger and a second heat exchange space of the additional heat exchanger are in communication with each other. 제10항에 있어서,
상기 제1 플랜지와 상기 제2 플랜지가 결합되는 부위에 설치되어, 상기 제1 플랜지와 상기 제2 플랜지가 결합된 부위로 상기 약액이 유출되는 것을 방지하기 위한 실링부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열교환기 모듈. The method of claim 10,
And a sealing member installed at a portion at which the first flange and the second flange are coupled to each other to prevent the chemical liquid from leaking to a portion at which the first flange and the second flange are coupled to each other. Heat exchanger module. 제10항에 있어서,
상기 열교환기의 본체하우징의 전단부에 관통 설치되고, 상기 냉각관의 일측 단부가 관통 설치되어 외부로 노출되도록 하기 위한 제1 냉각관 설치구;
상기 열교환기의 본체하우징의 후단부에 관통 설치되고, 상기 냉각관의 타측 단부가 관통 설치되어 외부로 노출되도록 하기 위한 제2 냉각관 설치구;
상기 추가 열교환기의 본체하우징의 전단부에 관통 설치되고, 제2 냉각관의 일측 단부가 관통 설치되어 외부로 노출되도록 하기 위한 제3 냉각관 설치구; 및
상기 추가 열교환기의 본체하우징의 후단부에 관통 설치되고, 상기 제2 냉각관의 타측 단부가 관통 설치되어 외부로 노출되도록 하기 위한 제4 냉각관 설치구;를 더 포함하며,
상기 열교환기의 본체하우징과 상기 추가 열교환기의 본체하우징은 직렬로 배치되고, 상기 냉각관과 상기 제2 냉각관은 병렬로 배치된 것을 특징으로 하는 열교환기 모듈.The method of claim 10,
A first cooling pipe fitting hole installed through a front end portion of the main body housing of the heat exchanger, and configured to expose one end of the cooling pipe to be exposed to the outside;
A second cooling pipe fitting hole installed at a rear end of the main body housing of the heat exchanger and configured to expose the other end of the cooling pipe to the outside;
A third cooling pipe installation hole installed through the front end of the main body housing of the additional heat exchanger, and having one end of the second cooling pipe penetrated therein so as to be exposed to the outside; And
And a fourth cooling tube fitting hole installed through the rear end of the main body housing of the additional heat exchanger and configured to expose the other end portion of the second cooling tube through and exposed to the outside.
And a body housing of the heat exchanger and a body housing of the additional heat exchanger are arranged in series, and the cooling tube and the second cooling tube are arranged in parallel. 제9항에 있어서,
상기 제1 결합단계, 상기 제2 결합단계, 상기 냉각관 설치단계, 상기 고정부재 배치단계를 거치며 제조된 상기 열교환기의 본체하우징 후단에 제1 플랜지를 결합시키는 제1 모듈결합단계;
상기 제1 결합단계, 상기 제2 결합단계, 상기 냉각관 설치단계, 상기 고정부재 배치단계를 거치며 추가 열교환기를 제조하고, 제조된 상기 추가 열교환기의 제2 본체하우징의 전단에 제2 플랜지를 결합시키는 제2 모듈결합단계; 및
상기 열교환기와 상기 추가 열교환기를 연결시키기 위해 상기 제1 플랜지에 상기 제2 플랜지를 결합시키는 제3 모듈결합단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열교환기의 제조방법.The method of claim 9,
A first module coupling step of coupling a first flange to a rear end of the main body housing of the heat exchanger manufactured by the first coupling step, the second coupling step, the cooling tube installation step, and the fixing member arrangement step;
Through the first coupling step, the second coupling step, the cooling tube installation step, the fixing member arrangement step, an additional heat exchanger is manufactured, and a second flange is coupled to the front end of the second body housing of the manufactured additional heat exchanger. A second module coupling step of making; And
And a third module coupling step of coupling the second flange to the first flange to connect the heat exchanger with the additional heat exchanger.
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