KR102009333B1 - A Stage Device - Google Patents

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류타 나카지마
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스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤
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Abstract

스테이지장치의 고정밀도화를 실현할 수 있는 기술을 제공한다.
제1 이동체(12)와, 제1 이동체(12)를 X축방향으로 구동하기 위한 제1 X축 구동부(16), 제2 X축 구동부(18)와, 제1 이동체(12)의 X축방향의 이동을 안내하고, Y축방향으로 이동가능하게 구성된 제2 이동체(14)를 구비한다. 제1 X축 구동부(16), 제2 X축 구동부(18)는, 제2 이동체(14)를 개재하지 않고 지지된다.The present invention provides a technique capable of realizing high precision of the stage apparatus.
X-axis of the first moving body 12, the first X-axis driving unit 16, the second X-axis driving unit 18, and the first moving body 12 for driving the first moving body 12 in the X-axis direction And a second moving body 14 configured to guide the movement in the direction and to be movable in the Y-axis direction. The first X-axis drive unit 16 and the second X-axis drive unit 18 are supported without the second moving body 14.

Description

스테이지장치{A Stage Device}A stage device

본 출원은 2016년 5월 16일에 출원된 일본 특허출원 제2016-097770호에 근거하여 우선권을 주장한다. 그 출원의 전체 내용은 이 명세서 중에 참고로 원용되어 있다.This application claims priority based on Japanese Patent Application No. 2016-097770, filed May 16, 2016. The entire contents of that application are incorporated herein by reference.

본 발명은 스테이지장치에 관한 것이다.The present invention relates to a stage device.

대상물을 위치 결정하기 위한 스테이지장치가 알려져 있다. 종래에서는, 제1 이동체와, 제1 이동체를 X축방향으로 구동하는 구동체와, 제1 이동체의 X축방향의 이동을 안내하고, Y축방향으로 이동가능하게 구성된 제2 이동체를 구비하는 스테이지장치가 제안되고 있다(예를 들면 특허문헌 1).A stage device for positioning an object is known. Conventionally, a stage comprising a first moving body, a driving body for driving the first moving body in the X-axis direction, and a second moving body configured to guide the movement in the X-axis direction of the first moving body and to be movable in the Y-axis direction. An apparatus is proposed (for example, patent document 1).

특허문헌 1: 일본 공개특허공보 2009-101427호Patent Document 1: Japanese Unexamined Patent Publication No. 2009-101427

본 발명의 일 양태의 예시적인 목적의 하나는, 스테이지장치의 고정밀도화를 실현할 수 있는 기술을 제공하는 것에 있다.One example object of one embodiment of the present invention is to provide a technique capable of realizing high precision of a stage device.

상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 일 양태의 스테이지장치는, 제1 이동체와, 제1 이동체를 X축방향으로 구동하기 위한 X축 구동부와, 제1 이동체의 X축방향의 이동을 안내하고, Y축방향으로 이동가능하게 구성된 제2 이동체를 구비한다. X축 구동부는, 제2 이동체를 거치지 않고 지지된다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to solve the said subject, the stage apparatus of one aspect of this invention guides the 1st moving body, the X-axis drive part for driving a 1st moving body to an X-axis direction, and the movement of the 1st moving body to the X-axis direction, And a second movable member configured to be movable in the Y-axis direction. The X-axis drive unit is supported without passing through the second moving body.

다만, 이상의 구성요소의 임의의 조합이나, 본 발명의 구성요소나 표현을 방법, 장치, 시스템 등의 사이에서 서로 치환한 것도 또한, 본 발명의 양태로서 유효하다.However, any combination of the above components, or the components or representations of the present invention are replaced with each other between methods, apparatuses, systems and the like is also effective as an aspect of the present invention.

본 발명에 의하면, 스테이지장치의 고정밀도화를 실현할 수 있다.According to the present invention, it is possible to realize high precision of the stage apparatus.

도 1은 실시형태에 관한 스테이지장치를 나타내는 도이다.
도 2에 있어서 도 2의 (a)~(c)는, 실시형태에 관한 스테이지장치를 나타내는 도이다.
도 3은 도 2의 (a)의 A-A선 단면도이다.
도 4는 도 1의 가이드빔의 일단과 그 주변을 나타내는 사시도이다.
도 5에 있어서 도 5의 (a)~(c)는, 변형예에 관한 연결부재를 나타내는 도이다.1 is a diagram showing a stage apparatus according to the embodiment.
In FIG. 2, (a)-(c) is a figure which shows the stage apparatus which concerns on embodiment.
3 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG.
4 is a perspective view illustrating one end of a guide beam of FIG. 1 and its periphery.
In FIG. 5, (a)-(c) is a figure which shows the connection member which concerns on a modification.

이하, 각 도면에 나타나는 동일 또는 동등한 구성요소, 부재, 공정에는, 동일한 부호를 붙이는 것으로 하고, 적절히 중복된 설명은 생략한다. 또, 각 도면에 있어서의 부재의 치수는, 이해를 용이하게 하기 위하여 적절히 확대, 축소되어 나타난다. 또, 각 도면에 있어서 실시형태를 설명함에 있어서 중요하지 않은 부재의 일부는 생략하여 표시한다.Hereinafter, the same or equivalent components, members, and steps shown in the drawings are denoted by the same reference numerals, and descriptions appropriately duplicated are omitted. In addition, the dimension of the member in each figure is expanded and reduced suitably, for easy understanding. In the drawings, some of the members that are not important in the embodiments are omitted.

실시형태에 관한 스테이지장치를 얻기에 이른 경위를 설명한다.The process leading to obtaining the stage apparatus which concerns on embodiment is demonstrated.

종래, 제1 이동체와, 제1 이동체를 X축방향으로 구동하기 위한 X축 구동부와, 제1 이동체의 X축방향의 이동을 안내하고, Y축방향으로 이동가능하게 구성된 제2 이동체를 구비하는 스테이지장치가 알려져 있다. 이 스테이지장치에서는, X축 구동부는, 제2 이동체에 지지된다. 이로 인하여, X축 구동부가 제1 이동체를 구동시켰을 때의 반력은 제2 이동체에 전반(傳搬)될 수 있다.Conventionally, comprising a first moving body, an X axis driving unit for driving the first moving body in the X axis direction, and a second moving body configured to guide movement in the X axis direction of the first moving body and to be movable in the Y axis direction. Stage devices are known. In this stage apparatus, the X-axis driving unit is supported by the second moving body. For this reason, reaction force when the X-axis drive part drives a 1st movable body can propagate to a 2nd movable body.

그런데, 스테이지장치를 보다 큰 대상물의 위치 결정에 사용하고자 하는 요구가 있다. 이 경우, 스테이지장치를 대형화할 필요가 있으며, 그에 따라 X축 구동부도 대형화하여, X축 구동부가 제1 이동체를 구동시켰을 때의 반력도 커진다. 따라서, 종래의 스테이지장치를 그대로 대형화하면, 이 큰 반력이 제2 이동체에 전반되어 버린다. 이는, 제2 이동체의 구조부재에 기인하는 히스테리시스 및 진동을 유발한다. 즉, 고정밀도화에 대한 방해가 된다.However, there is a demand to use the stage device for positioning a larger object. In this case, it is necessary to enlarge the stage apparatus, and accordingly, the X-axis driving unit is also enlarged, and the reaction force when the X-axis driving unit drives the first moving body is also increased. Therefore, when the conventional stage apparatus is enlarged as it is, this large reaction force propagates to a 2nd movable body. This causes hysteresis and vibration due to the structural member of the second movable body. That is, it is an obstacle to high precision.

또, 스테이지장치는, 반도체 디바이스의 제조에 사용되는 경우가 있다. 반도체 디바이스의 디자인룰의 미세화나 중첩에 의하여, 또는 적층의 요구에 의하여, 그 제조에 사용되는 스테이지장치에는, 추가적인 고정밀도화가 요구되고 있다.Moreover, the stage apparatus may be used for manufacture of a semiconductor device. Due to the miniaturization and superposition of design rules for semiconductor devices or the demand for lamination, further high precision is required for the stage apparatus used for the manufacture.

즉, 어느 쪽으로 해도 스테이지장치에는 고정밀도화가 요구되고 있다. 이에 대하여, 본 실시형태에 관한 스테이지장치에서는, X축 구동부는, 제2 이동체를 거치지 않고 정반(定盤)에 지지된다. 이로써, X축 구동부가 제1 이동체를 구동시켰을 때의 반력이 제2 이동체에 전반되는 것이 억제되어, 제2 이동체의 구조부재에 기인하는 히스테리시스 및 진동이 발생하지 않게 되거나, 혹은 그 발생을 억제할 수 있다. 즉, 보다 고정밀도의 스테이지장치를 실현할 수 있다. 이하, 구체적으로 설명한다.In other words, the stage device is required to have higher precision. On the other hand, in the stage apparatus which concerns on this embodiment, the X-axis drive part is supported by the surface plate without passing a 2nd movable body. As a result, the reaction force when the X-axis driving unit drives the first movable body is suppressed from propagating to the second movable body, so that hysteresis and vibration caused by the structural member of the second movable body do not occur, or the occurrence thereof can be suppressed. Can be. That is, a higher precision stage device can be realized. It demonstrates concretely below.

도 1, 도 2의 (a)~(c)는, 실시형태에 관한 스테이지장치(100)를 나타내는 도이다. 설명의 편의상, 도시와 같이, 반면(盤面)(10a)(후술)에 평행한 일 방향을 X축방향, X축방향에 직교하는 반면(10a)에 평행한 방향을 Y축방향, 양자에 직교하는(즉 반면(10a)에 직교하는) 방향을 Z축방향으로 하는 XYZ 직교좌표계를 정한다. 도 1은, 스테이지장치(100)를 나타내는 사시도이다. 도 2의 (a)는 스테이지장치(100)의 상면도, 도 2의 (b)는 X축방향에서 본 스테이지장치(100)의 측면도, 도 2의 (c)는 Y축방향에서 본 스테이지장치(100)의 측면도이다. 스테이지장치(100)는, XY스테이지라고 칭해지며, 대상물을 X축방향, Y축방향으로 위치 결정한다.1 and 2 (a) to (c) are diagrams showing the stage apparatus 100 according to the embodiment. For convenience of description, as shown in the drawing, one direction parallel to the other hand 10a (described later) is orthogonal to the X-axis direction and the X-axis direction, while a direction parallel to the 10-axis is perpendicular to the Y-axis direction and both. An XYZ rectangular coordinate system is determined in which the direction of doing (i.e., orthogonal to (10a)) is the Z-axis direction. 1 is a perspective view showing the stage device 100. 2A is a top view of the stage apparatus 100, FIG. 2B is a side view of the stage apparatus 100 seen in the X-axis direction, and FIG. 2C is a stage apparatus seen in the Y-axis direction. 100 is a side view. The stage apparatus 100 is called XY stage, and positions an object in an X-axis direction and a Y-axis direction.

스테이지장치(100)는, 정반(10)과, 제1 이동체(12)와, 제2 이동체(14)와, 제1 X축 구동부(16)와, 제2 X축 구동부(18)와, 제1 Y축 구동부(20)와, 제2 Y축 구동부(22)와, 제1 가이드(24)와, 제2 가이드(26)와, 4개의 연결부재(88)를 구비한다.The stage apparatus 100 includes a surface plate 10, a first moving body 12, a second moving body 14, a first X-axis driving unit 16, a second X-axis driving unit 18, and The 1 Y-axis drive part 20, the 2nd Y-axis drive part 22, the 1st guide 24, the 2nd guide 26, and four connecting members 88 are provided.

정반(10)은, 평면에서 보았을 때 직사각형상의 부재이다. 정반(10)의 상면인 반면(10a)에는, 평면가공이 실시된다. 또, Y축방향을 따라 뻗어 있는 제1 측면(10b)에도, 평면가공이 실시된다. 반면(10a) 및 제1 측면(10b)은, 후술하는 바와 같이 에어베어링이 활주하는 활주면으로서 기능한다.The surface plate 10 is a rectangular member in plan view. On the other hand 10a, which is the upper surface of the surface plate 10, planar processing is performed. Moreover, planar processing is also given to the 1st side surface 10b extended along a Y-axis direction. On the other hand, 10a and the first side surface 10b function as a sliding surface on which air bearings slide, as will be described later.

제1 Y축 구동부(20)는, 제1 Y축 고정자(28)와, 제1 Y축 가동자(30)를 포함한다. 제1 Y축 고정자(28)는, 가늘고 긴 원기둥형상의 부재이며, 복수의 원기둥형상의 자석을 연결하여 구성된다. 제1 Y축 고정자(28)는, 그 축선방향이 Y축방향과 일치하도록 배치되고, 정반(10)의 제1 측면(10b)에 고정된 한 쌍의 지지부재(도시생략)에 의하여 양단이 지지된다. 즉, 제1 Y축 고정자(28)는, 평면에서 보았을 때, 정반(10)의 외측에 배치된다.The first Y-axis drive unit 20 includes a first Y-axis stator 28 and a first Y-axis mover 30. The first Y-axis stator 28 is an elongated cylindrical member, and is configured by connecting a plurality of cylindrical magnets. The 1st Y-axis stator 28 is arrange | positioned so that the axial direction may correspond with a Y-axis direction, and both ends are provided by a pair of support member (not shown) fixed to the 1st side surface 10b of the surface plate 10. Supported. That is, the 1st Y-axis stator 28 is arrange | positioned at the outer side of the surface plate 10 in planar view.

제1 Y축 가동자(30)는, 하우징(32)과, 코일(도시생략)을 포함한다. 하우징(32)에는, Y축방향으로 관통하는 단면이 원형인 삽통구멍이 형성되어 있으며, 제1 Y축 고정자(28)가 삽통된다. 코일은, 제1 Y축 고정자(28)를 둘러싸도록 삽통구멍 내에 배치되고, 삽통구멍의 둘레면에 고정된다. 코일에 전류가 흐르면, 코일과 제1 Y축 고정자(28)의 사이에 전자력이 발생하고, 그 전자상호작용에 의하여 코일 나아가서는 제1 Y축 가동자(30)가 Y축방향으로 이동한다.The first Y-axis mover 30 includes a housing 32 and a coil (not shown). The housing 32 is formed with a circular insertion hole having a circular cross section penetrating in the Y-axis direction, and the first Y-axis stator 28 is inserted. The coil is disposed in the insertion hole so as to surround the first Y-axis stator 28 and is fixed to the circumferential surface of the insertion hole. When a current flows in the coil, an electromagnetic force is generated between the coil and the first Y-axis stator 28, and the coil and the first Y-axis mover 30 move in the Y-axis direction by the electron interaction.

제2 Y축 구동부(22)는, 제2 Y축 고정자(34)와, 제2 Y축 가동자(36)를 포함한다. 제2 Y축 고정자(34), 제2 Y축 가동자(36)는, 제1 Y축 고정자(28), 제1 Y축 가동자(30)와 동일하게 구성된다. 다만, 제2 Y축 고정자(34)는, 그 축선방향이 Y축방향과 일치하고, 또한 제1 Y축 고정자(28)와 평행하게 나열되도록 배치된다. 또, 제2 Y축 고정자(34)는, 반면(10a) 상에 고정된 한 쌍의 지지부재(도시생략)에 의하여 양단이 지지된다.The second Y-axis drive unit 22 includes a second Y-axis stator 34 and a second Y-axis mover 36. The 2nd Y-axis stator 34 and the 2nd Y-axis mover 36 are comprised similarly to the 1st Y-axis stator 28 and the 1st Y-axis mover 30. However, the 2nd Y-axis stator 34 is arrange | positioned so that the axial direction may correspond to the Y-axis direction, and may be arranged in parallel with the 1st Y-axis stator 28. As shown in FIG. The second Y-axis stator 34 is supported at both ends by a pair of support members (not shown) fixed on the other hand 10a.

제2 이동체(14)는, 제2 가동부(38)와, 복수의 Y축 요에어베어링(40)과, 가이드빔(42)과, 복수의 Y축 리프트에어베어링(44)을 포함한다.The second movable body 14 includes a second movable portion 38, a plurality of Y-axis yaw bearings 40, a guide beam 42, and a plurality of Y-axis lift bearings 44.

제2 가동부(38)는, 판형상의 부재이며, 2개의 주면(主面)이 X축방향을 향하도록 배치된다. 제2 가동부(38)는, 제1 Y축 가동자(30)의 하방에 마련되고, 제1 Y축 가동자(30)에 연결된다. 따라서, 제2 가동부(38)는, 제1 Y축 가동자(30)와 함께 이동한다. 제2 가동부(38)의 하측 부분은, 정반(10)의 제1 측면(10b)과 대향한다.The 2nd movable part 38 is a plate-shaped member, and is arrange | positioned so that two main surfaces may face an X-axis direction. The 2nd movable part 38 is provided below the 1st Y-axis movable member 30, and is connected to the 1st Y-axis movable member 30. As shown in FIG. Therefore, the 2nd movable part 38 moves with the 1st Y-axis movable element 30. FIG. The lower part of the 2nd movable part 38 opposes the 1st side surface 10b of the surface plate 10. As shown in FIG.

복수의 Y축 요에어베어링(40)은, 정반(10)의 제1 측면(10b)과 대향하는 제2 가동부(38)의 하측 부분에 고정되고, 제1 측면(10b)에 대하여 공기 등의 기체를 분출한다. 그 반발력에 의하여, 제2 가동부(38)와 제1 측면(10b)의 비접촉상태가 유지된다.The plurality of Y-axis yaw bearings 40 are fixed to the lower portion of the second movable portion 38 that faces the first side surface 10b of the surface plate 10, and the air such as air with respect to the first side surface 10b. Blow out the gas. By the repulsive force, the non-contact state between the second movable portion 38 and the first side surface 10b is maintained.

가이드빔(42)은, 장척형상의 부재이며, 제1 X축 고정자(52)(후술)와 제2 X축 고정자(58)(후술)의 사이에, 그 길이방향이 X축방향과 일치하도록 배치된다. 가이드빔(42)은, 일단이 제2 가동부(38)에 연결되고, 타단이 제2 Y축 가동자(36)에 연결된다. 가이드빔(42)은, X축방향에 직교하는 단면의 형상이 오목형을 갖는다. 자세하게는, 가이드빔(42)은, 바닥벽(46)과, 제1 측벽(48)과, 제2 측벽(50)을 포함한다. 바닥벽(46)은, X축방향으로 긴 평판형상의 부재이며, 2개의 주면이 Z축방향을 향하도록 마련된다. 제1 측벽(48)은, X축방향으로 긴 입벽(立壁)이며, 바닥벽(46)의 상면(즉 일방의 주면)의 Y축방향의 일단으로부터 세워 설치된다. 제2 측벽(50)은, 제1 측벽(48)과 마찬가지로, X축방향으로 긴 입벽이며, 제1 측벽(48)과 Y축방향에서 대향하도록 바닥벽(46)의 상면의 Y축방향의 타단으로부터 세워 설치된다.The guide beam 42 is a long member and is arranged so that its longitudinal direction coincides with the X-axis direction between the first X-axis stator 52 (to be described later) and the second X-axis stator 58 (to be described later). Is placed. One end of the guide beam 42 is connected to the second movable part 38, and the other end thereof is connected to the second Y-axis mover 36. The guide beam 42 has a concave shape in cross section orthogonal to the X axis direction. In detail, the guide beam 42 includes a bottom wall 46, a first side wall 48, and a second side wall 50. The bottom wall 46 is a flat member elongated in the X-axis direction, and is provided so that two main surfaces face the Z-axis direction. The first side wall 48 is a mouth wall elongated in the X-axis direction and is provided standing up from one end in the Y-axis direction of the upper surface (that is, one main surface) of the bottom wall 46. Similar to the first sidewall 48, the second sidewall 50 is a long wall in the X-axis direction, and is positioned in the Y-axis direction of the upper surface of the bottom wall 46 so as to face the first sidewall 48 in the Y-axis direction. It is installed upright from the other end.

제1 측벽(48)의 외측의 면, 즉 제2 측벽(50)과 대향하는 면과는 반대측의 면은, 평면가공이 실시되어, 에어베어링이 활주하기 위한 활주면으로서 기능한다. 이하, 제1 측벽(48)의 외측의 면을 제1 활주면(48a)이라고 부른다. 마찬가지로, 제2 측벽(50)의 외측의 면은, 평면가공이 실시되어, 에어베어링이 활주하기 위한 활주면으로서 기능한다. 이하, 제2 측벽(50)의 외측의 면을 제2 활주면(50a)이라고 부른다.The outer surface of the first side wall 48, that is, the surface opposite to the surface opposite to the second side wall 50, is subjected to planar processing and functions as a sliding surface for the air bearing to slide. Hereinafter, the surface of the outer side of the 1st side wall 48 is called the 1st sliding surface 48a. Similarly, the outer surface of the second side wall 50 is subjected to planar processing, and functions as a sliding surface for the air bearing to slide. Hereinafter, the surface of the outer side of the 2nd side wall 50 is called 2nd sliding surface 50a.

복수의 Y축 리프트에어베어링(44)은, 가이드빔(42)에 고정되어 있다. Y축 리프트에어베어링(44)은, 정반(10)의 반면(10a)에 대하여 기체를 분출한다. 그 반발력에 의하여 Y축 리프트에어베어링(44) 나아가서는 가이드빔(42)은, 반면(10a)과 비접촉인 상태로, 자세하게는 반면(10a)과의 사이에 수 μm 정도의 간극을 개재하여, Z축방향으로 지지된다.The plurality of Y-axis lift bearings 44 are fixed to the guide beams 42. The Y-axis lift air bearing 44 blows off gas with respect to the other side 10a of the surface plate 10. By the repulsive force, the Y-axis lift air bearing 44 and the guide beam 42 are in a non-contact state with the other hand (10a), while in detail, with a gap of about several micrometers between (10a), It is supported in the Z axis direction.

제1 X축 구동부(16)는, 제1 X축 고정자(52)와, 제1 X축 가동자(54)와, 제1 지지부재(56)를 포함한다. 제1 X축 고정자(52)는, 제1 Y축 고정자(28)나 제2 Y축 고정자(34)와 동일하게 구성된다. 제1 X축 고정자(52)는, 그 축선방향이 X축방향과 일치하도록 배치되고, 제1 지지부재(56)에 의하여 양단이 지지된다. 제1 X축 가동자(54)는, 제1 Y축 가동자(30)나 제2 Y축 가동자(36)와 동일하게 구성되고, 제1 X축 고정자(52)와의 전자상호작용에 의하여 X축방향으로 이동한다.The first X-axis drive unit 16 includes a first X-axis stator 52, a first X-axis mover 54, and a first support member 56. The first X-axis stator 52 is configured similarly to the first Y-axis stator 28 or the second Y-axis stator 34. The 1st X-axis stator 52 is arrange | positioned so that the axial direction may correspond with an X-axis direction, and both ends are supported by the 1st support member 56. As shown in FIG. The 1st X-axis mover 54 is comprised similarly to the 1st Y-axis mover 30 and the 2nd Y-axis mover 36, and is based on the electronic interaction with the 1st X-axis stator 52. Move in the X axis direction.

제2 X축 구동부(18)는, 제2 X축 고정자(58)와, 제2 X축 가동자(60)와, 제2 지지부재(62)를 포함한다. 제2 X축 고정자(58), 제2 X축 가동자(60)는, 제1 X축 고정자(52)와, 제1 X축 가동자(54)와 동일하게 구성된다. 제2 X축 고정자(58)는, 그 축선방향이 X축방향과 일치하고, 또한 제1 X축 고정자(52)와 평행하게 나열되도록 배치되며, 제2 지지 부재(62)에 의하여 양단이 지지된다.The second X-axis drive unit 18 includes a second X-axis stator 58, a second X-axis mover 60, and a second support member 62. The second X-axis stator 58 and the second X-axis mover 60 are configured in the same manner as the first X-axis stator 52 and the first X-axis mover 54. The 2nd X-axis stator 58 is arrange | positioned so that the axial direction may correspond with the X-axis direction, and may be arranged in parallel with the 1st X-axis stator 52, and both ends are supported by the 2nd support member 62. FIG. do.

도 3은, 도 2의 (a)의 A-A선 단면도이다. 제1 이동체(12)는, 제1 가동부(64)와, 복수의 X축 요에어베어링(66)과, 복수의 X축 리프트에어베어링(68)과, 스테이지(70)를 포함한다. 제1 가동부(64)는, 사각통형상의 부재이며, 가이드빔(42)이 삽통된다. 제1 가동부(64)는, 바닥벽(72)과, 상벽(74)과, 제1 측벽(76)과, 제2 측벽(78)을 포함한다. 제1 측벽(76)은 가이드빔(42)의 제1 활주면(48a)과 대향하고, 제2 측벽(78)은 Y축 가이드의 제2 활주면(50a)과 대향한다. 제1 측벽(76)의 외측의 면에는, 접속부재(도시생략)를 통하여 제1 X축 가동자(54)가 연결되고, 제2 측벽(78)의 외측의 면에는, 접속부재(도시생략)를 통하여 제2 X축 가동자(60)가 연결되어 있다. 따라서, 제1 가동부(64)는, 제1 X축 가동자(54) 및 제2 X축 가동자(60)와 함께 이동한다.3 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG. The first moving body 12 includes a first movable portion 64, a plurality of X-axis yaw bearings 66, a plurality of X-axis lift air bearings 68, and a stage 70. The 1st movable part 64 is a rectangular cylindrical member, and the guide beam 42 is inserted. The first movable portion 64 includes a bottom wall 72, an upper wall 74, a first side wall 76, and a second side wall 78. The first sidewall 76 faces the first slide surface 48a of the guide beam 42, and the second sidewall 78 faces the second slide surface 50a of the Y-axis guide. The first X-axis mover 54 is connected to the outer side of the first side wall 76 via a connecting member (not shown), and the outer side of the second side wall 78 is a connecting member (not shown). Is connected to the second X-axis mover 60. Therefore, the 1st movable part 64 moves with the 1st X-axis mover 54 and the 2nd X-axis mover 60. FIG.

복수의 X축 요에어베어링(66)은, 제1 측벽(76)의 내면(즉 제2 측벽(78)과 대향하는 면)(76a), 제2 측벽(78)의 내면(즉 제1 측벽과 대향하는 면)(78a)에 고정되고, 가이드빔(42)의 제1 활주면(48a), 제2 활주면(50a)에 대하여 기체를 분출한다. 또, 복수의 X축 리프트에어베어링(68)은, 바닥벽(72)의 하면(72a)에 고정되고, 반면(10a)에 대하여 기체를 분출한다. 제1 가동부(64)는, X축 요에어베어링(66) 및 X축 리프트에어베어링(68)이 기체를 분출하는 것에 의한 반발력에 의하여, 가이드빔(42) 및 반면(10a)과 비접촉인 상태로, 자세하게는 가이드빔(42) 및 반면(10a)과의 사이에 수 μm 정도의 간극을 개재하여, Y축방향 및 Z축방향으로 지지된다.The plurality of X-axis yaw bearings 66 include an inner surface of the first sidewall 76 (that is, a surface opposite the second sidewall 78) 76a, and an inner surface of the second sidewall 78 (that is, the first sidewall). And a gas are blown to the first slide surface 48a and the second slide surface 50a of the guide beam 42. Moreover, the some X-axis lift air bearing 68 is being fixed to the lower surface 72a of the bottom wall 72, and blows gas to 10a. The first movable portion 64 is in a non-contact state with the guide beams 42 and the other 10a by the repulsive force caused by the X-axis yaw bearing 66 and the X-axis lift air bearing 68 to blow off the gas. In detail, it is supported in the Y-axis direction and Z-axis direction via a gap of about several micrometers between the guide beam 42 and the other hand 10a.

스테이지(70)는, 제1 가동부(64)에 고정된다. 스테이지(70)에는, 예를 들면, 반도체웨이퍼 등의 가공대상물 등이 올려진다.The stage 70 is fixed to the first movable part 64. On the stage 70, for example, a processing object such as a semiconductor wafer is mounted.

도 1, 도 2의 (a)~(c)로 되돌아가, 제1 가이드(24)는, 제1 가이드레일(80)과, 2개의 제1 슬라이더(82)를 포함한다. 제1 가이드레일(80)은, 그 뻗어 있는 방향이 Y축방향과 일치하도록 반면(10a) 상에 고정된다. 2개의 제1 슬라이더(82)는 각각, 복수의 전동체를 포함하고, 제1 가이드레일(80)을 따라 Y축방향으로 이동한다.Returning to FIGS. 1 and 2 (a) to (c), the first guide 24 includes a first guide rail 80 and two first sliders 82. The first guide rail 80 is fixed on the other hand 10a such that its extending direction coincides with the Y-axis direction. The two first sliders 82 each include a plurality of rolling elements, and move along the first guide rail 80 in the Y-axis direction.

제2 가이드(26)는, 제2 가이드레일(84)과, 2개의 제2 슬라이더(86)를 포함한다. 제2 가이드레일(84), 제2 슬라이더(86)는, 제1 가이드레일(80), 제1 슬라이더(82)와 동일하게 구성된다. 다만, 제2 가이드레일(84)은, 그 뻗어 있는 방향이 Y축방향과 일치하고, 또한 제1 가이드레일(80)과 평행하게 나열되도록 배치된다.The second guide 26 includes a second guide rail 84 and two second sliders 86. The 2nd guide rail 84 and the 2nd slider 86 are comprised similarly to the 1st guide rail 80 and the 1st slider 82. FIG. However, the 2nd guide rail 84 is arrange | positioned so that the extending direction may correspond with a Y-axis direction, and may be arranged in parallel with the 1st guide rail 80. FIG.

제1 X축 고정자(52)를 지지하는 2개의 제1 지지부재(56)는, 일방은 제1 가이드(24)의 제1 슬라이더(82)에 고정되고, 타방은 제2 가이드(26)의 제2 슬라이더(86)에 지지된다. 즉, 제1 지지부재(56) 나아가서는 제1 X축 구동부(16)는, Y축방향으로 이동가능하게 구성된다.Two first supporting members 56 supporting the first X-axis stator 52 are fixed to one of the first sliders 82 of the first guide 24 and the other of the second guides 26. It is supported by the second slider 86. That is, the 1st support member 56 and the 1st X-axis drive part 16 are comprised so that a movement to a Y-axis direction is possible.

마찬가지로, 제2 X축 고정자(58)를 지지하는 2개의 제2 지지부재(62)는, 일방은 제1 가이드(24)의 제1 슬라이더(82)에 고정되고, 타방은 제2 가이드의 제2 슬라이더(86)에 지지된다. 즉, 제2 지지부재(62) 나아가서는 제2 X축 구동부(18)는, Y축방향으로 이동가능하게 구성된다.Similarly, the two second supporting members 62 supporting the second X-axis stator 58 are fixed to one of the first sliders 82 of the first guide 24, and the other of the two second supporting members 62. 2 is supported by the slider (86). That is, the 2nd support member 62 and the 2nd X-axis drive part 18 are comprised so that a movement to a Y-axis direction is possible.

도 4는, 가이드빔(42)의 일단과 그 주변을 나타내는 사시도이다. 연결부재(88)는, 가이드빔(42)과, 제1 지지부재(56) 및 제1 X축 고정자(52)를 연결한다. 즉, 연결부재(88)는, 제2 이동체(14)와, X축 구동부를 연결한다. 연결부재(88)는, 그 X축방향에 있어서의 강성이, 가이드레일(80, 84)의 X축방향에 있어서의 강성보다 낮아지도록 구성된다. 예를 들면, 연결부재(88)는, 그 X축방향에 있어서의 폭이, 가이드레일(80, 84)의 X축방향에 있어서의 폭보다 얇아지도록 구성되어도 된다. 또 예를 들면, 연결부재(88)는, 제1 가이드레일(80)보다 영률이 낮은 재료에 의하여 구성되어도 된다.4 is a perspective view showing one end of the guide beam 42 and its periphery. The connecting member 88 connects the guide beam 42 with the first supporting member 56 and the first X-axis stator 52. That is, the connecting member 88 connects the second moving body 14 and the X-axis driving unit. The connecting member 88 is configured such that the rigidity in the X-axis direction is lower than the rigidity in the X-axis direction of the guide rails 80 and 84. For example, the connecting member 88 may be configured such that the width in the X-axis direction becomes thinner than the width in the X-axis direction of the guide rails 80 and 84. For example, the connecting member 88 may be made of a material having a Young's modulus lower than that of the first guide rail 80.

또, 본 실시형태에서는, 연결부재(88)는, Y축방향으로는 비교적 강성이 높고, X축방향으로는 비교적 강성이 낮아(적어도 Y축방향보다 강성이 낮아)지도록 구성된다. 본 실시형태에서는, 연결부재(88)는, 판형상으로 형성되고, 그 주면이 X축방향을 향하도록 마련된다. 즉, 연결부재(88)는, Y축방향으로는 비교적 두껍고, X축방향으로는 비교적 얇게(적어도 Y축방향보다 얇게) 구성된다.In the present embodiment, the connecting member 88 is configured to have relatively high rigidity in the Y-axis direction and relatively low rigidity (at least less rigid than the Y-axis direction) in the X-axis direction. In this embodiment, the connection member 88 is formed in plate shape, and is provided so that the main surface may face an X-axis direction. That is, the connecting member 88 is relatively thick in the Y-axis direction and relatively thin (at least thinner than the Y-axis direction) in the X-axis direction.

이상과 같이 구성된 스테이지장치(100)의 동작을 설명한다.The operation of the stage apparatus 100 configured as described above will be described.

제1 Y축 구동부(20)의 제1 Y축 가동자(30)의 코일과, 제2 Y축 구동부(22)의 제2 Y축 가동자(36)의 코일에 전류가 공급되면, 각 코일과 Y축 고정자의 사이에 전자력이 발생하고, 그 전자상호작용에 의하여 Y축 가동자 나아가서는 제2 이동체(14)(및 제1 이동체(12))가 Y축방향으로 이동한다. 제1 X축 구동부(16)의 제1 X축 가동자(54)의 코일과, 제2 X축 구동부(18)의 제2 X축 가동자(60)의 코일에 전류가 공급되면, 각 코일과 X축 고정자의 사이에 전자력이 발생하고, 그 전자상호작용에 의하여 X축 가동자 나아가서는 제1 이동체(12)가 X축방향으로 이동한다. 이와 같이 제1 이동체(12) 및 제2 이동체(14)를 이동시킴으로써, 제1 이동체(12)의 스테이지(70)를 XY방향으로 이동시키고, 스테이지(70)에 재치되는 대상물을 XY방향으로 위치 결정한다. 제1 X축 구동부(16) 및 제2 X축 구동부(18)는, 연결부재(88)에 의하여 가이드빔(42) 즉 제2 이동체(14)에 연결되어 있기 때문에, 제2 이동체(14)의 Y축방향의 이동과 함께 Y축방향으로 이동한다.When a current is supplied to the coil of the 1st Y-axis mover 30 of the 1st Y-axis drive part 20, and the coil of the 2nd Y-axis mover 36 of the 2nd Y-axis drive part 22, each coil is applied. An electromagnetic force is generated between the Y-axis stator and the Y-axis mover and thus the second movable body 14 (and the first movable body 12) move in the Y-axis direction by the electron interaction. When a current is supplied to the coil of the 1st X-axis mover 54 of the 1st X-axis drive part 16, and the coil of the 2nd X-axis mover 60 of the 2nd X-axis drive part 18, each coil is applied. An electromagnetic force is generated between the X-axis stator and the X-axis mover and thus the first moving body 12 moves in the X-axis direction by the electron interaction. By moving the first movable body 12 and the second movable body 14 in this manner, the stage 70 of the first movable body 12 is moved in the XY direction, and the object placed on the stage 70 is positioned in the XY direction. Decide Since the first X-axis driving unit 16 and the second X-axis driving unit 18 are connected to the guide beam 42, that is, the second moving body 14 by the connecting member 88, the second moving body 14 is used. Move in the Y-axis direction along with the movement in the Y-axis direction.

이상 설명한 실시형태에 관한 스테이지장치(100)에 의하면, 제1 X축 구동부(16) 및 제2 X축 구동부(18)는, 정반(10)의 반면(10a) 상에 마련된 가이드에 지지되는 지지부재에 지지된다. 즉, 제1 X축 구동부(16) 및 제2 X축 구동부(18)는, 제2 이동체(14)를 거치지 않고 지지된다. 이로써, 제1 X축 구동부(16) 및 제2 X축 구동부(18)에 의하여 제1 이동체(12)를 구동시켰을 때의 반력이 제2 이동체(14)(특히 제2 가동부(38))에 전반되는 것이 억제된다. 이로 인하여, 제2 가동부(38)의 구조부재에 기인하는 히스테리시스 및 진동이 발생하지 않게 되거나, 혹은 그 발생이 억제된다. 즉, 보다 고정밀도의 스테이지장치(100)가 실현된다. 또, 반력이 제2 가동부(38)에 전반되는 것이 억제되기 때문에, 그 반력에 의한 제2 가동부(38)의 진동이 비교적 빨리 억제된다. 이로써, 스테이지장치(100)를 이용한 생산의 스루풋이 향상된다.According to the stage apparatus 100 which concerns on embodiment described above, the 1st X-axis drive part 16 and the 2nd X-axis drive part 18 support | support supported by the guide provided on the other hand 10a of the surface plate 10. Supported by the member. That is, the 1st X-axis drive part 16 and the 2nd X-axis drive part 18 are supported without passing through the 2nd moving body 14. As shown in FIG. Thereby, the reaction force at the time of driving the 1st moving body 12 by the 1st X-axis drive part 16 and the 2nd X-axis drive part 18 to the 2nd moving body 14 (especially 2nd movable part 38) is carried out. Propagation is suppressed. As a result, hysteresis and vibration caused by the structural member of the second movable portion 38 do not occur or the occurrence thereof is suppressed. That is, the stage apparatus 100 of higher precision is realized. Moreover, since reaction force propagates to the 2nd movable part 38 is suppressed, the vibration of the 2nd movable part 38 by the reaction force is suppressed relatively quickly. Thereby, the throughput of production using the stage apparatus 100 is improved.

또, 실시형태에 관한 스테이지장치(100)에 의하면, 연결부재(88)는, 그 X축방향에 있어서의 강성이, 가이드레일(80, 84)의 X축방향에 있어서의 강성보다 낮아지도록 구성된다. 제1 이동체(12)를 구동시켰을 때의 반력은 강성이 높은 쪽으로 전달되기 쉬운바, 상술과 같이 구성됨으로써, 그 반력은, 제1 지지부재(56) 및 제2 지지부재(62)로부터 연결부재(88)를 통하여 제2 이동체(14)에 전반되기보다, 제1 지지부재(56) 및 제2 지지부재(62)로부터 가이드레일(80, 84)을 통하여 정반(10)에 전반되기 쉬워진다. 즉, X축 구동부가 제1 이동체(12)를 구동시켰을 때의 반력이 제2 이동체(14)에 전반되는 것이 보다 억제된다.Moreover, according to the stage apparatus 100 which concerns on embodiment, the connection member 88 is comprised so that the rigidity in the X-axis direction may become lower than the rigidity in the X-axis direction of the guide rails 80,84. do. The reaction force at the time of driving the first movable body 12 tends to be transmitted to the higher rigidity. The reaction force is configured as described above so that the reaction force is connected from the first support member 56 and the second support member 62 to the connecting member. Rather than being propagated to the second movable body 14 through the 88, it is easier to propagate from the first support member 56 and the second support member 62 to the surface plate 10 through the guide rails 80 and 84. . That is, the reaction force when the X-axis drive unit drives the first moving body 12 is propagated to the second moving body 14 more suppressed.

또, 실시형태에 관한 스테이지장치(100)에 의하면, 연결부재(88)는, Y축방향으로는 비교적 높은 강성을 갖는다. 이로써, 제2 이동체(14)가 Y축방향으로 이동하면, 연결부재(88)에 의하여 제2 이동체(14)에 연결된 X축 구동부도 제2 이동체(14)와 함께 Y축방향으로 이동한다. 한편, 연결부재(88)는 X축방향으로는 비교적 낮은 강성을 갖는다. 이로써, 그렇지 않은 경우와 비교하여, X축 구동부가 제1 이동체(12)를 구동시켰을 때의 반력이 제2 이동체(14)에 전반되는 것을 보다 억제할 수 있다.Moreover, according to the stage apparatus 100 which concerns on embodiment, the connection member 88 has comparatively high rigidity in a Y-axis direction. Thus, when the second moving body 14 moves in the Y-axis direction, the X-axis driving unit connected to the second moving body 14 by the connecting member 88 also moves in the Y-axis direction together with the second moving body 14. On the other hand, the connecting member 88 has a relatively low rigidity in the X-axis direction. Thereby, compared with the case where it is not, the reaction force at the time when the X-axis drive part drives the 1st moving body 12 can be suppressed more propagated to the 2nd moving body 14.

이상, 실시형태에 스테이지장치에 대하여 설명했다. 이 실시형태는 예시이며, 그들의 각 구성요소나 각 처리 프로세스의 조합에 다양한 변형예가 가능한 것, 또 그러한 변형예도 본 발명의 범위에 있는 것은 당업자에게 이해되는 바이다. 이하 변형예를 나타낸다.In the above, the stage apparatus was demonstrated in embodiment. This embodiment is an illustration, It is understood by those skilled in the art that various modifications are possible for each component and combination of each processing process, and such modifications are also within the scope of the present invention. Modifications are shown below.

(변형예 1)(Modification 1)

실시형태에서는 특별히 언급하지 않았지만, 연결부재(88)는, 제1 지지부재(56) 및 제2 지지부재(62)보다 X축방향의 강성이 낮아지도록 구성되어도 된다. 이로써, X축 구동부가 제1 이동체(12)를 구동했을 때의 반력은 강성이 낮은 연결부재(88)에는 전반되기 어려워지고, 따라서 반력이 연결부재(88)를 통하여 제2 이동체에 전반되는 것이 억제된다.Although not specifically mentioned in the embodiment, the connecting member 88 may be configured to have lower rigidity in the X-axis direction than the first supporting member 56 and the second supporting member 62. As a result, the reaction force when the X-axis drive unit drives the first moving body 12 is less likely to propagate to the connecting member 88 having a lower rigidity, and therefore, the reaction force is propagated to the second moving body through the connecting member 88. Suppressed.

(변형예 2)(Modification 2)

실시형태에서는, 연결부재(88)가 판형상의 부재인 경우에 대하여 설명했지만, 이에 한정되지 않는다. 연결부재(88)는, 그 X축방향에 있어서의 강성이, 가이드레일(80, 84)의 X축방향에 있어서의 강성보다 낮아지도록 구성되면 된다. 도 5의 (a)~(c)는, 각각 변형예에 관한 연결부재를 나타낸다.Although embodiment demonstrated the case where the connection member 88 is a plate-shaped member, it is not limited to this. The connecting member 88 may be configured such that the rigidity in the X-axis direction is lower than the rigidity in the X-axis direction of the guide rails 80 and 84. 5 (a) to 5 (c) each show a connecting member according to a modification.

도 5의 (a)의 연결부재(188)는, 제1 베이스(190)와, 제2 베이스(192)와, 탄성힌지(194)를 포함한다. 제1 베이스(190), 제2 베이스(192)는, 판형상으로 형성된다. 제1 베이스(190)는 지지부재에 고정되고, 제2 베이스(192)는 가이드빔(42)에 고정된다. 탄성힌지(194)는, 제1 베이스(190)와 제2 베이스(192)를 연결한다. 탄성힌지(194)는, 제1 베이스(190)나 제2 베이스(192)와 비교하여, Z축방향의 두께가 얇게 형성된다. 연결부재(188)는, 탄성힌지(194)를 가짐으로써, 실시형태의 연결부재(88)에 비하여, Z축방향의 강성이 비교적 낮아진다.The connection member 188 of FIG. 5A includes a first base 190, a second base 192, and an elastic hinge 194. The first base 190 and the second base 192 are formed in a plate shape. The first base 190 is fixed to the support member, and the second base 192 is fixed to the guide beam 42. The elastic hinge 194 connects the first base 190 and the second base 192. The elastic hinge 194 has a smaller thickness in the Z-axis direction than the first base 190 or the second base 192. By having the elastic hinge 194, the connecting member 188 becomes relatively low in the Z-axis rigidity compared with the connecting member 88 of embodiment.

도 5의 (b)의 연결부재(288)는, 제1 베이스(290)와, 제2 베이스(292)와, 탄성힌지(294)를 포함한다. 제1 베이스(290), 제2 베이스(292)는, 원기둥형상으로 형성된다. 제1 베이스(290)는 지지부재에 고정되고, 제2 베이스(292)는 가이드빔(42)에 고정된다. 탄성힌지(294)는, 제1 베이스(290)와 제2 베이스(292)를 연결한다. 탄성 힌지(294)는, 제1 베이스(290)나 제2 베이스(292)와 비교하여, Y축방향 및 Z축방향의 두께가 얇은 기둥형상의 탄성힌지이다. 연결부재(288)는, 탄성힌지(294)를 가짐으로써, Y축방향에 있어서의 강성은 비교적 높고, 그 외의 방향의 강성은 비교적 낮아(적어도 Y축방향에 있어서의 강성보다 낮아)진다.The connection member 288 of FIG. 5B includes a first base 290, a second base 292, and an elastic hinge 294. The first base 290 and the second base 292 are formed in a cylindrical shape. The first base 290 is fixed to the support member, and the second base 292 is fixed to the guide beam 42. The elastic hinge 294 connects the first base 290 and the second base 292. The elastic hinge 294 is a columnar elastic hinge that is thinner in the Y-axis direction and the Z-axis direction than the first base 290 or the second base 292. The coupling member 288 has an elastic hinge 294, so that the rigidity in the Y-axis direction is relatively high and the rigidity in the other direction is relatively low (at least lower than the rigidity in the Y-axis direction).

도 5의 (c)의 연결부재(388)는, 제1 베이스(390)와, 제2 베이스(392)와, 구체(394)와, 2개의 스프링(396)을 포함한다. 제1 베이스(390), 제2 베이스(392)는 판형상으로 형성된다. 제1 베이스(390)는 지지부재에 고정되고, 제2 베이스(392)는 가이드빔(42)에 고정된다. 제2 베이스(392)와 대향하는 제1 베이스(390)의 면, 제1 베이스(390)와 대향하는 제2 베이스(392)의 면에는, 각각 오목부가 형성되어 있다. 구체(394)는 이 2개의 오목부에 끼워 넣어진다. 또, 제1 베이스(390)와 제2 베이스(392)는, 2개의 스프링(396)으로 연결되어 있다. 연결부재(388)는, Y축방향에 있어서의 강성은 비교적 높고, 그 외의 방향의 강성은 비교적 낮아(적어도 Y축방향에 있어서의 강성보다 낮아)진다.The connection member 388 of FIG. 5C includes a first base 390, a second base 392, a sphere 394, and two springs 396. The first base 390 and the second base 392 are formed in a plate shape. The first base 390 is fixed to the support member, and the second base 392 is fixed to the guide beam 42. Concave portions are formed in the surface of the first base 390 facing the second base 392 and the surface of the second base 392 facing the first base 390, respectively. The sphere 394 is fitted into these two recesses. In addition, the first base 390 and the second base 392 are connected by two springs 396. The coupling member 388 has a relatively high rigidity in the Y-axis direction and a relatively low rigidity in the other direction (at least lower than the rigidity in the Y-axis direction).

여기에서, 스테이지장치에서는, 제2 이동체(14)는 에어베어링에 지지되고, X축 구동부는 가이드에 지지된다. 따라서, 제2 이동체(14)와, 연결부재에 의하여 제2 이동체(14)에 연결된 X축 구동부가 Y축방향으로 이동할 때, 제2 이동체(14)와 X축 구동부는, 서로 비동기로, Z축방향으로 미소하게 상하이동한다. 이에 대하여, 도 5의 (a)~(c)의 연결부재에서는, 모두 Z축방향의 강성이 비교적 낮아지기 때문에, 제2 이동체(14)와 X축 구동부가, 서로 비동기로 Z축방향으로 미소하게 상하이동해도, 그에 따르는 응력이 연결부재에 걸리는 것이 억제된다.Here, in the stage device, the second moving body 14 is supported by the air bearing, and the X-axis drive unit is supported by the guide. Accordingly, when the second moving body 14 and the X-axis driving unit connected to the second moving body 14 by the connecting member move in the Y-axis direction, the second moving body 14 and the X-axis driving unit are asynchronous to each other. It moves slightly in the axial direction. On the other hand, in the connecting members of Figs. 5A to 5C, since the rigidity in the Z-axis direction is both relatively low, the second moving member 14 and the X-axis driving unit are asynchronously in the Z-axis direction with each other. Even when moving, the stress of the connection member is suppressed.

(변형예 3)(Modification 3)

실시형태에서는, Y축 구동부는, 제2 이동체를 Y축방향으로 구동하는 경우에 대하여 설명했지만, 이에 한정되지 않는다. Y축 구동부는, X축 구동부를 Y축방향으로 구동해도 된다. 이 경우, Y축 구동부의 가동자와 X축 구동부가 연결된다. Y축 구동부에 구동되어 X축 구동부가 Y축방향으로 이동하면, 연결부재에 의하여 X축 구동부와 연결된 제2 이동체는, X축 구동부와 함께 Y축방향으로 이동한다.In embodiment, although the Y-axis drive part demonstrated the case where the 2nd movable body is driven to a Y-axis direction, it is not limited to this. The Y-axis driver may drive the X-axis driver in the Y-axis direction. In this case, the mover of the Y-axis drive unit and the X-axis drive unit are connected. When driven by the Y-axis drive unit and the X-axis drive unit moves in the Y-axis direction, the second movable body connected to the X-axis drive unit by the connecting member moves in the Y-axis direction together with the X-axis drive unit.

(변형예 4)(Modification 4)

실시형태 및 상술의 변형예에서는, 제1 이동체(12)와 X축 구동부가 연결부재로 연결되고, 제1 이동체(12) 또는 X축 구동부의 일방을 Y축 구동부에 의하여 구동하는 경우에 대하여 설명했지만, 이에 한정되지 않는다. 스테이지장치는, 제1 이동체(12)를 Y축방향으로 구동하는 Y축 구동부에 더하여, X축 구동부를 Y축방향으로 구동하는 다른 Y축 구동부를 구비해도 된다. 이 경우, Y축 구동부에 의하여 제1 이동체(12)를 Y축방향으로 이동시킴과 실질적으로 동시에, 다른 Y축 구동부에 의하여 제1 이동체(12)와 동일한 Y축방향으로 X축 구동부를 이동시켜도 된다.In the embodiment and the modifications described above, the case where the first moving body 12 and the X-axis driving unit are connected by the connecting member and the one of the first moving body 12 or the X-axis driving unit is driven by the Y-axis driving unit will be described. However, it is not limited to this. In addition to the Y-axis drive part which drives the 1st moving body 12 to a Y-axis direction, the stage apparatus may be equipped with the other Y-axis drive part which drives an X-axis drive part to a Y-axis direction. In this case, even if the first moving body 12 is moved in the Y-axis direction by the Y-axis driving unit, the X-axis driving unit is moved in the same Y-axis direction as the first moving body 12 by the other Y-axis driving unit. do.

상술한 실시형태와 변형예의 임의의 조합도 또 본 발명의 실시형태로서 유용하다. 조합에 의하여 발생하는 새로운 실시형태는, 조합되는 실시형태 및 변형예 각각의 효과를 겸비한다.Any combination of the above-described embodiments and modifications is also useful as an embodiment of the present invention. The new embodiment generated by the combination combines the effects of each of the embodiments and the modified examples to be combined.

12 제1 이동체
14 제2 이동체
70 스테이지
88 연결부재
100 스테이지장치12 first moving object
14 second moving object
70 stages
88 connecting member
100 stage unit

Claims (5)

제1 이동체와,
상기 제1 이동체를 X축방향으로 구동하기 위한 X축 구동부와,
상기 제1 이동체의 X축방향의 이동을 안내하고, Y축방향으로 이동가능하게 구성된 제2 이동체와,
상기 제2 이동체를 Y축방향으로 이동시키기 위한 Y축 구동부를 구비하며,
상기 X축 구동부는, 상기 제2 이동체와 함께 Y축방향으로 이동가능하게 구성되고, 상기 Y축 구동부는, 상기 제2 이동체 또는 상기 X축 구동부를 Y축방향으로 구동하며,
상기 X축 구동부는, 상기 제2 이동체에 지지되어 있지 않은 것을 특징으로 하는 스테이지장치.The first moving object,
An X-axis driving unit for driving the first moving body in the X-axis direction;
A second movable body configured to guide the movement of the first movable body in the X axis direction and to be movable in the Y axis direction;
Y-axis drive unit for moving the second moving body in the Y-axis direction,
The X-axis driving unit is configured to be movable in the Y-axis direction together with the second moving body, the Y-axis driving unit drives the second moving body or the X-axis driving unit in the Y-axis direction,
The X-axis driving unit is not supported by the second moving body. 제 1 항에 있어서,
상기 제2 이동체와 상기 X축 구동부는, 연결부재로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 스테이지장치.The method of claim 1,
And the second moving body and the X-axis driving unit are connected by a connecting member. 제 2 항에 있어서,
상기 X축 구동부를 지지함과 함께, 상기 X축 구동부의 Y축방향의 이동을 안내하는 가이드레일을 구비하고,
상기 연결부재는, 그 X축방향에 있어서의 강성이, 상기 가이드레일의 X축방향에 있어서의 강성보다 낮아지도록 구성되는 것을 특징으로 하는 스테이지장치.The method of claim 2,
A guide rail for supporting the X-axis driving unit and guiding movement in the Y-axis direction of the X-axis driving unit,
And the connecting member is configured such that the rigidity in the X-axis direction is lower than the rigidity in the X-axis direction of the guide rail. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
상기 연결부재는, 상기 제2 이동체에 고정되는 제1 부분과, 상기 X축 구동부에 고정되는 제2 부분과, 상기 제1 부분과 상기 제2 부분을 접속하는 기둥형상의 탄성힌지를 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지장치.The method of claim 2 or 3,
The connecting member includes a first portion fixed to the second movable body, a second portion fixed to the X-axis driving unit, and a columnar elastic hinge connecting the first portion and the second portion. Stage device characterized in that. 제1 이동체와,
상기 제1 이동체를 X축방향으로 구동하기 위한 X축 구동부와,
상기 제1 이동체의 X축방향의 이동을 안내하고, Y축방향으로 이동가능하게 구성된 제2 이동체와,
상기 제2 이동체를 Y축방향으로 구동하는 Y축 구동부와,
상기 X축 구동부를 Y축방향으로 구동하는, 상기 Y축 구동부와는 다른 Y축 구동부를 구비하며,
상기 X축 구동부는, 상기 제2 이동체에 지지되어 있지 않은 것을 특징으로 하는 스테이지장치.The first moving object,
An X-axis driving unit for driving the first moving body in the X-axis direction;
A second movable body configured to guide the movement of the first movable body in the X axis direction and to be movable in the Y axis direction;
A Y-axis driving unit for driving the second moving body in the Y-axis direction;
It is provided with a Y-axis drive unit different from the Y-axis drive unit for driving the X-axis drive unit in the Y-axis direction,
The X-axis driving unit is not supported by the second moving body.
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