JP5785722B2 - Stage equipment - Google Patents

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Description

本発明は、ステージ装置に関する。   The present invention relates to a stage apparatus.

従来のステージ装置としては、例えば下記特許文献１に記載されているように、定盤上をＸ軸方向に移動するＸ軸移動体と、Ｘ軸方向に沿った軸状のＸ軸固定子及びＸ軸移動体に設けられたＸ軸可動子を有するＸ軸シャフトモータと、定盤上をＹ軸方向に移動するＹ軸移動体と、Ｙ軸方向に沿った軸状のＹ軸固定子及びＹ軸移動体に設けられたＹ軸可動子を有するＹ軸シャフトモータとを備えたものが知られている。このステージ装置では、Ｘ軸固定子がＹ軸移動体に固定されており、Ｙ軸移動体がＸ軸固定子と共に定盤上を移動する。   As a conventional stage device, for example, as described in Patent Document 1 below, an X-axis moving body that moves on a surface plate in the X-axis direction, an axial X-axis stator along the X-axis direction, and An X-axis shaft motor having an X-axis mover provided on the X-axis moving body, a Y-axis moving body that moves on the surface plate in the Y-axis direction, an axial Y-axis stator along the Y-axis direction, and A device including a Y-axis shaft motor having a Y-axis movable element provided on a Y-axis moving body is known. In this stage apparatus, the X-axis stator is fixed to the Y-axis moving body, and the Y-axis moving body moves on the surface plate together with the X-axis stator.

特開２００９−１０１４２７号公報JP 2009-101427 A

ここで、上記のようなステージ装置では、Ｘ軸移動体の駆動でＸ軸シャフトモータに発生する熱によりＸ軸固定子が熱膨張してＸ軸方向に伸び、このＸ軸固定子の伸びによりＹ軸固定子に反りや歪が生じるおそれがある。そのため、上記のようなステージ装置では、場合によっては、Ｙ軸移動体の移動の精度が低下し、Ｙ軸移動体を安定して移動させることが困難となるおそれがある。   Here, in the stage apparatus as described above, the X-axis stator is thermally expanded by the heat generated in the X-axis shaft motor by driving the X-axis moving body and extends in the X-axis direction. The Y-axis stator may be warped or distorted. For this reason, in the stage device as described above, in some cases, the accuracy of movement of the Y-axis moving body is lowered, and it may be difficult to stably move the Y-axis moving body.

本発明は、このような課題を解決するために成されたものであり、安定してＹ軸移動体を移動させることができるステージ装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve such problems, and an object of the present invention is to provide a stage apparatus that can stably move a Y-axis moving body.

本発明に係るステージ装置は、定盤上をＸ軸方向に移動するＸ軸移動体と、Ｘ軸方向に沿った軸状のＸ軸固定子、及びＸ軸移動体に設けられたＸ軸可動子を有し、Ｘ軸移動体をＸ軸方向に駆動するためのＸ軸シャフトモータと、定盤上をＸ軸固定子と共にＹ軸方向に移動するＹ軸移動体と、Ｙ軸方向に沿った軸状のＹ軸固定子、及びＹ軸移動体に設けられたＹ軸可動子を有し、Ｙ軸移動体をＹ軸方向に駆動するためのＹ軸シャフトモータと、Ｙ軸移動体のＹ軸方向の移動をガイドするＹ軸ガイドと、を備え、Ｙ軸移動体は、第１Ｙ軸移動体及び第２Ｙ軸移動体を有し、Ｘ軸固定子の一端部は、第１Ｙ軸移動体に固定され、Ｘ軸固定子の他端部は、Ｘ軸固定子のＸ軸方向の伸長を許容するように第２Ｙ軸移動体に連結され、Ｘ軸固定子の他端部は、当該他端部をＸ軸方向に非拘束で且つＸ軸方向以外の方向に拘束する連結部材によってＹ軸移動体に連結されており、連結部材は、Ｘ軸固定子の他端部を把持する把持部材と、把持部材のＸ軸方向の移動をガイドするガイド部材と、前記Ｙ軸移動体に固定されガイド部材を保持する保持部材と、ガイド部材の下面にＸ軸方向のみに転がる円筒ころが取り付けられており、Ｙ軸ガイドは、第１及び第２Ｙ軸移動体のうちＸ軸固定子の他端部が連結された側である第２Ｙ軸移動体に設けられていることを特徴とする。 The stage apparatus according to the present invention includes an X-axis moving body that moves on the surface plate in the X-axis direction, an axial X-axis stator that extends along the X-axis direction, and an X-axis movable body provided on the X-axis moving body. An X-axis shaft motor for driving the X-axis moving body in the X-axis direction, a Y-axis moving body that moves on the surface plate along with the X-axis stator in the Y-axis direction, and along the Y-axis direction A Y-axis shaft motor for driving the Y-axis moving body in the Y-axis direction, and a Y-axis moving body of the Y-axis moving body. A Y-axis guide that guides the movement in the Y-axis direction, the Y-axis moving body has a first Y-axis moving body and a second Y-axis moving body, and one end of the X-axis stator is a first Y-axis fixed to the moving body, the other end portion of X-axis stator may be connected to the 2 Y-axis movable body so as to permit extension of the X-axis direction of X-axis stator, other X-axis stator The portion is connected to the Y-axis moving body by a connecting member that restrains the other end portion in the X-axis direction and in a direction other than the X-axis direction, and the connecting member is the other end portion of the X-axis stator. A holding member that holds the guide member fixed to the Y-axis moving body, and rolls only in the X-axis direction on the lower surface of the guide member. Cylindrical rollers are attached, and the Y-axis guide is provided on the second Y-axis moving body that is the side to which the other end of the X-axis stator is connected among the first and second Y-axis moving bodies. Features.

本発明では、Ｘ軸固定子の一端部がＹ軸移動体に固定され、Ｘ軸固定子の他端部が当該Ｘ軸固定子のＸ軸方向の伸長を許容するようにＹ軸移動体に連結されている。このため、Ｘ軸移動体の駆動に伴いＸ軸固定子が熱膨張した場合に、Ｘ軸固定子の伸長を他端部側で解放することができる。従って、熱膨張によらず、安定してＹ軸移動体を移動させることができる。   In the present invention, one end of the X-axis stator is fixed to the Y-axis moving body, and the other end of the X-axis stator is allowed to extend in the X-axis direction of the X-axis stator. It is connected. For this reason, when the X-axis stator is thermally expanded as the X-axis moving body is driven, the extension of the X-axis stator can be released on the other end side. Therefore, the Y-axis moving body can be moved stably regardless of thermal expansion.

また、Ｘ軸固定子の他端部は、当該他端部をＸ軸方向に非拘束で且つＸ軸方向以外の方向に拘束する連結部材によってＹ軸移動体に連結されており、Ｘ軸方向においてＸ軸固定子の他端部とＹ軸移動体との間には、隙間が設けられていることが好ましい。この場合、Ｘ軸固定子の伸長を解放し安定してＹ軸移動体を移動させるという上記作用効果を、好適に発揮させることができる。   The other end of the X-axis stator is connected to the Y-axis moving body by a connecting member that is not constrained in the X-axis direction and constrained in a direction other than the X-axis direction. It is preferable that a gap is provided between the other end of the X-axis stator and the Y-axis moving body. In this case, the above effect of releasing the extension of the X-axis stator and stably moving the Y-axis moving body can be preferably exhibited.

このとき、連結部材は、Ｘ軸固定子の他端部を把持する把持部材と、把持部材のＸ軸方向の移動をガイドするガイド部材と、Ｙ軸移動体に固定されガイド部材を保持する保持部材とを有する構成にすることができる。   At this time, the connecting member holds the other end of the X-axis stator, a guide member that guides the movement of the gripping member in the X-axis direction, and a holding member that is fixed to the Y-axis moving body and holds the guide member. It can be configured to have a member.

また、Ｙ軸移動体のＹ軸方向の移動をガイドするＹ軸ガイドを備え、Ｙ軸ガイドは、Ｙ軸移動体においてＸ軸固定子の他端部が連結された側に設けられていることが好ましい。この場合、Ｙ軸ガイドによってＹ軸移動体のＹ軸方向の移動をガイドすることが可能となる。これに加え、Ｘ軸固定子の他端部がＸ軸方向に解放されていることから、Ｘ軸移動体の駆動によりＸ軸固定子に加わる反力がＹ軸ガイドに伝播しにくくなるため、一層安定してＹ軸移動体を移動させることができる。   In addition, a Y-axis guide for guiding the movement of the Y-axis moving body in the Y-axis direction is provided, and the Y-axis guide is provided on the side where the other end of the X-axis stator is connected in the Y-axis moving body. Is preferred. In this case, the movement of the Y-axis moving body in the Y-axis direction can be guided by the Y-axis guide. In addition, since the other end of the X-axis stator is released in the X-axis direction, reaction force applied to the X-axis stator by driving the X-axis moving body is difficult to propagate to the Y-axis guide. The Y-axis moving body can be moved more stably.

本発明によれば、安定してＹ軸移動体を移動させることができるステージ装置を提供することが可能となる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it becomes possible to provide the stage apparatus which can move a Y-axis moving body stably.

本発明の第１実施形態に係るステージ装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the stage apparatus which concerns on 1st Embodiment of this invention. 図１に示すステージ装置におけるＸ軸固定子の解放側の端部を示す拡大斜視図である。It is an expansion perspective view which shows the edge part by the side of the releasing of the X-axis stator in the stage apparatus shown in FIG. 図１に示すステージ装置におけるＸ軸固定子の解放側の端部を示す拡大平面図である。It is an enlarged plan view which shows the edge part by the side of the releasing of the X-axis stator in the stage apparatus shown in FIG. 本発明の第２実施形態に係るステージ装置におけるＸ軸固定子の解放側の端部を示す拡大平面図である。It is an enlarged plan view which shows the edge part by the side of the releasing of the X-axis stator in the stage apparatus which concerns on 2nd Embodiment of this invention.

以下、図面を参照しつつ本発明のステージ装置の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。また、「上」「下」の語は、図面の上下方向に対応するものであり便宜的なものである。   Hereinafter, preferred embodiments of the stage apparatus of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same element and the overlapping description is abbreviate | omitted. The terms “upper” and “lower” correspond to the vertical direction of the drawing and are for convenience.

図１は、本発明の第１実施形態に係るステージ装置を示す斜視図である。図１に示すように、本実施形態に係るステージ装置１Ａは、例えば、半導体を検査するための半導体検査装置や、半導体を露光するための半導体露光装置等に使用されるものである。このステージ装置１Ａは、定盤２、Ｙ軸シャフトモータ３，３、Ｙ軸移動体４、Ｘ軸シャフトモータ５，５、Ｘ軸移動体６及びテーブル部７を備えている。なお、「Ｘ軸方向」とは定盤２の上面２ａに平行な任意の一方向であり、「Ｙ軸方向」とは上面２ａに平行且つＸ軸方向と垂直な方向である。   FIG. 1 is a perspective view showing a stage apparatus according to the first embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, a stage apparatus 1A according to the present embodiment is used in, for example, a semiconductor inspection apparatus for inspecting a semiconductor, a semiconductor exposure apparatus for exposing a semiconductor, and the like. The stage apparatus 1A includes a surface plate 2, Y-axis shaft motors 3 and 3, a Y-axis moving body 4, X-axis shaft motors 5 and 5, an X-axis moving body 6, and a table unit 7. The “X-axis direction” is an arbitrary direction parallel to the upper surface 2a of the surface plate 2, and the “Y-axis direction” is a direction parallel to the upper surface 2a and perpendicular to the X-axis direction.

定盤２は直方体状の石材から成り、その上面２ａは平面加工が施されることにより平面度が高められている。また、定盤２におけるＹ軸方向に延在する側面のうち、後述のＹ軸ヨーエアベアリング４３から空気が噴射される側面２ｂについても、平面加工が施されて平面度が高められている。   The surface plate 2 is made of a rectangular parallelepiped stone, and the flatness of the upper surface 2a of the surface plate 2 is increased by performing planar processing. Of the side surfaces extending in the Y-axis direction of the surface plate 2, the side surface 2b from which air is injected from a Y-axis yaw air bearing 43 described later is also subjected to planar processing to increase the flatness.

Ｙ軸シャフトモータ３，３は、Ｙ軸移動体４を駆動させるためのものであり、それぞれＹ軸固定子３１及びＹ軸可動子３２を有している。   The Y-axis shaft motors 3 and 3 are for driving the Y-axis moving body 4 and each have a Y-axis stator 31 and a Y-axis movable element 32.

Ｙ軸固定子３１は、その内部に複数の磁石を有しており、これら複数の磁石の同極同士が接合されて軸状を成している。このＹ軸固定子３１は、定盤２の上面２ａ上でＹ軸方向に沿って延在している。一対のＹ軸固定子３１，３１は、定盤２の上面２ａにおけるＸ軸方向両端部に並設されている。図１において紙面右上（以下、「一方」という）のＹ軸固定子３１は、その両端部が定盤２の上面２ａから上方に向けて突出した柱３３，３３によって固定されている。図１において紙面左下（以下、「他方」という）のＹ軸固定子３１は、その両端部が定盤２の側面２ｂから上方に向けて突出した柱３４，３４によって固定されている。   The Y-axis stator 31 has a plurality of magnets therein, and the same poles of the plurality of magnets are joined together to form a shaft. The Y-axis stator 31 extends along the Y-axis direction on the upper surface 2 a of the surface plate 2. The pair of Y-axis stators 31, 31 are arranged side by side at both ends in the X-axis direction on the upper surface 2 a of the surface plate 2. In FIG. 1, the Y-axis stator 31 on the upper right (hereinafter referred to as “one”) of the drawing is fixed by pillars 33, 33 projecting upward from the upper surface 2 a of the surface plate 2. In FIG. 1, a Y-axis stator 31 at the lower left of the drawing (hereinafter referred to as “the other”) is fixed by columns 34, 34 whose both ends protrude upward from the side surface 2 b of the surface plate 2.

Ｙ軸可動子３２は、Ｙ軸固定子３１に沿って可動するものであり、Ｙ軸固定子３１に外挿されている。このＹ軸可動子３２は、内部にＹ軸固定子３１を取り囲むコイルを有しており、このコイルに電流を流すことで駆動される。   The Y-axis mover 32 is movable along the Y-axis stator 31 and is extrapolated to the Y-axis stator 31. The Y-axis movable element 32 has a coil surrounding the Y-axis stator 31 inside, and is driven by passing a current through the coil.

Ｙ軸移動体４は、第１Ｙ軸移動体４ａ及び第２Ｙ軸移動体４ｂを有している。第１Ｙ軸移動体４ａ及び第２Ｙ軸移動体４ｂは、それぞれブロック状を成している。第１Ｙ軸移動体４ａは一方のＹ軸可動子３２に取り付けられており、第２Ｙ軸移動体４ｂは他方のＹ軸可動子３２に取り付けられている。これら第１Ｙ軸移動体４ａ及び第２Ｙ軸移動体４ｂは、後述のＸ軸固定子５１，５１によって互いに連結されている。そして、Ｙ軸移動体４は、各Ｙ軸可動子３２を駆動することで定盤２の上面２ａ上をＹ軸方向に移動する。   The Y-axis moving body 4 has a first Y-axis moving body 4a and a second Y-axis moving body 4b. Each of the first Y-axis moving body 4a and the second Y-axis moving body 4b has a block shape. The first Y-axis moving body 4 a is attached to one Y-axis movable element 32, and the second Y-axis moving body 4 b is attached to the other Y-axis movable element 32. The first Y-axis moving body 4a and the second Y-axis moving body 4b are connected to each other by X-axis stators 51 and 51 described later. The Y-axis moving body 4 moves on the upper surface 2a of the surface plate 2 in the Y-axis direction by driving each Y-axis movable element 32.

また、第２Ｙ軸移動体４ｂには、Ｙ軸移動体４のＹ軸方向の移動をガイドするＹ軸ガイド４１が取り付けられている。このＹ軸ガイド４１は、側板４２と、Ｙ軸ヨーエアベアリング４３，４３とを有している。   A Y-axis guide 41 that guides the movement of the Y-axis moving body 4 in the Y-axis direction is attached to the second Y-axis moving body 4b. The Y-axis guide 41 includes a side plate 42 and Y-axis yaw air bearings 43 and 43.

側板４２は、Ｙ軸ヨーエアベアリング４３、４３を支持するための部材であり、直方体状を成している。この側板４２は、その上部が第２Ｙ軸移動体４ｂの下部に取り付けられており、定盤２の側面２ｂと対向する面４２ａを有している。   The side plate 42 is a member for supporting the Y-axis yaw air bearings 43, 43 and has a rectangular parallelepiped shape. The side plate 42 has an upper surface attached to the lower portion of the second Y-axis moving body 4b and a surface 42a facing the side surface 2b of the surface plate 2.

Ｙ軸ヨーエアベアリング４３，４３は、空気を噴射する気体静圧軸受として機能するものであり、側板４２の面４２ａにＹ軸方向に互いに離間して取り付けられている。そして、Ｙ軸ヨーエアベアリング４３，４３が定盤２の側面２ｂに向けて空気を噴射することで、Ｙ軸移動体４の移動がガイドされる。   The Y-axis yaw air bearings 43 and 43 function as gas static pressure bearings for injecting air, and are attached to the surface 42a of the side plate 42 so as to be separated from each other in the Y-axis direction. Then, the Y-axis yaw air bearings 43, 43 inject air toward the side surface 2 b of the surface plate 2 to guide the movement of the Y-axis moving body 4.

また、第１Ｙ軸移動体４ａ及び第２Ｙ軸移動体４ｂの間には、Ｘ軸移動体６のＸ軸方向の移動をガイドするためのガイドレール４４が連結されている。このガイドレール４４は、Ｘ軸方向に延在しており、上方が開口したコ字状の断面を成している。ガイドレール４４の一側面４４ａには、Ｘ軸移動体６のＸ軸方向の位置を検知するためのものとして、Ｘ軸方向に延在するリニアスケール４５が取り付けられている。このリニアスケール４５の測定基準は、当該リニアスケール４５の他方側の端部、すなわちＹ軸ガイド４１が設けられている側の端部に設定されている。   Further, a guide rail 44 for guiding the movement of the X-axis moving body 6 in the X-axis direction is connected between the first Y-axis moving body 4a and the second Y-axis moving body 4b. The guide rail 44 extends in the X-axis direction and has a U-shaped cross section with an upper opening. A linear scale 45 extending in the X-axis direction is attached to one side surface 44a of the guide rail 44 to detect the position of the X-axis moving body 6 in the X-axis direction. The measurement reference of the linear scale 45 is set at the other end of the linear scale 45, that is, the end on the side where the Y-axis guide 41 is provided.

Ｘ軸シャフトモータ５，５は、Ｘ軸移動体６を駆動させるためのものであり、それぞれＸ軸固定子５１及びＸ軸可動子５２を有している。Ｘ軸固定子５１及びＸ軸可動子５２は、それぞれＹ軸固定子３１及びＹ軸可動子３２と同様な構成とされている。Ｘ軸固定子５１は、第１Ｙ軸移動体４ａ及び第２Ｙ軸移動体４ｂの間に連結されてＸ軸方向に沿って延在している。一対のＸ軸固定子５１，５１は、Ｙ軸方向に離間して配置されている。Ｘ軸可動子５２は、Ｘ軸固定子５１に外挿されており、Ｘ軸固定子５１に沿って可動する。   The X-axis shaft motors 5 and 5 are for driving the X-axis moving body 6 and have an X-axis stator 51 and an X-axis movable element 52, respectively. The X-axis stator 51 and the X-axis mover 52 have the same configuration as the Y-axis stator 31 and the Y-axis mover 32, respectively. The X-axis stator 51 is connected between the first Y-axis moving body 4a and the second Y-axis moving body 4b and extends along the X-axis direction. The pair of X-axis stators 51, 51 are arranged apart from each other in the Y-axis direction. The X-axis mover 52 is extrapolated to the X-axis stator 51 and moves along the X-axis stator 51.

Ｘ軸移動体６は、定盤２の上面２ａ上をＸ軸方向に移動するものであり、第１Ｘ軸移動体６ａ及び第２Ｘ軸移動体６ｂを有している。第１Ｘ軸移動体６ａ及び第２Ｘ軸移動体６ｂは、それぞれ直方体状を成しており、それぞれＸ軸可動子５２，５２に取り付けられている。第１Ｘ軸移動体６ａ及び第２Ｘ軸移動体６ｂは、テーブル部７によって互いに連結されている。そして、Ｘ軸移動体６は、各Ｘ軸可動子５２を駆動することで定盤２の上面２ａ上をＸ軸方向に移動する。   The X-axis moving body 6 moves in the X-axis direction on the upper surface 2a of the surface plate 2, and has a first X-axis moving body 6a and a second X-axis moving body 6b. The first X-axis moving body 6a and the second X-axis moving body 6b each have a rectangular parallelepiped shape, and are attached to the X-axis movable elements 52 and 52, respectively. The first X-axis moving body 6 a and the second X-axis moving body 6 b are connected to each other by the table unit 7. The X-axis moving body 6 moves in the X-axis direction on the upper surface 2 a of the surface plate 2 by driving each X-axis movable element 52.

テーブル部７は半導体等を設置するためのものであり、半導体等が設置される円盤状の部材を有している。   The table portion 7 is for installing a semiconductor or the like, and has a disk-like member on which the semiconductor or the like is installed.

なお、ステージ装置１Ａでは、Ｘ軸移動体６を鉛直方向に支持するためのリフトエアベアリング１００が、第１Ｘ軸移動体６ａの下部に１つ、第２Ｘ軸移動体６ｂの下部に２つ取り付けられている。また、Ｙ軸移動体４を鉛直方向に支持するためのリフトエアベアリング２００が、第１Ｙ軸移動体４ａの下部に１つ、第２Ｙ軸移動体４ｂの下部に２つ取り付けられている。   In the stage apparatus 1A, two lift air bearings 100 for supporting the X-axis moving body 6 in the vertical direction are attached to the lower portion of the first X-axis moving body 6a and to the lower portion of the second X-axis moving body 6b. It has been. Further, one lift air bearing 200 for supporting the Y-axis moving body 4 in the vertical direction is attached to the lower portion of the first Y-axis moving body 4a and two to the lower portion of the second Y-axis moving body 4b.

次に、Ｘ軸固定子５１とＹ軸移動体４との連結部分について詳細に説明する。   Next, a connecting portion between the X-axis stator 51 and the Y-axis moving body 4 will be described in detail.

Ｘ軸固定子５１の一端部５１ａは、固定部材８によって第１Ｙ軸移動体４ａに固定されている。固定部材８は、上部固定部材８ａと下部固定部材８ｂとを有している。   One end 51a of the X-axis stator 51 is fixed to the first Y-axis moving body 4a by the fixing member 8. The fixing member 8 has an upper fixing member 8a and a lower fixing member 8b.

上部固定部材８ａは直方体状の部材であり、その下面にはＸ軸固定子５１の半径と同程度の曲率半径を有する半円状の切欠きｎ１が設けられている。下部固定部材８ｂは、直方体状の部材の下部に突起を設けて成る部材であり、その上面にはＸ軸固定子５１の半径と同程度の曲率半径を有する半円状の切欠きｎ２が設けられている。   The upper fixing member 8a is a rectangular parallelepiped member, and a semicircular notch n1 having a radius of curvature similar to the radius of the X-axis stator 51 is provided on the lower surface thereof. The lower fixing member 8b is a member formed by providing a protrusion at the lower part of a rectangular parallelepiped member, and a semicircular cutout n2 having a radius of curvature similar to the radius of the X-axis stator 51 is provided on the upper surface thereof. It has been.

そして、固定部材８は、下部固定部材８ｂの突起を第１Ｙ軸移動体４ａに固定すると共に、上部固定部材８ａの下面と下部固定部材８ｂの上面とを互いに対向させ、切欠きｎ１，ｎ２内にＸ軸固定子５１の一端部５１ａを挿入し、上部固定部材８ａ及び下部固定部材８ｂをボルトで締め付けることで、Ｘ軸固定子５１の一端部５１ａと第１Ｙ軸移動体４ａとを全固定している。すなわち、Ｘ軸固定子５１の一端部５１ａは、その軸線方向、径方向及び軸線回り回転方向のいずれの方向についても、第１Ｙ軸移動体４ａに対して固定されている。   The fixing member 8 fixes the protrusions of the lower fixing member 8b to the first Y-axis moving body 4a, and the lower surface of the upper fixing member 8a and the upper surface of the lower fixing member 8b are opposed to each other so that the notches n1, n2 The first end 51a of the X-axis stator 51 and the first Y-axis moving body 4a are all fixed by inserting the one end 51a of the X-axis stator 51 and tightening the upper fixing member 8a and the lower fixing member 8b with bolts. doing. That is, the one end 51a of the X-axis stator 51 is fixed to the first Y-axis moving body 4a in any of the axial direction, the radial direction, and the rotational direction around the axis.

図２は、図１に示すステージ装置におけるＸ軸固定子の解放側の端部（他端部）を示す拡大斜視図である。図２に示すように、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂは、連結部材９Ａによって第２Ｙ軸移動体４ｂに連結されている。連結部材９Ａは、把持部材９１、ガイド部材９２，９２及び保持部材９３を有している。   FIG. 2 is an enlarged perspective view showing an end (other end) on the release side of the X-axis stator in the stage apparatus shown in FIG. As shown in FIG. 2, the other end 51b of the X-axis stator 51 is connected to the second Y-axis moving body 4b by a connecting member 9A. The connecting member 9 </ b> A includes a gripping member 91, guide members 92 and 92, and a holding member 93.

把持部材９１は、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂを把持するためのものであり、上部把持部材９１ａ及び下部把持部材９１ｂを有している。上部把持部材９１ａは直方体状の部材であり、その下面にはＸ軸固定子５１の半径と同程度の曲率半径を有する半円状の切欠きｎ３が設けられている。下部把持部材９１ｂは直方体状の部材であり、その上面にはＸ軸固定子５１の半径と同程度の曲率半径を有する半円状の切欠きｎ４が設けられている。また、この下部把持部材９１ｂの下面には、ガイド部材９２，９２を取り付けるためのものとして、Ｙ軸方向両端部を所定深さ除去するようにして段差ｓ，ｓが形成されている。   The grip member 91 is for gripping the other end 51b of the X-axis stator 51, and has an upper grip member 91a and a lower grip member 91b. The upper gripping member 91a is a rectangular parallelepiped member, and a semicircular notch n3 having a radius of curvature similar to the radius of the X-axis stator 51 is provided on the lower surface thereof. The lower holding member 91b is a rectangular parallelepiped member, and a semicircular cutout n4 having a radius of curvature similar to the radius of the X-axis stator 51 is provided on the upper surface thereof. Further, steps s and s are formed on the lower surface of the lower gripping member 91b so that the guide members 92 and 92 are attached so that both end portions in the Y-axis direction are removed to a predetermined depth.

そして、把持部材９１は、上部把持部材９１ａの下面と下部把持部材９１ｂの上面とを互いに対向させ、切欠きｎ３，ｎ４内にＸ軸固定子５１の他端部５１ｂを挿入し、上部把持部材９１ａ及び下部把持部材９１ｂをボルトで締め付けることで、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂを把持することが可能となっている。   The gripping member 91 has the lower surface of the upper gripping member 91a and the upper surface of the lower gripping member 91b facing each other, and the other end 51b of the X-axis stator 51 is inserted into the notches n3 and n4. The other end 51b of the X-axis stator 51 can be gripped by tightening 91a and the lower gripping member 91b with bolts.

ガイド部材９２，９２は、把持部材９１のＸ軸方向の移動をガイドするためのものであり、それぞれ下部把持部材９１ｂの下面に設けられた段差ｓ，ｓに固定され取り付けられている。このガイド部材９２は直方体状を成し、その下面にはＸ軸方向のみに転がる複数の円筒ころ９２ａが取り付けられている。   The guide members 92 and 92 are for guiding the movement of the gripping member 91 in the X-axis direction, and are fixed and attached to steps s and s provided on the lower surface of the lower gripping member 91b, respectively. The guide member 92 has a rectangular parallelepiped shape, and a plurality of cylindrical rollers 92a that roll only in the X-axis direction are attached to the lower surface of the guide member 92.

保持部材９３は、第２Ｙ軸移動体４ｂに固定されガイド部材９２，９２を保持するためのものである。この保持部材９３は、平板９３ａとＬ字状のブラケット９３ｂとを有している。平板９３ａはブラケット９３ｂの上面に固定されており、ブラケット９３ｂの側面は第２Ｙ軸移動体４ｂの側面に固定されている。平板９３ａの上面には、円筒ころ９２ａを転動させるためのものとして、Ｘ軸方向に延在する溝９３ｃが設けられている。そして、連結部材９Ａは、平板９３ａの上面に円筒ころ９２ａが溝９３ｃに沿って転がるようにガイド部材９２を設置することで、把持部材９１の移動がガイドされるようになっている。つまり、連結部材９Ａは、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂをＸ軸方向に非拘束で且つＸ軸方向以外の方向に拘束し、Ｘ軸固定子５１のＸ軸方向の伸長を許容するようにＸ軸固定子５１の他端部５１ｂを第２Ｙ軸移動体４ｂに連結している。   The holding member 93 is fixed to the second Y-axis moving body 4b and holds the guide members 92 and 92. The holding member 93 includes a flat plate 93a and an L-shaped bracket 93b. The flat plate 93a is fixed to the upper surface of the bracket 93b, and the side surface of the bracket 93b is fixed to the side surface of the second Y-axis moving body 4b. On the upper surface of the flat plate 93a, a groove 93c extending in the X-axis direction is provided for rolling the cylindrical roller 92a. The connecting member 9A is configured such that the movement of the gripping member 91 is guided by installing the guide member 92 on the upper surface of the flat plate 93a so that the cylindrical roller 92a rolls along the groove 93c. That is, the connecting member 9A restrains the other end 51b of the X-axis stator 51 in the X-axis direction and in a direction other than the X-axis direction, and allows the X-axis stator 51 to extend in the X-axis direction. In this way, the other end 51b of the X-axis stator 51 is connected to the second Y-axis moving body 4b.

図３は、図１に示すステージ装置におけるＸ軸固定子の解放側の端部（他端部）を示す拡大平面図である。図３に示すように、Ｘ軸方向において、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂの端面と、第２Ｙ軸移動体４ｂとの間には、隙間ｄが設けられている。これにより、Ｘ軸固定子５１がＸ軸方向に伸長し把持部材９１にＸ軸方向の力が作用した場合に、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂと第２Ｙ軸移動体４ｂとが干渉しないようになっており、把持部材９１がＸ軸方向に移動することが可能となっている。   FIG. 3 is an enlarged plan view showing an end portion (other end portion) on the release side of the X-axis stator in the stage apparatus shown in FIG. 1. As shown in FIG. 3, a gap d is provided between the end surface of the other end 51b of the X-axis stator 51 and the second Y-axis moving body 4b in the X-axis direction. Thereby, when the X-axis stator 51 extends in the X-axis direction and a force in the X-axis direction acts on the grip member 91, the other end 51b of the X-axis stator 51 and the second Y-axis moving body 4b interfere with each other. The gripping member 91 can move in the X-axis direction.

このようなステージ装置１Ａでは、Ｙ軸可動子３２，３２を駆動することで、Ｙ軸移動体４が定盤２の上面２ａ上をＸ軸固定子５１，５１、ひいてはＸ軸移動体６と共にＹ軸方向に移動し、これによりテーブル部７のＹ軸方向の位置が調整される。また、Ｘ軸可動子５２，５２を駆動することで、Ｘ軸移動体６が定盤２の上面２ａ上をＸ軸方向に移動し、これによりテーブル部７のＸ軸方向の位置が調整される。   In such a stage apparatus 1A, by driving the Y-axis movable elements 32, 32, the Y-axis moving body 4 is moved on the upper surface 2a of the surface plate 2 together with the X-axis stators 51, 51 and eventually the X-axis moving body 6. By moving in the Y-axis direction, the position of the table unit 7 in the Y-axis direction is adjusted. Further, by driving the X-axis movers 52, 52, the X-axis moving body 6 moves in the X-axis direction on the upper surface 2a of the surface plate 2, thereby adjusting the position of the table portion 7 in the X-axis direction. The

以上、本実施形態に係るステージ装置１Ａでは、Ｘ軸固定子５１の一端部５１ａは第１Ｙ軸移動体４ａに固定され、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂは第２Ｙ軸移動体４ｂにＸ軸固定子５１のＸ軸方向の伸長を許容するように固定されている。このため、Ｘ軸移動体６の駆動に伴いＸ軸シャフトモータ５，５に発生した熱によりＸ軸固定子５１が熱膨張した場合に、Ｘ軸固定子５１の伸長を他端部５１ｂ側で解放することができ、Ｘ軸固定子５１の伸びによりＹ軸固定子３１に反りや歪が生じることが抑制される。従って、熱膨張によらず、安定してＹ軸移動体４を移動させることができる。   As described above, in the stage apparatus 1A according to the present embodiment, the one end 51a of the X-axis stator 51 is fixed to the first Y-axis moving body 4a, and the other end 51b of the X-axis stator 51 is connected to the second Y-axis moving body 4b. The X-axis stator 51 is fixed so as to allow expansion in the X-axis direction. For this reason, when the X-axis stator 51 is thermally expanded by the heat generated in the X-axis shaft motors 5 and 5 as the X-axis moving body 6 is driven, the extension of the X-axis stator 51 is caused on the other end 51b side. The Y-axis stator 31 can be prevented from being warped or distorted due to the extension of the X-axis stator 51. Therefore, the Y-axis moving body 4 can be moved stably regardless of thermal expansion.

また、本実施形態に係るステージ装置１Ａでは、上述したように、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂをＸ軸方向に非拘束で且つＸ軸方向以外の方向に拘束する連結部材９ＡによってＸ軸固定子５１の他端部５１ｂが第２Ｙ軸移動体４ｂに連結されている。また、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂと第２Ｙ軸移動体４ｂとの間には、Ｘ軸方向の隙間ｄが設けられている。このため、Ｘ軸固定子５１の伸長を解放して安定してＹ軸移動体４を移動させるという上記作用効果を簡易な構成で好適に発揮させることができる。   In the stage apparatus 1A according to the present embodiment, as described above, the connecting member 9A that restrains the other end 51b of the X-axis stator 51 in the X-axis direction and in a direction other than the X-axis direction is used. The other end 51b of the shaft stator 51 is connected to the second Y-axis moving body 4b. Further, a gap d in the X-axis direction is provided between the other end 51b of the X-axis stator 51 and the second Y-axis moving body 4b. For this reason, the said effect of releasing the expansion | extension of the X-axis stator 51 and moving the Y-axis moving body 4 stably can be exhibited suitably with a simple structure.

また、本実施形態に係るステージ装置１Ａは、上述したように、Ｙ軸移動体４のＹ軸方向の移動をガイドするＹ軸ガイド４１を備えている。このため、Ｙ軸ガイド４１によってＹ軸移動体４のＹ軸方向の移動をガイドすることが可能となる。   Moreover, the stage apparatus 1A according to the present embodiment includes the Y-axis guide 41 that guides the movement of the Y-axis moving body 4 in the Y-axis direction as described above. For this reason, the Y-axis guide 41 can guide the movement of the Y-axis moving body 4 in the Y-axis direction.

ここで、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂはＸ軸方向に解放されていることから、Ｘ軸移動体６の駆動によりＸ軸固定子５１に加わる反力は、例えば、一端部５１ａから第１Ｙ軸移動体６ａに伝播し、さらにガイドレール４４及び第２Ｙ軸移動体４ｂを介して、Ｙ軸ガイド４１に伝播する。このように、本実施形態に係るステージ装置１Ａでは、第２Ｙ軸移動体４ｂにＹ軸ガイド４１を設けている、すなわちＹ軸移動体４においてＸ軸固定子５１の他端部５１ｂが連結された側にＹ軸ガイド４１を設けているため、第１Ｙ軸移動体４ａにＹ軸ガイド４１を設ける、すなわちＸ軸固定子５１の一端部５１ａが固定された側にＹ軸ガイド４１を設ける場合に比して、Ｘ軸移動体６の駆動による反力のＹ軸ガイド４１への伝播経路が長くなっており、当該反力がＹ軸ガイド４１に伝播しにくくなっている。従って、Ｙ軸ガイド４１によるＹ軸移動体４の移動のガイドが好適に行われ、一層安定してＹ軸移動体４を移動させることができる。   Here, since the other end 51b of the X-axis stator 51 is released in the X-axis direction, the reaction force applied to the X-axis stator 51 by driving the X-axis moving body 6 is, for example, from the one end 51a. It propagates to the first Y-axis moving body 6a and further propagates to the Y-axis guide 41 via the guide rail 44 and the second Y-axis moving body 4b. Thus, in the stage apparatus 1A according to the present embodiment, the Y-axis guide 41 is provided on the second Y-axis moving body 4b, that is, the other end 51b of the X-axis stator 51 is connected to the Y-axis moving body 4. Since the Y-axis guide 41 is provided on the other side, the Y-axis guide 41 is provided on the first Y-axis moving body 4a, that is, the Y-axis guide 41 is provided on the side where the one end 51a of the X-axis stator 51 is fixed. Compared to the above, the propagation path of the reaction force to the Y-axis guide 41 by driving the X-axis moving body 6 is longer, and the reaction force is less likely to propagate to the Y-axis guide 41. Therefore, the guide of the movement of the Y-axis moving body 4 by the Y-axis guide 41 is suitably performed, and the Y-axis moving body 4 can be moved more stably.

また、Ｘ軸移動体６の駆動による反力がＹ軸ガイド４１に伝播しにくくなっているため、本実施形態のように、リニアスケール４５の測定基準を当該リニアスケール４５の他方側の端部、すなわちＹ軸ガイド４１が設けられている側（Ｙ軸移動体６においてＸ軸固定子５１の他端部５１ｂが連結された側）の端部に設定すると、当該測定基準が上記反力によってずれることが抑制される。従って、Ｘ軸移動体６のＸ軸方向の位置を正確に検知することができる。   Further, since the reaction force due to the driving of the X-axis moving body 6 is difficult to propagate to the Y-axis guide 41, the measurement reference of the linear scale 45 is used as the end of the other side of the linear scale 45 as in this embodiment. That is, if the end of the Y-axis guide 41 is provided (the side where the other end 51b of the X-axis stator 51 is connected in the Y-axis moving body 6), the measurement reference is determined by the reaction force. Shifting is suppressed. Therefore, the position of the X-axis moving body 6 in the X-axis direction can be accurately detected.

次に、本発明の第２実施形態に係るステージ装置について説明する。   Next, a stage apparatus according to a second embodiment of the present invention will be described.

図４は、本発明の第２実施形態に係るステージ装置におけるＸ軸固定子の解放側の端部を示す拡大平面図である。図４に示すように、本実施形態に係るステージ装置１Ｂが第１実施形態に係るステージ装置１Ａと異なる点は、連結部材９Ａ（図３参照）に代えて連結部材９Ｂを備えている点である。この連結部材９Ｂは、上記把持部材９１、板ばね９４，９４及び板ばね保持部材９５，９５を有している。   FIG. 4 is an enlarged plan view showing an end portion on the release side of the X-axis stator in the stage apparatus according to the second embodiment of the present invention. As shown in FIG. 4, the stage apparatus 1B according to the present embodiment is different from the stage apparatus 1A according to the first embodiment in that a connection member 9B is provided instead of the connection member 9A (see FIG. 3). is there. The connecting member 9B includes the grip member 91, leaf springs 94 and 94, and leaf spring holding members 95 and 95.

板ばね９４は、Ｘ軸方向がたわみ方向となるように構成され、Ｘ軸方向に弾性力を有している。この板ばね９４のＹ軸方向の一端部は把持部材９１に固定されている。一方、他端部は板ばね保持部材９５に固定されている。   The leaf spring 94 is configured such that the X-axis direction is a deflection direction, and has an elastic force in the X-axis direction. One end of the leaf spring 94 in the Y-axis direction is fixed to the gripping member 91. On the other hand, the other end is fixed to a leaf spring holding member 95.

板ばね保持部材９５は、板ばね９４を保持するものであり、直方体状を成している。この板ばね保持部材９５は、第２Ｙ軸移動体４ｂの側面に固定されている。   The leaf spring holding member 95 holds the leaf spring 94 and has a rectangular parallelepiped shape. The leaf spring holding member 95 is fixed to the side surface of the second Y-axis moving body 4b.

ステージ装置１Ｂでは、Ｘ軸固定子５１がＸ軸方向に伸長し把持部材９１にＸ軸方向の力が作用した場合に、板ばね９４が他の部品よりも先にＸ軸方向に弾性変形して把持部材９１のＸ軸方向の移動をガイドし、これにより、Ｘ軸固定子５１の伸長を解放させる。   In the stage apparatus 1B, when the X-axis stator 51 extends in the X-axis direction and a force in the X-axis direction acts on the grip member 91, the leaf spring 94 is elastically deformed in the X-axis direction before other components. Thus, the movement of the gripping member 91 in the X-axis direction is guided, whereby the extension of the X-axis stator 51 is released.

このようなステージ装置１Ｂが、第１実施形態に係るステージ装置１Ａと同様な効果を奏することは言うまでもない。   It goes without saying that such a stage apparatus 1B has the same effects as the stage apparatus 1A according to the first embodiment.

以上、本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。例えば、第１実施形態に係るステージ装置１Ａでは、ガイド部材９２として、円筒ころ９２ａを有する転がりガイドが用いられているが、これに代えて、滑りガイドや静圧ガイド等が用いられても良い。   The preferred embodiment of the present invention has been described in detail above, but the present invention is not limited to the above embodiment. For example, in the stage apparatus 1A according to the first embodiment, a rolling guide having cylindrical rollers 92a is used as the guide member 92, but instead of this, a sliding guide or a static pressure guide may be used. .

また、上記実施形態では、下部把持部材９１ｂを直に第２Ｙ軸移動体４ｂに固定すると共に、ボルトによる上部把持部材９１ａと下部把持部材９１ｂとの締め付けを緩くして、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂがＸ軸方向に十分滑るように調整することで、Ｘ軸固定子５１の伸長を解放するように構成しても良い。要は、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂが、Ｘ軸固定子５１のＸ軸方向の伸長を許容するようにＹ軸移動体４に連結されていれば良い。   Further, in the above embodiment, the lower gripping member 91b is directly fixed to the second Y-axis moving body 4b, and the tightening of the upper gripping member 91a and the lower gripping member 91b with a bolt is loosened, so that the X-axis stator 51 You may comprise so that the expansion | extension of the X-axis stator 51 may be released by adjusting so that the other end part 51b may slide in the X-axis direction sufficiently. In short, the other end 51b of the X-axis stator 51 may be connected to the Y-axis moving body 4 so as to allow the X-axis stator 51 to extend in the X-axis direction.

また、上記実施形態においては、一対のＸ軸シャフトモータ５，５によってＸ軸移動体６を駆動しているが、１つ又は３つ以上のシャフトモータでＸ軸移動体６を駆動しても良い。また、上記実施形態においては、一対のＹ軸シャフトモータ３，３によってＹ軸移動体４を駆動しているが、１つ又は３つ以上のシャフトモータでＹ軸移動体４を駆動しても良い。１つのシャフトモータでＹ軸移動体４を駆動する場合には、例えば、第１Ｙ軸移動体４ａをＸ軸方向について拘束し且つＹ軸方向に非拘束とするガイドレール等を設ければ良い。   Further, in the above embodiment, the X-axis moving body 6 is driven by the pair of X-axis shaft motors 5 and 5, but even if the X-axis moving body 6 is driven by one or more shaft motors. good. In the above embodiment, the Y-axis moving body 4 is driven by the pair of Y-axis shaft motors 3 and 3, but even if the Y-axis moving body 4 is driven by one or more shaft motors. good. When the Y-axis moving body 4 is driven by one shaft motor, for example, a guide rail or the like that restricts the first Y-axis moving body 4a in the X-axis direction and does not restrict in the Y-axis direction may be provided.

１Ａ，１Ｂ…ステージ装置、２…定盤、３，３…Ｙ軸シャフトモータ、４…Ｙ軸移動体、５，５…Ｘ軸シャフトモータ、６…Ｘ軸移動体、９…連結部材、４１…Ｙ軸ガイド、９１…把持部材、９２…ガイド部材、９３…保持部材。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1A, 1B ... Stage apparatus, 2 ... Surface plate, 3, 3 ... Y-axis shaft motor, 4 ... Y-axis moving body, 5, 5 ... X-axis shaft motor, 6 ... X-axis moving body, 9 ... Connecting member, 41 ... Y-axis guide, 91 ... gripping member, 92 ... guide member, 93 ... holding member.

Claims (3)

定盤上をＸ軸方向に移動するＸ軸移動体と、
前記Ｘ軸方向に沿った軸状のＸ軸固定子、及び前記Ｘ軸移動体に設けられたＸ軸可動子
を有し、前記Ｘ軸移動体を前記Ｘ軸方向に駆動するためのＸ軸シャフトモータと、
前記定盤上を前記Ｘ軸固定子と共にＹ軸方向に移動するＹ軸移動体と、
前記Ｙ軸方向に沿った軸状のＹ軸固定子、及び前記Ｙ軸移動体に設けられたＹ軸可動子
を有し、前記Ｙ軸移動体を前記Ｙ軸方向に駆動するためのＹ軸シャフトモータと、
前記Ｙ軸移動体の前記Ｙ軸方向の移動をガイドするＹ軸ガイドと、を備え、
前記Ｙ軸移動体は、第１Ｙ軸移動体及び第２Ｙ軸移動体を有し、
前記Ｘ軸固定子の一端部は、前記第１Ｙ軸移動体に固定され、
前記Ｘ軸固定子の他端部は、前記Ｘ軸固定子の前記Ｘ軸方向の伸長を許容するように前記第２Ｙ軸移動体に連結され、
前記Ｘ軸固定子の前記他端部は、当該他端部を前記Ｘ軸方向に非拘束で且つ前記Ｘ軸方向以外の方向に拘束する連結部材によって前記Ｙ軸移動体に連結されており、
前記連結部材は、
前記Ｘ軸固定子の前記他端部を把持する把持部材と、
前記把持部材の前記Ｘ軸方向の移動をガイドするガイド部材と、
前記Ｙ軸移動体に固定され前記ガイド部材を保持する保持部材と、
前記ガイド部材の下面にＸ軸方向のみに転がる円筒ころが取り付けられており、
前記Ｙ軸ガイドは、前記第１及び第２Ｙ軸移動体のうち前記Ｘ軸固定子の前記他端部が
連結された側である前記第２Ｙ軸移動体に設けられていること、
を特徴とするステージ装置。 An X-axis moving body that moves on the surface plate in the X-axis direction;
An X-axis having an axial X-axis stator along the X-axis direction and an X-axis movable element provided on the X-axis moving body, and driving the X-axis moving body in the X-axis direction A shaft motor;
A Y-axis moving body that moves in the Y-axis direction together with the X-axis stator on the surface plate;
A Y-axis having an axial Y-axis stator along the Y-axis direction and a Y-axis movable element provided on the Y-axis moving body, and driving the Y-axis moving body in the Y-axis direction A shaft motor;
A Y-axis guide for guiding the movement of the Y-axis moving body in the Y-axis direction,
The Y-axis moving body has a first Y-axis moving body and a second Y-axis moving body,
One end of the X-axis stator is fixed to the first Y-axis moving body,
The other end of the X-axis stator is connected to the second Y-axis moving body so as to allow the X-axis stator to extend in the X-axis direction,
The other end portion of the X-axis stator is coupled to the Y-axis moving body by a coupling member that restrains the other end portion in the X-axis direction and in a direction other than the X-axis direction,
The connecting member is
A gripping member for gripping the other end of the X-axis stator;
A guide member for guiding movement of the gripping member in the X-axis direction;
A holding member fixed to the Y-axis moving body and holding the guide member;
Cylindrical rollers that roll only in the X-axis direction are attached to the lower surface of the guide member,
The Y-axis guide is provided on the second Y-axis moving body that is the side of the first and second Y-axis moving bodies to which the other end portion of the X-axis stator is connected,
A stage device characterized by the above. 前記Ｘ軸方向において前記Ｘ軸固定子の前記他端部と前記Ｙ軸移動体との間には、隙間
が設けられていること、
を特徴とする請求項１に記載のステージ装置。 A gap is provided between the other end of the X-axis stator and the Y-axis moving body in the X-axis direction;
The stage apparatus according to claim 1. 前記第１及び第２Ｙ軸移動体の間に連結され、前記Ｘ軸移動体の前記Ｘ軸方向の移動をガイドするガイドレールと、
前記ガイドレールに取り付けられ、前記Ｘ軸方向に延在し、前記Ｘ軸移動体の前記Ｘ軸方向の位置を検知するリニアスケールと、を備え、
前記リニアスケールの測定基準は、当該リニアスケールにおける前記第２Ｙ軸移動体側の端部に設定されていること、
を特徴とする請求項１または２に記載のステージ装置。
A guide rail connected between the first and second Y-axis moving bodies and guiding the movement of the X-axis moving body in the X-axis direction;
A linear scale attached to the guide rail, extending in the X-axis direction, and detecting a position of the X-axis moving body in the X-axis direction,
The linear scale measurement standard is set at an end of the linear scale on the second Y-axis moving body side,
Stage apparatus according to claim 1 or 2, characterized in.
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