KR102001071B1 - 플럭스 잉크젯 분사 장치 및 방법, 이를 이용한 밸브 노즐 - Google Patents

플럭스 잉크젯 분사 장치 및 방법, 이를 이용한 밸브 노즐 Download PDF

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Abstract

플럭스 잉크젯 분사 장치 및 방법, 이를 이용한 밸브 노즐이 개시된다. 용해를 촉진하는 플럭스를 저장하는 플럭스 저장 탱크(110); 압전 액추에이터의 동작으로 플럭스 저장 탱크(110)의 플럭스를 흡입하여 노즐로 플럭스 일정량을 분사하는 밸브 노즐(120); 및 구동 파형을 제어하고 압전 액추에이터를 구동 파형으로 제어하여 밸브 노즐(120)에 의한 플럭스 분사량을 제어하는 제어부(130)를 포함하고, 밸브 노즐(120)은 압전 액추에이터의 실링 볼이 밸브 노즐(120)을 닫거나 열면서 닿는 밀착면(52); 밀착면(52)으로부터 일정 각도의 경사면을 가지고 밀착면(52)이 넓고 반대쪽이 좁은 원뿔 모양으로 이루어져 플럭스를 저장하는 원뿔(53); 및 원뿔(53)의 뾰족한 곳에 너비가 매우 좁게 형성된 원기둥 분사구(54)을 포함한다. 따라서 BGA 기판의 조밀한 전극의 산화물을 용해하는데 필요한 적정 플럭스를 잉크젯 방법으로 분사할 수 있고, 전극 크기가 조밀한 BGA 기판에 대응하여 밀착면 240 내지 280 마이크로 미터를 가지는 밸브 노즐을 제공하는 장점이 있고, 밸브 노즐을 직렬로 두 개 연결하고 밸브 노즐 간 압력차를 이용해서 플럭스 분사량을 보다 조밀하게 조절할 수 있다.

Description

플럭스 잉크젯 분사 장치 및 방법, 이를 이용한 밸브 노즐{FLUX INKJET INJECTION APPARATUS AND METHOD, AND VALVE NOZZLE USING THE SAME}
본 발명은 플럭스 잉크젯 분사 장치 및 방법, 이를 이용한 밸브 노즐에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 밸브 노즐로 플럭스 분사량을 조절하는 잉크젯 방법을 이용하는 플럭스 잉크젯 분사 장치 및 방법, 이를 이용한 밸브 노즐에 관한 것이다.
기판에는 BGA(Ball Grid Array) 기판이 있고, BGA 기판에 납땜이 행해질 때 솔더볼 공정이 적용된다. 솔더볼 공정은 BGA 기판에 마스크를 씌우고 솔더볼을 마스크의 홀을 통해 BGA 기판 위에 올려 놓는다. 남은 솔더볼은 제거된다. 솔더볼 공정에서 플럭스 번짐에 의한 솔더볼 에러가 발생할 수 있다. 예를 들어, BGA 기판 위의 솔더볼이 녹아 전극에 달라 붙을 때 전극 산화물을 용해하는 플럭스가 번지거나 묻지 않을 경우 BGA 기판의 전극에 솔더볼이 잘 달라 붙지 않는 솔더볼 에러가 발생하는 문제점이 있다.
등록번호: 10-1045673, 플럭스형성장치와 플럭스형성방법 등록번호: 10-1162625, 잉크젯 방식의 플럭스 툴을 포함하는 볼 마운트 장비
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 솔더볼 에러가 발생하지 않도록 솔더볼이 녹아 붙을 전극 크기에 대응하여 적정 플럭스 분사량을 제공하고, 밸브 노즐간 압력차를 이용해서 보다 조밀한 플럭스 분사량을 제공하는 플럭스 잉크젯 분사 장치 및 방법, 이를 이용한 밸브 노즐을 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 용해를 촉진하는 플럭스를 저장하는 플럭스 저장 탱크(110); 압전 액추에이터의 동작으로 상기 플럭스 저장 탱크(110)의 플럭스를 흡입하여 노즐로 플럭스 일정량을 분사하는 밸브 노즐(120); 및 구동 파형을 제어하고 압전 액추에이터를 구동 파형으로 제어하여 상기 밸브 노즐(120)에 의한 플럭스 분사량을 제어하는 제어부(130)를 포함하고, 상기 밸브 노즐(120)은 압전 액추에이터의 실링 볼이 상기 밸브 노즐(120)을 닫거나 열면서 닿는 밀착면(52); 상기 밀착면(52)으로부터 일정 각도의 경사면을 가지고 상기 밀착면(52)이 넓고 반대쪽이 좁은 원뿔 모양으로 이루어져 플럭스를 저장하는 원뿔(53); 및 상기 원뿔(53)의 뾰족한 곳에 너비가 매우 좁게 형성된 원기둥 분사구(54)을 포함한다.
또한, 상기 밸브 노즐(120)의 원기둥 분사구 너비는 20 내지 30마이크로 미터이다.
또한, 상기 밀착면(52)의 너비는 240 내지 280마이크로 미터이다.
또한, 상기 밸브 노즐(120)은 밸브 노즐(120)에 저장된 플럭스를 흡입하고 분사하는 보조 밸브 노즐(140)을 더 포함하고, 상기 제어부(130)는 상기 보조 밸브 노즐(140)의 압전 액추에이터를 보조 구동 파형으로 제어하여 상기 보조 밸브 노즐(140)에 의한 플럭스 흡입량과 상기 밸브 노즐(120)에 의한 플럭스 분사량을 제어한다.
또한, 제어부(130)가 플럭스 저장 탱크(110)에 플럭스를 저장하는 단계; 밸브 노즐(120)이 압전 액추에이터의 동작으로 상기 플럭스 저장 탱크(110)의 플럭스를 흡입하여 노즐로 일정량을 분사하는 단계; 및 상기 제어부(130)가 구동 파형을 제어하고 압전 액추에이터를 구동 파형으로 제어하여 상기 밸브 노즐(120)에 의한 플럭스 분사량을 제어하는 단계를 포함하고, 분사하는 단계는 상기 밸브 노즐(120)이 압전 액추에이터의 실링 볼을 상기 밸브 노즐(120)의 밀착면(52)에 닫거나 여는 단계; 상기 밀착면(52)으로부터 일정 각도의 경사면을 가지고 상기 밀착면(52)이 넓고 반대쪽이 좁은 원뿔 모양으로 형성된 원뿔(53)에 플럭스를 저장하는 단계; 및 상기 원뿔(53)의 뾰족한 곳에 너비가 매우 좁게 형성된 원기둥 분사구(54)을 통해 플럭스를 분사하는 단계를 포함한다.
또한, 상기 분사하는 단계는 상기 보조 밸브 노즐(140)이 상기 밸브 노즐(120)에 저장된 플럭스를 흡입하고 분사하는 단계를 더 포함하고, 상기 제어하는 단계는 상기 보조 밸브 노즐(140)의 압전 액추에이터를 보조 구동 파형으로 제어하여 상기 보조 밸브 노즐(140)에 의한 플럭스 흡입량과 상기 밸브 노즐(120)에 의한 플럭스 분사량을 제어하는 단계를 더 포함한다.
상기와 같은 본 발명에 따른 플럭스 잉크젯 분사 장치 및 방법, 이를 이용한 밸브 노즐을 이용할 경우에는 BGA 기판의 조밀한 전극의 산화물을 용해하는데 필요한 적정 플럭스를 잉크젯 방법으로 분사할 수 있다.
또한, 전극 크기가 조밀한 BGA 기판에 대응하여 밀착면 240 내지 280 마이크로 미터를 가지는 밸브 노즐을 제공하는 장점이 있다.
또한, 밸브 노즐을 직렬로 두 개 연결하고 밸브 노즐 간 압력차를 이용해서 플럭스 분사량을 보다 조밀하게 조절할 수 있다.
도 1은 솔더볼 공정을 보인 예시도이다.
도 2는 플럭스 번짐에 의한 솔더볼 에러를 보인 예시도이다.
도 3은 플럭스 잉크젯 분사 장치의 구성을 보인 블록도이다.
도 4는 밸브를 보인 예시도이다.
도 5는 종래 밸브 노즐과 본 발명 밸브 노즐을 보인 예시도이다.
도 6은 밸브 노즐을 제어하는 제어부 구성을 보인 예시도이다.
도 7은 밸브 노즐에 출력되는 구동 파형을 보인 예시도이다.
도 8은 구동 파형에 의한 플럭스 도트의 특성을 보인 예시도이다.
도 9는 플럭스 잉크젯 분사 방법의 동작 흐름도이다.
도 10은 플럭스 잉크젯 분사 장치의 다른 실시예를 보인 예시도이다.
도 11은 플럭스 잉크젯 분사 방법의 다른 실시예를 보인 동작 흐름도이다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 1은 솔더볼 공정을 보인 예시도이다.
BGA 기판(10)에 마스크(20)를 씌우고 솔더볼(30)을 마스크(20)의 홀을 통해 BGA 기판(10) 위에 올려 놓는다.
남은 솔더볼(30)은 제거된다.
BGA 기판(10)에 형성된 전극은 매우 크기가 작고 조밀해서, 이러한 작은 전극에 납땜을 하기 위해 크기가 작은 솔더볼(30)을 이용한다. 솔더볼(30)이 BGA 기판(10)의 전극에 배열하고자 마스크(20)를 이용한다. 마스크(20)로 BGA 기판(10)에 배열된 솔더볼(30)을 제외한 솔더볼은 제거된다.
솔더볼(30)이 BGA 기판(10)의 전극에 잘 달라 붙기 위해서는 전극 산화물이 제거되어야 한다. 전극 산화물은 플럭스에 의해 제거된다. 플럭스가 BGA 기판(10)에 잘 도포되는 것이 관건이다.
도 2는 플럭스 번짐에 의한 솔더볼 에러를 보인 예시도이다.
BGA 기판(10) 위의 솔더볼(30)이 녹아 전극에 달라 붙을 때 전극 산화물을 용해하는 플럭스가 번지거나 묻지 않을 경우 BGA 기판(10)의 전극에 솔더볼(30)이 잘 달라 붙지 않는 솔더볼 에러가 발생한다.
도 3은 플럭스 잉크젯 분사 장치의 구성을 보인 블록도이다.
플럭스 잉크젯 분사 장치는 밸브 노즐을 통해 플럭스를 분사하는 잉크젯 방법을 이용한다.
플럭스 저장 탱크(110)는 용해를 촉진하는 플럭스를 저장하고, 밸브 노즐(120)로 플럭스를 공급한다.
밸브 노즐(120)은 압전 액추에이터의 동작으로 플럭스 저장 탱크(110)의 플럭스를 흡입하여 노즐로 플럭스 일정량을 분사한다.
제어부(130)는 구동 파형을 제어하고 압전 액추에이터를 구동 파형으로 제어하여 밸브 노즐(120)에 의한 플럭스 분사량을 제어한다.
도 4는 밸브를 보인 예시도이다.
밸브(40)는 압전 액추에이터(41)를 구동하여 막대(42)를 이동시키고, 막대(42) 끝에 부착된 실링 볼(43)이 밸브 노즐(120)의 밀착면으로부터 이탈되거나 폐쇄되어 유로(44)의 플럭스를 외부로 배출할 수 있다.
플럭스는 밸브(40)를 통해 배출된다.
도 5는 종래 밸브 노즐과 본 발명 밸브 노즐을 보인 예시도이다.
종래 밸브 노즐은 밀착면(51)이 300 내지 400 마이크로 미터인데 반해 본 발명 밸브 노즐은 밀착면(52)이 240 내지 280 마이크로 미터이다.
본 발명 밸브 노즐은 정밀 가공을 통해 얻을 수 있고, 적정 플럭스 분사량에 따라 설계된 것이다.
BGA 기판에 형성되는 전극은 그 크기가 조밀해서 전극의 산화물을 용해하는 플럭스 양도 작다. 적정 플럭스 분사량은 전극의 산화물을 용해하는 정도에 의해 결정된다.
도 6은 밸브 노즐을 제어하는 제어부 구성을 보인 예시도이다.
밸브 노즐을 제어하는 제어부(130)는 각종 파라미터를 설정하는 휴먼 머신 인터페이스(61), 설정된 파라미터로 밸브(63)를 제어하는 전자 드라이버(62), 전자 드라이버(62)에 의해 구동되는 밸브(63), 전자 드라이버(62)를 제어하는 입출력 컨버터(64), 입출력 컨버터(64)를 제어하는 PC(65)로 구성된다.
도 7은 밸브 노즐에 출력되는 구동 파형을 보인 예시도이다.
밸브 노즐에 출력되는 구동 파형은 사다리꼴 구형파로, 일정 시간의 상승 시간과 일정 시간의 하강 시간을 가진다.
구동 파형의 상승 시간과 하강 시간을 조절해서 밸브 노즐을 통해 분사되는 플럭스 양이 결정된다.
상승 시간은 플럭스를 흡입하는 양을 결정하고, 하강 시간은 플럭스를 분사하는 양을 결정한다.
구동 파형에서 상승 파형에 대응한 면적이 플럭스를 흡입하는 양에 비례하고, 하강 파형에 대응한 면적이 플럭스를 분사하는 양에 비례한다.
제어부(130)는 하강 파형을 조정해서 플럭스 분사량을 조절할 수 있다.
도 8은 구동 파형에 의한 플럭스 도트의 특성을 보인 예시도이다.
구동 파형에 의한 플럭스 도트는 구동 파형에서 하강 파형에 대응한 면적에 따라 크기가 달라지고, 구동 파형에서 구동파 간 시간 간격에 따라 플럭스 도트 사이 거리가 달라진다.
도 9는 플럭스 잉크젯 분사 방법의 동작 흐름도이다.
플럭스 잉크젯 분사 방법에 대해 설명한다.
플럭스 잉크젯 분사 장치는 프로그램을 저장하는 프로그램 메모리, 데이터를 저장하는 데이터 메모리, 프로그램을 실행하는 프로세서를 포함한다.
프로그램 메모리에 저장된 데이터를 살펴보면, 프로그램 메모리는 제어부(130)가 플럭스 저장 탱크(110)에 플럭스를 저장하는 단계(910); 밸브 노즐(120)이 압전 액추에이터의 동작으로 플럭스 저장 탱크(110)의 플럭스를 흡입하여 노즐로 일정량을 분사하는 단계(920); 및 제어부(130)가 구동 파형을 제어하고 압전 액추에이터를 구동 파형으로 제어하여 밸브 노즐(120)에 의한 플럭스 분사량을 제어하는 단계(930)를 포함한다.
플럭스 잉크젯 분사 장치는 프로세서에 의해 프로그램 메모리에 저장된 프로그램을 실행하며 이러한 동작을 설명하면 다음과 같다.
플럭스 잉크젯 분사 장치에서 실행되는 절차를 시계열 순으로 설명한다.
분사하는 단계는 밸브 노즐(120)이 압전 액추에이터의 실링 볼을 밸브 노즐(120)의 밀착면에 닫거나 열는 단계(921); 밀착면으로부터 일정 각도의 경사면을 가지고 밀착면이 넓고 반대쪽이 좁은 원뿔 모양으로 형성된 원뿔에 플럭스를 저장하는 단계(922); 및 원뿔의 뾰족한 곳에 너비가 매우 좁게 형성된 원기둥 분사구를 통해 플럭스를 분사하는 단계(923)를 포함한다.
도 10은 플럭스 잉크젯 분사 장치의 다른 실시예를 보인 예시도이다.
플럭스 저장 탱크(110)는 용해를 촉진하는 플럭스를 저장한다.
밸브 노즐(120)은 압전 액추에이터의 동작으로 플럭스 저장 탱크(110)의 플럭스를 흡입하여 노즐로 플럭스 일정량을 분사한다.
제어부(130)는 구동 파형을 제어하고 압전 액추에이터를 구동 파형으로 제어하여 밸브 노즐(120)에 의한 플럭스 분사량을 제어한다.
밸브 노즐(120)은 도 5와 같이, 압전 액추에이터의 실링 볼이 밸브 노즐(120)을 닫거나 열면서 닿는 밀착면(52); 밀착면으로부터 일정 각도의 경사면을 가지고 밀착면이 넓고 반대쪽이 좁은 원뿔 모양으로 이루어져 플럭스를 저장하는 원뿔(53); 및 원뿔(53)의 뾰족한 곳에 너비가 매우 좁게 형성된 원기둥 분사구(54)을 포함한다.
밸브 노즐(120)의 원기둥 분사구 너비는 25마이크로 미터이고, 밀착면의 너비는 240 내지 280마이크로 미터이다.
밸브 노즐(120)은 밸브 노즐(120)에 저장된 플럭스를 흡입하고 분사하는 보조 밸브 노즐(140)을 더 포함하고, 제어부(130)는 보조 밸브 노즐(140)의 압전 액추에이터를 보조 구동 파형으로 제어하여 보조 밸브 노즐(140)에 의한 플럭스 흡입량과 밸브 노즐(120)에 의한 플럭스 분사량을 제어한다.
밸브 노즐(120)과 보조 밸브 노즐(140)은 직렬로 연결되고 제어부(130)가 밸브 노즐(120)과 보조 밸브 노즐(140)을 각각 제어하여 밸브 노즐(120)과 보조 밸브 노즐(140)의 차에 대응하는 플럭스 흡입량과 분사량을 조절한다. 밸브 노즐(120)이 플럭스 저장 탱크로부터 플럭스를 흡입하면 보조 밸브 노즐(140)이 밸브 노즐(120)의 플럭스를 다시 흡입함으로써 밸브 노즐(120)과 보조 밸브 노즐(140) 사이의 차에 대응하는 플럭스 흡입량이 결정되고 또한 플럭스 분사량도 달라진다.
밸브 노즐(120)과 보조 밸브 노즐(140) 사이의 차에 대응하는 플럭스 분사량이 조절되므로 하나의 밸브 노즐(120)이 사용될 때보다 보다 조밀한 플럭스 분사량이 조절될 수 있다. 이로 인해 BGA 기판(10)의 전극 크기가 보다 작은 것에 적용 가능하다.
도 11은 플럭스 잉크젯 분사 방법의 다른 실시예를 보인 동작 흐름도이다.
플럭스 잉크젯 분사 방법에 대해 설명한다.
플럭스 잉크젯 분사 장치는 프로그램을 저장하는 프로그램 메모리, 데이터를 저장하는 데이터 메모리, 프로그램을 실행하는 프로세서를 포함한다.
프로그램 메모리에 저장된 데이터를 살펴보면, 프로그램 메모리는 분사하는 단계(920)는 보조 밸브 노즐(140)이 밸브 노즐(120)에 저장된 플럭스를 흡입하고 분사하는 단계(924)를 더 포함하고, 제어하는 단계(930)는 보조 밸브 노즐(140)의 압전 액추에이터를 보조 구동 파형으로 제어하여 보조 밸브 노즐(140)에 의한 플럭스 흡입량과 밸브 노즐(120)에 의한 플럭스 분사량을 제어하는 단계(931)를 더 포함한다.
플럭스 잉크젯 분사 장치는 프로세서에 의해 프로그램 메모리에 저장된 프로그램을 실행하며 이러한 동작을 설명하면 다음과 같다.
플럭스 잉크젯 분사 장치에서 실행되는 절차를 시계열 순으로 설명한다.
분사하는 단계에서 보조 밸브 노즐(140)이 밸브 노즐(120)에 저장된 플럭스를 흡입하고 분사한다.
제어하는 단계에서 제어부(130)는 보조 밸브 노즐(140)의 압전 액추에이터를 보조 구동 파형으로 제어하여 보조 밸브 노즐(140)에 의한 플럭스 흡입량과 밸브 노즐(120)에 의한 플럭스 분사량을 제어한다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10: BGA 기판 20: 마스크
30: 솔더볼 40: 밸브
41: 압전 액추에이터 42: 막대
43: 실링 볼 44: 유로
51: 종래 밸브 노즐의 밀착면 52: 본 발명 밸브 노즐의 밀착면
53: 원뿔 54: 원기둥 분사구
61: 휴먼 머신 인터페이스 62: 전자 드라이버
63: 밸브 64: 입출력 컨버터
65: PC 110: 플럭스 저장 탱크
120: 밸브 노즐 130: 제어부
140: 보조 밸브 노즐

Claims (6)

  1. 용해를 촉진하는 플럭스를 저장하는 플럭스 저장 탱크(110);
    압전 액추에이터의 동작으로 상기 플럭스 저장 탱크(110)의 플럭스를 흡입하여 노즐로 플럭스 일정량을 분사하는 밸브 노즐(120); 및
    구동 파형을 제어하고 상기 압전 액추에이터를 구동 파형으로 제어하여 상기 밸브 노즐(120)에 의한 플럭스 분사량을 제어하는 제어부(130)를 포함하고,
    상기 밸브 노즐(120)은 상기 압전 액추에이터의 실링 볼이 상기 밸브 노즐(120)을 닫거나 열면서 닿는 밀착면(52);
    상기 밀착면(52)으로부터 일정 각도의 경사면을 가지고 상기 밀착면(52)이 넓고 반대쪽이 좁은 원뿔 모양으로 이루어져 상기 플럭스를 저장하는 원뿔(53); 및
    상기 원뿔(53)의 뾰족한 곳에 너비가 매우 좁게 형성된 원기둥 분사구(54)를 포함하고,
    상기 밸브 노즐(120)은 상기 밸브 노즐(120)에 저장된 플럭스를 흡입하고 분사하는 보조 밸브 노즐(140)을 더 포함하고,
    상기 제어부(130)는 상기 보조 밸브 노즐(140)의 압전 액추에이터를 보조 구동 파형으로 제어하여 상기 보조 밸브 노즐(140)에 의한 플럭스 흡입량과 상기 밸브 노즐(120)에 의한 플럭스 분사량을 제어하고,
    상기 밸브 노즐(120)과 상기 보조 밸브 노즐(140)은 직렬로 연결되고 상기 제어부(130)가 상기 밸브 노즐(120)과 상기 보조 밸브 노즐(140)을 각각 제어하여 상기 밸브 노즐(120)과 상기 보조 밸브 노즐(140)의 차에 대응하는 플럭스 흡입량과 분사량을 조절하고, 상기 밸브 노즐(120)이 상기 플럭스 저장 탱크(110)로부터 플럭스를 흡입하면 상기 보조 밸브 노즐(140)이 상기 밸브 노즐(120)의 플럭스를 다시 흡입함으로써 상기 밸브 노즐(120)과 상기 보조 밸브 노즐(140) 사이의 차에 대응하는 플럭스 흡입량이 결정되고 또한 플럭스 분사량도 달라지는 플럭스 잉크젯 분사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 밸브 노즐(120)의 원기둥 분사구 너비는 20 내지 30마이크로 미터인 플럭스 잉크젯 분사 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 밀착면(52)에서의 너비는 240 내지 280마이크로 미터인 플럭스 잉크젯 분사 장치.
  4. 삭제
  5. 제어부(130)가 플럭스 저장 탱크(110)에 플럭스를 저장하는 단계;
    밸브 노즐(120)이 압전 액추에이터의 동작으로 상기 플럭스 저장 탱크(110)의 플럭스를 흡입하여 노즐로 일정량을 분사하는 단계; 및
    상기 제어부(130)가 구동 파형을 제어하고 상기 압전 액추에이터를 구동 파형으로 제어하여 상기 밸브 노즐(120)에 의한 플럭스 분사량을 제어하는 단계를 포함하고,
    상기 분사하는 단계는 상기 밸브 노즐(120)이 상기 압전 액추에이터의 실링 볼을 상기 밸브 노즐(120)의 밀착면(52)에 닫거나 여는 단계;
    상기 밀착면(52)으로부터 일정 각도의 경사면을 가지고 상기 밀착면(52)이 넓고 반대쪽이 좁은 원뿔 모양으로 형성된 원뿔(53)에 상기 플럭스를 저장하는 단계; 및
    상기 원뿔(53)의 뾰족한 곳에 너비가 매우 좁게 형성된 원기둥 분사구(54)을 통해 플럭스를 분사하는 단계를 포함하고,
    상기 분사하는 단계는 보조 밸브 노즐(140)이 상기 밸브 노즐(120)에 저장된 플럭스를 흡입하고 분사하는 단계를 더 포함하고,
    상기 제어하는 단계는 상기 보조 밸브 노즐(140)의 압전 액추에이터를 보조 구동 파형으로 제어하여 상기 보조 밸브 노즐(140)에 의한 플럭스 흡입량과 상기 밸브 노즐(120)에 의한 플럭스 분사량을 제어하는 단계를 더 포함하고,
    상기 밸브 노즐(120)과 상기 보조 밸브 노즐(140)은 직렬로 연결되고 상기 제어부(130)가 상기 밸브 노즐(120)과 상기 보조 밸브 노즐(140)을 각각 제어하여 상기 밸브 노즐(120)과 상기 보조 밸브 노즐(140)의 차에 대응하는 플럭스 흡입량과 분사량을 조절하고, 상기 밸브 노즐(120)이 상기 플럭스 저장 탱크(110)로부터 플럭스를 흡입하면 상기 보조 밸브 노즐(140)이 상기 밸브 노즐(120)의 플럭스를 다시 흡입함으로써 상기 밸브 노즐(120)과 상기 보조 밸브 노즐(140) 사이의 차에 대응하는 플럭스 흡입량이 결정되고 또한 플럭스 분사량도 달라지는 플럭스 잉크젯 분사 방법.
  6. 삭제
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