KR101977904B1 - 이송로봇의 레일가이드 지지장치 - Google Patents

이송로봇의 레일가이드 지지장치 Download PDF

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Abstract

내구성 및 안전성이 개선되도록, 클린공간 내에 배치되어 기판을 이송하되 회전상태에 따라 레일가이드 외곽측 편하중이 가해지는 이송로봇의 레일가이드 지지장치에 있어서, 상기 클린공간 바닥면과의 사이에서 하중을 지지하도록 구비되는 복수개의 보강빔; 상기 보강빔의 상측에 연결되어 종방향을 따라 상호 이격 배치되는 한쌍의 보강플레이트; 상기 보강플레이트의 상부에 연결되어 종방향을 따라 상호 이격 배치되는 한쌍의 레일가이드; 상기 레일가이드의 단부에 횡방향을 가로질러 연결되는 브릿지 보강바; 및 상기 브릿지 보강바와 상기 클린공간 바닥면 사이에서 하중을 지지하는 지지수단을 포함하는 이송로봇의 레일가이드 지지장치를 제공한다.

Description

이송로봇의 레일가이드 지지장치{rail guide support apparatus for transport robot}
본 발명은 지지장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 내구성 및 안전성이 개선된 이송로봇의 레일가이드 지지장치에 관한 것이다.
일반적으로 고도의 정밀도와 집적도를 요구받는 반도체 내지 LCD판넬 등의 생산공정에서는 일체의 먼지나 이물질로부터의 보호를 위한 청정공간으로 클린공간이 제공된다.
이때, 상기 클린공간을 형성하기 위한 실내공간의 바닥패널 구조는 덕트나 배선라인의 설치 공간 확보를 위해 기초 콘크리트 바닥면이나 철 구조물과 일정한 공간 폭을 유지한다. 이때, 상술한 공간 폭의 유지는 적정 간격으로 설치 고정되는 골조에 의존된다.
또한, 상기 클린공간에 설치되는 각종 공정처리를 위한 장비는 고중량으로 구비된다. 이러한 장비를 설치할 때는 장비 및 구조물의 안정을 위해 구조적 배려가 선행된다. 이를 위해, 골조나 장비의 수평상태 유지를 위한 구조가 필요하다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 종래 안전장치의 문제점을 상세히 설명한다.
도 1a 및 도 1b는 종래의 이송로봇 및 레일가이드의 작동을 나타낸 예시도이다.
상기 클린공간 하부는 각종 빔, 간격조절장치, 고정장치, 지지수단 등이 포함되며, 상기 클린공간의 먼지입자 배출을 위한 연통공간이 구비된다.
그리고, 상기 클린공간 상부에는 로봇의 이송을 안내하기 위한 한 쌍의 레일가이드(10)가 설치되며, 상기 레일가이드(10) 양측으로는 절단 및 가공 등을 수행하는 수행장치 내지 적층 카세트장치가 설치된다.
또한, 상기 레일가이드 양단부(13,14)에는 반도체 내지 LCD 제조공정을 수행하는 공정장치 내지 다음 공정으로의 이송을 위한 카세트장치가 설치된다.
한편, 상기 이송로봇(100)은 상기 레일가이드(10)를 따라 움직이며 반도체 내지 액정표시장치(LCD)를 예비카세트(11)로부터 인출하여 절단 및 가공 등을 수행한 후 공정카세트(12)로 이송시킨다. 따라서, 상기 이송로봇(100)은 반도체 내지 액정표시장치(LCD) 이송의 정확성과 안전성이 요구된다.
이때, 포크암(20)이 상기 예비카세트(11)에서 반도체 내지 액정표시장치(LCD)를 인출 및 반송할 때, 무게중심이 g1이 되어 한 쌍의 레일가이드 양측(13,14)에 압축 응력이 발생한다. 그러나, 상기 이송로봇(100)의 회전판부(31)가 회전하여 반도체 내지 액정표시장치(LCD)가 공정카세트로 이송될 때, 상기 이송로봇의 무게중심은 g1에서 g2로 이동한다.
이와 같이 상기 이송로봇(100)의 무게중심이 g2로 이동되면 상기 이송로봇(100)과 근접한 상기 레일가이드(10)에서는 압축 응력이 발생되고, 상기 이송로봇(100)과 먼 상기 레일가이드(10)에서는 인장 응력이 발생된다. 따라서, 인장 응력이 발생된 상기 레일가이드(10)의 체결부분에서 볼트가 변형 내지 피로파괴되는 현상이 발생할 수 있다.
또한, 볼트가 변형 내지 피로파괴되면, 상기 이송로봇(100)의 장비에 오차가 발생하게 되어 웨이퍼나 기판이 공정카세트(12)의 출입구와 충돌하여 파손되는 심각한 문제점을 야기할 수 있다.
더욱이, 이러한 문제점을 제거하기 위해서는 상기 레일가이드(10)를 포함한 상기 이송로봇(100) 하중지지장치의 전체 설계를 변경해야 하며, 이러한 경우 전체 하중지지구조 장비의 교체를 요구하므로 심각한 경제적 손실이 발생되는 문제점이 대두된다.
한국 등록특허 제10-1468263호
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 내구성 및 안전성이 개선된 이송로봇의 레일가이드 지지장치를 제공하는 것을 해결과제로 한다.
상기의 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 클린공간 내에 배치되어 기판을 이송하되 회전상태에 따라 레일가이드 외곽측 편하중이 가해지는 이송로봇의 레일가이드 지지장치에 있어서, 상기 클린공간에 설치되는 구조물의 하중을 지지하도록, 상기 클린공간의 바닥면에 횡방향을 따라 배치되는 복수개의 보강빔; 상기 보강빔의 상측에 연결되어 종방향을 따라 상호 이격 배치되는 한쌍의 보강플레이트; 상기 보강플레이트의 상부에 연결되어 종방향을 따라 상호 이격 배치되는 한쌍의 레일가이드; 상기 레일가이드의 단부에 횡방향을 가로질러 연결되는 브릿지 보강바; 및 상기 브릿지 보강바와 상기 클린공간 바닥면 사이에서 하중을 지지하는 지지수단을 포함하되, 상기 레일가이드의 양단부에서의 상기 보강빔의 설치간격은 상기 레일가이드의 중앙부에서의 상기 보강빔의 설치간격보다 작게 형성되며, 상기 보강플레이트는 상기 레일가이드의 양단부측에 배치된 상기 보강빔의 상측에 종방향을 따라 일체로 연장 형성됨을 특징으로 하는 이송로봇의 레일가이드 지지장치를 제공한다.
여기서, 상기 브릿지 보강바의 측면부는 한쌍의 상기 레일가이드의 단부에 각각 일체로 연결되며, 상기 이송로봇에 의해 가해지는 상기 레일가이드 외곽측 편하중을 지지하도록, 상기 브릿지 보강바의 양단부는 각각 상기 레일가이드 외곽측으로 연장됨이 바람직하다.
그리고, 상기 브릿지 보강바는 상기 레일가이드의 단부에 면접촉되는 대향면을 가지며 볼트체결에 의해 일체로 결합되는 몸체부와, 상기 몸체부의 대향면의 반대편측으로 연장 돌출된 보강리브를 포함함이 바람직하다.
또한, 상기 지지수단은 상기 클린공간 바닥면과의 사이에서 하중을 지지하도록 높이가 조절되어 구비된 연장지지부와, 상기 연장지지부의 상부에 안착되는 격자형 억세스플로어판과, 상기 브릿지 보강바의 하면을 따라 일체로 연장되되 상기 억세스플로어판의 상면에 안착되는 지지플레이트와, 상기 브릿지 보강바의 하부를 관통하는 연장지지볼트와 상기 브릿지 보강바의 하면부를 지지하도록 상기 연장지지볼트에 체결된 지지너트를 포함하는 높이조절체결부를 포함함이 바람직하다.
삭제
상기의 해결 수단을 통해서, 본 발명에 따른 이송로봇의 레일가이드 지지장치는 다음과 같은 효과를 제공한다.
첫째, 상기 이송로봇의 회전시에 상기 레일가이드에 편하중이 가해지더라도 상기 브릿지 보강바의 양단부가 각각 상기 레일가이드 외곽측으로 연장되므로 상기 이송로봇의 회전시에 가해지는 인장 응력을 지지함으로써 편하중으로 인한 인장력이 집중되던 볼트 등과 같은 체결부의 파손을 미연에 방지하여 상기 지지장치의 지지력 및 내구성이 현저히 향상될 수 있다.
둘째, 종래의 문제점이 발생된 기존 작업장의 시공현황과 달리 본 발명은 기존 작업장의 시공현황에서 상기 브릿지 보강바의 양단부를 연장하고 상기 레일가이드의 중앙부에서의 보강빔 설치간격을 상기 레일가이드의 양단부에서의 상기 보강빔 설치간격보다 크게 형성하는 간단한 시공으로 종래의 시공현황에 호환 가능하게 적용되므로 시공시 경제성이 현저히 개선될 수 있다.
셋째, 종래에 상기 레일가이드 양단부측에 복수개로 이격되어 구비된 보강플레이트의 구조와 달리 본 발명은 상기 레일가이드 양단부측에 배치된 보강플레이트를 상기 보강빔의 상측에 종방향을 따라 일체로 연장 형성하여 상기 이송로봇에 의해 가해지는 상기 레일가이드 외곽측 편하중을 지지하므로 볼트 등과 같은 체결부의 파손을 방지하여 상기 지지장치의 내구성 및 안전성이 현저히 향상될 수 있다.
도 1a 및 도 1b는 종래의 이송로봇 및 레일가이드의 작동을 나타낸 예시도.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 이송로봇의 레일가이드 지지장치를 상측에서 바라본 예시도.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 이송로봇의 레일가이드 지지장치를 정면에서 바라본 예시도.
도 4는 도 3의 'A' 부분 확대도.
도 5은 도 3의 'B' 부분 확대도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 이송로봇의 레일가이드 지지장치를 상세히 설명한다.
도 2은 본 발명의 일실시예에 따른 이송로봇의 레일가이드 지지장치를 상측에서 바라본 예시도이고, 도 3는 본 발명의 일실시예에 따른 이송로봇의 레일가이드 지지장치를 정면에서 바라본 예시도이며, 도 4는 도 3의 'A'부분 확대도이다.
도 2 내지 도 3에서 보는 바와 같이, 본 발명에 따른 지지장치는 보강빔(150), 보강플레이트(160), 레일가이드(110), 브릿지 보강바(170), 그리고 지지수단(180)을 포함한다.
여기서, 상기 보강빔(150)은 클린공간 바닥면에 횡방향을 따라 배치됨이 바람직하다. 이때, 상기 클린공간은 반도체 내지 액정표시장치(LCD) 등의 제조를 위해 내부의 먼지나 이물질로부터의 보호된 청정공간으로 이해함이 바람직하다.
또한, 상기 클린공간에 설치되는 각종 공정처리를 위한 장비는 고중량으로 구비되므로, 이러한 장비의 설치시 장비 및 구조물의 하중지지구조를 고려함과 동시에 먼지입자의 배출구조도 고려되어야 한다.
즉, 상기 클린공간의 하부에 먼지입자 배출을 위한 연통공간이 형성되므로, 상기 클린공간의 하중지지구조는 각종 빔과 간격조절장치의 위치 및 개소가 정밀하게 설계됨이 바람직하다.
한편, 상기 보강빔(150)은 구조빔(140)과 체결되어 상기 클린공간 바닥면의 지지력을 상승시키기 위해 구비된다. 여기서, 상기 구조빔(140)은 상기 클린공간을 형성하는 구조물의 최하부에서 하중을 지지하기 위해 구비된 기초 자재이다.
따라서, 상기 구조빔(140)은 하중을 지지하기 위한 간격으로 이격됨이 바람직하며, 콘크리트 등의 재질과 함께 상기 클린공간의 최하부에 시공됨이 바람직하다.
여기서, 상기 구조빔(140)은 클린공간 바닥면에 종방향을 따라 복수개로 연장 배치됨이 바람직하다. 그리고 인접하는 각각의 상기 구조빔(140)은 신장 및 수축력의 고려와 진동전달을 차단하기 위해 기설정된 간격으로 전후방향으로 이격되어 배치될 수 있다.
한편, 상기 보강빔(150)은 상기 클린공간의 구조와 장치를 지지할 수 있는 너비와 강도가 우수한 금속재질로 이루어짐이 바람직하며, 상기 구조빔(140)의 상부를 가로질러 횡방향으로 연결됨이 바람직하다.
또한, 상기 보강빔(150)은 "H" 내지 "I" 등의 형상으로 형성될 수 있으나, 상기 구조빔(140)과의 볼트체결을 위해 상기 구조빔(140)의 플랜지 폭에 대응하는 플랜지 폭을 가진 형상을 구비함이 바람직하다. 여기서 플랜지 폭이란 빔의 단변으로 이해함이 바람직하다.
상세히, 상기 보강빔(150)은 상기 구조빔(140)의 상부와 상호 마주보는 체결면부(154a, 154b)를 관통하는 볼트(151)와, 상기 볼트(151)의 길이방향으로 나사 체결되는 고정너트(153)를 포함하여 구비됨이 바람직하다.
한편, 상기 보강플레이트(160)는 상기 보강빔(150)과 결합되어 상기 클린공간의 바닥면의 지지력을 상승시키고, 이를 통해 상기 보강빔(150)과 상기 구조빔(140)에 가해지는 하중을 분산시킨다.
따라서, 상기 보강플레이트(160)는 상기 보강빔(150)의 상측에 연결되어 종방향을 따라 다수개로 상호 이격 배치되며 적어도 하나 이상의 관통홀을 가짐이 바람직하다. 또한, 상기 보강플레이트(160)는 후술될 레일가이드 단부(111,112) 측에서는 연장되어 일체로 구비되어, 하중지지구조의 지지력을 향상시킨다.
한편, 연장지지부(141)는 상기 구조빔(140)의 상부에 위치한다. 그리고, 상기 클린공간의 최하층과 후술될 억세스플로어판(210)의 사이 공간에서 파이프 및 장비의 용이한 통과를 위한 장치이므로 알루미늄이나 스틸 등의 재질로 구비됨이 바람직하다.
상세히, 상기 연장지지부(141)는 상기 구조빔(140)의 상부와 상호 마주보는 체결면부(142)를 관통하는 연장볼트와, 상기 연장볼트의 길이방향으로 나사 체결되는 고정너트를 포함하여 구비됨이 바람직하다. 이때, 상기 고정너트는 쌍으로 구비되어 상기 연장지지부(141)와 상기 구조빔(140)의 체결면부(142)의 상면 및 하면과 밀착되도록 체결됨이 바람직하다.
또한, 상기 클린공간의 공기 흐름은 상기 클린공간 하부의 유동경로를 통해 외부로 이동되므로, 상기 연장지지부(141)는 상기 클린공간에서 발생되는 먼지 내지 파티클 입자를 외부로 배출시키는 이격공간을 형성함이 바람직하다.
여기서, 상기 연장지지부(141)는 마감재가 각각 독립적으로 형성되어 표면의 기울기를 손쉽게 보정할 수 있게 형성되어 구조의 움직을 흡수함이 바람직하다. 그리고, 상기 연장지지부(141)는 오픈조인트 시공으로 신속한 배수를 용이하게 하고 단열 향상과 UV 열화로부터 보호 및 공기의 통풍이 가능하게 함이 바람직하다.
한편, 상기 연장지지부(141)의 상부에는 상기 억세스플로어판(210)이 설치된다. 상기 억세스플로어판(210)은 발판의 용도로 쓰이며 격자형으로 설치되어 상기 클린공간의 전체 좌우구조를 형성함이 바람직하다. 또한, 상기 클린공간에서 발생되는 먼지 내지 파티클 입자가 상기 억세스플로어판(210)의 하부로 배출될 수 있는 연통공간이 형성됨이 바람직하다.
또한, 상기 억세스플로어판(210)은 철재, 목재, 알루미늄 등의 재질로 구비됨이 바람직하며, 상기 억세스플로어판(210)의 변형은 다양하게 될 수 있다. 그리고, 하나의 상기 연장지지부(141)에는 네 개의 상기 억세스플로어판(210)의 모서리가 지지됨이 바람직하다.
한편, 도 4를 참조하면, 상기 억세스플로어판(210)은 상기 보강빔(150)으로부터 기설정된 공간 폭으로 이격되므로 상기 억세스플로어판(210)과 상기 보강빔(150) 사이에는 소정의 레벨간격이 형성된다.
여기서, 레벨간격은 상기 억세스플로어판(210)이 실질적인 수평상태를 유지되기 위한 상기 억세스플로어판(210)과 상기 보강빔(150) 사이의 이격된 간격으로 이해함이 바람직하다.
상세히, 레벨간격은 상기 구조빔(140)의 하부 평탄도에 따라 차이가 발생할 수 있다. 즉, 상기 구조빔(140)의 하부에서 함몰부나 하향경사면에 설치된 상기 보강빔(150)과 상기 억세스플로어판(210) 사이의 레벨간격은 상기 구조빔(140)의 하부에서 돌출부나 상향경사면에 설치된 상기 보강빔(150)과 상기 억세스플로어판(210) 사이의 레벨간격과 상이하게 형성될 수 있다.
따라서, 레벨간격을 지지하기 위한 하중지지구조가 구비됨이 바람직하다.
상세히, 하중지지용 높이조절장치(190)가 레벨간격에 따라 조절되어 간격을 지지하여, 상기 구조빔(140)의 하부에 굴곡면 내지 경사면과 같은 비수평면이 존재하더라도 상기 억세스플로어판(210)의 수평이 실질적으로 유지될 수 있다.
이에 따라, 상기 높이조절장치(190) 상부에는 상기 억세스플로어판(210)과 결합된 지지 프레임(220)이 상기 억세스플로어판(210) 하면에 결합된다. 여기서, 상기 지지 프레임(220)은 상기 억세스플로어판(210)을 관통하는 다수개의 고정볼트(211)와, 상기 볼트의 길이방향으로 나사 체결되는 고정너트(213)를 통해 지지됨이 바람직하다.
그리고, 상기 높이조절장치(190) 하부에는 연장볼트가 상기 보강빔(150)의 상부를 상기 지지 프레임(220)에 관통되는 형태로 결합됨이 바람직하다. 이때, 상기 연장볼트의 길이방향으로 나사 체결되는 너트를 포함하여 구비됨이 바람직하다.
물론, 상기 높이조절장치(190)는 상기 보강빔(150)의 하부에도 연결될 수 있다. 상세히, 상기 보강빔(150)의 상면과 상기 지지 프레임(220) 하면을 볼트로 밀착되도록 체결한다. 그리고, 연장볼트가 상기 보강빔(150)의 하부를 상기 구조빔(140)에 관통되는 형태로 결합됨이 바람직하다.
이때, 상기 연장볼트의 길이방향으로 나사 체결되는 고정너트를 포함하여 구비됨이 바람직하다. 또한, 상기 지지 프레임(220)의 상부와 상기 억세스플로어판(210)을 관통하는 관통볼트는 상기 보강플레이트(160)를 관통하여 연결됨이 바람직하다.
상세히, 상기 보강플레이트(160)의 하부와 상기 지지 프레임(220)의 상부가 상호 마주보는 상기 억세스플로어판(210)을 관통하는 상기 관통볼트와, 상기 관통볼트의 길이방향으로 나사 체결되는 너트를 포함하여 구비됨이 바람직하다.
이때, 상기 너트는 쌍으로 구비되어 상기 억세스플로어판(210)의 체결면부의 상면 및 하면과 밀착되도록 체결됨이 바람직하다.
한편, 도 2 내지 도 4에서 보는 바와 같이, 상기 레일가이드(110)는 상기 보강플레이트(160) 상측에 종방향으로 이격된 한쌍의 LM 가이드(Linear motion guide) 등으로 구비될 수 있으며, 장치 이동 시 마찰이 적어 이동이 용이하고, 연결 홈들을 이용하여 각종 고정장치가 적용 가능하게 구비됨이 바람직하다.
또한, 상기 레일가이드(110)는 상기 보강플레이트(160)의 상부에 수직브라켓(161)으로 볼트 체결되어 종방향을 따라 한쌍으로 상호 이격 배치됨이 바람직하다. 이때, 상호 이격 배치된 간격은 상기 이송로봇(200)이 상기 레일가이드(110)를 따라 이동할 때, 그 규격에 맞게 설정하는 것이 바람직하다.
상세히, 접합면에서 상기 레일가이드(110)의 수직면부에 덧대어지는 상기 수직브라켓(161)의 수직면부의 너비는 상기 레일가이드(110)의 수직면부의 너비와 동일하게 형성됨이 바람직하다. 따라서, 상기 레일가이드(110)의 수직면부의 전면적에 걸쳐 상기 수직브라켓(161)의 수직면부 압박을 양측면에서 보다 효과적으로 전달할 수 있게 하여 견고하게 접합될 수 있도록 됨이 바람직하다.
그리고, 상기 레일가이드(110)의 수직면부에는 일정간격으로 다수개의 나사체결공이 형성되고, 상기 수직브라켓(161)의 수직면부에는 수용홈이 형성됨이 바람직하다. 이때, 상기 수직브라켓(161)에 형성된 수용홈과 상기 레일가이드(110)의 나사체결공은 상호 대응되는 위치에 형성되어 동일한 위치에서 접촉 및 나사체결되는 구조로 구비됨이 바람직하다.
따라서, 상기 수직브라켓(161)의 수직면부 수용홈과 상기 레일가이드(110)의 수직면부 나사체결공을 볼트와 너트로써 체결하여 구비됨이 바람직하다.
또한, 상기 수직브라켓(161)의 수평면부에는 수용홈이 형성되고, 상기 보강플레이트(160)의 상부에도 일정간격으로 다수개의 나사체결공이 형성됨이 바람직하다. 이때, 상기 수직브라켓(161)의 수평면부에 형성된 수용홈은 상기 보강플레이트(160)의 상부의 나사체결공의 간격과 동일한 간격으로 형성되어 수평면부와 접합 시, 각 나사체결공은 일치된 위치에서 관통되는 구조로 됨이 바람직하다.
따라서, 상기 수직브라켓(161)의 수평면부 수용홈과 상기 보강플레이트(160)의 상부 나사체결공을 볼트와 너트로써 체결하여 구비됨이 바람직하다. 이와 같이, 상기 수직브라켓(161)은 상기 레일가이드(110)와 상기 보강플레이트(160)를 볼트와 너트로써 체결한다.
그리고, 상기 레일가이드(110) 상부에는 기판 및 판넬 등이 이송되는 상기 이송로봇(200)이 구비된다. 상기 이송로봇(200)은 베이스부(130)와 칼럼부(132)가 구비되는 회전판부(131) 및 포크암(120)를 포함한다.
상세히, 상기 베이스부(130)는 상기 레일가이드(110)의 상부에서 종방향으로 이동한다. 그리고, 상기 회전판부(131)는 상기 베이스부(130)의 상부에 회전가능하게 결합되어 기판이 예비카세트 및 공정카세트로 이송된다.
또한, 상기 칼럼부(132)는 상기 회전판부(131)의 일측에 상향연장되어 상기 예비카세트에서 상기 공정카세트로 기판을 이송할 때 회전한다. 그리고, 상기 포크암(120)는 상기 칼럼부(132)의 상부에 연결되어 횡방향 및 종방향으로 기판을 이송시킨다.
여기서, 상기 이송로봇(200)은 상기 레일가이드 단부(111,112)에서 상기 예비카세트의 기판을 인출하여 상기 공정카세트로 기판을 이송시킨다. 이때, 상기 칼럼부(132)가 회전하는 상기 이송로봇(200)이 상기 레일가이드(110) 외곽측으로 편하중을 가한다
상세히, 무게중심이 이동되어 상기 이송로봇(200)과 근접한 상기 레일가이드(110)에서는 압축 응력이 발생되고, 상기 이송로봇(200)과 먼 상기 레일가이드(110)의 외곽측에서는 인장 응력이 발생된다.
즉, 상기 레일가이드(110)의 외곽측에서 발생된 인장 응력에 의해 상기 레일가이드(10)의 체결부분이 인장 응력을 받아 상기 보강빔(150)과 상기 보강플레이트(160)의 체결부 및 상기 보강플레이트(160)와 상기 수직브라켓(161)의 체결부를 포함한 상기 레일가이드(110) 체결부에서 볼트가 변형 내지 피로파괴된다.
따라서, 상기 레일가이드의 단부(111,112)에서의 상기 보강빔(150)의 설치간격을 상기 레일가이드(110)의 중앙부에서의 상기 보강빔(150)의 설치간격보다 작게 형성하여, 상기 보강빔(150)과 상기 보강플레이트(160)의 체결부 및 상기 보강플레이트(160)와 상기 수직브라켓(161)의 체결부의 지지력이 향상된다.
즉, 상기 레일가이드의 단부(111,112)에서 상기 이송로봇(200)이 회전할 때, 상기 보강빔(150)과 상기 보강플레이트(160)의 체결부 및 상기 보강플레이트(160)와 상기 수직브라켓(161)의 체결부의 변형 및 피로파괴 위험이 최소화된다.
이와 같이, 상기 레일가이드(110)의 중앙부에서 상기 이송로봇(200)은 회전하지 않아 무게 중심이 상기 레일가이드(110) 내측에 위치한다. 따라서 상기 레일가이드(110)의 중앙부에서 상기 보강빔(150)의 설치간격은 상기 레일가이드의 단부(111,1112)에서 상기 보강빔(150)의 설치간격보다 크게 형성됨이 바람직하다. 즉, 체결부의 변형 및 피로파괴는 상기 레일가이드의 단부(111,112)에서 발생함으로 이해함이 바람직하다.
따라서, 상기 레일가이드(110) 중앙부에서의 보강빔(150) 설치간격을 상기 레일가이드 단부(111,112)에서의 상기 보강빔(150) 설치간격보다 크게 형성하여, 상기 클린공간 시공시 부품수와 작업공수를 감소시켜 경제적인 시공을 할 수 있다.
한편, 상기 브릿지 보강바(170)는 상기 레일가이드의 단부(111,112)에 면접촉되는 대향면을 가지며 볼트체결에 의해 일체로 결합되는 몸체부와, 상기 몸체부의 대향면의 반대편측으로 연장 돌출된 보강리브를 포함한다. 또한, 상기 브릿지 보강바(170)는 강도가 우수한 금속 재질로 구비됨이 바람직하다.
이때, 상기 브릿지 보강바(170)의 보강리브는 몸체부의 상하부에 각각 한 쌍으로 구비됨이 바람직하나, 경우에 따라 상기 보강리브는 하부에만 구비될 수도 있다.
또한, 상기 브릿지 보강바(170)의 몸체부는 상기 레일가이드의 단부(111,112)에 볼트체결에 의해 결합되어 상기 레일가이드(110)의 외곽측에 생기는 편하중을 분산 및 지지한다. 따라서, 한 쌍의 상기 브릿지 보강바(170)는 상기 레일가이드의 단부(111,112)에 횡방향을 가로질러 일체로 연결됨이 바람직하다.
그리고, 상기 브릿지 보강바(170)의 양단부는 상기 레일가이드(110)의 횡방향 외곽측으로 연장된다. 상세히, 상기 이송로봇(200)의 회전시 발생하는 무게중심의 반경을 초과하는 길이로 연장됨이 바람직하다.
따라서, 상기 브릿지 보강바(170)는 상기 레일가이드(110) 외곽측 편하중을 지지하여 볼트, 체결부분, 용접부의 파손 및 피로파괴를 방지하여 하중지지구조의 지지력 및 내구성이 현저히 향상될 수 있다.
한편, 상기 브릿지 보강바(170)는 하중을 지지하는 상기 지지수단(180)에 의해 지지된다. 상기 지지수단(180)은 상기 구조빔(140)의 상부에 높이가 조절되어 구비된 연장지지부와(141), 상기 연장지지부(141)의 상부에 안착되는 격자형 억세스플로어판(210)과, 상기 브릿지 보강바(170)의 하면을 따라 일체로 연장되되 상기 억세스플로어판(210)의 상면에 안착되는 지지플레이트(185)와, 상기 브릿지 보강바(170)의 하부를 관통하는 연장지지볼트와 상기 브릿지 보강바의 하면부를 지지하도록 상기 연장지지볼트에 체결된 지지너트(181,182)를 포함하는 높이조절체결부가 포함됨이 바람직하다.
상기 높이조절체결부는 강도가 우수한 탄소 및 단조강등의 재질로 된 조절자로 구비됨이 바람직하다. 여기서, 상기 조절자는 구비된 구성품의 위치 조절을 가능하게 해주는 부품으로 이해함이 바람직하다. 또한, 상기 지지플레이트(185)는 상기 억세스플로어판(210)의 상부에 볼트로 체결되어, 상기 높이조절체결부를 지지한다.
한편, 도 5은 도 3의 'B'부분 확대도이다.
도 5에서 보는 바와 같이, 상기 지지수단(180)은 상기 높이조절체결부, 고정브라켓(183)이 포함됨이 바람직하다.
또한, 상기 지지수단(180)은 상기 고정브라켓(183)이 포함됨이 바람직하나, 경우에 따라 상기 고정브라켓(183)이나 상기 높이조절체결부의 생략이 가능하다. 즉, 상기 브릿지 보강바(170)가 상기 억세스플로어판(210)과 밀착되어 체결될 수 있으며 상기 지지수단(180)의 체결 순서는 변동가능하다.
상세히, 상기 고정브라켓(183)의 수평면부의 수용홈은 상기 지지플레이트(185)의 상부의 나사체결공의 간격과 동일한 간격으로 형성되어 수평면부와 접합 시, 각 나사체결공은 일치된 위치에서 관통되는 구조로 됨이 바람직하다.
따라서, 상기 고정브라켓(183)의 수평면부 수용홈과 상기 지지플레이트(185)의 상부 나사체결공을 볼트와 너트로써 체결함이 바람직하다. 또한, 상기 고정브라켓(183)의 수직면부는 상기 브릿지 보강바(170)를 관통하여 체결될 수 있는 렌치볼트 등의 볼트(184)가 구비됨이 바람직하다.
이와 같이, 상기 브릿지 보강바(170)와 상기 지지플레이트(185)는 상기 수직브라켓(161)을 통해 볼트와 너트로써 체결하여 고정됨이 바람직하다.
그리고, 상기 지지플레이트(185) 체결부는 상기 브릿지 보강바(170)의 하부를 관통하여 지지너트(181,182)가 체결될 수 있는 연장지지볼트가 구비됨이 바람직하다. 따라서, 상기 브릿지 보강바(170)의 하부 면과 상부 면을 상기 지지너트(181,182)와 상기 연장지지볼트로 고정시킴이 바람직하다.
또한, 상기 지지너트(181,182)는 체결위치에 따라 위치조절이 가능하여 브릿지 보강바(170)의 위치를 조절할 수 있도록 함이 바람직하다. 여기서, 상기 지지너트(181,182)는 탄소강 등의 강도와 내구성이 우수한 재질로 구비됨이 바람직하다.
따라서, 상기 고정브라켓(183), 상기 지지플레이트(185)와 상기 지지너트(181,182)를 포함한 상기 지지수단(180)은 상기 브릿지 보강바(170)를 지지하여 하중지지구조의 안정성 및 내구성을 현저히 개선할 수 있다.
이때, 이상에서 기재된 "포함하다", "구성하다", "구비하다" 또는 "가지다" 등의 용어는, 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 해당 구성 요소가 내재할 수 있음을 의미하는 것이므로, 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다. 기술적이거나 과학적인 용어를 포함한 모든 용어들은, 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미가 있다. 사전에 정의된 용어와 같이 일반적으로 사용되는 용어들은 관련 기술의 문맥상의 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 상술한 각 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 청구항에서 청구하는 범위를 벗어남 없이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 변형 실시되는 것은 가능하며, 이러한 변형예는 본 발명의 범위에 속한다.
110: 레일가이드 120: 포크암
130: 베이스부 140: 구조빔
141: 연장지지부 150: 보강빔
160: 보강플레이트 161: 수직브라켓
170: 브릿지 보강바 180: 지지수단
183: 고정브라켓 190: 높이조절장치
200: 이송로봇 210: 억세스플로어판

Claims (5)

  1. 클린공간 내에 배치되어 기판을 이송하되 회전상태에 따라 레일가이드 외곽측 편하중이 가해지는 이송로봇의 레일가이드 지지장치에 있어서,
    상기 클린공간에 설치되는 구조물의 하중을 지지하도록, 상기 클린공간의 바닥면에 횡방향을 따라 배치되는 복수개의 보강빔;
    상기 보강빔의 상측에 연결되어 종방향을 따라 상호 이격 배치되는 한쌍의 보강플레이트;
    상기 보강플레이트의 상부에 연결되어 종방향을 따라 상호 이격 배치되는 한쌍의 레일가이드;
    상기 레일가이드의 단부에 횡방향을 가로질러 연결되는 브릿지 보강바; 및
    상기 브릿지 보강바와 상기 클린공간 바닥면 사이에서 하중을 지지하는 지지수단을 포함하되,
    상기 레일가이드의 양단부에서의 상기 보강빔의 설치간격은 상기 레일가이드의 중앙부에서의 상기 보강빔의 설치간격보다 작게 형성되며,
    상기 보강플레이트는 상기 레일가이드의 양단부측에 배치된 상기 보강빔의 상측에 종방향을 따라 일체로 연장 형성됨을 특징으로 하는 이송로봇의 레일가이드 지지장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 브릿지 보강바의 측면부는 한쌍의 상기 레일가이드의 단부에 각각 일체로 연결되며,
    상기 이송로봇에 의해 가해지는 상기 레일가이드 외곽측 편하중을 지지하도록, 상기 브릿지 보강바의 양단부는 각각 상기 레일가이드 외곽측으로 연장됨을 특징으로 하는 이송로봇의 레일가이드 지지장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 브릿지 보강바는
    상기 레일가이드의 단부에 면접촉되는 대향면을 가지며 볼트체결에 의해 일체로 결합되는 몸체부와,
    상기 몸체부의 대향면의 반대편측으로 연장 돌출된 보강리브를 포함함을 특징으로 하는 이송로봇의 레일가이드 지지장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지수단은
    상기 클린공간 바닥면과의 사이에서 하중을 지지하도록 높이가 조절되어 구비된 연장지지부와,
    상기 연장지지부의 상부에 안착되는 격자형 억세스플로어판과,
    상기 브릿지 보강바의 하면을 따라 일체로 연장되되 상기 억세스플로어판의 상면에 안착되는 지지플레이트와,
    상기 브릿지 보강바의 하부를 관통하는 연장지지볼트와 상기 브릿지 보강바의 하면부를 지지하도록 상기 연장지지볼트에 체결된 지지너트를 포함하는 높이조절체결부를 포함함을 특징으로 하는 이송로봇의 레일가이드 지지장치.
  5. 삭제
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110548621A (zh) * 2019-08-29 2019-12-10 佛山市锦泽致盛智能科技有限公司 基于机器人的智能喷纤流水线
CN112720414A (zh) * 2020-12-28 2021-04-30 蔡朝霞 一种可快速部署的智能机器人轨道
CN113124268A (zh) * 2021-03-24 2021-07-16 深圳市同富信息技术有限公司 一种应用于辅助安全生产的机器人
CN110548621B (zh) * 2019-08-29 2024-05-24 佛山市锦泽致盛智能科技有限公司 基于机器人的智能喷纤流水线

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20120009163A (ko) * 2010-07-22 2012-02-01 삼성중공업 주식회사 컨베이어 시스템
KR101468263B1 (ko) 2011-03-22 2014-12-03 현대중공업 주식회사 Ｌｍ 레일 연결부 요동방지장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20120009163A (ko) * 2010-07-22 2012-02-01 삼성중공업 주식회사 컨베이어 시스템
KR101468263B1 (ko) 2011-03-22 2014-12-03 현대중공업 주식회사 Ｌｍ 레일 연결부 요동방지장치

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110548621A (zh) * 2019-08-29 2019-12-10 佛山市锦泽致盛智能科技有限公司 基于机器人的智能喷纤流水线
CN110548621B (zh) * 2019-08-29 2024-05-24 佛山市锦泽致盛智能科技有限公司 基于机器人的智能喷纤流水线
CN112720414A (zh) * 2020-12-28 2021-04-30 蔡朝霞 一种可快速部署的智能机器人轨道
CN113124268A (zh) * 2021-03-24 2021-07-16 深圳市同富信息技术有限公司 一种应用于辅助安全生产的机器人
CN113124268B (zh) * 2021-03-24 2022-07-26 深圳市同富信息技术有限公司 一种应用于辅助安全生产的机器人

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