KR101970174B1 - 제품 폭 조절용 스틸벨트 부착모듈 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 제품 폭 조절용 스틸벨트 부착모듈에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 컨베이어 벨트 진행방향과 대응되는 방향으로 위치되고 제품의 폭을 결정하는 한 쌍의 가이드 댐에 자석을 포함시킴으로써, 가이드 댐의 위치를 변화하여 제품의 폭 조절이 용이하고, 하나의 스틸벨트 장치를 이용하여 다양한 폭의 제품을 생산할 수 있는 스틸벨트 부착모듈에 관한 것입니다.
Description
본 발명은 제품 폭 조절용 스틸벨트 부착모듈에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 컨베이어 벨트(스틸벨트) 진행방향과 대응되는 방향으로 위치되고 제품의 폭을 결정하는 한 쌍의 가이드 댐에 자석을 포함시킴으로써, 가이드 댐의 위치를 변화하여 제품의 폭 조절이 용이하고, 하나의 스틸벨트 장치를 이용하여 다양한 폭의 제품을 생산할 수 있는 스틸벨트 부착모듈에 관한 것입니다.
인조대리석판은 중합성수지에 다량의 분말형 무기질 충진제, 대리석 문양 발현용 입자(Marble Chip), 각종 첨가제, 경화 개시제 및 안료 등을 혼합하여 슬러리(Slurry) 상의 혼합물을 제조하고 이를 금형 등에 주입한 후 적절한 경화장치에서 경화하여 판상(Sheet)의 반제품을 제조한 후 에지 트리밍(Edge Trimming), 표면 연마 과정을 거쳐 제품화된 것으로 표면과 내부가 동일한 무공질의 소재로 견고하며 절단, 연마, 열에 의한 굴곡, 접착제에 의한 접합 가공 등이 용이하게 가능하며 주방용 씽크 상판, 각종 카운터, 세면대, 벽재 등의 건축 내장재로 수요가 증가하고 있다.
이러한 인조대리석은 상업적으로 대체로 주형법(Cell Casting)과 연속 제조 방법의 2가지 방법에 의해 제조된다.
연속 제조방법은 한 방향으로 주행하는 스틸 벨트, 벨트의 폭 방향 양옆 사이에 수지 가스켓을 연속적으로 공급하는 장치, 적절한 가열 및 냉각 장치 등으로 구성되는 경화 장치에 혼합물을 벨트와 가스켓에 의해 형성되는 공간에 연속적으로 주입하고 벨트의 이동에 따라 경화시켜 판상의 제품을 장치의 출구에서 취출하는 방법이다.
그러나, 종래 연속 제조방법은 제조용 수지의 폭을 일정하게 경화시키기 위하여 컨베이어 벨트(스틸벨트) 상부에 가이드 라인을 부착하여 하나의 스틸벨트 장치는 규정된 하나의 폭을 갖는 인조대리석을 생산할 수 있다.
따라서, 폭이 상이한 두 종류의 인조대리석을 생산할 경우, 스틸벨트 상부에 고정된 가이드 라인의 폭이 상이한 두 개의 인조대리석 연속 제조 장치를 마련해야 함으로, 설비의 활용률과 설비 투자 비용이 증가하는 문제점이 발생할 수 있다.
이와 관련하여, 하나의 장비로 제품의 폭을 다양하게 생산할 수 있는 스틸벨트 장치가 필요한 실정이다.
본 발명은 상술된 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은, 한 쌍의 이동 롤러가 컨베이어 벨트 진행방향과 대응되는 방향으로 위치되고 컨베이어 벨트의 폭 방향을 따라 이동 가능함으로써, 하나의 스틸벨트 장치를 이용하여 다양한 폭의 제품을 생산할 수 있는 스틸벨트 부착모듈을 제공하고자 하는 것이다.
또한, 본 발명의 목적은, 이동 롤러에 자석 및 커버를 포함함으로써, 이동 롤러의 가변이 용이하고, 가변 시 컨베이어 벨트와 커버가 접촉하여 컨베이어 벨트의 손상 문제를 최소화 할 수 있는 스틸벨트 부착모듈을 제공하고자 하는 것이다.
본 발명에 따른 제품 폭 조절용 스틸벨트 부착모듈은 컨베이어 벨트 진행 방향과 수직되게 위치되는 고정축; 및 상기 고정축 일측 및 타측에 위치되고, 상기 고정축을 따라 위치 이동이 가능한 이동 롤러;를 포함하고, 상기 이동 롤러는, 자력에 의해 상기 이동 롤러의 위치를 고정하는 자석; 상기 자석을 고정하는 가이드 댐; 및 상기 가이드 댐 일측 및 타측에 위치되고, 상기 가이드 댐을 상기 고정축을 따라 이동시키는 한 쌍의 고정바;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
일 실시 예에 따르면, 상기 가이드 댐은, 상기 컨베이어 벨트의 진행방향과 대응되는 방향으로 하나 이상의 삽입홈이 형성되는 것을 특징으로 한다.
일 실시 예에 따르면, 상기 삽입홈은, 25mm 내지 80mm 간격으로 이격되어 형성되는 것을 특징으로 한다.
일 실시 예에 따르면, 상기 가이드 댐은, 하측 단면이 상측 단면 보다 넓게 형성되는 것을 특징으로 한다.
일 실시 예에 따르면, 상기 자석은, 원형 및 다각형 중 어느 하나의 형태로 제공되는 것을 특징으로 한다.
일 실시 예에 따르면, 상기 가이드 댐은, 니트릴 고무로 제공되는 것을 특징으로 한다.
일 실시 예에 따르면, 상기 이동 롤러는, 상기 자석이 상기 가이드 댐에서 이탈되는 것을 방지하는 커버;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
일 실시 예에 따르면, 상기 커버는, 폴리우레탄 수지로 제공되는 것을 특징으로 한다.
일 실시 예에 따르면, 상기 커버는, 상기 가이드 댐과 접착되어 고정되는 것을 특징으로 한다.
일 실시 예에 따르면, 상기 커버는, 내측이 돌출되어 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 이동 롤러가 컨베이어 벨트 폭 방향을 따라 이동함으로써, 하나의 장치를 이용하여 다양한 폭의 제품을 생산할 수 있는 효과가 발생할 수 있다.
또한, 이동 롤러에 자석을 포함시켜 이동 벨트의 이동을 용이하게 하고 원하는 폭으로 이동 롤러를 고정시킬 수 있으며, 가이드 댐 하측에 커버를 접착하여 자석과 컨베이어 벨트 접촉을 감소시켜 컨베이어 벨트의 손상을 방지하는 효과가 발생할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 스틸벨트 부착모듈 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 이동 벨트 확대도이다.
도 3(a)는 본 발명의 일 실시예에 따른 가이드 댐의 측면도이고, 도 3(b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 가이드 댐의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 이동 벨트 확대도이다.
도 3(a)는 본 발명의 일 실시예에 따른 가이드 댐의 측면도이고, 도 3(b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 가이드 댐의 단면도이다.
본 발명을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 여기서, 반복되는 설명, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다. 본 발명의 실시형태는 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위하여 과장될 수 있다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
이하, 본 발명의 이해를 돕기 위하여 바람직한 실시예를 제시한다. 그러나 하기의 실시예는 본 발명을 보다 용이하게 이해하기 위하여 제공되는 것일 뿐, 실시예에 의해 본 발명의 내용이 한정되는 것은 아니다.
<
스틸벨트
부착모듈>
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 스틸벨트 부착모듈(100) 단면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 이동 벨트(20) 확대도이고, 도 3(a)는 본 발명의 일 실시예에 따른 가이드 댐(22)의 측면도이고, 도 3(b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 가이드 댐(22)의 단면도이다.
본 발명에 따른 제품 폭 조절용 스틸벨트 부착모듈(100)은 고정축(10)과 이동 롤러(20)를 포함할 수 있다. 스틸벨트 부착모듈(100)은 제조용 수지의 폭을 조절하는 역할을 수행할 수 있으며, 스틸벨트 장치로부터 착탈 가능하게 구성될 수 있기 때문에, 상황에 따라 얼마든지 분리 가능할 수 있다.
고정축(10)은 후술되는 이동 롤러(20)의 이동 경로 역할을 할 수 있다. 따라서, 고정축(10)은 이동 롤러(20)의 일측과 결합될 수 있고, 고정축(10)은 컨베이어 벨트의 진행방향과 수직되는 방향으로 위치될 수 있다. 여기에서, 컨베이어 벨트라 함은 일반적으로 제품 제조 설비에서 적용되는 엔드리스 스틸 벨트를 지칭하는 단어일 수 있다.
그리고, 고정축(10)은 이동 롤러(20)의 용이한 위치 가변을 위해 가이드 홈(도시되지 않음)이 제공될 수 있다. 가이드 홈은 고정축(10)의 하측 혹은 양측면에 제공될 수 있다. 예를 들어, 가이드 홈이 고정축(10)의 하측에 제공되는 경우, 가이드 홈에 이동 롤러(20)의 한 쌍의 고정바(23)가 끼워져 수평 이동을 통해 이동 롤러(20)의 위치 가변을 제공할 수 있다. 가이드 홈이 고정축(10)의 양측면에 제공될 경우, 한 쌍의 고정바(23)는 고정축(10)의 일측 및 타측에 각각 끼움 결합되어 이동 롤러(20)의 위치 이동을 제공할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 고정축(10)은 기둥의 형태로 하나 이상 제공되거나, 원기둥의 형태로 회전이 가능한 롤의 형태로 제공될 수 있다. 이때, 하나 이상의 고정축(10)은 컨베이어 벨트의 진행 방향을 따라 위치되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 이동 롤러(20)는 제품의 폭을 결정하는 역할을 할 수 있다. 따라서, 이동 롤러(20)는 고정축(10)의 일측 및 타측에 한 쌍으로 위치될 수 있고, 고정축(10)을 따라 위치 이동이 가능하여 제품의 폭을 결정할 수 있다.
도 2를 참고하면, 이동 롤러(20)는 자석(21), 가이드 댐(22) 및 한 쌍의 고정바(23)를 포함할 수 있다.
자석(21)은 이동 롤러(20)를 고정하기 위한 구성으로, 스틸벨트 장치의 구동에 의해 이동 롤러(20)의 위치 변화를 방지하기 위해 스테인레스 스틸, 탄소강 및 티타늄으로 형성된 스틸벨트에 자석(21)의 자력을 이용하여 이동 롤러(20)를 고정할 수 있다.
자석(21)은 이동 롤러(20)의 이동을 원활하게 하는 동시에 이동 롤러(20)를 일정 위치에 고정시키기 위해 원형으로 형성되는 것이 바람직하나, 후술되는 가이드 댐(22)에 형성된 삽입홈(25)에 삽입될 수 있는 한 제한되지 않는다. 일 실시 예에 있어서, 자석(21)이 원형으로 제공되는 경우, 자석의 지름은 15㎜ 이상인 것이 바람직하다. 자석(21)의 지름이 15㎜ 미만인 경우, 자석(21)의 자력이 약해 스틸벨트와 고정되지 못함으로 스틸벨트 장치 작동 시 이동 롤러(20)의 위치가 임의로 가변되는 문제점이 발생할 수 있다.
가이드 댐(22)은 자석(21)을 고정하는 구성으로, 자석(21)이 삽입될 수 있는 삽입홈(25)이 형성될 수 있다. 도 3을 참고하면, 가이드 댐(22)은 컨베이어 벨트의 진행방향과 대응되는 방향으로 위치될 수 있고, 하나 이상의 삽입홈(25)이 형성될 수 있다.
하나 이상의 삽입홈(25)은 컨베이어 벨트의 길이 방향을 따라 이격되어 형성될 수 있다. 삽입홈(25) 각각의 이격거리는 25㎜ 내지 80㎜ 간격으로 형성될 수 있다. 여기서, 이격거리가 25㎜ 미만인 경우, 자석(21)끼리 밀어내거나 끌어당겨 가이드 댐(22)이 뒤틀릴 수 있는 문제점이 발생할 수 있다. 그리고, 이격거리가 80㎜ 초과인 경우, 가이드 댐(22)이 스틸벨트에 고정되지 않는 문제점이 발생할 수 있다.
아울러, 가이드 댐(22)은 재질의 피로강도에 대한 내구성 및 열 저항성이 강한 재질로 제공될 수 있는데, 예를 들어, 가이드 댐(22)은 고무 소재로 제공될 수 있다. 일 실시 예에 있어서, 고무 중 니트릴 고무(Nitrile rubber)로 제공될 수 있다. 니트릴 고무는 NBR(Nitrile Butadiene Rubber)이라고도 한다. 합성고무의 하나로 부타디엔과 아크릴로니트릴을 저온 유화 중합하여 만든 공중합체로서 내유성과 내약품성이 우수한 제품이다. 그리고, 아크릴로니트릴의 함량에 따라 최종 제품의 물성치가 달라질 수 있다. 아크릴로니트릴 함량이 높을수록 기름과 연료에 대한 저항성이 높아지나 고무의 탄성과 저압축 영구 줄음율은 반대로 감소할 수 있다. 따라서, 아크릴로니트릴의 함량은 15 내지 50%인 것이 바람직하다. 아울러, 니트릴 고무는 다른 탄성체에 비해 내마모성, 내열성, 내오존성 및 내마멸성이 높은 장점이 있을 수 있다.
본 발명에 따른 가이드 댐(22)은 스틸벨트와 맞닿는 하측 단면이 고정축(10)과 맞닿는 상측 단면 보다 넓게 형성될 수 있다. 즉, 가이드 댐(22)의 단면은 마름모 형태로 형성될 수 있다. 일 실시 예에 있어서, 가이드 댐(22)의 하측 단면 넓이는 20㎜ 내지 25㎜로 형성될 수 있고, 상측 단면 넓이는 10㎜ 내지 15㎜로 형성될 수 있다. 아울러, 가이드 댐(22)의 양측 경사도는 20°내지 25°로 제공될 수 있다.
고정바(23)는 제조용 수지 공급부(도시되지 않음)를 통해 공급된 컨베이어 벨트를 통해 이송되는 제조용 수지의 양 측면부와 직접적으로 맞닿아 제조용 수지의 폭이 일정하게 유지될 수 있도록 가이드하는 역할을 수행할 수 있다. 또한, 고정바(23)는 가이드 댐(22)과 고정축(10)을 연결해 주는 구성으로, 고정바(23)를 이동시켜 가이드 댐(22)의 위치를 가변할 수 있다. 즉, 한 쌍의 고정바(23) 사이 가이드 댐(22)이 위치되고, 고정바(23)가 고정축(10)과 결합함으로써, 고정바(23)는 자석(21) 및 가이드 댐(22)의 위치를 이동 및 고정해 줄 수 있다.
고정바(23)는 컨베이어 벨트의 진행 방향에 따라 길게 형성될 수 있는데, 컨베이어 벨트 작동 시, 컨베이어 벨트와 접촉되는 가이드 댐(22)의 뒤틀림을 방지하기 위해 강도가 큰 소재로 제공될 수 있다.
그리고, 본 발명에 따른 고정바(23)는 컨베이어 벨트와 접촉면을 줄여 이동을 원활하게 하기 위해 컨베이어 벨트와 접촉되는 하측이 굴곡지게 형성될 수 있다. 반구 혹은 경사가 있는 다각형 형태로 형성될 수 있으나, 컨베이어 벨트와 접촉되는 면이 감소될 수 있는 형태라면 제한되지 않는다.
본 발명에 일 실시예에 따른 이동롤러(20)는 자석(21)의 자기력(磁氣力)에 의해 강철(Steel)로 형성된 컨베이어 벨트에 고정될 수 있다. 예를 들어, 외력에 의해 컨베이어 벨트 상의 이동롤러(20)를 이동 및 고정시키거나, 고정축(10) 및 이동롤러(20)를 분리하여 이동롤러(20)를 조절한 후, 부착모듈(100)에 다시 결합하면 자석의 자기력에 의해 이동롤러(20)는 컨베이어 벨트에 고정될 수 있다.
본 발명에 따른 제품 폭 조절용 스틸벨트 부착모듈(100)은 커버(24)를 더 포함할 수 있다. 커버(24)는 자석(21)이 가이드 댐(22)의 삽입홈(25)에서 이탈되는 것을 방지하고, 자석(21)에 의해 스틸벨트가 손상되는 것을 막을 수 있다.
커버(24)는 가이드 댐(22) 및 고정바(23) 하측면에 위치되는 구성으로, 제품 폭을 결정하는 이동 롤러(20)의 위치 가변에 의해 스틸벨트와 직접적으로 접촉되는 구성이다. 따라서, 커버(24)는 내마모성이 우수한 소재로 제공되어, 스틸벨트와의 마찰에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있다. 내마모성이 우수한 재료로는 수지 계열의 소재가 제공될 수 있다. 수지는 천연수지와 합성수지로 나누어 질 수 있다. 일 실시 예에 있어서, 커버(24)가 폴리우레탄 수지(Polyurethane regin)로 제공될 수 있다. 폴리우레탄 수지는 디이소시아네이트류와 폴리히드록시 화합물과의 반응에 의해서 생성될 수 있다. 폴리우레탄 수지는 강인하고 내마모, 내충격성, 강성, 내유 및 내용제성이 뛰어나며, 고무탄성이 있으므로 발포체, 탄성체, 도표, 접착제, 탄성섬유 및 합성 피혁등에 이용될 수 있다.
그리고, 커버(24)는 가이드 댐(22) 및 고정바(23) 중 어느 하나 이상과 접착되어 이동 롤러(20)에 고정될 수 있다. 커버(24)는 가이드 댐(22) 혹은 고정바(23)에 고정됨으로써, 이동 롤러(20) 이동 시, 가이드 댐(22)에 형성된 삽입혼(25)에 위치하는 자석이 외부로 이탈되는 것을 방지할 수 있다.
아울러, 커버(24)는 내측이 컨베이어 벨트와 접촉하는 방향으로 돌출될 수 있다. 일 실시 예에 있어서, 커버(24)는 내측이 반구 모양 혹은 뒤집어진 사다리꼴 형태로 제공될 수 있다. 커버(24)의 내측이 돌출됨으로써, 커버(24)와 컨베이어 벨트의 접촉면이 감소되어 커버(24)가 받는 마찰력이 감소될 수 있다. 따라서, 이동 롤러(20)의 위치 가변이 용이할 수 있어, 하나의 스틸벨트 부착모듈을 이용하여 다양한 폭의 제품을 생산할 수 있는 효과가 발생할 수 있다.
본 발명에 따른 스틸벨트 부착모듈(100)을 이용하여 제조용 수지의 좌우 폭을 조절하는 상태를 살펴보면, 좌우 한 쌍의 이동 롤러(20)는 고정축(10)의 길이 방향으로 일정 길이, 예를 들어 d1의 길이만큼 돌출 이동되어 있으며, 이때 이동 롤러(20)의 자석(21)의 자력에 의해 그 위치가 고정될 수 있다.
따라서, 좌우 한 쌍의 이동 롤러(20)는 서로 d1'의 길이만큼 이격 거리를 형성하고 있으며, 이때 제조용 수지 공급부를 통해 제조용 수지가 공급되는 경우 해당 제조용 수지는 d1'만큼의 폭을 유지한 상태로 경화될 수 있다.
살펴본 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 스틸벨트 부착모듈(100)은 제조용 수지의 양측면부와 맞닿도록 제작된 하나 이상의 이동 롤러(20)를 포함하며, 이때 이동 롤러(20)는 자석(21), 가이드 댐(22), 고정바(23) 및 커버(24) 등을 통해 컨베이어 벨트의 좌우측 방향으로 가변적으로 이동될 수 있기 때문에, 제조용 수지의 폭을 다양하게 조절할 수 있는 효과를 가질 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100: 제품 폭 조절용 스틸벨트 부착모듈
10: 고정축
20: 이동 롤러
21: 자석
22: 가이드 댐
23: 고정바
24: 커버
25: 삽입홈
10: 고정축
20: 이동 롤러
21: 자석
22: 가이드 댐
23: 고정바
24: 커버
25: 삽입홈
Claims (10)
- 컨베이어 벨트 진행 방향과 수직되게 위치되는 고정축; 및
상기 고정축 일측 및 타측에 위치되고, 상기 고정축을 따라 위치 이동이 가능한 이동 롤러;를 포함하고,
상기 이동 롤러는,
자력에 의해 상기 이동 롤러의 위치를 고정하는 자석;
상기 자석을 고정하는 가이드 댐; 및
상기 가이드 댐 일측 및 타측에 위치되고, 상기 가이드 댐을 상기 고정축을 따라 이동시키는 한 쌍의 고정바;를 포함하는 것을 특징으로 하는,
제품 폭 조절용 스틸벨트 부착모듈.
- 제1항에 있어서,
상기 가이드 댐은,
상기 컨베이어 벨트의 진행방향과 대응되는 방향으로 하나 이상의 삽입홈이 형성되는 것을 특징으로 하는, 제품 폭 조절용 스틸벨트 부착모듈.
- 제2항에 있어서,
상기 삽입홈은,
25mm 내지 80mm 간격으로 이격되어 형성되는 것을 특징으로 하는, 제품 폭 조절용 스틸벨트 부착모듈.
- 제1항에 있어서,
상기 가이드 댐은,
하측 단면이 상측 단면 보다 넓게 형성되는 것을 특징으로 하는, 제품 폭 조절용 스틸벨트 부착모듈.
- 제1항에 있어서,
상기 자석은,
원형 및 다각형 중 어느 하나의 형태로 제공되는 것을 특징으로 하는, 제품 폭 조절용 스틸벨트 부착모듈.
- 제1항에 있어서,
상기 가이드 댐은,
니트릴 고무로 제공되는 것을 특징으로 하는, 제품 폭 조절용 스틸벨트 부착모듈.
- 제1항에 있어서,
상기 이동 롤러는,
상기 자석이 상기 가이드 댐에서 이탈되는 것을 방지하는 커버;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 제품 폭 조절용 스틸벨트 부착모듈.
- 제7항에 있어서,
상기 커버는,
폴리우레탄 수지로 제공되는 것을 특징으로 하는, 제품 폭 조절용 스틸벨트 부착모듈.
- 제7항에 있어서,
상기 커버는,
상기 가이드 댐과 접착되어 고정되는 것을 특징으로 하는, 제품 폭 조절용 스틸벨트 부착모듈.
- 제7항에 있어서,
상기 커버는,
내측이 돌출되어 형성되는 것을 특징으로 하는, 제품 폭 조절용 스틸벨트 부착모듈.
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---|---|---|---|
KR1020170063296A KR101970174B1 (ko) | 2017-05-23 | 2017-05-23 | 제품 폭 조절용 스틸벨트 부착모듈 |
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---|---|
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Citations (3)
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KR100819039B1 (ko) | 2007-03-16 | 2008-04-03 | 세메스 주식회사 | 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
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Family Cites Families (3)
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2017
- 2017-05-23 KR KR1020170063296A patent/KR101970174B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (3)
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