KR101962472B1 - 공정챔버의 연결구조 - Google Patents

Abstract

본 발명은 각종 공정에 설치되어 있는 챔버를 룸 내부에 연속적으로 설치함에 있어서 챔버의 위치 등을 정밀하게 세팅할 수 있도록 하기 위한 공정챔버의 연결구조에 관한 것이다. 그의 구성은 공정가스를 위한 제1챔버; 공정가스를 위한 것으로서, 상기 제1챔버에 파이프 또는 벨로우즈를 통해 연결되어 연속공정을 수행하게 되는 제2챔버; 상기 제1,2챔버의 처리공간을 서로 연결하는 배관 또는 벨로우즈와 같은 연결수단; 및 상기 제1,2챔버의 상대적 위치를 미세하게 조정할 수 있도록 하는 것으로서, 일단은 상기 제1챔버에 연결되고 타단은 상기 제2챔버에 연결되는 턴버클기구;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

공정챔버의 연결구조{Structure Of Connecting Process Chambers}

본 발명은 공정챔버에 관한 것으로서, 좀 더 구체적으로는 각종 공정에 설치되어 있는 챔버를 룸 내부에 연속적으로 설치함에 있어서 챔버의 위치 등을 정밀하게 세팅할 수 있도록 하기 위한 공정챔버의 연결구조에 관한 것이다.

반도체 공정을 포함하여 여러 산업현장에는 여러 개의 순차적 공정을 위한 공정챔버가 연속적으로 연결되어 있는 시스템을 구비하고 있다. 공정챔버는 예를 들어 파이프 또는 벨로우즈에 의해 서로 연결되기도 하며 하나의 룸에 여러 개가 세팅되어 있기도 하다. 이 경우 공정챔버를 세팅함에 있어서 상호간의 위치가 정확하게 일치하면 설치가 용이하지만 그렇지 않은 경우에는 작업이 매우 어렵게 된다.

관련 종래기술로는 대한민국 특허출원 제10-2007-0013315호가 있는데, 이는 진공챔버의 고정구조를 제공한다. 이는 진공챔버는 위치고정장치, 위판, 아래 판과 승강장치를 가지며, 상기 위치고정장치는 서로 대칭되는 두 개의 측판을 포함하는데, 상기 두 개의 측판은 각각 짧은 홈을 위판에 오목으로 설치하고, 긴 홈을 아래 판에 오목으로 설치하며, 이 긴 홈의 아랫부분에는 위치고정대를 설치하는데, 이 위치고정대는 바퀴와 에어 실린더를 포함하며, 상기 승강장치는 하나의 구동장치와 제동부품을 포함한다. 본 기술은 종래구조의 불안정을 개선하고 쉽게 반작용의 미는 힘을 받아 확실히 공기가 쉽게 들어가게 하며 구동장치의 부하를 증가시키며 또한 해체가 복잡한 결점을 개선하는 것을 내용으로 한다.

대한민국 특허출원 제10-2001-0011935호는 반도체 공정 챔버에 관한 것으로서, 챔버 커버(chamber cover)와, 상기 챔버 커버와의 접합부에 오링이 설치되어 있는 챔버 블록(chamber block)과, 상기 챔버 블록 내에 설치되며, 공정중인 웨이퍼를 고정하는 웨이퍼 척(wafer chuck)을 포함하며, 상기 접합부에서 상기 챔버 커버에는 볼록부가, 상기 챔버 블록에는 상기 볼록부와 맞물리는 오목부가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다. 본 기술에 의하면 챔버 커버와 챔버 블록 사이에 충분한 폐쇄(closing)가 이루어지므로, 반도체 공정 챔버에서 플라즈마가 누출되는 일이 없어서 여러 공정 불량 또는 작업 손실을 줄일 수 있는 효과를 제공한다.

이와 같이 특히 반도체 공정을 설비하기 위해서는 여러 개의 챔버를 서로 연결하는 과정을 필요로 한다.

대한민국 특허출원 제10-2007-0013315호 대한민국 특허출원 제10-2001-0011935호

위와 같은 문제에 대한 본 발명의 목적은, 반도체 공정 등 여러 산업현장에서 복수 개의 공정 챔버를 연결함에 있어서, 챔버의 위치 및 방향을 미세하게 조정할 수 있게 하는 챔버의 연결구조를 제공하는 것에 있다.

위와 같은 목적은, 공정가스를 위한 제1챔버; 공정가스를 위한 것으로서, 상기 제1챔버에 파이프 또는 벨로우즈를 통해 연결되어 연속공정을 수행하게 되는 제2챔버; 상기 제1,2챔버의 처리공간을 서로 연결하는 배관 또는 벨로우즈와 같은 연결수단; 및 상기 제1,2챔버의 상대적 위치를 미세하게 조정할 수 있도록 하는 것으로서, 일단은 상기 제1챔버에 연결되고 타단은 상기 제2챔버에 연결되는 턴버클기구; 를 포함하되, 상기 턴버클기구는, 오른손 나사가 마련되어 있으며 상기 제1챔버에 연결되는 제1나사봉; 왼손 나사가 마련되어 있으며 상기 제2챔버에 연결되는 제2나사봉; 및 일측이 상기 제1나사봉에 나사결합되고 타측이 상기 제2나사봉에 나사결합되어 있는 것으로서, 양단에 각각 암나사가 마련되며, 중간에 제한턱이 구비되고, 스패너 또는 렌치와 같은 공구로 회전시켜 상기 제1,2나사봉간의 간격을 조절하게 되는 너트부재; 를 포함하며, 상기 제1,2챔버는 고정블럭을 매개로 하여 상기 턴버클기구에 연결되되, 상기 제1,2챔버에 연결되는 제1,2나사봉의 단부에는 아이(eye) 볼트 형태의 고정링이 마련되고, 상기 고정블럭에는 상기 고정링이 끼워지는 링홈과, 상기 링홈에 끼워진 고정링의 구멍을 관통하여 상기 고정블럭에 나사결합되는 체결볼트가 결합되며, 제1,2나사봉은 고정블럭과 유격을 가지게 되어 각도의 조정이 가능하게 되는 것을 특징으로 하는 공정챔버의 연결구조에 의해 달성될 수 있다.
상기 링홈은 횡방향으로 기다란 장방형으로 형성되며, 상기 제1,2나사봉이 상기 링홈에 끼워진 상태에서 횡방향으로 유동 가능하게 구성될 수 있다.

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위와 같은 구성에 의하면, 턴버클기구의 너트부재를 회전시킴으로써 상기 제1,2챔버의 간격을 가까이 또는 멀리 할 수 있으며 위치가 뒤틀린 경우에 이를 바로 잡을 수도 있는 챔버 연결구조가 제공된다.

도 1은 본 발명의 실시예에 의한 챔버의 연결구조의 전체 구성 단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 의한 챔버의 연결구조의 턴버클기구의 사시도이다.

이하, 명세서에 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다. 우선 도 1 내지 도 2를 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다.

본 발명에 의한 챔버 연결구조는 연결을 요하는 제1,2챔버(1,2)와, 제1,2챔버(1,2)를 물리적으로 연결하기 위한 연결수단을 포함한다. 제1,2챔버(1,2)는 다양한 유체를 연속 처리하기 위한 공정챔버가 될 수 있으며, 경우에 따라서는 진공챔버가 될 수도 있다. 본 명세서에서는 진공챔버 역시 공정챔버로 간주하도록 한다. 제1,2챔버(1,2)의 처리공간은 배관 또는 벨로우즈(3)에 의해 서로 연결되어 있을 수 있다.

본 발명에 의하면 연결수단은 일단은 상기 제1챔버(1)에 연결되고 타단은 상기 제2챔버(2)에 연결되는 턴버클기구를 포함한다. 턴버클은 종래 여러 산업분야에서 사용되어 왔던 기구이다. 본 발명은 이 기구를 제1챔버(1)와 제2챔버(2)의 간격을 도 1의 화살표(K,K') 방향으로 미세하게 조정하기 위한 용도로 활용한다는 것에 창의적 요소가 있다.

본 발명에 의한 턴버클기구는 제1나사봉(20), 제2나사봉(20') 및 제1,2나사봉(20,20') 사이에 개입되는 너트부재(30)를 포함한다. 제1나사봉(20)은 제1챔버(1)에 연결되며 오른손 나사(20a)가 마련되어 있다. 제2나사봉(20')은 왼손 나사(20a')가 마련되어 있으며 제2챔버(20')에 연결된다.

스패너 또는 렌치와 같은 공구로써 회전시킬 수 있는 너트부재(30)가 제1,2나사봉(20,20') 사이에 개입되어 있다. 즉, 너트부재(30)의 일측은 제1나사봉(20)에 나사결합되어 있고 타측은 제2나사봉(20')에 나사결합되어 있다. 따라서, 너트부재(30)를 회전시킴으로써 제1,2나사봉(20,20')의 간격을 조절할 수 있게 되는 것이다.

너트부재(30)는 도시된 바에 의하면 육각봉의 형태로 되어 있다. 너트부재(30)의 양단에는 각각 암나사(31,32)가 마련되어 있고 중간에는 제한턱이 마련되어 있다.

너트부재(30)는 소정의 공구를 사용하여 회전시킬 수만 있으면 되므로 도시된 것 이외의 다양한 형태로 제공될 수 있다. 예를 들어 레버를 꽂아서 회전시킬 수 있도록 "

"의 형태로 제공될 수도 있다.

본 발명에 의하면 제1,2챔버(1,2)는 고정블럭(10,10')을 매개로 하여 턴버클기구에 연결된다. 제1,2나사봉(20,20')의 단부에는 각각 아이(eye)볼트의 형태의 고정링(21,21')이 마련되어 있다.

그리고 고정블럭(10,10')에는 고정링(21,21')이 끼워지는 링홈(11, 도 2 참조)이 마련되어 있다. 체결볼트(22,22')는 링홈(11)에 끼워진 고정링(21)의 구멍(23,23')을 관통하여 고정블럭(10,10')에 나사결합된다. 이를 위해 고정블럭(10,10')에는 체결볼트(22,22')와 나사결합하는 암나사가 마련될 수 있다. 이와 같은 구성에 의하면, 제1,2나사봉(20,20')은 고정블럭(10,10')과 어느 정도의 유격을 가지게 된다. 이에 의해 각도의 조정이 가능하게 되는 것이다.

제1,2나사봉(20,20')은 링홈(11)에 끼워진 상태에서 회전될 수 없게끔 되어 있다. 그래야만 너트부재(22,22')를 회전할 때 제1,2나사봉(20,20')이 회전되지 않게 된다. 2개의 챔버(1,2)를 연결하는데 복수 개의 턴버클기구가 사용될 수 있음은 물론이다. 도시된 바에 의하면 링홈(11)은 횡방향으로 기다란 장방형으로 되어 있음으로써 제1,2나사봉(20,20')이 끼워진 상태에서 횡방향으로 유동 가능하게 되어 있다.

이상에서 설명된 것들은 본 발명의 기술적 사상에 의거한 예시에 불과하다. 당업자는 청구범위를 통해 표현되는 본 발명의 기술적 사상의 범위를 넘지 않는 선에서 예시된 바를 활용하여 다양한 변형실시를 할 수 있을 것이다. 예를 들어 위에 설명된 모든 실시예들은 당업자에 의해 자유롭게 조합되어 실시될 수 있으며 어떠한 조합이든지 본 발명의 권리범위에 포함된다고 해석되어야 한다.

1,2 : 제1,2챔버 3 : 벨로우즈
10,10' : 고정블럭 20,20' : 제1,2나사봉
21,21' : 고정링 22,22' : 체결볼트
30 : 너트부재

Claims (4)

1. 삭제
2. 공정가스를 위한 제1챔버;
   공정가스를 위한 것으로서, 상기 제1챔버에 파이프 또는 벨로우즈를 통해 연결되어 연속공정을 수행하게 되는 제2챔버;
   상기 제1,2챔버의 처리공간을 서로 연결하는 배관 또는 벨로우즈와 같은 연결수단; 및
   상기 제1,2챔버의 상대적 위치를 미세하게 조정할 수 있도록 하는 것으로서, 일단은 상기 제1챔버에 연결되고 타단은 상기 제2챔버에 연결되는 턴버클기구;
   를 포함하되,
   상기 턴버클기구는,
   오른손 나사가 마련되어 있으며 상기 제1챔버에 연결되는 제1나사봉;
   왼손 나사가 마련되어 있으며 상기 제2챔버에 연결되는 제2나사봉; 및
   일측이 상기 제1나사봉에 나사결합되고 타측이 상기 제2나사봉에 나사결합되어 있는 것으로서, 양단에 각각 암나사가 마련되며, 중간에 제한턱이 구비되고, 스패너 또는 렌치와 같은 공구로 회전시켜 상기 제1,2나사봉간의 간격을 조절하게 되는 너트부재;
   를 포함하며,
   상기 제1,2챔버는 고정블럭을 매개로 하여 상기 턴버클기구에 연결되되,
   상기 제1,2챔버에 연결되는 제1,2나사봉의 단부에는 아이(eye) 볼트 형태의 고정링이 마련되고,
   상기 고정블럭에는 상기 고정링이 끼워지는 링홈과, 상기 링홈에 끼워진 고정링의 구멍을 관통하여 상기 고정블럭에 나사결합되는 체결볼트가 결합되며,
   제1,2나사봉은 고정블럭과 유격을 가지게 되어 각도의 조정이 가능하게 되는 것을 특징으로 하는 공정챔버의 연결구조.
   
3. 삭제
4. 제2항에 있어서,
   상기 링홈은 횡방향으로 기다란 장방형으로 형성되며, 상기 제1,2나사봉이 상기 링홈에 끼워진 상태에서 횡방향으로 유동 가능하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 공정챔버의 연결구조.

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