KR101960522B1 - 가스 감지 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치는, 공기를 흡입하기 위한 펌프 모듈, 상기 공기에 포함된 가스를 검출하는 복수의 단위 센서들을 포함하는 센서 모듈, 상기 펌프 모듈 및 상기 센서 모듈을 구동하는 구동 모듈, 및 상기 펌프 모듈, 상기 센서 모듈, 및 상기 구동 모듈 중 적어도 하나가 분리 가능하도록 장착되는 본체, 및 상기 펌프 모듈과 상기 센서 모듈, 및 상기 구동 모듈 중 적어도 하나를 노출시킬 수 있도록 상기 본체에 연결되는 커버를 포함하는 케이스를 포함한다.
Description
본 발명은 가스 감지 장치에 관한 것이다.
반도체 공정 라인과 산업 현장 등에서는 다양한 가스들이 이용될 수 있으며, 가스 누출에 따른 대형 사고를 미연에 방지하고자 가스 감지 장치가 운용될 수 있다. 가스 감지 장치는 반도체 공정이 진행되는 챔버 또는 챔버에 연결된 가스관이나 밸브로부터 가스를 감지하거나, 또는 산업 현장에서 가스 누출 여부를 감지하는 목적으로 이용될 수 있다. 일반적으로 현장에서는 여러 종류의 가스가 이용될 수 있으므로, 여러 종류의 가스를 검출할 수 있는 가스 감지 장치에 대한 수요가 늘어나는 추세이다.
본 발명의 기술적 사상이 이루고자 하는 과제 중 하나는, 여러 종류의 가스를 동시에 검출할 수 있는 동시에, 가스를 감지하는 센서 및 장치 내부로 유입되는 공기의 유량을 결정하는 펌프를 모듈화하여 별도의 장비 없이 센서나 펌프를 간편하게 교환함으로써 효율적인 유지, 보수가 가능한 가스 감지 장치를 제공하고자 하는 데에 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치는, 공기를 흡입하기 위한 펌프 모듈, 상기 공기에 포함된 가스를 검출하는 복수의 단위 센서들을 포함하는 센서 모듈, 상기 펌프 모듈 및 상기 센서 모듈을 구동하는 구동 모듈, 및 상기 펌프 모듈, 상기 센서 모듈, 및 상기 구동 모듈 중 적어도 하나가 분리 가능하도록 장착되는 본체, 및 상기 펌프 모듈과 상기 센서 모듈, 및 상기 구동 모듈 중 적어도 하나를 노출시킬 수 있도록 상기 본체에 연결되는 커버를 포함하는 케이스를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치는, 제1 수납 공간 및 제2 수납 공간을 갖는 본체와, 상기 제1 수납 공간 및 상기 제2 수납 공간을 개폐하도록 상기 본체에 회동 가능하게 연결되는 커버를 갖는 케이스, 상기 제1 수납 공간에 슬라이드 방식으로 착탈 가능하도록 장착되며, 공기를 흡입하는 펌프 모듈, 상기 제2 수납 공간에 슬라이드 방식으로 착탈 가능하도록 장착되며, 상기 공기에 포함된 가스를 검출하는 복수의 단위 센서들을 포함하는 센서 모듈, 및 상기 제1 및 제2 수납 공간들의 후방에 마련되며, 상기 펌프 모듈 및 상기 센서 모듈을 구동하는 구동 모듈을 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치는, 본체 내부를 노출시킬 수 있도록 마련된 커버를 이용하여, 본체 내부에 장착된 펌프 모듈과 센서 모듈 등을 간편하게 교환하거나 수리할 수 있으므로, 효율적인 유지, 보수가 가능하다. 또한, 센서 모듈에 포함된 단위 센서들이나 펌프 모듈을 간편하게 교환할 수 있어, 사용자의 목적에 맞는 스펙으로 가스 감지 장치를 용이하게 재구성할 수 있다.
본 발명의 다양하면서도 유익한 장점과 효과는 상술한 내용에 한정되지 않으며, 본 발명의 구체적인 실시 형태를 설명하는 과정에서 보다 쉽게 이해될 수 있을 것이다.
도 1a 및 도 1b은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치를 포함하는 공정 설비를 간단하게 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치를 간단하게 나타낸 블록도이다.
도 3 내지 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치의 외관을 나타낸 사시도이다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치를 설명하기 위해 제공되는 도면들이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치를 나타낸 분해도이다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치를 설명하기 위해 제공되는 도면들이다.
도 10a 내지 도 10c는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치에서 센서 모듈의 교환 방법을 설명하기 위해 제공되는 도면들이다.
도 11a 내지 도 11c는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치에서 펌프 모듈의 교환 방법을 설명하기 위해 제공되는 도면들이다.
도 12a 및 도 12b는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치에 포함되는 센서 모듈의 외관을 나타낸 도면들이다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치에 포함되는 센서 모듈을 나타낸 분해도이다.
도 14a 및 도 14b는 본 발명의 일 실시예에 따른 센서 모듈에서 공기의 흐름을 설명하기 위해 제공되는 도면이다.
도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치에 포함되는 펌프 모듈을 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치를 간단하게 나타낸 블록도이다.
도 3 내지 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치의 외관을 나타낸 사시도이다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치를 설명하기 위해 제공되는 도면들이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치를 나타낸 분해도이다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치를 설명하기 위해 제공되는 도면들이다.
도 10a 내지 도 10c는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치에서 센서 모듈의 교환 방법을 설명하기 위해 제공되는 도면들이다.
도 11a 내지 도 11c는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치에서 펌프 모듈의 교환 방법을 설명하기 위해 제공되는 도면들이다.
도 12a 및 도 12b는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치에 포함되는 센서 모듈의 외관을 나타낸 도면들이다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치에 포함되는 센서 모듈을 나타낸 분해도이다.
도 14a 및 도 14b는 본 발명의 일 실시예에 따른 센서 모듈에서 공기의 흐름을 설명하기 위해 제공되는 도면이다.
도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치에 포함되는 펌프 모듈을 나타낸 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 형태들을 다음과 같이 설명한다.
도 1a 및 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치를 포함하는 공정 설비를 간단하게 나타낸 도면이다.
먼저 도 1a를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 설비(1A)는 가스 공급원(10), 밸브(20), 챔버(30), 및 가스 감지 장치(40A)를 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 챔버(30)는 식각 공정, 증착 공정, 포토 공정, 또는 세정 공정 등의 반도체 공정이 진행되는 반도체 공정 장비일 수 있다. 챔버(30)는 반도체 공정을 진행하고자 하는 기판을 이송하는 이송 경로들(31, 32)과 연결되며, 공정에 필요한 가스들을 가스 공급원(10)으로부터 공급받을 수 있다.
가스 공급원(10)은 서로 다른 종류의 가스들을 저장하는 제1 내지 제4 가스 탱크들(11-14)을 포함할 수 있다. 도 1a에 도시한 일 실시예에서는 가스 공급원(10)에 총 4개의 가스 탱크들(11-14)이 포함되는 것을 가정하였으나, 이는 하나의 실시예에 불과하며, 더 적은 개수 또는 더 많은 개수의 가스 탱크들이 포함될 수도 있음은 물론이다. 제1 내지 제4 가스 탱크들(11-14)에 저장된 가스들은, 밸브(20)의 동작에 의해 챔버(30)로 공급될 수 있다.
도 1a에 도시한 일 실시예에서 가스 감지 장치(40A)는 제1 가스 감지 장치(41A) 및 제2 가스 감지 장치(42A)를 포함할 수 있다. 제1 가스 감지 장치(41A)는 밸브(20)에 연결되어 제1 내지 제4 가스 탱크(11-14)에서 밸브(20)로 공급되는 가스의 누출 여부를 검출할 수 있다. 한편, 제2 가스 감지 장치(42A)는 챔버(30)에 연결되어 챔버(30) 내부에 존재하는 여러 종류의 가스들 각각의 농도를 검출하거나, 챔버(30) 외부로 가스가 누출되는지 여부 등을 판단할 수 있다. 즉, 본 발명의 일 실시예에서는 제1 가스 감지 장치(41A)와 제2 가스 감지 장치(41B)가 모두 서로 다른 여러 종류의 가스들 각각의 누출을 감지할 수 있다.
반면 도 1b에 도시한 공정 설비(1B)는, 밸브(20) 각각에 연결되는 제1 내지 제4 가스 감지 장치들(41B-44B)을 포함할 수 있으며, 챔버(30) 내의 가스 누출 여부는 제5 내지 제8 가스 감지 장치들(45B-48B)에 의해 모니터링될 수 있다. 제1 내지 제4 가스 감지 장치들(41B-44B) 각각은 한 종류의 가스만을 감지하는 장치일 수 있으며, 제5 내지 제8 가스 감지 장치들(45B-48B) 역시 한 종류의 가스만을 감지하는 장치일 수 있다. 일례로 제1 가스 감지 장치(41B)와 제5 가스 감지 장치(45B)는 같은 종류의 가스, 예를 들어 제1 가스 탱크(11)에 저장되어 있다가 밸브(20)를 통해 챔버(30)로 공급되는 가스를 감지할 수 있다.
도 1b에 도시한 공정 설비(1B)에서는 도 1a에 도시한 공정 설비(1a)에 비해 더 많은 개수의 가스 감지 장치들이 필요하므로, 유지, 보수에 많은 인력과 시간, 비용이 필요할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서는, 도 1a에 도시한 일 실시예와 같이 밸브(20)나 챔버(30) 등에 연결되는 가스 감지 장치들(41A, 42A)을 여러 종류의 가스를 감지할 수 있는 장치로 구성함으로써, 가스 감지 장치들(41A, 42A)의 유지, 보수에 필요한 인력, 시간, 비용 등을 절감할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치를 간단하게 나타낸 블록도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치(50)는 펌프 모듈(60)과 센서 모듈(70) 및 구동 모듈(80) 등을 포함할 수 있다. 펌프 모듈(60)은 공기를 빨아들여 센서 모듈(70)에 공급하기 위한 펌프 및 유입되는 공기의 양을 측정하기 위한 유량 센서 등을 포함할 수 있다. 펌프 모듈(60)은 가스 감지 장치(50)의 케이스에 마련된 포트들과 연결되어 공기를 빨아들이고 내보낼 수 있으며, 가스 감지 장치(50)의 내부에 마련된 통로를 통해 공기를 센서 모듈(70)에 공급할 수 있다. 도 2에 도시한 일 실시예에서는 이해를 돕기 위하여 공기의 이동 경로와 전기 신호의 이동 경로를 분리하여 표시하였다.
센서 모듈(70)은 펌프 모듈(60)이 빨아들여 공급하는 공기에 포함되어 있는 가스들을 검출하기 위한 복수의 단위 센서들(71-74)을 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 센서 모듈(70)은 제1 내지 제4 단위 센서들(71-74)을 포함할 수 있으며, 단위 센서들(71-74)의 개수는 다양하게 변경될 수 있다. 단위 센서들(71-74) 각각은 일산화탄소, 수소, 암모니아, 인화수소 등을 검출할 수 있다. 즉, 단위 센서들(71-74) 각각은 서로 다른 종류의 가스를 검출할 수 있다.
구동 모듈(80)은 펌프 모듈(60)과 센서 모듈(70)의 동작에 필요한 전원을 공급하는 한편, 그 동작을 제어할 수 있다. 구동 모듈(80)은 컨트롤러(81) 및 전원 공급부(82) 등을 포함할 수 있다. 구동 모듈(80)은 센서 모듈(70)이 검출한 가스의 종류와 농도 등을 디스플레이(91)에 표시하거나, 펌프 모듈(60) 및 센서 모듈(70)의 동작 상태 등을 모니터링하여 고장 여부를 디스플레이(91)에 표시할 수 있다. 한편, 사용자는 입력부(92)를 통해 가스 감지 장치(50)의 동작을 제어하기 위한 명령을 구동 모듈(80)에 전달할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치(50)에는, 펌프 모듈(60)과 센서 모듈(70) 및 구동 모듈(80) 등이 모듈화되어 구비될 수 있다. 특히, 구동 모듈(80)에 비해 상대적으로 잦은 교환과 점검이 필요한 펌프 모듈(60)과 센서 모듈(70)의 경우, 여닫이 방식 또는 슬라이드 방식 등으로 움직일 수 있는 커버에 인접하도록 배치될 수 있다. 사용자는 가스 감지 장치(50)의 커버를 열고 펌프 모듈(60)과 센서 모듈(70)을 꺼내서 점검하거나, 펌프 모듈(60)과 센서 모듈(70)을 새로운 제품으로 쉽게 교환할 수 있다. 따라서, 가스 감지 장치(50)의 효율적인 유지, 보수를 지원할 수 있다.
도 3 내지 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치의 외관을 나타낸 사시도이다.
우선 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치(100)는 케이스(110), 디스플레이(150), 및 입력부(160) 등을 포함할 수 있다. 가스를 감지하기 위해 공기를 흡입 및 배기시키는 펌프 모듈과, 흡입된 공기에 포함된 가스를 감지하는 센서 모듈, 및 가스 감지 장치(100)를 구동하는 구동 모듈 등은 케이스(110) 내부에 수납될 수 있다.
케이스(110)는 본체(111) 및 본체(111)에 결합되는 커버(112)를 포함할 수 있다. 커버(112)는 케이스(110)의 전면에 제공될 수 있으며, 일 실시예에서 디스플레이(150) 및 입력부(160)가 커버(112)에 마련될 수 있다. 입력부(160)는 복수의 기계식 입력키를 포함하거나, 또는 디스플레이(150)와 일체형으로 구비되는 터치스크린을 포함할 수도 있다. 커버(112)는 힌지부(113)를 통해 본체(111)와 결합될 수 있으며, 힌지부(113)를 기준으로 회동하여 본체(111) 내부를 노출시킬 수 있다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치(100)는, 케이스(110)의 후면에 마련되는 고정부(FX)를 포함할 수 있다. 고정부(FX)는 케이스(110)의 후면에 일정한 깊이로 형성되는 홀(hole)을 포함할 수 있다. 사용자는 가스 감지 장치(100)가 설치되는 공간의 벽 또는 장비 등에 외부로 돌출된 고리 등을 설치하고, 고정부(FX)에 상기 고리를 삽입시켜 가스 감지 장치(100)를 고정시킬 수 있다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에서 본체(111)와 커버(112)는 결합부(112A)에 의해 체결될 수 있다. 결합부(112A)는 커버(112)의 일면에 형성되어 본체(111)와 커버(112)를 결합 및 체결시킬 수 있으며, 가스 감지 장치(100)가 동작하는 도중에 커버(112)가 열리는 것을 방지할 수 있다.
한편, 케이스(110)의 하면에는 복수의 포트들(P1-P3)이 마련될 수 있다. 일 실시예에서, 제1 포트(P1)는 공기가 유입되는 흡기구일 수 있으며, 제2 포트(P2)는 공기를 배출하는 배기구일 수 있다. 제1 포트(P1)로 유입된 공기는 케이스(110) 내부에 장착된 센서 모듈을 거쳐서 제2 포트(P2)로 배출될 수 있다. 제1 포트(P1)로 유입되고 제2 포트(P2)로 배출되는 공기의 양은, 케이스(110) 내부에 장착된 펌프 모듈에 의해 결정될 수 있다.
한편 제3 포트(P3)는 케이블 그랜드(cable gland)일 수 있으며, 외부 장치로부터 전원을 공급받거나, 외부 컨트롤러로부터 신호를 입력받는 용도로 제공될 수 있다. 제4 포트(P4)는 PoE(Power-Over-Ethernet) 포트일 수 있다. 즉, 가스 감지 장치(100)는 제4 포트(P4)를 통해 외부 컨트롤러와 연결되어 통신하거나, 동작에 필요한 전원을 공급받을 수 있다. 실시예에 따라, 제1 내지 제4 포트(P1-P4) 외에 추가 포트들이 케이스(110)의 외부에 더 마련될 수 있다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치를 설명하기 위해 제공되는 도면들이다.
도 6a에 도시한 일 실시예에서, 가스 감지 장치(200A)는 케이스(210A), 케이스(210A) 내부에 장착되는 펌프 모듈(220), 센서 모듈(230) 및 구동 모듈(240) 등을 포함할 수 있다. 한편, 케이스(210A)의 하면에는 케이블 그랜드(cable gland) 목적으로 제공되는 제3 포트(P3)가 마련될 수 있다.
케이스(210A)는 본체(211A)와 커버(212A), 및 본체(211A)와 커버(212A)를 연결하는 힌지부(213A) 등을 포함할 수 있다. 커버(212A)는 힌지부(213A)에 의해 회동 가능하도록 본체(211A)에 연결될 수 있으며, 커버(212A)가 움직임에 따라 펌프 모듈(220) 및 센서 모듈(230) 등이 외부로 노출될 수 있다. 펌프 모듈(220)과 센서 모듈(230)은 분리 가능하도록 본체(211A)에 장착될 수 있다. 따라서, 사용자는 커버(212A)를 열고 펌프 모듈(220) 또는 센서 모듈(230)을 본체(211A)로부터 분리시켜 꺼낼 수 있다.
커버(212A)가 개방된 상태에서는, 펌프 모듈(220)과 센서 모듈(230)의 전면이 외부로 노출될 수 있다. 사용자가 펌프 모듈(220)과 센서 모듈(230)을 본체(211A)로부터 용이하게 분리할 수 있도록, 펌프 모듈(220)과 센서 모듈(230)은 탄성을 갖는 부재에 의해 본체(211A)에 고정될 수 있다. 사용자는 펌프 모듈(220) 또는 센서 모듈(230)을 가볍게 누르는 동작만으로 펌프 모듈(220) 또는 센서 모듈(230)을 본체(211A)로부터 분리할 수 있다. 한편, 펌프 모듈(220)은 센서 모듈(230)보다 큰 부피를 차지할 수 있다.
도 6b에 도시한 일 실시예에서, 가스 감지 장치(200B)는 케이스(210B) 내부에 장착되는 펌프 모듈(220), 센서 모듈(230) 및 구동 모듈(240) 등을 포함할 수 있다. 케이스(210B)의 하면에는 케이블 그랜드(cable gland) 목적으로 제공되는 제3 포트(P3)가 마련될 수 있다.
케이스(210B)는 펌프 모듈(220), 센서 모듈(230) 및 구동 모듈(240)이 장착되는 공간을 제공하는 본체(211B)와, 본체(211B)에 결합되는 커버(212B)를 포함할 수 있다. 커버(212B)는 슬라이드 방식으로 본체(211B)에 결합되어 이동할 수 있으며, 슬라이드 방식으로 결합되어 이동하기 위한 슬라이드부(213B)를 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 커버(212B)는 본체(211B)의 상부 방향으로 슬라이드 이동하여 펌프 모듈(220) 또는 센서 모듈(230)을 외부로 노출시킬 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치를 나타낸 분해도이다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치(300)는 케이스(310), 펌프 모듈(320), 센서 모듈(330), 및 구동 모듈(340) 등을 포함할 수 있다.
케이스(310)는 제1 프레임(311A)과 제2 프레임(311B)을 갖는 본체(311), 및 커버(312)를 포함할 수 있다. 제1 프레임(311A)과 커버(312)는 힌지부 등의 연결부재를 통해 연결될 수 있으며, 커버(312)의 개폐 동작에 의해 제1 프레임(311A)의 내부가 가려지거나 노출될 수 있다. 제2 프레임(311B)은 나사 등의 결합 부재에 의해 제1 프레임(311A)과 결합될 수 있으며, 본체(311)의 후면 및 하면 등을 제공할 수 있다.
제2 프레임(311B)의 하면에는 복수의 포트들(P1-P3)이 마련될 수 있다. 일 실시예에서, 제1 포트(P1)와 제2 포트(P2) 각각은 공기의 흡기구 및 배기구로 제공될 수 있다. 제2 프레임(311B)에는 펌프 모듈(320)과 연결되는 펌프 배관(370)이 마련될 수 있으며, 펌프 모듈(320)은 펌프 배관(370)을 통해 공기를 빨아들여 센서 모듈(330)로 공기가 공급되도록 할 수 있다. 펌프 모듈(320) 내에는 펌프(325)가 스프링 등의 탄성 부재로 고정될 수 있다. 펌프(325) 내에는 영구 자석이 마련될 수 있으며, 영구 자석과 인접하도록 마련된 코일에 흐르는 전기에 의해 펌프(325)가 동작할 수 있다.
한편, 제2 프레임(311B)의 내부에는 구동 모듈(340)이 장착될 수 있다. 구동 모듈(340)은 나사 등의 결합 부재로 제2 프레임(311B)에 결합될 수 있으며, 복수의 핀을 갖는 단자(345)를 통해 펌프 모듈(320) 또는 센서 모듈(330)과 연결될 수 있다. 구동 모듈(340)은 펌프 모듈(320)과 센서 모듈(330)에 구동 전원을 공급하고, 펌프 모듈(320)과 센서 모듈(330)의 동작을 제어할 수 있다. 일 실시예에서, 구동 모듈(340)은 펌프 모듈(320)을 제어하여 센서 모듈(330) 내부로 유입되는 공기의 양을 조절하는 한편, 센서 모듈(330)이 감지한 가스의 종류, 농도 등을 디스플레이 장치(350)로 출력할 수 있다. 사용자는 입력부(360) 또는 가스 감지 장치(300)와 연결된 외부 컨트롤러 등을 통해 구동 모듈(340)에 다양한 커맨드를 전달할 수 있다.
펌프 모듈(320)과 센서 모듈(330)은 분리 가능하도록 본체(311) 내에 장착될 수 있다. 펌프 모듈(320)과 센서 모듈(330)은 본체(311) 내부에 마련된 제1 수납 공간(S1) 및 제2 수납 공간(S2)에 각각 장착될 수 있다. 일 실시예에서, 제1 수납 공간(S1)과 제2 수납 공간(S2)의 후방에는 구동 모듈(340)이 위치할 수 있으며, 펌프 모듈(320)과 센서 모듈(330) 각각은 제1 수납 공간(S1)과 제2 수납 공간(S2) 각각의 내부에서 구동 모듈(340)과 전기적으로 연결될 수 있다.
펌프 모듈(320)과 센서 모듈(330)은 제1 방향을 따라 슬라이드 방식으로 제1 수납 공간(S1) 및 제2 수납 공간(S2)에 각각 장착될 수 있다. 또한, 펌프 모듈(320)과 센서 모듈(330)은 제1 방향을 따라 슬라이드 방식으로 본체(311)와 분리되어 꺼내어질 수 있다. 사용자는 가스 감지 장치(300)가 정상적으로 동작하지 않거나 정기적인 관리 작업이 필요할 때, 커버(312)를 열고 펌프 모듈(320)과 센서 모듈(330)을 본체(311)로부터 간편하게 분리할 수 있다. 따라서, 가스 감지 장치(300)를 더욱 효율적으로 관리할 수 있으며, 펌프 모듈(320)과 센서 모듈(330) 중 하나가 고장났을 때, 고장난 모듈만을 교환할 수 있으므로 수리 비용 및 시간 등을 절감할 수 있다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치를 설명하기 위해 제공되는 도면들이다.
도 8을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치(400)는 케이스(410), 펌프 모듈(420) 및 센서 모듈(430) 등을 포함할 수 있다. 도 8에 도시한 바와 같이, 케이스(410)는 본체(411)와 커버(412)를 포함하며, 커버(412)는 본체(411)를 기준으로 움직일 수 있도록 본체(411)와 결합될 수 있다. 도 8에 도시한 일 실시예에서, 커버(412)가 개방되면, 본체(411) 내부에 장착된 펌프 모듈(420)과 센서 모듈(430)이 외부로 노출될 수 있다.
다음으로 도 9를 참조하면, 펌프 모듈(420)과 센서 모듈(430)은 슬라이드 방식으로 본체(411)로부터 분리될 수 있다. 본체(411) 내부에는 슬라이드 방식으로 펌프 모듈(420) 또는 센서 모듈(430)을 이동시킬 수 있는 슬라이드 부재(SL)가 마련될 수 있다. 일례로, 사용자는 펌프 모듈(420)의 전면에 마련된 돌기 또는 홀을 이용하여 펌프 모듈(420)을 잡아당김으로써 펌프 모듈(420)을 본체(411)에서 분리할 수 있다. 따라서, 모듈 교체를 위한 별도의 장비나 공구없이, 사용자가 손으로 간단하게 펌프 모듈(420)이나 센서 모듈(430)을 본체(411)에서 분리하여 교환하거나 수리할 수 있다.
본체(411) 내부에는 센서 모듈(430)과 연결되어 센서 모듈(430)에 공기를 공급하는 인렛(INP)과, 센서 모듈(430)을 순환한 공기를 배출하는 아웃렛(OUTP)이 마련될 수 있다. 인렛(INP)과 아웃렛(OUTP)은 센서 모듈(430)의 후방에 마련된 인렛 및 아웃렛과 각각 연결될 수 있다.
한편, 본체(411) 내부에는 펌프 모듈(420)과 연결되는 배관이 마련될 수 있다. 펌프 모듈(420)은 배관과 연결되어 외부의 공기를 가스 감지 장치(400) 내부로 빨아들이는 펌프(425)를 포함할 수 있다. 펌프 모듈(420)의 동작에 의해 빨아들여진 공기는 인렛(INP)을 통해 센서 모듈(430)로 유입되며, 센서 모듈(430)을 순환한 후 아웃렛(OUTP)을 통해 외부로 배출될 수 있다.
도 10a 내지 도 10c는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치에서 센서 모듈의 교환 방법을 설명하기 위해 제공되는 도면들이다.
우선 도 10a를 참조하면, 센서 모듈(530)을 교환하기 위해 커버(512)가 개방될 수 있다. 도 10a에 도시한 일 실시예에서 커버(512)는 본체(511)의 상면에 마련된 힌지부에 의해 개방되는 것으로 예시하였으나, 반드시 이와 같은 형태로 한정되는 것은 아니다. 다른 일 실시예에서, 커버(512)는 본체(511)의 측면 또는 본체의 하면에 마련된 힌지부에 의해 개방될 수 있으며, 또는 슬라이드 방식으로 이동하여 개방될 수도 있다.
다음으로 도 10b 및 도 10c를 참조하면, 사용자는 커버(512)가 개방된 상태에서 센서 모듈(530)만을 본체(511)로부터 분리할 수 있다. 일 실시예에서, 센서 모듈(530)은 서로 다른 종류의 가스들을 감지할 수 있는 복수의 단위 센서들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 센서 모듈(530)은 실란(SiH4)을 감지하는 제1 단위 센서, 인화수소(PH3)를 감지하는 제2 단위 센서, 암모니아를 감지하는 제3 단위 센서, 및 수소(H2)를 감지하는 제4 단위 센서를 포함할 수 있다.
사용자는 센서 모듈(530)이나 또는 단위 센서들 중 어느 하나가 고장난 경우, 또는 단위 센서들 중 적어도 일부를 다른 단위 센서로 교환하고자 하는 경우에 센서 모듈(530)을 본체(511)로부터 분리할 수 있다. 일례로, 사용자는 실란(SiH4)을 감지하는 제1 단위 센서를, 삼불화붕소(BF3)를 감지하는 제5 단위 센서로 교체할 수 있다. 이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치(500)에서는, 필요에 따라 사용자가 스스로 센서 모듈(530) 전체 또는 센서 모듈(530)에 포함되는 단위 센서들을 용이하게 교환할 수 있다. 따라서, 가스 감지 장치(500)의 관리, 유지, 보수의 효율성을 극대화할 수 있다.
일 실시예에서, 센서 모듈(530)의 전면은 펌프 모듈(520)의 전면보다 더 앞쪽으로 돌출될 수 있으며, 펌프 모듈(520)의 하부에 배치될 수 있다. 상기와 같은 구조로부터 센서 모듈(530)을 펌프 모듈(520)보다 더 쉽게 교환할 수 있다. 도 10b에 도시한 바와 같이, 사용자는 펌프 모듈(520)보다 앞쪽으로 돌출된 센서 모듈(530)을 손가락으로 잡아 당겨서 본체(511)에서 분리할 수 있다. 이는, 단위 센서 교체 및 모듈 점검 등의 이유로 펌프 모듈(520)보다 본체(511)로부터 더 자주 분리될 수 있는 센서 모듈(530)의 특징에 따른 것일 수 있다. 따라서, 센서 모듈(530)을 좀 더 편리하게 본체(511)로부터 분리할 수 있다.
도 11a 내지 도 11c는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치에서 펌프 모듈의 교환 방법을 설명하기 위해 제공되는 도면들이다.
우선 도 11a를 참조하면, 펌프 모듈(520)을 교환하기 위해 커버(512)가 개방될 수 있다. 도 11a에 도시한 일 실시예에서 커버(512)는 본체(511)의 상면에 마련된 힌지부에 의해 개방되는 것으로 예시하였으나, 반드시 이와 같은 형태로 한정되는 것은 아니다. 다른 일 실시예에서, 커버(512)는 본체(511)의 측면 또는 본체의 하면에 마련된 힌지부에 의해 개방될 수 있으며, 또는 슬라이드 방식으로 이동하여 개방될 수도 있다.
다음으로 도 11b와 도 11c를 참조하면, 펌프 모듈(520)이 본체(511)로부터 분리될 수 있다. 일 실시예에서, 펌프 모듈(520)은 스프링과 같은 탄성부에 의해 본체(511)에 결합될 수 있으며, 본체(511) 내부로 향하는 힘을 펌프 모듈(520)에 가함으로써 펌프 모듈(520)을 본체(511)의 수납 공간에서 튀어나오게 할 수 있다. 이후 사용자는 펌프 모듈(520)을 잡아 당겨 본체(511)와 완전히 분리할 수 있다.
한편, 도 10a 내지 도 10c를 참조하여 설명한 센서 모듈(530)의 분리 과정이 펌프 모듈(520)의 분리 과정에 적용되거나, 또는 도 11a 내지 도 11c를 참조하여 설명한 펌프 모듈(520)의 분리 과정이 센서 모듈(530)의 분리 과정에 적용될 수도 있다.
도 12a 및 도 12b는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치에 포함되는 센서 모듈의 외관을 나타낸 도면들이다.
도 12a 및 도 12b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 센서 모듈(600)은 가스 감지 장치의 본체에 결합되도록 케이스(601)의 일면에 마련되는 슬라이드 결합부(602)와, 공기의 흡입 경로를 제공하는 인렛(INP) 및 공기의 배출 경로를 제공하는 아웃렛(OUTP) 등을 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 공기의 원활한 흐름을 확보하기 위해 아웃렛(OUTP)의 직경과 인렛(INP)의 직경이 서로 다를 수 있다.
한편, 케이스(601)의 후면에는 가스 감지 장치의 구동 모듈과의 연결에 필요한 단자(603), 및 센서 모듈(600)을 가스 감지 장치의 본체와 고정하기 위한 고정부(604)가 마련될 수 있다. 센서 모듈(600)에 포함되는 단위 센서들은 단자(603)를 통해 구동에 필요한 전원을 공급받는 한편, 단자(603)를 통해 가스 검출 결과를 구동 모듈로 전송할 수 있다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치에 포함되는 센서 모듈을 나타낸 분해도이다.
도 13을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 센서 모듈(600)은 센서부(610), 제1 하우징(620), 제2 하우징(630), 제3 하우징(640), 및 플레이트(650) 등을 포함할 수 있다.
센서부(610)는 제1 내지 제4 단위 센서들(611-614)을 포함할 수 있다. 실시예들에 따라, 센서부(610)에 포함되는 단위 센서들(611-614)의 개수는 다양하게 변형될 수 있다. 단위 센서들(611-614) 각각은 가스를 감지하기 위한 가스 셀, 가스 셀이 실장되는 센서 기판, 및 어댑터 등을 포함할 수 있다. 단위 센서들(611-614)은 제1 하우징(620)에 장착되며, 이 과정에서 자연스럽게 제1 하우징(620)의 상부에 마련된 모듈 기판(625)과, 단위 센서들(611-614)의 어댑터가 서로 연결될 수 있다. 따라서 사용자는, 센서 모듈(600)을 가스 감지 장치로부터 분리한 후, 단위 센서들(611-614) 중 적어도 일부를 다른 단위 센서로 바꿔 끼는 것만으로 가스 감지 장치가 검출하는 가스의 종류를 바꿀 수 있다.
한편, 단위 센서들(611-614) 각각의 센서 기판에는 비휘발성 기억 소자가 마련될 수 있다. 일 실시예에서, 상기 비휘발성 기억 소자는 EEPROM일 수 있다. 상기 비휘발성 기억 소자에는 단위 센서들(611-614) 각각에 포함되는 가스 셀의 정보 및 동작에 필요한 파라미터 정보 등이 저장되어 있을 수 있다. 단위 센서들(611-614)이 제1 하우징(620)에 장착되어 모듈 기판(625)에 연결되면, 상기 비휘발성 기억 소자에 저장된 정보들이 모듈 기판(625)을 통해 가스 감지 장치의 구동 모듈 등으로 전달될 수 있다. 구동 모듈은, 상기 비휘발성 기억 소자에 저장된 정보들에 기초하여 단위 센서들(611-614)을 제어할 수 있다.
센서부(610)의 하부에는 제2 하우징(630)이 마련될 수 있다. 제2 하우징(630)에는 단위 센서들(611-614) 각각에 대응하는 홀(hole)이 형성되며, 공기를 흡입하는 인렛(INP)과 공기를 배출하는 아웃렛(OUTP)이 마련될 수 있다. 제2 하우징(630)은 제1 하우징(620)과 결합될 수 있다. 일 실시예에서, 제2 하우징(630)의 상면에는 공기의 흐름을 센서부(610) 측으로 유도하기 위한 돌출부가 형성될 수 있다. 이에 대해서는 도 14를 참조하여 후술하기로 한다.
제1 하우징(620)의 상부에는 제3 하우징(640)이 마련될 수 있다. 제3 하우징(640)은 모듈 기판(625)이 외부로 노출되지 않도록 커버할 수 있으며, 도 12a 및 도 12b에 도시한 바와 같은 슬라이드 결합부(602)를 포함할 수 있다. 제1 내지 제3 하우징(620, 630, 640)이 결합되면 그 전면에 플레이트(650)가 부착될 수 있으며, 제1 내지 제3 하우징(620, 630, 640)과 플레이트(650)는 케이스(601)로 제공될 수 있다.
도 14a 및 도 14b는 본 발명의 일 실시예에 따른 센서 모듈에서 공기의 흐름을 설명하기 위해 제공되는 도면이다.
우선 도 14a는 센서 모듈(600)에 포함되는 구성 요소들의 적어도 일부를 나타낸 평면도일 수 있다. 도 14a를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 센서 모듈(600)에는 복수 개의 단위 센서들(611-614)이 포함될 수 있으며, 인렛(INP)을 통해 유입된 공기가 단위 센서들(611-614)을 통과한 후 아웃렛(OUTP)을 통해 배출될 수 있다. 단위 센서들(611-614)은 모듈 기판(625)에 장착되며, 인렛(INP)으로 유입된 공기에 포함된 가스를 검출하고, 그 결과를 모듈 기판(625)을 통해 가스 감지 장치의 구동 모듈로 전달할 수 있다.
인렛(INP)을 통해 유입된 공기는 단위 센서들(611-614)을 순서대로 통과하여 아웃렛(OUTP)으로 배출될 수 있다. 즉, 단위 센서들(611-614)은 인렛(INP)으로 유입되어 아웃렛(OUTP)으로 배출되는 공기의 진행 경로를 따라 직렬로 배치될 수 있다.
도 14b는 도 14a의 I-I` 단면을 도시한 단면도일 수 있다. 도 14b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 센서 모듈(600)은 단위 센서들(611-614)의 하부에 배치되는 제2 하우징(630)을 포함할 수 있다. 제2 하우징(630)은 단위 센서들(611-614) 각각에 포함되는 가스 셀에 인접하며, 단위 센서들(611-614)을 향하도록 돌출되는 복수의 돌출부들(641, 643)을 포함할 수 있다. 상기 돌출부들(641, 643)에 의해, 인렛(INP)으로 유입된 공기가 흐르는 방향이 가스 셀에 가깝게 변형될 수 있으며, 센서 모듈의 가스 검출 확률 및 정확도 등을 높일 수 있다.
한편, 도 14b에 도시한 일 실시예와 같이, 단위 센서들(611-614) 각각은 가스를 감지하기 위한 전해액 등을 포함하는 감지 셀(cell)을 포함할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서는, 단위 센서들(611-614)에 포함된 감지 셀의 표면으로 정의되는 가스 감지면이 지면 방향을 향하도록 가스 감지 장치가 설치될 수 있다. 따라서, 감지 셀 내에 포함되는 전해액이 중력에 의해 자연스럽게 가스 감지면 쪽으로 집중될 수 있어, 가스 감지 성능을 향상할 수 있다.
도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감지 장치에 포함되는 펌프 모듈을 나타낸 도면이다
도 15를 참조하면 펌프 모듈(700)은 케이스(710), 케이스(710)의 전면에 마련되는 돌기(711)와 홀(712), 케이스(710) 내에 수납되는 펌프(713) 및 펌프(713)를 고정하는 탄성부재(714) 등을 포함할 수 있다. 앞서 다양한 실시예들을 참조하여 설명한 바와 같이, 펌프 모듈(700)은 가스 감지 장치 내에 탈착 가능하도록 수납될 수 있다.
일 실시예에서, 가스 감지 장치의 케이스 일부를 개방하여 펌프 모듈(700)를 외부로 노출시키고, 펌프 모듈(700)을 가스 감지 장치로부터 분리하여 수리하거나 또는 새로운 모듈로 교환할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서는 사용자가 별도의 공구나 장비 없이 펌프 모듈(700)을 가스 감지 장치로부터 분리할 수 있다. 펌프 모듈(700)의 케이스(710) 전면에 마련되는 돌기(711)와 홀(712)은 펌프 모듈(700)의 용이한 분리를 위해 마련된 것일 수 있다. 사용자는 돌기(711)나 홀(712)을 이용하여 펌프 모듈(700)을 잡아 당김으로써, 별도의 공구나 장비 없이 펌프 모듈(700)을 가스 감지 장치로부터 쉽게 분리할 수 있다.
펌프(713)는 탄성 부재(714)에 의해 고정된 상태로 케이스(710) 내부에 수납될 수 있다. 일 실시예에서 펌프(713)는 복수 개의 탄성 부재(714)에 의해 케이스(710) 내부에 고정되며, 케이스(710)의 내벽에 밀착되지 않을 수 있다. 펌프(713) 내에는 영구 자석이 마련될 수 있으며, 상기 영구 자석과 인접하도록 적어도 하나의 코일이 케이스(710) 내부에 마련될 수 있다. 케이스(710) 내부에 마련된 코일에 전기가 흐르면, 상기 코일에 유도되는 자기장과 상기 영구 자석 사이에 발생하는 자기력에 의해 펌프(713)가 진동하며, 그에 따라 펌프(713)가 외부 공기를 빨아들일 수 있다.
본 발명은 상술한 실시형태 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니며 첨부된 청구범위에 의해 한정하고자 한다. 따라서, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경이 가능할 것이며, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다고 할 것이다.
100, 200A, 200B, 300, 400, 500: 가스 감지 장치
110, 210A, 210B, 310, 410, 510: 케이스
220, 320, 420, 520, 700: 펌프 모듈
230, 330, 430, 530, 600: 센서 모듈
240, 340: 구동 모듈
611-614: 단위 센서들
P1: 제1 포트
P2: 제2 포트
P3: 제3 포트
P4: 제4 포트
110, 210A, 210B, 310, 410, 510: 케이스
220, 320, 420, 520, 700: 펌프 모듈
230, 330, 430, 530, 600: 센서 모듈
240, 340: 구동 모듈
611-614: 단위 센서들
P1: 제1 포트
P2: 제2 포트
P3: 제3 포트
P4: 제4 포트
Claims (21)
- 공기를 흡입하기 위한 펌프 모듈;
제1 하우징, 상기 공기에 포함된 가스를 검출하며, 감지면이 지면을 향하도록 상기 제1 하우징에 장착되는 복수의 단위 센서들, 및 상기 단위 센서들의 하부에 배치되며 상기 단위 센서들의 상기 감지면을 향해 돌출되는 돌출부들을 갖는 제2 하우징을 포함하는 센서 모듈;
상기 펌프 모듈 및 상기 센서 모듈을 구동하는 구동 모듈; 및
상기 펌프 모듈, 상기 센서 모듈, 및 상기 구동 모듈 중 적어도 하나가 분리 가능하도록 장착되고 상기 펌프 모듈이 상기 센서 모듈의 상부에 장착되는 본체, 및 상기 펌프 모듈, 상기 센서 모듈, 및 상기 구동 모듈 중 적어도 하나를 노출시킬 수 있도록 상기 본체에 연결되는 커버를 포함하는 케이스; 를 포함하며,
상기 커버가 개방되면, 상기 본체에 장착된 상기 펌프 모듈과 상기 센서 모듈의 전면이 함께 외부로 노출되어 상기 펌프 모듈 및 상기 센서 모듈을 개별적으로 상기 본체로부터 분리할 수 있는 가스 감지 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 케이스는, 상기 커버와 상기 본체를 연결하는 힌지부를 포함하는 가스 감지 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 케이스는, 상기 커버와 상기 본체를 연결하는 슬라이드부를 포함하는 가스 감지 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 커버에 의해 상기 펌프 모듈 및 상기 센서 모듈이 노출되는 가스 감지 장치.
- 제4항에 있어서,
상기 펌프 모듈 및 상기 센서 모듈은 상기 본체로부터 분리 가능하도록 상기 본체에 마련된 적어도 하나의 수납 공간에 장착되는 가스 감지 장치.
- 제5항에 있어서,
상기 펌프 모듈 및 상기 센서 모듈은 제1 방향을 따라 이동하는 슬라이드 방식으로 상기 적어도 하나의 수납 공간에 장착되는 가스 감지 장치.
- 제6항에 있어서,
상기 본체는, 상기 제1 방향으로 힘이 가해지면, 상기 펌프 모듈 및 상기 센서 모듈을 상기 제1 방향의 반대 방향으로 밀어내는 탄성부를 포함하는 가스 감지 장치.
- 제1항에 있어서,
사용자로부터 입력을 수신하는 입력부; 및
상기 펌프 모듈, 상기 센서 모듈, 및 상기 구동 모듈 중 적어도 하나의 동작 상태 및 상기 센서 모듈의 가스 검출 결과를 표시하는 디스플레이부; 를 더 포함하는 가스 감지 장치.
- 제8항에 있어서,
상기 입력부 및 상기 디스플레이부는 상기 커버에 마련되는 가스 감지 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 센서 모듈은, 상기 구동 모듈이 상기 단위 센서들을 제어하도록 상기 단위 센서들 각각의 비휘발성 기억 소자에 저장된 정보들을 상기 구동 모듈에 전달하는 모듈 기판을 더 포함하는 가스 감지 장치.
- 삭제
- 제1항에 있어서,
상기 단위 센서들은 제1 내지 제4 단위 센서들을 포함하며, 상기 제1 내지 제4 단위 센서들은 서로 같은 크기 및 형상을 갖는 가스 감지 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 케이스는, 상기 공기의 흡입 경로를 제공하는 제1 포트, 및 상기 공기의 배출 경로를 제공하는 제2 포트를 포함하는 가스 감지 장치.
- 제13항에 있어서,
상기 단위 센서들은, 상기 제1 포트로 흡입되어 상기 제2 포트로 배출되는 공기의 진행 경로를 따라 서로 직렬로 배치되는 가스 감지 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 본체는 상기 펌프 모듈이 장착되는 제1 수납 공간, 및 상기 센서 모듈이 장착되는 제2 수납 공간을 제공하며, 상기 제1 수납 공간 및 상기 제2 수납 공간은 상기 구동 모듈과 상기 커버 사이에 위치하는 가스 감지 장치
- 삭제
- 제1 수납 공간 및 상기 제1 수납 공간의 하부에 위치하는 제2 수납 공간을 갖는 본체와, 상기 제1 수납 공간 및 상기 제2 수납 공간을 개폐하도록 상기 본체에 회동 가능하게 연결되는 커버를 가지며, 상기 제1 수납 공간과 상기 제2 수납 공간은 상기 커버의 전면에 수직하는 제1 방향에서 서로 같은 위치에 마련되는 케이스;
상기 제1 방향을 따라 상기 제1 수납 공간에 슬라이드 방식으로 착탈 가능하도록 장착되며, 공기를 흡입하는 펌프 모듈;
상기 제1 방향을 따라 상기 제2 수납 공간에 슬라이드 방식으로 착탈 가능하도록 장착되며, 상기 공기에 포함된 가스를 검출하며 감지면이 지면을 향하도록 제1 하우징에 장착되는 복수의 단위 센서들, 및 상기 단위 센서들과 상기 제1 하우징의 하부에 배치되는 제2 하우징을 포함하고, 상기 제2 하우징의 상면에는 상기 단위 센서들의 감지면을 향해 돌출되는 돌출부들이 형성되는 센서 모듈; 및
상기 제1 및 제2 수납 공간들의 후방에 마련되며, 상기 펌프 모듈 및 상기 센서 모듈을 구동하는 구동 모듈; 을 포함하는 가스 감지 장치.
- 제17항에 있어서,
상기 케이스는, 상기 제2 수납 공간의 하부에 위치한 본체 하면에 마련되며 상기 공기를 흡입하는 제1 포트, 상기 본체 하면에 마련되며 상기 공기를 배출하는 제2 포트, 및 상기 본체 하면에 마련되며 동작에 필요한 전기 신호를 송수신하기 위한 제3 포트를 포함하는 가스 감지 장치.
- 제17항에 있어서,
상기 케이스는, 상기 구동 모듈의 후방에 위치한 본체 뒷면에 마련되며 상기 본체를 외부 장비 및 외벽 중 적어도 하나에 고정시키는 고정부를 포함하는 가스 감지 장치.
- 제17항에 있어서,
상기 커버는, 상기 본체의 상면에 마련되는 힌지에 의해 수평 회전축을 기준으로 회동 가능하게 상기 본체에 연결되는 가스 감지 장치.
- 제17항에 있어서,
상기 제2 수납 공간에 장착된 상기 센서 모듈의 전면은, 상기 제1 수납 공간에 장착된 상기 펌프 모듈의 전면보다 상기 커버에 더 가까이 배치되는 가스 감지 장치.
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