WO2021225252A1 - 교체식으로 유지 보수가 가능한 파티클 계수 장치 - Google Patents

교체식으로 유지 보수가 가능한 파티클 계수 장치 Download PDF

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WO2021225252A1
WO2021225252A1 PCT/KR2021/000662 KR2021000662W WO2021225252A1 WO 2021225252 A1 WO2021225252 A1 WO 2021225252A1 KR 2021000662 W KR2021000662 W KR 2021000662W WO 2021225252 A1 WO2021225252 A1 WO 2021225252A1
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WO
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particle counting
connector
module
counting device
housing part
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PCT/KR2021/000662
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English (en)
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Inventor
박준철
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Park Jun Cheol
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Publication date
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    • G01N15/0205—Investigating particle size or size distribution by optical means
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    • G—PHYSICS
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    • G01N15/1456—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry without spatial resolution of the texture or inner structure of the particle, e.g. processing of pulse signals
    • G01N15/1459—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry without spatial resolution of the texture or inner structure of the particle, e.g. processing of pulse signals the analysis being performed on a sample stream
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    • G01N2015/0046—Investigating dispersion of solids in gas, e.g. smoke
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    • G01N15/14—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry
    • G01N2015/1486—Counting the particles

Definitions

  • An embodiment of the present invention relates to a particle counting device.
  • a clean room is a place where a semiconductor manufacturing process is performed, and may be classified into several classes according to the cleanliness of the interior.
  • the cleanliness is determined by the number of particles of a certain size per unit area, and in order to maintain a certain level of cleanliness, the cause of contamination must be identified through precise measurement from time to time. Accordingly, in the clean room, the particle density in the clean room is measured using a particle counting device.
  • the particle counting device includes an optical chamber having a reflector, an air intake fan that introduces air inside the clean room into the optical chamber, and a laser diode that generates laser light and collides with dust particles introduced into the optical chamber.
  • an optical chamber having a reflector, an air intake fan that introduces air inside the clean room into the optical chamber, and a laser diode that generates laser light and collides with dust particles introduced into the optical chamber.
  • the performance of the laser diode, the reflector, and the like occurs depending on the consumer's usage environment, such as usage time, temperature, cleanliness, etc.
  • the usage time of the laser diode increases, the amount of light decreases, and as the operating temperature increases, the performance deteriorates and the lifespan of the laser diode decreases. Also, as the usage time of the reflector increases, foreign substances are caught on the surface of the reflector, resulting in deterioration of performance.
  • the conventional particle counting device is assembled in one piece, calibration takes 1 to 2 weeks, repair and calibration takes 2 to 3 weeks, and 4 to 8 weeks as long as the bar, a failure occurs in one part Even so, there is a problem in that there is a time gap in which the particle counting device cannot be used from the point of view of the consumer, and there is a problem in that there is a cost for repair and calibration.
  • An embodiment of the present invention is to provide a particle counting device that is easy to replace and repair.
  • a particle counting device includes: a main body module; and a removable chamber module detachably inserted into the body module, wherein the removable chamber module includes a memory for storing a reference voltage value for each channel, and for counting the number of particles according to the light scattering signal
  • the reference voltage value for each channel is extracted from the memory and transmitted to the main body module, and the main body module receives the light scattering signal and the reference voltage value for each channel from the removable chamber module, and receives the light scattering signal and It is provided to count the number of particles for each channel based on the reference voltage value for each channel.
  • the main body module obtains use-related information including one or more of a use time, a use temperature, and a use cleanliness of the particle counting device, and the main body module further includes a display unit for displaying the use-related information on a screen may include
  • the main body module counts the usage time of the particle counting device when the particle counting device is operated, counts the accumulated usage time of the particle counting device, and measures the operating temperature of the particle counting device through a temperature sensor, , the used cleanliness may be measured based on the counted number of particles for each channel.
  • the main body module may be configured to generate a maintenance alarm by comparing the acquired usage-related information with preset threshold usage information.
  • the main body module may transmit the acquired usage-related information to the removable chamber module to be stored in the memory.
  • the removable chamber module a first housing portion; an optical chamber provided in the first housing unit and providing an enclosed space; a particle counting means provided in the first housing unit for generating light into the optical chamber and condensing light scattered by particles included in the air introduced into the optical chamber to generate a light scattering signal; a substrate provided in the first housing unit, electrically connected to the particle counting means, and on which the memory is mounted; A second housing provided on one side of the substrate and including a first connector protruding to the outside of the first housing, wherein the main body module has an open side and a receiving space in which the removable chamber module is accommodated.
  • a main board provided in the second housing part; and a second connector provided on one side of the main board and connected to the first connector when the removable chamber module is accommodated in the second housing, wherein the removable chamber module includes the light scattering signal and the A reference voltage value for each channel may be transmitted to the main board through the first connector and the second connector.
  • the main body module may include: a first receiving space in which the removable chamber module is accommodated on one side of the inner side of the second housing part; a second accommodating space in which the main board is accommodated at the other inner side of the second housing part; a partition wall provided between the first accommodation space and the second accommodation space in the second housing part and partitioning the first accommodation space and the second accommodation space; and a connector connection groove formed in the partition wall, wherein the detachable chamber module is inserted and accommodated in the first accommodation space from one side of the second housing part, and the first connector is connected to the connector through the connector connection groove. It may be connected to the second connector.
  • the particle counting device may include: an air inlet pipe for introducing air into the optical chamber; a first inlet pipe insertion hole provided in the first housing part; and a second inlet pipe insertion hole provided in the second housing part, wherein the air inlet pipe includes the second inlet pipe insertion hole and the second inlet pipe insertion hole when the removable chamber module is accommodated in the first receiving space. It may be inserted into the first inlet pipe insertion hole to communicate with the optical chamber.
  • a receiving space in which the removable chamber module is inserted from the top to the bottom is provided on one side of the inner side of the main body module, the substrate is mounted on the lower end of the first housing part, and the first connector is the lower end of the first housing part
  • the main board may be provided to protrude from the outside, the main board may be mounted on a bottom surface of the second housing part, and the second connector may be provided at a position corresponding to the first connector on the main board.
  • the removable chamber module by allowing the removable chamber module to be removably accommodated inside the body module, and by storing the reference voltage value for each channel and the use-related information of the particle counting device in the memory of the removable chamber module, calibration is periodically performed It is possible to easily replace the removable chamber module, which has parts that are necessary and whose performance changes depending on the environment of use, and since only the removable chamber module needs to be replaced, there is no time gap due to replacement.
  • the reference voltage value for each channel is stored in the memory of the removable chamber module to be replaced, it is possible to easily correct the reference voltage value of each channel when replacing or repairing parts of the removable chamber module.
  • the self-diagnosis function of the particle counting device is implemented, the convenience of maintenance is increased, and the maintenance cost is increased. can be reduced
  • FIG. 1 is a perspective view showing a particle counting device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an exploded perspective view of a particle counting device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is an exploded perspective view of a removable chamber module according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is an exploded perspective view of a main body module according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a view illustrating a state in which the number of particles is counted by comparing a light scattering signal and a reference voltage value of each channel according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 6 is a block diagram schematically showing the configuration of a particle counting device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 is a perspective view showing a particle counting device according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 8 is an exploded perspective view of a particle counting device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 9 is a perspective view showing a particle counting device according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 10 is a view showing the inside of the removable chamber module in the particle counting device according to another embodiment of the present invention.
  • transmission In the following description, the terms “transmission”, “communication”, “transmission”, “reception” and other similar meanings of signals or information are not only directly transmitted from one component to another component, but also signal or information This includes passing through other components.
  • “transmitting” or “transmitting” a signal or information to a component indicates the final destination of the signal or information and does not imply a direct destination. The same is true for “reception” of signals or information.
  • first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The above terms may be used for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, a first component may be referred to as a second component, and similarly, a second component may also be referred to as a first component.
  • Figure 1 is a perspective view showing a particle counting device according to an embodiment of the present invention
  • Figure 2 is an exploded perspective view of the particle counting device according to an embodiment of the present invention
  • Figure 3 is a removable according to an embodiment of the present invention
  • Figure 4 is an exploded perspective view of the main body module according to an embodiment of the present invention.
  • the particle counting apparatus 100 may include a removable chamber module 102 and a body module 104 .
  • the particle counting apparatus 100 may be used to measure the number of particles in a clean room, but is not limited thereto, and may measure the number of particles in various indoor and outdoor places. .
  • the removable chamber module 102 may be removably accommodated in the body module 104 . That is, the removable chamber module 102 is configured separately from the main body module 104 , is detachably accommodated in the main body module 104 , and may be electrically connected to the main body module 104 . In an exemplary embodiment, the removable chamber module 102 may be accommodated inside the body module 104 from one side of the body module 104, but the structure in which the removable chamber module 102 is detachably accommodated is limited thereto. doesn't happen
  • the removable chamber module 102 introduces external air into the interior, generates light as particles contained in the introduced air to collide with the particles, and collects light scattering generated when light collides with particles to collect an electrical signal ( light scattering signal).
  • the removable chamber module 102 may transmit a light scattering signal to the body module 104 .
  • the removable chamber module 102 may receive information related to the use of the particle counting device 100 from the main body module 104 .
  • the use-related information may include one or more of the use time (including the accumulated use time), the use temperature, and the use cleanliness of the removable chamber module 102 . That is, the removable chamber module 102 uses the particle counting device 100 for how long, at what temperature, and the air cleanliness (can be known through the number of particles) in the use environment. Usage related information may be received from the main body module 104 .
  • the removable chamber module 102 includes a first housing part 111 , an air inlet pipe 113 , a particle counting means 115 , an air intake means 117 , a substrate 121 , and a first connector 123 . can do.
  • the first housing part 111 may constitute an external appearance of the removable chamber module 102 .
  • the first housing part 111 may have a hexahedral shape, but the shape is not limited thereto.
  • the first housing part 111 may include a 1-1 housing part 111-1 and a 1-2 housing part 111-2.
  • the 1-1 housing unit 111-1 may be an upper housing, and the 1-2 housing unit 111-2 may be a lower housing.
  • the 1-1 housing part 111-1 and the 1-2 housing part 111-2 may be provided in combination or may be provided integrally.
  • a first inlet pipe insertion hole 111a may be provided in the first housing part 111 .
  • the air inlet pipe 113 may be detachably coupled to the first housing part 111 .
  • the air inlet pipe 113 may be inserted into the first inlet pipe insertion hole 111a to be coupled to the first housing part 111 .
  • the air inlet pipe 113 may communicate with the optical chamber 115b of the particle counting means 115 .
  • the air inlet pipe 113 may serve as a passage for introducing external air into the first housing unit 111 .
  • the particle counting means 115 may generate a light scattering signal for counting particles included in the introduced air in the optical chamber 115b.
  • the particle counting means 115 includes a light generating unit 115a that generates light into the optical chamber 115b (eg, the light generating unit includes a laser diode, etc.), A reflector 115c for condensing light scattering generated by colliding with particles, a photodiode 115d for receiving the collected light scattering and converting it into an electrical signal (light scattering signal), and a signal amplifier 115e for amplifying the light scattering signal ) and the like.
  • the optical chamber 115b may house the components of the particle counting means 115 therein.
  • An end of the air inlet pipe 113 may be coupled to the optical chamber 115b.
  • the optical chamber 115b may provide an enclosed space in which the particle counting means 115 counts particles included in the air introduced through the air inlet pipe 113 .
  • the particle counting means 115 includes parts (eg, a light generator, a reflector, etc.) whose performance changes according to the use environment (use time, temperature, cleanliness, etc.). Components included in the particle counting means 115 are already known techniques, so a detailed description thereof will be omitted.
  • the air intake means 117 may serve to introduce external air into the optical chamber 115b through the air inlet pipe 113 .
  • the air intake means 117 may include a vacuum pump or a suction fan to introduce outside air.
  • the substrate 121 may be provided in the first housing part 111 . Circuits for driving and controlling each component of the removable chamber module 102 may be provided on the substrate 121 . In an exemplary embodiment, the substrate 121 may be electrically connected to the particle counting means 115 and the air intake means 117 .
  • a memory 121a for storing a reference voltage value for each channel for counting particles and usage related information for counting particles may be mounted on the substrate 121 .
  • the removable chamber module 102 may receive the usage-related information of the particle counting device 100 and record it in the memory 121a.
  • the removable chamber module 102 may extract a reference voltage value for each channel from the memory 121a and transmit it to the main body module 104 .
  • the first connector 123 may be provided on one side of the board 121 .
  • the first connector 123 may be electrically connected to the board 121 .
  • the first connector 123 may be provided to protrude from one side of the first housing part 111 .
  • a connector exposure hole 111b may be provided on one side of the first housing part 111 .
  • the first connector 123 may be inserted into the connector exposure hole 111b and protrude to the outside.
  • the removable chamber module 102 may transmit/receive a light scattering signal, a reference voltage value for each channel, and usage-related information to/from the main body module 104 through the first connector 123 .
  • the body module 104 may detect the particle size and the number of particles in the optical chamber 115b based on the light scattering signal received from the removable chamber module 102 .
  • the main body module 104 may display particle detection information including at least one of the detected particle size and the number of particles on the screen.
  • the main body module 104 may display the use-related information received from the removable chamber module 102 on the screen.
  • the main body module 104 may include a second housing unit 131 , a main board 133 , a second connector 135 , and a display unit 137 .
  • the second housing part 131 may constitute an exterior of the main body module 104 .
  • the second housing part 131 may have a hexahedral shape, but the shape is not limited thereto.
  • the second housing part 131 may include a 2-1 housing part 131-1 and a 2-2 housing part 131-2.
  • the 2-1 th housing part 131-1 may be an upper housing, and the 2-2 th housing part 131-2 may be a lower housing.
  • the 2-1 housing part 131-1 and the 2-2 housing part 131-2 may be provided in combination or may be provided integrally.
  • a first accommodating space S1 in which the removable chamber module 102 is accommodated may be provided at one inner side of the second housing part 131 .
  • the second housing unit 131 may be provided with one side open, and the removable chamber module 102 may be inserted into the open side side to be accommodated.
  • a second inlet pipe insertion hole 131c may be provided in the second housing part 131 .
  • the air inlet pipe 113 through the second inlet pipe insertion hole 131c and the first inlet pipe insertion hole 111a. ) can be inserted.
  • a second accommodating space S2 in which the main body module 104 is accommodated may be provided at the other inner side of the second housing part 131 .
  • a partition wall 131a may be provided inside the second housing part 131 , and the first accommodation space S1 and the second accommodation space S2 may be divided through the partition wall 131a.
  • the partition wall 131a may be provided along the width direction of the second housing part 131 inside the second housing part 131 .
  • a connector connection groove 131a-1 may be provided in the partition wall 131a.
  • the main board 133 may be accommodated in the second accommodation space S2 of the second housing unit 131 .
  • the main board 133 may be provided to receive the light scattering signal and the reference voltage value for each channel from the removable chamber module 102 to count the number of particles for each channel.
  • Table 1 is a table showing the channel classification according to the particle size and the reference voltage value for each channel.
  • channel CH1 CH2 CH3 CH4 CH5 CH6 particle size 0.3 ⁇ m 0.5 ⁇ m 1 ⁇ m 5 ⁇ m 10 ⁇ m 20 ⁇ m reference voltage 0.05V 0.2V 2.3V 0.08V 0.6V 1.2V
  • the main board 133 may compare the light scattering signal with a reference voltage value of each channel to count the number of particles having a corresponding size or larger for each channel.
  • 5 is a diagram illustrating a state in which the number of particles is counted by comparing a light scattering signal with a reference voltage value of each channel according to an embodiment of the present invention.
  • channel 1 the number of particles of 0.3 ⁇ m or more is 6, and in the case of channel 2 (CH2), the number of particles of 0.5 ⁇ m or more is one, and channel 3 (CH3) In the case of , it can be seen that the number of particles exceeding 1 ⁇ m is 0.
  • the reference voltage value of each channel needs to be updated according to the state or age of the particle counting means 115 in the removable chamber module 102 .
  • the reference voltage value of each channel is stored in the removable chamber module 102 .
  • the reference voltage value of each channel can also be easily corrected when replacing or repairing parts of the removable chamber module 102.
  • the main board 133 may obtain information related to the use of the particle counting apparatus 100 .
  • the main board 133 may count the usage time of the particle counting device 100 when the particle counting device 100 is operated.
  • the main board 133 may count the accumulated use time of the particle counting apparatus 100 .
  • the main board 133 may measure the operating temperature of the particle counting device 100 through a temperature sensor or the like.
  • the main board 133 may measure the cleanliness used based on the number of particles for each channel.
  • the main board 133 may display the acquired usage-related information on the screen of the display unit 137 .
  • the main board 133 may transmit the obtained use-related information to the removable chamber module 102 to be stored in the memory 121a of the substrate 121 .
  • the main board 133 may generate a maintenance alarm by comparing the acquired usage-related information with preset threshold usage information.
  • the main board 133 may generate a maintenance alarm when the acquired use time exceeds a preset threshold use time.
  • the main board 133 may generate a maintenance alarm when the acquired use temperature exceeds a preset threshold use temperature, or when the accumulated use time at the acquired use temperature exceeds a preset threshold temperature use time.
  • the main board 133 may generate a maintenance alarm when the acquired cleanliness in use is less than a preset critical cleanliness in use, or when the accumulated use time in the acquired cleanliness in use exceeds a preset threshold cleanliness in use time.
  • the particle counting device 100 implements the self-diagnosis function of the particle counting device 100 and maintains convenience by displaying usage-related information on the screen and generating a maintenance alarm by comparing it with preset threshold usage information. increase and reduce maintenance costs.
  • the usage related information of the particle counting device 100 in the memory 121a of the removable chamber module 102, the usage related information stored in the memory 121a when replacing or repairing parts of the removable chamber module 102 can be referred to, and maintenance and calibration can be made accordingly.
  • the main board 133 may have a form in which a plurality of substrates are connected, but is not limited thereto.
  • One or more interfaces 141 for connection with an external device may be provided on the main board 133 .
  • interface exposure holes 131b for exposing the interface 141 to the outside may be provided in the second housing part 131 .
  • the second connector 135 may be provided on one side of the main board 133 .
  • the second connector 135 may be electrically connected to the main board 133 .
  • the second connector 135 may be connected to the first connector 123 in the second housing part 131 . That is, when the removable chamber module 102 is inserted into the first accommodation space S1 and accommodated, the first connector 123 and the second connector 135 may be connected through the connector connection groove 131a-1. have.
  • the display unit 137 may display usage related information of the particle counting apparatus 100 under the control of the main board 133 .
  • the display unit 137 may be provided to display a screen on a partial surface of the second housing unit 131 .
  • FIG. 6 is a block diagram schematically showing the configuration of a particle counting apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • the particle counting apparatus 100 may include a main body module 104 and a detachable chamber module 102 that is detachably accommodated in the second housing part 131 of the main body module 104 . .
  • the removable chamber module 102 When the removable chamber module 102 sucks air through the air intake means 117 , external air is introduced into the optical chamber 115b through the air inlet pipe 113 .
  • the light generator 115a When the light generator 115a generates light into the optical chamber 115b, the light collides with particles in the optical chamber 115b and is scattered, and the scattered light is collected by the reflector 115c. Then, the photodiode 115d receives the scattered light and converts it into an electric signal (ie, a light scattering signal), and the signal amplifier 115e amplifies the light scattering signal.
  • the amplified light scattering signal is transmitted to the main board 133 through the first connector 123 and the second connector 135 .
  • the removable chamber module 102 may extract a reference voltage value for each channel from the memory 121a and transmit it to the main board 133 .
  • the main board 133 may include a signal level comparator and a central processing unit (CPU).
  • the main board 133 may count the number of particles for each channel based on the light scattering signal received from the removable chamber module 102 and the reference voltage value for each channel.
  • the main board 133 may acquire use-related information and display the acquired use-related information on the screen of the display unit 137 .
  • the main board 133 may transmit use-related information to the removable chamber module 102 through the second connector 135 and the first connector 123 to be stored in the memory 121a.
  • the removable chamber module 102 is detachably accommodated inside the main body module 104, and the reference voltage value and particle counting device for each channel in the memory 121a of the removable chamber module 102
  • the reference voltage value and particle counting device for each channel in the memory 121a of the removable chamber module 102
  • the reference voltage value for each channel is stored in the memory 121a of the removable chamber module 102 to be replaced, the reference voltage value of each channel can also be easily corrected when replacing or repairing parts of the removable chamber module 102 do.
  • the self-diagnosis function of the particle counting device 100 is implemented and maintenance convenience is improved. increase and reduce maintenance costs.
  • FIG. 7 is a perspective view illustrating a particle counting device according to another embodiment of the present invention
  • FIG. 8 is an exploded perspective view of the particle counting device according to an embodiment of the present invention.
  • a part different from the embodiment shown in FIGS. 1 to 4 will be mainly described.
  • the removable chamber module 102 may be accommodated by being inserted into an open side of the main body module 104 . At this time, the removable chamber module 102 may be coupled to a funnel-shaped air inlet pipe 113 . In addition, a handle portion (not shown) may be provided in the first housing portion 111 of the removable chamber module 102 to easily insert and withdraw the removable chamber module 102 .
  • FIG. 9 is a perspective view illustrating a particle counting device according to another embodiment of the present invention
  • FIG. 10 is a view showing the inside of a removable chamber module in the particle counting device according to another embodiment of the present invention.
  • a part different from the embodiment shown in FIGS. 1 to 4 will be mainly described.
  • the removable chamber module 102 may be detachably inserted into the body module 104 from an upper portion of the body module 104 .
  • the substrate 121 of the removable chamber module 102 may be mounted on the lower end of the first housing unit 111 , and the first connector 123 may protrude from the lower end of the first housing unit 111 .
  • An accommodating space S in which the removable chamber module 102 is accommodated may be provided at one inner side of the second housing part 131 of the main body module 104 . An upper portion of the storage space S may be opened.
  • a main board 133 may be provided at a lower end of the second housing unit 131 . In an exemplary embodiment, the main board 133 may be mounted on the bottom surface of the second housing unit 131 .
  • a second connector 135 may protrude from the main board 133 . When the removable chamber module 102 is inserted into the receiving space S, the first connector 123 may be connected to the second connector 135 .

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Abstract

파티클 계수 장치가 개시된다. 개시되는 일 실시예에 따른 파티클 계수 장치는, 본체 모듈 및 본체 모듈의 내부로 착탈 가능하게 삽입되는 착탈식 챔버 모듈을 포함하며, 착탈식 챔버 모듈은, 제1 하우징부, 제1 하우징부 내에 마련되고 밀폐된 공간을 제공하는 광학 챔버, 제1 하우징부 내에 마련되고 광학 챔버 내로 광을 발생시키며 광학 챔버 내로 유입된 공기에 포함된 파티클에 의해 산란된 광을 집광하여 광 산란 신호를 발생시키는 파티클 계수 수단, 제1 하우징부 내에 마련되고, 파티클 계수 수단과 전기적으로 연결되는 기판, 기판의 일측에 마련되고, 제1 하우징부의 외측으로 돌출되는 제1 커넥터를 포함하며, 본체 모듈은, 일측이 개방되고 내부에 착탈식 챔버 모듈이 수납되는 수납 공간을 구비하는 제2 하우징부, 제2 하우징부에 마련되는 메인 보드, 및 메인 보드의 일측에 마련되고, 착탈식 챔버 모듈이 제2 하우징부에 수납되는 경우 제1 커넥터와 접속되는 제2 커넥터를 포함한다.

Description

교체식으로 유지 보수가 가능한 파티클 계수 장치
본 발명의 실시예는 파티클 계수 장치와 관련된다.
일반적으로, 클린룸(Clean Room)은 반도체 제조 공정 등이 수행되는 곳으로서, 내부의 청정도에 따라 여러 등급으로 구분될 수 있다. 청정도는 단위 면적당 존재하는 일정 크기의 파티클(Particle)의 개수에 의해 정해지며, 일정 수준의 청정도를 유지하기 위해 수시로 정밀한 측정을 통해 오염 원인을 파악해야 한다. 이에 클린룸에서는 파티클 계수 장치를 이용하여 클린룸 내의 파티클 밀도를 측정한다.
파티클 계수 장치는 반사경을 구비하는 광학 챔버, 클린룸 내부 공기를 광학 챔버로 유입시키는 공기 흡입기 팬, 및 레이저 광을 발생시켜 광학 챔버 내로 유입된 먼지 입자에 충돌시키는 레이저 다이오드 등을 포함하게 된다. 여기서, 레이저 다이오드 및 반사경 등은 소비자의 사용 환경인 사용 시간, 사용 온도, 사용 청정도 등에 따라 성능 변화가 발생하고 수명이 상이하여 파티클 계수 장치의 성능이 저하되게 된다.
즉, 레이저 다이오드는 사용 시간이 증가할수록 광량이 줄어들게 되고 사용 온도가 높을수록 성능이 저하되며 수명이 줄어들게 된다. 그리고, 반사경 도 사용 시간이 증가할수록 반사경의 표면에 이물질이 끼게 되어 성능 저하가 발생하게 된다.
이러한 부품들은 1년 주기로 인증 기관을 통해 검교정을 해야 하고, 이러한 부품들에 고장 등 문제가 발생하는 경우에는 수리 또는 교체 후에 제조사 표준 교정을 해야 한다. 종래의 파티클 계수 장치는 일체형으로 조립되며, 검교정은 1~2주일이 소요되고, 수리 및 검교정은 짧게는 2~3주일, 길게는 4~8주일이 소요되는 바, 하나의 부품에 고장이 발생하여도 소비자 입장에서는 파티클 계수 장치를 사용 못하는 시간 공백이 발생하게 되며, 수리 및 검교정에 따른 비용이 발생하게 되는 문제점이 있다.
본 발명의 실시예는 교체 및 수리가 용이한 파티클 계수 장치를 제공하기 위한 것이다.
개시되는 일 실시예에 따른 파티클 계수 장치는, 본체 모듈; 및 상기 본체 모듈의 내부로 착탈 가능하게 삽입되는 착탈식 챔버 모듈을 포함하며, 상기 착탈식 챔버 모듈은, 채널 별 기준 전압 값을 저장하는 메모리를 포함하고, 광 산란 신호에 따른 파티클 개수의 카운팅을 위해 상기 채널 별 기준 전압 값을 상기 메모리에서 추출하여 상기 본체 모듈로 전송하며, 상기 본체 모듈은, 상기 광 산란 신호 및 상기 채널 별 기준 전압 값을 상기 착탈식 챔버 모듈로부터 수신하고, 수신한 상기 광 산란 신호 및 상기 채널 별 기준 전압 값을 기반으로 채널 별 파티클의 개수를 카운팅 하도록 마련된다.
상기 본체 모듈은, 상기 파티클 계수 장치의 사용 시간, 사용 온도, 및 사용 청정도 중 하나 이상을 포함하는 사용 관련 정보를 획득하고, 상기 본체 모듈은, 상기 사용 관련 정보를 화면에 표시하는 표시부를 더 포함할 수 있다.
상기 본체 모듈은, 상기 파티클 계수 장치가 동작되는 경우 상기 파티클 계수 장치의 사용 시간을 카운팅 하고, 상기 파티클 계수 장치의 누적 사용 시간을 카운팅 하며, 온도 센서를 통해 상기 파티클 계수 장치의 사용 온도를 측정하고, 상기 채널 별 파티클의 카운팅 된 개수를 기반으로 상기 사용 청정도를 측정할 수 있다.
상기 본체 모듈은, 상기 획득한 사용 관련 정보를 기 설정된 임계 사용 정보와 비교하여 유지 보수 알람을 발생시키도록 마련될 수 있다.
상기 본체 모듈은, 상기 획득한 사용 관련 정보를 상기 착탈식 챔버 모듈로 전달하여 상기 메모리에 저장되도록 할 수 있다.
상기 착탈식 챔버 모듈은, 제1 하우징부; 상기 제1 하우징부 내에 마련되고 밀폐된 공간을 제공하는 광학 챔버; 상기 제1 하우징부 내에 마련되고 상기 광학 챔버 내로 광을 발생시키며 상기 광학 챔버 내로 유입된 공기에 포함된 파티클에 의해 산란된 광을 집광하여 광 산란 신호를 발생시키는 파티클 계수 수단; 상기 제1 하우징부 내에 마련되고, 상기 파티클 계수 수단과 전기적으로 연결되고, 상기 메모리가 실장되는 기판; 상기 기판의 일측에 마련되고, 상기 제1 하우징부의 외측으로 돌출되는 제1 커넥터를 포함하며, 상기 본체 모듈은, 일측이 개방되고 내부에 상기 착탈식 챔버 모듈이 수납되는 수납 공간을 구비하는 제2 하우징부; 상기 제2 하우징부에 마련되는 메인 보드; 및 상기 메인 보드의 일측에 마련되고, 상기 착탈식 챔버 모듈이 상기 제2 하우징부에 수납되는 경우 상기 제1 커넥터와 접속되는 제2 커넥터를 포함하고, 상기 착탈식 챔버 모듈은, 상기 광 산란 신호 및 상기 채널 별 기준 전압 값을 상기 제1 커넥터 및 상기 제2 커넥터를 통해 상기 메인 보드로 전달할 수 있다.
상기 본체 모듈은, 상기 제2 하우징부의 내부 일측에 상기 착탈식 챔버 모듈이 수납되는 제1 수납 공간; 상기 제2 하우징부의 내부 타측에 상기 메인 보드가 수납되는 제2 수납 공간; 상기 제2 하우징부의 내부에서 상기 제1 수납 공간과 상기 제2 수납 공간 사이에 마련되고 상기 제1 수납 공간과 상기 제2 수납 공간을 구획하는 격벽; 및 상기 격벽에 형성되는 커넥터 연결홈을 더 포함하고, 상기 착탈식 챔버 모듈은, 상기 제2 하우징부의 일측에서 상기 제1 수납 공간으로 삽입되어 수납되고, 상기 제1 커넥터는 상기 커넥터 연결홈을 통해 상기 제2 커넥터와 접속될 수 있다.
상기 파티클 계수 장치는, 상기 광학 챔버 내부로 공기를 유입시키는 공기 유입관; 상기 제1 하우징부에 마련되는 제1 유입관 삽입홀; 및 상기 제2 하우징부에 마련되는 제2 유입관 삽입홀을 더 포함하며, 상기 공기 유입관은, 상기 착탈식 챔버 모듈이 상기 제1 수납 공간에 수납되는 경우, 상기 제2 유입관 삽입홀 및 상기 제1 유입관 삽입홀에 삽입되어 상기 광학 챔버와 연통될 수 있다.
상기 본체 모듈의 내부 일측에는 상기 착탈식 챔버 모듈이 상부에서 하부로 삽입되어 수납되는 수납 공간이 마련되고, 상기 기판은 상기 제1 하우징부의 하단부에 장착되며, 상기 제1 커넥터가 상기 제1 하우징부의 하단에서 외부로 돌출되어 마련되고, 상기 메인 보드는 상기 제2 하우징부의 바닥면에 장착되며, 상기 제2 커넥터는 상기 메인 보드에서 상기 제1 커넥터와 대응하는 위치에 마련될 수 있다.
개시되는 실시예에 의하면, 착탈식 챔버 모듈을 본체 모듈의 내부에 착탈 가능하게 수납되도록 하고, 착탈식 챔버 모듈의 메모리에 채널 별 기준 전압 값 및 파티클 계수 장치의 사용 관련 정보를 저장함으로써, 검교정이 주기적으로 필요하고 사용 환경에 따라 성능 변화가 발생하는 부품들이 있는 착탈식 챔버 모듈을 용이하게 교체할 수 있고, 착탈식 챔버 모듈만 교체하면 되므로 교체에 따른 시간 공백이 발생하지 않게 된다.
또한, 교체되는 착탈식 챔버 모듈의 메모리에 채널 별 기준 전압 값이 저장됨으로서, 착탈식 챔버 모듈의 부품 교체 또는 수리 시 각 채널의 기준 전압 값도 용이하게 교정할 수 있게 된다.
또한, 파티클 계수 장치의 사용 관련 정보를 화면에 표시하고 기 설정된 임계 사용 정보와 비교하여 유지 보수 알람을 발생시킴으로써, 파티클 계수 장치의 자가 진단 기능을 구현하고 유지 보수의 편의성을 높이고 유지 보수에 따른 비용을 줄일 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 파티클 계수 장치를 나타낸 사시도
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 파티클 계수 장치의 분해 사시도
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 착탈식 챔버 모듈의 분해 사시도
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 본체 모듈의 분해 사시도
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 광 산란 신호와 각 채널의 기준 전압 값을 비교하여 파티클의 개수를 카운팅 하는 상태를 나타낸 도면
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 파티클 계수 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 블록도
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 파티클 계수 장치를 나타낸 사시도
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 파티클 계수 장치의 분해 사시도
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 파티클 계수 장치를 나타낸 사시도
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 파티클 계수 장치에서 착탈식 챔버 모듈의 내부를 나타낸 도면
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시형태를 설명하기로 한다. 이하의 상세한 설명은 본 명세서에서 기술된 방법, 장치 및/또는 시스템에 대한 포괄적인 이해를 돕기 위해 제공된다. 그러나 이는 예시에 불과하며 본 발명은 이에 제한되지 않는다.
본 발명의 실시예들을 설명함에 있어서, 본 발명과 관련된 공지기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. 그리고, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다. 상세한 설명에서 사용되는 용어는 단지 본 발명의 실시예들을 기술하기 위한 것이며, 결코 제한적이어서는 안 된다. 명확하게 달리 사용되지 않는 한, 단수 형태의 표현은 복수 형태의 의미를 포함한다. 본 설명에서, "포함" 또는 "구비"와 같은 표현은 어떤 특성들, 숫자들, 단계들, 동작들, 요소들, 이들의 일부 또는 조합을 가리키기 위한 것이며, 기술된 것 이외에 하나 또는 그 이상의 다른 특성, 숫자, 단계, 동작, 요소, 이들의 일부 또는 조합의 존재 또는 가능성을 배제하도록 해석되어서는 안 된다.
이하의 설명에 있어서, 신호 또는 정보의 "전송", "통신", "송신", "수신" 기타 이와 유사한 의미의 용어는 일 구성요소에서 다른 구성요소로 신호 또는 정보가 직접 전달되는 것뿐만이 아니라 다른 구성요소를 거쳐 전달되는 것도 포함한다. 특히 신호 또는 정보를 일 구성요소로 "전송" 또는 "송신"한다는 것은 그 신호 또는 정보의 최종 목적지를 지시하는 것이고 직접적인 목적지를 의미하는 것이 아니다. 이는 신호 또는 정보의 "수신"에 있어서도 동일하다. 또한 본 명세서에 있어서, 2 이상의 데이터 또는 정보가 "관련"된다는 것은 하나의 데이터(또는 정보)를 획득하면, 그에 기초하여 다른 데이터(또는 정보)의 적어도 일부를 획득할 수 있음을 의미한다.
한편, 상측, 하측, 일측, 타측 등과 같은 방향성 용어는 개시된 도면들의 배향과 관련하여 사용된다. 본 발명의 실시예의 구성 요소는 다양한 배향으로 위치 설정될 수 있으므로, 방향성 용어는 예시를 목적으로 사용되는 것이지 이를 제한하는 것은 아니다.
또한, 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로 사용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 파티클 계수 장치를 나타낸 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 파티클 계수 장치의 분해 사시도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 착탈식 챔버 모듈의 분해 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 본체 모듈의 분해 사시도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 파티클 계수 장치(100)는 착탈식 챔버 모듈(102) 및 본체 모듈(104)을 포함할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 파티클 계수 장치(100)는 클린룸 내에서 파티클의 개수를 측정하는데 사용될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 그 이외의 여러 다양한 실내 및 실외 장소에서 파티클의 개수를 측정할 수 있다.
착탈식 챔버 모듈(102)은 본체 모듈(104)의 내부에 착탈 가능하게 수납될 수 있다. 즉, 착탈식 챔버 모듈(102)은 본체 모듈(104)과는 별도로 구성되며, 본체 모듈(104)의 내부에 착탈 가능하게 수납되고, 본체 모듈(104)과 전기적으로 연결될 수 있다. 예시적인 실시예에서, 착탈식 챔버 모듈(102)은 본체 모듈(104)의 일측에서 본체 모듈(104)의 내부로 수납될 수 있으나, 착탈식 챔버 모듈(102)이 착탈 가능하게 수납되는 구조는 이에 한정되지 않는다.
착탈식 챔버 모듈(102)은 외부의 공기를 내부로 유입시키고, 유입된 공기에 포함된 파티클로 광을 발생하여 파티클과 충돌하도록 하며, 광이 파티클과 충돌하여 발생하는 광 산란을 집광하여 전기 신호(광 산란 신호)를 발생시킬 수 있다. 착탈식 챔버 모듈(102)은 광 산란 신호를 본체 모듈(104)로 전송할 수 있다.
또한, 착탈식 챔버 모듈(102)은 파티클 계수 장치(100)의 사용 관련 정보를 본체 모듈(104)로부터 수신할 수 있다. 여기서, 사용 관련 정보는 착탈식 챔버 모듈(102)의 사용 시간(누적 사용 시간 포함), 사용 온도, 및 사용 청정도 중 하나 이상이 포함될 수 있다. 즉, 착탈식 챔버 모듈(102)은 파티클 계수 장치(100)를 얼마의 시간 동안 사용하였는지, 어느 온도에서 사용하였는지, 그리고 사용 환경에서 공기 청정도(파티클의 개수를 통해 알 수 있음)는 어떠한지 등에 대한 사용 관련 정보를 본체 모듈(104)로부터 수신할 수 있다.
착탈식 챔버 모듈(102)은 제1 하우징부(111), 공기 유입관(113), 파티클 계수 수단(115), 공기 흡입 수단(117), 기판(121), 및 제1 커넥터(123)을 포함할 수 있다.
제1 하우징부(111)는 착탈식 챔버 모듈(102)의 외관을 구성할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 제1 하우징부(111)는 육면체 형상으로 이루어질 수 있으나, 그 형상이 이에 한정되는 것은 아니다. 제1 하우징부(111)는 제1-1 하우징부(111-1) 및 제1-2 하우징부(111-2)를 포함할 수 있다. 제1-1 하우징부(111-1)는 상부 하우징이고, 제1-2 하우징부(111-2)는 하부 하우징일 수 있다. 제1-1 하우징부(111-1) 및 제1-2 하우징부(111-2)는 결합되어 마련될 수도 있고 일체로 마련될 수도 있다. 제1 하우징부(111)에는 제1 유입관 삽입홀(111a)이 마련될 수 있다.
공기 유입관(113)은 제1 하우징부(111)에 착탈 가능하게 결합될 수 있다. 예시적인 실시예에서, 공기 유입관(113)은 제1 유입관 삽입홀(111a)에 삽입되어 제1 하우징부(111)와 결합될 수 있다. 이 경우, 공기 유입관(113)은 파티클 계수 수단(115)의 광학 챔버(115b)와 연통될 수 있다. 공기 유입관(113)은 외부 공기를 제1 하우징부(111) 내부로 유입시키는 통로 역할을 할 수 있다.
파티클 계수 수단(115)은 광학 챔버(115b) 내에서 상기 유입된 공기에 포함된 파티클을 계수하기 위한 광 산란 신호를 발생시킬 수 있다. 예시적인 실시예에서, 파티클 계수 수단(115)은 광학 챔버(115b) 내부로 광을 발생시키는 광 발생부(115a)(예를 들어, 광 발생부는 레이저 다이오드 등을 포함함), 발생된 광이 입자에 충돌하여 발생되는 광 산란을 집광하는 반사경(115c), 집광된 광 산란을 수신하여 전기 신호(광 산란 신호)로 변환하는 포토 다이오드(115d), 및 광 산란 신호를 증폭시키는 신호 증폭기(115e) 등을 포함할 수 있다.
광학 챔버(115b)는 내부에 파티클 계수 수단(115)의 구성들을 수납할 수 있다. 광학 챔버(115b)에는 공기 유입관(113)의 단부가 결합될 수 있다. 광학 챔버(115b)는 파티클 계수 수단(115)이 공기 유입관(113)을 통해 유입된 공기에 포함된 파티클을 계수하도록 하는 밀폐된 공간을 제공할 수 있다.
즉, 파티클 계수 수단(115)은 사용 환경(사용 시간, 사용 온도, 사용 청정도 등)에 따라 성능 변화가 발생하는 부품들(예를 들어, 광 발생부, 반사경 등)을 포함하게 된다. 파티클 계수 수단(115)에 포함된 구성들은 이미 공지된 기술이므로 이에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다.
공기 흡입 수단(117)은 외부 공기를 공기 유입관(113)을 통해 광학 챔버(115b) 내부로 유입시키는 역할을 할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 공기 흡입 수단(117)은 외부 공기를 유입시키기 위해 진공 펌프 또는 흡입 팬 등을 포함할 수 있다.
기판(121)은 제1 하우징부(111) 내에 마련될 수 있다. 기판(121)에는 착탈식 챔버 모듈(102)의 각 구성을 구동 및 제어하기 위한 회로가 마련될 수 있다. 예시적인 실시예에서, 기판(121)은 파티클 계수 수단(115) 및 공기 흡입 수단(117)과 전기적으로 연결될 수 있다.
한편, 기판(121)에는 파티클을 계수하기 위한 채널 별 기준 전압 값 및 사용 관련 정보를 저장하는 메모리(121a)가 실장될 수 있다. 착탈식 챔버 모듈(102)은 파티클 계수 장치(100)의 사용 관련 정보를 수신하여 메모리(121a)에 기록할 수 있다. 착탈식 챔버 모듈(102)은 메모리(121a)에서 채널 별 기준 전압 값을 추출하여 본체 모듈(104)로 전달할 수 있다.
제1 커넥터(123)는 기판(121)의 일측에 마련될 수 있다. 제1 커넥터(123)는 기판(121)과 전기적으로 연결될 수 있다. 제1 커넥터(123)는 제1 하우징부(111)의 일측에 돌출되어 마련될 수 있다. 이를 위해, 제1 하우징부(111)의 일측면에는 커넥터 노출홀(111b)이 마련될 수 있다. 제1 커넥터(123)는 커넥터 노출홀(111b)로 삽입되어 외부로 돌출될 수 있다. 착탈식 챔버 모듈(102)은 광 산란 신호, 채널 별 기준 전압 값, 및 사용 관련 정보 등을 제1 커넥터(123)를 통해 본체 모듈(104)로 송수신할 수 있다.
본체 모듈(104)은 착탈식 챔버 모듈(102)로부터 수신한 광 산란 신호에 기반하여 광학 챔버(115b) 내의 입자 크기 및 입자 개수를 검출할 수 있다. 본체 모듈(104)은 검출한 입자 크기 및 입자 개수 중 하나 이상을 포함하는 입자 검출 정보를 화면에 표시할 수 있다. 또한, 본체 모듈(104)은 착탈식 챔버 모듈(102)로부터 수신한 사용 관련 정보를 화면에 표시할 수 있다. 본체 모듈(104)은 제2 하우징부(131), 메인 보드(133), 제2 커넥터(135), 및 표시부(137)를 포함할 수 있다.
제2 하우징부(131)는 본체 모듈(104)의 외관을 구성할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 제2 하우징부(131)는 육면체 형상으로 이루어질 수 있으나, 그 형상이 이에 한정되는 것은 아니다. 제2 하우징부(131)는 제2-1 하우징부(131-1) 및 제2-2 하우징부(131-2)를 포함할 수 있다. 제2-1 하우징부(131-1)는 상부 하우징이고, 제2-2 하우징부(131-2)는 하부 하우징일 수 있다. 제2-1 하우징부(131-1) 및 제2-2 하우징부(131-2)는 결합되어 마련될 수도 있고 일체로 마련될 수도 있다.
제2 하우징부(131)의 내부 일측에는 착탈식 챔버 모듈(102)이 수납되는 제1 수납 공간(S1)이 마련될 수 있다. 제2 하우징부(131)는 일측면이 개방되어 마련될 수 있으며, 개방된 일측면으로 착탈식 챔버 모듈(102)이 삽입되어 수납될 수 있다.
또한, 제2 하우징부(131)에는 제2 유입관 삽입홀(131c)이 마련될 수 있다. 이 경우, 착탈식 챔버 모듈(102)을 제1 수납 공간(S1)으로 삽입하여 수납한 후, 제2 유입관 삽입홀(131c) 및 제1 유입관 삽입홀(111a)을 통해 공기 유입관(113)을 삽입하여 결합시킬 수 있다.
제2 하우징부(131)의 내부 타측에는 본체 모듈(104)이 수납되는 제2 수납 공간(S2)이 마련될 수 있다. 제2 하우징부(131)의 내부에는 격벽(131a)이 마련될 수 있으며, 격벽(131a)을 통해 제1 수납 공간(S1)과 제2 수납 공간(S2)이 구분될 수 있다. 격벽(131a)은 제2 하우징부(131) 내부에서 제2 하우징부(131)의 폭 방향을 따라 마련될 수 있다. 격벽(131a)에는 커넥터 연결홈(131a-1)이 마련될 수 있다.
메인 보드(133)는 제2 하우징부(131)의 제2 수납 공간(S2)에 수납될 수 있다. 메인 보드(133)는 착탈식 챔버 모듈(102)로부터 광 산란 신호 및 채널 별 기준 전압 값을 수신하여 채널 별 파티클의 개수를 카운팅 하도록 마련될 수 있다.
표 1은 파티클의 크기에 따른 채널 분류 및 각 채널 별 기준 전압 값을 나타낸 표이다.
채널 CH1 CH2 CH3 CH4 CH5 CH6
파티클 크기 0.3㎛ 0.5㎛ 1㎛ 5㎛ 10㎛ 20㎛
기준 전압 0.05V 0.2V 2.3V 0.08V 0.6V 1.2V
메인 보드(133)는 광 산란 신호를 각 채널의 기준 전압 값과 비교하여 채널 별로 해당 크기 이상이 되는 파티클의 개수를 카운팅 할 수 있다. 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 광 산란 신호와 각 채널의 기준 전압 값을 비교하여 파티클의 개수를 카운팅 하는 상태를 나타낸 도면이다.
도 5를 참조하면, 채널 1(CH1)의 경우 0.3㎛ 이상이 되는 파티클의 개수가 6개이고, 채널 2(CH2)의 경우 0.5㎛ 이상이 되는 파티클의 개수는 1개이며, 채널 3(CH3)의 경우 1㎛ 이상이 되는 파티클의 개수는 0개인 것을 확인할 수 있다.
여기서, 각 채널의 기준 전압 값은 착탈식 챔버 모듈(102)에서 파티클 계수 수단(115)의 상태 또는 노후도에 따라 갱신하여야 하므로, 각 채널의 기준 전압 값을 착탈식 챔버 모듈(102)에 수납되는 기판(121)의 메모리에 저장함으로써, 착탈식 챔버 모듈(102)의 부품 교체 또는 수리 시 각 채널의 기준 전압 값도 용이하게 교정할 수 있게 된다.
또한, 메인 보드(133)는 파티클 계수 장치(100)의 사용 관련 정보를 획득할 수 있다. 메인 보드(133)는 파티클 계수 장치(100)가 동작되는 경우 파티클 계수 장치(100)의 사용 시간을 카운팅 할 수 있다. 메인 보드(133)는 파티클 계수 장치(100)의 누적 사용 시간을 카운팅 할 수 있다. 메인 보드(133)는 온도 센서 등을 통해 파티클 계수 장치(100)의 사용 온도를 측정할 수 있다. 메인 보드(133)는 각 채널 별 파티클 개수를 기반으로 사용 청정도를 측정할 수 있다.
메인 보드(133)는 획득한 사용 관련 정보를 표시부(137)의 화면에 표시할 수 있다. 메인 보드(133)는 획득한 사용 관련 정보를 착탈식 챔버 모듈(102)로 전달하여 기판(121)의 메모리(121a)에 저장하도록 할 수 있다. 메인 보드(133)는 획득한 사용 관련 정보를 기 설정된 임계 사용 정보와 비교하여 유지 보수 알람을 발생시킬 수 있다.
메인 보드(133)는 획득한 사용 시간이 기 설정된 임계 사용 시간을 초과하는 경우 유지 보수 알람을 발생시킬 수 있다. 메인 보드(133)는 획득한 사용 온도가 기 설정된 임계 사용 온도를 초과하거나 획득한 사용 온도에서의 누적 사용 시간이 기 설정된 임계 온도 사용 시간을 초과하는 경우 유지 보수 알람을 발생시킬 수 있다. 메인 보드(133)는 획득한 사용 청정도가 기 설정된 임계 사용 청정도 미만이거나 획득한 사용 청정도에서의 누적 사용 시간이 기 설정된 임계 청정도 사용 시간을 초과하는 경우 유지 보수 알람을 발생시킬 수 있다.
이와 같이, 파티클 계수 장치(100)는 사용 관련 정보를 화면에 표시하고 기 설정된 임계 사용 정보와 비교하여 유지 보수 알람을 발생시킴으로써, 파티클 계수 장치(100)의 자가 진단 기능을 구현하고 유지 보수의 편의성을 높이고 유지 보수에 따른 비용을 줄일 수 있게 된다.
또한, 파티클 계수 장치(100)의 사용 관련 정보를 착탈식 챔버 모듈(102)의 메모리(121a)에 저장함으로써, 착탈식 챔버 모듈(102)의 부품 교체 또는 수리 시에 메모리(121a)에 저장된 사용 관련 정보를 참고할 수 있어 그에 맞는 유지 보수 및 교정이 이루어지게 된다.
예시적인 실시예에서, 메인 보드(133)는 복수 개의 기판이 연결된 형태일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 메인 보드(133)에는 외부 기기와 연결을 위한 하나 이상의 인터페이스(141)가 마련될 수 있다. 또한, 제2 하우징부(131)에는 인터페이스(141)를 외부로 노출시키기 위한 인터페이스 노출홀(131b)들이 마련될 수 있다.
제2 커넥터(135)는 메인 보드(133)의 일측에 마련될 수 있다. 제2 커넥터(135)는 메인 보드(133)와 전기적으로 연결될 수 있다. 제2 커넥터(135)는 제2 하우징부(131) 내에서 제1 커넥터(123)와 접속될 수 있다. 즉, 착탈식 챔버 모듈(102)이 제1 수납 공간(S1)으로 삽입되어 수납되는 경우, 커넥터 연결홈(131a-1)을 통해 제1 커넥터(123)와 제2 커넥터(135)가 접속될 수 있다.
표시부(137)는 메인 보드(133)의 제어에 따라 파티클 계수 장치(100)의 사용 관련 정보를 표시할 수 있다. 표시부(137)는 제2 하우징부(131)의 일부 표면에서 화면을 표시하도록 마련될 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 파티클 계수 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 블록도이다.
도 6을 참조하면, 파티클 계수 장치(100)는 본체 모듈(104) 및 본체 모듈(104)의 제2 하우징부(131) 내부에 착탈 가능하게 수납되는 착탈식 챔버 모듈(102)을 포함할 수 있다.
착탈식 챔버 모듈(102)에서 공기 흡입 수단(117)을 통해 공기를 흡입하면 외부의 공기는 공기 유입관(113)을 통해 광학 챔버(115b) 내부로 유입되게 된다. 여기서, 광 발생부(115a)가 광학 챔버(115b) 내부로 광을 발생시키면, 광은 광학 챔버(115b) 내에서 파티클에 충돌하여 산란되며, 산란된 광을 반사경(115c)이 집광하게 된다. 그리고, 포토 다이오드(115d)가 산란된 광을 수신하여 전기 신호(즉, 광 산란 신호)로 변환하고, 신호 증폭기(115e)가 광 산란 신호를 증폭하게 된다.
증폭된 광 산란 신호는 제1 커넥터(123) 및 제2 커넥터(135)를 통해 메인 보드(133)로 전달된다. 이때, 착탈식 챔버 모듈(102)은 메모리(121a)에서 채널 별 기준 전압 값을 추출하여 메인 보드(133)로 전달할 수 있다.
메인 보드(133)는 신호 레벨 비교기 및 중앙 처리 장치(CPU)를 포함할 수 있다. 메인 보드(133)는 착탈식 챔버 모듈(102)로부터 수신한 광 산란 신호 및 채널 별 기준 전압 값을 기반으로 채널 별 파티클의 개수를 카운팅 할 수 있다. 메인 보드(133)는 사용 관련 정보를 획득하고, 획득한 사용 관련 정보를 표시부(137)의 화면에 표시할 수 있다. 또한, 메인 보드(133)는 사용 관련 정보를 제2 커넥터(135) 및 제1 커넥터(123)를 통해 착탈식 챔버 모듈(102)로 전달하여 메모리(121a)에 저장하도록 할 수 있다.
개시되는 실시예에 의하면, 착탈식 챔버 모듈(102)을 본체 모듈(104)의 내부에 착탈 가능하게 수납되도록 하고, 착탈식 챔버 모듈(102)의 메모리(121a)에 채널 별 기준 전압 값 및 파티클 계수 장치(100)의 사용 관련 정보를 저장함으로써, 검교정이 주기적으로 필요하고 사용 환경에 따라 성능 변화가 발생하는 부품들이 있는 착탈식 챔버 모듈(102)을 용이하게 교체할 수 있고, 착탈식 챔버 모듈(102)만 교체하면 되므로 교체에 따른 시간 공백이 발생하지 않게 된다.
또한, 교체되는 착탈식 챔버 모듈(102)의 메모리(121a)에 채널 별 기준 전압 값이 저장됨으로서, 착탈식 챔버 모듈(102)의 부품 교체 또는 수리 시 각 채널의 기준 전압 값도 용이하게 교정할 수 있게 된다.
또한, 파티클 계수 장치(100)의 사용 관련 정보를 화면에 표시하고 기 설정된 임계 사용 정보와 비교하여 유지 보수 알람을 발생시킴으로써, 파티클 계수 장치(100)의 자가 진단 기능을 구현하고 유지 보수의 편의성을 높이고 유지 보수에 따른 비용을 줄일 수 있게 된다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 파티클 계수 장치를 나타낸 사시도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 파티클 계수 장치의 분해 사시도이다. 여기서는, 도 1 내지 도 4에 도시된 실시예와 차이가 나는 부분을 중점적으로 설명하기로 한다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 착탈식 챔버 모듈(102)은 본체 모듈(104)의 개방된 일측으로 삽입되어 수납될 수 있다. 이때, 착탈식 챔버 모듈(102)에는 깔대기 형상의 공기 유입관(113)이 결합될 수 있다. 또한, 착탈식 챔버 모듈(102)의 제1 하우징부(111)에는 착탈식 챔버 모듈(102)을 용이하게 인입 및 인출하도록 하기 위해 손잡이부(미도시)가 마련될 수 있다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 파티클 계수 장치를 나타낸 사시도이고, 도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 파티클 계수 장치에서 착탈식 챔버 모듈의 내부를 나타낸 도면이다. 여기서는, 도 1 내지 도 4에 도시된 실시예와 차이가 나는 부분을 중점적으로 설명하기로 한다.
도 9 및 도 10을 참조하면, 착탈식 챔버 모듈(102)은 본체 모듈(104)의 상부에서 본체 모듈(104)의 내부로 착탈 가능하게 삽입될 수 있다. 착탈식 챔버 모듈(102)의 기판(121)은 제1 하우징부(111)의 하단부에 장착되고, 제1 커넥터(123)가 제1 하우징부(111)의 하단에서 돌출되어 마련될 수 있다.
본체 모듈(104)의 제2 하우징부(131)의 내부 일측에는 착탈식 챔버 모듈(102)이 수납되는 수납 공간(S)이 마련될 수 있다. 수납 공간(S)의 상부는 개방되어 마련될 수 있다. 제2 하우징부(131)의 하단에는 메인 보드(133)가 마련될 수 있다. 예시적인 실시예에서, 메인 보드(133)는 제2 하우징부(131)의 바닥면에 장착될 수 있다. 메인 보드(133)에는 제2 커넥터(135)가 돌출되어 마련될 수 있다. 착탈식 챔버 모듈(102)이 수납 공간(S)으로 삽입되는 경우, 제1 커넥터(123)가 제2 커넥터(135)와 접속될 수 있다.
이상에서 본 발명의 대표적인 실시예들을 상세하게 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 상술한 실시예에 대하여 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변형이 가능함을 이해할 것이다. 그러므로 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

Claims (9)

  1. 본체 모듈; 및
    상기 본체 모듈의 내부로 착탈 가능하게 삽입되는 착탈식 챔버 모듈을 포함하며,
    상기 착탈식 챔버 모듈은, 채널 별 기준 전압 값을 저장하는 메모리를 포함하고, 광 산란 신호에 따른 파티클 개수의 카운팅을 위해 상기 채널 별 기준 전압 값을 상기 메모리에서 추출하여 상기 본체 모듈로 전송하며,
    상기 본체 모듈은, 상기 광 산란 신호 및 상기 채널 별 기준 전압 값을 상기 착탈식 챔버 모듈로부터 수신하고, 수신한 상기 광 산란 신호 및 상기 채널 별 기준 전압 값을 기반으로 채널 별 파티클의 개수를 카운팅 하도록 마련되는, 파티클 계수 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 본체 모듈은, 상기 파티클 계수 장치의 사용 시간, 사용 온도, 및 사용 청정도 중 하나 이상을 포함하는 사용 관련 정보를 획득하고,
    상기 본체 모듈은,
    상기 사용 관련 정보를 화면에 표시하는 표시부를 포함하는, 파티클 계수 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 본체 모듈은,
    상기 파티클 계수 장치가 동작되는 경우 상기 파티클 계수 장치의 사용 시간을 카운팅 하고, 상기 파티클 계수 장치의 누적 사용 시간을 카운팅 하며,
    온도 센서를 통해 상기 파티클 계수 장치의 사용 온도를 측정하고,
    상기 채널 별 파티클의 카운팅 된 개수를 기반으로 상기 사용 청정도를 측정하는, 파티클 계수 장치.
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 본체 모듈은,
    상기 획득한 사용 관련 정보를 기 설정된 임계 사용 정보와 비교하여 유지 보수 알람을 발생시키도록 마련되는, 파티클 계수 장치.
  5. 청구항 3에 있어서,
    상기 본체 모듈은,
    상기 획득한 사용 관련 정보를 상기 착탈식 챔버 모듈로 전달하여 상기 메모리에 저장되도록 하는, 파티클 계수 장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 착탈식 챔버 모듈은,
    제1 하우징부;
    상기 제1 하우징부 내에 마련되고 밀폐된 공간을 제공하는 광학 챔버;
    상기 제1 하우징부 내에 마련되고 상기 광학 챔버 내로 광을 발생시키며 상기 광학 챔버 내로 유입된 공기에 포함된 파티클에 의해 산란된 광을 집광하여 광 산란 신호를 발생시키는 파티클 계수 수단;
    상기 제1 하우징부 내에 마련되고, 상기 파티클 계수 수단과 전기적으로 연결되고, 상기 메모리가 실장되는 기판;
    상기 기판의 일측에 마련되고, 상기 제1 하우징부의 외측으로 돌출되는 제1 커넥터를 포함하며,
    상기 본체 모듈은,
    일측이 개방되고 내부에 상기 착탈식 챔버 모듈이 수납되는 수납 공간을 구비하는 제2 하우징부;
    상기 제2 하우징부에 마련되는 메인 보드; 및
    상기 메인 보드의 일측에 마련되고, 상기 착탈식 챔버 모듈이 상기 제2 하우징부에 수납되는 경우 상기 제1 커넥터와 접속되는 제2 커넥터를 포함하고,
    상기 착탈식 챔버 모듈은, 상기 광 산란 신호 및 상기 채널 별 기준 전압 값을 상기 제1 커넥터 및 상기 제2 커넥터를 통해 상기 메인 보드로 전달하는, 파티클 계수 장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 본체 모듈은,
    상기 제2 하우징부의 내부 일측에 상기 착탈식 챔버 모듈이 수납되는 제1 수납 공간;
    상기 제2 하우징부의 내부 타측에 상기 메인 보드가 수납되는 제2 수납 공간;
    상기 제2 하우징부의 내부에서 상기 제1 수납 공간과 상기 제2 수납 공간 사이에 마련되고 상기 제1 수납 공간과 상기 제2 수납 공간을 구획하는 격벽; 및
    상기 격벽에 형성되는 커넥터 연결홈을 더 포함하고,
    상기 착탈식 챔버 모듈은,
    상기 제2 하우징부의 일측에서 상기 제1 수납 공간으로 삽입되어 수납되고, 상기 제1 커넥터는 상기 커넥터 연결홈을 통해 상기 제2 커넥터와 접속되는, 파티클 계수 장치.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 파티클 계수 장치는,
    상기 광학 챔버 내부로 공기를 유입시키는 공기 유입관;
    상기 제1 하우징부에 마련되는 제1 유입관 삽입홀; 및
    상기 제2 하우징부에 마련되는 제2 유입관 삽입홀을 더 포함하며,
    상기 공기 유입관은, 상기 착탈식 챔버 모듈이 상기 제1 수납 공간에 수납되는 경우, 상기 제2 유입관 삽입홀 및 상기 제1 유입관 삽입홀에 삽입되어 상기 광학 챔버와 연통되는, 파티클 계수 장치.
  9. 청구항 6에 있어서,
    상기 본체 모듈의 내부 일측에는 상기 착탈식 챔버 모듈이 상부에서 하부로 삽입되어 수납되는 수납 공간이 마련되고,
    상기 기판은 상기 제1 하우징부의 하단부에 장착되며, 상기 제1 커넥터가 상기 제1 하우징부의 하단에서 외부로 돌출되어 마련되고,
    상기 메인 보드는 상기 제2 하우징부의 바닥면에 장착되며, 상기 제2 커넥터는 상기 메인 보드에서 상기 제1 커넥터와 대응하는 위치에 마련되는, 파티클 계수 장치.
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101030329B1 (ko) * 2008-10-14 2011-04-20 (주)에이치시티 입자 측정 유니트
KR20160122350A (ko) * 2015-04-13 2016-10-24 엘에스산전 주식회사 Ｐｌｃ 시스템의 이물질 감지 장치
KR20170086248A (ko) * 2016-01-18 2017-07-26 코웨이 주식회사 이동형 공기질 측정 장치
KR101960522B1 (ko) * 2017-09-19 2019-03-20 허니웰 인터내셔널 인코포레이티드 가스 감지 장치
JP2019184317A (ja) * 2018-04-04 2019-10-24 日本特殊陶業株式会社 微粒子検知装置

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100568447B1 (ko) * 2003-11-19 2006-04-07 삼성전자주식회사 에어 파티클 측정장치
KR101196055B1 (ko) * 2010-06-30 2012-11-01 국민대학교산학협력단 유동 포커싱을 위한 모듈형 챔버
JP5859154B1 (ja) 2015-03-06 2016-02-10 リオン株式会社 パーティクルカウンタ

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101030329B1 (ko) * 2008-10-14 2011-04-20 (주)에이치시티 입자 측정 유니트
KR20160122350A (ko) * 2015-04-13 2016-10-24 엘에스산전 주식회사 Ｐｌｃ 시스템의 이물질 감지 장치
KR20170086248A (ko) * 2016-01-18 2017-07-26 코웨이 주식회사 이동형 공기질 측정 장치
KR101960522B1 (ko) * 2017-09-19 2019-03-20 허니웰 인터내셔널 인코포레이티드 가스 감지 장치
JP2019184317A (ja) * 2018-04-04 2019-10-24 日本特殊陶業株式会社 微粒子検知装置

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