KR101958977B1

KR101958977B1 - 필름을 기판에 라미네이팅하는 장치 및 그 방법

Info

Publication number: KR101958977B1
Application number: KR1020170048630A
Authority: KR
Inventors: 김두철
Original assignee: 에이엠티 주식회사
Priority date: 2017-04-14
Filing date: 2017-04-14
Publication date: 2019-07-05
Also published as: KR20180116510A

Abstract

본 발명은 반도체 소자를 생산하는 공정에서 플랙시블한 기판의 일면에 강도를 보강할 목적으로 필름을 접착시키는 필름을 기판에 라미네이팅(liminating)하는 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 챔버의 내부에 박판의 필름과 기판을 소정의 간격이 유지되게 로딩하여 챔버의 내부를 진공상태로 유지함에 따라 별도의 구동원이 없이도 가압로울러가 기판을 필름 측으로 순차적으로 가압하여 라미네이팅이 자동으로 이루어지도록 한 것이다.
이를 위해, 본 발명은 본체(11)와 개폐 가능한 덮개(12)로 이루어진 챔버(10)와, 상기 챔버(10)의 내부에 설치되어 박판의 필름(20)이 로딩되는 플레이트(30)와, 상기 플레이트(30)의 양측에 소정의 간격이 유지됨과 동시에 회동 가능하게 스프링(31)으로 탄력 설치되어 기판(21)이 필름(20)과 이격된 상태로 얹혀지는 복수 개의 스토퍼(40)와, 상기 스토퍼(40)의 일 측에 설치되어 스토퍼(40)가 하강된 상태를 유지하는 래치수단과, 상기 플레이트(30)의 상면에 위치되게 설치되어 챔버(10)의 내부에 진공이 걸림에 따라 플레이트(30)의 상면을 따라 이동하는 로울러블럭(50)과, 상기 로울러블럭(50)에 축(53)을 중심으로 회전 가능하게 설치되어 스토퍼(40)에 얹혀진 기판(21)을 순차적으로 필름(20) 측에 가압하여 라미네이팅되도록 하는 가압로울러(51)와, 상기 로울러블럭(50)에 설치되어 로울러블럭(50)이 이동함에 따라 스토퍼(40)를 차례로 눌러 기판(21)이 필름(21)에 접속되도록 하는 스토퍼 가동부재(52)와, 상기 챔버(10)의 본체(11) 내부와 통하여지게 설치되어 챔버(10)의 내부에 진공압이 걸리도록 하는 진공발생기(60)로 구성된 것을 특징으로 한다.

Description

필름을 기판에 라미네이팅하는 장치 및 그 방법{Apparatus and method for laminating a film to a substrate}

본 발명은 반도체 소자를 생산하는 공정에서 플랙시블한 기판의 일면에 강도를 보강할 목적으로 필름을 접착시키는 필름을 기판에 라미네이팅(liminating)하는 장치 및 그 방법에 관한 것으로써, 좀더 구체적으로는 챔버의 내부에 박판의 필름과 기판을 소정의 간격이 유지되게 로딩하여 챔버의 내부를 진공상태로 유지함에 따라 별도의 구동원이 없이도 가압로울러가 기판을 필름 측으로 순차적으로 가압하여 라미네이팅이 자동으로 이루어지도록 하는 필름을 기판에 라미네이팅하는 장치 및 그 방법에 관한 것이다.

최근 전자부품업계의 발전과 더불어 PCB 제품의 소형화 및 고집적화가 진행되고 있으며 반복적인 굽힘에도 유연하고 높은 내구성을 갖는 플랙시블한 기판(FPCB, 스트립, 서브 스트레이트 등)의 사용이 증가하는 추세이다.

그러나 플랙시블한 기판의 두께가 너무 얇으면 공정 간에 기판을 평탄한 상태로 유지하는 데 한계가 있어 기판에 패턴을 형성하거나, 반도체 소자를 실장하는 작업에 많은 어려움이 수반되므로 설정된 두께 이상으로 유지하고 있어 기판의 생산원가를 절감하는 데 한계가 있다.

또한, 플랙시블한 기판을 공정 간 운반하거나, 이송시키면서 작업을 실시할 때 기판의 배면이 오염되면 불량 요인으로 작용되므로 기판의 배면에 박판의 필름을 라미네이팅하여 플랙시블한 기판의 강도를 보강할 필요성이 대두되고 있다.

그러나 현재까지 알려진 필름의 라미네이팅 방법으로는, 기판을 평탄한 플레이트에 로딩(loading)한 상태에서 일면에 접착제가 도포된 0.05mm 두께를 갖는 박판의 필름을 위치시킨 다음 가압로울러를 이용하여 필름을 접착하고 있는 실정이다.

(선행기술문헌)

(특허문헌 0001) 대한민국 공개특허공보 10-2011-0013103(2011.02.09.공개)

그러나 이러한 종래의 필름 라이네이팅 방법은, 플랙시블한 기판을 플레이트에 로딩하고 그 상부에서 일면에 접착제가 도포된 박판의 필름을 위치시켜 가압로울러로 필름을 기판에 라미네이팅함에 따라 기판에 필름을 라미네이팅하는 과정에서 이들의 접착면에 기포가 발생되는 문제점이 발생되었음은 물론이고 박판의 필름의 평탄도를 정확하게 유지하는 데 한계가 있어 박판의 필름에 주름이 발생되는 문제점이 발생되었다.

이에 따라, 플랙시블한 기판에 박판의 필름을 자동으로 라미네이팅하는 장비가 개발되지 못하고 있는 실정이다.

본 발명은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로써, 진공압이 작용되는 챔버의 내부에 플레이트를 설치하여 그 상면에 접착제가 도포된 박판의 필름을 로딩하고 그 상부로는 필름과 소정의 간격이 유지되게 기판을 위치시켜 가압로울러가 이동하면서 기판을 필름에 순차적으로 가압하여 라미네이팅이 이루어질 수 있도록 하는 장치 및 방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.

본 발명의 다른 목적은 챔버에 실린더와 같은 별도의 구동원을 설치하지 않고도 챔버의 내부를 진공상태로 함에 따라 가압로울러가 자동으로 이동하면서 기판을 필름에 순차적으로 가압하여 라미네이팅이 이루어질 수 있도록 하는 데 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면, 본체와 개폐 가능한 덮개로 이루어진 챔버와, 상기 챔버의 내부에 설치되어 박판의 필름이 로딩되는 플레이트와, 상기 플레이트의 양측에 소정의 간격이 유지됨과 동시에 회동 가능하게 스프링으로 탄력 설치되어 기판이 필름과 이격된 상태로 얹혀지는 복수 개의 스토퍼와, 상기 스토퍼의 일 측에 설치되어 스토퍼가 하강된 상태를 유지하는 래치수단과, 상기 플레이트의 상면에 위치되게 설치되어 챔버의 내부에 진공이 걸림에 따라 플레이트의 상면을 따라 이동하는 로울러블럭과, 상기 로울러블럭에 축을 중심으로 회전 가능하게 설치되어 스토퍼에 얹혀진 기판을 순차적으로 필름 측에 가압하여 라미네이팅되도록 하는 가압로울러와, 상기 로울러블럭에 설치되어 로울러블럭이 이동함에 따라 스토퍼를 차례로 눌러 기판이 필름에 접속되도록 하는 스토퍼 가동부재와, 상기 챔버의 본체 내부와 통하여지게 설치되어 챔버의 내부에 진공압이 걸리도록 하는 진공발생기로 구성된 것을 특징으로 하는 필름을 기판에 라미네이팅하는 장치가 제공된다.

본 발명의 다른 형태에 따르면, 챔버의 본체로부터 덮개가 개방된 상태에서 플레이트의 상면에 박판의 필름을 로딩하는 단계와, 상기 플레이트에 로딩된 박판의 필름 상부에 소정의 간격으로 이격된 상태를 유지하도록 기판을 복수 개의 스토퍼 상면에 얹어 놓는 단계와, 상기 본체에 덮개를 덮어 챔버의 내부를 밀폐시키는 단계와, 상기 챔버의 내부를 진공상태로 유지하면서 로울러블럭의 이동으로 스토퍼를 순차적으로 하강시켜 스토퍼가 하강된 상태를 유지함과 동시에 가압로울러가 기판의 일단을 필름과 접촉시키는 단계와, 상기 가압로울러가 기판의 일단을 필름과 접촉시킨 상태에서 로울러블럭이 계속해서 이동하여 기판을 필름과 완전히 라미네이팅하는 단계와, 상기 챔버 내부의 진공압을 해제시킴과 동시에 로울러블럭이 초기상태로 복귀하면서 스토퍼의 걸림상태를 해제하는 단계와, 상기 챔버의 본체로부터 덮개를 개방하고 플레이트에서 필름이 라미네이팅된 기판을 언로딩하는 단계가 순차적으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 필름을 기판에 라미네이팅하는 방법이 제공된다.

본 발명은 종래에 비하여 다음과 같은 여러 가지 장점을 갖는다.

첫째, 박판의 필름을 플레이트의 상면에 로딩한 상태에서 필름의 상부에 소정의 간격이 유지되게 기판을 위치시켜 진공상태에서 기판을 순차적으로 가압하여 기판에 필름이 라미네이팅되도록 함으로써, 박판의 필름에 기포가 발생되거나, 주름이 발생되는 현상을 근본적으로 해소할 수 있게 된다.

둘째, 가압로울러가 설치된 로울러블럭을 별도의 구동원 없이 챔버의 내부를 진공상태로 유지시킬 때 걸리는 진공압에 의해 이동시킬 수 있게 되므로 장비의 생산원가를 대폭 절감하게 됨은 물론이고 장비의 운용에 따른 비용을 절감할 수 있게 된다.

셋째, 장비의 자동화로 인해 기판에 필름을 접착하는 가공에 따른 생산원가를 대폭 절감할 수 있게 됨은 물론이고 불량률을 줄일 수 있게 된다.

도 1은 본 발명의 구성을 나타낸 분해 사시도
도 2는 도 1의 일부를 조립하여 나타낸 분해 사시도
도 3은 본 발명에서 덮개를 분리한 상태의 평면도
도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 작용상태를 설명하기 위한 종단면도로써,
도 4a는 초기 상태도
도 4b는 로울러블럭의 이동으로 선단의 스토퍼가 하강함과 동시에 기판이 필름에 닿기 시작하는 상태도
도 4c는 가압로울러에 의해 기판이 필름에 완전히 접촉된 상태도
도 5는 본 발명의 방법을 설명하기 위한 플로우 챠트

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면들은 개략적이고 축적에 맞게 도시되지 않았다는 것을 일러둔다. 도면에 있는 부분들의 상대적인 치수 및 비율은 도면에서의 명확성 및 편의를 위해 그 크기에 있어 과장되거나 감소되어 도시되었으며 임의의 치수는 단지 예시적인 것이지 한정적인 것은 아니다. 그리고 둘 이상의 도면에 나타나는 동일한 구조물, 요소 또는 부품에는 동일한 참조 부호가 유사한 특징을 나타내기 위해 사용된다.

도 1은 본 발명의 구성을 나타낸 분해 사시도이고 도 3은 본 발명에서 덮개를 분리한 상태의 평면도이며 도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 작용상태를 설명하기 위한 종단면도로써, 본 발명은 진공이 형성되는 챔버(10), 박판의 필름(20)이 로딩되는 플레이트(30), 필름(20)과 이격되게 기판(21)이 얹혀지는 복수 개의 스토퍼(40), 스토퍼(40)의 하강된 상태를 유지하는 래치수단, 플레이트(30)의 상면을 왕복 운동하는 로울러블럭(50), 기판(21)을 필름(20)에 밀착시키는 가압로울러(51), 필름과 이격되게 스토퍼(40)에 얹혀진 기판(21)을 필름(20)에 접속되도록 하는 스토퍼 가동부재(52), 로울러블럭 구동수단, 챔버(10)의 내부를 진공상태로 하는 진공발생기(60) 등으로 구성되어 있다.

상기 챔버(10)는 도 1 및 도 2와 같이 본체(11)와 개폐 가능한 덮개(12)로 이루어져 있고 상기 본체(11)의 상면에는 덮개(12)가 챔버(10)의 내부를 밀폐시켰을 때 기밀이 유지되도록 패킹(도시는 생략함)이 끼워지는 패킹 홈(11a)이 형성되어 있으며 상기 덮개(12)의 일 측면에는 진공발생기(60)와 연결된 호스(13)가 연결되는 어댑터(14)가 설치되어 있다.

상기 챔버(10)의 내부에 설치되어 박판의 필름(20)이 로딩되는 플레이트(30)의 양측에 소정의 간격이 유지되게 설치되는 복수 개의 스토퍼(40)는 도 1 및 도 3에 나타낸 바와 같이 일단이 플레이트(30)에 축(41)을 중심으로 회동 가능하게 스프링(31)으로 탄력 설치되어 있고 상면에는 기판(21)의 접착면이 접속되는 돌기(42)가 형성되어 있으며 축(41)의 타단에는 상기 스토퍼 가동부재(52)에 의해 스토퍼(40)가 눌리도록 하는 베어링(43)이 설치되어 있다.

상기 스토퍼(40)가 스토퍼 가동부재(52)에 의해 눌려 하강된 상태를 유지하는 래치수단이 본 발명의 일 실시예에서는 도 4a와 같이 각 스토퍼(40)의 일 측에 위치하는 플레이트(30)에 걸림턱(44a)을 갖는 래치(44)가 축(45)을 중심으로 회동 가능하게 설치되어 있는데, 상기 래치(44)는 플레이트(30)와 래치(44)의 사이에 탄력 설치된 탄성부재(46)에 의해 편의되어 있어 스토퍼 가동부재(52)에 의해 스토퍼(40)가 눌리지 않은 상태에서는 스토퍼(40)가 래치(44)로부터 걸림상태가 해제되어 있다.

상기 로울러블럭(50)은 플레이트(30)의 상면에 위치되게 설치되어 챔버(10)의 내부에 진공이 걸림에 따라 플레이트(30)의 상면을 따라 왕복 운동하는 것으로, 상기 로울러블럭(50)에 가압로울러(51)가 축(53)을 중심으로 회전 가능하게 설치되어 있어 상기 로울러블럭(50)이 플레이트(30)의 상면을 따라 이동할 때, 상기 가압로울러(51)가 스토퍼(40)에 얹혀진 기판(21)을 순차적으로 필름(20) 측에 가압하여 라미네이팅하게 된다.

상기 로울러블럭(50)을 일체형으로 하여도 무방하나, 본 발명의 일 실시예에서는 가압로울러(51)가 기판(21)을 가압하는 압력을 균일하게 유지할 수 있도록 슬라이더(54)의 양측에 레버(55)의 일단이 회동 가능하게 설치되어 있고 상기 레버(55)의 타단에는 실리콘재질의 가압로울러(51)가 회전 가능하게 설치되어 있으며, 상기 슬라이더(54)의 일 측에 고정되는 측판(56)에는 각 레버(55)의 상부에 위치되게 지지판(57)이 설치됨과 동시에 상기 레버(55)와 지지판(57)의 사이에는 적어도 1개 이상의 스프링(58)이 탄력 설치되어 로울러블럭(50)을 구성하도록 되어 있다.

상기 스토퍼 가동부재(52)는 로울러블럭(50)의 선단에 설치되어 로울러블럭(50)이 이동함에 따라 스토퍼(40)에 설치된 베어링(43)을 차례로 눌러 기판(21)이 필름(20)에 순차적으로 접속되도록 하는 것으로, 로울러블럭(50)의 전진 시에는 스토퍼 가동부재(52)가 스토퍼(40)의 일단에 설치된 베어링(43)을 눌러 스토퍼(40)가 도 4b와 같이 래치(44)의 걸림턱(44a)에 걸려 하강된 상태를 유지하다가 로울러블럭(50)의 복귀시에는 래치(44)의 걸림상태를 자동으로 해제시키는 구조를 갖는 것이 보다 바람직하다.

이를 위해, 본 발명의 일 실시예에서는 로울러블럭(50)의 복귀 시 래치(44)의 걸림상태를 자동으로 해제시킬 수 있으나, 작업자가 래치(44)의 걸림턱(44a)에 걸린 스토퍼(40)의 걸림상태를 수동으로 해제시킬 수도 있음은 이해 가능한 것이다.

상기 챔버(10)의 내부에 진공이 걸림에 따라 플레이트(30)의 상면을 따라 왕복 운동하도록 상기 로울러블럭(50)의 일단에 고정되어 챔버(10)의 외부로 노출된 로드(71)와, 상기 챔버(10)의 외부로 노출된 로드(71)를 감싸게 설치되어 챔버(10) 내부에 진공압이 걸림에 따라 부피가 줄어들면서 로드(71)의 일단이 고정된 로울러블럭(50)을 이동시키는 벨로우즈(70)로 구성되어 있다.

이에 따라, 별도의 구동원 없이도 챔버(10)의 내부에 진공압이 걸림에 따라 벨로우즈(70)의 부피가 줄어들면서 로울러블럭(50)을 왕복 운동시킬 수 있게 되는 특징을 갖는다.

그러나 상기 로울러블럭(50)의 일단에 실린더(도시는 생략함)의 로드가 고정되게 상기 로울러블럭 구동수단을 구성할 수 있음은 이해 가능한 것이다.

상기 로울러블럭(50)의 상부에 장착판(59)이 고정되어 있고 상기 장착판(59)의 상부에는 LM가이드(80)가 설치되어 있어 상기 로울러블럭(50)이 LM가이드(80)를 따라 안정적으로 왕복 이동하도록 되어 있다.

본 발명의 작용에 대하여 설명하면 다음과 같다.

도 5는 본 발명의 방법을 설명하기 위한 플로우 챠트로써, 도 4a와 같이 챔버(10)의 본체(11)로부터 덮개(12)가 개방된 상태에서 플레이트(30)의 상면에 접착면이 상부를 향하도록 박판의 필름(20)을 주름이 발생되지 않도록 곧게 펼쳐진 상태로 로딩(loading)한다(S100).

상기 필름(20)의 로딩은 작업자가 수작업으로 하거나, 픽커(picker)에 의해 자동으로 실시하거나, 보빈에 롤형태로 감긴 필름을 펼친 다음 커터로 절단하여 실시할 수 있으므로 이에 대한 구체적인 내용은 한정할 필요가 없다.

이때에는 챔버(10)를 구성하는 본체(11)로부터 덮개(12)가 분리되어 있어 대기압 상태를 유지하여 로울러블럭 구동수단이 작동되지 않은 상태이므로 로울러블럭(50)은 도면상 좌측에 위치되어 있다.

이와 같이 플레이트(30)의 상면에 박판의 필름(20)을 로딩하고 나면 기판(21)을 복수 개의 스토퍼(40) 상면에 얹어 놓는데, 상기 각 스토퍼(40)의 상면에는 돌기(42)가 형성되어 있어 상기 기판(21)이 필름(20)과 소정의 간격으로 이격된 상태를 유지함은 물론이고 돌기(42)에 의해 접촉면적을 최소화하므로 기판(21)의 접착면이 오염되는 현상을 최소화하게 된다(S200).

상기 복수 개의 스토퍼(40)에 기판(21)을 얹어 플레이트(30)에 로딩된 필름(20)과 소정의 간격이 유지되도록 한 다음 상기 본체(11)에 덮개(12)를 덮으면 본체(11)의 패킹 홈(11a)에 끼워진 패킹(도시는 생략함)이 덮개(12)에 눌려 기밀을 유지하면서 챔버(10)의 내부가 밀폐된다(S300).

전술한 바와 같은 동작으로 챔버(10)의 내부가 밀폐되고 나면 진공발생기(60)를 작동시킨다.

이에 따라, 챔버(10)의 내부 압력이 점진적으로 떨어지면서 진공압이 걸려 챔버(10)의 내부와 통하여지게 설치된 벨로우즈(70)의 부피가 줄어들게 되므로 벨로우즈(70)의 내부를 통과하여 끝단까지 고정된 로드(71)가 챔버(10) 측으로 당겨지므로 상기 가압로울러(51)가 회전 가능하게 설치된 로울러블럭(50)이 LM가이드(80)를 따라 도면상 우측으로 이동하기 시작한다.

이와 같이 로울러블럭(50)이 도면상 우측으로 이동하면 스토퍼 가압부재(52)가 스토퍼(40)의 일 측에 회전 가능하게 설치된 베어링(43)을 도 4b와 같이 눌러주게 되므로 스토퍼(40)가 래치(44)의 걸림턱(44a)에 걸려 하강된 상태를 유지함과 동시에 기판(21)은 필름(20)과 접촉되기 시작한다(S400).

그 후, 챔버(10)의 내부에 진공압이 걸림에 따라 벨로우즈(70)의 부피가 계속적으로 줄어들어 로울러블럭(50)이 도 4c와 같이 기판(21)을 전체적으로 통과되고 나면 2번째 위치하는 스토퍼(40) 또한 래치(44)에 걸린상태를 유지함과 동시에 기판(21)이 박판의 필름(20)과 완벽하게 접착된다(S500).

본 발명은 박판의 필름(20)을 평탄도를 유지하는 플레이트(30)의 상면에 로딩한 다음 기판(21)을 필름(20)의 상부에서 점진적으로 접촉시키면서 라미네이팅을 실시하므로 박판의 필름(20)에 기포가 발생하거나, 주름이 발생되는 현상을 근본적으로 해소할 수 있는 장점을 갖는다.

이와 같이 스토퍼(40)가 스토퍼 가압부재(52)에 눌려 래치(44)의 걸림턱(44a)에 걸리면 플레이트(30)와 스토퍼(40) 사이에 설치된 스프링(31)이 압축된 상태이므로 스토퍼(40)는 상부로 복원하려는 힘을 받게 된다.

그 후, 상기 챔버(10) 내부의 진공압을 해제시키면 부피가 줄어들었던 벨로우즈(70)가 초기상태로 환원되므로 도면상 우측으로 이동하였던 로울러블럭(50)도 초기상태로 복귀된다(S600).

상기 로울러블럭(50)이 초기상태로 복귀되고 나면 챔버(10)의 본체(11)로부터 덮개(12)를 개방한 다음 플레이트(30)에서 필름(20)이 라미네이팅된 기판(21)을 언로딩함에 따라 새로운 필름 및 기판을 로딩할 수 있게 된다(S700).

지금까지 설명한 것은, 플레이트(30)의 상면에 박판의 필름(20)을 로딩하고 스토퍼(40)에는 필름(20)과 이격되게 기판(21)을 얹어놓은 다음 챔버(10)를 진공상태로 유지하면서 필름(20)에 기판(21)을 접착하고 챔버(10)의 내부 진공을 해제한 후 작업이 완료된 기판(21)을 언로딩하는 1싸이클(cycle)을 설명한 것으로, 플레이트(30)에 박판의 필름(20)이 로딩되고, 스토퍼(40)에는 기판(21)이 얹혀짐에 따라 계속해서 동일하게 작업이 이루어짐은 이해 가능한 것이다.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.

그러므로 이상에서 기술한 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 상기 상세한 설명에서 기술된 본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

10 : 챔버 11 : 본체
12 : 덮개 20 : 필름
21 : 기판 30 : 플레이트
40 : 스토퍼 42 : 돌기
44 : 래치 47 : 래치해제부재
50 : 로울러블럭 51 : 가압로울러
52 : 스토퍼 가압부재 60 : 진공발생기
70 : 벨로우즈 80 : LM가이드

Claims

본체(11)와 개폐 가능한 덮개(12)로 이루어진 챔버(10)와, 상기 챔버(10)의 내부에 설치되어 박판의 필름(20)이 로딩되는 플레이트(30)와, 상기 플레이트(30)의 양측에 소정의 간격이 유지됨과 동시에 회동 가능하게 스프링(31)으로 탄력 설치되어 기판(21)이 필름(20)과 이격된 상태로 얹혀지는 복수 개의 스토퍼(40)와, 상기 스토퍼(40)의 일 측에 설치되어 스토퍼(40)가 하강된 상태를 유지하는 래치수단과, 상기 플레이트(30)의 상면에 위치되게 설치되어 챔버(10)의 내부에 진공이 걸림에 따라 플레이트(30)의 상면을 따라 왕복 운동하는 로울러블럭(50)과, 상기 로울러블럭(50)에 축(53)을 중심으로 회전 가능하게 설치되어 스토퍼(40)에 얹혀진 기판(21)을 순차적으로 필름(20) 측에 가압하여 라미네이팅되도록 하는 가압로울러(51)와, 상기 로울러블럭(50)에 설치되어 로울러블럭(50)이 이동함에 따라 스토퍼(40)를 차례로 눌러 기판(21)이 필름(21)에 접속되도록 하는 스토퍼 가동부재(52)와, 상기 챔버(10)의 본체(11) 내부와 통하여지게 설치되어 챔버(10)의 내부에 진공압이 걸리도록 하는 진공발생기(60)로 구성된 것을 특징으로 하는 필름을 기판에 라미네이팅하는 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 래치수단은,
각 스토퍼(40)의 일 측에 설치되며, 스토퍼(40)의 끝단이 걸리는 걸림턱(44)을 갖는 래치(44)와, 상기 각 래치(44)의 일단에 위치되게 플레이트(30)에 설치되어 래치(44)를 스토퍼(40) 측으로 편의하는 탄성부재(46)로 구성된 것을 특징으로 하는 필름을 기판에 라미네이팅하는 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 로울러블럭(50)은,
슬라이더(54)의 양측에 레버(55)의 일단을 회동 가능하게 설치하고 상기 레버(55)의 타단에는 가압로울러(51)를 설치하며, 상기 슬라이더(54)의 일 측에 고정되는 측판(56)에는 각 레버(55)의 상부에 위치되게 지지판(57)을 설치함과 동시에 상기 레버(55)와 지지판(57)의 사이에는 적어도 1개 이상의 스프링(58)을 탄력 설치한 것을 특징으로 하는 필름을 기판에 라미네이팅하는 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 로울러블럭(50)의 일단에 고정되어 챔버(10)의 외부로 노출된 로드(71)와, 상기 챔버(10)의 외부로 노출된 로드(71)를 감싸게 설치되어 챔버(10) 내부에 진공압이 걸림에 따라 부피가 줄어들면서 로드(71)의 일단이 고정된 로울러블럭(50)을 이동시키는 벨로우즈(70)를 더 설치한 것을 특징으로 하는 필름을 기판에 라미네이팅하는 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 로울러블럭(50)의 일단에 로드가 고정되게 챔버(10)에 실린더를 설치한 것을 특징으로 하는 필름을 기판에 라미네이팅하는 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 각 스토퍼(40)의 상면에 기판(21)의 저면이 접속되는 돌기(42)가 형성된 것을 특징으로 하는 필름을 기판에 라미네이팅하는 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 각 스토퍼(40)의 일 측으로 스토퍼 가동부재(52)에 의해 스토퍼(40)가 눌리도록 하는 베어링(43)이 설치된 것을 특징으로 하는 필름을 기판에 라미네이팅하는 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 로울러블럭(50)을 장착판(59)에 고정하고 상기 장착판(59)의 상부에는 LM가이드(80)를 설치하여 상기 로울러블럭(50)이 LM가이드(80)를 따라 왕복 이동하도록 된 것을 특징으로 하는 필름을 기판에 라미네이팅하는 장치.
챔버(10)의 본체(11)로부터 덮개(12)가 개방된 상태에서 플레이트(30)의 상면에 박판의 필름(20)을 로딩하는 단계와, 상기 플레이트(30)에 로딩된 박판의 필름(20) 상부에 소정의 간격으로 이격된 상태를 유지하도록 기판(21)을 복수 개의 스토퍼(40) 상면에 얹어 놓는 단계와, 상기 본체(11)에 덮개(12)를 덮어 챔버(10)의 내부를 밀폐시키는 단계와, 상기 챔버(10)의 내부를 진공상태로 유지하면서 로울러블럭(50)의 이동으로 스토퍼(40)를 순차적으로 하강시켜 스토퍼(40)가 하강된 상태를 유지함과 동시에 가압로울러(51)가 기판(21)의 일단을 필름(20)과 접촉시키는 단계와, 상기 가압로울러(51)가 기판(21)의 일단을 필름(20)과 접촉시킨 상태에서 로울러블럭(50)이 계속해서 이동하여 기판(21)을 필름(20)과 완전히 라미네이팅하는 단계와, 상기 챔버(10) 내부의 진공압을 해제시킴과 동시에 로울러블럭(50)이 초기상태로 복귀하면서 스토퍼(40)의 걸림상태를 해제하는 단계와, 상기 챔버(10)의 본체(11)로부터 덮개(12)를 개방하고 플레이트(30)에서 필름이 라미네이팅된 기판(21)을 언로딩하는 단계가 순차적으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 필름을 기판에 라미네이팅하는 방법.
청구항 9에 있어서,
상기 가압로울러(51)가 설치된 로울러블럭(50)이 챔버(10)의 내부에 진공압이 걸릴 때 진공압에 의해 이동하면서 기판(21)을 필름(20) 측으로 가압하는 것을 특징으로 하는 필름을 기판에 라미네이팅하는 방법.