KR101934926B1 - 유동 유체 내의 나노입자 거동 예측 방법 및 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 유동 유체 내의 나노입자 거동 예측 방법 및 장치에 관한 것으로서, 본 발명의 유체에 대한 직접 측정을 통한 유동 유체 측정 방법은, 서로 다른 파장을 갖는 복수의 광을 유동 유체의 흐름 상의 같은 위치에 조사하는 단계; 및 상기 유동 유체에 포함된 입자나 불순물과 상기 복수의 광 사이의 상호작용에 따라 반응하는 특정 파장의 투과광 및 산란광의 세기에 대한 전기적 신호를 검출하는 단계를 포함하고,상기 유동 유체에 포함된 입자나 불순물에 대한 실시간 특성변화 또는 상태 분석을 위하여 상기 전기적 신호에 기초하여 상기 복수의 광이 조사된 유체에서의 특정 파장에 대한 투과도나 흡광도 및 산란도를 포함하는 광학 데이터를 획득하기 위한 것을 특징으로 한다.
Description
본 발명은 유동 유체 측정 방법 및 장치에 관한 것으로서, 특히, 가시성이 없는 유동 유체 내의 나노입자 등의 거동에 대한 상태를 실기간으로 분석하고 예측하기 위하여 유동장 내의 유체에 대한 직접측정으로 유동 유체의 특성 변화를 실시간으로 측정하는 방법 및 장치에 관한 것이다.
일반적인 종래의 유동유체 측정기술은 물리적으로 측정기를 유동관 내에 삽입하여 유속 등을 측정하는 데에 한정되어 있었거나 단파장 레이저를 이용하여 역시 단순한 유속 등을 측정하는 데에 그 기술이 한정되어 있다.
또한, 유동 유체 내의 나노입자는 응집상태와 크기, 구성성분 등에 따라 파장의 흡수성과 빛의 산란성이 다르게 나타난다. 일반적으로 이를 자외선-가시광 분광법(UV-VIS Spectroscopy)를 통하여 검출하는 경우 유체 시료 샘플 등에 한정되며 유동장 내의 유체에서 직접측정이 어렵다는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은, 가시성이 없는 유동 유체 내의 나노입자 등의 거동에 대한 상태를 실시간으로 분석하고 예측하기 위하여 유동장 내의 유체에 대한 직접측정으로 유동 유체의 특성 변화를 실시간으로 측정하되, 복수의 고정된 파장의 레이저를 유체 유동에 동시에 조사하여 입자(나노입자 등)와의 상호작용에 따라 반응하는 반사 및 투과의 특정 파장의 빛을 검출해 입자가 일으키는 흡수와 산란과의 연관성을 분석하고 입자의 상태를 파악할 수 있도록하며, 실시간으로 유체의 유동 내에서의 불순물이나 입자(나노입자 등)의 소멸이나 생성, 유동의 특성 변화 또는 상태분석 등을 위한 데이터를 제공하는 유동 유체 측정 방법 및 장치를 제공하는 데 있다.
먼저, 본 발명의 특징을 요약하면, 상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의일면에 따른 유체에 대한 직접 측정을 통한 유동 유체 측정 방법은, 서로 다른 파장을 갖는 복수의 광을 유동 유체의 흐름 상의 같은 위치에 조사하는 단계; 및 상기 유동 유체에 포함된 입자나 불순물과 상기 복수의 광 사이의 상호작용에 따라 반응하는 투과광 및 산란광의 세기에 대한 전기적 신호를 검출하는 단계를 포함하고, 상기 유동 유체에 포함된 입자나 불순물에 대한 실시간 특성변화 또는 상태 분석을 위하여 상기 전기적 신호에 기초하여 상기 복수의 광이 조사된 유체에서의 특정 파장에 대한 투과도나 흡광도 및 산란도를 포함하는 광학 데이터를 획득하기 위한 것을 특징으로 한다.
상기 복수의 광은 서로 다른 파장을 갖는 레이저를 포함한다. 상기 유동 유체는 핵 생성, 성장 및 응집 단계를 거쳐 제조되는 나노입자 합성을 위한 유체를 포함한다.
상기 복수의 광이 조사된 유체에서의 상기 투과광 이외에 미에 산란 (Mie scattering) 또는 레일레이 산란(Rayleigh scattering)에 따른 상기 산란광을 동시에 측정하여 시간에 따라 유체 위치별 상기 입자나 불순물의 상태 변화를 분석하기 위한 것을 특징으로 한다.
상기 유동 유체 측정 방법에 따라, 유체 위치별 나노 입자의 응집 변화에 따른 상기 광학 데이터의 피크 쉬프트(peak shift)를 분석할 수 있고, 시간에 따른 나노 입자의 유동을 추적하여 상기 유체의 유동 속도를 측정할 수 있다.
그리고, 본 발명의 다른 일면에 따른 유체에 대한 직접 측정을 위한 유동 유체 측정 장치는, 서로 다른 파장을 갖는 복수의 광을 발생하는 복수의 광원; 상기 복수의 광원에서 발생된 광을 유동 유체의 흐름 상의 같은 위치에 조사하기 위한 복수의 광학계; 상기 복수의 광이 조사된 유체에서 상기 유동 유체에 포함된 입자나 불순물과 상기 복수의 광 사이의 상호작용에 따라 반응하여 상기 유체를 통과한 투과광의 세기에 대한 전기적 신호를 검출하는 제1 검출기; 및 상기 복수의 광이 조사된 유체에서 산란되는 산란광의 세기에 대한 전기적 신호를 검출하는 검출하는 제2 검출기를 포함하고, 상기 유동 유체에 포함된 입자나 불순물에 대한 실시간 특성변화 또는 상태 분석을 위하여 상기 제1 검출기 및 제2 검출기로부터의 상기 전기적 신호에 기초하여 상기 복수의 광이 조사된 유체에서의 특정 파장에 대한 투과도나 흡광도 및 산란도를 포함하는 광학 데이터를 획득하기 위한 것을 특징으로 한다.
상기 복수의 광학계는 반사광이 상기 유동 유체의 흐름 상의 같은 위치에 조사되도록 일렬로 배치되고, 반사 방향의 뒤에 배치된 광학계에서 반사된 광은 앞쪽의 반투과형 광학계를 통과하여 상기 유체를 향하여 진행하도록 배치될 수 있다.
본 발명에 따른 유동 유체 측정 방법 및 장치에 따르면, 복수의 고정된 파장의 레이저를 유체 유동에 동시에 조사하여 입자(나노입자 등)와의 상호작용에 따라 반응하는 반사 및 투과의 특정 파장의 빛을 검출해 광검출 데이터를 제공하여, 입자가 일으키는 흡수와 산란과의 연관성을 분석하고 입자의 상태를 파악할 수 있도록 하며, 실시간으로 유체의 유동 내에서의 불순물이나 입자(나노입자 등)의 소멸이나 생성, 유동의 특성 변화 또는 상태분석이 가능하도록 한다. 따라서 기존의 단순한 유속 측정에 비해 보다 정밀하고 정확하게 유체 내 입자 또는 불순물에 정보를 수집하게 할 수 있으며, 다양한 파장의 레이저를 동시에 사용하기 때문에 유체내의 성분과 입자 또는 불순물의 정보 파악 등 다양한 유동 유체의 정보 검출이 가능하다는 장점이 있다.
예를 들어, 응용 분야로서, 연속형 나노입자 합성에서 나노입자 거동 예측(예, 입자의 이동, 확산, 분포 등)을 보조하여 연속형 나노입자의 합성에서 양질의 나노입자를 얻을 수 있게 한다. 또한, 유체의 불순물 검출 및 유체의 순도 검사를 용이하게 실시할 수 있게 하며, 나노입자 추적(tracking nanoparticle)을 통한 유동유체의 속도 측정에 웅용할 수 있다. 나아가, 원자로나 기타 유체를 사용하는 위험지역의 원격 감시에 응용할 수 있고, 수족관이나 마이크로 채널 내의 불순물 검출에도 용이하게 적용할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유동 유체 측정 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유동 유체 측정 장치의 동작 설명을 위한 흐름도이다.
도 3은 도 1의 유체 흐름의 각 위치별 입자 상태에 대한 예시이다.
도 4a 내지 도 4c는 유체에서의 광의 투과도와 흡광도를 예시한 그래프이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유동 유체 측정 장치의 동작 설명을 위한 흐름도이다.
도 3은 도 1의 유체 흐름의 각 위치별 입자 상태에 대한 예시이다.
도 4a 내지 도 4c는 유체에서의 광의 투과도와 흡광도를 예시한 그래프이다.
이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 대해서 자세히 설명한다. 이때, 각각의 도면에서 동일한 구성 요소는 가능한 동일한 부호로 나타낸다. 또한, 이미 공지된 기능 및/또는 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다. 이하에 개시된 내용은, 다양한 실시 예에 따른 동작을 이해하는데 필요한 부분을 중점적으로 설명하며, 그 설명의 요지를 흐릴 수 있는 요소들에 대한 설명은 생략한다. 또한 도면의 일부 구성요소는 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시될 수 있다. 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 전적으로 반영하는 것이 아니며, 따라서 각각의 도면에 그려진 구성요소들의 상대적인 크기나 간격에 의해 여기에 기재되는 내용들이 제한되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유동 유체 측정 장치(100)를 설명하기 위한 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따라 유체에 대한 직접 측정을 위한 유동 유체 측정 장치(100)는, 믹서(110)에서 혼합되고 채널 최적화기(120)를 통해 채널(10)로 흐르는 유체를 직접 측정 방식으로 측정 및 분석하기 위하여, 복수의 광원(131~133), 복수의 미러(141~143), 복수의 검출기(151, 152)를 포함한다. 이하 복수의 미러(141~143)에 대하여 예시적으로 설명하지만, 이를 대신하여 간섭 광학계 등 광을 반사 또는 투과하는 다른 광학계가 이용될 수 있다.
채널(10)은 핵 생성, 성장, 응집 등의 과정을 통한 연속형 나노입자 제조 시설이나, 원자로 주변의 처리 시설 등의 유체가 흐르는 채널일 수도 있고, 혈액 등의 체액의 검사를 위한 검사기 등에서의 마이크로채널 등 검사 분석 대상 유체가 흐르는 모든 채널일 수 있다. 위와 같은 시설이나 검사기 등에서 믹서(110)는 여러가지 액상의 용액을 혼합하며, 채널 최적화기(120)는 혼합된 용액의 유체가 침착, 블로킹, 역류, 난류 등이 방지되어 채널(10)로 잘 흐를수 있도록 할 수 있다. 믹서(110)와 채널 최적화기(120)는 위와 같은 시설이나 검사기에 구비될 수도 있지만, 검사 대상 유체를 임의로 채널(10)로 흘려 유동하도록 구비될 수도 있다.
이하 도 2의 흐름도를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 유동 유체 측정 장치(100)의 동작을 설명한다.
복수의 광원(131~133)은 서로 다른 파장을 갖는 복수의 광(예, 레이저)을 발생한다(S10). 예를 들어, 복수의 광원(131~133)은 UV(ultra violet) 레이저(예, 파장 300~400nm), 녹색(green) 레이저(예, 파장 500~550nm), 적색(red) 레이저(예, 파장 625~675nm) 등을 발생하는 광원일 수 있다.
복수의 미러(141~143)는 복수의 광원(131~133)에서 발생된 광을 유동 유체의 흐름 상의 같은 위치에 조사하기 위해 경로를 변경한다(S20). 복수의 미러(141~143)는 반사광이 유동 유체의 흐름 상의 같은 위치에 조사되도록 일렬로 배치되고, 반사 방향의 뒤에 배치된 미러(예, 143)에서 반사된 광은 앞쪽의 반투과형 미러(예, 141, 142)를 통과하여 유체를 향하여 진행하도록 배치될 수 있다. 예를 들어, 도 1과 같이 복수의 미러(141~143)가 3개로 이루어진 경우, 반사 방향의 가장 뒤에 배치된 미러(예, 143)에서 반사된 광은 앞쪽의 반투과형 미러들(예, 141, 142)를 통과할 수 있고, 마찬가지로 미러 142에서 반사된 광은 앞쪽의 반투과형 미러 141를 통과할 수 있다. 도 1에서, 복수의 광원(131~133)과 이에 대응되는 복수의 미러(141~143)는 각각 3개로 예시하였으나 이에 한정되지 않으며 측정 목적 등에 맞게 더 많거나 적은 수로 이루어질 수도 있다.
제1검출기(151)는 복수의 광원(131~133)에 의한 복수의 광이 조사된 유체에서 유동 유체에 포함된 입자나 불순물과 해당 복수의 광 사이의 상호작용에 따라 반응하여 유체를 통과한 특정 파장의 투과광의 세기에 대한 전기적 신호를 검출한다(S30).
제2검출기(152)는 복수의 광원(131~133)에 의한 복수의 광이 조사된 유체에서 산란되는 특정 파장의 산란광의 세기에 대한 전기적 신호를 검출하는 검출한다(S30). 제1검출기(151)에서의 투과광 측정과 동시에 제2검출기(152)는 시간에 따라 미에 산란 (Mie scattering) 또는 레일레이 산란(Rayleigh scattering)에 따른 산란광을 측정한다. 도 1에서, 산란광의 세기를 검출하는 제2검출기(152)가 한 개인 것으로 도시하였으나, 측정 목적이나 좀 더 정확한 측정을 위하여 산란 방향에 따른 여러 위치에 더 많은 수로 배치될 수도 있다.
제1검출기(151)와 제2검출기(152)는 광의 입사에 따른 해당 광의 강도나 세기에 대응되는 전기적 신호를 검출하는 소자로서, 광전 증배관(photo-multiplier tube), 포토다이오드(photodiode), CCD(Charge Coupled Device) 등 다양한 광전 소자가 이용될 수 있다.
이와 같은 제1 검출기(151) 및 제2 검출기(152)로부터의 전기적 신호에 기초하여, 복수의 광원(131~133)에 의한 복수의 광이 조사된 유체에서의 입자나 불순물의 상태에 따라 특정 파장에 대한 투과도나 흡광도 및 산란도 등의 광학 데이터를 획득할 수 있으며, 이를 이용하여 해당 위치의 유동 유체에 포함된 입자나 불순물의 상태를 분석할 수 있다(S40). 도 1에 도시되어 있지 않지만, 소정의 제어 장치(예, 컴퓨터)를 이용하여, 위와 같은 제1 검출기(151) 및 제2 검출기(152)로부터의 전기적 신호의 분석을 통해, 특정 파장에 대한 투과도나 흡광도 및 산란도 등의 광학 데이터를 획득할 수 있으며, 해당 위치의 유동 유체에 포함된 입자나 불순물의 상태를 분석할 수 있다.
위에서도 기술한 바와 같이, 유동 유체는 핵 생성, 성장 및 응집 등의 단계를 거쳐 제조되는 연속형 나노입자 합성을 위한 유체일 수 있으며, 위와 같은 제어 장치를 이용하여, 유체 위치별 나노입자의 응집 변화에 따른 특정 파장의 투과도나 흡광도 등 광학 데이터의 피크 쉬프트(peak shift)를 분석할 수 있으며, 시간에 따른 나노입자의 유동을 추적하여 유체의 유동 속도를 측정할 수도 있다. 나노입자는 응집에 따라 파장별 흡광도 피크 쉬프트가 나타나므로 피크 쉬프트의 그 변화 정도 등을 분석하여 응집 정도 등을 구분할 수 있으며, 예를 들어, 적색광 파장이나 청색광 파장 등에 대한 흡광도 피크 쉬프트 등 파장별 감도변화를 분석하여 유체 위치별 또는 시간별 나노 입자의 응집 변화를 측정할 수 있다.
이와 같은 나노 입자의 응집과 파장별 흡광도 피크 쉬프트와 관련된 논문으로서, PCCP(Physical Chemistry Chemical Physics) 논문 "The effect of negative pressure aging on the aggregation of Cu2O nanoparticles and its application to laser induced copper electrode fabrication (2014. 12. 18, H. S. Lee 외 1명)"이 참조될 수 있다.
도 1에서 유체의 각각의 위치 (a) ~ (e)에 대한 각 위치별 입자 상태에 대한 예시가 도 3에 도시되어 있다. 도 3과 같이, 믹서(110)를 통해 나노입자 제조 등을 위한 여러가지 액상의 혼합 용액이 층류(laminar flow)를 이룰 수 있으며(a), 채널 최적화기(120)를 통과한 유체는 용액들이 완전히 혼합된 상태(fully mixed)로 흐를 수 있고(b), 레이저나 기타 히터 등을 통하여 에너지를 받으면 핵 생성(c), 성장(d) 및 응집(e) 등의 단계를 거쳐 나노입자가 제조될 수 있다. 이와 같은 시간에 따른 나노입자의 유동을 추적하기 위하여는, 예를 들어, 제어 장치를 이용해 복수의 미러(141~143)와 검출기들(151, 152)이 시간에 따라 유체 위치를 이동해 광을 조사하고 검출하도록 제어할 수 있고, 이에 따라 시간 변화에 따른 소정의 입자의 이동 거리 등을 분석하여 유체의 유동 속도 등을 산출할 수 있다.
도 4a 내지 도 4c는 유체에서의 광의 투과도와 흡광도를 예시한 그래프이다. 도 4a와 같이, 유체를 투과한 파장별 투과광의 투과도 특성 곡선이 유체 위치별로 조금씩 다르게 획득될 수 있으며, 도 4b, 도 4c와 같이, 유체를 투과한 파장별 투과광의 흡광도 특성 곡선이 유체 위치별로 조금씩 다르게 획득될 수 있다. 또한, 제2 검출기(152)로부터의 전기적 신호에 기초한 산란광의 세기를 나타내는 파장별 산란도 특성 곡선 역시 유체 위치별로 조금씩 다르게 획득될 수 있다.
이와 같이 파장별 투과도나 흡광도 및 산란도 등의 광학 데이터를 획득하여 해당 위치의 유동 유체에 포함된 입자나 불순물의 상태를 분석하며, 광학 데이터의 피크 쉬프트(peak shift) 분석이나 유체의 유동 속도 측정 등을 유동 유체의 측정 및 분석을 수행하기 위한, 본 발명의 제어장치는 반도체 프로세서와 같은 하드웨어, 응용 프로그램과 같은 소프트웨어, 또는 이들의 결합으로 구현될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 유동 유체의 측정 및 분석을 위한 제어장치는 컴퓨팅 시스템(예, 퍼스널 컴퓨터)일 수 있으며, 적어도 하나의 프로세서, 메모리, 사용자 인터페이스 입력 장치, 사용자 인터페이스 출력 장치, 스토리지, 및 네트워크 인터페이스 등을 포함할 수 있다. 프로세서는 중앙 처리 장치(CPU) 또는 메모리나 스토리지에 저장된 명령어들에 대한 처리를 실행하는 반도체 장치일 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 유동 유체 측정 장치(100)는, 복수의 고정된 파장의 레이저를 유체 유동에 동시에 조사하여 입자(나노입자 등)와의 상호작용에 따라 반응하는 반사 및 투과 파장의 빛을 검출해 광검출 데이터를 제공하여, 입자가 일으키는 흡수와 산란과의 연관성을 분석하고 입자의 상태를 파악할 수 있도록 할 수 있다. 함으로써, 기존의 단순한 유속 측정에 비해 보다 정밀하고 정확하게 유체 내 입자 또는 불순물에 정보를 수집하게 할 수 있으며, 다양한 파장의 레이저를 동시에 사용하기 때문에 유체내의 성분과 입자 또는 불순물의 정보 파악 등 다양한 유동 유체의 정보 검출이 가능하다는 장점이 있다. 예를 들어, 응용 분야로서, 연속형 나노입자 합성에서 나노입자 거동 예측(예, 입자의 이동, 확산, 분포 등)을 보조하여 연속형 나노입자의 합성에서 양질의 나노입자를 얻을 수 있게 한다. 또한, 유체의 불순물 검출 및 유체의 순도 검사를 용이하게 실시할 수 있게 하며, 나노입자 추적(tracking nanoparticle)을 통한 유동유체의 속도 측정에 웅용할 수 있다. 나아가, 원자로나 기타 유체를 사용하는 위험지역의 원격 감시에 응용할 수 있고, 수족관이나 마이크로 채널 내의 불순물 검출에도 용이하게 적용할 수 있다.
이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
광원(131, 132, 133)
미러 또는 광학계(141, 142, 143)
검출기(151, 152)
미러 또는 광학계(141, 142, 143)
검출기(151, 152)
Claims (8)
- 서로 다른 파장을 갖는 복수의 광을 유동 유체의 흐름 상의 같은 위치에 조사하는 단계; 및 상기 유동 유체에 포함된 입자나 불순물과 상기 복수의 광 사이의 상호작용에 따라 반응하는 특정 파장의 투과광 및 산란광의 세기에 대한 전기적 신호를 검출하는 단계를 포함하고,
복수의 액상을 혼합하는 믹서 및 혼합 용액의 침착, 블로킹, 역류, 난류가 방지되어 유체가 채널로 흐르도록 하기 위한 채널 최적화기를, 순차로 통과하는 유동 유체에 에너지를 가하여 나노입자 합성 제조를 위한, 유동 유체 측정 방법으로서,
나노입자 합성 제조를 위한 상기 유동 유체에 포함된 입자나 불순물에 대한 직접 측정으로 제조상의 핵 생성, 성장 및 응집 단계에서의 실시간 소멸, 생성 및 상태의 분석과 유동 유체의 특성 변화에 대한 분석을 위하여 상기 전기적 신호에 기초하여 상기 복수의 광이 조사된 유체에서의 특정 파장에 대한 투과도나 흡광도 및 산란도를 포함하는 광학 데이터를 획득하기 위한 것이며,
상기 광학 데이터의 피크 쉬프트를 분석하여 유체 위치별 및 시간별 나노 입자의 응집 변화를 측정 가능하고, 시간에 따른 나노 입자의 이동거리의 분석으로 상기 유체의 유동 속도의 측정이 가능한 것을 특징으로 하는 유동 유체 측정 방법. - 제1항에 있어서,
상기 복수의 광은 서로 다른 파장을 갖는 레이저를 포함하는 것을 특징으로 하는 유동 유체 측정 방법. - 삭제
- 제1항에 있어서,
상기 복수의 광이 조사된 유체에서의 상기 투과광 이외에 미에 산란 (Mie scattering) 또는 레일레이 산란(Rayleigh scattering)에 따른 상기 산란광을 동시에 측정하여 시간에 따라 유체 위치별 상기 입자나 불순물의 상태 변화를 분석하기 위한 것을 특징으로 하는 유동 유체 측정 방법. - 삭제
- 삭제
- 서로 다른 파장을 갖는 복수의 광을 발생하는 복수의 광원;
상기 복수의 광원에서 발생된 광을 유동 유체의 흐름 상의 같은 위치에 조사하기 위한 복수의 광학계;
상기 복수의 광이 조사된 유체에서 상기 유동 유체에 포함된 입자나 불순물과 상기 복수의 광 사이의 상호작용에 따라 반응하여 상기 유체를 통과한 투과광의 세기에 대한 전기적 신호를 검출하는 제1 검출기; 및
상기 복수의 광이 조사된 유체에서 산란되는 산란광의 세기에 대한 전기적 신호를 검출하는 검출하는 제2 검출기를 포함하고,
복수의 액상을 혼합하는 믹서 및 혼합 용액의 침착, 블로킹, 역류, 난류가 방지되어 유체가 채널로 흐르도록 하기 위한 채널 최적화기를, 순차로 통과하는 유동 유체에 에너지를 가하여 나노입자 합성 제조를 위한, 유동 유체 측정 장치로서,
나노입자 합성 제조를 위한 상기 유동 유체에 포함된 입자나 불순물에 대한 직접 측정으로 제조상의 핵 생성, 성장 및 응집 단계에서의 실시간 소멸, 생성 및 상태의 분석과 유동 유체의 특성 변화에 대한 분석을 위하여 상기 제1 검출기 및 제2 검출기로부터의 상기 전기적 신호에 기초하여 상기 복수의 광이 조사된 유체에서의 특정 파장에 대한 투과도나 흡광도 및 산란도를 포함하는 광학 데이터를 획득하기 위한 것이며,
상기 광학 데이터의 피크 쉬프트를 분석하여 유체 위치별 및 시간별 나노 입자의 응집 변화를 측정 가능하고, 시간에 따른 나노 입자의 이동거리의 분석으로 상기 유체의 유동 속도의 측정이 가능한 것을 특징으로 하는 유동 유체 측정 장치. - 제7항에 있어서,
상기 복수의 광학계는 반사광이 상기 유동 유체의 흐름 상의 같은 위치에 조사되도록 일렬로 배치되고, 반사 방향의 뒤에 배치된 광학계에서 반사된 광은 앞쪽의 반투과형 광학계를 통과하여 상기 유체를 향하여 진행하도록 배치된 것을 특징으로 하는 유동 유체 측정 장치.
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