KR101909325B1

KR101909325B1 - 노즐용 초음파 세척장치

Info

Publication number: KR101909325B1
Application number: KR1020150128721A
Authority: KR
Inventors: 박일환
Original assignee: 박일환
Priority date: 2015-09-11
Filing date: 2015-09-11
Publication date: 2018-10-17
Also published as: KR20170031348A

Abstract

본 발명은 노즐용 초음파 세척장치에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 칩 마운터 장비에서 사용되는 노즐을 세척할 수 있는 초음파 세척장치에 대한 것이다.
본 발명에 따른 노즐용 초음파 세척장치는 노즐어댑터와, 세척수단과, 건조수단 및 이동수단을 포함한다. 상기 노즐어댑터는 칩마운트 장비의 노즐이 장착된 노즐메거진을 거치시킬 수 있다. 상기 세척수단은 세정액을 수용할 수 있는 세척조와, 상기 세척조에 상기 세정액을 공급하는 공급밸브와, 상기 세척조에서 상기 세정액을 배출시키기 위한 배출밸브와, 상기 공급밸브를 닫기 위하여 상기 세척조에 상기 세정액이 보충이 다되었는지를 감지하는 만수센서와, 상기 배출밸브를 닫기 위하여 상기 세척조에서 상기 세정액의 배출여부를 감지하는 저수센서와, 상기 세척조의 세정액으로 상기 노즐을 세척하기 위한 초음파발진기를 구비한다. 상기 건조수단은 상기 세척조에서 세척된 노즐에서 상기 세정액을 제거하기 위하여 상기 노즐에 공기를 분사할 수 있도록 상기 세척조에 장착된 제1에어노즐과, 세정 후 상기 세척조에서 분리된 상기 노즐을 건조시키기 위하여 상기 노즐에 공기를 분사하는 제2에어노즐을 구비한다. 상기 이동수단은 상기 노즐어댑터를 상기 세척조와 상기 건조수단으로 이동시킬 수 있다.

Description

노즐용 초음파 세척장치{Cleaning apparatus using ultrasonic waves for nozzle}

본 발명은 노즐용 초음파 세척장치에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 칩 마운터 장비에서 사용되는 노즐을 세척할 수 있는 초음파 세척장치에 대한 것이다.

반도체 장비 등에 사용되는 분사노즐은 반복적으로 사용되면 솔다 및 찌꺼기가 노즐에 묻어서 달라붙기 때문에 정기적으로 노즐을 세척해 주어야만 한다.

따라서 이러한 노즐을 세척하기 위해서 초음파 세척장치가 사용되고 있다. 종래에는 노즐을 세척하기 위해서 노즐메거진에서 노즐을 일일이 하나씩 꺼집어 낸 후 이를 초음파 세척장치에 장착하여 세정액을 사용하여 노즐을 세척하였다.

등록특허 제10-0881585호(등록일자 2009년 02월 20일) 등록특허 제10-0804768호(등록일자 2008년 02월 12일) 공개특허 제10-2005-0108497호(공개일자 2005년 11월 17일)

이 경우 종래에는 노즐을 노즐세척장치에 장착하고 분리하는 데 시간이 많이 소요되므로 노즐 세척속도가 빠르지 않다는 문제점이 있었다.

또한 종래의 경우에는 세정액을 사용하여 노즐을 세척할 때 초음파 진동으로 인하여 세척조가 과열되더라도 이를 감지하지 못하여 세척장치의 불량이 발생한다는 문제점이 있었다.

또한, 종래의 경우에는 세척조에 세정액을 수용할 때 세적액이 세척조에 과다하게 공급되거나 세척조에서 세정액이 넘쳐나더라도 이를 감지하지 못하여 장비가 손상이 된다는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위한 것이다. 본 발명은 노즐 메거진을 통채로 세척장치에 장착하여 노즐의 세척속도를 높일 수 있는 노즐용 초음파 세척장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 세척조가 과열될 경우 이를 감지하여 사용자에게 알려줄 수 있을 뿐만아니라 장치의 작동을 중지시킬 수 있는 노즐용 초음파 세척장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 세척조에서 세정액이 넘치거나 일정한 한계 이상 공급될 경우 이를 사용자에게 알려줄 수 있는 노즐용 초음파 세척장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명에 따른 노즐용 초음파 세척장치는 노즐어댑터와, 세척수단과, 건조수단 및 이동수단을 포함한다. 상기 노즐어댑터는 칩마운트 장비의 노즐이 장착된 노즐메거진을 거치시킬 수 있다. 상기 세척수단은 세정액을 수용할 수 있는 세척조와, 상기 세척조에 상기 세정액을 공급하는 공급밸브와, 상기 세척조에서 상기 세정액을 배출시키기 위한 배출밸브와, 상기 공급밸브를 닫기 위하여 상기 세척조에 상기 세정액이 보충이 다되었는지를 감지하는 만수센서와, 상기 배출밸브를 닫기 위하여 상기 세척조에서 상기 세정액의 배출여부를 감지하는 저수센서와, 상기 세척조의 세정액으로 상기 노즐을 세척하기 위한 초음파발진기를 구비한다. 상기 건조수단은 상기 세척조에서 세척된 노즐에서 상기 세정액을 제거하기 위하여 상기 노즐에 공기를 분사할 수 있도록 상기 세척조에 장착된 제1에어노즐과, 세정 후 상기 세척조에서 분리된 상기 노즐을 건조시키기 위하여 상기 노즐에 공기를 분사하는 제2에어노즐을 구비한다. 상기 이동수단은 상기 노즐어댑터를 이동시키는 하강실린더와, 상기 하강실린더를 구동시키기 위한 서버모터를 구비하여 상기 노즐어댑터를 상기 세척조와 상기 건조수단으로 이동시킬 수 있다.

또한, 상기의 노즐용 초음파 세척장치에 있어서, 상기 세척수단은 상기 세척조가 일정한 온도 이상으로 가열되지 않도록 상기 세척조의 온도를 감지하는 온도센서를 더 구비하는 것이 바람직하다.

본 발명에 의하면 노즐메거진을 초음파 세척장치에 장착하여 노즐메거진에 있는 노즐을 세척한다. 따라서 노즐을 초음파 세척장치에 장착하거나 분리하는 시간이 단축되므로 노즐의 세척시간을 빠르게 할 수 있다.

또한, 본 발명에 의하면 온도센서를 구비하여 세척조의 온도를 감시한다. 그래서 세척조의 온도가 과열되면 이를 감지하여 사용자에게 알려주거나 세척장치의 작동을 중지시킬 수 있다.

또한, 본 발명에 의하면 만수센서 및 저수센서를 구비하여 세척조에 세정액을 공급할 수 있으며, 세정액의 보충여부 및 배출여부를 감지할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 노즐용 초음파 세척장치의 일실시예의 사진,
도 2는 도 1의 세척수단의 사진,
도 3은 도 1의 이송수단의 사진,
도 4는 도 1의 세척조의 사진
도 5는 도 1의 세척조에 노즐어댑터가 이동한 사진,
도 6은 도 1에 적용되는 노즐메거진의 사진
도 7은 도 1의 세척장치로 세척되는 노즐의 사진,
도 8 내지 도 16은 도 1의 실시예의 동작사진이다.

도 1 내지 도 16을 참조하여 본 발명에 따른 노즐용 초음파 세척장치의 일 실시예를 설명한다.

본 발명에 따른 노즐용 초음파 세척장치는 노즐어댑터(10)와, 세척수단(20)과, 건조수단(40) 및 이동수단(50)을 포함한다.

노즐어댑터(10)는 칩마운트 장비의 노즐(1)이 장착된 노즐메거진(3)을 거치시킬 수 있다. 종래의 세척장치는 노즐(1)을 세척하기 위하여 노즐(1) 자체를 일일이 장착하였다. 이 경우 노즐(1)을 장착하거나 세척 후 세척장치에서 노즐(1)을 제거하는데 시간이 많이 소요되었다. 본 실시예의 경우 노즐(1)이 장착된 노즐메거진(3)을 직접 노즐어댑터(10)에 거치시킬 수 있으므로 노즐(1)의 장착 및 제거시간을 줄일 수 있다.

세척수단(20)은 노즐(1)을 세척하는 역할을 한다. 이를 위해서 세척수단(20)은 세척조(21)와, 공급밸브(25)와, 배출밸브(23)와, 만수센서(27)와, 저수센서(29)와, 초음파발진기(31)와, 온도센서(33) 및 넘침센서(25)를 구비한다.

세척조(21)는 노즐(1)을 세척할 수 있는 세정액을 수용한다. 공급밸브(25)는 세척조(21)에 세정액을 공급한다. 배출밸브(23)는 세척조(21)에서 노즐(1)을 세척한 후 세정액을 배출시킨다. 만수센서(27)는 공급밸브(25)에서 세척조(21)에 세정액을 공급할 때 세정액의 공급이 다 되었는지를 감지한다. 즉 세척조(21)에 세정액이 만수 수위까지 공급되었는지를 감지한다. 따라서 세척조(21)에 일정한 높이까지 세정액이 공급되면 만수센서(27)에 의하여 감지되고 그러면 공급밸브(25)가 닫혀져서 세정액의 공급이 중단된다.

저수센서(29)는 세척조(21)에서 노즐(1)을 세척 후 세정액을 배출시킬 때 세정액이 배출되었는지 여부를 감지한다. 즉 세척조(21)에서 세정액의 수위가 일정한 수준 이하로 떨어지면 저수센서(29)에서 감지되고 그러면 배출밸브(23)가 닫힌다.

초음파발진기(31)는 세정액으로 노즐(1)을 세척하기 위하여 세정액에 초음파를 발생시킨다. 온도센서(33)는 세척조(21) 내부의 세정액의 온도를 측정한다. 세정액은 알콜 성분을 포함하고 있으므로 초음파발진기(31)로 초음파를 발생시키면 세정액의 온도가 적정 온도 이상으로 올라가서 과열될 수 있다. 이 경우 초음파발진기(31)를 계속 동작시키면 장치에 무리가 갈 수 있으므로 온도센서(33)는 이를 방지하기 위함이다. 온도센서(33)는 세척조(21)가 일정한 온도 이상으로 가열되지 않도록 세척조(21)의 온도를 감지하며, 온도센서(33)에서 일정한 온도 이상 감지되면 초음파발진기(31)를 중지시킨다. 넘침센서(35)는 공급밸브(25)에서 세정액이 계속 공급되어 세정액이 세척조(21)에서 넘치는지 여부를 감지한다. 정상적으로는 만수센서(27)가 구비되어 있으므로 공급밸브(25)에서 일정한 높이까지만 세정액이 공급되어야 한다. 그러나 만수센서(27)가 오작동을 일으킬 경우 세정액이 계속 공급되어 세척조(21)에서 넘쳐날 수 있다. 넘침센서(35)는 이를 대비하여 설치되며, 넘침센서(35)에서 세정액이 감지되면 이를 사용자에게 알람을 줄 수 있다.

건조수단(40)은 세척조(21)에서 세척된 노즐(1)을 건조시키는 역할을 한다. 이를 위하여 건조수단(40)은 제1에어노즐(41) 및 제2에어노즐(43)을 구비한다.

제1에어노즐(41)은 세척조(21)에 장착되어 노즐(1)에서 세정액을 제거할 수 있도록 노즐(1)에 공기를 분사한다. 세척조(21)에서 노즐(1)에 세척되면 세정액은 배출밸브(23)를 통하여 배출된다. 세정액이 배출되더라도 노즐(1)에는 세정액이 남아 있으므로 제1에어노즐(41)은 세척조(21)의 내부에 위치한 노즐(1)에 공기를 분사시켜 노즐(1) 내부에 잔존한 세정액을 제거한다.

제2에어노즐(41)은 노즐(1)을 건조시키는 역할을 한다. 제1에어노즐(41)에 의하여 노즐(1)에서 세정액이 제거되면 노즐어댑터(10)는 세척조(21)의 외부로 이동된다. 그러면 제2에어노즐(41)이 노즐(1)에 공기를 분사시켜 노즐(1)을 건조시킨다.

이동수단(50)은 노즐어댑터(10)를 이동시키는 역할을 한다. 즉 이동수단(50)은 노즐어댑터(10)에 노즐메거진(3)이 장착된 경우 이를 세척조(21)로 이동시키고, 세척조(21)에서 노즐(1)이 세척이 되면 건주수단(40)으로 이동시킨다. 이를 위해서 이동수단(50)은 서버모터(51), 하강실린더(53) 등으로 구성된다.

본 실시예의 초음파 세척장치로 노즐(1) 세척시 먼저 초음파 세척장치의 셔터가 열리고 도 8에 도시된 바와 같이 노즐어댑터(10)가 돌출된다. 그럼 노즐메거진(3)을 노즐어댑터(10)에 거치시키고 도 9에 도시된 바와 같이 노즐어댑터(10)가 들어간다.

노즐을 세척하기 위하여 세척조(21)에 도 10에 도시된 바와 같이 세정액이 보충된다. 세정액이 세척조(21)에 채워지면 도 11 내지 도 13에 도시된 바와 같이 이동수단(50)에 의하여 노즐어댑터(10)가 세척조(21)로 이동하여 투입된다. 세척조(21)에 노즐어댑터(10)가 투입되면 초음파발진기(31)가 동작하여 노즐(1)을 세척한다.

초음파발진기(31)가 동작하여 노즐(1)의 세척이 완료되면 세척조(21)에서 세척액이 배출밸브(23)로 배출된다. 그러면 도 14에 도시된 바와 같이 제1에어노즐(41)이 세척조(41)로 삽입되어 노즐(1)의 내부에 남아 있는 세정액을 제거한다. 제1에어노즐(41)로 노즐어댑터(10) 주변의 세정액이 제거되면 도 15에 도시된 바와 같이 이동수단(50)에 의하여 노즐어댑터(10)가 세척조(21)에서 분리된다. 그러면 도 16에 도시된 바와 같이 제2에어노즐(43)로 노즐(1)에 공기를 분사하여 노즐(1)을 건조시킨다.

1 : 노즐 3 : 노즐메거진
10 : 노즐어댑터 20 : 세척수단
21 : 세척조 25 : 공급밸브
23 : 배출밸브 27 : 만수센서
29 : 저수센서 31 : 초음파발진기
33 : 온도센서 35 : 넘침센서
40 : 건조수단 41 : 제1에어노즐
43 : 제2에어노즐 50 :이동수단
51 : 서보모터 53 : 하강실린더

Claims

칩마운트 장비의 노즐이 장착된 노즐메거진을 거치시킬 수 있는 노즐어댑터와,
세정액을 수용할 수 있는 세척조와, 상기 세척조에 상기 세정액을 공급하는 공급밸브와, 상기 세척조에서 상기 세정액을 배출시키기 위한 배출밸브와, 상기 공급밸브를 닫기 위하여 상기 세척조에 상기 세정액이 보충이 다되었는지를 감지하는 만수센서와, 상기 배출밸브를 닫기 위하여 상기 세척조에서 상기 세정액의 배출여부를 감지하는 저수센서와, 상기 세척조의 세정액으로 상기 노즐을 세척하기 위한 초음파발진기와, 상기 세척조가 일정한 온도 이상으로 가열되지 않도록 상기 세척조의 온도를 감지하는 온도센서를 구비하는 세척수단과,
상기 세척조에서 세척된 노즐에서 상기 세정액을 제거하기 위하여 상기 노즐에 공기를 분사할 수 있도록 상기 세척조에 장착된 제1에어노즐과, 세정 후 상기 세척조에서 분리된 상기 노즐을 건조시키기 위하여 상기 노즐에 공기를 분사하는 제2에어노즐을 구비하는 건조수단과,
상기 노즐어댑터를 이동시키는 하강실린더와, 상기 하강실린더를 구동시키기 위한 서버모터를 구비하여 상기 노즐어댑터를 상기 세척조와 상기 건조수단으로 이동시킬 수 있는 이동수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐용 초음파 세척장치.
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