KR101905405B1 - 전자기 이네이블 능동형 동압 기체 베어링 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 전자기 베어링(1) 및 전자기 베어링(1)과 회전자 축(2) 사이에 내포된 탄성 포일 베어링(3)을 포함하는 전자기 이네이블 능동형 동압 기체 베어링에 있어서, 상기 탄성 포일 베어링(3)은 상층 탄성 포일(31)과 하층 탄성 포일(32)을 포함하고, 상기 상층 탄성 포일(31)은 비자성 재료이고, 상층 탄성 포일(31)의 표면에는 복수의 각자 독립된 자성 재료 영역이 분포되어 있는 것을 특징으로 하는 전자기 이네이블 능동형 동압 기체 베어링을 제공한다. 본 발명의 전자기 이네이블 능동형 동압 기체 베어링은 구조가 간단하고, 정밀도에 대한 요구가 낮고, 기체-자기 결합 베어링의 구조를 적용하고, 조정가능한 자성 플랫 포일 및 저비용의 압력 센서를 구비함으로써, 기존 동압 기체 베어링의 작업에 존재하는 저속 지지력이 낮고 베어링 섭동에 의한 편심에 따른 윤활 기류 누설로 인한 제어 불가의 문제점을 해결한다.

Description

전자기 이네이블 능동형 동압 기체 베어링
본 발명은 고속 무급유 윤활 지지 설비 기술에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 전자기 이네이블 능동형 동압 기체 베어링에 관한 것이다.
전자기 베어링은 전자기력을 이용하여 회전자를 안정적으로 부상시키고 제어 시스템에 의해 그 축심 위치가 제어가능한 베어링으로서, 통상적으로 전자기 베어링 또는 자기 부상 베어링이라고 불리기도 하는데, 기존 기술에 있어서 가장 많이 사용되고 있는 타입으로는 능동형 자기 부상 베어링(AMB)이다. 전자기 베어링은 자기력의 작용을 이용하여 회전축을 공중의 소정 위치로 부상시켜 기존 베어링의 역할을 실현하는 것으로, 회전자와 베어링간의 직접적인 접촉을 피하도록 하고, 윤활 및 밀봉 또한 필요 없게 되어, 마모를 완전히 해소하고 전력 소모를 감소시킬 수 있다. 전자기 베어링은 제어 가능성을 구비하여, 회전자의 위치에 대한 능동적인 제어를 실시할 수 있고, 게다가 시스템 제어에 의해 베어링의 강도와 덤핑을 조정할 수 있다. 또한, 전자기 베어링은, 수명이 길고 작업 온도 범위가 크며 자동 평형이 가능한 등의 장점이 있다. 자기 베어링 시스템은 회전자, 센서, 제어기 및 엑추에이터 네 부분으로 구성되고, 그 중, 엑추에이터는 전자석 및 전력 증폭기 등을 포함한다.
자기 베어링 자체의 발전 차원에서 볼 때, 아직 많은 결함이 존재한다. 예컨대, 자기 베어링 운행에 따른 모든 핵심 데이터 및 응답은 모두 회전자 위치로부터 송신받고 있는데, 기존의 회전자의 기준위치를 확정하기 위한 센서는 통상적으로 인근의 전자석 자기장 방해를 받기 쉽기 때문에, 센서 신호의 오차는 흔히 자기 베어링의 돌발적 파괴성 고장을 초래하는 주요 원인이 된다. 재료의 자기 포화도 및 전자기 발열 등 원인으로, 전자기 베어링의 지지 능력에는 한계가 있다.
기체 베어링은 베어링 부상 기술에 있어서 비교적 성숙된 기술로서, 양호한 자기 적응성을 구비하고, 고온, 고속 및 고오염의 조건하에서 장기간 운행가능하며, 급유에 의한 윤활을 필요로 하지 않기 때문에, 구조가 간단하다. 또한, 윤활 매개체로서 기체를 적용하기 때문에, 회전자의 저속 운전 상태에 있어서 기체 베어링의 지지력이 비교적 약하고, 게다가 덤핑 및 강도도 비교적 약하기 때문에, 고온 정지 성능 저하를 초래한다. 또한, 시동 및 정지 단계에 있어서, 회전자의 시동/정지 시, 기체 베어링의 회전수가 저하함에 따라 축내기압이 부족해지고 지지력이 불충분해 질 경우, 베어링에 불가피하게 마모가 발생한다. 통상의 경우, 기체 베어링의 급정지나 급속 시동/정지는 모두 별도의 공기원에 의한 보조를 진행할 필요가 있고, 매번 시동/정지를 반복할 적마다 필연적으로 상응하게 사용 수명을 어느 정도 단축시키고, 아울러 신뢰성 저하를 초래하게 된다. 기체 베어링은, 구조의 가공 정밀도와 재료에 대한 요구가 모두 매우 높아, 기체 베어링의 응용 및 발전을 제한하는바, 이는 기체 베어링이 저원가 및 고신뢰성으로 각 업계로의 일반화가 불가능한 주된 원인 중 하나로 된다.
기존 기술에 있어서 기체-자기 결합 베어링은 기본적으로 한 셋트의 완전한 정압 기체 베어링의 구조 및 기능을 기반으로 별도의 한 셋트의 완전한 자기 베어링을 추가했을 따름으로, 통상적으로, 이와 같은 방식은 회전 정밀도를 향상시키는 목적임에 불과하다. 다만, 생산 유지보수 비용과 구조 복잡도 등이 도리어 대폭 증가되어, 결국 실험실 내 고가의 컨셉 프로토타입에 그치다보니, 대규모 산업으로의 적용이 불가능하다.
기존의 기체-자기 결합 베어링의 결함을 보완하기 위하여, 신규 기체-자기 결합 베어링이 요망되고 있는데, 그 중 자기 베어링은 주로 베어링과 회전자간의 기준 위치를 교정하는 작업에 사용된다. 기체 베어링의 품질 또는 정밀도가 부진할 경우 초래되는 진동 또는 외계로부터의 섭동으로 곧 회전자와 축 슬리이브간 "벽 접촉"이 발생하려고 할 때, 전자기 베어링에 의해 능동적으로 회전자를 견인하여 위치 복위시킬 수 있어, 회전자와 축 슬리이브 간 접촉의 발생을 피하고, "축 열붙음" 사고를 예방한다. 저비용의 센서를 적용하여 전자기 섭동을 줄이고, 제어 효율을 향상시킬 수 있다. 한편으로 자기 베어링 시스템에 대한 덤핑, 강도 및 지지력을 향상시키면서, 다른 한 편으로는 기체 베어링 제어불가의 결함도 극복할 수 있게 된다.
본 발명은 전자기 이네이블 능동형 동압 기체 베어링을 제공하는 것을 목적으로 한다. 상기 전자기 이네이블 능동형 동압 기체 베어링은 구조가 간단하고, 정밀도에 대한 요구가 낮고, 기체-자기 결합 베어링의 구조를 적용하고, 조정가능한 자성 플랫 포일 및 저비용의 압력 센서를 구비함으로써, 기존 동압 기체 베어링의 작업에 존재하는 저속 지지력이 낮고 베어링 섭동에 의한 편심에 따른 윤활 기류 누설로 인한 제어 불가의 문제점을 해결한다.
본 발명의 구체적인 기술 방안으로서, 전자기 베어링 및 전자기 베어링과 회전자 축사이에 내포된 탄성 포일 베어링을 포함하는 전자기 이네이블 능동형 동압 기체 베어링에 있어서, 상기 탄성 포일 베어링은 상층 탄성 포일과 하층 탄성 포일을 포함하고, 상기 상층 탄성 포일은 비자성 재료이고, 상층 탄성 포일의 표면에는 복수의 각자 독립된 자성 재료 영역이 분포되어 있는 것을 특징으로 하는 전자기 이네이블 능동형 동압 기체 베어링이다.
나아가, 상기 자성 재료 영역은 스트립 형상의 자성 재료 영역 또는 점 형상의 자성 재료 영역이고, 복수의 스트립 형상의 자성 재료 영역 또는 점 형상의 자성 재료 영역은 균일하게 분포되고, 상기 스트립 형상의 자성 재료 영역의 길이 방향과 회전자 축의 축선 방향은 평행된다.
나아가, 상기 상층 탄성 포일은 플랫 포일이고, 상기 하층 탄성 포일은 범프 포일이고, 상기 플랫 포일은 비자성 재료인 스테인리스 스틸 스트립으로 제작되고, 상층 탄성 포일의 표면에 복수의 각자 독립된 자성 재료 영역을 차폐 스프레이한 후, 세라믹 코팅층으로 커버링한다.
나아가, 탄성 포일 베어링 브라켓, 베어링 셸 및 압력 센서를 더 포함하고, 상기 전자기 베어링은 탄성 포일 베어링 브라켓과 베어링 셸 사이에 위치하고, 상기 탄성 포일 베어링 브라켓은 하층 탄성 포일을 장착하기 위한것이고, 상기 압력 센서의 프로브는 탄성 포일 베어링 브라켓을 관통하여 하층 탄성 포일 부분의 기체 압력을 측정하는데 사용된다.
나아가, 좌단 커버와 우단 커버를 더 포함하고, 상기 전자기 베어링은 자극(磁極)과 자극에 감긴 코일을 포함하고, 상기 자극은 복수개로서, 탄성 포일 베어링 브라켓과 베어링 셸 사이에 장착되어, 탄성 포일 베어링의 원주 방향을 따라 균일하게 분포되고, 상기 자극의 일단은 회전자 축의 축선을 가리키고, 상기 좌단 커버와 우단 커버는 탄성 포일 베어링 브라켓과 베어링 셸의 양단에 위치하여, 자극을 클램핑한다.
나아가, 상기 압력 센서는 8개로서, 탄성 포일 베어링의 중부에 위치하여, 탄성 포일 베어링의 원주 방향을 따라 균일하게 분포되고, 상기 자극은 8개로서, 각 자극은 규소 강판이 라미네이팅되어 형성된다.
나아가, 상기 탄성 포일 베어링 브라켓, 좌단 커버 및 우단 커버의 재료는 듀랄루민 재료이다.
본 발명의 유익한 효과로서, 종래 기술에 비해, 본 발명의 전자기 이네이블 능동형 동압 기체 베어링은 하기와 같은 장점들이 있다.
1) 상층 포일상에 복수의 자성 재료 영역이 설치되고, 전자기 베어링의 자극의 흡인에 의해 상층 포일을 적당하게 변형시켜 베어링내의 윤활 공기막 측의 최고 압력을 제고시키고 윤활 기류 누설을 방지하고, 회전자의 섭동에 따른 편심으로 인한 벽충돌에 견디는 능력을 향상시킴으로써 베어링의 지지력도 향상시킨다.
2) 비용이 비교적 낮은 압력 센서를 적용하여 기체 압력 변화를 채집하고, 간단한 제어 법칙으로 상층 포일의 변형을 제어하는 것으로, 비교적 높은 회전자 덤핑을 제공할 수 있고, 회전자의 안전성을 개선시킨다. 이와 같이 단순화된 제어하에 베어링 가공 정밀도에 대한 요구가 낮다.
3) 전자기 베어링과 기체 베어링, 즉 탄성 포일 베어링이 내포식 병렬형 구조를 적용하여, 기체-전자기 베어링의 축 방향 길이를 단축시키고, 구조를 간소화시키고, 집적도를 높이며, 베어링의 종합 성능을 향상시킨다.
4) 전자기 베어링과 기체 베어링, 즉 탄성 포일 베어링이 협동 작업하여, 베어링의 고속 운전 상태에서의 동적 성능 및 안전성을 개선시킨다.
5) 베어링이 저속일 때, 동압 공기막이 아직 형성되지 않아, 전자기 베어링에 의해 회전자를 부상시켜, 기체 베어링, 즉 탄성 포일 베어링의 저속 성능을 향상시킨다.
본 발명의 기체 베어링은 구조가 간단하고, 조작이 용이하고, 정밀도에 대한 요구가 낮고, 실용성이 뛰어나며, 경제적 비용이 낮다.
도 1은 본 발명에 따른 전자기 이네이블 능동형 동압 기체 베어링의 정면도이다.
도 2는 도 1에서의 A-A 단면도이다.
도 3은 도 2에서의 B 부분의 확대도이다.
도 4는 본 발명에 따른 전자기 이네이블 능동형 동압 기체 베어링의 스트립 형상의 자성 재료를 구비한 상층 포일 전개 개략도이다.
도 5는 본 발명에 따른 전자기 이네이블 능동형 동압 기체 베어링의 점 형상의 자성 재료를 구비한 상층 포일 전개 개략도이다.
도 6은 본 발명의 전자기 이네이블 능동형 동압 기체 베어링의 상층 포일의 변형 개략도이다.
이하, 명세서에 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 기술방안을 보다 상세하게 설명하기로 한다.
도 1 내지 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 전자기 베어링(1), 전자기 베어링(1)과 회전자 축(2) 사이에 내포된 탄성 포일 베어링(3), 탄성 포일 베어링 브라켓(4), 베어링 셸(5), 압력 센서(6), 좌단 커버(7) 및 우단 커버(8)를 포함하는 전자기 이네이블 능동형 동압 기체 베어링에 있어서, 상기 탄성 포일 베어링(3)은 상층 탄성 포일(31)과 하층 탄성 포일(32)을 포함하고, 상기 상층 탄성 포일(31)은 비자성 재료이고, 상층 탄성 포일(31)의 표면에는 복수의 각자 독립된 자성 재료 영역이 분포되어 있는 것을 특징으로 한다.
상기 전자기 베어링(1)은 탄성 포일 베어링 브라켓(4)과 베어링 셸(5) 사이에 위치하고, 상기 탄성 포일 베어링 브라켓(4)은 하층 탄성 포일(32)을 장착하기 위한것이고, 상기 압력 센서(6)의 프로브는 탄성 포일 베어링 브라켓(4)을 관통하여 하층 탄성 포일(32) 부분의 기체 압력을 측정하는데 사용된다. 상기 압력 센서(6)는 8개로서, 탄성 포일 베어링(3), 즉 기체 베어링의 중부에 위치하여, 탄성 포일 베어링(3), 즉 기체 베어링의 원주 방향을 따라 균일하게 분포된다. 상기 압력 센서(6)는 압력 센서 커버(61)와 압력 센서 프로브(62)를 포함한다.
상기 전자기 베어링(1)은 자극(磁極) (11)과 자극(11)에 감긴 코일(12)을 포함하고, 상기 자극(11)은 8개로서, 각 자극(11)은 규소 강판이 라미네이팅되어 형성된다. 자극(11)은 탄성 포일 베어링 브라켓(4)과 베어링 셸(5) 사이에 장착되어, 탄성 포일 베어링(3), 즉 기체 베어링의 원주 방향을 따라 균일하게 분포되고, 상기 자극(11)의 일단은 회전자 축(2)의 축선을 가리키고, 상기 좌단 커버(7)와 우단 커버(8)는 탄성 포일 베어링 브라켓(4)과 베어링 셸(5)의 양단에 위치하여, 자극(11)을 클램핑한다.
상기 탄성 포일 베어링 브라켓(4), 좌단 커버(7) 및 우단 커버(8)의 재료는 비자성 듀랄루민 재료이다.
도 4 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 상층 탄성 포일(31)의 표면에 분포된 자성 재료 영역은 스트립 형상의 자성 재료 영역 또는 점 형상의 자성 재료 영역이고, 복수의 스트립 형상의 자성 재료 영역 또는 점 형상의 자성 재료 영역은 균일하게 분포되고, 상기 스트립 형상의 자성 재료 영역의 길이 방향과 회전자 축(2)의 축선 방향은 평행된다. 한 장의 상층 탄성 포일(31)로 자성 재료를 완전히 커버링하면, 자기력에 의한 제어를 실시할 때 리스트릭터 박판의 응력 복잡도를 대폭 증대시킨다. 상층 탄성 포일(31)의 굴곡성이 부족하면, 움직임에 따른 곡률 변형의 문제가 출현하기 쉽다.
상기 상층 탄성 포일(31)은 플랫 포일이고, 상기 하층 탄성 포일(32)은 범프 포일이고, 상기 플랫 포일은 비자성 재료인 스테인리스 스틸 스트립으로 제작되고, 상층 탄성 포일(31)의 표면에 복수의 각자 독립된 자성 재료 영역을 차폐 스프레이한 후, 세라믹 코팅층으로 커버링한다. 상층 탄성 포일(31)은 40% 산화지르코늄 ＋ 30% α산화알루미늄 ＋ 30% 알루민산마그네슘 스피넬의 세라믹 나노분말을 소결시켜 박판을 제조할 수도 있다.
도 6에 도시된 바와 같이, 현실에서, 회전자 축(2)의 단면은 이상적인 원형일 리 없는바, 회전중에 비진원도가 공기막의 압력에 영향을 끼칠 경우, 기체 베어링내의 상층 탄성 포일(31)이 아래로 이동하고, 하부 챔버 압력이 커지는 반면에상부 챔버 압력은 저하된다.
회전자 축 정밀도를 저하시키기 위해 베어링 간극을 넓히고 나면, 회전자 축(2)의 비진원도가 공기막 압력 및 분포에 미치는 영향도 상응하게 감소된다. 때문에, 이와 같은 베어링 간극을 넓힌 동압 기체 베어링이 충분한 회전수에 도달하여 가동이 완료되고 평형 상태로 되면, 간극이 좁은 베어링에 비해, 그 베어링 강도 및 지지력이 어느 정도 저하된다. 이 경우, 전자기 베어링을 도입하여 이 문제점을 보완할 필요가 있게 된다.
하중이 회전자 축(2)에 걸려 회전자 축(2)이 점점 하강하여 상층 탄성 포일(31)에 근접할 때, 전자기 베어링(1)은 압력 센서(6)가 송신한 기압 증대를 나타내는 신호를 획득하여 작업에 개입 시작할 수 있게 된다. 전자기 베어링(1)은 전적으로 직접 자기력을 회전자 축(2)에 작용시켜 부상시키는 것이 아니라, 자기력을 이용하여 상층 탄성 포일(31)을 능동적으로 상향 추진시켜 하부 챔버 압력을 능동적으로 제고시키고, 회전자 축(2)에 걸리는 하중에 적응시켜, 자동적으로 베어링내의 각 방향에서의 기류의 압력을 새롭게 분배하도록 한다. 회전자 축(2)이 새로운 평형 위치에 도달했을 때, 새로운 섭동이 발생하지 않는 한, 전자기 베어링(1)은 작업을 멈춘다.
외부 충격의 섭동이 발생 시, 회전자 축(2)은 신속히 상층 탄성 포일(31)에 근접할 가능성이 있다. 이 때, 탄성 포일 베어링(3), 즉 기체 베어링이 즉시에 응답하지 않으면, 순간적 간극 과소에 따른 국부적 기체 유속이 음속에 가까워 지거나 심지어는 음속에 도달하여, 충격파에 의한 공기 해머의 자기 여자 현상을 야기할 가능성이 있다. 충격파의 산생은 국부적 기체 유동의 섭동과 혼란을 초래하게 되고, 유체 속도가 음속에서 아음속사이에서 변화할 때, 그 압력은 계단식으로 현저하게 저하된다. 이 경우, 유체 동력의 원리는 통상의 경우와는 반대로, 회전자 축(2)의 표면과 상층 탄성 포일(31)간의 유동 간극이 좁을 수록 압력은 오히려 낮아진다. 이 경우, 상층 탄성 포일(31)이 능동적으로 회전자 축(2)의 표면을 "회피"함으로써 보다 큰 유동 간극을 만들어 내어 기류 속도를 가급적 아음속 구간내로 유지시켜, 그 정상 유체 압력을 유지시킬 필요가 있다.
이와 같은 기체 베어링 자체의 보상 능력에 넘치는 작업 조건하에서, 기체 베어링을 계속 정상으로 작업시키고자 할 경우, 일종의 외력을 도입하여 새롭게 상층 탄성 포일(31)과 회전자 축(2)간의 상대적 위치를 조정시킬 필요가 있다. 요컨대, 전자기 베어링(1)의 작용을 이용하여 협착부위인 회전자 축(2)과 상층 탄성 포일(31)간의 간극을 "강제적으로 벌려"야 한다. 이 경우, 이 방향에서의 양단의 자극이 동일한 극성으로 여자될 수 있도록 제어할 필요가 있다. 즉, 간극이 좁은 방향에서 산생된 흡인력은 상층 탄성 포일(31)을 역흡인하는데 사용되고, 간극이 넓은 방향에서 산생된 흡인력은 회전자 축(2)을 역흡인하는데 사용된다. 양단의 자기력 작용 거리 차를 이용하여 자기력 차를 산생시킴으로써, 회전자 축(2)을 끌어당겨 상층 탄성 포일(31)과의 정상 간극을 회복시키고, 따라서 탄성 포일 베어링(3), 즉 기체 베어링의 기류 및 작업 조건을 다시 평형 상태로 되돌린다. 동등한 상황이 공정 요구도가 낮은 (간극이 비교적 넓은) 기존의 기체-자기 결합 베어링에 발생한다면, 기체 베어링이 자기 적응 조절 능력을 잃게 되면서, 회전자는 끊임없이 기체 차압에 의해 축 슬리이브 측으로 눌리는 반면, 전자기 베어링은 자기력을 산생시켜 회전자를 "잡아 끌려"고 한다. 요컨대, 양 베어링간에 상호적 대항이 형성된다. 이 경우, 흔히 베어링의 강도는 기체 베어링 쪽이 비교적 높은 편이므로, 양 베어링 체계간에 끊임없이 "톱질"에 의한 대폭적인 떨림현상이 발생하거나 또는 "서로 버티며 양보하지 않"아 회전자 축이 정상 작업 상태로 돌아가지 못한 채, 줄곧 서로 "양보 없이 맞서 대치하는" 등 일련의 베어링 작업 및 성능에 심각하게 영향을 미치는 문제점을 초래한다.
본 발명의 동압형 기체 베어링은, 별도의 한 셋트의 변위 센서(9)를 더 포함할 수 있다(도 6 참조). 그 이유는, 탄성 포일 베어링(3), 즉 동압 기체 베어링은 외부로부터의 공기원의 보조가 없어, 자체 구조에 의해 공기원을 산생시켜야 하기 때문이다. 때문에, 이와 같은 동압 기체 베어링을 기반으로 하는 기체-자기 결합 베어링은 흔히 "제로 스타팅" 및 "난기 급정지"의 능력을 보류할 필요가 있다. 즉, 회전자의 회전수가 매우 낮을 때 또는 곧 정지하려고 할 때, 탄성 포일 베어링(3), 즉 기체 베어링의 공기원 압력이 매우 낮아, 회전자의 하중을 온전하게 감당하지 못하게 되는데, 이 때 심각한 마모가 발생하기 쉽다. 때문에, 이 단계에 있어서, 변위 센서(9)를 개입시켜, 능동적으로 전자기 베어링(1)을 이용하여 회전자를 일시적으로 떠받들고 있다가, 회전자의 회전수가 탄성 포일 베어링(3), 즉 기체 베어링의 하중 작업 조건을 만족시키는 수준으로 상승 또는 이미 정지 완료에 가까운 수준으로 저하된 이상적 작업 조건이 된 후에 다시 기타 작업 상태로 전환시킬 필요가 있다.

Claims (8)

  1. 전자기 베어링(1) 및 전자기 베어링(1)과 회전자 축(2) 사이에 내포된 탄성 포일 베어링(3)을 포함하는 전자기 이네이블 능동형 동압 기체 베어링에 있어서,
    상기 탄성 포일 베어링(3)은 상층 탄성 포일(31)과 하층 탄성 포일(32)을 포함하고,
    상기 상층 탄성 포일(31)은 비자성 재료이고, 상층 탄성 포일(31)의 표면에는 복수의 각자 독립된 자성 재료 영역이 분포되어 있는 것을 특징으로 하는 전자기 이네이블 능동형 동압 기체 베어링.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 자성 재료 영역은 스트립 형상의 자성 재료 영역 또는 점 형상의 자성 재료 영역이고,
    복수의 스트립 형상의 자성 재료 영역 또는 점 형상의 자성 재료 영역은 균일하게 분포되고,
    상기 스트립 형상의 자성 재료 영역의 길이 방향과 회전자 축(2)의 축선 방향은 평행되는 것을 특징으로 하는 전자기 이네이블 능동형 동압 기체 베어링.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 상층 탄성 포일(31)은 플랫 포일이고,
    상기 하층 탄성 포일(32)은 범프 포일이고,
    상기 플랫 포일은 비자성 재료인 스테인리스 스틸 스트립으로 제작되고, 상층 탄성 포일(31)의 표면에 복수의 각자 독립된 자성 재료 영역을 차폐 스프레이한 후, 세라믹 코팅층으로 커버링하는 것을 특징으로 하는 전자기 이네이블 능동형 동압 기체 베어링.
  4. 제 1항 내지 제 3항의 어느 한 항에 있어서,
    탄성 포일 베어링 브라켓(4), 베어링 셸(5) 및 압력 센서(6)를 더 포함하고,
    상기 전자기 베어링(1)은 탄성 포일 베어링 브라켓(4)과 베어링 셸(5) 사이에 위치하고,
    상기 탄성 포일 베어링 브라켓(4)은 하층 탄성 포일(32)을 장착하기 위한것이고,
    상기 압력 센서(6)의 프로브는 탄성 포일 베어링 브라켓(4)을 관통하여 하층 탄성 포일(32) 부분의 기체 압력을 측정하는데 사용되는 것을 특징으로 하는 전자기 이네이블 능동형 동압 기체 베어링.
  5. 제 4항에 있어서,
    좌단 커버(7)와 우단 커버(8)를 더 포함하고,
    상기 전자기 베어링(1)은 자극(磁極)(11)과 자극(11)에 감긴 코일(12)을 포함하고,
    상기 자극(11)은 복수개로서, 탄성 포일 베어링 브라켓(4)과 베어링 셸(5) 사이에 장착되어, 상기 탄성 포일 베어링(3)의 원주 방향을 따라 균일하게 분포되고, 상기 자극(11)의 일단은 회전자 축(2)의 축선을 가리키고,
    상기 좌단 커버(7)와 우단 커버(8)는 탄성 포일 베어링 브라켓(4)과 베어링 셸(5)의 양단에 위치하여, 자극(11)을 클램핑하는 것을 특징으로 하는 전자기 이네이블 능동형 동압 기체 베어링.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 압력 센서(6)는 8개로서, 상기 탄성 포일 베어링(3)의 중부에 위치하여, 상기 탄성 포일 베어링(3)의 원주 방향을 따라 균일하게 분포되고,
    상기 자극(11)은 8개로서, 각 자극(11)은 규소 강판이 라미네이팅되어 형성된 것을 특징으로 하는 전자기 이네이블 능동형 동압 기체 베어링.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 탄성 포일 베어링 브라켓(4), 좌단 커버(7) 및 우단 커버(8)의 재료는 듀랄루민 재료인 것을 특징으로 하는 전자기 이네이블 능동형 동압 기체 베어링.
  8. 제 3항에 있어서,
    변위 센서(9)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자기 이네이블 능동형 동압 기체 베어링.
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