KR101901831B1 - 인터록 벨로우즈 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 생산을 용이하게 하며, 내구성을 향상시킨 벨로우즈 장치에 관한 것이다. 이를 위하여, 본 발명은, 끝단에 설치되는 플랜지; 상기 플랜지에 형성된 삽입홈에 삽입되어 용접결합되는 인터록; 상기 인터록을 감싸며, 상기 플랜지에 용접결합되는 벨로우즈관을 포함하여 구성되며, 상기 플랜지와 인터록의 용접은 상기 삽입홈의 내주면 상에서 용접되는 벨로우즈 장치를 제공한다.
따라서, 본 발명에 의하면, 벨로우즈 장치의 제조시 좀 더 용이하게 제작할 수가 있으며, 내구성을 향상시켜 불량품의 발생빈도를 줄일 수 있다.

Description

인터록 벨로우즈 장치{Interlock Bellows apparatus}

본 발명은 인터록 벨로우즈 장치에 관한 것이며, 구체적으로 생산을 용이하게 하며, 내구성을 향상시킨 인터록 벨로우즈 장치에 관한 것이다.

반도체 공정은 산화, 확산, 사진, 식각, 이온주입, 증착, 금속배선 공정 등 다양한 공정을 포함하는데, 반도체 장비의 특성상 이물질을 제거하기 위해 진공상태를 유지는 경우가 많으며, 공정이 진행된 후의 부산물들은 배기라인을 통해 외부로 배출시킨다.

상기 배기라인으로는 다량의 화학가스 등이 지나가는데 이러한 화학가스등이 엉겨붙으면 부식 등이 발생하여 유출될 우려가 있기 때문에 원활한 흐름을 유지하여야 한다. 상기 배기라인은 파이프와 같이 고정된 형태로 되어 있으면 장비의 진동에 의해 파손될 우려가 있고 장비에 따라 정확한 설치위치를 맞추기 어려워 탄성이 있는 벨로우즈 장치를 사용한다.

도 1에 나타낸 공개특허공보 제10-2015-0132824호에 의하면, 상기 벨로우즈 장치는 플랜지(10)에 인터록 호스(20)를 끼우고 인터록 호스의 외주면을 따라 용접(50)하여 결합하도록 되어 있다. 또한, 플랜지(10)와 인터록 호스(20)를 용접결합한 후에는 벨로우즈관으로 인터록 호스의 외주면을 감싸도록 설치한 다음 플랜지와 벨로우즈관을 용접결합하여 벨로우즈 장치를 완성한다.

하지만, 이러한 종래의 벨로우즈 장치에 의하면, 플랜지와 인터록 호스를 용접할 때 부식 등으로 인해 인터록 호스의 용접되는 부분에 구멍이 나 화학가스가 유출되어 버리는 사고가 종종 발생하는 문제점이 있다.

또한, 인터록과 플랜지를 용접결합했을 때, 그 부위로 인하여 벨로우즈관이 플랜지에 밀착하지 못하고 갭이 생겨 용접불량이 발생하는 문제점이 있다.

그리고, 인터록 호스 설치시 인터록 호스가 돌아가거나 꼬여버리는 경우가 종종 있어 제조시 어려움이 있다.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것이며, 벨로우즈 장치 생산시 제작을 용이하게 하고 내구성을 강화할 수 있는 방법을 제공하는 것이 본 발명의 목적이다.

상기한 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은, 끝단에 설치되는 플랜지; 상기 플랜지에 형성된 삽입홈에 삽입되어 용접결합되는 인터록; 상기 인터록을 감싸며, 상기 플랜지에 용접결합되는 벨로우즈관을 포함하여 구성되며, 상기 플랜지와 인터록의 용접은 상기 삽입홈의 내주면 상에서 용접되는 인터록 벨로우즈 장치를 제공한다.

상기 삽입홈의 외벽에는 상기 인터락을 향해 단면적이 점차적으로 넓어지도록 경사부가 형성되고, 상기 용접은 상기 경사부 내에서 수행되는 것이 바람직하다.

상기 삽입홈의 내벽에는 상기 경사부보다 상기 벨로우즈의 내주면으로 돌출된 밀착돌출부가 형성될 수 있다.

본 발명에 의하면, 벨로우즈 장치의 제조시 좀 더 용이하게 제작할 수가 있으며, 내구성을 향상시켜 불량품의 발생빈도를 줄일 수 있다.

또한, 제품의 안정성을 확보하여 제품 신뢰성을 향상시킬 수 있으므로 매출증대에 도움을 준다.

도 1은 종래기술에 의한 벨로우즈 장치의 구성을 나타내는 단면사시도;
도 2는 본 발명에 의한 벨로우즈의 구성을 나타내는 단면도;
도 3은 본 발명에 의한 플랜지의 구조를 더 자세히 나타낸 단면사시도;
도 4는 본 발명에 의한 벨로우즈 장치의 내부구조를 나타내는 단면도;
도 5는 본 발명에 의한 벨로우즈 장치의 다른 실시예를 나타내는 단면도.

본 발명의 실시예의 구성 및 작용에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명에 의한 인터록 벨로우즈 장치는 플랜지(100), 인터록(200), 벨로우즈관(300)을 포함하여 구성된다.

상기 플랜지(100)는 벨로우즈 장치의 양단에 대칭적으로 구비되며, 배기펌프나 반도체 장비 등에 결합될 수 있다. 즉, 상기 플랜지(100) 중 일단의 플랜지는 배기펌프에 결합되고 타단의 플랜지는 반도체 장비에 결합되어 반도체 장비에서 생성되는 화학가스나 이물질들이 벨로우즈 장치를 통해 외부로 배출될 수 있도록 할 수 있다. 상기 플랜지는 반도체 장비와 배기펌프의 사이에만 구비되는 것이 아니라, 각 반도체 장비 사이에 구비될 수도 있다.

상기 플랜지(100)는 인터록(200)이 삽입될 수 있도록 인터록(200)과 마주보는 면에 삽입홈(110)이 형성된다. 상기 삽입홈(110)은 인터록(200)과 마주보는 면에 인터록의 지름 크기에 맞추어 원 형상으로 형성되는 것이 바람직하다.

상기 인터록(200)은 금속판을 'S'자 형태로 절곡시킨 후 서로서로 맞물리도록 형성된다. 이러한 인터록(200)은 전체적으로 탄성을 가지며 휘어질 수 있고 후술할 벨로우즈관(300)에 비해 내부 굴곡면이 평탄하기 때문에 화학가스의 흐름이 보다 원활하게 되며, 중간에 화학성분이 남게 되는 문제를 경감시켜 준다. 또한, 상기 인터록(200)은 반도체 장비의 진동에너지를 흡수하여 벨로우즈관(300)의 내구성을 향상시키며, 벨로우즈관의 산화부식을 방지한다.

상기 인터록(200)의 끝단은 상기 플랜지(100)의 삽입홈에 삽입된다. 상기 인터록의 끝단이 삽입홈에 삽입된 후에는 상기 플랜지와 인터록을 용접시켜 견고하게 결합되도록 한다.

이때, 상기 용접방법은 스폿용접이 바람직하며, 원주를 따라 3~4군데 용접할 수 있다.

한편, 상기 플랜지(100)에 형성되는 삽입홈(110)은 반지름방향으로 바깥쪽의 외벽(130)과 반지름방향으로 안쪽의 내벽(150)에 의해 형성되는데, 상기 외벽(130)에는 인터록을 향해 단면적이 점차적으로 넓어지도록 경사부가 형성된다. 상기 경사부는 30°~ 50°정도의 경사도를 갖고 형성되는 것이 바람직하다.

본 발명에 의하면, 인터록(200)과 플랜지(100)를 용접할 때 경사부에 의한 공간이 확보되어 삽입홈 내주면 상에서 용접이 가능해진다. 즉, 용접시 상기 경사부가 가이드 역할을 해 주어 용접작업이 용이해지며, 삽입홈 내주면 상에서 용접이 됨으로써 인터록의 손상을 방지하며 설사 인터록에 손상이 가더라도 용접부위 아래 부분에 플랜지의 내벽이 지지해 주어 화학가스가 유출되는 문제가 발생되지 않는다.

한편, 도 4를 참조하면, 상기 삽입홈(110)의 내벽(150)에는 상기 경사부보다 인터록(200) 방향으로 돌출된 밀착돌출부(152)가 형성된다. 상기 밀착돌출부(152)는 인터록(200)과의 접촉면적을 넓혀서 인터록이 헛돌거나 꼬이는 것을 방지하여 준다.

인터록을 삽입홈에 삽입시킨 후 용접을 하려고 하는 동안 인터록이 헛돌거나 꼬임이 발생하여 용접작업이 용이하지 않다. 본 발명에 의하면 플랜지(100)에 형성된 밀착돌출부(152)에 의하여 인터록(200)을 올바른 위치에 잡아주는 효과가 있다.

또한, 도 5를 참조하면, 상기 밀착돌출부(152)의 끝단에는 상방돌출부(153)가 형성되어 상기 인터록(200)을 바른 자세로 잡아주어 헛돌거나 꼬임발생을 효과적으로 방지하여 준다.

상기 상방돌출부(153)는 인터록(200) 사이의 홈에 끼워지도록 구비되며, 결합시에는 약간의 탄성변형에 의해 결합될 수 있다. 또한, 상기 상방돌출부는 원주상으로 연속적으로 형성될 수도 있지만, 원주상에 3~4개소 형성될 수도 있다.

상기 벨로우즈관(300)은 스테인리스로 제작될 수 있으며, 상기 인터록을 외부에서 감싸는 형태로 구비된다. 상기 벨로우즈관(300)은 직경이 큰 산과 직경이 작은 골이 교차되어 주름진 형태로 구비되며, 양단은 상기 플랜지(100)에 용접되어 결합된다. 상기 벨로우즈관(300)은 외부와의 기밀을 유지하여 진공상태를 유지하는 역할을 한다.

상기 벨로우즈관(300) 용접시에는 벨로우즈관을 플랜지에 밀착시킨 다음 접촉 외주면을 따라 용접하는 것이 바람직하다.

본 발명에 의한 벨로우즈 장치를 제작하기 위해서는, 먼저 플랜지(100)의 삽입홈으로 인터록(200)의 끝단을 삽입한 다음, 삽입홈에 형성된 경사부 내부로 스폿용접기를 삽입하여 인터록(200)과 플랜지(100)를 용접시킨다.

이때, 용접부위는 삽입홈의 내주면 상에서 용접이 되므로 인터록 손상이 방지된다. 또한, 외부로 용접부위가 드러나지 않으므로 벨로우즈관(300)과 플랜지(100) 사이의 갭을 없어져 밀착될 수 있다. 따라서, 벨로우즈관(300)과 플랜지(100)의 용접불량이 현저히 감소된다.

인터록(200)의 용접이 완료되면 벨로우즈관(300)을 플랜지(100)에 밀착시키고 다시 외주면을 따라 용접하여 결합을 완료한다.

상기에서는 본 발명의 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

100 : 플랜지 110 : 삽입홈
130 : 경사부 150 : 내벽
152 : 밀착돌출부 153 : 상방돌출부
200 : 인터록 300 : 벨로우즈관
400 : 용접부위

Claims (3)

1. 끝단에 설치되는 플랜지;
   상기 플랜지에 형성된 삽입홈에 삽입되어 용접결합되는 인터록;
   상기 인터록을 감싸며, 상기 플랜지에 용접결합되는 벨로우즈관을 포함하여 구성되며,
   상기 플랜지와 인터록의 용접은 상기 삽입홈의 내주면 상에서 용접되고,
   상기 삽입홈의 외벽에는 상기 인터록을 향해 30°~ 50°의 경사도를 가지고 단면적이 점차적으로 넓어지도록 경사부가 형성되고, 상기 용접은 상기 경사부 내에서 수행되며,
   상기 삽입홈의 내벽에는 상기 경사부보다 상기 벨로우즈의 내주면으로 돌출된 밀착돌출부가 형성되고,
   상기 밀착돌출부에는 인터록 사이의 홈에 끼워지도록 구비되어 인터록이 헛돌거나 꼬임발생을 방지하는 상방돌출부가 형성된 인터록 벨로우즈 장치.
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3. 삭제

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