KR101893820B1 - 유기 발광 다이오드 패널의 화소 검사 장치 - Google Patents

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이성남
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Abstract

유기 발광 다이오드 패널의 화소 검사 장치가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 유기 발광 다이오드 패널(Organic Light Emitting Diodes Panel)의 RGB 화소 결함을 검출하기 위한 유기 발광 다이오드 패널의 화소 검사 장치로서, R 서브픽셀에 상응하는 제1 가진 파장(λ11)의 빛, G 서브픽셀에 상응하는 제2 가진 파장(λ22)의 빛 및 B 서브픽셀에 상응하는 제3 가진 파장(λ33)의 빛을 포함하는 가진 광(excitation light)을 RGB 화소로 조사하는 가진 광 조사부와; 가진 광의 조사에 따라, R 서브픽셀로부터 발산되는 제1 발산 파장(λ111)의 빛, G 서브픽셀로부터 발산되는 제2 발산 파장(λ222)의 빛 및 B 서브픽셀로부터 발산되는 제3 발산 파장(λ333)의 빛을 포함하는 발산 광(emission light)을 집광하고 확대하는 대물 렌즈와; 상기 가진 광 조사부로부터 조사되는 상기 가진 광이 대물 렌즈를 향하도록 가진 광을 반사하고, 상기 대물 렌즈를 통과한 발산 광을 통과시키는 제1 빔 스플리터(beam splitter)와; 상기 제1 빔 스플리터를 통과한 상기 발산 광을 통과시키는 발산 필터(emission filter)와; 상기 발산 필터를 통과한 상기 발산 광을 촬영하는 비젼부를 포함하는, 유기 발광 다이오드 패널의 화소 검사 장치가 제공된다.

Description

유기 발광 다이오드 패널의 화소 검사 장치{Apparatus for inspecting pixels of organic light emitting diode panel}
본 발명은 유기 발광 다이오드 패널의 화소 검사 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 유기물로 이루어진 발광층의 화소에 가진 파장의 빛을 조사하고, 이에 따라 각 화소에서 발산하는 발산 광을 촬영함으로써 비접촉식으로 유기 발광 다이오드 패널의 화소의 결함을 보다 정확히 검사할 수 있는 유기 발광 다이오드 패널의 화소 검사 장치에 관한 것이다.
유기 전계 발광소자(Organic Luminescence Emitting Device: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.
이러한 유기 전계 발광소자를 이용한 평판표시장치는 응답속도가 빠르며, 시야각이 넓어 차세대 표시장치로서 대두 되고 있다.
유기 전계 발광 소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 유기층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열증착방법으로 기판 상에 증착하게 된다.
유리 모기판의 표면에 다수의 유기 전계 발광 소자들이 형성한 후에는 각 소자에 대한 점등 검사를 실시하는데, 점등 검사를 통해 각 화소의 R, G, B 서브 픽셀 별 점등 여부 및 결함을 검사하게 된다.
이러한 점등 검사는 점등 검사용 지그(zig)를 이용하여 유리 모기판의 각 소자별 점등 검사를 수행하게 되는데, 유리 모기판의 형태 별로 점등 검사용 지그(jig)를 마련하여야 하는 문제점이 있다.
한편, 소자에 전원을 인가하기 위하여 점등 검사용 지그의 전원 인가 핀과 유리 모기판의 소자 간의 접촉이 이루어져야 하는데, 접촉이 불량한 경우 정확한 점등 검사가 어렵다는 문제점이 있다.
대한민국 공개특허공보 제10-2007-0055738호 (2007년 05월 31일 공개)
본 발명은 유기물로 이루어진 발광층의 화소에 가진 파장의 빛을 조사하고, 이에 따라 각 화소에서 발산하는 발산 광을 촬영함으로써 비접촉식으로 유기 발광 다이오드 패널의 화소의 결함을 보다 정확히 검사할 수 있는 유기 발광 다이오드 패널의 화소 검사 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 유기 발광 다이오드 패널(Organic Light Emitting Diodes Panel)의 RGB 화소 결함을 검출하기 위한 유기 발광 다이오드 패널의 화소 검사 장치로서, R 서브픽셀에 상응하는 제1 가진 파장(λ11)의 빛, G 서브픽셀에 상응하는 제2 가진 파장(λ22)의 빛 및 B 서브픽셀에 상응하는 제3 가진 파장(λ33)의 빛을 포함하는 가진 광(excitation light)을 RGB 화소로 조사하는 가진 광 조사부와; 가진 광의 조사에 따라, R 서브픽셀로부터 발산되는 제1 발산 파장(λ111)의 빛, G 서브픽셀로부터 발산되는 제2 발산 파장(λ222)의 빛 및 B 서브픽셀로부터 발산되는 제3 발산 파장(λ333)의 빛을 포함하는 발산 광(emission light)을 집광하고 확대하는 대물 렌즈와; 상기 가진 광 조사부로부터 조사되는 상기 가진 광이 대물 렌즈를 향하도록 가진 광을 반사하고, 상기 대물 렌즈를 통과한 발산 광을 통과시키는 제1 빔 스플리터(beam splitter)와; 상기 제1 빔 스플리터를 통과한 상기 발산 광을 통과시키는 발산 필터(emission filter)와; 상기 발산 필터를 통과한 상기 발산 광을 촬영하는 비젼부를 포함하는, 유기 발광 다이오드 패널의 화소 검사 장치가 제공된다.
상기 유기 발광 다이오드 패널의 화소 검사 장치는 상기 대물 렌즈와 상기 비젼부 사이에 개재되어 상기 대물 렌즈를 통과한 발산 광의 초점을 맞추는 튜브 렌즈를 더 포함할 수 있다.
상기 가진 광 조사부는, 상기 제1 가진 파장(λ11)의 레이저광을 조사하는 R용 레이저 광원, 상기 제2 가진 파장(λ22)의 레이저광을 조사하는 G용 레이저 광원 및 상기 제3 가진 파장(λ33)의 레이저광을 조사하는 B용 레이저 광원을 포함할 수 있다.
상기 가진 광 조사부는, 상기 R 서브픽셀에 상응하는 제1 파장(λ1)의 빛을 조사하는 R용 광원과; 상기 G 서브픽셀에 상응하는 제2 파장(λ2)의 빛을 조사하는 G용 광원과: 상기 B 서브픽셀에 상응하는 제3 파장(λ3)의 빛을 조사하는 B용 광원과; 상기 R용 광원에서 조사되는 빛, 상기 G용 광원에서 조사되는 빛 및 상기 B용 광원에서 조사되는 빛을 포함하는 RGB 광 중 상기 제1 가진 파장(λ11)의 빛, 상기 제2 가진 파장(λ22)의 빛 및 상기 제3 가진 파장(λ33)의 빛만을 통과시키는 가진 필터(excitation filter)를 포함할 수 있다.
상기 가진 광 조사부는, 상기 RGB 광이 집속되어 유입되는 광유입부, 일단이 상기 광유입부에 연결되며 상기 RGB 광을 전달하는 광섬유관, 상기 광섬유관의 타단에 연결되며 상기 RGB광이 출사되는 광유출부를 포함하는 광전달부를 더 포함할 수 있으며, 상기 광유출부에서 유출되는 RGB 광은 가진 필터로 전달될 수 있다.
상기 가진 광 조사부는, 상기 G용 광원, 상기 B용 광원 및 상기 R용 광원과 상기 가진 필터 사이에 개재되는 제2 빔 스플리터 및 제3 빔 스플리터를 더 포함하되, 상기 G용 광원에서 출사한 빛은 상기 제2 빔 스플리터를 투과하고 상기 제3 빔 스플리터에서 반사되어 상기 가진 필터로 유입되고, 상기 B용 광원에서 출사한 빛은 상기 제2 빔 스플리터에서 반사되어 상기 제3 빔 스플리터에 도달된 후 반사되어 상기 가진 필터로 유입되며, 상기 R용 광원에서 출사한 빛은 상기 제3 빔 스플리터를 투과하여 상기 가진 필터로 유입될 수 있다.
상기 가진 광 조사부는, 상기 광유출부로부터 출사되는 상기 RGB 광을 상기 제1 빔 스플리터로 반사하는 제4 빔 스플리터를 더 포함하며, 상기 가진 필터는 상기 제1 빔 스플리터와 상기 제4 빔 스플리터 사이에 개재될 수 있다.
상기 제1 빔 스플리터를 이용하여 상기 대물 렌즈의 광축과 평행하게 상기 RGB 화소를 향하여 레이저광을 조사하는 레이저 광원과, 상기 RBG 화소에서 반사되어 상기 대물 렌즈를 통과한 상기 레이저광을 촬영하는 이미지 센서와, 상기 이미지 센서에서 촬영된 이미지를 통하여 상기 대물 렌즈의 초점거리를 측정하는 제어부를 포함하는 자동 초점 조절부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 유기물로 이루어진 발광층의 화소에 가진 파장의 빛을 조사하고 이에 따라 각 화소에서 발산하는 발산 광을 촬영함으로써 비접촉식으로 유기 발광 다이오드 패널의 화소의 결함을 보다 정확히 검사할 수 있다.
도 1 및 도 2는 본 발명에 따른 RGB 화소의 검사 원리를 설명하기 위한 도면.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 다이오드 패널의 화소 검사 장치의 구성도.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 다이오드 패널의 화소 검사 장치의 구성도.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
이하, 본 발명에 따른 유기 발광 다이오드 패널의 화소 검사 장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부한 도면을 참조하여 설명함에 있어서, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1 및 도 2는 본 발명에 따른 RGB 화소의 검사 원리를 설명하기 위한 도면이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 다이오드 패널의 화소 검사 장치의 구성도이다.
도 1 내지 도 3에는, 기판(12), RGB 화소(14), R 서브픽셀(16), G 서브픽셀(18), B 서브픽셀(20), 가진 광 조사부(22), 대물 렌즈(24), 제1 빔 스플리터(beam splitter)(26), 발산 필터(emission filter)(28), 튜브 렌즈(30), 카메라(32), 비젼부(34), R용 레이저 광원(36), B용 레이저 광원(38), G용 레이저 광원(40), 집광부(42), RGB 광(44), 가진 광(excitation light)(46), 발산 광(emission light)(48)이 도시되어 있다.
본 실시예에 따른 유기 발광 다이오드 패널의 화소 검사 장치는, 유기 발광 다이오드 패널(Organic Light Emitting Diodes Panel)의 RGB 화소(14) 결함을 검출하기 위한 유기 발광 다이오드 패널의 화소 검사 장치로서,
R 서브픽셀(16)에 상응하는 제1 가진 파장(λ11)의 빛, G 서브픽셀(18)에 상응하는 제2 가진 파장(λ22)의 빛 및 B 서브픽셀(20)에 상응하는 제3 가진 파장(λ33)의 빛을 포함하는 가진 광(46)(excitation light)을 RGB 화소(14)로 조사하는 가진 광 조사부(22)와; 가진 광(46)의 조사에 따라, R 서브픽셀(16)로부터 발산되는 제1 발산 파장(λ111)의 빛, G 서브픽셀(18)로부터 발산되는 제2 발산 파장(λ222)의 빛 및 B 서브픽셀(20)로부터 발산되는 제3 발산 파장(λ333)의 빛을 포함하는 발산 광(emission light)(48)을 집광하고 확대하는 대물 렌즈(24)와; 가진 광(46)이 대물 렌즈(24)를 향하도록 가진 광(46)을 반사하고, 대물 렌즈(24)를 통과한 발산 광(48)을 통과시키는 제1 빔 스플리터(26)와; 제1 빔 스플리터(26)를 통과한 발산 광(48)을 통과시키는 발산 필터(emission filter)(28)와; 발산 필터(28)를 통과한 발산 광(48)을 촬영하는 비젼부(34)를 포함한다.
유기 발광 다이오드(Organic Light Emitting Diodes)는 형광 또는 인광 유기물 박막에 전류를 흘리면 전자와 전공이 유기물 층에 결합되면서 빛이 발생하는 원리를 이용한 자체 발광형 디스플레이이다.
유기 발광 다이오드 소자는 투명한 유리 기판 위에 ITO(Indium Tin Oxide) 양극막, 유기층, 금속 음극막을 입혀서 양극과 음극 사이에 전압을 걸어줌으로써 유기층에 적당한 에너지의 차이가 형성되어 자발광하는 원리를 가진다. 즉, 주입되는 전자와 정공(hole)이 재결합하며 남는 에너지가 빛으로 발생되는 것이다. 이때 유기물질의 도펀트의 양에 따라 나오는 빛의 파장을 조절할 수 있고 풀 컬러의 구현이 가능하다.
풀 컬러 디스플레이를 구현하기 위해서는 빛의 3원색인 빨강(Red, R), 초록(Green, G), 파랑(Blue, B)의 서브픽셀이 필요하고, 이 서브픽셀에서 방출되는 빛들의 혼합을 통해 원하는 색상을 구현하게 된다. 이러한 RGB의 3원색이 하나의 픽셀(pixel)을 이루어 발광층을 구성하게 된다.
먼저, 도 1 및 도 2를 참조하여, 본 발명에 따른 유기 발광 다이오드 패널의 RGB 화소(14)의 검사 원리를 설명하기로 한다.
형광 또는 인광 물질에 특정 파장의 빛으로 가진시켜서 조사하면 또 다른 특정 파장의 빛을 방출하는 것을 형광 또는 인광이라 한다. 형광 또는 인광 물질은 특수한 파장(가진 파장)의 빛을 받으면 내부 에너지가 상승하였다 다시 제 위치로 떨어지면서, 가진 파장보다 긴 파장(발산 파장)의 빛을 발산하는 한다. 조사한 빛을 제거해도 계속 발광하는 것을 인광이라고 하고, 조사한 빛을 제거하면 바로 소멸하는 것을 형광이라 한다.
따라서, 이러한 형광 또는 인광 유기물로 이루어진 R, G, B 서브픽셀(20)에 특정 파장을 갖는 빛을 조사함에 따라 방출되는 발산 광을 촬영하여 RGB 화소(14) 결함을 검출할 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 유기 발광 다이오드 패널의 화소를 구성하는 R, G, B 서브픽셀(20) 각각에 상응하여 가진된 특정 파장(λ11, λ22, λ33)의 빛을 조사하면, 도 2에 도시된 바와 같이, 또 다른 파장(λ111, λ222, λ333)의 빛을 R, G, B 서브픽셀(20)에 발산하게 되고, 발산된 빛을 카메라(32) 등으로 촬영하여 각 R, G, B 서브픽셀(20)의 결함을 검출할 수 있다.
본 발명에 따른 유기 발광 다이오드 패널의 화소 검사 장치는, R, G, B 서브픽셀(20)로 구성되는 발광층의 형성 직후나 유리 모기판(12)의 표면에 다수의 유기 전계 발광 소자들을 형성한 후 등 다양한 시기에 적용하여 R, G, B 서브픽셀(20)의 결함을 측정할 수 있다.
이하에서는 도 3을 참조하여 본 실시예에 따른 유기 발광 다이오드 패널의 화소 검사 장치를 자세히 설명하기로 한다.
가진 광 조사부(22)는, R 서브픽셀(16)에 상응하는 제1 가진 파장(λ11)의 빛, G 서브픽셀(18)에 상응하는 제2 가진 파장(λ22)의 빛 및 B 서브픽셀(20)에 상응하는 제3 가진 파장(λ33)의 빛을 포함하는 가진 광(46)(excitation light)을 조사한다.
여기서 가진 파장(excitation wavelength)이라 함, 형광 또는 인광의 유기물로 이루어진 R 서브픽셀(16), G 서브픽셀(18), B 서브픽셀(20) 각각에서 형광 또는 인광을 일어날 수 있도록 하는 특정 파장을 의미한다. 이하에서는 형광 현상을 중심으로 설명하기로 한다.
설명의 편의를 위해, R 서브픽셀(16)에 상응하는 제1 가진 파장(λ11)의 빛, G 서브픽셀(18)에 상응하는 제2 가진 파장(λ22)의 빛 및 B 서브픽셀(20)에 상응하는 제3 가진 파장(λ33)의 빛의 조합을 가진 광(46)(excitation light)이라 정의하고, 가진 광(46)의 조사에 따라 R 서브픽셀(16)로부터 발산되는 제1 발산 파장(λ111)의 빛, 상기 G 서브픽셀(18)로부터 발산되는 제2 발산 파장(λ222)의 빛 및 상기 B 서브픽셀(20)로부터 발산되는 제3 발산 파장(λ333)의 빛의 조합을 발산 광(48)(emission light)이라 정의한다.
가진 파장을 갖는 빛을 조사하기 위한 광원으로는 LED 램프, Xenon 램프, Mercury 램프, Argon-ion 램프, YAG 레이져, HeNe 레이져 등이 사용될 수 있다. 레이저 광원을 이용하는 경우 필터링 없이 필요한 단일 파장의 가진 파장을 얻을 수 있으나, 필라멘트 전구, 램프 등을 광원으로 사용하는 경우 특정 가진 파장의 빛을 얻기 위한 가진 필터(64)가 필요하다.
본 실시예에서는 가진 광 조사부(22)의 광원으로서, R 서브픽셀(16)에 상응하는 제1 가진 파장(λ11)의 레이저광을 조사하는 R용 레이저 광원(36), G 서브픽셀(18)에 상응하는 제2 가진 파장(λ22)의 레이저광을 조사하는 G용 레이저 광원(40) 및 B 서브픽셀(20)에 상응하는 제3 가진 파장(λ33)의 레이저광을 조사하는 B용 레이저 광원(38)을 사용하는 형태를 제시한다. 레이저 광원(36, 38, 40)을 이용함으로써 필터링 없이 필요한 단일 파장의 가진 파장의 빛을 조사할 수 있다.
레이저 광원(36, 38, 40)에서 조사된 각 레이저광은 집광부(42)를 통하여 집광되어 대물 렌즈(24)로 전달된다.
제1 가진 파장(λ11), 제2 가진 파장(λ22), 제3 가진 파장(λ33)는 서브픽셀을 형성하기 위해 사용된 R 서브픽셀용 유기물, G 서브픽셀용 유기물, B 서브픽셀용 유기물의 종류에 따라 실험적으로 결정할 수 있을 것이다.
대물 렌즈(24)는, 가진 광(46)의 조사에 따라, R 서브픽셀(16)로부터 발산되는 제1 발산 파장(λ111)의 빛, G 서브픽셀(18)로부터 발산되는 제2 발산 파장(λ222)의 빛 및 B 서브픽셀(20)로부터 발산되는 제3 발산 파장(λ333)의 빛을 포함하는 발산 광(48)(emission light)을 집광하고 확대한다.
대물 렌즈(24)는 유기 발광 다이오드 패널(Organic Light Emitting Diodes Panel)의 각 RGB 화소(14)에 대향하여 위치하며, 가진 광 조사부(22)에서 조사된 가진 광(46)이 대물 렌즈(24)를 통해 기판(12) 상의 RGB 화소(14)로 조사된다.
대물 렌즈(24)를 통해 가진 광(46)이 RGB 화소(14)에 조사되면, R 서브픽셀(16), G 서브픽셀(18), B 서브픽셀(20) 각각은 가진 광(46)에 의해 내부 에너지가 상승하였다 다시 제 위치로 떨어지면서, 가진 파장보다 긴 제1 발산 파장(λ111)의 빛, 제2 발산 파장(λ222)의 빛 및 제3 발산 파장(λ333)의 빛을 발산하고, 대물 렌즈(24)는 다시 발산 광(48)(emission light)을 집광하고 확대하여 제1 빔 스플리터(26)로 전달한다.
제1 빔 스플리터(26)(beam splitter)는, 가진 광 조사부(22)로부터 조사되는 가진 광(46)이 대물 렌즈(24)를 향하도록 가진 광(46)을 반사하고, 대물 렌즈(24)를 통과한 발산 광(48)을 통과시킨다.
가진 광 조사부(22)와 대물 렌즈(24)의 경로 상에 제1 빔 스플리터(26)가 배치되어 가진 광 조사부(22)로부터 조사된 가진 광(46)을 반사시켜 가진 광(46)이 대물 렌즈(24)로 향하도록 한다. 대물 렌즈(24)를 향한 가진 광(46)은 대물 렌즈(24)를 통과하여 RGB 화소(14)에 조사된다. RGB 화소(14)로부터 발산된 발산 광(48)은 대물 렌즈(24)를 통과하면서 집광되고 확대되어 제1 빔 스플리터(26)로 도달하는데, 제1 빔 스플리터(26)는 발산 광(48)만을 필터링하여 비젼부(34)로 전달한다.
가진 광 조사부(22)로부터 조사된 가진 광(46)은 RGB 화소(14)로부터 발산되는 발산 광(48)의 세기보다 훨씬 크기 때문에 가진 광(46)의 영향없이 비젼부(34)에서 발산 광(48)만을 촬영하기 위해서 제1 빔 스플리터(26)에서 발산 광(48)만을 필터링하여 비젼부(34)로 전달하게 된다. 빔 스플리터로는 분광 필터(dichroic filter)가 사용될 수 있다.
발산 필터(28)(emission filter)는, 제1 빔 스플리터(26)를 통과한 발산 광(48)을 통과시킨다. 제1 빔 스플리터(26)를 통과한 발산 광(48)을 보다 정교하게 추출하기 위해 비젼부(34) 전 경로에 발산 필터(28)를 두어 비젼부(34)에서 정확한 발산 광(48)을 촬영하도록 한다.
비젼부(34)는, 발산 필터(28)를 통과한 발산 광(48)을 촬영한다. 비젼부(34)는, CCD 카메라(32) (charge-coupled device camera)나 CMOS 카메라(32)(complementary metal-oxide semiconductor camera)를 포함하여, 발산 필터(28)를 통과하면서 필터링된 발산 광(48)을 촬영하게 된다.
한편, 대물 렌즈(24)와 비젼부(34) 사이에는 튜브 렌즈(30)가 개재되어 대물 렌즈(24)를 통과한 발산 광(48)의 초점을 맞추어 비젼부(34)로 전달함으로써 보다 정확한 발산 광(48)의 촬영이 가능하도록 할 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 다이오드 패널의 화소 검사 장치의 구성도이다.
도 4에는, 기판(12), 가진 광 조사부(22), 대물 렌즈(24), 제1 빔 스플리터(beam splitter)(26), 발산 필터(emission filter)(28), 튜브 렌즈(30), 카메라(32), 비젼부(34), RGB 광(44), 가진 광(excitation light)(46), 발산 광(emission light)(48), R용 광원(50), G용 광원(52), B용 광원(54), 광유입부(56), 광섬유관(58), 광유출부(60), 광전달부(62), 가진 필터(excitation filter)(64), 제2 빔 스플리터(66), 제3 빔 스플리터(68), 제4 빔 스플리터(70), 레이저 광원(72), 자동 초점 조절부(74)가 도시되어 있다.
본 실시예에 따른 유기 발광 다이오드 패널의 화소 검사 장치는, 가진 광 조사부(22)의 광원으로서 레이저 광원을 사용하지 않고, 일반 램프를 이용하여 가진 파장의 빛을 생성하여 조사한다. 본 실시예에서는 LED 램프를 광원으로 사용한 형태를 제시한다.
본 실시예에 따른 가진 광 조사부(22)는, R 서브픽셀(16)에 상응하는 제1 파장(λ1)의 빛을 조사하는 R용 광원(50)과; G 서브픽셀(18)에 상응하는 제2 파장(λ2)의 빛을 조사하는 G용 광원(52)과; B 서브픽셀(20)에 상응하는 제3 파장(λ3)빛을 조사하는 B용 광원(54)과; R용 광원(50)에서 조사되는 빛, G용 광원(52)에서 조사되는 빛 및 B용 광원(54)에서 조사되는 빛을 포함하는 RGB 광(44) 중 제1 가진 파장(λ11)의 빛, 제2 가진 파장(λ22)의 빛 및 제3 가진 파장(λ33)의 빛만을 통과시키는 가진 필터(64)를 포함한다.
빛의 3원색을 형성하는 R, G, B의 서브픽셀로부터 각각 R, G, B의 발산 광(48)을 얻고 이를 촬영하기 위해서는, R 서브픽셀(16)에 대해서는 빨간색 대역대 파장(λ1)의 빛을 조사할 필요가 있고, G 서브픽셀(18)에 대해서는 초록색 대역대 파장(λ2)의 빛을 조사할 필요가 있으며, B 서브픽셀(20)에 대해서는 파란색 대역대 파장(λ3)의 빛을 조사할 필요가 있다. 따라서, R용 광원(50)은 R 서브픽셀(16)에 상응하는 제1 파장(λ1)의 빛을 조사하고, G용 광원(52)은 G 서브픽셀(18)에 상응하는 제2 파장(λ2)의 빛을 조사하며, B용 광원(54)은 B 서브픽셀(20)에 상응하는 제3 파장(λ3)의 빛을 조사한다.
설명의 편의를 위해, R용 광원(50)에서 조사되는 빛, G용 광원(52)에서 조사되는 빛 및 B용 광원(54)에서 조사되는 빛의 조합을 RGB 광(44)이라 칭한다.
가진 필터(excitation filter)(64)는 R용 광원(50)에서 조사되는 빛, G용 광원(52)에서 조사되는 빛 및 B용 광원(54)에서 조사되는 빛을 포함하는 RGB 광(44)에서 제1 가진 파장(λ11)의 빛, 제2 가진 파장(λ22)의 빛 및 제3 가진 파장(λ33)의 빛만을 통과시켜 가진 광(46)(excitation light)을 생성한다. 가진 광(46)은 대물 렌즈(24)를 통해 RGB 화소(14)에 조사된다.
RGB 광(44)은 광섬유를 포함하는 광전달부(62)를 통하여 필요 위치로 전달될 수 있는데, RGB 광(44)의 생성위치와 RGB 화소(14)의 측정 위치에 이격이 존재하는 경우, 광전달부(62)를 통하여 RGB 화소(14)의 측정 위치에 RGB 광(44)을 전달할 수 있다.
광전달부(62)는, RGB 광(44)이 집속되어 유입되는 광유입부(56), 일단이 광유입부(56)에 연결되며 RGB 광(44)을 전달하는 광섬유가 내장된 광섬유관(58), 광섬유관(58)의 타단에 연결되며 RGB광이 출사되는 광유출부(60)를 포함한다.
R용 광원(50), G용 광원(52) 및 B용 광원(54)에서 출사되어 집광된 RGB 광(44)은 광전달부(62)의 광유입부(56)로 유입되고, 광유입부(56)로 유입된 RGB 광(44)은 광섬유관(58)에 내장된 광섬유를 따라 이동하여 광유출부(60)로 유출된다. 광유출부(60)로 유출된 RGB 광(44)은 RGB 화소(14)의 측정 위치에 위치하는 가진 필터(64)에 의해 특정한 파장(λ11, λ22, λ33)만이 추출되어 가진 광(46)이 생성된다.
광유출부(60)로부터 출사된 RGB 광(44)을 가진 필터(64)를 거쳐 가진되면서 제1 빔 스플리터(26)로 전달하기 위해, 광유출부(60)와 가진 필터(64) 사이에 광유출부(60)로부터 유출된 RGB 광(44)을 제1 빔 스플리터(26)로 반사시키는 제4 빔 스플리터(70)를 배치할 수 있다.
한편, R용 광원(50), G용 광원(52) 및 B용 광원(54)의 배치상태를 단순하게 구성하여 RGB 광(44)을 생성할 수 있는데, 본 실시예에서는 도 4에 도시된 바와 같이, G용 광원(52), B용 광원(54) 및 R용 광원(50)의 광 생성부와 가진 필터(64) 사이에 제2 빔 스플리터(66) 및 제3 빔 스플리터(68)를 개재한 형태를 제시한다.
본 실시예에서는 광 생성부와 가진 필터(64) 사이에는 RGB 광(44)을 전달하기 위한 광전달부(62)가 배치되어 있으므로, 광전달(62)를 거쳐 가진 필터(64)로 RGB 광(44)이 전달된다. 따라서, G용 광원(52)에서 출사한 빛은 제2 빔 스플리터(66)를 투과하고 제3 빔 스플리터(68)에서 반사되어 광유입부(56)로 유입되고, B용 광원(54)에서 출사한 빛은 제2 빔 스플리터(66)에서 반사되어 제3 빔 스플리터(68)에 도달된 후 반사되어 광유입부(56)로 유입되며, R용 광원(50)에서 출사한 빛은 제3 빔 스플리터(68)를 투과하여 광유입부(56)로 유입되도록 제2 빔 스플리터(66) 및 제3 빔 스플리터(68)를 개재한다. 광유입부(56)로 유입된 RGB 광(44)은 광전달부(62)를 거쳐 가진 필터(64)에 도달하게 된다.
그리고, RBG 화소와 대물 렌즈(24)의 초점 거리를 맞추기 위해 자동 초점 조절부(74)를 배치할 수 있는데, 자동 초점 조절부(74)는 레이저광을 대물 렌즈(24)를 통해 RGB 화소(14)로 조사하고, RGB 화소(14)에서 반사된 레이저광을 촬영하여 이미지 프로세싱을 거쳐 대물 렌즈(24)의 초점 거리를 산출하고 이에 따라 대물 렌즈(24)를 이동하여 초점을 맞추게 된다.
본 실시예에 따른 자동 초점 조절부(74)는, 제1 빔 스플리터(26)를 이용하여 대물 렌즈(24)의 광축과 평행하게 RGB 화소(14)를 향하여 레이저광을 조사하는 레이저 광원(72)과, RBG 화소에서 반사되어 대물 렌즈(24)를 통과한 레이저광을 촬영하는 이미지 센서(미도시)와, 이미지 센서에서 촬영된 이미지를 통하여 대물 렌즈(24)의 초점거리를 측정하는 제어부(미도시)를 포함한다.
레이저 광원(72)에서 조사된 레이저광은 제1 빔 스플리터(26)에 의해 반사되어 대물 렌즈(24)를 향하여 조사되고, 대물 렌즈(24)를 통과한 레이저광은 RGB 화소(14)에서 반사되어 대물 렌즈(24)를 통과하여 다시 자동 초점 조절부(74)의 이미지 센서로 도달한다. 이미지 센서에서는 RGB 화소(14)에서 반사된 레이저광을 촬영하고, 제어부에서는 이미지를 통하여 대물 렌즈(24)의 초점거리를 측정한다. 측정된 초점 거리에 따라 제어부에서 작동신호를 보내어 대물 렌즈(24)의 위치를 설정한다.
이상에서는 본 발명의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 쉽게 이해할 수 있을 것이다.
12: 기판 14: RGB 화소
16: R 서브픽셀 18: G 서브픽셀
20: B 서브픽셀 22: 가진 광 조사부
24: 대물 렌즈 26: 제1 빔 스플리터(beam splitter)
28: 발산 필터(emission filter) 30: 튜브 렌즈
32: 카메라 34: 비젼부
36: R용 레이저 광원 38: B용 레이저 광원
40: G용 레이저 광원 42: 집광부
44: RGB 광 46: 가진 광(excitation light)
48: 발산 광(emission light) 50: R용 광원
52: G용 광원 54: B용 광원
56: 광유입부 58: 광섬유관
60: 광유출부 62: 광전달부
64: 가진 필터(excitation filter) 66: 제2 빔 스플리터
68: 제3 빔 스플리터 70: 제4 빔 스플리터
72: 레이저 광원 74: 자동 초점 조절부

Claims (8)

  1. 유기 발광 다이오드 패널(Organic Light Emitting Diodes Panel)의 형광 또는 인광 물질을 포함하는 RGB 화소 결함을 검출하기 위한 유기 발광 다이오드 패널의 화소 검사 장치로서,
    R 서브픽셀에 상응하는 제1 가진 파장(λ11)의 빛, G 서브픽셀에 상응하는 제2 가진 파장(λ22)의 빛 및 B 서브픽셀에 상응하는 제3 가진 파장(λ33)의 빛을 포함하는 가진 광(excitation light)을 RGB 화소로 조사하는 가진 광 조사부와;
    가진 광의 조사에 따라, R 서브픽셀로부터 발산되는 상기 제1 가진 파장(λ11)보다 긴 파장의 제1 발산 파장(λ111)의 빛, G 서브픽셀로부터 발산되는 상기 제2 가진 파장(λ22)보다 긴 파장의 제2 발산 파장(λ222)의 빛 및 B 서브픽셀로부터 발산되는 상기 제3 가진 파장(λ33)보다 긴 파장의 제3 발산 파장(λ333)의 빛을 포함하는 발산 광(emission light)을 집광하고 확대하는 대물 렌즈와;
    상기 가진 광 조사부로부터 조사되는 상기 가진 광이 대물 렌즈를 향하도록 가진 광을 반사하고, 상기 대물 렌즈를 통과한 발산 광을 통과시키는 제1 빔 스플리터(beam splitter)와;
    상기 제1 빔 스플리터를 통과한 상기 발산 광을 통과시키는 발산 필터(emission filter)와;
    상기 발산 필터를 통과한 상기 발산 광을 촬영하는 비젼부를 포함하는, 유기 발광 다이오드 패널의 화소 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 대물 렌즈와 상기 비젼부 사이에 개재되어 상기 대물 렌즈를 통과한 발산 광의 초점을 맞추는 튜브 렌즈를 더 포함하는, 유기 발광 다이오드 패널의 화소 검사 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 가진 광 조사부는,
    상기 제1 가진 파장(λ11)의 레이저광을 조사하는 R용 레이저 광원, 상기 제2 가진 파장(λ22)의 레이저광을 조사하는 G용 레이저 광원 및 상기 제3 가진 파장(λ33)의 레이저광을 조사하는 B용 레이저 광원을 포함하는 것을 특징으로 하는, 유기 발광 다이오드 패널의 화소 검사 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 가진 광 조사부는,
    상기 R 서브픽셀에 상응하는 제1 파장(λ1)의 빛을 조사하는 R용 광원과;
    상기 G 서브픽셀에 상응하는 제2 파장(λ2)의 빛을 조사하는 G용 광원과:
    상기 B 서브픽셀에 상응하는 제3 파장(λ3)의 빛을 조사하는 B용 광원과;
    상기 R용 광원에서 조사되는 빛, 상기 G용 광원에서 조사되는 빛 및 상기 B용 광원에서 조사되는 빛을 포함하는 RGB 광 중 상기 제1 가진 파장(λ11)의 빛, 상기 제2 가진 파장(λ22)의 빛 및 상기 제3 가진 파장(λ33)의 빛만을 통과시키는 가진 필터(excitation filter)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 유기 발광 다이오드 패널의 화소 검사 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 가진 광 조사부는,
    상기 RGB 광이 집속되어 유입되는 광유입부, 일단이 상기 광유입부에 연결되며 상기 RGB 광을 전달하는 광섬유관, 상기 광섬유관의 타단에 연결되며 상기 RGB광이 출사되는 광유출부를 포함하는 광전달부를 더 포함하며,
    상기 광유출부에서 유출되는 RGB 광은 가진 필터로 전달되는 것을 특징으로 하는, 유기 발광 다이오드 패널의 화소 검사 장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 가진 광 조사부는,
    상기 G용 광원, 상기 B용 광원 및 상기 R용 광원과 상기 가진 필터 사이에 개재되는 제2 빔 스플리터 및 제3 빔 스플리터를 더 포함하되,
    상기 G용 광원에서 출사한 빛은 상기 제2 빔 스플리터를 투과하고 상기 제3 빔 스플리터에서 반사되어 상기 가진 필터로 유입되고, 상기 B용 광원에서 출사한 빛은 상기 제2 빔 스플리터에서 반사되어 상기 제3 빔 스플리터에 도달된 후 반사되어 상기 가진 필터로 유입되며,
    상기 R용 광원에서 출사한 빛은 상기 제3 빔 스플리터를 투과하여 상기 가진 필터로 유입되는 것을 특징으로 하는, 유기 발광 다이오드 패널의 화소 검사 장치.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 가진 광 조사부는,
    상기 광유출부로부터 출사되는 상기 RGB 광을 상기 제1 빔 스플리터로 반사하는 제4 빔 스플리터를 더 포함하며,
    상기 가진 필터는 상기 제1 빔 스플리터와 상기 제4 빔 스플리터 사이에 개재되는 것을 특징으로 하는, 유기 발광 다이오드 패널의 화소 검사 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 제1 빔 스플리터를 이용하여 상기 대물 렌즈의 광축과 평행하게 상기 RGB 화소를 향하여 레이저광을 조사하는 레이저 광원과, 상기 RGB 화소에서 반사되어 상기 대물 렌즈를 통과한 상기 레이저광을 촬영하는 이미지 센서와, 상기 이미지 센서에서 촬영된 이미지를 통하여 상기 대물 렌즈의 초점거리를 측정하는 제어부를 포함하는 자동 초점 조절부를 더 포함하는, 유기 발광 다이오드 패널의 화소 검사 장치.

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2010176966A (ja) * 2009-01-28 2010-08-12 Panasonic Corp 有機ｅｌ表示パネルの検査及びリペア装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010176966A (ja) * 2009-01-28 2010-08-12 Panasonic Corp 有機ｅｌ表示パネルの検査及びリペア装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102139719B1 (ko) * 2019-09-09 2020-08-12 주식회사 투에이치앤엠 디스플레이 패널의 uv 노광에 대한 영향 평가장치

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