KR101889967B1 - 캐리어 반전장치 및 이를 구비하는 마스크 제조 시스템 - Google Patents

캐리어 반전장치 및 이를 구비하는 마스크 제조 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR101889967B1
KR101889967B1 KR1020180043377A KR20180043377A KR101889967B1 KR 101889967 B1 KR101889967 B1 KR 101889967B1 KR 1020180043377 A KR1020180043377 A KR 1020180043377A KR 20180043377 A KR20180043377 A KR 20180043377A KR 101889967 B1 KR101889967 B1 KR 101889967B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
carrier
unit
module
clamping
sheet
Prior art date
Application number
KR1020180043377A
Other languages
English (en)
Inventor
정인택
Original Assignee
정인택
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 정인택 filed Critical 정인택
Priority to KR1020180043377A priority Critical patent/KR101889967B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101889967B1 publication Critical patent/KR101889967B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67796—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations with angular orientation of workpieces
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
    • G03F7/70991—Connection with other apparatus, e.g. multiple exposure stations, particular arrangement of exposure apparatus and pre-exposure and/or post-exposure apparatus; Shared apparatus, e.g. having shared radiation source, shared mask or workpiece stage, shared base-plate; Utilities, e.g. cable, pipe or wireless arrangements for data, power, fluids or vacuum
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
    • H01L21/0271—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers
    • H01L21/0273—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers characterised by the treatment of photoresist layers
    • H01L21/0274—Photolithographic processes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
    • H01L21/033—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising inorganic layers
    • H01L21/0334—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising inorganic layers characterised by their size, orientation, disposition, behaviour, shape, in horizontal or vertical plane
    • H01L21/0337—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising inorganic layers characterised by their size, orientation, disposition, behaviour, shape, in horizontal or vertical plane characterised by the process involved to create the mask, e.g. lift-off masks, sidewalls, or to modify the mask, e.g. pre-treatment, post-treatment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67132—Apparatus for placing on an insulating substrate, e.g. tape
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
    • H01L21/67196—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the construction of the transfer chamber
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67793—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations with orientating and positioning by means of a vibratory bowl or track

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Epidemiology (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)

Abstract

캐리어 반전장치가 개시된다. 본 발명에 따른 캐리어 반전장치는, 마스크 제조를 위한 시트가 라미네이팅(laminating)된 캐리어를 이송하는 캐리어 이송유닛과, 캐리어 이송유닛에 인접하게 배치되며 캐리어를 업/다운(up/down) 이동시키는 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛과, 캐리어 이송유닛의 상부 영역에 배치되며 캐리어를 회전시키는 플립유닛을 포함하며, 플립유닛은, 캐리어를 클램핑하는 클램핑모듈과, 클램핑모듈에 연결되며 클램핑모듈을 캐리어에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 이동시키는 클램핑모듈용 이동모듈과, 클램핑모듈에 연결되며 클램핑모듈에 클램핑된 캐리어를 회전시키기 위해 클램핑모듈을 회전시키는 클램핑모듈용 회전모듈을 포함한다.

Description

캐리어 반전장치 및 이를 구비하는 마스크 제조 시스템{Carrier flip device and mask manufacturing system having the same}
본 발명은, 캐리어 반전장치 및 이를 구비하는 마스크 제조 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 마스크 제조를 위한 시트가 부착된 캐리어를 반전시킬 수 있는 캐리어 반전장치 및 이를 구비하는 마스크 제조 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 표시장치의 박막을 증착하는데 사용되는 증착 마스크는, 통상적으로 포토리소그라피법을 적용한 에칭법과 포토리소그라피법과 전기분해법을 적용한 전주법을 이용하여 제작된다.
이러한 증착 마스크는 증착 대상물 즉, 표시소자가 형성될 기판에 미세 얼라인먼트시키고, 증착 마스크를 통해 증착물을 기판에 제공하여 원하는 형태의 패턴을 기판상에 증착한다.
이러한 증착 마스크는 기본적으로 미세형상 마스크로서, 마스크의 크기와 고정세도(高精細度)에 따라 제작 난이도가 높아진다.
통상의 증착 마스크는 금속박판의 두께가 얇을수록 증착공정후의 표시장치의 품위가 향상되기 때문에, 증착 마스크의 금속박판의 두께는 얇을수록 좋다. 하지만, 금속박막의 두께가 얇으면 위치정밀도 및 패턴크기 정밀도가 확보된 경우에도 증착 마스크의 증착공정 또는 증착준비과정 중 증착마스크가 손상되는 경우가 발생된다.
그러므로, 통상의 증착 마스크는 박막증착장치 내에 수용가능한 크기로 제작되며, 증착 마스크의 위치 정밀도 및 패턴크기 정밀도뿐만 아니라 위치결정을 위한 마스크의 얼라인먼트 및 접촉을 위한 기계적 처리동작 등은 유리기판에 제작되는 표시소자의 품위을 결정하는 데 중요한 요소로 작용한다. 이러한 증착 마스크는 제작과정이 간단하고 제작에 소요되는 시간이 짧고 가격이 저렴한 것이 바람직하다.
종래기술에 따른 증착 마스크의 제작공정을 살펴보면, 포토리소그라피법 또는 전기분해법을 이용한 전주법 등을 이용하여 제작한다.
포토리소그라피법에서는 마스크 제작용 시트(sheet)를 에칭하여 마스크 제작용 시트에 마스크 패턴을 형성한다. 에칭공정 후에는 세정공정이 수반되어 마스크 제작용 시트에 묻은 포토 레지스트(PR, photo resist)가 박리액에 의해 박리되고, 박리액 및 박리된 포토 레지스트가 세정되어 제거된다.
이러한 종래기술에 따른 증착 마스크의 제작공정의 에칭공정과, 포토 레지스트(PR, photo resist)의 박리 및 제거공정에서 마스크 제작용 시트(sheet)는 캐리어에 부착되어 이동된다.
이때, 마스크 제작용 시트(sheet)는 캐리어의 하측에 배치되는데, 이렇게 마스크 제작용 시트(sheet)가 캐리어의 하측에 배치되는, 경우 에칭작업은 편리할 수는 있으나 세정공정에서는 세정효율이 떨어지는 문제점이 있다.
즉, 세정공정에서는 캐리어의 상부영역에서도 세정액(예를 들어, 물)을 뿌려 시트(sheet) 상에 잔존한 박리액 및 포토 레지스트를 세정하는데, 시트(sheet)가 캐리어의 하측에 배치되는 경우, 캐리어에 묻은 세정액이 하중에 의해 시트(sheet)로 흘러 시트(sheet)의 표면에 고이는 경우가 발생된다.
이렇게 하중에 의해 캐리어에서 아래로 흐른 세정액에는 박리액 또는 포토 레지스트 등의 이물이 함유될 수 있고, 그에 따라 캐리어에서 시트로 흐른 세정액에 의해 캐리어의 하측에 배치된 시트(sheet)가 오염될 수 있다.
따라서, 에칭공정에 의해 마스크 패턴이 형성된 시트(sheet)를 캐리어의 상측에 배치시켜 세정효율을 높일 수 있는 장치의 개발의 필요한 실정이다.
대한민국 공개공보 제10-2004-0084314호 (2004.10.06)
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 캐리어의 하측에 배치된 마스크 제작용 시트(sheet)를 캐리어의 상측에 배치되도록 캐리어를 반전시켜 캐리어에 묻은 세정액이 하중에 의해 시트(sheet)로 흐르는 것을 방지할 수 있는 캐리어 반전장치 및 이를 구비하는 마스크 제조 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 마스크 제조를 위한 시트가 라미네이팅(laminating)된 캐리어를 이송하는 캐리어 이송유닛; 상기 캐리어 이송유닛에 인접하게 배치되며, 상기 캐리어를 업/다운(up/down) 이동시키는 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛; 및 상기 캐리어 이송유닛의 상부 영역에 배치되며, 상기 캐리어를 회전시키는 플립유닛을 포함하며, 상기 플립유닛은, 상기 캐리어를 클램핑하는 클램핑모듈; 상기 클램핑모듈에 연결되며, 상기 클램핑모듈을 상기 캐리어에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 이동시키는 클램핑모듈용 이동모듈; 및 상기 클램핑모듈에 연결되며, 상기 클램핑모듈에 클램핑된 상기 캐리어를 회전시키기 위해 상기 클램핑모듈을 회전시키는 클램핑모듈용 회전모듈을 포함하는 캐리어 반전장치가 제공될 수 있다.
상기 클램핑모듈은, 상기 캐리어의 가장자리 영역의 적어도 일부분이 삽입되는 삽입슬롯이 마련되며, 상기 캐리어를 클램핑하는 클램핑부; 상기 클램핑부가 착탈 가능하게 결합되며, 상기 클램핑부를 지지하는 클램핑부용 지지부; 상기 클램핑부용 지지부에 결합되는 회전 중심축; 및 상기 회전 중심축이 회전 가능하게 결합되며, 상기 회전 중심축을 지지하는 회전 중심축용 지지부를 포함할 수 있다.
상기 클램핑모듈용 이동모듈은, 상기 클램핑모듈에 연결되며, 상기 캐리어에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 이동되는 클램핑모듈용 이동부; 상기 클램핑모듈용 이동부에 연결되며, 상기 클램핑모듈용 이동부의 이동을 안내하는 클램핑모듈용 가이드부; 및 상기 클램핑모듈용 이동부에 연결되며, 상기 클램핑모듈용 이동부를 이동시키는 클램핑모듈용 이동 구동부를 포함할 수 있다.
상기 클램핑모듈용 이동부는, 일단부가 상기 클램핑모듈에 결합되는 이동 샤프트를 포함하며, 상기 클램핑모듈용 가이드부는, 상기 이동 샤프트가 슬라이딩 이동가능하게 연결되는 가이드 부쉬를 포함할 수 있다.
상기 클램핑모듈용 회전모듈은, 상기 회전 중심축에 연결되며, 상기 회전 중심축을 회전시키는 회전용 구동모터를 포함할 수 있다.
상기 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛은, 상기 캐리어를 지지하는 캐리어 지지모듈; 및 상기 캐리어 지지모듈을 업/다운(up/down) 이동시키는 캐리어 업/다운(up/down) 이동모듈을 포함할 수 있다.
상기 캐리어 지지모듈은, 상기 캐리어의 하측벽에 접촉되는 캐리어 지지용 패드부; 및 상기 캐리어 지지용 패드부가 결합되는 캐리어 지지용 몸체부를 포함할 수 있다.
상기 캐리어 업/다운(up/down) 이동모듈은, 상기 캐리어 지지모듈에 연결되며, 상기 캐리어 지지모듈의 이동을 안내하는 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛용 가이드부; 및 상기 캐리어 지지모듈에 연결되며, 상기 캐리어 지지모듈을 이동시키는 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛용 구동부를 포함할 수 있다.
상기 캐리어 이송유닛은, 상기 캐리어를 지지하는 이송롤러부; 및 상기 이송롤러부에 연결되며, 상기 이송롤러부를 회전시키는 롤러 구동부를 포함할 수 있다.
상기 캐리어 이송유닛에 인접하게 배치되며, 상기 캐리어의 이동을 선택적으로 제한 및 제한 해제하는 스토퍼유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 스토퍼유닛은, 상기 캐리어의 이동을 제한하는 스토퍼 본체모듈; 및 상기 스토퍼 본체모듈에 연결되며, 상기 스토퍼 본체모듈를 업/다운(up/down) 이동시키는 스토퍼 업/다운(up/down) 이동모듈을 포함할 수 있다.
상기 스토퍼 본체모듈은, 상기 캐리어의 전방 측벽에 접촉되는 접촉부; 및 상기 접촉부가 결합되며, 상기 스토퍼 업/다운(up/down) 이동모듈에 연결되는 스토퍼 몸체부를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 마스크 제조를 위한 시트의 에칭공정을 위하여 상기 시트에 캐리어를 라미네이팅(laminating)하는 캐리어 라미네이팅 유닛; 상기 에칭공정의 수행 후 상기 캐리어를 반전시키는 캐리어 반전장치; 상기 캐리어 반전 후 상기 시트에 부착된 에칭 방지부재를 박리액으로 박리하는 박리공정을 진행하는 에칭 방지부재 박리유닛; 및 상기 에칭 방지부재 박리유닛의 공정 후방에 배치되며, 상기 박리공정이 완료된 시트 상에 잔존하는 상기 박리액 또는 이물을 세정하는 세정유닛을 포함하는 마스크 제조 시스템이 제공될 수 있다.
상기 캐리어 반전장치는, 상기 시트가 부착된 캐리어를 이송하는 캐리어 이송유닛; 상기 캐리어 이송유닛에 인접하게 배치되며, 상기 캐리어를 업/다운(up/down) 이동시키는 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛; 및 상기 캐리어 이송유닛의 상부 영역에 배치되며, 상기 캐리어를 회전시키는 플립유닛을 포함하며, 상기 플립유닛은, 상기 캐리어를 클램핑하는 클램핑모듈; 상기 클램핑모듈에 연결되며, 상기 클램핑모듈을 상기 캐리어에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 이동시키는 클램핑모듈용 이동모듈; 및 상기 클램핑모듈에 연결되며, 상기 클램핑모듈에 클램핑된 상기 캐리어를 회전시키기 위해 상기 클램핑모듈을 회전시키는 클램핑모듈용 회전모듈을 포함할 수 있다.
상기 클램핑모듈은, 상기 캐리어의 가장자리 영역의 적어도 일부분이 삽입되는 삽입슬롯이 마련되며, 상기 캐리어를 클램핑하는 클램핑부; 상기 클램핑부가 착탈 가능하게 결합되며, 상기 클램핑부를 지지하는 클램핑부용 지지부; 상기 클램핑부용 지지부에 결합되는 회전 중심축; 및 상기 회전 중심축이 회전 가능하게 결합되며, 상기 회전 중심축을 지지하는 회전 중심축용 지지부를 포함할 수 있다.
상기 클램핑모듈용 이동모듈은, 상기 클램핑모듈에 연결되며, 상기 캐리어에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 이동되는 클램핑모듈용 이동부; 상기 클램핑모듈용 이동부에 연결되며, 상기 클램핑모듈용 이동부의 이동을 안내하는 클램핑모듈용 가이드부; 및 상기 클램핑모듈용 이동부에 연결되며, 상기 클램핑모듈용 이동부를 이동시키는 클램핑모듈용 이동 구동부를 포함할 수 있다.
상기 클램핑모듈용 회전모듈은, 상기 회전 중심축에 연결되며, 상기 회전 중심축을 회전시키는 회전용 구동모터를 포함할 수 있다.
상기 에칭 방지부재 박리유닛은, 상기 에칭 방지부재를 박리하는 박리액이 수용되며, 상기 시트가 침지되는 박리액 수용탱크를 포함할 수 있다.
상기 세정유닛은, 워터(water)를 이용해서 상기 시트 상에 잔존되는 상기 박리액 또는 이물을 제거하는 수세 모듈과, 산성용액을 이용하여 상기 시트 상에 잔존되는 상기 박리액 또는 이물을 제거하는 산수세 모듈 중 적어도 어느 하나를 구비할 수 있다.
본 발명에 따르면, 마스크 제작용 시트(sheet)가 부착된 캐리어를 클램핑모듈을 캐리어에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 이동시키는 클램핑모듈용 이동모듈과, 클램핑모듈을 회전시키는 클램핑모듈용 회전모듈을 구비함으로써, 박리액 등을 세정하는 세정공정 전에 캐리어를 반전시킬 수 있고, 그에 따라 세정공정에서 시트를 캐리어의 상측에 배치시킬 수 있어 캐리어에 묻은 세정액이 하중에 의해 시트로 흐르는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 제조 시스템에 의해 제조된 마스크의 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 제조 시스템의 개략적인 구성도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 제조 시스템의 구성도이다.
도 4는 도 3에 도시된 에칭 저항용 테이프 라미네이팅 유닛 영역의 확대도이다.
도 5는 도 3에 도시된 롤 시트 에칭 유닛의 확대도이다.
도 6은 도 3에 도시된 기능성 비중수세 유닛 영역의 확대도이다.
도 7은 기능성 비중수세 유닛의 사시도이다.
도 8은 도 7의 배면 사시도이다.
도 9는 비중수세 모듈 영역의 사시도이다.
도 10은 배관 구동부의 측면도이다.
도 11은 배관 구동부의 사시도이다.
도 12는 배관 구동부의 단면도이다.
도 13 및 도 14는 배관 구동부의 동작을 도시한 도면들이다.
도 15는 도 3에 도시된 에칭 저항용 테이프 박리 유닛 영역의 확대도이다.
도 16은 도 3에 도시된 에칭 저항제 도포 유닛 영역의 확대도이다.
도 17은 도 3에 도시된 롤 시트 절단 유닛 영역의 확대도이다.
도 18은 도 3에 도시된 속도 가변형 시트 에칭 유닛의 확대도이다.
도 19는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 제조 시스템의 제어블록도이다.
도 20은 도 3의 캐리어 반전장치가 도시된 도면이다.
도 21은 도 20의 플립유닛이 도시된 사시도이다.
도 22는 도 21의 정면도이다.
도 23은 도 21의 측면도이다.
도 24는 도 21을 다른 방향에서 바라본 사시도이다.
도 25는 도 20의 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛이 도시된 사시도이다.
도 26은 도 25의 정면도이다.
도 27은 도 20의 스토퍼유닛이 도시된 사시도이다.
도 28은 도 27의 측면도이다.
도 29는 도 20의 캐리어 반전장치의 동작상태도이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서 이미 공지된 기능 혹은 구성에 대한 설명은, 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 제조 시스템에 의해 제조된 마스크의 평면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 제조 시스템의 개략적인 구성도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 제조 시스템의 구성도이고, 도 4는 도 3에 도시된 에칭 저항용 테이프 라미네이팅 유닛 영역의 확대도이며, 도 5는 도 3에 도시된 롤 시트 에칭 유닛의 확대도이고, 도 6은 도 3에 도시된 기능성 비중수세 유닛 영역의 확대도이며, 도 7은 기능성 비중수세 유닛의 사시도이고, 도 8은 도 7의 배면 사시도이며, 도 9는 비중수세 모듈 영역의 사시도이고, 도 10은 배관 구동부의 측면도이며, 도 11은 배관 구동부의 사시도이고, 도 12는 배관 구동부의 단면도이며, 도 13 및 도 14는 배관 구동부의 동작을 도시한 도면들이고, 도 15는 도 3에 도시된 에칭 저항용 테이프 박리 유닛 영역의 확대도이며, 도 16은 도 3에 도시된 에칭 저항제 도포 유닛 영역의 확대도이고, 도 17은 도 3에 도시된 롤 시트 절단 유닛 영역의 확대도이며, 도 18은 도 3에 도시된 속도 가변형 시트 에칭 유닛의 확대도이고, 도 19는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 제조 시스템의 제어블록도이고, 도 20은 도 3의 캐리어 반전장치가 도시된 도면이며, 도 21은 도 20의 플립유닛이 도시된 사시도이고, 도 22는 도 21의 정면도이며, 도 23은 도 21의 측면도이고, 도 24는 도 21을 다른 방향에서 바라본 사시도이며, 도 25는 도 20의 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛이 도시된 사시도이고, 도 26은 도 25의 정면도이며, 도 27은 도 20의 스토퍼유닛이 도시된 사시도이고, 도 28은 도 27의 측면도이며, 도 29는 도 20의 캐리어 반전장치의 동작상태도이다.
도 3에는 제1 공정 라인(a)과 제2 공정 라인(b) 및 제3 공정 라인(c)이 분리되어 있으나 이들 라인은 단일화된 인라인(in-line)을 이룰 수도 있다. 따라서 도면의 형상에 본 발명의 권리범위가 제한되지 않는다.
이하에서는 편의상 롤 시트 에칭 유닛(150)을 통해 롤 시트(10)에 대한 1차 에칭 공정을 진행하는 라인을 제1 공정 라인(a)이라 하고, 속도 가변형 시트 에칭 유닛(270)을 통해 단위 시트(20)에 대한 2차 에칭 공정을 진행하는 라인을 제2 공정 라인(b)이라 하고, 에칭 방지부재 박리유닛(510)과 세정유닛(520)을 통해 에칭 저항제(14) 및 포토 레지스트(PR)를 단위 시트(20)에서 제거한 후 캐리어(50)에서 단위 시트(20)를 분리하는 공정을 진행하는 라인을 제3 공정(c)라 하여 분리 설명하도록 한다.
물론, 제1 공정 라인(a)과, 제2 공정 라인(b) 및 제3 공정(c)에는 롤 시트 에칭 유닛(150)과, 속도 가변형 시트 에칭 유닛(270) 및 캐리어 반전장치(400) 등이 마련되는데, 이들에 대해서는 아래에서 설명하기로 한다.
본 실시예에 따른 마스크 제조 시스템의 구체적인 설명에 앞서 마스크(30)의 구조에 대해 도 1을 참조하여 간략하게 먼저 알아본다.
본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 제조 시스템에 의해 제조된 마스크(30)는 후술할 단위 시트(20)에서 일정한 영역이 절단되어 형성되는 마스크 시트(31)와, 마스크 시트(31) 상에 형성되는 다수의 마스크 패턴부(32)를 포함할 수 있다.
마스크 시트(31)의 일측은 마스크(30)가 공정 설비로 투입될 때, 설비 내에서 클램핑되는 부분으로 활용될 수 있다.
마스크 패턴부(32)는 후술할 에칭(etching) 공정에 의해 마스크 시트(31)에 형성되는 부분이다. 도면에는 다수의 마스크 패턴부(32)가 형성되는 마스크(30)를 제시하였으나 마스크 시트(31)에 단일의 마스크 패턴부(32)가 형성될 수도 있다.
뿐만 아니라 도면과 달리 마스크 시트(31) 상에 여러 줄의 마스크 패턴부(32)가 형성될 수도 있을 것인데, 이러한 사항 모두가 본 발명의 권리범위에 속한다 하여야 할 것이다.
마스크 패턴부(32)에는 휴대폰 등의 디스플레이로 사용되는 기판, 특히 OLED 기판의 증착 공정 시 증착물질을 통과시키기 위한 다수의 패턴홀(33, pattern hole)이 형성된다.
본 실시예에서 마스크 패턴부(32) 상에 형성되는 패턴홀(33)들은 모두 동일한 사각형 형상을 가질 수 있다. 물론, 패턴홀(33)은 다각형, 원형, 타원형 등으로 변경될 수도 있으므로 도면의 형상에 본 발명의 권리범위가 제한되지 않는다.
이와 같은 마스크(30)를 제조, 특히 연속적인 방법으로 대량 제조하기 위해 도 3과 같은 구조의 마스크 제조 시스템이 제안된다.
앞서도 언급한 것처럼 마스크 제조 시스템을 이루는 제1 공정 라인(a)과 제2 공정 라인(b)에는 롤 시트 에칭 유닛(150) 및 속도 가변형 시트 에칭 유닛(270) 외에 에칭 공정을 위한 많은 유닛 또는 장치들이 마련되며, 이들의 유기적인 메커니즘을 통해 양질의 마스크(30)가 대량 생산될 수 있다.
다만, 도 3의 마스크 제조 시스템의 구조가 다소 복잡하기 때문에, 이해를 돕기 위해 도 3의 마스크 제조 시스템을 이루는 구성들 중에서 몇몇의 핵심 구성만을 발췌하여 개략도로 작성한 도 2를 참조하여 본 실시예에 따른 마스크 제조 시스템의 개략적인 구조 및 작용에 대해 간략하게 먼저 알아보도록 한다.
도 2를 참조하면, 본 실시예에 따른 마스크 제조 시스템에서는 마스크(30)의 대량 생산을 위해 롤(roll) 형상으로 권취되어 형성되는 롤 시트(10, roll sheet)를 사용한다.
롤 시트(10)는 도 2의 (a)처럼 금속, 예컨대 인바(invar) 재질의 박판형 금속이 롤(roll) 형상으로 권취된 것을 의미한다. 참고로, 인바(invar)는 철 63.5%에 니켈 36.5%가 첨가된 것으로서 열팽창계수가 작은 합금이다.
인바(invar) 재질로 된 롤 시트(10)의 양면에는 포토 레지스트(PR, Photo Resist)가 형성된다. 포토 레지스트(PR)는 빛을 조사하면 화학 변화를 일으키는 고분자 수지를 일컫는다. 빛이 닿은 부분만 고분자 수지가 불용화(不溶化)하여 포토 레지스트가 남는 것을 네가형 포토 레지스트, 빛이 닿은 부분만 고분자가 가용화(可溶化)하여 포토 레지스트가 사라지는 것을 포지형 포토 레지스트라 부른다. 포토 레지스트(PR)는 롤 시트(10)의 양면에 미리 도포된 상태일 수 있다.
이상 설명한 바와 같은 롤 시트(10)를 이용해서 마스크(30)를 제조하기 위해 도 2의 (b)처럼 롤 시트(10)의 한쪽 면에 에칭 저항용 테이프(13, tape)가 부착, 즉 라미네이팅(laminating)된다.
에칭 저항용 테이프(13)는 에칭 저항용 테이프(13)가 라미네이팅된 면에서 에칭이 진행되지 않도록 에칭에 저항하는 역할을 한다. 본 실시예에서 에칭 저항용 테이프(13)는 UV(Ultraviolet Ray) 테이프(13)이다.
에칭 저항용 테이프(13)가 라미네이팅된 롤 시트(10)는 도 2의 (c)처럼 롤 시트 에칭 유닛(150)으로 인입된다. 그리고는 롤 시트 에칭 유닛(150)을 통해 롤 시트(10)의 한쪽 면인 제1 면이 에칭(etching)된다. 다시 말해, 롤 시트(10)의 대략 1/2 단면이 에칭되어 홈 형태로 깎인다.
익히 알려진 것처럼 에칭(혹은 에칭 공정)은 본 실시예에 따른 롤 시트(10)와 같은 금속이나 반도체를 침식시키는 것을 의미하는데, 포토 레지스트(PR)로 덮여 있지 않은 롤 시트(10)의 부분을 화학 약품, 즉 에칭액(부식액)으로 제거한다. 본 실시예의 경우, 롤 시트(10)의 제2 면에는 에칭 저항용 테이프(13)가 미리 라미네이팅되어 있기 때문에 롤 시트 에칭 유닛(150)을 통한 에칭 공정 시 롤 시트(10)의 제2 면 영역은 에칭되지 않고 롤 시트(10)의 한쪽 면인 제1 면만 에칭된다.
제1 면이 에칭된 롤 시트(10)는 롤 시트 에칭 유닛(150)에서 인출된 후, 도 2의 (d)처럼 반전된다. 즉 도면상 에칭된 제1 면이 상부로 놓이도록 뒤집힌다.
그런 다음, 도 2의 (e)처럼 에칭된 제1 면 영역에 에칭 저항제(14)가 도포된다. 롤 시트(10)의 제1 면은 이미 에칭이 되어 예컨대, 1/2 단면이 홈 형태로 파인 상태이므로 이곳에 전술한 에칭 저항용 테이프(13)를 라미네이팅하기가 곤란하다. 때문에, 도 2의 (e)처럼 에칭 저항용 테이프(13) 대신 같은 기능을 담당하는 에칭 저항제(14)가 도포된다.
에칭 저항제(14)가 롤 시트(10)의 에칭된 제1 면 영역에 도포된 이후에는 롤 시트(10)가 절단되어 단위 사이즈의 단위 시트(20)로 형성되며, 이후에 속도 가변형 시트 에칭 유닛(270)을 통해 아직 에칭되지 않은 제2 면 영역에 대한 에칭 공정이 진행된다.
이때, 단위 사이즈로 절단된 단위 시트(20)는 매우 얇은 박판형이라서 이송이 원활하지 않을 수 있기 때문에 단위 시트(20)에는 캐리어(50, carrier)가 라미네이팅되어 캐리어(50)를 통해 단위 시트(20)가 이송된다. 캐리어(50)는 글라스(glass) 재질로 제작되며, 단위 시트(20)와 라미네이팅되어 단위 시트(20)를 속도 가변형 시트 에칭 유닛(270) 및 그 후방 공정으로 이송시키는 역할을 한다.
이처럼 캐리어(50)에 라미네이팅된 단위 시트(20)는 도 2의 (f)처럼 속도 가변형 시트 에칭 유닛(270)로 인입된다. 그리고는 속도 가변형 시트 에칭 유닛(270)을 통해 단위 시트(20)의 나머지 면인 제2 면이 에칭된다. 다시 말해, 단위 시트(20)의 남은 1/2 단면이 에칭됨으로써 패턴홀(33, 도 1 참조)이 형성되도록 한다.
속도 가변형 시트 에칭 유닛(270)을 통한 소위, 2차 에칭을 통해 패턴홀(33)이 형성된 이후에는 단위 시트(20)에 묻어 잔존되는 에칭 저항제(14) 및 포토 레지스트(PR)가 제거되고, 이어 단위 시트(20)가 일정 부분 절단되면서 캐리어(50)와 분리됨으로써 최종적으로 마스크(30)로 제조될 수 있다.
이상에서 설명한 마스크 제조 시스템의 간략한 구조와 그에 따른 작용은 도 3의 실질적인 마스크 제조 시스템을 이루는 구성들 중에서 핵심적인 일부만을 발췌한 것으로서, 실질적으로 마스크 제조 시스템이 구현되기 위해서는 롤 시트(10)를 이송시키는 수단, 에칭 저항용 테이프(13)를 제거하는 수단, 에칭 전후의 롤 시트(10) 혹은 단위 시트(20)를 세척하는 수단, 롤 시트(10)를 단위 시트(20)로 절단하는 수단, 에칭 저항제(14) 및 포토 레지스트(PR)를 제거하는 수단 등 여러 구성들이 시스템 제1 공정 라인 상에 배치되어 주변 구성들과 유기적으로 동작해야 한다. 따라서 이하에서는 도 3 내지 도 19를 참조하여 본 실시예에 따른 마스크 제조 시스템의 실질적인 세부 구조 및 그에 다른 작용, 방법 등을 설명하기로 한다.
도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 마스크 제조 시스템은 크게, 롤 시트 에칭 유닛(150)을 통해 롤 시트(10)에 대한 1차 에칭 공정을 진행하는 제1 공정 라인(a)과, 속도 가변형 시트 에칭 유닛(270)을 통해 단위 시트(20)에 대한 2차 에칭 공정을 진행하는 제2 공정 라인(b)과, 캐리어(50)를 반전한 후 단위 시트(20)에서 에칭 저항제(14) 및 포토 레지스트(PR)를 제거한 뒤 캐리어(50)에서 단위 시트(20)를 분리하는 제3 공정 라인(c)을 포함한다. 앞서도 언급한 것처럼 제1 공정 라인(a)과 제2 공정 라인(b) 및 제3 공정 라인(c)은 분리되지 않은 단일화된 인라인(in-line)일 수도 있다.
이하, 설명의 편의를 위해 제1 공정 라인(a)의 앞에서부터 순차적으로 설명한다. 제1 공정 라인(a)에는 공정이 진행되는 방향을 따라 롤 시트 공급 유닛(110), 에칭 저항용 테이프 라미네이팅 유닛(120), 프리 에칭 유닛(140), 프리 세척 및 물기 제거기(145), 롤 시트 에칭 유닛(150), 기능성 비중수세 유닛(160), 에칭 저항용 테이프 박리 유닛(180), 그리고 롤 시트 회수 유닛(112)이 배치된다. 순서대로 살펴본다.
롤 시트 공급 유닛(110)은 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 마스크(30)의 제조를 위하여 롤(roll) 형상으로 권취되어 형성되는 롤 시트(10, 도 2 참조)를 1차 에칭(etching) 공정이 진행되는 제1 공정 라인(a)으로 공급한다.
롤 시트 공급 유닛(110)을 통해 롤 시트(10)가 풀려 제1 공정 라인(a)으로 공급되기 위해 제1 롤 시트 구동 롤러(101, 도 15 참조)와, 다수의 롤 시트 가이드 롤러(103)가 마련된다.
제1 롤 시트 구동 롤러(101)는 도 15처럼 롤 시트 공급 유닛(110)과 롤 시트 회수 유닛(112) 사이의 제1 공정 라인(a) 상에 배치되며, 롤 시트(10)를 롤 시트 회수 유닛(112) 쪽으로 구동시키는 역할을 한다. 제1 롤 시트 구동 롤러(101)는 도시 않은 모터의 구동력으로 롤 시트(10)를 당겨 후 공정인 롤 시트 회수 유닛(112) 쪽으로 이동시킨다.
롤 시트 가이드 롤러(103)는 제1 공정 라인(a) 상에 다수 개 배치되며, 롤 시트(10)의 이송을 가이드한다. 롤 시트 가이드 롤러(103)는 도 3에서 제1 공정 라인(a) 및 제2 공정 라인(b) 모두의 곳곳에 배치되어 롤 시트(10)에 텐션을 부여하면서 롤 시트(10)의 이송을 가이드하는 역할을 한다.
도 4에 도시된 것처럼 롤 시트 공급 유닛(110)의 주변에는 롤 시트 가이드 롤러(103) 외에도 롤 시트(10)를 평평하게 펼쳐 공급하는 롤 시트 펼침 가이드(107)가 마련된다. 롤 시트 펼침 가이드(107)는 도 16처럼 에칭 후 롤 시트 공급 유닛(210)의 주변에도 동일한 형태로 적용될 수 있다.
롤 시트 공급 유닛(110)의 공정 후방에 에칭 저항용 테이프 라미네이팅 유닛(120)이 마련된다. 에칭 저항용 테이프 라미네이팅 유닛(120)은 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 롤 시트 공급 유닛(110)과 롤 시트 에칭 유닛(150) 사이에 배치되며, 롤 시트(10)의 제1 면에 대한 에칭 공정이 진행되기 전에 롤 시트 공급 유닛(110)에서 풀려 롤 시트 에칭 유닛(150)으로 공급되는 롤 시트(10)의 다른 쪽 면인 제2 면에 에칭에 저항하는 에칭 저항용 테이프(13, tape, 도 2 참조)를 라미네이팅(laminating)하는 역할을 한다. 에칭 저항용 테이프(13)는 롤 시트 에칭 유닛(150)을 통해 롤 시트(10)의 한쪽 면인 제1 면만 에칭되도록 한다.
본 실시예에서 에칭 저항용 테이프 라미네이팅 유닛(120)은 롤 시트(10)가 제1 공정 라인(a)의 일측에 배치되며, 롤(roll) 형상의 에칭 저항용 테이프(13)를 이송 중인 롤 시트(10)의 제2 면에 연속적으로 공급해서 라미네이팅하는 이송 중 에칭 저항용 테이프 라미네이팅 유닛(120)으로 적용된다. 이처럼 롤 시트(10)가 이송되는 과정에서 그 일면에 에칭 저항용 테이프(13)가 라미네이팅되게 함으로써 연속 공정을 이끌어낼 수 있으며, 이로 인해 생산성이 향상될 수 있다.
에칭 저항용 테이프 라미네이팅 유닛(120)은 테이프 공급 롤러(121), 라미네이팅 구동 롤러(122), 라미네이팅 종동 롤러(123), 테이프 전달 롤러(124), 그리고 보호필름 회수 롤러(125)를 포함한다.
테이프 공급 롤러(121)는 에칭 저항용 테이프(13)를 공급한다. 본 실시예의 경우, 연속 공정의 구현을 위하여 롤(roll) 형상의 에칭 저항용 테이프(13)를 사용한다.
라미네이팅 구동 롤러(122)는 롤 시트(10)의 제2 면에 회전 가능하게 배치되며, 테이프 공급 롤러(121)에서 공급되는 에칭 저항용 테이프(13)를 전달 받아 롤 시트(10)의 제2 면에 라미네이팅하는 역할을 한다.
라미네이팅 종동 롤러(123)는 롤 시트(10)를 사이에 두고 라미네이팅 구동 롤러(122)의 반대편에 회전 가능하게 배치되는 롤러이다. 라미네이팅 구동 롤러(122)가 모터 등에 의해 동작되는데 반해, 라미네이팅 종동 롤러(123)는 자유 회전형 롤러일 수 있다.
테이프 전달 롤러(124)는 테이프 공급 롤러(121)와 라미네이팅 구동 롤러(122) 사이에 배치되어 에칭 저항용 테이프(13)가 경유되며, 테이프 공급 롤러(121)에서 공급되는 에칭 저항용 테이프(13)를 라미네이팅 구동 롤러(122)로 전달하는 역할을 한다. 테이프 전달 롤러(124)로 인해 보호필름 회수 롤러(125)의 적용이 용이해질 수 있다.
보호필름 회수 롤러(125)는 테이프 전달 롤러(124)에 이웃하게 배치되어 테이프 전달 롤러(124)와 상호작용하며, 테이프 전달 롤러(124)로 경유되는 에칭 저항용 테이프(13) 상의 보호필름(미도시)을 회수하는 역할을 한다. 보호필름 회수 롤러(125)를 통해 회수되는 보호필름은 폐기된다.
에칭 저항용 테이프 라미네이팅 유닛(120)의 공정 후방에 제1 롤 시트 버퍼 유닛(130), 프리 에칭 유닛(140) 및 프리 세척 및 물기 제거기(145)가 순차적으로 배치된다.
제1 롤 시트 버퍼 유닛(130)은 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 에칭 저항용 테이프 라미네이팅 유닛(120)과 프리 에칭 유닛(130) 사이에 배치되며, 에칭 저항용 테이프 라미네이팅 유닛(120)과 프리 에칭 유닛(130) 간의 공정 속도를 조절하는 역할을 한다.
프리 에칭 유닛(140)은 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 공정 라인(a) 상에서 에칭 저항용 테이프 라미네이팅 유닛(120)과 롤 시트 에칭 유닛(150) 사이에 배치되며, 롤 시트(10)가 롤 시트 에칭 유닛(150)으로 인입되어 에칭 공정을 진행하기 전에 롤 시트(10)에 대한 프리 에칭(pre etching)을 진행하는 역할을 한다.
이러한 프리 에칭 유닛(140)은 에칭액이 충전되는 프리 에칭조(141)와, 프리 에칭조(141)에 마련되며, 롤 시트(10)가 프리 에칭조(141) 내의 에칭액에 디핑(deeping)되어 배출될 수 있도록 롤 시트(10)의 이송을 가이드하는 다수의 프리 에칭 가이드 롤러(142)를 포함할 수 있다.
롤 시트(10)가 프리 에칭 유닛(140)을 한 번 거친 후, 롤 시트 에칭 유닛(150)을 통해 1차로 에칭되게 함으로써 에칭의 효율을 높일 수 있다. 하지만, 경우에 따라 프리 에칭 유닛(140)은 공정상 생략될 수도 있는데, 이처럼 프리 에칭 유닛(140)이 생략된 시스템 역시, 본 발명의 권리범위에 속한다 하여야 할 것이다.
프리 세척 및 물기 제거기(145)는 도 3에 도시된 바와 같이, 프리 에칭 유닛(130)과 롤 시트 에칭 유닛(150) 사이에 배치되며, 프리 에칭 공정이 진행된 롤 시트(10)를 세척하고 물기를 제거하는 역할을 한다. 롤 시트(10)는 프리 에칭 유닛(140)을 통해 가볍고 간단하게 프리 에칭된 상태이므로 프리 세척 및 물기 제거기(145) 역시 가볍고 간단하게 세척한다.
본 실시예에서 프리 세척 및 물기 제거기(145)는 롤 시트(10)를 향해 워터(water)를 분사하면서 롤 시트(10)를 세척하는 프리 세척기(146)와, 세척이 완료된 롤 시트(10)의 표면에 잔존 가능한 물기를 바람으로 제거하는 에어 나이프(147)를 포함할 수 있다. 프리 세척 및 물기 제거기(145)는 이하에서 설명할 기능성 비중수세 유닛(160)의 일부 구조와 유사하므로 프리 세척 및 물기 제거기(145)에 대한 자세한 설명은 후술할 기능성 비중수세 유닛(160)을 참조하기로 하고 여기서는 설명을 생략한다.
프리 세척 및 물기 제거기(145)의 공정 후방에 롤 시트 에칭 유닛(150)이 마련된다. 롤 시트 에칭 유닛(150)은 도 2, 도 3 및 도 5에 도시된 바와 같이, 롤 시트(10)의 한쪽 면인 제1 면에 대한 대략 1/2 에칭 공정을 진행하는 역할을 한다.
이러한 롤 시트 에칭 유닛(150)은 롤 시트 에칭 캐비닛(151)을 구비한다. 롤 시트 에칭 캐비닛(151)은 캐비닛 구조로서 그 내부에는 롤 시트(10)에 대한 에칭 공정을 진행하는 다수의 에칭 룸(151a)이 형성된다. 에칭 룸(151a)들은 서로 연통된다.
롤 시트 에칭 캐비닛(151)에 롤 시트 인입 롤러부(152)와, 롤 시트 인출 롤러부(153)가 마련된다. 롤 시트 인입 롤러부(152)는 롤 시트 에칭 캐비닛(151)의 입구 영역에 배치되며, 롤 시트(10)를 롤 시트 에칭 캐비닛(151)의 내부로 인입시키는 역할을 한다. 그리고 롤 시트 인출 롤러부(153)는 롤 시트 에칭 캐비닛(151)의 출구 영역에 배치되며, 롤 시트(10)를 롤 시트 에칭 캐비닛(151)의 외부로 인출(배출)시키는 역할을 한다.
롤 시트 에칭 캐비닛(151) 내에는 다수의 제1 에칭액 스프레이 모듈(154)이 마련된다. 제1 에칭액 스프레이 모듈(154)들은 롤 시트 에칭 캐비닛(151) 내에서 이송 중인 롤 시트(10)를 향해 에칭액을 스프레이 방식으로 분사하여 롤 시트(10)의 한쪽 면인 제1 면에 대한 대략 1/2 에칭 공정이 진행되게끔 한다. 후술할 제2 에칭액 스프레이 모듈(273)도 마찬가지지만 다수의 제1 에칭액 스프레이 모듈(154)이 에칭액을 스프레이 방식으로 분사하기 때문에 에칭액 분사의 균일도를 확보할 수 있다.
롤 시트 에칭 유닛(150)의 공정 후방에 기능성 비중수세 유닛(160)이 마련된다. 기능성 비중수세 유닛(160)은 도 3, 그리고 도 6 내지 도 14에 도시된 바와 같이, 롤 시트 에칭 유닛(150)의 출구에 직결되며, 세척약품이 혼합된 세척수 또는 워터(water)를 이용해서 에칭 공정이 완료된 롤 시트(10) 상에 잔존되는 에칭액 또는 이물을 제거하는 역할을 한다.
이러한 기능성 비중수세 유닛(160)은 유닛 캐비닛(161)과, 유닛 캐비닛(161) 상에 비중수세 모듈(162), 제1 내지 제3 수세 모듈(167~169), 그리고 물기 제거 모듈(178)이 일체로 탑재되는 구조를 갖는다. 이처럼 기능과 역할이 상이한 비중수세 모듈(162), 제1 내지 제3 수세 모듈(167~169), 그리고 물기 제거 모듈(178)이 유닛 캐비닛(161) 상에 위치별로 탑재되어 하나의 기능성 비중수세 유닛(160)을 구현할 경우, 시스템에 설치하기가 용이할 뿐만 아니라 위치 이동이 자유로워지는 이점이 있다. 따라서 기능성 비중수세 유닛(160)은 도 3에 도시된 바와 같이, 롤 시트 에칭 유닛(150)의 공정 후방뿐만 아니라 속도 가변형 시트 에칭 유닛(270)의 공정 후방에도 용이하게 적용될 수 있다.
유닛 캐비닛(161)은 기능성 비중수세 유닛(160)의 외관을 이룬다. 유닛 캐비닛(161)에 비중수세 모듈(162), 제1 내지 제3 수세 모듈(167~169), 그리고 물기 제거 모듈(178)이 위치별로 탑재되어야 하기 때문에 유닛 캐비닛(161)은 강성이 우수한 금속 프레임으로 제작된다.
유닛 캐비닛(161)의 하단부에는 높이 조절 및 지면 지지를 위한 푸트(161a)가 배치될 수 있다. 유닛 캐비닛(161)의 후면에는 비중수세 모듈(162), 제1 내지 제3 수세 모듈(167~169) 쪽으로 세척약품이 혼합된 세척수 혹은 워터를 정량과 정압으로 공급하기 위한 수단들이 갖춰진다.
유닛 캐비닛(161)의 하부에는 제1 드레인부(179a)와, 제2 드레인부(179b)가 마련된다. 제1 드레인부(179a)는 유닛 캐비닛(161)의 하부 일측에 배치되며, 비중수세 모듈(162)에서 낙하되는 세척약품이 혼합된 세척수를 받아 드레인(drain)시킨다. 그리고 제2 드레인부(179b)는 유닛 캐비닛(161)의 하부 타측에 배치되며, 제1 내지 제3 수세 모듈(167~169)에서 낙하되는 워터를 받아 드레인(drain)시킨다.
비중수세 모듈(162)은 유닛 캐비닛(161)의 상부 일측에 마련되며, 세척약품이 혼합된 세척수를 이용해서 에칭 공정이 완료된 롤 시트(10) 상에 잔존되는 에칭액을 제거하는 역할을 한다. 제1 내지 제3 수세 모듈(167~169), 그리고 물기 제거 모듈(178)도 마찬가지지만 비중수세 모듈(162)은 캐비닛 혹은 서랍 구조를 갖는다. 따라서 내부의 구성들을 설치하거나 유지보수하는데 수월하다.
이러한 비중수세 모듈(162)은 비중수세 모듈 하우징(163), 롤 시트 이송부(164), 상부 배관부(165), 하부 배관부(166), 그리고 배관 구동부(170)를 포함할 수 있다.
비중수세 모듈 하우징(163)은 박스형 캐비닛 형상을 갖는 외관 프레임이다. 비중수세 모듈 하우징(163)의 일측에는 롤 시트(10)가 유입되는 유입부(163a)가 형성된다. 유입부(163a)로 유입되는 롤 시트(10)는 비중수세 모듈(162), 제1 내지 제3 수세 모듈(167~169), 그리고 물기 제거 모듈(178)을 차례로 거친 후, 물기 제거 모듈 하우징(178a)의 배출부(178c, 도 8 참조)로 배출되며, 이후에는 제1 롤 시트 건조 유닛(105)로 향한다.
롤 시트 이송부(164)는 비중수세 모듈 하우징(163) 내에 배치되며, 유입부(163a)를 통과한 롤 시트(10)를 제1 내지 제3 수세 모듈(167~169) 측으로 이송시키는 역할을 한다. 다수의 롤러와 기어(베벨 기어 포함)의 조합으로 형성되는 롤 시트 이송부(164)는 제1 내지 제3 수세 모듈(167~169)에 모두 동일한 형태로 마련될 수 있다.
상부 배관부(165)는 롤 시트 이송부(164)의 상부에 배치되는 배관이다. 상부 배관부(165)에는 롤 시트 이송부(164)의 작용으로 이송 중인 롤 시트(10)를 향해 세척약품이 혼합된 세척수를 하향 분사하는 다수의 상부 분사노즐(165a)이 마련된다.
하부 배관부(166)는 상부 배관부(165)의 하부에 배치되는 배관이다. 하부 배관부(166)에는 롤 시트 이송부(164)의 작용으로 이송 중인 롤 시트(10)를 향해 세척약품이 혼합된 세척수를 상향 분사하는 다수의 하부 분사노즐(166a)이 마련된다.
한편, 배관 구동부(170)는 상부 배관부(165) 및 하부 배관부(166)와 연결되며, 롤 시트(10) 상으로 분사되는 세척약품이 혼합된 세척수의 분사 균일도 확보를 위하여 상부 배관부(165) 및 하부 배관부(166)를 적어도 일 방향으로 구동시키는 역할을 한다. 예컨대, 도 10의 화살표와 같이 배관 구동부(170)가 상부 배관부(165) 및 하부 배관부(166)를 교번적으로 전후진 구동시킬 수 있다. 이처럼 배관 구동부(170)가 상부 배관부(165) 및 하부 배관부(166)를 교번적으로 전후진 구동시키면서 세척약품이 혼합된 세척수가 롤 시트(10)로 분사될 경우, 얼룩이 생기는 것을 방지할 수 있고, 세척의 균일도를 향상시킬 수 있다.
배관 구동부(170)는 유닛 캐비닛(161)의 일측에 결합되는 구동 하우징(171)에 부품이 결합되는 형태로 마련된다. 이러한 배관 구동부(170)는 상부 배관부(165)와 연결되고 상부 배관부(165)를 슬라이딩 구동시키는 상부 슬라이더(172)와, 구동 하우징(171)의 상부에 배치되고 상부 슬라이더(172)와 연결되며, 상부 배관부(165)가 구동되는 방향으로 슬라이딩 이동되는 상부 슬라이딩 플레이트(173)와, 하부 배관부(166)와 연결되고 하부 배관부(166)를 슬라이딩 구동시키는 하부 슬라이더(174)와, 구동 하우징(171)의 상부에 배치되고 하부 슬라이더(174)와 연결되며, 하부 배관부(166)가 구동되는 방향으로 슬라이딩 이동되는 하부 슬라이딩 플레이트(175)를 포함한다.
이와 같은 구조에서 상부 슬라이더(172)와 하부 슬라이더(174)를 교번적으로 구동시키기 위해 슬라이더 구동부(176)가 배관 구동부(170)에 마련된다. 슬라이더 구동부(176)는 구동 하우징(171)에 마련되고 상부 슬라이딩 플레이트(173) 및 하부 슬라이딩 플레이트(175)와 연결되며, 상부 슬라이더(172)와 하부 슬라이더(174)를 교번적으로 구동시키는 역할을 한다. 이처럼 슬라이더 구동부(176)가 상부 슬라이더(172)와 하부 슬라이더(174)를 교번적으로 구동시킴에 따라 도 10처럼 상부 배관부(165) 및 하부 배관부(166)가 교번적으로 전후진 구동될 수 있게 되고, 이러한 작용을 통해 세척약품이 혼합된 세척수가 롤 시트(10)로 분사되기 때문에 세척의 균일도를 향상시킬 수 있게 되는 것이다.
슬라이더 구동부(176)는 감속기(176a)가 연결되며, 동력을 발생시키는 서보모터(176b)와, 구동 하우징(171) 내에서 상부 슬라이딩 플레이트(173) 및 하부 슬라이딩 플레이트(175) 사이에 배치되며, 서보모터(176b)에 연결되어 서보모터(176b)의 동작에 의해 회전되는 로테이팅 샤프트(176c)와, 로테이팅 샤프트(176c)의 상단부에 연결되어 로테이팅 샤프트(176c)와 동회전되는 상부 캠 플레이트(176d)와, 상부 슬라이딩 플레이트(173)의 상부 장공(173a)을 경유해서 상부 캠 플레이트(176d)에 결합되는 상부 결합부재(176e)와, 로테이팅 샤프트(176c)의 하단부에 연결되어 로테이팅 샤프트(176c)와 동회전되는 하부 캠 플레이트(176f)와, 하부 슬라이딩 플레이트(175)의 하부 장공(175a)을 경유해서 하부 캠 플레이트(176f)에 결합되는 하부 결합부재(176g)를 포함할 수 있다. 이러한 구성에 의해, 서보모터(176b)가 동작되어 로테이팅 샤프트(176c)가 회전되면 상부 캠 플레이트(176d) 및 하부 캠 플레이트(176f)가 각각 회전되는 과정에서 도 13 및 도 14와 같은 작용을 이끌어낼 수 있고, 이로 인해 상부 슬라이더(172)와 하부 슬라이더(174)가 교번적으로 전후진 구동될 수 있다.
제1 내지 제3 수세 모듈(167~169)은 유닛 캐비닛(161) 상에서 비중수세 모듈(162)에 이웃하게 배치되며, 비중수세 모듈(162)을 지난 롤 시트(10)에 대하여 워터를 이용해서 롤 시트(10) 상에 잔존되는 이물을 제거하는 역할을 한다.
본 실시예의 경우, 3개의 제1 내지 제3 수세 모듈(167~169)을 개시하고 있다. 물론, 이의 수치에 본 발명의 권리범위가 제한되지 않는다. 제1 내지 제3 수세 모듈(167~169)은 측 방향으로 인접되게 배치되며, 후(後) 공정으로 갈수록 워터의 분사강도가 점진적으로 약해지게 배치된다.
제1 내지 제3 수세 모듈(167~169) 모두는 수세 모듈 하우징(167a~169a)과, 수세 모듈 하우징(167a~169a) 내에서 이송 중인 롤 시트(10)의 상부 및 하부에 배치되며, 해당 위치에서 롤 시트(10)를 향해 워터를 분사하는 다수의 워터 분사기(167b~169b)를 포함할 수 있다. 제1 내지 제3 수세 모듈(167~169)에 마련되는 워터 분사기(167b~169b)들의 개수가 다를 뿐 제1 내지 제3 수세 모듈(167~169)에 마련되는 워터 분사기(167b~169b)의 역할은 동일하다. 비중수세 모듈(162)과 마찬가지로 워터 분사기(167b~169b)가 워터를 분사하는 형태로 세척하기 때문에 얼룩이 생기지 않으며, 균일도를 확보하는 데 유리하다.
물기 제거 모듈(178)은 유닛 캐비닛(161) 상에서 제3 수세 모듈(169)에 이웃하게 배치되며, 제3 수세 모듈(169)을 지난 롤 시트(10)에 대하여 롤 시트(10) 상에 잔존 가능한 물기를 바람으로 제거하는 역할을 한다.
이러한 물기 제거 모듈(178)은 물기 제거 모듈 하우징(178a)과, 물기 제거 모듈 하우징(178a) 내에서 이송 중인 롤 시트(10)의 상부 및 하부에 배치되며, 해당 위치에서 롤 시트(10)를 향해 일자형 에어(air)를 분사하는 다수의 에어 나이프(178b, air knife)를 포함한다. 에어 나이프(178b)의 일자형 출구에서 강한 바람(에어)이 분사되어 롤 시트(10)로 향하기 때문에 롤 시트(10) 상의 잔존 물기가 제거될 수 있다.
기능성 비중수세 유닛(160)의 공정 후방에 제1 롤 시트 건조 유닛(105), 에칭 저항용 테이프 박리 유닛(180), 그리고 롤 시트 회수 유닛(112)이 순서대로 배치된다.
제1 롤 시트 건조 유닛(105)은 도 3에 도시된 바와 같이, 기능성 비중수세 유닛(160)의 공정 후방에 배치되며, 기능성 비중수세 유닛(160)을 거쳐 세척이 완료된 롤 시트(10)를 건조하는 역할을 한다. 제1 롤 시트 건조 유닛(105)은 열풍 건조일 수 있으며, 제1 롤 시트 건조 유닛(105)을 지난 롤 시트(10)는 물기가 전혀 없는 상태를 취한다.
에칭 저항용 테이프 박리 유닛(180)은 도 3 및 도 15에 도시된 바와 같이, 롤 시트 에칭 유닛(150)의 공정 후방에 배치되며, 1차 에칭 공정을 위해 라미네이팅되었던 에칭 저항용 테이프(13)를 박리하는 역할을 한다. 이러한 에칭 저항용 테이프 박리 유닛(180)은 박리용 광 조사기(181)와, 에칭 저항용 테이프 회수기(183)를 포함할 수 있다.
박리용 광 조사기(181)는 에칭 저항용 테이프(13)가 롤 시트(10)로부터 박리되도록 에칭 저항용 테이프(13)를 향해 광(光)을 조사하는 역할을 한다. 이때의 광은 자외선일 수 있다.
에칭 저항용 테이프 회수기(183)는 박리용 광 조사기(181)의 공정 후방에 배치되며, 박리용 광 조사기(181)의 작용으로 롤 시트(10)에서 박리되는 에칭 저항용 테이프(13)를 회수하는 역할을 한다. 에칭 저항용 테이프 회수기(183)를 통해 회수되는 에칭 저항용 테이프(13)는 폐기된다.
에칭 저항용 테이프 회수기(183)는 에칭 저항용 테이프(13)에 접촉 회전되면서 롤 시트(10)로부터 에칭 저항용 테이프(13)를 박리하는 테이프 박리용 구동 롤러(184)와, 롤 시트(10)를 사이에 두고 테이프 박리용 구동 롤러(184)의 반대편에 회전 가능하게 배치되는 테이프 박리용 종동 롤러(185)와, 박리되는 에칭 저항용 테이프(13)를 감아 회수하는 테이프 회수 롤러(186)와, 테이프 박리용 구동 롤러(184)와 테이프 회수 롤러(186) 사이에 배치되며, 회수되는 테이프를 가이드하는 테이프 가이드 롤러(187)를 포함할 수 있다.
이처럼 에칭 저항용 테이프 회수기(183)가 롤 타입으로 구동되면서 에칭 저항용 테이프(13)를 박리해서 회수하기 때문에 공정이 중단될 필요가 없으며, 이로 인해 생산성 향상에 기여할 수 있다.
롤 시트 회수 유닛(112)은 도 3 및 도 15에 도시된 바와 같이, 제1 공정 라인(a) 상에서 롤 시트 공급 유닛(110)의 반대편에 배치되며, 롤 시트(10)의 제1 면이 에칭되고 에칭 저항용 테이프(13)가 박리된 롤 시트(10)를 회수하는 역할을 한다. 물론, 앞서도 기술한 것처럼 롤 시트 회수 유닛(112)이 에칭 후 롤 시트 공급 유닛(210)과 연결되어 하나의 기능성 장치로 사용될 수도 있다.
한편, 제2 공정 라인(b)에는 공정이 진행되는 방향을 따라 에칭 후 롤 시트 공급 유닛(210), 에칭 저항제 도포 유닛(220), 제2 롤 시트 건조 유닛(231), 에칭 저항제 경화 유닛(235), 롤 시트 절단 유닛(250), 캐리어 라미네이팅 유닛(260), 그리고 속도 가변형 시트 에칭 유닛(270)이 배치된다. 순서대로 살펴본다.
에칭 후 롤 시트 공급 유닛(210)은 도 3 및 도 16에 도시된 바와 같이, 제1 공정 라인(a)을 통해 제1 면에 대한 에칭 공정이 완료된 롤 시트(10)를 제2 공정 라인(b)으로 공급하는 역할을 한다.
에칭 후 롤 시트 공급 유닛(210)이 롤 시트(10)를 제2 공정 라인(b)으로 공급할 때, 제1 공정 라인(a)에서 에칭이 된 면이 상부를 향하도록 한다. 그리고 제1 면에 대한 에칭 공정이 완료된 롤 시트(10)는 제2 롤 시트 구동 롤러(102, 도 17 참조)의 작용으로 제2 공정 라인(b)으로 공급된다. 다시 말해, 제2 롤 시트 구동 롤러(102)는 에칭 후 롤 시트 공급 유닛(210)의 롤 시트(10)를 롤 시트 절단 유닛(250) 쪽으로 구동시킨다. 제2 롤 시트 구동 롤러(102)는 전술한 제1 롤 시트 구동 롤러(101)와 동일한 역할, 즉 모터의 구동력으로 롤 시트(10)를 당겨 이동시키는 역할을 한다.
에칭 후 롤 시트 공급 유닛(210)의 공정 후방에 제2 롤 시트 버퍼 유닛(218)이 마련된다. 제2 롤 시트 버퍼 유닛(218)은 도 3 및 도 16에 도시된 바와 같이, 에칭 후 롤 시트 공급 유닛(210)과 에칭 저항제 도포 유닛(220) 사이에 배치되며, 에칭 후 롤 시트 공급 유닛(210)과 에칭 저항제 도포 유닛(220) 간의 공정 속도를 조절하는 역할을 한다.
제2 롤 시트 버퍼 유닛(218)의 공정 후방에 에칭 저항제 도포 유닛(220)이 마련된다. 에칭 저항제 도포 유닛(220)은 도 2, 도 3 및 도 16에 도시된 바와 같이, 제1 공정 라인(a) 상에서 1/2 에칭 공정이 완료된 롤 시트(10)의 제1 면에 에칭에 저항하는 에칭 저항제(14)를 도포하는 역할을 한다. 롤 시트(10)의 제1 면은 이미 에칭이 되어 예컨대, 1/2 단면이 홈 형태로 파인 상태이므로 이곳에 전술한 에칭 저항용 테이프(13)를 라미네이팅하기가 곤란하다. 때문에, 도 2의 (e)처럼 에칭 저항용 테이프(13) 대신 같은 기능을 담당하는 에칭 저항제(14)가 도포된다.
에칭 저항제 도포 유닛(220)의 공정 후방에 제2 롤 시트 건조 유닛(231)과, 에칭 저항제 경화 유닛(235)이 차례로 배치된다.
제2 롤 시트 건조 유닛(231)은 도 3 및 도 16에 도시된 바와 같이, 에칭 저항제 도포 유닛(220)과 에칭 저항제 경화 유닛(235) 사이에 배치되며, 에칭 저항제(14)가 도포된 롤 시트(10)를 건조하는 역할을 한다. 제2 롤 시트 건조 유닛(231) 역시, 전술한 제1 롤 시트 건조 유닛(105)과 마찬가지로 열풍 건조일 수 있다.
에칭 저항제 경화 유닛(235)은 에칭 저항제 도포 유닛(220)의 공정 후방에 배치되며, 에칭 저항제(14)를 경화시키는 역할을 한다. 에칭 저항제 도포 유닛(220)을 통해 롤 시트(10)의 제1 면에 도포된 에칭 저항제(14)는 젤(gel) 타입일 수 있는데, 경화되지 않으면 2차 에칭 시 흘러내릴 수 있기 때문에 에칭 저항제 경화 유닛(235)을 통해 제1 면에 도포된 에칭 저항제(14)가 경화될 수 있게끔 한다.
제2 공정 라인(b) 상에서 에칭 저항제 경화 유닛(235)의 공정 후방에 롤 시트 절단 유닛(250)이 마련된다. 롤 시트 절단 유닛(250)은 도 3 및 도 17에 도시된 바와 같이, 에칭 저항제 도포 유닛(220)의 공정 후방에 배치되며, 롤 시트(10)를 단위 사이즈의 단위 시트(20)로 절단하는 역할을 한다. 단위 사이즈는 휴대폰 사이즈 혹은 모니터 사이즈 등 다양할 수 있다.
도 17의 도면에는 롤 시트 절단 유닛(250)이 극히 개략적으로 도시되었는데, 롤 시트 절단 유닛(250)은 상하로 구동되면서 이송 중인 롤 시트(10)를 절단하는 커터(251, cutter)와, 절단 대상의 롤 시트(10)를 지지하는 절단 다이(252)를 포함할 수 있다.
정확한 사이즈로 절단되는 한편 절단의 효율이 높아질 수 있도록 절단 다이(252)의 전방에는 롤 시트(10)를 펼쳐주는 펼침 롤러(253)가 회전 가능하게 배치될 수 있다.
롤 시트(10)의 절단 작업 시 롤 시트(10)의 이송이 잠깐 정지될 수 있는데, 이때 앞 공정에서 진행 중인 롤 시트(10)의 진행 흐름을 보상하기 위해 전동식 버퍼 롤(254)이 펼침 롤러(253)의 전방에 배치될 수 있다.
캐리어 라미네이팅 유닛(260)은 도 3 및 도 17에 도시된 바와 같이, 롤 시트 절단 유닛(250)의 공정 후방에 배치되며, 단위 시트(20)의 이송을 위하여 단위 시트(20)에 캐리어(50, carrier)를 라미네이팅(laminating)하는 역할을 한다.
롤 시트(10)는 롤투롤(roll to roll) 방식이라서 이송에 무리가 없지만 얇은 박막 형태의 단위 시트(20)는 단독으로 이송되기에 곤란하다. 따라서 단위 시트(20)를 지지하는 한편 단위 시트(20)를 이송시키기 위해 단위 시트(20)에 캐리어(50)가 라미네이팅된다. 캐리어(50)는 글라스(glass) 재질일 수 있으며, 단위 시트(20)의 상부에 라미네이팅된다. 캐리어 라미네이팅 유닛(260)과 시트 에칭 유닛(270) 사이에는 중간 이동 롤러(262)가 배치된다.
시트 에칭 유닛(270)은 도 2, 도 3 및 도 18에 도시된 바와 같이, 캐리어 라미네이팅 유닛(260)의 공정 후방에 배치되며, 단위 시트(20)의 제2 면에 대한 에칭 공정을 진행하는 역할을 한다. 롤 시트(10)의 상태에서 롤 시트 에칭 유닛(150)을 통해 1차로 에칭 공정이 진행되고 단위 시트(20)의 상태에서 시트 에칭 유닛(270)을 통해 2차로 에칭 공정이 진행됨에 따라 단위 시트(20)에 비로소 전술한 패턴홀(33, pattern hole, 도 1 참조)이 형성될 수 있다.
한편, 본 실시예에 적용되는 시트 에칭 유닛(260)은 캐리어(50)가 유입되고 배출되는 입출구에서 속도가 가속되는 속도 가변형 시트 에칭 유닛(270)이다.
이처럼 캐리어(50)가 유입되고 배출되는 입출구에서 속도가 가속되도록 할 경우, 입출구에서의 불량을 줄일 수 있다. 실제, 단위 시트(20)가 유입되고 배출되는 입출구 영역에서 불량률이 높다는 점을 고려해볼 때, 속도 가변형 시트 에칭 유닛(270)의 적용으로 불량률을 감소시킬 수 있는 이점이 있다. 이러한 속도 가변형 시트 에칭 유닛(270)은 시트형 유닛 바디부(271), 캐리어 이동모듈(272), 다수의 제2 에칭액 스프레이 모듈(273), 그리고 캐리어 가속모듈(274)을 포함한다.
시트형 유닛 바디부(271)는 속도 가변형 시트 에칭 유닛(270)의 외관을 이룬다. 시트형 유닛 바디부(271)는 캐비닛 형상을 갖는다.
캐리어 이동모듈(272)은 시트형 유닛 바디부(271) 내에 마련되며, 캐리어(50)를 이동시키는 역할을 한다. 캐리어 이동모듈(272)은 에칭액에 강한 롤러로 적용될 수 있다.
다수의 제2 에칭액 스프레이 모듈(273)은 시트형 유닛 바디부(271) 내에 마련되며, 시트형 유닛 바디부(271) 내에서 캐리어 이동모듈(272)을 통해 이동 중인 단위 시트(20)를 향해 에칭액을 스프레이 방식으로 분사하는 역할을 한다. 에칭액을 스프레이 방식으로 분사하기 때문에 에칭액 분사의 균일도를 확보할 수 있다.
캐리어 가속모듈(274)은 캐리어(50)가 유입되는 유입부(271a)와 캐리어(50)가 배출되는 배출부(271b) 중 적어도 어느 일측에 배치되고 해당 위치에서 캐리어(50)를 상대적으로 빠르게 가속시키는 역할을 한다. 본 실시예에서 캐리어 가속모듈(274)은 캐리어(50)가 유입되는 유입부(271a)와 캐리어(50)가 배출되는 배출부(271b) 모두에 적용된다. 하지만, 유입부(271a)와 배출부(271b) 중 어느 한 곳에만 캐리어 가속모듈(274)이 적용될 수도 있다. 캐리어 가속모듈(274)은 유입측 캐리어 가속모듈(275)과, 배출측 캐리어 가속모듈(276)을 포함한다.
유입측 캐리어 가속모듈(275)은 시트형 유닛 바디부(271)의 유입부(271a) 측에 마련되며, 캐리어 라미네이팅 유닛(260) 측에서 시트형 유닛 바디부(271) 내로 유입되는 캐리어(50)의 속도를 캐리어 이동모듈(272)의 속도보다 상대적으로 더 빠르게 가속시키는 역할을 한다.
그리고 배출측 캐리어 가속모듈(276)은 시트형 유닛 바디부(271)의 배출부(271b) 측에 마련되며, 에칭 공정이 완료되어 시트형 유닛 바디부(271)의 내부에서 외부로 배출되는 캐리어(50)의 속도를 캐리어 이동모듈(272)의 속도보다 상대적으로 더 빠르게 가속시키는 역할을 한다.
유입측 캐리어 가속모듈(275)과 배출측 캐리어 가속모듈(276)은 모두 롤러로 적용될 수 있다. 이러한 유입측 캐리어 가속모듈(275)과 배출측 캐리어 가속모듈(276)의 동작을 위해 위치 감지부(278)와, 컨트롤러(280)가 더 구비된다.
위치 감지부(278)는 단위 시트(20)가 라미네이팅된 캐리어(50)가 유입부(271a) 또는 배출부(271b) 측에 도달되었는지의 여부를 감지한다. 이러한 위치 감지부(278)는 예컨대 근접 센서일 수 있으며, 시트형 유닛 바디부(271)의 내외측 곳곳에 배치될 수 있다.
컨트롤러(280)는 위치 감지부(278)의 감지신호에 기초하여 캐리어 가속모듈(274)의 동작, 다시 말해 유입측 캐리어 가속모듈(275)과 배출측 캐리어 가속모듈(276)의 동작을 컨트롤한다. 즉 단위 시트(20)가 라미네이팅된 캐리어(50)가 유입부(271a) 또는 배출부(271b) 측에 도달되면 유입측 캐리어 가속모듈(275)과 배출측 캐리어 가속모듈(276)이 동작되도록 컨트롤함으로써 시트형 유닛 바디부(271) 내로 유입되는 캐리어(50)와, 시트형 유닛 바디부(271)로부터 배출되는 캐리어(50)의 속도를 상대적으로 빠르게 가속시켜 이곳에서 불량이 발생되지 않게끔 한다.
이러한 역할을 수행하는 컨트롤러(280)는 중앙처리장치(281, CPU), 메모리(282, MEMORY), 그리고 서포트 회로(283, SUPPORT CIRCUIT)를 포함할 수 있다.
중앙처리장치(281)는 본 실시예에서 위치 감지부(278)의 감지신호에 기초하여 캐리어 가속모듈(274)의 동작을 컨트롤하기 위해서 산업적으로 적용될 수 있는 다양한 컴퓨터 프로세서들 중 하나일 수 있다.
메모리(282, MEMORY)는 중앙처리장치(281)와 연결된다. 메모리(282)는 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체로서 로컬 또는 원격지에 설치될 수 있으며, 예를 들면 랜덤 액세스 메모리(RAM), ROM, 플로피 디스크, 하드 디스크 또는 임의의 디지털 저장 형태와 같이 쉽게 이용가능한 적어도 하나 이상의 메모리일 수 있다.
서포트 회로(283, SUPPORT CIRCUIT)는 중앙처리장치(281)와 결합되어 프로세서의 전형적인 동작을 지원한다. 이러한 서포트 회로(283)는 캐시, 파워 서플라이, 클록 회로, 입/출력 회로, 서브시스템 등을 포함할 수 있다.
본 실시예에서 컨트롤러(280)는 위치 감지부(278)의 감지신호에 기초하여 캐리어 가속모듈(274)의 동작을 컨트롤하는데, 이러한 일련의 컨트롤 프로세스 등은 메모리(282)에 저장될 수 있다. 전형적으로는 소프트웨어 루틴이 메모리(282)에 저장될 수 있다. 소프트웨어 루틴은 또한 다른 중앙처리장치(미도시)에 의해서 저장되거나 실행될 수 있다.
본 발명에 따른 프로세스는 소프트웨어 루틴에 의해 실행되는 것으로 설명하였지만, 본 발명의 프로세스들 중 적어도 일부는 하드웨어에 의해 수행되는 것도 가능하다. 이처럼, 본 발명의 프로세스들은 컴퓨터 시스템 상에서 수행되는 소프트웨어로 구현되거나 또는 집적 회로와 같은 하드웨어로 구현되거나 또는 소프트웨어와 하드웨어의 조합에 의해서 구현될 수 있다.
속도 가변형 시트 에칭 유닛(270)의 공정 후방에도 전술한 제1 공정 라인(a)에 마련되었던 기능성 비중수세 유닛(160)이 동일하게 적용된다. 속도 가변형 시트 에칭 유닛(270)의 공정 후방에 적용되는 기능성 비중수세 유닛(160) 역시, 속도 가변형 시트 에칭 유닛(270)의 출구에 직결되며, 세척약품이 혼합된 세척수 또는 워터(water)를 이용해서 에칭 공정이 완료된 단위 시트(20) 상에 잔존되는 에칭액 또는 이물을 제거하는 역할을 한다. 속도 가변형 시트 에칭 유닛(270)의 공정 후방에 배치되는 기능성 비중수세 유닛(160)에 대한 설명은 전술한 설명으로 대체하고 중복 설명은 피한다.
한편, 제3 공정 라인(c)에는 공정이 진행되는 방향을 따라 캐리어 반전장치(400), 에칭 방지부재 박리유닛(510), 세정유닛(520), 시트 건조 유닛(530), 시트 분리장치(600)가 배치된다. 순서대로 살펴본다.
캐리어 반전장치(400)는, 단위 시트(20)가 라미네이팅된 캐리어(50)를 180도 반전시킨다. 이러한 캐리어 반전장치(400)는, 도 20 내지 도 29에 도시된 바와 같이, 챔버유닛(Q), 캐리어 이송유닛(410), 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛(420), 플립유닛(430) 및 스토퍼유닛(470)을 포함한다.
챔버유닛(Q)의 내부에서는 단위 시트(20)가 결합된 캐리어(50)가 이송된다. 본 실시예에서 챔버유닛(Q)은 박스 형상으로 마련된다. 이러한 챔버유닛(Q)에는 내부로 캐리어(50)가 투입되는 투입구(Q1)와 내부의 캐리어(50)가 외부로 배출되는 배출구(Q2)가 마련된다.
본 실시예에서 캐리어(50)는 사각형의 플레이트 형상으로 마련된다. 이러한 캐리어(50)의 중앙영역에는 직사각형상의 관통공(51)이 마련된다.
캐리어(50)에는 에칭공정을 거쳐 단위 시트(20)가 결합된다. 본 실시예에서 단위 시트(20)는, 도 20에 자세히 도시된 바와 같이, 캐리어(50)의 하부면에 결합된다.
단위 시트(20)는 직사각형 형상으로 마련되며, 그 크기가 캐리어(50)의 관통공(51) 보다는 약간 큰 형상으로 마련된다. 이러한 단위 시트(20)는 캐리어(50)의 하부면 중앙영역에 배치된다.
한편, 캐리어 이송유닛(410)은 투입구(Q1)를 통해 투입된 캐리어(50)를 배출구(Q2)로 이송한다. 이러한 캐리어 이송유닛(410)은 챔버유닛(Q)에 지지된다.
본 실시예에서 캐리어 이송유닛(410)은, 캐리어(50)를 지지하는 이송롤러부(411)와, 이송롤러부(411)에 연결되며 이송롤러부(411)를 회전시키는 롤러 구동부(미도시)를 포함한다.
이송롤러부(411)는 캐리어(50)를 지지한다. 이러한 이송롤러부(411)는, 챔버유닛(Q)의 내부에 배치되며, 챔버유닛(Q)에 회전 가능하게 연결된다. 본 실시예에 이송롤러부(411)는 다수개로 마련되어 미리 결정된 간격에 따라 상호 이격되어 배치된다.
롤러 구동부(미도시)는 이송롤러부(411)에 연결된다. 이러한 롤러 구동부(미도시)는 이송롤러부(411)에 회전 구동력을 전달한다. 본 실시예에서 롤러 구동부(미도시)는 다수개로 마련되어 각각의 이송롤러부(411)에 독립적으로 연결되어 이송롤러부(411) 각각에 개별적으로 구동력을 전달한다.
한편 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛(420)은, 캐리어(50)의 반전과정에서 캐리어(50)와 이송롤러부(411) 사이에 간섭이 발생되는 것을 회피하기 위해 캐리어(50)를 이송롤러부(411)에서 이격되는 방향으로 이동시킨다.
본 실시예에서 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛(420)은, 챔버유닛(Q)에 지지된다. 이러한 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛(420)은 수평방향의 이동이 정지된 캐리어(50)를 챔버유닛(Q)의 내부에서 상하방향으로 업/다운(up/down) 이동시킨다.
본 실시예에서 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛(420)은, 도 25 내지 도 26에 자세히 도시된 바와 같이, 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛용 프레임부(421)와, 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛용 프레임부(421)에 연결되며 캐리어(50)를 지지하는 캐리어 지지모듈(422)과, 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛용 프레임부(421)에 연결되며 캐리어 지지모듈(422)을 업/다운(up/down) 이동시키는 캐리어 업/다운(up/down) 이동모듈(425)을 포함한다.
캐리어 지지모듈(422)은 캐리어(50)를 지지한다. 이러한 캐리어 지지모듈(422)은, 캐리어(50)의 하측벽에 접촉되는 캐리어 지지용 패드부(423)와, 캐리어 지지용 패드부(423)가 결합되는 캐리어 지지용 몸체부(424)를 포함한다.
본 실시예에서 캐리어 지지용 패드부(423)는 다수개로 마련된다. 이러한 다수개의 캐리어 지지용 패드부(423)는 캐리어(50)의 하부면 가장자리 영역에 접촉된다. 상술한 바와 같이 단위 시트(20)는 캐리어(50)의 하부면 중앙영역에 배치되므로, 캐리어 지지용 패드부(423)는 단위 시트(20)에 비접촉된다.
캐리어 지지용 몸체부(424)는 캐리어 지지용 패드부(423)가 결합된다. 이러한 캐리어 지지용 몸체부(424)는 캐리어 업/다운(up/down) 이동모듈(425)에 연결된다.
캐리어 업/다운(up/down) 이동모듈(425)은 캐리어 지지모듈(422)을 업/다운(up/down) 이동시킨다. 이러한 캐리어 업/다운(up/down) 이동모듈(425)은, 캐리어 지지모듈(422)에 연결되며 캐리어 지지모듈(422)의 이동을 안내하는 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛용 가이드부(426)와, 캐리어 지지모듈(422)에 연결되며 캐리어 지지모듈(422)을 이동시키는 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛용 구동부(427)를 포함한다.
캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛용 가이드부(426)는 캐리어 지지모듈(422)에 연결된다. 이러한 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛용 가이드부(426)는 캐리어 지지모듈(422)의 이동을 안내한다.
본 실시예에서 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛용 가이드부(426)는 캐리어 지지용 몸체부(424)에 연결된다. 이러한 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛용 가이드부(426)는, 캐리어 지지용 몸체부(424)가 결합된 가이드 블록(426a)과, 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛용 프레임부(421)에 마련되며 가이드 블록(426a)이 상하방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 연결되는 가이드레일(426b)을 포함한다.
캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛용 구동부(427)는 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛용 프레임부(421)에 연결된다. 이러한 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛용 구동부(427)는 캐리어 지지모듈(422)을 이동시킨다.
이러한 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛용 구동부(427)는, 캐리어 지지용 몸체부(424)에 결합되는 업/다운(up/down)용 이동블록(427a)과, 업/다운(up/down)용 이동블록(427a)에 마련되는 업/다운(up/down)용 이동너트(미도시)와, 업/다운(up/down)용 이동너트(미도시)에 치합되는 업/다운(up/down)용 볼스크류(427b)와, 업/다운(up/down)용 볼스크류(427b)를 회전시키는 업/다운(up/down)용 구동모터(427c)를 포함한다.
업/다운(up/down)용 구동모터(427c)의 회전력이 업/다운(up/down)용 볼스크류(427b)를 회전시킴으로써, 업/다운(up/down)용 볼스크류(427b)에 치합된 업/다운(up/down)용 이동너트(미도시)를 상하방향으로 이동되고, 그에 따라 캐리어 지지모듈(422)이 상하방향으로 이동된다.
한편, 플립유닛(430)은, 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛(420)에 의해 상승된 캐리어(50)를 파지한 후 챔버유닛(Q)의 내부에서 캐리어(50)를 회전시킨다. 이러한 플립유닛(430)은 챔버유닛(Q)에 지지된다.
본 실시예에서 플립유닛(430)은, 도 20에 자세히 도시된 바와 같이, 한 쌍으로 마련되어 서로 마주보는 방향으로 배치된다. 이러한 플립유닛(430)은, 캐리어(50)를 클램핑하는 클램핑모듈(440)과, 클램핑모듈(440)에 연결되며 클램핑모듈(440)을 캐리어(50)에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 이동시키는 클램핑모듈용 이동모듈(450)과, 클램핑모듈(440)에 연결되며 클램핑모듈(440)에 클램핑된 캐리어(50)를 회전시키는 클램핑모듈용 회전모듈(460)을 포함한다.
클램핑모듈(440)은 캐리어(50)를 클램핑한다. 이러한 클램핑모듈(440)은, 캐리어(50)의 가장자리 영역의 적어도 일부분이 삽입되는 삽입슬롯(441a)이 마련되며 캐리어(50)를 클램핑하는 클램핑부(441)와, 클램핑부(441)가 착탈 가능하게 결합되며 클램핑부(441)를 지지하는 클램핑부용 지지부(442)와, 클램핑부용 지지부(442)에 결합되는 회전 중심축(443)과, 회전 중심축(443)이 회전 가능하게 결합되며 회전 중심축(443)을 지지하는 회전 중심축용 지지부(444)를 포함한다.
클램핑부(441)는 캐리어(50)의 가장자리 영역의 적어도 일부분이 삽입되는 삽입슬롯(441a)이 마련되어 캐리어(50)를 클램핑한다. 본 실시예에서 클램핑부(441)는 한 쌍으로 마련되어 상호 이격되어 배치된다. 이러한 클램핑부(441)에는 캐리어(50)의 모서리 영역이 삽입된다.
클램핑부(441)에는, 도 22에 자세히 도시된 바와 같이, 삽입슬롯(441a)을 형성하며 캐리어(50)의 측벽면에 연결되는 내측벽면(441b)이 마련됨으로서, 캐리어(50)의 회전과정에서 캐리어(50)가 클램핑부(441)에서 이탈되는 것이 방지된다.
클램핑부용 지지부(442)에는 클램핑부(441)가 착탈 가능하게 결합된다. 이러한 클램핑부용 지지부(442)는 클램핑부(441)를 지지한다.
회전 중심축(443)은 클램핑부용 지지부(442)에 결합된다. 본 실시예에서 회전 중심축(443)은 클램핑부용 지지부(442)의 일측 벽면에서 돌출되어 마련된다.
회전 중심축용 지지부(444)는, 도 21 내지 도 24에 자세히 도시된 바와 같이, 클램핑부용 지지부(442)에 이격되어 배치된다. 이러한 회전 중심축용 지지부(444)에는 회전 중심축(443)이 회전 가능하게 결합된다.
클램핑모듈용 이동모듈(450)은 클램핑모듈(440)에 연결된다. 이러한 클램핑모듈용 이동모듈(450)은 클램핑모듈(440)에 클램핑된 캐리어(50)를 회전시킨다. 본 실시예에서 클램핑모듈용 이동모듈(450)은 회전 중심축용 지지부(444)에 지지되고 회전 중심축(443)에 연결되어 클램핑부(441)를 회전시킨다.
이러한 클램핑모듈용 이동모듈(450)은, 회전 중심축(443)에 연결되며, 회전 중심축(443)을 회전시키는 회전용 구동모터(461)를 포함한다. 이러한 회전용 구동모터(461)의 회전력이 회전 중심축(443)을 회전시키고, 그에 따라 회전 중심축(443)에 연결된 클램핑부용 지지부(442)와 클램핑부(441)가 회전된다.
클램핑모듈용 이동모듈(450)은 클램핑모듈(440)에 연결된다. 이러한 클램핑모듈용 이동모듈(450)은 클램핑모듈(440)을 캐리어(50)에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 이동시킨다.
본 실시예에서 클램핑모듈용 이동모듈(450)은, 도 21 내지 도 24에 자세히 도시된 바와 같이, 클램핑모듈(440)에 연결되며 캐리어(50)에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 이동되는 클램핑모듈용 이동부(451)와, 클램핑모듈용 이동부(451)에 연결되며 클램핑모듈용 이동부(451)의 이동을 안내하는 클램핑모듈용 가이드부(452)와, 클램핑모듈용 이동부(451)에 연결되며 클램핑모듈용 이동부(451)를 이동시키는 클램핑모듈용 이동 구동부(453)를 포함한다.
클램핑모듈용 이동부(451)는, 클램핑모듈(440)에 연결되며, 캐리어(50)에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 이동된다. 이러한 클램핑모듈용 이동부(451)의 이동에 의해 클램핑모듈(440)이 캐리어(50)에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 이동된다.
본 실시예에서 클램핑모듈용 이동부(451)는, 도 21 내지 도 24에 자세히 도시된 바와 같이, 일단부가 회전 중심축용 지지부(444)에 결합되고 타단부가 자유단부를 형성하는 이동 샤프트(451a)를 포함한다.
클램핑모듈용 가이드부(452)는 클램핑모듈용 이동부(451)에 연결된다. 이러한 클램핑모듈용 가이드부(452)는 이동 샤프트(451a)의 이동을 안내한다. 본 실시예에서 클램핑모듈용 가이드부(452)는, 도 21 내지 도 24에 자세히 도시된 바와 같이, 이동 샤프트(451a)가 슬라이딩 이동가능하게 연결되는 가이드 부쉬(452a)를 포함한다.
이러한 가이드 부쉬(452a)에는 이동 샤프트(451a)가 관통하는 가이드홀(미도시)이 마련된다. 가이드홀의 내주면에 이동 샤프트(451a)의 외주면이 슬라이딩 이동가능하게 연결됨으로써, 가이드 부쉬(452a)가 이동 샤프트(451a)의 이동을 가이드한다.
클램핑모듈용 이동 구동부(453)는 클램핑모듈용 이동부(451)에 연결되어 클램핑모듈용 이동부(451)를 이동시킨다. 본 실시예에서 클램핑모듈용 이동 구동부(453)는, 클램핑모듈용 이동부(451)에 결합되는 클램핑용 이동블록(455)과, 클램핑용 이동블록(455)에 마련되는 클램핑용 이동너트(미도시)와, 클램핑용 이동너트(미도시)에 치합되는 클램핑용 볼스크류(457)와, 클램핑용 볼스크류(457)를 회전시키는 클램핑용 구동모터(458)를 포함한다.
클램핑용 구동모터(458)의 회전력이 클램핑용 볼스크류(457)를 회전시킴으로써, 클램핑용 볼스크류(457)에 치합된 클램핑용 이동너트(미도시)가 캐리어(50)에 접근 및 이격되는 방향으로 이동되고, 그에 따라 클램핑용 이동블록(455)이 캐리어(50)에 접근 및 이격되는 방향으로 이동된다.
한편, 스토퍼유닛(470)은 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛(420)에 의한 캐리어(50)의 상하방향의 이동을 위해 캐리어(50)의 수평방향의 이동을 제한한다. 이러한 스토퍼유닛(470)은 챔버유닛(Q)에 지지된다.
본 실시예에서 스토퍼유닛(470)은 캐리어 이송유닛(410)에 의해 이송되는 캐리어(50)의 전방 측벽에 접촉되어 캐리어(50)의 이동을 정지시킨다.
이러한 스토퍼유닛(470)은, 도 27 내지 도 28에 자세히 도시된 바와 같이, 캐리어(50)의 이동을 제한하는 스토퍼 본체모듈(471)과, 스토퍼 본체모듈(471)에 연결되며 스토퍼 본체모듈(471)을 업/다운(up/down) 이동시키는 스토퍼 업/다운(up/down) 이동모듈(475)을 포함한다.
스토퍼 본체모듈(471)은 캐리어(50)에 접촉되어 캐리어(50)의 이동을 제한한다. 이러한 스토퍼 본체모듈(471)은, 캐리어(50)의 전방 측벽에 접촉되는 접촉부(472)와, 접촉부(472)가 결합되며 스토퍼 업/다운(up/down) 이동모듈(475)에 연결되는 스토퍼 몸체부(473)를 포함한다.
접촉부(472)는 캐리어(50)의 전방 측벽에 접촉된다. 본 실예에 접촉부(472)는 한 쌍으로 마련되어 상호 이격되어 배치된다. 이러한 접촉부(472)에는 캐리어(50)와의 접촉 시 충격을 흡수될 수 있도록 탄성력을 갖는 완충부재(472a)가 마련된다.
스토퍼 몸체부(473)에는 접촉부(472)가 착탈 가능하게 결합된다. 이러한 스토퍼 몸체부(473)는 스토퍼 업/다운(up/down) 이동모듈(475)에 연결된다. 스토퍼 몸체부(473)에는 접촉부(472)가 착탈 가능하게 결합됨으로써, 접촉부(472)의 유지보수 및 교환이 용이하다.
스토퍼 업/다운(up/down) 이동모듈(475)은 스토퍼 몸체부(473)에 연결되어 스토퍼 본체모듈(471)을 업/다운(up/down) 이동시킨다.
본 실시예에서 스토퍼 업/다운(up/down) 이동모듈(475)은, 스토퍼 몸체부(473)에 결합되는 실린더 로드(475a)와, 실린더 로드(475a)가 상대이동 가능하게 연결되는 실린더 본체(475b)를 포함한다.
이러한 스토퍼 업/다운(up/down) 이동모듈(475)은, 스토퍼 본체모듈(471)을 상하방향으로 이동시킴으로써, 캐리어(50)의 이송을 선택적으로 제한 및 제한 해제할 수 있다.
즉, 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛(420)으로 캐리어(50)를 플립유닛(430)쪽으로 상승시키기 위해 먼저 스토퍼 업/다운(up/down) 이동모듈(475)이 스토퍼 본체모듈(471)을 상승시켜 캐리어 이송유닛(410)에 의해 이송되던 캐리어(50)의 수평방향 이동을 제한한다.
또한, 플립유닛(430)에 의해 반전된 캐리어(50)가 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛(420)에 의해 하강된 때에는, 스토퍼 업/다운(up/down) 이동모듈(475)이 스토퍼 본체모듈(471)을 하강시켜 캐리어 이송유닛(410)에 의한 캐리어(50)의 수평방향 이동과정에서 접촉부(472)가 캐리어(50)에 간섭되지 않도록 한다.
한편, 에칭 방지부재 박리유닛(510)은 캐리어 반전장치(400)의 공정 후방에 배치되어 캐리어 반전장치(400)에서 180도 반전된 캐리어(50)를 전달받는다.
이러한 에칭 방지부재 박리유닛(510)는 단위 시트(20)에 부착된 에칭 방지부재(14, PR)를 박리한다. 여기서, 에칭 방지부재(14, PR)는 에칭 저항제(14) 및 포토 레지스트(PR)를 말한다. 본 실시예에서 에칭 방지부재 박리유닛(510)은, 에칭 저항제(14) 및 포토 레지스트(PR)를 박리하는 박리액(511)이 수용되며 단위 시트(20)가 침지되는 박리액 수용탱크(512)와, 캐리어(50)를 파지하여 단위 시트(20)를 박리액(511)에 침지시키는 파지기구(미도시)를 포함한다.
한편 세정유닛(520)은, 에칭 방지부재 박리유닛(510)의 공정 후방에 배치되며, 박리공정이 완료된 단위 시트(20) 상에 잔존하는 박리액(511) 또는 이물을 세정한다. 여기서, 이물은 박리액(511)에 의해 단위 시트(20) 상에서 박리되어 박리액(511)에 섞인 에칭 저항제(14) 및 포토 레지스트(PR) 등을 말한다.
본 실시예에서 세정유닛(520), 워터(water)를 이용해서 단위 시트(20) 상에 잔존되는 박리액(511), 에칭 저항제(14) 및 포토 레지스트(PR) 등을 제거하는 제4 수세 모듈(521)과, 산성용액을 이용하여 단위 시트(20) 상에 잔존되는 박리액(511), 에칭 저항제(14) 및 포토 레지스트(PR) 등을 제거하는 산수세 모듈(522)과, 수세모듈(521)을 지난 단위 시트(20)에 대하여 단위 시트(20) 상에 잔존하는 물기를 바람으로 제거하는 물기 제거 모듈(523)을 포함한다.
제4 수세 모듈(521)은, 수세 모듈 하우징(521a)과, 수세 모듈 하우징(521a) 내에서 이송 중인 캐리어(50)의 상부 및 하부에 배치되며, 해당 위치에서 캐리어(50)를 향해 워터를 분사하는 다수의 워터 분사기(521b)를 포함한다.
또한, 산수세 모듈(522)은, 산수세 모듈 하우징(521a)과, 산수세 모듈 하우징(521a) 내에서 이송 중인 캐리어(50)의 상부 및 하부에 배치되며, 해당 위치에서 캐리어(50)를 향해 산성용액을 분사하는 다수의 산성용액 분사기(522b)를 포함한다.
본 실시예에서는 도 3에 도시된 바와 같이, 제4 수세 모듈(521)이 2개 마련되고 산수세 모듈(522)이 1개 마련되며, 산수세 모듈(522)이 제4 수세 모듈(521) 사이에 배치되는데, 이러한 제4 수세 모듈(521)과 산수세 모듈(522)의 개수 및 배치에 본 발명의 권리범위가 한정되지 않으며 제4 수세 모듈(521)과 산수세 모듈(522)은 다양한 개수와 배치를 가질 수 있다.
세정유닛(520)에 마련된 물기 제거 모듈(523)은, 제4 수세 모듈(521)과 산수세 모듈(522)을 거친 단위 시트(20)과 캐리어(50)에 묻은 물기를 제거한다. 이러한 물기 제거 모듈(523)은 상술한 기능성 비중수세 유닛(160)의 물기 제거 모듈(178)과 거의 동일한 구조를 가지므로 구조에 대한 자세한 설명은 생략한다.
한편, 시트 건조 유닛(530)은, 도 3에 도시된 바와 같이, 세정유닛(520)의 공정 후방에 배치되며, 세정유닛(520)을 거쳐 세척이 완료된 단위 시트(20) 및 캐리어(50)를 건조하는 역할을 한다. 이러한 시트 건조 유닛(530)은 제1 롤 시트 건조 유닛(105)은 열풍 건조일 수 있으며, 제1 롤 시트 건조 유닛(105)과 거의 동일한 구조를 가지므로 구조에 대한 자세한 설명은 생략한다.
한편, 시트 분리장치(600)는 시트 건조 유닛(530)을 통과한 캐리어(50)를 전달받아 단위 시트(20)와 캐리어(50)를 분리한다.
이하에서 본 실시예에 따른 마스크 제조 시스템의 작용을 도 1 내지 도 29를 참고하여 설명한다.
우선, 제1 공정 라인(a) 상에서의 작용이다. 롤 시트 공급 유닛(110)에서 롤 시트(10)가 풀려 후 공정으로 공급된다. 이어 에칭 저항용 테이프 라미네이팅 유닛(120)에서 도 2의 (b)처럼 롤 시트(10)의 한쪽 면인 제2 면에 에칭 저항용 테이프(13)가 라미네이팅된다.
다음, 에칭 저항용 테이프(13)가 라미네이팅된 롤 시트(10)는 프리 에칭 유닛(140)을 경유해서 프리 에칭된 후, 프리 세척 및 물기 제거기(145)를 통해 세척 및 건조된다. 그리고는 롤 시트 에칭 유닛(150)을 통해 롤 시트(10)의 한쪽 면인 제1 면이 에칭, 즉 1차 에칭된다. 다시 말해, 롤 시트(10)의 대략 1/2 단면이 에칭되어 홈 형태로 깎인다.
1차 에칭된 롤 시트(10)는 롤 시트 에칭 유닛(150)에서 나와 기능성 비중수세 유닛(160)을 통해 세척 및 건조된 다음, 에칭 저항용 테이프 박리 유닛(180)을 통해 라미네이팅되었던 에칭 저항용 테이프(13)가 박리된 후, 롤 시트 회수 유닛(112)에 회수된다.
다음, 제2 공정 라인(b) 상에서의 작용이다. 에칭 후 롤 시트 공급 유닛(210)이 1차 에칭된 롤 시트(10)를 후 공정으로 공급한다. 이때는 에칭된 면이 상부를 향하도록 한다.
에칭 후 롤 시트 공급 유닛(210)을 통해 공급되는 롤 시트(10)는 에칭 저항제 도포 유닛(220)을 통해 에칭된 면, 즉 제1 면에 에칭 저항제(14)가 도포된다. 그리고는 제2 롤 시트 건조 유닛(231) 및 에칭 저항제 경화 유닛(235)을 거치면서 도포된 에칭 저항제(14)가 경화된다.
그런 다음, 롤 시트(10)는 롤 시트 절단 유닛(250)을 통해 단위 사이즈의 단위 시트(20)로 가공되며, 이어 캐리어 라미네이팅 유닛(260)에서 일측에 캐리어(50)가 라미네이팅된다.
캐리어(50)가 라미네이팅된 단위 시트(20)는 캐리어(50)의 작용으로 속도 가변형 시트 에칭 유닛(270)로 인입된다. 그리고는 속도 가변형 시트 에칭 유닛(270)을 통해 단위 시트(20)의 나머지 면인 제2 면이 에칭된다. 다시 말해, 단위 시트(20)의 남은 1/2 단면이 에칭됨으로써 패턴홀(33, 도 1 참조)이 형성되도록 한다.
다음, 제3 공정 라인(c) 상에서의 작용이다. 제3 공정 라인(c)에서는 캐리어 반전장치(400)에 의해 캐리어(50)가 180도 반전된다. 캐리어(50)를 180도 반전시키는 반전 캐리어 반전장치(400)의 동작을 도 29를 참조하여 살펴보면 아래와 같다.
챔버유닛(Q)의 내부에서 캐리어(50)은 캐리어 이송유닛(410)에 의해 도 29(a)에 도시된 바와 같이 이동된다.
챔버유닛(Q)의 내부에서 이동되던 캐리어(50)은, 도 29(b)에 도시된 바와 같이, 스토퍼유닛(470)의 완충부재(472a)에 접촉되어 정지한다.
이후, 도 29(c)에 도시된 바와 같이, 캐리어(50)는 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛(420)의 캐리어 지지용 패드부(423)에 지지되어 상승한다.
캐리어(50)가 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛(420)에 의해 플립유닛(430)의 위치로 상승되면, 도 29(d)에 도시된 바와 같이, 클램핑부(441)가 캐리어(50)를 향하여 이동되어 캐리어(50)를 클램핑한다. 클램핑부(441)가 캐리어(50)를 클램핑한 후 캐리어 지지용 패드부(423)는 하강한다.
다음, 도 29(e)에 도시된 바와 같이, 클램핑부(441)가 회전되어 캐리어(50)가 180도 반전된다. 이러한 반전에 의해 도 29(a)와 달리 단위 시트(20)가 캐리어(50)의 상부에 배치된다.
이후, 캐리어 지지용 패드부(423)가 상승하여 캐리어(50)를 지지한 후, 클램핑부(441)가 캐리어(50)에서 이격되며 캐리어(50)를 언클램핑한다.
다음, 도 29(f)에 도시된 바와 같이, 캐리어 지지용 패드부(423)가 하강한다. 캐리어 지지용 패드부(423)의 하강에 의해 캐리어(50)가 캐리어 이송유닛(410)에 적재되어 캐리어 이송유닛(410)에 의해 배출구(Q2)로 이동된다.
다음, 에칭 방지부재 박리유닛(510)가 캐리어 반전장치(400)에 의해 180도 반전된 캐리어(50)를 전달받아 단위 시트(20)에 부착된 에칭 저항제(14) 및 포토 레지스트(PR)를 박리한다.
세정유닛(520)은 에칭 방지부재 박리유닛(510)에서 박리공정이 진행된 캐리어(50)를 전달받아 캐리어(50) 및 단위 시트(20)에 묻은 박리액(511) 및 이물을 제거한다.
시트 건조 유닛(530)은 세정유닛(520)을 통과한 캐리어(50) 및 단위 시트(20)를 건조시킨다.
다음, 시트 분리장치(600)에 의해 단위 시트(20)가 일정 부분 절단되면서 캐리어(50)와 분리됨으로써 최종적으로 마스크(30)로 제조될 수 있다.
이와 같이 본 실시예에 따른 캐리어 반전장치(400)는, 단위 시트(20)가 부착된 캐리어(50)를 클램핑하는 클램핑모듈(440)을 캐리어(50)에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 이동시키는 클램핑모듈용 이동모듈(450)과, 클램핑모듈(440)을 회전시키는 클램핑모듈용 회전모듈(460)을 구비함으로써, 단위 시트(20)에서 박리된 포토 레지스터(PR) 등을 제거하는 세정공정 전에 캐리어(50)를 반전시킬 수 있고, 그에 따라 세정공정에서 단위 시트(20)를 캐리어(50)의 상측에 배치시킬 수 있어 캐리어(50)에 묻은 세정액이 하중에 의해 단위 시트(20)로 흐르는 것을 방지할 수 있다.
이상 도면을 참조하여 본 실시예에 대해 상세히 설명하였지만 본 실시예의 권리범위가 전술한 도면 및 설명에 국한되지는 않는다.
즉, 본 실시예에서 캐리어 반전장치(400)가 마스크 제조 시스템에 사용되는 경우를 설명하였는데, 이에 본 발명의 권리범위가 국한되지 않으며 본 발명의 캐리어 반전장치(400)는 다른 제조 시스템에도 사용될 수 있다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
10 : 롤 시트 14 : 에칭 저항제
20 : 단위 시트 30 : 마스크
31 : 마스크 시트 50 : 캐리어
400: 캐리어 반전장치 410: 캐리어 이송유닛
411: 이송롤러부
420: 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛
421: 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛용 프레임부
422: 캐리어 지지모듈 423: 캐리어 지지용 패드부
424: 캐리어 지지용 몸체부
425: 캐리어 업/다운(up/down) 이동모듈
426: 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛용 가이드부
426a: 가이드 블록 426b: 가이드레일
427: 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛용 구동부
430: 플립유닛 440: 클램핑모듈
441: 클램핑부 441a: 삽입슬롯
442: 클램핑부용 지지부 443: 회전 중심축
444: 회전 중심축용 지지부 450: 클램핑모듈용 이동모듈
451: 클램핑모듈용 이동부 451a: 이동 샤프트
452: 클램핑모듈용 가이드부 452a: 가이드 부쉬
453: 클램핑모듈용 이동 구동부 460: 클램핑모듈용 회전모듈
461: 회전용 구동모터 470: 스토퍼유닛
471: 스토퍼 본체모듈 472: 접촉부
472a: 완충부재 473: 스토퍼 몸체부
475: 스토퍼 업/다운(up/down) 이동모듈
475a: 실린더 로드 475b: 실린더 본체
510: 에칭 방지부재 박리유닛 520: 세정유닛
530: 시트 건조 유닛

Claims (19)

  1. 마스크 제조를 위한 시트가 라미네이팅(laminating)된 캐리어를 이송하는 캐리어 이송유닛;
    상기 캐리어 이송유닛에 인접하게 배치되며, 상기 캐리어를 업/다운(up/down) 이동시키는 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛; 및
    상기 캐리어 이송유닛의 상부 영역에 배치되며, 상기 캐리어를 회전시키는 플립유닛을 포함하며,
    상기 플립유닛은,
    상기 캐리어를 클램핑하는 클램핑모듈;
    상기 클램핑모듈에 연결되며, 상기 클램핑모듈을 상기 캐리어에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 이동시키는 클램핑모듈용 이동모듈; 및
    상기 클램핑모듈에 연결되며, 상기 클램핑모듈에 클램핑된 상기 캐리어를 회전시키기 위해 상기 클램핑모듈을 회전시키는 클램핑모듈용 회전모듈을 포함하는 캐리어 반전장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 클램핑모듈은,
    상기 캐리어의 가장자리 영역의 적어도 일부분이 삽입되는 삽입슬롯이 마련되며, 상기 캐리어를 클램핑하는 클램핑부;
    상기 클램핑부가 착탈 가능하게 결합되며, 상기 클램핑부를 지지하는 클램핑부용 지지부;
    상기 클램핑부용 지지부에 결합되는 회전 중심축; 및
    상기 회전 중심축이 회전 가능하게 결합되며, 상기 회전 중심축을 지지하는 회전 중심축용 지지부를 포함하는 캐리어 반전장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 클램핑모듈용 이동모듈은,
    상기 클램핑모듈에 연결되며, 상기 캐리어에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 이동되는 클램핑모듈용 이동부;
    상기 클램핑모듈용 이동부에 연결되며, 상기 클램핑모듈용 이동부의 이동을 안내하는 클램핑모듈용 가이드부; 및
    상기 클램핑모듈용 이동부에 연결되며, 상기 클램핑모듈용 이동부를 이동시키는 클램핑모듈용 이동 구동부를 포함하는 캐리어 반전장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 클램핑모듈용 이동부는, 일단부가 상기 클램핑모듈에 결합되는 이동 샤프트를 포함하며,
    상기 클램핑모듈용 가이드부는, 상기 이동 샤프트가 슬라이딩 이동가능하게 연결되는 가이드 부쉬를 포함하는 캐리어 반전장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 클램핑모듈용 회전모듈은,
    상기 회전 중심축에 연결되며, 상기 회전 중심축을 회전시키는 회전용 구동모터를 포함하는 캐리어 반전장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛은,
    상기 캐리어를 지지하는 캐리어 지지모듈; 및
    상기 캐리어 지지모듈을 업/다운(up/down) 이동시키는 캐리어 업/다운(up/down) 이동모듈을 포함하는 캐리어 반전장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 캐리어 지지모듈은,
    상기 캐리어의 하측벽에 접촉되는 캐리어 지지용 패드부; 및
    상기 캐리어 지지용 패드부가 결합되는 캐리어 지지용 몸체부를 포함하는 캐리어 반전장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 캐리어 업/다운(up/down) 이동모듈은,
    상기 캐리어 지지모듈에 연결되며, 상기 캐리어 지지모듈의 이동을 안내하는 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛용 가이드부; 및
    상기 캐리어 지지모듈에 연결되며, 상기 캐리어 지지모듈을 이동시키는 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛용 구동부를 포함하는 캐리어 반전장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 캐리어 이송유닛은,
    상기 캐리어를 지지하는 이송롤러부; 및
    상기 이송롤러부에 연결되며, 상기 이송롤러부를 회전시키는 롤러 구동부를 포함하는 캐리어 반전장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 캐리어 이송유닛에 인접하게 배치되며, 상기 캐리어의 이동을 선택적으로 제한 및 제한 해제하는 스토퍼유닛을 더 포함하는 캐리어 반전장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 스토퍼유닛은,
    상기 캐리어의 이동을 제한하는 스토퍼 본체모듈; 및
    상기 스토퍼 본체모듈에 연결되며, 상기 스토퍼 본체모듈를 업/다운(up/down) 이동시키는 스토퍼 업/다운(up/down) 이동모듈을 포함하는 캐리어 반전장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 스토퍼 본체모듈은,
    상기 캐리어의 전방 측벽에 접촉되는 접촉부; 및
    상기 접촉부가 결합되며, 상기 스토퍼 업/다운(up/down) 이동모듈에 연결되는 스토퍼 몸체부를 포함하는 캐리어 반전장치.
  13. 마스크 제조를 위한 시트의 에칭공정을 위하여 상기 시트에 캐리어를 라미네이팅(laminating)하는 캐리어 라미네이팅 유닛;
    상기 에칭공정의 수행 후 상기 캐리어를 반전시키는 캐리어 반전장치;
    상기 캐리어 반전 후 상기 시트에 부착된 에칭 방지부재를 박리액으로 박리하는 박리공정을 진행하는 에칭 방지부재 박리유닛; 및
    상기 에칭 방지부재 박리유닛의 공정 후방에 배치되며, 상기 박리공정이 완료된 시트 상에 잔존하는 상기 박리액 또는 이물을 세정하는 세정유닛을 포함하는 마스크 제조 시스템.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 캐리어 반전장치는,
    상기 시트가 부착된 캐리어를 이송하는 캐리어 이송유닛;
    상기 캐리어 이송유닛에 인접하게 배치되며, 상기 캐리어를 업/다운(up/down) 이동시키는 캐리어 업/다운(up/down) 이동유닛; 및
    상기 캐리어 이송유닛의 상부 영역에 배치되며, 상기 캐리어를 회전시키는 플립유닛을 포함하며,
    상기 플립유닛은,
    상기 캐리어를 클램핑하는 클램핑모듈;
    상기 클램핑모듈에 연결되며, 상기 클램핑모듈을 상기 캐리어에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 이동시키는 클램핑모듈용 이동모듈; 및
    상기 클램핑모듈에 연결되며, 상기 클램핑모듈에 클램핑된 상기 캐리어를 회전시키기 위해 상기 클램핑모듈을 회전시키는 클램핑모듈용 회전모듈을 포함하는 마스크 제조 시스템.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 클램핑모듈은,
    상기 캐리어의 가장자리 영역의 적어도 일부분이 삽입되는 삽입슬롯이 마련되며, 상기 캐리어를 클램핑하는 클램핑부;
    상기 클램핑부가 착탈 가능하게 결합되며, 상기 클램핑부를 지지하는 클램핑부용 지지부;
    상기 클램핑부용 지지부에 결합되는 회전 중심축; 및
    상기 회전 중심축이 회전 가능하게 결합되며, 상기 회전 중심축을 지지하는 회전 중심축용 지지부를 포함하는 마스크 제조 시스템.
  16. 제14항에 있어서,
    상기 클램핑모듈용 이동모듈은,
    상기 클램핑모듈에 연결되며, 상기 캐리어에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 이동되는 클램핑모듈용 이동부;
    상기 클램핑모듈용 이동부에 연결되며, 상기 클램핑모듈용 이동부의 이동을 안내하는 클램핑모듈용 가이드부; 및
    상기 클램핑모듈용 이동부에 연결되며, 상기 클램핑모듈용 이동부를 이동시키는 클램핑모듈용 이동 구동부를 포함하는 마스크 제조 시스템.
  17. 제15항에 있어서,
    상기 클램핑모듈용 회전모듈은,
    상기 회전 중심축에 연결되며, 상기 회전 중심축을 회전시키는 회전용 구동모터를 포함하는 마스크 제조 시스템.
  18. 제13항에 있어서,
    상기 에칭 방지부재 박리유닛은,
    상기 에칭 방지부재를 박리하는 박리액이 수용되며, 상기 시트가 침지되는 박리액 수용탱크를 포함하는 마스크 제조 시스템.
  19. 제13항에 있어서,
    상기 세정유닛은,
    워터(water)를 이용해서 상기 시트 상에 잔존되는 상기 박리액 또는 이물을 제거하는 수세 모듈과, 산성용액을 이용하여 상기 시트 상에 잔존되는 상기 박리액 또는 이물을 제거하는 산수세 모듈 중 적어도 어느 하나를 구비하는 것을 특징으로 하는 마스크 제조 시스템.
KR1020180043377A 2018-04-13 2018-04-13 캐리어 반전장치 및 이를 구비하는 마스크 제조 시스템 KR101889967B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180043377A KR101889967B1 (ko) 2018-04-13 2018-04-13 캐리어 반전장치 및 이를 구비하는 마스크 제조 시스템

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180043377A KR101889967B1 (ko) 2018-04-13 2018-04-13 캐리어 반전장치 및 이를 구비하는 마스크 제조 시스템

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101889967B1 true KR101889967B1 (ko) 2018-08-20

Family

ID=63442839

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180043377A KR101889967B1 (ko) 2018-04-13 2018-04-13 캐리어 반전장치 및 이를 구비하는 마스크 제조 시스템

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101889967B1 (ko)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08298069A (ja) * 1995-04-27 1996-11-12 Toppan Printing Co Ltd シャドウマスクの製造方法
KR20040084314A (ko) 2003-03-27 2004-10-06 삼성에스디아이 주식회사 표시장치용 증착 마스크 및 그의 제조방법
JP2005203452A (ja) * 2004-01-13 2005-07-28 Serubakku:Kk 基板保持反転装置
KR101521501B1 (ko) * 2013-12-27 2015-05-19 주식회사 에스에프에이 기판 이송장치
JP2016207882A (ja) * 2015-04-24 2016-12-08 三菱電機株式会社 ウエットエッチング装置、ウエットエッチング方法、およびこれらを用いた半導体装置の製造方法
JP2017175086A (ja) * 2016-03-25 2017-09-28 トヨタ自動車株式会社 ウエハ反転装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08298069A (ja) * 1995-04-27 1996-11-12 Toppan Printing Co Ltd シャドウマスクの製造方法
KR20040084314A (ko) 2003-03-27 2004-10-06 삼성에스디아이 주식회사 표시장치용 증착 마스크 및 그의 제조방법
JP2005203452A (ja) * 2004-01-13 2005-07-28 Serubakku:Kk 基板保持反転装置
KR101521501B1 (ko) * 2013-12-27 2015-05-19 주식회사 에스에프에이 기판 이송장치
JP2016207882A (ja) * 2015-04-24 2016-12-08 三菱電機株式会社 ウエットエッチング装置、ウエットエッチング方法、およびこれらを用いた半導体装置の製造方法
JP2017175086A (ja) * 2016-03-25 2017-09-28 トヨタ自動車株式会社 ウエハ反転装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5258812B2 (ja) スリットノズル清掃装置および塗布装置
US10754251B2 (en) Development unit, substrate processing apparatus, development method and substrate processing method
JP2006187763A (ja) スリットコーター及びこれを利用した液晶表示装置の製造方法
JP3377161B2 (ja) ウエハの処理システム
CN108352313B (zh) 膜处理单元、基板处理装置和基板处理方法
JP5226046B2 (ja) 塗布装置及びノズルのメンテナンス方法
KR102193044B1 (ko) 금속 마스크 제조 시스템 및 방법
CN101228623A (zh) 基板处理单元、基板传送方法、基板洗净处理单元以及基板电镀设备
US20210233784A1 (en) Film processing method
KR101342616B1 (ko) 수직형 기판 박리 시스템
KR101889967B1 (ko) 캐리어 반전장치 및 이를 구비하는 마스크 제조 시스템
KR101882915B1 (ko) 마스크 제조 시스템
KR101891206B1 (ko) 마스크 제조용 롤 시트 가공장치 및 그를 구비하는 마스크 제조 시스템
KR101891570B1 (ko) 마스크 제조용 롤 시트 가공장치 및 그를 구비하는 마스크 제조 시스템
KR101860413B1 (ko) 마스크 제조 시스템
KR101882916B1 (ko) 마스크 제조 시스템
JP4095478B2 (ja) 基板のエッチング装置及びエッチング方法
TWI622431B (zh) 塗布裝置及塗布方法
JP2007160301A (ja) 回転ロールの洗浄機構及び回転ロールの洗浄方法
EP0512117B1 (en) Method of and device for removing resist
JP2003303807A (ja) 基板の処理装置及び処理方法
JP2008227195A (ja) 液処理装置
JP2005343586A (ja) プリント配線板等の薬液処理装置
KR102242859B1 (ko) 미세 금속 마스크 제조 시스템 및 방법
KR102284404B1 (ko) 미세 금속 마스크 제조 시스템 및 방법

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant