KR101883273B1 - 침탄장치의 모재 입출/냉각 어셈블리 - Google Patents

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박현준
문경일
김민채
권기훈
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한국생산기술연구원
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Abstract

본 발명에 따른 침탄장치의 모재 입출/냉각 어셈블리는, 침탄을 수행하는 침탄공간을 포함하는 챔버의 일측에 구비되는 모재 입출/냉각 어셈블리로서, 모재를 투입하는 투입구가 형성되며, 내측에 상기 침탄공간과 연통된 수용공간이 형성된 메인바디, 상기 메인바디의 하측에 구비되며, 상기 챔버에서 침탄 처리된 모재가 상기 수용공간으로부터 낙하되는 낙하경로가 형성된 하부바디, 상기 하부바디의 하단부에 구비되며, 상기 하부바디를 통해 낙하된 모재가 냉각되는 냉각공간이 형성된 냉각유닛 및 일부 영역이 상기 메인바디 내측에 수용되고, 나머지 일부 영역이 상기 메인바디 외측으로 연장되되, 일단부에 상기 모재가 안착되는 안착부가 형성되며, 길이 방향으로 이동 가능하게 형성됨에 따라 상기 안착부가 상기 수용공간 및 상기 침탄공간 사이를 이동 가능하게 형성되는 이송유닛을 포함한다.

Description

침탄장치의 모재 입출/냉각 어셈블리{Base Material Input And Output/Cooling Assembly of Carburizing Apparatus}
본 발명은 침탄장치의 모재 입출/냉각 어셈블리에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 침탄장치의 일측에 구비되어 침탄공간 내에 모재를 용이하게 장입하거나 침탄공간으로부터 인출할 수 있으며, 침탄처리된 모재를 효과적이고 안전하게 냉각시킬 수 있는 침탄장치의 모재 입출/냉각 어셈블리에 관한 것이다.
일반적으로 저탄소강은 변형이 용이하다는 특징으로 인해 다양한 선업 분야에 적용되고 있으나, 경도가 상대적으로 낮아 마모에 취약하다는 한계가 있다.
따라서 이와 같은 문제를 해결하기 위하여 최근에는 다양한 표면 개질법을 적용하여 침탄을 수행하는 방법들이 개발되고 있다.
다만, 종래 일반적인 침탄장치의 경우, 챔버 내에 모재를 수작업으로 장입하고 침탄 처리를 수행한 후, 마찬가지로 수작업을 통해 침탄된 모재를 인출 및 운반하여 냉각을 수행하도록 하는 구조를 가지고 있다.
따라서 종래의 경우에는 침탄 작업 시 작업자가 직접 모재에 접촉하게 되는 경우가 많아 부상의 위험이 높았으며, 또한 별도의 도구를 통해 간접적으로 모재를 다룬다고 하더라도 모재의 운반 과정에서의 낙하 등으로 인해 모재가 파손되거나 설비가 손상되는 등의 문제가 있었다.
따라서 이와 같은 문제점들을 해결하기 위한 방법이 요구된다.
한국공개특허 제10-2009-0104876호
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 발명으로서, 작업자가 모재를 직접적으로 다룰 필요 없이 침탄공간 내에 모재를 용이하게 장입하거나 침탄공간으로부터 인출하고, 신속하고 안전하게 모재의 냉각을 수행할 수 있도록 하기 위한 목적을 가진다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 침탄장치의 모재 입출/냉각 어셈블리는, 침탄을 수행하는 침탄공간을 포함하는 챔버의 일측에 구비되는 모재 입출/냉각 어셈블리로서, 모재를 투입하는 투입구가 형성되며, 내측에 상기 침탄공간과 연통된 수용공간이 형성된 메인바디, 상기 메인바디의 하측에 구비되며, 상기 챔버에서 침탄 처리된 모재가 상기 수용공간으로부터 낙하되는 낙하경로가 형성된 하부바디, 상기 하부바디의 하단부에 구비되며, 상기 하부바디를 통해 낙하된 모재가 냉각되는 냉각공간이 형성된 냉각유닛 및 일부 영역이 상기 메인바디 내측에 수용되고, 나머지 일부 영역이 상기 메인바디 외측으로 연장되되, 일단부에 상기 모재가 안착되는 안착부가 형성되며, 길이 방향으로 이동 가능하게 형성됨에 따라 상기 안착부가 상기 수용공간 및 상기 침탄공간 사이를 이동 가능하게 형성되는 이송유닛을 포함한다.
그리고 상기 메인바디 및 상기 챔버 사이에 구비되며, 개폐 가능하게 형성되어 상기 침탄공간을 선택적으로 밀폐시키는 밀폐도어를 포함하는 연결바디를 더 포함할 수 있다.
또한 상기 안착부는 탈착 가능하게 형성될 수 있다.
그리고 상기 하부바디는, 상기 메인바디와 연결되는 제1연결부 및 상기 제1연결부와 상기 냉각유닛 사이에 구비되어 상기 제1연결부와 함께 상기 낙하경로를 형성하되, 상기 낙하경로의 기 설정된 지점을 선택적으로 차폐하는 차폐모듈을 포함하는 제2연결부를 포함할 수 있다.
또한 상기 메인바디 및 상기 제1연결부의 연결 영역에 상하 이격되도록 구비되어 사이에 예비냉각공간을 형성하며, 선택적으로 개폐 가능하게 형성된 한 쌍의 냉각도어를 더 포함할 수 있다.
그리고 상기 예비냉각공간에 냉각용 기체를 주입하는 냉매주입모듈을 더 포함할 수 있다.
또한 상기 냉각유닛은 상기 하부바디에 탈착 가능하게 구비될 수 있다.
상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 침탄장치의 모재 입출/냉각 어셈블리는 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 작업자가 모재를 직접적으로 다룰 필요 없이 침탄공간 내에 모재를 용이하게 장입하거나 침탄공간으로부터 인출할 수 있는 장점이 있다.
둘째, 침탄처리된 모재를 효과적이고 안전하게 냉각시킬 수 있는 장점이 있다.
셋째, 이에 따라 작업자의 상해 등을 미연에 방지할 수 있는 장점이 있다.
넷째, 신속하고 효율적으로 냉각을 수행하여 생산성을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 침탄장치의 모습을 나타낸 도면;
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 침탄장치에 있어서, 모재 입출/냉각 어셈블리의 구조를 나타낸 도면;
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 침탄장치를 통해 침탄 작업을 수행하는 과정에 있어서, 모재 입출/냉각 어셈블리에 모재를 투입하는 모습을 나타낸 도면;
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 침탄장치를 통해 침탄 작업을 수행하는 과정에 있어서, 챔버 내에 모재를 장입하는 모습을 나타낸 도면;
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 침탄장치를 통해 침탄 작업을 수행하는 과정에 있어서, 침탄 처리가 완료된 모재를 챔버로부터 인출하는 모습을 나타낸 도면;
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 침탄장치를 통해 침탄 작업을 수행하는 과정에 있어서, 침탄 처리가 완료된 모재를 냉각유닛 측으로 낙하시키는 모습을 나타낸 도면;
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 침탄장치를 통해 침탄 작업을 수행하는 과정에 있어서, 침탄 처리가 완료된 모재가 수용된 냉각유닛을 분리시켜 이송하는 모습을 나타낸 도면; 및
도 9 및 도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 침탄장치에 있어서, 모재 입출/냉각 어셈블리의 구조를 나타낸 도면이다.
이하 본 발명의 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 본 실시예를 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 침탄장치(1)의 모습을 나타낸 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 침탄장치(1)는 내부에 침탄공간(S)이 형성된 챔버(10)와, 상기 챔버(10)의 일측에 구비되는 모재 입출/냉각 어셈블리(100)와, 침탄 공정을 위해 상기 침탄공간(S) 내에 처리용 기체 등을 소정의 압력으로 주입/배출시키거나, 상기 침탄공간(S) 내의 공기를 배출시켜 진공 분위기를 형성하는 침탄처리 어셈블리(50)를 포함한다.
이에 따라 본 발명은 상기 챔버(10)의 침탄공간(S) 내에 모재(m)가 장입된 상태에서, 침탄처리 어셈블리(50)를 통해 상기 침탄공간(S)을 진공 분위기로 형성하고, 처리용 기체를 주입하는 과정을 거쳐 상기 모재(m)를 침탄처리하게 된다.
이때 모재 입출/냉각 어셈블리(100)는, 상기 모재(m)를 상기 챔버(10)의 침탄공간(S) 내에 장입하는 작업, 침탄 처리가 완료된 모재(m)를 상기 챔버(10)의 침탄공간(S)로부터 인출시키는 작업, 상기 챔버(10)의 침탄공간(S)로부터 인출된 모재(m)를 냉각시키는 작업 등을 종합적으로 수행할 수 있다.
이하에서는 상기 모재 입출/냉각 어셈블리(100)에 대해 자세히 설명하도록 한다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 침탄장치에 있어서, 모재 입출/냉각 어셈블리(100)의 구조를 나타낸 도면이다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 모재 입출/냉각 어셈블리(100)는 침탄을 수행하는 침탄공간(S)을 포함하는 챔버(10)의 일측에 구비되며, 메인바디(150)와, 하부바디(130)와, 냉각유닛(130)과, 이송유닛(160)과, 연결바디(110)를 포함할 수 있다.
상기 메인바디(150)는 상기 각 구성요소들이 서로 긴밀하게 연결될 수 있도록 매개하는 역할을 수행하며, 내측에는 챔버(10)의 상기 침탄공간(S)과 연통된 수용공간이 형성되고, 일측에 모재(m)를 투입하기 위한 투입구(120)가 형성된다.
특히 본 실시예의 경우 상기 메인바디(150)는 상기 침탄공간(S) 측으로 연장된 제1플랜지부(154)와, 상부로 연장된 제2플랜지부(154)와, 하부로 연장된 제3플랜지부(156)와, 상기 제1플랜지부(154)의 반대 측으로 연장된 제4플랜지부(158)를 포함하는 형태를 가진다.
이때 상기 제1플랜지부(154)와 상기 챔버(10) 사이에는 상기 연결바디(110)가 구비되며, 상기 제3플랜지부(156)에는 하부바디(130)가 연결된다. 또한 상기 제2플랜지부(154)에는 상기 투입구(120)가 형성되고, 상기 제4플랜지부(158)는 바깥쪽으로 개방된 상태를 가지도록 형성된다.
상기 하부바디(130)는 상기 메인바디(150)의 하측에 구비되며, 상기 챔버(10)에서 침탄 처리된 모재(m)가 상기 메인바디(150)의 수용공간으로부터 낙하될 수 있도록 하는 낙하경로를 형성하게 된다.
그리고 본 실시예에서 상기 하부바디(130)는 상기 메인바디(150)의 제3플랜지부(156)와 연결되는 제1연결부(132) 및 상기 제1연결부(132)와 냉각유닛(140) 사이에 구비되어 상기 제1연결부(132)와 함께 상기 낙하경로를 형성하되, 상기 낙하경로의 기 설정된 지점을 선택적으로 차폐하는 차폐모듈(135)을 포함하는 제2연결부(134)를 포함한다.
즉 상기 메인바디(150)의 수용공간으로부터 낙하된 모재(m)는 상기 제1연결부(132) 및 상기 제2연결부(134)를 통해 하부의 냉각유닛(140) 측으로 낙하되며, 이때 상기 제2연결부(134)에 구비되는 차폐모듈(135)은 상기 낙하경로를 차폐하여 상기 모재(m)가 상기 제1연결부(132)에 머물도록 하거나, 상기 낙하경로를 개방하여 상기 모재(m)가 하부의 냉각유닛(140)으로 낙하되도록 할 수 있다.
본 실시예에서 상기 차폐모듈(135)은, 실린더 형태로 형성되어 전방 이동 시 상기 낙하경로를 차폐하며, 후방 이동 시에는 상기 낙하경로를 개방시키는 방식을 가진다.
상기 냉각유닛(140)은 상기 하부바디(130)의 하단부에 구비되며, 내측에는 상기 하부바디(130)의 낙하경로를 통해 낙하된 모재(m)가 냉각되는 냉각공간(142)이 형성된다.
본 실시예에서 상기 냉각유닛(140)은 하부가 차폐되고, 상부가 개구된 컵 형태로 형성되며, 상단 둘레에는 상기 하부바디(130)의 제2연결부(134) 하단 둘레에 형성된 제1연결플랜지(136)와 연결할 수 있도록 하는 제2연결플랜지(141)가 형성된다. 상기 제1연결플랜지(136) 및 상기 제2연결플랜지(141)는 별도의 체결부재를 통해 체결/분리되는 방식 등 다양한 결합 방법을 가질 수 있을 것이다.
또한 상기 냉각공간(142) 내에는, 냉각유체(W)가 수용될 수 있다. 상기 냉각유체(W)로는 물 등 다양한 유체가 적용될 수 있으며, 침탄처리된 모재(m)를 신속하게 냉각시킬 수 있다.
상기 이송유닛(160)은 일부 영역이 상기 메인바디(150) 내측에 수용되고, 나머지 일부 영역이 상기 메인바디(150) 외측으로 연장되되, 일단부에 상기 모재(m)가 안착되는 안착부(105, 도 1 참조)가 형성된다. 또한 상기 이송유닛(160)은 길이 방향으로 이동 가능하게 형성됨에 따라, 상기 안착부(105)가 상기 메인바디(150)의 수용공간 및 상기 챔버(10)의 침탄공간(S) 사이를 이동 가능하게 형성될 수 있다.
또한 상기 이송유닛(160)은 길이 방향의 중심점을 기준으로 회전 가능하게 형성될 수 있으며, 이에 따라 상기 모재(m)를 상기 낙하경로 상에 위치시킨 상태에서 상기 이송유닛(160)을 회전하여 상기 모재(m)를 낙하경로로 낙하시킬 수 있다.
그리고 본 실시예에서 상기 안착부(105)는 탈착 가능하게 형성될 수 있으며, 상기 이송유닛(160)은 상기 안착부(105)를 연결시키는 결합부(162)를 포함할 수 있다.
상기 연결바디(110)는 상기 메인바디(150) 및 상기 챔버(10) 사이에 구비된다. 그리고 상기 연결바디(110)는 개폐 가능하게 형성되어 상기 침탄공간(S)을 선택적으로 밀폐시키는 밀폐도어(112)를 포함할 수 있다.
즉 상기 밀폐도어(112)는 개방된 상태에서 상기 이송유닛(160)이 상기 안착부(150)를 상기 침탄공간(S) 측으로 이동시킬 수 있도록 할 수 있다.
이상으로 본 실시예에 따른 모재 입출/냉각 어셈블리(100)에 대해 설명하였으며, 이하에서는 이를 통해 모재(m)에 침탄 처리를 수행하는 과정에 대해 설명하도록 한다.
먼저, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 메인바디(150)의 투입구(120)를 개방한 상태에서, 모재(m)를 상기 메인바디(150) 내의 수용공간에 투입한다. 이때 상기 이송유닛(160)은 상기 메인바디(150)의 외측 방향으로 이동된 상태를 가지며, 이에 따라 상기 안착부(105)는 상기 투입구(120)의 직하부에 위치된 상태에서 상기 모재(m)를 안착시키게 된다.
그리고 이와 동시에, 상기 연결바디(110)의 밀폐도어(112)는 상기 모재(m)를 챔버(10) 내에 장입할 수 있도록 개방된 상태를 가진다.
이후 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 이송유닛(160)을 상기 챔버(10) 방향으로 이동시켜 상기 안착부(105)에 거치된 모재(m)를 침탄공간(S) 내로 이송하게 된다.
이와 같은 상태에서 상기 안착부(105)를 분리하여 상기 침탄공간(S) 내에 장입하고, 상기 이송유닛(160)을 상기 챔버(10)의 외측으로 이동시킨 뒤 상기 밀폐도어(112)를 폐쇄한 상태로 침탄 처리를 수행한다.
침탄 처리가 완료된 이후에는, 상기 밀폐도어(112)를 재개방시키고, 상기 이송유닛(160)을 다시 챔버(10) 측으로 이동시켜 상기 안착부(105)를 결합시킨다.
그리고 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 안착부(105)가 결합된 상태의 상기 이송유닛(160)을 챔버(10)의 외측으로 이동시켜 상기 안착부(105)를 상기 메인바디(150)의 제3플랜지부(156) 상에 위치시킨다.
이와 같은 상태에서, 도 7과 같이 상기 이송유닛(160)을 회전시켜 상기 안착부(105) 상에 거치된 침탄 처리된 모재(m)를 상기 하부바디(130)의 낙하경로를 따라 낙하시킨다. 이때 상기 제2연결부(134)에 구비된 차폐모듈(135)은 상기 낙하경로를 개방시켜 상기 모재(m)가 상기 냉각유닛(140) 측으로 낙하될 수 있도록 한다.
이후 상기 냉각유닛(140) 내에 낙하된 모재(m)는 상기 냉각공간(142)에 수용된 냉각유체(W)에 의해 신속하게 냉각되고, 도 8과 같이 냉각유닛(140)을 하부바디(130)로부터 분리하여 침탄 처리된 모재(m)를 상기 냉각유닛(140)으로부터 꺼내어 전체 침탄 처리 과정을 완료하게 된다.
한편 도 9 및 도 10은, 본 발명의 다른 실시예에 따른 모재 입출/냉각 어셈블리(100)의 구조를 나타낸 도면이다.
도 9 및 도 10에 도시된 본 발명의 다른 실시예에 따른 모재 입출/냉각 어셈블리(100) 역시 전술한 일 실시예의 구성요소와 동일한 구성요소를 가지며, 그 형태 및 기능 역시 동일하게 형성된다.
다만, 본 실시예의 경우 상기 메인바디(150)의 제3플랜지부(156) 및 상기 하부바디(130)의 제1연결부(132)의 연결 영역에 상하 이격되도록 구비되어 그 사이에 예비냉각공간(171)을 형성하며, 선택적으로 개폐 가능하게 형성된 한 쌍의 냉각도어(170a, 170b)를 더 포함하는 것이 다르다.
구체적으로 본 실시예에서 상부 냉각도어(170a)는 상기 메인바디(150)의 제3플랜지부(156)에 구비되며, 하부 냉각도어(170b)는 상기 하부바디(130)의 제1연결부(132)에 구비됨에 따라 상부 냉각도어(170a)와 하부 냉각도어(170b) 사이에 예비냉각공간(171)이 형성된다.
또한 상기 예비냉각공간(171)에는 상기 예비냉각공간(171) 내에 냉각용 기체를 주입하는 냉매주입모듈(172)이 구비될 수 있다.
따라서 본 실시예는 침탄 처리된 모재(m)가 안착된 안착부(105)를 낙하경로 상에 위치시킨 상태에서, 도 10에 도시된 바와 같이 상부 냉각도어(170a)만을 개방하여 모재(m)를 예비냉각공간(171) 내에 낙하시키고, 이후 상기 상부 냉각도어(170a)를 폐쇄시킨 후 냉매주입모듈(172)을 통한 공랭 작업을 수행할 수 있다.
이후 상기 하부 냉각도어(170b)를 개방하고, 상기 차폐모듈(135)을 통해 낙하경로를 열어 상기 모재(m)를 상기 냉각유닛(140)에 낙하시킨 뒤 2차 냉각을 수행하게 된다.
즉 본 실시예의 경우 상기 예비냉각공간(171)에서 선행 냉각을 수행함에 따라, 고열 상태의 모재(m)가 상기 냉각유닛(140)에 수용된 냉각유체(W)에 바로 노출되어 반응하는 것을 방지할 수 있다.
이상과 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.
1: 침탄장치 10: 챔버
50: 침탄처리 어셈블리 100: 모재 입출/냉각 어셈블리
105: 안착부 110: 연결바디
112: 밀폐도어 120: 투입구
130: 하부바디 132: 제1연결부
134: 제2연결부 140: 냉각유닛
142: 냉각공간 150: 메인바디
152: 제1플랜지부 154: 제2플랜지부
156: 제3플랜지 158: 제4플랜지부
160: 이송유닛 170a: 상부 냉각도어
170b: 하부 냉각도어 171: 예비냉각공간
172: 냉매주입모듈

Claims (7)

  1. 침탄을 수행하는 침탄공간을 포함하는 챔버의 일측에 구비되는 모재 입출/냉각 어셈블리로서,
    모재를 투입하는 투입구가 형성되며, 내측에 상기 침탄공간과 연통된 수용공간이 형성된 메인바디;
    상기 메인바디의 하측에 구비되며, 상기 챔버에서 침탄 처리된 모재가 상기 수용공간으로부터 낙하되는 낙하경로가 형성된 하부바디;
    상기 하부바디의 하단부에 구비되며, 상기 하부바디를 통해 낙하된 모재가 냉각되는 냉각공간이 형성된 냉각유닛; 및
    일부 영역이 상기 메인바디 내측에 수용되고, 나머지 일부 영역이 상기 메인바디 외측으로 연장되되, 일단부에 상기 모재가 안착되는 안착부가 형성되며, 길이 방향으로 이동 가능하게 형성됨에 따라 상기 안착부가 상기 수용공간 및 상기 침탄공간 사이를 이동 가능하게 형성되는 이송유닛;
    을 포함하며,
    상기 하부바디는,
    상기 메인바디와 연결되는 제1연결부; 및
    상기 제1연결부와 상기 냉각유닛 사이에 구비되어 상기 제1연결부와 함께 상기 낙하경로를 형성하되, 상기 낙하경로의 기 설정된 지점을 선택적으로 차폐하는 차폐모듈을 포함하는 제2연결부;
    를 포함하는 침탄장치의 모재 입출/냉각 어셈블리.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 메인바디 및 상기 챔버 사이에 구비되며, 개폐 가능하게 형성되어 상기 침탄공간을 선택적으로 밀폐시키는 밀폐도어를 포함하는 연결바디를 더 포함하는 침탄장치의 모재 입출/냉각 어셈블리.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 안착부는 탈착 가능하게 형성되는 침탄장치의 모재 입출/냉각 어셈블리.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 메인바디 및 상기 제1연결부의 연결 영역에 상하 이격되도록 구비되어 사이에 예비냉각공간을 형성하며, 선택적으로 개폐 가능하게 형성된 한 쌍의 냉각도어를 더 포함하는 침탄장치의 모재 입출/냉각 어셈블리.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 예비냉각공간에 냉각용 기체를 주입하는 냉매주입모듈을 더 포함하는 침탄장치의 모재 입출/냉각 어셈블리.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 냉각유닛은 상기 하부바디에 탈착 가능하게 구비되는 침탄장치의 모재 입출/냉각 어셈블리.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20090104876A (ko) 2007-02-23 2009-10-06 가부시키가이샤 아이에이치아이 침탄 장치 및 침탄 방법
KR20100037778A (ko) * 2008-10-02 2010-04-12 이천엔지니어링(주) 가스침탄장치의 장입실 압력제어장치

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