KR101865871B1 - 그래핀 전사 장치 및 그래핀 전사 방법 - Google Patents

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Abstract

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 측면에 따른 그래핀 전사 장치는, 일면에 그래핀이 형성된 촉매 금속 필름과 상기 그래핀의 표면에 배치되는 피전사 필름을 구비하는 피압착체를 일 방향으로 이송할 수 있는 컨베이어와, 상기 피압착체를 가압할 수 있도록 상기 피압착체의 이송 경로를 사이에 두고 배치되는 제1 및 제2롤러를 구비하며, 상기 제2롤러는 외주에 복수의 흡착구을 구비하며 상기 제1롤러에 접근하는 흡착구에서 흡착력이 발생하고 상기 제1롤러로부터 후퇴하는 흡착구에서 상기 흡착력이 해제될 수 있는 것을 특징으로 한다.

Description

그래핀 전사 장치 및 그래핀 전사 방법{Apparatus for transferring graphene and method for transferring graphene}
본 발명은 그래핀 전사 장치 및 그래핀 전사 방법에 관련된 것이다.
그래핀(Graphene)은 탄소가 육각형의 형태로 서로 연결되어 벌집 모양의 2차원 평면 구조를 이루는 물질로서, 그 두께가 매우 얇고 투명하며 전기 전도성이 매우 큰 특성을 가진다. 그래핀의 이러한 특성을 이용하여 그래핀을 투명 디스플레이 또는 휘어질 수 있는 디스플레이에 적용하려는 시도가 많이 이루어지고 있으며, 최근에는 그래핀을 대형으로 합성하려는 시도가 활발히 이루어지고 있다.
그래핀은 화학적 환원법 또는 화학기상증착법(chemical vapor deposition-CVD) 등 여러 가지 방법으로 합성이 가능하다.
화학기상증착법을 이용할 그래핀을 합성하는 방법은, 촉매 금속 필름의 표면에서 합성된 그래핀을 기판용 필름에 전사시키는 과정을 포함한다. 이러한 그래핀 전사 과정은 촉매 금속 필름에 형성된 그래핀을 기판용 필름에 접촉시키고 롤러로 압착한 다음, 촉매 금속 필름을 에칭으로 제거하는 방법을 포함한다.
그런데 촉매 금속 필름 또는 기판용 필름은 그 두께가 매우 얇게 형성될 수 있기 때문에, 롤러로 압착하는 과정에서 일부분이 구겨지나 주름이 생기기도 한다. 이러한 현상은 롤러와 촉매 금속 필름 또는 기판용 필름과의 접촉이 고르지 못할 때 더욱 빈번히 발생한다. 이러한 촉매 금속 필름 또는 기판용 필름의 구겨짐이나 주름은 결국 그래핀의 불량으로 이어지기 때문에 최소한으로 억제될 필요가 있다.
본 발명의 일 측면은, 롤러를 이용한 그래핀 전사 과정에서 촉매 금속 필름 또는 기판용 필름의 구겨짐으로 인한 그래핀의 불량을 효과적으로 억제할 수 있는 그래핀 전사 장치 및 그래핀 전사 방법을 제공함에 목적이 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 측면에 따른 그래핀 전사 장치는, 일면에 그래핀이 형성된 촉매 금속 필름과 상기 그래핀의 표면에 배치되는 피전사 필름을 구비하는 피압착체를 일 방향으로 이송할 수 있는 컨베이어와, 상기 피압착체를 가압할 수 있도록 상기 피압착체의 이송 경로를 사이에 두고 배치되는 제1 및 제2롤러를 구비하며, 상기 제2롤러는 외주에 복수의 흡착구을 구비하며 상기 제1롤러에 접근하는 흡착구에서 흡착력이 발생하고 상기 제1롤러로부터 후퇴하는 흡착구에서 상기 흡착력이 해제될 수 있는 것을 특징으로 한다.
또한 상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 측면에 따른 그래핀 전사 방법은, 일면에 그래핀이 형성된 촉매 금속 필름과 상기 그래핀의 표면에 배치되는 피전사 필름을 구비하는 피압착체를 제1롤러 및 둘레에 복수의 흡착구가 형성된 제2롤러의 사이로 투입하는 단계와, 상기 제2롤러로 상기 피압착체를 흡착하면서 상기 제1롤러 및 상기 제2롤러로 상기 피압착체를 가압하는 단계와, 상기 제2롤러가 상기 피압착체를 가압하는 구간을 통과한 상기 제2롤러의 상기 흡착구의 흡착력을 해제하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 그래핀 전사 장치 및 그래핀 전사 방법에 따르면, 롤러를 이용한 그래핀 전사 과정에서 촉매 금속 필름 또는 기판용 필름의 구겨짐으로 인한 그래핀의 불량을 효과적으로 억제할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 그래핀 전사 장치의 개략적인 사시도이다.
도 2는 도 1의 그래핀 전사 장치의 개략적인 측면도이다.
도 3은 도 1의 그래핀 전사 장치의 일부 구성 요소를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 4는 도 3의 구성 요소의 개략적인 부분 단면도이다.
도 5는 도 3의 구성 요소의 또 다른 형태를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 6은 도 1의 그래핀 전사 장치의 일부를 개략적으로 도시한 측면도이다.
도 7은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 그래핀 전사 방법의 개략적인 흐름도이다.
이하 도면을 참조하여 본 발명의 일 측면에 따른 그래핀 전사 장치에 관해 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 그래핀 전사 장치의 개략적인 사시도이며, 도 2는 도 1의 그래핀 전사 장치의 개략적인 측면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 실시예에 따른 그래핀 전사 장치(1)는 컨베이어(100), 제1롤러(200), 제2롤러(300) 및 분사기(400)를 구비한다.
컨베이어(100)는 복수의 이송 롤러(110)를 구비하며, 그 상측에 놓여질 수 있는 피압착체(10)를 일 방향으로 이송하는 역할을 한다. 컨베이어(100)는 이송 롤러(110)에 둘러 감기는 벨트(미도시)를 더 구비할 수도 있다.
본 실시예에서 피압착체(10)는 그래핀이 전사될 피전사 필름(13) 상에 그래핀(12)이 형성된 촉매 금속 필름(11)이 놓여진 적층체이며, 촉매 금속 필름(11)은 그 일면에 형성된 그래핀(12)이 피전사 필름(13)에 접촉되도록 피전사 필름(13)의 상측에 적층된다. 본 실시예에서 피압착체(10)는 피전사 필름(13)이 컨베이어(100)에 접하도록 놓여져 이송된다.
피전사 필름(13)은 PET(polyethylen Terephthalate), 폴리 이미드(Polyimide file), 유리, 천연 고무 및 합성 고무 등의 소재로 이루어지는 박막으로, 그 두께는 25 내지 70 마이크로미터 정도로 이루어질 수 있다. 피전사 필름(13)의 그래핀(12)과 접촉되는 일면은 접착성을 가질 수 있다. 또한 피전사 필름(13)은 소정의 온도에서는 접착력을 상실하는 열 박리 테이프일 수도 있다.
또한 촉매 금속 필름(11)은 화학기상증착법으로 그 표면에 그래핀(12)을 합성할 수 있도록, 니켈(Ni), 코발트(Co), 철(Fe), 백금(Pt), 금(Au), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 구리(Cu), 마그네슘(Mg), 망간(Mn), 로지움(Rh), 실리콘(Si), 탄탈럼(Ta), 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 우라늄(U), 바나듐(V) 및 지르코늄(Zr) 등의 탄소화 촉매 중 하나 또는 그 이상을 포함하여 이루어질 수 있다. 본 실시예에서는 구리 소재의 촉매 금속 필름(11)을 사용하는 것을 예로 들어 설명한다. 구리 소재의 촉매 금속 필름(11)의 두께는 3 내지 35 마이크로미터 정도로 피전사 필름(13)에 비해서 상대적으로 얇은 두께를 가질 수 있다.
제1롤러(200)는 컨베이어(100)에 의해서 이송되는 피압착체(10)의 이송 경로(P)의 하측에 배치되며, 피전사 필름(13)을 상측으로 가압하는 역할을 할 수 있다. 제1롤러(200)는 내부에 가열부(미도시)를 구비하여 약 150 ℃ 정도의 온도로 유지될 수 있다. 즉 제1롤러(200)는 그 상측에 배치되는 피전사 필름(13)을 가열하며 가압할 수 있다. 가열부(330)는 내부에 전기 열선 등을 포함하여 이루어질 수 있다.
제2롤러(300)는 제1롤러(200)와 함께 피압착체(10)의 이송 경로(P)를 사이에 두도록 제1롤러(200)로부터 상측으로 이격되게 배치되며, 그의 회전중심축선(A2)은 제1롤러(200)의 회전중심축선(A1)과 실질적으로 평행하게 배치된다. 즉 제2롤러(300)는 제1롤러(200)와 함께 그들 사이로 투입된 피압착체(10)를 가압하는 역할을 한다.
도 3은 제2롤러(300)의 개략적인 사시도로, 도 3을 참조하면 제2롤러(300)는 다수의 흡착구(312)과, 다수의 센서(360)를 구비한다.
흡착구(312)은 제2롤러(300)의 외주면의 둘레를 따라서 형성되며, 제2롤러(300)의 회전축(350)에 형성된 관통공(352)에 연통된다. 회전축(350)의 관통공(352)은 감압기(500)와 연결되어 있어서, 감압기(500)가 작동하면 흡착구(312)는 공기를 흡인할 수 있다.
센서(360)는 빛을 감지하는 수광 센서로서, 제2롤러(300)의 회전축(350)의 둘레를 따라 배치되어 제2롤러(300)의 회전축(350)과 함께 회전된다. 제2롤러(300)의 회전축(350)의 하측에는 발광 장치(600)가 배치되는데, 발광 장치(600)는 제2롤러(300)의 회전축(350)을 향하여 빛을 조사한다. 따라서 제2롤러(300)가 회전함에 따라서 발광 장치를 바라보는 위치, 즉 아래쪽을 바라보는 위치에 위치되는 센서(360)는 발광 장치(600)의 빛을 감지하게 된다.
각 센서(460)의 위치는 미리 정해진 것이므로, 발광 장치(600)의 빛을 감지한 센서(360)의 위치 정보를 이용하면 제2롤러(300)의 절대적인 회전각을 알 수 있다. 따라서 제2롤러(300)의 외주에 형성된 복수의 흡착구(312)들 중에 어떠한 흡착구(312)가 제2롤러(300)에 근접한 위치(L1)에 있는지를 알 수 있다.
한편, 흡착구(312)는 그의 위치에 따라서 흡착력을 가지거나 또는 그 흡착력이 제거되도록 제어될 수 있는데, 이를 제2롤러(300)의 구조에 대해서는 도 4를 참조하여 설명한다.
도 4는 제2롤러(300)의 개략적인 부분 단면도로서, 도 4를 참조하면 각 흡착구(312)에는 밸브(340)가 대응되게 배치된다. 각 밸브(340)는 흡착구(312)과 감압기(500) 사이에 형성된 유로에 배치되어 그 유로를 개폐할 수 있으며, 전자적으로 제어가 가능한 전자 밸브일 수 있다.
이러한 밸브(340)의 작동은 제어부(700)에 의해서 제어되는데, 제어부(700)는 센서(360)의 신호를 읽어 각 흡착구(312)의 위치를 파악한 다음, 일부 흡착구(312)에서만 흡착력이 발생할 수 있도록 밸브(340)의 개폐를 제어할 수 있다. 예를 들어 제어부(700)는 제1롤러(200)에 접근하는 흡착구(312)에서 흡착력이 발생하고, 제1롤러(200)로부터 후퇴하는 흡착구(312)에서는 흡착력이 해제되도록 밸브(340)를 제어할 수 있다. 즉 제어부(700)는 흡착구(312)들 중에서 제2롤러(300)에 인접한 부분에 위치(L1), 즉 제1롤러(200)의 하측부의 위치에 있는 흡착구(312)에서만 흡착력이 발생하도록 밸브(340)를 제어할 수도 있다.
한편, 도 4를 참조하면 제2롤러(300)는 복수의 층을 구비함을 알 수 있다.
제2롤러(300)의 최외곽 층(310)은 피압착체(10)와의 접촉시에 미끄럼을 방지하며, 피압착체(10)의 손상은 방지할 수 있도록 연성의 실리콘 러버 또는 합성 수지 등의 소재로 형성될 수 있다.
제2롤러(300)의 최외곽 층(310)의 하측에 위치한 내층(320)은 제2롤러(300)가 피압착체(10)를 가압할 때 그 가압력을 지지할 수 있도록 견고한 소재, 예컨대 금속의 소재로 이루어질 수 있다. 내층에는 제2롤러(300)가 소정의 온도로 유지될 수 있도록 가열하는 가열부(330)가 배치된다. 가열부는 전기 열선 등을 포함하여 이루어질 수 있다. 본 실시예의 제2롤러(300)의 표면도 제1롤러(200)와 마찬가지로 가열부(330)에 의해서 섭씨 150 정도의 온도로 유지될 수 있다.
상기에서는 제2롤러(300)의 일 형태를 예시하였으나, 제2롤러(300)는 도 5에 도시된 바와 같이 다른 구조를 가질 수도 있다.
도 5는 제2롤러(300)의 또 다른 형태를 개략적으로 도시한 단면도로, 도 5를 참조하면 제2롤러(300)는 밸브(340) 대신에 그 내부 공간(302)에 차단 부재(370)를 구비할 수 있다.
차단 부재(370)는 제2롤러(300)의 최외곽 층(310) 및 그 바로 아래에 위치한 내층(320)과는 분리되어 있으며, 최외곽 층(310) 및 내층(320)이 함께 회전하더라도 이와는 달리 고정된 상태를 유지하도록 배치된다. 즉 차단 부재(370)는 최외곽 층(310) 및 내층(320)이 회전하더라도 이들과 함께 회전하지 않는다. 차단 부재(370)는 제2롤러(300)의 내층(320)의 내주면을 따라서 형성되며, 그의 하측에는 개구(372)가 형성되어 있다. 따라서 차단 부재(370)는 제1롤러(200)에 인접한 위치에 위치한 흡착구(312)와 제2롤러(300)의 내부 공간(302)을 연통시키는 반면, 그 외의 흡착구(312)와 제2롤러(300)의 내부 공간은 연통되지 않도록 막아준다.
제2롤러(300)의 내부 공간(302)은 감압기(500)에 의해서 낮은 압력으로 유지되므로, 제2롤러(300)의 흡착구(312)는 제1롤러(200)에 인접한 위치(L1)에서 흡착력을 가지게 되고, 제1롤러(200)에 인접한 위치(L1)를 벗어나게 되면 흡착력을 상실하게 된다. 즉 도 5의 제2롤러(300)도 제1롤러(200)에 접근하는 흡착구(312)에서는 흡인력이 발생하되, 제1롤러(200)로부터 후퇴하는 흡착구(312)에서는 그 흡인력이 해제된다.
분사기(400)는 피압착체(10)의 이송 경로(P)에서 제1롤러(200) 및 제2롤러(300)의 전방에 배치되며, 피압착체(10)의 이송 경로(P)의 상측에 배치된다. 분사기(400)는 피압착체(10)의 이송 경로(P)를 향하는 복수의 분사 노즐(410)을 구비한다. 따라서 분사기(400)는 피압착체(10)가 컨베이어(100) 상에서 이송될 때 피압착체(10)의 표면, 즉 촉매 금속 필름(11)의 표면에 공압을 가할 수 있다. 도 6에 도시된 바와 같이 분사기(400)가 촉매 금속 필름(11)에 공기를 분사하면 촉매 금속 필름(11)은 펴지는 방향으로 힘을 받게 된다. 분사기(400)는 공기 외에도 질소 등과 같은 다양한 기체를 분사할 수 있으며, 피압착체(10)를 가열할 수 있도록 열풍을 분사할 수도 있다.
다음으로 본 발명의 다른 일 측면에 따른 그래핀 전사 방법에 대해서 설명한다. 이하에서는 그래핀 전사 방법에 있어서 상술한 그래핀 전사 장치(1)를 이용하는 것을 예로 들어 설명한다.
도 7은 본 발명의 다른 일 측면에 따른 그래핀 전사 방법의 일례를 설명하기 위한 개략적인 순서도로, 도 7을 참조하면 본 실시예에 따른 그래핀 전사 방법(S100)은 피압착체(10)를 공압으로 가압하는 단계(S110), 피압착체(10)를 제1롤러(200) 및 제2롤러(300) 사이로 투입하는 단계(S120), 제2롤러(300)로 피압착체(10)를 흡착하면서 가압하는 단계(S130) 및 제2롤러(300)의 가압위치를 통과한 부분의 흡착을 해제하는 단계(S140)를 포함한다.
피압착체(10)를 공압으로 가압하는 단계(S110)는 분사기(400)로 컨베이어(100)의 상측에 위치한 피압착체(10)의 표면, 즉 촉매 금속 필름(11)의 표면에 공기를 분사하여 가압하는 단계이다. 이 단계에서 박막의 촉매 금속 필름(11)은 펴지는 방향으로 힘을 받기 때문에 그에 형성된 주름이나 요철이 제거된다. 또한 본 단계에서 촉매 금속 필름(11)은 공압에 의해서 비접촉적으로 가압되어 펴지므로, 롤러를 이용하여 접촉적으로 가압하여 펴주는 경우에 비해서 그래핀이 파괴되는 것이 더욱 효과적으로 억제될 수 있다.
피압착체(10)를 제1롤러(200) 및 제2롤러(300) 사이로 투입하는 단계(S120)는, 컨베이어(100)를 이용하여 피압착체(10)를 제1롤러(200)와 제2롤러(300) 사이로 이송하는 단계이다.
제2롤러(300)로 피압착체(10)를 흡착하면서 가압하는 단계(S130)는, 제2롤러(300)의 흡착구(312) 중 제1롤러(200)에 인접한 위치(L1)에 있는 흡착구(312)의 흡착력을 발생시켜 제2롤러(300)의 표면에 피압착체(10)의 촉매 금속 필름(11)을 흡착한 상태에서, 피압착체(10)를 제1롤러(200) 및 제2롤러(300)로 압착하는 단계이다. 즉 본 단계에서 촉매 금속 필름(11)은 제1롤러(200)의 표면에 완전하게 밀착이 이루어진 상태에서 압착된다. 따라서 본 실시예의 그래핀 전사 방법에 따르면, 촉매 금속 필름(11)이 제1롤러(200)의 표면에 균일하게 밀착되지 못하여 촉매 금속 필름(11)의 일부에 구겨짐이나 주름이 생기는 종래의 문제점을 효과적으로 해결할 수 있다.
한편 제1롤러(200) 및 제2롤러(300)의 온도는 소정의 범위 내에서 오차를 가질 수 있는데, 이러한 온도의 오차로 인하여 피압착체(10)의 상면과 하면의 열팽창 정도가 차이날 수 있다. 그러나 본 실시예의 그래핀 전사 방법에 따르면 피압착체(10)의 일면, 즉 촉매 금속 필름(11)이 제2롤러(300)에 완전하게 밀착된 상태에서 압착하므로, 피압착체(10)의 상면과 하면 사이의 열팽창 정도에 다소 차이가 있더라도 촉매 금속 필름(11)이 구겨지거나 주름지는 것이 효과적으로 억제될 수 있다.
제2롤러(300)의 가압 위치를 통과한 부분의 흡착을 해제하는 단계(S140)는, 제2롤러(300)가 회전하면서 제1롤러(200)에 인접한 위치, 즉 제2롤러(300)가 피압착체(10)를 가압하는 구간(L1)을 통과한 흡착구(312)의 흡착력을 해제하는 단계이다. 이와 같이 흡착구(312)은 제2롤러(300)의 가압 위치를 통과한 부분을 지나면서 흡착력이 해제되기 때문에, 피압착체(10)의 촉매 금속 필름(11)은 제1롤러(200) 및 제2롤러(300)를 통과한 이 후에 제2롤러(300)의 표면으로부터 떼어내 진다. 따라서 피압착체(10)는 제1롤러(200) 및 제2롤러(300) 사이를 통과하여 압착된 다음, 원활하게 제1롤러(200) 및 제2롤러(300)의 사이를 빠져나갈 수 있다.
제1롤러(200)와 제2롤러(300) 사이로 피압착체(10)가 통과하면, 피압착체(10)의 촉매 금속 필름(11)에 형성된 그래핀(12)은 피전사 필름(13)에 접착된다. 피전사 필름(13)에 그래핀(12)이 접착되면 촉매 금속 필름(11)을 에칭의 방법으로 제거함으로써, 그래핀(12)을 촉매 금속 필름(11)에서 피전사 필름(13)으로 전사할 수 있다.
상술한 바와 같이 본 실시예에 따르면, 롤러를 이용한 그래핀 전사 과정에서 촉매 금속 필름의 구겨짐을 효과적으로 억제할 수 있다. 따라서 전사 과정에서 촉매 금속 필름의 구겨짐으로 인한 그래핀의 구겨짐 또는 파손이 억제되어 그래핀의 불량이 효과적으로 감소될 수 있다.
이상 본 발명의 일부 실시예에 대해 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상의 범주 내에서 다양한 형태로 구체화될 수 있다.
예를 들어 상술한 실시예에서는 촉매 금속 필름(11)이 피전사 필름(13)에 비해서 얇고 구겨짐에 취약하다는 점을 고려하여 촉매 금속 필름(11)이 피전사 필름(13) 위에 놓여져 컨베이어(100)로 이송되는 것으로 설명하였으나, 피전사 필름(13)이 더 얇거나 구겨짐에 취약한 경우에는 피전사 필름(13)이 촉매 금속 필름(11) 위에 놓여져 컨베이어(100)로 이송될 수도 있다. 이 경우에 제2롤러(300)는 피전사 필름(13)을 흡착하면서 가압하게 되며, 분사기(400)는 피전사 필름(13)의 표면에 공기를 분사하게 된다.
또한 상술한 실시예에서는 제1롤러(200)에 흡착구(312)이 형성되지 않는 것으로 설명하였으나, 이와는 달리 제1롤러(200)도 제2롤러(300)와 마찬가지로 흡착구(312)을 구비할 수 있다.
이외에도 본 발명은 다양한 형태로 구체화될 수 있음은 물론이다.
1 ... 그래핀 전사 장치 10 ... 피압착체
100 ... 컨베이어 200 ... 제1롤러
300 ... 제2롤러 312 ... 흡착구
400 ... 분사기

Claims (10)

  1. 일면에 그래핀이 형성된 촉매 금속 필름과 상기 그래핀의 표면에 배치되는 피전사 필름을 구비하는 피압착체를, 일 방향으로 이송할 수 있는 컨베이어와,
    상기 피압착체를 가압할 수 있도록 상기 피압착체의 이송 경로를 사이에 두고 배치되는 제1롤러 및 제2롤러와,
    상기 피압착체가 상기 제1롤러 및 상기 제2롤러 사이로 투입되기 전에, 상기 피압착체에 기체를 분사하여 가압할 수 있는 분사기를 포함하며,
    상기 제2롤러는,
    외주에 복수의 흡착구을 구비하며, 상기 제1롤러에 접근하는 흡착구에서 흡착력이 발생하고 상기 제1롤러로부터 후퇴하는 흡착구에서 상기 흡착력이 해제될 수 있으며,
    상기 분사기는,
    상기 피압착체의 상기 촉매 금속 필름의 표면으로 기체를 분사하는 그래핀 전사 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 일면에 그래핀이 형성된 촉매 금속 필름과 상기 그래핀의 표면에 배치되는 피전사 필름을 구비하는 피압착체를, 제1롤러 및 둘레에 복수의 흡착구가 형성된 제2롤러의 사이로 투입하는 단계와,
    상기 제2롤러로 상기 피압착체를 흡착하면서, 상기 제1롤러 및 상기 제2롤러로 상기 피압착체를 가압하는 단계와,
    상기 제2롤러가 상기 피압착체를 가압하는 구간을 통과한 상기 제2롤러의 상기 흡착구의 흡착력을 해제하는 단계를 포함하며,
    상기 피압착체가 상기 제1롤러 및 상기 제2롤러 사이로 투입되기 전에, 상기 피압착체에 기체를 분사하여 가압하는 단계를 더 포함하고,
    상기 기체를 분사하여 가압하는 단계는,
    상기 피압착체의 상기 촉매 금속 필름의 표면으로 기체를 분사하는 단계인 그래핀 전사 방법.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 삭제
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102034763B1 (ko) * 2012-10-09 2019-10-22 삼성디스플레이 주식회사 공기압을 이용한 라미네이션 장치 및 이를 이용한 비접촉식 라미네이션 방법
CN105929271A (zh) * 2016-04-21 2016-09-07 徐洋 热转印标签打印机测试系统及方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004009536A (ja) * 2002-06-06 2004-01-15 Canon Inc 記録装置、該記録装置を用いたファクシミリ装置および記録装置のインクの有無の判定方法
JP3870178B2 (ja) * 2003-08-06 2007-01-17 京セラミタ株式会社 エアー吸引式の給紙搬送装置
KR20090028007A (ko) * 2007-09-13 2009-03-18 삼성전자주식회사 그라펜 시트를 함유하는 투명 전극, 이를 채용한 표시소자및 태양전지
KR20090129176A (ko) * 2008-06-12 2009-12-16 삼성전자주식회사 그라펜 시트로부터 탄소화 촉매를 제거하는 방법, 탄소화촉매가 제거된 그라펜 시트를 소자에 전사하는 방법, 이에따른 그라펜 시트 및 소자

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08234015A (ja) * 1995-03-01 1996-09-13 Dainippon Printing Co Ltd 転写装置
KR101423037B1 (ko) * 2009-07-14 2014-08-13 그래핀스퀘어 주식회사 그래핀 시트의 제조 방법, 그래핀 적층체, 변형 수용성 그래핀 시트의 제조 방법, 변형 수용성 그래핀 시트, 및 이를 이용하는 소자

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004009536A (ja) * 2002-06-06 2004-01-15 Canon Inc 記録装置、該記録装置を用いたファクシミリ装置および記録装置のインクの有無の判定方法
JP3870178B2 (ja) * 2003-08-06 2007-01-17 京セラミタ株式会社 エアー吸引式の給紙搬送装置
KR20090028007A (ko) * 2007-09-13 2009-03-18 삼성전자주식회사 그라펜 시트를 함유하는 투명 전극, 이를 채용한 표시소자및 태양전지
KR20090129176A (ko) * 2008-06-12 2009-12-16 삼성전자주식회사 그라펜 시트로부터 탄소화 촉매를 제거하는 방법, 탄소화촉매가 제거된 그라펜 시트를 소자에 전사하는 방법, 이에따른 그라펜 시트 및 소자

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