KR101857374B1

KR101857374B1 - 펄스 레이저 비임에 의한 공작물의 융삭 방법

Info

Publication number: KR101857374B1
Application number: KR1020167002476A
Authority: KR
Inventors: 시모네 루쓰; 데니스 알데린크
Original assignee: 트룸프 레이저-운트 시스템테크닉 게엠베하
Priority date: 2013-06-28
Filing date: 2014-06-27
Publication date: 2018-05-11
Also published as: WO2014206572A1; KR20160023904A; US20160129526A1; DE102013212577A1; CN105531072A; US10639741B2; EP3013516A1; EP3013516B1; CN105531072B

Abstract

본 발명에 따른, 펄스 레이저 비임(2)에 의해 특히 투명 공작물(1)을 융삭하는 방법은,
a) 표면 경로(4)를 따라 공작물 표면(3)에 걸쳐 펄스 레이저 비임(2)을 이동시켜 상기 공작물 표면(3)을 전처리하는 단계로서, 펄스 레이저 비임(2)의 연속한 레이저 펄스(2', 2")들이 경로 방향(5)에서 공작물 표면(3) 상에 제1 펄스 오버랩(6₁)을 갖도록 하는, 전처리 단계; 및
b) 표면 경로(4)를 따라 공작물 표면(3)에 걸쳐 펄스 레이저 비임(2)을 복수 회 이동시킴으로써 전처리된 공작물 표면(3)을 융제(ablating)하는 단계로서, 펄스 레이저 비임(2)의 연속한 레이저 펄스(2', 2")들이 경로 방향(5)에서 공작물 표면(3) 상에 상기 제1 펄스 오버랩(6₁)보다 작은 제2 펄스 오버랩(6₂)을 갖도록 하는, 융제 단계를 포함한다.

Description

펄스 레이저 비임에 의한 공작물의 융삭 방법{METHOD FOR THE ABLATION CUTTING OF A WORKPIECE BY MEANS OF A PULSED LASER BEAM}

본 발명은 펄스 레이저 비임에 의해 특히 투명한 공작물을 융제(ablation) 또는 융삭(ablation cutting)하는 방법에 관한 것이다. 이러한 형태의 융삭 방법에서, 공작물 재료는 레이저 비임에 의해 공작물로부터 연속적으로 제거된다.

레이저를 이용하여 공작물을 절단하는 경우, 특히 예를 들어 유리, 사파이어 또는 이와 유사한 재료로부터 얇은 기판을 레이저에 의해 잘라내는 경우, 레이저 비임을 향한 공작물의 상면의 재료 융제부 바로 근방에 손상이 발생할 뿐만 아니라, 레이저 가공에 의해 공작물 재료가 손상된(용융 등의 국부적으로 변형된) 소위 이차 가공 영역이 통상 얼마간의 거리를 두고 공작물 재료 내부 또는 공작물의 하면에 형성될 수 있는 것으로 알려져 있다. 이러한 이차 가공 영역의 형성 원인은 무엇보다도 절단될 광학적으로 투명한 공작물 재료 내부를 레이저 커팅할 때에 레이저 비임의 반사 등의 원하지 않는 광학적 효과로 인한 것으로 여겨지고 있다. 또한, 이차 가공 영역이 형성되는 정도는 공작물의 재료 및/또는 치수에 뿐만 아니라, 레이저 커팅에 이용된 프로세스 파라미터에 따라 달라진다.

전술한 이차 가공 영역은 가공된 공작물의 광학적 결함을 형성할 뿐만 아니라, 그 안정성에도 불리하게 영향을 미친다. 예를 들면, 가공된 공작물의 기계적 탄성이 이차 가공 영역에 의해 저하되고, 결과적으로 특히 공작물이 견딜 수 있는 최대 굽힘 응력(파괴 굽힘 응력)이 감소한다. 실제 커팅 영역에서 손상이 멀리 떨어질 수록 대체러 덜 현저해진다.

실제 가공 영역에 인접한 영역에서의 재료 가공 효과를 감소시키기 위해, EP 1 945 401 B1로부터 가공될 재료 영역에 일련의 레이저 펄스를 조사하는, 레이저를 이용한 재료 분리 방법이 공지되었다. 이렇게 하는 데에 있어서, 적어도 2개의 연속한 레이저 펄스가 조사되는 영역은 10% 내지 99% 만큼 그 영역 내에서 공간적으로 겹쳐질 수 있다. 공작물을 절단선(kerf)을 따라 절단하는 경우, 분리 공정의 시작시에 초기에는 높은 레이저 에너지를 인가하고 그 후에는 레이저 에너지를 감소시킨다.

또한, 기판을 국부적으로 융용 제거할 수 있는 복수의 펄스를 기판에 가하는, 기판 분리 방법 및 장치가 EP 2 258 512 B1로부터 공지되어 있다. 이렇게 함으로써, 개개의 레이저 펄스가 서로 공간적으로 겹쳐질 수 있는 기판의 내부에 구조적으로 약화된 영역이 형성된다. 그러면, 기판은 약화된 영역에서의 기계적 작용에 의해 분리(파단) 또는 절단될 수 있다.

게다가, US 6 552 301 B2에서는 일련의 레이저 펄스를 공작물 재료에 발사하는 방법을 개시하고 있다. 이 경우, 레이저 펄스는 매우 짧은 펄스 지속 시간과, 공작물 재료를 변경하도록 한계 값을 초과하는 유동 밀도를 갖는다.

마지막으로, WO 2012/006736 A2로부터, 기판에 하나 또는 복수의 레이저 펄스를 조사하여 초기에 제1 필라멘트가 기판에 나타나도록 하는 기판의 분할을 준비하는 방법이 공지되어 있다. 기판과 레이저 간에 상대 이동시킴으로써, 제2의 추가적인 필라멘트가 기판에서의 다른 위치에 생성되어, 그 필라멘트들이 기판을 분할할 패턴을 형성하게 된다.

본 발명은 종래 기술의 단점을 극복하는 공작물의 융삭 방법을 개시한다는 과제에 기초한다. 구체적인 목적은 이차 가공 영역 또는 손상 영역의 형성이 이상적으로 완전히 방지되거나 적어도 감소되는 방법을 제공하는 데에 있다.

이러한 과제는 본 발명에 따른 방법에 의해 해결되며, 이 방법은,

a) 표면 경로를 따라 공작물 표면에 걸쳐 펄스 레이저 비임을 이동시켜 공작물 표면을 전처리하는 단계로서, 펄스 레이저 비임의 연속한 레이저 펄스들이 경로 방향에서 공작물 표면 상에 제1 펄스 오버랩을 갖도록 하는, 전처리 단계; 및

b) 표면 경로를 따라 공작물 표면에 걸쳐 펄스 레이저 비임을 복수 회 이동시킴으로써 전처리된 공작물 표면을 융제하는 단계로서, 펄스 레이저 비임의 연속한 레이저 펄스들이 경로 방향에서 공작물 표면 상에 제1 펄스 오버랩보다 작은 제2 펄스 오버랩을 갖도록 하는, 융제 단계를 포함한다.

본 발명에 따르면, 제 1 단계 a)에서 공작물 표면을 전처리함으로써, 표면 근처의 공작물 영역의 투과도가 예를 들면 강력한 레이저 조사에 의해 공작물 표면을 거칠게 함으로써 감소된다. 표면 근처의 공작물 영역에, 산란 중심점이 생성되어, 제2 단계 b)에서 이젠 보다 낮은 라우트 에너지(route energy)에 의한 레이저 조사가, 공작물 재료의 원하지 않는 손상 또는 수정을 야기할 수 있는 전처리된 공작물 표면 아래에 위치한 투명 공작물 재료 내로 침투, 특히 공작물의 하면까지 멀리 침투하는 것을 방지한다. 이 경우, 라우트 에너지는 레이저 파워를 이송 속도로 나눈 것이다. 특히, 레이저 커팅 중에 투명 공작물 재료에서 손상을 야기하는 반사의 형성이 방지 또는 감소될 수 있어, 공작물의 커팅 영역 또는 그로부터 떨어진 영역에서 공작물의 손상이 발생하지 않거나 단지 감소된 손상만이 발생하게 된다. 또한 공작물의 반대쪽 면에 손상 영역이 형성되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 커팅측의 재가공이 불필요하거나 적어도 최소화된다. 게다가, 안정성, 특히 굽힘 강도가 본 발명에 따른 공작물 커팅 방법에 의해 증가된다.

본 발명에 따른 방법은 어느 정도는 공작물을 국부적으로 전처리하는 제1 단계와, 공작물의 실제 커팅이 이루어지는 제2 단계로 이루어지는 하이브리드 프로세스에 해당한다. 본 발명에 따른 방법에서, 펄스 오버랩을 변화시켜가면서 레이저를 사용함으로써, 공작물 재료는 공작물 표면에서부터 공작물 내로 점점 더 깊이 들어가게 층으로 제거된다. 이렇게 함으로써, 아래와 같이 계산되는 레이저 파라미터 "펄스 오버랩(pulse overlap)"은, 후속 커팅의 윤곽에 따라 공작물의 전처리를 위한 초기의 비교적 높은 값에서부터 공작물 재료를 커팅하기 위한 실질적으로 낮은 값으로 낮춰진다.

여기서, = 펄스 오버랩[%]

v = 이송 속도 [m/s]

f = 레이저 비임의 펄스 주파수[Hz]

d_0f = 초점 직경[m]

이를 위해, 예를 들면, 제1 단계에서 제2 단계로 가면서 레이저 비임의 펄스 주파수는 유지한 채 레이저 비임의 이송 속도를 상승시키거나, 이송 속도를 유지한 채 레이저 비임의 펄스 주파수를 감소시킬 수 있다.

커팅될 공작물은 특히 최대 1 ㎜ 정도의 두께를 갖는 유리, 사파이어 또는 이와 유사한 재료 등의 얇고 투명한 기판을 포함한다. 제1 단계에서 표면 경로를 따라 공작물을 전처리할 때에 레이저 비임의 활성 깊이는 통상 10 ㎛ 내지 20 ㎛이다. 제2 단계에서 홈(절단선)을 형성하도록 전처리된 공작물 표면을 깊게 하는 것이 커팅될 공작물 또는 기판의 나머지 두께에 걸쳐 수행된다. 바람직하게는 피코세컨드 범위의 펄스 지속 시간 또는 펄스 폭을 갖는 레이저가 펄스 레이저 비임을 생성하는 데에 이용된다. 본 발명에 따른 방법은, 특정 파라미터(이송 속도, 펄스 주파수, 초점 직경, 레이저 파워, 횟수 또는 오버무브먼트(overmovement) 등)를 변화시킬 수 있는 제어 프로그램이 이용되는, 펄스 레이저를 갖는 레이서 가공 기계에 의해 수행될 수 있다. 이 경우, 바람직하게는, 레이저 비임은 제1 및 제2 단계에서 동일 레이저에 의해 생성된다.

특히 바람직하게는, 제1 및 제2 단계 각각에서, 레이서 펄스는 공작물 표면에서의 동일한 직경 및 동일한 펄스 파워를 갖는다.

커팅될 공작물 재료 및 그 기하학적 형상에 따라, 공작물을 절단하도록 넓은 트랙 또는 넓은 홈을 생성하는 것이 유리하거나, 필요할 수 있다. 제1 단계 및/또는 제2 단계에서 전처리된 표면 경로를 넓히기 위해, 펄스 레이저 비임은 측방향으로 서로 오프셋되고 횡방향으로 서로 겹쳐진 복수의 표면 경로를 따라 경로 방향으로 공작물 표면에 걸쳐 이동될 수 있다.

바람직하게는, 제1 단계에서, 제1 펄스 오버랩은 90%보다 크고, 특히 95%보다 크며, 제2 단계에서 제2 펄스 오버랩은 70%보다 작고, 특히 50%보다 작다. 따라서, 공작물 표면에서의 동일한 레이저 펄스 파워 및 동일한 레이저 비임 직경에서, 제2 단계에서는 제1 단계에서의 레이저 파워의 대략 절반만큼 공작물에 가해진다.

유리하게는, 제1 단계에서, 레이저 비임은 에너지의 너무 높은 입력 및 이에 따른 공작물에서의 너무 높은 큰 열 또는 열-기계적 응력을 방지하도록 공작물에 걸쳐 많아야 2회 이동한다.

공작물을 절단하기 위해, 제2 단계는 공작물이 표면 경로를 따라 완전히 분할될 수 있거나 기계적 절단법, 특히 스크래칭 공정에 의해 분할될 수 있을 때까지 충분하게 여러 번 반복된다.

그 방법의 특히 바람직한 변형례에서, 제1 및 제2 단계는 완전한 분리 컷을 달성하는 데에 도움을 주도록 공작물의 양면에서 수행되어 양면에 홈(절단선)을 생성한다. 공작물의 일면만을 가공하는 경우와 비교해, 그 방법은 재료 융제를 덜 요하여 공작물의 보다 신속한 절단을 달성할 수 있다. 특히, 공작물의 양면에서의 홈의 폭은 일면만을 가공하는 경우보다 작도록 선택될 수 있다. 공작물의 양면의 가공은 본질적으로 2개의 레이저를 이용하여 동시에 행해질 수 있다. 그러나, 바람직하게는, 제1 및 제2 단계는 먼저 공작물의 한쪽 면에 대해 수행되고 나서 그 반대측의 공작물의 다른쪽 면에 대해 수행된다. 이러한 식으로, 공작물은 단지 하나의 레이저에 의해 그 양면이 가공될 수 있다. 이 경우, 공작물을 특히 신속하게 절단하기 위해, 제1 및 제2 단계는 공작물의 한쪽 면에 대해 공작물 두께의 50%의 홈 깊이에 이르기까지 수행되고, 이어서 공작물을 뒤집은 후에 공작물의 다른쪽 면에서는 두 홈이 분리 컷을 완전히 생성하여 공작물이 절단될 때까지 수행된다.

본 발명의 주제의 다른 이점 및 유리한 실시예는 발명의 상세한 설명, 청구 범위 그리고 도면으로부터 드러날 것이다. 게다가, 전술한 특징은 물론 후술하는 특징들은 그 자체로 또는 임의의 원하는 조합으로 개별적으로 적용될 수 있다. 도시하고 설명하는 실시예는 한정적인 리스트로서 간주될 것이 아니라, 사실상 본 발명의 설명을 위한 예시이다. 도면은 본 발명의 주제를 매우 개략적인 방식으로 도시한 것으로 축척대로 나타낸 것으로 간주하여서는 안 될 것이다.

도 1a 내지 도 1d는 본 발명에 따른 융삭 방법의 개별 단계를 공작물의 단면도로 도시하며,
도 2a 내지 도 2d는 도 1의 방법에서 이용되는 바와 같은 상이한 펄스 오버랩을 갖는 2개의 펄스 시퀀스를 공작물의 평면도로 도시하고,
도 3a 내지 도 3e는 본 발명에 따른 융삭 방법의 변형예의 개별 단계를 공작물의 단면도로 도시한다.

도 1a 내지 도 1d는 펄스 레이저 비임(2)에 의한 광학적으로 투명한 공작물(1)의 본 발명에 따른 융삭의 개별 단계들을 도시하고 있다.

도 1a에 도시한 제1 단계에서, 펄스 레이저 비임(2)은 표면 경로(4)(도 2a 참조)를 따라 공작물 표면(공작물의 상면)(3)에 걸쳐 이동하여, 실제 융제를 위해 전처리한다. 전처리는 예를 들면 레이저 비임(2)에 의해 공작물 표면(3)을 거칠게 함으로써 그 표면 근방의 공작물 영역에서의 투과도를 감소시킨다. 도 2a에 도시한 바와 같이, 제1 단계에서, 펄스 레이저 비임(2)의 연속한 레이저 펄스(2', 2")들은 이들 연속한 레이저 펄스(2', 2")들이 크게 겹쳐지도록 공작물 표면(3) 상에서 경로 방향(5)으로, 예를 들면 95%의 제1 펄스 오버랩(6₁)을 갖는다.

전처리된 표면 경로(4)를 공작물(1)이 절단될 수 있게 하는 경로 폭으로 확장시키기 위해, 펄스 레이저 비임(2)은 공작물 표면(3)에 걸쳐, 복수의 표면 경로(4a 내지 4c)(도 1b 참조)에서 경로 방향(5)에 있어서의 제1 펄스 오버랩(6₁)들이 서로 측방향으로 오프셋 되어, 도 2b에서 도시한 바와 같이 횡방향으로 서로 겹쳐지게(선형 오버랩) 하여 이동한다.

제1 단계에서, 제1 펄스 오버랩(6₁)을 갖는 펄스 레이저 비임(2)은 통상 10 ㎛ 내지 20 ㎛의 깊이(T)에 이르기까지 작용하여, 그 깊이(T)까지 기판 재료를 제거 또는 용융시킨다. 전처리 중에 표면 경로(4)를 따라 공작물(1) 내로 열에너지 입력을 제한하고, 이에 따라 공작물(1)에서의 손상, 특히 크랙을 방지하기 위해, 제2 단계에서 펄스 레이저 비임(2)은 공작물 표면(3) 상의 동일 위치를 2회 이하로 지나간다.

도 1c에 도시한 제2 단계에서, 펄스 레이저 비임(2)을 공작물 표면(3)에 걸쳐 표면 경로(4)를 따라 복수 회 이동시킴으로써 전처리된 공작물 표면(3)의 융제가 이루어진다. 도 2c에 도시한 바와 같이, 제2 단계에서 경로 방향(5)에서 공작물 표면(3)의 펄스 레이저 비임(2)의 연속한 레이저 펄스(2', 2")는 제1 펄스 오버랩(6₁)보다 작은 예를 들면 65%의 제2 펄스 오버랩(6₂)을 갖는다. 제2 펄스 오버랩(6₂)은, 동일한 펄스 주파수로 일정하게 유지하면서 공작물 표면(3)에서의 이송 속도를 제1 단계에서보다 높게 하거나, 이송 속도를 일정하게 유지하면서 펄스 주파수를 제1 단계에서보다 낮게 한다면, 레이저 비임(2)의 동일한 레이저 펄스 파워로 달성할 수 있다.

도 1d에 도시한 바와 같이, 제1 단계와 마찬가지로, 제2 펄스 오버랩(6₂)을 갖는 펄스 레이저 비임(2)은, 도 2d에 도시한 바와 같이 측방향으로 오프셋되어 횡방향으로 서로 겹쳐지는(선형 오버랩) 복수의 표면 경로(4a 내지 4c)에서 경로 방향(5)으로 공작물 표면(3)에 걸쳐 이동한다.

제2 단계는 홈(7)이 공작물 표면(3)에 재료 융제에 의해 처음을 형성되고 나서(도 1d 및 도 2d 참조) 수 백회에 걸쳐 이동한 후에 공작물(1)이 최종적으로 완전히 절단될 때까지 반복된다. 레이저 비임(2)에 의해 완전히 절단하는 것에 대한 대안으로서, 공작물(1)에 아직 홈 저부(8)가 존재하는 상태에서 기계적 절단법, 특히 스크래칭 공정에 의해 완전히 절단할 수도 있다.

제1 단계에서 공작물 표면(3)을 전처리함으로써, 제2 단계에서는 레이저 비임(2)이 전처리된 공작물 표면(3) 아래에 위치한 공작물 재료로 침투하고, 특히 공작물 재료에 대한 원하지 않는 손상 또는 수정을 야기하도록 공작물의 하면까지 진행하는 것을 사실상 피할 수 있다.

도 3a 내지 도 3e에서, 본 발명에 따른 융삭 방법의 변형례의 개별 단계가 도시되어 있다.

먼저, 레이저 비임(2)을 향한 공작물의 제1 면(3a)이 제1 및 제2 단계에 따라, 제1 펄스 오버랩(6₁)을 갖는 펄스 레이저 비임(2)을 표면 경로(4)를 따라 공작물의 제1 면(3a)에 걸쳐 이동시켜 실제 융제를 위한 전처리를 행하고(도 3a 참조), 이어서 제2 펄스 오버랩(6₂)을 갖는 펄스 레이저 비임(2)에 의한 재료 융제에 의해 공작물의 제1 면(3a)에 제1 홈(7a)을 절개함으로써(도 3b 참조) 가공된다.

제1 홈(7a)이 공작물의 두께의 대략 절반까지 공작물(1) 내로 절개된 경우, 공작물(1)을 뒤집는다(도 3c 참조).

이제 레이저 비임(2)을 향하고 있는 공작물의 제2 면(3b)이 제1 및 제2 단계에 따라, 제1 펄스 오버랩(6₁)을 갖는 펄스 레이저 비임(2)을 동일 표면 경로(4)를 따라 공작물의 제2 면(3b)에 걸쳐 이동시켜 실제 융제를 위한 전처리를 행하고(도 3d 참조), 이어서 제2 펄스 오버랩(6₂)을 갖는 펄스 레이저 비임(2)에 의한 재료 융제에 의해 공작물의 제2 면(3b)에 제2 홈(7b)을 절개함으로써 가공된다. 제2 홈(7b)은 완전한 분리 컷(9)이 얻어지도록 충분히 깊게 절개된다(도 3e 참조).

Claims

펄스 레이저 비임(2)에 의해 공작물(1)을 융삭하는 방법에 있어서,
a) 표면 경로(4)를 따라 공작물 표면(3)에 걸쳐 펄스 레이저 비임(2)을 이동시켜 상기 공작물 표면(3)을 전처리하는 단계로서, 상기 펄스 레이저 비임(2)의 연속한 레이저 펄스(2', 2")들이 경로 방향(5)에서 상기 공작물 표면(3) 상에 제1 펄스 오버랩(6₁)을 갖도록 하는, 전처리 단계; 및
b) 상기 표면 경로(4)를 따라 상기 공작물 표면(3)에 걸쳐 상기 펄스 레이저 비임(2)을 복수 회 이동시킴으로써 전처리된 공작물 표면(3)을 융제(ablating)하는 단계로서, 상기 펄스 레이저 비임(2)의 연속한 레이저 펄스(2', 2")들이 상기 경로 방향(5)에서 상기 공작물 표면(3) 상에 제2 펄스 오버랩(6₂)을 갖도록 하는, 융제 단계
를 포함하고,
상기 단계 a) 및 단계 b)에서 상기 레이저 비임(2)은 동일한 레이저에 의해 생성되고, 상기 제2 펄스 오버랩(6₂)은 상기 제1 펄스 오버랩(6₁)보다 작은 것인, 펄스 레이저 비임에 의한 융삭 방법.
제1항에 있어서, 상기 공작물은 투명한 것인 펄스 레이저 비임에 의한 융삭 방법.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 단계 a) 및 b) 각각에서 상기 레이저 펄스(2', 2")들은 상기 공작물 표면(3)에서 동일한 직경 및 동일한 펄스 파워를 갖는 것을 특징으로 하는 펄스 레이저 비임에 의한 융삭 방법.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 단계 a)와 상기 단계 b)에서의 상이한 펄스 오버랩(6₁, 6₂)은 펄스 주파수 및 오버무브먼트 속도(overmovment speed) 중 어느 하나 또는 둘 모두를 변경함으로써 달성되는 것을 특징으로 하는 펄스 레이저 비임에 의한 융삭 방법.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1 펄스 오버랩(6₁)은 90%보다 큰 것을 특징으로 하는 펄스 레이저 비임에 의한 융삭 방법.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제2 펄스 오버랩(6₂)은 70%보다 작은 것을 특징으로 하는 펄스 레이저 비임에 의한 융삭 방법.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 단계 a) 및 단계 b) 중 어느 하나 또는 둘 모두에서, 상기 레이저 비임(2)은 상기 경로 방향(5)에서 서로 측방향으로 오프셋된 복수의 표면 경로(4a 내지 4c)에서 상기 공작물 표면(3)에 걸쳐 이동하는 것을 특징으로 하는 펄스 레이저 비임에 의한 융삭 방법.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 단계 a)에서, 상기 레이저 비임(2)은 2회 이하로 공작물 표면(3a)에 걸쳐 이동하는 것을 특징으로 하는 펄스 레이저 비임에 의한 융삭 방법.
삭제
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 단계 a)에서 공작물 표면(3a)의 전처리는 상기 표면 근처에서의 공작물 영역의 투과도를 감소시키는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 펄스 레이저 비임에 의한 융삭 방법.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 단계 b)는 상기 공작물(1)이 상기 표면 경로(4)를 따라 완전히 분할될 때까지 충분하게 여러 번 반복되는 것을 특징으로 하는 펄스 레이저 비임에 의한 융삭 방법.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 공작물(1)은 융제된 표면 경로(4)에서 기계적 절단법에 의해 완전히 분할되는 것을 특징으로 하는 펄스 레이저 비임에 의한 융삭 방법.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 단계 a) 및 b)는 동일 표면 경로(4)를 따라 상기 공작물(1)의 양면(3a, 3b)에서 수행되는 것을 특징으로 하는 펄스 레이저 비임에 의한 융삭 방법.
제13항에 있어서, 상기 단계 a) 및 b)는 먼저 공작물(1)의 한쪽 면(3)에 대해 수행되고 나서 그 반대쪽의 다른쪽 면(3b)에 대해 수행하는 것을 특징으로 하는 펄스 레이저 비임에 의한 융삭 방법.