KR101856653B1 - Module for using the pressure of air masses to fix the mask - Google Patents
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Abstract
본 발명은 소정의 패턴이 형성된 마스크를 리페어하는 과정에서 마스크가 떨리지 않도록 안정화시키는 기압을 이용한 마스크 고정모듈에 관한 것으로서, 메인플레이트와, 연결포트부를 포함한다. 메인플레이트는 마스크와 마주보게 배치되고, 레이저빔이 통과하는 관통홀을 구비한다. 연결포트부는 메인플레이트에 결합되고, 양압을 제공받는 배기포트와 음압을 제공받는 흡기포트를 각각 구비한다. 마스크와 마주보는 메인플레이트의 하면에는, 관통홀에서 제1거리만큼 이격되고 배기포트와 연결되어 마스크를 향해 공기를 분사하는 제1배기홀과, 관통홀에서 제1거리보다 먼 제2거리만큼 이격되고 배기포트와 연결되어 마스크를 향해 공기를 분사하는 제2배기홀과, 제1배기홀과 제2배기홀 사이에서 흡기포트와 연결되어 제1배기홀에서 분사된 공기를 흡입하는 흡기홀이 각각 형성된다. 공기가 마스크와 메인플레이트 사이에서 순환되면서 기단(air mass)을 형성하며, 기단의 압력에 의해 마스크가 스테이지에 압박되어 고정된다.The present invention relates to a mask fixing module using a pressure to stabilize a mask so that the mask is not vibrated in the process of repairing a mask having a predetermined pattern, and includes a main plate and a connection port portion. The main plate is disposed to face the mask and has a through hole through which the laser beam passes. The connection port portion is coupled to the main plate, and has an exhaust port provided with a positive pressure and an intake port provided with a negative pressure, respectively. A lower surface of the main plate facing the mask is provided with a first exhaust hole spaced apart from the through hole by a first distance and connected to the exhaust port to inject air toward the mask and a second exhaust hole spaced apart from the through hole by a second distance A second exhaust hole connected to the exhaust port to inject air toward the mask, and an intake hole connected to the intake port between the first exhaust hole and the second exhaust hole for sucking air injected from the first exhaust hole, . Air is circulated between the mask and the main plate to form an air mass and the mask is pressed and fixed to the stage by the pressure of the base end.
Description
본 발명은 기압을 이용한 마스크 고정모듈에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 소정의 패턴이 형성된 마스크를 리페어하는 과정에서 마스크가 떨리지 않도록 안정화시키는 기압을 이용한 마스크 고정모듈에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE
최근 반도체에 대한 연구는 대용량 데이터를 단시간 내에 처리하기 위하여 고집적 및 고성능을 추구하는 방향으로 진행되고 있다. 또한, 평판 디스플레이에 대한 연구도 고해상도를 추구하는 방향으로 진행되고 있다.Recent researches on semiconductors are proceeding toward high integration and high performance in order to process large volume data in a short time. In addition, research on flat panel displays is proceeding in the direction of pursuing high resolution.
반도체 및 평판 디스플레이를 제조하기 위해 박막 형성, 패턴 형성, 금속 배선 형성 등과 같은 일련의 단위공정들이 수행된다. 패턴 형성 공정에는 사진 식각 공정이 포함되며, 사진 식각 공정은 세정 공정, 표면 처리 공정, 포토 레지스트 막 형성 공정, 정렬/노광 공정, 현상 공정, 및 검사 공정 등의 일련의 과정을 포함하고 있다.A series of unit processes such as thin film formation, pattern formation, metal wiring formation and the like are performed to manufacture semiconductor and flat panel displays. The pattern forming process includes a photolithography process, and the photolithography process includes a series of processes such as a cleaning process, a surface treatment process, a photoresist film forming process, an alignment / exposure process, a development process, and an inspection process.
이와 같은 일련의 단위공정을 수행함에 있어서, 공조 설비(클린룸)가 필수적이다. 공조 설비는 실내 공기 중의 부유입자, 공기의 온ㆍ습도 및 실내 압력 등이 일정하게 유지되도록 실내의 공기를 외부와 순환시키는 기능을 한다.In carrying out such a series of unit processes, an air conditioner (clean room) is essential. The air conditioning system functions to circulate air in the room to the outside so that the suspended particles in the room air, the temperature and humidity of the air, and the room pressure are kept constant.
한편, 패턴 형성 공정을 수행하는 과정에서 정확한 패턴 형성을 위해서는 패턴의 원판에 해당하는 마스크의 사용이 필수적이다. 패턴 형성 과정에서 마스크에는 여러가지 이유로 인해 이물질(파티클, 유기물, 포토 레지스트 잔류물, 레이저 가공 부산물 등)이 남게 되는데, 이물질이 마스크에 묻어 있는 상태에서 패턴을 형성하게 되면, 소자나 배선이 정상적으로 형성되지 못하여 반도체 및 평판 디스플레이의 불량을 초래하게 된다.On the other hand, in order to form an accurate pattern in the course of performing the pattern formation process, it is essential to use a mask corresponding to the pattern plate. In the pattern formation process, foreign materials (particles, organic substances, photoresist residues, laser processing byproducts, etc.) are left in the mask for various reasons. When a pattern is formed in a state where a foreign substance is present on the mask, Resulting in poor semiconductor and flat panel displays.
따라서, 마스크에 존재하는 이물질을 제거하기 위해 일반적으로 소정의 반응 기체를 마스크에 분사한 후, 이물질에 레이저를 조사하여 이물질을 제거하는 마스크 리페어 공정이 수행된다.Therefore, in order to remove foreign matters existing in the mask, a predetermined reactive gas is sprayed onto the mask, and then a laser beam is applied to the foreign substance to perform a mask repair process for removing the foreign substance.
그러나 마스크의 두께가 마이크로미터 단위로 매우 얇아 상기 공조 설비에 의해 발생되는 공기의 흐름(풍속)에 의해 마스크의 가장자리 영역에 흔들림이 발생되고, 이로 인해 패턴의 불량을 판단하기 어렵고 레이저 초점을 맞추기 힘들기 때문에 레이저 가공이 사실상 불가능하였다.However, since the thickness of the mask is very small in terms of micrometers, the edges of the mask are shaken by the flow of air (wind speed) generated by the air conditioning equipment, and it is difficult to determine the defects of the pattern, Laser processing was virtually impossible.
임시방편으로 마스크의 리페어 공정을 수행하기 전에 공조 설비의 출력을 줄여 실내 풍속을 낮추고 있기는 하나, 공기의 흐름량 감소로 실내 공기의 청정도가 낮아져 부유입자가 마스크에 유입됨으로써, 이후 식각/노광 공정에서의 불량율이 높아질 수밖에 없었다.Although the air velocity is lowered by reducing the output of the air conditioning equipment before the repair process of the mask is performed by temporary measures, the cleanliness of the room air is lowered due to the decrease of the air flow amount, and the suspended particles are introduced into the mask, The defective rate was forced to increase.
따라서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 공조 설비에 의해 발생하는 공기의 흐름에 영향을 받지 않고 마스크의 패턴을 안정적으로 리페어할 수 있는 기압을 이용한 마스크 고정모듈을 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a mask fixing apparatus and a mask fixing method capable of stably repairing a pattern of a mask, Module.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 기압을 이용한 마스크 고정모듈은, 소정의 패턴이 형성된 마스크를 스테이지 상에 탑재하여 레이저빔으로 제거하는 마스크 리페어 장치에 사용되고, 상기 마스크와 마주보게 배치되고, 상기 레이저빔이 통과하는 관통홀을 구비하는 메인플레이트; 및 상기 메인플레이트에 결합되고, 양압을 제공받는 배기포트와 음압을 제공받는 흡기포트를 각각 구비하는 연결포트부;를 포함하며, 상기 마스크와 마주보는 메인플레이트의 하면에는, 상기 관통홀에서 제1거리만큼 이격되고 상기 배기포트와 연결되어 상기 마스크를 향해 공기를 분사하는 제1배기홀과, 상기 관통홀에서 상기 제1거리보다 먼 제2거리만큼 이격되고 상기 배기포트와 연결되어 상기 마스크를 향해 공기를 분사하는 제2배기홀과, 상기 제1배기홀과 상기 제2배기홀 사이에서 상기 흡기포트와 연결되어 상기 제1배기홀에서 분사된 공기를 흡입하는 흡기홀이 각각 형성되고, 상기 공기가 상기 마스크와 상기 메인플레이트 사이에서 순환되면서 기단(air mass)을 형성하며, 상기 기단의 압력에 의해 상기 마스크가 상기 스테이지에 압박되어 고정되는 것을 특징으로 한다.In order to accomplish the above object, the present invention provides a mask fixing module using atmospheric pressure, which is used in a mask repair apparatus for mounting a mask having a predetermined pattern on a stage and removing the mask with a laser beam, A main plate having a through hole through which the laser beam passes; And a connection port portion coupled to the main plate, the connection port portion having an exhaust port provided with a positive pressure and an intake port provided with a negative pressure, wherein a bottom surface of the main plate facing the mask is provided with a first A first exhaust hole spaced apart from the exhaust port and connected to the exhaust port to emit air toward the mask; a second exhaust hole spaced apart from the through hole by a second distance away from the first port and connected to the exhaust port, A second exhaust hole for injecting air and an intake hole connected to the intake port and sucking air injected from the first exhaust hole are formed between the first exhaust hole and the second exhaust hole, Is formed between the mask and the main plate to form an air mass and the mask is pressed against the stage by the pressure of the base end, .
본 발명의 기압을 이용한 마스크 고정모듈에 있어서, 상기 기단은, 상기 제1배기홀에서 분사된 공기 중 일부가 상기 흡기홀에 1차적으로 흡입되고, 나머지가 상기 제2배기홀에서 분사된 공기에 의해 형성된 공기벽(air curtain)에 가로막혀 상기 흡기홀에 2차적으로 흡입되면서 형성될 수 있다.In the mask fixing module using the atmospheric pressure according to the present invention, the base end may be formed such that a part of the air injected from the first exhaust hole is primarily sucked into the intake hole and the remainder is sucked into the air injected from the second exhaust hole And is sucked into the air intake hole to be secondarily sucked into the air hole.
본 발명의 기압을 이용한 마스크 고정모듈에 있어서, 상기 제2배기홀은, 상기 관통홀을 중심으로 일정반경을 갖는 단일의 폐곡선을 따라 형성되고, 상기 공기벽은, 상기 기단의 둘레를 따라 빈틈없이 형성될 수 있다.In the mask fixing module using the atmospheric pressure of the present invention, the second exhaust hole is formed along a single closed curve having a certain radius around the through hole, and the air wall is formed along the circumference of the base end .
본 발명의 기압을 이용한 마스크 고정모듈에 있어서, 상기 관통홀에 결합되어 상기 관통홀을 차폐하고, 상기 레이지빔이 통과되도록 광 투과성 재질로 구성되는 커버부재;를 더 포함할 수 있다.The mask fixing module using the atmospheric pressure of the present invention may further include a cover member coupled to the through hole, shielding the through hole, and a cover member made of a light transmitting material to allow the ray beam to pass therethrough.
본 발명의 기압을 이용한 마스크 고정모듈에 있어서, 상기 커버부재는, 상기 커버부재의 외측부가 상기 마스크를 향해 연장되어 외측으로 확장된 걸림턱부를 구비하고, 상기 메인플레이트는, 상기 관통홀을 중심으로 상기 메인플레이트의 상면이 함몰되어 형성된 결합홈과, 상기 결합홈의 바닥면에서 상기 걸림턱부 사이의 내부공간을 향해 돌출된 가고정리브를 구비하며, 상기 걸림턱부에 걸리도록 상기 커버부재에 삽입되어 상기 결합홈에 안착고정되는 고정캡;을 더 포함할 수 있다.In the mask fixing module using the atmospheric pressure according to the present invention, the cover member may have a latching portion whose outer side portion of the cover member extends toward the mask and extends outward, and the main plate has a through- The main plate includes an engaging groove formed by recessing the upper surface of the main plate and a tapering rib protruding from the bottom surface of the engaging groove toward the inner space between the engaging jaws and inserted into the cover member to be caught by the engaging jaw And a fixing cap fixedly seated in the coupling groove.
본 발명의 기압을 이용한 마스크 고정모듈에 있어서, 상기 메인플레이트는, 상기 마스크로부터 3mm ~ 7mm의 거리에 이격되어 배치될 수 있다.In the mask fixing module using the atmospheric pressure of the present invention, the main plate may be disposed at a distance of 3 mm to 7 mm from the mask.
본 발명의 기압을 이용한 마스크 고정모듈에 있어서, 상기 메인플레이트의 내부에는 상기 배기포트와 상기 제1배기홀을 연결하는 제1배기유로와, 상기 흡기포트와 상기 흡기홀을 연결하는 흡기유로가 각각 구비되고, 상기 메인플레이트는, 상기 배기포트와 상기 제1배기유로가 만나는 제1경계부와 상기 흡기홀과 상기 흡기유로가 만나는 제2경계부를 연결하는 가상의 제1경계선을 따라 두 개로 분할되어 형성된 제1플레이트와 제2플레이트를 구비하며, 상기 제1플레이트와 상기 제2플레이트가 체결부재를 매개로 상호 결합될 수 있다.In the mask fixing module using the atmospheric pressure of the present invention, a first exhaust passage for connecting the exhaust port to the first exhaust hole and an intake passage for connecting the intake port to the intake hole are provided in the main plate, And the main plate is divided into two portions along a virtual first boundary line connecting a first boundary portion where the exhaust port and the first exhaust flow path meet and a second boundary portion where the intake hole and the intake flow path meet, And a first plate and a second plate, wherein the first plate and the second plate can be coupled to each other through a fastening member.
본 발명의 기압을 이용한 마스크 고정모듈에 있어서, 상기 메인플레이트의 내부에는 상기 배기포트와 상기 제2배기홀을 연결하는 제2배기유로가 구비되고, 상기 메인플레이트는, 상기 제2배기홀과 상기 제2배기유로가 만나는 제3경계부를 지나는 가상의 제2경계선을 따라 두 개로 분할되어 형성된 제3플레이트와 제4플레이트를 구비하며, 상기 제3플레이트와 상기 제4플레이트가 체결부재를 매개로 상호 결합될 수 있다.In the mask fixing module using the atmospheric pressure according to the present invention, a second exhaust passage for connecting the exhaust port and the second exhaust hole is provided in the main plate, and the main plate is provided with the second exhaust hole, And a third plate and a fourth plate which are divided into two parts along a virtual second boundary line passing through a third boundary where the second exhaust passage meets each other, Can be combined.
본 발명의 기압을 이용한 마스크 고정모듈에 따르면, 공조 설비에 의한 공기 흐름으로 인해 떨리는 마스크를 기단으로 눌러 마스크의 흔들림을 감소시킬 수 있다.According to the mask fixing module using the atmospheric pressure of the present invention, the shaking of the mask can be reduced by pushing the shaking mask to the base end due to the air flow by the air conditioning equipment.
또한, 본 발명의 기압을 이용한 마스크 고정모듈에 따르면, 풍속의 영향을 받지 않고 안정적이고 정밀하게 마스크의 패턴을 리페어할 수 있고, 공조 설비의 출력을 낮출 필요없이 공기 청정도를 그대로 유지하면서 이후 공정들에서 발생될 수 있는 부유입자들에 의한 제품 불량을 방지할 수 있다.According to the mask fixing module using the atmospheric pressure of the present invention, it is possible to repair the pattern of the mask stably and precisely without being affected by the wind speed, and to maintain the air cleanliness without any need to lower the output of the air- It is possible to prevent the product defects due to the suspended particles that may be generated in the process.
또한, 본 발명의 기압을 이용한 마스크 고정모듈에 따르면, 커버부재를 통해 기단의 압력을 일정수준으로 유지할 수 있다.Further, according to the mask fixing module using the atmospheric pressure of the present invention, the pressure at the base end can be maintained at a constant level through the cover member.
또한, 본 발명의 기압을 이용한 마스크 고정모듈에 따르면, 커버부재를 메인플레이트에 간편하게 고정시킬 수 있다.Further, according to the mask fixing module using the atmospheric pressure of the present invention, the cover member can be easily fixed to the main plate.
또한, 본 발명의 기압을 이용한 마스크 고정모듈에 따르면, 기단에 의해 마스크가 손상되거나 마스크를 압박하는 기단의 압력이 저하되는 것을 방지할 수 있다.Further, according to the mask fixing module using the atmospheric pressure of the present invention, it is possible to prevent the pressure of the base end which damages the mask or presses the mask by the base end from being lowered.
또한, 본 발명의 기압을 이용한 마스크 고정모듈에 따르면, 내부 구조가 복잡한 메인플레이트를 쉽게 제작할 수 있다.Further, according to the mask fixing module using the atmospheric pressure of the present invention, a main plate having a complicated internal structure can be easily manufactured.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기압을 이용한 마스크 고정모듈을 이용하여 마스크 리페어 공정을 수행하는 것을 개략적으로 나타낸 도면이고,
도 2는 도 1의 마스크 리페어 공정 과정에서 마스크의 가장자리 영역이 떨리지 않고 안정화되는 것을 나타낸 도면이고,
도 3은 도 1의 기압을 이용한 마스크 고정모듈을 나타낸 사시도이고,
도 4는 도 1의 기압을 이용한 마스크 고정모듈의 저면도이고,
도 5는 도 4의 V-V'선에 따른 단면도이고,
도 6은 도 1의 기압을 이용한 마스크 고정모듈에 구성된 고정캡을 분해하여 나타낸 사시도이고,
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기압을 이용한 마스크 고정모듈에서 메인플레이트가 분할되는 구조를 설명하기 위한 도면이고,
도 8은 도 7의 기압을 이용한 마스크 고정모듈의 변형례를 나타낸 도면이다.FIG. 1 is a schematic view illustrating a mask repair process performed using a mask fixing module using air pressure according to an embodiment of the present invention, and FIG.
FIG. 2 is a view showing that the edge region of the mask is stabilized without shaking in the mask repair process of FIG. 1,
FIG. 3 is a perspective view of a mask fixing module using the air pressure of FIG. 1,
FIG. 4 is a bottom view of the mask fixing module using the air pressure of FIG. 1,
5 is a cross-sectional view taken along line V-V 'of FIG. 4,
FIG. 6 is a perspective view of the fixed cap constructed in the mask fixing module using the air pressure shown in FIG. 1,
7 is a view for explaining a structure in which a main plate is divided in a mask fixing module using atmospheric pressure according to another embodiment of the present invention,
8 is a view showing a modification of the mask fixing module using the air pressure shown in Fig.
이하, 본 발명에 따른 기압을 이용한 마스크 고정모듈의 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the mask fixing module using the atmospheric pressure according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기압을 이용한 마스크 고정모듈을 이용하여 마스크 리페어 공정을 수행하는 것을 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 2는 도 1의 마스크 리페어 공정 과정에서 마스크의 가장자리 영역이 떨리지 않고 안정화되는 것을 나타낸 도면이고, 도 3은 도 1의 기압을 이용한 마스크 고정모듈을 나타낸 사시도이고, 도 4는 도 1의 기압을 이용한 마스크 고정모듈의 저면도이고, 도 5는 도 4의 A-A'선에 따른 단면도이고, 도 6은 도 1의 기압을 이용한 마스크 고정모듈에 구성된 고정캡을 분해하여 나타낸 사시도이다.FIG. 1 is a schematic view illustrating a mask repairing process using a mask fixing module using atmospheric pressure according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a cross- FIG. 4 is a bottom view of the mask fixing module using the air pressure of FIG. 1, and FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line A- A 'of FIG. 1, and FIG. 6 is a perspective view of the fixed cap constructed in the mask fixing module using the air pressure of FIG.
도 1 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기압을 이용한 마스크 고정모듈(1)은 소정의 패턴(P)이 형성된 마스크(M)를 스테이지(S) 상에 탑재하여 레이저빔(LB)으로 제거하는 마스크 리페어 장치에 사용되는 장치로서, 마스크(M)를 리페어하는 과정에서 마스크(M)가 떨리지 않도록 안정화시키기 위해 사용되며, 메인플레이트(100)와 연결포트부(200)를 포함한다.1 to 6, a
상기 메인플레이트(100)는 도 1에 도시된 바와 같이 스테이지(S) 상에 탑재된 마스크(M)와 마주보게 배치되고, 레이저빔(LB)이 통과하는 관통홀(101)을 구비한다. 메인플레이트(100)는 플라스틱, 금속 등과 같이 충분한 강도를 가지면서 가공이 용이한 재질로 제작된다.1, the
메인플레이트(100)는 레이저빔(LB)을 조사하는 레이저조사부(30)와 마스크(M) 사이에 배치되어 별도로 지지될 수 있으나, 레이저조사부(30)의 위치 및 각도를 조절하는 액츄에이터(미도시)에 일체로 결합되어 레이저빔(LB)의 광축 상에 상시 정렬되어 있는 것이 설비 절감 측면에서 바람직하다.The
메인플레이트(100)와 마스크(M) 사이의 거리(L)는 3mm ~ 7mm 정도로 떨어져 있는 것이 바람직하다. 왜냐하면, 메인플레이트(100)가 마스크(M)에서 3mm보다 가깝게 배치되면 후술되는 기단(air mass, AM)이 형성될 수 있는 공간이 협소해지고, 마이크로미터 단위의 얇은 박막 형태의 마스크(M)가 기단(AM)의 압력에 의해 찢어져 손상될 수 있으며, 메인플레이트(100)가 마스크(M)에서 7mm보다 멀리 배치되면 기단(AM)의 압력이 감소되어 마스크(M)를 압박하는 효과가 떨어질 수 있기 때문이다.The distance L between the
상기 연결포트부(200)는 도 3에 도시된 바와 같이 메인플레이트(100)에 결합되고, 양압을 제공받는 배기포트(210)와 음압을 제공받는 흡기포트(220)를 각각 구비한다. 도시되지는 않았지만, 배기포트(210)와 흡기포트(220)는 양압과 음압을 제공하는 복수의 공압라인에 연결된다.3, the
마스크(M)와 마주보는 메인플레이트(100)의 하면에는, 도 4 또는 도 5에 도시된 바와 같이 관통홀(101)에서 제1거리(L1)만큼 이격되고 배기포트(210)와 연결되어 마스크(M)를 향해 공기(A)를 분사하는 제1배기홀(102)과, 관통홀(101)에서 제1거리(L1)보다 먼 제2거리(L2)만큼 이격되고 배기포트(210)와 연결되어 마스크(M)를 향해 공기(A3)를 분사하여 공기벽(C)을 형성하는 제2배기홀(103)과, 제1배기홀(102)과 제2배기홀(103) 사이에서 흡기포트(220)와 연결되어 제1배기홀(102)에서 분사된 공기(A)를 흡입하는 흡기홀(106)이 각각 형성된다.4 or 5, the
본 실시예에서, 제1배기홀(102)은 관통홀(101)과 인접한 위치에 하나만 마련되고, 흡기홀(106)은 제1배기홀(102)에서 분사된 공기(A)가 분산되어 흡입되도록 제1배기홀(102)의 둘레를 따라 원형으로 배열되고 서로 이격되어 2열 형태를 이룬다. 특히, 제2배기홀(103)은 공기벽(air curtain, C)이 기단(AM)의 둘레를 따라 빈틈없이 형성되도록 관통홀(101)을 중심으로 일정반경을 갖는 단일의 폐곡선(미도시)을 따라 형성되는 것이 바람직하다. 이와 같은 제1, 2배기홀(102, 103) 및 흡기홀(106)의 배치 구조는 공기(A)의 안정적인 흐름을 형성한다는 데에 설계적 의의가 있다.In the present embodiment, only one of the
제1배기홀(102)에서 분사된 공기(A) 중 일부(A1)가 흡기홀(106)에 1차적으로 흡입되고, 나머지(A2)가 제2배기홀(103)에서 분사된 공기(A3)에 의해 형성된 공기벽(air curtain, C)에 가로막혀 흡기홀(106)에 2차적으로 흡입되면서 기단(air mass, AM)이 형성된다.A part A1 of the air A injected from the
이와 같이 공기(A)가 마스크(M)와 메인플레이트(100) 사이에서 순환되면서 기단(AM)을 형성하며, 기단(AM)이 가지는 압력에 의해 도 2에 도시된 바와 같이 마스크(M)가 스테이지(S)에 압박되어 고정될 수 있다.The air A is circulated between the mask M and the
만약, 제2배기홀(103)에 의해 공기벽(C)이 형성되지 않으면, 제1배기홀(102)에서 분사된 공기(A)가 내부 경로를 따라 순환되지 못하고, 외부로 새나가게 된다. 이렇게 되면, 기단(AM)의 압력을 일정수준 이상 유지하기 위해 배기포트(210) 및 흡기포트(220)에 제공되는 양압과 음압의 세기를 더 높여야 함은 물론, 제1배기홀(102)에서 분사된 공기(A)가 외부로 새나가면서 또 다른 공기 흐름이 생겨 마스크(M)에 떨림을 발생시킨다. 따라서, 본 실시예와 같이 제2배기홀(103)을 이용하여 공기벽(C)을 형성시키는 것이 바람직하다.If the air wall C is not formed by the
배경기술에서 기술한 바와 같이, 공조 설비(클린룸)에 의해 발생되는 공기의 흐름, 즉 풍속(다운 플로우라고도 함, DF)에 의해 도 2의 좌측에 도시된 바와 같이 박막 형태의 마스크(M)에 흔들림이 발생한다. 특히 마스크(M)의 가장자리 영역(M0)이 마치 깃발이 바람에 펄럭거리듯이 흔들림이 심하게 발생하기 때문에 마스크(M)에 형성된 패턴의 위치 인식, 불량 여부 판단 및 레이저빔(LB)의 초점 정렬이 어려워 공정 수행이 불가능하였다. 따라서, 마스크(M)의 불량율이 높아지더라도 일단 공조 설비를 출력을 줄여 마스크(M)의 리페어 공정을 수행하였다.As described in the background art, by the air flow generated by the air conditioning facility (clean room), that is, by the wind speed (also referred to as down flow, DF) . Particularly, since the edge area M0 of the mask M is severely wobbled like a flag flapping in the wind, it is possible to recognize the position of the pattern formed on the mask M, determine whether the pattern is defective, and focus alignment of the laser beam LB It was difficult to carry out the process. Therefore, even if the defect rate of the mask M becomes high, the repair process of the mask M is performed by reducing the output of the air conditioning equipment once.
이에 반해, 본 실시예에 따른 기압을 이용한 마스크 고정모듈은 도 2의 우측에 도시된 바와 같이 공조 설비에 의한 공기 흐름(다운 플로우)으로 인해 떨리는 마스크(M)를 기단(AM)으로 눌러 마스크(M)의 흔들림을 감소시킨다. 이를 통해, 풍속(DF)의 영향을 받지 않고 안정적이고 정밀하게 마스크(M)의 패턴(P)을 리페어할 수 있고, 공조 설비의 출력을 낮출 필요없이 실내의 공기 청정도를 그대로 유지하면서 이후 공정들에서 발생될 수 있는 부유입자들에 의한 제품 불량을 방지할 수 있다.On the other hand, the mask fixing module using the atmospheric pressure according to the present embodiment presses the mask M vibrating due to the air flow (downflow) by the air conditioning equipment to the base AM as shown in the right side of FIG. M). This makes it possible to repair the pattern P of the mask M stably and precisely without being affected by the wind speed DF and to maintain the air cleanliness of the room without lowering the output of the air- It is possible to prevent the product defects due to the suspended particles that may be generated in the process.
한편, 본 실시예에 따른 기압을 이용한 마스크 고정모듈은 기단(AM)의 압력이 저하되는 것을 방지하기 위해 커버부재(300)와 고정캡(400)을 더 포함할 수 있다.Meanwhile, the mask fixing module using the atmospheric pressure according to the present embodiment may further include a
도 1 또는 도 6을 참조하면, 상기 커버부재(300)는 메인플레이트(100)의 관통홀(101)에 결합되어 관통홀(101)을 차폐하고, 레이저빔(LB)이 통과되도록 광 투과성 재질로 구성된다. 대표적으로 유리일 수 있다. 커버부재(300)는 기단(AM)을 형성하는 공기(A)가 관통홀(101)을 통해 외부로 빠져나가는 것을 차단하여 기단(AM)의 압력이 일정수준을 유지시킨다.1 or 6, the
이때, 커버부재(300)를 메인플레이트(100)에 쉽게 조립할 수 있도록 다음과 같이 구성될 수 있다. 커버부재(300)는 외측부가 마스크(M)를 향해 연장되어 외측으로 확장된 걸림턱부(310)를 구비하고, 메인플레이트(100)는 관통홀(101)을 중심으로 메인플레이트(100)의 상면이 함몰되어 형성된 결합홈(104)과, 결합홈(104)의 바닥면에서 걸림턱부(310) 사이의 내부공간을 향해 돌출된 가고정리브(105)를 구비할 수 있다.At this time, the
상기 고정캡(400)은 걸림턱부(310)에 걸리도록 커버부재(300)에 삽입되어 결합홈(104)에 안착고정된다. 고정캡(400)은 다수의 체결부재(미도시)에 의해 메인플레이트(100)에 결합되며, 커버부재(300)가 메인플레이트(100)에서 이탈되지 않도록 고정시킨다. 즉, 커버부재(300)가 가고정리브(105)에 의해 결합 위치가 안내되어 제 위치로 정렬됨으로써, 커버부재(300)를 고정캡(400)으로 간편하게 고정시킬 수 있다.The fixed
지금부터는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기압을 이용한 마스크 고정모듈(2)에 대하여 설명한다. 본 발명의 다른 실시예에 따른 기압을 이용한 마스크 고정모듈(2)에 대하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기압을 이용한 마스크 고정모듈(1)과 동일한 구성은 동일한 도면 부호를 부여하고, 이에 대한 설명은 생략한다.Hereinafter, the
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기압을 이용한 마스크 고정모듈에서 메인플레이트가 분할되는 구조를 설명하기 위한 도면이고, 도 8은 도 7의 기압을 이용한 마스크 고정모듈의 변형례를 나타낸 도면이다.7 is a view for explaining a structure in which a main plate is divided in a mask fixing module using atmospheric pressure according to another embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a view showing a modification of the mask fixing module using the atmospheric pressure .
도 7을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 기압을 이용한 마스크 고정모듈(2)은 메인플레이트(100)의 내부에 배기포트(210)와 제1배기홀(102)을 연결하는 제1배기유로(151)와, 흡기포트(220)와 흡기홀(106)을 연결하는 흡기유로(153)를 각각 구비한다.7, the
메인플레이트(100)는 배기포트(210)와 제1배기유로(151)가 만나는 제1경계부(B1)와, 흡기홀(106)과 흡기유로(153)가 만나는 제2경계부(B2)를 연결하는 가상의 제1경계선(Lf1)을 따라 두 개로 분할되어 형성된 제1플레이트(110)와 제2플레이트(120)를 구비하며, 제1플레이트(110)와 제2플레이트(120)가 체결부재(T)를 매개로 상호 결합된다.The
이와 같은 메인플레이트(100)의 분할 구조는 제작 편의성을 높이기 위한 것으로서, 메인플레이트(100)의 내부에 형성되는 다수의 홀과 유로를 동시에 가공하기 어렵기 때문에, 두 개로 분할된 메인플레이트(100) 중 하나에는 다수의 홀을 가공하고, 다른 하나에는 유로를 가공하며, 이 둘을 조립하여 내부 구조가 복잡한 메인플레이트(100)를 쉽게 제작할 수 있다.The divided structure of the
이와 같은 맥락으로서, 도 8에 도시된 바와 같이 메인플레이트(100)의 내부에 배기포트(210)와 제2배기홀(103)을 연결하는 제2배기유로(152)가 구비될 수 있고, 메인플레이트(100)는 제2배기홀(103)과 제2배기유로(152)가 만나는 제3경계부(B3)를 지나는 가상의 제2경계선(Lf2)을 따라 두 개로 분할되어 형성된 제3플레이트(130)와 제4플레이트(140)를 구비하며, 제3플레이트(130)와 제4플레이트(140)가 체결부재(T)를 매개로 상호 결합될 수도 있다.8, a
상술한 바와 같이 구성된 본 발명의 기압을 이용한 마스크 고정모듈은, 공조 설비에 의한 공기 흐름으로 인해 떨리는 마스크를 기단으로 눌러 마스크의 흔들림을 감소시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다.The mask fixing module using the atmospheric pressure according to the present invention configured as described above can obtain the effect of reducing the shaking of the mask by pressing the shaking mask against the base due to the air flow caused by the air conditioning equipment.
또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 발명의 기압을 이용한 마스크 고정모듈은, 풍속의 영향을 받지 않고 안정적이고 정밀하게 마스크의 패턴을 리페어할 수 있고, 공조 설비의 출력을 낮출 필요도 없으므로 이후 공정들에서 발생될 수 있는 부유입자들에 의한 제품 불량을 방지할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.The mask fixing module using the atmospheric pressure of the present invention constructed as described above can repair the pattern of the mask stably and precisely without being affected by the wind speed and does not need to lower the output of the air conditioning equipment. It is possible to prevent the product failure due to the floating particles that can be generated.
또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 발명의 기압을 이용한 마스크 고정모듈은, 커버부재를 통해 기단의 압력을 일정수준으로 유지할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.In addition, the mask fixing module using the atmospheric pressure of the present invention configured as described above can obtain the effect that the pressure at the base end can be maintained at a constant level through the cover member.
또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 발명의 기압을 이용한 마스크 고정모듈은, 커버부재의 결합 위치가 가고정리브에 의해 안내/정렬되고, 고정캡이 커버부재의 걸림턱부에 걸려 고정됨으로써, 커버부재를 메인플레이트에 간편하게 고정시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다.Further, in the mask fixing module using air pressure according to the present invention constructed as described above, the engagement position of the cover member is guided / aligned by the guide ribs, and the fixing cap is caught and fixed to the latching jaw portion of the cover member, The effect of being easily fixed to the main plate can be obtained.
또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 발명의 기압을 이용한 마스크 고정모듈은, 메인플레이트가 마스크로부터 3mm ~ 7mm의 거리에 이격되어 배치됨으로써, 마스크가 손상되거나 마스크를 압박하는 힘이 저하되는 것을 방지할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.In addition, in the mask fixing module using the atmospheric pressure of the present invention constructed as described above, since the main plate is disposed at a distance of 3 mm to 7 mm from the mask, it is possible to prevent the mask from being damaged or the force The effect can be obtained.
또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 발명의 기압을 이용한 마스크 고정모듈은, 메인플레이트를 두 개로 분할하고, 분할된 메인플레이트 중 하나에는 다수의 홀을 가공하고, 다른 하나에는 유로를 가공하며, 이 둘을 조립하여 내부 구조가 복잡한 메인플레이트를 쉽게 제작할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.Further, in the mask fixing module using the atmospheric pressure of the present invention constructed as described above, the main plate is divided into two, one of the divided main plates is machined into a plurality of holes, the other is machined to form a flow path, It is possible to easily manufacture a main plate having a complicated internal structure.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예 및 변형례에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.The scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments and modifications, but can be implemented in various forms of embodiments within the scope of the appended claims. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the present invention as defined by the appended claims.
100 : 메인플레이트
200 : 연결포트부
300 : 커버부재
400 : 고정캡
A : 공기
AM : 기단
C : 공기벽
M : 마스크
S : 스테이지
LB : 레이저빔
T : 체결부재100: Main plate
200: connection port portion
300: cover member
400: fixed cap
A: air
AM: Foundation
C: Air wall
M: Mask
S: Stage
LB: laser beam
T: fastening member
Claims (8)
상기 마스크와 마주보게 배치되고, 상기 레이저빔이 통과하는 관통홀을 구비하는 메인플레이트; 및
상기 메인플레이트에 결합되고, 양압을 제공받는 배기포트와 음압을 제공받는 흡기포트를 각각 구비하는 연결포트부;를 포함하며,
상기 마스크와 마주보는 메인플레이트의 하면에는, 상기 관통홀에서 제1거리만큼 이격되고 상기 배기포트와 연결되어 상기 마스크를 향해 공기를 분사하는 제1배기홀과, 상기 관통홀에서 상기 제1거리보다 먼 제2거리만큼 이격되고 상기 배기포트와 연결되어 상기 마스크를 향해 공기를 분사하는 제2배기홀과, 상기 제1배기홀과 상기 제2배기홀 사이에서 상기 흡기포트와 연결되어 상기 제1배기홀에서 분사된 공기를 흡입하는 흡기홀이 각각 형성되고,
상기 공기가 상기 마스크와 상기 메인플레이트 사이에서 순환되면서 기단(air mass)을 형성하며, 상기 기단의 압력에 의해 상기 마스크가 상기 스테이지에 압박되어 고정되고,
상기 관통홀에 결합되어 상기 관통홀을 차폐하고, 상기 레이저빔이 통과되도록 광 투과성 재질로 구성되는 커버부재;를 더 포함하며,
상기 커버부재는, 상기 커버부재의 외측부가 상기 마스크를 향해 연장되어 외측으로 확장된 걸림턱부를 구비하고,
상기 메인플레이트는, 상기 관통홀을 중심으로 상기 메인플레이트의 상면이 함몰되어 형성된 결합홈과, 상기 결합홈의 바닥면에서 상기 걸림턱부 사이의 내부공간을 향해 돌출된 가고정리브를 구비하며,
상기 걸림턱부에 걸리도록 상기 커버부재에 삽입되어 상기 결합홈에 안착고정되는 고정캡;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기압을 이용한 마스크 고정모듈.A mask repair apparatus for mounting a mask having a predetermined pattern on a stage and removing the mask with a laser beam,
A main plate disposed facing the mask and having a through hole through which the laser beam passes; And
And a connection port portion coupled to the main plate, the connection port portion having an exhaust port provided with a positive pressure and an intake port provided with a negative pressure,
A first exhaust hole spaced a first distance from the through hole and connected to the exhaust port to inject air toward the mask, and a second exhaust hole spaced apart from the through hole by a first distance, A second exhaust hole spaced a second distance apart from the first exhaust hole and connected to the exhaust port to inject air toward the mask, and a second exhaust hole connected to the intake port between the first exhaust hole and the second exhaust hole, An intake hole for sucking air injected from the holes is formed,
The air is circulated between the mask and the main plate to form an air mass, the mask is pressed and fixed to the stage by the pressure of the base end,
And a cover member coupled to the through hole to shield the through hole, the cover member being made of a light transmitting material to allow the laser beam to pass therethrough,
Wherein the cover member has a latching portion whose outer side portion of the cover member extends toward the mask and extends outward,
Wherein the main plate includes a coupling groove formed by recessing an upper surface of the main plate with respect to the through hole and a tapering rib projecting toward an inner space between the coupling surfaces at a bottom surface of the coupling groove,
And a fixing cap inserted into the cover member to be caught by the latching jaw and fixed in the coupling groove.
상기 기단은, 상기 제1배기홀에서 분사된 공기 중 일부가 상기 흡기홀에 1차적으로 흡입되고, 나머지가 상기 제2배기홀에서 분사된 공기에 의해 형성된 공기벽(air curtain)에 가로막혀 상기 흡기홀에 2차적으로 흡입되면서 형성되는 것을 특징으로 하는 기압을 이용한 마스크 고정모듈.The method according to claim 1,
Wherein the base end is blocked by an air curtain formed by the air injected from the second exhaust hole, and a part of the air injected from the first exhaust hole is primarily sucked into the intake hole, And is sucked into the suction hole at a secondary position.
상기 제2배기홀은, 상기 관통홀을 중심으로 일정반경을 갖는 단일의 폐곡선을 따라 형성되고,
상기 공기벽은, 상기 기단의 둘레를 따라 빈틈없이 형성되는 것을 특징으로 하는 기압을 이용한 마스크 고정모듈.3. The method of claim 2,
The second exhaust hole is formed along a single closed curve having a certain radius around the through hole,
Wherein the air wall is formed without gaps along the periphery of the base end.
상기 메인플레이트는, 상기 마스크로부터 3mm ~ 7mm의 거리에 이격되어 배치되는 것을 특징으로 하는 기압을 이용한 마스크 고정모듈.The method according to claim 1,
Wherein the main plate is spaced from the mask by a distance of 3 mm to 7 mm.
상기 메인플레이트의 내부에는 상기 배기포트와 상기 제1배기홀을 연결하는 제1배기유로와, 상기 흡기포트와 상기 흡기홀을 연결하는 흡기유로가 각각 구비되고,
상기 메인플레이트는, 상기 배기포트와 상기 제1배기유로가 만나는 제1경계부와 상기 흡기홀과 상기 흡기유로가 만나는 제2경계부를 연결하는 가상의 제1경계선을 따라 두 개로 분할되어 형성된 제1플레이트와 제2플레이트를 구비하며,
상기 제1플레이트와 상기 제2플레이트가 체결부재를 매개로 상호 결합되는 것을 특징으로 하는 기압을 이용한 마스크 고정모듈.The method according to claim 1,
Wherein the main plate is provided with a first exhaust passage for connecting the exhaust port and the first exhaust hole and an intake passage for connecting the intake port and the intake hole,
The main plate includes a first plate formed by dividing a first boundary portion where the exhaust port and the first exhaust passage are in contact with each other and a virtual boundary line connecting a second boundary portion where the intake hole and the intake passage meet, And a second plate,
Wherein the first plate and the second plate are coupled to each other via a fastening member.
상기 메인플레이트의 내부에는 상기 배기포트와 상기 제2배기홀을 연결하는 제2배기유로가 구비되고,
상기 메인플레이트는, 상기 제2배기홀과 상기 제2배기유로가 만나는 제3경계부를 지나는 가상의 제2경계선을 따라 두 개로 분할되어 형성된 제3플레이트와 제4플레이트를 구비하며,
상기 제3플레이트와 상기 제4플레이트가 체결부재를 매개로 상호 결합되는 것을 특징으로 하는 기압을 이용한 마스크 고정모듈.The method according to claim 1,
And a second exhaust passage connecting the exhaust port and the second exhaust hole is provided in the main plate,
The main plate has a third plate and a fourth plate formed by dividing the second plate into two along a second boundary line passing through a third boundary where the second exhaust hole and the second exhaust passage meet,
Wherein the third plate and the fourth plate are coupled to each other via a fastening member.
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