KR101850738B1 - 실시간 동작 데이터의 ｕｉ화면을 구성하는 다이본더 - Google Patents

Abstract

본 발명은 다이본더의 각 구성요소의 동작데이터를 UI로 제공하는 다이본더에 관한 것으로, 상세하게는 다이본더에 포함되는 웨이퍼 시트로부터 칩을 분리하여 리드프레임의 상면에 부착하는 칩본딩 헤드부, 상기 웨이퍼 시트에서 분리 대상 칩이 이탈되도록 상기 분리 대상 칩이 위치한 상기 웨이퍼 시트의 하단면에서 구동하는 이젝트 핀 및 상기 칩 본딩 전후의 상기 리드프레임의 위치를 감지하는 카메라부 중 적어도 하나의 동작 데이터를 이용하여 이미지 정보를 생성하고, 생성된 상기 이미지 정보를 포함하는 UI(User Interface) 화면을 디스플레이부의 일정 여역에 출력하는 다이본더에 관한 것이다.

Description

실시간 동작 데이터의 ＵＩ화면을 구성하는 다이본더{Die bonder constituting User Interface for real-time driving}

본 발명은 다이본더 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 다이본더 장치를 이루는 각 구성의 실시간 동작에 관한 이미지 정보를 UI 화면상에 출력하는 다이본더를 제공하기 위한 것이다.

다이본더(Die Bonder)란, 반도체 칩 패키지의 골격인 리드 프레임 패드 상에 칩 또는 다이를 본딩하는 설비로서, 소잉(Sawing) 공정 후, 웨이퍼상에서 개별분리된 칩을 접착제(수지 에폭시)가 도포된 리드 프레임 패드 상에 접착시킨 후, 열경화 시켜서 와이어(Wire) 본딩을 가능하게 하는 설비이다.

이러한 다이본더는 웨이퍼상에서 칩을 분리하는 동작, 분리된 칩을 리드 프레임의 패드 상으로 이동시키는 동작, 분리된 칩을 리드 프레임의 패드 상에 부착시키는 동작, 리드 프레임의 위치를 확인하고 칩의 분리 및 부착을 확인하기 위한 촬영이미지를 생성하는 동작 등을 각각 수행하는 다양한 구성의 연속된 동작을 통해 다이본더의 기능을 수행한다.

이와 같이, 여러 구성의 연속 동작을 통해 기능하는 다이본더에 있어서, 각 구성에 관한 동작 정보는 소정의 데이터(예를 들어, 각 구성의 동작과 관련된 위치 기반의 좌표 데이터)로 다이본더의 디스플레이부상에 출력되는 것이 일반적이다.

따라서, 사용자는 다이본더 동작정보를 확인하기 위해서는 다이본더 동작 정보를 출력하는 디스플레이부상에서 다이본더 구성 각각에 대한 동작 관련 어플리케이션을 활성화하여 동작 데이터를 확인해야 하는 불편함과 다이본더 동작오류 발생시엔 오류 발생 원인에 대한 즉각적인 대응이 어렵다는 문제가 있다.

상술한 문제를 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 다이본더에 포함된 각 구성의 동작과 관련하여 시간에 따른 동작 데이터를 디스플레이부 상에 이미지 정보로 표시하는 다이본더를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 다이본더에 포함된 각 구성의 동작에 관한 이미지 정보를 하나의 UI 화면으로 구성하여 동일화면에서 각 구성의 연관 동작 정보를 나타내는 다이본더를 제공하는 것이다.

나아가, 본 발명의 또 다른 목적은 다이본더에 포함된 각 구성의 동작 데이터를 기반으로 동작지연 또는 동작오류를 검사하고, 이에 관한 정보를 동작 이미지 정보와 함께 제공하는 것이다.

더 나아가, 본 발명의 또 다른 목적은 다이본더의 디스플레이부 상에 출력되는 다이본더 구성의 동작에 관한 이미지 정보를 포함하는 UI를 통해 사용자가 다이본더 구성에 대한 제어신호를 입력할 수 있는 다이본더를 제공하는 것이다.

본 발명에서 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시에에 따른 다이본더는, 웨이퍼 시트로부터 칩을 분리하여 리드프레임의 상면에 부착하는 칩본딩 헤드부, 상기 웨이퍼 시트에서 분리 대상 칩이 이탈되도록 상기 분리 대상 칩이 위치한 상기 웨이퍼 시트의 하단면에서 구동하는 이젝트 핀, 상기 칩 본딩 전후의 상기 리드프레임의 위치를 감지하는 카메라부, 상기 칩본딩 헤드부, 상기 이젝트 핀 및 상기 카메라부 중 적어도 하나의 동작 데이터를 이용하여 이미지 정보를 생성하고, 생성된 상기 이미지 정보를 포함하는 UI(User Interface) 화면을 구성하는 제어부; 및 상기 제어부에서 구성된 상기 UI 화면을 일정 영역에 출력하는 디스플레이부를 포함한다.

본 발명의 따른 상기 동작 데이터는, 상기 칩본딩 헤드부, 상기 이젝트 핀 및 상기 카메라부 중 적어도 하나의 동작유무, 상하좌우 동작방향, 동작시간 및 동작속도를 적어도 하나 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 상기 제어부는, 상기 동작 데이터를 토대로 X축 및 Y축으로 이루어진 2차원 도메인의 상기 이미지 정보를 생성하되, 상기 이미지 정보의 어느 한 축의 변수는 시간으로 설정하고, 다른 한 축의 변수는 상기 칩본딩 헤드부, 상기 이젝트 핀 및 상기 카메라부 중 적어도 하나의 동작 데이터로 설정할 수 있다.

이때, 상기 제어부는, 상기 칩본딩 헤드부 및 상기 이젝트 핀 중 적어도 하나에 대하여 동작유무, 동작방향, 동작시간 및 동작속도 중 적어도 하나를 표시하도록 상기 이미지 정보를 생성할 수 있다. 또는, 상기 카메라부에 대하여 동작유무 및 동작시간 중 적어도 하나를 표시하도록 상기 이미지 정보를 생성할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 상기 카메라부는, 상기 칩 본딩 전의 상기 리드프레임의 위치를 확인하기 위한 촬상이미지를 생성하는 제1 동작 또는 상기 칩 본딩 후의 상기 리드프레임의 상태를 검사하기 위한 촬상이미지를 생성하는 제2 동작으로 동작할 수 있다.

이때, 상기 제어부는, 상기 카메라부의 상기 제1 동작 또는 상기 제2 동작에 따른 동작 데이터를 포함하는 상기 이미지 정보를 생성할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 상기 디스플레이부는, 상기 UI 화면의 일정 영역에 상기 칩본딩 헤드부, 상기 이젝트 핀 및 상기 카메라부 중 적어도 하나의 동작에 대한 제어신호를 입력하기 위한 제1 입력창을 활성화하고, 상기 제어부는, 상기 제1 입력창을 통해 입력된 상기 제어신호에 따라 상기 칩본딩 헤드부, 상기 이젝트 핀 및 상기 카메라부 중 적어도 하나의 동작을 제어할 수 있다.

나아가, 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 제어부는, 상기 칩본딩 헤드부, 상기 이젝트 핀 및 상기 카메라부 중 적어도 하나의 동작에 따른 동작 데이터와 기 설정된 기준조건과 비교하여 소정 오차범위 내인지 여부를 판단하고, 상기 오차범위를 벗어나는 경우 동작지연 또는 동작오류로 판단할 수 있다.

바람직하게, 상기 제어부는, 상기 칩본딩 헤드부, 상기 이젝트 핀 및 상기 카메라부 중 적어도 하나에 대하여 동작지연 또는 동작오류가 발생된 지점 및 동작지연시간을 검출할 수 있다.

또한, 상기 제어부는, 상기 기준조건에 따른 데이터를 이용하여 이미지 정보를 생성하고, 상기 칩본딩 헤드부, 상기 이젝트 핀 및 상기 카메라부 중 적어도 하나의 동작 데이터를 이용하여 생성된 이미지 정보와 상기 기준조건에 따른 데이터를 이용하여 생성된 이미지 정보가 동일 화면에 포함되도록 상기 UI 화면을 구성할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 상기 디스플레이부는, 상기 UI 화면의 일정 영역에 상기 칩본딩 헤드부, 상기 이젝트 핀 및 상기 카메라부 중 적어도 하나의 동작지연 또는 동작오류에 대한 제어신호를 입력하기 위한 제2 입력창을 활성화하고, 상기 제어부는, 상기 제2 입력창을 통해 입력된 상기 제어신호에 따라 상기 칩본딩 헤드부, 상기 이젝트 핀 및 상기 카메라부 중 적어도 하나의 동작오류를 제어할 수 있다.

또는, 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 디스플레이부는, 상기 UI 화면의 일정 영역에 상기 칩본딩 헤드부, 상기 이젝트 핀 및 상기 카메라부 중 적어도 하나의 동작지연 또는 동작오류에 대한 제어신호를 입력하기 위한 제3 입력창을 활성화하고, 상기 제어부는, 상기 제3 입력창을 통해 입력된 상기 제어신호에 따라 상기 칩본딩 헤드부, 상기 이젝트 핀 및 상기 카메라부 중 적어도 하나의 동작지연 또는 동작오류를 제어할 수 있다.

상기 실시형태들은 본 발명의 바람직한 실시예들 중 일부에 불과하며, 본원 발명의 기술적 특징들이 반영된 다양한 실시예들이 당해 기술분야의 통상적인 지식을 가진 자에 의해 이하 상술할 본 발명의 상세한 설명을 기반으로 도출되고 이해될 수 있다.

본 발명에 따르면, 다이본더에 포함된 각 구성의 동작과 관련하여 시간에 따른 동작 데이터를 디스플레이부 상에 이미지 정보로 표시할 수 있고, 각 구성의 동작에 관한 이미지 정보를 하나의 UI 화면으로 구성하여 동일화면에서 각 구성의 연관 동작 정보를 나타낼 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 다이본더에 포함된 각 구성의 동작 데이터를 기반으로 동작지연 또는 동작오류를 검사하고, 이에 관한 정보를 동작 이미지 정보와 함께 제공하여 사용자가 용이하게 동작 상태에 관한 정보를 확인할 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 다이본더의 각 구성의 동작 데이터를 이용한 이미지 정보가 표시된 UI 화면을 통해 사용자가 능동적으로 다이본더 구성에 대한 동작 제어를 수행할 수 있다.

본 발명에 관한 이해를 돕기 위해 상세한 설명의 일부로 포함되는, 첨부도면은 본 발명에 대한 실시예를 제공하고, 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 다이본더 장치의 전체적인 형태를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 다이본더 장치의 블럭 구성도의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 다이본더 장치에 대한 실시간 동작 데이터를 UI 화면으로 출력하는 과정의 일 예를 나타내는 절차 흐름도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 다이본더 장치에 대한 실시간 동작 데이터를 나타내는 UI 화면의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 다이본더 장치에 대한 실시간 동작 데이터를 나타내는 UI 화면의 다른 예를 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 다이본더 장치에 대한 실시간 동작 데이터를 UI 화면으로 출력하는 과정의 다른 예를 나타내는 절차 흐름도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 다이본더 장치에 대한 실시간 동작 데이터를 나타내는 UI 화면의 다른 예를 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 다이본더 장치에 대한 실시간 동작 데이터를 나타내는 UI 화면의 다른 예를 나타내는 도면이다.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되는 것은 아니며, 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.

이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시 형태를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 첨부된 도면과 함께 이하에 개시될 상세한 설명은 본 발명의 예시적인 실시형태를 설명하고자 하는 것이며, 본 발명이 실시될 수 있는 유일한 실시형태를 나타내고자 하는 것이 아니다. 이하의 상세한 설명은 본 발명의 완전한 이해를 제공하기 위해서 구체적 세부사항을 포함한다. 그러나, 당업자는 본 발명이 이러한 구체적 세부사항 없이도 실시될 수 있음을 안다.

도 1은 본 발명에 따른 다이본더 장치의 전체적인 형태를 나타내는 도면으로, 도 1에 도시된 다이본더 장치(100)는 다양한 구성을 포함하고 있으나, 설명의 간명함을 위하여 본 발명과 관련된 구성에 대해서만 설명하도록 한다.

도 1을 참조하면, 다이본더 장치(100)는 장치를 구성하는 베이스(110), 웨이퍼 시트(101)로부터 칩을 분리하여 리드프레임(102) 패드의 상면에 본딩(bonding)하는 칩본딩 헤드부(120), 웨이퍼 시트(101)의 하단면에서 구동하는 이젝트 핀(130), 칩 본딩 전후의 리드프레임(102)의 위치를 감지하는 마운트 카메라부(140) 및 다이본더 장치(100)에 포함된 구성에 대한 전반적인 동작 정보를 표시하는 디스플레이부(150)를 포함한다.

칩본딩 헤드부(120)는 다수의 칩이 부착된 웨이퍼 시트(101)의 상면으로 일정속도로 하강하여 분리대상 칩과 접촉하여 웨이퍼 시트(101)로부터 접촉된 칩을 분리하고, 일정속도로 리드프레임(102)의 상부로 이동하여 분리된 칩을 수지 에폭시가 도팅된 리드프레임 패드의 상면에 본딩하는 동작을 반복수행한다. 이를 위해, 칩본딩 헤드부(120)는 X방향(좌,우 방향), Y방향(전, 후 방향), Z방향(상,하 방향)의 적어도 하나의 방향으로 왕복 동작할 수 있다.

이젝트 핀(130)은 웨이퍼 시트(101)로부터 칩이 분리되는 동작을 보조하기 위해 웨이퍼 시트(101) 하단면에서 Z방향(상,하 방향)으로 동작한다. 구체적으로, 이젝트 핀(130)은 칩본딩 헤드부(120)와 웨이퍼 시트(101)에 장착된 분리대상 칩이 접촉되는 시점부터 분리대상 칩이 웨이퍼 시트(101)로부터 분리되는 일정시점까지, 칩본딩 헤드부(120)와 동일한 속도로 상향방향으로 이동한다.

한편, 도 1에는 도시되어 있지 않으나 리드프레임(102)는 수지 에폭시 장치로부터 각 패드에 에폭시가 도팅되고, 피딩 장치를 통해 에폭시 도팅 영역에서 칩이 장착되는 칩본딩 영역으로 X방향(좌, 우방향)으로 이송된다.

다이본더 장치(100)에는 각 영역에서 수행되고 있는 구성의 동작을 감지하기 위한 다수의 카메라부가 포함된다. 도 1에는 도시되어 있지 않으나 다이본더 장치(100)는 리드프레임의 패드에 수지 에폭시 도팅하는 공정을 감지하기 위한 에폭시 카메라부, 웨이퍼 시트(101)의 칩을 인식하는 웨이퍼 카메라부를 더 포함할 수 있다.

도 1에 도시된 마운트 카메라부(140, 이하 '카메라부'라 지칭함)는 리드프레임의 위치를 감지하기 위한 것으로, 칩 본딩 전의 리드프레임의 위치를 인식하기 위한 촬상이미지를 생성하는 제1 동작 및 칩 본딩 후의 리드프레임의 위치(상세하게는, 칩이 본딩된 리드프레임 패드의 상태)를 인식하기 위한 촬상이미지를 생성하는 제2 동작으로 구분되어 동작할 수 있다.

구체적으로, 카메라부(140)는 칩본딩 헤드부(120)가 웨이퍼 시트(101)로부터 칩을 분리하여 리드프레임(102)의 상부로 이동하는 과정에서 칩 본딩 전의 리드프레임 위치를 인식하기 위한 촬상이미지를 생성하는 제1 동작을 수행한다. 그리고, 칩본딩 헤드부(120)가 리드프레임(102)의 패드 상면에 칩을 본딩하고 다시 웨이퍼 시트(101) 상부로 이동하는 과정에서 카메라부(140)는 칩이 본딩된 리드프레임 패드에 대한 촬상이미지를 생성하는 제2 동작을 수행한다.

이와 같이, 다이본더 장치(100)는 다양한 구성의 연관동작으로 웨이퍼 시트에 부착된 칩을 리드프레임 패드에 본딩하고, 각 구성의 동작에 대한 정보는 사용자가 용이하게 확인할 수 있도록 디스플레이부(150)의 일정영역에 표시한다.

본 발명에 따른 다이본더 장치(100)는 다이본더 장치(100)를 구성하는 칩본딩 헤드부(120), 이젝트 핀(130), 카메라부(140) 중 적어도 하나의 동작에 관한 데이터를 이미지 정보(예, 그래프)로 변환하여 디스플레이부(150) 상에 출력하여, 사용자가 적어도 하나 이상의 다이본더 장치(100)의 구성에 관한 동작 정보를 확인할 수 있다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 다이본더 장치의 블럭 구성도의 일 예를 나타내는 도면이다.

도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 다이본더 장치(200)는 칩본딩 헤드부의 동작을 관리하는 칩본딩 헤드 모듈(210), 이젝트 핀의 동작을 관리하는 이젝트핀 모듈(220), 카메라부의 동작을 관리하는 카메라 모듈(230), 다이본더 장치에 대한 전반적인 제어동작을 수행하는 제어부(240), 디스플레이부(250) 및 메모리(260)를 포함한다.

제어부(240)는 다이본더 장치(200)에 포함된 각 구성의 동작과 연관된 각 모듈로부터 해당 구성의 대한 동작 데이터를 수집하는 정보 수신부(241), 각 모듈로부터 수신한 동작 데이터를 이미지 정보(예, 그래프)로 변환하는 이미지 정보 생성부(243), 다이본더 장치의 각 구성의 동작에 대한 검사를 수행하는 동작 검사부(245) 및 사용자로부터 입력된 제어신호에 따라 다이본더 장치의 동작을 제어하는 동작 제어부(247)를 포함한다.

정보 수신부(241)는 일반적으로 다이본더 장치에 포함된 각 구성의 전반적인 동작을 수행하는 각 모듈, 예를 들어, 칩본딩 헤드 모듈(210), 이젝트핀 모듈(220) 및 카메라 모듈(230)로부터 각 구성의 동작에 관한 데이터(예, 위치 기반의 좌표 데이터 등)를 소정 주기에 따라 또는 실시간으로 수신할 수 있다.

본 발명의 명세서에서, '동작 데이터'란 도 1에 도시된 칩본딩 헤드부(120), 이젝트 핀(130) 및 카메라부(140)와 같은 다이본더 장치(100)의 구성 중 적어도 하나의 동작유무, X방향(좌,우 방향) Y방향(좌,우 방향) Z방향(상,하 방향)에 따른 동작방향, 동작시간 및 동작속도를 적어도 하나 포함하는 것으로 정의한다.

종래의 다이본더 장치의 제어부는 정보 수신부(241)에서 수신한 하나 이상의 동작 데이터를 메모리부에 저장하고, 다양한 동작 데이터가 저장된 메모리에 기초하여 사용자가 모니터링하고자 선택한 구성에 대한 동작 데이터를 디스플레이부에 출력하였다. 따라서, 사용자는 각 구성이 동작하는 방향과 관련된 X, Y, Z축의 좌표 데이터를 확인하여 해당 구성의 동작 여부 및 동작 상태를 확인할 수 있었다.

그러나, 본 발명의 일 실시예에 따른 다이본더 장치의 제어부(240)에 포함된 이미지 정보 생성부(243)는 다이본더 장치의 동작과 관련된 정보를 이미지화한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 이미지 정보 생성부(243)는 정보 수신부(241)로부터 전달된 각 구성에 관한 동작 데이터를 이용하여 이미지 정보(예, 그래프)를 생성하고, 생성된 이미지 정보를 하나 이상 포함하는 UI(User Interface) 화면을 구성할 수 있다. 예를 들어, 동작 데이터를 이용하여 X축 및 Y축으로 이루어진 2차원의 그래프 이미지를 생성하는 경우, 이미지 정보 생성부(243)는 그래프의 어느 한 축의 변수는 시간으로 설정하고, 다른 한 축의 변수는 칩본딩 헤드부, 이젝트 핀 및 카메라부 중 적어도 하나에 대한 동작 데이터로 설정할 수 있다.

또한, 이미지 정보 생성부(243)는 사용자 입력에 따른 각 구성에 대한 제어신호를 인가할 수 있는 하나 이상의 활성창을 생성하여 이를 포함하는 UI 화면을 구성할 수 있다. 나아가, 후술되는 동작 검사부(245)에서 수행되는 각 구성에 대한 동작 검사 결과를 나타내는 이미지 정보를 생성하여 UI 화면을 구성할 수 있다.

이와 같이, 이미지 정보 생성부(243)에서 생성되는 동작 데이터 기반의 이미지 정보를 포함한 UI 화면은 디스플레이부(250)의 일정 영역에 출력되고, 사용자는 하나 이상의 다이본더 장치의 구성에 대한 동작 데이터를 동시에 확인할 수 있다.

다시 도 2를 참조하면, 제어부(240)의 동작 검사부(245)는 정보 수신부(241)로부터 전달된 다이본더 장치의 각 구성의 동작 데이터를 이용하여 기 설정된 다이본더 장치의 정상동작에서의 동작 데이터(이하, '정상동작 기준치'이라 칭함)와 비교연산하여 각 구성에 대한 동작 검사를 수행할 수 있다.

일 예로, 동작 검사부(245)는 정보 수신부(241)에서 수신한 칩본딩 헤드부(120), 이젝트 핀(130) 및 카메라부(140) 중 적어도 하나에 대한 동작 데이터를 기 설정된 정상동작 기준치와 비교연산하여 각 구성의 동작 데이터가 소정 오차범위 내인지 여부를 판단할 수 있다. 판단결과, 오차범위를 벗어나는 경우 해당 구성에 대하여 동작지연 또는 동작오류로 판단할 수 있다. 또한, 동작 검사부(245)는 각 구성에 대하여 동작지연 또는 동작오류로 판단하는 경우, 동작지연 또는 동작오류가 발생된 시점 및 동작지연시간 등을 검출할 수 있다.

동작 검사부(245)에서 수행된 검사 결과는 이미지 정보 생성부(243)와 연동하여 디스플레이부(250)상에 소정의 이미지 정보(예, 동작오류 발생 경고 메시지)등으로 표시될 수 있다.

또한, 이미지 정보 생성부(243)는 다이본더 각 구성에 대한 정상동작 기준치를 이용하여 이미지 정보를 생성하고, 다이본더 각 구성에 대한 동작 데이터 기반의 이미지 정보가 표시된 화면의 다른 영역에 정상동작 기준치에 대한 이미지 정보가 표시되도록 UI 화면을 구성할 수 있다.

동작 제어부(247)는 다이본더 장치의 각 구성의 동작과 관련된 전반적인 제어를 수행하며, 특히 디스플레이부(250)를 통해 인가된 사용자 입력신호에 따라 해당 구성의 동작을 제어한다. 예를 들어, 사용자가 디스플레이부(250)에 표시된 활성창을 통해 칩본딩 헤드부(120)의 칩 본딩 시간을 10sec 증가시키기 위한 신호를 입력하는 경우, 입력된 사용자 신호는 동작 제어부(247)로 전달되고, 동작제어부(247)는 사용자 신호에 대응되는 제어신호를 생성하여 칩본딩 헤드 모듈(210)로 전달하여 칩본딩 헤드부(120)가 리드프레임 패드의 상면에 칩을 본딩하는 시간을 10sec 로 수행한다.

디스플레이부(250)는 다이본더 장치의 전반적인 동작 데이터 또는 각 구성의 동작 데이터를 표시하는 출력부(251)이면서 동시에 사용자 신호를 입력하기 위한 사용자 정보 입력부(253)일 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이부(250)는 종래 다이본더 장치에서 텍스트 형태의 데이터를 출력하던 것과 달리, 그래프과 같은 이미지화된 데이터를 출력할 수 있다.

제어부(240)에서 다이본더 장치의 각 구성으로부터 수신한 동작 데이터 및 동작 검사부(245)에서 수행한 동작 검사에 대한 결과는 메모리(260)에 저장되고, 메모리(260)에 저장된 데이터는 사용자 요청에 따라 대응되는 데이터가 도출되어 디스플레이부(250)에 출력될 수 있다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 다이본더 장치에 대한 실시간 동작 데이터를 UI 화면으로 출력하는 과정의 일 예를 나타내는 절차 흐름도이다.

도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 다이본더 장치의 제어부(240)는 정보 수신부(241)에서 다이본더 장치에 포함된 각 구성의 모듈로부터 하나 이상의 동작 데이터를 실시간 또는 소정 주기에 따라 수신한다(S301).

이미지 정보 생성부(243)는 정보 수신부(241)에서 수신한 각 구성에 대한 동작 데이터를 이용하여 각 구성에 대응하는 동작 데이터 기반의 이미지 정보(예, 그래프 정보)를 생성한다. 동작 데이터 기반의 이미지 정보에 대해서는 상기 도 2에서 상술하였으므로, 동일한 설명은 생략하도록 한다(S302).

이때, 이미지 정보 생성부(243)에서 다이본더 장치의 각 구성의 동작을 제어할 수 있는 제어신호를 입력하기 위한 활성창을 생성하는 단계를 더 포함할 수 있다(S303).

이후, 이미지 정보 생성부(243)는 상기 단계를 통해 생성된 하나 이상의 이미지 정보를 포함하는 UI 화면을 구성하여 디스플레이부(250)의 일정 영역에 출력한다(S304).

나아가, 상기 단계 S303에서 생성된 다이본더 장치 구성의 동작 제어를 위한 활성창을 통해 동작 제어신호가 입력되면, 동작 제어부(247)는 제어신호에 따라 해당 구성의 동작을 제어할 수 있다(S305, S306).

이와 같은 단계를 통해 디스플레이부에 출력된 동작 데이터 기반의 UI 화면은 이하 후술되는 도 4 또는 도 5에 도시된 실시예와 같다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 다이본더 장치에 대한 실시간 동작 데이터를 나타내는 UI 화면의 일 예를 나타내는 도면이다.

도 4에 도시된 것처럼, 다이본더 장치를 구성하는 구성의 일 예로 칩본딩 헤드부(120), 이젝트 핀(130), 카메라부(140) 중 적어도 하나의 동작 데이터는 이미지 정보 생성부(243)에서 X축 및 Y축으로 이루어진 2차원의 그래프 정보로 변환되어 UI 화면에 표시될 수 있다. 이때, 이미지 정보 생성부(243)는 동작 데이터 기반의 그래프 정보를 구성하는 X축은 시간으로 설정하고, Y축은 칩본딩 헤드부, 이젝트 핀 및 카메라부 중 적어도 하나에 대한 동작 데이터로 설정하여, 시간에 따른 각 구성의 동작 상태를 나타내는 하나 이상의 그래프 정보를 동일한 UI 화면으로 구성할 수 있다.

이때, 도 4에 도시된 것처럼, 이미지 정보 생성부(243)는 칩본딩 헤드부 또는 이젝트 핀에 대한 동작 데이터로 그래프 정보의 Y축(410, 420)을 동작유무, 동작방향, 동작시간 및 동작속도 중 적어도 하나가 표시되도록 구성할 수 있다.

도 4에 도시된 칩본딩 헤드부의 동작 데이터(410)는 시간축 상에서 웨이퍼 시트의 상면으로 하향 이동하는 단계(401), 웨이퍼 시트의 상면에 부착된 칩과 접촉한 상태로 일정 시간동안 상향이동하여 분리대상 칩을 웨이퍼 시트로부터 분리하는 단계(402, 403), 분리된 칩을 장착한 상태로 상향이동하여 리드프레임의 상면으로 이동하는 단계(404, 405), 해당 칩을 장착하려는 리드프레임 패드의 상면으로 제1 속도로 하향이동하는 단계(406) 및 제2 속도로 하향이동하는 단계(407), 수지 에폭시가 도팅된 리프프레임 패드의 상면에 해당 칩을 본딩하는 단계(408), 이후 칩본딩 헤드부가 상향이동하여 다시 웨이퍼 시트가 위치한 영역으로 이동하는 단계(409)를 포함한다. 각 단계에서 동작 데이터는 시간에 따라 동작하는 칩본딩 헤드부의 동작시점, 동작방향, 동작시간 등을 그래프 형태로 표시될 수 있다.

그리고, 이젝트 핀의 동작 데이터(420)는 칩본딩 헤드부가 웨이퍼 시트에 부착된 칩과 접촉하는 시점부터 웨이퍼 시트로부터 해당 칩이 분리되기 전까지 웨이퍼 시트의 하단면에서 상향이동하는 단계(402), 칩이 웨이퍼 시트로부터 분리시작되어 분리완료되는 시점까지 정지하는 단계(403), 칩이 분리된 이후 웨이퍼 시트의 하단면에서 하향이동하는 단계(404)를 포함한다.

이때, 웨이퍼 시트로부터 칩을 분리하기 위한 단계 402에서 칩본딩 헤드부의 동작 데이터와 이젝트 핀의 동작 데이터가 웨이퍼 시트의 상단부와 하단부에서 각각 동일한 시간동안 동일한 속도로 상향이동하는 것을 확인할 수 있다.

반면, 카메라부에 대한 동작 데이터(430)로는 그래프 정보의 Y축을 카메라부의 동작유무 및 동작시간이 표시되도록 구성할 수 있다.

카메라부는 리드프레임의 위치를 감지하기 위한 것으로, 칩 본딩 전의 리드프레임의 위치를 인식하기 위한 촬상이미지를 생성하는 제1 동작 및 칩 본딩 후 칩이 본딩된 리드프레임의 패드 상태를 인식하기 위한 촬상이미지를 생성하는 제2 동작으로 구분되어 동작한다. 따라서, 카메라부에 대한 동작 데이터(430)는 제1 동작에 대한 동작 데이터(431) 및 제2 동작에 대한 동작 데이터(432)로 구분할 수 있다.

도 4에서는 카메라부의 동작 데이터로 동작유무 및 동작시간을 표시하고 있으나, 이에 국한되는 것은 아니며, 칩본딩 헤드부 또는 이젝트 핀의 동작 데이터와 동일하게 동작방향, 동작속도 등을 더 포함하는 그래프 이미지로 구현할 수 있다.

이와 같이, 각 구성에 대한 동작 데이터 기반의 하나 이상의 이미지 정보를 포함하는 UI 화면이 디스플레이되면, 사용자는 다이본더 장치의 각 구성의 연관 동작을 용이하게 확인할 수 있으며, 동작지연이 발생된 다이본더 장치의 구성을 파악할 수 있다.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 다이본더 장치에 대한 실시간 동작 데이터를 나타내는 UI 화면의 다른 예를 나타내는 도면이다.

도 5는 상기 도 4에 도시된 다이본더 장치의 각 구성의 동작 데이터를 나타내는 하나 이상의 이미지 정보를 포함하는 UI 화면과 동일한 것으로, 이미지 정보 생성부(243)는 다이본더 장치의 각 구성의 동작을 제어할 수 있는 제어신호를 입력하기 위한 활성창을 더 포함하는 UI 화면을 구성할 수 있다.

예를 들어, 도 5에 도시된 것처럼, 사용자가 제어하고자 하는 시점에서 제어대상의 이미지 정보를 터치하는 경우, 사용자 입력신호를 인가할 수 있는 하나 이상의 활성창(501 내지 503)이 활성화되도록 구현할 수 있다. 사용자가 칩본딩 헤드부가 리드프레임의 패드에 칩을 본딩하는 시간을 증가시키고자 하는 경우, 단계 408에서의 칩본딩 헤드부에 대응하는 그래프 정보를 터치하면, 이미지 정보 생성부(243)는 사용자의 디스플레이부에 대한 터치행위에 대응하여 UI 화면의 일정 영역에 본딩 시간을 제어하기 위한 제1 활성창(501)을 표시할 수 있다. 이때, 제1 활성창(501)은 현재 동작 데이터에 따른 칩 본딩 시간(예, 5sec)을 표시할 수 있으며, 사용자는 제1 활성창(501)에 표시된 칩 본딩시간을 10 sec 등으로 변경 저장하여 동작 제어부(247)로 동작 제어신호를 전달할 수 있다.

또는, 칩본딩 헤드부가 웨이퍼 시트로부터 칩을 분리하는 시간을 조정하려는 경우, 칩 분리 시간을 제어하기 위한 제2 활성창(502)에 제어신호를 입력함에 따라 칩 본딩 헤드부를 제어할 수 있으며, 이젝트 핀에 대한 동작 시간도 제3 활성창(503)을 통해 제어할 수 있다.

도 5에 도시된 사용자 입력신호를 인가하기 위한 활성창은 설명의 편의를 위하여 표시한 것으로, 다양한 형태로 다양한 위치에 출력되도록 구현할 수 있다.

이와 같이, 활성창을 통해 입력된 동작 제어신호는 동작 제어부(247)로 전달되고, 동작 제어부(247)는 대응되는 다이본더 장치 구성의 동작을 제어신호에 따라 제어할 수 있다.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 다이본더 장치에 대한 실시간 동작 데이터를 UI 화면으로 출력하는 과정의 다른 예를 나타내는 절차 흐름도이다.

도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 다이본더 장치의 제어부(240)는 정보 수신부(241)에서 다이본더 장치에 포함된 각 구성의 모듈로부터 하나 이상의 동작 데이터를 실시간 또는 소정 주기에 따라 수신한다(S601).

이미지 정보 생성부(243)는 정보 수신부(241)에서 수신한 각 구성에 대한 동작 데이터를 이용하여 각 구성에 대응하는 동작 데이터 기반의 이미지 정보(예, 그래프 정보)를 생성한다(S602).

이후, 동작 검사부(245)는 각 구성별로 기 설정된 정상동작 기준치에 기초하여 각 구성에 대한 동작 데이터를 토대로 동작의 정상 여부를 검사한다(S603). 상세하게는, 동작 검사부(245)는 정보 수신부(241)에서 수신한 칩본딩 헤드부, 이젝트 핀 및 카메라부 중 적어도 하나에 대한 동작 데이터를 토대로 정상동작 기준치에 기초하여 각 구성의 동작 데이터가 소정 오차범위 내인지 여부를 판단할 수 있다.

검사 결과에 따라 동작 검사부(245)는 오차범위를 벗어나지 않는 경우에는 정상동작으로 판단하고, 오차범위를 벗어나는 경우에는 해당 구성에 대하여 동작지연 또는 동작오류로 판단한다(S604).

동작지연 또는 동작오류로 판단되면, 이미지 정보 생성부(243)가 연동되어 해당 구성의 동작오류를 경고하기 위한 이미지 정보(예, 경고메시지 등) 및 동작오류를 제어하기 위한 신호의 입력창(또는, 활성창) 중 적어도 하나를 생성할 수 있다(S605).

이때, 이미지 정보 생성부(243)는 동작 검사부(245)에 기 설정된 각 구성에 대한 정상동작 기준치를 이용하여 이미지 정보를 생성하여, 다이본더 각 구성에 대한 동작 데이터 기반의 이미지 정보가 표시된 화면의 다른 영역에 정상동작 기준치에 대한 이미지 정보가 표시되도록 UI 화면을 구성할 수 있다(S606).

제어부(240)는 각 단계별로 생성된 이미지 정보를 하나 이상 포함하는 UI 화면을 구성하여 디스플레이부(250)의 일정영역에 출력한다(S607).

이후, 디스플레이부(250)의 일정 영역에 출력된 활성창을 통해 다이본더 장치의 각 구성에 대한 동작 제어신호가 입력된 경우, 동작 제어부(247)는 입력된 제어신호에 따라 대응하는 다이본더 장치의 구성의 동작을 제어한다(S608, S609).

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 다이본더 장치에 대한 실시간 동작 데이터를 나타내는 UI 화면의 또 다른 예를 나타내는 도면이다.

도 7은 상기 도 4에 도시된 다이본더 장치의 각 구성의 동작 데이터를 나타내는 하나 이상의 이미지 정보를 포함하는 UI 화면과 동일한 것으로, 이미지 정보 생성부(243)는 동작 검사부(245)에서 다이본더 장치의 각 구성에 대한 동작 데이터 기반의 검사 결과에 따른 이미지 정보를 더 포함하는 UI 화면을 구성할 수 있다.

도 7에 도시된 것처럼, 칩본딩 헤드부의 칩 본딩 동작이 정상동작 기준치와 비교하여 지연되는 경우, 이미지 정보 생성부(243)는 동작지연 시간을 나타내는 제4 활성창(701) 및 칩본딩 헤드부에서 동작지연이 발생되었음을 나타내는 이미지(702) 중 적어도 하나를 생성할 수 있다. 또는, 동작 검사부(245)에서 카메라부의 칩 본딩 후 리드프레임 패드위 위치를 감지하는 촬상이미지를 생성하는 제2 동작에서 정상동작 기준치와 비교하여 동작 에러로 판단하는 경우, 이미지 정보 생성부(243)는 카메라부의 동작오류 발생을 나타내는 제5 활성창(703) 및 카메라부의 동작오류가 발생되었음을 나타내는 이미지(704)를 더 생성할 수 있다.

이와 같이, 동작 검사결과에 따라 생성되는 이미지 정보(701 내지 704)는 동작 데이터 기반의 그래프 정보가 출력되는 UI 화면의 일정 영역에 출력될 수 있으며, 해당 이미지 정보(701 내지 704)는 해당 구성에 대한 동작 제어신호 입력창으로 이용될 수 있다.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 다이본더 장치에 대한 실시간 동작 데이터를 나타내는 UI 화면의 또 다른 예를 나타내는 도면이다.

구체적으로, 도 8은 상기 도 7에 도시된 다이본더 장치의 각 구성의 동작 데이터 및 동작 검사 결과에 따른 이미지 정보를 하나 이상 포함하는 UI 화면의 일 예를 나타내는 것이다.

도 8에 도시된 것처럼, 이미지 정보 생성부(243)는 동작 수신부(241)에서 수신한 다이본더 장치의 각 구성에 대한 동작 데이터 기반의 그래프 정보(801)를 표시하는 화면에 동작 검사부(245)에 기 설정된 정상동작 기준치를 이용한 별도의 그래프 정보(802)가 동시에 표시되도록 UI 화면을 구성할 수 있다. 즉, 사용자가 용이하게 정상동작 기준치와 실제 동작 데이터를 비교할 수 있도록 동일한 그래프 축상에 나타낼 수 있다.

이에 따라, 사용자는 다이본더 장치의 각 구성에 대한 동작 데이터 및 동작 검사 결과 정보 뿐 아니라, 정상동작 기준치와의 비교를 통해 각 구성에 대한 능동적인 동작 제어를 수행할 수 있다.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명에 기재된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상이 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의해서 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

Claims (12)

1. 웨이퍼 시트로부터 칩을 분리하여 리드프레임의 상면에 부착하는 칩본딩 헤드부, 상기 웨이퍼 시트에서 분리 대상 칩이 이탈되도록 상기 분리 대상 칩이 위치한 상기 웨이퍼 시트의 하단면에서 구동하는 이젝트 핀 및 상기 칩 본딩 전후의 상기 리드프레임의 위치를 감지하는 카메라부를 포함하는 다이본더에 있어서,
   상기 칩본딩 헤드부, 상기 이젝트 핀 및 상기 카메라부 중 적어도 하나의 동작 데이터를 이용하여 이미지 정보를 생성하고, 생성된 상기 이미지 정보를 포함하는 UI(User Interface) 화면을 구성하는 제어부; 및
   상기 제어부에서 구성된 상기 UI 화면을 일정 영역에 출력하는 디스플레이부를 포함하며,
   상기 동작 데이터는, 상기 칩본딩 헤드부, 상기 이젝트 핀 및 상기 카메라부 중 적어도 하나의 동작유무, 상하좌우 동작방향, 동작시간 및 동작속도를 적어도 하나 포함하고,
   상기 디스플레이부는, 상기 UI 화면의 일정 영역에 상기 칩본딩 헤드부, 상기 이젝트 핀 및 상기 카메라부 중 적어도 하나의 동작에 대한 제어신호를 입력하기 위한 제1 입력창을 활성화하고,
   상기 제어부는, 상기 제1 입력창을 통해 입력된 상기 제어신호에 따라 상기 칩본딩 헤드부, 상기 이젝트 핀 및 상기 카메라부 중 적어도 하나의 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는 다이본더.
2. 제1항에 있어서,
   상기 제어부는
   상기 동작 데이터를 토대로 X축 및 Y축으로 이루어진 2차원 도메인의 상기 이미지 정보를 생성하되,
   상기 이미지 정보의 어느 한 축의 변수는 시간으로 설정하고, 다른 한 축의 변수는 상기 칩본딩 헤드부, 상기 이젝트 핀 및 상기 카메라부 중 적어도 하나의 동작 데이터로 설정하는 것을 특징으로 하는 다이본더.
3. 제2항에 있어서,
   상기 제어부는,
   상기 칩본딩 헤드부 및 상기 이젝트 핀 중 적어도 하나에 대하여 동작유무, 동작방향, 동작시간 및 동작속도 중 적어도 하나를 표시하도록 상기 이미지 정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 다이본더.
4. 제2항에 있어서,
   상기 제어부는,
   상기 카메라부에 대하여 동작유무 및 동작시간 중 적어도 하나를 표시하도록 상기 이미지 정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 다이본더.
5. 제1항에 있어서,
   상기 카메라부는,
   상기 칩 본딩 전의 상기 리드프레임의 위치를 확인하기 위한 촬상이미지를 생성하는 제1 동작 또는 상기 칩 본딩 후의 상기 리드프레임의 상태를 검사하기 위한 촬상이미지를 생성하는 제2 동작으로 동작하는 것을 특징으로 하는 다이본더.
6. 제5항에 있어서,
   상기 제어부는,
   상기 카메라부의 상기 제1 동작 또는 상기 제2 동작에 따른 동작 데이터를 포함하는 상기 이미지 정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 다이본더.
7. 삭제
8. 제1항에 있어서,
   상기 제어부는,
   상기 칩본딩 헤드부, 상기 이젝트 핀 및 상기 카메라부 중 적어도 하나의 동작에 따른 동작 데이터와 기 설정된 기준조건과 비교하여 소정 오차범위 내인지 여부를 판단하고, 상기 오차범위를 벗어나는 경우 동작지연 또는 동작오류로 판단하는 것을 특징으로 하는 다이본더.
9. 제8항에 있어서,
   상기 제어부는,
   상기 칩본딩 헤드부, 상기 이젝트 핀 및 상기 카메라부 중 적어도 하나에 대하여 동작지연 또는 동작오류가 발생된 지점 및 동작지연시간을 검출하는 것을 특징으로 하는 다이본더.
10. 제8항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 기준조건에 따른 데이터를 이용하여 이미지 정보를 생성하고, 상기 칩본딩 헤드부, 상기 이젝트 핀 및 상기 카메라부 중 적어도 하나의 동작 데이터를 이용하여 생성된 이미지 정보와 상기 기준조건에 따른 데이터를 이용하여 생성된 이미지 정보가 동일 화면에 포함되도록 상기 UI 화면을 구성하는 것을 특징으로 하는 다이본더.
11. 제8항에 있어서,
    상기 디스플레이부는,
    상기 UI 화면의 일정 영역에 상기 칩본딩 헤드부, 상기 이젝트 핀 및 상기 카메라부 중 적어도 하나의 동작지연 또는 동작오류에 대한 제어신호를 입력하기 위한 제2 입력창을 활성화하고,
    상기 제어부는,
    상기 제2 입력창을 통해 입력된 상기 제어신호에 따라 상기 칩본딩 헤드부, 상기 이젝트 핀 및 상기 카메라부 중 적어도 하나의 동작오류를 제어하는 것을 특징으로 하는 다이본더.
12. 제8항에 있어서,
    상기 디스플레이부는,
    상기 UI 화면의 일정 영역에 상기 칩본딩 헤드부, 상기 이젝트 핀 및 상기 카메라부 중 적어도 하나의 동작지연 또는 동작오류에 대한 제어신호를 입력하기 위한 제3 입력창을 활성화하고,
    상기 제어부는,
    상기 제3 입력창을 통해 입력된 상기 제어신호에 따라 상기 칩본딩 헤드부, 상기 이젝트 핀 및 상기 카메라부 중 적어도 하나의 동작지연 또는 동작오류를 제어하는 것을 특징으로 하는 다이본더.

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