KR101849876B1 - 연마 패드 수지 제조용 조성물 - Google Patents

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KR101849876B1
KR101849876B1 KR1020170049918A KR20170049918A KR101849876B1 KR 101849876 B1 KR101849876 B1 KR 101849876B1 KR 1020170049918 A KR1020170049918 A KR 1020170049918A KR 20170049918 A KR20170049918 A KR 20170049918A KR 101849876 B1 KR101849876 B1 KR 101849876B1
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문덕주
조성욱
서영길
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엠.씨.케이 (주)
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Abstract

본 발명은 지속적인 연마성능을 구현하기 위한 연마 패드 수지 제조용 조성물에 관한 것이다.
본 발명에 따른 연마 패드 수지 제조용 조성물은 적절한 경도를 나타내어 연마공정 초기 연마 성능을 지속적으로 유지하면서도 동시에 연마 효율이 우수한 효과를 나타낸다.

Description

연마 패드 수지 제조용 조성물{Composition for making abrasive pad resin}
본 발명은 지속적인 연마성능을 구현하기 위한 연마 패드 수지 제조용 조성물에 관한 것이다.
전기, 전자, 반도체 및 디스플레이, 광학 분야에서 기초 소재로 폭넓게 사용되고 있는 소다석회유리(Sodalime glass), 붕규산염유리(Borosilicate glass), 규산알루미늄 유리(Aluminosilicate glass), 석영(Quartz) 등의 소재로 이루어지는 평판 광학유리 기판; 사파이어(Sapphire), 탄화규소(SiC), 지르코니아(Zirconia) 웨이퍼 기판의 제조에 그라인딩(Grinding), 랩핑(Lapping), 폴리싱(Polishing), 피니싱(Finishing) 등을 포함하는 연마 공정은 매우 핵심적인 공정 중 하나이다.
연마 공정은 피연마체인 기판의 두께를 조절하거나, 기판 표면의 거칠기(Surface Roughness)를 조절하는 것이 주목적이다.
반복적으로 연마 공정을 수행할 경우, 연마 속도가 감소되고, 연마 균일도가 떨어지는 현상이 발생한다. 이러한 현상을 방지하기 위하여 다수의 연구가 진행되고 있다. 일례로, 한국등록특허 제794297호에서는 일반적인 연마포지(coated abrasives)류 제품의 기재 후면에 지석(bonded abrasives)류 제품과 수지 처리 연마재 또는 2차 연마포지(coated abrasives)류 제품 중 어느 하나 이상을 열가소성 접착제로 결합함으로써 연마력 및 지속성을 증가시킬 수 있다고 개시하고 있다. 그러나 이러한 방식으로 제조된 연마 패드는 지석류와 수지 함침-연마재 측이 두꺼워져서, 연마 효율이 떨어지고, 연마 표면이 거칠어질 뿐만 아니라, 내열 접착력이 저하되어 작업자에게 안전사고를 일으킬 위험이 있다. 또 다른 일례로, 한국등록특허 제937857호에서는 안정성, 치수 안정, 회전파괴강도 및 내충격강도가 우수한 연마 패드를 개시하였다. 그러나 상기 연마 패드에는 카본섬유 및 화학섬유가 사용되어 고가의 소재를 이용하여 경제성이 낮으며, 화학섬유 층에 의한 표면 오염성에 따른 문제점을 일으킨다.
한국등록특허 제794297호(공개일: 2007년 11월 13일) 한국등록특허 제937857호(공개일: 2008년 4월 7일)
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 지속적인 연마성능을 유지하면서 우수한 연마 효율을 달성할 수 있도록 한 연마 패드 수지 제조용 조성물을 제공하는 것이 목적이다.
본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 연마 패드 수지 제조용 조성물은 1 ~ 2 관능성 아크릴레이트계 모노머와 3 ~ 4 관능성 아크릴레이트계 모노머가 1 : 3 내지 3 : 1의 중량비로 혼합된 아크릴레이트계 모노머 및 상기 아크릴레이트계 모노머 100 중량부에 대하여, 에폭시 아크릴레이트계 올리고머 1 내지 50 중량부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 1 ~ 2 관능성 아크릴레이트 모노머는 비스페놀 A [EO]4~30 디아크릴레이트, 비스페놀 F [EO]4~30 디아크릴레이트, 트리시클로데칸 디메탄올 디아크릴레이트, 카프로락톤 아크릴레이트, 옥틸 데실 아크릴레이트, 이소옥틸 아크릴레이트, 라우릴 아크릴레이트, 테트라하이드로퍼퓨릴 아크릴레이트, 1,6-헥산디올 디아크릴레이트, 부탄디올 디아크릴레이트 및 트리프로필렌 글리콜 디아크릴레이트 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 3 ~ 4 관능성 아크릴레이트 모노머는 트리메틸올프로판 [EO]3~15 트리아크릴레이트, 펜타에리스리톨 트리아크릴레이트, 디트리메틸올프로판 테트라아크릴레이트, 디글리세린 테트라(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨에톡시 테트라아크릴레이트, 펜타에리트리톨 테트라아크릴레이트 및 펜타에리트리톨테트라(메타)아크릴레이트 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 에폭시 아크릴레이트 올리고머는 1,6-헥산디올 디아크릴레이트, 트리프로필렌글리콜 디아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜 디아크릴레이트, 하이드록시피발릭산 네오펜틸글리콜 디아크릴레이트, 트리메틸로프로판 트리메타아크릴레이트, 트리메틸로프로판 트리아크릴레이트, 트리메틸로프로판 에톡시 트리아크릴레이트 및 글리세릴 프로폭시 트리아크릴레이트 중 적어도 하나로 중합된 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 연마 패드 수지 제조용 조성물은 적절한 경도를 나타내어 연마공정 초기 연마 성능을 지속적으로 유지하면서도 동시에 연마 효율이 우수한 효과를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 실시예와 비교예에 의해 제조된 연마 패드의 연마 성능을 나타낸 그래프이다.
이하, 본 발명에 대하여 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예에 기재된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
본 발명에 따른 연마 패드 수지 제조용 조성물은,
1 ~ 2 관능성 아크릴레이트계 모노머와 3 ~ 4 관능성 아크릴레이트계 모노머가 1 : 3 내지 3 : 1의 중량비로 혼합된 아크릴레이트계 모노머 및
상기 아크릴레이트계 모노머 100 중량부에 대하여, 에폭시 아크릴레이트계 올리고머 1 내지 50 중량부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
아래에 본 발명에 따른 연마 패드 수지 제조용 조성물을 상세히 설명하기로 한다.
본 발명에서 사용된 1 ~ 2 관능성 아크릴레이트계 모노머는 연마체와의 접착력이 우수하고, 혼합시 수축력이 작아 연마 패드의 형태를 유지하는 데 효과적이다.
상기 1 ~ 2 관능성 아크릴레이트계 모노머는 비스페놀 A [EO]4~30 디아크릴레이트, 비스페놀 F [EO]4~30 디아크릴레이트, 트리시클로데칸 디메탄올 디아크릴레이트, 카프로락톤 아크릴레이트, 옥틸 데실 아크릴레이트, 이소옥틸 아크릴레이트, 라우릴 아크릴레이트, 테트라하이드로퍼퓨릴 아크릴레이트, 1,6-헥산디올 디아크릴레이트, 부탄디올 디아크릴레이트 및 트리프로필렌 글리콜 디아크릴레이트 중 적어도 하나를 포함하는 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 비스페놀 A [EO]4~30 디아크릴레이트, 비스페놀 F [EO]4~30 디아크릴레이트 및 트리시클로데칸 디메탄올 디아크릴레이트 중 적어도 하나를 사용할 수 있으며, 가장 바람직하게는 비스페놀 A [EO]4 디아크릴레이트, 비스페놀 F [EO]4 디아크릴레이트 및 트리시클로데칸 디메탄올 디아크릴레이트 중 적어도 하나를 사용할 수 있다.
또한, 본 발명에서 사용된 3 ~ 4 관능성 아크릴레이트 모노머는 연마체와의 접착력이 우수하고, 내열성이 우수하며 마찰력에 강한 효과를 가진다.
상기 3 ~ 4 관능성 아크릴레이트 모노머는 트리메틸올프로판 [EO]3~15 트리아크릴레이트, 펜타에리스리톨 트리아크릴레이트, 디트리메틸올프로판 테트라아크릴레이트, 디글리세린 테트라(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨에톡시 테트라아크릴레이트, 펜타에리트리톨 테트라아크릴레이트 및 펜타에리트리톨테트라(메타)아크릴레이트 중 적어도 하나를 포함하는 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 트리메틸올프로판 [EO]3을 사용할 수 있다.
상기 1 ~ 2 관능성 아크릴레이트계 모노머와 3 ~ 4 관능성 아크릴레이트계 모노머가 1 : 3 내지 3 : 1의 중량비로 혼합하는 것이 바람직하나, 더욱 바람직하게는 1 ~ 2 관능성 아크릴레이트계 모노머와 3 ~ 4 관능성 아크릴레이트계 모노머가 1 : 2 내지 2 : 1의 중량비로 혼합하여 사용될 수 있다. 여기서, 상기 기재된 중량비를 벗어나 사용할 경우, 연마체와의 접착력이 떨어지고, 기재된 함량 이상으로 사용될 경우 연마 패드의 교체 주기가 짧아질 수 있다.
또한, 본 발명은 고분자 수지 조성물의 점도를 낮추기 위하여 에폭시 아크릴레이트계 올리고머를 포함할 수 있다. 또한, 상기 아크릴레이트계 모노머 100 중량부에 대하여, 에폭시 아크릴레이트계 올리고머 1 내지 50 중량부를 포함하는 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 5 내지 20 중량부를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 에폭시 아크릴레이트계 올리고머가 기재된 함량을 벗어나서 사용될 경우 고분자 수지 조성물의 성형이 어려운 문제가 있다.
한편, 상기 에폭시 아크릴레이트계 올리고머의 중량평균분자량은 100 내지 3,000 g/mol일 수 있으며, 바람직하게는 200 내지 2,000 g/mol, 가장 바람직하게는 500 내지 1,100 g/mol인 것이 좋다.
상기 에폭시 아크릴레이트계 올리고머는 모노머를 이용하여 중합될 수 있고, 중합 단계에서는 촉매, 반응성 희석제 등을 포함할 수 있다.
상기 모노머는 1,6-헥산디올 디아크릴레이트, 트리프로필렌글리콜 디아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜 디아크릴레이트, 하이드록시피발릭산 네오펜틸글리콜 디아크릴레이트, 트리메틸로프로판 트리메타아크릴레이트, 트리메틸로프로판 트리아크릴레이트, 트리메틸로프로판 에톡시 트리아크릴레이트 및 글리세릴 프로폭시 트리아크릴레이트 중 적어도 하나를 포함하는 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 트리프로필렌글리콜 디아크릴레이트 및 폴리에틸렌글리콜 디아크릴레이트 중 적어도 하나를 사용할 수 있다.
또한, 상기 촉매로는 트리페닐포스핀, 트리메틸암모늄클로라이드, 벤질트리메틸암모늄클로라이드, 벤질트리에틸암모늄클로라이드, 트리메틸암모늄브로마이드, 트리에틸아민 등을 사용할 수 있고 바람직하게는 트리페닐포스핀을 사용할 수 있다.
또한, 상기 반응성 희석제로는 1,4-부탄디올 다이아크릴레이트, 1,6-헥산디올 다이아크릴레이트, 1,6-헥산디올 다이메타아크릴레이트, 트리메틸로프로판 트리아크릴레이트, 다이펜타에리스롤 펜타아크릴레이트, 펜타에리스롤 테트라아크릴레이트 등을 사용할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 연마 패드 수지 제조용 조성물과 첨가제를 더 포함하여 연마체층에서 연마체와 혼합되는 고분자 수지를 제조할 수 있다.
상기 첨가제로는 광개시제, 소포제, 분산 안정제, 산화 안정화제 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
상기 광개시제는 자유 라디칼 공급원을 발생시키는 것으로, 그 종류를 특별히 한정하지 않으나 유기 과산화물, 아조 화합물, 퀴논, 벤조페논, 니트로소 화합물, 아크릴 할라이드, 하이드라존, 머캅토 화합물, 피릴륨 화합물, 트라이아크릴이미다졸, 비스이미다졸, 포스펜 옥사이드, 클로로알킬트라이아진, 벤조인 에테르, 벤질 케탈, 티옥산톤 및 아세토페논 유도체 중 적어도 하나를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 소포제는 기포 발생을 억제시키는 것으로, 그 종류를 특별히 한정하지 않으나 실리콘계 및 아세틸렌 디올계 중 적어도 하나를 포함하는 것이 바람직하다.
한편, 바람직한 실시예로서, 본 발명에 따른 연마 패드 수지 제조용 조성물을 이용한 연마 패드를 제조하는 방법은,
연마 패드 수지 제조용 조성물을 중합하여 고분자 수지를 제조하는 단계;
상기 고분자 수지와 연마체를 혼합하여 연마체층을 제조하는 단계; 및
상기 연마체층 상에 기재층을 도포하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 연마 패드 수지 제조용 조성물과 첨가제의 성분, 함량, 효과 등의 특징은 앞서 언급한 내용을 모두 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 연마체층 제조단계로는, 상기 연마 패드 수지 제조용 조성물, 첨가제 및 연마체를 혼합하여 성형 몰드에 주입하고 경화시켜 제조할 수 있다. 또한, 제조된 상기 연마체층 상에 기재층을 도포하고, 상기 성형 몰드를 제거함으로써 연마 패드를 제조할 수 있다.
상기 성형 몰드는 예를 들어 음각 몰드이고, 상기 음각 몰드에 상기 연마체층의 필수 구성성분의 혼합물을 코팅하여 광경화시켜 상기 연마체층을 제조하는 것이 바람직하다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
이하, 실시예를 통하여 본 발명을 더욱 상세히 설명하고자 한다. 이들 실시 예는 오로지 본 발명을 보다 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명의 요지에 따라 본 발명의 범위가 이들 실시예에 의해 제한되지 않는다는 것은 당 업계에서 통상의 지식을 가진 자에 있어서 자명할 것이다.
실시예 1 내지 3.
1 ~ 2 관능성 아크릴레이트계 모노머로는 비스페놀 A [EO]4 디아크릴레이트 “BPA(EO)4DA"(미원社, MIRAMER 240)와 비스페놀 F [EO]4 디아크릴레이트 “BPF(EO)4DA"(미원社, MIRAMER 290)를 준비하였다.
다음, 3 ~ 4 관능성 아크릴레이트계 모노머로는 트리메틸올프로판 [EO]3 트리아크릴레이트 “TMP(EO)3TA”(KOMERATE T032, KPX Green Chemical 社)와 폴리에틸렌 글리콜 디아크릴레이트 “PEGDA”사토머 社, 사토머 230)를 준비하였다.
다음, 트리프로필렌글리콜 디아크릴레이트 “TPGDA”에베크릴 605, 사이텍 社)를 이용하여 중합된 중량평균분자량 500g/mol 의 에폭시 아크릴레이트계 올리고머를 준비하였다.
앞서 준비된 아크릴레이트계 모노머와 에폭시 아크릴레이트계 올리고머를 교반기에 첨가하여 연마 패드 수지 제조용 조성물을 제조하였다.
그리고 제조된 연마 패드 수지 제조용 조성물에 광개시제로 BASF社의 I-819 및 I-184와, 소포제로 EVONIK社의 Airex920을 첨가한 후, 1000rpm에서 30분간 혼합하여 고분자 수지를 제조하였다.
앞서 제조된 연마 패드용 고분자 수지와 연마체를 혼합하여 음각 몰드에 주입하고 UV 램프에 경화시켜 연마체층을 제조하였다. 이어, 연마체층과 기재를 점착테이프로 접착시키고 음각 몰드를 제거하여 연마 패드를 제조하였다.
연마 패드 수지 제조용 조성물 중 아크릴레이트계 모노머의 성분 함량을 달리하여, 실시예 1 내지 3에 따른 연마 패드를 제조하였으며, 성분 함량(중량부로 기재)은 하기 표 1에 나타내었다.
분류 성분 실시예 1 실시예 2 실시예 3
에폭시 아크릴레이트계 올리고머 TPGDA 30 15 15
1 ~ 2 관능성 아크릴레이트계 모노머
 BPA(EO)4DA 30 15 15
BPF(EO)4DA 30 15 20
3 ~ 4 관능성 아크릴레이트계 모노머
 TMP(EO)3TA 10 30 25
PEGDA 20 30 20
비교예 1.
아크킬레이트계 모노머로 트리메틸올프로판 트리아크릴레이트 "TMPTA"(M300, 미원상사社, MW=296) 60 중량부와 이소보르닐 아크릴레이트 “IBOA"(EM70, 미원상사社, MW=208) 30 중량부를 준비하였다.
그리고, 트리프로필렌글리콜 디아크릴레이트를 이용하여 중합된 에폭시 아크릴레이트계 올리고머 10 중량부를 준비하였다.
앞서 준비된 아크릴레이트계 모노머와 에폭시 아크릴레이트계 올리고머를 교반기에 첨가하여 연마 패드 수지 제조용 조성물을 제조하였다.
그리고 제조된 연마 패드 수지 제조용 조성물과, 광개시제로 BASF사社의 I-819 및 I-184와 소포제로 EVONIK社의 Airex920을 첨가하여 1000rpm에서 30분간 혼합하여 고분자 수지를 제조하였다.
앞서 제조된 고분자 수지와 연마체를 혼합하여 음각 몰드에 주입하고 UV 램프에 경화시켜 연마체층을 제조하였다. 이어, 연마체층과 기재를 점착테이프로 접착시키고 음각 몰드를 제거하여 연마 패드를 제조하였다.
비교예 2.
상기 비교예 1에서 트리메틸올프로판 트리아크릴레이트 "TMPTA"(M300, 미원상사社, MW=296)를 30 중량부, 이소보르닐 아크릴레이트 “IBOA"(EM70, 미원상사社, MW=208) 60 중량부로 변경한 것을 제외하고 동일한 방법으로 연마 패드를 제조하였다.
실험예 1. 경도 측정
실험예 1-1. 쇼어(Shore) 경도 측정
상기 실시예 및 비교예의 수지 제조용 조성물과, 최종적으로 제조된 연마 패드를 대상으로 ASTM D2240 표준에 기술된 방법에 따라 쇼어 D 경도를 측정하였으며, 그 결과를 표2에 나타내었다.
실시예 1 실시예 2 실시예 3 비교예 1 비교예 2
수지 제조용 조성물 쇼어 D 경도 D60 D60 D60 D80 D30
연마 패드 쇼어 D 경도 D65 D70 D68 D83 D55
쇼어 D 경도 측정 결과, 아크릴레이트계 모노머로 TMPTA 및 IBOA를 사용한 비교예 1은 경도가 매우 높게 나타났고, 비교예 2는 경도가 매우 낮게 나타나 연마율을 지속적으로 유지하기 어려운 것으로 나타났다. 그러나, 실시예 1 내지 3에서는 60 내지 70 쇼어 D 경도를 가져 연마율을 지속적으로 유지할 수 있음을 알 수 있었다.
실험예 1-2. 연필 경도 측정
상기 실시예 및 비교예에 의하여 제조된 연마 패드를 5cm크기로 절단한 후 5cm유리판에 테이프로 고정시킨 후 연필경도를 측정하였으며, 그 결과를 표3에 나타내었다.
측정 값은 ASTM D 3363에 따른다.
실시예 1 실시예 2 실시예 3 비교예 1 비교예 2
연마 패드 연필강도 2B 2H H 4H 3B
연필 경도 측정 결과, 수지 제조용 조성물 쇼어 D 경도 값이 거의 동일하게 나타난 실시예 1 내지 3의 연필경도 측정 값을 살펴보면, 1 ~2 관능성 아크릴레이트계 모노머가 상대적으로 적게 들어간 실시예 2 및 3에 따른 연마 패드가 실시예 1에 따른 연마 패드 보다 연필 경도 값이 낮은 것으로 나타나, 실시예 1에 따른 연마 패드가 지속적으로 연마율을 유지할 수 있음을 알 수 있었다.
실험예 2. 스크레치 깊이 측정
광학현미경으로 200배의 배율로 연마된 피연마체를 관찰하여 관찰되는 스크래치의 깊이를 측정하고 평균값을 구하였으며, 그 결과를 표4에 나타내었다.
실시예 1 실시예 2 실시예 3 비교예 1 비교예 2
스크래치 깊이(㎛) 1.2 1.45 1.33 10 0.1
스크래치 깊이를 측정한 결과, 높은 경도값을 가지는 비교예 1에 의한 스크래치는 깊이가 깊었으나, 실시예 1 내지 3의 스크래치 깊이는 얕게 나타남을 확인할 수 있었다.
실험예 3. 연마 제거율 측정
상기 실시예와 비교예에 의하여 제조된 연마 패드로 광학 유리 기판을 연마하여 연마 제거율을 측정하였으며, 그 결과를 도 1에 나타내었다.
여기서, 도 1-a는 실시예 1, 도 1-b는 비교예 1, 도 1-c는 비교예 2에 의하여 제조된 연마 패드의 연마 성능 측정 결과를 나타낸 것이다.
여기서, 연마 제거율은 BP310P(SARTORIUS 社, GERMANY)을 이용하여 계산하였다.
도 1을 살펴보면, 비교예 1 및 비교예 2에 의해 제조된 연마 패드는피연마체를 대상으로 랩핑 시간이 지날수록 연마 성능이 급속이 떨어졌으나, 실시예 1에 의해 제조된 연마 패드는 랩핑 시간이 지나도 연마 성능이 지속적으로 유지되는 것을 알 수 있었다.

Claims (4)

1 ~ 2 관능성 아크릴레이트계 모노머와 3 ~ 4 관능성 아크릴레이트계 모노머가 1 : 3 내지 3 : 1의 중량비로 혼합된 아크릴레이트계 모노머 및
상기 아크릴레이트계 모노머 100 중량부에 대하여, 에폭시 아크릴레이트계 올리고머 1 내지 50 중량부를 포함하고,
상기 1 ~ 2 관능성 아크릴레이트계 모노머는 비스페놀 A [EO]4 디아크릴레이트 및 비스페놀 F [EO]4 디아크릴레이트를 1 : 1 ~ 4/3 중량비로 포함하고,
상기 3 ~ 4 관능성 아크릴레이트계 모노머는 트리메틸올프로판 [EO]3 트리아크릴레이트 및 폴리에틸렌 글리콜 디아크릴레이트를 1 : 0.8 ~ 2 중량비로 포함하는 것을 특징으로 하는 연마 패드 수지 제조용 조성물.
삭제
삭제
제 1항에 있어서,
상기 에폭시 아크릴레이트계 올리고머는 1,6-헥산디올 디아크릴레이트, 트리프로필렌글리콜 디아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜 디아크릴레이트, 하이드록시피발릭산 네오펜틸글리콜 디아크릴레이트, 트리메틸로프로판 트리메타아크릴레이트, 트리메틸로프로판 트리아크릴레이트, 트리메틸로프로판 에톡시 트리아크릴레이트 및 글리세릴 프로폭시 트리아크릴레이트 중 적어도 하나로 중합된 것을 특징으로 하는 연마 패드 수지 제조용 조성물.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2016061544A1 (en) * 2014-10-17 2016-04-21 Applied Materials, Inc. Polishing pads produced by an additive manufacturing process

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