KR101827296B1 - 대면적 초음파 세정장치 - Google Patents

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KR101827296B1
KR101827296B1 KR1020160121627A KR20160121627A KR101827296B1 KR 101827296 B1 KR101827296 B1 KR 101827296B1 KR 1020160121627 A KR1020160121627 A KR 1020160121627A KR 20160121627 A KR20160121627 A KR 20160121627A KR 101827296 B1 KR101827296 B1 KR 101827296B1
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이양래
임의수
김현세
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한국기계연구원
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Abstract

본 발명은 대면적 초음파 세정장치에 관한 것으로서, 진동소자가 결합된 진동부를 세정액을 이용해 냉각시킬 수 있도록 하고 열교환된 세정액은 기판으로 분사되도록 하여 세정액이 열교환 및 초음파 전달체의 역할을 할 수 있도록 함으로써, 진동소자에서 발생되는 열을 효과적으로 방열하여 진동소자가 냉각될 수 있어 진동소자에서 발생되는 초음파를 안정시켜 세정 효과를 향상시킬 수 있는 대면적 초음파 세정장치에 관한 것이다.

Description

대면적 초음파 세정장치 {Ultrasonic cleaning apparatus for large area}
본 발명은 대면적 초음파 세정장치에 관한 것으로서, 초음파를 발생시키는 진동소자를 효과적으로 냉각시킬 수 있도록 함으로써 진동소자에서 안정적으로 초음파를 발생시킬 수 있어 세정 효과를 향상시킬 수 있는 대면적 초음파 세정장치에 관한 것이다.
반도체 기판이나 액정 표시장치용 유리 기판 등의 제조공정에서는 다양한 가공의 전후로 반도체나 유리 기판 등에 부착된 미세한 입자들을 세정하여 제거하고 있다.
이때, 통상적으로 세정을 위해 초음파 세정장치가 사용되며, 세정 공정에 이용되는 초음파 세정 장치로서는 슬릿 타입이 이용되고 있다. 여기에서 슬릿 타입의 세정장치는 슬릿이 형성된 중공 상태의 본체에 세정액 공급관이 접속되어 있고, 이 공급관으로부터 본체 내에 공급된 세정액이 슬릿으로부터 유출되도록 구성되어 있다. 또한, 본체의 내부에는 상기 세정액의 유로에 접해 얇은 금속판이나 석영판 등과 같은 진동판이 설치되어 있고, 이 진동판에는 진동소자(압전소자 등)가 접착 고정되어 있다. 그리하여 이 진동소자에 전압을 인가해 진동판을 초음파 진동시키면 본체 내에 유입된 세정액에 초음파가 부여되고 슬릿으로부터 유출되는 세정액에 의해 기판(피처리체)을 세정 할 수 있다.
그런데 이와 같은 초음파 세정장치는 대면적의 기판을 세정하는 경우 초음파를 발생시키는 진동소자에서 많은 열이 발생하며 이로 인해 진동소자에서 발생되는 초음파가 불안정해져 기판의 세정효과가 저하되거나 기판에 형성된 미세한 패턴들이 손상될 수 있는 문제점이 있다.
이에 따라 진동소자에서 발생되는 열을 효과적으로 방열시킬 수 있도록 함으로써 세정효과를 향상시킬 수 있는 대면적 초음파 세정장치의 개발이 필요하다.
KR 10-2010-0054458 A (2010.05.25.)
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 진동소자에서 발생되는 열을 세정액을 이용해 효과적으로 방열하여 진동소자가 냉각되도록 함으로써, 진동소자에서 발생되는 초음파를 안정시켜 세정 효과를 향상시킬 수 있는 대면적 초음파 세정장치를 제공하는 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 대면적 초음파 세정장치는, 내부가 중공되어 하측이 개방되게 형성되는 하우징; 상기 하우징에 결합되어 하우징 내부의 공간을 구획하며, 상하 한 쌍으로 이격되어 설치되는 구획판; 상기 한 쌍의 구획판의 중앙부에 결합되는 진동부; 상기 진동부의 상면에 결합되고 상기 하우징의 내부에 구비되어 초음파를 발생시키는 진동소자; 및 내부가 중공되어 상기 하우징의 하측 둘레에 상단이 결합되며, 하단에 세정액 분사공이 형성되는 세정액 분사 노즐; 을 포함하여 이루어지며, 상기 하우징에는 세정액이 유입되는 세정액 유입구가 형성되고, 하부 구획판에는 상하를 관통하는 세정액 유출구가 형성되어, 상기 세정액 유입구로 유입된 세정액은 세정액 분사 노즐의 내부를 통과한 후 세정액 분사공을 통해 분사되도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 세정액 분사 노즐의 내측에는 상기 세정액 유출구에서 하측으로 이격되어 배치된 유동 가이드부가 형성되어, 상기 세정액 유출구에서 배출된 세정액이 상기 진동부의 하측 중앙에 근접한 부분을 향해 유동되도록 하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 세정액 유입구는 상기 진동부를 향해 관통 형성되거나, 세정액이 유동되는 방향으로 상기 하우징과 진동부 사이의 공간을 향해 관통 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 세정액 유입구가 형성된 하우징의 내측에 배플이 형성되어, 상기 세정액 유입구로 유입된 세정액은 상기 배플에 의해 흐름이 분할되거나 차단되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 세정액 유입구 또는 세정액 유출구가 복수개 형성되거나, 상기 세정액 유입구 및 세정액 유출구가 모두 복수개 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 세정액 유입구는 서로 이격되어 하우징의 둘레를 따라 복수개 형성되며, 상기 세정액 유출구는 서로 이격되어 하부 구획판에 복수개 형성되되, 상기 세정액 유출구는 세정액 유입구들 사이의 위치에 각각 배치되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 세정액 유입구는 하우징의 폭방향 양측에 형성되며, 상기 세정액 유출구는 하우징의 폭방향 양측에 형성되되 길이방향을 따라 길게 슬롯 형태로 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 대면적 초음파 세정장치는, 진동소자에서 발생되는 열을 세정액을 이용해 효과적으로 방열하여 진동소자가 냉각되도록 함으로써 진동소자에서 발생되는 초음파를 안정시켜 세정 효과를 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 대면적 초음파 세정장치를 나타낸 정면 단면 개략도.
도 2는 본 발명에 따른 초음파 발생 모듈을 나타낸 사시도.
도 3 내지 도 7은 본 발명에 따른 세정액 유입구, 세정액 유출구 및 배플이 형성되는 다양한 실시예를 나타낸 도 1의 AA'방향 단면도.
이하, 상기한 바와 같은 본 발명의 대면적 초음파 세정장치를 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 대면적 초음파 세정장치를 나타낸 정면 단면 개략도이며, 도 2는 본 발명에 따른 초음파 발생 모듈을 나타낸 사시도이다.
도시된 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 대면적 초음파 세정장치(1000)는, 내부가 중공되어 하측이 개방되게 형성되는 하우징(110); 상기 하우징(110)에 결합되어 하우징(110) 내부의 공간을 구획하며, 상하 한 쌍으로 이격되어 설치되는 구획판(130); 상기 한 쌍의 구획판의 중앙부에 결합되는 진동부(140); 상기 진동부(140)의 상면에 결합되고 상기 하우징(110)의 내부에 구비되어 초음파를 발생시키는 진동소자(120); 및 내부가 중공되어 상기 하우징(110)의 하측 둘레에 상단이 결합되며, 하단에 세정액 분사공(210)이 형성되는 세정액 분사 노즐(200); 을 포함하여 이루어지며, 상기 하우징(110)에는 세정액이 유입되는 세정액 유입구(111)가 형성되고, 하부 구획판(130b)에는 상하를 관통하는 세정액 유출구(131)가 형성되어, 상기 세정액 유입구(111)로 유입된 세정액은 세정액 분사 노즐(200)의 내부를 통과한 후 세정액 분사공(210)을 통해 분사되도록 형성될 수 있다.
우선, 대면적 초음파 세정장치(1000)는 크게 초음파 발생 모듈(100) 및 세정액 분사 노즐(200)로 이루어질 수 있으며, 세정액이 진동부(140) 주변을 통과하면서 진동부(140)를 냉각시킨 후 세정액 분사 노즐(200)의 내부를 통과한 후 세정액 분사공(210)을 통해 기판(500)으로 세정액을 분사하도록 구성될 수 있다.
여기에서 초음파 발생 모듈을(100)은, 하우징(110)의 내부에 초음파를 발생시키는 진동소자(120)가 구비되어 진동부(140)와 구획판(130)에 의해 밀폐될 수 있다. 그리고 하우징(110)과 진동부(140) 사이의 공간이 상부 구획판(130a)과 하부 구획판(130b)에 의해 막히도록 형성되어 세정액이 유동되는 유로가 된다. 또한, 하우징(110)에는 세정액 유입구(111)가 형성되고 하부 구획판(130b)에는 세정액 유출구(131)가 형성될 수 있으며, 세정액 유입구(111)는 하우징(110)에 형성되되 상부 구획판(130a)과 하부 구획판(130b)의 사이의 위치에 형성될 수 있으며, 세정액 유출구(131)는 하부 구획판(130b)에 형성되되 하부 구획판(130b)을 상하로 관통하도록 형성될 수 있다.
이때, 상기 하우징(110)의 개방된 하측에는 하부 구획판(130b)이 결합되고 그 상측으로 이격되어 상부 구획판(130a)이 하우징(110)의 내주면에 결합될 수 있다. 그리고 상기 상부 구획판(130a)과 하부 구획판(130b)은 중앙부가 중공되어 진동부(140)의 하측이 하부 구획판(130b)에 결합되어 고정되고 진동부(140)의 상측이 상부 구획판(130a)에 결합되어 고정될 수 있다. 그리고 진동부(140)의 상면에는 진동소자(120)가 결합되어, 진동소자(120)가 하우징(110)의 내부에 구비될 수 있다.
세정액 분사 노즐(200)은 상측이 하우징(110)의 하측에 결합될 수 있고, 상하를 관통하도록 내부 유로가 형성되며 유로의 상측이 세정액 유출구(131)와 연결되고 하단에 세정액 분사공(210)이 형성될 수 있다. 그리고 세정액 분사 노즐(200)은 일례로 상측에서 하측으로 갈수록 폭이 좁아지는 깔때기 형태로 형성될 수 있다. 이때, 세정액이 통과되는 세정액 분사 노즐(200)의 내부 유로도 상기한 바와 마찬가지 형태로 형성될 수 있다.
그리하여 하우징(110)의 세정액 유입구(111)로 유입된 세정액은 하우징(110)과 진동부(140) 사이의 공간을 따라 유동되면서 진동부(140)를 냉각시키고 세정액 유출구(131)로 배출되며, 세정액 유출구(131)를 통해 배출된 세정액은 세정액 분사 노즐(200)의 내부를 통과하면서 진동부(140)의 하면을 냉각시키고 이때 진동부(140)의 하면에서 초음파가 조사되어 초음파가 세정액에 조사된 후 세정액 분사 노즐(200) 하단에 형성된 세정액 분사공(210)을 통해 기판(500)으로 분사될 수 있다.
즉, 내부가 중공되어 하단에 세정액 분사공(210)이 형성되는 세정액 분사 노즐(200) 및 그 안에 채워지는 세정액이 함께 초음파 전달체의 역할을 하게되며, 세정액 분사 노즐(200)은 초음파 전달체의 역할과 세정액을 분사하는 노즐의 역할을 동시에 할 수 있도록 한 것으로써, 세정액 유입구(111)를 통해 유입된 세정액에 의해 진동부(140)의 측면인 둘레면이 냉각된 후 세정액 분사 노즐(200)의 내부에 채워져 유동되는 세정액에 의해 진동부(140)의 하면이 더 냉각될 수 있으며, 세정액 분사 노즐(200)의 내부에 세정액이 채워진 상태에서 초음파가 조사되고 그 이후 하단에 형성된 세정액 분사공(210)을 통해 기판(500)으로 세정액이 분사되도록 하는 것이다. 이때, 세정액 분사 노즐(200)의 중공된 내부에 채워지는 세정액이 초음파 전달체의 역할을 하게 되며 동시에 진동부(140)의 하면을 냉각시키는 역할을 할 수 있다.
그리하여 진동부(140)의 측면 및 하면을 함께 냉각시킬 수 있어, 진동소자의 냉각 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 진동부(140)의 냉각 성능을 향상시키기 위한 구조가 간단해질 수 있다. 또한, 진동부(140)와 접촉되면서 열교환되어 승온된 세정액이 기판(500)으로 분사될 수 있어 기판의 세정 효율을 더욱 향상시킬 수 있다.
또한, 상기 세정액 분사 노즐(200)의 내측에는 상기 세정액 유출구(131)에서 하측으로 이격되어 배치된 유동 가이드부(220)가 형성되어, 상기 세정액 유출구(131)에서 배출된 세정액이 상기 진동부(140)의 하측 중앙에 근접한 부분을 향해 유동되도록 할 수 있다.
즉, 세정액 유출구(131)에서 수직 하방으로 배출되는 세정액이 진동부(140)의 하면 중앙쪽으로 유동되도록 세정액의 방향을 전환시켜 진동부(140)를 보다 효과적으로 냉각시키고 초음파가 효율적으로 조사되도록 하기 위함이다. 이때, 유동 가이드부(220)는 세정액 분사 노즐(200)의 내측면에 형성되되 도시된 바와 같이 수평 또는 경사진 형태로 내면이 단차진 형태로 형성될 수도 있으며, 별도의 유동 가이드부(220)가 결합될 수도 있다. 여기에서 유동 가이드부(220)는 진동소자(120)에서 발생되는 초음파가 기판(500)으로 전달되는 경로에 방해가 되지 않고 초음파가 효율적을 집중되는 범위에서 형성되는 것이 바람직하며, 도시된 바와 같이 진동부(140)의 측면 방향으로 바깥쪽에 해당하는 부분에만 유동 가이드부(220)가 형성될 수 있다.
또한, 상기 세정액 유입구(111)는 상기 진동부(140)를 향해 관통 형성되거나, 세정액이 유동되는 방향으로 상기 하우징(110)과 진동부(140) 사이의 공간을 향해 관통 형성될 수 있다.
즉, 도 3과 같이 세정액 유입구(111)가 하우징(110)의 일측에 형성되고 세정액 유출구(131)가 타측에 형성되는 경우, 세정액 유입구(111)는 진동부(140)의 중앙을 향해 하우징(110)에 관통 형성되어 하우징(110) 내로 유입된 세정액이 진동부(140)의 둘레를 양쪽으로 감싸듯이 유동되면서 열교환 된 후 세정액 유출구(131)를 통해 배출될 수 있다. 또한, 도 4와 같이 세정액 유입구(111)에 인접하여 세정액 유출구(131)가 형성되는 경우 세정액 유입구(111)는 하우징(110)의 접선방향으로 관통 형성되거나 모서리 부분에 형성되되 세정액이 유동되는 방향인 상기 하우징(110)과 진동부(140)의 사이의 공간을 향해 관통 형성될 수 있으며, 유입된 세정액은 진동부(140) 전체 둘레를 따라 유동되면서 열교환 된 후 세정액 유출구(131)를 통해 배출될 수 있다. 그리하여 유입된 세정액이 진동부(140)의 측면(둘레) 전체를 감싸듯이 유동되면서 진동부(140)를 냉각시킬 수 있어 진동소자(120)를 효과적으로 냉각시킬 수 있다.
또한, 상기 세정액 유입구(111)가 형성된 하우징(110)의 내측에 배플(112)이 형성되어, 상기 세정액 유입구(111)로 유입된 세정액은 상기 배플(112)에 의해 흐름이 분할되거나 차단될 수 있다.
즉, 일례로 도시된 바와 같이 일측에 세정액 유입구(111)가 형성되고 타측에 세정액 유출구(131)가 형성되는 경우, 세정액 유입구(111)의 중심과 진동부(140)의 중심을 있는 라인 상에 배플(112)이 배치될 수 있으며 배플(112)은 하우징(110)의 내측에 결합되어 고정될 수 있다. 그리하여 세정액 유입구(111)로 유입된 세정액이 배플(112)에 의해 나뉘어 양쪽으로 균일하게 유동된 후 세정액 유출구(131)로 배출될 수 있어 진동부(140)를 균일하게 냉각시킬 수 있다. 그리고 하우징(110) 및 진동부(140)가 직사각형 형태로 형성되어 하우징(110)의 모서리 부근에 세정액 유입구(111)가 형성되고 근접하여 세정액 유출구(131)가 형성되는 경우, 세정액 유입구(111)와 세정액 유출구(131) 사이에 배플(112)이 배치될 수 있으며, 배플(112)은 하우징(110)에 결합되어 세정액 유입구(111)를 통해 유입된 세정액이 바로 세정액 유출구(131)를 통해 배출되지 않고 진동부(140) 둘레를 따라 유동되면서 열교환 된 후 세정액 유출구(131)를 통해 배출되도록 형성될 수 있다.
이때, 배플(112)은 일단이 하우징(110)의 내벽면에 결합되어 고정될 수 있으며, 타단은 자유단으로 형성되어 진동부(140)와 약간 이격된 형태로 배치될 수 있다. 또한, 배플(112)은 상측과 하측이 구획판(130)과 결합되지 않고 이격되도록 형성될 수 있다. 즉, 배플(112)은 하우징(110)에 고정되어 진동소자(120)에서 발생되는 초음파에 간섭이 발생되지 않도록 할 수 있다.
또한, 상기 세정액 유입구(111) 또는 세정액 유출구(131)가 복수개 형성되거나, 상기 세정액 유입구(111) 및 세정액 유출구(131)가 모두 복수개 형성될 수 있다.
즉, 도 5와 같이 세정액 유입구(111)가 하나만 형성되고 세정액 유출구(131)가 복수개 형성되어 진동부(140) 둘레를 따라 유동되어 세정액 유출구(131)를 통해 배출되는 세정액의 유동 속도를 느리게 할 수 있으며 세정액 유출구(131)를 크게 하나로 형성하지 않고 작게 복수개 형성하여 일정한 간격으로 배치되도록 할 수 있다. 마찬가지로 도 6과 같이 세정액 유입구(111)도 복수개로 형성되어 하우징(110) 내로 유입되는 세정액의 유동 속도를 느리게 할 수 있으며, 하우징(110)에 형성되는 세정액 유입구(111)들을 일정거리 이격되어 배열된 형태 또는 대칭이 되는 형태로 형성할 수 있다.
이때, 상기 세정액 유입구(111)는 서로 이격되어 하우징(110)의 둘레를 따라 복수개 형성되며, 상기 세정액 유출구(131)는 서로 이격되어 하부 구획판(130b)에 복수개 형성되되, 상기 세정액 유출구(131)는 세정액 유입구(111)들 사이의 위치에 각각 배치될 수 있다.
즉, 도시된 바와 같이 세정액 유입구(111)가 하우징(110)의 둘레를 따라 일정한 간격으로 형성되어 대칭이 되도록 배열되고 세정액 유출구(131)도 하부 구획판(130b)에 일정간격 이격되어 대칭이 되도록 배열되어, 세정액 유입구(111)들 사이에 세정액 유출구(131)가 배치됨으로써 세정액의 유동 속도를 느리게 할 수 있으며, 세정액 유입구(111)로 유입된 세정액이 진동부(140)를 향해 유동되어 열교환을 일으킨 후 양쪽의 세정액 유출구(131)를 통해 배출될 수 있다.
여기에서 하우징(110)의 하측에 세정액 분사 노즐(200)이 결합되어 진동부(140)의 하면도 함께 냉각되도록 구성되는 실시예의 경우, 세정액 유출구(131)가 일정거리 이격되어 복수개 형성되면 진동부(140)의 하측으로도 세정액이 균일하게 유동되어 채워질 수 있으므로 진동부(140)를 효과적으로 냉각시킬 수 있다.
또한, 상기 세정액 유입구(111)는 하우징(110)의 폭방향 양측에 형성되며, 상기 세정액 유출구(131)는 하우징(110)의 폭방향 양측에 형성되되 길이방향을 따라 길게 슬롯 형태로 형성될 수 있다.
도 7과 같이 세정액 유입구(111)가 하우징(110)의 폭방향 양측에 길이방향을 따라 이격되어 복수개가 형성되고, 세정액 유출구(131)는 하우징(110)의 폭방향 양측에 형성되되 길이방향을 따라 길게 슬롯 형태로 형성되어, 방열 효율 향상 및 세정 효과를 향상시킬 수 있다.
또한, 진동부(140)는 둘레에 방열핀(141)이 형성되어 냉각 효과를 향상시킬 수 있다. 그리고 세정액 분사 노즐(200)은 세정액 분사공(210)이 슬롯 형태로 길게 형성될 수 있다.
그리고 본 발명의 대면적 초음파 세정장치(1000)는, 기판(500)의 이송방향 하류측에 흡입 수단(300)이 배치되어 세정액 분사 노즐(200)을 통해 분사되어 기판(500) 표면의 세정이 완료된 세정액이 흡입될 수 있다. 또한, 기판(500)의 이송방향으로 최하류측에 에어 나이프(400)가 구비되어 에어를 분사함으로써 세정액이 에어 나이프(400)를 지나가지 못하도록 하여 흡입 수단(300)에서 세정액의 흡입이 원활하게 이루어지도록 할 수 있다.
본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이다.
1000 : 대면적 초음파 세정장치
100 : 초음파 발생 모듈
110 : 하우징 111 : 세정액 유입구
112 : 배플
120 : 진동소자 130 : 구획판
130a : 상부 구획판 130b : 하부 구획판
131 : 세정액 유출구
140 : 진동부 141 : 방열핀
200 : 세정액 분사 노즐
210 : 세정액 분사공 220 : 유동 가이드부
300 : 흡입 수단
400 : 에어 나이프
500 : 기판

Claims (7)

  1. 내부가 중공되어 하측이 개방되게 형성되는 하우징;
    상기 하우징에 결합되어 하우징 내부의 공간을 구획하며, 상하 한 쌍으로 이격되어 설치되는 구획판;
    상기 한 쌍의 구획판의 중앙부에 결합되는 진동부;
    상기 진동부의 상면에 결합되고 상기 하우징의 내부에 구비되어 초음파를 발생시키는 진동소자; 및
    내부가 중공되어 상기 하우징의 하측 둘레에 상단이 결합되며, 하단에 세정액 분사공이 형성되는 세정액 분사 노즐; 을 포함하여 이루어지며,
    상기 하우징에는 상기 한 쌍의 구획판 사이의 위치에 세정액이 유입되는 세정액 유입구가 형성되되, 상기 세정액 유입구는 하우징의 폭방향 양측에 형성되고,
    하부 구획판에는 폭방향 양측에 상하를 관통하는 세정액 유출구가 형성되되, 상기 세정액 유출구는 길이방향을 따라 길게 슬롯 형태로 형성되거나 길이방향을 따라 서로 이격된 복수개의 홀 형태로 형성되어,
    상기 세정액 유입구로 유입된 세정액은 하우징과 진동부 사이의 공간을 따라 유동되어 세정액 유출구를 통해 세정액 분사 노즐의 내부로 배출된 후 세정액 분사 노즐의 내부를 통과하여 세정액 분사공을 통해 분사되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 대면적 초음파 세정장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 세정액 분사 노즐의 내측에는 상기 세정액 유출구에서 하측으로 이격되어 배치된 유동 가이드부가 형성되어, 상기 세정액 유출구에서 배출된 세정액이 상기 진동부의 하측 중앙에 근접한 부분을 향해 유동되도록 하는 것을 특징으로 하는 대면적 초음파 세정장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 세정액 유입구는 상기 진동부를 향해 관통 형성되거나, 세정액이 유동되는 방향으로 상기 하우징과 진동부 사이의 공간을 향해 관통 형성되는 것을 특징으로 하는 대면적 초음파 세정장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 세정액 유입구가 형성된 하우징의 내측에 배플이 형성되어, 상기 세정액 유입구로 유입된 세정액은 상기 배플에 의해 흐름이 분할되거나 차단되는 것을 특징으로 하는 대면적 초음파 세정장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 세정액 유입구 또는 세정액 유출구가 복수개 형성되거나, 상기 세정액 유입구 및 세정액 유출구가 모두 복수개 형성되는 것을 특징으로 하는 대면적 초음파 세정장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 세정액 유입구는 서로 이격되어 하우징의 둘레를 따라 복수개 형성되며, 상기 세정액 유출구는 서로 이격되어 하부 구획판에 복수개 형성되되, 상기 세정액 유출구는 세정액 유입구들 사이의 위치에 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 대면적 초음파 세정장치.
  7. 삭제
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