KR101825508B1 - 회전 방지 링크를 갖는 집적회로 칩 테스터 - Google Patents

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Abstract

집적회로를 수용하고 테스트 장비의 일부분 또는 다른 기판를 중첩하는데 적합한 플랫폼을 가지며, 투피스형 커넥터 조립체의 일부를 각각 위치시키는 슬롯들의 어레이가 플랫폼에 형성되는, 집적회로를 테스트하거나 접속하기 위한 소켓이 개시된다. 집적회로가 플랫폼에 앉혀질 때, 투피스형 커넥터 조립체들은, 집적회로에 의한 신호 전송을 확립하거나 또는 평가하기 위하여 집적회로 상의 접촉 패드와 기판 사이에 접촉하게 되도록 선회한다. 플랫폼은 기판 또는 테스트 장비와 접촉하게 되도록 플랫폼으로부터 커넥터 조립체를 편향시키는 탄력성 세장형 엘라스토머를 수용한다. 집적회로가 플랫폼에 배치될 때, 탄력성 관형 부재의 편향은 극복되고, 전기 접속이 커넥터 조립체를 가로질러 확립된다.

Description

회전 방지 링크를 갖는 집적회로 칩 테스터{INTEGRATED CIRCUIT CHIP TESTER WITH AN ANTI-ROTATION LINK}
본 발명은 집적회로 기판과 집적회로를 전기적으로 접속하는 소켓에 관한 것이다. 특히, 본 발명은, 테스트 중인 집적회로 디바이스(IC device under test, DUT)와 테스트 장비 또는 다른 고정물의 로드 기판(load board)와 같은 기판 사이의 포지티브 접속(positive connection)을 달성하는 투피스형 커넥터(two-piece connector)들의 어레이를 통합하는, 집적회로를 테스트 또는 접속하기 위하여 사용되는 것들과 같은 소켓에 관한 것이다.
집적회로 테스터 디바이스들은 제조 라인으로부터의 집적회로 칩들의 품질을 테스트하고 평가하도록 반도체 산업에서 장기간 동안 사용되었다. 신호 무결성은 집적회로 칩 디자인 및 테스트의 중요한 측면이다. 이를 위하여, 특정의 필요한 레벨에서 그 대응하는 로드 기판 패드(load board pad)에 집적회로 리드를 서로 접속하는 접점의 도선 부분(conducting portion)을 통하여 임피던스를 유지하는 것이 바람직하다. 상기 디자인의 실효 임피던스(effective impedance)는 다수의 인자들의 함수이다. 이러한 인자들은 전도성 구조물의 재료로 만들어지는 전도 경로의 폭 및 길이, 재료 두께 등을 포함한다.
집적회로(IC)와 같은 패키징되거나 또는 몰딩된 반도체 디바이스의 전기 특성들을 테스트할 때, 그 성능을 평가하는 장비에, 즉 로드 기판에 집적회로를 고정하고 접속하는 특별화된 테스트 소켓을 이용하는 것이 통상적이다. 많은 상이한 테스트 소켓들은 테스터의 로드 기판에 테스트될 집적회로 칩의 집적회로 리드들을 신속하고 일시적으로 접속하기 위하여 고안되었다. 특히 자동화된 장치는 다수의 이러한 소켓들을 사용한다. 전형적인 소켓 장치는 접점의 프로브 팁을 변형시키고 로드 기판 상의 패드를 결합하도록 집적회로의 리드와 로드 기판 사이에 위치된 접점에 집중되는 힘을 사용한다. 이러한 구성은 DUT의 핀들 또는 접촉 패드와 테스트 장치의 대응하는 리드들 사이의 포지티브 접속을 제공한다. 이러한 형태의 접속의 예들은 예를 들어, 그 교시 및 내용이 참조에 의해 전체적으로 본원에 통합되는 Rathburn에 허여된 미국 특허 제6,409,521호 및 Sherry에 허여된 미국 특허 제7,737,708호에서 알 수 있다.
집적회로들을 테스트하거나 또는 이러한 회로들을 기판에 장착하든 간에, 적절한 소켓형 커넥터들이 필요하다. 비용, 낮은 프로파일을 갖는 것, 및 전기 신호 경로를 단축하는 것과 같은 인자들은 업계가 종래 기술의 소켓을 개선하도록 끊임없이 추구하도록 한다. 상기에 대한 해결책은, Tiengtum에게 허여되고 본 양수인에게 양도되었으며 그 내용이 참조에 의해 본원에 완전히 통합되는 미국 특허 제7,918,669호에 의해 제공된다. 이러한 디바이스의 특징은 커넥터들의 탄성 편향을 제공하는 원통형 엘라스토머였으며, 이는 테스팅 디바이스가 테스트 중인 디바이스(DUT)와 유효 접촉을 확실하게 만드는 것을 가능하게 하였다. 그러나, 이러한 원통형 엘라스토머는 빠르게 마모되고, 다수의 사용 후에 변형하기 시작하였으며, 그 유효성을 감소시킨다. 이것은 마모가 시작하면, 뒤틀어질 수 있으며, 이러한 것은 추가의 마모 및 탄력성 상실로 이어진다. 이러한 것은 특정 조건 하에서 커넥터가 확실한 접촉을 확립하는데 있어서 문제로 이어진다.
본 발명은 이러한 문제를 해결한다.
본 발명은 바람직하게 적어도 하나의 주변 가장자리를 따라서 선형으로 배열된 일련의 접촉 패드들 또는 다른 전기 접속 부위들을 가지는 집적회로를 위한 소켓이며, 상기 소켓은, 상기 집적회로를 지지하고 다수의 커넥터들을 수용하는 플랫폼을 포함하며, 상기 커넥터들은 상기 집적회로의 접촉 패드들과 결합될 때 상기 접촉 패드들과 상기 플랫폼 아래의 관련 고정물의 접점들 사이의 전기 접속을 완성한다. 상기 소켓의 플랫폼은 대응하는 다수의 전기 접점들을 정렬하고 수용하기 위한 다수의 대체로 평행한 슬롯들을 가질 수 있으며, 하나의 접점이 각 슬롯에 수용된다. 각 전기 접촉 경로는 상기 접촉 패드와 상기 고정물의 접점 사이에 전기 접속을 형성하도록 협동하는 투피스형 링크(two piect linkage)로 형성된다. 상기 접점의 2개의 부분은 상기 집적회로와 기판 사이에 확실한 전기 접속을 형성하도록 서로 협동한다.
투피스형 커넥터 조립체는 소자들의 변형없이 결합 위치로 선회하도록 배열된다. 변형되는 구성요소들이 그 탄력성을 상실하고 반복된 수명 주기에 의해 소켓의 감소된 접촉 또는 고장으로 이어질 수 있기 때문에, 변형은 방지되는 것이 유익하다. 본 발명에서, 접점의 제1 부분은 "마운트"로서 지칭되고, 대체로 평면의 평행한 상부면 및 하부면과, 약간 위쪽을 향하여 기울어진 배향을 갖는 둥근 구근형 캐비티(rounded, bulbous cavity)가 형성된 측면을 가진다. 둥근 캐비티는 다음에 설명되는 로커 아암(rocker arm)의 유익한 받침점(favorable purchase)을 수용하는 약간 확장된 마우스를 갖는 실질적으로 반원형이다. 둥근 캐비티는 곡선의 핑거형 돌기를 통하여 평면의 상부면으로 상부 섹션을 따라서 이행하고(transition), 하부면으로부터 위쪽을 향해 경사지는 입술 부재(lip member)를 한정하도록 그 하부 섹션에서 추가로 이행한다. 입술 부재는 캐비티를 한정하는 그 곡선의 상부 가장자리를 대략 추적하는 곡선의 하부 가장자리를 가지며, 상부 가장자리와 하부 가장자리는 모두 전방을 향한 선단 가장자리(forward facing leading edge)에서 종료한다.
마운트는 움직이지 않도록 상기 플랫폼에 고정되고, 바람직하게 로드 기판 아래로 마운트를 약간 끼워넣도록 상부면 위의 플랫폼으로부터의 압축성 예비 부하(compressive preload)를 포함한다. 바람직한 실시예에서, 마운트는 플랫폼 내로 박히는 각이진 배면(angled back surface)이 형성되어, 테스트 작업 동안 마운트의 움직임을 방지한다. 고정된 마운트는 제2 부재, 즉 링크를 수용하여 이의 선회 받침점처럼 기능한다.
링크는 집적회로의 관련 접촉 패드(또는 핀)과의 접속하게 되는 접촉 지점으로서 작용하는 아치형 상부면이 형성된다. 아치형 상부면은 곡선의 상부면이 그 결합된 위치를 통하여 그 초기 준비 위치(stand-by position)를 통해 회전함에 따라서 집적회로의 접촉 패드와의 매끄러운 구름 접촉을 유지하는 곡률을 가진다. 링크의 아치형 상부면으로부터 측면으로 외향하여 돌출하는 부분은 둥근 팁으로 이어지는 목부를 갖는 로커 아암이다. 로커 아암의 둥근 팁은 마운트에 있는 캐비티와 짝을 이루는 크기이며, 링크의 볼 및 소켓형 선회 운동을 제공한다. 즉, 마운트의 캐비티에 앉혀질 때 링크의 둥근 팁은, 로커 아암의 목부가 캐비티의 마우스를 한정하는 표면들 사이에서, 즉 링크가 집적회로 및 아래의 테스트 디바이스와 접촉하지 않는 준비 또는 분리 위치와, 링크가 마운트와 확실히 접촉하여 회로가 완성되는 결합 위치 사이에서 스윙함에 따라서 둥근 팁의 단부를 중심으로 회전할 수 있다.
세장형 탄력성 엘라스토머는 집적회로가 존재하지 않을 때 준비 또는 분리 위치로 링크 부재를 편향시키도록 링크 부재 뒤 및 아래에 위치된다. 세장형 탄력성 엘라스토머는 엘라스토머를 보유하도록 형상화된 캐비티에 있는 플랫폼에 위치된다. 집적회로가 테스트 소켓에 집중될 때, 집적회로의 접촉 패드는 엘라스토머의 편향에 맞서 링크의 아치형 상부면을 아래쪽을 향해 민다. 엘라스토머는 마운트의 캐비티의 표면과의 접촉으로 링크의 로커 아암을 유지한다. 집적회로 칩의 하향 움직임의 힘이 엘라스토머의 편향을 극복함에 따라서, 링크는 마운트를 중심으로 회전할 것이고, 캐비티에서 로커 아암의 결합은 관형 탄력성 부재의 횡력(lateral force)에 의해 효과적으로 확립될 것이다. 마운트는 로드 기판 또는 다른 고정물의 전기 접점과 짝을 이룬 하부면을 가지며, 링크는 집적회로 접촉 패드와 확실하게 접촉한다. 그러므로, 마운트의 소켓과 로커 아암의 상호 접속은 집적회로 DUT와 관련 고정물 사이에 회로를 완성한다.
엘라스토머는 바람직한 실시예에서 둥근 제1 모서리를 가지는 정사각형 프로파일로 형상화될 수 있다. 엘라스토머는 둥근 모서리가 위를 향하고 링크와 접촉하게 되도록 쐐기 형상 지지부(wedge-shaped support)에 앉혀진다. 엘라스토머의 정사각형 형상은, 정사각형의 전체 면과는 대조적으로 단지 약간 스칠 정도로 접촉하게 되는 원통형 엘라스토머와 비교하여 링크가 링크와 더욱 크게 접촉하게 되는 것을 보장한다. 엘라스토머는 엘라스토머의 중간을 통한 길이 방향 구멍을 통합하는 것에 의해 오직 2 스테이지의 힘으로 동작할 수 있다. 상기 구멍은 힘의 추가적인 레벨을 제공하며, 이러한 것은 접속을 고정하고 접촉을 개선하도록 사용될 수 있는 한편, 엘라스토머의 수명을 희생시킴이 없이 컴플라이언스의 범위(range of compliance)를 증가시킨다. 링크가 먼저 엘라스토머와 접촉하게 될 때, 중심에 있는 구멍의 존재 때문에, 엘라스토머는 더욱 용이하게 압축한다. 그러므로, 더욱 작은 힘이 링크에 적용된다. 그러나, 엘라스토머의 압축이 구멍을 폐쇄하면, 엘라스토머의 전체 나머지 단면은 추가의 압축에 저항하고, 이에 의해 링크 상의 힘을 증가시킨다. 이러한 증가된 힘은 테스트 중인 디바이스와 더욱 큰 접속을 보장하는 한편, 초기 접촉 위상 동안 엘라스토머를 너무 이르게 마모시키지 않는다.
본 발명의 이들 및 다른 많은 특징은 다음의 설명 및 도면을 참조하는 것에 의해 가장 잘 이해될 것이다. 그러나, 본 발명의 최상의 모드가 설명되고 도시되었지만, 본 발명은 임의의 특정 도면 또는 설명에 제한되지 않는다는 것이 이해되어야한다. 오히려, 당업자가 용이하게 예측할 수 있는 본 발명의 많은 변형이 있을 수 있으며, 본 발명은 이러한 모든 변형 및 변경을 포함하는 것이 이해되어야 한다.
도 1은 본 발명의 테스트 소켓의 실시예의 정면 사시도;
도 2는 커넥터 구조물을 도시하는 테스트 소켓의 일부의 확대 정면 절단도;
도 3은 결합 위치에 있는 링크와 마운트의 확대 단면도; 및
도 4는 엘라스토머와 쐐기 형상 지지부의 분해도.
도 1은 대체로 그 내용이 본원에 통합되는 미국 특허 제7,918,669호에 설명된 형태의 집적회로 테스트 소켓(40)을 도시한다. 테스트 소켓(40)은 테스트 장비 상에 테스트 소켓을 장착하도록 4개까지의 정렬 구멍(42)들을 갖는 대체로 정사각형의 프로파일을 가진다. 테스트 소켓(40)의 플랫폼(44) 상에, 테스트 중인 집적회로 칩(16)을 수용하도록 정사각형 오목부(46)가 형성된다. 다수의 전기 커넥터들은 상기에서 인용된 '미국 특허 제7,918,669호'에서 더욱 완전하게 설명된 바와 같이 오목부(46) 내에 형성된다. 집적회로 칩(16)이 오목부(46)에 배치되면, 테스트 소켓(40)은 집적회로를 테스트하는 것을 예상하여 예를 들어 핸들러 작업 프레스에 배치되고 핸들러에 클램핑될 수 있다. 자동 및 수동의 다른 장치들이 본 발명으로 또한 가능하다.
도 2는 DUT를 테스트하는데 필요한 접점들을 만들도록 테스트 소켓과 협동하는 전기 커넥터들을 도시한다. 테스트 소켓(40)은, 집적회로로부터의 전기 신호를 수신하고 신호의 품질, 세기 및 다른 특징들을 평가하는 테스트 장비의 부분으로서 패드(18)에 앉혀진다. 테스트 소켓(40)의 목적은 신호를 집적회로 칩의 접촉 패드로부터 플랫폼(12) 내에 있는 다수의 커넥터 조립체(52)들을 통하여 아래의 테스트 장비에 전기적으로 흐르게 하는 것이다. 각 커넥터 조립체(52)는 집적회로가 존재하지 않는 준비 또는 분리 위치(도 3에 도시된 바와 같은)와, 커넥터 조립체(52)들을 통하여 집적회로 칩(16)과 테스트 장비 패드(18) 사이의 완성된 전기 회로에 대응하는 결합 위치 사이에서 선회한다. 소켓(40)의 플랫폼(54)은, 도 2에 도시된 바와 같이 커넥터(52)의 일부가 플랫폼의 상부면으로부터 빠져나가는 것을 허용하는 다수의 슬롯(56)들을 가진다. 미국 특허 제 7,918,669호에서 더욱 상세하게 설명된 바와 같이, 집적회로 칩(16)이 플랫폼(54)에 배치될 때, 집적회로 칩(16)의 커넥터(79)들은 슬롯(56)들을 통해 돌출하는 커넥터 조립체(52)의 일부를 접촉하고, 커넥터 조립체(52)를 결합 위치로 선회시킨다(도 3). 이러한 방식으로, 집적회로가 테스트 소켓 플랫폼(54)에 배치될 때, 전기 접촉은 확실하고 자동적으로 확립된다.
전기 접속을 확립하는 커넥터 조립체(52)는 링크(62)와 마운트(60)를 가지는 투피스형 조립체이다. 세장형 탄력성 엘라스토머(58)는 플랫폼(54)에 수용되고, 분리 위치에서 커넥터 조립체(52)를 편향시키도록 기여한다. 마운트(60)는 플랫폼(54)에서 보유되고, 대체로 평면의 상부면과, 대체로 평면의 하부면을 포함한다. 바람직한 실시예에서, 플랫폼(54)은 마운트(60)를 약간 압축하는 크기여서, 마운트는 테스트 장비 접촉면 내로 연장하여 이를 약간 아래로 끼워넣는다. 하부면과 상부면 사이에는 약간 위쪽을 향해 기울어진 배향을 가지는 측면 개방 캐비티가 있다. 캐비티는 링크(62)를 향해 점차적으로 확장하는 마우스까지 실질적으로 원형이며, 캐비티는 대략 그 안에서 링크 부재의 일부를 수용하는 크기이다. 마우스의 상부 가장자리는 곡선의 핑거형 돌기를 통하여 상부면으로 이행한다. 유사하게, 마우스의 하부 가장자리는 돌출하는 입술 부재를 통해 하부면으로 이행한다. 입술 부재는 전방 가장자리까지 위쪽을 향해 구부러진 하부 가장자리를 가진다.
집적회로가 플랫폼(54)에 집중될 때, 집적회로의 하부면은 링크(62)의 돌출 아치형 표면을 접촉하고, 세장형 탄력성 엘라스토머(58)의 편향에 맞서 링크를 아래로 민다. 집적회로 칩(16)에 의해 발휘되는 이러한 하향력은, 링크(62)가 로커 아암을 통하여 마운트(60)를 중심으로 선회함에 따라서, 탄력성 엘라스토머(58)의 편향(이는 링크를 밀어 올린다)에 맞서 반시계 방향으로 링크를 회전시킨다. 링크(62)의 아치형 접촉면을 통하여, 그리고 로커 아암을 통하여, 로드 기판/테스트 장비(18)의 리드(71)에 끼워 넣어지고 부착되는 마운트(60)로의 직접적인 유동 경로가 집적회로 칩(16)의 접촉 패드(79) 사이에 있음에 따라서, 이러한 것은 결합 위치이다(도 3). 유동 경로가 확립되고, 집적회로 칩(16)으로부터의 신호는 그런 다음 종래의 방식으로 테스트 장비(18)에 의해 처리될 수 있다.
도 3은 마운트(60)들과 링크(62) 및 세장형 탄력성 엘라스토머(58)를 도시한다. 각 마운트(60)는 대체로 평면의 상부면(78)과 대체로 평면의 하부면(80)을 포함하며, 바람직한 실시예에서, 마운트는 적소에서 마운트를 "가두거나(trap)" 또는 포획하도록 플랫폼 내에 있는 유사하게 각이진 표면(86)과 협동하는 각이진 측벽(84)을 포함한다. 각이진 벽과 각이진 표면 사이의 이러한 협동은 마운트를 적소에 고정하고, 커넥터 조립체(52)에서의 더욱 확실한 접속을 확립하도록 마운트(60)의 임의의 밀침(jostling)을 감소시킨다.
마운트(60)의 하부면과 상부면 사이에는 약간 위쪽을 향해 기울어진 배향을 갖는 측면 개방 캐비티(106)가 있다. 캐비티(106)는 링크(62)를 향해 개방함으로써 점차적으로 확장하는 마우스까지 실질적으로 원형이며, 캐비티(106)는 대략 그 안에서 링크(62)의 일부를 보유하는 크기이다. 마우스의 상부 가장자리는 곡선의 핑거형 돌기(108)를 통해 상부면(78)으로 이행한다. 유사하게, 마우스의 하부 가장자리는 돌출하는 입술 부재(110)를 통해 하부면(80)으로 이행한다.
링크(62)는 2개의 주요 구성요소들을 가진다. 제1 구성요소는 집적회로가 링크(62)에 하향력을 적용하여 마운트(60)를 중심으로 링크(62)를 선회시킴에 따라서 위에서 집적회로(16)와 구름 접촉을 허용하도록 형상화된 상부 가장자리를 따르는 아치형 접촉면(96)이다. 링크(62)의 제2 구성요소는 구근 형상 원위 팁에서 종료하는 목부를 가지는 로커 아암(98)이다. 마운트(60)의 캐비티(106)와 로커 아암(98)의 구근 형상 원위 팁은 지나친 떨림(wobble) 없이 제어된 방식으로 마운트의 캐비티 내에서 로커 아암의 매끄러운 선회를 허용하도록 상호 보완적인 크기이다.
집적회로 칩이 존재하지 않을 때, 탄력성 부재(58)는 플랫폼(12)의 슬롯(56)을 통하여 위쪽을 향하여 링크(62)의 로커 아암(98)을 편향시킨다. 이러한 것은 커넥터 조립체(52)가 집적회로 칩의 존재를 위해 준비됨에 따라서 분리 또는 준비 위치이다. 집적회로 칩(16)이 플랫폼에 배치될 때, 링크(62)는 아래를 향해 회전하고, 집적회로 칩의 전기 접점(79)들과 링크(62) 사이에 접촉이 만들어지며, 이러한 것은 집적회로 칩으로부터 테스팅 디바이스로 신호를 중계하도록 마운트(60), 접촉 패드(71) 및 테스팅 디바이스와 함께 회로를 완성한다.
세장형 탄력성 엘라스토머(58)는 한쪽 측부(206)의 중간 지점으로부터 반대편 측부(208)의 중간 지점까지 부재의 상부 절반을 가로질러 원호를 그리는 둥근 상부면(205)을 구비한 실질적으로 정사각형이다. 엘라스토머(58)는, 둥근 상부면(205)이 마운트(60)에 인접한 링크(62)에 노출되도록 쐐기 형상 지지부(210)에 앉혀진다. 바람직한 실시예에서, 엘라스토머(58)는 엘라스토머(58)에서 공동(void)을 확립하는 길이 방향 채널 또는 구멍을 포함한다. 이러한 것은 커넥터 조립체(52)에 의해 압축될 때 엘라스토머(58)의 2-스테이지 수축을 생성한다. 초기 스테이지에서, 엘라스토머는 공동(212)의 존재로 인하여 보다 용이하게 붕괴될 것이며, 링크는 고체 엘라스토머보다 적은 힘으로 편향될 것이다. 그러나, 링크가 계속 엘라스토머를 압박함에 따라서, 공동은 압박이 제거될 때까지 감소될 것이며, 이 때문에, 추가의 압축은 엘라스토머를 붕괴시키도록 더욱 큰 힘을 요구한다. 공동이 여전히 적소에 있을 때 엘라스토머를 압축하는 제1 위상, 및 공동이 더 이상 존재하지 않거나 또는 압축 응답을 감소시키는데 효과적이 아닌 제2 위상의, 이러한 2-스테이지 압축은 편향의 초기 위상 동안 지나친 마모 및 응력 변형(strain)을 방지하는 것에 의해 엘라스토머의 수명을 연장한다.
이러한 개시가 단지 예시적인 것이며, 변경이 본 발명의 범위를 초과함이 없이 상세한 설명에서, 특히 형상, 크기, 재료 및 부품의 배치에 관하여 만들어질질 수 있다는 것을 이해하여 한다. 따라서, 본 발명의 범위는 첨부된 청구항들의 언어로 정의된 바와 같으며, 상기된 설명 및 도면에 의해 어떠한 방식으로도 제한되지 않는다.

Claims (5)

  1. 신호가 전송될 수 있도록 기판에 집적회로(IC)를 전기적으로 결합하는 소켓으로서,
    상기 집적회로를 그 위에 수용하기 위한 플랫폼;
    마운트와, 상기 마운트를 중심으로 선회 가능한 관련 링크를 각각 포함하는 다수의 투피스형 커넥터 조립체들로서,
    각 마운트는 상기 플랫폼에서 보유되고, 관련 링크 부재 반대편의 측면 상의 곡선의 캐비티를 포함하며;
    각 링크 부재는 상부측의 아치형 접촉면, 및 상기 마운트의 곡선 캐비티에 앉혀지는 둥근 단부를 구비한 로커 아암을 포함하고, 상기 플랫폼 위에서 연장하며, 상기 링크는 상기 집적회로와 접촉하는, 상기 커넥터 조립체들; 및
    상기 다수의 링크 부재들 아래에 앉혀지며, 제1 스테이지 압축 응답 및 제2 스테이지 압축 응답을 가지는 세장형 엘라스토머를 포함하며;
    상기 집적회로와 상기 플랫폼 사이의 접촉은 상기 제1 스테이지 압축 응답을 통하여 상기 제2 스테이지 압축 응답으로, 상기 세장형 엘라스토머의 편향에 맞서 상기 링크를 선회시키고,
    상기 제1 스테이지 압축 응답 및 제2 스테이지 압축 응답은 상기 세장형 엘라스토머에 있는 구멍에 의해 확립되는 소켓.
  2. 제1항에 있어서, 상기 세장형 엘라스토머는 정사각형 형상이며, 쐐기 형상 지지부에 앉혀지는 소켓.
  3. 제2항에 있어서, 상기 세장형 엘라스토머는 상기 쐐기 형상 지지부로부터 연장하는 둥근 상부 모서리를 가지는 소켓.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서, 상기 플랫폼은 상기 플랫폼에서 상기 마운트를 포획하도록 상기 마운트의 각이진 반대편 표면을 결합하는 각이진 측벽을 포함하는 소켓.
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