KR101823002B1 - Apparatus and method for testing of organic light-emitting display panel - Google Patents

Apparatus and method for testing of organic light-emitting display panel Download PDF

Info

Publication number
KR101823002B1
KR101823002B1 KR1020160068967A KR20160068967A KR101823002B1 KR 101823002 B1 KR101823002 B1 KR 101823002B1 KR 1020160068967 A KR1020160068967 A KR 1020160068967A KR 20160068967 A KR20160068967 A KR 20160068967A KR 101823002 B1 KR101823002 B1 KR 101823002B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
array substrate
tft array
thermal image
organic light
inspection
Prior art date
Application number
KR1020160068967A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20170136866A (en
Inventor
강기영
박정갑
김종식
안용규
Original Assignee
(주)티에스이
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=60943987&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=KR101823002(B1) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by (주)티에스이 filed Critical (주)티에스이
Priority to KR1020160068967A priority Critical patent/KR101823002B1/en
Publication of KR20170136866A publication Critical patent/KR20170136866A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101823002B1 publication Critical patent/KR101823002B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/006Electronic inspection or testing of displays and display drivers, e.g. of LED or LCD displays
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00Image analysis
    • G06T7/0002Inspection of images, e.g. flaw detection
    • G06T7/0004Industrial image inspection
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/20Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
    • G09G3/22Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources
    • G09G3/30Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels
    • G09G3/32Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels semiconductive, e.g. using light-emitting diodes [LED]
    • G09G3/3208Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels semiconductive, e.g. using light-emitting diodes [LED] organic, e.g. using organic light-emitting diodes [OLED]
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/861Repairing
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T2207/00Indexing scheme for image analysis or image enhancement
    • G06T2207/10Image acquisition modality
    • G06T2207/10048Infrared image
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T2207/00Indexing scheme for image analysis or image enhancement
    • G06T2207/30Subject of image; Context of image processing
    • G06T2207/30108Industrial image inspection
    • G06T2207/30121CRT, LCD or plasma display
    • H01L2251/568

Abstract

본 발명은 유기발광다이오드(OLED) 및 유기발광다이오드(OLED)에 전류를 공급하는 트랜지스터를 구비하는 둘 이상의 픽셀을 포함하는 TFT 어레이 기판에서 라인 불량이 검지된 경우, 라인 불량의 원인이 되는 불량 위치를 검출하고 리페어하기 위한 목적으로, TFT 어레이 기판에 열화상 정보 획득을 위한 신호를 인가하는 단계와, 열화상 카메라를 이용하여 TFT 어레이 기판의 열화상 정보를 획득하는 단계, 및 열화상 정보로부터 불량 위치의 정보를 획득하는 단계를 포함할 수 있다. In the present invention, when a line defect is detected in a TFT array substrate including two or more pixels including a transistor supplying an electric current to the organic light emitting diode (OLED) and the organic light emitting diode (OLED), a defect position The method comprising the steps of: applying a signal for obtaining thermal image information to the TFT array substrate for the purpose of detecting and repairing the thermal image; obtaining thermal image information of the TFT array substrate using the thermal imaging camera; And acquiring information of the location.

Description

유기발광다이오드(OLED) 표시장치의 검사방법 및 검사장치{Apparatus and method for testing of organic light-emitting display panel}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an organic light emitting diode (OLED)

본 발명은 유기발광다이오드(OLED) 표시장치의 검사방법 및 검사장치에 관한 것으로 구체적으로 유기발광다이오드 표시장치의 TFT 어레이 기판의 불량을 검출하는 검사방법 및 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to an inspection method and an inspection apparatus for an organic light emitting diode (OLED) display apparatus, and more particularly, to an inspection method and an inspection apparatus for detecting a defect in a TFT array substrate of an organic light emitting diode display apparatus.

일반적으로 전기에너지를 공급받아서 빛을 발하는 장치로서, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), 유기발광다이오드(OLED, Organic Light Emitting Diodes)등의 평판 디스플레이 장치가 있다. 이들 표시장치는 CRT와 같은 종래의 아날로그 방식 표시장치와 다르게 신호선들에 디지털 영상 신호가 입력되고 디지털 영상 신호에 의하여 화소마다 액정, 플라즈마, 유기 전계 발광물질 등에 의하여 켜지거나 꺼짐으로써 화면 전체를 통해 영상이 표시된다.In general, a flat panel display device such as an LCD (Liquid Crystal Display), a PDP (Plasma Display Panel), and an OLED (Organic Light Emitting Diode) is a device that receives electric energy and emits light. Unlike a conventional analog type display device such as a CRT, these display devices input digital image signals to signal lines and are turned on or off for each pixel by a liquid crystal, a plasma, an organic electroluminescent material or the like by a digital image signal, Is displayed.

그 중에서도 유기발광다이오드(OLED) 표시장치는, 형광성 유기 화합물을 전기적으로 여기시켜 발광시키는 표시장치로서, 행렬 형태로 배열된 N×M 개의 유기 발광셀들을 전압 구동 혹은 전류 구동하여 영상을 표현할 수 있도록 이루어져 있다.In particular, an organic light emitting diode (OLED) display device is a display device for electrically exciting a fluorescent organic compound to emit light. The display device includes a plurality of N × M organic light emitting cells arranged in a matrix, consist of.

이러한 유기 발광셀은 다이오드의 특성을 가져서 유기 발광 다이오드(OLED)로도 불리며, 애노드(ITO), 유기 박막, 캐소드 전극층(금속)의 구조를 가지고 있다. 유기 박막은 전자와 정공의 균형을 좋게 하여 발광 효율을 향상시키기 위해 발광층(emitting layer, EML), 전자량 수송층(electron transport layer, ETL) 및 정공 수송층(hole transport layer, HTL)을 포함한 다층 구조로 이루어지고, 또한 별도의 전자 주입층(electron injecting layer, EIL)과 정공 주입층(hole injecting layer, HIL)을 포함하고 있다. 이러한 유기 발광셀들이 N×M 개의 매트릭스 형태로 배열되어 유기발광다이오드(OLED) 표시 패널을 형성한다.Such an organic light emitting cell has a diode characteristic and is also called an organic light emitting diode (OLED), and has a structure of an anode (ITO), an organic thin film, and a cathode electrode layer (metal). The organic thin film has a multilayer structure including an emitting layer (EML), an electron transport layer (ETL), and a hole transport layer (HTL) in order to improve the luminous efficiency by improving the balance of electrons and holes. And further includes a separate electron injecting layer (EIL) and a hole injecting layer (HIL). These organic light emitting cells are arranged in the form of N × M matrices to form an organic light emitting diode (OLED) display panel.

유기발광다이오드(OLED)의 구동 방식에는 패시브형과 액티브형이 존재하지만, 대화면, 고선명 디스플레이를 실현하기 위해서는 재료, 수명, 크로스토크의 면에서 액티브형이 적합하다. 액티브형은 박막 트랜지스터를 각 ITO(indium tin oxide) 화소 전극에 연결하고 박막 트랜지스터에 연결된 커패시터 용량에 의해 유지된 전압에 따라 구동하는 방식이다. 따라서 액티브형의 표시패널은 화소에 적어도 하나 이상의 박막 트랜지스터 및 커패시터를 포함한다.Although the passive type and the active type exist in the driving method of the organic light emitting diode (OLED), the active type is suitable in terms of material, lifetime and crosstalk in order to realize a large screen and a high definition display. In the active type, a thin film transistor is connected to each ITO (indium tin oxide) pixel electrode and driven according to a voltage maintained by a capacitance of the capacitor connected to the thin film transistor. Therefore, the active type display panel includes at least one thin film transistor and a capacitor in the pixel.

이와 같은 표시패널은 모듈까지 조립되어 전수검사가 이루질 수 있다. 그러나 모듈까지 조립된 후에 검사가 수행되면 불량품이 발생되는 경우 낭비되는 비용이 커진다는 문제가 발생한다. 특히 액티브형의 유기발광다이오드(OLED) 표시장치에서는 화소 내에 복수의 소자들이 형성되며, 다결정 규소화 공정(poly-silicon process)에 의해 야기되는 내부 소자의 특성 편차가 커 불량품이 발생할 가능성이 더욱 높다. Such a display panel can be assembled up to a module, and full inspection can be made. However, if the inspection is performed after assembling the module, there arises a problem that the waste cost is increased when defective products are generated. Particularly, in an active type organic light emitting diode (OLED) display device, a plurality of elements are formed in a pixel, and there is a high possibility that a defective product occurs due to a large variation in an internal element caused by a poly-silicon process .

따라서, 유기발광다이오드(OLED) 표시장치가 모듈까지 조립되기 전에 화소 회로의 소자들의 불량을 미연에 발견할 수 있도록 TFT어레이 기판의 불량 여부를 검사할 수 있는 방안이 요구된다.Accordingly, there is a need for a method of inspecting the defects of the TFT array substrate so that defects of the elements of the pixel circuit can be detected before the organic light emitting diode (OLED) display device is assembled to the module.

유기발광다이오드(OLED) 표시장치의 TFT 어레이 기판을 검사하는 방법으로는, TFT 어레이 기판 상의 개별적인 픽셀의 커패시터에 일정한 전하량을 충전시키고, 각 픽셀로부터 출력되는 전류 값을 확인하여 픽셀의 불량 여부를 테스트하는 방법이 이용될 수 있다. 그러나 이 방법에 의할 경우에도 데이터 라인이 단락(short)되어 불량이 발생하는 경우에는, 해당 데이터 라인에 연결된 픽셀들의 커패시터로부터 출력되는 전류 값이 모두 동일한 값을 가지게 되어, 단락(short)된 픽셀의 위치를 검출해낼 수 없다. 따라서 리페어할 수 있는 불량임에도 불구하고 불량이 발생한 위치를 검출하지 못해 단순 폐기할 수 밖에 없는 문제점이 있다.As a method of inspecting the TFT array substrate of the organic light emitting diode (OLED) display device, there is a method of charging a constant amount of charge to the capacitors of individual pixels on the TFT array substrate, checking the current value output from each pixel, Can be used. However, even in this method, if the data line is short-circuited and a defect occurs, the current values output from the capacitors of the pixels connected to the data line all have the same value, Can not be detected. Therefore, there is a problem in that it is impossible to detect the position where the defect occurs even though the defect is repairable.

본 발명의 다양한 실시예들은 유기발광다이오드(OLED) 표시장치의 TFT 어레이 기판에서 라인 불량(line defect)이 발생한 경우에도, 불량의 원인이 되는 위치를 검출할 수 있는 검사 방법 및 검사 장치를 제공할 수 있다.Various embodiments of the present invention provide an inspection method and an inspection apparatus capable of detecting a position causing a defect even when a line defect occurs in a TFT array substrate of an organic light emitting diode (OLED) display apparatus .

본 발명의 일 실시예에 따른 유기발광다이오드(OLED) 표시 장치의 검사 방법은, 유기발광다이오드(OLED) 및 유기발광다이오드(OLED)에 전류를 공급하는 트랜지스터를 구비하는 둘 이상의 픽셀을 포함하는 TFT 어레이 기판에서 라인 불량(line defect)이 검지된 경우, 라인 불량(line defect)이 검지된 TFT 어레이 기판에 열화상 정보 획득을 위한 신호를 인가하는 단계와, 열화상 카메라를 이용하여 TFT 어레이 기판의 열화상 정보를 획득하는 단계와, 열화상 정보로부터 불량 위치의 정보를 획득하는 단계를 포함할 수 있다.A method of inspecting an organic light emitting diode (OLED) display device according to an embodiment of the present invention includes a step of forming an organic light emitting diode (OLED) A step of applying a signal for obtaining thermal image information to a TFT array substrate on which a line defect is detected when a line defect is detected on the array substrate, Acquiring thermal image information, and obtaining information of the defective position from the thermal image information.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기발광다이오드(OlED) 표시 장치의 검사 장치는, 유기발광다이오드(OLED) 및 유기발광다이오드(OLED)에 전류를 공급하는 트랜지스터를 구비하는 둘 이상의 픽셀을 포함하는 TFT 어레이 기판에서 라인 불량(line defect)이 검지된 경우, 라인 불량(line defect)이 검지된 TFT 어레이 기판을 검사 위치로 이동시키고 검사용 신호를 인가하는 검사부와, 검사용 신호가 인가되면 TFT 어레이 기판의 열화상 정보를 획득하는 열화상 취득부, 열화상 취득부로부터 획득한 열화상 정보를 기초로 라인 불량(line defect)의 원인이 되는 불량 위치의 정보를 검출하는 제어부를 포함할 수 있다.An inspection apparatus of an organic light emitting diode (OLED) display apparatus according to another embodiment of the present invention includes an organic light emitting diode (OLED) and two or more pixels including a transistor for supplying current to the organic light emitting diode An inspection unit for moving a TFT array substrate on which a line defect is detected to an inspection position and applying an inspection signal when a line defect is detected on the TFT array substrate; A thermal image acquisition unit for acquiring thermal image information of the substrate, and a control unit for detecting information of a defective position that causes a line defect based on the thermal image information acquired from the thermal image acquisition unit.

본 발명의 일 실시예에 따른 유기발광다이오드(OLED) 표시장치의 검사 방법 및 검사 장치에 의하면, 유기발광다이오드(OLED) 표시장치의 TFT 어레이 기판의 데이터 라인(data line)의 일부에서 단선(open) 또는 단락(short)이 발생함에 따라 데이터 라인에 연결된 픽셀 전체에서 라인 불량(line defect)이 발생하는 경우에도, 불량이 발생한 지점을 검출해낼 수 있다. 또한, 이와 같이 검출한 불량 지점을 리페어하여 사용할 수 있으므로 유기발광다이오드(OLED) 표시장치의 대면적화가 요구됨에 따라 발생하는 수율 문제를 시간적, 경제적 비용을 최소화하면서 효율적으로 개선할 수 있다. According to an inspection method and an inspection apparatus for an organic light emitting diode (OLED) display device according to an embodiment of the present invention, a part of a data line of a TFT array substrate of an organic light emitting diode (OLED) ) Or a short occurs, even when a line defect occurs in the entire pixels connected to the data line, the point where the defect occurs can be detected. In addition, since defective points detected as described above can be repaired and used, it is possible to efficiently improve the yield problem caused by the increase in size of the organic light emitting diode (OLED) display device, while minimizing the time and cost.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기발광다이오드(OLED)의 단일 화소의 회로 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기발광다이오드(OLED) 표시장치의 검사 단계를 도시한 순서도이다.
도 3은 도 2의 열화상 정보 취득을 위한 신호(signal) 인가 단계를 도시한 순서도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기발광다이오드(OLED) 표시장치의 검사 장치의 구성을 도시한 구성도이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따라 획득한 열화상 정보를 도시한 것이다.
1 is a circuit diagram of a single pixel of an organic light emitting diode (OLED) according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a flowchart showing an inspection step of an organic light emitting diode (OLED) display device according to an embodiment of the present invention.
Fig. 3 is a flowchart showing a signal application step for obtaining the thermal image information of Fig.
4 is a configuration diagram showing the configuration of an inspection apparatus of an organic light emitting diode (OLED) display device according to an embodiment of the present invention.
Figures 5 and 6 illustrate thermal image information obtained in accordance with one embodiment of the present invention.

본 발명의 상술한 목적, 특징들 및 장점은 첨부된 도면과 관련된 다음의 상세한 설명을 통해 보다 분명해질 것이다. 다만, 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예들을 가질 수 있는 바, 이하에서는 특정 실시예들을 도면에 예시하고 이를 상세히 설명하고자 한다. The above objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description taken in conjunction with the accompanying drawings. It is to be understood, however, that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and similarities.

본 발명과 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 본 명세서의 설명 과정에서 이용되는 숫자(예를 들어, 제1, 제2 등)는 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구분하기 위한 식별기호에 불과하다. The detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear. In addition, numerals (e.g., first, second, etc.) used in the description of the present invention are merely an identifier for distinguishing one component from another.

또한, 이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 "모듈" 및 "부"는 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되거나 혼용되는 것으로서, 그 자체로 서로 구별되는 의미 또는 역할을 갖는 것은 아니다. In addition, the suffix "module" and " part "for constituent elements used in the following description are given or mixed in consideration of ease of specification, and do not have their own meaning or role.

유기발광다이오드(OLED) 표시장치는, 통상 하나의 트랜지스터 소자와 하나의 콘덴서 소자로 하나의 화소가 이루어지는 TFT LCD에 비해 화소를 이루는 트랜지스터 및 콘덴서 같은 전기전자 소자의 개수가 더 많고 복잡하다. 또한, 화소 회로의 구성과 동작 방식이 달라 이들 전자 소자의 원활한 동작을 위해 반도체 박막에 대해 더 우수한 특성이 요구되는 경우가 많지만 이런 특성 구현을 위해서는 제조 기술상의 요인으로 불량이 더 많아지기 쉽고, 여러 소자들 가운데 하나만 오류가 있어도 화소 자체의 기능이 이루어지지 않으므로 불량의 가능성이 더 높다. An organic light emitting diode (OLED) display device is more complicated and more complicated than a TFT LCD in which one pixel is composed of one transistor element and one capacitor element, and the number of electric and electronic elements such as transistors and capacitors constituting pixels. In addition, since the structure and operating method of the pixel circuit are different from each other, in order to smoothly operate these electronic devices, more excellent characteristics are required for the semiconductor thin film. However, in order to realize such characteristics, defects are more likely to occur due to factors in manufacturing technology Even if only one of the devices has an error, the possibility of failure is higher because the pixel itself does not function.

따라서, 유기발광다이오드(OLED) 표시장치의 제조 비용을 삭감하기 위해서는 TFT 어레이 기판 형성 단계에서 기능 테스트를 행하여, 양품만을 다음 공정으로 보내는 것이 더욱 강하게 요구된다. 특히 신호배선과 화소전극에 대한 전기적 검사 공정을 실시함으로써, 리페어가 가능한 것으로 판정된 기판에 대해서는 복원을 실시하고 리페어가 불가능한 불량기판들에 대하여는 폐기 처분할 수 있다.Therefore, in order to reduce the manufacturing cost of the organic light emitting diode (OLED) display device, it is more strongly required to perform a functional test in the step of forming the TFT array substrate and to send only good products to the next process. Particularly, by performing the electrical inspection process on the signal wiring and the pixel electrode, restoration can be performed on the substrate determined to be repairable, and disposal can be performed on defective substrates that can not be repaired.

본 발명의 다양한 실시예들은 액티브 매트릭스형 유기발광다이오드(OLED) 표시장치에 관한 것으로, 특히 액티브 매트릭스 구조를 가지는 유기발광다이오드(OLED)표시장치의 OLED를 실장하기 전의 TFT 어레이 기판을 검사하는 방법 및 장치에 관한 것이다.Various embodiments of the present invention relate to an active matrix organic light emitting diode (OLED) display device, and more particularly to a method of inspecting a TFT array substrate before mounting an OLED of an organic light emitting diode (OLED) display device having an active matrix structure and ≪ / RTI >

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

한편, 본 발명의 실시예에 있어서, 각 구성요소들, 기능 블록들 또는 수단들은 하나 또는 그 이상의 하부 구성요소로 구성될 수 있으며, 각 구성요소들이 수행하는 전기, 전자, 기계적 기능들은 전자 회로, 집적 회로, ASIC(Application Specific Integrated Circuit) 등 공지된 다양한 소자들 또는 기계적 요소들로 구현될 수 있으며, 각각 별개로 구현되거나 2 이상이 하나로 통합되어 구현될 수도 있다.In the exemplary embodiment of the present invention, each component, function block or means may be composed of one or more sub-components, and the electrical, electronic, and mechanical functions performed by the components may be electronic circuits, An integrated circuit, an ASIC (Application Specific Integrated Circuit), or the like, or may be implemented separately or two or more may be integrated into one.

첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하면 다음과 같다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 유기발광다이오드(OLED) 표시장치의 일 예에 따른 단일 화소에서의 회로도를 도시한 것이다. 1 shows a circuit diagram in a single pixel according to an example of an organic light emitting diode (OLED) display device.

도 1을 참조하여 설명하면, 유기발광다이오드(OLED) 표시장치를 구동하는 회로는, 복수의 제 1 박막 트랜지스터(101) 및 제 2 박막 트랜지스터(103)와, 1개의 커패시터(102)와, 복수의 드라이버, 예를 들어, 전원 드라이버(105), 데이터 드라이버(107), 스캔 드라이버(106)를 포함할 수 있다. 1, a circuit for driving an organic light emitting diode (OLED) display device includes a plurality of first thin film transistors 101 and a plurality of second thin film transistors 103, a capacitor 102, For example, a power driver 105, a data driver 107, and a scan driver 106. In this case,

이러한 구성은 설명의 편의를 위한 것일 뿐, 본 발명은 도시된 바에 한정되지 않으며, 다수의 박막 트랜지스터(TFT), 스토리지 커패시터 및 각종 배선들이 더 포함될 수 있다는 것은 본 기술분야의 통상의 기술자에게 자명하다.It will be apparent to those skilled in the art that the present invention is not limited to these structures, but may include a plurality of thin film transistors (TFTs), storage capacitors, and various wirings .

스위칭 박막 트랜지스터와 대응되는 제 1 박막 트랜지스터(101)는 스캔 드라이버(106)에 게이트 전극이 연결되고, 데이터 드라이버(107)에 소스 전극이 연결된다. 구동 박막 트랜지스터와 대응되는 제 2 박막 트랜지스터(103)는 유기 발광 소자(104)에 드레인 전극이 연결되고, 전원 드라이버(105)에 소스 전극이 연결된다. 커패시터(102)는 전원 드라이버(105)와 제 2 박막 트랜지스터(103)의 게이트 전극 사이에 연결된다.In the first thin film transistor 101 corresponding to the switching thin film transistor, a gate electrode is connected to the scan driver 106, and a source electrode is connected to the data driver 107. In the second thin film transistor 103 corresponding to the driving thin film transistor, a drain electrode is connected to the organic light emitting element 104, and a source electrode is connected to the power driver 105. The capacitor 102 is connected between the power source driver 105 and the gate electrode of the second thin film transistor 103.

제 1 박막 트랜지스터(101)는 스캔 드라이버(106)로부터 게이트 전극에 인가되는 스캔 신호에 의하여 구동되어서, 데이터 드라이버(107)로부터 인가되는 데이터 신호를 제 2 박막 트랜지스터(103)에 전달하게 된다.The first thin film transistor 101 is driven by the scan signal applied to the gate electrode from the scan driver 106 and transmits the data signal applied from the data driver 107 to the second thin film transistor 103.

제 2 박막 트랜지스터(103)는 제 1 박막 트랜지스터(101)를 통하여 전달되는 데이터 신호에 따라서 게이트 전극과 소스 전극 사이의 전압 차이에 의하여 유기 발광 소자(104)로 유입되는 전류의 크기를 결정한다. The second thin film transistor 103 determines the magnitude of the current flowing into the organic light emitting diode 104 due to the voltage difference between the gate electrode and the source electrode in accordance with the data signal transmitted through the first thin film transistor 101.

또한, 커패시터(102)는 제 1 박막 트랜지스터(101)를 통하여 전달되는 데이터 신호를 한 프레임동안 저장하는 역할을 한다.In addition, the capacitor 102 serves to store a data signal transmitted through the first thin film transistor 101 for one frame.

여기서, 박막 트랜지스터(TFT)들은 다수의 마스크 공정을 통해 형성된다. 하나의 마스크 공정은 박막 증착(코팅) 공정, 세정 공정, 포토리소그래피 공정, 식각 공정, 스트립 공정, 검사 공정 등과 같은 다수의 공정을 포함할 수 있다.Here, the thin film transistors (TFT) are formed through a plurality of mask processes. One mask process may include a number of processes such as a thin film deposition (coating) process, a cleaning process, a photolithography process, an etching process, a strip process, an inspection process, and the like.

그런데 각 마스크 공정에서는 이물질로 인한 불량이 발생할 수 있다. 예를 들면, 박막 트랜지스터 소자, 화소 전극, 기타 배선의 불량 등이 발생하는 경우 단일 픽셀 불량(pixel defect)이 발생할 수 있다. 또한 기판 상에 인접한 데이터 라인과 공통 라인을 함께 형성하는 마스크 공정에서 이물질로 인한 불량 패턴이 잔존하게 되어 데이터 라인 및 공통 라인을 단락(short)시키는 불량이 발생하는 경우와 같이, 배선 전극 간에 단선(open) 또는 단락(short)이 발생할 경우에는, 불량이 발생한 데이터 라인과 연결된 픽셀들은 라인 전체에서 픽셀이 동작하지 않으므로 라인 불량(line defect)이 발생할 수 있다. However, defects due to foreign substances may occur in each mask process. For example, when defects such as thin film transistor elements, pixel electrodes, and other wiring occur, a single pixel defect may occur. Further, in a mask process for forming a common line and an adjacent data line on a substrate, a defective pattern due to a foreign matter remains, resulting in a defect causing shorting of the data line and the common line. open or short occurs, the pixels connected to the defective data line may not operate in the entire line, so that a line defect may occur.

단일 픽셀 불량이나 라인 불량은 일반적으로 배선의 불량이 그 원인이므로 단선(open)된 지점이 발견되면 단선된 부분을 연결해 주고, 단락(short)된 지점이 발견되면 해당 부분을 단선시키는 방법으로 불량을 리페어할 수 있다.Single-pixel defects or line defects are usually caused by wiring defects, so if an open spot is found, the disconnected area is connected. If a short spot is found, the defective area is disconnected. It can be repaired.

따라서 TFT 어레이 기판을 리페어를 하기 위하여 불량이 발생한 위치를 검출할 필요가 있다. 이러한 유기발광다이오드(OLED) 표시장치의 TFT 어레이 기판의 불량 여부를 검사하는 방법으로는 전기적 방식의 어레이 테스트 장비(Full contact array tester)가 이용될 수 있다. Therefore, it is necessary to detect the position where the defect occurs in order to repair the TFT array substrate. A full contact array tester may be used as a method for checking whether or not the TFT array substrate of the organic light emitting diode (OLED) display device is defective.

전기적 방식의 어레이 테스트 장비(Full contact array tester)는 TFT 어레이 기판 상의 개별적인 픽셀의 커패시터에 일정한 전하량을 충전시키고, 각 픽셀로부터 출력되는 전류 값을 확인하여 픽셀의 불량 여부를 테스트할 수 있는 장비이다.A full contact array tester is a device capable of charging a certain amount of charge of a capacitor of an individual pixel on a TFT array substrate and checking whether the pixel is defective by checking the current value outputted from each pixel.

전기적 방식의 어레이 테스트 장비(Full contact array tester)에 의하여 TFT 어레이 기판을 검사하는 경우, 단일 픽셀 불량이 발생하면 해당 불량이 발생한 픽셀의 커패시터에서는 전류 값이 정상적으로 출력되지 않으므로, 해당 픽셀을 불량으로 확정할 수 있다. In the case of inspecting a TFT array substrate by a full contact array tester, if a single pixel defect occurs, the current value is not normally output in the capacitor of the pixel where the defect occurs, so that the pixel is determined as defective can do.

또한 라인 불량이 발생하는 일 예로, 데이터 라인이 단선(open)됨에 따라 라인 불량이 발생하는 경우에는, 단선(open)된 지점 이후의 픽셀의 커패시터에는 전류가 더 이상 흐르지 않으므로, 전류가 출력되지 않는 시작 픽셀을 검출함으로써 해당 픽셀과 연결되는 데이터 라인 지점을 단선(open) 불량 발생 위치로 검출할 수 있게 되고, 이 지점을 리페어할 수 있다. In addition, in the case where a line defect occurs, for example, when a line defect occurs due to the open of the data line, no current flows in the capacitor of the pixel after the open point, By detecting the start pixel, the data line point connected to the pixel can be detected as the open defect occurrence position, and this point can be repaired.

그러나 데이터 라인이 단락(short)되어 라인 불량이 발생하는 경우에는 해당 데이터 라인에 연결된 픽셀들의 커패시터로부터 출력되는 전류는 모두 동일한 값을 가지게 된다. 따라서 전기적 방식의 어레이 테스트 장비(Full contact array tester)를 이용하는 방법으로는 이와 같이 데이터 라인에 단락(short)이 발생할 경우 단락(short)된 픽셀의 위치를 검출해낼 수 없다. However, when the data line is short and a line defect occurs, the currents output from the capacitors of the pixels connected to the data line all have the same value. Therefore, the method using the full contact array tester can not detect the position of the shorted pixel when the data line is short-circuited.

즉, 디스플레이의 대면적화가 요구되는 추세에 비추어, 데이터 라인의 단락(short)에 기인한 라인 불량이 발생한 TFT 어레이 기판의 경우에도 불량 위치를 검출하여 이를 리페어할 필요가 있으나, 기존의 전기적 방식의 어레이 테스트 장비(Full contact array tester)로는 이러한 단락에 따른 라인 불량이 발생한 TFT 어레이 기판을 검출하는 것이 불가능하다.That is, in view of the trend that a larger display area is required, even in the case of a TFT array substrate in which a line defect due to a short of a data line occurs, it is necessary to detect and repair the defective position, With a full contact array tester, it is impossible to detect a TFT array substrate in which a line defect occurs due to such a short circuit.

그러나 본 발명의 다양한 실시예에 따르면, 데이터 라인의 단락(short)에 기인한 라인 불량이 발생하는 경우에도, 열화상 카메라를 통해 전류를 인가한 픽셀의 열화상을 측정함으로써 불량 발생 위치를 검출할 수 있다.However, according to various embodiments of the present invention, even when a line defect due to a short of a data line occurs, a defect image is detected by measuring a thermal image of a pixel to which a current is applied through a thermal camera .

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른, 유기발광다이오드(OLED) 표시장치 TFT 어레이 기판의 검사방법의 순서도를 도시한 도면이다.2 is a flowchart showing a method of inspecting an organic light emitting diode (OLED) display TFT array substrate, according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기발광다이오드(OLED) 표시장치 TFT 어레이 기판의 검사방법은, 전기적 방식을 통하여 유기발광다이오드 표시장치의 TFT 어레이 기판에 단일 픽셀 불량이나 라인 불량이 존재하는지 여부를 검사하는 단계(S210)를 포함할 수 있다. 이때, 유기발광다이오드 표시장치의 TFT 어레이 기판을 전기적 방식으로 검출하는 방법으로는 전기적 방식의 어레이 테스트 장비(Full contact array tester)가 이용될 수 있다. Referring to FIG. 2, an inspection method of an organic light emitting diode (OLED) display device TFT array substrate according to an embodiment of the present invention is a method of inspecting TFT array substrate of an organic light emitting diode display device through an electric method, (Step S210). In step S210, At this time, as a method of electrically detecting the TFT array substrate of the organic light emitting diode display device, a full contact array tester may be used.

다음으로 S220 단계에서는, S210단계의 검사 결과로부터, 이후의 검사 단계를 계속 진행할지 여부를 판별할 수 있다. 예를 들어, S210 단계에서 TFT 어레이 기판에서 단일 픽셀 불량이나 단선(open)에 기인한 라인 불량이 검지되는 경우에는, 이를 리페어하는 단계로 이송할 수 있다. 또한 TFT 어레이 기판에서 단일 픽셀 불량이나 라인 불량이 모두 검출되지 않아 양품으로 판정되는 경우에는, TFT 어레이 기판을 다음 공정 단계로 이송함으로써, 검사 단계를 종료시킬 수 있다. 그러나 단락(short)에 기인한 라인 불량과 같이 전기적 방식의 어레이 테스트 장비(Full contact array tester)를 통해 불량 발생 지점을 검출하지 못하는 불량이 검지된 경우에는, TFT 어레이 기판의 불량 발생 지점을 검출하기 위하여 S230 단계를 수행할 수 있다. Next, in step S220, it is possible to determine whether to proceed with the subsequent inspection step from the inspection result of step S210. For example, if a line defect due to a single pixel defect or open in the TFT array substrate is detected in step S210, it can be transferred to a repairing step. In addition, in the case where a single pixel defect or line defect is not detected on the TFT array substrate and it is determined that the product is good, the inspection step can be terminated by transferring the TFT array substrate to the next process step. However, in the case where a failure that can not detect a defect occurrence point is detected through a full contact array tester such as a line defect due to a short, a failure occurrence point of the TFT array substrate is detected Step S230 may be performed.

S230단계에서, 유기발광다이오드 표시장치의 TFT 어레이 기판에 열화상 정보 취득을 위한 검사 신호(signal)을 입력할 수 있다. 열화상 정보를 취득하기 위해서는 다양한 검사 신호를 사용할 수 있는데, 도 3은 열화상 정보를 취득하기 위해 검사 신호를 입력하는 방식의 일례를 도시한다.In step S230, an inspection signal for obtaining thermal image information may be input to the TFT array substrate of the organic light emitting diode display. Various inspection signals can be used to acquire thermal image information. FIG. 3 shows an example of a method of inputting inspection signals to acquire thermal image information.

도 3은 도 2의 열화상 정보 취득을 위한 신호 인가 단계(S230)의 구체적인 동작의 일례를 도시한 순서도이다.3 is a flowchart showing an example of a concrete operation of the signal application step S230 for obtaining the thermal image information of Fig.

도 3에 도시되는 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 검사방법은, 불량의 불량 위치를 검출하지 못한 유기발광다이오드 표시장치의 TFT 어레이 기판을 열화상 정보 취득을 위한 검사 위치로 이동시키는 단계를 포함할 수 있다. (S310) 이때의 이동에는 카세트에 적층된 원장 TFT 어레이 기판을 검사 위치로 로딩시킬 수 있는 로봇 암이 이용될 수 있다. 3, an inspection method according to an exemplary embodiment of the present invention includes moving a TFT array substrate of an organic light emitting diode display device that has failed to detect a defective position of a defect to an inspection position for obtaining thermal image information . ≪ / RTI > (S310) At this time, a robot arm capable of loading the raw TFT array substrate laminated on the cassette to the inspection position can be used.

그리고 TFT 어레이 기판의 라인 불량 위치에 해당하는 데이터 라인 지점의 단자 패드에 정확하게 검사 신호를 인가하기 위하여, 검사위치에서 TFT 어레이 기판을 정렬(S320)시키고, 검사 신호를 인가하는 프로브 핀(probe pin)을 검사하고자 하는 픽셀 구간에 해당하는 검사 패드 위치에 접속시킬 수 있다. (S330) 이때 프로브 핀(probe pin)이 접속되는 검사 패드의 위치는 OLED를 실장하는 공정이 진행된 이후 Drive IC가 장착될 위치일 수 있다. In order to accurately apply an inspection signal to the terminal pad at the data line point corresponding to the line defective position of the TFT array substrate, the TFT array substrate is aligned at the inspection position (S320), and a probe pin To a test pad position corresponding to a pixel section to be inspected. (S330) At this time, the position of the test pad to which the probe pin is connected may be the position where the drive IC is mounted after the process of mounting the OLED.

다음으로, 프로브 핀(probe pin)을 통해 TFT 어레이 기판의 해당 데이터 라인 지점에 전기적 검사 신호를 인가(S340)할 수 있다. 여기서 인가되는 검사 신호는 전류일 수 있으며, 특히 TFT 손상을 방지하기 위하여 검사 신호는 정전류로 인가함이 바람직하다. Next, an electrical inspection signal may be applied (S340) to a corresponding data line of the TFT array substrate via a probe pin. The inspection signal applied here may be a current, and in particular, the inspection signal is preferably applied with a constant current to prevent damage to the TFT.

검사 신호는 TFT가 손상되지 않으면서도, 열화상을 정확하게 측정할 수 있을 정도로 픽셀을 발열시킬 수 있는 범위에서 인가되어야 한다. 따라서 적정 정전류 값을 설정하여 신호를 인가한 후, 열화상 정보를 모니터링하면서, 불량 위치를 식별할 수 있을 정도로 서서히 전압을 올리는 방식으로(S350) 열화상 정보를 획득할 수 있으며, 이때의 전압 값은 TFT가 손상되지 않는 최대 전압의 범위 내로 제한할 수 있다.The inspection signal must be applied within a range that can heat the pixel to such an extent that the TFT can be accurately measured without damaging it. Therefore, the thermal image information can be obtained in such a manner that the voltage is gradually increased to such an extent that the defective position can be identified (S350) while monitoring the thermal image information after setting the appropriate constant current value and applying the signal. Can be limited within the range of the maximum voltage at which the TFT is not damaged.

예를 들어 본 발명의 일 실시예에 따라 획득된 열화상 정보에 해당하는 도 5 및 도 6의 이미지는 정전류 5mA, 최대 전압을 30V로 설정한 검사 신호를 인가하여 획득한 것이다. 검사 신호의 전류 값와 전압 값은 검사하고자 하는 유기발광다이오드(OLED) 표시장치의 구성 및 종류에 따라 적절히 조정될 수 있다.For example, the images of FIGS. 5 and 6 corresponding to the thermal image information obtained according to an embodiment of the present invention are acquired by applying an inspection signal with a constant current of 5 mA and a maximum voltage of 30 V. FIG. The current value and the voltage value of the inspection signal can be appropriately adjusted according to the configuration and type of the organic light emitting diode (OLED) display device to be inspected.

한편, S230단계를 통해 열화상 정보 취득을 위한 신호를 입력하고 나면, 열화상 카메라를 이용하여 검사하고자 하는 TFT 어레이 기판의 열화상 정보를 획득(S240)할 수 있다. 이때 열화상 카메라는 측정하고자 하는 물체로부터 방출되는 적외선을 검출하여 그에 상응하는 온도 검출 신호를 출력하는 적외선 검출기가 사용될 수 있다. On the other hand, after the signal for obtaining the thermal image information is inputted through the step S230, the thermal image information of the TFT array substrate to be inspected to be inspected can be obtained (S240) by using the thermal camera. The infrared camera may be an infrared ray detector that detects infrared rays emitted from an object to be measured and outputs a temperature detection signal corresponding thereto.

S240단계에서는, 열화상 카메라를 열화상 정보를 획득하고자 하는 지점의 측정 위치로 정렬시키기 위하여, 열화상 카메라를 수평방향으로 이송시키는 단계가 더 포함될 수 있다. In step S240, it may further include a step of horizontally transporting the thermal imager to align the thermal imager with the measurement position of the spot where the thermal imagerial information is to be acquired.

또한, 여기서 S240단계를 통해 획득되는 열화상 정보는 이미지 정보나, 각 픽셀 좌표에 따른 상대적 온도 값으로 추출될 수 있다. Here, the thermal image information obtained in step S240 may be extracted as image information or a relative temperature value according to each pixel coordinate.

다음으로, 획득한 열화상 정보를 통하여 불량 위치의 정보를 획득하는 단계(S250)를 포함할 수 있다. 도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따라 획득한 열화상 정보를 도시한 것으로, 도 5 및 도 6을 참조하여 불량 위치의 정보를 획득하는 S250단계를 설명하도록 한다. Next, the step of acquiring the information of the defective position through the obtained thermal image information (S250) may be included. FIGS. 5 and 6 illustrate thermal image information obtained according to an embodiment of the present invention. Referring to FIGS. 5 and 6, step S250 of acquiring information of a defective position will be described.

열화상 정보 취득을 위하여 TFT 어레이 기판에 검사 신호를 인가하면, 단락(short)이 발생한 픽셀이 위치한 지점에서는 다른 지점보다 저항이 크게 되기 때문에 발열량이 상대적으로 높게 나타날 수 있다. 따라서 이러한 상태에서 TFT 어레이 기판의 열화상을 획득하면, 획득된 이미지 상에서 짙게 표시되거나 붉은 계열의 색으로 표시되는 지점들을 확인할 수 있다. 열화상 이미지 상에서 짙게 표시되거나 붉은 계열로 표시된다는 것은 해당 지점이 다른 지점에 비하여 발열량이 높다는 것을 의미할 수 있다. When the inspection signal is applied to the TFT array substrate for obtaining the thermal image information, the resistance is greater at the point where the pixel where the short occurs, so that the heat generation amount may be relatively high. Therefore, when a thermal image of the TFT array substrate is obtained in such a state, points that are displayed darkly or in a red-based color on the obtained image can be identified. If the image is displayed dark or red in the thermal image, it may mean that the point has a higher calorific value than other points.

따라서, 이처럼 열화상 이미지 정보를 확인함으로써 발열량이 높은 지점, 즉 단락(short)에 따른 라인 불량이 발생할 지점을 검출할 수 있다.Thus, by confirming the thermal image information as described above, it is possible to detect a point at which a line defect occurs due to a point having a high calorific value, that is, a short.

열화상 정보를 바탕으로 불량 위치의 정보를 획득하는 단계는, 본 발명의 다양한 실시예에 따라, 사용자가 직접 열화상 이미지를 관찰하여 불량 위치의 정보를 획득할 수도 있고, 자동으로 각 픽셀의 좌표에 따른 열화상 정보를 상대적 온도 수치 값으로 추출, 연산함으로써 열화상의 변화가 가장 크게 발생하는 지점을 불량 위치의 정보로 획득할 수도 있다. 특히, 불량 위치의 정보는 픽셀 좌표 값의 형태로 획득할 수 있다.The step of acquiring the information of the defective position based on the thermal image information may be a step of acquiring the information of the defective position by observing the thermal image directly by the user according to various embodiments of the present invention, It is possible to acquire, as information of the defective position, a point at which the change of the deterioration image occurs most greatly by extracting and calculating the thermal image information according to the relative temperature value. In particular, the information of the defective position can be obtained in the form of pixel coordinate values.

한편, 열화상 정보를 바탕으로 불량 위치의 정보를 획득하는 단계는, 단락(short)으로 인한 불량이 발생한 지점과 인접한 지점 간의 저항 차이의 정도에 따라 불량 위치의 정보를 획득하는 방법을 다르게 적용할 수 있다.On the other hand, in the step of acquiring the information of the defective position based on the thermal image information, a method of acquiring the information of the defective position is applied differently according to the degree of resistance difference between the point where the defect occurs due to the short and the point adjacent thereto .

도 5와 같이 단락(short)으로 인한 불량 지점과 인접한 지점 사이에 저항 차이가 크게 발생하는 경우에는, 불량 지점과 인접한 지점 간의 발열량의 차이가 뚜렷하여, 열화상 이미지 정보에서 불량 위치의 정보를 쉽게 획득할 수 있다. 예를 들어 도 5를 보면, 주변의 픽셀들과 비교할 때, 510의 지점에서만 붉게 표시되어 있으므로, 이 지점에서 단락(short)이 발생했음을 확인할 수 있고, 510에 해당하는 픽셀의 좌표를 불량 위치의 정보로서 획득할 수 있다.When a large resistance difference occurs between the defective point and the adjacent point due to a short as shown in Fig. 5, the difference in calorific value between the defective point and the adjacent point is distinct, Can be obtained. For example, as shown in FIG. 5, when compared with neighboring pixels, it can be confirmed that a short has occurred at this point since it is reddish only at a point 510, and the coordinates of the pixel corresponding to 510 Can be acquired as information.

그러나 단락(short)으로 인한 불량 지점과 인접한 지점 간의 저항 차이가 상대적으로 크지 않아, 불량 지점의 픽셀이 인접하는 픽셀들과 비교할 때 발열량의 차이가 크게 발생하지 않는 경우에는, 전체 픽셀의 열화상을 통해 전류가 흐르는 경로를 관찰함으로써 불량위치를 검출할 수 있다. 예를 들어 도 6을 보면, 도 5의 510 지점과 달리 610 지점은, 인접한 픽셀 지점들과 비교할 때 열화상 색도 차이가 상대적으로 크지 않지만, 노란 계열의 620 라인을 따라 주변 지점들과 색도가 구별되다가 610 지점에서 가장 큰 차이를 보인 후 620의 라인이 단절되는 것을 관찰할 수 있다. 이를 통해 620의 경로를 따라 전류가 흐르면서 픽셀을 발열시켰고, 610 지점에서 발생한 단락(short) 불량에 의하여 610지점에서 다른 지점으로 전류가 누설되고 있음을 예측할 수 있어, 610 지점을 불량 위치로 검출할 수 있다.However, in the case where the difference in resistance between the defective point and the adjacent point due to the short is not relatively large and the difference in the calorific value is not large when the pixel at the defective point is compared with the adjacent pixels, The defective position can be detected by observing the path through which the current flows. For example, referring to FIG. 6, in contrast to the 510 point in FIG. 5, the 610 point has a relatively large thermal image chromaticity difference as compared with the adjacent pixel points, but the peripheral points and the chromaticity are distinguished from each other along the 620 line We can see that the 620 line is disconnected after showing the biggest difference at 610 point. As a result, a current flows along the path of 620 to generate a pixel, and it is possible to predict that a current is leaked from a point 610 to another point due to a short defect occurring at a point 610. Thus, .

본 발명에 의한 일 실시예에 따라, 획득한 불량 위치 정보는 이후 진행할 리페어 공정 단계의 장비로 전송되는 단계를 더 포함할 수 있으며, 이에 따라 라인 불량이 발생한 TFT 어레이 기판에서 불량이 발생한 지점을 리페어할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the obtained defective position information may further be transmitted to equipment of a repair process step to be performed later, and accordingly, a point where a defect occurs in the TFT array substrate where a line defect occurs, can do.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른, 유기발광다이오드 표시장치 TFT 어레이 기판의 검사장치의 구성도를 도시한 도면이다.FIG. 4 is a view illustrating a configuration of an inspection apparatus for an organic light emitting diode display TFT array substrate according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG.

도 4를 참조하면 본 발명의 일 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치의TFT 어레이 기판의 검사장치는 통전된 TFT 어레이 기판의 열화상을 이용하여 불량이 발생한 지점을 검출하는 것으로, 검사부(10), 열화상 취득부(20), 그리고 제어부(30)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 4, an inspection apparatus for a TFT array substrate of an organic light emitting diode display device according to an embodiment of the present invention detects a defect occurrence point using a thermal image of an energized TFT array substrate. A thermal image acquisition unit 20, and a control unit 30.

검사부(10)는 유기발광다이오드 표시장치의 TFT 어레이 기판의 열화상 정보를 획득하기 위한 검사를 수행하는 것으로, 어레이 지지부(11) 및 검사용 신호 인가부(12)를 포함할 수 있다.The inspection section 10 performs inspection for obtaining thermal image information of the TFT array substrate of the organic light emitting diode display device and may include an array supporting section 11 and an inspection signal applying section 12.

어레이 지지부(11)는 유기발광다이오드 표시장치의 TFT 어레이 기판의 열화상 정보를 획득하는 과정에서, 검사용 신호를 인가하고 열화상 정보를 획득하기 위한 검사 위치에서 TFT 어레이 기판을 지지할 수 있다. The array supporting portion 11 can support the TFT array substrate at the inspection position for applying the inspection signal and obtaining the thermal image information in the process of acquiring the thermal image information of the TFT array substrate of the organic light emitting diode display.

검사용 신호 인가부(12)는 프로브 핀(probe pin)으로부터 TFT 어레이 기판으로 검사용 구동 신호를 인가할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면 인가되는 검사 신호는 전류일 수 있으며, 박막 트랜지스터(TFT)의 손상을 방지하기 위하여 검사 신호는 정전류로 인가함이 바람직하다. The inspection signal applying unit 12 can apply a driving signal for inspection from the probe pin to the TFT array substrate. According to an embodiment of the present invention, the applied inspection signal may be a current, and the inspection signal is preferably applied as a constant current in order to prevent damage to the thin film transistor (TFT).

열화상 취득부(20)는 유기발광다이오드 표시장치의 TFT 어레이 기판의 열화상 정보를 획득하기 위한 처리를 하는 것으로, 일 실시예로 열화상 카메라가 이용될 수 있다. 열화상 카메라는 외부로부터 빛의 공급이 없더라도 자체에서 방출되는 복사에너지를 모아서, 눈으로 볼 수 있는 열화상으로 변화시켜 관측 가능하게 하는 장비이다. 이러한 열화상 카메라는 측정하고자 하는 물체로부터 방출되는 적외선을 검출하여 그에 상응하는 온도 검출 신호를 출력하는 적외선 검출기가 사용될 수 있다.The thermal image acquisition section 20 performs processing for acquiring thermal image information of the TFT array substrate of the organic light emitting diode display device, and in one embodiment, a thermal imaging camera can be used. An infrared camera is a device that collects radiation energy emitted from itself even if there is no supply of light from the outside, and changes it into an infrared image that can be seen by the eye. Such an infrared camera may be an infrared ray detector that detects infrared rays emitted from an object to be measured and outputs a temperature detection signal corresponding thereto.

한편 제어부(30)는 열화상 정보를 얻을 수 있도록 검사부(10), 및 열화상 취득부(20)를 전반적으로 제어할 수 있다.On the other hand, the control unit 30 can control the inspection unit 10 and the thermal image acquisition unit 20 in general to obtain thermal image information.

제어부(30)는 TFT 어레이 기판이 어레이 지지부(11)에 위치한 상태에서 검사용 신호 인가부(12)의 프로브 핀(probe pin)을 이동시켜 프로브 핀(probe pin)의 위치를 조절할 수 있고, 복수의 프로브 핀(probe pin)들 중 기판의 단자 패드의 배열형태에 대응되는 배열형태를 가지는 프로브 핀(probe pin)을 통해 검사 신호를 선택적으로 인가할 수 있다. The controller 30 can adjust the position of the probe pin by moving a probe pin of the inspection signal applying unit 12 while the TFT array substrate is positioned on the array supporting unit 11, It is possible to selectively apply an inspection signal through a probe pin having an arrangement corresponding to the arrangement of the terminal pads of the substrate among the probe pins of the substrate.

또한 제어부(30)는 검사용 신호 인가부(12)에 의해 TFT 어레이 기판에 검사 신호가 인가되면, 열화상 취득부(20)에 의하여 획득된 열화상 정보로부터 TFT 어레이 기판의 열화상 분포를 분석하여 불량 위치를 검출할 수 있다. 예를 들어 획득한 영상으로부터 인접하는 픽셀 간의 색도 차이를 비교한 결과를 토대로 불량 위치를 검출할 수 있다.When the inspection signal is applied to the TFT array substrate by the inspection signal applying unit 12, the control unit 30 analyzes the thermal image distribution of the TFT array substrate from the thermal image information acquired by the thermal image acquisition unit 20 So that the defective position can be detected. For example, the defective position can be detected based on the result of comparing the chromaticity difference between adjacent pixels from the acquired image.

한편, 제어부(30)에 의해 획득된 불량 위치의 정보는 통신부에 의해 TFT 어레이 기판의 리페어 공정 장비로 전송될 수 있다. On the other hand, the information of the defective position obtained by the control unit 30 can be transmitted to the repair processing equipment of the TFT array substrate by the communication unit.

본 발명의 검사 대상이 되는 TFT 어레이 기판은 복수의 픽셀영역을 형성한 것으로, 본 발명의 검사장치는, 각 제작 단계별 패널들의 비접촉식 오픈 및 쇼트 검사, TFT 패널의 비접촉식 오픈 및 쇼트 검사, 범프(bump)의 비접촉식 오픈 및 쇼트 검사, 기타 일반 전기 회로의 비접촉식 오픈 및 쇼트 검사에 다양하게 적용될 수 있음을 미리 밝혀둔다.The TFT array substrate to be inspected of the present invention forms a plurality of pixel regions. The inspection apparatus of the present invention is characterized by comprising: a non-contact opening and short inspection of panels for each fabrication step; a non-contact opening and short inspection of TFT panels; ), Non-contact type open and short tests of electric circuits, and non-contact type open and short tests of other general electric circuits.

상기에서는 본 발명에 따른 실시예를 기준으로 본 발명의 구성과 특징을 설명하였으나 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 사상과 범위 내에서 다양하게 변경 또는 변형할 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 기술자에게 명백한 것이며, 따라서 이와 같은 변경 또는 변형은 첨부된 특허청구범위에 속함을 밝혀둔다.While the present invention has been described with reference to exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, It will be obvious to those of ordinary skill in the art that such changes or modifications are within the scope of the appended claims.

10: 검사부 20: 열화상 취득부
30: 제어부
11: 어레이 지지부 12: 검사용 신호 인가부
10: Inspection section 20:
30:
11: Array supporting part 12: Inspection signal applying part

Claims (9)

유기발광다이오드(OLED) 표시장치의 검사방법에 있어서,
유기발광다이오드(OLED) 및 상기 유기발광다이오드(OLED)에 전류를 공급하는 트랜지스터를 구비하는 둘 이상의 픽셀을 포함하는 TFT 어레이 기판에서, 라인 불량(line defect)이 검지된 경우,
상기 라인 불량(line defect)이 검지된 TFT 어레이 기판에 열화상 정보 획득을 위한 신호를 인가하는 단계;
열화상 카메라를 이용하여 상기 TFT 어레이 기판의 열화상 정보를 획득하는 단계; 및
상기 획득한 열화상 정보로부터 불량 위치의 정보를 획득하는 단계를 포함하는 유기발광다이오드(OLED) 표시장치의 검사방법.
A method of inspecting an organic light emitting diode (OLED) display device,
In a TFT array substrate including two or more pixels including an organic light emitting diode (OLED) and a transistor for supplying current to the organic light emitting diode (OLED), when a line defect is detected,
Applying a signal for acquiring thermal image information to the TFT array substrate on which the line defect is detected;
Obtaining thermal image information of the TFT array substrate using an infrared camera; And
And acquiring information of a defective position from the acquired thermal image information.
제 1 항에 있어서,
상기 라인 불량(line defect)이 검지된 TFT 어레이 기판에 열화상 정보 획득을 위한 신호를 인가하는 단계는,
상기 라인 불량(line defect)이 검지된 TFT 어레이 기판의 데이터 라인(data line)에 해당하는 단자 패드에 프로브 핀(probe pin)이 접속되고,
상기 접속된 프로브 핀(probe pin)을 통해, 상기 TFT 어레이 기판의 단자 패드로, 검사용 신호가 인가되는 것을 특징으로 하는 유기발광다이오드(OLED) 표시장치의 검사방법.
The method according to claim 1,
The step of applying a signal for obtaining thermal image information to the TFT array substrate on which the line defect is detected includes:
A probe pin is connected to a terminal pad corresponding to a data line of the TFT array substrate on which the line defect is detected,
Wherein a signal for inspection is applied to the terminal pad of the TFT array substrate through the probe pin connected thereto.
제 1 항에 있어서,
상기 획득되는 불량 위치의 정보는, 불량 위치의 픽셀 좌표 값의 형태로 획득되어, 리페어 공정 장비로 전송되는 단계를 더 포함하는 유기발광다이오드(OLED) 표시장치의 검사방법.
The method according to claim 1,
Wherein the obtained information of the defective position is acquired in the form of pixel coordinate values of the defective position and transmitted to the repair processing equipment.
제 2 항에 있어서,
상기 접속된 프로브 핀(probe pin)을 통해 상기 TFT 어레이 기판의 단자 패드로 인가되는 검사용 신호는, 정전류인 것을 특징으로 하는 유기발광다이오드(OLED) 표시장치의 검사방법.
3. The method of claim 2,
Wherein the inspection signal applied to the terminal pad of the TFT array substrate through the connected probe pin is a constant current.
유기발광다이오드(OLED) 표시장치의 검사장치에 있어서,
유기발광다이오드(OLED) 및 상기 유기발광다이오드(OLED)에 전류를 공급하는 트랜지스터를 구비하는 둘 이상의 픽셀을 포함하는 TFT 어레이 기판에서 라인 불량(line defect)이 검지된 경우,
상기 라인 불량(line defect)이 검지된 TFT 어레이 기판을 검사 위치로 이동시키고, 검사용 신호를 인가하는 검사부;
상기 검사용 신호가 인가되면, 상기 TFT 어레이 기판의 열화상 정보를 획득하는 열화상 취득부; 및
상기 열화상 취득부로부터 획득한 열화상 정보를 기초로 라인 불량(line defect)의 원인이 되는 불량 위치의 정보를 검출하는 제어부를 포함하는 유기발광다이오드(OLED) 표시장치의 검사장치.
An apparatus for testing an organic light emitting diode (OLED) display device,
When a line defect is detected in a TFT array substrate including two or more pixels including an organic light emitting diode (OLED) and a transistor for supplying a current to the organic light emitting diode (OLED)
An inspection unit for moving the TFT array substrate on which the line defect is detected to an inspection position and applying an inspection signal;
A thermal image acquisition unit for acquiring thermal image information of the TFT array substrate when the inspection signal is applied; And
And a control unit for detecting information of a defective position which causes a line defect based on the thermal image information acquired from the thermal image acquisition unit.
제 5 항에 있어서,
상기 제어부는,
상기 획득한 열화상 정보로부터, 불량 지점의 정보를, 불량 위치의 픽셀 좌표값의 형태로 검출하는 것을 특징으로 하는 유기발광다이오드(OLED) 표시장치의 검사장치.
6. The method of claim 5,
Wherein,
Wherein information of a defect point is detected from the obtained thermal image information in the form of a pixel coordinate value of a defective position.
제 5 항에 있어서,
통신부를 더 포함하고,
상기 통신부는, 상기 검출한 불량 위치의 정보를 리페어 공정 장비로 전송하는 유기발광다이오드(OLED) 표시장치의 검사장치.
6. The method of claim 5,
Further comprising a communication unit,
Wherein the communication unit transmits information of the detected defective position to the repair process equipment.
제 5 항에 있어서,
상기 검사부에 의해 인가되는 검사용 신호는 정전류인 것을 특징으로 하는 유기발광다이오드(OLED) 표시장치의 검사장치.
6. The method of claim 5,
Wherein the inspection signal applied by the inspection unit is a constant current. ≪ RTI ID = 0.0 > 11. < / RTI >
제 5 항에 있어서,
상기 검사부에 의해 인가되는 검사용 신호는, 상기 제어부에 의해 상기 검사용 신호의 전압 크기가 조정되는 것을 특징으로 하는 유기발광다이오드(OLED) 표시장치의 검사장치.
6. The method of claim 5,
Wherein an inspection signal applied by the inspection unit is adjusted in size by voltage of the inspection signal by the control unit.
KR1020160068967A 2016-06-02 2016-06-02 Apparatus and method for testing of organic light-emitting display panel KR101823002B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160068967A KR101823002B1 (en) 2016-06-02 2016-06-02 Apparatus and method for testing of organic light-emitting display panel

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160068967A KR101823002B1 (en) 2016-06-02 2016-06-02 Apparatus and method for testing of organic light-emitting display panel

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20170136866A KR20170136866A (en) 2017-12-12
KR101823002B1 true KR101823002B1 (en) 2018-01-31

Family

ID=60943987

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160068967A KR101823002B1 (en) 2016-06-02 2016-06-02 Apparatus and method for testing of organic light-emitting display panel

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101823002B1 (en)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109616034B (en) * 2018-10-09 2021-07-16 华南理工大学 Method for efficiently detecting small-spacing COB display module pixel dead pixel
CN109510979B (en) * 2018-12-14 2020-04-14 华南智能机器人创新研究院 Multi-camera intelligent detection device
CN110112080B (en) * 2019-05-05 2021-04-27 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 Detection and repair device and detection and repair method
KR102380925B1 (en) * 2020-06-09 2022-04-01 주식회사 탑 엔지니어링 Inspection device and inspection method using the same
CN115268128B (en) * 2022-08-04 2023-08-22 苏州华星光电技术有限公司 Array substrate, display panel and defect repairing method thereof

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100962291B1 (en) 2009-12-21 2010-06-11 (주) 엠브이텍 Device for inspecting a solar cell and method of the same

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100962291B1 (en) 2009-12-21 2010-06-11 (주) 엠브이텍 Device for inspecting a solar cell and method of the same

Also Published As

Publication number Publication date
KR20170136866A (en) 2017-12-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101823002B1 (en) Apparatus and method for testing of organic light-emitting display panel
US8957696B2 (en) Driver chip based OLED module connectivity test
US7474115B1 (en) Organic electronic device display defect detection
JP5645988B2 (en) Display device repair device and method
JP2006013444A (en) Thin film transistor array substrate, display using the same, and method of manufacturing display
US8597067B2 (en) Method of manufacturing organic electroluminescence display device
US20040229387A1 (en) Display panel and manufacturing method of display panel
KR101692007B1 (en) Method for fabricating Organic Light Emitting Diode
US8687874B2 (en) Method of inspecting organic electroluminescence display device
KR101553290B1 (en) system for inspection and repair for substrate of OLED display
US20130155037A1 (en) Organic light emitting display device having test pad
US10867536B2 (en) Inspection system for OLED display panels
JP5958808B2 (en) Display panel manufacturing method, inspection apparatus and inspection method thereof
JP2011134489A (en) Facilities and method for inspecting lighting of organic el display substrate, device and method for inspecting/correcting defect in organic el display substrate, and system and method for manufacturing organic el display
KR100662994B1 (en) Organic light emitting display and mother board of the same and testing method using the same
JP2011090889A (en) Manufacturing method of organic el display device, its inspection device, and inspection method
KR102103840B1 (en) System and method of testing organic light emitting display device capable of testing automatically contact between probe and pad
KR102070056B1 (en) System and method of testing organic light emitting display device
KR100612119B1 (en) Panel for detecting defect of an luminescence pixel
JP5938692B2 (en) Display panel manufacturing method, inspection apparatus and inspection method thereof
KR100653366B1 (en) Panel for detecting defect of an pixel in an organic electroluminescence device
JP2005083951A (en) Inspection method of organic el element by emission microscope method
KR20070061974A (en) Apparatus for detecting the defect of a luminescence device and method in the same
CN113571441A (en) Detection device, detection system and detection method of array substrate
KR100642000B1 (en) Apparatus for detecting the defect of a luminescence device

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
Z031 Request for patent cancellation [new post grant opposition system introduced on 1 march 2017]
Z072 Maintenance of patent after cancellation proceedings: certified copy of decision transmitted [new post grant opposition system as of 20170301]
Z131 Decision taken on request for patent cancellation [new post grant opposition system as of 20170301]
G170 Re-publication after modification of scope of protection [patent]