KR101818044B1 - 스퍼터용 기판 이송 트레이 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 스퍼터용 기판 이송 트레이에 관한 것으로서, 특히 기판을 용이하게 파지하여 안정적으로 지지할 수 있는 스퍼터용 기판 이송 트레이에 관한 것이다.
본 발명의 스퍼터용 기판 이송 트레이는, 기판을 지지하는 파지부재의 하면 또는 지지돌기의 상면 중 어느 하나 이상에 롤러를 장착하여, 기판의 삽입 후 측방향으로 용이하게 슬라이딩되고 그후 안정적으로 견고하게 파지되도록 할 수 있다.

Description

스퍼터용 기판 이송 트레이 { SUBSTRATE TRANSFER TRAY FOR SPUTTER }
본 발명은 스퍼터용 기판 이송 트레이에 관한 것으로서, 특히 기판을 용이하게 파지하여 안정적으로 지지할 수 있는 스퍼터용 기판 이송 트레이에 관한 것이다.
일반적으로 기판이라 함은, 플라즈마 디스플레이(PDP, Plasma Display Panel), 액정디스플레이(LCD, LiquidCrystal Display) 및 유기EL(OLED, Organic Light Emitting Diodes)과 같은 평판표시소자(FPD, Flat PanelDisplay), 반도체용 웨이퍼(wafer), 포토 마스크용 글라스(glass) 등을 가리킨다.
평판표시소자(FPD)로서의 기판과, 반도체용 웨이퍼로서의 기판은 상호간 재질적인 면이나, 용도 등에서 차이가 있지만, 기판들에 대한 일련의 처리 공정, 예를 들어 노광, 현상, 에칭, 스트립, 린스, 세정 등의 공정은 실질적으로 매우 흡사하며, 이 공정들이 순차적으로 진행됨으로써 기판이 제조된다.
이러한 기판에는 전극 및 금속배선 등이 형성된다.
이러한 금속 배선이나 전극은 기판에 증착하여 형성하는데, 이때 스퍼터링(Sputtering)을 실시한다.
스퍼터링은 기판이 올려진 트레이(Tray)를 각각의 챔버로 이송시키면서 감압, 히팅(Heating)을 실시한 후 실시된다.
이때 트레이를 이용한 기판의 이송 시스템으로 구동 롤러 방식 또는 타이밍 벨트 풀리 방식 등이 사용된다.
그리고, 상기 기판은 상기 트레이에 의해 거의 수직으로 배치된 상태로 이송된다.
상기 트레이에 안착된 기판이 상기 트레이에서 임의로 분리 이탈되지 않도록 하기 위해 종래에는 파지부재 즉 클램프를 이용하여 기판을 파지하였다.
위와 같은 구조에서 상기 파지부재를 이용하여 기판을 파지하고자 할 경우에, 작업자가 수동으로 상기 파지부재를 개폐하거나 또는 로봇을 이용하여 상기 파지부재를 개폐한 후, 트레이에 기판을 안착하였다.
그러나, 이러한 종래기술에서는 상기 파지부재를 작업자가 개폐하여야 하는 경우 불편함이 있었고, 로봇을 이용하여 개폐하는 경우 고가의 로봇을 구입하여야 하는 등의 단점이 있었으며, 파지부재(클램프)의 구조도 복잡하게 되었다.
대한민국 공개특허 제10-2007-0072070호 대한민국 공개특허 제10-2012-0136436호
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로써, 비교적 간단한 구조의 파지부재를 이용하여 작업자 또는 로봇의 의해 파지부재를 개폐시키고 않으면서 기판을 안정적으로 파지할 수 있는 스퍼터용 기판 이송 트레이를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 스퍼터용 기판 이송 트레이는, 기판을 파지한 후 챔버로 이송되어 스퍼터링을 하도록 하는 스퍼터용 기판 이송 트레이에 있어서, 중심부위에 관통공이 형성되고, 세로방향으로 배치되어 기판의 일면을 지지하는 본체와; 상기 본체의 타면에 결합되어 상기 기판의 타면을 지지하는 파지부재;를 포함하여 이루어지되, 상기 본체에는 상기 본체의 두께보다 얇은 두께를 가지며 상기 관통공에서 안쪽방향으로 돌출된 지지돌기가 형성되고, 상기 관통공의 안쪽방향으로 돌출된 상기 지지돌기와 상기 본체의 타면 사이에는 상기 기판의 일면의 테두리가 안착되어 지지되는 안착부가 형성되며, 상기 관통공의 너비는 상기 기판의 너비보다 작고, 상기 안착부의 너비는 상기 기판의 너비보다 크게 형성되며, 상기 파지부재는 상기 본체의 타면에서 상기 지지돌기의 돌출방향으로 돌출되게 결합되어 상기 안착부에 안착된 상기 기판의 타면의 테두리를 지지하고, 상기 기판은 상기 안착부로 삽입된 후 측방향으로 슬라이딩되어 상기 기판의 일측면이 상기 지지돌기와 파지부재 사이로 삽입되어 지지되며, 상기 파지부재의 하면 또는 상기 지지돌기의 상면 중 어느 하나 이상에는 측방향으로 슬라이딩되는 기판을 안내하는 롤러가 장착된 것을 특징으로 한다.
상기 안착부의 깊이는 상기 기판의 두께와 같거나 크다.
상기 안착부는 사각형상으로 형성되고, 상기 파지부재는 상기 안착부의 한쪽 모서리에서 상기 본체의 타면에 결합되되, 상기 안착부의 한쪽 모서리에 결합된 상기 파지부재와 상기 안착부의 반대쪽 모서리 사이의 거리는 상기 기판의 너비보다 크다.
상기 기판의 일측면이 상기 지지돌기와 파지부재 사이에 삽입되어 지지될 때, 상기 기판의 타측면은 상기 안착부에서 상기 지지돌기에 접하여 지지된다.
상기 파지부재는 상기 본체의 타면에 대하여 승강 가능하게 결합된다.
상기 파지부재를 상기 본체의 타면에 결합시키는 체결부재와; 상기 체결부재에 결합되어 상기 파지부재를 상기 지지돌기 방향으로 탄성가압하는 탄성부재;를 더 포함하여 이루어지되, 상기 탄성부재의 탄성력에 의해 상기 파지부재는 상기 지지돌기 방향으로 가압되면서 외력에 의해 승강된다.
상기 롤러는 상기 파지부재의 하면에 장착된 제1롤러를 포함하여 이루어지되, 상기 제1롤러는 외력에 의해 승강 가능하게 상기 파지부재의 하면에 장착된다.
상기 롤러는 상기 지지돌기의 상면에 장착된 제2롤러를 포함하여 이루어지되, 상기 제2롤러는 외력에 의해 승강 가능하게 상기 지지돌기의 상면에 장착된다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 스퍼터용 기판 이송 트레이에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.
작업자 또는 로봇 등이 상기 파지부재를 개폐시키지 않으면서 상기 기판을 용이하게 삽입하여 상기 기판이 상기 본체 및 파지부재에 의해 안정적으로 지지되도록 할 수 있다.
또한, 파지부재의 하면 또는 지지돌기의 상면 중 어느 하나 이상에 장착된 롤러에 의해 기판이 안착부에 삽입된 후 측방향으로 슬라이딩될 때 이용하게 슬라이딩되어 상기 파지부재와 지지돌기 사이에 견고하게 안착되도록 할 수 있다.
또한, 상기 제1롤러, 제2롤러 또는 파지부재의 승강에 의해 다양한 두께의 기판을 파지하도록 할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 스퍼터용 기판 이송 트레이의 사시도,
도 2는 도 1의 A-A선을 취하여 본 단면구조도,
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 스퍼터용 기판 이송 트레이의 안착부에 기판을 삽입한 상태의 단면구조도,
도 4는 도 3에서 기판을 측방향으로 슬라이딩시킨 상태의 단면구조도,
도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 스퍼터용 기판 이송 트레이에 기판을 삽입 장착한 상태의 사시도,
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 스퍼터용 기판 이송 트레이의 단면구조도,
도 7은 본 발명의 제3실시예에 따른 스퍼터용 기판 이송 트레이의 단면구조도.
제1실시예
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 스퍼터용 기판 이송 트레이의 사시도이고, 도 2는 도 1의 A-A선을 취하여 본 단면구조도이며, 도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 스퍼터용 기판 이송 트레이의 안착부에 기판을 삽입한 상태의 단면구조도이고, 도 4는 도 3에서 기판을 측방향으로 슬라이딩시킨 상태의 단면구조도이며, 도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 스퍼터용 기판 이송 트레이에 기판을 삽입 장착한 상태의 사시도이다.
본 발명은 웨이퍼 등의 기판을 파지한 후 챔버로 이송되어 스퍼터링을 하도록 하는 스퍼터용 기판 이송 트레이에 관한 것으로써, 도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이 본체(10)와, 파지부재(20)와, 롤러를 포함하여 이루어진다.
상기 본체(10)는 대략 평판 형상으로 이루어지고 세로방향으로 배치된다.
이때, 상기 본체(10)는 지면에 대하여 수직으로 배치될 수도 있고, 약간 경사지게 배치될 수도 있다.
상기 본체(10)의 중심부위에는 관통공(11)이 전후방향으로 관통 형성되어 있고, 상기 관통공(11)의 너비는 상기 기판(40)의 너비보다 작게 형성된다.
이러한 상기 본체(10)는 평판 형상으로 이루어진 기판(40)의 일면을 지지한다.
이를 위해 상기 본체(10)에는 상기 본체(10)의 두께보다 얇은 두께를 가지며 상기 관통공(11)에서 안쪽방향으로 돌출된 지지돌기(12)가 형성되어 있다.
이때, 상기 지지돌기(12)는 상기 관통공(11)의 내주면 전체에서 안쪽방향으로 돌출 형성되어 일체 연결된 형상을 이룰 수도 있고, 다수개가 이격되어 돌출된 형상으로 이룰 수도 있다.
그리고, 상기 관통공(11)의 안쪽방향으로 돌출된 상기 지지돌기(12)와 상기 본체(10)의 타면 사이에는 상기 기판(40)의 일면의 테두리가 안착되어 지지되는 안착부(13)가 형성된다.
즉, 상기 관통공(11)에서 상기 지지돌기(12)가 돌출 형성됨에 따라 상기 본체(10)의 타면과 상기 지지돌기(12)의 타면 사이에는 상기 안착부(13)가 형성되게 된다.
이러한 상기 안착부(13)에 상기 기판(40)이 안착되도록 하기 위해 상기 안착부(13)의 너비는 상기 기판(40)의 너비보다 크게 형성된다.
그리고, 상기 안착부(13)의 깊이는 상기 기판(40)의 두께와 같거나 크게 형성되어, 상기 안착부(13)에 상기 기판(40)에 안착된 상태에서 상기 기판(40)이 외부로 돌출되지 않도록 한다.
위와 같이 상기 지지돌기(12) 및 안착부(13)에 의해 상기 본체(10)의 안착부(13)에 안착된 상기 기판(40)의 일면은 상기 본체(10)에 지지될 수 있게 된다.
상기 파지부재(20)는 일단이 상기 본체(10)의 타면에 결합되고, 타단이 상기 안착부(13)에 배치된 상기 기판(40)의 타면을 지지한다.
이러한 상기 파지부재(20)는 타단이 상기 본체(10)의 타면에서 상기 지지돌기(12)의 돌출방향으로 돌출되어 상기 안착부(13)에 안착된 상기 기판(40)의 타면의 테두리를 지지한다.
상기 안착부(13)는 여러가지 형상으로 형성될 수 있고, 본 실시예에서 상기 안착부(13)는 사각형상으로 형성되어 있다.
그리고, 상기 파지부재(20)는 상기 안착부(13)의 4개의 모서리 중 한쪽 모서리에서만 상기 본체(10)의 타면에 결합된다.
이때, 상기 파지부재(20)는 본 실시예와 같이 긴 막대 형상으로 형성되어 상기 본체(10)의 타면에 결합될 수도 있고, 다수개의 조각이 상호 이격되어 상기 본체(10)의 타면에 결합될 수도 있다.
위와 같은 상기 본체(10) 및 파지부재(20)에 의해 상기 기판(40)은 도 3에 도시된 바와 같이 상기 안착부(13)로 삽입된 후 도 4에 도시된 바와 같이 측방향으로 슬라이딩되어 상기 기판(40)의 일측면이 상기 지지돌기(12)와 파지부재(20) 사이로 삽입되어 지지되게 된다.
이때, 상기 안착부(13)의 한쪽 모서리에만 결합된 상기 파지부재(20)와 상기 안착부(13)의 반대쪽 모서리 사이의 거리는 상기 기판(40)의 너비보다 크게 형성되어, 상기 기판(40)을 상기 안착부(13)에 안착시킬 때 상기 파지부재(20)의 간섭없이 상기 기판(40)을 상기 안착부(13)에 용이하게 삽입시킬 수 있다.
또한, 상기 기판(40)의 일측면이 상기 지지돌기(12)와 파지부재(20) 사이에 삽입되어 지지될 때, 상기 기판(40)의 타측면은 반대편에 위치한 상기 안착부(13)에서 상기 지지돌기(12)에 접하여 지지되도록 한다.
그리고, 상기 파지부재(20)의 하면 또는 상기 지지돌기(12)의 상면 중 어느 하나 이상에는 측방향으로 슬라이딩되는 기판(40)을 안내하는 상기 롤러가 장착된다.
본 실시예에서 상기 롤러는 상기 파지부재(20)의 타단 하면에 장착된 제1롤러(31)로 이루어져 있다.
상기 제1롤러(31)는 상기 기판(40)의 슬라이딩방향으로 회전 가능하게 장착된다.
따라서, 상기 기판(40)을 상기 안착부(13)에 삽입한 후 측방향으로 이동시킬 때, 상기 제1롤러(31)와 접하여 상기 기판(40)의 이동이 보다 용이하게 이루어지도록 할 수 있다.
이러한 상기 제1롤러(31)는 상기 파지부재(20)의 타단 하면에 승강 가능하게 장착되도록 함이 바람직하다.
이를 위해 본 실시예에서 상기 파지부재(20)의 타단 내부에는 상기 제1롤러(31)를 상기 지지돌기(12) 방향으로 탄성가압하는 스프링(33)이 장착되어 있고, 상기 제1롤러(31)는 외력에 의해 상기 스프링(33)을 압축시키는 수직방향으로 승강된다.
따라서, 상기 기판(40)을 측방향으로 슬라이딩시킬 때, 상기 제1롤러(31)에는 상기 기판(40)에 의한 외력이 작용하여 상기 스프링(33)을 압축시키는 방향으로 이동하게 되고, 상기 스프링(33)이 압축되면서 발생하는 탄성력에 의해 상기 기판(40)의 일측면은 상기 제1롤러(31)와 상기 지지돌기(12)에 사이에서 견고하게 파지될 수 있다.
즉, 상기 기판(40)은 상기 안착부(13)로 삽입된 후 측방향으로 슬라이딩되어 상기 기판(40)의 일측면이 상기 지지돌기(12)와 제1롤러(31) 사이로 삽입되어 지지된다.
이때, 상기 기판(40)의 타측면은 상기 안착부(13)에서 상기 지지돌기(12)에 접하여 지지된다.
그리고, 상기 스프링(33)의 탄성력에 의해 상기 제1롤러(31)는 상기 기판(40)의 타면에 수직방향으로 힘을 가한다.
위와 같이 본 발명은 작업자 또는 로봇 등이 상기 파지부재(20)를 개폐시키지 않으면서 상기 기판(40)을 용이하게 삽입하여 상기 기판(40)이 상기 본체(10) 및 파지부재(20)에 의해 안정적으로 지지되도록 할 수 있다.
또한, 상기 제1롤러(31)의 승강에 의해 다양한 두께의 기판(40)을 파지하도록 할 수 있다.
제2실시예
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 스퍼터용 기판 이송 트레이의 단면구조도이다.
제2실시예는 제1실시예와 비교하여 상기 파지부재(20)에 차이가 있는바, 이를 중심으로 설명한다.
상기 파지부재(20)의 타단 하면에는 제1실시예와 같이 상기 제1롤러(31)가 장착되어 있다.
그리고, 제2실시예는 제1실시예와 달리 상기 파지부재(20) 전체가 상기 본체(10)의 타면에 대하여 승강 가능하게 결합된다.
이를 위해, 제2실시예에서는 체결부재(24)와 탄성부재(25)를 더 포함하여 이루어진다.
상기 체결부재(24)는 상기 파지부재(20)의 일단을 상기 본체(10)의 타면에 결합시킨다.
상기 탄성부재(25)는 코일스프링(33) 등으로 이루어져 상기 체결부재(24)에 결합되고, 상기 파지부재(20)를 상기 지지돌기(12) 방향으로 탄성가압한다.
위와 같은 상기 탄성부재(25)의 탄성력에 의해 상기 파지부재(20)는 일단 및 타단이 상기 지지돌기(12) 방향으로 가압되고, 외력에 의해 승강된다.
따라서, 상기 기판(40)을 측방향으로 슬라이딩시킬 때, 상기 제1롤러(31) 및 파지부재(20)에는 상기 기판(40)에 의한 외력이 작용하여 상기 체결부재(24)에 결합된 상기 탄성부재(25)를 압축시키는 방향으로 이동하게 되고, 상기 탄성부재(25)가 압축되면서 발생하는 탄성력에 의해 상기 기판(40)의 일측면은 상기 제1롤러(31)와 상기 지지돌기(12)에 사이에서 견고하게 파지될 수 있다.
물론 경우에 따라 상기 제1롤러(31)도 제1실시예와 같이 승강 가능하게 장착될 수 있다.
즉, 상기 제1롤러(31)가 상기 파지부재(20)의 타단에 승강 가능하게 장착될 수도 있다.
이때에는 상기 파지부재(20)가 상기 본체(10)에 대하여 상하방향으로 승강되고, 상기 제1롤러(31)는 상기 파지부재(20)에 대하여 독립적으로 상하방향으로 승강된다.
그 외 다른 사항은 제1실시예와 동일 유사한바, 이에 대한 자세한 설명은 생략한다.
제3실시예
도 7은 본 발명의 제3실시예에 따른 스퍼터용 기판 이송 트레이의 단면구조도이다.
제3실시예는 제1실시예 및 제2실시예와 비교하여, 제2롤러(32)가 추가되어 있는바, 이를 중심으로 설명한다.
제3실시예에서 롤러는 상기 파지부재(20)의 하면에 장착된 제1롤러(31)와 상기 지지돌기(12)의 상면에 장착된 제2롤러(32)로 이루어진다.
상기 제1롤러(31)는 제1실시예와 같이 승강되기 장착될 수도 있고, 제2실시예와 같이 승강되지 않을 수도 있다.
또한, 상기 파지부재(20)는 상기 제2실시예와 같이 승강 가능하게 장착될 수도 있다.
상기 제2롤러(32)는 상기 지지돌기(12)의 상면에 장착된다.
상기 제2롤러(32)는 상기 제1롤러(31)와 같이 상기 기판(40)의 슬라이딩 방향으로 회전 가능하게 장착된다.
바람직하게는 상기 제1롤러(31)와 제2롤러(32)가 접하거나 약간 이격되어 대면하게 배치되도록 한다.
따라서, 상기 기판(40)을 상기 안착부(13)에 삽입한 후 측방향으로 이동시킬 때, 상기 기판(40)의 일면과 타면이 각각 상기 제1롤러(31) 및 제2롤러(32)와 접하여 상기 기판(40)의 이동이 보다 용이하게 이루어지도록 할 수 있다.
이러한 상기 제2롤러(32)는 상기 지지돌기(12)의 상면에 승강 가능하게 장착되도록 함이 바람직하다.
이를 위해 본 실시예에서 상기 지지돌기(12)의 내부에는 상기 제2롤러(32)를 상기 파지부재(20) 방향으로 탄성가압하는 스프링(33)이 장착되어 있다.
따라서, 상기 기판(40)을 측방향으로 슬라이딩시킬 때, 상기 제1롤러(31) 및 제2롤러(32)에는 상기 기판(40)에 의한 외력이 작용하여 상기 스프링(33)을 압축시키는 방향으로 이동하게 되고, 상기 스프링(33)이 압축되면서 발생하는 탄성력에 의해 상기 기판(40)의 일측면은 상기 제1롤러(31)와 상기 제2롤러(32) 사이에서 견고하게 파지될 수 있다.
또한, 상기 파지부재(20) 자체가 승강될 경우 보다 더 다양한 두께의 기판(40)을 파지하도록 할 수 있다.
본 발명인 스퍼터용 기판 이송 트레이는 전술한 실시예에 국한하지 않고, 본 발명의 기술 사상이 허용되는 범위 내에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있다.
10 : 본체, 11 : 관통공, 12 : 지지돌기, 13 : 안착부,
20 : 파지부재, 24 : 체결부재, 25 : 탄성부재,
31 : 제1롤러, 32 : 제2롤러, 33 : 스프링,
40 : 기판.

Claims (8)

  1. 기판을 파지한 후 챔버로 이송되어 스퍼터링을 하도록 하는 스퍼터용 기판 이송 트레이에 있어서,
    중심부위에 관통공이 형성되고, 세로방향으로 배치되어 기판의 일면을 지지하는 본체와;
    상기 본체의 관통공에서 안쪽방향으로 돌출 형성되고 상기 본체의 두께보다 얇은 두께를 가지는 지지돌기와;
    상기 관통공의 안쪽방향으로 돌출된 상기 지지돌기와 상기 본체의 타면 사이에 형성되어 상기 기판의 일면의 테두리가 안착되어 지지되는 안착부와;
    상기 본체의 타면에서 일단이 승강 가능하게 결합되고 타단이 상기 지지돌기의 돌출방향으로 돌출되며, 타단이 상기 안착부에 안착된 상기 기판의 타면의 테두리를 지지하는 파지부재와;
    상기 파지부재의 일단을 상기 본체의 타면에 결합시키는 체결부재와;
    상기 체결부재에 결합되어 상기 파지부재를 상기 지지돌기 방향으로 탄성가압하는 탄성부재와;
    상기 파지부재의 타단 하면에 승강 가능하게 장착되어 측방향으로 슬라이딩되는 기판을 안내하는 제1롤러;를 포함하여 이루어지되,
    상기 안착부의 깊이는 상기 기판의 두께와 같거나 크고,
    상기 관통공의 너비는 상기 기판의 너비보다 작고, 상기 안착부의 너비는 상기 기판의 너비보다 크게 형성되며,
    상기 안착부는 상기 관통공을 중심으로 중공 사각형상으로 형성되고,
    상기 파지부재는 상기 안착부의 4개 모서리 중 한쪽 모서리에서만 상기 본체의 타면에 결합되고,
    상기 안착부의 한쪽 모서리에만 결합된 상기 파지부재와 상기 안착부의 반대쪽 모서리 사이의 거리는 상기 기판의 너비보다 크며,
    상기 기판은 상기 안착부로 삽입된 후 측방향으로 슬라이딩되어 상기 기판의 일측면이 상기 지지돌기와 제1롤러 사이로 삽입되어 지지되고, 상기 기판의 타측면은 상기 안착부에서 상기 지지돌기에 접하여 지지되고,
    상기 탄성부재의 탄성력에 의해 상기 파지부재는 일단 및 타단이 상기 지지돌기 방향으로 가압되면서 외력에 의해 승강되고,
    상기 제1롤러는 상하방향으로 승강되는 상기 파지부재에 대하여 독립적으로 상하방향으로 승강 가능하게 장착되며,
    상기 파지부재의 타단 내부에는 상기 제1롤러를 상기 지지돌기 방향으로 탄성가압하는 스프링이 장착되고, 상기 제1롤러는 외력에 의해 상기 스프링을 압축시키는 수직방향으로 승강되며,
    상기 스프링의 탄성력에 의해 상기 제1롤러는 상기 기판의 타면에 수직방향으로 힘을 가하는 것을 특징으로 하는 스퍼터용 기판 이송 트레이.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 청구항1에 있어서,
    상기 지지돌기의 상면에 장착된 제2롤러를 더 포함하여 이루어지되,
    상기 제2롤러는 외력에 의해 승강 가능하게 상기 지지돌기의 상면에 장착된 것을 특징으로 하는 스퍼터용 기판 이송 트레이.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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