KR101785039B1 - 부분 암시야 모듈을 포함하는 암시야 현미경 - Google Patents

Abstract

실시예는 암시야 현미경으로서, 일정한 세기의 광을 시료 쪽으로 출사하는 광원부, 상기 광원부에서 발생된 광을 특정 영역만 투과시키는 부분 암시야 모듈, 투과된 광을 재물대에 올려진 시료 쪽으로 집속시키는 집광부 및 시료의 일차적인 상을 맺게 하는 대물렌즈로 구성되며, 상기 집광부는 광원이 투과되지 못하도록 중심부가 차단된 조리개와 조명을 조절함과 동시에 대물렌즈로 광을 보내는 집광기를 포함하고, 상기 부분 암시야 모듈은 원형의 판 형상으로 중심으로부터 60도를 갖는 6개의 영역으로 이루어지며, 각 영역은 광을 투과시키는 영역과 투과시키지 않는 영역이 순차적으로 배열되는 특징을 갖는다. 따라서, 구형 입자가 이중막으로 배열된 밀집 구조에서 결정방향의 차이가 나타나는 부분을 직관적으로 확인할 수 있으며, 해당 구형 입자의 이중막의 결정방향을 정확하게 특정할 수 있다.

Description

부분 암시야 모듈을 포함하는 암시야 현미경{Dark Field Microscope with Partial Dark Field Module}

본 발명은 암시야 현미경에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 부분 암시야 모듈을 사용하여 마이크로 구형입자 이중막의 정렬방향의 차이에 따른 영역 경계를 용이하게 식별 할 수 있는 암시야 현미경에 관한 것이다.

유전체로 이루어진 나노 또는 마이크론 사이즈의 구형 입자를 기판 위에서 최대한 밀집시킬 경우 육각대칭성을 갖는 규칙적인 구조체를 얻을 수 있다. 이를 이용하면 규칙적인 나노구조를 대면적에 걸쳐 쉽게 만들어 낼 수 있기 때문에 다양한 나노구조 제작을 위한 형판(template)으로 사용이 가능하다. 최근에는 단일막 대신 이중막 형태의 형판을 이용하여 좀 더 복잡한 형태의 나노구조를 제작하는 연구들이 진행되고 있다.

이렇게 사용하기 위한 형판의 품질을 확인하기 위해서 주로 주사전자현미경 (Scanning Electron Microscopy: SEM)을 이용한 방법이 많이 사용되며, 이러한 방법은 선행문헌인 한국공개특허 10-2013-0135541 "주사 전자 현미경"에 개시되어 있다.
이 경우 높은 해상도의 장점에도 불구하고 측정을 위해서 금속 코팅 등의 별도의 시료 처리 과정으로 인한 번거로움과 재사용이 불가능한 단점이 있기 때문에, 시료 상태 그대로 현장에서 바로 관찰할 수 있는 광학 현미경을 이용한 방법이 더 유리하다.

광학현미경을 이용한 기존의 측정방법에서는 주로 명시야(Bright-field) 또는 암시야(Dark-field) 광학현미경을 이용하여 개개의 입자들의 중심 위치를 파악하여 그 정렬상태를 확인할 수 있다. 하지만 광학현미경의 해상도 한계로 인하여 입자들의 크기가 작아질수록 대면적에 걸쳐 각각의 위치를 빠르게 파악하기는 더욱 어려워지기 때문에, 해당 구조의 결정방향의 파악이 쉽지 않다.

특히 단일막이 아닌 이중막의 경우, 결정 구조상 2차원적인 결정방향이 같아도 3차원적인 결정 배열이 다른 두 가지의 경우가 존재할 수 있는데, 이러한 구조는 현미경의 초점을 바꾸어가며 필름의 위/아래 층에 존재하는 각각의 입자의 상대적인 위치를 함께 파악하지 않고서는 쉽게 구별하기 힘들기 때문에, 초점 조정으로 인한 분석시간이 오래 걸릴 뿐만 아니라 프로세스가 자동화되기 어렵다는 단점이 있다.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로, 밀집된 마이크로 구형입자 이중막에서 정렬방향의 차이에 따른 각 영역별 명암대비를 극대화시킴으로써 영역 간의 경계를 쉽게 확인할 수 있는 암시야 현미경의 구조를 제안하는데 그 목적이 있다.

본 발명의 실시예는 암시야 현미경에 관한 것으로서, 일정한 세기의 광을 시료 쪽으로 출사하는 광원부; 상기 광원부에서 발생된 광을 특정 영역만 투과시키는 부분 암시야 모듈; 투과된 광을 재물대에 올려진 시료 쪽으로 집속시키는 집광부; 및 시료의 일차적인 상을 맺게 하는 대물렌즈로 구성되며, 상기 집광부는 광원이 투과되지 못하도록 차단하는 환형 조리개와 나머지 투과된 광을 재물대 위의 시료로 집광시키는 집광기를 포함하고, 상기 부분 암시야 모듈은 원형의 판 형상으로, 중심으로부터 기설정된 각도로 분할된 복수개의 부채꼴의 영역으로 이루어지며, 각 부채꼴의 영역은 광을 투과시키는 영역과 투과시키지 않는 영역이 순차적으로 배열되될 수 있다.

그리고, 상기 부분 암시야 모듈을 이루는 각각의 영역은 상기 부분 암시야 모듈의 중심을 기준으로 서로 대칭을 이루도록 형성될 수 있다.

그리고, 상기 부분 암시야 모듈은 중심으로부터 60도의 각도를 갖는 6개의 부채꼴 영역으로 이루어지며, 광을 투과시키는 영역은 120도의 간격으로 형성될 수 있다.

그리고, 상기 부분 암시야 모듈은 상기 광원부와 상기 집광부 사이에 배치되며, 그 중심부가 고정된 채로 회전이 가능하도록 삽입될 수 있다.

그리고, 상기 부분 암시야 모듈은 상기 대물렌즈에 맺히는 상의 일부를 어둡게 하여, 2중막으로 이루어진 구형입자의 밀집 구조를 관찰함에 있어서 상부 구형입자의 배치 상태에 따라 서로 다른 3차원 구조를 갖는 영역에 대해 명암 대비를 부각시키는 특징을 갖는다.

그리고, 상기 부분 암시야 모듈은 구형입자의 관찰 시, 어두운 배경 하에서 밝은 링 형상으로 나타나는 구형입자의 이미지에서 광을 투과시키지 않는 복수개의 호의 영역을 어둡게 바꿔주어 밝은 호와 어두운 호가 순차적으로 이루어지도록 할 수 있다.

그리고, 밀집된 3개의 구형입자의 가운데 상부에 포개지는 상부 구형입자는, 하부 3개의 구형입자에서 이미지화되는 호 중 해당 상부 구형입자 바로 아래에 위치하는 부분이 밝은 호를 포함하는 경우에 상대적으로 밝게 나타나고, 하부 3개의 구형입자에서 이미지화되는 호가 어두운 호를 포함하는 경우에 상대적으로 어둡게 나타날 수 있다.

그리고, 상기 상부 구형입자의 이미지는 상기 부분 암시야 모듈을 회전시킴에 따라 명암이 변경되며, 0도와 60만큼 회전할 경우에 상기 상부 구형입자의 명암 대비가 최대로 나타날 수 있다.

그리고, 6개의 호로 이루어진 상기 구형입자의 이미지는 상기 부분 암시야 모듈을 회전시킴에 따라 함께 회전되어, 60도만큼 회전할 경우에 밀집된 구형입자 이중막의 명암 분포가 반대로 바뀌는 특징을 갖는다. 따라서, 상기 부분 암시야 모듈의 회전각을 측정함으로써 해당 영역의 구형입자 이중막의 결정 방향을 파악할 수 있다

실시예는 기존의 암시야 현미경에 결합되기 용이한 구성을 추가함으로써, 현미경의 초점 이동이나 측정한 광학 이미지의 보정 없이도 시료의 결정방향의 균일도와 관련된 품질을 신속 및 정확하게 확인할 수 있다.

실시예는 나노 구형입자 또는 마이크로 구형입자의 이중막 구조로 제작된 시료의 초기 제작과정에서 불량이 발생한 것을 쉽게 찾아낼 수 있으므로, 실제 사용되는 시료의 품질을 보장할 수 있다.

도 1은 종래의 암시야 현미경의 광학계를 나타낸 도면
도 2는 밀집된 구형 입자 이중막에서 동일한 2차원적 결정 방향에 대해 나타날 수 있는 두 가지 서로 다른 3차원적 구조를 보여주는 도면
도 3은 실시예에 따른 암시야 현미경의 광학계를 나타낸 도면
도 4는 실시예에 따른 부분 암시야 모듈을 나타낸 도면
도 5는 명시야 현미경, 암시야 현미경, 실시예의 부분 암시야 모듈이 적용된 암시야 현미경을 사용하여 관찰한 구형입자의 이미지를 나타낸 도면
도 6은 종래와 실시예의 암시야 현미경으로 관찰한 구형입자 단층막의 이미지를 나타낸 도면
도 7은 부분 암시야 모듈을 적용하였을 시 구형입자의 배열상태에 따른 이미지를 나타낸 평면도
도 8은 이중막 구조의 밀집된 구형입자 필름에서 부분 암시야 모듈을 적용한 경우를 나타낸 도면
도 9는 부분 암시야 모듈의 회전 방향에 따른 밀집된 구형입자 이중막의 명암 대비 변화를 나타낸 도면
도 10은 지름 0.5 ㎛의 작은 크기의 밀집된 구형입자로 이루어진 이중막에서 부분 암시야 모듈의 회전방향에 따라 각 영역 별 명암이 변화하는 것을 나타낸 도면

이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세하게 설명하지만, 본 발명의 실시예에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 대해 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위해 생략될 수 있다.

실시예는 이중막 구조의 마이크로 구형입자막의 품질을 확인하기 위한 것으로 투명한 물질로 된 구형 입자의 경우 명시야 현미경보다 암시야 현미경에서 명암 대비가 상대적으로 크게 나타나며, 위치 및 구조의 형태를 명시야 현미경에 비해 확인하기 쉽기 때문에 암시야 현미경을 사용하는 것을 전제로 하며, 일반적인 암시야 현미경을 본 발명의 목적을 수행할 수 있도록 개선한 것이다.

암시야 현미경은 집광기 내의 고리(환) 형태의 조리개를 통해 시료에 대해 기울어진 방향의 입사광을 사용하여 그대로 통과하는 빛은 받지 않고 물체에 의해 산란 또는 굴절되는 빛만 수집하는 현미경으로 명시야 현미경과 명암이 반대가 되는 특성을 갖는다.

도 1은 종래의 암시야 현미경의 광학계를 나타낸 도면이다. 도 1을 참조하면, 암시야 현미경(100)의 광학계는 크게 광원부(110), 집광부(120), 재물대(130) 및 대물 렌즈(140)로 구성될 수 있다.

광원부(110)는 일정한 세기의 광을 시료 쪽으로 출사하는 조명 장치로 LED 또는 할로겐 램프가 사용될 수 있다. 집광부(120)는 집광기(121, 123)와 조리개(122)를 포함할 수 있다. 집광기(121, 123)는 광원으로부터의 빛을 집속시키는 광학계의 부품으로 구성되며 조리개를 통과하여, 시료가 있는 재물대로 빛을 최대한의 양으로 통과시켜 선명하게 시료의 형태를 확인할 수 있도록 하는 부재로 조건에 따라 다양한 종류 및 개수로 형성될 수 있다.

조리개(122)는 집광기(121)으로부터 오는 빛을 제한하는 부재로 암시야 현미경에서는 조리개(122)의 중심부는 광원이 투과되지 못하도록 차단하여 시료에 특정 각도 이상의 빛만 입사하도록 구성된다.

재물대(130)는 시료를 고정하는 수평한 받침으로 가운데에 광선이 통과할 수 있는 구멍이 있으며 시료 표본을 고정할 수 있는 고정판을 포함할 수 있다.

대물 렌즈(140)는 시료의 제1차 상을 맺게 하는 렌즈로 배율에 따라 여러 개의 단일렌즈로 구성될 수 있다. 도시되진 않았으나, 대물 렌즈에 의해 확대된 상을 눈 또는 카메라로 보내는 튜브 렌즈가 구성될 수 있다.

도 2는 밀집된 구형 입자 이중막에서 동일한 2차원적 결정 방향에 대해 나타날 수 있는 두 가지 서로 다른 3차원적 결정 구조를 보여주는 도면이다. 도 2를 참조하면, 이중막 필름에서 결함이 발생하는 요인은 상층막을 이루는 구형입자들이 그 크기로 인하여 하층막의 구형입자들이 형성하는 모든 틈 위에 배치될 수 없기 때문이다. 따라서, 동일한 하층막에 대해서도 하나의 상층막 구형입자에 대해 하층막의 구형입자의 상대적 위치가 다른 A 또는 B의 두 가지 구조가 동일한 확률로 생성될 수 있다. 이때, 상층막이 형성되는 과정에서 A 또는 B의 두 가지 구조가 동시에 생겨나게 되면 두 영역이 만나는 부분에서 상층막의 구형입자 간에 이격된 공간이 발생하게 된다.

이러한 두개의 서로 다른 3차원 구조는 나노구조 제작을 위한 형판으로 이용될 경우에, 하나의 평판에 여러 나노 구조가 혼재하므로 결함을 만드는 요인이 된다. 도 1에서와 같은 암시야 현미경으로는 상기와 같은 3차원 구조에 명암 차이가 없기 때문에 해당되는 영역을 판별하기가 용이하지 않았다. 실시예는 이러한 3차원 구조에 차이가 나는 영역을 보다 쉽게 식별하기 위한 암시야 현미경에 대해 제안하는데 목적이 있다.

도 3은 실시예에 따른 암시야 현미경의 광학계를 나타낸 도면이다. 도 3을 참조하면, 실시예의 암시야 현미경(200)의 광학계는 크게 광원부(210), 집광부(220), 재물대(230) 및 대물 렌즈(240)를 포함할 수 있다. 상기의 구성은 종래에 설명된 구성에서의 목적과 역할이 동일하므로 자세한 설명은 생략한다.

실시예에 따른 암시야 현미경(200)의 광학계는 특히 광원부(210)와 집광부(220) 사이에 부분 암시야(Partial Dark Field) 모듈(250)이 구비되는 것을 특징으로 한다. 부분 암시야 모듈(250)은 광원부(210)에서 전달되는 광의 일부를 차단하는 부재로서 원형의 판 형상으로 형성될 수 있으며, 상기 부분 암시야 모듈은 상기 광원부와 상기 집광부 사이에 배치되며, 중심부가 고정된 채로 회전이 가능하도록 삽입될 수 있고, 도 4를 통해 구체적인 형상을 살펴본다.

도 4는 실시예에 따른 부분 암시야 모듈을 나타낸 도면이다. 도 4를 참조하면, 실시예의 부분 암시야 모듈(250)은 원형의 판 형상으로, 부분적으로 광을 투과하도록 형성된다. 구체적으로, 부분 암시야 모듈은 중심을 기준으로 6개 부채꼴 형상의 영역으로 분할될 수 있으며, 각각의 영역은 중심에서 60도를 이루도록 형성될 수 있으며, 각각의 영역은 중심을 기준으로 서로 대칭을 이루도록 형성될 수 있다. 6개의 영역은 광이 투과하지 않는 제1 영역(251)과 광이 투과하는 제2 영역(252)이 번갈아 가면서 형성될 수 있다. 즉, 광이 투과하는 제2 영역(252)은 부분 암시야 모듈의 중심을 기준으로 120도만큼씩 이격되어 형성될 수 있다.

이하에서는, 실시예와 같은 부분 암시야 모듈을 적용한 암시야 현미경을 사용하여 밀집된 구형입자 이중막에서 3차원 구조의 차이가 나는 영역들의 경계를 식별하는 원리에 대해 설명한다.

도 5는 명시야 현미경, 암시야 현미경, 실시예의 부분 암시야 모듈이 적용된 암시야 현미경을 사용하여 획득한 단일 구형입자의 이미지를 나타낸 도면이다. 도 5의 (a)는 명시야 현미경을 사용하여 구형입자 이미지를 나타낸 것으로, 구형입자는 밝은 배경하에서 어두운 링 형태로 나타나는데 이는 주로 구형입자 표면에서 산란된 광의 대부분이 대물렌즈에 의해 검출되지 않기 때문이다. 반면에, (b)와 같이 암시야 현미경을 사용하면 구형입자는 어두운 배경하에서 밝은 링 형태로 나타나게 되는데 이는 명시야 현미경과 반대로 오로지 기울어진 광만 대물렌즈에 포착되기 때문이다.

암시야 현미경을 통한 이미지에 있어서, 밝은 링은 구형입자 표면에서 직접적으로 분산된 빛에 의해 형성되는 것이 아니라, (d)에서와 같이 구형입자의 렌즈 효과로 인해 집광된 광에 의해 형성된다. 구형입자의 크기와 굴절률에 따라서, 집광된 광은 구형입자의 표면에 매우 근접하게 형성될 수 있으며, 구형입자에 의한 집광은 광의 초기 방향을 기울어지게 할 수 있으며, 이에 집광된 광의 일부가 대물렌즈 쪽으로 기울어질 수 있다. 또한, 집광된 광의 일부는 초점이 구형입자 표면에 매우 근접할 때 구형입자 표면에서 분산될 수 있으며, 이러한 분산된 빛은 대물렌즈에 의해 검출될 수 있다.

(c)는 실시예와 같이 부분 암시야 모듈을 적용하여 관찰한 구형입자의 이미지를 나타낸 것으로, 부분 암시야 모듈이 입사광을 세 방향으로만 제한함으로써 기존 암시야 현미경 이미지의 완전한 밝은 링과 달리 60도 간격으로 밝은 호와 어두운 호가 번갈아 가며 나타나는 것을 볼 수 있다.

도 6은 종래와 실시예의 암시야 현미경으로 관찰한 밀집된 구형입자 단층막의 이미지를 나타낸 도면이다.

(a)는 종래의 암시야 현미경으로 구형입자 단층막의 이미지를 획득한 도면이다. 이 이미지에서는 어두운 배경하에 밝은 링 형상을 갖는 여러 개의 구형입자가 밀집된 이미지를 확인할 수 있다.

(b)는 실시예와 같이 암시야 현미경에 부분 암시야 모듈을 적용하여 구형입자 단층막의 이미지를 획득한 도면이다. 도 5의 (c)에서 관찰한 밝은 호와 어두운 호가 60도 간격으로 순차적으로 이루어진 링 형태의 구형입자 이미지들이 밀집되어 형성된 이미지로써, 밀집된 구형입자들의 결정방향과 부분 암시야 모듈의 방향을 매칭함으로써 (b)의 그림과 같이 3개의 접촉한 구형입자 사이의 움푹 들어간 부분에서 밝은 삼각형의 이미지를 획득할 수 있다. 이때 전체 필름에 고르게 분포되어 있는 움푹 들어간 부분 중에서 절반은 밝은 삼각형으로 나타나고, 나머지 절반은 어둡게 나타난다.

이때 부분 암시야 모듈을 60도만큼 회전시키면, (d)의 도면과 같이 구형입자 사이의 움푹 들어간 부분 중에서 이전에 어둡게 나타난 부분에서는 밝은 삼각형의 이미지가 나타나고, 밝은 삼각형으로 나타났던 영역은 어둡게 나타난다.

한편, (c)와 같이 부분 암시야 모듈을 30도만큼 회전시킬 경우에는 서로 접촉한 구형입자의 밝은 호가 서로 연속적으로 위치하게 되어, 구형입자 사이의 움푹 들어간 부분에서의 밝기는 (b)나 (d)에 비하여 중간 정도의 밝기를 나타내게 된다.

이러한 현상은 도 7의 모식도에서 좀 더 쉽게 확인할 수 있다. 도 7에서 구형입자 주위의 굵은 선으로 나타낸 부분은 부분 암시야 모듈에 의해 밝게 비춰진 부분을 나타낸다. 이 때 동일한 부분 암시야 모듈의 방향에 대해서 구형입자의 상대적인 배열 방향이 달라짐에 따라 구형입자 사이의 움푹 들어간 삼각형 부분이 (a) 밝게 보일 수도 (b) 어둡게 보일 수도 있다.

도 8은 2중막 구조의 밀집된 구형입자 구조에서 부분 암시야 모듈을 적용한 경우를 나타낸 도면이다. 구형입자를 2중막으로 형성할 경우, 동일한 2차원적 결정방향에 대해서도 상층막의 구형입자가 어디에 위치하느냐에 따라서 3차원적인 구형입자의 배치상태는 서로 다른 두 가지로 나타날 수 있다. (a)와 같이 하층막의 밝은 삼각형 부분 위에 상층막의 구형입자가 배치될 경우 하층막의 밝은 삼각형 부분이 상층막의 구형입자를 비추는 광원 역할을 함으로써 상층막의 구형입자는 밝게 이미지화 된다. 반면에, (b)와 같이 하층막의 어두운 부분 위에 상층막의 구형입자가 배치될 경우에는 상층막의 구형입자는 어둡게 이미지화 된다. 따라서, 3차원적인 구형입자의 배치 상태에 따라 각각의 구형입자가 밝거나 어둡게 이미지화되기 때문에 육안으로의 식별이 더욱 용이하게 수행될 수 있다.

도 9는 종래와 실시예의 암시야 현미경으로 관찰한 밀집된 구형입자 (지름 2 ?m) 이중막의 이미지를 나타낸 도면이다. A영역과 B영역은 동일한 2차원 결정방향을 가지지만 상층막의 구형입자의 위치가 서로 어긋나있어 결함이 발생한 상태이다. 우선 도 9의 (a)는 종래의 암시야 현미경을 사용한 경우로 A영역과 B영역의 상층막에 위치한 구형입자 간에 작은 갭이 존재하기 때문에 경계에 해당하는 부분이 얇은 어두운 선으로 나타나게 되지만 명암대비는 상대적으로 낮아서 육안으로의 식별은 다소 어려운 상태에 있다.

(b), (c), (d)는 암시야 현미경에 부분 암시야 모듈을 적용하여 이를 회전하면서 구형입자 이중막을 이미지화한 것으로, 부분 암시야 모듈과 구형입자 이중막의 2차원 결정방향의 상대적 차이에 따라 구형입자 이중막의 밝기가 연속적으로 변화한다. 특히, 도 8에서와 같이 부분 암시야 모듈의 방향과 구형입자의 2차원 결정방향이 적절히 매칭되었을 경우, 구형입자 이중막의 밝기가 최대(A) 또는 최소(B)가 되어 명암대비가 극대화 되는 것을 확인할 수 있다 (b). 또한 부분 암시야 모듈을 추가로 60도만큼 회전시킬 경우 최대 밝기였던 부분이 최소 밝기로, 최소 밝기였던 부분이 최대 밝기로 역전되는 것을 확인할 수 있다 (d). 따라서, 부분 암시야 모듈을 연속해서 회전하면서 두 영역의 명암대비가 극대화되는 방향을 찾음으로써 영역 경계의 식별이 쉬워질 뿐만 아니라, 특정 영역이 가장 어두워질 때의 부분 암시야 모듈의 회전 위치로부터 해당 영역의 2차원 결정방향도 정확히 알 수가 있다.

도 10은 구형입자 각각의 위치를 정확히 파악하기 힘들 정도로 작은 크기의 구형입자로 이루어진 이중막을 종래의 암시야 현미경과 실시예에 따른 암시야 현미경을 사용하여 관찰한 이미지이다. 도시된 바와 같이 실시예에 따른 암시야 현미경은 뚜렷한 명암 대비로부터 대면적의 이미지에서도 구형입자의 배열 차이에 따른 영역 경계를 쉽게 확인할 수 있다. 한편, (b)의 도면을 살펴보면, 가장 밝은 영역과 어두운 영역 외에도 중간 정도의 밝기인 회색 영역이 보이는데, 이는 주변 영역과 다른 2차원의 결정 방향을 가짐으로써 부분 암시야 모듈의 방향과 정확히 매칭되지 않는 영역이다. 부분 암시야 모듈을 회전하면 이러한 회색 영역은 특정 각도에서 다시 가장 밝거나 어두운 영역으로 나타나는데 (c), 이 각도를 측정함으로써 특정 영역에서의 결정 방향을 파악할 수 있다.

실시예에 따른 암시야 현미경은 다른 현미경에 비해서 낮은 세기의 광원에 대해서도 구형입자의 경계 영역을 구별할 수 있다. 암시야 현미경으로 관찰한 구형입자 표면에 형성되는 밝은 호는 기본적으로 구형입자에 의한 입사광의 집광(focusing)에 의해서 형성되는 것이기 때문에 약한 광원을 사용하여도 충분한 밝기의 이미지를 형성하므로, 구형입자 이중막의 경계영역을 구별하기 위한 충분한 명암대비를 줄 수 있다.

실시예와 같이 부분 암시야 모듈이 적용된 암시야 현미경은 현저한 명암대비를 통해 이중막 구조의 마이크로 구형입자막의 결정 배열 차이에 따른 결함 또는 불량 상태를 용이하게 식별할 수 있어 구형입자막을 템플릿으로 이용한 나노구조 제작 공정에서의 품질 개선에도 유리한 장점을 가진다.

이상에서 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 본 발명의 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

Claims (8)

1. 일정한 세기의 광을 시료 쪽으로 출사하는 광원부;
   상기 광원부에서 발생된 광을 특정 영역만 투과시키는 부분 암시야 모듈;
   투과된 광을 재물대에 올려진 시료 쪽으로 집속시키는 집광부; 및
   시료의 일차적인 상을 맺게 하는 대물렌즈로 구성되며,
   상기 집광부는 광원이 투과되지 못하도록 중심부가 차단된 조리개와 조명을 조절함과 동시에 대물렌즈로 광을 보내는 집광기를 포함하고,
   상기 부분 암시야 모듈은 원형의 판 형상으로, 중심으로부터 기설정된 각도로 분할된 복수개의 부채꼴로 이루어진 영역으로 이루어지며, 각 영역은 광을 투과시키는 영역과 투과시키지 않는 영역이 순차적으로 배열되고,
   상기 부분 암시야 모듈은 상기 대물렌즈에 맺히는 상의 일부를 어둡게 하여, 2중막으로 이루어진 구형입자의 밀집 구조를 관찰함에 있어서 상부 구형입자의 배치 상태에 따라 서로 다른 3차원 구조를 갖는 영역에 대해 명암 대비를 부각시키는 암시야 현미경.
2. 제 1항에 있어서,
   상기 부분 암시야 모듈을 이루는 각각의 영역은 상기 부분 암시야 모듈의 중심을 기준으로 서로 대칭을 이루도록 형성되는 암시야 현미경.
3. 제 1항에 있어서,
   상기 부분 암시야 모듈은 중심으로부터 60도의 각도를 갖는 6개의 부채꼴 영역으로 이루어지며, 광을 투과시키는 영역은 120도의 간격으로 형성되는 암시야 현미경.
4. 제 1항에 있어서,
   상기 부분 암시야 모듈은 상기 광원부와 상기 집광부 사이에 배치되며, 그 중심부가 고정된 채로 회전이 가능하도록 삽입되는 암시야 현미경.
5. 삭제
6. 제 1항에 있어서,
   상기 부분 암시야 모듈은 구형입자의 관찰 시, 어두운 배경 하에서 밝은 링 형상으로 나타나는 구형입자의 이미지에서 광을 투과시키지 않는 복수개의 호의 영역을 어둡게 바꿔주어 밝은 호와 어두운 호가 순차적으로 이루어지도록 하는 암시야 현미경.
7. 제 6항에 있어서,
   밀집된 3개의 구형입자의 가운데 상부에 포개지는 상부 구형입자는, 하부 3개의 구형입자에서 이미지화되는 호 중 해당 상부 구형입자 바로 아래에 위치하는 부분이 밝은 호를 포함하는 경우에 상대적으로 밝게 나타나고, 하부 3개의 구형입자에서 이미지화되는 호가 어두운 호를 포함하는 경우에 상대적으로 어둡게 나타나는 암시야 현미경.
8. 제 7항에 있어서,
   상기 상부 구형입자의 이미지는 상기 부분 암시야 모듈을 회전시킴에 따라 명암이 변경되며, 0도와 60만큼 회전할 경우에 상기 상부 구형입자의 명암 대비가 최대로 나타나는 암시야 현미경.

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