KR101782745B1 - 가스 공급장치 원격 제어를 위한 유체 공급 시스템 및 이를 이용한 방법 - Google Patents

가스 공급장치 원격 제어를 위한 유체 공급 시스템 및 이를 이용한 방법 Download PDF

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Abstract

가스 공급장치 원격 제어를 위한 유체 공급 시스템 및 이를 이용한 방법이 개시된다. 본 가스 공급장치 원격 제어를 위한 유체 공급 시스템은, 유체가 인입되는 복수 개의 라인을 제어하고, 가동정보를 전송하는 가스 공급장치; 및 상기 가스 공급장치를 모니터링하고 제어하는 서버;를 포함한다.
이에 의해 획득된 세팅정보에 맞춰 가스 공급장치로부터 일정한 압력으로 유체가 공급되도록 하는 것은 물론, 관리자가 원격으로 가스 공급장치를 제어하고, 가스 공급장치의 상태에 대한 정보를 원격으로 모니터링 할 수 있게 된다. 또한, 유체가 인입되는 라인에 문제가 발생되더라도 여분의 서브 라인을 통해 유체가 지속적으로 공급될 수 있도록 하는 것은 물론, 유체의 저장량에 대한 분석이 가능하도록 하여 유체의 적절한 충전이 수행될 수 있게 된다.

Description

가스 공급장치 원격 제어를 위한 유체 공급 시스템 및 이를 이용한 방법{fluid supply system for supply machine remote control and method using the same}
본 발명은 가스 공급장치 원격 제어를 위한 유체 공급 시스템 및 이를 이용한 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 가스와 같은 유체를 사용하는 산업현장에서 유체의 공급을 위한 가스 공급장치를 모니터링하고 제어할 수 있는 가스 공급장치 원격 제어를 위한 유체 공급 시스템 및 이를 이용한 방법에 관한 것이다.
반도체 제조공정에서는 가스와 같은 유체를 공급하기 위한 가스 공급장치가 사용되고 있는데, 이러한 가스 공급장치를 통해 유체가 공급되는 과정에서는 유체의 공급이 중단없이 지속적으로 공급될 수 있어야 한다.
이를 위해 유체공급을 위한 가스 공급장치는 유체가 저장되는 탱크와 같은 저장소와 연결되고, 탱크로부터 유체가 공급되는 압력인 세팅값은 가스 공급장치의 밸브의 개폐정도를 조절함으로써 일정한 압력의 유체가 공급되도록 하고 있다.
하지만, 이러한 경우, 외부적인 진동과 가스배관 라인의 미세 진동 등으로 인해 초기 셋팅 값이 변경되는 경우 관리자가 직접 가스 공급장치를 관리해야 하고, 유체 압력의 경우 가스 공급장치에 형성된 게이지를 통해 보여지게 되는데, 이는 관리자가 산업현장에 상주하거나 주기적으로 방문하여 수시로 게이지를 통해 유체 압력을 체크해줘야 한다는 문제가 있다.
그리고, 종래의 가스 공급장치는 하나의 저장소와 연결되어 단일의 공급경로에 문제가 발생되면 제조공정 자체가 중단되어야 한다는 점에서 제조효율이 떨어지고 시간 역시 낭비된다는 문제가 있다.
대한민국등록특허 제1627239호
본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은, 획득된 세팅정보에 맞춰 가스 공급장치로부터 일정한 압력으로 유체가 공급되도록 하는 것은 물론, 관리자가 원격으로 가스 공급장치를 제어하고, 가스 공급장치의 상태에 대한 정보를 원격으로 모니터링 할 수 있도록 하는 가스 공급장치 원격 제어를 위한 유체 공급 시스템 및 이를 이용한 방법을 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 공급장치 원격 제어를 위한 유체 공급 시스템은, 유체가 인입되는 복수 개의 라인을 제어하고, 가동정보를 전송하는 가스 공급장치; 및 상기 가스 공급장치를 모니터링하고 제어하는 서버;를 포함한다.
여기서, 상기 서버는, 상기 가스 공급장치의 가동을 위한 세팅정보를 획득하고, 상기 가동정보를 분석하여 이벤트 여부를 판단하고, 제어정보를 생성할 수 있다.
그리고, 상기 세팅정보는, 상기 유체의 시간당 공급량에 따른 세팅 인입압력, 상기 유체가 저장되는 탱크의 저장용량, 상기 탱크의 충전스케줄, 상기 가스 공급장치의 가동스케줄 중 적어도 하나이고, 상기 가동정보는, 상기 가스 공급장치의 제1 라인의 유체가 인입되는 제1 인입압력, 상기 가스 공급장치의 제2 라인의 유체가 인입되는 제2 인입압력 및 상기 가스 공급장치의 제3 라인을 통해 인출되는 인출압력 중 적어도 하나일 수도 있다.
또한, 상기 서버는, 상기 제어정보가 생성되지 않으면 상기 유체는 상기 제1 라인 및 상기 제2 라인 중 어느 하나만을 통해 인입되도록 할 수도 있다.
그리고, 상기 서버는, 상기 세팅 인입압력과 상기 인출압력을 비교하고, 차압이 임계치 이내이면 기설정된 횟수만큼 상기 공급압력으로부터 상기 인출압력이 재수신되도록 하고, 재수신된 인출압력이 상기 세팅 공급압력보다 작고, 재수신된 차압에 변동은 있으나 상기 차압이 임계치 이내이면, 제1 제어정보가 생성되며, 상기 제1 제어정보는, 상기 서버가, 상기 차압과 동일한 압력으로 상기 제2 라인의 유체가 추가공급되도록 한 후, 상기 가스 공급장치의 상태를 분석하도록 하는 정보일 수도 있다.
또한, 상기 서버는, 상기 차압이 임계치를 초과하거나, 상기 재수신된 인출압력이 상기 세팅 공급압력보다 크면 제2 제어정보가 생성되도록 하고, 상기 제2 제어정보는, 상기 서버가, 상기 가스 공급장치의 가동이 즉시 중단되도록 하고, 외부 단말기로 알림문자 또는 알림신호를 전송한 후, 상기 가스 공급장치의 상태를 분석하도록 하는 정보일 수도 있다.
그리고, 상기 서버는, 상기 가스 공급장치의 상태가 파손을 포함하는 기계적 결함인 것으로 분석되면, 관리자 단말기 또는 상기 가스 공급장치의 제조업자 단말기로 상기 알림문자 또는 상기 알림 신호를 전송하고, 상기 가스 공급장치의 상태가 상기 저장량 부족인 것으로 분석되면, 상기 관리자 단말기 또는 상기 유체의 공급업체 단말기로 상기 알림문자 또는 상기 알림 신호를 전송하되, 상기 제1라인의 유체가 보충될 때까지 상기 제2 라인의 유체만을 통해 상기 유체가 공급되도록 할 수도 있다.
또한, 상기 서버는, 상기 가스 공급장치를 통해 공급되는 상기 유체의 공급량을 단위시간 마다 저장되도록 하고, 상기 가스 공급장치가 구동되면 저장된 상기 유체의 공급량, 상기 가동 스케줄 및 상기 탱크의 저장량을 기반으로 상기 유체의 잔여량 및 유체공급가능일자를 산출하고, 상기 유체의 잔여량이 기설정된 수치 미만이거나 상기 유체공급가능일자로부터 일정 기간 이전에 상기 유체의 공급업체 단말기로 상기 알림문자 또는 상기 알림 신호를 전송하여 상기 유체의 보충을 위한 주문이 수행되도록 할 수도 있다.
한편, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 가스 공급장치 원격 제어를 위한 유체 공급 방법은, 서버가, 상기 공로부터 가동정보를 수신하는 단계; 및 상기 서버가, 상기 가동정보를 분석하여 이벤트 여부를 판단하는 단계;를 포함한다.
이에 의해 획득된 세팅정보에 맞춰 가스 공급장치로부터 일정한 압력으로 유체가 공급되도록 하는 것은 물론, 관리자가 원격으로 가스 공급장치를 제어하고, 가스 공급장치의 상태에 대한 정보를 원격으로 모니터링 할 수 있게 된다.
또한, 유체가 인입되는 라인에 문제가 발생되더라도 여분의 서브 라인을 통해 유체가 지속적으로 공급될 수 있도록 하는 것은 물론, 유체의 저장량에 대한 분석이 가능하도록 하여 유체의 적절한 충전이 수행될 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유체 공급 시스템의 구성을 설명하기 위해 제공되는 도면,
도 2 및 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 공급장치를 설명하기 위해 제공되는 도면,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 서버를 설명하기 위해 제공되는 도면,
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 단말기를 설명하기 위해 제공되는 도면,
도 6은 본 본 발명의 일 실시예에 따른 유체 공급 방법을 설명하기 위해 제공되는 흐름도, 그리고,
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유체 공급 방법을 설명하기 위해 제공되는 흐름도이다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명에 대해 보다 상세하게 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유체 공급 시스템의 구성을 설명하기 위해 제공되는 도면이다.
본 유체 공급 시스템은, 제조공정에서 사용되는 가스와 같은 유체가 공급되는 과정에서 관리자가 유체의 공급 상태를 원격으로 모니터링하는 것은 물론, 설정되는 세팅값에 따라 가스 공급장치가 자동으로 조정되도록 하기 위해 마련된다.
또한, 유체가 공급되는 라인에서 저장량 부족이나 기계결함과 같은 이유로 공급라인의 작동이 중단되거나 하는 경우에 서브라인을 통해 유체가 지속적으로 공급되도록 하기 위해 마련된다.
이를 위해 본 실시예에 따른 유체 공급 시스템은, 가스 공급장치(100), 서버(200) 및 단말기(300)로 구성된다.
가스 공급장치(100)는 가스공급이 필요한 외부 장치에 가스가 공급되도록 하기 위해 마련되는 것으로 유체가 저장되는 저장 탱크와 연결되어 유체가 저장 탱크로부터 외부 장치까지 유동되도록 함으로써 유체가 공급되도록 한다.
그리고 본 실시예에 따른 가스 공급장치(100)는 종래의 가스 공급장치와는 달리 일단 및 타단이 각각 저장 탱크와 연결되는데, 각각의 저장 탱크에는 동일한 종류의 유체가 저장되어 가스 공급장치(100)에 형성되는 제1 라인 및 제2 라인과 각각 연결되게 된다.
이 때 본 유체 공급 시스템에 문제가 발생되거나 이벤트가 발생되지 않는 경우에는 제1 라인 및 제2 라인 중 하나의 라인만이 메인 라인으로 사용되어 하나의 라인에서만 유체가 공급되도록 한다.
그리고, 수리, 고장, 파손 및 이벤트 발생 등과 같이 특별한 경우가 발생된 경우에는 하나의 라인과 나머지 하나의 라인에 동시에 사용되거나 하나의 라인은 작동이 중지되고 나머지 하나의 라인에서 유체가 공급되도록 한다.
이러한 구성을 통해 본 유체 공급 시스템은 제조공정에 사용되는 유체의 공급이 중단되지 않고 지속적으로 공급되도록 할 수 있게 된다.
그리고 가스 공급장치(100)는 서버(200)와 연결되어 서버(200)로부터 수신되는 세팅정보 또는 제어정보를 수신하고, 수신된 세팅정보 또는 제어정보에 포함된 정보에 따라 가동되게 된다.
또한, 가스 공급장치(100)는 가동되는 과정에서 생성되는 가동정보를 서버(200)로 전송한다.
가스 공급장치(100)가 서버(200)로 전송되도록 하는 가동정보에는, 제1라인을 통해 공급되는 유체의 인입압력, 제2 라인을 통해 공급되는 유체의 인입압력, 제3 라인을 통해 인출되는 인출압력, 복수 개의 라인들과 연결된 저장 탱크에 저장된 유체의 저장량 등과 같이 가동 중인 가스 공급장치(100)의 상태를 확인할 수 있는 모든 정보를 포함하고, 이 중 적어도 하나가 서버(200)로 전송되도록 한다.
한편, 서버(200)는 사전에 획득된 세팅정보에 따라 가스 공급장치(100)가 제어되도록 하고, 가스 공급장치(100)의 가동정보를 수신하여 분석함으로써 이벤트 여부를 판단하여 제어정보를 생성하고, 생성된 제어정보에 따라 가스 공급장치(100)가 제어되도록 한다.
그리고 서버(200)는 단말기(300)로부터 세팅정보를 추가 수신할 수도 있으며, 수신된 세팅정보에 따라 가스 공급장치(100)가 가동되도록 하거나 세팅정보와 가동정보를 조합 및 분석하여 제어정보를 생성하고, 생성된 제어정보에 따라 단말기(300)로 알림문자나 알림 신호를 전송한다.
한편, 단말기(300)는 관리자가 가스 공급장치(100)의 상태를 모니터링하고, 필요에 의해 가스 공급장치(100)가 원격으로 제어되도록 하기 위해 마련되는 것으로, 서버(200)를 통해 가스 공급장치(100)와 연결된다.
본 실시예에 따른 단말기(300)는 제조공정을 관리하는 관리자가 소지하는 단말기(300)이거나, 가스 공급장치(100)를 제조하거나 공급하는 업체의 관리자가 소지하는 단말기(300), 또는 저장 탱크에 저장되는 유체를 공급하는 업체의 관리자가 소지하는 단말기(300) 중 적어도 하나일 수 있다.
이상의 구성을 통해 관리자는 원격으로 가스 공급장치(100)의 상태를 모니터링하는 것은 물론, 가스 공급장치(100)가 원격으로 제어되도록 할 수 있고, 원격으로 제어하지 않더라도 미리 설정된 세팅정보에 의해 가스 공급장치(100)가 세팅값에 맞춰 가동되도록 할 수 있다.
이상에서 가스 공급장치(100)가 원격으로 제어되도록 하는 것은 가스 공급장치(100)와 서버(200) 또는 가스 공급장치(100)와 단말기(300) 간의 단방향 또는 쌍방향 무선통신을 통해 수행되거나 사물인터넷(Internet of Things)을 기반으로 수행되는 것을 포함하여 데이터 또는 신호를 주고받는 것이라면 어떠한 형태로 수행되더라도 무방하다.
한편, 도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 공급장치(100)를 설명하기 위해 제공되는 도면이다.
전술한 바와 같이 가스 공급장치(100)는 유체가 사용되는 외부 장치에 유체가 공급되도록 하기 위해 마련되는 것으로, 도시된 바와 같이 통신부(110), 개폐부(120), 센서부(130), 출력부(140), 제어부(150)를 포함한다.
먼저, 통신부(110)는, 서버(200)와 통신하기 위해 마련되는 것으로, 제어부(150)의 제어를 통해 서버(200)의 통신부(210)와 세팅정보, 가동정보 및 제어정보 중 적어도 하나를 송수신한다.
통신부(110)는, 제어부(150)를 통해 전달받은 가동정보가 서버(200)로 전송되도록 하거나, 서버(200)로부터 수신된 세팅정보 및 제어정보가 제어부(150)로 전달되도록 한다.
한편, 개폐부(120)는 유체가 유동되는 복수 개의 라인인 제1 라인, 제2 라인 및 제3 라인이 개폐되도록 하기 위해 마련되는 것으로, 복수 개의 밸브를 포함할 수 있다.
개폐부(120)에 포함된 복수 개의 밸브들은 각각 제1 라인, 제2 라인 및 제3 라인 상에 개별적으로 위치된다.
그리고 개폐부(120)는 제어부(150)의 제어에 의해 제1 라인, 제2 라인 및 제3 라인 중 적어도 하나가 개폐되도록 한다.
따라서 개폐부(120)는 제어부(150)의 제어에 의해 각 라인으로 인입 및 인출되는 유체의 압력이 세팅정보와 동일한 압력으로 유동되도록 한다.
여기서 제1 라인, 제2 라인, 제3 라인 및 복수 개의 밸브들은 가스 공급장치(100) 내에 형성되는 것으로, 도면에는 미도시 되었으나 제1 라인 및 제2 라인은 가스 공급장치(100)의 일단 및 타단에 형성되어 유체가 저장되는 저장 탱크와 각각 연결된다.
이 때 제1 라인은 제1 저장 탱크와 연결되고, 제2 라인은 제2 저장 탱크와 연결된다.
제3 라인은 제1 라인 또는 제2 라인을 통해 인입된 유체가 유체를 필요로 하는 외부 장치로 인출되도록 하기 위해 마련된다.
본 실시예에서는 유체가 인출되는 라인은 제3 라인으로 단일의 인출라인만 마련되는 것으로 상정하였으나, 이는 설명의 편의를 위한 예시적 사항에 불과하며, 제1 라인으로 인입된 유체가 인출되는 라인과 제2 라인으로 인입된 유체가 인출되는 라인을 포함하는 복수 개의 인출라인으로 마련될 수도 있다.
한편, 센서부(130)는 유체의 압력을 측정하기 위한 것으로, 복수 개로 마련되되, 복수 개의 라인 상에 개별적으로 마련된다.
그리고 센서부(130)는 각 라인을 통해 유동되는 유체의 압력이 측정되도록 하고, 측정된 유체의 압력에 대한 신호가 제어부(150)로 전송되도록 한다.
이때 센서부(130)는 제1 라인과 제2 라인 상에 각각 마련될 수도 있지만, 차압센서로 제1 라인과 제2 라인 사이에 마련될 수도 있을 것이다.
한편, 출력부(140)는 가스 공급장치(100)의 상태에 대해서 시각 또는 청각적으로 알릴 수 있도록 하기 위한 것으로 압력 게이지, 디스플레이, 스피커, 점멸등으로 구성된다.
출력부(140)는 제어부(150)를 통해 제어된다.
압력 게이지는 센서부(130)와 연결되어 유체의 압력이 실시간으로 육안으로 확인가능하도록 한다.
디스플레이는, 서버(200)로 전송되는 가동정보나 서버(200)로부터 수신된 제어정보가 텍스트 또는 그래프와 같은 시각정보로 가공되어 제조공정 현장에서 즉시 보여질 수 있도록 한다.
스피커 및 점멸등은 가스 공급장치(100)에 즉시 대응되어야 하는 문제가 발생되어 제어정보를 수신하지 않더라도 자체적으로 점멸되거나 경고음이 송출되어 현장에 배치된 작업자들이 문제가 발생되었음을 인지할 수 있도록 하기 위해 마련된다.
도면에서는 출력부(140)가 게이지로 구현되는 것으로 상정하였으나, 이는 설명의 편의를 위한 예시적 사항에 불과하며, 관리자 또는 사용자에게 가스 공급장치(100)의 상태가 공지되도록 하기 위해 마련되는 것이라면 모두 출력부(140)라 할 것이다.
한편, 제어부(150)는 통신부(110), 개폐부(120), 센서부(130) 및 출력부(140)를 제어하기 위해 마련된다.
제어부(150)는 센서부(130)를 통해 측정된 유체의 압력을 포함하는 가동정보가 서버(200)로 전송되도록 하거나, 서버(200)로부터 세팅정보 또는 제어정보가 수신되도록 하기 위해 통신부(110)를 제어한다.
그리고 제어부(150)는 세팅정보 또는 제어정보에 따라 개폐부(120)를 제어한다.
또한 제어부(150)는 센서부(130)로부터 유체의 압력에 대한 신호를 수신하고, 서버(200)로부터 영점조정 수행을 위한 제어정보가 수신되면, 센서부(130)의 영점 조정이 수행되도록 한다.
그리고 제어부(150)는 서버(200)로부터 제어정보가 수신되면 출력부(140)를 통해 경고음이나 경고영상과 같은 경고를 위한 신호가 출력되도록 하고, 서버(200)로부터 제어정보가 수신되지 않더라도 가스 공급장치(100)에 이상이 발생된 것으로 판단되면 자체적으로 출력부(140)를 통해 경고 신호가 출력되도록 제어할 수도 있다.
한편, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 서버(200)를 설명하기 위해 제공되는 도면이다.
서버(200)는 전술한 바와 같이, 자체적으로 획득된 세팅정보 또는 단말기(300)로부터 획득된 세팅정보에 따라 가스 공급장치(100)가 가동되도록 하고, 가스 공급장치(100)가 가동되는 상태를 모니터링하여 분석하되, 이벤트가 발생된 것으로 판단되면 분석된 결과에 따라 가스 공급장치(100)가 제어되도록 한다.
서버(200)는 가스 공급장치(100) 및 단말기(300)와 각각 통신하는 것은 물론, 가스 공급장치(100)와 단말기(300)를 중개한다.
이를 위해 서버(200)는 통신부(210), 데이터베이스부(220), 분석부(230) 및 제어부(240)를 포함한다.
통신부(210)는 서버(200)가 가스 공급장치(100) 또는 단말기(300)와 정보를 송수신하기 위해 마련된다.
통신부(210)는 제어부(240)로부터 전달받은 정보가 가스 공급장치(100) 또는 단말기(300)로 전송되도록 하거나, 가스 공급장치(100) 도는 단말기(300)로부터 수신된 정보가 제어부(240)로 전달되도록 한다.
데이터베이스부(220)는 세팅정보, 가동정보 및 제어정보는 물론, 가동정보를 생성하기 위해 필요한 알고리즘 등이 저장되도록 하기 위해 마련된다.
데이터베이스부(220)는 사전에 세팅정보가 저장된 상태로 마련될 수 있는 것은 물론, 단말기(300)를 통해 추가적으로 입력된 세팅정보가 저장되도록 한다.
그리고 데이터베이스부(220)는 통신부(210)를 통해 가스 공급장치(100)를 통해 수신된 가동정보를 저장하되, 시간 및 날짜에 따라 가동정보가 분류되어 저장되도록 한다.
또한 데이터베이스부(220)는 분석부(230)를 통해 분석된 가동정보는 물론, 분석된 가동정보를 통해 생성되는 제어정보가 저장되도록 한다.
그리고 데이터베이스부(220)에는 분석부(230)에서 가동정보를 분석하기 위해 필요한 알고리즘에 대한 정보가 사전에 저장된다.
또한 데이터베이스부(220)는 제어부(240)의 제어를 통해 이상의 정보들이 저장된다.
본 실시예에 따른 세팅정보는, 유체의 시간당 공급량에 따른 세팅 인입압력, 유체가 저장되는 저장 탱크의 저장용량, 탱크의 충전 스케줄, 가스 공급장치(100)의 가동스케줄 등으로 이상의 정보 중 적어도 하나를 포함하는 정보이다.
세팅 인입압력은 사전에 데이터베이스부(220)에 저장되도록 하거나, 제조공정의 상황에 따라 단말기(300)로부터 생성되어 수신될 수 있는 것으로, 제1 라인 또는 제2 라인을 통해 인입되어야 하는 유체의 압력을 의미한다.
탱크의 충전 스케줄은, 저장 탱크에 유체가 보충되는 일정과 관련된 것으로 실제 특정 날짜로 저장되거나 유체가 보충된 날로부터 유체가 재보충되는 날까지의 기간으로 저장될 수 있다.
가스 공급장치(100)의 가동스케줄은 제조공정이 수행되는 일정에 관한 것으로, 제조공정이 가동되거나 미가동되는 특정 날짜이거나 가동과 미가동에 대한 주기일 수 있다.
구체적으로 가동과 미가동에 대한 주기라 함은 예를 들어 연속 5일 동안은 가동, 연속 2일 동안은 미가동되는 일정이 늘 반복되는 경우 가동과 미가동에 대한 기간으로 저장되는 것이다.
또한, 데이터베이스부(220)는 가스 공급장치(100)를 통해 공급되는 유체의 공급량을 단위시간 마다 저장되도록 하여 분석부(230)에서 저장된 유체의 공급량을 통해 저장 탱크에 저장되어 있는 잔여량을 분석하고, 분석된 잔여량을 기준으로 향후 유체의 공급 가능 일자를 산출되도록 할 수 있다.
그리고 데이터베이스부(220)에는 상황에 따라 단말기(300)로 알림문자 또는 알림신호를 전송하거나 인증이 완료된 단말기(300)로부터 세팅정보를 수신하기 위해 정보를 송수신하는 단말기(300)에 대한 식별정보가 저장된다.
또한, 데이터베이스부(220)는 긴급재난발생 시 단말기(300)기를 통해 별도의 명령을 입력받지 않아도 제조공장 현장이 위치된 지역 및 관할 경찰서, 소방서 및 병원 등에 알림문자 또는 알림신호를 전송할 수 있도록, 경찰서, 소방서 및 병원의 전화번호, 단말기 식별번호와 같은 정보가 저장된다.
한편, 분석부(230)는 가스 공급장치(100)를 통해 수신된 가동정보를 분석하여 가스 공급장치(100)의 상태를 판단하고, 판단된 결과를 통해 가스 공급장치(100)가 정상적으로 가동되도록 하기 위해 마련된다.
이를 위해 분석부(230)는 세팅정보, 가동정보를 조합하여 가스 공급장치(100)의 상태를 분석하고, 가스 공급장치(100)의 상태가 정상적인 것으로 판단되면 수신된 가스 공급장치(100)의 상태가 유지되도록 한다.
여기서 가스 공급장치(100)의 상태가 유지되도록 한다는 것은 제1 라인 또는 제2 라인 중 어느하나의 라인만을 통해 유체가 인입되도록 한다는 것을 의미한다.
또한, 분석부(230)는 가스 공급장치(100)의 상태를 분석하고, 가스 공급장치(100)의 상태가 정상적이지 않아 이벤트가 발생된 것으로 판단되면 제어정보가 생상되도록 하여 가스 공급장치(100)의 상태가 변경되도록 한다.
이하에서는 분석부(230)가 가스 공급장치(100)의 상태를 분석하고 판단하는 과정에 대해 구체적으로 설명하기로 한다.
분석부(230)는 데이터베이스부(220)에 저장되어 있는 세팅 인입압력과 가스 공급장치(100)로부터 수신된 가동정보 중 제3라인을 통해 인출되는 유체의 인출압력을 비교한다.
그리고 분석부(230)는 비교된 세팅 인입압력과 인출압력 간의 차압이 임계치 이내인 것으로 분석되면, 기설정된 횟수만큼 가스 공급장치(100)로부터 인출압력이 재수신되도록 한다.
여기서 기설정된 횟수는 가스 공급장치(100)의 상태를 보다 정확하게 판단하기 위한 횟수로, 적어도 3회 이상으로 설정되는 것이 바람직하다. 가스 공급장치(100)가 가동되는 상태에서는 인입압력은 물론 인출압력은 약간의 변동이 발생될 수 있는데, 이처럼 인출압력을 기설정된 횟수만큼 반복적으로 재수신받음으로써, 수신된 인출압력이 일반적으로 유체가 유동되는 과정에서 허용될 수 있는 압력의 변화인지 가동상태가 변경되어야 하는 변화인지를 판단할 수 있게 된다.
또한 분석부(230)는, 재수신된 인출압력들과 세팅 인입압력과의 차압에 약간의 변동은 있으나 차압이 임계치 이내인 것으로 판단되면, 제1 제어정보가 생성되도록 한다.
본 실시예에서 제1 제어정보는 분석부(230)가 차압과 동일한 압력으로 서브라인을 통해 유체가 추가로 공급되도록 한 후, 가스 공급장치(100)의 상태가 분석되도록 하는 정보이다.
구체적으로 예를 들어, 인출압력이 48kg/cm2이고, 세팅 인입압력이 50kg/cm2라고 가정하면, 인출압력과 세팅 인입압력 간의 차이인 차압은 2kg/cm2이게 된다.
전술한 바와 같이 본 실시예에 따른 유체 공급 시스템에서는 제어정보가 생성되는 것과 같은 이벤트가 발생되지 않는 한 가스 공급장치(100)의 복수개의 라인 중 하나의 라인을 통해서만 유체가 유동되도록 한다.
만약 제1 라인을 통해서 유체가 인입되고 있는 상태에서 제1 제어정보가 생성되면, 제1 제어정보는 제2 라인을 서브라인으로 하여 차압인 2kg/cm2의 압력으로 제2 라인을 통해 유체가 인입되도록 하는 정보이다.
그리고 분석부(230)는 서브라인을 통해 유체가 차압인 2kg/cm2의 압력으로 공급되어 인출압력이 세팅 인입압력과 동일하게 유지되는 것이 확인되면, 이후에 가스 공급장치(100)의 상태가 분석되도록 하는 정보이다.
이는, 가스 공급장치(100)의 유출압력이 세팅 인입압력과 동일하지 않은 이유를 분석하기 위한 것으로, 가스 공급장치(100)의 개폐부(120)에 마련된 밸브가 미세진동 등에 의해 개방정도가 변경되었지에 대한 여부, 제1 라인에 마련되는 센서부(130)에 문제가 발생하였는지에 대한 여부, 제3라인에 마련되는 센서부(130)에 문제가 발생되었는지에 대한 여부, 저장 탱크에 저장된 유체의 저장량이 부족한지에 대한 여부 등이 분석되도록 한다.
또한 분석부(230)는 비교된 세팅 인입압력과 인출압력 간의 차압 또는 재수신된 인출압력과 세팅 인입압력 간의 차압이 임계치를 초과한 것으로 분석되거나, 재수신된 인출압력이 세팅 인입압력보다 큰 것으로 분석되면 제2 제어정보가 생성되도록 한다.
제2 제어정보는, 가스 공급장치(100)의 가동이 즉시 중단되도록 하고, 단말기(300)로 알림문자 또는 알림 신호를 전송한 후에 가스 공급장치(100)의 상태를 분석하도록 하는 정보이다.
제2 제어정보가 생성되는 경우는 이상에서와 같이 기설정된 임계치를 초과거나 인출압력이 과도하게 높은 경우에 생성되는 것으로, 이 경우에는 제조공정에 큰 피해를 끼칠 수 있게 된다.
인출압력이 세팅 인입압력보다 큰 경우는, 단순히 센서의 오작동인 경우도 있지만, 유체가 유동되는 과정에서 유체가 유동되는 라인 상에 이물질이 적층되어 유동경로가 좁아져 압력이 높아지도록 하거나, 이상징후에 의해 저장 탱크와 같은 곳에서 내부 압력이 증가하여 높아지는 등 대형사고로 이어질 수 있는 문제일 수 있다.
따라서, 제2 제어정보가 생성되는 경우에는 지체없이 가스 공급장치(100)의 가동이 중단되도록 하고, 이후에 가스 공급장치(100)의 상태가 분석되도록 한다.
본 실시예에서의 인출압력과 세팅 인입압력 간의 차압에 대한 임계치는 제조공정에 사용되는 가스, 산업현장의 조건 등 전반적인 안전을 고려하여 관리자에 의해 임의로 설정될 수 있는 값이다.
그리고 분석부(230)는 제1 제어정보 또는 제2 제어정보가 생성되어, 가스 공급장치(100)의 상태가 분석된 결과, 가스 공급장치(100)의 상태가 파손을 포함하는 기계적 결함인 것으로 분석되면, 단말기(300)로 알림문자 또는 알림 신호가 전송되도록 한다.
여기서 단말기(300)는 제조공정을 관리하는 관리자가 소지하는 단말기 또는 가스 공급장치(100)의 제조업체 또는 제조업자가 소지하는 단말기이다.
또한 분석부(230)는 가스 공급장치(100)의 상태가 분석된 결과, 가스 공급장치(100)의 제1 라인으로 인입되는 유체의 인입압력 또는 제3 라인을 통해 인출되는 인출압력이 시간이 경과됨에 따라 지속적으로 감소하는 경우에는 저장 탱크에 저장된 유체의 저장량 부족인 것으로 판단되도록 한다
그리고 분석부(230)는 저장량 부족인 것으로 판단되면, 이 역시 단말기(300)로 알림문자 또는 알림신호가 전송되도록 하는데, 여기서의 단말기는, 제조공정을 관리하는 관리자가 소지하는 단말기 또는 유체를 공급하는 공급업체 또는 공급업자가 소지하는 단말기이다.
또한 분석부(230)는 유체의 저장량 부족인 것으로 분석되면, 메인라인인 제1 라인의 저장 탱크에 유체가 보충될 때 까지는 서브라인인 제2 라인이 메인라인으로 사용되도록 하여 제2 라인으로만 유체가 공급되도록 한다.
그리고 분석부(230)는 재수신된 인출압력이 세팅 공급압력보다 작고, 재수신된 인출압력과 세팅 공급 압력간의 차압이 임계치 이내이지만, 기설정된 기간을 초과하여 지속적으로 임계치 이내의 차압이 발생되면, 센서부(130)의 영점조정이 필요한 것으로 판단하여, 영점조정이 수행되도록 하는 제3 제어정보가 생성되도록 한다.
압력을 측정하는 센서의 경우에는, 시간이 경과됨에 따라 영점이 변경되게 되는데, 정확한 압력 측정을 위해서는 주기적으로 영점 조정이 수행되어야 한다.
본 유체 공급 시스템은, 가동정보에 포함되는 유체의 인인압력 또는 인출압력을 지속적으로 수신하고 기록하므로 영점 조정이 수행되어야 하는 경우를 판단할 수 있게 된다.
본 분석부(230)는 제3 제어정보가 생성되면, 세팅 인입압력을 기준으로, 제1 인입압력과 인출압력을 비교하거나, 제2 인입압력과 인출압력을 비교하거나, 제1인입압력, 제2 인입압력 및 인출입력을 동시에 비교하는 과정 중 적어도 하나의 과정을 통해 영점조정이 필요한 센서부(130)를 선별하고, 선별된 센서부(130)의 영점조정이 수행되도록 한다.
구체적으로 제1 라인에 위치된 센서부(130)를 통해 측정된 제1 인입압력과 세팅 인입압력이 다르게 측정되면, 제1 라인에 위치된 센서부(130)의 영점 조정이 필요한 것으로 가정할 수 있게 된다.
이러한 가정을 기반으로, 제1 라인을 통헤 유체가 인입되도록 하고, 인출압력을 확인한다. 만약 제1 인입압력에서는 세팅 인입압력과 차이가 있는 것으로 확인되었으나, 인출압력이 세팅 인입압력과 동일하면 이는 가정한대로 제1 라인에 형성된 센서부(130)의 영점 조정이 필요한 것으로 최종적으로 판단하게 되는 것이다.
이상의 과정을 통해 본 유체 공급 시스템은 센서부(130)의 영점 조정은 물론, 센서부(130)의 오작동이나, 밸브의 오작동 등을 판단하고 오작동이 발생되는 센서부(130) 또는 밸브를 정확하게 선별할 수 있게 된다.
이상에서 제3 제어정보는 센서부(130)의 영점 조정이 필요한 것으로 판단되는 정보인 것으로 상정하였으나, 이는 설명의 편의를 위한 예시적 사항에 불과하며, 전술한 바와 같이 센서부(130)의 오작동이나 밸브의 오작동을 판단하기 위한 정보일 수 있음은 물론이다.
그리고 분석부(230)는 데이터베이스부(220)에 저장되어 있는 유체의 공급량, 가동 스케줄 및 저장 탱크의 저장량 등을 기반으로 유체의 잔여량, 유체공급가능일자가 분석되도록 한다.
또한 분석부(230)는 분석된 유체의 잔여량이 기설정된 수치 미만이거나 유체공급가능일자로부터 일정기간 이내에 도달되면 유체의 공급업체 단말기로 알림문자 또는 알림신호가 전송되도록 하여 유체의 보충을 위한 주문이 수행되도록 한다.
구체적으로, 저장 탱크의 총 저장 용량의 1/3을 기설정된 수치로 상정하고, 분석된 유체의 잔여량이 총 저장 용량의 1/3 미만에 도달되면 단말기(300)로 유체의 보충을 위한 주문이 수행되도록 한다.
또는, 데이터베이스부(220)에 저장되어 있는 유체 공급량을 기준으로 일일 평균 유체 사용량을 계산하고, 분석된 유체 잔여량을 일일 평균 유체 사용량으로 나누어 유체공급가능일자를 산출하고, 산출된 유체공급가능일자를 통해 유체가 충전되어야 하는 일정이 데이터베이스부(220)에 저장되도록 하고, 해당 충전예정 일정으로부터 일주일 전에 유체의 보충을 위한 주문이 수행되도록 한다.
그리고 분석부(230)는 제2 제어정보가 생성되고, 단말기(300)를 통해 긴급 사고와 관련된 정보가 입력되거나, 단말기(300)를 통해 긴급 사고와 관련된 정보가 입력되지 않아도, 별도의 명령없이도 경찰서, 소방서 및 병원 등 해당 제조공정을 관리하거나 제조공정 업체의 관할 관공서 및 지역거점 병원 등으로 긴급재난상황을 포함하는 알림문자 또는 알림신호가 전송되도록 할 수 있다.
또한, 서버(200)는 가스 공급장치(100) 주변에 마련되거나 가스 공급장치(100)에 추가적으로 마련되는 유체 누출검출부(미도시)와 연결되어 유체 누출검출부(미도시)로부터 유체가 누출되고 있다는 신호를 수신하는 경우에도 제2 제어정보가 생성되도록 한다.
한편, 제어부(240)는 통신부(210), 데이터베이스부(220) 및 분석부(230)를 제어하기 위해 마련된다.
제어부(240)는 통신부(210)를 통해 수신된 세팅정보 또는 가동정보가 데이터베이스부(220)에 저장되도록 하거나, 분석부(230)에서 생성된 정보가 가스 공급장치(100) 또는 단말기(300)로 전송되도록 한다.
그리고 제어부(240)는 분석부(230)를 제어하여 가동정보 및 세팅정보를 분석하여 제어정보가 생성되도록 한다.
한편, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 단말기(300)를 설명하기 위해 제공되는 도면이다.
단말기(300)는 가스 공급장치(100)의 상태를 관리자가 모니터링하거나, 서버(200)를 통해 가스 공급장치(100)가 제어되도록 하기 위해 마련된다.
이를 위해 단말기(300)는 통신부(310), 저장부(320), 입력부(330), 출력부(340) 및 제어부(350)로 구성된다.
통신부(310)는 서버와 정보를 송수신하기 위해 마련된다.
저장부(320)는 가스 공급장치(100)의 상태를 모니터링하거나 가스 공급장치(100)를 제어하기 위한 정보를 전송하기 위해 필요한 어플리케이션 프로그램이 저장되도록 한다.
입력부(330)는 가스 공급장치(100)를 제어하기 위한 정보를 입력하기 위해 마련된다.
그리고, 입력부(330)를 통해 가스 공급장치(100)가 가동되도록 하는 세팅정보가 입력되어 서버(200)로 전송된다.
또한 입력부(330)는 서버(200)에서 예측하거나 판단할 수 없는 특정 이벤트가 발생되는 경우에 해당 이벤트를 입력하기 위해 마련된다.
구체적으로, 제조공정이 가동되는 일정에 변동이 발생되거나, 저장 탱크에 유체가 보충되는 일정에 변동이 발생되는 경우에 대한 정보가 입력되도록 한다.
한편, 출력부(340)는 입력부(330)를 통해 입력되는 정보 또는, 서버(200)로부터 전송되는 가스 공급장치(100)의 상태에 대한 정보가 시각정보로 디스플레이되도록 하거나, 전술한 알림문자 또는 알림신호가 소리정보로 출력되도록 하기 위해 마련된다.
본 단말기(300)는 제조공정을 관리하는 관리자가 소지하는 단말기, 제조업체 또는 제조업자가 관리하는 단말기, 유체 공급업체 또는 유체 공급업자가 관리하는 단말기 중 어느 하나일 수 있다.
도 6은 본 본 발명의 일 실시예에 따른 유체 공급 방법을 설명하기 위해 제공되는 흐름도이다.
본 유체 공급 방법은, 제조공정에서 유체가 공급되도록 하는 가스 공급장치(100)의 모니터링이 가능하고, 세팅정보에 따라 가스 공급장치(100)가 제어되도록 하기 위해 마련된다.
서버(200)는, 가스 공급장치(100)가 가동되도록 한다(S100).
그리고 서버(200)는 가스 공급장치(100)로부터 가동정보를 수신한다(S110). 가스 공급장치로부터 수신되는 가동정보는, 가스 공급장치(100)의 제1 라인으로 인입되는 유체의 제1 인입압력, 가스 공급장치(100)의 제2 라인으로 인입되는 유체의 제2 인입압력, 가스 공급장치(100)의 제3 라인을 통해 인출되는 인출압력 중 적어도 하나이다.
그러면 서버(200)는 수신된 가동정보를 분석한다(S120). 가동정보가 분석되는 경우, 미리 획득된 세팅정보 또는 단말기(300)를 통해 수신된 세팅정보와 가동정보가 비교 및 조합하여 분석되도록 한다.
그리고 서버(200)는 분석된 결과를 기반으로 제어정보를 생성할지 판단하게 된다(S130).
만약, 서버(200)는 제어정보가 생성될 필요가 없다고 판단되면(S130-N), 가스 공급장치가 가동되도록 하는 단계(S100)로 회귀된다. 서버(200)가 가동정보를 분석하여 제어정보를 생성하는 과정에 대해서는 후술할 도 7에서 보다 자세히 설명하기로 한다.
반면, 서버(200)가 제어정보가 생성될 필요가 있다고 판단되면(S130-Y), 제어정보가 생성하여 전송한다(S140).
한편, 도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유체 공급 방법을 설명하기 위해 제공되는 흐름도로써, 서버(200)가 가동정보를 분석하는 단계(S120) 및 제어정보를 생성하는 단계(S130)에 대한 구체적인 흐름도이다.
먼저, 서버(200)는 수신된 가동정보에 포함된 인출압력과 세팅 인입압력 간의 차압이 임계치 이내인지를 판단한다(S210).
만약, 세팅 인입압력과 인출압력 간의 차압이 임계치를 초과하면(S210-N), 서버(200)는 제2 제어정보가 생성되도록 한다(S260).
반면, 세팅 인입압력과 인출압력 간의 차압이 임계치 이내이면(S210-Y), 가스 공급장치(100)로부터 기설정된 횟수만큼 인출압력이 재수신되도록 한다(S220). 여기서 기설정된 횟수라 함은 차압발생이 단순히 일시적인 것인지를 확인할 수 있는 횟수로, 본 실시예에서는 3회로 설정하였으며, 이러한 횟수는 제조공정의 상황에 따라 얼마든지 변경가능할 것이다.
그리고, 재수신된 인출압력과 세팅 인입압력의 크기를 비교한다(S230).
재수신된 인출압력이 세팅 인입압력보다 크면(S230-N) 서버(200)는 제2 제어정보가 생성되도록 한다(S260).
여기서 제2 제어정보는, 인출압력과 세팅 인입압력 간의 차압이 임계치를 초과하거나, 인출압력이 세팅인입압력보다 큰 것으로 확인되면 가스 공급장치(100)에 중대한 이상이 있는 것으로 판단하여 가스 공급장치(100)의 가동이 중단되도록 하는 정보이다.
반면, 재수신된 인출압력이 세팅 인입압력보다 작으면(S230-Y), 서버(200)는 기설정된 횟수동안 재확인된 차압들이 모두 임계치 이내이나 재확인된 차압들 간에 변동이 있는지 판단한다(S240).
만약 재확인된 차압들이 모두 임계치 이내이나 재확인된 차압들 간에 변동이 있는 것으로 판단되면(S240-Y), 제1 제어정보가 생성되도록 한다.
여기서, 제1 제어정보는 유체가 공급되도록 하는 메인 라인과 함께 차압에 해당되는 압력으로 서브 라인을 통해 유체가 추가 공급되도록 하는 정보이다.
본 실시예에서는 설명의 편의를 위해 제1 라인을 메인 라인으로, 제2 라인을 서브 라인으로 상정하였으나, 이는 편의를 위해 얼마든지 변경가능할 것이다.
반면, 재확인된 차압들이 모두 임계치 이내이나 재확인된 차압들 간에 변동이 없으면(S240-N), 서버(200)는 제3 제어정보가 생성되도록 한다(S270).
제3 제어정보는, 전술한 바와 같이 임계치 이내이고, 차압들 간에 변동이 없는 상태로 일정 기간동안 유지되면 생성되는 정보로써, 센서부(130)의 영점 조정이 수행되도록 하는 정보이거나, 센서부(130) 또는 개폐부(120)의 오작동이 발생된 것으로 판단하여 해당 센서부(130) 또는 해당 개폐부(120)의 보정이 수행되도록 하는 정보이다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안될 것이다.
100 : 가스 공급장치 110 : 통신부
120 : 개폐부 130 : 센서부
140 : 출력부 150 : 제어부
200 : 서버 210 : 통신부
220 : 데이터베이스부 230 : 분석부
240 : 제어부 300 : 단말기
310 : 통신부 320 : 저장부
330 : 입력부 340 : 출력부
350 : 제어부

Claims (9)

  1. 가스 공급장치 원격 제어를 위한 유체 공급 시스템에 있어서,
    유체가 인입되는 복수 개의 라인을 제어하고, 가동정보를 전송하는 가스 공급장치; 및
    상기 가스 공급장치를 모니터링하고 제어하는 서버;를 포함하고,
    상기 서버는,
    상기 가스 공급장치의 가동을 위한 세팅정보를 획득하며,
    상기 가동정보를 분석하여 이벤트 여부를 판단하고, 제어정보를 생성하며,
    상기 세팅정보는,
    상기 유체의 시간당 공급량에 따른 세팅 인입압력, 상기 유체가 저장되는 탱크의 저장용량, 상기 탱크의 충전스케줄, 상기 가스 공급장치의 가동스케줄 중 적어도 하나이고,
    상기 가동정보는,
    상기 가스 공급장치의 제1 라인의 유체가 인입되는 제1 인입압력, 상기 가스 공급장치의 제2 라인의 유체가 인입되는 제2 인입압력 및 상기 가스 공급장치의 제3 라인을 통해 인출되는 인출압력 중 적어도 하나이며,
    상기 서버는,
    상기 세팅 인입압력과 상기 인출압력을 비교하고, 차압이 임계치 이내이면 기설정된 횟수만큼 상기 가스 공급장치로부터 상기 인출압력이 재수신되도록 하고,
    재수신된 인출압력이 상기 세팅 인입압력보다 작고, 재수신된 차압에 변동은 있으나 상기 차압이 임계치 이내이면, 제1 제어정보가 생성되며,
    상기 제1 제어정보는,
    상기 서버가, 상기 차압과 동일한 압력으로 상기 제1 라인 또는 제2 라인 중 하나의 라인을 통해 유체가 추가 공급되도록 한 후, 상기 가스 공급장치의 상태를 분석하도록 하는 정보인 것을 특징으로 하는 유체 공급 시스템.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 서버는,
    상기 제어정보가 생성되지 않으면 상기 유체가 상기 제1 라인 및 상기 제2 라인 중 어느 하나만을 통해 인입되도록 하는 것을 특징으로 하는 유체 공급 시스템.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 서버는,
    상기 차압이 임계치를 초과하거나, 상기 재수신된 인출압력이 상기 세팅 인입압력보다 크면 제2 제어정보가 생성되도록 하고,
    상기 제2 제어정보는,
    상기 서버가, 상기 가스 공급장치의 가동이 즉시 중단되도록 하고, 외부 단말기로 알림문자 또는 알림신호를 전송한 후, 상기 가스 공급장치의 상태를 분석하도록 하는 정보인 것을 특징으로 하는 공급 시스템.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 서버는,
    상기 가스 공급장치의 상태가 파손을 포함하는 기계적 결함인 것으로 분석되면, 관리자 단말기 또는 상기 가스 공급장치의 제조업자 단말기로 상기 알림문자 또는 상기 알림 신호를 전송하고,
    상기 가스 공급장치의 상태가 상기 탱크의 저장용량이 부족인 것으로 분석되면, 상기 관리자 단말기 또는 상기 유체의 공급업체 단말기로 상기 알림문자 또는 상기 알림 신호를 전송하되, 상기 제1 라인 또는 상기 제2 라인 중 하나와 연결된 상기 탱크의 유체가 보충될 때까지 나머지 하나의 라인만을 통해 상기 유체가 공급되도록 하는 것을 특징으로 하는 공급 시스템.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 서버는,
    상기 가스 공급장치를 통해 공급되는 상기 유체의 공급량을 단위시간 마다 저장되도록 하고,
    상기 가스 공급장치가 구동되면 저장된 상기 유체의 공급량, 상기 가동 스케줄 및 상기 탱크의 저장용량을 기반으로 상기 유체의 잔여량 및 유체공급가능일자를 산출하고, 상기 유체의 잔여량이 기설정된 수치 미만이거나 상기 유체공급가능일자로부터 일정 기간 이전에 상기 유체의 공급업체 단말기로 알림문자 또는 알림 신호를 전송하여 상기 유체의 보충을 위한 주문이 수행되도록 하는 것을 특징으로 하는 공급 시스템.
  9. 가스 공급장치 원격 제어를 위한 유체 공급 방법에 있어서,
    서버가, 가스 공급장치로부터 가동정보를 수신하는 단계; 및
    상기 서버가, 상기 가동정보를 세팅정보와 비교 및 조합하여 분석함으로써, 이벤트 여부를 판단하고, 제어정보를 생성하는 단계;를 포함하고,
    상기 세팅정보는,
    상기 유체의 시간당 공급량에 따른 세팅 인입압력, 상기 유체가 저장되는 탱크의 저장용량, 상기 탱크의 충전스케줄, 상기 가스 공급장치의 가동스케줄 중 적어도 하나이며,
    상기 가동정보는,
    상기 가스 공급장치의 제1 라인의 유체가 인입되는 제1 인입압력, 상기 가스 공급장치의 제2 라인의 유체가 인입되는 제2 인입압력 및 상기 가스 공급장치의 제3 라인을 통해 인출되는 인출압력 중 적어도 하나이고,
    상기 제어정보를 생성하는 단계는,
    상기 서버가, 상기 세팅 인입압력과 상기 인출압력을 비교하며, 차압이 임계치 이내이면 기설정된 횟수만큼 상기 가스 공급장치로부터 상기 인출압력이 재수신되도록 하고,
    재수신된 인출압력이 상기 세팅 인입압력보다 작고, 재수신된 차압에 변동은 있으나 상기 차압이 임계치 이내이면, 제1 제어정보가 생성되며,
    상기 제1 제어정보는,
    상기 서버가, 상기 차압과 동일한 압력으로 상기 제1 라인 또는 제2 라인 중 하나의 라인을 통해 유체가 추가 공급되도록 한 후, 상기 가스 공급장치의 상태를 분석하도록 하는 정보인 것을 특징으로 하는 유체 공급 방법.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111911391A (zh) * 2020-07-09 2020-11-10 桑可 一种流体供给设备
KR20200131094A (ko) * 2019-05-13 2020-11-23 버슘머트리얼즈한양기공 주식회사 반도체 제조설비의 원격제어 관리시스템

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100205005B1 (ko) * 1995-12-26 1999-06-15 윤종용 반도체 제조장치
KR200185666Y1 (ko) * 2000-01-27 2000-06-15 서병호 가스통 보호기

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100205005B1 (ko) * 1995-12-26 1999-06-15 윤종용 반도체 제조장치
KR200185666Y1 (ko) * 2000-01-27 2000-06-15 서병호 가스통 보호기

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200131094A (ko) * 2019-05-13 2020-11-23 버슘머트리얼즈한양기공 주식회사 반도체 제조설비의 원격제어 관리시스템
KR102194593B1 (ko) * 2019-05-13 2020-12-23 버슘머트리얼즈한양기공 주식회사 반도체 제조설비의 원격제어 관리시스템
CN111911391A (zh) * 2020-07-09 2020-11-10 桑可 一种流体供给设备

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