KR101779322B1 - 동작패턴이 개선된 웨이퍼 세정장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 동작패턴이 개선된 웨이퍼 세정장치에 관한 것으로서, 상기 웨이퍼 세정장치는 세척부와; 웨이퍼 공급용 카세트가 안착되는 카세트공급부와; 상기 세척부와 카세트공급부 사이에 설치되는 이송레일(G)을 따라 이동하면서 카세트로부터 웨이퍼(W)를 꺼내어 이송하는 웨이퍼이송부와; 상기 세척부의 전방 쪽에 설치되면서 상기 웨이퍼이송부를 통해 이송되는 웨이퍼(W)를 파지하여 세척부로 공급하고, 세척된 웨이퍼를 배출하는 공급 및 배출부; 및 상기 공급 및 배출부의 일측에 위치하면서 웨이퍼 수납용 카세트가 안착되는 카세트배출부를 포함하고, 상기 공급 및 배출부는 사각 프레임 구조의 메인프레임과; 상기 메인프레임에 설치되면서 수직 방향으로 승강 동작되고, 상부에 웨이퍼(W)가 안착되는 복수 개의 웨이퍼안착핀이 구비되는 승강유닛과; 상기 승강유닛의 일측에 위치되는 지지유닛과; 상기 지지유닛에 회전 가능하게 설치되는 회전본체와; 상기 회전본체에 수평으로 설치되어 피스톤로드가 인입출 동작되는 실린더유닛; 및 상기 피스톤로드에 설치되면서 상기 웨이퍼안착핀 위에 안착된 웨이퍼(W)를 파지하는 웨이퍼클램프를 포함하고, 이러한 구성에 의해 본 발명은 웨이퍼의 세척 공정이 간소화되어 웨이퍼를 세척하는 데에 소요되는 시간이 대폭 단축된다.

Description

동작패턴이 개선된 웨이퍼 세정장치{Wafer Cleaner with Improved Operational Pattern}
본 발명은 동작패턴이 개선된 웨이퍼 세정장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 웨이퍼를 세정하는 복수 개의 세척 챔버에 웨이퍼를 공급하고 회수하는 동작패턴이 개선된 웨이퍼 세정장치에 관한 것이다.
반도체 칩의 제조 공정에는 기판 또는 웨이퍼의 양쪽 면에 묻은 파티클을 제거하는 세정 공정이 포함되는데, 일반적으로 웨이퍼를 세정하는 공정에서는 웨이퍼를 왁싱한 다음, 왁싱된 웨이퍼를 세정하고 건조하는 공정을 포함한다.
이때 웨이퍼의 세정 공정은 별도로 마련된 세정 장치에 의해 진행되는데, 이러한 세정 공정에서는 복수 개의 웨이퍼를 빠르게 세정할 수 있도록 함으로써 세정 효율을 높이고 있다.
더욱이 웨이퍼의 세정 장치의 경우 반도체 제조 라인의 배열에 대한 효율 때문에 설치 공간에 많은 제약이 있고, 따라서 설치 공간을 적게 차지하면서도 웨이퍼를 세정 챔버로 신속하게 공급하는 세정 장치가 개발되고 있다.
상기와 같은 목적의 종래 기술로는 등록특허공보 제1329960호의 복수 챔버 웨이퍼 공급 및 회수 장치를 예로 들 수 있다.
상기 특허문헌에 개시된 웨이퍼 공급 및 회수 장치는 베이스 프레임; 베이스 프레임의 뒤쪽 영역에 일렬로 배열되며, 각각 웨이퍼를 세정하는 세정 챔버들; 세정 챔버들과 평행하게 위치하는 가이드 레일; 가이드 레일과 평행하게 베이스 프레임의 앞쪽 영역에 배열되며, 카세트가 착탈 가능하게 적재되는 복수 개의 카세트 장착유닛들; 카세트 장착유닛들과 동일 선상에 위치하도록 베이스 프레임의 앞쪽 영역에 위치하며, 웨이퍼를 얼라인시키는 웨이퍼 얼라인유닛; 카세트 장착유닛들과 동일 선상에 위치하도록 베이스 프레임의 앞쪽 영역에 위치하며, 웨이퍼를 앞뒤로 반전시키는 반전유닛; 가이드 레일을 따라 움직이며, 카세트 장착유닛에 장착된 카세트에 적재된 웨이퍼를 프로세스에 따라 세정 챔버, 웨이퍼 얼라인유닛, 반전유닛으로 이동시키는 이송로봇을 포함한다.
그러나, 상기 특허문헌의 웨이퍼 공급 및 회수 장치는 웨이퍼를 이송로봇을 이용하여 세정챔버, 웨이퍼 얼라인유닛 및 반전유닛으로 이동시켜가면서 세정 작업을 하는 특성상, 공정이 복잡하고, 또한 이송로봇만을 이용하여 웨이퍼를 각 공정으로 이송하기 때문에 어느 하나의 공정을 수행하는 동안에는 다른 공정을 동시에 진행하기가 곤란하며, 그 결과 웨이퍼를 세정하는 시간을 단축하기 어려운 문제가 있다.
따라서 이송유닛에 의해 웨이퍼를 이송하는 시간을 단축할 수 있는 웨이퍼 세정장치의 개발이 요구된다.
KR 10-1329960 B1 KR 10-2016-0033415 A KR 10-1333867 B1 KR 10-1445680 B1
따라서 본 발명은 상기와 같은 종래의 웨이퍼 공급 및 회수 장치가 가지는 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 세정 공정을 따라 웨이퍼를 세척부로 이송하는 공정을 간소화함으로써 웨이퍼의 이송과 세정에 소요되는 시간을 단축할 수 있는 동작패턴이 개선된 웨이퍼 세정장치를 제공하는 데에 그 목적이 있다.
상기와 같은 본 발명의 목적에 따른 웨이퍼 세정장치는, 웨이퍼 공급되어 웨이퍼를 세척하는 세척부와; 상기 세척부의 전방 쪽에 설치되면서 웨이퍼 공급용 카세트가 안착되는 카세트공급부와; 상기 세척부와 카세트공급부 사이에 설치되는 이송레일을 따라 이동하면서 카세트로부터 웨이퍼를 꺼내어 이송하는 웨이퍼이송부와; 상기 세척부의 전방 쪽에 설치되면서 상기 웨이퍼이송부를 통해 이송되는 웨이퍼를 파지하여 세척부로 공급하고 세척된 웨이퍼를 배출하는 공급 및 배출부; 및 상기 공급 및 배출부의 일측에 위치하면서 웨이퍼 수납용 카세트가 안착되는 카세트배출부를 포함하고, 상기 공급 및 배출부는 사각 프레임 구조의 메인프레임과; 상기 메인프레임에 설치되면서 수직 방향으로 승강 동작되고 상부에 웨이퍼가 안착되는 복수 개의 웨이퍼안착핀이 구비되는 승강유닛과; 상기 승강유닛의 일측에 위치되는 지지유닛과; 상기 지지유닛에 회전 가능하게 설치되는 회전본체와; 상기 회전본체에 수평으로 설치되어 피스톤로드가 인입출 동작되는 실린더유닛; 및 상기 피스톤로드에 설치되면서 상기 웨이퍼안착핀 위에 안착된 웨이퍼를 파지하는 웨이퍼클램프를 포함하여 구성되는 것에 의해 달성된다.
그리고 본 발명은 웨이퍼클램프가 회전본체 또는 실린더유닛에 의해 180로 회전 동작되면서 파지된 웨이퍼(W)를 반전시키는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 승강유닛의 웨이퍼안착핀에 웨이퍼의 안착 여부를 감지하는 웨이퍼 감지센서가 더 구비되는 것을 또 다른 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 세척부, 카세트공급부, 공급 및 배출부 및 카세트배출부는 각각 한 쌍이 구비되고, 웨이퍼이송부는 이송레일을 따라 이동하는 본체와, 본체의 양측에 서로 대칭으로 한 쌍이 설치되는 다관절 구동암 및 다관절 구동암의 일단에 구비되면서 카세트공급부의 카세트에 안착된 웨이퍼를 파지하는 클램프를 포함하는 것을 특징으로 한다.
더욱이, 웨이퍼 세정장치는 한 쌍의 다관절 구동암과 클램프를 이용하여 한 쌍의 카세트공급부에 각각 안착된 웨이퍼 2장을 동시에 파지하고, 파지된 웨이퍼를 이송레일을 따라 이송하여 한 쌍의 공급 및 배출부에 각각 공급하며, 한 쌍의 공급 및 배출부는 공급된 웨이퍼를 각각 정렬 파지하여 한 쌍의 세척부에 각각 공급하여 웨이퍼의 일측면을 세척하고, 일측면의 세척이 끝난 웨이퍼를 반전시켜 타측면을 세척하며, 회전본체를 90로 회전시켜 한 쌍의 카세트배출부에 구비된 카세트에 수납하도록 구성되는 것을 또 다른 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 웨이퍼이송부를 이용하여 2개의 웨이퍼를 공급 및 배출부에 각각 공급하면, 상기 공급 및 배출부에서 웨이퍼를 정렬하고 반전하여 웨이퍼를 세척하고, 세척이 완료된 웨이퍼를 카세트에 수납하기 때문에, 종래의 세정 장치에 비해 상대적으로 공정이 간소화되며, 그 결과 웨이퍼를 세척하는 데에 소요되는 시간이 대폭 단축된다.
도 1은 본 발명에 따른 동작패턴이 개선된 웨이퍼 세정장치의 예를 보인 구성도.
도 2는 도 2의 구성도.
도 3은 본 발명에 따른 카세트공급부와 카세트배출부의 예를 보인 평면도.
도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼이송부의 예를 보인 구성도.
도 5는 본 발명에 따른 공급 및 배출부의 예를 보인 측면도.
도 6은 본 발명에 따른 공급 및 배출부의 승강유닛과 웨이퍼고정지그의 동작을 보인 사용 상태도.
도 7은 본 발명에 따른 공급 및 배출부에 의해 웨이퍼를 세척부로 공급 및 회수하는 예를 보인 사용 상태도.
도 8은 본 발명에 따른 공급 및 배출부의 웨이퍼클램프가 반전되는 예를 보인 사용 상태도.
도 9는 본 발명에 따른 공급 및 배출부에 의해 웨이퍼가 카세트배출부로 이송되는 예를 보인 사용 상태도.
이하에서는 도시한 첨부도면에 따라 본 발명의 구성과 작용에 대하여 그 실시예를 상세하게 설명한다.
본 발명은 웨이퍼의 세정 고정을 따라 웨이퍼를 세척부로 이송하는 공정을 간소화함으로써, 웨이퍼의 이송과 세정에 소요되는 시간을 단축할 수 있는 동작패턴이 개선된 웨이퍼 세정장치를 제공하고자 하는 것으로, 이러한 본 발명의 웨이퍼 세정장치(1)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 세척부(10), 카세트공급부(20), 웨이퍼이송부(30), 공급 및 배출부(40) 및 카세트배출부(50)를 포함한다.
이하에서는 설명의 편의를 위해 세척부(10)의 투입구가 위치되는 방향을 전방으로 지칭하여 설명하였다.
세척부(10)는 웨이퍼(W)가 공급되어 세척되는 것으로, 이러한 세척부(10)는 웨이퍼(W)를 세척하는 방법에 따라, 아세톤, 메탄올, 에탄올, IPA 등의 솔벤트를 이용하여 1차 세척하고, 초순수의 물로 2차 세정하며, 질소(N2)나 아르곤(Ar)과 같은 불활성 기체로 블로잉(Blowing)하고, 일정시간 건조하는 공정을 포함한다. 이때 세척부(10)에는 초음파를 이용하여 세척을 병행하는 구성이 포함될 수 있다.
상기와 같은 세척부(10)에는 후술하는 공급 및 배출부(40)와 마주보는 일측에 웨이퍼(W)가 투입 및 배출되는 투입구(도면부호 없음)가 구비된다.
상기 세척부(10)의 전방 쪽에 설치되는 카세트공급부(20)에는 복층으로 웨이퍼(W)가 적층된 카세트(도시하지 않음)가 안착되게 되며, 상기 카세트공급부(20)는 도 3에 도시된 바와 같이 카세트가 안착되는 카세트안착프레임(21)과, 상기 카세트안착프레임(21)에 안착된 카세트를 고정하는 카세트고정지그(22)를 포함한다.
그리고 카세트공급부(20)에는 카세트의 안착여부를 감지하는 카세트 감지센서(S1)와, 안착된 카세트에 수납된 웨이퍼(W)를 감지하는 웨이퍼 감지센서(S2)를 포함한다.
이때 카세트 감지센서(S1)와 웨이퍼 감지센서(S2)를 통해 카세트와 웨이퍼(W)가 감지되지 않으면, 후술하는 웨이퍼이송부(30)가 동작 대기모드로 전환된다.
또한 카세트는 당업자가 용이하게 실시하기 위해 공지되어 널리 사용되고 있는 다양한 구조의 카세트 중에서 어느 하나의 카세트를 채택하여 실시된다.
상기 카세트공급부(20)에 안착된 카세트로부터 웨이퍼(W)를 꺼내어 후술하는 공급 및 배출부(40)로 이송하는 웨이퍼이송부(30)는, 도 4에 도시된 바와 같이 이송레일(G)을 따라 이동하는 본체(31)와, 상기 본체(31)의 양측에 서로 대칭으로 한 쌍이 설치되는 다관절 구동암(32) 및 상기 다관절 구동암(32)의 일단에 구비되면서 카세트공급부(20)의 카세트에 안착된 웨이퍼(W)를 파지하는 클램프(33)를 포함한다.
이때 이송레일(G)은 본체(31)의 이송을 정교하게 제어할 수 있도록 리니어가이드(LM 가이드)로 구성된다.
상기 세척부(10)로 웨이퍼(W)를 공급하면서 세척이 완료된 웨이퍼를 배출하는 공급 및 배출부(40)는, 도 5에 도시된 바와 같이 사각 프레임 구조의 메인프레임(41)과, 상기 메인프레임(41)에 설치되면서 수직 방향으로 승강 동작되고 상부에 웨이퍼(W)가 안착되는 복수 개의 웨이퍼안착핀(42A)이 구비되는 승강유닛(42)과, 상기 승강유닛(42)의 일측에 위치되는 지지유닛(43)과, 상기 지지유닛(43)에 회전 가능하게 설치되는 회전본체(44)와, 상기 회전본체(44)에 수평으로 설치되어 피스톤로드(45A)가 인입출 동작되는 실린더유닛(45) 및 상기 피스톤로드(45A)에 설치되면서 웨이퍼안착핀(42A) 위에 안착된 웨이퍼(W)를 파지하는 웨이퍼클램프(46)를 포함한다.
그리고 상기 승강유닛(42)의 웨이퍼안착핀(42A)에는 웨이퍼(W)의 안착 여부를 감지하는 웨이퍼 감지센서(42B)가 구비된다.
또한, 상기 웨이퍼클램프(46)는 회전본체(44) 또는 실린더유닛(45)에 의해 180°로 회전 동작되면서 파지된 웨이퍼(W)를 반전시킬 수 있도록 구성된다. 이때 상기 웨이퍼클램프(46)의 회전은 감속기와 연결된 모터 또는 서보모터 등에 의해 동작되도록 구성될 수 있다.
상기 공급 및 배출부(40)의 일측에 위치하면서 웨이퍼 수납용 카세트가 안착되는 카세트배출부(50)는 카세트공급부(20)와 같이 카세트안착프레임(51)과 카세트고정지그(52)를 포함한다.
또한, 상기 카세트배출부(50)는 카세트의 안착여부를 감지하는 카세트 감지센서(S1)와, 안착된 카세트에 수납된 웨이퍼(W)의 여부를 감지하는 웨이퍼 감지센서(S2)를 포함한다.
이때, 상기 카세트 감지센서(S1)와 웨이퍼 감지센서(S2)를 통해 카세트와 웨이퍼(W)가 감지되지 않으면, 후술하는 공급 및 배출부(40)가 동작 대기모드로 전환된다.
이상과 같이 구성되는 본 발명의 동작패턴이 개선된 웨이퍼 세정장치는 웨이퍼(W)의 세정 시간을 단축하기 위해 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 세척부(10), 카세트공급부(20), 공급 및 배출부(40) 및 카세트배출부(50)가 웨이퍼이송장치(30)를 기준으로 서로 대칭이 되도록 한 쌍씩 설치된다.
이에 의해 웨이퍼이송장치(30)가 한 번에 2개의 웨이퍼(W)를 동시에 파지하여 각각의 공급 및 배출부(40)로 웨이퍼(W)를 이송한 다음, 각각의 공급 및 배출부(40)를 통해 웨이퍼(W)가 독립적으로 세척되고, 세척이 완료된 웨이퍼(W)는 각각의 공급 및 배출부(40)를 통해 카세트배출부(50)로 직접 배출됨으로써 동일한 시간 동안 2배의 속도로 웨이퍼(W)를 세정하는 결과를 얻을 수 있다.
이하에서는 본 발명의 동작패턴이 개선된 웨이퍼 세정장치의 동작에 따른 작용효과에 대하여 상세히 설명한다.
한 쌍의 카세트공급부(20)에 웨이퍼(W)가 수납된 카세트가 안착되고 나면, 카세트를 카세트고정지그(22)를 이용하여 고정하고, 카세트 감지센서(S1)와 웨이퍼 감지센서(S2)를 이용하여 카세트와 웨이퍼(W)를 감지한다.
카세트와 웨이퍼(W)가 감지되면, 웨이퍼이송부(30)는 도 3에 도시된 바와 같이 양측의 다관절 구동암(32)을 제어하여 클램프(33)에 의해 카세트에 안착된 웨이퍼(W)를 낱개로 파지한다.
그런 다음, 웨이퍼이송부(30)의 본체(31)를 이송레일(G)을 따라 세척부(10) 쪽으로 이동시키며, 한 쌍의 세척부(10) 전방에 위치하는 공급 및 배출부(40)의 웨이퍼안착핀(42A) 위에 파지된 웨이퍼(W)를 안착시킨다.
웨이퍼 감지센서(42B)에 의해 웨이퍼안착핀(42A)에 안착된 웨이퍼(W)가 감지되면, 도 6에 도시된 바와 같이 승강유닛(42)이 상승되고, 웨이퍼클램프(46)가 웨이퍼(W)의 외측면을 양쪽에 감싸 파지한다. 이때 웨이퍼클램프(46)는 웨이퍼(W)의 정렬 중심을 기준으로 클램프(46)의 지그가 오므라들거나 벌어지도록 구성되며, 이에 의해 웨이퍼클램프(46)가 웨이퍼(W)의 외측면을 파지하면서, 자연스럽게 세척부(10)에 투입 가능한 위치로 상기 웨이퍼(W)가 정렬되도록 한다.
그런 다음, 도 7에 도시된 바와 같이 웨이퍼클램프(46)가 실린더유닛(45)에 의해 수평 방향으로 이송되면서 세척부(10)의 투입구를 통해 웨이퍼(W)가 투입되게 된다.
위와 같이 웨이퍼(W)가 웨이퍼클램프(46)에 파지된 채 세척부(10)에 투입되면, 세척 공정에 따라 투입된 웨이퍼(W)의 일측면이 세척된다.
그런 다음, 도 8에 도시된 바와 같이 웨이퍼클램프(46)가 회전본체(44) 또는 실린더유닛(45)에 의해 180°로 반전되어 웨이퍼(W)의 타측면이 세척되고, 양측면이 모두 세척되고 나면, 온풍을 이용하여 건조한다.
이때 웨이퍼(W)의 반전은, 세척조(10) 내측에 웨이퍼클램프(46)가 투입된 상태에서 진행되거나 또는 세척조(10)의 투입구 밖으로 나온 상태에서 웨이퍼(W)를 반전시킨 다음, 투입구로 재투입되는 것으로 이루어질 수 있다.
상기와 같이 웨이퍼(W)의 양측면이 모두 세척되고 나면, 피스톤로드(45A)가 실린더유닛(45) 내측으로 인입되면서 웨이퍼클램프(46)가 세척조(10)에서 배출되고, 회전본체(44)가 지지유닛(43)을 기준으로 90°회전되어 공급 및 배출부(40)의 일측에 위치하는 카세트배출부(50)에 안착된 빈 카세트에 세척된 웨이퍼(W)가 차례로 수납되게 된다.
이후 위 과정을 반복함으로써 카세트에 수납된 웨이퍼(W)가 모두 세척되게 된다.
이상 설명한 바와 같이 본 발명은 웨이퍼이송부를 이용하여 2개의 웨이퍼를 공급 및 배출부에 각각 공급하면, 상기 공급 및 배출부에서 웨이퍼를 정렬하고 반전하여 웨이퍼를 세척하며, 세척이 완료된 웨이퍼를 직접 카세트에 수납하기 때문에, 웨이퍼의 공급, 이송, 정렬, 세척, 반전, 세척, 배출 등의 공정으로 구분되는 종래의 세정 장치에 비해 상대적으로 공정이 간소화되며, 그 결과 웨이퍼를 신속 정확하게 세척할 수 있다.
위에서는 설명의 편의를 위해 바람직한 실시예를 도시한 도면과 도면에 나타난 구성에 도면부호와 명칭을 부여하여 설명하였으나, 이는 본 발명에 따른 하나의 실시예 일 뿐으로서 도면상에 나타난 형상과 부여된 명칭에 국한되어 그 권리범위가 해석되어서는 안 될 것이며, 발명의 설명으로부터 예측 가능한 다양한 형상으로의 변경과 동일한 작용을 하는 구성으로의 단순 치환은 당업자가 용이하게 실시하기 위해 변경 가능한 범위 내에 있음은 지극히 자명하다고 볼 것이다.
1: 웨이퍼 세정장치 10: 세척부
20: 카세트공급부 21: 카세트안착프레임
22: 카세트고정지그 30: 웨이퍼이송부
31: 본체 32: 다관절 구동암
33: 클램프 40: 공급 및 배출부
41: 메인프레임 42: 승강유닛
42A: 웨이퍼안착핀 42B: 웨이퍼 감지센서
43: 지지유닛 44: 회전본체
45: 실린더유닛 45A: 피스톤로드
46: 웨이퍼클램프 50: 카세트배출부
51: 카세트안착프레임 52: 카세트고정지그
G: 이송레일 S1: 카세트 감지센서
S2: 웨이퍼 감지센서 W: 웨이퍼

Claims (4)

  1. 웨이퍼카세트에 수납된 웨이퍼(W)를 꺼내어 세척한 다음, 다시 웨이퍼카세트에 수납하는 웨이퍼 세정장치(1)에 있어서,
    상기 웨이퍼 세정장치(1)는,
    상기 웨이퍼(W)가 공급되어 상기 웨이퍼(W)를 세척하는 세척부(10)와;
    상기 세척부(10)의 전방 쪽에 설치되면서 웨이퍼 공급용 카세트가 안착되는 카세트공급부(20)와;
    상기 세척부(10)와 상기 카세트공급부(20) 사이에 설치되는 이송레일(G)을 따라 이동하면서 카세트로부터 상기 웨이퍼(W)를 꺼내어 이송하는 웨이퍼이송부(30)와;
    상기 세척부(10)의 전방 쪽에 설치되면서 상기 웨이퍼이송부(30)를 통해 이송되는 웨이퍼(W)를 파지하여 상기 세척부(10)로 공급하고, 세척된 상기 웨이퍼(W)를 배출하는 공급 및 배출부(40); 및
    상기 공급 및 배출부(40)의 일측에 위치하면서 웨이퍼 수납용 카세트가 안착되는 카세트배출부(50)를 포함하고,
    상기 공급 및 배출부(40)는,
    사각 프레임 구조의 메인프레임(41)과;
    상기 메인프레임(41)에 설치되면서 수직 방향을 승강 동작되고, 상부에 상기 웨이퍼(W)가 안착되는 복수 개의 웨이퍼안착핀(42A)이 구비되는 승강유닛(42)과;
    상기 승강유닛(42)의 일측에 위치되는 지지유닛(43)과;
    상기 지지유닛(43)에 회전 가능하게 설치되는 회전본체(44)와;
    상기 회전본체(44)에 수평으로 설치되어 피스톤로드(45A)가 인입출 동작되는 실린더유닛(45); 및
    상기 피스톤로드(45A)에 설치되면서 상기 웨이퍼안착핀(42A) 위에 안착된 상기 웨이퍼(W)를 파지하는 웨이퍼클램프(46)를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 웨이퍼클램프(46)는,
    상기 회전본체(44) 또는 상기 실린더유닛(45)에 의해 180°로 회전 동작되면서 파지된 상기 웨이퍼(W)를 반전시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 승강유닛(42)의 상기 웨이퍼안착핀(42A)에는,
    상기 웨이퍼(W)의 안착 여부를 감지하는 웨이퍼 감지센서(42B)가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정장치.
  4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 선택된 어느 한 항에 있어서,
    상기 세척부(10), 카세트공급부(20), 공급 및 배출부(40) 및 카세트배출부(50)는 각각 한 쌍이 구비되고,
    상기 웨이퍼이송부(30)는,
    상기 이송레일(G)을 따라 이동하는 본체(31)와, 상기 본체(31)의 양측에 서로 대칭으로 한 쌍이 설치되는 다관절 구동암(32) 및 상기 다관절 구동암(32)의 일단에 구비되면서 상기 카세트공급부(20)의 카세트에 안착된 상기 웨이퍼(W)를 파지하는 클램프(33)를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정장치.
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