KR101775598B1 - 노광기 제어 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 프리즘 또는 벤드 미러를 포함하는 노광빔 발생부, 상기 노광빔 발생부에서 발생된 광이 통과하는 진공 챔버를 포함하는 노광기에서, 상기 노광빔 발생부에서 노광빔을 발생시키는 단계; 상기 진공 챔버 내에서 광축의 틀어짐을 측정하는 단계; 및 광이 틀어진 경우 상기 노광빔 발생부 내의 상기 프리즘 또는 벤드 미러를 조정하여 광축을 조정하는 단계를 포함하는 노광기의 제어 방법에 대한 것이다.
그 결과 장시간 사용하더라도 노광기의 광축이 틀어지지 않도록 하여 노광량이 줄어들지 않도록 한다. 또한, 노광빔의 광축이 틀어지더라도 노광기 중 노광빔 발생부 내부에서의 조정으로 인하여 노광빔의 광축을 바로잡음으로써 노광기의 세팅상태를 그대로 유지할 수 있어 재 세팅의 시간 소모가 줄어든다.

Description

노광기 제어 방법{CONTROLLING METHOD OF EXPOSURE APPARATUS}
본 발명은 노광기 제어 방법에 대한 것이다.
표시 장치를 생산하는 공정은 모기판(mother glass)의 크기를 크게 함으로 인하여 생산 단가를 줄이는 방향으로 발전하고 있는데, 큰 모기판에 대응하는 마스크도 크기가 커지면서 그에 따라 마스크의 제작 비용이 기하 급수적으로 증가하고 그 결과 전체 공정 비용이 증가하는 문제가 있다.
이와 같이 마스크의 사이즈가 증가함으로 인하여 발생하는 제조 단가를 줄이기 위하여 마스크를 사용하지 않는 공정, 예를 들면, 잉크젯 프린팅, 리버스 오프셋 프린팅 등을 적용하는 방향도 모색되고 있다.
하지만, 위와 같은 방법은 전체 패널의 제조 공정 중 일부 공정에서만 적용이 가능하며, 기본적으로 배선은 마스크를 사용하여 포토 리소그래피 공정이 진행될 필요가 있다.
이에 따라 마스크의 크기를 작게 제작하여 제조 단가를 낮추며, 마스크와 기판을 상대적으로 이동시키면서 노광시키는 스캔 방식의 노광 방법이 적용되고 있다.
일반적으로 표시 장치(액정 표시 장치나 플라즈마 표시 장치 등)에서 화소 및 배선의 패턴을 형성하기 위하여 포토 리소그래피 공정을 수행하는데, 포토리소그래피 공정중 노광 공정은 마스크를 이용하며, 마스크의 개구부를 통하여 노광빔을 조사시키는 공정이다.
노광 공정에서 사용되는 노광빔은 레이져 등 다양항 파장의 광원을 사용할 수 있으며, 한번 점등된 노광기는 연속적으로 장시간동안 노광빔을 방출하게 되는데, 노광기에서 장시간 사용으로 인하여 노광기가 제공하는 노광빔의 조도가 저하되는 문제가 있다. 특히 120시간이상 경과하는 경우 노광빔의 조도가 급격하게 떨어지면서 약 15%정도의 조도가 낮아지는 문제가 있어 포토 리소그래피 공정이 전반적으로 문제가 발생하게 된다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 장시간의 사용에도 조도가 떨어지지 않도록 하는 노광기의 제어 방법을 제공하고자 한다.
이러한 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 실시예에 따른 노광기 제어 방법은 프리즘 또는 벤드 미러를 포함하는 노광빔 발생부, 상기 노광빔 발생부에서 발생된 광이 통과하는 진공 챔버를 포함하는 노광기에서, 상기 노광빔 발생부에서 노광빔을 발생시키는 단계; 상기 진공 챔버 내에서 광축의 틀어짐을 측정하는 단계; 및 광이 틀어진 경우 상기 노광빔 발생부 내의 상기 프리즘 또는 벤드 미러를 조정하여 광축을 조정하는 단계를 포함한다.
상기 노광빔 발생부는 오실레이터 펌핑 챔버를 포함하는 발진기, Amp 펌핑 챔버를 포함하는 증폭기, 및 고주파 발생부를 더 포함하며, 상기 노광빔 발생부에서 노광빔을 발생시키는 단계는 상기 발진기의 오실레이터 펌핑 챔버의 전압을 조정하는 단계; 상기 증폭기의 Amp 펌핑 챔버의 전압을 조정하는 단계; 및 상기 고주파 발생부에서 파장을 변경하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 고주파 발생부는 SHG 결정을 포함하는 제1 발생부 및 THG를 포함하는 제2 발생부를 포함하며, 상기 고주파 발생부에서 파장을 변경하는 단계는 상기 SHG 결정 각도를 조정하여 532nm의 파장을 생성하는 단계; 및 상기 THG 결정 각도를 조정하여 355nm의 파장을 생성하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 광축을 조정하는 단계 다음에 상기 발진기의 오실레이터 펌핑 챔버의 전압을 재조정하는 단계 또는 상기 증폭기의 Amp 펌핑 챔버의 전압을 재조정하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 노광빔 발생부는 상기 발진기에서 생성된 광이 상기 증폭기, 상기 벤드 미러, 상기 고주파 발생부, 상기 프리즘을 지나서 광을 방출할 수 있다.
상기 벤드 미러는 상기 증폭기를 지난 광의 경로를 꺾어주며, 상기 벤드 미러는 제1 벤드 미러 및 제2 벤드 미러를 포함할 수 있다.
상기 벤드 미러를 조정하는 단계는 상기 제2 밴드 미러를 조정하여 광 경로를 변경시킬 수 있다.
상기 프리즘은 제1 프리즘 및 제2 프리즘을 포함하며, 상기 프리즘을 조정하는 단계는 상기 제1 프리즘 또는 상기 제2 프리즘을 조정하여 광 경로를 변경시킬 수 있다.
상기 노광빔 발생부는 샘플링 미러 및 파워 모니터를 더 포함하며, 상기 프리즘을 지난 광은 파장에 따라 분리되며, 분리된 빛 중 하나는 상기 샘플링 미러에서 일부 반사, 일부 투과되어 일부는 상기 파워 모니터로 입사시킬 수 있다.
상기 노광빔 발생부는 출력 셔터부를 더 포함하며, 상기 일부 투과된 빛은 상기 출력 셔터부를 통과하여 외부로 방출될 수 있다.
상기 노광기는 상기 노광빔 발생부와 상기 진공 챔버 사이에 위치하는 미러 및 노광빔 모니터부를 더 포함할 수 있다.
상기 진공 챔버는 광이 상기 진공 챔버로 들어오는 제1 챔버창; 광에 광로차를 제공하는 광로차판; 플라이 아이 렌즈; 및 광이 상기 진공 챔버에서 방출되는 제2 챔버창을 포함하며, 상기 진공 챔버 내에서 광축의 틀어짐을 측정하는 단계는 상기 플라이 아이 렌즈상에서 광축과 상기 플라이 아이 렌즈의 중심을 비교하여 틀어짐을 확인할 수 있다.
상기 노광기는 상기 노광빔 발생부와 상기 진공 챔버 사이에 위치하는 미러 및 노광빔 모니터부를 더 포함할 수 있다.
상기 노광기는 상기 진공 챔버의 후단에 광을 모으는 집광 렌즈를 더 포함할 수 있다.
상기 노광빔 발생부에서 노광빔을 발생시키는 단계는 레이져를 냉각시키는 단계; 레이져를 웜업하는 단계; 및 레이져 출력 셔터를 오픈시키는 단계를 포함할 수 있다.
이상과 같이 노광기를 제어함에 의하여 장시간 사용하더라도 노광기의 광축이 틀어지지 않도록 하여 노광량이 줄어들지 않도록 한다.
또한, 노광빔의 광축이 틀어지더라도 노광기 중 노광빔 발생부 내부에서의 조정으로 인하여 노광빔의 광축을 바로잡음으로써 노광기의 세팅상태를 그대로 유지할 수 있어 재 세팅의 시간 소모가 줄어든다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 노광기 및 노광 경로를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 노광빔 발생부의 상세 도면이다.
도 3 내지 도 9는 본 발명의 실시예에 따른 노광빔 발생부의 각 부분의 상세 도면 또는 동작 특성을 설명하는 도면이다.
도 10 내지 도 13은 노광빔의 조도가 떨어지는 경우의 노광빔의 형상을 찍은 도면과 이를 분석한 도면이다.
도 14 내지 도 16은 본 발명의 실시예에 따른 노광빔의 조도를 향상시키는 방법을 각각 도시한 도면이다.
도 17 내지 도 19는 본 발명의 실시예에 따라 조도가 떨어지지 않도록 조정된 노광빔의 상태를 도시한 도면, 이를 찍은 도면 및 이를 시간에 따라 도시한 그래프이다.
도 20은 본 발명의 실시예에 따른 노광기의 제어 방법을 도시한 순서도이다.
도 21은 본 발명의 실시예에 따른 제어 신호의 신호 파형도를 도시한 도면이다.
도 22는 본 발명의 실시예에 따른 스캔 방식의 노광을 도시한 도면이다.
첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.
이제 본 발명의 실시예에 따른 노광기 및 노광 경로에 대하여 도 1을 참고로 하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 노광기 및 노광 경로를 도시한 도면이다.
본 발명의 실시예에 따른 노광기(1)는 노광빔 발생부(10; 본 실시예에서는 YAG laser를 사용함), 제1, 제2 및 제3 미러(20, 40, 80), 제1 광로차판(52) 및 제1 플라이 아이(fly eye)렌즈(53)를 포함하는 진공 챔버(50), 평행 평면 회전판(60), 제1 및 제2 집광 렌즈(71, 90), 제2 광로차판(72), 제2 플라이 아이(fly eye)렌즈(73)을 포함한다. 또한, 노광빔 모니터부(30)를 더 포함하여 노광빔의 경로를 모니터링 한다.
노광기(1)에서 방출된 노광빔은 마스크(1000)를 거쳐 기판(2000)에 제공되며, 마스크(1000)와 기판(2000)은 일정한 간격(약 200~350nm)을 유지하고 있다. 또한, 마스크(1000)는 도 22에서 도시한 바와 같이 하나의 기판(glass)의 일부만을 덮는 작은 사이즈의 마스크(small mask)를 복수개 형성하여 노광 공정을 진행할 수 있다.
본 실시예의 노광기(1)에서 노광빔이 방출되는 경로를 상세하게 살펴보면 다음과 같다.
노광빔 발생부(10)에서는 노광빔을 제공하는 광원이며, 본 실시예에서는 YAG laser를 사용하고 있으나, 실시예에 따라서는 다양한 파장의 노광빔을 사용할 수 있다.
노광빔 발생부(10)에서 방출된 노광빔은 제1 미러(20)와 제2 미러(40)를 거치면서 광 경로가 각각 90도 회전되어 진공 챔버(50)로 진입한다. 진공 챔버(50)는 노광빔이 입사되는 제1 챔버창(51) 및 노광빔이 방출되는 제2 챔버창(54)을 포함하고, 내부에는 제1 광로차판(52) 및 제1 플라이 아이(fly eye)렌즈(53)를 포함한다. 제1 광로차판(52)은 노광빔에 광 경로 차이를 제공한다. 제1 플라이 아이(fly eye)렌즈(53)는 파리의 눈과 같이 복수 개의 볼록 렌즈가 형성되어 있는 구조를 가지며, 제1 광로차판(52)을 투과한 빛을 각각의 볼록 렌즈에 따라서 초점에 빛이 모였다가 확산되도록 한다. 제1 플라이 아이(fly eye)렌즈(53)의 초점은 진공 챔버(50)내에 위치할 수 있다.
진공 챔버(50)의 제2 챔버창(54)을 통하여 방출된 노광빔은 평행 평면 회전판(60) 및 광학부(70)를 거친 후 제3 미러(80)에서 반사되고, 제2 집광 렌즈(90)를 통하여 집광된 후 마스크(1000)로 제공된다. 여기서 광학부(70)는 제1 집광 렌즈(71), 제2 광로차판(72) 및 제2 플라이 아이(fly eye)렌즈(73)를 포함한다.
평행 평면 회전판(60)은 광 경로에 대하여 비스듬하게 형성된 평행 평면판이며, 제1 집광 렌즈(71)는 제1 플라이 아이(fly eye)렌즈(53)를 거치면서 확산되던 빛을 집광하는 역할을 하며, 제2 광로차판(72) 및 제2 플라이 아이(fly eye)렌즈(73)는 제1 광로차판(52) 및 제1 플라이 아이(fly eye)렌즈(53)와 같이 각각 광 경로 차이를 제공하고, 제2 플라이 아이(fly eye)렌즈(73)의 초점에 빛을 모았다가 확산되도록 하는 역할을 수행한다. 그 후 제3 미러(80)를 거치면서 광 경로가 90도 회전되며, 제2 집광 렌즈(90)를 거치면서 제2 플라이 아이(fly eye)렌즈(73)에서 확산되던 빛을 집광한 후 마스크로 전달한다. 본 실시예에서는 제2 집광 렌즈(90)는 두 개의 볼록 렌즈로 도시되어 있지만, 하나의 볼록 렌즈로 형성될 수도 있으며, 그 외의 집광 렌즈가 사용될 수도 있다. 또한, 제1 광로차판(52) 및 제2 광로차판(72)은 서로 다른 구조를 가지는 것으로 도시되어 있는데, 실시예에 따라서는 동일한 구조를 가지도록 형성할 수도 있으며, 제1 및 제2 광로차판(52, 72)가 제공하는 광 경로 차이가 서로 동일한 값을 가질 수도 있으며, 서로 다른 값을 가질 수도 있다.
한편, 제1 미러(20)와 제2 미러(40)사이에서는 노광빔 모니터부(30)가 형성되어 노광빔의 경로가 어긋나지 않았는지 모니터링할 수 있다. 본 발명의 실시예에 따른 노광빔 모니터부(30)는 노광빔을 촬상하는 장비를 내부 또는 외부에 포함하여 노광빔의 경로를 촬영할 수 있도록 하며, 촬영된 정보는 노광기 제어부(도시하지 않음)로 전달될 수 있다. 실시예에 따라서는 노광빔 모니터부(30)는 노광빔의 일부의 경로를 변경시켜 관측만 가능하도록 할 수도 있다. 이와 같이 단순하게 관측만 하는 경우에는 노광빔의 경로를 자동으로 변경하는데 문제가 있을 수 있다.
실시예에 따라서 노광빔 발생부(10)에서 방출된 노광빔이 마스크(1000)로 제공되는 경로를 도 1과 다르게 형성하는 것도 가능하다.
이하에서는 도 2 내지 도 8을 통하여 본 발명의 실시예에 따른 노광빔 발생부(10)에 대하여 상세하게 살펴본다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 노광빔 발생부의 상세 도면이고, 도 3 내지 도 9는 본 발명의 실시예에 따른 노광빔 발생부의 각 부분의 상세 도면 또는 동작 특성을 설명하는 도면이다.
먼저 도 2를 통하여 노광빔 발생부(10)의 전체적인 구조를 살펴보면 아래와 같다.
노광빔 발생부(10)는 발진기(100), 노광빔 확산부(200), 증폭기(300), 고주파 발생부(500), 파장 분리부(600), 제1 및 제2 벤드 미러(bend mirror; 410, 420), 제1 내지 제3 샘플링 미러(sampling mirror; 710, 720, 730), 제1 내지 제3 파워 모니터(715, 725, 735) 및 출력 셔터부(800)를 포함한다.
도 3을 참고하면, 발진기(100)는 노광빔을 최초로 발생시키는 부분으로, 배면 미러(rear mirror; 110), 포켓 셀(pocket cell; 120), 웨이브 플레이트(130), 제1 및 제2 편광기(140, 160), 오실레이터 펌핑 챔버(150), 전면 미러(front mirror; 170)을 포함한다. 여기서 포켓 셀(pocket cell; 120), 웨이브 플레이트(130) 및 제1 편광기(140)를 포함하여 Q 스위치(Q-switch; 135)라고도 한다.
배면 미러(110)는 전반사를 시키는 미러이며, 포켓 셀(120)이 온 상태일 때에 노광빔(레이져)가 방출되어 스위치 역할을 수행하며, 원편광을 선편광으로 변환시킨다. 웨이브 플레이트(130)는 λ/4 위상차 판이며, 제1 및 제2 편광기(140, 160)는 특정 방향의 선편광만 투과시킨다. 오실레이터 펌핑 챔버(150)는 재질 YAG rod와 같은 플래시 램프를 내부에 격납하고 있다. 플래시 램프는 레이저 매질이 여기 되어 에너지를 축적한 반전 분포 상태가 형성되고, 일부의 반전 분포 상태의 레이저 매질이 완화되면서 자연 방출에 의하여 광을 방출한다. 전면 미러(170)는 발진된 노광 빔을 일부 투과, 일부 반사시켜 공진하도록 한다.
발진기(100)에서 노광빔을 발생시키는 방식은 도 4에서 간략하게 도시되어 있으며, 도 5에서는 본 발명의 실시예에 따른 발진기(100)에서의 편광 방향을 전체적으로 도시하고 있다.
도 4에 의하면, 발진기(100)에서는 전반사를 수행하는 배면 미러(110)와 일부광만을 투과시키며, 나머지광은 반사시키는 전면 미러(170)의 사이에 오실레이터 펌핑 챔버(150)를 위치시켜 수백 마이크로 세크(μsec)의 주파수를 가지는 펄스를 여기시킨다. 본 실시예에 따른 오실레이터 펌핑 챔버(150)에는 Nd:YAG rod와 같은 플래시 램프(flash lamp)가 내부에 격납되어 있다.
여기에 Q 스위치(135)를 추가하여 발진된 펄스의 폭을 줄여 고 피크의 에너지를 가지는 펄스로 변화시킨다. 즉, 도 4의 A 그래프와 같이 넓은 폭을 가지는 펄스를 Q 스위치(135)를 사용하여 B 그래프와 같이 좁은 폭을 가지며, 고 에너지를 가지는 펄스로 변화시킨다. 이와 같이 고 에너지의 펄스는 전면 미러(170)를 통하여 방출된다.
이와 같은 기본적인 발진기(100)의 동작을 기초로 도 5를 참고하여 본 실시예에 따른 발진기(100)에서의 동작 및 편광 방향을 살펴보면 아래와 같다.
오실레이터 펌핑 챔버(150)에서는 여기된 빛을 주변으로 방출한다. 본 발명의 실시예와 같이 Nd:YAG rod를 사용하는 경우에는 1064nm의 빛이 자연 여기되어 방출된다. 주변으로 방출된 빛은 제1 편광기(140)로 직접 입사되거나 제2 편광기(160)로 입사된다. 제2 편광기(160)로 입사된 빛은 편광되어 전면 미러(170)로 진입한 후 일부 방출될 수도 있지만, 대부분 반사되어 제2 편광기(160)로 재입사된 후 제1 편광기(140)로 입사된다. 이와 같이 오실레이터 펌핑 챔버(150)에서 방출된 빛은 제1 편광기(140)로 입사되며, 제1 편광기(140)의 편광 방향에 따라 선편광(도 5의 실시예에서는 상하 방향(↕)의 선편광 방향은 투과되며, 이에 수직한 방향(⊙)의 선편광은 차단됨; 이하에서는 상하 방향(↕)의 선편광은 "P파"라 하며, 이에 수직한 방향(⊙)의 선편광은 "S파"라 함)된다. 그 후 웨이브 플레이트(130)로 입사되어 λ/4의 편광이 제공되어 P파는 원편광으로 변경된다. 그 후, 포켓 셀(120)에서는 원편광을 S파로 변경시킨다. S파는 배면 미러(110)에서 반사되어 180도 위상이 변하지만 S파를 유지하며, 다시 포켓 셀(120)로 입사되어 원편광으로 변경되고, 다시 웨이브 플레이트(130)로 입사되어 P파로 변경된다. 그 후 제1 편광기(140)를 투과한 후 오실레이터 펌핑 챔버(150)에서 증폭된 후 제2 편광기(160)를 투과하여 전면 미러(170)로 고 에너지의 펄스가 방출된다. 여기서 전면 미러(170)는 일부 반사를 시키므로 일부는 다시 위와 같은 경로를 통하여 공진하면서 레이져 빔을 방출하게 된다.
다시 도 2를 참고하면, 발진기(100)에서 발진된 노광빔(또는 레이저 빔이라고도 함)은 노광빔 확산부(200)로 입사된다. 노광빔 확산부(200)는 오목 렌즈(210)와 볼록 렌즈(220)를 포함하며, 이 들 렌즈(210, 220)를 이용하여 노광빔의 구경을 확대(실시예에 따라서 다양할 수 있으나 예를 들면 5mm의 노광빔을 9mm의 노광빔으로 확대)하는 역할을 한다.
노광빔 확산부(200)를 거친 노광빔은 증폭기(300)로 입사되게 된다. 증폭기(300)는 프리 Amp 펌핑 챔버(310), 로테이터(rotator; 320) 및 최종 Amp 펌핑 챔버(330)를 포함한다. 증폭기(300)에서는 발생된 1064nm의 짧은 펄스의 레이저(5-6 nsec의 주파수를 가짐)를 두 개의 펌핑 챔버(310, 330)를 통하여 유도 방출 효과에 의하여 약 10배 증폭시킨다. 로테이터(320)는 노광빔의 광축을 조정시키는 역할을 한다.
증폭된 노광빔은 제1 벤드 미러(410) 및 제2 벤드 미러(420)를 통하여 광 경로를 변경시켜 고주파 발생부(500)로 입사시킨다.
고주파 발생부(500)는 제1 발생부(510) 및 제2 발생부(520)를 포함하며, 제1 발생부(510)는 SHG(second harmonized generator)를 통하고 고주파로 변경하며, 제2 발생부(520)는 THG(third harmonized generator)를 통하여 고주파(또는 짧은 파장)로 변경한다. 고주파 발생부(500)의 동작에 대해서는 도 6 및 도 7에서 상세하게 도시하고 있다.
비선형 광학 결정은 복굴절 성을 가지기 때문에 결정내에서 축 방향에서 광속(굴절율)이 다른 점을 이용하여 특수한 조건을 이용하여 고주파를 만들어 내는 것이 가능하다. 본 발명의 실시예에서는 두 종류의 비선형 광학 결정을 사용하여 노광빔의 1064nm의 파장을 각각 532nm의 파장과 355nm의 파장을 생성한다.
도 6에서는 제1 발생부(510)의 동작이 도시되어 있다. 제1 발생부(510)는 SHG 결정에 의하여 두 배의 주파수(즉, 1/2의 파장)를 가지는 고주파를 생성한다. 즉, 도 6과 같이 SHG 결정을 이용하여 입사된 1064nm의 광자를 두 개 결합하여 반의 파장(532nm)을 가지는 광자 하나를 생성한다.
또한, 도 7에서는 제2 발생부(520)의 동작을 나타내고 있다. 제2 발생부(520)는 THG 결정에 의하여 세 배의 주파수(즉, 1/3의 파장)를 가지는 고주파를 생성한다. 즉, 도 7과 같이 THG 결정을 이용하여 입사된 1064nm의 광자와 532nm의 광자를 결합하여 355nm의 광자 하나를 생성한다.
도 6과 도 7에서 도시한 제1 및 제2 발생부(510, 520)의 동작에 의하여 1064nm의 파장의 노광빔은 532nm 및 355nm의 파장의 노광빔을 더 포함하게 되어 총 3개의 파장(1064nm, 532nm, 355nm)을 가지는 노광빔이 된다.
고주파 발생부(500)를 거친 노광빔은 파장 분리부(600)로 입사한다. 파장 분리부(600)는 제1 프리즘(610) 및 제2 프리즘(620)을 포함하며, 제1 프리즘(610)에서 외측으로 반사된 빛을 제거하는 제1 덤퍼(630)를 더 포함할 수 있다. 제1 덤퍼(dumper; 630)는 빛을 입사받은 후 이를 소멸시켜 외부로 방출되지 않도록 한다.
파장 분리부(600)의 제1 프리즘(610) 및 제2 프리즘(620)은 도 8에서 도시한 바와 같이 파장에 따른 굴절율의 차이로 인하여 파장에 따라 서로 다른 경로를 가지도록 한다.
이와 같이 파장에 따라 분리된 노광빔은 각각 제1 내지 제3 샘플링 미러(710, 720, 730)로 입사된다. 제1 샘플링 미러(710)에는 1064nm의 노광빔이 입사되며, 제1 샘플링 미러(710)는 1064nm의 노광빔을 분리하여 일부는 제1 파워 모니터(715)로 입사시키며, 나머지는 제2 덤퍼(740)로 입사시킨다. 제1 파워 모니터(715)에서는 1064nm의 노광빔의 파장 및 광량 등을 체크하여 발진기(100)에서 적절하게 발진되고 있는지를 체크한다. 제2 샘플링 미러(720)에는 532nm의 노광빔이 입사되며, 제2 샘플링 미러(720)는 532nm의 노광빔을 분리하여 일부는 제2 파워 모니터(725)로 입사시키며, 나머지는 제2 덤퍼(740)로 입사시킨다. 제2 파워 모니터(725)에서는 532nm의 노광빔의 파장 및 광량 등을 체크하여 제1 발생부(510)에서 적절하게 반파장의 노광빔을 생성하고 있는지를 체크한다. 제3 샘플링 미러(730)에는 355nm의 노광빔이 입사되며, 제3 샘플링 미러(730)는 355nm의 노광빔을 분리하여 일부는 제3 파워 모니터(735)로 입사시키며, 나머지는 출력 셔터부(800)로 입사시킨다. 제3 파워 모니터(735)에서는 355nm의 노광빔의 파장 및 광량 등을 체크하여 제2 발생부(520)에서 적절하게 1/3 파장의 노광빔을 생성하고 있는지를 체크한다.
출력 셔터부(800)는 출력 셔터(810)를 포함하며, 제3 샘플링 미러(730)에서 전달된 355nm 파장의 노광빔을 출력 셔터(810)를 통하여 출력한다.
도 9를 참고하면, 고주파 발생부(500)에서부터 출력 셔터부(800)까지의 동작을 간략하게 도시하였다. 도 9에서 도시하고 있는 바와 같이 고주파 발생부(500)의 제1 발생부(510)를 통하여 532nm의 파장이 생성되고, 제2 발생부(520)를 통하여 355nm의 파장이 생성되며, 파장 분리부(600), 제3 샘플링 미러(730) 및 출력 셔터부(800)를 통하여 355nm의 노광빔만이 출력된다.
하지만, 장시간 노광기(1)를 사용하는 경우에는 노광빔의 조도가 낮아지는 문제가 있으며, 이에 대하여 도 10 내지 도 13을 통하여 살펴본다.
도 10 내지 도 13은 노광빔의 조도가 떨어지는 경우의 노광빔의 형상을 찍은 도면과 이를 분석한 도면이다.
도 10은 장시간 사용한 노광기(1)에서 방출된 노광빔을 촬상한 도면이다.
도 10에서 도시하고 있는 바와 같이 장시간 사용한 노광기(1)에서는 노광빔이 원형을 가지지 않고 일부 영역이 깨어진 형상을 가진다. 이와 같이 깨어진 영역으로 인하여 조도의 저하가 발생된다. 도 11의 그래프에 의하면 120시간을 지남에 따라서 노광기(1)에서 방출되는 노광빔의 조도가 급격하게 떨어져 약 15%정고 감소되는 것을 확인할 수 있다. 도 11에서 UF는 균일성(uniformity)를 나타내는 것으로 아래의 식의 값을 %로 나타낸 것이다.
[수학식 1]
(최대 조도값- 최소 조도값)/(최대 조도값+최소 조도값)
이와 같이 노광빔의 조도가 떨어지는 것은 노광빔의 경로가 엇갈리면서 도 12에서 도시하고 있는 바와 같이 광학 렌즈(제1 플라이 아이(fly eye)렌즈(53), 평행 평면 회전판(60), 제1 집광 렌즈(71)등)의 광축 중심과 레이져빔의 중심이 "d"만큼 어긋나기 때문이다.
도 13에서는 제1 플라이 아이(fly eye)렌즈(53)를 중심으로 노광빔과의 관계가 도시되어 있다.
오래 사용된 노광기(1)의 레이져빔은 도 13에서 도시한 바와 같이 제1 플라이 아이(fly eye)렌즈(53)의 중심으로부터 d만큼 어긋나 있다. 그 결과 레이져빔의 우측 일부 영역은 제1 플라이 아이(fly eye)렌즈(53)를 벗어나 있으며, 그 결과 도 10과 같이 일부 깨어진 구조로 노광빔이 방출되며, 조도도 떨어지는 문제가 발생하고 있다.
그러므로 제1 플라이 아이(fly eye)렌즈(53)의 광축 중심과 레이져빔의 중심을 계속 체크하여 일치시키도록 할 필요가 있으며, 이를 위하여 본 발명에서는 도 14 내지 도 16의 실시예를 제시한다.
도 14 내지 도 16은 본 발명의 실시예에 따른 노광빔의 조도를 향상시키는 방법을 각각 도시한 도면으로, 노광빔 발생부(10)의 내부의 구성 요소를 이용하여 노광빔의 조도를 향상시킨다.
도 14에서는 파장 분리부(600)의 제1 프리즘(610)을 회전시켜 레이져빔의 중심을 광축 중심과 일치시키도록 하는 실시예이며, 도 15에서는 파장 분리부(600)의 제2 프리즘(620)을 회전시켜 레이져빔의 중심을 광축 중심과 일치시키도록 하는 실시예이다.
한편, 도 16에서는 제2 벤드 미러(420)를 회전시켜 레이져빔의 중심을 광축 중심과 일치시키도록 하는 실시예이며, 도시하지는 않았지만, 제1 벤드 미러(410)를 회전시키는 실시예도 가능하다. 다만, 제1 벤드 미러(410)보다는 제2 벤드 미러(420)가 출력되는 노광빔(레이져빔)의 광축 변화에 보다 직접적으로 관여하므로 도 16에서는 제2 벤드 미러(420)를 대표적으로 도시하였다.
이상의 도 14 내지 도 16에서 도시한 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 노광기(1)에서는 노광빔의 조도가 떨어지는 경우 노광빔 발생부(10)의 내부에 속하는 구성 요소(제2 프리즘(620), 제1 프리즘(610), 제2 벤드 미러(420) 등)를 조작할 뿐, 노광빔 발생부(10)의 외부에 존재하는 노광기(1)의 구성 요소는 조작하지 않는다. 이와 같이 노광빔 발생부(10) 내부의 구성 요소만을 조작하면, 노광기(1)의 다른 구성 요소는 이미 세팅되어 고정된 상태를 유지하게 되므로, 별도의 세팅 조작이 불필요한 장점이 있다. 그 결과, 노광기(1)의 다른 구성 요소를 변경하는 경우에 소요되는 시간을 줄일 수 있고, 고정된 상태를 유지시키면서 계속적으로 노광을 진행할 수 있다. 또한, 장시간 사용된 노광기(1)에서 발생하는 레이져빔의 광축의 이동량(d)은 그 값이 크지 않아 노광기(1)의 다른 구성 요소를 조작하여 변경할 만큼의 큰 변경이 아니므로 노광빔 발생부(10) 내의 제2 프리즘(620), 제1 프리즘(610), 제2 벤드 미러(420) 등을 간편하게 조작하여 노광빔의 조도를 떨어트리지 않을 수 있다.
이하의 표 1은 제2 프리즘(620), 제1 프리즘(610) 및 제2 벤드 미러(420)의 조정 각도에 따른 레이져빔의 중심(광축 중심)이 틀어지는 양을 나타내고 있다.
레이져빔 중심
틀어진 양(mm)		 제2 프리즘(620)
조정각도(mrad)		 제1 프리즘(610)
조정각도(mrad)		 제2 벤드 미러(420)
조정각도(mrad)
0.1 0.072 0.077 0.057
0.2 0.143 0.154 0.114
0.3 0.215 0.231 0.170
0.4 0.278 0.308 0.227
0.5 0.358 0.385 0.284
0.6 0.430 0.462 0.341
0.7 0.502 0.538 0.398
0.8 0.573 0.615 0.455
0.9 0.645 0.692 0.511
1.0 0.717 0.769 0.568
1.1 0.789 0.846 0.625
1.2 0.860 0.923 0.682
1.3 0.932 1.000 0.739
1.4 1.004 1.077 0.795
1.5 1.075 1.154 0.852
1.6 1.147 1.231 0.909
1.7 1.219 1.308 0.966
1.8 1.290 1.385 1.023
1.9 1.362 1.462 1.080
2.0 1.434 1.538 1.136
여기서 조정각도는 시계 방향으로 조정한 각도이며, 레이져빔 중심이 틀어진 양은 도 12 또는 도 13에서의 "d"를 나타낸다. 즉, 표 1에 의하면 레이져빔 중심이 광축 중심으로부터 떨어진 거리(d)를 확인하게 되면 이에 따라서 제2 프리즘(620), 제1 프리즘(610) 및 제2 벤드 미러(420) 중 하나를 표 1에 따라서 시계 방향으로 조정하면 된다.
표 1의 내용은 노광기 제어부(도시하지 않음)의 메모리에 저장하여 두고, 레이져빔 중심이 광축 중심으로부터 떨어진 거리(d)를 측정한 후 이에 따라 각도를 회전시켜 노광빔의 조도 저하를 막을 수 있다.
도 17 내지 도 19는 본 발명의 실시예에 따라 조도가 떨어지지 않도록 조정된 노광빔의 상태를 도시한 도면, 이를 찍은 도면 및 이를 시간에 따라 도시한 그래프이다.
도 17에서 도시하고 있는 바와 같이 노광빔 발생부(10)의 내부 구성 요소를 조작함에 의하여 제1 플라이 아이(fly eye)렌즈(53)의 광축 중심과 레이져빔의 중심을 일치시킬 수 있음을 알 수 있으며, 도 18에서는 노광기(1)가 방출하는 노광빔이 원형을 이루고 있는 것을 확인할 수 있다. 또한, 도 19에서 도시한 방과 같이 시간이 지남에 따라서도 광손실이 발생하지 않으므로 조도가 떨어지지 않는다는 것을 확인할 수 있다.
이상에서는 제1 플라이 아이(fly eye)렌즈(53)의 광축 중심과 레이져빔의 중심을 기준으로 설명하였지만, 그 외의 다른 광학 렌즈를 기준으로 실시예를 형성할 수도 있다.
이하에서는 도 20을 이용하여 본 발명의 실시예에 따른 노광기의 제어 방법을 상세하게 살펴본다.
도 20은 본 발명의 실시예에 따른 노광기의 제어 방법을 도시한 순서도이다.
도 20에 의하면, 외부의 장치로부터 발진 명령 신호를 수신하고 레이저 전원이 온되어 노광기(1)의 발진기(100)가 에너지를 가지는 단계(S10)가 수행된다.
그 후, 발진기(100)의 오실레이터(OSC) 펌핑 챔버의 전압을 조정하여 1064nm의 파장의 레이져가 발생되도록 한다. (S20) 여기서는 발진기(100) 내부에 형성되어 있는 1064nm 파장용 모니터부(도시하지 않음)를 이용하여 모니터하면서 1064nm의 레이져가 적절하게 생성되도록 전압을 조정할 수 있다.
그 후, 증폭기(300)의 프리 Amp 펌핑 챔버(310) 및 최종 Amp 펌핑 챔버(330)의 전압을 조정하는 단계를 수행한다. (S30) 여기서는 증폭기(300) 내부에 형성되어 있는 355nm 파장용 모니터부(도시하지 않음)를 이용하여 모니터하면서 355nm의 레이져가 적절하게 생성되도록 Amp 펌핑 챔버(310, 330)의 전압을 조정할 수 있다.
그 후, 고주파 발생부(500)의 제1 발생부(510)에서 SHG 결정의 각도를 조정하여 532nm의 파장의 레이져가 적절하게 발생되도록 한다. (S40)
또한, 고주파 발생부(500)의 제2 발생부(520)에서 THG 결정의 각도를 조정하여 355nm의 파장의 레이져가 적절하게 발생되도록 한다. (S50)
그 후, 노광기(1)에 세팅된 지연(delay)값을 조정(S60)하여 레이져빔의 방출 타이밍을 조절하여 최적화된 레이져 빔이 방출되도록 한다. 실시예에 따라서는 지연값을 조정하는 단계가 포함되지 않을 수도 있으며, 지연값을 조정하는 단계가 도 20에서 도시된 위치가 아닌 다른 위치에서 수행될 수도 있다.
그 후, 레이져빔의 틀어짐을 측정한다. (S70) 레이져빔의 틀어짐을 측정하는 방법은 제1 플라이 아이(fly eye)렌즈(53)의 광축 중심과 레이져빔의 중심간의 거리를 이용하여 측정할 수도 있으며, 도 20에서 도시한 바와 같이 레이져빔의 지름을 측정하여 레이져빔이 일부 깨어진 구조를 가지는지 확인하는 방법을 통하여도 수행될 수 있다. 도 20과 같은 경우에는 제1 플라이 아이(fly eye)렌즈(53)의 후단에서 레이져빔을 관측할 필요가 있다.
그 후, 틀어짐의 정도에 따라서 프리즘의 각도를 조정한다. (S80) 여기서, 프리즘은 제2 프리즘(620) 또는 제1 프리즘(610)을 의미하며, 실시예에 따라서는 제2 벤드 미러(420)의 각도를 조정할 수도 있으며, 이들 중 복수개를 함께 조정할 수도 있다.
그 후, 다시 레이져빔의 틀어짐을 측정한다. (S90) 재 측정된 결과에 따라서 아직도 레이져빔이 틀어져 있는 경우에는 다시 프리즘의 각도를 조정하는 단계(S80)를 수행하여야 한다.
다시 레이져빔의 틀어짐을 측정(S90)한 결과 틀어짐이 없는 경우에는 발진기(100)의 오실레이터(OSC) 펌핑 챔버의 전압을 재조정(S100)하고, 증폭기(300)의 프리 Amp 펌핑 챔버(310) 및 최종 Amp 펌핑 챔버(330)의 전압도 재조정하는 단계(S110)를 수행한다. 오실레이터(OSC) 펌핑 챔버의 전압을 재조정하는 단계(S100) 및 증폭기(300)의 프리 Amp 펌핑 챔버(310) 및 최종 Amp 펌핑 챔버(330)의 전압도 재조정하는 단계(S110)에서는 제3 파워 모니터를 이용하여 355nm로 생성된 레이져가 적절한 파장을 가지고 있는지를 기준을 전압을 조정하게 된다. 이와 같은 재조정 단계(S100, S110)는 출력되는 레이져의 파장을 정확하게 하기 위한 것이므로 반드시 포함되어야 하는 단계가 아니다. 또한, 두 개의 재조정 단계(S100, S110)중 하나의 단계만이 수행될 수도 있다.
이상과 같은 단계를 거치면 포토 리소그래피의 노광을 위한 준비가 완료(S120)된다.
도 21에서는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 노광기의 제어 방법을 신호 파형도를 통하여 기술하고 있다.
도 21은 본 발명의 실시예에 따른 제어 신호의 신호 파형도를 도시한 도면이다.
먼저 외부로부터 노광기(1)의 발진 준비 명령을 받는다. 즉, 발진 준비 명령 신호로 하이(high) 전압이 인가된다.
이와 같이 발진 준비 명령이 인가되면, 노광기(1)의 발진기(100) 내의 레이져 램프에 전원이 인가된다. 즉, 레이져 램프 전원 신호로 하이(high) 전압이 인가된다.
그 후, 노광기(1)에 존재하는 냉각기(도시하지 않음)도 동작시켜 노광기(1)가 일정 수준의 온도를 유지하도록 한다. (레이져를 냉각시키는 단계) 즉, 냉각기의 전원 신호로 하이(high) 전압이 인가된다.
그 후, 레이져를 발진시키기 위한 웜업(warm-up) 단계가 20분 정도 진행된다. 그 후, 발진기(100)의 Q 스위치(135)도 10분 가량 웜업 시킨다. 이상의 두 개의 웜업 단계를 합하여 레이져는 웜업하는 단계라고 한다.
이상과 같은 단계를 통하여 노광빔 발생부(10)가 동작할 준비가 완료되면, 노광빔 발생부(10)가 출력이 가능하다는 인에이블 신호를 하이(high)로 바꾸며, 본 신호의 상승 에지는 외부 장치로 전달되어 노광빔 발생부(10)가 작동 준비가 완료되었음을 알려주는 역할을 한다.
이에 따라 외부 장치로부터 노광 명령 신호가 하이(high)로 인가되면, 그에 따라서 노광빔 발생부(10)의 출력 셔터(810)도 오픈시켜 레이져빔을 출력할 수 있도록 한다. (레이져 출력 셔터를 오픈시키는 단계)
그 후, 외부로부터 인가되는 노광 신호에 다라서 레이져 발진 노광이 진행된다.
도 21은 도 20과 달리 레이져빔이 방출되기 위한 준비 단계 및 레이져의 방출 단계를 중심으로 외부 장치와 송수신하는 신호 파형을 중심으로 도시한 도면이다.
도 21과 같은 신호에 기초하여 레이져빔이 노광되며, 노광시에도 레이져빔의 경로가 일정 시간마다 측정되어 중심의 틀어짐을 측정하다가 일정 수준 이상의 틀어짐이 인지되면, 본 발명의 실시예에 따라서 레이져빔의 중심축을 조정한다.
도 22는 본 발명의 실시예에 따른 스캔 방식의 노광을 도시한 도면이다.
도 22에서는 모기판(mother glass; 도 22에서는 glass로 표시함; 2000)의 일부분에 대응하는 작은 마스크(small mask; 1000)를 사용하여 모기판(2000)을 노광하는 공정에 대하여 도시하였다. 작은 마스크(small mask; 1000)를 사용하지만, 기판(2000)과 마스크(1000)가 상대적으로 이동하면서 노광 공정을 진행하기 때문에 넓은 기판 전체 영역에 노광이 가능하다.
이때, 작은 마스크(small mask)는 정렬을 위하여 모기판(glass)에 형성되어 있는 정렬키 또는 블랙 매트릭스를 기준으로 정렬되면서 노광이 진행된다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
1: 노광기 10: 노광빔 발생부
20: 제1 미러 30: 노광빔 모니터부
제2 미러(40) 진공 챔버(50)
제1 챔버창(51) 제1 광로차판(52)
53: 제1 플라이 아이(fly eye)렌즈 54: 제2 챔버창
60: 평행 평면 회전판 70: 광학부
71: 제1 집광 렌즈 72: 제2 광로차판
73: 제2 플라이 아이(fly eye)렌즈 80: 제3 미러
90: 제2 집광 렌즈 100: 발진기
110: 배면 미러 120: 포켓 셀
130: 웨이브 플레이트 135: Q 스위치
140: 제1 편광기 150: 오실레이터 펌핑 챔버
160: 제2 편광기 170: 전면 미러
200: 노광빔 확산부 210: 오목 렌즈
220: 볼록 렌즈 300: 증폭기
310, 330: Amp 펌핑 챔버 320: 로테이터
410: 제1 벤드 미러 420: 제2 벤드 미러
500: 고주파 발생부 510: 제1 발생부
520: 제2 발생부 600: 파장 분리부
610: 제1 프리즘 620: 제2 프리즘
630: 제1 덤퍼 710, 720, 730: 샘플링 미러
715, 725, 735: 파워 모니터 740: 제2 덤퍼
800: 출력 셔터부 810: 출력 셔터
1000: 마스크 2000: 기판

Claims (15)

  1. 프리즘 또는 벤드 미러를 포함하는 노광빔 발생부, 상기 노광빔 발생부에서 발생된 광이 통과하는 진공 챔버를 포함하는 노광기를 제어하기 위한 방법으로,
    상기 노광빔 발생부에서 노광빔을 발생시키는 단계;
    상기 진공 챔버 내에서 광축의 틀어짐을 측정하는 단계; 및
    상기 광축이 틀어진 경우 상기 노광빔 발생부 내의 상기 프리즘 또는 벤드 미러를 조정하여 상기 광축을 조정하는 단계를 포함하며,
    상기 노광빔 발생부는
    오실레이터 펌핑 챔버를 포함하는 발진기,
    Amp 펌핑 챔버를 포함하는 증폭기, 및
    고주파 발생부를 더 포함하며,
    상기 노광빔 발생부에서 노광빔을 발생시키는 단계는
    상기 발진기의 오실레이터 펌핑 챔버의 전압을 조정하는 단계;
    상기 증폭기의 Amp 펌핑 챔버의 전압을 조정하는 단계; 및
    상기 고주파 발생부에서 파장을 변경하는 단계를 포함하는 노광기의 제어 방법.
  2. 삭제
  3. 제1항에서,
    상기 고주파 발생부는
    SHG(Second Harmonized Generator) 결정을 포함하는 제1 발생부 및
    THG(Third Harmonized Generator) 결정을 포함하는 제2 발생부를 포함하며,
    상기 고주파 발생부에서 파장을 변경하는 단계는
    상기 SHG 결정 각도를 조정하여 532nm의 파장을 생성하는 단계; 및
    상기 THG 결정 각도를 조정하여 355nm의 파장을 생성하는 단계를 포함하는 노광기의 제어 방법.
  4. 제1항에서,
    상기 광축을 조정하는 단계 다음에 상기 발진기의 오실레이터 펌핑 챔버의 전압을 재조정하는 단계 또는 상기 증폭기의 Amp 펌핑 챔버의 전압을 재조정하는 단계를 더 포함하는 노광기의 제어 방법.
  5. 제1항에서,
    상기 노광빔 발생부는
    상기 발진기에서 생성된 광이 상기 증폭기, 상기 벤드 미러, 상기 고주파 발생부, 상기 프리즘을 지나서 광을 방출하는 노광기의 제어 방법.
  6. 제1항에서,
    상기 벤드 미러는 상기 증폭기를 지난 광의 경로를 꺾어주며,
    상기 벤드 미러는 제1 벤드 미러 및 제2 벤드 미러를 포함하는 노광기의 제어 방법.
  7. 제6항에서,
    상기 벤드 미러를 조정하는 단계는 상기 제2 벤드 미러를 조정하여 광 경로를 변경시키는 노광기의 제어 방법.
  8. 제5항에서,
    상기 프리즘은 제1 프리즘 및 제2 프리즘을 포함하며,
    상기 프리즘을 조정하는 단계는 상기 제1 프리즘 또는 상기 제2 프리즘을 조정하여 광 경로를 변경시키는 노광기의 제어 방법.
  9. 제5항에서,
    상기 노광빔 발생부는 샘플링 미러 및 파워 모니터를 더 포함하며,
    상기 프리즘을 지난 광은 파장에 따라 분리되며,
    분리된 빛 중 하나는 상기 샘플링 미러에서 일부 반사, 일부 투과되어 일부는 상기 파워 모니터로 입사시키는 노광기의 제어 방법.
  10. 제9항에서,
    상기 노광빔 발생부는 출력 셔터부를 더 포함하며,
    상기 일부 투과된 빛은 상기 출력 셔터부를 통과하여 외부로 방출되는 노광기 제어 방법.
  11. 제10항에서,
    상기 노광기는 상기 노광빔 발생부와 상기 진공 챔버 사이에 위치하는 미러 및 노광빔 모니터부를 더 포함하는 노광기 제어 방법.
  12. 제1항에서,
    상기 진공 챔버는
    광이 상기 진공 챔버로 들어오는 제1 챔버창;
    광에 광로차를 제공하는 광로차판;
    플라이 아이 렌즈; 및
    광이 상기 진공 챔버에서 방출되는 제2 챔버창을 포함하며,
    상기 진공 챔버 내에서 광축의 틀어짐을 측정하는 단계는
    상기 플라이 아이 렌즈상에서 광축과 상기 플라이 아이 렌즈의 중심을 비교하여 틀어짐을 확인하는 노광기의 제어 방법.
  13. 제1항에서,
    상기 노광기는 상기 노광빔 발생부와 상기 진공 챔버 사이에 위치하는 미러 및 노광빔 모니터부를 더 포함하는 노광기 제어 방법.
  14. 제1항에서,
    상기 노광기는
    상기 진공 챔버의 후단에 광을 모으는 집광 렌즈를 더 포함하는 노광기의 제어 방법.
  15. 제1항에서,
    상기 노광빔 발생부에서 노광빔을 발생시키는 단계는
    레이져를 냉각시키는 단계;
    레이져를 웜업하는 단계; 및
    레이져 출력 셔터를 오픈시키는 단계를 포함하는 노광기의 제어 방법.
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