JP2000164950A - レーザ装置、レーザカッタ、及びレーザ波長変換方法 - Google Patents
レーザ装置、レーザカッタ、及びレーザ波長変換方法Info
- Publication number
- JP2000164950A JP2000164950A JP10332191A JP33219198A JP2000164950A JP 2000164950 A JP2000164950 A JP 2000164950A JP 10332191 A JP10332191 A JP 10332191A JP 33219198 A JP33219198 A JP 33219198A JP 2000164950 A JP2000164950 A JP 2000164950A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- wavelength
- attenuator
- light
- wavelength conversion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
(57)【要約】
【課題】 小型で、アライメント調整が容易で、安価
な、レーザ発振器の出力を最大限有効に利用できるレー
ザ装置を提供する。 【解決手段】 アッテネータ１１を、波長変換素子であ
るＫＴＰ４４及びＢＢＯ４５よりもレーザ発振器４１側
に位置させる。レーザ発振器からレーザ光は、アッテネ
ータでの減衰を受けた後、ＫＴＰ及びＢＢＯで波長変換
される。波長変換されたレーザ光は、フィルターユニッ
ト４８で波長選択され、エキスパンダーで拡大された
後、外部へ出射される。
な、レーザ発振器の出力を最大限有効に利用できるレー
ザ装置を提供する。 【解決手段】 アッテネータ１１を、波長変換素子であ
るＫＴＰ４４及びＢＢＯ４５よりもレーザ発振器４１側
に位置させる。レーザ発振器からレーザ光は、アッテネ
ータでの減衰を受けた後、ＫＴＰ及びＢＢＯで波長変換
される。波長変換されたレーザ光は、フィルターユニッ
ト４８で波長選択され、エキスパンダーで拡大された
後、外部へ出射される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ装置に関
し、特に、半導体装置の製造及び試験等に使用されるレ
ーザカッタに用いられる多波長型レーザ装置に関する。
し、特に、半導体装置の製造及び試験等に使用されるレ
ーザカッタに用いられる多波長型レーザ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の多波長型レーザ装置及び多波長型
レーザ装置を用いたレーザカッタとして、特表平１０−
５００６２８号公報に記載されているものがある。この
タイプの多波長型レーザ装置の基本構造を図４に示す。
レーザ装置を用いたレーザカッタとして、特表平１０−
５００６２８号公報に記載されているものがある。この
タイプの多波長型レーザ装置の基本構造を図４に示す。
【０００３】図４のレーザ装置は、レーザ発振器４１
と、複数の折り返しミラー４２ａ−４２ｄと、λ／２板
（１／２波長板）４３と、ＫＴＰ（ＫＴｉＯＰＯ4結
晶：波長変換素子）４４と、ＢＢＯ（β−ＢａＢ2Ｏ4結
晶：波長変換素子）４５と、ＢＢＯ４５に取り付けられ
る一対のウインドウ４６ａ及び４６ｂと、アッテネータ
４７と、フィルターユニット４８と、エキスパンダー４
９と、レンズ５０とを有している。
と、複数の折り返しミラー４２ａ−４２ｄと、λ／２板
（１／２波長板）４３と、ＫＴＰ（ＫＴｉＯＰＯ4結
晶：波長変換素子）４４と、ＢＢＯ（β−ＢａＢ2Ｏ4結
晶：波長変換素子）４５と、ＢＢＯ４５に取り付けられ
る一対のウインドウ４６ａ及び４６ｂと、アッテネータ
４７と、フィルターユニット４８と、エキスパンダー４
９と、レンズ５０とを有している。
【０００４】レーザ発振器４１は、全反射ミラー４１
１、Ｎｄ：ＹＡＧロッド４１２、フラッシュランプ４１
３、ポラライザ４１４、λ／４板（１／４波長板）４１
５、ポッケルスセル４１６、シリンドリカルレンズ４１
７、及び出力側ミラー４１８を有している。
１、Ｎｄ：ＹＡＧロッド４１２、フラッシュランプ４１
３、ポラライザ４１４、λ／４板（１／４波長板）４１
５、ポッケルスセル４１６、シリンドリカルレンズ４１
７、及び出力側ミラー４１８を有している。
【０００５】全反射ミラー４１１は、レーザ媒質である
Ｎｄ：ＹＡＧロッド４１２から誘導放出された光を出力
側ミラー４１８との間で往復させ、増幅するための高反
射率ミラーである。
Ｎｄ：ＹＡＧロッド４１２から誘導放出された光を出力
側ミラー４１８との間で往復させ、増幅するための高反
射率ミラーである。
【０００６】Ｎｄ：ＹＡＧロッド４１２は、ＹＡＧ（Ｙ
3Ａｌ5Ｏ12）結晶中に、活性媒質としてＮｄ3+が添加さ
れたものである。このＮｄ：ＹＡＧロッド４１２は、フ
ラッシュランプ４１３からエネルギーを受け取り、特定
の波長の光を増幅するレーザ媒質として機能する。Ｎ
ｄ：ＹＡＧロッド４１２の、発振中心波長は、１０６４
ｎｍである。
3Ａｌ5Ｏ12）結晶中に、活性媒質としてＮｄ3+が添加さ
れたものである。このＮｄ：ＹＡＧロッド４１２は、フ
ラッシュランプ４１３からエネルギーを受け取り、特定
の波長の光を増幅するレーザ媒質として機能する。Ｎ
ｄ：ＹＡＧロッド４１２の、発振中心波長は、１０６４
ｎｍである。
【０００７】フラッシュランプ４１３は、例えば、Ｘｅ
ガス封入ランプであって、レーザ媒質であるＮｄ：ＹＡ
Ｇロッド４１２にレーザ発振に必要な光を供給する。
ガス封入ランプであって、レーザ媒質であるＮｄ：ＹＡ
Ｇロッド４１２にレーザ発振に必要な光を供給する。
【０００８】ポラライザ４１４は、特定の偏光方向の波
長（１０６４ｎｍ）のみ透過させる。
長（１０６４ｎｍ）のみ透過させる。
【０００９】λ／４板４１５は、直線偏向を円偏向に、
円偏向を直線偏向に変換する。
円偏向を直線偏向に変換する。
【００１０】ポッケルスセル４１６は、電圧を印可する
ことにより、偏向面が９０度回転する変調素子である。
このポッケルスセル４１６は、ポラライザ４１４及びλ
／４板４１５との組み合わせによりＱスイッチ発振を実
現するため、一時的に光を遮断するシャッターとして動
作する。
ことにより、偏向面が９０度回転する変調素子である。
このポッケルスセル４１６は、ポラライザ４１４及びλ
／４板４１５との組み合わせによりＱスイッチ発振を実
現するため、一時的に光を遮断するシャッターとして動
作する。
【００１１】シリンドリカルレンズ４１７は、レーザ光
のビーム断面形状を楕円径から円形に補正する。
のビーム断面形状を楕円径から円形に補正する。
【００１２】出力側ミラー４１８は、Ｎｄ：ＹＡＧロッ
ド４１２から誘導放出された光を全反射ミラー４１１と
の間で往復させ、増幅させるための反射板である。この
出力側ミラー４１８は、全反射ミラーとは異なり、光の
一部を透過させる。
ド４１２から誘導放出された光を全反射ミラー４１１と
の間で往復させ、増幅させるための反射板である。この
出力側ミラー４１８は、全反射ミラーとは異なり、光の
一部を透過させる。
【００１３】折り返しミラー４２ａ−４２ｄは、レーザ
発振器４１から出射したレーザ光を反射して、その進路
を変更する。ここでは、全て進路を９０度折り曲げるよ
うに配置されている。
発振器４１から出射したレーザ光を反射して、その進路
を変更する。ここでは、全て進路を９０度折り曲げるよ
うに配置されている。
【００１４】λ／２板４３は、入射するレーザ光の偏光
方向を９０度回転させて出射する。
方向を９０度回転させて出射する。
【００１５】ＫＴＰ４４は、入射する基本波から２倍波
を発生させる非線形素子、即ち、波長変換素子である。
なお、このＫＴＰ４４は、基本波の一部も透過させる。
を発生させる非線形素子、即ち、波長変換素子である。
なお、このＫＴＰ４４は、基本波の一部も透過させる。
【００１６】ＢＢＯ４５は、入射する基本波及び２倍波
から、３倍波あるいは４倍波を発生させる非線形素子
（波長変換素子）である。ＢＢＯ４５は、潮解性が高
く、大気中ではその性能を維持できないため、ケース
（図示せず）等に収められている。ウインドウ４６ａ及
びウインドウ４６ｂは、そのケースに取り付けられてい
る。
から、３倍波あるいは４倍波を発生させる非線形素子
（波長変換素子）である。ＢＢＯ４５は、潮解性が高
く、大気中ではその性能を維持できないため、ケース
（図示せず）等に収められている。ウインドウ４６ａ及
びウインドウ４６ｂは、そのケースに取り付けられてい
る。
【００１７】アッテネータ４７は、λ／２板４７１と、
ポラライザ４７２とを有している。λ／２板４７１は、
λ／２板４３と同様、入射するレーザ光の偏光方向を９
０度回転させる。また、ポラライザ４７２は、グランテ
ーラプリズムであって、特定の直線偏光方向のレーザ光
（波長１０６４ｎｍ，５３２ｎｍ，３５５ｎｍ，２６６
ｎｍ）を透過させる。そして、λ／２板４７１とポララ
イザ４７２との組み合わせにより、出力可変減衰器とし
て機能する。なお、アッテネータ４７は、対応する全て
の波長のレーザ光を減衰させるように構成及び調整され
ている。
ポラライザ４７２とを有している。λ／２板４７１は、
λ／２板４３と同様、入射するレーザ光の偏光方向を９
０度回転させる。また、ポラライザ４７２は、グランテ
ーラプリズムであって、特定の直線偏光方向のレーザ光
（波長１０６４ｎｍ，５３２ｎｍ，３５５ｎｍ，２６６
ｎｍ）を透過させる。そして、λ／２板４７１とポララ
イザ４７２との組み合わせにより、出力可変減衰器とし
て機能する。なお、アッテネータ４７は、対応する全て
の波長のレーザ光を減衰させるように構成及び調整され
ている。
【００１８】フィルターユニット４８は、複数のフィル
ター４８１，４８２，４８３，及び４８４を有してい
る。フィルター４８１及び４８２は、例えば、波長５３
２ｎｍの光のみを透過させる。これら２つのフィルター
４８１及び４８２の透過率は、互いに異なる。また、フ
ィルター４８３及び４８４は、例えば、波長３５５ｎｍ
の光を透過させる。これら２つのフィルター４８３及び
４８４もまた、互いに透過率が異なる。
ター４８１，４８２，４８３，及び４８４を有してい
る。フィルター４８１及び４８２は、例えば、波長５３
２ｎｍの光のみを透過させる。これら２つのフィルター
４８１及び４８２の透過率は、互いに異なる。また、フ
ィルター４８３及び４８４は、例えば、波長３５５ｎｍ
の光を透過させる。これら２つのフィルター４８３及び
４８４もまた、互いに透過率が異なる。
【００１９】エキスパンダー４９は、凹レンズ４９１
と、凸レンズ４９２とを有している。これら２つのレン
ズ間の距離を調整することにより、レーザビームの径が
所定のサイズに拡大され、平行光として出射される。
と、凸レンズ４９２とを有している。これら２つのレン
ズ間の距離を調整することにより、レーザビームの径が
所定のサイズに拡大され、平行光として出射される。
【００２０】レンズ５０は、レーザ光照射位置を特定す
るためのガイド光（図示しない光源からの可視光）を、
このレーザ装置から出射されるレーザ光と同一の光路上
へ出射させるためのガイド光用レンズである。
るためのガイド光（図示しない光源からの可視光）を、
このレーザ装置から出射されるレーザ光と同一の光路上
へ出射させるためのガイド光用レンズである。
【００２１】以上の構成により、図４のレーザ装置で
は、レーザ発振器４１で発生した基本波長のレーザ光か
ら、互いに異なる複数の波長（２倍波、３倍波及び４倍
波）のレーザ光を生成し、そのうちの一の波長のレーザ
光を選択的に出射させることができる。
は、レーザ発振器４１で発生した基本波長のレーザ光か
ら、互いに異なる複数の波長（２倍波、３倍波及び４倍
波）のレーザ光を生成し、そのうちの一の波長のレーザ
光を選択的に出射させることができる。
【００２２】従来のレーザカッタは、上述のレーザ装置
を顕微鏡と組み合わせ、顕微鏡の光学系を通して、顕微
鏡の視野範囲の所定領域にレーザ光を照射することがで
きるようにしてある。
を顕微鏡と組み合わせ、顕微鏡の光学系を通して、顕微
鏡の視野範囲の所定領域にレーザ光を照射することがで
きるようにしてある。
【００２３】
【発明が解決しようとする課題】波長変換に使用される
非線形光学素子は、入射する光の強度が強いほど波長変
換効率が高くなる。そこで、従来のレーザ装置では、非
線形光学素子において効率の良い波長変換を実現するた
め、レーザ発振器からのレーザ光を減衰させることな
く、非線形光学素子に入射させるように構成されてい
る。即ち、従来のレーザ装置では、非線形光学素子によ
り波長変換をした後、波長変換されたレーザ光をアッテ
ネータに入射させるように構成されている。
非線形光学素子は、入射する光の強度が強いほど波長変
換効率が高くなる。そこで、従来のレーザ装置では、非
線形光学素子において効率の良い波長変換を実現するた
め、レーザ発振器からのレーザ光を減衰させることな
く、非線形光学素子に入射させるように構成されてい
る。即ち、従来のレーザ装置では、非線形光学素子によ
り波長変換をした後、波長変換されたレーザ光をアッテ
ネータに入射させるように構成されている。
【００２４】しかしながら、従来のレーザ装置に使用さ
れるアッテネータは、複数のレーザ波長に対応するた
め、グランテーラプリズム（例えば、方解石偏光素子）
を有しているが、グランテーラプリズムの製造は技術的
困難を伴い、高価であるという問題点がある。
れるアッテネータは、複数のレーザ波長に対応するた
め、グランテーラプリズム（例えば、方解石偏光素子）
を有しているが、グランテーラプリズムの製造は技術的
困難を伴い、高価であるという問題点がある。
【００２５】さらに、グランテーラプリズムは、レーザ
光によって損傷を受け易いという問題点もある。
光によって損傷を受け易いという問題点もある。
【００２６】本発明は、小型で、アライメント調整が容
易で、安価な、レーザ発振器の出力を最大限有効に利用
できるレーザ装置を提供することを目的とする。
易で、安価な、レーザ発振器の出力を最大限有効に利用
できるレーザ装置を提供することを目的とする。
【００２７】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、基本波
長を有する第１のレーザ光を出射するレーザ発振器と、
前記第１のレーザ光を波長変換して互いに異なる波長を
有する複数のレーザ光を含む第２のレーザ光に変換する
波長変換手段と、前記第２のレーザ光から一の波長を有
するレーザ光を選択する選択手段とを有するレーザ装置
において、前記レーザ発振器と前記波長変換手段との間
に、前記第１のレーザ光を減衰させるアッテネータを設
けたことを特徴とするレーザ装置が得られる。
長を有する第１のレーザ光を出射するレーザ発振器と、
前記第１のレーザ光を波長変換して互いに異なる波長を
有する複数のレーザ光を含む第２のレーザ光に変換する
波長変換手段と、前記第２のレーザ光から一の波長を有
するレーザ光を選択する選択手段とを有するレーザ装置
において、前記レーザ発振器と前記波長変換手段との間
に、前記第１のレーザ光を減衰させるアッテネータを設
けたことを特徴とするレーザ装置が得られる。
【００２８】具体的には、前記アッテネータは、スィン
フィルムポラライザと１／２波長板とを含むことを特徴
とする。
フィルムポラライザと１／２波長板とを含むことを特徴
とする。
【００２９】また、前記アッテネータの後、好ましくは
直後に、折返しミラーを備えたことを特徴とする。
直後に、折返しミラーを備えたことを特徴とする。
【００３０】ここで、前記レーザ発振器としては、例え
ば、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ等を用いた固体レーザ発振器が
使用できる。
ば、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ等を用いた固体レーザ発振器が
使用できる。
【００３１】本発明のレーザ装置は、顕微鏡と組み合わ
せることによりレーザカッタとして利用できる。
せることによりレーザカッタとして利用できる。
【００３２】また、本発明によれば、レーザ発振器から
発射された基本波長を有する第１のレーザ光を波長変換
手段に導き、該波長変換手段において前記第１のレーザ
光の波長変換を行って、互いに異なる波長を有する複数
のレーザ光を含む第２のレーザ光に変換し、選択手段を
用いて前記第２のレーザ光から一の波長を有するレーザ
光を選択するレーザ波長変換方法において、前記第１の
レーザ光をアッテネータを用いて減衰させた後、前記波
長変換手段に導くようにしたことを特徴とするレーザ波
長変換方法が得られる。
発射された基本波長を有する第１のレーザ光を波長変換
手段に導き、該波長変換手段において前記第１のレーザ
光の波長変換を行って、互いに異なる波長を有する複数
のレーザ光を含む第２のレーザ光に変換し、選択手段を
用いて前記第２のレーザ光から一の波長を有するレーザ
光を選択するレーザ波長変換方法において、前記第１の
レーザ光をアッテネータを用いて減衰させた後、前記波
長変換手段に導くようにしたことを特徴とするレーザ波
長変換方法が得られる。
【００３３】
【作用】アッテネータは、レーザ発振器からの基本波長
を有するレーザ光を減衰させ、減衰させたレーザ光を波
長変換素子へ供給する。このアッテネータは、単一のレ
ーザ光のみを扱うので従来に比べ小型化、低価格化が可
能である。
を有するレーザ光を減衰させ、減衰させたレーザ光を波
長変換素子へ供給する。このアッテネータは、単一のレ
ーザ光のみを扱うので従来に比べ小型化、低価格化が可
能である。
【００３４】波長変換素子は、入射するレーザ光の強度
が強いほど、波長変換効率が高く、逆に入射レーザ光の
強度が弱いほど、波長変換効率は低い。それにもかかわ
らず、このレーザ装置の最小出力は、波長変換素子の上
記特性により、従来よりも小さくすることができる。つ
まり、アッテネータを波長変換素子の前に配置すること
により、レーザ光の出力をより広い範囲で調節可能にで
きる。
が強いほど、波長変換効率が高く、逆に入射レーザ光の
強度が弱いほど、波長変換効率は低い。それにもかかわ
らず、このレーザ装置の最小出力は、波長変換素子の上
記特性により、従来よりも小さくすることができる。つ
まり、アッテネータを波長変換素子の前に配置すること
により、レーザ光の出力をより広い範囲で調節可能にで
きる。
【００３５】また、アッテネータとしてスィンフィルム
ポラライザを使用した場合には、スィンフィルムポララ
イザの板の厚み分、配置される角度（ブリュースター
角）分、及びその屈折率差によって、光軸がズレるとい
う問題が生じるが、アッテネータの後、好ましくは直後
に配置した折り返しミラーにより、この問題は解消され
る。
ポラライザを使用した場合には、スィンフィルムポララ
イザの板の厚み分、配置される角度（ブリュースター
角）分、及びその屈折率差によって、光軸がズレるとい
う問題が生じるが、アッテネータの後、好ましくは直後
に配置した折り返しミラーにより、この問題は解消され
る。
【００３６】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。
施の形態について説明する。
【００３７】図１に、本発明の一実施の形態によるレー
ザ装置を示す。ここで、従来と同一のものには、同一番
号を付し、その説明を省略する。
ザ装置を示す。ここで、従来と同一のものには、同一番
号を付し、その説明を省略する。
【００３８】図１のレーザ装置は、従来と異なるアッテ
ネータ１１を有している。このアッテネータ１１は、λ
／２板１２と、ポラライザ１３とを有している。λ／２
板１２は、従来のλ／２板４７１と同じであるが、ポラ
ライザ１３は、従来のポラライザ４７２と異なり、１０
６４ｎｍの波長のレーザ光に対して特定の直線偏光のレ
ーザ光のみを透過させるスィンフィルムポラライザ、例
えばダイエレクトリックポラライザが用いられる。この
ポラライザ１３は、単一波長のレーザ光のみに対応して
いればよいので、従来のポラライザ４７２に比べ、小型
で、作製が容易であり、安価である。
ネータ１１を有している。このアッテネータ１１は、λ
／２板１２と、ポラライザ１３とを有している。λ／２
板１２は、従来のλ／２板４７１と同じであるが、ポラ
ライザ１３は、従来のポラライザ４７２と異なり、１０
６４ｎｍの波長のレーザ光に対して特定の直線偏光のレ
ーザ光のみを透過させるスィンフィルムポラライザ、例
えばダイエレクトリックポラライザが用いられる。この
ポラライザ１３は、単一波長のレーザ光のみに対応して
いればよいので、従来のポラライザ４７２に比べ、小型
で、作製が容易であり、安価である。
【００３９】また、このアッテネータ１１は、従来と異
なり、波長変換素子の前段に配置されている。詳述する
と、アッテネータ１１は、折り返しミラー４２ａと４２
ｂとの間に配置されており、波長変換素子であるＫＴＰ
４４及びＢＢＯ４５は、λ／２板４３及びウインドウ４
６ａ及び４６ｂとともに、折り返しミラー４２ｂとフィ
ルターユニット４８との間に配置されている。
なり、波長変換素子の前段に配置されている。詳述する
と、アッテネータ１１は、折り返しミラー４２ａと４２
ｂとの間に配置されており、波長変換素子であるＫＴＰ
４４及びＢＢＯ４５は、λ／２板４３及びウインドウ４
６ａ及び４６ｂとともに、折り返しミラー４２ｂとフィ
ルターユニット４８との間に配置されている。
【００４０】本実施の形態によるレーザ装置では、レー
ザ発振器から出射したレーザ光は、アッテネータ１１に
よって減衰を受けた後、波長変換素子（ＫＴＰ４４及び
ＢＢＯ４５）に入射する。そして、波長変換素子で波長
変換されたレーザ光がフィルターユニット４８に入射す
る。
ザ発振器から出射したレーザ光は、アッテネータ１１に
よって減衰を受けた後、波長変換素子（ＫＴＰ４４及び
ＢＢＯ４５）に入射する。そして、波長変換素子で波長
変換されたレーザ光がフィルターユニット４８に入射す
る。
【００４１】ここで、波長変換素子は、入射するレーザ
光の強度が強いほど変換効率が高いという特徴を有して
いる。従って、同一の光強度のレーザ光を、アッテネー
タから波長変換素子の順に通過させた場合と、波長変換
素子からアッテネータの順に通過させた場合とでは、ア
ッテネータにおける減衰率が同じであっても、得られる
レーザ光の強度は、アッテネータから波長変換素子の順
に通過させた場合のほうが弱い。前述のように、波長変
換素子は、入射するレーザ光の強度が強いほど変換効率
が高い、という特徴を有しているので、アッテネータ１
１である程度以上レーザ光を減衰させると、波長変換素
子の波長変換効率は０になる。つまり、本実施の形態に
よるレーザ装置では、出力レーザ光の光強度（出力エネ
ルギー）を、０から最大値まで変化させることができ
る。これは、本実施の形態によるレーザ装置の消光比
が、従来よりも向上していることを意味する。
光の強度が強いほど変換効率が高いという特徴を有して
いる。従って、同一の光強度のレーザ光を、アッテネー
タから波長変換素子の順に通過させた場合と、波長変換
素子からアッテネータの順に通過させた場合とでは、ア
ッテネータにおける減衰率が同じであっても、得られる
レーザ光の強度は、アッテネータから波長変換素子の順
に通過させた場合のほうが弱い。前述のように、波長変
換素子は、入射するレーザ光の強度が強いほど変換効率
が高い、という特徴を有しているので、アッテネータ１
１である程度以上レーザ光を減衰させると、波長変換素
子の波長変換効率は０になる。つまり、本実施の形態に
よるレーザ装置では、出力レーザ光の光強度（出力エネ
ルギー）を、０から最大値まで変化させることができ
る。これは、本実施の形態によるレーザ装置の消光比
が、従来よりも向上していることを意味する。
【００４２】図２に、アッテネータの位置の違いによる
レーザ装置の出力レーザ光（３５５ｎｍ）のエネルギー
変化の違いを示す。ここで、実線２１が、従来のよう
に、ＫＴＰ−ＢＢＯ−アッテネータの順に配置されてい
るレーザ装置の１／２波長板回転角度（アッテネータ
値）に対するレーザ光強度の変化を示したものであり、
実線２２が、本実施の形態による、アッテネータ−ＫＴ
Ｐ−ＢＢＯの順に配置されているレーザ装置の１／２波
長板回転角度（アッテネータ値）に対するレーザ光強度
の変化を示したものである。
レーザ装置の出力レーザ光（３５５ｎｍ）のエネルギー
変化の違いを示す。ここで、実線２１が、従来のよう
に、ＫＴＰ−ＢＢＯ−アッテネータの順に配置されてい
るレーザ装置の１／２波長板回転角度（アッテネータ
値）に対するレーザ光強度の変化を示したものであり、
実線２２が、本実施の形態による、アッテネータ−ＫＴ
Ｐ−ＢＢＯの順に配置されているレーザ装置の１／２波
長板回転角度（アッテネータ値）に対するレーザ光強度
の変化を示したものである。
【００４３】図２から明らかなように、従来のレーザ装
置では、その出力値を０にすることができない。これに
対して、本実施の形態によるレーザ装置によれば、その
出力値は、０から最大値まで変化しており、高い消光比
が実現されている。なお、フィルタユニット４８により
他の波長を有するレーザ光を選択した場合も、同様の結
果が得られる。
置では、その出力値を０にすることができない。これに
対して、本実施の形態によるレーザ装置によれば、その
出力値は、０から最大値まで変化しており、高い消光比
が実現されている。なお、フィルタユニット４８により
他の波長を有するレーザ光を選択した場合も、同様の結
果が得られる。
【００４４】本実施の形態によるレーザ装置は、例えば
図３に示すように顕微鏡に組み合わされ、レーザカッタ
を構成する。このレーザカッタは、ワーク３０を搭載す
るＸステージ３１及びＹステージ３２、光学系ユニット
３３、光学系ユニット３３を上下に移動させるためのＺ
ステージ３４、光学系ユニット３３に結合された照明器
３５、同じく光学系ユニット３３に結合されたＣＣＤカ
メラ３６、ＣＣＤカメラ３６に接続されたモニタ３７、
光学系ユニット３３に結合された本実施の形態によるレ
ーザ装置３８、レーザ装置３８に電源を供給するレーザ
電源３９、及びレーザ電源３９を制御するコントローラ
４０を有している。
図３に示すように顕微鏡に組み合わされ、レーザカッタ
を構成する。このレーザカッタは、ワーク３０を搭載す
るＸステージ３１及びＹステージ３２、光学系ユニット
３３、光学系ユニット３３を上下に移動させるためのＺ
ステージ３４、光学系ユニット３３に結合された照明器
３５、同じく光学系ユニット３３に結合されたＣＣＤカ
メラ３６、ＣＣＤカメラ３６に接続されたモニタ３７、
光学系ユニット３３に結合された本実施の形態によるレ
ーザ装置３８、レーザ装置３８に電源を供給するレーザ
電源３９、及びレーザ電源３９を制御するコントローラ
４０を有している。
【００４５】なお、上記実施の形態では、レーザ発振器
として、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ発振器を用い、基本波長を
１０６４ｎｍとしたが、他の波長のレーザ光を出射させ
るレーザを用いても良い。また、レーザ装置からの出力
レーザ光が、２倍波及び３倍波である場合について説明
したが、より高い高調波であっても良い。
として、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ発振器を用い、基本波長を
１０６４ｎｍとしたが、他の波長のレーザ光を出射させ
るレーザを用いても良い。また、レーザ装置からの出力
レーザ光が、２倍波及び３倍波である場合について説明
したが、より高い高調波であっても良い。
【００４６】また、従来のレーザ装置では、アッテネー
タにグランテーラプリズムが使用されており、この場
合、アッテネータの入射光と出射光との間に光軸のズレ
は生じなかったが、本実施の形態のよるレーザ装置で
は、アッテネータにスィンフィルムポラライザを使用し
ているので、スィンフィルムポラライザの板の厚み分、
配置される角度（ブリュースター角）分、及びその屈折
率差から、入射光と出射光との間で光軸にズレが生じて
しまう。この光軸のズレの問題は、そのズレを考慮した
上で光学設計を行うことにより解消することもできる。
しかし、より単純な構成でこの問題を解決するには、ア
ッテネータの後に折返しミラーを配置し、光軸のズレを
修正するようにすればよい。この折返しミラーは、アッ
テネータの直後に配置することが好ましい。
タにグランテーラプリズムが使用されており、この場
合、アッテネータの入射光と出射光との間に光軸のズレ
は生じなかったが、本実施の形態のよるレーザ装置で
は、アッテネータにスィンフィルムポラライザを使用し
ているので、スィンフィルムポラライザの板の厚み分、
配置される角度（ブリュースター角）分、及びその屈折
率差から、入射光と出射光との間で光軸にズレが生じて
しまう。この光軸のズレの問題は、そのズレを考慮した
上で光学設計を行うことにより解消することもできる。
しかし、より単純な構成でこの問題を解決するには、ア
ッテネータの後に折返しミラーを配置し、光軸のズレを
修正するようにすればよい。この折返しミラーは、アッ
テネータの直後に配置することが好ましい。
【００４７】さらにまた、本実施の形態では、波長変換
素子として、ＫＴＰとＢＢＯとの組み合わせを用いた
が、ＫＴＰを単独で用いてもよい。また、他の波長変換
素子、例えば、ＫＤＰ（ＫＨ2ＰＯ4）やＬＢＯ（ＬｉＢ
3Ｏ5）等の結晶を単独でまたは組み合わせて使用するこ
ともできる。
素子として、ＫＴＰとＢＢＯとの組み合わせを用いた
が、ＫＴＰを単独で用いてもよい。また、他の波長変換
素子、例えば、ＫＤＰ（ＫＨ2ＰＯ4）やＬＢＯ（ＬｉＢ
3Ｏ5）等の結晶を単独でまたは組み合わせて使用するこ
ともできる。
【００４８】
【発明の効果】本発明によれば、アッテネータを波長変
換素子の前段に配置するようにしたことで、小型で、ア
ライメント調整が容易で、安価なレーザ装置を得ること
ができる。
換素子の前段に配置するようにしたことで、小型で、ア
ライメント調整が容易で、安価なレーザ装置を得ること
ができる。
【００４９】また、本発明によれば、アッテネータを波
長変換素子の前段に配置するようにしたことで、出力値
を０から最大値まで変化させ得るレーザ装置が得られ
る。
長変換素子の前段に配置するようにしたことで、出力値
を０から最大値まで変化させ得るレーザ装置が得られ
る。
【００５０】さらに、本発明によれば、種々の発振周波
数のレーザ発振器を、フィルタユニットを交換するだけ
で利用することができる。
数のレーザ発振器を、フィルタユニットを交換するだけ
で利用することができる。
【図１】本発明の一実施の形態によるレーザ装置の構成
図である。
図である。
【図２】図１のレーザ装置と従来のレーザ装置の、１／
２波長板回転角度に対するレーザ光の強度の変化を示す
グラフである。
２波長板回転角度に対するレーザ光の強度の変化を示す
グラフである。
【図３】図１のレーザ装置を顕微鏡に組み込んで構成し
たレーザカッタの概略図である。
たレーザカッタの概略図である。
【図４】従来のレーザ装置の構成図である。
１１ アッテネータ １２ λ／２板 １３ ポラライザ ４１ レーザ発振器 ４２ａ，４２ｂ，４２ｃ，４２ｄ 折り返しミラー ４３ λ／２板 ４４ ＫＴＰ ４５ ＢＢＯ ４６ａ，４６ｂ ウインドウ ４７ アッテネータ ４８ フィルターユニット ４９ エキスパンダー ５０ レンズ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１２年３月７日（２０００．３．７）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正内容】
【発明の名称】 レーザ装置、レーザカッタ、及び
レーザ波長変換方法
レーザ波長変換方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ装置、レー
ザカッタ、及びレーザ波長変換方法に関し、特に、半導
体装置の製造及び試験等に使用されるレーザカッタ、そ
れに用いられる多波長型レーザ装置、及び多波長型レー
ザ波長変換方法に関する。
ザカッタ、及びレーザ波長変換方法に関し、特に、半導
体装置の製造及び試験等に使用されるレーザカッタ、そ
れに用いられる多波長型レーザ装置、及び多波長型レー
ザ波長変換方法に関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００３】図４のレーザ装置は、レーザ発振器４１
と、複数の折り返しミラー４２ａ，４２ｂ，４２ｃ、及
び４２ｄと、λ／２板（１／２波長板）４３と、ＫＴＰ
（ＫＴｉＯＰＯ４結晶：波長変換素子）４４と、ＢＢＯ
（β−ＢａＢ２Ｏ４結晶：波長変換素子）４５と、ＢＢ
Ｏ４５に取り付けられる一対のウインドウ４６ａ及び４
６ｂと、アッテネータ４７と、フィルターユニット４８
と、エキスパンダー４９と、レンズ５０とを有してい
る。
と、複数の折り返しミラー４２ａ，４２ｂ，４２ｃ、及
び４２ｄと、λ／２板（１／２波長板）４３と、ＫＴＰ
（ＫＴｉＯＰＯ４結晶：波長変換素子）４４と、ＢＢＯ
（β−ＢａＢ２Ｏ４結晶：波長変換素子）４５と、ＢＢ
Ｏ４５に取り付けられる一対のウインドウ４６ａ及び４
６ｂと、アッテネータ４７と、フィルターユニット４８
と、エキスパンダー４９と、レンズ５０とを有してい
る。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１０】ポッケルスセル４１６は、電圧を印加する
ことにより、偏向面が９０度回転する変調素子である。
このポッケルスセル４１６は、ポラライザ４１４及びλ
／４板４１５との組み合わせにより、Ｑスイッチ発振を
実現するため、一時的に光を遮断するシャッターとして
動作する。
ことにより、偏向面が９０度回転する変調素子である。
このポッケルスセル４１６は、ポラライザ４１４及びλ
／４板４１５との組み合わせにより、Ｑスイッチ発振を
実現するため、一時的に光を遮断するシャッターとして
動作する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１１】シリンドリカルレンズ４１７は、レーザ光
のビーム断面形状を楕円形から円形に補正する。
のビーム断面形状を楕円形から円形に補正する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１３】折り返しミラー４２ａ，４２ｂ，４２ｃ、
及び４２ｄは、レーザ発振器４１から出射したレーザ光
を反射して、その進路を変更する。ここでは、全て進路
を９０度折り曲げるように配置されている。
及び４２ｄは、レーザ発振器４１から出射したレーザ光
を反射して、その進路を変更する。ここでは、全て進路
を９０度折り曲げるように配置されている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２５】さらに、グランテーラプリズムは、レーザ
光によって損傷を受け易いという問題点がある。またさ
らに、従来のレーザ装置は、波長変換後のレーザ光をア
ッテネータで減衰させているために、レーザ光の最小出
力を０（ゼロ）にすることができないという問題点があ
る。
光によって損傷を受け易いという問題点がある。またさ
らに、従来のレーザ装置は、波長変換後のレーザ光をア
ッテネータで減衰させているために、レーザ光の最小出
力を０（ゼロ）にすることができないという問題点があ
る。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００４１】ここで、波長変換素子は、入射するレーザ
光の強度が強いほど、変換効率が高く、その強度が弱い
ほど変換効率が低くなるという特徴を有している。そこ
で、同一の光強度のレーザ光を、アッテネータから波長
変換素子の順に通過させた場合と、波長変換素子からア
ッテネータの順に通過させた場合とでは、アッテネータ
における減衰率が同じであっても、得られるレーザ光の
強度は、アッテネータから波長変換素子の順に通過させ
た場合の方が弱くなる。その結果、レーザ光をアッテネ
ータから波長変換素子の順に通過させた場合、アッテネ
ータの減衰率を大きくして、ある程度以上レーザ光を減
衰させると、波長変換素子の波長変換光率は０になる。
つまり、本実施の形態によるレーザ装置では、出力レー
ザ光の光強度（出力エネルギー）の最小値を０にするこ
とができる。
光の強度が強いほど、変換効率が高く、その強度が弱い
ほど変換効率が低くなるという特徴を有している。そこ
で、同一の光強度のレーザ光を、アッテネータから波長
変換素子の順に通過させた場合と、波長変換素子からア
ッテネータの順に通過させた場合とでは、アッテネータ
における減衰率が同じであっても、得られるレーザ光の
強度は、アッテネータから波長変換素子の順に通過させ
た場合の方が弱くなる。その結果、レーザ光をアッテネ
ータから波長変換素子の順に通過させた場合、アッテネ
ータの減衰率を大きくして、ある程度以上レーザ光を減
衰させると、波長変換素子の波長変換光率は０になる。
つまり、本実施の形態によるレーザ装置では、出力レー
ザ光の光強度（出力エネルギー）の最小値を０にするこ
とができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正内容】
【００４６】また、従来のレーザ装置では、アッテネー
タにグランテーラプリズムが使用されており、この場
合、アッテネータの入射光と出射光との間に光軸のずれ
は生じなかったが、本実施の形態によるレーザ装置で
は、アッテネータにスィンフィルムポラライザを使用し
ているので、スィンフィルムポラライザの板の厚み分、
配置される角度（ブリュースター角）分、及びその屈折
率差から、入射光と出射光との間で光軸にズレが生じる
ことが有るが、この光軸のずれの問題は、そのずれを考
慮した上で光学設計を行なうことにより解消することが
できる。しかし、より単純な構成でこの問題を解決する
には、アッテネータの後に折り返しミラーを配置し、光
軸のずれを修正すれば良い。この折り返しミラーは、ア
ッテネータの直後に配置することが好ましい。
タにグランテーラプリズムが使用されており、この場
合、アッテネータの入射光と出射光との間に光軸のずれ
は生じなかったが、本実施の形態によるレーザ装置で
は、アッテネータにスィンフィルムポラライザを使用し
ているので、スィンフィルムポラライザの板の厚み分、
配置される角度（ブリュースター角）分、及びその屈折
率差から、入射光と出射光との間で光軸にズレが生じる
ことが有るが、この光軸のずれの問題は、そのずれを考
慮した上で光学設計を行なうことにより解消することが
できる。しかし、より単純な構成でこの問題を解決する
には、アッテネータの後に折り返しミラーを配置し、光
軸のずれを修正すれば良い。この折り返しミラーは、ア
ッテネータの直後に配置することが好ましい。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｓ 3/108 Ｈ０１Ｓ 3/108 Ｆターム(参考） 2K002 AA04 AB12 BA02 BA03 CA02 EA30 HA13 HA20 HA32 4E068 AE00 CA01 CA04 CA06 CB08 CC02 CD05 CD08 DA09 5F072 AB02 AK01 JJ01 JJ08 KK01 KK12 KK30 MM02 PP01 QQ02 RR01 YY08
Claims (7)
- 【請求項１】 基本波長を有する第１のレーザ光を出射
するレーザ発振器と、前記第１のレーザ光を波長変換し
て互いに異なる波長を有する複数のレーザ光を含む第２
のレーザ光に変換する波長変換手段と、前記第２のレー
ザ光から一の波長を有するレーザ光を選択する選択手段
とを有するレーザ装置において、 前記レーザ発振器と前記波長変換手段との間に、前記第
１のレーザ光を減衰させるアッテネータを設けたことを
特徴とするレーザ装置。 - 【請求項２】 前記アッテネータが、スィンフィルムポ
ラライザと１／２波長板とを含むことを特徴とする請求
項１のレーザ装置。 - 【請求項３】 前記アッテネータの後に折返しミラーを
配置したことを特徴とする請求項１または２のレーザ装
置。 - 【請求項４】 前記レーザ発振器が固体レーザ発振器で
あることを特徴とする請求項１、２または３のレーザ装
置。 - 【請求項５】 前記固体レーザ発振器のレーザ媒質が、
Ｎｄ：ＹＡＧであることを特徴とする請求項４のレーザ
装置。 - 【請求項６】 請求項１乃至５のうち何れか一のレーザ
装置と、顕微鏡とを有し、前記選択手段により選択され
たレーザ光が前記顕微鏡の光学系を通して当該顕微鏡の
視野内に供給されるように、前記レーザ装置が前記顕微
鏡に結合されていることを特徴とするレーザカッタ。 - 【請求項７】 レーザ発振器から発射された基本波長を
有する第１のレーザ光を波長変換手段に導き、該波長変
換手段において前記第１のレーザ光の波長変換を行っ
て、互いに異なる波長を有する複数のレーザ光を含む第
２のレーザ光に変換し、選択手段を用いて前記第２のレ
ーザ光から一の波長を有するレーザ光を選択するレーザ
波長変換方法において、 前記第１のレーザ光をアッテネータを用いて減衰させた
後、前記波長変換手段に導くようにしたことを特徴とす
るレーザ波長変換方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33219198A JP3627208B2 (ja) | 1998-11-24 | 1998-11-24 | レーザ装置、レーザカッタ、及びレーザ波長変換方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33219198A JP3627208B2 (ja) | 1998-11-24 | 1998-11-24 | レーザ装置、レーザカッタ、及びレーザ波長変換方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000164950A true JP2000164950A (ja) | 2000-06-16 |
| JP3627208B2 JP3627208B2 (ja) | 2005-03-09 |
Family
ID=18252199
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33219198A Expired - Lifetime JP3627208B2 (ja) | 1998-11-24 | 1998-11-24 | レーザ装置、レーザカッタ、及びレーザ波長変換方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3627208B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002178323A (ja) * | 2000-12-12 | 2002-06-26 | Taiyo Yuden Co Ltd | セラミックグリーンシートの加工装置 |
| JP2010286672A (ja) * | 2009-06-11 | 2010-12-24 | Ntt Electornics Corp | 波長変換レーザ光源 |
| KR101154339B1 (ko) | 2011-09-05 | 2012-06-13 | 옵토켐 (주) | 레이저 빔의 파장 변환기 및 이를 이용한 절단 시스템 |
| US8305681B2 (en) | 2009-08-19 | 2012-11-06 | Lasertec Corporation | Light source apparatus |
-
1998
- 1998-11-24 JP JP33219198A patent/JP3627208B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002178323A (ja) * | 2000-12-12 | 2002-06-26 | Taiyo Yuden Co Ltd | セラミックグリーンシートの加工装置 |
| JP2010286672A (ja) * | 2009-06-11 | 2010-12-24 | Ntt Electornics Corp | 波長変換レーザ光源 |
| US8305681B2 (en) | 2009-08-19 | 2012-11-06 | Lasertec Corporation | Light source apparatus |
| KR101154339B1 (ko) | 2011-09-05 | 2012-06-13 | 옵토켐 (주) | 레이저 빔의 파장 변환기 및 이를 이용한 절단 시스템 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3627208B2 (ja) | 2005-03-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5291503A (en) | Internally stimulated optical parametric oscillator/laser | |
| US7583431B2 (en) | Wavelength conversion optical device, laser light source, and image display optical device | |
| US7463657B2 (en) | Intracavity frequency-tripled CW laser | |
| US6741620B2 (en) | Methods and devices for efficient generation of ultraviolet light | |
| JPH11258645A (ja) | 波長変換装置 | |
| US20170104308A1 (en) | Solid-state laser device based on a twisted-mode cavity and a volume grating | |
| JP3939928B2 (ja) | 波長変換装置 | |
| JP2000150999A (ja) | 波長変換レーザ装置およびレーザ加工装置 | |
| US20110103413A1 (en) | Quasi-continuous wave ultraviolet light source with optimized output characteristics | |
| KR100451117B1 (ko) | 광파라메트릭발진장치 | |
| US20060126675A1 (en) | Solid-state laser device | |
| CA2391806A1 (en) | Device for the frequency conversion of a fundamental laser frequency to other frequencies | |
| EP0654876B1 (en) | Birefrigence-compensated alignment-insensitive frequency doubler | |
| US6836592B2 (en) | Method and apparatus for fiber Bragg grating production | |
| JP3683360B2 (ja) | 偏光制御素子および固体レーザー | |
| JP2002122898A (ja) | コヒーレント光光源、半導体露光装置、レーザ治療装置、レーザ干渉計装置、レーザ顕微鏡装置 | |
| JPH06130328A (ja) | 偏光制御素子および固体レーザー装置 | |
| JP2005275095A (ja) | 光源装置、半導体露光装置、レーザー治療装置、レーザー干渉計装置およびレーザー顕微鏡装置 | |
| JP2000164950A (ja) | レーザ装置、レーザカッタ、及びレーザ波長変換方法 | |
| JP3176682B2 (ja) | 波長可変レーザー装置 | |
| JP2636066B2 (ja) | ＬｉＢ▲下３▼Ｏ▲下５▼赤外光パラメトリック発振器 | |
| US20100220753A1 (en) | Monofrequency intra-cavity frequency-tripled continuous laser | |
| JP2817709B2 (ja) | レーザ装置 | |
| JPH09232665A (ja) | 出力安定化第二高調波光源 | |
| JP2695376B2 (ja) | Ｃｔａ光パラメトリック発振器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020814 |
|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20040206 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040506 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20041126 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081217 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081217 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091217 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091217 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091217 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101217 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101217 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101217 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101217 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111217 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111217 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121217 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121217 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121217 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121217 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131217 Year of fee payment: 9 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |