JP3627208B2 - レーザ装置、レーザカッタ、及びレーザ波長変換方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザ装置、レーザカッタ、及びレーザ波長変換方法に関し、特に、半導体装置の製造及び試験等に使用されるレーザカッタ、それに用いられる多波長型レーザ装置、及び多波長型レーザ波長変換方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の多波長型レーザ装置及び多波長型レーザ装置を用いたレーザカッタとして、特表平10−500628号公報に記載されているものがある。このタイプの多波長型レーザ装置の基本構造を図4に示す。
【0003】
図4のレーザ装置は、レーザ発振器41と、複数の折り返しミラー42a,42b,42c、及び42dと、λ/2板(1/2波長板)43と、KTP(KTiOPO4結晶:波長変換素子)44と、BBO(β−BaB2O4結晶:波長変換素子)45と、BBO45に取り付けられる一対のウインドウ46a及び46bと、アッテネータ47と、フィルターユニット48と、エキスパンダー49と、レンズ50とを有している。
【0004】
レーザ発振器41は、全反射ミラー411、Nd:YAGロッド412、フラッシュランプ413、ポラライザ414、λ/4板(1/4波長板)415、ポッケルスセル416、シリンドリカルレンズ417、及び出力側ミラー418を有している。
【0005】
全反射ミラー411は、レーザ媒質であるNd:YAGロッド412から誘導放出された光を出力側ミラー418との間で往復させ、増幅するための高反射率ミラーである。
【0006】
Nd:YAGロッド412は、YAG(Y3Al5O12)結晶中に、活性媒質としてNd3+が添加されたものである。このNd:YAGロッド412は、フラッシュランプ413からエネルギーを受け取り、特定の波長の光を増幅するレーザ媒質として機能する。Nd:YAGロッド412の、発振中心波長は、1064nmである。
【0007】
フラッシュランプ413は、例えば、Xeガス封入ランプであって、レーザ媒質であるNd:YAGロッド412にレーザ発振に必要な光を供給する。
【0008】
ポラライザ414は、特定の偏光方向の波長(1064nm)のみ透過させる。
【0009】
λ/4板415は、直線偏向を円偏向に、円偏向を直線偏向に変換する。
【0010】
ポッケルスセル416は、電圧を印加することにより、偏向面が90度回転する変調素子である。このポッケルスセル416は、ポラライザ414及びλ/4板415との組み合わせにより、Qスイッチ発振を実現するため、一時的に光を遮断するシャッターとして動作する。
【0011】
シリンドリカルレンズ417は、レーザ光のビーム断面形状を楕円形から円形に補正する。
【0012】
出力側ミラー418は、Nd:YAGロッド412から誘導放出された光を全反射ミラー411との間で往復させ、増幅させるための反射板である。この出力側ミラー418は、全反射ミラーとは異なり、光の一部を透過させる。
【0013】
折り返しミラー42a,42b,42c、及び42dは、レーザ発振器41から出射したレーザ光を反射して、その進路を変更する。ここでは、全て進路を90度折り曲げるように配置されている。
【0014】
λ/2板43は、入射するレーザ光の偏光方向を90度回転させて出射する。
【0015】
KTP44は、入射する基本波から2倍波を発生させる非線形素子、即ち、波長変換素子である。なお、このKTP44は、基本波の一部も透過させる。
【0016】
BBO45は、入射する基本波及び2倍波から、3倍波あるいは4倍波を発生させる非線形素子(波長変換素子)である。BBO45は、潮解性が高く、大気中ではその性能を維持できないため、ケース(図示せず)等に収められている。ウインドウ46a及びウインドウ46bは、そのケースに取り付けられている。
【0017】
アッテネータ47は、λ/2板471と、ポラライザ472とを有している。λ/2板471は、λ/2板43と同様、入射するレーザ光の偏光方向を90度回転させる。また、ポラライザ472は、グランテーラプリズムであって、特定の直線偏光方向のレーザ光(波長1064nm,532nm,355nm,266nm)を透過させる。そして、λ/2板471とポラライザ472との組み合わせにより、出力可変減衰器として機能する。なお、アッテネータ47は、対応する全ての波長のレーザ光を減衰させるように構成及び調整されている。
【0018】
フィルターユニット48は、複数のフィルター481,482,483,及び484を有している。フィルター481及び482は、例えば、波長532nmの光のみを透過させる。これら2つのフィルター481及び482の透過率は、互いに異なる。また、フィルター483及び484は、例えば、波長355nmの光を透過させる。これら2つのフィルター483及び484もまた、互いに透過率が異なる。
【0019】
エキスパンダー49は、凹レンズ491と、凸レンズ492とを有している。これら2つのレンズ間の距離を調整することにより、レーザビームの径が所定のサイズに拡大され、平行光として出射される。
【0020】
レンズ50は、レーザ光照射位置を特定するためのガイド光(図示しない光源からの可視光)を、このレーザ装置から出射されるレーザ光と同一の光路上へ出射させるためのガイド光用レンズである。
【0021】
以上の構成により、図4のレーザ装置では、レーザ発振器41で発生した基本波長のレーザ光から、互いに異なる複数の波長(2倍波、3倍波及び4倍波)のレーザ光を生成し、そのうちの一の波長のレーザ光を選択的に出射させることができる。
【0022】
従来のレーザカッタは、上述のレーザ装置を顕微鏡と組み合わせ、顕微鏡の光学系を通して、顕微鏡の視野範囲の所定領域にレーザ光を照射することができるようにしてある。
【0023】
【発明が解決しようとする課題】
波長変換に使用される非線形光学素子は、入射する光の強度が強いほど波長変換効率が高くなる。そこで、従来のレーザ装置では、非線形光学素子において効率の良い波長変換を実現するため、レーザ発振器からのレーザ光を減衰させることなく、非線形光学素子に入射させるように構成されている。即ち、従来のレーザ装置では、非線形光学素子により波長変換をした後、波長変換されたレーザ光をアッテネータに入射させるように構成されている。
【0024】
しかしながら、従来のレーザ装置に使用されるアッテネータは、複数のレーザ波長に対応するため、グランテーラプリズム(例えば、方解石偏光素子)を有しているが、グランテーラプリズムの製造は技術的困難を伴い、高価であるという問題点がある。
【0025】
さらに、グランテーラプリズムは、レーザ光によって損傷を受け易いという問題点がある。またさらに、従来のレーザ装置は、波長変換後のレーザ光をアッテネータで減衰させているために、レーザ光の最小出力を0(ゼロ)にすることができないという問題点がある。
【0026】
本発明は、小型で、アライメント調整が容易で、安価な、レーザ発振器の出力を最大限有効に利用できるレーザ装置を提供することを目的とする。
【0027】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、基本波長を有する第1のレーザ光を出射するレーザ発振器と、前記第1のレーザ光を波長変換して互いに異なる波長を有する複数のレーザ光を含む第2のレーザ光に変換する非線形光学素子と、前記第2のレーザ光から一の波長を有するレーザ光を選択する選択手段とを有するレーザカッタ用のレーザ装置において、前記レーザ発振器と前記非線形光学素子との間に、前記第1のレーザ光を減衰させるアッテネータを設けたことを特徴とするレーザ装置が得られる。
【0028】
具体的には、前記アッテネータは、偏光子と1/2波長板とを含むことを特徴とする。
【0029】
また、前記アッテネータの後、好ましくは直後に、折返しミラーを備えたことを特徴とする。
【0030】
ここで、前記レーザ発振器としては、例えば、Nd:YAGレーザ等を用いた固体レーザ発振器が使用できる。
【0031】
本発明のレーザ装置は、顕微鏡と組み合わせることによりレーザカッタとして利用できる。
【0032】
また、本発明によれば、レーザ発振器から発射された基本波長を有する第1のレーザ光を非線形光学素子に導き、該非線形光学素子において前記第1のレーザ光の波長変換を行って、互いに異なる波長を有する複数のレーザ光を含む第2のレーザ光に変換し、選択手段を用いて前記第2のレーザ光から一の波長を有するレーザ光を選択するレーザカッタのためのレーザ波長変換方法において、前記第1のレーザ光をアッテネータを用いて減衰させた後、前記非線形光学素子に導くようにしたことを特徴とするレーザ波長変換方法が得られる。
【0033】
【作用】
アッテネータは、レーザ発振器からの基本波長を有するレーザ光を減衰させ、減衰させたレーザ光を波長変換素子へ供給する。このアッテネータは、単一のレーザ光のみを扱うので従来に比べ小型化、低価格化が可能である。
【0034】
波長変換素子は、入射するレーザ光の強度が強いほど、波長変換効率が高く、逆に入射レーザ光の強度が弱いほど、波長変換効率は低い。それにもかかわらず、このレーザ装置の最小出力は、波長変換素子の上記特性により、従来よりも小さくすることができる。つまり、アッテネータを波長変換素子の前に配置することにより、レーザ光の出力をより広い範囲で調節可能にできる。
【0035】
また、アッテネータとして薄膜偏光子を使用した場合には、薄膜偏光子の板の厚み分、配置される角度(ブリュースター角)分、及びその屈折率差によって、光軸がズレるという問題が生じるが、アッテネータの後、好ましくは直後に配置した折り返しミラーにより、この問題は解消される。
【0036】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【0037】
図1に、本発明の一実施の形態によるレーザ装置を示す。ここで、従来と同一のものには、同一番号を付し、その説明を省略する。
【0038】
図1のレーザ装置は、従来と異なるアッテネータ11を有している。このアッテネータ11は、λ/2板12と、ポラライザ13とを有している。λ/2板12は、従来のλ/2板471と同じであるが、ポラライザ13は、従来のポラライザ472と異なり、1064nmの波長のレーザ光に対して特定の直線偏光のレーザ光のみを透過させる薄膜偏光子、例えばダイエレクトリックポラライザが用いられる。このポラライザ13は、単一波長のレーザ光のみに対応していればよいので、従来のポラライザ472に比べ、小型で、作成が容易であり、安価である。
【0039】
また、このアッテネータ11は、従来と異なり、波長変換素子の前段に配置されている。詳述すると、アッテネータ11は、折り返しミラー42aと42bとの間に配置されており、波長変換素子であるKTP44及びBBO45は、λ/2板43及びウインドウ46a及び46bとともに、折り返しミラー42bとフィルターユニット48との間に配置されている。
【0040】
本実施の形態によるレーザ装置では、レーザ発振器から出射したレーザ光は、アッテネータ11によって減衰を受けた後、波長変換素子(KTP44及びBBO45)に入射する。そして、波長変換素子で波長変換されたレーザ光がフィルターユニット48に入射する。
【0041】
ここで、波長変換素子は、入射するレーザ光の強度が強いほど、変換効率が高く、その強度が弱いほど変換効率が低くなるという特徴を有している。そこで、同一の光強度のレーザ光を、アッテネータから波長変換素子の順に通過させた場合と、波長変換素子からアッテネータの順に通過させた場合とでは、アッテネータにおける減衰率が同じであっても、得られるレーザ光の強度は、アッテネータから波長変換素子の順に通過させた場合の方が弱くなる。その結果、レーザ光をアッテネータから波長変換素子の順に通過させた場合、アッテネータの減衰率を大きくして、ある程度以上レーザ光を減衰させると、波長変換素子の波長変換光率は0になる。つまり、本実施の形態によるレーザ装置では、出力レーザ光の光強度(出力エネルギー)の最小値を0にすることができる。
【0042】
図2に、アッテネータの位置の違いによるレーザ装置の出力レーザ光(355nm)のエネルギー変化の違いを示す。ここで、実線21が、従来のように、KTP−BBO−アッテネータの順に配置されているレーザ装置の1/2波長板回転角度(アッテネータ値)に対するレーザ光強度の変化を示したものであり、実線22が、本実施の形態による、アッテネータ−KTP−BBOの順に配置されているレーザ装置の1/2波長板回転角度(アッテネータ値)に対するレーザ光強度の変化を示したものである。
【0043】
図2から明らかなように、従来のレーザ装置では、その出力値を0にすることができない。これに対して、本実施の形態によるレーザ装置によれば、その出力値は、0から最大値まで変化しており、高い消光比が実現されている。なお、フィルタユニット48により他の波長を有するレーザ光を選択した場合も、同様の結果が得られる。
【0044】
本実施の形態によるレーザ装置は、例えば図3に示すように顕微鏡に組み合わされ、レーザカッタを構成する。このレーザカッタは、ワーク30を搭載するXステージ31及びYステージ32、光学系ユニット33、光学系ユニット33を上下に移動させるためのZステージ34、光学系ユニット33に結合された照明器35、同じく光学系ユニット33に結合されたCCDカメラ36、CCDカメラ36に接続されたモニタ37、光学系ユニット33に結合された本実施の形態によるレーザ装置38、レーザ装置38に電源を供給するレーザ電源39、及びレーザ電源39を制御するコントローラ40を有している。
【0045】
なお、上記実施の形態では、レーザ発振器として、Nd:YAGレーザ発振器を用い、基本波長を1064nmとしたが、他の波長のレーザ光を出射させるレーザを用いても良い。また、レーザ装置からの出力レーザ光が、2倍波及び3倍波である場合について説明したが、より高い高調波であっても良い。
【0046】
また、従来のレーザ装置では、アッテネータにグランテーラプリズムが使用されており、この場合、アッテネータの入射光と出射光との間に光軸のずれは生じなかったが、本実施の形態によるレーザ装置では、アッテネータに薄膜偏光子を使用しているので、薄膜偏光子の板の厚み分、配置される角度(ブリュースター角)分、及びその屈折率差から、入射光と出射光との間で光軸にズレが生じることが有るが、この光軸のずれの問題は、そのずれを考慮した上で光学設計を行なうことにより解消することができる。しかし、より単純な構成でこの問題を解決するには、アッテネータの後に折り返しミラーを配置し、光軸のずれを修正すれば良い。この折り返しミラーは、アッテネータの直後に配置することが好ましい。
【0047】
さらにまた、本実施の形態では、波長変換素子として、KTPとBBOとの組み合わせを用いたが、KTPを単独で用いてもよい。また、他の波長変換素子、例えば、KDP(KH2PO4)やLBO(LiB3O5)等の結晶を単独でまたは組み合わせて使用することもできる。
【0048】
【発明の効果】
本発明によれば、アッテネータを波長変換素子の前段に配置するようにしたことで、小型で、アライメント調整が容易で、安価なレーザ装置を得ることができる。
【0049】
また、本発明によれば、アッテネータを波長変換素子の前段に配置するようにしたことで、出力値を0から最大値まで変化させ得るレーザ装置が得られる。
【0050】
さらに、本発明によれば、種々の発振周波数のレーザ発振器を、フィルタユニットを交換するだけで利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態によるレーザ装置の構成図である。
【図2】図1のレーザ装置と従来のレーザ装置の、1/2波長板回転角度に対するレーザ光の強度の変化を示すグラフである。
【図3】図1のレーザ装置を顕微鏡に組み込んで構成したレーザカッタの概略図である。
【図4】従来のレーザ装置の構成図である。
【符号の説明】
11 アッテネータ
12 λ/2板
13 ポラライザ
41 レーザ発振器
42a,42b,42c,42d 折り返しミラー
43 λ/2板
44 KTP
45 BBO
46a,46b ウインドウ
47 アッテネータ
48 フィルターユニット
49 エキスパンダー
50 レンズ
Claims (7)
- 基本波長を有する第1のレーザ光を出射するレーザ発振器と、前記第1のレーザ光を波長変換して互いに異なる波長を有する複数のレーザ光を含む第2のレーザ光に変換する非線形光学素子と、前記第2のレーザ光から一の波長を有するレーザ光を選択する選択手段とを有するレーザカッタ用のレーザ装置において、
前記レーザ発振器と前記非線形光学素子との間に、前記第1のレーザ光を減衰させるアッテネータを設けたことを特徴とするレーザ装置。 - 前記アッテネータが、偏光子と1/2波長板とを含むことを特徴とする請求項1のレーザ装置。
- 前記アッテネータの後に折返しミラーを配置したことを特徴とする請求項1または2のレーザ装置。
- 前記レーザ発振器が固体レーザ発振器であることを特徴とする請求項1、2または3のレーザ装置。
- 前記固体レーザ発振器のレーザ媒質が、Nd:YAGであることを特徴とする請求項4のレーザ装置。
- 請求項1乃至5のうち何れか一のレーザ装置と、顕微鏡とを有し、前記選択手段により選択されたレーザ光が前記顕微鏡の光学系を通して当該顕微鏡の視野内に供給されるように、前記レーザ装置が前記顕微鏡に結合されていることを特徴とするレーザカッタ。
- レーザ発振器から発射された基本波長を有する第1のレーザ光を非線形光学素子に導き、該非線形光学素子において前記第1のレーザ光の波長変換を行って、互いに異なる波長を有する複数のレーザ光を含む第2のレーザ光に変換し、選択手段を用いて前記第2のレーザ光から一の波長を有するレーザ光を選択するレーザカッタのためのレーザ波長変換方法において、
前記第1のレーザ光をアッテネータを用いて減衰させた後、前記非線形光学素子に導くようにしたことを特徴とするレーザ波長変換方法。
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