JP3322724B2 - 光パラメトリック発振器 - Google Patents

光パラメトリック発振器

Info

Publication number
JP3322724B2
JP3322724B2 JP18836093A JP18836093A JP3322724B2 JP 3322724 B2 JP3322724 B2 JP 3322724B2 JP 18836093 A JP18836093 A JP 18836093A JP 18836093 A JP18836093 A JP 18836093A JP 3322724 B2 JP3322724 B2 JP 3322724B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
crystal
angle
parametric oscillator
optical crystal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP18836093A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0745895A (ja
Inventor
英夫 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hamamatsu Photonics KK
Original Assignee
Hamamatsu Photonics KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hamamatsu Photonics KK filed Critical Hamamatsu Photonics KK
Priority to JP18836093A priority Critical patent/JP3322724B2/ja
Publication of JPH0745895A publication Critical patent/JPH0745895A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3322724B2 publication Critical patent/JP3322724B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Lasers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光パラメトリック効果
を利用した光パラメトリック発振器(OPO)に関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来の一般的な光パラメトリック発振器
の構成を図14(a)に示す。同図より、従来の光パラ
メトリック発振器は、直方体に加工された非線形光学結
晶100を共振器ミラー101,102間に配置し、こ
の非線形光学結晶100に励起光を入射して発振させて
いた。
【0003】ところで、従来の光パラメトリック発振器
では、非線形光学結晶100を回転させて波長変換を行
う場合、図14(b)に示すように共振器ミラー10
1,102間を往復しているシグナル光及びアイドラー
光の一部が結晶端面でフレネル反射を起こし、シグナル
光等の損失が生じるといった問題があった。
【0004】この結晶端面でのフレネル反射損失を軽減
させるために、従来の光パラメトリック発振器では、端
面に無反射コーティングを施したり、屈折率が結晶のも
のに近い値を持つ液体中(位相整合溶液)に非線形光学
結晶100を入れるなどの工夫を行っていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、光パラ
メトリック発振器は一般に発振波長範囲が広く、例えば
BBO(β相ホウ酸バリウム,β−BaB2 4 )結晶
を用いた光パラメトリック発振器では、354.7nm
で励起した場合の発振波長は400nm〜2600nm
である。このため、この領域すべてに有効な無反射コー
ティングを行うことは非常に難しい。さらにコーティン
グの層数が増えると、レーザー損傷を受け易くなる。
【0006】また、非線形光学結晶の屈折率に近い溶液
を得ることは概して難しいため、位相整合溶液に非線形
光学結晶を入れても十分にフレネル反射損失を軽減させ
ることはできなかった。さらに溶液によって非線形光学
結晶が何らかの反応を受け、結晶が劣化することもあっ
た。また溶液が励起波長や発振波長で光を吸収する特性
を持っていることもあった。
【0007】このように、従来の光パラメトリック発振
器では、上記の方法を用いても結晶端面でのフレネル反
射による損失を完全になくすことはできなかった。
【0008】本発明は、結晶端面でのフレネル反射を防
止して、効率良くレーザー発振させる光パラメトリック
発振器を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の光パラメトリック発振器は、対向する菱形
の2面と長方形の4面で囲まれた略直方体の形状を有
し、長方形の4面の内、対向する2面が端面である非線
形光学結晶と、非線形光学結晶の2つの端面の外側に配
置され共振器を構成する一対の反射鏡と、非線形光学結
晶の端面でない長方形の2面を貫通し、反射鏡で反射し
た発振光の光軸に垂直で、且つ非線形光学結晶の菱形の
2面と平行な軸を中心に、非線形光学結晶を回転させて
発振波長を調整する第1の駆動装置と、非線形光学結晶
の菱形の2面を貫通する法線を軸として非線形光学結晶
を第1の駆動装置による回転に応じて回転させて、非線
形光学結晶の端面に入射する発振光の光軸とこの端面の
法線との角度がブリュースタ角となるように制御する第
2の駆動装置と、を備えることを特徴とする。
【0010】
【作用】本発明の光パラメトリック発振器によれば、発
振光は、第1の駆動装置の駆動による非線形光学結晶の
回転により、波長が変化させられると共に、第1の駆動
装置による非線形光学結晶の回転に応じた第2の駆動装
置の駆動による非線形光学結晶の回転により、非線形光
学結晶の端面の法線と発振光の光軸との角度がブリュー
スタ角になるように非線形光学結晶の端面に入射する。
【0011】ここで、発振光が媒質Iから媒質IIに入
射する際に、発振光の光軸と入射面の法線とが、 ξB =90°−tan-1(nI /nII) …… nI :媒質Iの屈折率,nII:媒質IIの屈折率 を満たす角度ξB であるときに、ブリュースタ角である
という。図12に示すように、発振光の光軸と入射面の
法線との角度がブリュースタ角であれば、p偏光の光が
非線形光学結晶の端面で反射する反射率はほぼ0%とな
る。
【0012】発振光は反射鏡間の一本の光路を往復して
いるので、図13に示すように、発振光が非線形光学結
晶に入射して屈折する角度(入射角θ1 、屈折角θ2
と逆の角度(出射角θ2 、屈折角θ1 )で発振光は非線
形光学結晶から出射する。
【0013】ここで、非線形光学結晶に入射する発振光
の入射角θ1 がブリュースタ角であれば、非線形光学結
晶から出射する発振光の出射角θ2 もブリュースタ角と
なる。これは、次の式から導ける。
【0014】発振光の入射角θ1 と出射角θ2 とは、反
射鏡と非線形光学結晶の間の媒質(空気)の屈折率をn
1 、非線形光学結晶の屈折率をn2 とすると、 n1 sinθ1 =n2 sinθ2 の関係がある。この式を変形すると、 n2 /n1 =sinθ1 /sinθ2 …… が得られる。また、角度θ1 がブリュースタ角であるの
で、式より、 θ1 =90°−tan-1(n1 /n2 ) …… となる。式から、 tan-1(n1 /n2 )=90°−θ1 となる。この式の両辺のtanをとると、 n1 /n2 =tan(90°−θ1 ) =sin(90°−θ1 )/cos(90°−θ1 ) =cosθ1 /sinθ1 =1/tanθ1 が得られる。分子と分母を逆にして、 tanθ1 =n2 /n1 …… となり、この式から、 θ1 =tan-1(n2 /n1 ) …… が得られる。
【0015】式の左辺と式の右辺が共通するので、 sinθ1 /sinθ2 =tanθ1 =sinθ1 /cosθ1 となる。したがって、 sinθ2 =cosθ1 が得られる。この式を変形して、 sinθ2 =sin(90°−θ1 ) θ2 =90°−θ1 となる。この式に式を代入して、 θ2 =90°−tan-1(n2 /n1 ) …… が得られる。式は式と同じである。よって、端面か
ら出射する発振光の光軸とこの端面の法線との角度θ2
が、ブリュースタ角であることが導き出せた。
【0016】このように、非線形光学結晶の両端面に入
射する発振光の光軸とこの端面の法線との角度θ1 がブ
リュースタ角になるように端面が加工されていれば、こ
れらの端面から出射する発振光の光軸とこの端面の法線
との角度θ2 もブリュースタ角となる。
【0017】一対の反射鏡を発振光が一往復する間に、
端面での発振光の入出射は計4回あるが、いずれもブリ
ュースタ角を満たす角度で入出射するので、端面での反
射率はほぼ0%となる。このため、発振効率が大幅に向
上する。
【0018】
【実施例】以下、本発明の一実施例について添付図面を
参照して説明する。図1は本実施例に係る光パラメトリ
ック発振器の構成を示す斜視図である。また、図2
(a)は本実施例に係る光パラメトリック発振器の構成
を示す上面図、図2(b)は本実施例に係る光パラメト
リック発振器の構成を示す正面図である。図1および図
2(a)(b)より、本実施例の光パラメトリック発振
器は、2つの端面を斜めに加工した非線形光学結晶であ
るBBO(β相ホウ酸バリウム,β−BaB2 4 )結
晶10と、BBO結晶10の端面10a,10bの外側
に配置され、共振器を構成する反射鏡20,21とを備
えている。さらに、結晶回転軸(θROT )を中心にBB
O結晶10を左右に回転させるアクチュエーター30
と、結晶あおり軸(δ)を中心にBBO結晶10を上下
に回転させるアクチュエーター40とを備えている。
【0019】例えばNd:YAGレーザーの第3高調波
354.7nmを励起光50としてBBO結晶10の端
面10aに入射すると、500nmの波長のシグナル波
と1220.6nmの波長のアイドラー波を有する発振
光51が反射鏡20,21間を往復する。この往復動作
によって増幅・発振が行われ、BBO結晶10の端面1
0bからコヒーレント光52が出射される。
【0020】ここで、励起光50を異常光、発振光51
を常光としたタイプ−1の位相整合の場合について考え
ると、それぞれの光の波長の屈折率は、 励起光 λp =354.7nm np e =1.670 発振光(シグナル波) λs =500nm ns o =1.678 発振光(アイドラー波) λi =1220.1nm ni o =1.652 となり、位相整合角は、約θ=30°となる。nの添字
oとeは常光,異常光を意味する。励起光50は図面に
平行に、また発振光51は図面に垂直に偏光している。
【0021】ここで、図3(a)(b)に示すような端
面が垂直にカットされた非線形光学結晶を用いた従来の
光パラメトリック発振器と比較すると、従来の光パラメ
トリック発振器は一回の端面への入出射につき、 R={(nx o −1)/(nx o +1)}2 〜6.2% (x=s or i)のフレネル反射損失が生じる。一
往復ではこの値の4倍の約24.8%となる。
【0022】本実施例の光パラメトリック発振器は、端
面10a,10bの法線と端面10a,10bに入射す
る発振光51の光軸との角度がブリュースタ角となるよ
うに端面10a,10bが加工されているので、端面1
0a,10bでの反射を1%以下に抑えることができ
る。この場合のブリュースタ角ξB は、 ξB =90°−tan-1(1/nx o )〜59° である。
【0023】上述したように、反射鏡20,21間を発
振光51が一往復する場合、BBO結晶10への入出射
が4回あり、いずれの入出射の角度もブリュースタ角と
なるので、発振光51が一往復する間の反射率の合計は
4%以下である。したがって、本実施例の光パラメトリ
ック発振器は、端面が垂直にカットされた非線形光学結
晶を用いた従来の光パラメトリック発振器に比べて格段
に反射損失が減少する。
【0024】なお、従来のレーザー発振器の中には、図
4に示すように、レーザ媒質の端面を発振光に対してブ
リュースタ角になるように加工したものが存在する(文
献:D.E Spence et al. Optics Letter Vol.16 No.1 p.
42〜44 Jan 1(1991))。本実施例は、この従来技術を光
パラメトリック発振器に応用したものである。
【0025】次に、光パラメトリック発振器の発振波長
とブリュースター角の関係について考察する。本実施例
に係るタイプ−1位相整合の光パラメトリック発振器に
波長355nmの励起光50を入射した場合、発振波長
(λi )とブリュースタ角(ξB )の関係を測定したと
ころ、次のような結果となった。
【0026】 発振波長 屈折率 結晶のカット角 ブリュースタ角 λi (nm) nx o θ(deg) ξB (deg) 410 1.619 24.1 59.4 470 1.6816 28.6 59.3 500 1.678 30.0 59.2 700 1.6649 32.9 59.0 719 1.6641 32.9 59.0 1220 1.652 30.0 58.8 1446 1.6483 28.6 58.8 2630 1.624 24.1 58.4 この関係を図5のグラフに示す。同図より、ブリュース
タ角は58.4°〜59.4°の範囲にあり、結晶がξ
B =59°の切り出された端面であるとして反射率を計
算すると、いずれもほぼ0%となることが判る。
【0027】本実施例の光パラメトリック発振器では、
アクチュエーター30を駆動させてBBO結晶10を左
右に回転させ、結晶回転角θROT を変化させることがで
きる。この結晶回転角θROT の変化に連動して、発振光
51の波長が変化する。BBO結晶10の端面10a,
10bがθ=30°でカットされている場合、±10°
程度BBO結晶10を回転させることができる。BBO
結晶10の回転により、結晶回転角θROT が変化したと
きの端面10aへの励起光50の入射角度ξを求める
と、 となる。したがって、結晶回転角θROT の変化につれて
励起光50が端面10a,10bにブリュースタ角で入
射するように、アクチュエーター40を駆動させてあお
り角δを調整する必要がある。
【0028】あおり角δは、アクチュエーター40を駆
動する制御装置(図示せず)のメモリにあらかじめ記録
しておいて発振波長に合わせて調節しても良いし、ま
た、発振光(コヒーレント光)または反射光の強度を計
測し、この測定結果に基づいてアクチュエーター40を
駆動させて調整する方法でも良い。
【0029】図6,図7は、発振光等の強度を測定して
あおり角δを調整する機構を備えた装置構成を示す図で
ある。図6に示す光パラメトリック発振器は、コヒーレ
ント光52の光強度を測定してあおり角δを調整する装
置である。この装置は、図1に示した光パラメトリック
発振器の構成に、コヒーレント光52の一部を反射させ
るハーフミラー60と、ハーフミラー60で反射した光
の中の励起光の成分を遮断する励起光カットフィルター
61と、反射したコヒーレント光52の光強度を検出す
る検出素子62とを備えている。さらに、検出素子62
で検出した光強度の検出値からコヒーレント光52の光
強度が最大になるためのあおり角δを計算する演算回路
63と、演算回路63での演算結果に基づいてアクチュ
エーター40を駆動させる駆動回路64とを備えてい
る。
【0030】このように構成されているため、検出素子
62で検出されるコヒーレント光52の光強度が最大に
なるようにあおり角δを調整することができる。なお、
ハーフミラー60、励起光カットフィルター61、検出
素子62を用いてコヒーレント光52の光強度を測定す
る代わりに、ハーフミラー65、励起光カットフィルタ
ー66、検出素子67を用いて発振光51の光強度を測
定してあおり角δを調整する構成であってもよい。
【0031】図7に示す光パラメトリック発振器は、端
面10aでの反射光70の光強度を測定してあおり角δ
を調整する装置である。この装置は、図1に示した光パ
ラメトリック発振器の構成に、端面10aで反射した反
射光70の中の励起光の成分を遮断する励起光カットフ
ィルター71と、励起光カットフィルター71を透過し
た反射光70の光強度を検出する検出素子72とを備え
ている。さらに、検出素子72で検出した光強度の検出
値から反射光70の光強度が最小になるためのあおり角
δを計算する演算回路73と、演算回路73での演算結
果に基づいてアクチュエーター40を駆動させる駆動回
路74とを備えている。このように構成されているた
め、検出素子72で検出される反射光70の光強度が最
小になるようにあおり角δを調整することができる。
【0032】このように、結晶回転角θROT およびあお
り角δを調整することにより、BBO結晶10の端面1
0a,10bでの反射損失が減少し、コヒーレント光5
2の出力エネルギーが増大する。図8に、端面が垂直に
カットされた非線形光学結晶を用いた従来の光パラメト
リック発振器と、本実施例の光パラメトリック発振器と
での出力エネルギーの違いを示す。同図より、本実施例
の光パラメトリック発振器の方が、発振領域全体で出力
エネルギーが増大し、且つその変化がなだらかであるこ
とが判る。
【0033】図9は、本発明の応用例で、端面を斜めに
加工した2個のBBO結晶80,81を共振器ミラー2
0,21内に配置した例である。同図のように配置して
も、反射損失による発振効率の低下が生じない。本応用
例では、BBO結晶80とBBO結晶81とを同じ位相
整合角になるように配置することにより、互いに発振波
長λs ,λi に対するアンプ結晶として機能させてい
る。
【0034】また、BBO結晶80とBBO結晶81の
角度が異なれば、BBO結晶80ではλs,1 ,λ
i,1 が、BBO結晶81ではλs,2 ,λi,2 がそれぞれ
出力され、4つの波長で発振することになる。
【0035】したがって、3個のBBO結晶82〜84
を用いれば、図10に示すように、R,G,Bの3色レ
ーザー光源となる。励起光を繰返し60Hzで入射すれ
ば、カラーレーザーディスプレーとして用いることがで
きる。それぞれのBBO結晶82〜84の位相整合角を
わずかに変えれば、R,G,Bの波長を変化させること
ができるため、色再現性を向上できるだけでなく、もと
の画像と全く違った配色にすることも可能である。
【0036】なお本実施例では、BBO結晶を例に出し
て、タイプ−1位相整合の光パラメトリック発振器につ
いて述べたが、同じくタイプ−2位相整合でも有効であ
る。ただし、タイプ−2では、シグナル波とアイドラー
波の偏光方向が直交しているため、どちらかの発振光に
対して結晶端面がブリュースタ角になるように調整する
必要がある。この場合、図11に示すように、一方は端
面で反射されるため、これを出力光として利用すること
ができる。
【0037】また、BBO結晶10の他に、KTP(K
TiOPO4 ),LBO(LiB35 ),LN,Mg
OドープLN(LiNbO3 )などの非線形光学結晶を
用いてもよい。
【0038】さらに、本発明は光パラメトリック増幅
器、高調波発生器、和周波および差周波発生器等にも応
用できる。
【0039】
【発明の効果】本発明の光パラメトリック発振器であれ
ば、発振光は、第1の駆動装置の駆動による非線形光学
結晶の回転により、波長が変化させられると共に、第1
の駆動装置による非線形光学結晶の回転に応じた第2の
駆動装置の駆動による非線形光学結晶の回転により、非
線形光学結晶の端面の法線と発振光の光軸との角度がブ
リュースタ角になるように非線形光学結晶の端面に入射
する。このため、発振波長範囲内のあらゆる光におい
て、端面での反射率はほぼ0%となり、発振効率が大幅
に向上する。
【0040】このように出力エネルギーが増大するの
で、光パラメトリック発振器の発振しきい値を下げるこ
とができる。
【0041】また、反射鏡間に複数の非線形光学結晶を
配置できるため、発振エネルギーを増大させる、あるい
は多波長を同時に発振させることが可能にある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施例に係る光パラメトリック発振器の構成
を示す斜視図である。
【図2】本実施例に係る光パラメトリック発振器の構成
を示す平面図である。
【図3】従来の光パラメトリック発振器の構成を示す平
面図である。
【図4】従来のレーザー発振器の構成を示す平面図であ
る。
【図5】発振光のブリュースタ角と屈折率の関係を示す
図である。
【図6】あおり角δを調整する機構を備えた装置構成を
示す平面図である。
【図7】あおり角δを調整する機構を備えた装置構成を
示す平面図である。
【図8】発振波長と出力エネルギーの関係を示す図であ
る。
【図9】本発明の応用例の構成を示す平面図である。
【図10】本発明の応用例の構成を示す平面図である。
【図11】タイプ−2位相整合の光パラメトリック発振
器k構成を示す平面図である。
【図12】入射角と反射率との関係を示す図である。
【図13】入射光の光路を示す図である。
【図14】従来の光パラメトリック発振器の構成を示す
平面図である。
【符号の説明】
10,80〜84,90…BBO結晶、10a,10b
…端面、20,21…反射鏡、30,40…アクチュエ
ーター、50…励起光、51…発振光、52…コヒーレ
ント光、60,65…ハーフミラー、61,66,71
…励起光カットフィルター、62,67,72…検出素
子、63,73…演算回路、64,74…駆動回路、7
0…反射光。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01S 3/00 - 3/30 G02F 1/35 JICSTファイル(JOIS)

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 対向する菱形の2面と長方形の4面で囲
    まれた略直方体の形状を有し、長方形の4面の内、対向
    する2面が端面である非線形光学結晶と、 前記非線形光学結晶の2つの端面の外側に配置され共振
    器を構成する一対の反射鏡と、 前記非線形光学結晶の端面でない長方形の2面を貫通
    し、前記反射鏡で反射した発振光の光軸に垂直で、且つ
    前記非線形光学結晶の菱形の2面と平行な軸を中心に、
    前記非線形光学結晶を回転させて発振波長を調整する第
    1の駆動装置と、 前記非線形光学結晶の菱形の2面を貫通する法線を軸と
    して前記非線形光学結晶を前記第1の駆動装置による回
    転に応じて回転させて、前記非線形光学結晶の端面に入
    射する発振光の光軸とこの端面の法線との角度がブリュ
    ースタ角となるように制御する第2の駆動装置と、 を備えることを特徴とする光パラメトリック発振器。
  2. 【請求項2】 前記反射鏡の間には、端面同士を対向さ
    せた複数の前記非線形光学結晶が設けられていることを
    特徴とする請求項1記載の光パラメトリック発振器。
JP18836093A 1993-07-29 1993-07-29 光パラメトリック発振器 Expired - Fee Related JP3322724B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18836093A JP3322724B2 (ja) 1993-07-29 1993-07-29 光パラメトリック発振器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18836093A JP3322724B2 (ja) 1993-07-29 1993-07-29 光パラメトリック発振器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0745895A JPH0745895A (ja) 1995-02-14
JP3322724B2 true JP3322724B2 (ja) 2002-09-09

Family

ID=16222265

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18836093A Expired - Fee Related JP3322724B2 (ja) 1993-07-29 1993-07-29 光パラメトリック発振器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3322724B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19623477C1 (de) * 1996-06-12 1997-09-25 Wallenstein Richard Pof Dr Optischer parametrischer Oszillator
JP3983024B2 (ja) * 2001-10-12 2007-09-26 株式会社トプコン レーザ発振装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0745895A (ja) 1995-02-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0712183A2 (en) Wavelength stabilized light source
KR100272196B1 (ko) 레이저 광 발생장치
CA2203732C (en) Optically parametric oscillator and wavelength-tunable laser system
JP2824884B2 (ja) 偏光制御素子および固体レーザー装置
EP1180717B1 (en) Optical harmonic generator
JP3683360B2 (ja) 偏光制御素子および固体レーザー
JP3322724B2 (ja) 光パラメトリック発振器
EP0820130B1 (en) Laser beam emitting apparatus
JP2636066B2 (ja) LiB▲下3▼O▲下5▼赤外光パラメトリック発振器
JPH04137775A (ja) 半導体レーザ励起固体レーザ
JPH07281140A (ja) 電気光学変調器
JP3627208B2 (ja) レーザ装置、レーザカッタ、及びレーザ波長変換方法
JPH0669569A (ja) 光波長変換装置
JPS63185084A (ja) 光波長可変レ−ザ装置
JP2754991B2 (ja) 波長変換装置
JP2000114633A (ja) 波長変換固体レーザ装置
JPH06216454A (ja) 第2高調波発生方法及びその装置
JPH05235456A (ja) レーザー装置
JPH07106682A (ja) 短波長光源
WO2023026217A1 (en) Intracavity harmonic generation with layered nonlinear optic
JPH06175181A (ja) 波 長 可 変 レ ー ザ 装 置
JPH06196792A (ja) 第2高調波発生装置
JPH06104512A (ja) チタンサファイアレーザ発振装置
JPH0415969A (ja) 半導体レーザ励起固体レーザ
JPH06350173A (ja) 偏光および縦モード制御素子並びに固体レーザー装置

Legal Events

Date Code Title Description
S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313532

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090628

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100628

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110628

Year of fee payment: 9

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees