KR101748782B1 - 모니터링이 가능한 휘발성 유해가스 처리장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유입부 및 유출부를 갖는 본체; 상기 유입부 및 상기 유출부 사이에 배치되어, 필터 공간을 갖는 필터 하우징과 상기 필터 공간 내에 배열되는 복수의 필터 셀을 구비하여 상기 유입부를 통해 유입되는 미처리 가스의 휘발성 유해물질을 흡착할 수 있게 형성되는 필터부; 상기 유출부를 향하는 상기 필터부의 일면을 따라 배치되고, 상기 처리 가스가 배출되는 상기 필터 셀을 향해 배치되는 가스 흡입구를 구비하여 상기 필터부를 통과하는 처리 가스를 수집할 수 있게 형성되는 가스 수집부; 및 상기 가스 수집부를 통해 수집되는 상기 처리 가스의 성분을 검출할 수 있게 형성되는 가스 검사부;를 포함하고, 상기 가스 수집부는, 상기 복수의 필터 셀 사이의 경계를 따라 설치되며, 상기 가스 흡입구와 상기 가스 검사부를 연결시키도록 형성되는 가스 이송관을 더 포함하는, 모니터링이 가능한 휘발성 유해가스 처리장치에 관한 것이다.

Description

모니터링이 가능한 휘발성 유해가스 처리장치{DEVICE FOR PROCESSING VOLATILE ORGANIC GAS ENABLING MONITORING A FILTER}
본 발명은 휘발성 유해가스의 정화시 이용되는 필터의 상태 또는 교체 여부를 모니터링 할 수 있는 휘발성 유해가스 처리장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체, LCD 등의 생산공정에서는 휘발성 유기 화합물(VOC:Volatile Organic Compounds)이 사용되거나 배출된다.
VOC는 대기 중에서 질소산화물과 함께 광화학반응을 일으켜 오존 및 팬(PAN: Peroxyacetyl Nitrate) 등 광화학 산화성 물질을 생성시켜 광화학 스모그를 유발하는 물질이다. 이러한 VOC는 대기 오염물질이며 발암성을 지닌 광화학산화물의 전구물질이기도 하다. 또한, 지구 온난화의 원인물질이며 악취를 포함한다. 따라서, VOC를 사용하거나 배출되는 공장에서는 이를 정화하기 위한 처리장치가 구비된다.
휘발성 유해물질은 가스와 같은 기체 상태로 배출됨에 따라, 이를 제거하기 위해서는 정화 장치에 필터를 구비하여, 해당 유해물질을 제거할 수 있다.
필터는 지속적인 유해물질의 흡착이 이루어지는 경우 흡착능이 저하된다. 따라서, 필터의 교체가 원활하게 이루어지지 않으면, 휘발성 유해물질이 정화되지 않고 외부로 배출될 수 있다.
이와 같은 문제점을 해결하기 위해 대부분의 VOC 처리장치는 필터의 재생 장치를 두고 있어 일정 스테이지에서는 흡착된 VOC를 제거하여 필터를 재생시킨다.
그럼에도 필터는 시간이나 운전 조건에 따라 노후화되는데, 필터의 보수 또는 교체시기는 적절하게 이루어질 필요가 있다.
본 발명의 목적은 필터의 상태를 효율적으로 판단할 수 있는 모니터링이 가능한 휘발성 유해가스 처리장치를 제공하는 것이다.
상술한 목적을 실현하기 위해 본 발명의 일 실시예에 따른 모니터링이 가능한 휘발성 유해가스 처리장치는, 유입부 및 유출부를 갖는 본체; 상기 유입부 및 상기 유출부 사이에 배치되어, 필터 공간을 갖는 필터 하우징과 상기 필터 공간 내에 배열되는 복수의 필터 셀을 구비하여 상기 유입부를 통해 유입되는 미처리 가스의 휘발성 유해물질을 흡착할 수 있게 형성되는 필터부; 상기 유출부를 향하는 상기 필터부의 일면을 따라 배치되고, 상기 처리 가스가 배출되는 상기 필터 셀을 향해 배치되는 가스 흡입구를 구비하여 상기 필터부를 통과하는 처리 가스를 수집할 수 있게 형성되는 가스 수집부; 및 상기 가스 수집부를 통해 수집되는 상기 처리 가스의 성분을 검출할 수 있게 형성되는 가스 검사부;를 포함하고, 상기 가스 수집부는, 상기 복수의 필터 셀 사이의 경계를 따라 설치되며, 상기 가스 흡입구와 상기 가스 검사부를 연결시키도록 형성되는 가스 이송관을 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 필터 셀은, 전체 영역 중 일 영역에 대해 탈착 가능하게 형성되는 샘플 필터;를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 가스 검사부는, 상기 필터 셀로부터 분리되는 상기 샘플 필터의 성분을 기준값과 비교하여 잔존 수명을 출력할 수 있게 형성될 수 있다.
여기서, 상기 가스 흡입구는, 개구측의 테두리를 따라 상기 필터 셀을 향해 연장되는 밀착부;를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 가스 흡입구는, 사용 상태에서 개구가 상기 필터 셀을 향하고, 비사용 상태에서 상기 개구가 상기 처리 가스의 진행 방향과 평행하게 회전될 수 있게 형성될 수 있다.
여기서, 상기 가스 흡입구는, 동일한 상기 필터 셀에 대하여 서로 다른 영역을 향하도록 배치되는 제1 가스 흡입구 및 제2 가스 흡입구를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 필터 셀은, 상기 가스 흡입구와 대면하는 영역에 형성되는 오목부를 포함하고, 상기 가스 흡입구는, 상기 오목부에 수용되도록 배치될 수 있다.
여기서, 상기 필터 하우징의 상기 필터 공간을 복수로 구획하도록 형성되는 구획부를 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 가스 수집부는, 상기 구획부를 따라 배치될 수 있다.
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상기와 같이 구성되는 본 발명에 관련된 모니터링이 가능한 휘발성 유해가스 처리장치에 의하면, 필터의 상태를 실시간으로 분석할 수 있다.
또한, 필터를 통과하는 처리 가스를 선택적으로 수집하고, 수집된 처리 가스를 통해 필터 상태를 분석할 수 있다.
또한, 필터의 일 부분만을 분리하여 이를 검사함으로써 필터 상태를 분석할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 모니터링이 가능한 휘발성 유해가스 처리장치(100)의 구조의 설명하기 위한 개념도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 필터부(130), 가스 수집부(150), 및 가스 검사부(170)의 구조를 설명하기 위한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 흡입구(151)의 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 밀착부(152)를 구비한 가스 흡입구(151)를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 가스 흡입구(251)의 회전 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 동일한 필터 셀(335)에 대하여 다른 영역을 향하는 복수의 가스 흡입구(351a, 351b)를 갖는 가스 수집부(350)를 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 샘플 필터(437)를 갖는 필터 셀(435)을 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 필터 셀(535)의 오목부(535a)에 가스 흡입구(551)이 배치되는 구조를 설명하기 위한 도면이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 모니터링이 가능한 휘발성 유해가스 처리장치에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 본 명세서에서는 서로 다른 실시예라도 동일·유사한 구성에 대해서는 동일·유사한 참조번호를 부여하고, 그 설명은 처음 설명으로 갈음한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 모니터링이 가능한 휘발성 유해가스 처리장치(100)의 구조의 설명하기 위한 개념도이다.
도시된 바와 같이, 휘발성 유해가스 처리장치(100)는 유입부(A1)와 유출부(A2)를 갖는 본체(110) 내부에 필터부(130)가 배치된다. 따라서, 유입부(A1)를 통해 유입되는 미처리 가스(G1)는 필터부(130)를 통과하여 필터부(130)를 통해 휘발성 유해물질이 제거된 처리 가스(G2)가 유출부(A2)로 배출될 수 있다.
이때, 유출부(A2)를 향하는 필터부(130)의 일면에는 가스 검사부(170)와 연결되는 가스 수집부(150)가 배치된다. 가스 수집부(150)는 필터부(130)를 통과하는 처리 가스(G2) 중 일부를 수집할 수 있다. 이렇게 수집되는 처리 가스(G2)는 가스 검사부(170)로 이송된다.
가스 검사부(170)는 이송된 처리 가스(G2)의 성분 검사를 실시하여, 휘발성 유해물질의 함유량 정보를 출력할 수 있다.
이와 같은 구성에 따르면, 휘발성 유해가스 처리장치(100)는 필터부(130)에 의해 여과된 처리 가스(G2)의 성분 검사 결과를 출력할 수 있다. 따라서, 관리자는 해당 성분 검사 결과를 기초하여 필터부(130)의 교체 여부를 신속하게 판단할 수 있다.
이상은, 모니터링이 가능한 휘발성 유해가스 처리장치의 개략적인 구조에 관하여 설명하였다. 도 2 및 도 3에서는 필터부, 가스 수집부, 및 가스 검사부에 대하여 상세히 설명하도록 한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 필터부(130), 가스 수집부(150), 및 가스 검사부(170)의 구조를 설명하기 위한 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 흡입구(151)의 구조를 설명하기 위한 도면이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 밀착부(152)를 구비한 가스 흡입구(151)를 설명하기 위한 도면이다.
먼저 도 2에 도시된 바와 같이, 미처리 가스(G1)의 휘발성 유해물질을 흡착하고 처리 가스(G2)를 수집 및 검사하기 하기 위한 구성으로, 필터부(130), 구획부(140), 가스 수집부(150), 가스 밸브(160), 및 가스 검사부(170)를 포함할 수 있다.
필터부(130)는 미처리 가스(G1)의 휘발성 유해물질을 흡착할 수 있다. 이를 위해 필터부(130)는 필터 하우징(131) 및 필터 셀(135)을 포함할 수 있다.
필터 하우징(131)은 필터부(130)의 외관을 형성할 수 있다. 필터 하우징(131)의 내부에는 필터 셀(135)이 수용될 수 있는 필터 공간(FA)이 형성될 수 있다. 필터 공간(FA)은 유입부(도1, A1 이하 생략) 및 유출부(도2, A2 이하 생략) 방향으로 개방된 공간일 수 있다. 본 실시예에서의 필터 하우징(131)은 사각 형상으로 형성되었으나, 본체(도1, 110)의 형상에 따라 다른 형상으로도 형성될 수 있다.
필터 셀(135)은 미처리 가스(G1)의 휘발성 유해물질을 흡착할 수 있다. 예를 들어, 필터 셀(135)은 제올라이트 재질의 허니컴 구조로 이루어질 수 있다. 필터 셀(135)은 복수로 이루어져 필터 공간(FA)에 배열될 수 있다. 필터 셀(135) 형상은 다양하게 적용될 수 있고, 이에 따라 필터 셀(135)의 배열 구조가 변화될 수 있다. 본 실시예에서는 필터 셀(135)이 사각형으로 이루어져 격자형으로 배열될 수 있다. 이렇게 배열되는 복수의 필터 셀(135)은 인접하는 필터 셀(135) 사이에 경계가 형성될 수 있다.
구획부(140)는 필터 하우징(131)의 내부 공간을 복수로 구획할 수 있다. 다시말해, 구획부(140)는 하나의 내부 공간을 격벽 구조인 복수의 필터 공간(FA)으로 구획하여, 필터 셀(135)이 서로 다른 필터 공간(FA)에 수납되도록 할 수 있다. 따라서, 도 2에서와 같이, 필터 셀(135)은 구획부(140)에 의해 구획된 각 필터 공간(FA)에 수납될 수 있다.
가스 수집부(150)는 유출부를 향하는 필터부(130)의 일면을 따라 배치되어 필터부(130)를 통과하는 처리 가스(G2)를 수집할 수 있다. 이때, 가스 수집부(150)는 필터 하우징(131)에 구획부(140)가 배치되는 경우에는 구획부(140)를 따라 설치될 수 있다. 또한, 구획부(140)가 없이 복수의 필터 셀(135)이 연속되게 배열된 상태에서는 필터 셀(135) 사이의 경계를 따라 설치될 수 있다. 이러한, 가스 수집부(150)는 가스 흡입구(151), 밀착부(152), 및 가스 이송관(153)을 포함할 수 있다.
가스 흡입구(151)는 도 3에처럼 개구가 유출부를 향하는 필터 셀(135)을 향하도록 배치될 수 있다. 따라서, 가스 흡입구(151)는 개구가 위치한 영역으로 이동되는 처리 가스(G2)를 수집할 수 있다.
밀착부(152)는 도 4에서와 같이 개구측의 테두리를 따라 필터 셀(135)을 향해 연장될 수 있다. 구체적으로 밀착부(152)는 필터 셀(135)을 향해 반경이 커지는 깔대기 형상으로 형성될 수 있다. 이러한 밀착부(152)를 구비하는 가스 흡입구(151)는 필터 셀(135)을 통과하는 처리 가스(G2)를 보다 용이하게 수집할 수 있다.
가스 이송관(153)은 유출부를 향하는 필터부(130)의 일면을 따라 배치되어 가스 흡입구(151)와 가스 검사부(170)를 연결시킬 수 있다. 따라서, 가스 이송관(153)은 가스 흡입구(151)를 통해 수집되는 처리 가스(G2)를 가스 검사부(170)로 이동시키는 통로 역할을 할 수 있다. 이러한 가스 이송관(153)은 각각의 가스 흡입구(151)와 연결되는 제1 이송관(153a), 각각의 제1 이송관(153a)과 연결되는 제2 이송관(153b)을 포함할 수 있다.
가스 밸브(160)는 처리 가스(G2)가 가스 검사부(170)으로 인입되는 것을 선택적으로 차단할 수 있다. 이를 위해, 가스 밸브(160)는 가스 검사부(170)을 향하는 가스 이송관(153)의 일측에 설치될 수 있다. 또한, 가스 밸브(160)는 메인 밸브와 바이패스 밸브로 구성되어 메인 벨브의 고장 시, 용이하게 대처할 수도 있다.
가스 검사부(170)는 가스 수집부(150)를 통해 수집되는 처리 가스(G2)의 성분을 검출할 수 있다. 다시말해, 가스 검사부(170)는 가스 수집부(150)를 통해 수집되는 처리 가스(G2)가 가스 이송관(153)을 통해 이송되는 경우, 해당 처리 가스(G2)의 성분을 분석하여 휘발성 유해물질의 함량 정도를 분석할 수 있다.
또한, 본 실시예에서는 도시하지 않았으나, 휘발성 유해가스 처리장치(도1, 100)는 상술한 구성에 더불어 이송관 세정부, 가스 이동 제어부, 디스플레이부, 스피커부, 및 통신부를 더 포함할 수 있다.
이송관 세정부는 가스 이송관(153)의 내부를 세정할 수 있다. 예를 들어, 이송관 세정부는 가스 이송관(153)의 일단과 연결되어 가스 이송관(153)의 내부를 향해 세정액이나 세정 가스를 분사할 수 있다. 가스 이송관(153)은 지속적인 처리 가스(G2)의 이송 시, 휘발성 유해물질의 흡착으로 내부가 오염되거나 통로 상의 굴곡이 형성될 수 있다. 따라서, 이송관 세정부를 통해 주기적으로 가스 이송관(153) 내부를 세정할 수 있다.
가스 이동 제어부는 가스 이송관(153)으로 이동되는 처리 가스(G2)의 이동을 제한할 수 있다. 예를 들어, 가스 이동 제어부는 가스 이송관(153) 내부를 선택적으로 개폐할 수 있는 밸브로 이루어질 수 있다. 따라서, 처리 가스(G2)에 대한 검사가 필요하지 않는 경우에는 처리 가스(G2)의 수집이 필요치 않으므로 가스 이동 제어부를 폐쇄하여 처리 가스(G2)가 가스 검사부(170)로 이동되는 것을 차단할 수있다. 또한, 가스 이동 제어부는 가스 흡입구(151)를 선택적으로 개폐하는 전자식 마개로 구성되어 전기적인 구성들을 통합 제어하는 제어부에 의해 제어될 수도 있다.
디스플레이부는 가스 검사부(170)에서 실시되는 처리 가스(G2)의 성분 검사 결과를 표시할 수 있다. 따라서, 디스플레이부는 관리지에게 성분 검사 결과를 시각적으로 안내할 수 있다.
스피커부는 가스 검사부(170)에서 실시되는 처리 가스(G2)의 성분 검사 결과나 휘발성 유해가스 처리장치(100)의 전반적인 동작에 대한 안내를 음성이나 경고음으로 출력할 수 있다. 예를 들어, 성분 검사 결과 필터 셀(135)의 교체가 시급한 상황인 경우 스피커부는 경고음을 출력하거나 이에 대한 안내 음성을 출력하여 관리자에게 알릴 수 있다.
통신부는 성분 검사 결과를 관리자의 이동 통신 단말기로 전송할 수 있다. 따라서, 관리자는 현장에 아닌 외부에서도 필터 셀(135)의 상태를 자신의 이동 통신 단말기로 확인할 수 있다.
이상은 필터부, 가스 수집부, 및 가스 검사부 등의 구성에 대하여 설명하였다. 도 5에서는 회전 동작되는 가스 흡입구에 대하여 설명하도록 한다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 가스 흡입구(251)의 회전 동작을 설명하기 위한 도면이다.
먼저 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이, 필터 셀(235)을 통과하는 처리 가스(G2)를 검사하기 위한 사용 상태에서는 가스 흡입구(251)의 개구가 필터 셀(235)를 향하도록 배치된다. 다시말해, 가스 흡입구(251)의 개구가 처리 가스(G2)의 이동 방향에 수직되도록 배치됨에 따라, 처리 가스(G2)가 가스 흡입구(251)의 내부로 수집될 수 있다.
도 5의 (b)에서처럼 필터 셀(235)에 대한 검사가 필요치 않은 비사용 상태에서는 가스 흡입구(251)의 개구가 처리 가스(G2)의 진행 방향과 평행되도록 가스 흡입구(251)가 회전될 수 있다. 이때, 가스 흡입구(251)는, 제1 이송관(도2, 153a 이하생략)이 제2 이송관(도2, 153b 이하생략)을 축으로 회전되는 동작에 따라 같이 회전되거나, 제2 이송관이 자체적으로 회전되어 가스 흡입구(251) 및 제1 이송관이 같이 회전될 수도 있다. 이러한 회전을 위해 제1 이송관 또는 제2 이송관은 회전 구동부를 포함할 수 있다.
이와 같이 비사용 상태에서 가스 흡입구(251)의 개구가 처리 가스(G2)와 평행되도록 회전되는 경우, 처리 가스(G2)와 가스 흡입구(251) 간의 충돌이 발생되지 않아 처리 가스(G2)가 유출부(도1, A2)로 향하는 이동 흐름이 보다 원활해질 수 있다.
이상은, 회전 가능한 가스 흡입구에 대하여 설명하였다. 도 6에서는 동일한 필터 셀에 대하여 다른 영역을 향하는 복수의 가스 흡입구에 대하여 설명하도록 한다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 동일한 필터 셀(335)에 대하여 다른 영역을 향하는 복수의 가스 흡입구(351a, 351b)를 갖는 가스 수집부(350)를 설명하기 위한 도면이다
도시된 바와 같이, 본 실시예의 필터부(330) 및 가스 검사부(370)는 도 1 내지 도 4의 필터부(도1, 130) 및 가스 검사부(도1, 170)와 동일하나 가스 수집부(350)에서 일부 차이점이 있다.
가스 수집부(350)는 동일한 필터 셀(335)에 대하여 서로 다른 영역을 향하도록 배치되는 제1 가스 흡입구(351a) 및 제2 가스 흡입구(351b)를 포함할 수 있다. 다시말해, 단일 필터 셀(335)의 서로 다른 영역을 향하는 복수의 가스 흡입구(351a, 351b)를 포함할 수 있다.
본 실시예에서는 하나의 필터 셀(335)의 2영역에 대하여 복수의 가스 흡입구(351a, 351b)가 각각 배치될 수 있다.
이러한 경우, 도 2 내지 도 4에서 상술한 가스 이동 제어부가 각 가스 흡입구(351a, 351b)에 설치될 수 있다. 따라서, 우선 제1 가스 흡입구(351a)만을 개방하여 처리 가스를 검사할 수 있다. 이때, 이상이 없는 경우(기준값 범위 조건 충족) 제1 가스 흡입구(351a)를 폐쇄하고 제2 가스 흡입구(351b)를 개방하여 처리 가스를 재검사할 수 있다.
이와 같은 검사 방법에 의하면, 필터 셀(335)의 다 영역에 대한 검사가 이루어질 수 있어, 보다 효율적으로 필터부의 교체 여부를 판단할 수 있다.
여기서, 제1 가스 흡입구(351a) 및 제2 가스 흡입구(351b)는 동일한 제1 이송관(353a)을 공유하거나 서로 다른 이송관과 각각 연결될 수 있다.
이상은 동일 필터 셀의 다른 영역을 향해 배치되는 복수의 가스 흡입구에 대하여 설명하였다. 도 7에서는 필터 셀에서 분리되는 샘플 필터에 대하여 설명하도록 한다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 샘플 필터(437)를 갖는 필터 셀(435)을 설명하기 위한 도면이다.
도시된 바와 같이, 필터 셀(435)은 전체 영역 중 일 영역에 대해 탈착 가능하게 형성되는 샘플 필터(437)를 포함할 수 있다. 이를 위해 필터 셀(435)은 샘플 필터(437)가 탈착되는 탈착 공간(DA)이 형성될 수 있다.
탈착 공간(DA)은 필터 셀(435)의 일면 및 타면을 관통하도록 형성되며, 양 측면에는 샘플 필터(437)가 고정될 수 있는 고정홈(435a)이 형성될 수 있다.
샘플 필터(437)는 탈착 공간(DA)을 따라 탈착되며, 양 측면에는 탄성 돌기(437a)가 형성될 수 있다. 따라서, 탈착 공간(DA)에 수납되는 경우, 탄성 돌기(437a)가 고정홈(435a)에 끼움되어 고정될 수 있다. 또한, 본 실시예에서는 도시하지 않았으나, 샘플 필터(437)의 일면에는 손잡이가 돌출 형성될 수 있다. 관리자는 해당 손잡이를 잡아당기는 동작을 통해 샘플 필터(437)를 필터 셀(435)로부터 분리시킬 수 있다. 여기서, 손잡이는 탄성 돌기(437a)와 연동되어 손잡이에 외력이 가해지는 경우, 외부로 돌출된 관성 돌기(437a)가 샘플 필터(437) 내부로 인입될 수 있다. 이를 통해 고정홈(435a)에 고정된 샘플 필터(437)가 분리될 수 있다.
이러한 샘플 필터(437)를 구비하는 경우, 도 1 내지 도 4에서와 같이 가스 수집부(도1, 150)를 별도로 구비하지 않을 수 있다. 다시말해, 필터 셀(435)의 검사가 요구되는 경우, 샘플 필터(437)만을 분리하고 이를 가스 검사부(470)로 검사할 수 있다. 가스 검사부(470)는 샘플 필터(437)의 성분을 기준값과 비교하여 잔존 수명을 출력할 수 있다.
필터 셀(435)로부터 샘플 필터(437)가 분리되어 탈착 공간(DA)이 개방되는 경우, 탈착 공간(DA)에는 샘플 필터(437)와 동일한 규격의 임시 필터를 결합하여 검사시간 동안 휘발성 유해가스의 정화 작업이 지속되도록 할 수 있다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 필터 셀(535)의 오목부(535a)에 가스 흡입구(551)이 배치되는 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도시된 바와 같이, 필터 셀(535)은 가스 흡입구(551)에 대응되는 영역이 내부 방향으로 오목되게 형성되는 오목부(535a)를 포함할 수 있다. 이때, 가스 흡입구(551)은 오목부(535a)에 수용되도록 배치되어 필터 셀(535)를 통과하는 처리 가스(G2)를 수집할 수 있다. 또한, 가스 흡입구(551)와 연결되는 제1 이송관(553a) 역시, 오목부(535a)에 수용될 수 있다. 본 실시예에서는, 가스 흡입구(551)가 오목부(535a)의 표면과 이격되었으나, 이에 한정된 것은 아니며, 서로 접촉하도록 배치될 수도 있다.
상술한 배치 관계를 갖는 경우, 가스 흡입구(551) 및 제1 이송관(553a)이 필터 셀(535)의 내부 또는 외부면과 동일 선상이 배치되어, 외부로 돌출되는 구조를 배제할 수 있다.
상기와 같은 모니터링이 가능한 휘발성 유해가스 처리장치는 위에서 설명된 실시예들의 구성과 작동 방식에 한정되는 것이 아니다. 상기 실시예들은 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 구성될 수도 있다.
100: 휘발성 유해가스 처리장치 A1: 유입부
110: 본체 A2: 유출부
130: 필터부 FA: 필터 공간
140: 구획부 DA: 탈착 공간
150: 가스 수집부 G1: 미처리 가스
170: 가스 검사부 G2: 처리 가스

Claims (13)

  1. 유입부 및 유출부를 갖는 본체;
    상기 유입부 및 상기 유출부 사이에 배치되어, 필터 공간을 갖는 필터 하우징과 상기 필터 공간 내에 배열되는 복수의 필터 셀을 구비하여 상기 유입부를 통해 유입되는 미처리 가스의 휘발성 유해물질을 흡착할 수 있게 형성되는 필터부;
    상기 유출부를 향하는 상기 필터부의 일면을 따라 배치되고, 처리 가스가 배출되는 상기 필터 셀을 향해 배치되는 가스 흡입구를 구비하여 상기 필터부를 통과하는 처리 가스를 수집할 수 있게 형성되는 가스 수집부; 및
    상기 가스 수집부를 통해 수집되는 상기 처리 가스의 성분을 검출할 수 있게 형성되는 가스 검사부;를 포함하고,
    상기 가스 수집부는, 상기 복수의 필터 셀 사이의 경계를 따라 설치되며, 상기 가스 흡입구와 상기 가스 검사부를 연결시키도록 형성되는 가스 이송관을 더 포함하는, 모니터링이 가능한 휘발성 유해가스 처리장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 필터 셀은,
    전체 영역 중 일 영역에 대해 탈착 가능하게 형성되는 샘플 필터;를 포함하는, 모니터링이 가능한 휘발성 유해가스 처리장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 가스 검사부는,
    상기 필터 셀로부터 분리되는 상기 샘플 필터의 성분을 기준값과 비교하여 잔존 수명을 출력할 수 있게 형성되는, 모니터링이 가능한 휘발성 유해가스 처리장치.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 가스 흡입구는,
    개구측의 테두리를 따라 상기 필터 셀을 향해 연장되는 밀착부;를 포함하는, 모니터링이 가능한 휘발성 유해가스 처리장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 가스 흡입구는,
    사용 상태에서 개구가 상기 필터 셀을 향하고, 비사용 상태에서 상기 개구가 상기 처리 가스의 진행 방향과 평행하게 회전될 수 있게 형성되는, 모니터링이 가능한 휘발성 유해가스 처리장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 가스 흡입구는,
    동일한 상기 필터 셀에 대하여 서로 다른 영역을 향하도록 배치되는 제1 가스 흡입구 및 제2 가스 흡입구를 포함하는, 모니터링이 가능한 휘발성 유해가스 처리장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 필터 셀은,
    상기 가스 흡입구와 대면하는 영역에 형성되는 오목부를 포함하고,
    상기 가스 흡입구는,
    상기 오목부에 수용되도록 배치되는, 모니터링이 가능한 휘발성 유해가스 처리장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 필터 하우징의 상기 필터 공간을 복수로 구획하도록 형성되는 구획부를 더 포함하는, 모니터링이 가능한 휘발성 유해가스 처리장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 가스 수집부는,
    상기 구획부를 따라 배치되는, 모니터링이 가능한 휘발성 유해가스 처리장치.
  12. 삭제
  13. 삭제
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102123642B1 (ko) * 2018-12-14 2020-06-16 연세대학교 원주산학협력단 흡착제의 실시간 성능 분석을 위한 유해물질 저감장치 및 이의 흡착제 성능 분석방법
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000185215A (ja) * 1998-12-22 2000-07-04 Daikin Ind Ltd 吸着材に吸着された揮発性有害化学物質の量を計測する方法および揮発性有害化学物質除去用の空気清浄装置
JP2009125670A (ja) * 2007-11-22 2009-06-11 Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute 吸着槽交換時期を監視するシステム及びこれを具備する揮発性有機化合物廃ガス処理装置
JP2011161301A (ja) * 2010-02-04 2011-08-25 Mitsubishi Rayon Co Ltd 排ガス中の揮発性有機溶剤の回収装置とその回収方法
JP2012066250A (ja) * 2012-01-06 2012-04-05 Jfe Engineering Corp 揮発性有機化合物の除去・回収方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000185215A (ja) * 1998-12-22 2000-07-04 Daikin Ind Ltd 吸着材に吸着された揮発性有害化学物質の量を計測する方法および揮発性有害化学物質除去用の空気清浄装置
JP2009125670A (ja) * 2007-11-22 2009-06-11 Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute 吸着槽交換時期を監視するシステム及びこれを具備する揮発性有機化合物廃ガス処理装置
JP2011161301A (ja) * 2010-02-04 2011-08-25 Mitsubishi Rayon Co Ltd 排ガス中の揮発性有機溶剤の回収装置とその回収方法
JP2012066250A (ja) * 2012-01-06 2012-04-05 Jfe Engineering Corp 揮発性有機化合物の除去・回収方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20240062185A (ko) 2022-10-28 2024-05-09 고등기술연구원연구조합 고압가스에 함유된 유해가스 제거시스템

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