KR101746605B1 - System for transferring cassette - Google Patents

System for transferring cassette Download PDF

Info

Publication number
KR101746605B1
KR101746605B1 KR1020160028741A KR20160028741A KR101746605B1 KR 101746605 B1 KR101746605 B1 KR 101746605B1 KR 1020160028741 A KR1020160028741 A KR 1020160028741A KR 20160028741 A KR20160028741 A KR 20160028741A KR 101746605 B1 KR101746605 B1 KR 101746605B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cassette
unit
plate
gripping
grip
Prior art date
Application number
KR1020160028741A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
유재명
강진모
추연희
Original Assignee
주식회사 신성이엔지
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 신성이엔지 filed Critical 주식회사 신성이엔지
Priority to KR1020160028741A priority Critical patent/KR101746605B1/en
Priority to CN201610272951.3A priority patent/CN107176449B/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101746605B1 publication Critical patent/KR101746605B1/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773Conveying cassettes, containers or carriers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/902Devices for picking-up and depositing articles or materials provided with drive systems incorporating rotary and rectilinear movements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67712Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations the substrate being handled substantially vertically
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67715Changing the direction of the conveying path
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67748Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber horizontal transfer of a single workpiece
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67751Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber vertical transfer of a single workpiece
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68707Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68714Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
    • H01L21/68735Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by edge profile or support profile
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68714Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
    • H01L21/68764Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a movable susceptor, stage or support, others than those only rotating on their own vertical axis, e.g. susceptors on a rotating caroussel
    • H01L51/56
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02Articles
    • B65G2201/0235Containers

Abstract

본 발명은 카세트 이송 시스템에 관한 것으로, 슬롯 형태로 형성되는 복수의 그리핑 브라켓과 대향하여 배치된 한 쌍의 사이드 브라켓이 설치된 카세트를 이송하기 위해 상기 그리핑 브라켓에 삽입되어 상기 카세트를 파지하는 후크와 파지된 상기 카세트의 수평위치를 정렬시키는 센터링유닛이 설치된 그립부와, 상기 그립부를 회전시키는 회전부를 구비하는 그립핑유닛; 및 상기 회전부에 연결되어 상기 그립핑유닛을 승강시키는 승강부를 포함한다. 이러한 본 발명은 카세트의 이송동작에 오차가 발생하여 카세트가 정위치에서 벗어날 경우에도 카세트의 위치를 보정함으로써 카세트가 쉘프 유닛의 정위치로 정확하게 안착될 수 있도록 하는 장점이 있다.The present invention relates to a cassette transfer system, and more particularly, to a cassette transfer system that includes a plurality of gripping brackets formed in a slot shape, a hook that is inserted in the gripping bracket to grip the cassette to transport a cassette having a pair of side brackets disposed opposite to each other, A grip unit provided with a centering unit for aligning the horizontal position of the cassette held by the gripping unit, and a rotation unit for rotating the grip unit; And a lifting unit connected to the rotating unit to lift the gripping unit. The present invention is advantageous in that even if an error occurs in the feeding operation of the cassette and the cassette is displaced from the correct position, the position of the cassette can be corrected so that the cassette can be accurately seated in the correct position of the shelf unit.

Description

카세트 이송 시스템{System for transferring cassette}System for transferring cassette

본 발명은 카세트 이송 시스템에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 쉘프 유닛의 지정된 위치에 정확하게 안착시키도록 카세트를 이송하는 카세트 이송 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a cassette transfer system. And more particularly to a cassette transfer system for transferring a cassette to be accurately positioned at a specified position of a shelf unit.

평판표시소자 중의 하나인 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Display)는 유기물의 자체 발광에 의해 컬러 화상을 구현하는 초경박형 표시장치로서, 그 구조가 간단하면서 광 효율이 높다는 장점이 있다.An organic light emitting display (OLED), which is one of the flat panel display devices, is a cemented carbide type display device which realizes a color image by self-emission of organic materials, and has a simple structure and high optical efficiency.

이러한 유기전계발광표시장치(OLED)는 애노드와 캐소드 그리고, 애노드와 캐소드 사이에 개재된 유기막들을 포함하고 있다. 여기서 유기막들은 최소한 발광층을 포함하며, 발광층 이외에도 정공 주입층, 정공 수송층, 전자수송층, 전자 주입층을 더 포함할 수 있다.The organic light emitting display OLED includes an anode, a cathode, and organic layers interposed between the anode and the cathode. Here, the organic layers include at least a light emitting layer and may further include a hole injecting layer, a hole transporting layer, an electron transporting layer, and an electron injecting layer in addition to the light emitting layer.

유기전계발광표시장치는 유기막 특히, 발광층을 이루는 물질에 따라서 고분자 유기발광소자와 저분자 유기발광소자로 나뉠 수 있다.The organic electroluminescent display device can be divided into a polymer organic electroluminescent device and a low molecular weight organic electroluminescent device depending on an organic film, particularly a material forming the light emitting layer.

풀 칼라(full color)를 구현하기 위해서는 발광층을 패터닝해야 하는데, 이 경우, FMM(Fine Metal Mask, 이하 마스크라 함)을 이용한 직접 패터닝 방식과, LITI(Laser Induced Thermal Imaging) 공법을 적용한 방식, 컬러필터(color filter)를 이용하는 방식 등이 적용될 수 있다.In order to realize a full color, a light emitting layer must be patterned. In this case, a direct patterning method using FMM (Fine Metal Mask, hereinafter referred to as a mask), a method using LITI (Laser Induced Thermal Imaging) A method using a color filter may be applied.

마스크 방식을 적용하여 대형 OLED를 제작할 때에는 챔버 내에 기판과 패터닝(patterning)된 마스크를 수평으로 배치시킨 후에 증착하는 이른바 수평식 상향 증착 공법이 적용될 수 있다.When a large-size OLED is manufactured by applying a mask method, a so-called horizontal type upward deposition method in which a substrate and a patterned mask are horizontally disposed in a chamber and then is deposited can be applied.

수평식 상향 증착 공법은 챔버 등의 바닥면에 대해 수평으로 배치된 기판과 마스크를 상호 얼라인시킨 후 합착시키고 수평 상태에서 대형 기판에 유기물을 증착시키는 방법이다.The horizontal upward deposition method is a method of aligning a substrate horizontally arranged on a bottom surface of a chamber and a mask and then coalescing them, and depositing an organic material on a large substrate in a horizontal state.

하지만, 현재 OLED가 대형화됨에 따라 마스크가 점점 대형화 및 고중량화되고 있으며, 이 경우 중력 방향으로 마스크의 처짐이 발생하여 기판에 대해 마스크를 밀착시키는 것이 어렵게 됨에 따라 결국에는 양산에서 요구되는 정밀도를 확보하기 어려운 문제점이 있다.However, as the size of the OLED increases, the size and weight of the mask are becoming larger and larger. In this case, since the mask is deflected in the direction of gravity, it is difficult to closely adhere the mask to the substrate. There is a difficult problem.

따라서 근자에 들어서는 기판과 마스크를 수직 방향으로 세운 후에 합착시키고, 이어 유기물을 증착하려는 기술이 연구되고 있으며, 본 출원인은 이러한 기술들에 대하여 다수 선출원한 바 있으며, 일부는 등록되어 적용 중에 있다.Therefore, techniques for depositing a substrate and a mask in a vertical direction and then cementing the substrate and a mask for depositing the organic material are studied, and Applicants have already filed a number of these techniques, some of them being registered and being applied.

한편, 전술한 수평식과 수직식을 떠나 어떠한 형태일지라도 챔버 내로 마스크를 공급하는 일이 선행되어야 하며, 그래야만 마스크를 통한 해당 공정, 예컨대 기판에 대한 증착 공정 등이 진행될 수 있다.On the other hand, it is necessary to supply a mask into the chamber regardless of the horizontal and vertical form described above, so that the corresponding process through the mask, for example, the deposition process for the substrate, can proceed.

이때, 마스크는 단독으로 공급되기도 하지만 카세트 내에 적재된 상태에서 카세트 상태로 공급될 수 있으며, 카세트의 공급을 위해 카세트 핸들링 장치가 사용된다.At this time, the mask may be supplied alone, but may be supplied in a cassette state while being loaded in the cassette, and a cassette handling apparatus is used for supplying the cassette.

그런데, 종래의 카세트 핸들링 장치들은 공정룸 내의 공간 활용에 있어 경제적이지 못하고 챔버 주변의 레이아웃(layout)이 복잡해질 수 있으며, 이에 따라 자동화 구축이 어려워지는 문제점이 발생될 수 있다.However, the conventional cassette handling apparatuses are not economical to utilize the space in the process room, and the layout of the periphery of the chamber may become complicated, which may make it difficult to construct the automation.

이러한 문제를 해결하기 위해 별도의 용도로 활용되지 않는 공정룸 내 챔버의 상부 영역에 카세트 공급시스템을 구축한 기술이 개발되기도 하였다.To solve this problem, a cassette supplying system has been developed in an upper region of a chamber in a process chamber which is not utilized for a separate purpose.

그러나, 카세트 공급시스템을 챔버 상부 영역에 설치하는데 있어서, 상부와 하부의 쉘프 유닛 위치 오차가 필연적으로 발생하고 있으며, 카세트를 공급해 주는 과정에서 지정된 위치에 정확하게 안착시키지 못하는 문제가 있다.However, in installing the cassette supply system in the upper region of the chamber, the position error of the shelf unit inevitably occurs at the upper and lower portions, and the cassette can not be accurately positioned at the designated position in the process of supplying the cassette.

따라서, 이러한 오차를 보정하여 카세트를 정위치 시킬 수 있도록 하는 기술의 개발이 요구되고 있는 실정이다.Therefore, there is a need to develop a technique for correcting such an error so that the cassette can be positively positioned.

한국공개특허 제10-2015-0031532호(2015. 03. 25.)Korean Patent Publication No. 10-2015-0031532 (May 25, 2015)

상기한 문제를 해결하기 위해 본 발병은 상부와 하부의 쉘프 유닛 위치 오차 및 그리고 카세트를 공급해 주는 장치의 정위치 오차만큼 카세트 이송시스템이 자동으로 그 위치에 들어가 안착 및 파지하는 이송 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.In order to solve the above-described problem, the present invention provides a feeding system in which the cassette feeding system automatically enters and holds the cassette feeding position by a position error of the upper and lower shelf units and a correct position error of the cassette feeding device The purpose.

상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 슬롯 형태로 형성되는 복수의 그리핑 브라켓과 대향하여 배치된 한 쌍의 사이드 브라켓이 설치된 카세트를 이송하기 위한 카세트 이송 시스템에 있어서, 상기 그리핑 브라켓에 삽입되어 상기 카세트를 파지하는 후크와 파지된 상기 카세트의 수평위치를 정렬시키는 센터링유닛이 설치된 그립부와, 상기 그립부를 회전시키는 회전부를 구비하는 그립핑유닛; 및 상기 회전부에 연결되어 상기 그립핑유닛을 승강시키는 승강부를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 이송 시스템을 제공한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a cassette transfer system for transferring a cassette having a plurality of gripping brackets formed in a slot shape and a pair of side brackets disposed opposite to each other, A grip unit provided with a centering unit for aligning a hook for gripping the cassette and a horizontal position of the gripped gripper, and a rotation unit for rotating the grip unit; And a lifting unit connected to the rotating unit and lifting the gripping unit.

이때, 상기 회전부는 회전축을 구비하고, 상기 그립부는 상기 회전축에 결합되는 제1플레이트, 상기 제1플레이트의 상부에 배치되는 상기 센터링유닛, 상기 회전축이 관통하고 상기 센터링유닛의 상단에 결합되는 제2플레이트, 및 연결로드에 의해 상기 제2플레이트와 연결되고 상기 제1플레이트의 하부에 배치되는 제3플레이트를 구비하고, 상기 후크는 전진 및 후진 가능하도록 상기 제3플레이트에 설치되는 것을 특징으로 한다.At this time, the rotation unit includes a rotation shaft, the grip unit includes a first plate coupled to the rotation shaft, the centering unit disposed on the upper portion of the first plate, a second center through which the rotation shaft passes, And a third plate connected to the second plate by a connecting rod and disposed at a lower portion of the first plate, wherein the hook is installed on the third plate so that the hook can move forward and backward.

또한, 상기 그립부는 상기 제1플레이트에 접하여 상기 제1플레이트를 고정시키는 파지부와, 상기 제2플레이트에 설치되어 상기 파지부를 승강시키는 파지구동부로 이루어지는 고정유닛을 더 구비할 수 있다.The grip portion may further include a grip unit for fixing the first plate in contact with the first plate and a holding unit provided on the second plate and including a grip driving unit for moving the grip unit up and down.

또한, 상기 그립부는 전진상태에서 각각의 상기 사이드 브라켓의 내측면에 접하는 푸셔와, 상기 푸셔를 전진 또는 후진시키는 푸셔구동부로 이루어지는 사이드그립퍼를 더 구비할 수 있다.The grip portion may further include a pusher contacting the inner surface of each of the side brackets in a forward state, and a side gripper including a pusher driving portion for advancing or retracting the pusher.

또한, 상기 후크와 상기 푸셔는 구동방향이 서로 수직하게 되도록 배치되도록 할 수 있다.The hook and the pusher may be arranged such that the driving directions thereof are perpendicular to each other.

또한, 상기 그립부는 상기 제3플레이트의 하부에 설치되고, 상기 그립핑유닛과 상기 카세트의 거리가 미리 정해진 최소간격보다 작은 경우 감지신호를 송출하는 충돌감지센서를 더 구비할 수 있다.The grip unit may further include a collision detection sensor provided at a lower portion of the third plate and transmitting a sensing signal when the distance between the gripping unit and the cassette is smaller than a predetermined minimum distance.

또한, 상기 카세트 이송 시스템은 상기 카세트가 적재되는 지지플레이트를 구비하는 쉘프유닛을 더 포함하고, 상기 지지플레이트의 상부에는 상기 카세트가 안착되는 제2센터링유닛이 설치될 수 있다.The cassette transfer system may further include a shelf unit having a support plate on which the cassette is loaded, and a second centering unit on which the cassette is mounted may be installed on the support plate.

또한, 상기 지지플레이트의 상부에는 상기 카세트의 측면에 접하여 상기 카세트의 위치를 고정시키는 안착가이드와, 상기 안착가이드에 연결되어 상기 안착가이드가 왕복운동하도록 동력을 제공하는 가이드구동부가 설치될 수 있다.In addition, a seating guide for fixing the position of the cassette in contact with the side surface of the cassette, and a guide driving unit connected to the seating guide for providing power to reciprocate the seating guide may be provided on the upper portion of the supporting plate.

본 발명은 카세트의 이송동작에 오차가 발생하여 카세트가 정위치에서 벗어날 경우에도 카세트의 위치를 보정함으로써 카세트가 쉘프 유닛의 정위치로 정확하게 안착될 수 있도록 하는 장점이 있다.The present invention is advantageous in that the cassette can be accurately positioned in the correct position of the shelf unit by correcting the position of the cassette even when an error occurs in the feeding operation of the cassette and the cassette deviates from the correct position.

도1은 카세트의 사시도이다.
도2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 카세트 이송 시스템이 프레임에 설치된 상태에서의 사시도이다.
도3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 카세트 이송 시스템의 정면도이다.
도4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 카세트 이송 시스템에 카세트가 안착된 상태에서의 사시도이다.
도5는 도4에서 카세트가 제거된 상태에서의 사시도이다.
도6 및 도7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 카세트 이송 시스템에 구비되는 그립핑유닛의 사시도이다.
도8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 카세트 이송 시스템에 구비되는 그립핑유닛의 정면도이다.
도9는 도8의 우측면도이다.
도10은 도8의 A-A' 단면도이다.
도11은 고정유닛의 작동과정을 설명하기 위한 도면이다.
도12는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 카세트 이송 시스템의 평면도이다.
1 is a perspective view of a cassette;
FIG. 2 is a perspective view of a cassette transfer system according to a preferred embodiment of the present invention in a state in which the cassette transfer system is installed in a frame.
3 is a front view of a cassette transfer system according to a preferred embodiment of the present invention.
4 is a perspective view of the cassette transport system according to the preferred embodiment of the present invention, with the cassette mounted thereon.
5 is a perspective view in a state in which the cassette is removed in Fig.
6 and 7 are perspective views of gripping units provided in a cassette transfer system according to a preferred embodiment of the present invention.
8 is a front view of a gripping unit provided in the cassette transfer system according to the preferred embodiment of the present invention.
9 is a right side view of Fig.
10 is a sectional view taken along the line AA 'in FIG.
11 is a view for explaining the operation process of the fixed unit.
12 is a top view of a cassette transfer system according to a preferred embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세하게 설명한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 첨가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. 또한, 이하에서 본 발명의 실시예를 설명할 것이나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정하거나 제한되지 않고 당업자에 의해 실시될 수 있음은 물론이다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the same reference numerals are used to designate the same or similar components throughout the drawings. Further, if it is determined that the gist of the present invention may be blurred, detailed description thereof will be omitted. In addition, embodiments of the present invention will be described below, but it goes without saying that the technical idea of the present invention is not limited thereto and can be practiced by those skilled in the art.

도1은 카세트의 사시도이다.1 is a perspective view of a cassette;

이송 대상물인 카세트(1)는 상부에 슬롯 형태로 형성되는 복수의 그리핑 브라켓(3)과 서로 대향하여 배치되는 한 쌍의 사이드 브라켓(5)이 설치된다.The cassette 1 to be transported is provided with a plurality of gripping brackets 3 formed at the upper portion in a slot shape and a pair of side brackets 5 arranged to face each other.

이러한 카세트(1)는 그리핑 브라켓(3)에 후크가 삽입됨으로써 파지되고, 파지된 상태에서 회전, 승강, 수평이동되어 지정된 위치로 이송된다.The cassette 1 is gripped by inserting a hook into the ripping bracket 3, and is rotated, elevated, horizontally moved in a gripped state, and transported to a designated position.

도2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 카세트 이송 시스템이 프레임에 설치된 상태에서의 사시도이고, 도3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 카세트 이송 시스템의 정면도이며, 도4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 카세트 이송 시스템에 카세트가 안착된 상태에서의 사시도이다. 또한, 도5는 도4에서 카세트가 제거된 상태에서의 사시도이고, 도6 및 도7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 카세트 이송 시스템에 구비되는 그립핑유닛의 사시도이며, 도8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 카세트 이송 시스템에 구비되는 그립핑유닛의 정면도이다. 또한, 도9는 도8의 우측면, 도10은 도8의 A-A' 단면도, 도11은 고정유닛의 작동과정을 설명하기 위한 도면이고, 도12는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 카세트 이송 시스템의 평면도이다.3 is a front view of a cassette transfer system according to a preferred embodiment of the present invention. FIG. 4 is a perspective view of a cassette transfer system according to a preferred embodiment of the present invention. Fig. 3 is a perspective view of the cassette transfer system according to the example in a state in which the cassette is seated. 6 and 7 are perspective views of a gripping unit provided in the cassette transfer system according to the preferred embodiment of the present invention, and Fig. 8 is a perspective view of the present invention Fig. 5 is a front view of a gripping unit provided in a cassette transfer system according to a preferred embodiment of the present invention. FIG. 9 is a right side view of FIG. 8, FIG. 10 is a sectional view taken along line AA 'of FIG. 8, FIG. 11 is a view for explaining the operation of the fixed unit, and FIG. 12 is a cross- FIG.

이하, 도2 내지 도12를 참고하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 카세트 이송 시스템(10)을 설명한다.Hereinafter, a cassette transport system 10 according to a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to Figs. 2 to 12. Fig.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 카세트 이송 시스템(10)은 카세트(1)를 지정된 위치에 정확하게 이송 및 안착시키기 위한 것으로, 승강부(100), 쉘프유닛(200) 및 그리핑유닛(300)을 포함한다.The cassette transport system 10 according to the preferred embodiment of the present invention is for accurately transporting and placing the cassette 1 at a specified position and includes a lifting unit 100, a shelf unit 200, and a gripping unit 300 .

승강부(100)는 그립핑유닛(300)을 승강시킴으로써 그립핑유닛(300)에 파지된 카세트(1)를 쉘프유닛(200)으로 이송시키는 역할을 수행한다.The elevating unit 100 serves to move the cassette 1 held by the gripping unit 300 to the shelf unit 200 by moving the gripping unit 300 up and down.

구체적으로 승강부(100)는 승강레일(110), 아암(120) 및 승강구동부(130)로 이루어진다.Specifically, the elevating unit 100 includes an elevating rail 110, an arm 120, and an elevation driving unit 130.

승강레일(110)은 상하방향을 따라 아암(120)이 이동될수 있도록 형성되며, 승강레일(110)의 형성방향을 따라 승강되는 아암(120)에는 그립핑유닛(300)이 체결된다.The gripping unit 300 is fastened to the arm 120 which is moved up and down along the direction in which the elevating rail 110 is formed.

승강구동부(130)는 아암(120)에 구동력을 공급하여 아암(120)이 상하방향으로 왕복운동할 수 있도록 한다. 승강구동부(130)는 모터나 액추에이터 등으로 구현될 수 있으며, 이 밖에도 아암(120)이 상하방향으로 왕복운동할 수 있도록 동력을 공급하는 것이라면 어떠한 수단으로 구현되어도 무방하다.The lifting drive unit 130 supplies a driving force to the arm 120 so that the arm 120 can reciprocate in the vertical direction. The elevation driving unit 130 may be implemented by a motor, an actuator, or the like, and may be implemented by any means as long as the arm 120 is capable of supplying power so as to reciprocate in the vertical direction.

쉘프유닛(200)은 그립핑유닛(300)에 의해 위치가 정렬된 카세트(1)가 적재되는 부분이다.The shelf unit 200 is a portion on which the cassette 1 whose position is aligned by the gripping unit 300 is loaded.

이러한 쉘프유닛(200)은 상부에 카세트(1)가 적재되는 복수의 지지플레이트(210)를 구비한다.The shelf unit 200 has a plurality of support plates 210 on which the cassette 1 is mounted.

지지플레이트(210)의 상부에는 카세트(1)의 측면에 접하여 카세트(1)의 위치를 고정시키는 안착가이드(220)가 설치된다. 이때, 안착가이드(220)는 안착가이드(220)가 직선 왕복운동하도록 동력을 제공하는 가이드구동부(222)에 연결된다.A seating guide 220 for fixing the position of the cassette 1 in contact with the side surface of the cassette 1 is provided on the upper portion of the support plate 210. At this time, the seating guide 220 is connected to the guide driving unit 222 that provides the power for the seating guide 220 to linearly reciprocate.

바람직하게 어느 하나의 지지플레이트(210)에는 상기와 같이 구현되는 안착가이드(220)가 2개 설치되고, 2개의 안착가이드(220)는 카세트(1)의 모서리에 접할 수 있도록 도12에 도시된 바와 같이 서로 직각을 이루도록 배치된다.12, in order that two seating guides 220, which are realized as described above, are installed on one of the support plates 210 and two seating guides 220 are in contact with the edges of the cassette 1, As shown in Fig.

또한, 2개의 안착가이드(220)들이 설치된 지지플레이트(210)는 적어도 2개를 설치하는 것이 바람직하며, 이때 안착가이드(220)들이 설치된 적어도 2개의 지지플레이트(210)들은 서로 대각선 방향에 배치하여 쉘프유닛(200)에 안착되는 카세트(1)를 더욱 안정적으로 고정시키도록 한다.At least two supporting plates 210 provided with the seating guides 220 are arranged diagonally with respect to each other, and at least two supporting plates 210 having two seating guides 220 are installed. So that the cassette 1 seated in the shelf unit 200 is more stably fixed.

또한, 쉘프유닛(200)은 지지플레이트(210)에 설치되어 지지플레이트(210) 위에 카세트(1)가 정위치되었는지 여부를 검지하는 카세트검지센서(230)를 더 구비할 수 있다.The shelf unit 200 may further include a cassette detection sensor 230 installed on the support plate 210 to detect whether the cassette 1 is correctly positioned on the support plate 210.

그립핑유닛(300)은 카세트(1)를 파지하고, 카세트(1)가 쉘프유닛(200)의 정위치에 안착될 수 있도록 카세트(1)를 회전 및 정렬시키는 역할을 수행한다.The gripping unit 300 grips the cassette 1 and serves to rotate and align the cassette 1 so that the cassette 1 can be seated in the correct position of the shelf unit 200.

이를 위해 그립핑유닛(300)은 그립부(330)를 회전시키기 위한 회전부(310)와 회전되면서 안착되어야 할 정위치의 오차범위에서 벗어난 카세트(1)의 수평위치를 정렬시키는 그립부(330)를 구비한다.The gripping unit 300 includes a rotation unit 310 for rotating the grip unit 330 and a grip unit 330 for aligning the horizontal position of the cassette 1 deviating from a predetermined error range do.

구체적으로 회전부(310)는 그립부(330)에 결합되어 회전하는 회전축(312)과, 회전축(312)에 연결되어 회전축(312)에 회전력을 제공하는 회전구동부(314)를 구비한다.More specifically, the rotation unit 310 includes a rotation shaft 312 coupled to the grip unit 330 and a rotation driving unit 314 connected to the rotation axis 312 to provide a rotation force to the rotation axis 312.

이때, 회전축(312)과 회전구동부(314)는 직접 연결하지 않고, 벨트(미도시) 등의 동력전달 수단을 이용하여 회전구동부(314)의 동력을 회전축(312)으로 전달하는 것도 가능하다.At this time, it is also possible to transmit the power of the rotation driving part 314 to the rotation shaft 312 by using a power transmission means such as a belt (not shown) without directly connecting the rotation shaft 312 and the rotation driving part 314.

이러한 회전부(310)의 회전축(312)과 회전구동부(314)는 소정의 형태를 갖도록 구성된 프레임(318)에 설치되고, 프레임(318)은 승강부(100)의 아암(120)에 결합됨으로써 승강부(100)에 의해 그립핑유닛(300)이 승강된다.The rotary shaft 312 and the rotary drive unit 314 of the rotary unit 310 are installed in a frame 318 configured to have a predetermined shape and the frame 318 is coupled to the arm 120 of the elevation unit 100, The gripping unit 300 is lifted and lowered by the gripper 100.

그립부(330)는 카세트(1)의 그리핑 브라켓(3)에 삽입되어 카세트(1)를 파지하는 후크(350)와 파지된 카세트(1)의 수평위치를 정렬시키는 제1센터링유닛(334)을 구비함으로써 카세트(1)를 지지플레이트(210)의 정위치에 정확하게 안착시킬 수 있도록 한다.The grip portion 330 includes a first centering unit 334 for aligning the horizontal position of the gripped cassette 1 with the hook 350 inserted into the gripping bracket 3 of the cassette 1 to grip the cassette 1, So that the cassette 1 can be accurately placed in the correct position of the support plate 210. [

구체적으로 그립부(330)는 회전축(312)의 하단에 결합되는 제1플레이트(332)와, 제1플레이트(332)의 상부에 배치되는 제1센터링유닛(334)을 구비한다.The grip portion 330 includes a first plate 332 coupled to the lower end of the rotary shaft 312 and a first centering unit 334 disposed on the upper portion of the first plate 332.

제1센터링유닛(334)의 상단에는 회전축(312)이 관통하는 제2플레이트(336)가 결합됨으로써 제1플레이트(332)의 상부에 제2플레이트(336)가 배치된다.The second plate 336 is disposed at an upper portion of the first plate 332 by coupling a second plate 336 through which the rotation axis 312 passes.

제1플레이트(332)의 하부에는 제3플레이트(340)가 배치되는데, 이때 제3플레이트(340)는 복수의 연결로드(338)에 의해 제2플레이트(336)에 연결됨으로써 제1플레이트(332)의 하부에 위치하게 된다.A third plate 340 is disposed under the first plate 332. The third plate 340 is connected to the second plate 336 by a plurality of connecting rods 338 to thereby connect the first plate 332 As shown in FIG.

다시 말해, 회전축(312)에 결합되는 제1플레이트(332)를 사이에 두고, 제1플레이트(332)의 상부에는 제2플레이트(336)가 배치되고, 제1플레이트(332)의 하부에는 제3플레이트(340)가 배치되는 것이다. 이때, 제2플레이트(336)는 제1센터링유닛(334)에 의해 제1플레이트(332)에 연결되고, 제3플레이트(340)는 연결로드(338)에 의해 제2플레이트(336)에 연결되는 것이다.In other words, a second plate 336 is disposed above the first plate 332 with a first plate 332 coupled to the rotation axis 312 therebetween, and a second plate 336 is disposed below the first plate 332. 3 plate 340 is disposed. The second plate 336 is connected to the first plate 332 by the first centering unit 334 and the third plate 340 is connected to the second plate 336 by the connecting rod 338 .

후크(350)는 후크구동부(352)를 통해 동력을 전달받아서 제3플레이트(340)에 결합된 후크이송레일(354)을 따라 전진 및 후진 가능하도록 설치된다.The hook 350 is installed to be able to move forward and backward along the hook conveying rail 354 coupled to the third plate 340 by receiving power through the hook driving part 352.

이러한 후크(350)는 전진 시 그리핑 브라켓(3)의 홈에 삽입되어 카세트(1)를 들어올리거나 내려놓을 수 있도록 구비된다.The hook 350 is inserted into the groove of the gripping bracket 3 to move the cassette 1 up or down.

추가적으로 후크(350)에는 후크가(350) 그리핑 브라켓(3)에 삽입되었는지 여부를 감지하는 삽입감지센서(356)가 구비될 수 있다.In addition, the hook 350 may be provided with an insertion detection sensor 356 for detecting whether the hook 350 is inserted into the gripping bracket 3.

카세트(1)는 후크(350)가 그리핑 브라켓(3)에 삽입됨으로써 그립핑유닛(300)에 파지된 상태에서 승강부(100)에 의해 상승되며, 그립핑유닛(300)의 회전부(310)에 의해 180° 회전하여 지정된 어느 일면이 미리 정해진 방향을 바라보도록 재배치된다.The cassette 1 is lifted by the lifting unit 100 while the hook 350 is gripped by the gripping unit 300 by being inserted into the gripping bracket 3 and is lifted by the rotation unit 310 of the gripping unit 300 So that one specified side is rearranged so as to look in a predetermined direction.

이후, 승강부(100)는 지지플레이트(210)에 카세트(1)를 안착시키기 위해 하강하는데, 이때 카세트(1)가 지지플레이트(210) 상의 정위치에서 벗어난 경우 제1센터링유닛(334)은 수평방향으로 제2플레이트(336)를 이동시킴으로써 카세트(1)가 정위치에 배치될 수 있도록 정렬시킨다.The lift unit 100 then descends to seat the cassette 1 on the support plate 210 where the first centering unit 334 is moved out of position when the cassette 1 is off the support plate 210 The second plate 336 is moved in the horizontal direction so that the cassette 1 can be placed in position.

이 과정에서 카세트(1)가 정위치에서 미리 정해진 범위 이상 벗어났는지의 여부는 카세트검지센서(230) 등과 같은 센서들에 의해 감지되도록 하는 것이 가능하다.Whether or not the cassette 1 is out of the predetermined range in the predetermined position in this process can be detected by the sensors such as the cassette detecting sensor 230 and the like.

그립부(330)는 전진상태에서 각각의 사이드 브라켓(5)의 내측면에 접하는 푸셔(362)와, 제3플레이트(340)에 설치되어 푸셔(362)를 전진 또는 후진시키는 푸셔구동부(364)로 이루어지는 사이드그립퍼(360)를 더 구비할 수 있다.The grip portion 330 includes a pusher 362 contacting the inner side surface of each side bracket 5 in a forward state and a pusher driving portion 364 provided on the third plate 340 for advancing or retracting the pusher 362 And a side gripper 360 may be further provided.

이와 같은 사이드그립퍼(360)는 그립핑유닛(300)이 카세트(1)를 파지하기 위해 하강한 상태에서 양측의 푸셔(362)가 전진하여 각각의 사이드 브라켓(5)에 접함으로써 카세트(1) 이동 시 카세트(1)의 흔들림을 방지하는 역할을 수행한다.Such a side gripper 360 is configured such that the pusher 362 on both sides is advanced and contacts the respective side brackets 5 in a state in which the gripping unit 300 is lowered to grip the cassette 1, And serves to prevent the cassette 1 from shaking when moving.

바람직하게 푸셔(362)는 후크(350)와 구동방향이 서로 수직하게 되도록 배치하여 카세트(1)의 유동을 더욱 효율적으로 억제하도록 한다.Preferably, the pusher 362 is disposed such that the hook 350 and the driving direction are perpendicular to each other, thereby more effectively suppressing the flow of the cassette 1. [

한편, 그립부(330)는 회전부(310)에 의한 그립부(330)의 회전 시 회전력에 의해 제1센터링유닛(334)이 임의로 유동하게 되는 것을 방지하기 위한 고정유닛(370)을 더 구비한다.The grip unit 330 further includes a fixing unit 370 for preventing the first centering unit 334 from being arbitrarily moved by the rotating force of the rotation unit 310 when the grip unit 330 rotates.

이러한 고정유닛(370)은 상승 상태에서 제1플레이트(332)에 접하여 제1플레이트(332)를 고정시키는 파지부(372)와, 제2플레이트(336)에 설치되어 파지부(372)를 승강시키는 파지구동부(374)로 이루어진다.The fixing unit 370 includes a gripping portion 372 for fixing the first plate 332 in contact with the first plate 332 in an elevated state and a gripping portion 372 provided on the second plate 336 to lift the gripping portion 372 And a gripping drive unit 374.

파지부(372)는 회전축(312)이 회전하기 전에 상승하여 제1플레이트(332)를 압박함으로써 제1센터링유닛(334)이 회전력에 의해 유동됨에 따라 이에 연결된 제2플레이트(336)가 임의로 움직이는 것을 방지한다.The gripper portion 372 rises before the rotation shaft 312 rotates to press the first plate 332 so that the second plate 336 connected thereto is moved arbitrarily as the first centering unit 334 is rotated by the rotational force ≪ / RTI >

회전부(310)에 의한 그립부(330)의 회전동작이 완료되면 파지구동부(374)는 파지부(372)를 하강시켜 제1플레이트(332)에서 분리시키고, 이후 제1센터링유닛(334)에 의해 제2플레이트(336)의 수평위치가 보정됨으로써 카세트(1)를 정위치로 정렬시키게 되는 것이다.When the rotation of the grip part 330 by the rotation part 310 is completed, the gripping part 374 moves down the grip part 372 to separate the grip part 372 from the first plate 332, and then, by the first centering unit 334 The horizontal position of the second plate 336 is corrected so that the cassette 1 is aligned to the correct position.

그립부(330)는 제3플레이트(340)의 하부에 설치되는 충돌감지센서(380)를 더 구비할 수 있다. The grip portion 330 may further include a collision detection sensor 380 disposed under the third plate 340.

충돌감지센서(380)는 하강하는 그립핑유닛(300)과 카세트(1)의 거리가 미리 정해진 최소간격보다 작은 경우 이에 대한 감지신호를 송출하여 승강구동부(130)가 정지되도록 하는 역할을 한다.The collision detection sensor 380 sends a sensing signal to the gripping unit 300 when the distance between the descending gripping unit 300 and the cassette 1 is smaller than a predetermined minimum distance and stops the elevation driving unit 130.

이와 같은 충돌감지센서(380)를 구비함으로써 오작동 또는 하강거리의 오차 등에 의해 그립핑유닛(300)이 과도하게 하강할 때 카세트(1)와 충돌하게 되는 것을 예방할 수 있게 된다.By providing such a collision detection sensor 380, it is possible to prevent collision with the cassette 1 when the gripping unit 300 is excessively lowered due to a malfunction or an error in the descent distance.

한편, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 카세트 이송 시스템(10)은 쉘프유닛(200)의 지지플레이트(210) 상부에 제2센터링유닛(400)이 추가로 설치될 수 있다.Meanwhile, the cassette transfer system 10 according to the preferred embodiment of the present invention may further include a second centering unit 400 on the support plate 210 of the shelf unit 200.

제2센터링유닛(400)은 하나의 지지플레이트(210) 상에서 서로 직각을 이루는 안착가이드(220)들의 내측에 배치되며, 안착가이드(220)가 설치되지 않은 지지플레이트(210)에도 안착가이드(220)가 설치된 지지플레이트(210)에서의 설치 위치와 대응되는 위치에 설치된다.The second centering unit 400 is disposed inside the seating guides 220 orthogonal to each other on one support plate 210 and the seating plate 220 on which the seating guides 220 Is provided at a position corresponding to the installation position on the support plate 210 on which the support plate 210 is installed.

이와 같이 지지플레이트(210)에 설치된 제2센터링유닛(400)에는 카세트(1)가 안착되는데, 안착된 카세트(1)의 위치가 정위치에서 벗어난 경우 제2센터링유닛(400)은 수평방향으로 이동하여 카세트(1)가 정위치에 배치되도록 정렬시키는 역할을 수행한다.In this way, the cassette 1 is seated in the second centering unit 400 installed on the support plate 210. When the position of the loaded cassette 1 deviates from the predetermined position, the second centering unit 400 is moved in the horizontal direction And aligns the cassette 1 so that the cassette 1 is positioned at a predetermined position.

이때, 각각의 지지플레이트(210)에 설치되는 복수의 제2센터링유닛(400)들은 제1센터링유닛(334)들과 마찬가지로 동시에 동일한 방향으로 구동되며, 이를 위해 제2센터링유닛(400)들의 동작을 제어하는 별도의 제어수단(미도시)이 구비될 수 있음은 물론이다.At this time, the plurality of second centering units 400 installed on the respective support plates 210 are driven in the same direction at the same time as the first centering units 334, and the operation of the second centering units 400 (Not shown) may be provided to control the operation of the apparatus.

상술한 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 카세트 이송 시스템(10)은 그립부(330)에 제1센터링유닛(334)을 설치함으로써 카세트(1)의 위치에 오차가 발생할 경우에도 카세트(1)를 정위치로 정렬시켜 정확한 위치에 안착시킬 수 있으며, 쉘프유닛(200)에 추가로 설치된 제2센터링유닛(400)을 통해 이미 안착되어 있는 카세트(1)가 정위치로 정렬되도록 할 수 있어 카세트(1)의 이송 작업을 더욱 원활하게 수행할 수 있는 효과가 있다.As described above, the cassette transfer system 10 according to the embodiment of the present invention is provided with the first centering unit 334 in the grip portion 330, so that even when an error occurs in the position of the cassette 1, It is possible to arrange the cassette 1 in a correct position so that the cassette 1 can be seated in the correct position and the already mounted cassette 1 can be aligned in the correct position through the second centering unit 400 provided additionally to the shelf unit 200, 1) can be carried out more smoothly.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능할 것이다. 따라서 본 발명에 개시된 실시예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호범위는 청구 범위에 의해서 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications, substitutions and substitutions are possible, without departing from the scope and spirit of the invention as disclosed in the accompanying claims. will be. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention and the accompanying drawings are intended to illustrate and not to limit the technical spirit of the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments and accompanying drawings. The scope of protection of the present invention should be construed according to the claims, and all technical ideas within the scope of equivalents thereof should be construed as being included in the scope of the present invention.

1: 카세트 3: 그리핑 브라켓
5: 사이드 브라켓
10,20: 카세트 이송 시스템
100: 승강부 110: 승강레일
120: 아암 130: 승강구동부
200: 쉘프유닛 210: 지지플레이트
220: 안착가이드 222: 가이드구동부
230: 카세트검지센서
300: 그립핑유닛 310: 회전부
312: 회전축 314: 회전구동부
318: 프레임
330: 그립부 332: 제1플레이트
334: 제1센터링유닛 336: 제2플레이트
338: 연결로드 340: 제3플레이트
350: 후크 352: 후크구동부
354: 후크이송레일 356: 삽입감지센서
360: 사이드그립퍼 362: 푸셔
364: 푸셔구동부 370: 고정유닛
372: 파지부 374: 파지구동부
380: 충돌감지센서 400: 제2센터링유닛
1: Cassette 3: Gripping bracket
5: Side bracket
10,20: Cassette transfer system
100: elevating part 110: elevating rail
120: arm 130:
200: shelf unit 210: support plate
220: seat guide 222: guide drive
230: Cassette sensor
300: gripping unit 310: rotating part
312: rotating shaft 314: rotating driving part
318: Frame
330: grip portion 332: first plate
334: first centering unit 336: second plate
338: connection rod 340: third plate
350: Hook 352: Hook drive
354: hook transfer rail 356: insertion detection sensor
360: Side gripper 362: Pusher
364: pusher driving unit 370: fixed unit
372: grip part 374: gripping part
380: Collision detection sensor 400: Second centering unit

Claims (8)

슬롯 형태로 형성되는 복수의 그리핑 브라켓과 대향하여 배치된 한 쌍의 사이드 브라켓이 설치된 카세트를 이송하기 위한 카세트 이송 시스템에 있어서,
상기 그리핑 브라켓에 삽입되어 상기 카세트를 파지하는 후크와 파지된 상기 카세트의 수평위치를 정렬시키는 제1센터링유닛이 설치된 그립부와,
회전축을 구비하고 상기 그립부를 회전시키는 회전부를 구비하는 그립핑유닛; 및
상기 회전부에 연결되어 상기 그립핑유닛을 승강시키는 승강부를 포함하되,
상기 그립부는
상기 회전축에 결합되는 제1플레이트, 상기 제1플레이트의 상부에 배치되는 상기 제1센터링유닛, 상기 회전축이 관통하고 상기 제1센터링유닛의 상단에 결합되는 제2플레이트, 연결로드에 의해 상기 제2플레이트와 연결되고 상기 제1플레이트의 하부에 배치되는 제3플레이트, 상기 제1플레이트에 접하여 상기 제1플레이트를 고정시키는 파지부, 및 상기 제2플레이트에 설치되어 상기 파지부를 승강시키는 파지구동부로 이루어지는 고정유닛을 구비하고,
상기 후크는 전진 및 후진 가능하도록 상기 제3플레이트에 설치되는 것을 특징으로 하는 카세트 이송 시스템.
A cassette transfer system for transferring a cassette provided with a plurality of gripping brackets formed in a slot shape and a pair of side brackets disposed opposite to each other,
A grip portion provided in the gripping bracket and provided with a first centering unit for aligning a horizontal position of the hook held by the cassette with the gripped portion of the cassette,
A gripping unit having a rotation shaft and a rotation part for rotating the grip part; And
And a lifting unit connected to the rotating unit to lift the gripping unit,
The grip portion
A first plate coupled to the rotating shaft, the first centering unit disposed above the first plate, a second plate passing through the rotating shaft and coupled to an upper end of the first centering unit, A third plate disposed at a lower portion of the first plate and connected to the plate, a gripping portion for fixing the first plate in contact with the first plate, and a gripping driver for moving the gripping portion, The fixing unit comprising:
Wherein the hook is installed on the third plate to allow forward and backward movement.
삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 그립부는
전진상태에서 각각의 상기 사이드 브라켓의 내측면에 접하는 푸셔와,
상기 푸셔를 전진 또는 후진시키는 푸셔구동부로 이루어지는 사이드그립퍼를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 카세트 이송 시스템.
The method according to claim 1,
The grip portion
A pusher which is in contact with an inner surface of each of the side brackets in a forward state,
Further comprising a side gripper including a pusher driving unit for moving the pusher forward or backward.
제4항에 있어서,
상기 후크와 상기 푸셔는 구동방향이 서로 수직하게 되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 카세트 이송 시스템.
5. The method of claim 4,
Wherein the hook and the pusher are arranged so that their driving directions are perpendicular to each other.
제1항에 있어서,
상기 그립부는
상기 제3플레이트의 하부에 설치되고, 상기 그립핑유닛과 상기 카세트의 거리가 미리 정해진 최소간격보다 작은 경우 감지신호를 송출하는 충돌감지센서를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 카세트 이송 시스템.
The method according to claim 1,
The grip portion
Further comprising a collision detection sensor installed at a lower portion of the third plate and transmitting a detection signal when the distance between the gripping unit and the cassette is smaller than a predetermined minimum interval.
제1항 및 제4항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 카세트가 적재되는 지지플레이트를 구비하는 쉘프유닛을 더 포함하고,
상기 지지플레이트의 상부에는 상기 카세트가 안착되는 제2센터링유닛이 설치되는 것을 특징으로 하는 카세트 이송 시스템.
7. The method according to any one of claims 1 and 4 to 6,
Further comprising a shelf unit having a support plate on which the cassette is loaded,
And a second centering unit on which the cassette is mounted is installed on the upper portion of the support plate.
제7항에 있어서,
상기 지지플레이트의 상부에는 상기 카세트의 측면에 접하여 상기 카세트의 위치를 고정시키는 안착가이드와, 상기 안착가이드에 연결되어 상기 안착가이드가 왕복운동하도록 동력을 제공하는 가이드구동부가 설치되는 것을 특징으로 하는 카세트 이송 시스템.
8. The method of claim 7,
And a guide driving unit connected to the seating guide and providing power for reciprocating the seating guide is installed on the upper portion of the support plate, the seating guide contacting the side surface of the cassette to fix the position of the cassette, Transport system.
KR1020160028741A 2016-03-10 2016-03-10 System for transferring cassette KR101746605B1 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160028741A KR101746605B1 (en) 2016-03-10 2016-03-10 System for transferring cassette
CN201610272951.3A CN107176449B (en) 2016-03-10 2016-04-27 Cassette transportation system

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160028741A KR101746605B1 (en) 2016-03-10 2016-03-10 System for transferring cassette

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101746605B1 true KR101746605B1 (en) 2017-06-27

Family

ID=59514667

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160028741A KR101746605B1 (en) 2016-03-10 2016-03-10 System for transferring cassette

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR101746605B1 (en)
CN (1) CN107176449B (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20220168888A1 (en) * 2020-11-30 2022-06-02 Boe Technology Group Co., Ltd. Substrate transfer device

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107618871A (en) * 2017-10-24 2018-01-23 苏州华智诚精工科技有限公司 A kind of jig rotation switching positioning handling device
TWI638415B (en) * 2017-11-10 2018-10-11 環球晶圓股份有限公司 A detection method of wafer shipping box and detection system of wafer shipping box
CN108281377B (en) * 2018-03-22 2020-11-20 京东方科技集团股份有限公司 Clamping device for clamping a cartridge and cartridge assembly
TWI658979B (en) * 2018-07-31 2019-05-11 卡德爾股份有限公司 Apparatus and method for transferring multiple pieces in production line
CN110181439B (en) * 2019-06-25 2021-01-26 京东方科技集团股份有限公司 Clamping device for clamping a cartridge and cartridge assembly

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101374670B1 (en) 2012-10-25 2014-03-17 주식회사 에스에프에이 Apparatus for transferring cassette

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2890350B2 (en) * 1992-10-28 1999-05-10 村田機械株式会社 Overhead traveling car
JP4382439B2 (en) * 2003-11-06 2009-12-16 昭和電工株式会社 Storage cassette lid detaching device and storage cassette lid removal and mounting method
JP5765549B2 (en) * 2010-10-04 2015-08-19 株式会社ダイフク Article conveying device
KR101407413B1 (en) * 2011-12-30 2014-06-19 주식회사 에스에프에이 Cassette handling apparatus mask cassette supplying system
JP6136775B2 (en) * 2013-08-30 2017-05-31 株式会社ダイフク Transport device
KR101511963B1 (en) * 2013-09-16 2015-04-14 주식회사 에스에프에이 Cassette supplying system
JP6179406B2 (en) * 2014-01-10 2017-08-16 株式会社ダイフク Transport device
KR101576547B1 (en) * 2014-04-24 2015-12-10 주식회사 에스에프에이 Cassette supplying system

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101374670B1 (en) 2012-10-25 2014-03-17 주식회사 에스에프에이 Apparatus for transferring cassette

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20220168888A1 (en) * 2020-11-30 2022-06-02 Boe Technology Group Co., Ltd. Substrate transfer device
US11707834B2 (en) * 2020-11-30 2023-07-25 Boe Technology Group Co., Ltd. Substrate transfer device

Also Published As

Publication number Publication date
CN107176449A (en) 2017-09-19
CN107176449B (en) 2019-08-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101746605B1 (en) System for transferring cassette
TWI686276B (en) Wafer positioning and loading system
JP2020021795A (en) Conveyance system
CN102686764B (en) Film forming device and film forming method
KR101771094B1 (en) Aline loading device for glass panel ane loading method for glass panel using it
WO2018003287A1 (en) Conveyance system
JPWO2007088927A1 (en) Substrate exchange apparatus, substrate processing apparatus, and substrate inspection apparatus
KR101388277B1 (en) Automatic adhesion apparatus of tape for fpcb
KR101511963B1 (en) Cassette supplying system
CN103298326A (en) Electronic component supply device and electronic component installation apparatus
KR101544285B1 (en) Apparatus for transferring substrate and apparatus for inspecting substrate including the same
KR100603408B1 (en) Vertical mask tray and deposit apparatus with the same
KR20180064120A (en) Cassette align unit
KR102179235B1 (en) Feeding device for conveying products and feeding methods the same
KR101692902B1 (en) Apparatus for automatic stacking fuel cell stack
KR102059567B1 (en) Apparatus for transferring substrate
CN112357590B (en) Full autosegregation equipment of screen
JPH10180670A (en) Method and device for taking out plate-like article
KR101654277B1 (en) Apparatus for transfer and alignment of unit cell component of fuel cell stack
KR101530318B1 (en) Deposition unit and Apparatus for deposition
KR100769692B1 (en) lifter
JPWO2008129603A1 (en) Substrate transfer system
CN110976343A (en) AOI check out test set
KR101666803B1 (en) Apparatus for alinging mask and cassette and cassette supplying system having thereof
KR20220076341A (en) Film forming apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
N231 Notification of change of applicant
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant