KR20180064120A - Cassette align unit - Google Patents

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KR20180064120A
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유재명
강진모
추연희
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주식회사 신성에프에이
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Abstract

The present invention relates to a cassette aligning unit including an aligning assembly, capable of horizontally and vertically aligning a cassette to locate the cassette in a home position thereof. The cassette aligning unit includes: a base plate placed in the upper part of the aligning assembly; and a pair of roller conveyors placed on both sides of the base plate in an entering direction of the cassette to transfer the cassette located at a cassette inlet to the inside. As such, the present invention provides effects of reducing the number of processes by delivering a cassette from a carrier bogie directly to the cassette aligning unit, and reducing manufacturing costs by reducing the number of sensors for checking home positions of a cassette and a mask while maintaining performance.

Description

카세트 정렬 유닛{Cassette align unit}Cassette align unit [0002]

본 발명은 카세트 정렬 유닛에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 마스크가 수용되는 카세트가 반송 대차로부터 카세트 포트로 전달될 때 별도의 장치를 필요로 하지 않고, 포트에 안착된 카세트 및 마스크가 정위치에 위치하는지 여부를 확인하는 센서의 수를 감소시킨 카세트 정렬 유닛에 관한 것이다.The present invention relates to a cassette alignment unit. More particularly, to a cassette that does not require a separate apparatus when the cassette in which the mask is received is transferred from the conveyance carriage to the cassette port, reduces the number of cassettes and masks that confirm whether the mask is in position, To a cassette alignment unit.

평판표시소자 중의 하나인 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Display)는 유기물의 자체 발광에 의해 컬러 화상을 구현하는 초경박형 표시장치로서, 그 구조가 간단하면서 광 효율이 높다는 장점이 있다.An organic light emitting display (OLED), which is one of the flat panel display devices, is a cemented carbide type display device which realizes a color image by self-emission of organic materials, and has a simple structure and high optical efficiency.

이러한 유기전계발광표시장치(OLED)는 애노드와 캐소드 그리고, 애노드와 캐소드 사이에 개재된 유기막들을 포함하고 있다. 여기서 유기막들은 최소한 발광층을 포함하며, 발광층 이외에도 정공 주입층, 정공 수송층, 전자수송층, 전자 주입층을 더 포함할 수 있다.The organic light emitting display OLED includes an anode, a cathode, and organic layers interposed between the anode and the cathode. Here, the organic layers include at least a light emitting layer and may further include a hole injecting layer, a hole transporting layer, an electron transporting layer, and an electron injecting layer in addition to the light emitting layer.

유기전계발광표시장치는 유기막 특히, 발광층을 이루는 물질에 따라서 고분자 유기발광소자와 저분자 유기발광소자로 나뉠 수 있다.The organic electroluminescent display device can be divided into a polymer organic electroluminescent device and a low molecular weight organic electroluminescent device depending on an organic film, particularly a material forming the light emitting layer.

풀 칼라(full color)를 구현하기 위해서는 발광층을 패터닝해야 하는데, 이 경우, FMM(Fine Metal Mask, 이하 마스크라 함)을 이용한 직접 패터닝 방식과, LITI(Laser Induced Thermal Imaging) 공법을 적용한 방식, 컬러필터(color filter)를 이용하는 방식 등이 적용될 수 있다.In order to realize a full color, a light emitting layer must be patterned. In this case, a direct patterning method using FMM (Fine Metal Mask, hereinafter referred to as a mask), a method using LITI (Laser Induced Thermal Imaging) A method using a color filter may be applied.

마스크 방식을 적용하여 대형 OLED를 제작할 때에는 챔버 내에 기판과 패터닝(patterning)된 마스크를 수평으로 배치시킨 후에 증착하는 이른바 수평식 상향 증착 공법이 적용될 수 있다.When a large-size OLED is manufactured by applying a mask method, a so-called horizontal type upward deposition method in which a substrate and a patterned mask are horizontally disposed in a chamber and then is deposited can be applied.

수평식 상향 증착 공법은 챔버 등의 바닥면에 대해 수평으로 배치된 기판과 마스크를 상호 얼라인시킨 후 합착시키고 수평 상태에서 대형 기판에 유기물을 증착시키는 방법이다.The horizontal upward deposition method is a method of aligning a substrate horizontally arranged on a bottom surface of a chamber and a mask and then coalescing them, and depositing an organic material on a large substrate in a horizontal state.

하지만, 현재 OLED가 대형화됨에 따라 마스크가 점점 대형화 및 고중량화되고 있으며, 이 경우 중력 방향으로 마스크의 처짐이 발생하여 기판에 대해 마스크를 밀착시키는 것이 어렵게 됨에 따라 결국에는 양산에서 요구되는 정밀도를 확보하기 어려운 문제점이 있다.However, as the size of the OLED increases, the size and weight of the mask are becoming larger and larger. In this case, since the mask is deflected in the direction of gravity, it is difficult to closely adhere the mask to the substrate. There is a difficult problem.

따라서 근자에 들어서는 기판과 마스크를 수직 방향으로 세운 후에 합착시키고, 이어 유기물을 증착하려는 기술이 연구되고 있으며, 본 출원인은 이러한 기술들에 대하여 다수 선출원한 바 있으며, 일부는 등록되어 적용 중에 있다.Therefore, techniques for depositing a substrate and a mask in a vertical direction and then cementing the substrate and a mask for depositing the organic material are studied, and Applicants have already filed a number of these techniques, some of them being registered and being applied.

그런데, 전술한 수평식과 수직식을 떠나 어떠한 형태일지라도 챔버 내로 마스크를 공급하는 일이 선행되어야 하며, 그래야만 마스크를 통한 해당 공정, 예컨대 기판에 대한 증착 공정 등이 진행될 수 있다.However, it is necessary to supply the mask into the chamber regardless of the horizontal type and the vertical type described above, so that the corresponding process through the mask, for example, the deposition process for the substrate, etc., can proceed.

이때, 마스크는 단독으로 공급되기도 하지만 카세트 내에 적재된 상태에서 카세트 상태로 공급될 수 있으며, 카세트의 공급을 위해 카세트 핸들링 장치가 사용된다.At this time, the mask may be supplied alone, but may be supplied in a cassette state while being loaded in the cassette, and a cassette handling apparatus is used for supplying the cassette.

카세트 핸들링 장치에 의해 공급 또는 이송되는 이동과정에서 카세트는 카세트 포트를 거치게 되는데, 카세트 포트에 카세트가 안착되는 공정에서 오차에 의해 카세트가 정위치에 정확하게 안착되지 못한 경우 후속단계로 카세트가 이송될 때 카세트 핸들링 장치가 카세트를 정확하게 파지하지 못하여 에러를 발생시키거나, 카세트가 떨어지는 등의 문제가 생길 수 있다.The cassette is moved through the cassette port in the process of being fed or fed by the cassette handling apparatus. When the cassette is not correctly positioned in the correct position due to an error in the process of placing the cassette in the cassette port, The cassette handling device can not correctly grasp the cassette, causing an error, or the cassette may be dropped.

본 출원인은 선출원된 특허 제10-2016-0048190호에서 상기와 같은 문제를 해결하기 위해 카세트가 정위치에 안착되도록 카세트를 정렬하는 기술을 개발하였다.The Applicant has developed a technique for aligning the cassette so that the cassette is seated in place to solve the above problem in the prior art Patent No. 10-2016-0048190.

그러나, 상기 종래의 특허의 경우 카세트 반송 대차로부터 카세트 정렬 유닛으로 카세트가 전달되기 위해서는 반송 대차와 카세트 정렬 유닛 사이에서 카세트를 운반하는 포크 유닛이 필요하기 때문에 포크 유닛에 의한 전달 공정과 이에 따른 설비 비용이 추가되어야 하는 단점이 있다.However, in the above-mentioned conventional patent, in order to transfer the cassette from the cassette conveyance truck to the cassette aligning unit, a fork unit for conveying the cassette between the conveyance truck and the cassette aligning unit is required, Has to be added.

또한, 종래의 특허는 카세트 및 카세트에 안착된 마스크가 정위치에 정렬되었는지 여부를 확인하기 위한 센서가 카세트에 안착되는 마스크의 수에 따라 다수 구비되는데, 기존의 카세트 정렬 포트에 소요되는 마스크용 센서의 수는 20여 개에 이른다. 이러한 센서는 매우 고가이기 때문에 센서가 많이 구비될수록 제조비용이 상승하는 문제가 있다.In addition, in the conventional patent, a cassette and a sensor for confirming whether or not the mask placed on the cassette is aligned in the correct position are provided in accordance with the number of masks on which the cassette is seated. Of the total number of people. Since such a sensor is very expensive, there is a problem that the more the sensors are provided, the higher the manufacturing cost.

한국공개특허 제10-2007-0052458호(2007.05.22.)Korean Patent Publication No. 10-2007-0052458 (2007.05.22.)

상기한 문제를 해결하기 위해 본 발명은 카세트가 반송 대차로부터 직접 카세트 정렬 유닛으로 전달될 수 있고, 카세트 및 마스크의 정위치 확인을 위한 센서의 수를 절감한 카세트 정렬 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.In order to solve the above problems, it is an object of the present invention to provide a cassette alignment unit in which cassettes can be transferred directly from a conveyance truck to a cassette alignment unit, and the number of sensors for correct positioning of the cassettes and masks is reduced .

상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 카세트가 정위치에 위치하도록 상기 카세트를 수평 및 수직방향으로 정렬시키는 정렬 어셈블리를 포함한 카세트 정렬 유닛을 제공하되, 상기 카세트 정렬 유닛은, 상기 정렬 어셈블리의 상부에 배치되는 베이스 플레이트; 및 상기 베이스 플레이트의 양측 상부에 상기 카세트의 진입방향을 따라 배치되어 카세트 출입구에 위치한 상기 카세트를 내측으로 이송시키는 한 쌍의 롤러 컨베이어를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.To achieve the above object, the present invention provides a cassette alignment unit including an alignment assembly for aligning the cassette horizontally and vertically such that the cassette is in position, the cassette alignment unit comprising: A base plate disposed; And a pair of roller conveyors disposed on both sides of the base plate along the entry direction of the cassette for conveying the cassette located at the cassette entrance port inward.

이때, 상기 롤러 컨베이어는 상기 베이스 플레이트에 설치되는 롤러 프레임; 상기 롤러 프레임에 회전가능하도록 핀결합되는 복수의 롤러; 상기 롤러의 일측에 결합되는 기어; 및 상기 기어에 맞물려서 상기 기어에 회전력을 전달하는 컨베이어 스크류를 구비하는 것을 특징으로 한다.At this time, the roller conveyor includes a roller frame installed on the base plate; A plurality of rollers rotatably coupled to the roller frame; A gear coupled to one side of the roller; And a conveyor screw engaged with the gear to transmit a rotational force to the gear.

또한, 한 쌍의 상기 롤러 컨베이어들 중 적어도 하나의 상기 롤러 컨베이어는 상기 컨베이어 스크류의 일단에 연결되어 회전력을 제공하는 제1모터를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.The at least one roller conveyor of the pair of roller conveyors may further include a first motor connected to one end of the conveyor screw to provide a rotational force.

또한, 상기 제1모터는 상기 카세트가 상기 롤러에 접촉될 때 구동되고, 상기 카세트가 미리 정해진 위치로 진입이 완료된 경우 구동이 정지되는 것을 특징으로 한다.The first motor is driven when the cassette contacts the roller, and stops driving when the cassette reaches the predetermined position.

또한, 상기 베이스 플레이트의 상부에는 상기 롤러 컨베이어에 의해 내측으로 진입이 완료된 상기 카세트의 하부에 접하여 상기 카세트를 상승시키는 플로팅 유닛이 구비된 것을 특징으로 한다.In addition, the upper portion of the base plate is provided with a floating unit for raising the cassette in contact with a lower portion of the cassette which has been advanced inwardly by the roller conveyor.

또한, 상기 롤러 컨베이어에 의해 내측으로 이송되어 정위치에 위치한 상기 카세트 및 상기 카세트에 안착된 복수의 마스크에 대한 변위를 측정하는 카세트 센싱 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The apparatus further comprises a cassette sensing unit for measuring displacements of the cassette positioned in the correct position and conveyed inward by the roller conveyor and a plurality of masks seated in the cassette.

또한, 상기 카세트 센싱 유닛은 상기 베이스 플레이트에 대하여 수직하게 배치되는 포스트; 상기 포스트의 길이방향을 따라 설치되는 승강 스크류; 상기 승강 스크류의 일단에 연결되어 회전력을 제공하는 제2모터; 상기 승강 스크류에 맞물려서 상기 승강 스크류의 길이방향을 따라 승강하는 아암; 및 상기 아암에 설치되는 변위 센서를 구비하는 것을 특징으로 한다.The cassette sensing unit may further include: a post disposed perpendicular to the base plate; An elevating screw installed along the longitudinal direction of the post; A second motor connected to one end of the lifting screw to provide a rotational force; An arm engaged with the lifting screw to move up and down along the longitudinal direction of the lifting screw; And a displacement sensor provided on the arm.

또한, 상기 카세트 센싱 유닛은 적어도 2개 구비되되, 2개의 상기 카세트 센싱 유닛들은 상기 아암이 서로 마주보도록 상기 카세트 출입구의 양측에 각각 하나씩 설치되는 것을 특징으로 한다.In addition, at least two cassette sensing units are provided, and two cassette sensing units are installed on both sides of the cassette entrance so that the arms face each other.

본 발명은 카세트가 반송 대차로부터 직접 카세트 정렬 유닛으로 전달되도록 하여 공정의 수를 축소시키고, 성능을 그대로 유지하면서도 카세트 및 마스크의 정위치 확인을 위한 센서의 수, 특히 마스크용 센서의 수를 기존의 20개에서 4개로 줄임으로써 제조비용을 크게 절감할 수 있는 효과가 있다.The present invention reduces the number of processes by allowing the cassette to be transferred directly from the transporting carriage to the cassette aligning unit, and the number of sensors, particularly the number of sensors for masks, for accurate positioning of the cassette and mask, It is possible to greatly reduce the manufacturing cost by reducing the number from 20 to 4.

도1은 본 발명의 실시예에 따른 카세트 정렬 유닛의 사시도이다.
도2는 도1에서 프레임의 일부를 절개한 상태에서의 사시도이다.
도3은 정렬 어셈블리의 상부에 설치된 롤러 컨베이어의 사시도이다.
도4는 도3의 평면도이다.
도5는 롤러 컨베이어에 의해 카세트가 카세트 정렬 유닛 내부로 진입하는 상태를 도시한 도면이다.
도6은 롤러 컨베이어에 의해 카세트가 카세트 정렬 유닛 내부로 진입한 상태를 도시한 도면이다.
도7은 도6의 우측면도이다.
도8은 롤러 컨베이어의 내부를 도시한 사시도이다.
도9 및 도10은 카세트 센싱 유닛의 내부를 도시한 사시도이다.1 is a perspective view of a cassette alignment unit according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a perspective view of a state in which a part of the frame is cut in Fig.
Figure 3 is a perspective view of a roller conveyor installed on top of the alignment assembly.
Fig. 4 is a plan view of Fig. 3. Fig.
Fig. 5 is a view showing a state in which the cassette enters the cassette aligning unit by the roller conveyor. Fig.
6 is a view showing a state in which the cassette is moved into the cassette aligning unit by the roller conveyor.
7 is a right side view of Fig.
8 is a perspective view showing the interior of the roller conveyor.
9 and 10 are perspective views showing the inside of the cassette sensing unit.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세하게 설명한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 첨가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. 또한, 이하에서 본 발명의 실시예를 설명할 것이나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정하거나 제한되지 않고 당업자에 의해 실시될 수 있음은 물론이다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the same reference numerals are used to designate the same or similar components throughout the drawings. Further, if it is determined that the gist of the present invention may be blurred, detailed description thereof will be omitted. In addition, embodiments of the present invention will be described below, but it goes without saying that the technical idea of the present invention is not limited thereto and can be practiced by those skilled in the art.

도1은 본 발명의 실시예에 따른 카세트 정렬 유닛의 사시도이고, 도2는 도1에서 프레임의 일부를 절개한 상태에서의 사시도이다.FIG. 1 is a perspective view of a cassette aligning unit according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view in a state in which a part of a frame is cut in FIG.

이하, 본 발명의 실시예에 따른 카세트 정렬 유닛(100)에 대해 설명한다. Hereinafter, the cassette aligning unit 100 according to the embodiment of the present invention will be described.

본 발명의 실시예에 따른 카세트 정렬 유닛(100)은 반송 대차(미도시)에 적재된 카세트(10)가 별도의 포크와 같은 장치를 필요로 하지 않고, 반송 대차로부터 직접 카세트(10)를 내부로 이송될 수 있도록 한 것이다.The cassette aligning unit 100 according to the embodiment of the present invention is configured such that the cassette 10 loaded on the transporting carriage (not shown) does not need a separate fork-like device and moves the cassette 10 directly As shown in FIG.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 카세트 정렬 유닛(100)은 내부로 진입이 완료된 카세트(10)와 카세트(10)에 탑재된 복수의 마스크(12)가 정위치에 배치되었는지 여부를 감지하는 센서가 마스크(12)의 수량에 따라 복수 개 구비되지 않고도 카세트(10)와 각각의 마스크(12)에 대한 변위를 감지할 수 있도록 함으로써 다수의 센서를 구비함에 따른 비용을 최소화할 수 있도록 한 것이다.The cassette aligning unit 100 according to the embodiment of the present invention includes a cassette 10 in which the cassette 10 has been inserted into the cassette 10 and a sensor 12 that detects whether or not a plurality of masks 12 mounted on the cassette 10 are arranged in position The displacement of the cassette 10 and each of the masks 12 can be detected without providing a plurality of the cassettes 10 according to the number of the masks 12, thereby minimizing the cost due to having a plurality of sensors.

구체적으로 본 발명의 실시예에 따른 카세트 정렬 유닛(100)은 장치들을 설치하기 위한 소정의 구조체를 이루는 프레임(110)을 구비하고, 프레임(110)에 의해 짜여진 구조체에는 카세트(10)가 반입 및 반출될 수 있는 카세트 출입구(112)가 형성된다.Specifically, the cassette aligning unit 100 according to an embodiment of the present invention includes a frame 110 constituting a predetermined structure for installing the devices, and the structure woven by the frame 110 includes a cassette 10, A cassette entrance 112 which can be taken out is formed.

프레임(110)에 의해 짜여진 구조체의 하부에는 베이스 플레이트(120)의 하부에 연결되어 베이스 플레이트(120)의 수평 위치, 수직 위치 및 수평면 상에서의 각도를 조절하여 베이스 플레이트(120) 상에 배치되는 카세트(10)가 정위치에 안착되도록 하는 정렬 어셈블리(170, 도7 참고)가 배치된다.The lower part of the structure woven by the frame 110 is connected to the lower part of the base plate 120 to adjust the horizontal position and the vertical position of the base plate 120 and the angle on the horizontal plane, An alignment assembly 170 (see FIG. 7) is disposed so that the body 10 is seated in place.

도3은 정렬 어셈블리의 상부에 설치된 롤러 컨베이어의 사시도이고, 도4는 도3의 평면도이며, 도5는 롤러 컨베이어에 의해 카세트가 카세트 정렬 유닛 내부로 진입하는 상태를 도시한 도면이다. 또한, 도6은 롤러 컨베이어에 의해 카세트가 카세트 정렬 유닛 내부로 진입한 상태를 도시한 도면이고, 도7은 도6의 우측면도이며, 도8은 롤러 컨베이어의 내부를 도시한 사시도이다.FIG. 3 is a perspective view of a roller conveyor installed on an upper part of the alignment assembly, FIG. 4 is a plan view of FIG. 3, and FIG. 5 is a view showing a state in which the cassette enters the cassette aligning unit by the roller conveyor. 6 is a view showing a state in which the cassette is moved into the cassette aligning unit by the roller conveyor, Fig. 7 is a right side view of Fig. 6, and Fig. 8 is a perspective view showing the inside of the roller conveyor.

도3 내지 도8에 상세하게 도시된 롤러 컨베이어(130)는 반송 대차에 의해 이송된 카세트(10)가 카세트 출입구(112)에 위치할 때 반송 대차에 적재된 카세트(10)를 카세트 정렬 유닛(100)의 내부로 이송시키는 역할을 한다.The roller conveyor 130 shown in detail in Figs. 3 to 8 is a roller conveyor 130 for conveying the cassette 10 loaded on the conveyance truck when the cassette 10 conveyed by the conveyance truck is positioned at the cassette entrance 112, 100).

구체적으로 롤러 컨베이어(130)는 도3에 도시된 바와 같이 베이스 플레이트(120)의 양측 상부에 카세트(10)의 진입방향을 따라 배치된다.Specifically, the roller conveyor 130 is disposed along both sides of the base plate 120 along the entry direction of the cassette 10 as shown in FIG.

이러한 롤러 컨베이어(130)는 베이스 플레이트(120)에 설치되는 롤러 프레임(132)과, 롤러 프레임(132)에 회전가능하도록 핀결합되는 복수의 롤러(134)를 구비하고, 롤러(134)의 일측에는 기어(136)가 결합된다.The roller conveyor 130 includes a roller frame 132 mounted on the base plate 120 and a plurality of rollers 134 rotatably engaged with the roller frame 132. The roller 134 The gear 136 is engaged.

기어(136)에는 컨베이어 스크류(138)가 맞물려 회전함으로써 기어(136)에 회전력을 전달한다. 컨베이어 스크류(138)로부터 회전력을 전달받은 기어(136)들이 회전함으로써 롤러(134)들이 구동된다.The gear 136 transfers rotational force to the gear 136 by engaging and rotating the conveyor screw 138. The rollers 134 are driven by the rotation of the gears 136 that receive the rotational force from the conveyor screw 138.

이처럼 기어(136) 및 컨베이어 스크류(138)로 이루어진 구성에 의해 스크류 기어 방식으로 동력을 전달받는 복수의 롤러(134)들은 모두 동일한 속도와 동일한 방향으로 구동됨으로써 카세트(10)의 이송 시 안정성을 유지할 수 있게 된다.The plurality of rollers 134, which are powered by the screw gear system by the configuration of the gear 136 and the conveyor screw 138, are all driven at the same speed and in the same direction so as to maintain the stability during conveyance of the cassette 10 .

베이스 플레이트(120)의 양측에 하나씩 구비된 한 쌍의 롤러 컨베이어(130)들 중 적어도 하나의 롤러 컨베이어(130)에는 컨베이어 스크류(138)의 일단에 연결되어 회전력을 제공하는 제1모터(150)가 구비된다.At least one roller conveyor 130 of a pair of roller conveyors 130 provided on both sides of the base plate 120 is provided with a first motor 150 connected to one end of the conveyor screw 138 to provide rotational force, .

제1모터(150)는 도면들에 도시된 바와 같이 어느 하나의 롤러 컨베이어(130)에만 설치는 것이 바람직한데, 이렇게 함으로써 2개의 모터가 설치될 경우 모터들 간의 속도 차이로 인해 카세트(10)가 이송과정에서 카세트(10)의 자세가 틀어지는 것을 방지할 수 있게 된다.It is preferable that the first motor 150 is installed in only one of the roller conveyors 130 as shown in the drawings so that when the two motors are installed, the speed difference between the motors causes the cassette 10 It is possible to prevent the posture of the cassette 10 from being changed during the transfer process.

이때, 제1모터(150)는 카세트(10)가 카세트 출입구(112)에 진입하여 롤러(134)에 접촉될 때 구동되고, 반대로 카세트(10)가 미리 정해진 위치로 진입이 완료된 경우 구동이 정지되도록 구비된다.At this time, the first motor 150 is driven when the cassette 10 enters the cassette entrance 112 and comes into contact with the roller 134, and when the cassette 10 enters the predetermined position, Respectively.

이를 위해 프레임(110) 또는 롤러 컨베이어(130)에는 카세트(10)가 롤러(134)에 접촉될 때 이를 감지하여 제1모터(150)를 구동시키는 센서(미도시)와, 카세트(10)가 정해진 정위치로 진입이 완료된 것을 감지하여 구동 중인 제1모터(150)를 정지시키는 센서(미도시)를 구비할 수 있다.To this end, a frame 110 or a roller conveyor 130 is provided with a sensor (not shown) for sensing the cassette 10 when the cassette 10 is contacted with the roller 134 to drive the first motor 150, And a sensor (not shown) for detecting the completion of the entry to the predetermined fixed position and stopping the first motor 150 being driven.

베이스 플레이트(120)의 상부에는 롤러 컨베이어(130)에 의해 내측으로 진입이 완료된 카세트(10)의 하부에 접하여 카세트(10)를 상승시키는 플로팅 유닛(160)이 배치된다.A floating unit 160 for raising the cassette 10 is disposed above the base plate 120 in contact with a lower portion of the cassette 10 which has been advanced inward by the roller conveyor 130.

플로팅 유닛(160)은 카세트(10)의 진입이 완료되어 제1모터(150)가 정지된 후 작동하여 카세트(10)를 상승시킨다. 플로팅 유닛(160)에 의해 상승된 카세트(10)는 롤러(134)로부터 이격되어 플로팅 유닛(160)에 의해 지지된다.The floating unit 160 is operated after the first motor 150 is stopped after the cassette 10 is fully inserted, thereby raising the cassette 10. The cassette 10 lifted by the floating unit 160 is supported by the floating unit 160 away from the roller 134.

이와 같이 플로팅 유닛(160)에 의해 지지된 카세트(10)는 베이스 플레이트(120) 하부에 설치된 정렬 어셈블리(170)가 베이스 플레이트(120)의 수평 및 수직 위치를 조절함에 의해 위치가 보정된다.The cassette 10 supported by the floating unit 160 is positioned by adjusting the horizontal and vertical positions of the base plate 120 by the alignment assembly 170 disposed under the base plate 120. [

이때, 카세트 센싱 유닛(180)은 카세트(10) 및 카세트(10)에 탑재된 마스크(12)가 정위치에 위치하였는지 여부를 감지하고, 정렬 어셈블리(170)와 연동하여 정렬 어셈블리(170)가 베이스 플레이트(120)를 이동시킬 방향과 거리 및 각도에 따라 작동될 수 있도록 데이터를 전송하는 기능을 수행한다.The cassette sensing unit 180 then senses whether the cassette 10 and the mask 12 mounted on the cassette 10 are in place and aligns the alignment assembly 170 with the alignment assembly 170 And transmits data so that the base plate 120 can be operated according to a direction, a distance and an angle to move the base plate 120.

다시 말해, 카세트 센싱 유닛(180)은 롤러 컨베이어(130)에 의해 내측으로 이송되어 정위치에 위치한 카세트(10) 및 카세트(10)에 안착된 복수의 마스크(12)에 대한 변위를 측정하고, 측정된 데이터를 정렬 어셈블리(170)의 제어부(미도시)로 전송하여 정렬 어셈블리(170)가 카세트(10) 및 마스크(12)의 위치에 대한 오차를 보정하기 위한 방향으로 작동될 수 있도록 한다.In other words, the cassette sensing unit 180 is moved inward by the roller conveyor 130 to measure the displacement of the cassette 10 positioned in position and the plurality of masks 12 seated in the cassette 10, The measured data is transmitted to a control (not shown) of the alignment assembly 170 so that the alignment assembly 170 can be operated in a direction for correcting the errors relative to the positions of the cassette 10 and the mask 12.

도9 및 도10은 카세트 센싱 유닛의 내부를 도시한 사시도이다.9 and 10 are perspective views showing the inside of the cassette sensing unit.

구체적으로 카세트 센싱 유닛(180)은 프레임(110)에 설치되고 베이스 플레이트(120)에 대하여 수직하게 배치되는 포스트(182)와, 포스트(182)의 길이방향을 따라 설치되는 승강 스크류(184), 승강 스크류(184)의 일단에 연결되어 회전력을 제공하는 제2모터(186), 승강 스크류(184)에 맞물려서 승강 스크류(184)의 길이방향을 따라 승강하는 아암(188)을 구비한다. Specifically, the cassette sensing unit 180 includes a post 182 installed on the frame 110 and disposed perpendicular to the base plate 120, a lifting screw 184 installed along the longitudinal direction of the post 182, A second motor 186 connected to one end of the lifting screw 184 to provide a rotational force and an arm 188 which is engaged with the lifting screw 184 and ascends and descends along the longitudinal direction of the lifting screw 184.

또한, 아암(188)에는 변위 센서로 이루어지는 카세트 변위 센서(190)와 마스크 변위 센서(192)를 구비하여 각각 카세트(10)와 마스크(12)의 변위를 측정한다.The arm 188 is provided with a cassette displacement sensor 190 formed of a displacement sensor and a mask displacement sensor 192 to measure the displacements of the cassette 10 and the mask 12, respectively.

여기서 아암(188)은 승강 스크류(184)의 회전력을 전달받아 상하방향으로 직선 왕복운동하도록 구성된다. 이와 같이 회전운동을 직선운동으로 전환하는 아암(188)의 내부구조는 이미 공지된 기술에 속하므로 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.Here, the arm 188 is configured to receive the rotational force of the lifting screw 184 and linearly reciprocate in the vertical direction. Since the internal structure of the arm 188 for converting the rotational motion into the rectilinear motion belongs to a known technique, a detailed description thereof will be omitted.

변위 센서(190,192)가 장착된 아암(188)은 상하방향으로 이동하면서 변위 센서(190,192)들이 카세트(10)와 카세트(10)에 탑재된 마스크(12)들을 하나씩 센싱할 수 있도록 한다.The arm 188 on which the displacement sensors 190 and 192 are mounted moves in the vertical direction so that the displacement sensors 190 and 192 can sense the cassettes 10 and the masks 12 mounted on the cassette 10 one by one.

이와 같이 아암(188)이 소수의 변위 센서(190,192)를 장착한 상태로 마스크(12)들이 탑재된 카세트(10) 주변을 이동함으로써 종래와 같이 카세트(10)에 탑재된 각각의 마스크(12)에 대응하는 위치마다 다수의 센서들을 설치할 필요가 없어 센서 구비에 소요되는 비용을 크게 절감할 수 있다.The arm 188 moves around the cassette 10 on which the masks 12 are mounted with the small number of displacement sensors 190 and 192 mounted thereon so that each of the masks 12 mounted on the cassette 10, It is not necessary to provide a large number of sensors for each position corresponding to the sensor.

카세트 센싱 유닛(180)은 적어도 2개 구비하여 카세트(10)와 마스크(12)의 위치를 더욱 정밀하게 측정하는 것이 바람직하다. 이때, 2개의 카세트 센싱 유닛(180)들은 도1에 도시된 바와 같이 아암(188)이 서로 마주보도록 카세트 출입구(112)의 양측에 각각 하나씩 설치할 수 있다.It is preferable to provide at least two cassette sensing units 180 so as to measure the positions of the cassette 10 and the mask 12 more precisely. At this time, the two cassette sensing units 180 may be installed on both sides of the cassette entrance 112 so that the arms 188 face each other as shown in FIG.

상술한 바와 같이 본 발명은 카세트(10)가 반송 대차로부터 직접 카세트 정렬 유닛(100)으로 전달되도록 하여 공정의 수를 축소시키고, 성능을 그대로 유지하면서도 카세트(10) 및 마스크(12)의 정위치 확인을 위한 센서의 수를 줄임으로써 제조비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.As described above, the present invention reduces the number of processes by allowing the cassette 10 to be transferred directly from the transporting carriage to the cassette aligning unit 100, and is capable of moving the cassette 10 and the mask 12 The manufacturing cost can be reduced by reducing the number of sensors for confirmation.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능할 것이다. 따라서 본 발명에 개시된 실시예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호범위는 청구 범위에 의해서 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications, substitutions and substitutions are possible, without departing from the scope and spirit of the invention as disclosed in the accompanying claims. will be. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention and the accompanying drawings are intended to illustrate and not to limit the technical spirit of the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments and accompanying drawings. The scope of protection of the present invention should be construed according to the claims, and all technical ideas within the scope of equivalents thereof should be construed as being included in the scope of the present invention.

10: 카세트 12: 마스크
100: 카세트 정렬 유닛 110: 프레임
112: 카세트 출입구 120: 베이스 플레이트
130: 롤러 컨베이어 132: 롤러 프레임
134: 롤러 136: 기어
138: 컨베이어 스크류 150: 제1모터
160: 플로팅 유닛 170: 정렬 어셈블리
180: 카세트 센싱 유닛 182: 포스트
184: 승강 스크류 186: 제2모터
190: 카세트 변위 센서 192: 마스크 변위 센서10: cassette 12: mask
100: cassette alignment unit 110: frame
112: cassette entrance 120: base plate
130: Roller conveyor 132: Roller frame
134: roller 136: gear
138: Conveyor screw 150: First motor
160: Floating unit 170: Alignment assembly
180: cassette sensing unit 182: post
184: lifting screw 186: second motor
190: cassette displacement sensor 192: mask displacement sensor

Claims (8)

카세트가 정위치에 위치하도록 상기 카세트를 수평 및 수직방향으로 정렬시키는 정렬 어셈블리를 포함한 카세트 정렬 유닛에 있어서,
상기 카세트 정렬 유닛은,
상기 정렬 어셈블리의 상부에 배치되는 베이스 플레이트; 및
상기 베이스 플레이트의 양측 상부에 상기 카세트의 진입방향을 따라 배치되어 카세트 출입구에 위치한 상기 카세트를 내측으로 이송시키는 한 쌍의 롤러 컨베이어를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 정렬 유닛.A cassette alignment unit comprising an alignment assembly for aligning the cassette horizontally and vertically such that the cassette is in place,
The cassette aligning unit includes:
A base plate disposed on top of the alignment assembly; And
Further comprising: a pair of roller conveyors disposed on both sides of the base plate, the pair of rollers conveying the cassette positioned in the cassette entrance direction along the entering direction of the cassette inward. 제1항에 있어서,
상기 롤러 컨베이어는
상기 베이스 플레이트에 설치되는 롤러 프레임;
상기 롤러 프레임에 회전가능하도록 핀결합되는 복수의 롤러;
상기 롤러의 일측에 결합되는 기어; 및
상기 기어에 맞물려서 상기 기어에 회전력을 전달하는 컨베이어 스크류를 구비하는 것을 특징으로 하는 카세트 정렬 유닛.The method according to claim 1,
The roller conveyor
A roller frame installed on the base plate;
A plurality of rollers rotatably coupled to the roller frame;
A gear coupled to one side of the roller; And
And a conveyor screw that engages with the gear to transmit rotational force to the gear. 제2항에 있어서,
한 쌍의 상기 롤러 컨베이어들 중 적어도 하나의 상기 롤러 컨베이어는
상기 컨베이어 스크류의 일단에 연결되어 회전력을 제공하는 제1모터를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 카세트 정렬 유닛.3. The method of claim 2,
The roller conveyor of at least one of the pair of roller conveyors
Further comprising a first motor coupled to one end of the conveyor screw to provide a rotational force. 제3항에 있어서,
상기 제1모터는
상기 카세트가 상기 롤러에 접촉될 때 구동되고, 상기 카세트가 미리 정해진 위치로 진입이 완료된 경우 구동이 정지되는 것을 특징으로 하는 카세트 정렬 유닛.The method of claim 3,
The first motor
Wherein the cassette is driven when the cassette contacts the roller, and stops when the cassette reaches the predetermined position. 제1항에 있어서,
상기 베이스 플레이트의 상부에는
상기 롤러 컨베이어에 의해 내측으로 진입이 완료된 상기 카세트의 하부에 접하여 상기 카세트를 상승시키는 플로팅 유닛이 구비된 것을 특징으로 하는 카세트 정렬 유닛.The method according to claim 1,
At an upper portion of the base plate
And a floating unit for raising the cassette in contact with a lower portion of the cassette whose entry to the inside is completed by the roller conveyor. 제1항에 있어서,
상기 롤러 컨베이어에 의해 내측으로 이송되어 정위치에 위치한 상기 카세트 및 상기 카세트에 안착된 복수의 마스크에 대한 변위를 측정하는 카세트 센싱 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 정렬 유닛.The method according to claim 1,
Further comprising a cassette sensing unit for measuring displacements of said cassettes positioned in position and conveyed inward by said roller conveyor and a plurality of masks seated in said cassette. 제6항에 있어서,
상기 카세트 센싱 유닛은
상기 베이스 플레이트에 대하여 수직하게 배치되는 포스트;
상기 포스트의 길이방향을 따라 설치되는 승강 스크류;
상기 승강 스크류의 일단에 연결되어 회전력을 제공하는 제2모터;
상기 승강 스크류에 맞물려서 상기 승강 스크류의 길이방향을 따라 승강하는 아암; 및
상기 아암에 설치되는 변위 센서를 구비하는 것을 특징으로 하는 카세트 정렬 유닛.The method according to claim 6,
The cassette sensing unit
A post disposed perpendicular to the base plate;
An elevating screw installed along the longitudinal direction of the post;
A second motor connected to one end of the lifting screw to provide a rotational force;
An arm engaged with the lifting screw to move up and down along the longitudinal direction of the lifting screw; And
And a displacement sensor provided on the arm. 제7항에 있어서,
상기 카세트 센싱 유닛은 적어도 2개 구비되되,
2개의 상기 카세트 센싱 유닛들은 상기 아암이 서로 마주보도록 상기 카세트 출입구의 양측에 각각 하나씩 설치되는 것을 특징으로 하는 카세트 정렬 유닛.8. The method of claim 7,
At least two cassette sensing units are provided,
Wherein the two cassette sensing units are installed on each side of the cassette entrance so that the arms face each other.
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