KR101407413B1 - Cassette handling apparatus mask cassette supplying system - Google Patents

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백영환
김성헌
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주식회사 에스에프에이
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Abstract

카세트 핸들링 장치를 구비하는 카세트 공급시스템이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 핸들링 장치를 구비하는 카세트 공급시스템은, 클린룸(clean room) 내에 마련되는 챔버 내로 카세트(cassette)를 공급하는 카세트 핸들링 장치; 및 유닛 바디와, 유닛 바디에 마련되어 카세트 핸들링 장치를 X축 방향으로 이동 가능하게 지지하는 X축 이동지지부와, 유닛 바디에 마련되며, 카세트 핸들링 장치를 X축에 교차되는 Y축 방향을 따라 이동 가능하게 지지하는 Y축 이동지지부를 구비하며, 챔버의 상부 영역에 배치되는 OHT 유닛(Over Head Transfer Unit)을 포함하며, 카세트 핸들링 장치는, 장치본체; 장치본체에 마련되며, 카세트의 상부 영역에 마련되는 그립핑 브래킷에 선택적으로 그립핑(gripping)되는 그립퍼; 그립퍼가 그립핑 브래킷에 그립핑되거나 그립핑 해제되도록 그립퍼를 구동시키는 그립퍼 구동부; 및 장치본체에 마련되어 그립퍼를 지지하는 그립퍼 지지블록을 포함하며, 그립퍼 지지블록에는 그립퍼가 상호 이격되게 한 쌍으로 결합되되 그립퍼 지지블록은 상호간 대칭되게 한 쌍으로 마련되는 것을 특징으로 한다.Disclosed is a cassette supply system having a cassette handling device. A cassette supply system having a cassette handling apparatus according to an embodiment of the present invention includes a cassette handling apparatus for supplying a cassette into a chamber provided in a clean room; And an X-axis moving support unit provided on the unit body for supporting the cassette handling apparatus movably in the X-axis direction, and a plurality of X-axis moving support units provided on the unit body, wherein the cassette handling apparatus is movable along the Y- And an OHT unit (Over Head Transfer Unit) disposed in an upper region of the chamber, the cassette handling apparatus comprising: a main body; A gripper provided in the apparatus body and selectively gripping a gripping bracket provided in an upper region of the cassette; A gripper driver for driving the gripper such that the gripper is gripped or released from the gripping bracket; And a gripper support block provided on the apparatus main body to support the gripper, wherein the gripper support block is coupled to the gripper support blocks so that the grippers are spaced apart from each other, and the gripper support blocks are provided symmetrically with each other.

Description

카세트 핸들링 장치를 구비하는 카세트 공급시스템{Cassette handling apparatus mask cassette supplying system}[0001] The present invention relates to a cassette handling apparatus,

본 발명은, 카세트 핸들링 장치를 구비하는 카세트 공급시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 종래와 달리 카세트를 상부에서 핸들링할 수 있기 때문에 다양한 공정 환경에 적응적으로 대처할 수 있으며, 특히 클린룸(clean room) 내에서 챔버의 상부 영역에 존재하는 넓은 공간을 활용하여 카세트를 챔버로 공급함으로써 클린룸 내의 공간을 경제적으로 활용할 수 있고 챔버 주변의 레이아웃(layout)을 단순화시킬 수 있으며, 이에 따라 자동화 구축이 용이해질 수 있는 카세트 핸들링 장치를 구비하는 카세트 공급시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a cassette supply system having a cassette handling apparatus, and more particularly, it is possible to adapt to various process environments by handling a cassette from the upper side unlike the prior art, the space in the clean room can be economically utilized and the layout around the chamber can be simplified by supplying the cassette to the chamber by utilizing a wide space existing in the upper region of the chamber in the room, And more particularly, to a cassette feeding system having a cassette handling device that can be facilitated.

평판표시소자 중의 하나인 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Display)는 유기물의 자체 발광에 의해 컬러 화상을 구현하는 초경박형 표시장치로서, 그 구조가 간단하면서 광 효율이 높다는 점에서 차세대의 유망 디스플레이 장치로서 주목받고 있다.An organic light emitting display (OLED), which is one of the flat panel display devices, is a cemented carbide type display device which realizes a color image by self-emission of an organic substance. In view of its simple structure and high light efficiency, Has attracted attention as a promising display device.

이러한 유기전계발광표시장치(OLED)는 애노드와 캐소드 그리고, 애노드와 캐소드 사이에 개재된 유기막들을 포함하고 있다. 여기서 유기막들은 최소한 발광층을 포함하며, 발광층 이외에도 정공 주입층, 정공 수송층, 전자 수송층, 전자 주입층을 더 포함할 수 있다.The organic light emitting display OLED includes an anode, a cathode, and organic layers interposed between the anode and the cathode. Here, the organic layers include at least a light emitting layer and may further include a hole injecting layer, a hole transporting layer, an electron transporting layer, and an electron injecting layer in addition to the light emitting layer.

유기전계발광표시장치는 유기막 특히, 발광층을 이루는 물질에 따라서 고분자 유기발광소자와 저분자 유기발광소자로 나뉠 수 있다.The organic electroluminescent display device can be divided into a polymer organic electroluminescent device and a low molecular weight organic electroluminescent device depending on an organic film, particularly a material forming the light emitting layer.

풀 칼라(full color)를 구현하기 위해서는 발광층을 패터닝해야 하는데, 이 경우, FMM(Fine Metal Mask, 이하 마스크라 함)을 이용한 직접 패터닝 방식과, LITI(Laser Induced Thermal Imaging) 공법을 적용한 방식, 컬러 필터(color filter)를 이용하는 방식 등이 적용될 수 있다.In order to realize a full color, a light emitting layer must be patterned. In this case, a direct patterning method using FMM (Fine Metal Mask, hereinafter referred to as a mask), a method using LITI (Laser Induced Thermal Imaging) A method using a color filter may be applied.

마스크 방식을 적용하여 대형 OLED를 제작할 때에는 챔버 내에 기판과 패터닝(patterning)된 마스크를 수평으로 배치시킨 후에 증착하는 이른 바 수평식 상향 증착 공법이 적용될 수 있다.When a large OLED is manufactured by applying a mask method, a so-called horizontal type upward deposition method in which a substrate and a patterned mask are horizontally disposed in a chamber and then deposited is applicable.

수평식 상향 증착 공법은 챔버 등의 바닥면에 대해 수평으로 배치된 기판과 마스크를 상호 얼라인시킨 후 합착시키고 수평 상태에서 대형 기판에 유기물을 증착시키는 방법이다.The horizontal upward deposition method is a method of aligning a substrate horizontally arranged on a bottom surface of a chamber and a mask and then coalescing them, and depositing an organic material on a large substrate in a horizontal state.

하지만, 현재 OLED가 대형화됨에 따라 마스크가 점점 대형화 및 고중량화되고 있으며, 이 경우 중력 방향으로 마스크의 처짐이 발생하여 기판에 대해 마스크를 밀착시키는 것이 어렵게 됨에 따라 결국에는 양산에서 요구되는 정밀도를 확보하기 어려운 문제점이 있다.However, as the size of the OLED increases, the size and weight of the mask are becoming larger and larger. In this case, since the mask is deflected in the direction of gravity, it is difficult to closely adhere the mask to the substrate. There is a difficult problem.

따라서 근자에 들어서는 기판과 마스크를 수직 방향으로 세운 후에 합착시키고, 이어 유기물을 증착하려는 기술이 연구되고 있으며, 본 출원인은 이러한 기술들에 대하여 다수 선출원한 바 있으며, 일부는 등록되어 적용 중에 있다.Therefore, techniques for depositing a substrate and a mask in a vertical direction and then cementing the substrate and a mask for depositing the organic material are studied, and Applicants have already filed a number of these techniques, some of them being registered and being applied.

한편, 전술한 수평식과 수직식을 떠나 어떠한 형태일지라도 챔버 내로 마스크를 공급하는 일이 선행되어야 하며, 그래야만 마스크를 통한 해당 공정, 예컨대 기판에 대한 증착 공정 등이 진행될 수 있다.On the other hand, it is necessary to supply a mask into the chamber regardless of the horizontal and vertical form described above, so that the corresponding process through the mask, for example, the deposition process for the substrate, can proceed.

이때, 마스크는 단독으로 공급되기도 하지만 카세트 내에 적재된 상태에서 카세트 상태로 공급될 수 있으며, 카세트의 공급을 위해 카세트 핸들링 장치가 사용된다.At this time, the mask may be supplied alone, but may be supplied in a cassette state while being loaded in the cassette, and a cassette handling apparatus is used for supplying the cassette.

그런데, 현재까지 알려지고 있는 카세트 핸들링 장치의 경우, 카세트의 밑면을 들어서 핸들링하는 방식을 가지고 있기 때문에 카세트를 그 상부에서 핸들링할 수 없으며, 이에 따라 다양한 공정 환경에 적응적으로 대처하기 어려운 문제점이 있다.However, in the case of the cassette handling device known so far, there is a problem that the cassette can not be handled from the upper part because it has a method of handling the bottom of the cassette by lifting the bottom of the cassette, which makes it difficult to adaptively cope with various process environments .

뿐만 아니라 종래처럼 카세트의 밑면을 들어 핸들링하면서 카세트를 챔버 내로 공급하는 경우, 클린룸(clean room) 내의 공간 활용에 있어 경제적이지 못하고 챔버 주변의 레이아웃(layout)이 복잡해질 수 있으며, 이에 따라 자동화 구축이 어려워지는 문제점이 발생될 수 있다.In addition, when the cassette is supplied into the chamber while handling the underside of the cassette as in the conventional case, the space in the clean room is not economical to utilize and the layout of the periphery of the chamber may become complicated. This may cause difficulties.

실제, 클린룸을 살펴보면 챔버의 상부 영역이 별다르게 활용되지 않는 넓은 빈 공간이라는 점을 감안할 때, 이러한 공간을 활용하여 카세트 공급시스템을 구축한다면 종래에서 야기되어 왔던 다양한 문제점들을 해소할 수 있을 것이라 예상되므로 이에 대한 기술 개발이 요구된다.Actually, considering the clean room, considering that the upper area of the chamber is a wide empty space that is not used differently, it would be possible to solve various problems that have been caused by the conventional case by constructing a cassette supplying system utilizing such a space Technology development is required.

대한민국특허청 출원번호 제10-2005-0011334호Korea Patent Office Application No. 10-2005-0011334

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 종래와 달리 카세트를 상부에서 핸들링할 수 있기 때문에 다양한 공정 환경에 적응적으로 대처할 수 있으며, 특히 클린룸(clean room) 내에서 챔버의 상부 영역에 존재하는 넓은 공간을 활용하여 카세트를 챔버로 공급함으로써 클린룸 내의 공간을 경제적으로 활용할 수 있고 챔버 주변의 레이아웃(layout)을 단순화시킬 수 있으며, 이에 따라 자동화 구축이 용이해질 수 있는 카세트 핸들링 장치를 구비하는 카세트 공급시스템을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made keeping in mind the above problems occurring in the prior art, and an object of the present invention is to provide a cassette which can be handled from the upper part, A cassette is provided with a cassette handling device which can economically utilize a space in a clean room and supply a cassette to a chamber by utilizing a space and simplify the layout around the chamber, System.

본 발명의 일 측면에 따르면, 장치본체; 상기 장치본체에 마련되며, 카세트(cassette)의 상부 영역에 마련되는 그립핑 브래킷에 선택적으로 그립핑(gripping)되는 그립퍼; 및 상기 그립퍼가 상기 그립핑 브래킷에 그립핑되거나 그립핑 해제되도록 상기 그립퍼를 구동시키는 그립퍼 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 핸들링 장치가 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, A gripper provided on the apparatus body and selectively gripping a gripping bracket provided in an upper region of a cassette; And a gripper driving unit for driving the gripper so that the gripper is gripped or released from the gripping bracket.

상기 장치본체에 마련되어 상기 그립퍼를 지지하는 그립퍼 지지블록을 더 포함할 수 있다.And a gripper support block provided on the apparatus main body to support the gripper.

상기 그립퍼 지지블록에는 상기 그립퍼가 상호 이격되게 한 쌍으로 결합될 수 있으며, 상기 그립퍼 지지블록은 상호간 대칭되게 한 쌍으로 마련될 수 있다.The gripper support blocks may be coupled to each other such that the grippers are spaced apart from each other, and the gripper support blocks may be provided symmetrically with each other.

상기 장치본체에 마련되어 상기 그립핑 브래킷에 대한 상기 그립퍼의 센터링을 조정하는 센터링 유닛을 더 포함할 수 있다.And a centering unit provided on the apparatus main body to adjust the centering of the gripper with respect to the gripping bracket.

상기 센터링 유닛은 상기 장치본체의 둘레 방향을 따라 코너(corner) 영역에 하나씩 배치될 수 있다.The centering units may be disposed one by one in a corner area along the circumferential direction of the apparatus main body.

상기 장치본체는 상호간 상대 회전되는 상부 본체부와 하부 본체부를 구비할 수 있으며, 상기 상부 본체부와 상기 하부 본체부 사이에 배치되어 상기 상부 본체부에 대해 상기 하부 본체부를 회전시키는 로터리 서보를 더 포함할 수 있다.The apparatus main body may further include an upper main body portion and a lower main body portion which are relatively rotated relative to each other and further include a rotary servo disposed between the upper main body portion and the lower main body portion to rotate the lower main body portion with respect to the upper main body portion can do.

챔버는 마스크를 통해 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Display)의 증착 공정을 진행하는 증착용 챔버일 수 있으며, 상기 카세트는 다수의 마스크(mask)가 적재되는 마스크 카세트일 수 있다.The chamber may be a deposition chamber for depositing an organic light emitting display (OLED) through a mask, and the cassette may be a mask cassette on which a plurality of masks are stacked.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 클린룸(clean room) 내에 마련되는 챔버의 상부 영역에 배치되는 OHT 유닛(Over Head Transfer Unit); 및 상기 OHT 유닛과 연결되어 상기 챔버 내로 상기 카세트를 공급하는 카세트 핸들링 장치를 포함하며, 상기 카세트 핸들링 장치는, 장치본체; 상기 장치본체에 마련되며, 카세트(cassette)의 상부 영역에 마련되는 그립핑 브래킷에 선택적으로 그립핑(gripping)되는 그립퍼; 및 상기 그립퍼가 상기 그립핑 브래킷에 그립핑되거나 그립핑 해제되도록 상기 그립퍼를 구동시키는 그립퍼 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 공급시스템이 제공될 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided an OHT unit (Over Head Transfer Unit) disposed in an upper region of a chamber provided in a clean room; And a cassette handling device connected to the OHT unit to supply the cassette into the chamber, the cassette handling device comprising: a device body; A gripper provided on the apparatus body and selectively gripping a gripping bracket provided in an upper region of a cassette; And a gripper driving unit for driving the gripper so that the gripper is gripped or released from the gripping bracket.

상기 OHT 유닛은, 유닛 바디; 상기 유닛 바디에 마련되어 상기 카세트 핸들링 장치를 X축 방향으로 이동 가능하게 지지하는 X축 이동지지부; 및 상기 유닛 바디에 마련되며, 상기 카세트 핸들링 장치를 상기 X축에 교차되는 Y축 방향을 따라 이동 가능하게 지지하는 Y축 이동지지부를 포함할 수 있다.The OHT unit comprises: a unit body; An X-axis moving support unit provided on the unit body and movably supporting the cassette handling device in an X-axis direction; And a Y-axis moving support unit provided on the unit body and supporting the cassette handling device movably along a Y-axis direction crossing the X-axis.

상기 OHT 유닛은, 상기 유닛 바디와 상기 카세트 핸들링 장치에 연결되며, 상기 카세트 핸들링 장치를 상기 유닛 바디에 대하여 상하 방향인 Z축 방향으로 이동 가능하게 지지하는 Z축 이동지지부를 더 포함할 수 있다.The OHT unit may further include a Z-axis movement supporting part connected to the unit body and the cassette handling device and supporting the cassette handling device movably in the vertical Z-axis direction with respect to the unit body.

상기 X축 이동지지부, 상기 Y축 이동지지부 및 상기 Z축 이동지지부 중 적어도 어느 하나는 리니어 모터(linear motor)로 마련될 수 있다.At least one of the X-axis movement support portion, the Y-axis movement support portion, and the Z-axis movement support portion may be provided as a linear motor.

상기 유닛 바디는, 상부 프레임; 상기 상부 프레임의 하방으로 이격 배치되는 하부 베이스 플레이트; 및 상기 상부 프레임과 상기 하부 베이스 플레이트를 연결하는 다수의 연결 프레임을 포함할 수 있다.The unit body includes an upper frame; A lower base plate spaced apart below the upper frame; And a plurality of connection frames connecting the upper frame and the lower base plate.

상기 하부 베이스 플레이트는 다수의 단위 플레이트를 포함할 수 있으며, 상기 하부 베이스 플레이트에는 다수의 통공이 형성될 수 있다.The lower base plate may include a plurality of unit plates, and a plurality of through holes may be formed in the lower base plate.

상기 카세트 핸들링 장치는, 상기 장치본체에 마련되어 상기 그립퍼를 지지하는 그립퍼 지지블록을 더 포함할 수 있다.The cassette handling apparatus may further include a gripper support block provided on the apparatus body to support the gripper.

상기 그립퍼 지지블록에는 상기 그립퍼가 상호 이격되게 한 쌍으로 결합될 수 있으며, 상기 그립퍼 지지블록은 상호간 대칭되게 한 쌍으로 마련될 수 있다.The gripper support blocks may be coupled to each other such that the grippers are spaced apart from each other, and the gripper support blocks may be provided symmetrically with each other.

상기 카세트 핸들링 장치는, 상기 장치본체에 마련되어 상기 그립핑 브래킷에 대한 상기 그립퍼의 센터링을 조정하는 센터링 유닛을 더 포함할 수 있다.The cassette handling apparatus may further include a centering unit provided on the apparatus body to adjust the centering of the gripper with respect to the gripping bracket.

상기 센터링 유닛은 상기 장치본체의 둘레 방향을 따라 코너(corner) 영역에 하나씩 배치될 수 있다.The centering units may be disposed one by one in a corner area along the circumferential direction of the apparatus main body.

상기 장치본체는 상호간 상대 회전되는 상부 본체부와 하부 본체부를 구비할 수 있으며, 상기 카세트 핸들링 장치는, 상기 상부 본체부와 상기 하부 본체부 사이에 배치되어 상기 상부 본체부에 대해 상기 하부 본체부를 회전시키는 로터리 서보를 더 포함할 수 있다.The apparatus main body may include an upper main body portion and a lower main body portion which are relatively rotated relative to each other. The cassette handling device may include a lower body portion disposed between the upper body portion and the lower body portion, And a rotary servo for driving the rotary shaft.

상기 챔버는 마스크를 통해 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Display)의 증착 공정을 진행하는 증착용 챔버일 수 있으며, 상기 카세트는 다수의 마스크(mask)가 적재되는 마스크 카세트일 수 있다.The chamber may be a deposition chamber for depositing an organic light emitting display (OLED) through a mask, and the cassette may be a mask cassette on which a plurality of masks are stacked.

본 발명에 따르면, 종래와 달리 카세트를 상부에서 핸들링할 수 있기 때문에 다양한 공정 환경에 적응적으로 대처할 수 있으며, 특히 클린룸(clean room) 내에서 챔버의 상부 영역에 존재하는 넓은 공간을 활용하여 카세트를 챔버로 공급함으로써 클린룸 내의 공간을 경제적으로 활용할 수 있고 챔버 주변의 레이아웃(layout)을 단순화시킬 수 있으며, 이에 따라 자동화 구축이 용이해질 수 있다.According to the present invention, since the cassette can be handled from the upper side unlike the conventional one, it can adaptively cope with various process environments. In particular, by utilizing a wide space existing in the upper region of the chamber in a clean room, The space in the clean room can be economically utilized and the layout of the periphery of the chamber can be simplified, thereby facilitating automation construction.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 공급시스템의 개략적인 구조 도면이다.
도 2는 카세트 핸들링 장치가 카세트를 그립핑한 상태의 사시도이다.
도 3은 도 2를 다른 각도에서 도시한 사시도이다.
도 4는 도 3의 요부 확대도이다.
도 5는 도 4의 요부 확대도이다.
도 6은 도 4의 개략적인 측면 구조도이다.
도 7은 카세트가 그립핑된 상태의 측면 확대 구조도이다.1 is a schematic structural diagram of a cassette supply system according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a perspective view of the cassette handling device gripping the cassette; Fig.
Figure 3 is a perspective view of Figure 2 from another angle.
4 is an enlarged view of the main part of Fig.
5 is an enlarged view of the main part of Fig.
Fig. 6 is a schematic side view of the structure of Fig. 4. Fig.
7 is a side view enlarged view of the cassette in a gripped state.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, operational advantages of the present invention, and objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings and the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference symbols in the drawings denote like elements.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 공급시스템의 개략적인 구조 도면이고, 도 2는 카세트 핸들링 장치가 카세트를 그립핑한 상태의 사시도이며, 도 3은 도 2를 다른 각도에서 도시한 사시도이고, 도 4는 도 3의 요부 확대도이며, 도 5는 도 4의 요부 확대도이고, 도 6은 도 4의 개략적인 측면 구조도이며, 도 7은 카세트가 그립핑된 상태의 측면 확대 구조도이다.2 is a perspective view of the cassette handling apparatus in a state where the cassette handling apparatus grips the cassette, and Fig. 3 is a perspective view of the cassette handling apparatus according to the embodiment of the present invention, FIG. 4 is an enlarged view of the main part of FIG. 3, FIG. 5 is an enlarged view of the main part of FIG. 4, FIG. 6 is a schematic side view of the structure of FIG. 4 and FIG. 7 is a side enlarged view of the cassette being gripped .

이들 도면을 참조하되 먼저 도 1을 참조하면, 본 실시예의 카세트 공급시스템은, 클린룸(clean room) 내에 마련되는 챔버(1)의 상부 영역에 배치되는 OHT 유닛(110, Over Head Transfer Unit)과, OHT 유닛(110)과 연결되어 챔버(1) 내로 카세트(5)를 공급하는 카세트 핸들링 장치(140)를 포함한다.1, a cassette supply system according to the present embodiment includes an OHT unit 110 (Over Head Transfer Unit) disposed in an upper region of a chamber 1 provided in a clean room, And a cassette handling device 140 connected to the OHT unit 110 to supply the cassette 5 into the chamber 1. [

본 실시예의 경우, 종래와 달리 카세트(5)를 상부에서 핸들링할 수 있기 때문에 다양한 공정 환경에 적응적으로 대처할 수 있으며, 특히 클린룸 내에서 챔버(1)의 상부 영역에 존재하는 넓은 공간을 활용하여 카세트(5)를 챔버(1)로 공급함으로써 클린룸 내의 공간을 경제적으로 활용할 수 있고 챔버(1) 주변의 레이아웃(layout)을 단순화시킬 수 있으며, 이에 따라 자동화 구축이 용이해질 수 있다.In this embodiment, since the cassette 5 can be handled from the upper side unlike the conventional one, it can adaptively cope with various process environments. In particular, it can utilize a wide space existing in the upper region of the chamber 1 in the clean room By supplying the cassette 5 to the chamber 1, the space in the clean room can be economically utilized and the layout around the chamber 1 can be simplified, thereby facilitating automation construction.

본 실시예에서 챔버(1)는 카세트(5)에 수납되는 마스크(미도시, mask)를 통해 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Display)의 증착 공정을 진행하는 증착용 챔버(1)이다.The chamber 1 according to the present embodiment includes an evacuation chamber 1 for performing an evaporation process of an organic light emitting display (OLED) through a mask (not shown) accommodated in the cassette 5, to be.

하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되지 않는다. 따라서 챔버(1)는 OLED 외의 평판표시소자, 즉 LCD 및 PDP의 증착 공정을 위한 챔버일 수도 있다. 뿐만 아니라 챔버(1)는 증착용 챔버(1) 외에도 마스크가 사용될 수 있는 다양한 종류의 공정 챔버 또는 진공 챔버일 수도 있다.However, the scope of the present invention is not limited thereto. Therefore, the chamber 1 may be a chamber for a process of depositing a flat panel display element other than an OLED, that is, an LCD and a PDP. In addition, the chamber 1 may be a vacuum chamber or various types of process chambers in which a mask can be used in addition to the vapor deposition chamber 1.

챔버(1)의 상부 영역에는 카세트(5)가 출입되는 카세트 출입구(1a)가 형성된다. 도 1에는 카세트 출입구(1a)가 오픈(open)된 상태로 도시되어 있지만 카세트 출입구(1a)에는 카세트 출입구(1a)를 개폐하는 도어(door)가 결합된다. 도어는 카세트(5) 출입 시 자동으로 개폐된다.In the upper region of the chamber 1, a cassette entrance 1a through which the cassette 5 enters and exits is formed. 1, the cassette entrance 1a is open, but a door for opening and closing the cassette entrance 1a is coupled to the cassette entrance 1a. The door is opened and closed automatically when the cassette (5) enters and exits.

카세트(5)는 다수의 마스크가 적재되는 일종의 박스(box)이다. 하나의 카세트(5) 내에 여러 장의 마스크가 배치될 수 있다. 마스크끼리 충돌되거나 겹쳐지지 않도록 카세트(5) 내에는 마스크를 하나씩 격리시키면서 지지하는 다수의 슬롯(5a)이 마련된다. 슬롯(5a)은 카세트(5) 내의 대향된 양측 내벽에 동일한 위치를 가지고 배치될 수 있다.The cassette 5 is a kind of box in which a plurality of masks are stacked. A plurality of masks can be arranged in one cassette 5. [ A plurality of slots 5a are provided in the cassette 5 so as to prevent the masks from colliding with each other or overlapping each other. The slots 5a may be disposed at the same position on opposite inner wall in the cassette 5.

OHT 유닛(110)은 클린룸 내에서 챔버(1)의 상부 영역에 배치된다. 도 1처럼 챔버(1)의 상부 영역에 OHT 유닛(110)을 배치하고, 이를 통해 카세트(5)가 공급되도록 하면 클린룸 내의 공간을 경제적으로 활용할 수 있다.The OHT unit 110 is disposed in the upper region of the chamber 1 in the clean room. As shown in FIG. 1, when the OHT unit 110 is disposed in the upper area of the chamber 1 and the cassette 5 is supplied through the OHT unit 110, the space in the clean room can be economically utilized.

특히, 종래와 달리 챔버(1) 주변의 레이아웃(layout)을 단순화시킬 수 있으며, 이에 따라 자동화 구축이 용이해질 수 있다.In particular, unlike the conventional method, the layout around the chamber 1 can be simplified, and automation construction can be facilitated.

제조사의 실제 생산라인에 따라 클린 룸 내의 챔버(1) 개수, 또는 챔버(1) 위치는 달라질 수 있다. 따라서 OHT 유닛(110)은 도 1과 같은 형태를 비롯하여 해당 클린 룸의 상황에 맞게 적절하게 설계될 수 있다.Depending on the actual production line of the manufacturer, the number of chambers 1 in the clean room or the position of the chamber 1 may vary. Therefore, the OHT unit 110 can be suitably designed to suit the situation of the clean room including the shape as shown in FIG.

이러한 역할을 담당하는 OHT 유닛(110)은 유닛 바디(120), X축 이동지지부(131), Y축 이동지지부(132), 그리고 Z축 이동지지부(133)를 포함한다.The OHT unit 110 that performs such a role includes a unit body 120, an X-axis moving support portion 131, a Y-axis moving support portion 132, and a Z-axis moving support portion 133.

유닛 바디(120)는 OHT 유닛(110)의 외관을 형성한다. 즉 유닛 바디(120)는 OHT 유닛(110)을 천장 등에 매달기 위한 구조를 형성할 수 있다.The unit body 120 forms the appearance of the OHT unit 110. That is, the unit body 120 may form a structure for suspending the OHT unit 110 on a ceiling or the like.

이러한 유닛 바디(120)는 상부 프레임(121)과, 상부 프레임(121)의 하방으로 이격 배치되는 하부 베이스 플레이트(122)와, 상부 프레임(121)과 하부 베이스 플레이트(122)를 연결하는 다수의 연결 프레임(123)을 포함한다.The unit body 120 includes an upper frame 121, a lower base plate 122 spaced below the upper frame 121, and a plurality of upper and lower base plates 122 and 122 connecting the upper frame 121 and the lower base plate 122, And a connection frame 123.

상부 프레임(121)은 하부 베이스 플레이트(122)와 달리 외곽의 골조를 형성한다. 특히, 상부 프레임(121)은 카세트(5)가 일종의 궤도 레일을 이룰 수 있다.Unlike the lower base plate 122, the upper frame 121 forms an outer frame. In particular, the upper frame 121 can form the cassette 5 as a kind of track rail.

도 1에는 실시예로서 상부 프레임(121)이 직선 형태로 도시되어 있으나 상부 프레임(121)은 곡선부를 포함할 수도 있다.1, the upper frame 121 is shown as a straight line, but the upper frame 121 may include a curved line.

이에 반해, 하부 베이스 플레이트(122)는 평평한 판상체로 형성될 수 있다. 즉 하부 베이스 플레이트(122)는 다수의 단위 플레이트(122a)를 측 방향으로 결합시킴으로써 제조될 수 있다. 이때, 단위 플레이트(122a)들에는 다수의 통공(H)이 형성된다.In contrast, the lower base plate 122 may be formed as a flat plate. That is, the lower base plate 122 can be manufactured by laterally joining a plurality of unit plates 122a. At this time, a plurality of through holes H are formed in the unit plates 122a.

다수의 연결 프레임(123)은 막대형 구조물로서 하부 베이스 플레이트(122)를 상부 프레임(121)에 지지하는 역할을 한다.The plurality of connection frames 123 serve to support the lower base plate 122 to the upper frame 121 as a bar-like structure.

X축 이동지지부(131)는 유닛 바디(120)에 마련되어 카세트 핸들링 장치(140)를 도 1의 좌표에 도시된 X축 방향으로 이동 가능하게 지지한다.The X-axis moving support part 131 is provided on the unit body 120 and supports the cassette handling device 140 so as to be movable in the X-axis direction shown in the coordinate of FIG.

Y축 이동지지부(132)는 유닛 바디(120)에 마련되어 카세트 핸들링 장치(140)를 도 1의 좌표에 도시된 Y축 방향으로 이동 가능하게 지지한다.The Y-axis moving support part 132 is provided on the unit body 120 and supports the cassette handling device 140 so as to be movable in the Y-axis direction shown in the coordinate of FIG.

그리고 Z축 이동지지부(133)는 유닛 바디(120)에 마련되어 카세트 핸들링 장치(140)를 도 1의 좌표에 도시된 Z축 방향으로 이동 가능하게 지지한다.The Z-axis moving support part 133 is provided on the unit body 120 to support the cassette handling device 140 so as to be movable in the Z-axis direction shown in the coordinate of FIG.

이러한 X축 이동지지부(131), Y축 이동지지부(132), 그리고 Z축 이동지지부(133)에 의해 카세트 핸들링 장치(140)는 도 1에 도시된 좌표, 즉 X축, Y축 및 Z축을 따라 이동될 수 있다.The X-axis moving support portion 131, the Y-axis moving support portion 132, and the Z-axis moving support portion 133 cause the cassette handling device 140 to move in the X-, Y-, and Z- Can be moved along.

본 실시예에서 X축 이동지지부(131), Y축 이동지지부(132), 그리고 Z축 이동지지부(133)는 리니어 모터(linear motor)로 마련될 수 있다.In this embodiment, the X-axis moving support portion 131, the Y-axis moving support portion 132, and the Z-axis moving support portion 133 may be provided by a linear motor.

리니어 모터는 위치 제어가 정확하기 때문에 마스크를 실은 카세트(5)를 정 위치로 옮겨 공급하는 데에 유리하다. 하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되지 않으며, X축 이동지지부(131), Y축 이동지지부(132), 그리고 Z축 이동지지부(133)는 실린더나 액추에이터 등으로 대체될 수도 있다.Since the position control of the linear motor is accurate, it is advantageous to transfer the cassette 5 loaded with the mask to the correct position. However, the scope of the present invention is not limited thereto, and the X-axis moving support portion 131, the Y-axis moving support portion 132, and the Z-axis moving support portion 133 may be replaced with a cylinder, an actuator, or the like.

카세트 핸들링 장치(140)는 OHT 유닛(110)과 연결되어 챔버(1) 내로 카세트(5)를 공급하는 역할을 한다.The cassette handling device 140 is connected to the OHT unit 110 and serves to supply the cassette 5 into the chamber 1.

특히, 본 실시예의 카세트 핸들링 장치(140)는 종래처럼 카세트(5)의 밑면을 들어 핸들링하는 방식에서 벗어나 카세트(5)의 상부 영역을 그립핑하여 카세트(5)를 핸들링하고 있기 때문에 본 실시예의 카세트 공급시스템을 비롯하여 다양한 공정 환경에 적응적으로 대처할 수 있다.In particular, since the cassette handling apparatus 140 of the present embodiment is not in the conventional manner of handling the bottom of the cassette 5 and grips the upper region of the cassette 5 to handle the cassette 5, It can adaptively cope with various process environments including cassette supply systems.

다시 말해, 본 실시예의 카세트 핸들링 장치(140)는 평판표시소자를 제조하는 다양한 공정이나 반도체 등을 제조하는 다양한 공정에서 카세트(5)를 핸들링하고자 할 때 용이하게 적용될 수 있다.In other words, the cassette handling apparatus 140 of the present embodiment can be easily applied to handling cassettes 5 in various processes for manufacturing flat panel display devices or various processes for manufacturing semiconductors and the like.

도 2 내지 도 7, 특히 도 5 내지 도 7을 참조하여 카세트 핸들링 장치(140)에 대해 구체적으로 살펴본다.The cassette handling apparatus 140 will be described in detail with reference to Figs. 2 to 7, particularly Figs. 5 to 7.

카세트(5)를 상부에서 핸들링하는 카세트 핸들링 장치(140)는, 장치본체(150)와, 장치본체(150)에 마련되며, 카세트(5)의 상부 영역에 마련되는 그립핑 브래킷(6)에 선택적으로 그립핑(gripping)되는 그립퍼(160)와, 그립퍼(160)가 그립핑 브래킷(6)에 그립핑되거나 그립핑 해제되도록 그립퍼(160)를 구동시키는 그립퍼 구동부(170)를 포함한다.The cassette handling device 140 for handling the cassette 5 from above has a main body 150 and a gripping bracket 6 provided on the main body 150 and provided in the upper region of the cassette 5 A gripper 160 selectively gripping the gripper 160 and a gripper driver 170 for driving the gripper 160 such that the gripper 160 is gripped or released from the gripping bracket 6.

장치본체(150)는 카세트 핸들링 장치(140)의 외관을 형성하는 부분으로서 상호간 상대 회전되는 상부 본체부(151)와 하부 본체부(152)를 포함한다.The apparatus main body 150 includes an upper main body portion 151 and a lower main body portion 152 which are relatively rotated relative to each other as portions forming an outer appearance of the cassette handling apparatus 140.

상부 본체부(151)에는 전술한 Z축 이동지지부(133)가 연결될 수 있으며, 하부 본체부(152)에는 그립퍼(160) 등 실질적으로 카세트(5)를 그립핑하기 위한 구성들이 마련될 수 있다.The Z-axis moving support portion 133 may be connected to the upper body portion 151 and the lower body portion 152 may be provided with structures for gripping the cassette 5 such as the gripper 160 .

상부 본체부(151)와 하부 본체부(152) 사이에는 로터리 서보(155)가 마련된다. 로터리 서보(155)는 상부 본체부(151)에 대해 하부 본체부(152)를 회전시키는 동력을 발생시킬 수 있다.A rotary servo 155 is provided between the upper main body part 151 and the lower main body part 152. The rotary servo 155 can generate power for rotating the lower main body part 152 with respect to the upper main body part 151. [

이러한 로터리 서보(155)로 인해 상부에서 핸들링된 카세트(5)는 도 1에 도시된 챔버(1)의 카세트 출입구(1a)를 통해 그 방향이 정렬되면서 출입될 수 있다.The cassette 5 handled at the upper part by the rotary servo 155 can be moved in and out through the cassette entrance 1a of the chamber 1 shown in Fig.

그립퍼(160)는 카세트(5)의 상부 영역에 마련되는 그립핑 브래킷(6)에 선택적으로 그립핑된다. 이러한 그립퍼(160)는 장치본체(150)에 마련되는 그립퍼 지지블록(180)에 착탈 가능하게 결합된다.The gripper 160 is selectively gripped by the gripping bracket 6 provided in the upper region of the cassette 5. [ The gripper 160 is detachably coupled to the gripper supporting block 180 provided on the apparatus body 150.

본 실시예의 경우, 카세트(5)의 상부에는 서로 다른 위치에 4개의 그립핑 브래킷(6)이 마련되고 있기 때문에 그립퍼(160) 역시 그립핑 브래킷(6)에 대응되게 4개가 마련된다. 물론, 이러한 사항은 하나의 실시예에 불과하므로 이들의 개수에 본 발명의 권리범위가 제한될 수 없다.In this embodiment, since four gripping brackets 6 are provided at different positions on the upper portion of the cassette 5, four grippers 160 corresponding to the gripping brackets 6 are also provided. Of course, such matters are only one example, and the scope of the present invention can not be limited to these numbers.

그립퍼 지지블록(180)은 다수의 그립퍼(160)를 이동 가능하게 지지한다. 이러한 그립퍼 지지블록(180)은 장치본체(150) 상에서 상호간 이격되게 한 쌍으로 마련된다. 그리고 하나의 그립퍼 지지블록(180)에는 한 쌍의 그립퍼(160)가 상호 이격되게 결합된다.The gripper support block 180 movably supports a plurality of grippers 160. These gripper support blocks 180 are provided on the apparatus main body 150 in a pair so as to be spaced apart from each other. And a pair of grippers 160 are coupled to one gripper support block 180 so as to be spaced apart from each other.

그립퍼 구동부(170)는 그립퍼 지지블록(180)과 연결되어 그립퍼(160)가 그립핑 브래킷(6)에 그립핑되거나 그립핑 해제되도록 그립퍼 지지블록(180)을 구동시킨다.The gripper driver 170 is coupled to the gripper support block 180 to drive the gripper support block 180 such that the gripper 160 is gripped or released to the gripping bracket 6.

그립퍼 구동부(170)에 대해서는 자세하게 도시하지 않았으나 그립퍼 구동부(170)는 예컨대, 리니어 모터, 실린더, 액추에이터, 모터와 볼스크루 조합 등의 구성으로 적용될 수 있으므로 자세한 설명은 생략한다.Although not shown in detail for the gripper driving unit 170, the gripper driving unit 170 may be applied to a configuration such as a combination of a linear motor, a cylinder, an actuator, a motor and a ball screw, and thus a detailed description thereof will be omitted.

그립퍼 구동부(170)로서 어떠한 구성이 적용되더라도 그립퍼(160)가 그립핑 브래킷(6) 영역에 배치되면 그립퍼 구동부(170)가 그립퍼 지지블록(180)을 이동시킴으로써 도 7처럼 그립퍼(160)가 그립핑 브래킷(6)에 그립핑되도록 할 수 있다.The gripper driving unit 170 moves the gripper supporting block 180 so that the gripper 160 is moved in the gripping direction of the grip 160. As a result, And can be gripped on the ping bracket 6.

본 실시예의 카세트 핸들링 장치(140)에는 도 6에 도시된 바와 같이, 센터링 유닛(190)이 더 마련된다.6, a centering unit 190 is further provided in the cassette handling device 140 of this embodiment.

센터링 유닛(190)은 장치본체(150)에 마련되어 그립핑 브래킷(6)에 대한 그립퍼(160)의 센터링을 조정하는 역할을 한다. 이러한 센터링 유닛(190)은 장치본체(150)의 둘레 방향을 따라 코너(corner) 영역에 하나씩 배치될 수 있는데, 비전, 센서 및 기어 등의 조합으로 이루어질 수 있다.The centering unit 190 is provided in the apparatus main body 150 and serves to adjust the centering of the gripper 160 with respect to the gripping bracket 6. The centering units 190 may be disposed one by one in a corner area along the circumferential direction of the apparatus main body 150, and may be a combination of vision, sensors, gears, and the like.

이러한 구성을 갖는 카세트 공급시스템의 작용에 대해 설명하면 다음과 같다.The operation of the cassette supply system having such a configuration will be described below.

카세트 핸들링 장치(140)가 카세트(5)를 그립핑하고자 할 때는, 우선 카세트 핸들링 장치(140)가 이동되어 챔버(1)의 상부 영역에 배치된다.When the cassette handling apparatus 140 wants to grip the cassette 5, first the cassette handling apparatus 140 is moved and placed in the upper region of the chamber 1. [

다음, 챔버(1)의 상부에 마련된 도시 않은 도어가 개방되며, 이어 X축 이동지지부(131) 및 Y축 이동지지부(132)에 의해 카세트 핸들링 장치(140)의 전체 위치가 정렬된다.Next, the door (not shown) provided on the upper portion of the chamber 1 is opened, and the entire position of the cassette handling device 140 is aligned by the X-axis moving support portion 131 and the Y-

다음, Z축 이동지지부(133)에 의해 카세트 핸들링 장치(140)가 다운(down)되면서 챔버(1) 내로 진입되고 챔버(1) 내에서 카세트(5)의 상부를 그립핑한다. 이때는 그립퍼 구동부(170)가 그립퍼 지지블록(180)을 이동시키는 한편 센터링 유닛(190)의 센터링 작용에 의해 그립퍼(160)가 그립핑 브래킷(6)에 적확하게 그립핑될 수 있도록 한다.Next, the cassette handling apparatus 140 is downwardly moved into the chamber 1 by the Z-axis moving support portion 133 and grips the upper portion of the cassette 5 in the chamber 1. Then, At this time, the gripper driving unit 170 moves the gripper supporting block 180, and the centering action of the centering unit 190 allows the gripper 160 to be properly gripped on the gripping bracket 6.

카세트 핸들링 장치(140)가 카세트(5)의 상부를 그립핑한 후에는 Z축 이동지지부(133)에 의해 카세트 핸들링 장치(140)가 챔버(1)로부터 업(up)된다.After the cassette handling apparatus 140 grips the upper portion of the cassette 5, the cassette handling apparatus 140 is lifted up from the chamber 1 by the Z-axis moving support portion 133.

반대로, 카세트 핸들링 장치(140)가 카세트(5)를 이송하여 챔버(1) 내로 공급할 때는 전술한 동작의 반대로 진행될 수 있다.Conversely, when the cassette handling apparatus 140 feeds the cassette 5 into the chamber 1, it can proceed in the reverse of the above-described operation.

이와 같은 구조와 동작을 갖는 본 실시예에 따르면, 종래와 달리 카세트(5)를 상부에서 핸들링할 수 있기 때문에 다양한 공정 환경에 적응적으로 대처할 수 있으며, 특히 클린룸 내에서 챔버(1)의 상부 영역에 존재하는 넓은 공간을 활용하여 카세트를 챔버(1)로 공급함으로써 클린룸 내의 공간을 경제적으로 활용할 수 있고 챔버(1) 주변의 레이아웃(layout)을 단순화시킬 수 있으며, 이에 따라 자동화 구축이 용이해질 수 있게 된다.According to the present embodiment having such a structure and operation, since the cassette 5 can be handled from the upper side unlike the conventional one, it can be adaptively coped with various process environments. In particular, in the clean room, It is possible to economically utilize the space in the clean room by supplying the cassette to the chamber 1 by utilizing the wide space existing in the area and to simplify the layout around the chamber 1, .

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Accordingly, such modifications or variations are intended to fall within the scope of the appended claims.

1 : 챔버 5 : 카세트
5a : 슬롯 6 : 그립핑 브래킷
110 : OHT 유닛 120 : 유닛 바디
121 : 상부 프레임 122 : 하부 베이스 플레이트
123 : 연결 프레임 131 : X축 이동지지부
132 : Y축 이동지지부 133 : Z축 이동지지부
140 : 카세트 핸들링 장치 150 : 장치본체
151 : 상부 본체부 152 : 하부 본체부
155 : 로터리 서보 160 : 그립퍼
170 : 그립퍼 구동부 180 : 그립퍼 지지블록
190 : 센터링 유닛1: chamber 5: cassette
5a: Slot 6: Gripping bracket
110: OHT unit 120: unit body
121: upper frame 122: lower base plate
123: connecting frame 131: X-axis moving support
132: Y-axis moving support part 133: Z-axis moving supporting part
140: cassette handling device 150:
151: upper main body part 152: lower main body part
155: Rotary servo 160: Gripper
170: gripper driving part 180: gripper supporting block
190: Centering unit

Claims (19)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 클린룸(clean room) 내에 마련되는 챔버 내로 카세트(cassette)를 공급하는 카세트 핸들링 장치; 및
유닛 바디와, 상기 유닛 바디에 마련되어 상기 카세트 핸들링 장치를 X축 방향으로 이동 가능하게 지지하는 X축 이동지지부와, 상기 유닛 바디에 마련되며, 상기 카세트 핸들링 장치를 상기 X축에 교차되는 Y축 방향을 따라 이동 가능하게 지지하는 Y축 이동지지부와, 상기 유닛 바디와 상기 카세트 핸들링 장치에 연결되며, 상기 카세트 핸들링 장치를 상기 유닛 바디에 대하여 상하 방향인 Z축 방향으로 이동 가능하게 지지하는 Z축 이동지지부를 구비하며, 상기 챔버의 상부 영역에 배치되는 OHT 유닛(Over Head Transfer Unit)을 포함하며,
상기 유닛 바디는, 상부 프레임과, 상기 상부 프레임의 하방으로 이격 배치되는 하부 베이스 플레이트와, 상기 상부 프레임과 상기 하부 베이스 플레이트를 연결하는 다수의 연결 프레임을 포함하며,
상기 카세트 핸들링 장치는,
상호간 상대 회전되는 상부 본체부와 하부 본체부를 구비하는 장치본체;
상기 장치본체에 마련되며, 상기 카세트의 상부 영역에 마련되는 그립핑 브래킷에 선택적으로 그립핑(gripping)되는 그립퍼;
상기 그립퍼가 상기 그립핑 브래킷에 그립핑되거나 그립핑 해제되도록 상기 그립퍼를 구동시키는 그립퍼 구동부;
상기 장치본체에 마련되며, 상기 그립퍼가 상호 이격되게 한 쌍으로 결합되되 상호간 대칭되게 한 쌍으로 마련되어 상기 그립퍼를 지지하는 그립퍼 지지블록;
상기 장치본체의 둘레 방향을 따라 코너(corner) 영역에 하나씩 배치되고 상기 장치본체에 마련되어 상기 그립핑 브래킷에 대한 상기 그립퍼의 센터링을 조정하는 센터링 유닛; 및
상기 상부 본체부와 상기 하부 본체부 사이에 배치되어 상기 상부 본체부에 대해 상기 하부 본체부를 회전시키는 로터리 서보를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 공급시스템.A cassette handling device for supplying a cassette into a chamber provided in a clean room; And
An X-axis moving support unit provided on the unit body and supporting the cassette handling device movably in the X-axis direction; and an X-axis moving support unit provided on the unit body, wherein the cassette handling device is movable in the Y-axis direction A Y-axis moving support unit for supporting the unit body and the cassette handling device in such a manner that the cassette handling unit can move along the Z-axis movement in a vertical Z-axis direction relative to the unit body, An OHT unit (Over Head Transfer Unit) having a support portion and disposed in an upper region of the chamber,
The unit body includes an upper frame, a lower base plate spaced below the upper frame, and a plurality of connection frames connecting the upper frame and the lower base plate,
Wherein the cassette handling device comprises:
An apparatus main body having an upper body portion and a lower body portion which are relatively rotated relative to each other;
A gripper provided on the apparatus main body and selectively gripping a gripping bracket provided in an upper region of the cassette;
A gripper driver for driving the gripper so that the gripper is gripped or released from the gripping bracket;
A gripper support block provided in the apparatus main body and coupled to the grippers so as to be spaced apart from each other, the gripper support blocks being symmetrically arranged to support the grippers;
A centering unit disposed in the corner area along the circumferential direction of the apparatus main body and provided in the apparatus main body to adjust the centering of the gripper with respect to the gripping bracket; And
And a rotary servo disposed between the upper main body and the lower main body to rotate the lower main body with respect to the upper main body. 삭제delete 삭제delete 제8항에 있어서,
상기 X축 이동지지부, 상기 Y축 이동지지부 및 상기 Z축 이동지지부 중 적어도 어느 하나는 리니어 모터(linear motor)로 마련되는 것을 특징으로 하는 카세트 공급시스템.9. The method of claim 8,
Wherein at least one of the X-axis movement support portion, the Y-axis movement support portion, and the Z-axis movement support portion is provided as a linear motor. 삭제delete 제8항에 있어서,
상기 하부 베이스 플레이트는 다수의 단위 플레이트를 포함하며,
상기 하부 베이스 플레이트에는 다수의 통공이 형성되는 것을 특징으로 하는 카세트 공급시스템.9. The method of claim 8,
Wherein the lower base plate includes a plurality of unit plates,
Wherein a plurality of through holes are formed in the lower base plate. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제8항에 있어서,
상기 챔버는 마스크를 통해 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Display)의 증착 공정을 진행하는 증착용 챔버이며,
상기 카세트는 다수의 마스크(mask)가 적재되는 마스크 카세트인 것을 특징으로 하는 카세트 공급시스템.9. The method of claim 8,
The chamber is an evaporation chamber for performing an evaporation process of an organic light emitting display (OLED) through a mask,
Wherein the cassette is a mask cassette on which a plurality of masks are loaded.
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