KR101744961B1 - 정전기 제거장치의 케이블 커넥팅 어셈블리 - Google Patents

Abstract

본 발명은 정전기 제거장치에서 고전압 발생기와 X선 발생기를 연결하는 케이블 상에 커넥팅 어셈블리를 마련하여 케이블 상에 탈착 가능한 구조를 제공할 수 있는 정전기 제거장치의 케이블 커넥팅 어셈블리를 제공하기 위한 것이다.
이를 위해 고전압 발생기 및 X선 발생기를 포함하는 정전기 제거장치에서, 상기 고전압 발생기와 X선 발생기를 연결하는 케이블 상에 커넥팅 어셈블리를 구성함에 있어서, 전단부가 상기 고전압 발생기와 연결된 제1 케이블의 전극들과 연결되는 소켓 및, 상기 소켓과 제1 케이블이 내장되며 외주면에 커플링이 슬라이딩 가능하게 설치되는 제1 커넥팅 수단을 포함하는 제1 어셈블리; 및, 후단부가 상기 X선 발생기와 연결된 제2 케이블의 전극들과 연결되는 핀부재 및, 상기 핀부재와 제2 케이블이 내장되되 상기 핀부재의 전단부가 노출되도록 내장되며 외주면에 상기 커플링과의 체결을 위한 나사부가 형성되는 제2 커넥팅 수단을 포함하는 제2 어셈블리;로 이루어져, 상기 핀부재의 전단부를 소켓의 후단부와 연결시키고 상기 커플링을 나사부에 체결시킴으로써 상기 제1 케이블과 제2 케이블을 탈착 가능하게 연결시킬 수 있게 되는 것을 특징으로 한다.

Description

정전기 제거장치의 케이블 커넥팅 어셈블리 {Connecting Assembly for a cable of static electricity eliminator}

본 발명은 정전기 제거장치의 케이블 커넥팅 어셈블리에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 고전압발생기 및 X선 발생기를 포함하는 정전기 제거장치에서, 고전압발생기와 X선 발생기를 연결하는 케이블을 탈착 가능하게 분리할 수 있는 구조를 구현하는 커넥팅 어셈블리에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼 또는 평판 디스플레이 제조 설비에는 웨이퍼나 평판 디스플레이 및 이들이 탑재되는 스테이지 사이에 발생하는 정전기를 방지하거나 제거하기 위하여 정전기 제거장치를 구비시켜 웨이퍼 또는 평판 디스플레이 주변의 정전기를 중화시키는 기능을 수행한다.

이러한 정전기 제거장치는 다양한 형태로 종래에 개시되어 있으나, 본 발명의 배경이 되는 종래의 정전기 제거장치는 첨부된 도 1에 도시된 바와 같이 고전압 발생기(1)와 X선 발생기(2) 및 이들을 연결하는 케이블(3)로 이루어진다. 고전압 발생기(1)는 외부전원을 공급받아 고전압을 발생시키며, X선 발생기(2)는 고전압 발생기에서 출력되는 소정의 고전압을 공급받아 정전기 중화를 위한 X선을 발생시키게 된다.

그리고 첨부된 도 2에 도시된 바와 같이 종래의 정전기 제거장치는 다수개로 스테이지에 설치될 수 있으며, 고전압 발생기와 케이블(3)에 의해 연결된 X선 발생기(2)가 스테이지의 하부측과 거치대(4)의 상부 사이에 매립 설치됨에 있어, X선 발생기(2)의 고정을 위해 브라켓 등의 고정수단으로 견고히 조립된다.

이와 같은 제반 여건에서 종래의 정전기 제거장치는 고전압 발생부 또는 케이블(2) 상에 하자가 발생하거나 유지보수 또는 공정상의 필요에 따라 이동이 필요한 경우에 X선 발생기(2)를 분리시켜야 하는 상황이 발생하게 된다. 그러나 상기와 같이 견고히 조립되어 고정되어 있는 X선 발생기(2)의 분리작업은 매우 까다롭고 시간적 소모가 많을 뿐만 아니라 전체적인 정전기 제거공정을 중단시켜야 하는 상황까지 초래하게 되는 문제점이 있어 왔다. 따라서 상술한 문제점을 개선할 수 있는 기술이 시급히 제안되어야 하는 실정이다.

대한민국 등록특허공보 제10-1554508호 (공고일자: 2015. 09. 22) "제전 기능을 갖춘 거치대 및 이를 이용하는 기판 탑재용 스테이지에 대한 제전 장치" 대한민국 공개특허공보 제10-2013-0018325호 (공개일자: 2013. 02. 20) "커넥터 삽입부 제조 방법, 커넥터 삽입부 및 케이블"

본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 정전기 제거장치에서 고전압 발생기와 X선 발생기를 연결하는 케이블 상에 커넥팅 어셈블리를 마련하여 케이블 상에 탈착 가능한 구조를 제공할 수 있는 정전기 제거장치의 케이블 커넥팅 어셈블리를 제공하는데 목적이 있다.

이와 함께 본 발명의 기타 목적 및 장점들은 하기에 설명될 것이며, 이는 본 발명의 청구범위에 기재된 사항 및 그 실시예의 개시 내용뿐만 아니라, 이들로부터 용이하게 추고할 수 있는 범위 내의 수단 및 조합에 의해 더욱 넓은 범위로 포섭될 것임을 첨언한다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 정전기 제거장치의 케이블 커넥팅 어셈블리는, 고전압 발생기 및 X선 발생기를 포함하는 정전기 제거장치에서, 상기 고전압 발생기와 X선 발생기를 연결하는 케이블 상에 커넥팅 어셈블리를 구성함에 있어서, 전단부가 상기 고전압 발생기와 연결된 제1 케이블의 전극들과 연결되는 소켓 및, 상기 소켓과 제1 케이블이 내장되며 외주면에 커플링이 슬라이딩 가능하게 설치되는 제1 커넥팅 수단을 포함하는 제1 어셈블리; 및, 후단부가 상기 X선 발생기와 연결된 제2 케이블의 전극들과 연결되는 핀부재 및, 상기 핀부재와 제2 케이블이 내장되되 상기 핀부재의 전단부가 노출되도록 내장되며 외주면에 상기 커플링과의 체결을 위한 나사부가 형성되는 제2 커넥팅 수단을 포함하는 제2 어셈블리;로 이루어져, 상기 핀부재의 전단부를 소켓의 후단부와 연결시키고 상기 커플링을 나사부에 체결시킴으로써 상기 제1 케이블과 제2 케이블을 탈착 가능하게 연결시킬 수 있게 되는 것을 특징으로 한다.

그리고 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 상기 제1 커넥팅 수단은 전측으로 상기 제1 케이블이 삽입되는 제1 엔드커버, 상기 소켓과 제1 케이블의 전극 간에 연결부위가 내장되는 제1 몰딩케이스, 전측으로 상기 소켓의 후측이 삽입되어 제1 몰딩케이스와 대향되도록 설치되며, 후측으로 상기 핀부재가 삽입되어 소켓과의 연결을 가능케 하는 이너 리셉터클, 상기 제1 몰딩케이스 및 이너 리셉터클이 내장되며 전단부가 상기 제1 엔드커버의 후단부와 체결되고, 외주면에 상기 커플링이 슬라이딩 가능하게 설치되는 아우터 리셉터클을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

이와 함께 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 상기 제2 커넥팅 수단은 후측으로 상기 제2 케이블이 삽입되는 제2 엔드커버, 후측으로 상기 제2 케이블의 전극이 삽입되어 후측의 외주면이 제2 엔드커버의 내주면과 체결되는 소경케이스, 상기 핀부재와 제2 케이블의 전극 간에 연결부위가 내장되는 제2 몰딩케이스, 후측으로 상기 핀부재가 삽입되되, 상기 핀부재의 전단부가 노출되도록 설치되는 커넥팅 바디 및, 상기 제2 몰딩케이스와 커넥팅 바디가 내장되되 커넥팅 바디의 전단부가 상기 이너 리셉터클의 후측에 삽입 가능하게 노출되도록 내장되며, 후측의 외주면이 상기 소경케이스의 내주면과 나사 체결되고, 전측의 외주면에 상기 나사부가 형성되는 대경케이스를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

상술한 바와 같이 본 발명에 따르면 다음과 같은 효과를 기대할 수 있을 것이다.

정전기 제거장치의 하자보수, 유지보수 및 공정상의 필요에 따라 정전기 제거장치의 이동이 필요한 경우 연결된 커넥팅 어셈블리를 분리시킬 수 있게 됨으로써 공정의 진행 방해하지 않으면서 하자보수 및 유지보수 작업을 진행할 수 있을 뿐만 아니라 선행되어야 하는 케이블 분리 작업을 매우 간편하게 처리할 수 있는 이점이 있다.

이와 함께 본 발명의 다른 효과는 이상에서 설명한 실시예 및 본 발명의 청구범위에 기재된 사항뿐만 아니라, 이들로부터 용이하게 추고할 수 있는 범위 내에서 발생할 수 있는 효과 및 산업 발전에 기여하는 잠정적 장점의 가능성들에 의해 보다 넓은 범위로 포섭될 것임을 첨언한다.

도 1은 종래의 정전기 제거장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 종래의 정전기 제거장치가 스테이지에 설치된 상태를 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 정전기 제거장치의 케이블 커넥팅 어셈블리를 종단면도로 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명에 따른 정전기 제거장치의 케이블 커넥팅 어셈블리를 분해사시도로 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명에 따른 정전기 제거장치의 케이블 커넥팅 어셈블리를 사시도로 나타낸 도면이다.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

본 발명에 따른 정전기 제거장치의 케이블 커넥팅 어셈블리는, 고전압 발생기 및 X선 발생기를 포함하는 정전기 제거장치에서 상기 고전압 발생기와 X선 발생기를 연결하는 케이블 상에 커넥팅 어셈블리를 구성하여 케이블에 탈착 가능한 구조를 마련하기 위한 것이다.

이를 위해 본 발명은 첨부된 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 케이블이 고전압 발생기(G)와 연결되는 제1 케이블(C1) 및 X선 발생기(I)와 연결되는 제2 케이블(C2)로 분리되며, 상기 제1 케이블(C1)이 내장되는 제1 어셈블리(100)와 제2 케이블(C2)이 내장되는 제2 어셈블리(300)가 상호 탈착 가능하게 체결됨에 따라 제1 케이블(C1)과 제2 케이블(C2)이 연결되는 구성을 따르게 된다.

여기에서 상기 제1 케이블(C1)과 제2 케이블(C2)은 상호 간의 연결되는 부분을 형성하기 위해 이들 각각에는 케이블 피복이 벗겨진 피복제거부위와, 피복제거부위의 전선들에 전극이 노출되는 전극연결부위가 형성된다.

이러한 상기 제1 어셈블리(100)는 소켓(110) 및 제1 커넥팅 수단(120)을 포함하여 이루어진다.

상기 소켓(110)은 전단부(설명의 이해를 돕기 위해 고전압 발생기 측을 전측 방향으로 정의하고 X선 발생기 측을 후측 방향으로 정의하도록 한다.)가 고전압 발생기(G)와 연결된 제1 케이블(C1)의 전극들과 연결된다.

그리고 상기 제1 커넥팅 수단(120)은 소켓(110)과 제1 케이블(C1)의 피복제거부위 및 그 주변이 내장되며 외주면에 커플링(124-1)이 슬라이딩 가능하게 설치된다.

이와 함께 상기 제2 어셈블리(300)는 핀부재(310) 및 제2 커넥팅 수단(320)을 포함하여 이루어진다.

상기 핀부재(310)는 후단부가 X선 발생기(I)와 연결된 제2 케이블(C2) 각각의 전극과 연결되는 핀으로 이루어진다.

그리고 상기 제2 커넥팅 수단(320)은 핀부재(310)와 제2 케이블(C2)의 피복제거부위 및 그 주변이 내장되되 핀부재(310)의 전단부가 노출되도록 내장되며, 외주면에 커플링(124-1)과의 체결을 위한 나사부(325-1)가 형성된다.

이와 같은 구성의 본 발명은 핀부재(310)의 전단부를 제1 커넥팅 수단(120)에 삽입하여 소켓(110)의 후단부와 연결시킨 다음, 상기 커플링(124-1)을 나사부(325-1)에 체결시킴으로써, 제1 케이블과 제2 케이블을 탈착 가능하게 연결시킬 수 있게 된다.

아래에서는 상기 제1 커넥팅 수단(120) 및 제2 커넥팅 수단(320)의 구성을 더욱 상세히 설명하기로 한다.

상기 제1 커넥팅 수단(120) 및 제2 커넥팅 수단(320)은 제1 케이블(C1)과 제2 케이블(C2)의 연결부위를 안정적으로 고정시킴과 동시에 탈부착이 용이하고 분해조립이 편리하게 이루어지도록 다음과 같이 구성된다.

상기 제1 커넥팅 수단(120)은 제1 엔드커버(121), 제1 몰딩케이스(122), 이너 리셉터클(123) 및 아우터 리셉터클(124)을 포함하여 이루어진다.

상기 제1 엔드커버(121)는 전측의 내경이 후측의 내경보다 상대적으로 더 작게 형성되는 것으로, 전측으로 제1 케이블(C1)의 피복제거부위가 삽입됨에 따라 제1 케이블(C1)이 억지끼움 방식으로 삽입되거나 전측의 내주면에 실(seal)등을 끼워 제1 케이블(C1) 상에 고정시킬 수 있다.

그리고 상기 제1 몰딩케이스(122)는 내부에 소켓(110)의 전단부와 제1 케이블(C1) 전극의 연결 부위 주변이 내장되는 것으로, 내장된 부분이 분리되지 않도록 외부의 충격으로부터 보호하게 된다.

이와 함께 상기 이너 리셉터클(123)은 관체형으로 형성되는 것으로, 전측에 소켓(110)의 후측이 삽입되어 제1 몰딩케이스(122)와 대향되도록 설치되며, 후측으로 핀부재(310)가 삽입되어 소켓(110)의 후측과 핀부재(310)의 전단부가 상호 연결 가능하게 된다.

아울러 상기 아우터 리셉터클(124)은 관체형으로 형성되는 것으로, 제1 몰딩케이스(122) 및 이너 리셉터클(123)이 내장되며 전단부가 제1 엔드커버(121)의 후단부와 나사 결합방식으로 체결되고, 외주면에 커플링(124-1)가 슬라이딩 가능하게 설치된다.

다음으로, 상기 제2 커넥팅 수단(320)은 제2 엔드커버(321), 소경케이스(322), 제2 몰딩케이스(323), 커넥팅 바디(324) 및 대경케이스(325)를 포함하여 이루어진다.

상기 제2 엔드커버(321)는 후측이 내경이 전측의 내경보다 상대적으로 더 작게 형성되는 관체 형상으로 이루어지며, 후측으로 제2 케이블(C2)의 피복제거부위가 삽입됨에 따라 제2 케이블(C2)이 억지끼움 방식으로 삽입되거나, 후측의 내주면에 실(seal) 등을 끼워 제2 케이블(C2) 상에 고정시킬 수 있다.

그리고 소경케이스(322)는 관체 형상으로 이루어지는 것으로, 후측으로 제2 케이블(C2)의 전극이 삽입되어 후측의 외주면이 제2 엔드커버(321) 전측의 내주면과 나사 체결방식으로 연결된다.

이와 함께 상기 제2 몰딩케이스(323)는 소경케이스(322)와 대향되도록 핀부재(310)의 후측과 제2 케이블(C2) 전극의 연결 부위 주변이 내장되는 것으로, 내장된 부분이 분리되지 않도록 외부의 충격으로부터 보호하게 된다.

아울러 상기 커넥팅 바디(324)는 내부에 핀부재(310)가 삽입되는 관통 내관이 형성되어 핀부재(310)의 전단부가 노출되도록 삽입됨에 따라 제2 몰딩케이스(323)와 대향 설치된다. 이러한 커넥팅 바디(324)는 외부 충격에 의해 핀부재(310)의 휘어짐 등을 방지하여 일직선상으로 관통 내관에 고정 지지되도록 함으로써, 제2 케이블(C2) 측으로 고전압이 안정적으로 전송될 수 있게 한다.

이와 더불어 상기 대경케이스(325)는 소경케이스(322)의 내경보다 상대적으로 더 큰 내경을 가지는 관체형상으로 이루어지는 것으로, 상기 제2 몰딩케이스(323)와 커넥팅 바디(324)가 내장되되, 커넥팅 바디(324)의 전단부가 이너 리셉터클(123)의 후측으로 삽입 가능하게 노출되도록 내장됨으로써, 후측의 내주면이 소경케이스(322)의 외주면과 나사 체결방식으로 연결되며 전측에 나사부(325-1)가 형성된다.

이상과 같이 본 발명의 기술적 사상은 정전기 제거장치의 하자보수, 유지보수 및 공정상의 필요에 따라 정전기 제거장치의 이동이 필요한 경우 연결된 커넥팅 어셈블리를 분리시킬 수 있게 됨으로써, 공정의 진행 방해하지 않으면서 하자보수 및 유지보수 작업을 진행할 수 있을 뿐만 아니라, 선행되어야 하는 케이블 분리 작업을 매우 간편하게 처리할 수 있게 하기 위하여, 정전기 제거장치에서 고전압 발생기와 X선 발생기를 연결하는 케이블 상에 커넥팅 어셈블리를 마련하여 케이블 상에 탈착 가능한 구조를 제공하는 것 임을 알 수 있다.

아울러 이상의 설명은 본 발명의 기술적 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

100: 제1 어셈블리
110: 소켓
120: 제1 커넥팅 수단
121: 제1 엔드커버
122: 제1 몰딩케이스
123: 이너 리셉터클
124: 아우터 리셉터클
124-1: 커플링
300: 제2 어셈블리
310: 핀부재
320: 제2 커넥팅 수단
321: 제2 엔드커버
322: 소경케이스
323: 제2 몰딩케이스
324: 커넥팅 바디
325: 대경케이스
325-1: 나사부

Claims (3)

1. 정전기 제거장치에서 고전압을 전송하는 케이블 상에 커넥팅 어셈블리를 구성함에 있어서,
   전단부가 제1 케이블의 전극들과 연결되는 소켓 및, 상기 소켓과 제1 케이블이 내장되며 외주면에 커플링이 슬라이딩 가능하게 설치되는 제1 커넥팅 수단을 포함하는 제1 어셈블리; 및,
   후단부가 제2 케이블의 전극들과 연결되는 핀부재 및, 상기 핀부재와 제2 케이블이 내장되되 상기 핀부재의 전단부가 노출되도록 내장되며 외주면에 상기 커플링과의 체결을 위한 나사부가 형성되는 제2 커넥팅 수단을 포함하는 제2 어셈블리;로 이루어져,
   상기 핀부재의 전단부를 소켓의 후단부와 연결시키고 상기 커플링을 나사부에 체결시킴으로써 상기 제1 케이블과 제2 케이블을 탈착 가능하게 연결시킬 수 있으며,
   상기 제1 커넥팅 수단은 전측으로 상기 제1 케이블이 삽입되는 제1 엔드커버, 상기 소켓과 제1 케이블의 전극 간에 연결부위가 내장되는 제1 몰딩케이스, 전측으로 상기 소켓의 후측이 삽입되어 제1 몰딩케이스와 대향되도록 설치되며 후측으로 상기 핀부재가 삽입되어 소켓과의 연결을 가능케 하는 이너 리셉터클, 상기 제1 몰딩케이스 및 이너 리셉터클이 내장되며 전단부가 상기 제1 엔드커버의 후단부와 나사 결합방식으로 체결되고 외주면에 상기 커플링이 슬라이딩 가능하게 설치되는 아우터 리셉터클을 포함하며,
   상기 제2 커넥팅 수단은 후측으로 상기 제2 케이블이 삽입되는 제2 엔드커버, 후측으로 상기 제2 케이블의 전극이 삽입되어 후측의 외주면이 제2 엔드커버의 내주면과 나사 체결되는 소경케이스, 상기 핀부재와 제2 케이블의 전극 간에 연결부위가 내장되는 제2 몰딩케이스, 후측으로 상기 핀부재가 삽입되되, 상기 핀부재의 전단부가 노출되도록 설치되는 커넥팅 바디 및 상기 제2 몰딩케이스와 커넥팅 바디가 내장되되 커넥팅 바디의 전단부가 상기 이너 리셉터클의 후측에 삽입 가능하게 노출되도록 내장되며 후측의 외주면이 상기 소경케이스의 내주면과 나사 체결되고 전측의 외주면에 상기 나사부가 형성되는 대경케이스를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전기 제거장치의 케이블 커넥팅 어셈블리.
   
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