KR101736873B1 - 기판 중심 검출 방법, 기판 반송 방법, 반송 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치. - Google Patents

기판 중심 검출 방법, 기판 반송 방법, 반송 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치. Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판의 중심을 검출하는 방법, 기판을 반송하는 방법, 반송 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 중심 검출 방법은 상기 기판 상에 4개의 단부 위치를 검출하는 제1위치 검출 단계와 검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 노치가 있는 지 여부를 판정하는 노치 유무 판단 단계와 상기 노치 유무 판단 단계에서 검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 노치가 있다고 판정되는 경우 상기 기판을 이동시키는 기판 이동 단계와; 그리고 상기 기판의 중심을 산출하는 중심 산출 단계를 포함하되 상기 노치 유무 판단 단계는 검출된 상기 4개의 단부 위치 중 서로 대각선 방향에 위치하는 2개의 단부 위치들 간에 거리인 대각선 거리를 각각 산출하며, 각각의 상기 대각선 거리와 상기 기판의 지름간의 차이값을 구하고, 상기 차이값이 기설정된 값보다 크면 노치가 있는 것으로 판정하는 기판 중심 검출 방법을 포함한다.

Description

기판 중심 검출 방법, 기판 반송 방법, 반송 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치. {Method for dectecting the center of substrate, method for transporting a substrate, Transporting unit and apparatus for treating a substrate including the unit}
본 발명은 기판 상에 단부 위치를 검출하여 기판의 중심을 검출하는 방법과 기판을 반송 유닛으로 반송 시 반송 유닛에 지지된 기판에 위치 어긋남량을 산출해 이를 기초로 반송하는 방법과 기판을 반송하는 반송 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
반도체 제조 공정 중 사진 공정(photo-lithography process)은 웨이퍼 상에 원하는 패턴을 형성시키는 공정이다. 사진 공정은 보통 노광 설비가 연결되어 도포공정, 노광 공정, 그리고 현상 공정을 연속적으로 처리하는 스피너(spinner local) 설비에서 진행된다. 이러한 스피너 설비는 도포공정, 베이크 공정, 그리고 현상 공정을 순차적 또는 선택적으로 수행한다.
이러한 공정은 복수의 공정 챔버에서 순차적으로 수행된다. 기판 처리 공정은 공정 챔버에서 기판 처리 공정이 끝나면, 별도의 기판 이송 유닛을 통해서 다른 공정 챔버로 기판을 이송하여 기판을 처리하는 공정을 수행한다. 다만, 기판이 이송 시 이송 유닛에 지지된 기판이 정위치가 아닌 다른 위치에 놓여져 이송되는 경우 문제가 발생한다.
따라서, 기판을 이송하기 전에 기판이 정위치에 놓여져 있는 것을 검사한다.
일반적으로 기판이 정위치에 놓여져 있는지 여부는 기판의 놓여진 상태에서 기판의 중심을 산출하여 기판의 기준 중심 위치와 비교하여 기판이 정위치에 놓여져 있는지를 검사할 수 있다. 다만, 기판 상에 위치를 검출 시 기판상에 노치 위치를 검출하는 경우 이를 기초로 산출한 기판의 중심점은 실제 기판의 중심점과 상이한 중심점이 되어 기판의 정위치에 놓여져 있는지 여부를 확인할 수 없으며, 기판의 위치 어긋남량을 확인하여 반송하는데 문제가 있다.
본 발명은 기판의 반송 시 반송 유닛에 놓여진 기판의 중심을 검출하는 기판 중심 검출 방법을 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명은 기판의 반송 시 반송 유닛에 놓여진 기판의 위치 어긋남량을 산출하여, 기판을 목표 위치로 반송하는 기판 반송 방법을 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명은 기판의 중심을 산출하여 기판을 목표 위치로 반송할 수 있는 반송 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
본 발명은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명은 기판의 중심을 검출하는 방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시 예에 의하면, 상기 기판 중심 검출 방법은 상기 기판 상에 4개의 단부 위치를 검출하는 제1위치 검출 단계와 검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 노치가 있는 지 여부를 판정하는 노치 유무 판단 단계와 상기 노치 유무 판단 단계에서 검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 노치가 있다고 판정되는 경우 상기 기판을 이동시키는 기판 이동 단계와 그리고 상기 기판의 중심을 산출하는 중심 산출 단계를 포함하되 상기 노치 유무 판단 단계는 검출된 상기 4개의 단부 위치 중 서로 대각선 방향에 위치하는 2개의 단부 위치들 간에 거리인 대각선 거리를 각각 산출하며, 각각의 상기 대각선 거리와 상기 기판의 지름간의 차이값을 구하고, 상기 차이값이 기설정된 값보다 크면 노치가 있는 것으로 판정할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 중심 산출 단계는 상기 기판 상에 4개의 단부 위치를 재검출하는 제2위치 검출 단계와 상기 노치 유무 판단 단계에서 기설정된 범위에 있는 상기 대각선 거리를 산출하는데 사용된 상기 2개의 단부 위치와 기설정된 범위를 벗어난 상기 대각선 거리를 산출하는데 사용된 상기 2개의 단부 위치 중 어느 하나를 이용하여 각각 2개의 상기 기판의 중심점을 구하는 제1중심점 산출 단계와 상기 제2위치 검출 단계에서 상기 기설정된 범위에 있는 상기 대각선 거리를 산출하는 사용된 상기 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치와 상기 기설정된 범위를 벗어난 상기 대각선 거리를 산출하는데 사용된 상기 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치 중 어느 하나를 이용하여 각각 2개의 상기 기판의 중심점을 구하는 제2중심점 산출 단계와 그리고 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제2중심점 산출 단계에서 산출된 각각의 상기 기판의 중심점의 이동 상태로부터 실제 상기 기판의 중심점을 판정하는 제1판정 단계를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제1판정 단계는 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제2중심점 산출 단계에서 산출된 각각 2개의 상기 기판의 중심점 중 상기 기판의 중심점의 이동 상태가 상기 기판의 이동 방향과 동일한 방향으로 이동한 상기 기판의 중심점을 실제 상기 기판의 중심점으로 판정할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제1판정 단계는 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제2중심점 산출 단계에서 산출된 각각 2개의 상기 기판의 중심점 중 상기 기판의 중심점의 이동 상태가 상기 기판의 이동 거리와 동일한 이동 거리로 이동한 상기 기판의 중심점을 실제 상기 기판의 중심점으로 판정할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 중심 산출 단계는 상기 제1판정 단계에서 상기 기판의 중심점이 산출되지 않는 경우 상기 기판을 이동시키는 기판 재이동 단계와 상기 기판 상에 4개의 단부 위치를 재검출하는 제3위치 검출 단계와 상기 제3위치 검출 단계에서 상기 기설정된 범위에 있는 상기 대각선 거리를 산출하는 사용된 상기 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치와 상기 기설정된 범위를 벗어난 상기 대각선 거리를 산출하는데 사용된 상기 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치 중 어느 하나를 이용하여 각각 2개의 상기 기판의 중심점을 구하는 제3중심점 산출 단계와 그리고 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제3중심점 산출 단계에서 산출된 각각의 상기 기판의 중심점의 이동 상태로부터 실제 상기 기판의 중심점을 판정하는 제2판정 단계를 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제2판정 단계는 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제3중심점 산출 단계에서 산출된 각각 2개의 상기 기판의 중심점 중 상기 기판의 중심점의 이동 상태가 상기 기판의 이동 방향과 동일한 방향으로 이동한 상기 기판의 중심점을 실제 상기 기판의 중심점으로 판정할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제2판정 단계는 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제3중심점 산출 단계에서 산출된 각각 2개의 상기 기판의 중심점 중 상기 기판의 중심점의 이동 상태가 상기 기판의 이동 거리와 동일한 이동 거리로 이동한 상기 기판의 중심점을 실제 상기 기판의 중심점으로 판정할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 기판 중심 검출 방법은 상기 기판 이동 단계 후 상기 중심 산출 단계 전 반복 판정 단계를 더 포함하고 상기 반복 판정 단계는 상기 노치 유무 판단 단계에서 검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 노치가 없다고 판정 될 때까지 상기 제1위치 검출 단계, 상기 노치 유무 판단 단계 그리고 이동 단계를 수행하며 상기 중심 산출 단계는 상기 반복 판정 단계 후 검출된 상기 4개의 단부 위치 중 3개 이상의 단부 위치로 기판의 중심을 산출할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 기판의 단부 위치는 4개의 위치 검출 부재에 의해 각각 검출되고, 각각의 상기 위치 검출 부재는 광을 조사하는 발광부와 상기 발광부에서 조사된 광을 수신하는 수광부를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 위치 검출 부재는 레이져 변위 센서로 제공될 수 있다.
본 발명의 기판을 반송하는 방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 기판 반송 방법은 기판에 중심을 산출하는 기판 중심 검출 단계와 상기 기판 중심 산출 단계에서 구한 상기 기판의 중심과 기판의 기준 중심을 비교하여 상기 기판의 어긋남량을 구하는 기판 어긋남량 산출 단계와 그리고 상기 기판 어긋남량 산출 단계에서 구한 상기 기판의 위치 어긋남량을 기초로 상기 기판의 이동 시 기판의 반송 위치를 보정해 상기 기판을 반송하는 기판 반송 단계를 포함하되 상기 기판 중심 검출 단계는 상기 기판 상에 4개의 단부 위치를 검출하는 제1위치 검출 단계와 검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 노치가 있는 지 여부를 판정하는 노치 유무 판단 단계와 상기 노치 유무 판단 단계에서 검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 노치가 있다고 판정되는 경우 상기 기판을 이동시키는 기판 이동 단계와 그리고 상기 기판의 중심을 산출하는 중심 산출 단계를 포함하되 상기 노치 유무 판단 단계는 검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 서로 대각선 방향에 위치하는 2개의 단부 위치들 간에 거리인 대각선 거리를 각각 산출하며, 각각의 상기 대각선 거리와 상기 기판의 지름간의 차이값을 구하고, 상기 차이값이 기설정된 값보다 크면 노치가 있는 것으로 판정할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 중심 산출 단계는 상기 기판 상에 4개의 단부 위치를 재검출하는 제2위치 검출 단계와 상기 노치 유무 판단 단계에서 기설정된 범위에 있는 상기 대각선 거리를 산출하는데 사용된 상기 2개의 단부 위치와 기설정된 범위를 벗어난 상기 대각선 거리를 산출하는데 사용된 상기 2개의 단부 위치 중 어느 하나를 이용하여 각각 2개의 상기 기판의 중심점을 구하는 제1중심점 산출 단계와 상기 제2위치 검출 단계에서 상기 기설정된 범위에 있는 상기 대각선 거리를 산출하는 사용된 상기 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치와 상기 기설정된 범위를 벗어난 상기 대각선 거리를 산출하는데 사용된 상기 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치 중 어느 하나를 이용하여 각각 2개의 상기 기판의 중심점을 구하는 제2중심점 산출 단계와 그리고 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제2중심점 산출 단계에서 산출된 각각의 상기 기판의 중심점의 이동 상태로부터 실제 상기 기판의 중심점을 판정하는 제1판정 단계를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제1판정 단계는 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제2중심점 산출 단계에서 산출된 각각 2개의 상기 기판의 중심점 중 상기 기판의 중심점의 이동 상태가 상기 기판의 이동 방향과 동일한 방향으로 이동한 상기 기판의 중심점을 실제 상기 기판의 중심점으로 판정할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제1판정 단계는 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제2중심점 산출 단계에서 산출된 각각 2개의 상기 기판의 중심점 중 상기 기판의 중심점의 이동 상태가 상기 기판의 이동 거리와 동일한 이동 거리로 이동한 상기 기판의 중심점을 실제 상기 기판의 중심점으로 판정할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 중심 산출 단계는 상기 제1판정 단계에서 상기 기판의 중심점이 산출되지 않는 경우 상기 기판을 이동시키는 기판 재이동 단계와 상기 기판 상에 4개의 단부 위치를 재검출하는 제3위치 검출 단계와 상기 제3위치 검출 단계에서 상기 기설정된 범위에 있는 상기 대각선 거리를 산출하는 사용된 상기 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치와 상기 기설정된 범위를 벗어난 상기 대각선 거리를 산출하는데 사용된 상기 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치 중 어느 하나를 이용하여 각각 2개의 상기 기판의 중심점을 구하는 제3중심점 산출 단계와 그리고 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제3중심점 산출 단계에서 산출된 각각의 상기 기판의 중심점의 이동 상태로부터 실제 상기 기판의 중심점을 판정하는 제2판정 단계를 더 포함할 수 있다,
일 실시 예에 의하면, 상기 제2판정 단계는 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제3중심점 산출 단계에서 산출된 각각 2개의 상기 기판의 중심점 중 상기 기판의 중심점의 이동 상태가 상기 기판의 이동 방향과 동일한 방향으로 이동한 상기 기판의 중심점을 실제 상기 기판의 중심점으로 판정할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제2판정 단계는 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제3중심점 산출 단계에서 산출된 각각 2개의 상기 기판의 중심점 중 상기 기판의 중심점의 이동 상태가 상기 기판의 이동 거리와 동일한 이동 거리로 이동한 상기 기판의 중심점을 실제 상기 기판의 중심점으로 판정할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 기판 중심 검출 단계는 상기 기판 이동 단계 후 상기 중심 산출 단계 전 반복 판정 단계를 더 포함하고 상기 반복 판정 단계는 상기 노치 유무 판단 단계에서 검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 노치가 없다고 판정 될 때까지 상기 제1위치 검출 단계, 상기 노치 유무 판단 단계 그리고 이동 단계를 수행하며 상기 중심 산출 단계는 상기 반복 판정 단계 후 검출된 상기 4개의 단부 위치 중 3개 이상의 단부 위치로 기판의 중심을 산출할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 기판의 단부 위치는 4개의 위치 검출 부재에 의해 각각 검출되고, 각각의 상기 위치 검출 부재는 광을 조사하는 발광부와 상기 발광부에서 조사된 광을 수신하는 수광부를 포함 할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 위치 검출 부재는 레이져 변위 센서로 제공될 수 있다.
본 발명은 기판을 반송하는 유닛을 제공한다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 반송 유닛은 베이스와 상기 베이스에 설치되며, 기판을 지지하는 이송암과 상기 이송암에 지지된 기판 상의 4개의 단부 위치를 검출하는 위치 검출 부재와 그리고 상기 위치 검출 부재에서 검출된 상기 4개의 단부 위치를 이용해 기판에 중심을 검출하는 제어기를 포함하되 상기 제어기는 상기 위치 검출 부재에서 측정된 상기 기판 상에 4개의 단부 위치를 검출하는 제1위치 검출 단계와 검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 노치가 있는 지 여부를 판정하는 노치 유무 판단 단계와 상기 노치 유무 판단 단계에서 검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 노치가 있다고 판정되는 경우 상기 기판을 이동시키는 기판 이동 단계와 상기 기판의 중심을 산출하는 중심 산출 단계를 수행하도록 제어하되 상기 노치 유무 판단 단계는 검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 서로 대각선 방향에 위치하는 2개의 단부 위치들 간에 거리인 대각선 거리를 각각 산출하며, 각각의 상기 대각선 거리와 상기 기판의 지름간의 차이값을 구하고, 상기 차이값이 기설정된 값보다 크면 노치가 있는 것으로 판정할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 중심 산출 단계는 상기 기판 상에 4개의 단부 위치를 재검출하는 제2위치 검출 단계와 상기 노치 유무 판단 단계에서 기설정된 범위에 있는 상기 대각선 거리를 산출하는데 사용된 상기 2개의 단부 위치와 기설정된 범위를 벗어난 상기 대각선 거리를 산출하는데 사용된 상기 2개의 단부 위치 중 어느 하나를 이용하여 각각 2개의 상기 기판의 중심점을 구하는 제1중심점 산출 단계와 상기 제2위치 검출 단계에서 상기 기설정된 범위에 있는 상기 대각선 거리를 산출하는 사용된 상기 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치와 상기 기설정된 범위를 벗어난 상기 대각선 거리를 산출하는데 사용된 상기 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치 중 어느 하나를 이용하여 각각 2개의 상기 기판의 중심점을 구하는 제2중심점 산출 단계와 그리고 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제2중심점 산출 단계에서 산출된 각각의 상기 기판의 중심점의 이동 상태로부터 실제 상기 기판의 중심점을 판정하는 제1판정 단계를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제1판정 단계는 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제2중심점 산출 단계에서 산출된 각각 2개의 상기 기판의 중심점 중 상기 기판의 중심점의 이동 상태가 상기 기판의 이동 방향과 동일한 방향으로 이동한 상기 기판의 중심점을 실제 상기 기판의 중심점으로 판정할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제1판정 단계는 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제2중심점 산출 단계에서 산출된 각각 2개의 상기 기판의 중심점 중 상기 기판의 중심점의 이동 상태가 상기 기판의 이동 거리와 동일한 이동 거리로 이동한 상기 기판의 중심점을 실제 상기 기판의 중심점으로 판정할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 중심 산출 단계는 상기 제1판정 단계에서 상기 기판의 중심점이 산출되지 않는 경우 상기 기판을 이동시키는 기판 재이동 단계와 상기 기판 상에 4개의 단부 위치를 재검출하는 제3위치 검출 단계와 상기 제3위치 검출 단계에서 상기 기설정된 범위에 있는 상기 대각선 거리를 산출하는 사용된 상기 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치와 상기 기설정된 범위를 벗어난 상기 대각선 거리를 산출하는데 사용된 상기 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치 중 어느 하나를 이용하여 각각 2개의 상기 기판의 중심점을 구하는 제3중심점 산출 단계와 그리고 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제3중심점 산출 단계에서 산출된 각각의 상기 기판의 중심점의 이동 상태로부터 실제 상기 기판의 중심점을 판정하는 제2판정 단계를 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제2판정 단계는 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제3중심점 산출 단계에서 산출된 각각 2개의 상기 기판의 중심점 중 상기 기판의 중심점의 이동 상태가 상기 기판의 이동 방향과 동일한 방향으로 이동한 상기 기판의 중심점을 실제 상기 기판의 중심점으로 판정할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제2판정 단계는 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제3중심점 산출 단계에서 산출된 각각 2개의 상기 기판의 중심점 중 상기 기판의 중심점의 이동 상태가 상기 기판의 이동 거리와 동일한 이동 거리로 이동한 상기 기판의 중심점을 실제 상기 기판의 중심점으로 판정할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 기판 중심 검출 방법은 상기 기판 이동 단계 후 상기 중심 산출 단계 전 반복 판정 단계를 더 포함하고 상기 반복 판정 단계는 상기 노치 유무 판단 단계에서 검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 노치가 없다고 판정 될 때까지 상기 제1위치 검출 단계, 상기 노치 유무 판단 단계 그리고 이동 단계를 수행하며 상기 중심 산출 단계는 상기 반복 판정 단계 후 검출된 상기 4개의 단부 위치 중 3개 이상의 단부 위치로 기판의 중심을 산출할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 위치 검출 부재는 4개가 제공되고 각각의 상기 위치 검출 부재는 광을 조사하는 발광부와 상기 발광부에서 조사된 광을 수신하는 수광부를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 발광부와 상기 수광부는 상기 이송암을 기준으로 상하로 서로 마주보며 위치될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 위치 검출 부재는 레이져 변위 센서로 제공될 수 있다.
본 발명은 기판을 처리하는 장치를 제공한다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 기판 처리 장치는 기판을 반송하는 반송 유닛이 제공된 반송 챔버와 상기 반송 챔버을 둘러싸며 위치하는 하나 또는 복수의 공정 챔버를 포함하고 상기 반송 유닛은 베이스와 상기 베이스에 설치되며, 기판을 지지하는 이송암과 상기 이송암에 지지된 기판 상의 4개의 단부 위치를 검출하는 위치 검출 부재와 그리고 상기 위치 검출 부재에서 검출된 4개의 위치를 이용해 기판을 중심을 산출하고, 이를 기초로 기판의 위치 어긋남량을 산출해 기판의 반송 위치를 보정하여 반송하도록 이송암을 제어하는 제어기를 포함하되 상기 제어기는 기판에 중심을 산출하는 기판 중심 검출 단계와 상기 기판 중심 산출 단계에서 구한 상기 기판의 중심과 기판의 기준 중심을 비교하여 상기 기판의 어긋남량을 구하는 기판 어긋남량 산출 단계와 상기 기판 어긋남량 산출 단계에서 구한 상기 기판의 위치 어긋남량을 기초로 상기 기판의 이동 시 기판의 반송 위치를 보정해 상기 기판을 반송하는 기판 반송 단계를 수행하도록 상기 이송암을 제어하되 상기 기판 중심 검출 단계는 상기 기판 상에 4개의 단부 위치를 검출하는 제1위치 검출 단계와 검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 노치가 있는 지 여부를 판정하는 노치 유무 판단 단계와 상기 노치 유무 판단 단계에서 검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 노치가 있다고 판정되는 경우 상기 기판을 이동시키는 기판 이동 단계와 그리고 상기 기판의 중심을 산출하는 중심 산출 단계를 포함하되 상기 노치 유무 판단 단계는 검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 서로 대각선 방향에 위치하는 2개의 단부 위치들 간에 거리인 대각선 거리를 각각 산출하며, 각각의 상기 대각선 거리와 상기 기판의 지름간의 차이값을 구하고, 상기 차이값이 기설정된 값보다 크면 노치가 있는 것으로 판정할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 중심 산출 단계는 상기 기판 상에 4개의 단부 위치를 재검출하는 제2위치 검출 단계와 상기 노치 유무 판단 단계에서 기설정된 범위에 있는 상기 대각선 거리를 산출하는데 사용된 상기 2개의 단부 위치와 기설정된 범위를 벗어난 상기 대각선 거리를 산출하는데 사용된 상기 2개의 단부 위치 중 어느 하나를 이용하여 각각 2개의 상기 기판의 중심점을 구하는 제1중심점 산출 단계와 상기 제2위치 검출 단계에서 상기 기설정된 범위에 있는 상기 대각선 거리를 산출하는 사용된 상기 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치와 상기 기설정된 범위를 벗어난 상기 대각선 거리를 산출하는데 사용된 상기 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치 중 어느 하나를 이용하여 각각 2개의 상기 기판의 중심점을 구하는 제2중심점 산출 단계와 그리고 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제2중심점 산출 단계에서 산출된 각각의 상기 기판의 중심점의 이동 상태로부터 실제 상기 기판의 중심점을 판정하는 제1판정 단계를 포함할 수 있다,
일 실시 예에 의하면, 상기 제1판정 단계는 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제2중심점 산출 단계에서 산출된 각각 2개의 상기 기판의 중심점 중 상기 기판의 중심점의 이동 상태가 상기 기판의 이동 방향과 동일한 방향으로 이동한 상기 기판의 중심점을 실제 상기 기판의 중심점으로 판정할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제1판정 단계는 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제2중심점 산출 단계에서 산출된 각각 2개의 상기 기판의 중심점 중 상기 기판의 중심점의 이동 상태가 상기 기판의 이동 거리와 동일한 이동 거리로 이동한 상기 기판의 중심점을 실제 상기 기판의 중심점으로 판정할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 중심 산출 단계는 상기 제1판정 단계에서 상기 기판의 중심점이 산출되지 않는 경우 상기 기판을 이동시키는 기판 재이동 단계와 상기 기판 상에 4개의 단부 위치를 재검출하는 제3위치 검출 단계와 상기 제3위치 검출 단계에서 상기 기설정된 범위에 있는 상기 대각선 거리를 산출하는 사용된 상기 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치와 상기 기설정된 범위를 벗어난 상기 대각선 거리를 산출하는데 사용된 상기 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치 중 어느 하나를 이용하여 각각 2개의 상기 기판의 중심점을 구하는 제3중심점 산출 단계와 그리고 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제3중심점 산출 단계에서 산출된 각각의 상기 기판의 중심점의 이동 상태로부터 실제 상기 기판의 중심점을 판정하는 제2판정 단계를 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제2판정 단계는 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제3중심점 산출 단계에서 산출된 각각 2개의 상기 기판의 중심점 중 상기 기판의 중심점의 이동 상태가 상기 기판의 이동 방향과 동일한 방향으로 이동한 상기 기판의 중심점을 실제 상기 기판의 중심점으로 판정할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제2판정 단계는 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제3중심점 산출 단계에서 산출된 각각 2개의 상기 기판의 중심점 중 상기 기판의 중심점의 이동 상태가 상기 기판의 이동 거리와 동일한 이동 거리로 이동한 상기 기판의 중심점을 실제 상기 기판의 중심점으로 판정할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 기판 중심 검출 단계는 상기 기판 이동 단계 후 상기 중심 산출 단계 전 반복 판정 단계를 더 포함하고 상기 반복 판정 단계는 상기 노치 유무 판단 단계에서 검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 노치가 없다고 판정 될 때까지 상기 제1위치 검출 단계, 상기 노치 유무 판단 단계 그리고 이동 단계를 수행하며 상기 중심 산출 단계는 상기 반복 판정 단계 후 검출된 상기 4개의 단부 위치 중 3개 이상의 단부 위치로 기판의 중심을 산출할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 위치 검출 부재는 4개가 제공되고 각각의 상기 위치 검출 부재는 광을 조사하는 발광부와 상기 발광부에서 조사된 광을 수신하는 수광부를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 발광부와 상기 수광부는 상기 이송암을 기준으로 상하로 서로 마주보며 위치될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 위치 검출 부재는 레이져 변위 센서로 제공될 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 의하면, 기판상에 복수의 단부 위치를 검출하여 검출된 위치 중 노치가 있는지 여부를 검출할 수 있다.
본 발명의 일 실시 에에 의하면, 기판상에 복수의 단부 위치를 검출하여 기판의 중심을 검출할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 의하면, 반송 유닛에 놓여진 기판의 위치 어긋남량을 산출해 이를 기초로 기판을 목표 위치로 정확히 반송할 수 있다.
본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치에 평면도이다.
도 2는 도 1의 기판 처리 장치(1)를 A-A 방향에서 바라본 도면이다.
도 3은 도 1의 기판 처리 장치(1)를 B-B 방향에서 바라본 도면이다.
도 4는 도 1의 반송 유닛을 보여주는 사시도이다.
도 5는 도 4의 위치 검출 부재를 보여주는 사시도이다.
도 6은 도 4의 반송 유닛을 보여주는 평면도이다.
도 7과 도 8은 도 4의 반송 유닛으로 기판 상에 단부 위치를 검출한 예를 보여주는 도면이다.
도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 중심 검출 방법을 순차적으로 보여주는 순서도이다.
도 10은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 중심 검출 방법을 순차적으로 보여주는 순서도이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 중심 검출 방법을 순차적으로 보여주는 순서도이다.
도 12는 4개의 기판 상의 단부 위치로 기판의 중심을 산출하는 방법을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 13은 검출된 4개의 단부 위치 중 노치 유무를 확인하는 방법을 보여주는 도면이다.
도 14는 내지 도 16은 검출된 기판 상의 4개의 단부 위치를 이용하여 기판의 실제 중심점을 판단하는 과정을 보여주는 도면이다.
도 17과 도 18은 기판 상에 단부 위치 중 노치가 없는 위치를 검출하는 과정을 보여주는 도면이다.
도 19는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 반송 방법을 순차적으로 보여주는 순서도이다.
도 20은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 반송 방법을 순차적으로 보여주는 순서도이다.
도 21은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 반송 방법을 순차적으로 보여주는 순서도이다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
본 실시예의 기판 처리 장치는 반도체 웨이퍼 또는 평판 표시 패널과 같은 기판에 대해 포토리소그래피 공정을 수행하는 데 사용된다. 특히 본 실시예의 기판 처리 장치는 기판에 대해 도포 공정, 현상 공정을 수행하는 데 사용된다. 아래에서는 기판으로 웨이퍼가 사용된 경우를 예로 들어 설명한다.
도 1 내지 도 3는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치(1)를 개략적으로 보여주는 도면이다. 도 1은 기판 처리 장치(1)를 상부에서 바라본 도면이고, 도 2는 도 1의 기판 처리 장치(1)를 A-A 방향에서 바라본 도면이고, 도 3은 도 1의 기판 처리 장치(1)를 B-B 방향에서 바라본 도면이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 기판 처리 장치(1)는 로드 포트(100), 인덱스 모듈(200), 버퍼 모듈(300), 도포 및 현상 모듈(400), 그리고 퍼지 모듈(800)을 포함한다. 로드 포트(100), 인덱스 모듈(200), 버퍼 모듈(300), 도포 및 현상 모듈(400) 그리고 인터페이스 모듈(700)은 순차적으로 일 방향으로 일렬로 배치된다. 퍼지 모듈(800)은 인터페이스 모듈(700) 내에 제공될 수 있다. 이와 달리 퍼지 모듈(800)은 인터페이스 모듈(700) 후단의 노광 장치가 연결되는 위치 또는 인터페이스 모듈(700)의 측부 등 다양한 위치에 제공될 수 있다.
이하, 로드 포트(100), 인덱스 모듈(200), 버퍼 모듈(300), 도포 및 현상 모듈(400), 그리고 인터페이스 모듈(700)이 배치된 방향을 제1방향(12)이라 한다. 상부에서 바라볼 때 제1방향(12)과 수직한 방향을 제2방향(14)이라 하고, 제1방향(12) 및 제2방향(14)과 각각 수직한 방향을 제3방향(16)이라 한다.
웨이퍼(W)는 카세트(20) 내에 수납된 상태로 이동된다. 카세트(20)는 외부로부터 밀폐될 수 있는 구조를 가진다. 일 예로 카세트(20)로는 전방에 도어를 가지는 전면 개방 일체식 포드(Front Open Unified Pod; FOUP)가 사용될 수 있다.
이하에서는 로드 포트(100), 인덱스 모듈(200), 버퍼 모듈(300), 도포 및 현상 모듈(400), 인터페이스 모듈(700) 그리고 퍼지 모듈(800)에 대해 상세히 설명한다.
로드 포트(100)는 웨이퍼들(W)이 수납된 카세트(20)가 놓여지는 재치대(120)를 가진다. 재치대(120)는 복수개가 제공되며, 재치대들(120)은 제2방향(14)을 따라 일렬로 배치된다. 도 2에서는 4개의 재치대(120)가 제공된 예가 도시되었다.
인덱스 모듈(200)은 로드 포트(100)의 재치대(120)에 놓인 카세트(20)와 버퍼 모듈(300) 간에 웨이퍼(W)를 이송한다. 인덱스 모듈(200)은 프레임(210), 인덱스 로봇(220), 그리고 가이드 레일(230)을 포함한다. 프레임(210)은 대체로 내부가 빈 직육면체의 형상으로 제공되며, 로드 포트(100)와 버퍼 모듈(300) 사이에 배치된다. 인덱스 모듈(200)의 프레임(210)은 후술하는 버퍼 모듈(300)의 프레임(310)보다 낮은 높이로 제공될 수 있다. 인덱스 로봇(220)과 가이드 레일(230)은 프레임(210) 내에 배치된다. 인덱스 로봇(220)은 웨이퍼(W)를 직접 핸들링하는 핸드(221)가 제1방향(12), 제2방향(14), 제3방향(16)으로 이동 가능하고 회전될 수 있도록 제공된다. 인덱스 로봇(220)은 핸드(221), 아암(222), 지지대(223), 그리고 받침대(224)를 포함한다. 핸드(221)는 아암(222)에 고정 설치된다. 아암(222)은 신축 가능한 구조 및 회전 가능한 구조로 제공된다. 지지대(223)는 그 길이 방향이 제3방향(16)을 따라 배치된다. 아암(222)은 지지대(223)를 따라 이동 가능하도록 지지대(223)에 결합된다. 지지대(223)는 받침대(224)에 고정결합된다. 가이드 레일(230)은 그 길이 방향이 제2방향(14)을 따라 배치되도록 제공된다. 받침대(224)는 가이드 레일(230)을 따라 직선 이동 가능하도록 가이드 레일(230)에 결합된다. 또한, 도시되지는 않았지만, 프레임(210)에는 카세트(20)의 도어를 개폐하는 도어 오프너가 더 제공된다.
버퍼 모듈(300)은 프레임(310), 제1버퍼(320), 제2버퍼(330), 냉각 챔버(350), 그리고 제1버퍼 로봇(360)을 포함한다. 프레임(310)은 내부가 빈 직육면체의 형상으로 제공되며, 인덱스 모듈(200)과 도포 및 현상 모듈(400) 사이에 배치된다. 제1버퍼(320), 제2버퍼(330), 냉각 챔버(350), 그리고 제1버퍼 로봇(360)은 프레임(310) 내에 위치된다. 냉각 챔버(350), 제2버퍼(330), 그리고 제1버퍼(320)는 순차적으로 아래에서부터 제3방향(16)을 따라 배치된다. 제1버퍼(320)는 후술하는 도포 및 현상 모듈(400)의 도포 모듈(401)과 대응되는 높이에 위치되고, 제2버퍼(330)와 냉각 챔버(350)는 후술하는 도포 및 현상 모듈(400)의 현상 모듈(402)과 대응되는 높이에 제공된다. 제1버퍼 로봇(360)은 제2버퍼(330), 냉각 챔버(350), 그리고 제1버퍼(320)와 제2방향(14)으로 일정 거리 이격되게 위치된다.
제1버퍼(320)와 제2버퍼(330)는 각각 복수의 웨이퍼들(W)을 일시적으로 보관한다. 제2버퍼(330)는 하우징(331)과 복수의 지지대들(332)을 가진다. 지지대들(332)은 하우징(331) 내에 배치되며, 서로 간에 제3방향(16)을 따라 이격되게 제공된다. 각각의 지지대(332)에는 하나의 웨이퍼(W)가 놓인다. 하우징(331)은 인덱스 로봇(220)과 제1버퍼 로봇(360)이 하우징(331) 내 지지대(332)에 웨이퍼(W)을 반입 또는 반출할 수 있도록 인덱스 로봇(220)이 제공된 방향과 제1버퍼 로봇(360)이 제공된 방향에 개구(도시되지 않음)를 가진다. 제1버퍼(320)는 제2버퍼(330)와 대체로 유사한 구조를 가진다. 다만, 제1버퍼(320)의 하우징(321)에는 제1버퍼 로봇(360)이 제공된 방향 및 도포 모듈(401)에 위치된 도포부 로봇(432)이 제공된 방향에 개구를 가진다. 제1버퍼(320)에 제공된 지지대(322)의 수와 제2버퍼(330)에 제공된 지지대(332)의 수는 동일하거나 상이할 수 있다. 일 예에 의하면, 제2버퍼(330)에 제공된 지지대(332)의 수는 제1버퍼(320)에 제공된 지지대(322)의 수보다 많을 수 있다.
제1버퍼 로봇(360)은 제1버퍼(320)와 제2버퍼(330) 간에 웨이퍼(W)를 이송시킨다. 제1버퍼 로봇(360)은 핸드(361), 아암(362), 그리고 지지대(363)를 포함한다. 핸드(361)는 아암(362)에 고정 설치된다. 아암(362)은 신축 가능한 구조로 제공되어, 핸드(361)가 제2방향(14)을 따라 이동 가능하도록 한다. 아암(362)은 지지대(363)를 따라 제3방향(16)으로 직선 이동 가능하도록 지지대(363)에 결합된다. 지지대(363)는 제2버퍼(330)에 대응되는 위치부터 제1버퍼(320)에 대응되는 위치까지 연장된 길이를 가진다. 지지대(363)는 이보다 상부 또는 하부 방향으로 더 길게 제공될 수 있다. 제1버퍼 로봇(360)은 핸드(361)가 제2방향(14) 및 제3방향(16)을 따른 2축 구동만 되도록 제공될 수 있다.
냉각 챔버(350)는 각각 웨이퍼(W)를 냉각한다. 냉각 챔버(350)는 하우징(351)과 냉각 플레이트(352)를 포함한다. 냉각 플레이트(352)는 웨이퍼(W)가 놓이는 상면 및 웨이퍼(W)를 냉각하는 냉각 수단(353)을 가진다. 냉각 수단(353)으로는 냉각수에 의한 냉각이나 열전 소자를 이용한 냉각 등 다양한 방식이 사용될 수 있다. 또한, 냉각 챔버(350)에는 웨이퍼(W)를 냉각 플레이트(352) 상에 위치시키는 리프트 핀 어셈블리가 제공될 수 있다. 하우징(351)은 인덱스 로봇(220) 및 현상 모듈(402)에 제공된 현상부 로봇이 냉각 플레이트(352)에 웨이퍼(W)를 반입 또는 반출할 수 있도록 인덱스 로봇(220)이 제공된 방향 및 현상부 로봇이 제공된 방향에 개구를 가진다. 또한, 냉각 챔버(350)에는 상술한 개구를 개폐하는 도어들이 제공될 수 있다.
처리 모듈(400)은 노광 공정 전에 기판(W) 상에 포토 레지스트를 도포하는 공정 및 노광 공정 후에 기판(W)을 현상하는 공정을 수행한다. 처리 모듈(400)은 대체로 직육면체의 형상을 가진다. 처리 모듈(400)은 도포 모듈(401)과 현상 모듈(402)을 가진다. 도포 모듈(401)과 현상 모듈(402)은 서로 간에 층으로 구획되도록 배치된다. 일 예에 의하면, 도포 모듈(401)은 현상 모듈(402)의 상부에 위치된다.
도포 모듈(401)은 기판(W)에 대해 포토레지스트와 같은 감광액을 도포하는 공정 및 레지스트 도포 공정 전후에 기판(W)에 대해 가열 및 냉각과 같은 열처리 공정을 포함한다. 도포 모듈(401)은 공정 챔버(410,420)와 반송 챔버(430)를 포함한다.
공정 챔버(410,420)는 기판 처리 공정을 수행한다. 일 예로 공정 챔버(410,420)는 레지스트 도포 챔버(410)와 베이크 챔버(420)를 포함할 수 있다.
레지스트 도포 챔버(410), 베이크 챔버(420), 그리고 반송 챔버(430)는 제2방향(14)을 따라 순차적으로 배치된다. 따라서 레지스트 도포 챔버(410)와 베이크 챔버(420)는 반송 챔버(430)를 사이에 두고 제2방향(14)으로 서로 이격되게 위치된다. 레지스트 도포 챔버(410)는 복수 개가 제공되며, 제1방향(12) 및 제3방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공된다. 도면에서는 6개의 레지스트 도포 챔버(410)가 제공된 예가 도시되었다. 베이크 챔버(420)는 제1방향(12) 및 제3방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공된다. 도면에서는 6개의 베이크 챔버(420)가 제공된 예가 도시되었다. 그러나 이와 달리 베이크 챔버(420)는 더 많은 수로 제공될 수 있다.
반송 챔버(430)는 제1버퍼 모듈(300)의 제1버퍼(320)와 제1방향(12)으로 나란하게 위치된다. 반송 챔버(430) 내에는 반송 유닛(500)과 가이드 레일(411)이 위치된다. 반송 챔버(430)는 대체로 직사각의 형상을 가진다. 반송 유닛(500)은 베이크 챔버들(420), 레지스트 도포 챔버들(400), 제1버퍼 모듈(300)의 제1버퍼(320), 그리고 후술하는 제2버퍼 모듈(500)의 제 1 냉각 챔버(520) 간에 기판(W)을 이송한다. 가이드 레일(411)은 그 길이 방향이 제1방향(12)과 나란하도록 배치된다. 가이드 레일(411)은 반송 유닛(500)이 제1방향(12)으로 직선 이동되도록 안내한다.
반송 유닛(500)의 자세한 구성은 후술한다.
레지스트 도포 챔버들(410)은 모두 동일한 구조를 가진다. 다만, 각각의 레지스트 도포 챔버(410)에서 사용되는 포토 레지스트의 종류는 서로 상이할 수 있다. 일 예로서 포토 레지스트로는 화학 증폭형 레지스트(chemical amplification resist)가 사용될 수 있다. 레지스트 도포 챔버(410)는 기판(W) 상에 포토 레지스트를 도포한다. 레지스트 도포 챔버(410)는 하우징(411), 지지 플레이트(412), 그리고 노즐(413)을 가진다. 하우징(411)은 상부가 개방된 컵 형상을 가진다. 지지 플레이트(412)는 하우징(411) 내에 위치되며, 기판(W)을 지지한다. 지지 플레이트(412)는 회전 가능하게 제공된다. 노즐(413)은 지지 플레이트(412)에 놓인 기판(W) 상으로 포토 레지스트를 공급한다. 노즐(413)은 원형의 관 형상을 가지고, 기판(W)의 중심으로 포토 레지스트를 공급할 수 있다. 선택적으로 노즐(413)은 기판(W)의 직경에 상응하는 길이를 가지고, 노즐(413)의 토출구는 슬릿으로 제공될 수 있다. 또한, 추가적으로 레지스트 도포 챔버(410)에는 포토 레지스트가 도포된 기판(W) 표면을 세정하기 위해 탈이온수와 같은 세정액을 공급하는 노즐(414)이 더 제공될 수 있다.
베이크 챔버(420)는 기판(W)을 열처리한다. 예컨대, 베이크 챔버들(420)은 포토 레지스트를 도포하기 전에 기판(W)을 소정의 온도로 가열하여 기판(W) 표면의 유기물이나 수분을 제거하는 프리 베이크(prebake) 공정이나 포토레지스트를 기판(W) 상에 도포한 후에 행하는 소프트 베이크(soft bake) 공정 등을 수행하고, 각각의 가열 공정 이후에 기판(W)을 냉각하는 냉각 공정 등을 수행한다. 베이크 챔버(420)는 냉각 플레이트(421) 또는 가열 플레이트(422)를 가진다. 냉각 플레이트(421)에는 냉각수 또는 열전 소자와 같은 냉각 수단(423)이 제공된다. 또한 가열 플레이트(422)에는 열선 또는 열전 소자와 같은 가열 수단(424)이 제공된다. 냉각 플레이트(421)와 가열 플레이트(422)는 하나의 베이크 챔버(420) 내에 각각 제공될 수 있다. 선택적으로 베이크 챔버(420)들 중 일부는 냉각 플레이트(421)만을 구비하고, 다른 일부는 가열 플레이트(422)만을 구비할 수 있다.
현상 모듈(402)은 기판(W)상에 패턴을 얻기 위해 현상액을 공급하여 포토 레지스트의 일부를 제거하는 현상 공정, 및 현상 공정 전후에 기판(W)에 대해 수행되는 가열 및 냉각과 같은 열처리 공정을 포함한다. 현상모듈(402)은 현상 챔버(460), 베이크 챔버(470), 그리고 반송 챔버(480)를 가진다. 현상 챔버(460), 베이크 챔버(470), 그리고 반송 챔버(480)는 제2방향(14)을 따라 순차적으로 배치된다. 따라서 현상 챔버(460)와 베이크 챔버(470)는 반송 챔버(480)를 사이에 두고 제2방향(14)으로 서로 이격되게 위치된다. 현상 챔버(460)는 복수 개가 제공되며, 제1방향(12) 및 제3방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공된다. 도면에서는 6개의 현상 챔버(460)가 제공된 예가 도시되었다. 베이크 챔버(470)는 제1방향(12) 및 제3방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공된다. 도면에서는 6개의 베이크 챔버(470)가 제공된 예가 도시되었다. 그러나 이와 달리 베이크 챔버(470)는 더 많은 수로 제공될 수 있다.
반송 챔버(480)는 제1버퍼 모듈(300)의 제2버퍼(330)와 제1방향(12)으로 나란하게 위치된다. 반송 챔버(480) 내에는 현상부 로봇(482)과 가이드 레일(483)이 위치된다. 반송 챔버(480)는 대체로 직사각의 형상을 가진다. 현상부 로봇(482)은 베이크 챔버들(470), 현상 챔버들(460), 제1버퍼 모듈(300)의 제2버퍼(330)와 냉각 챔버(350), 그리고 제2버퍼 모듈(500)의 제 2 냉각 챔버(540) 간에 기판(W)을 이송한다. 가이드 레일(483)은 그 길이 방향이 제1방향(12)과 나란하도록 배치된다. 가이드 레일(483)은 현상부 로봇(482)이 제1방향(12)으로 직선 이동되도록 안내한다. 현상부 로봇(482)은 핸드(484), 아암(485), 지지대(486), 그리고 받침대(487)를 가진다. 핸드(484)는 아암(485)에 고정 설치된다. 아암(485)은 신축 가능한 구조로 제공되어 핸드(484)가 수평 방향으로 이동 가능하도록 한다. 지지대(486)는 그 길이 방향이 제3방향(16)을 따라 배치되도록 제공된다. 아암(485)은 지지대(486)를 따라 제3방향(16)으로 직선 이동 가능하도록 지지대(486)에 결합된다. 지지대(486)는 받침대(487)에 고정 결합된다. 받침대(487)는 가이드 레일(483)을 따라 이동 가능하도록 가이드 레일(483)에 결합된다.
현상 챔버들(460)은 모두 동일한 구조를 가진다. 다만, 각각의 현상 챔버(460)에서 사용되는 현상액의 종류는 서로 상이할 수 있다. 현상 챔버(460)는 기판(W) 상의 포토 레지스트 중 광이 조사된 영역을 제거한다. 이때, 보호막 중 광이 조사된 영역도 같이 제거된다. 선택적으로 사용되는 포토 레지스트의 종류에 따라 포토 레지스트 및 보호막의 영역들 중 광이 조사되지 않은 영역만이 제거될 수 있다.
현상 챔버(460)는 하우징(461), 지지 플레이트(462), 그리고 노즐(463)을 가진다. 하우징(461)은 상부가 개방된 컵 형상을 가진다. 지지 플레이트(462)는 하우징(461) 내에 위치되며, 기판(W)을 지지한다. 지지 플레이트(462)는 회전 가능하게 제공된다. 노즐(463)은 지지 플레이트(462)에 놓인 기판(W) 상으로 현상액을 공급한다. 노즐(463)은 원형의 관 형상을 가지고, 기판(W)의 중심으로 현상액 공급할 수 있다. 선택적으로 노즐(463)은 기판(W)의 직경에 상응하는 길이를 가지고, 노즐(463)의 토출구는 슬릿으로 제공될 수 있다. 또한, 현상 챔버(460)에는 추가적으로 현상액이 공급된 기판(W) 표면을 세정하기 위해 탈이온수와 같은 세정액을 공급하는 노즐(464)이 더 제공될 수 있다.
베이크 챔버(470)는 기판(W)을 열처리한다. 예컨대, 베이크 챔버들(470)은 현상 공정이 수행되기 전에 기판(W)을 가열하는 포스트 베이크 공정 및 현상 공정이 수행된 후에 기판(W)을 가열하는 하드 베이크 공정 및 각각의 베이크 공정 이후에 가열된 기판(W)을 냉각하는 냉각 공정 등을 수행한다. 베이크 챔버(470)는 냉각 플레이트(471) 또는 가열 플레이트(472)를 가진다. 냉각 플레이트(471)에는 냉각수 또는 열전 소자와 같은 냉각 수단(473)이 제공된다. 또는 가열 플레이트(472)에는 열선 또는 열전 소자와 같은 가열 수단(474)이 제공된다. 냉각 플레이트(471)와 가열 플레이트(472)는 하나의 베이크 챔버(470) 내에 각각 제공될 수 있다. 선택적으로 베이크 챔버(470)들 중 일부는 냉각 플레이트(471)만을 구비하고, 다른 일부는 가열 플레이트(472)만을 구비할 수 있다.
상술한 바와 같이 처리 모듈(400)에서 도포 모듈(401)과 현상 모듈(402)은 서로 간에 분리되도록 제공된다. 또한, 상부에서 바라볼 때 도포 모듈(401)과 현상 모듈(402)은 동일한 챔버 배치를 가질 수 있다.
상술한 예에서는 6층으로 제공된 도포 및 처리 모듈(400)을 예로 설명하였으나, 공정의 과정에 따라서 7층 이상의 처리 모듈(400)로 제공 될 수 있다.
인터페이스 모듈(700)은 기판(W)를 이송한다. 인터페이스 모듈(700)은 프레임(710), 제1버퍼(720), 제2버퍼(730), 그리고 인터페이스 로봇(740)를 포함한다. 제1버퍼(720), 제2버퍼(730), 그리고 인터페이스 로봇(740)은 프레임(710) 내에 위치된다. 제1버퍼(720)와 제2버퍼(730)는 서로 간에 일정거리 이격되며, 서로 적층되게 배치된다. 제1버퍼(720)는 제2버퍼(730)보다 높게 배치된다.
인터페이스 로봇(740)은 제1버퍼(720) 및 제2버퍼(730)와 제2방향(14)으로 이격되게 위치된다. 인터페이스 로봇(740)은 제1버퍼(720), 제2버퍼(730), 그리고 노광 장치(900) 간에 기판(W)를 운반한다.
제1버퍼(720)는 공정이 수행된 기판(W)들이 노광 장치(900)로 이동되기 전에 이들을 일시적으로 보관한다. 그리고 제2버퍼(730)는 노광 장치(900)에서 공정이 완료된 기판(W)들이 이동되기 전에 이들을 일시적으로 보관한다. 제1버퍼(720)는 하우징(721)과 복수의 지지대들(722)을 가진다. 지지대들(722)은 하우징(721) 내에 배치되며, 서로 간에 제3방향(16)을 따라 이격되게 제공된다. 각각의 지지대(722)에는 하나의 기판(W)가 놓인다. 하우징(721)은 인터페이스 로봇(740) 및 전처리 로봇(632)이 하우징(721) 내로 지지대(722)에 기판(W)를 반입 또는 반출할 수 있도록 인터페이스 로봇(740)이 제공된 방향 및 전처리 로봇(632)이 제공된 방향에 개구를 가진다. 제2버퍼(730)는 제1버퍼(720)와 유사한 구조를 가진다. 인터페이스 모듈에는 웨이퍼에 대해 소정의 공정을 수행하는 챔버의 제공 없이 상술한 바와 같이 버퍼들 및 로봇만 제공될 수 있다.
퍼지 모듈(800)은 인터페이스 모듈(700) 내에 배치될 수 있다. 구체적으로, 퍼지 모듈(800)은 인터페이스 로봇(740)을 중심으로 제1버퍼(720)와 마주보는 위치에 배치될 수 있다. 이와 달리 퍼지 모듈(800)은 인터페이스 모듈(700) 후단의 노광 장치(900)가 연결되는 위치 또는 인터페이스 모듈(700)의 측부 등 다양한 위치에 제공될 수 있다. 퍼지 모듈(800)은 가스 퍼지 공정과 린스 공정을 수행한다.
도 4는 도 1의 반송 유닛을 보여주는 사시도이고, 도 5는 도 4의 위치 검출 부재를 보여주는 사시도이며, 도 6은 도 4의 반송 유닛을 보여주는 평면도이다.
이하, 도 4 내지 도 6을 참고하면, 반송 유닛(500)은 베이스(510), 이송암(530), 위치 검출 부재(550), 지지대(570), 받침대(580) 그리고 제어기(590)를 포함한다.
베이스(510)에는 이송암(530)이 설치된다. 이송암(530)은 기판(W)을 지지하며, 기판(W)을 이송한다. 이송암(530)은 복수개 제공될 수 있다. 일 예로 이송암(530)은 2개가 제공될 수 있다. 이와는 달리 이송암(530)은 다른 개수로 제공될 수 있다. 이송암(530)은 핸드(531)와 유지부(533)를 가진다.
핸드(531)는 이송암(530)에 고정 설치된다. 이송암(530)은 신축 가능한 구조로 제공되어 핸드(531)가 수평 방향으로 이동 가능하도록 한다. 핸드(531)는 상부에서 바라 볼 때, 대체로 원형의 현상을 가진다. 지지대(570)는 그 길이 방향이 제3방향(16)을 따라 배치되도록 제공된다. 이송암(530)은 지지대(570)를 따라 제3방향(16)으로 직선 이동 가능하도록 지지대(570)에 결합된다. 지지대(570)는 받침대(580)에 고정 결합되고, 받침대(580)는 가이드 레일(411)을 따라 이동 가능하도록 가이드 레일(411)에 결합된다.
핸드(531)에는 유지부(533)가 설치된다. 유지부(533)는 기판(W)의 하부를 지지한다. 일 예로 유지부(533)는 진공 흡착에 의해 기판(W)을 지지할 수 있다. 유지부(533)는 복수개 제공된다. 일 예로 유지부(533)는 4개 제공된다. 4개의 유지부(533)는 서로 조합되어 원형으로 이루며 배치된다. 상술한 예에서는 4개의 유지부(533)가 제공되는 것을 예로 들었으나, 이와는 달리 3개 또는 5개 이상으로 제공될 수 있다.
위치 검출 부재(550)는 이송암(530)에 유지된 기판(W) 상에 단부 위치를 검출한다. 위치 검출 부재(550)는 베이스(510)에 설치된다. 위치 검출 부재(550)는 복수개 제공될 수 있다. 일 예로 위치 검출 부재(550)는 4개가 제공될 수 있다. 이 경우 위치 검출 부재(550)는 기판(W) 상에 단부 위치를 4개 검출 할 수 있다. 일 예로 위치 검출 부재(550)는 레이져 변위 센서로 제공될 수 있다.
위치 검출 부재(550)는 발광부(551), 수광부(553) 그리고 지지부(555)를 포함한다.
발광부(551)는 광을 조사한다. 발광부(551)는 베이스(510)의 하부에 고정설치된다. 발광부(551)는 복수개 제공된다. 일 예로 발광부(551)는 4개가 제공된다. 4개의 발광부(551)는 베이스(510)에 설치되며, 서로 조합되어 원형의 형상으로 배치된다. 발광부(551)에서 조사되는 광원은 레이저 광으로 제공될 수 있다. 이와는 달리, 발광부(551)의 광원은 LED 광으로 제공될 수 있다.
지지부(555)는 베이스(510)에 결합되며, 이송암(530)의 상부에 위치한다. 지지부(555)에는 수광부(553)가 고정설치된다.
수광부(553)는 발광부(551)에서 조사된 광을 수신한다. 수광부(553)는 수신되는 광을 양에 따라서 기판(W)의 위치를 측정할 수 있다. 일 예로 기판(W)의 없을 때, 발광부(551)에서 조사된 양을 기준값으로 한다. 이 후 기판(W)의 이송암(530)에 유지된 상태일 때, 발광부(551)에서 광이 조사되면, 기판(W)에 의해 가려진 광량을 제외하고 수신된 광원을 통해서 기판(W)의 위치를 측정한다. 수광부(553)는 위치 검출 부재(550)가 레이져 변위로 제공되는 경우 레이져 광을 수신한다. 이와는 달리, 발광부(551)가 LED 광을 조사하는 경우, 수광부(553)는 리니어 이미지 센서로 제공될 수 있다. 일 예로 리니어 이미지 센서는 CCD(Charge Coupled Device) 라인 센서, 파이버라인 센서, 광전 센서 등 각 종 리니어 이미지 센서가 제공될 수 있다.
제어기(590)는 위치 검출 부재(550)에서 검출된 4개의 기판(W) 상의 단부 위치를 전송받는다. 제어기(590)는 4개의 기판(W) 상의 단부 위치를 이용해 기판(W)에 중심을 검출한다.
제어기(590)는 검출된 기판(W)의 중심을 이용해 이송암(530)에 유지된 기판(W)의 위치 어긋남량을 구하여 기판(W)의 반송 시 이를 기초로 반송한다.
제어기(590)는 기판(W)에 중심을 산출하는 기판 중심 검출 단계와 기판 중심 산출 단계(S400)에서 구한 상기 기판(W)의 중심과 기판(W)의 기준 중심을 비교하여 기판(W)의 어긋남량을 구하는 기판 어긋남량 산출 단계와 기판 어긋남량 산출 단계에서 구한 기판(W)의 위치 어긋남량을 기초로 기판(W)의 이동 시 기판(W)의 반송 위치를 보정해 상기 기판(W)을 반송하는 기판 반송 단계를 수행하도록 이송암(530)을 제어하여, 기판(W)을 반송한다.
이하에서는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 중심 검출 방법(S10)을 설명한다.
이송암(530)에 놓여진 기판(W)은 위치 검출 부재(550)를 통해서 기판(W) 상에 단부 위치를 검출한다. 4개의 위치 검출 부재(550)는 4개의 기판(W)상에 단부 위치를 검출한다. 도 7과 도 8은 도 4의 반송 유닛으로 기판 상에 단부 위치를 검출한 예를 보여주는 도면이다. 도 7과 도 8을 참고하면, 기판(W) 상에 단부 위치(A,B,C,D)는 도 7과 같이 모두 정상적인 위치로 검출될 수 있다. 이와는 달리. 도 8과 같이 4개의 단부 위치 중 노치 위치가 포함된 단부 위치(A,B,C,D)들이 검출될 수 있다. 도 7과 같이 정상적인 기판(W) 상의 단부 위치를 검출하는 경우 검출된 4개의 기판(W) 상의 단부 위치로 기판(W)의 중심을 산출할 수 있다.
이와는 달리, 도 8과 같이 노치 위치가 포함된 단부 위치를 검출할 경우 이를 이용해 기판(W)의 중심을 산출하는 경우 기판(W)의 실제 중심과 상이한 결과를 가져올 수 있다. 따라서, 4개의 위치 중 노치가 있는지 여부를 판단 해 노치가 없는 위치로 기판(W)의 중심을 산출하여야 한다.
4개의 기판(W) 상의 단부 위치로 기판(W)의 중심을 구하는 방법은 아래와 같다.
이하, 4개의 기판의 단부 위치에서 기판의 중심을 산출하는 방법을 설명한다. 도 12는 4개의 기판 상의 단부 위치로 기판의 중심을 산출하는 방법을 개략적으로 나타내는 도면이다. 도 12를 참고하면, 4개의 기판의 단부 위치는 A, B, C 그리고 D 점을 포함한다. A, B, C 그리고 D점은 각각 A(x1,y1), B(x2,y2), C(x3,y3), D(x4,y4) 좌표로 표시될 수 있다.
이 중 임의의 3점을 통해서 기판의 중심점을 산출한다. 여기는 A,B 그리고 C점을 이용해 기판의 중심점을 산출하는 방법을 설명한다.
먼저, A점과 B점을 연결하는 직선의 방정식을 구할 수 있다.
(수식1) y=ax+b
여기서 a는 A점과 B점의 연결하는 직선의 방정식의 기울기이다. 기울기 a는 아래와 같이 구할 수 있다.
Figure 112015095225946-pat00001
또한, A점과 C점을 연결하는 직선의 방정식을 구할 수 있다.
(수식2) y=cx+d
여기서 c는 A점과 C점을 연결하는 직선의 방정식의 기울기이다. 기울기 c는 아래와 같이 구할 수 있다.
Figure 112015095225946-pat00002
다음으로 (수식1)에서 선분 AB의 중점을 지나는 법선의 방정식을 구할 수 있다.
(수식3)
Figure 112015095225946-pat00003
다음으로 (수식2)에서 선분 AC의 중점을 지나는 법선의 방정식을 구할 수 있다.
(수식4)
Figure 112015095225946-pat00004
다음으로 (수식3)과 (수식4)의 직선의 방정식의 교점을 구하면 기판의 중심점을 산출 할 수 있다.
도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 중심 검출 방법을 순차적으로 보여주는 순서도이다.
도 9을 참고하면, 기판 중심 검출 방법(S10)은 제1위치 검출 단계(S100), 노치 유무 판단 단계(S200), 기판 이동 단계(S300) 그리고 중심 산출 단계(S400)를 포함한다.
제1위치 검출 단계(S100)에서는 기판(W) 상의 4개의 단부 위치를 검출한다. 4개의 단부 위치는 위치 검출 부재(550)를 이용하여 이송암(530)에 놓여진 기판(W) 상에 단부 위치를 검출한다.
노치 유무 판단 단계(S200)에서는 검출된 기판(W) 상의 4개의 단부 위치 중에 노치가 있는 지 여부를 판정한다. 노치 유무 판단 단계(S200)에서는 도 13과 같이 검출된 4개의 단부 위치 중 서로 대각선 방향에 위치하는 2개의 단부 위치들 간에 거리(d1,d2 ,)를 각각 산출한다. 각각의 대각선 거리(d1,d2 ,)는 기판(W)의 지름(d0)과 비교한다. 각각의 대각선 거리와 기판(W)의 지름간의 차이값을 구한다. 각각의 대각선 거리와 기판(W)의 지름간에 차이값 중 기설정된 값보다 크게 나타나는 경우 4개의 단부 위치 중에 노치 위치가 있는 것으로 판단한다. 2개의 대각선 거리(d1,d2) 중 기판(W)의 지름값(d0)과 차이를 보이는 하나의 대각선(d1)의 거리를 구한 2개의 단부 위치(A1,D1) 중 어느 하나를 노치 위치로 판정한다.
이와는 달리, 2개의 대각선 거리 모두 지름간의 차이값이 기설정된 값의 범위 내인 경우 검출된 4개의 단부 위치 중 노치가 없는 것으로 판단한다.
이 경우 후술하는 중심 산출 단계(S400)를 바로 수행한다.
기판 이동 단계(S300)는 노치 유무 판단 단계(S200)에서 검출된 4개의 단부 위치 중에 노치가 있다고 판정되는 경우 기판(W)을 이동시키는 단계이다. 일 예로 기판(W)의 이동은 기설정된 방향 또는 거리만큼 기판(W)을 이동시킨다.
기판 이동 단계(S300)는 노치 유무 판단 단계(S200)에서 검출된 4개의 단부 위치 중에 노치가 없다고 판정되는 경우 생략할 수 있다.
중심 산출 단계(S400)는 기판(W)의 중심을 산출하는 단계이다. 검출된 4개의 단부 위치를 이용하여 기판(W)의 중심을 산출한다. 중심 산출 단계(S400)는 노치 유무 판단 단계(S200)에서 검출된 4개의 단부 위치 중에 노치가 없다고 판정되는 경우 검출된 4개의 단부 위치로 기판(W)의 중심을 산출한다.
중심 산출 단계(S400)는 노치 유무 판단 단계(S200)에서 검출된 4개의 단부 위치 중에 노치가 있다고 판정되는 경우 아래와 같은 단계를 수행하여 기판(W)의 중심을 산출한다.
중심 산출 단계(S400)는 제2위치 검출 단계(S410), 제1중심점 산출 단계(S420), 제2중심점 산출 단계(S430), 제1판정 단계(S440)를 포함한다.
제2위치 검출 단계(S410)는 기판 이동 단계(S300)에서 이동된 기판(W) 상에 4개의 단부 위치를 재검출하는 단계이다.
제1중심점 산출 단계(S420)는 제1위치 검출 단계(S100)에서 검출된 4개의 단부 위치(A1,B1,C1,D1)로 기판(W)의 중심점을 산출하는 단계이다. 제1중심점 산출 단계(S420)는 노치 유무 판단 단계(S200)에서 노치가 있다고 판정 되는 경우, 노치 유무 판단 단계(S200)에서 기설정된 범위에 있는 대각선 거리를 산출하는데 사용된 2개의 단부 위치(B1,C1)와 기설정된 범위를 범어낫 대각선 선리를 산출하는 데 사용된 2개의 단부 위치(A1,D1) 중 어느 하나를 이용하여 각각 2개의 기판(W)의 중심점(M1, N1)을 구한다. 일 예로 도 14와 같이 2개의 기판(W)의 중심점(M1, N1)을 구할 수 있다.
제2중심점 산출 단계(S430)는 제2위치 검출 단계(S410)에서 검출된 4개의 단부 위치(A2,B2,C2,D2)로 기판(W)의 중심점을 산출하는 단계이다. 제2중심점 산출 단계(S430)에서는 기판(W)의 중심점을 2개(M2,N2) 산출한다. 제2중심점 산출 단계(S430)는 제1중심점 산출 단계(S420)에서 기설정된 범위에 있는 대각선 거리를 산출하는데 사용된 2개의 단부 위치(B1,C1)와 대응되는 2개의 단부 위치(B2,C2)와 기설정된 범위를 벗어난 대각선 거리를 산출하는데 사용된 2개의 단부 위치(A1,D1)와 대응되는 2개의 단부 위치(A2,D2) 중 어느 하나를 이용하여 각각 2개의 중심점(M2,N2)을 구한다.
여기서 기설정된 범위에 있는 대각선 거리를 산출하는데 사용된 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치는 기판(W)의 이동 전 후 동일한 위치 검출 부재(550)로 검출한 위치를 말한다. 일 예로 도 14와 도 15과 같이 기판(W)의 이동 전 검출 한 B1, C1과 동일한 위치 검출 부재(550)로 검출한 B2, C2의 위치가 기설정된 범위에 있는 대각선 거리를 산출하는데 사용된 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치이다. 마찬가지로, 기설정된 범위를 벗어낫 대각선 거리를 산출하는데 사용된 2개의 단부 위치에 대응되는 2개의 단부 위치는 기판(W)의 이동 전 후 동일한 위치 검출 부재(550)로 검출한 위치를 말한다. 일 예로 도 14와 도 15과 같이 기판(W)의 이동 전 검출한 A1, D1과 동일한 위치 검출 부재(550)로 검출한 A2, D2의 위치가 위치가 기설정된 범위에 있는 대각선 거리를 산출하는데 사용된 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치를 말한다.
제1판정 단계(S440)는 제1중심점 산출 단계(S420)와 제2중심점 산출 단계(S430)에서 산출된 각각의 기판(W)의 중심점의 이동 상태로부터 실제 기판(W)의 중심점을 판정하는 단계이다.
일 예로 제1판정 단계(S440)에서는 제1중심점 산출 단계(S420)에서 산출된 2개의 기판(W)의 중심점과 제2중심점 산출 단계(S430)에서 산출된 2개의 중심점 기판(W)의 이동 상태와 동일한 이동 상태로 이동한 하나의 중심점을 실제 기판(W)의 중심점으로 산출한다.
일 예로 기판(W)의 이동 상태로 실제 기판(W)의 중심점을 판단하는 방법은 제1판정 단계(S440)에서 제1중심점 산출 단계(S420)와 제2중심점 산출 단계(S430)에서 산출된 각각 2개의 기판(W)의 중심점 중 기판(W)의 중심점의 이동 상태가 기판(W)의 이동방향과 동일한 방향으로 이동한 기판(W)의 중심점을 실제 기판(W)의 중심점으로 판정할 수 있다.
이와는 달리, 제1판정 단계(S440)에서 제1중심점 산출 단계(S420)와 제1중심점 산출 단계(S420)에서 산출된 각각 2개의 상기 기판(W)의 중심점 중 기판(W)의 중심점의 이동 상태가 기판(W)의 이동 거리와 동일한 이동 거리로 이동한 기판(W)의 중심점을 실제 기판(W)의 중심점으로 판단할 수 있다.
예컨대, 도 14와 도 15의 경우, 실제 기판(W)의 이동 상태와 동일한 이동 상태로 이동한 N1과 N2의 기판(W)의 중심점을 실제 기판(W)의 중심점으로 산출한다. 또한, N1과 N2의 기판(W)의 중심점을 산출한 3개의 단부 위치인 B1, C1, D1과 B2, C2, D2를 기판(W) 상에 노치가 없는 위치로 판정하며, A1과 A2를 노치가 있는 위치로 판정한다.
도 10은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 중심 검출 방법을 순차적으로 보여주는 순서도이다. 도 10을 참고하면, 도 9의 기판 중심 검출 방법(S10)에 중심 산출 단계(S400)는 제1판정 단계(S440)에서 기판(W)의 중심점이 산출되지 않는 경우도 있다. 이는 노치로 구한 기판(W)의 중심점의 이동 상태가 기설정된 오차 범위 내로 들어오는 경우가 있어 상술한 중심 산출 단계(S400)에서 실제 기판(W)의 중심점이 구하지 못하는 경우가 있다.
본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 중심 검출 방법(S11)은 제1판정 단계(S440)에서 실제 기판(W)의 중심을 산출하지 못하는 경우 중심 산출 단계(S400)는 제1판정 단계(S440) 이후 아래의 단계를 더 포함한다.
중심 산출 단계(S400)는 기판 재이동 단계(S450), 제3위치 검출 단계(S460), 제3중심점 산출 단계(S470) 그리고 제2판정 단계(S480)를 더 포함한다.
기판 재이동 단계(S450)는 기판(W)을 이동시키는 단계이다. 일 예로 기판(W)의 이동은 기판 이동 단계(S300)에서 기설정된 방향 및 거리를 기준으로 기설정된 방향에 반대 방향으로 이동할 수 있다. 기판 재이동 단계(S450)에서 기판(W)의 이동 거리는 기설정된 거리에 반만큼 이동할 수 있다.
제3위치 검출 단계(S460)에서는 기판 재이동 단계(S450) 후 위치 검출 부재(550)를 이용하여 기판(W) 상에 4개의 단부 위치를 재검출한다.
제3중심점 산출 단계(S470)는 제3위치 검출 단계(S460)에서 검출된 4개의 단부 위치로 기판(W)의 중심점을 산출하는 단계이다. 제3중심점 산출 단계(S470)에서는 기판(W)의 중심점을 2개(M3,N3) 산출한다. 제3중심점 산출 단계(S470)는 제1중심점 산출 단계(S420)에서 기설정된 범위에 있는 대각선 거리를 산출하는데 사용된 2개의 단부 위치(B1,C1)와 대응되는 2개의 단부 위치(B3,C3)와 기설정된 범위를 벗어난 대각선 거리를 산출하는데 사용된 2개의 단부 위치(A1,D1)와 대응되는 2개의 단부 위치(A3,D3) 중 어느 하나를 이용하여 각각 2개의 중심점(M3,N3) 을 구한다.
여기서 기설정된 범위에 있는 대각선 거리를 산출하는데 사용된 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치는 기판(W)의 이동 전 후 동일한 위치 검출 부재(550)로 검출한 위치를 말한다. 일 예로 도 14와 도 16과 같이 기판(W)의 이동 전 검출 한 B1, C1과 동일한 위치 검출 부재(550)로 검출한 B3, C3의 위치가 기설정된 범위에 있는 대각선 거리를 산출하는데 사용된 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치이다. 마찬가지로, 기설정된 범위를 벗어낫 대각선 거리를 산출하는데 사용된 2개의 단부 위치에 대응되는 2개의 단부 위치는 기판(W)의 이동 전 후 동일한 위치 검출 부재(550)로 검출한 위치를 말한다. 일 예로 도 14와 도 16과 같이 기판(W)의 이동 전 검출 한 A1, D1과 동일한 위치 검출 부재(550)로 검출한 A3, D3의 위치가 위치가 기설정된 범위에 있는 대각선 거리를 산출하는데 사용된 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치를 말한다.
제2판정 단계(S480)는 제1중심점 산출 단계(S420)와 제3중심점 산출 단계(S470)에서 산출된 각각의 기판(W)의 중심점의 이동 상태로부터 실제 기판(W)의 중심점을 판정하는 단계이다.
일 예로 제2판정 단계(S480)에서는 제1중심점 산출 단계(S420)에서 산출된 2개의 기판(W)의 중심점과 제3중심점 산출 단계(S470)에서 산출된 2개의 중심점 기판(W)의 이동 상태와 동일한 이동 상태로 이동한 하나의 중심점을 실제 기판(W)의 중심점으로 산출한다.
일 예로 기판(W)의 이동 상태로 실제 기판(W)의 중심점을 판단하는 방법은 제2판정 단계(S480)에서 제1중심점 산출 단계(S420)와 제3중심점 산출 단계(S470)에서 산출된 각각 2개의 기판(W)의 중심점 중 기판(W)의 중심점의 이동 상태가 기판(W)의 이동방향과 동일한 방향으로 이동한 기판(W)의 중심점을 실제 기판(W)의 중심점으로 판정할 수 있다.
이와는 달리, 제2판정 단계(S470)에서 제1중심점 산출 단계(S420)와 제3중심점 산출 단계(S470)에서 산출된 각각 2개의 상기 기판(W)의 중심점 중 기판(W)의 중심점의 이동 상태가 기판(W)의 이동 거리와 동일한 이동 거리로 이동한 기판(W)의 중심점을 실제 기판(W)의 중심점으로 판단할 수 있다.
예컨대, 도 15와 도 17의 경우, 실제 기판(W)의 이동 상태와 동일한 이동 상태로 이동한 N1과 N3의 기판(W)의 중심점을 실제 기판(W)의 중심점으로 산출한다. 또한, N1과 N3의 기판(W)의 중심점을 산출한 3개의 단부 위치인 B1, C1, D1과 B3, C3, D3를 기판(W) 상에 노치가 없는 위치로 판정하며, A1과 A3를 노치가 있는 위치로 판정한다.
이하, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 중심 검출 방법(S12)을 설명한다.
도 11은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판(W) 중심 검출 방법을 순차적으로 보여주는 순서도이고, 도 17과 도 18은 기판 상에 단부 위치 중 노치가 없는 위치를 검출하는 과정을 보여주는 도면이다.
도 11, 도 17 그리고 도 18을 참고하면, 기판 중심 검출 방법(S12)은 제1위치 판정 단계(S1000), 노치 유무 판단 단계(S2000), 기판 이동 단계(S3000), 반복 판정 단계(S4000) 그리고 중심 산출 단계(S5000)를 포함한다.
제1위치 판정 단계(S100), 노치 유무 판단 단계(S200) 그리고 기판 이동 단계(S300)는 상술한 기판 중심 검출 방법(S10)의 제1위치 판정 단계(S100), 노치 유무 판단 단계(S200) 그리고 기판 이동 단계(S300)와 동일하게 수행된다.
반복 판정 단계(S4000)는 노치 유무 판단 단계(S2000)에서 검출된 4개의 단부 위치 중에 노치가 없다고 판정 될 때까지 제1위치 검출 단계(S1000), 노치 유무 판단 단계(S2000) 그리고 기판 이동 단계(S3000)를 반복해서 수행한다.
일 예로 도 17와 같이 노치 유무 판단 단계(S2000)에서 검출된 4개의 단부 위치 중에 노치가 있는 위치를 검출하는 경우, 반복 판정 단계(S2000)를 수행해 도 18과 같이 노치가 없는 4개의 단부 위치를 검출한다.
중심 산출 단계(S5000)는 반복 판정 단계(S4000)에서 검출된 노치가 없는 4개의 단부 위치를 중 3개 이상의 단부 위치로 기판(W)의 중심을 산출한다. 기판(W)의 중심을 산출하는 방법은 도 12와 같은 방법으로 수행될 수 있다.
이하, 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 반송 방법(S1)을 설명한다.
도 19는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 반송 방법을 순차적으로 보여주는 순서도이다.
도 19을 참고하면, 기판 반송 방법(S1)은 기판(W)의 반송 전 기판(W)의 위치 어긋남량을 측정해 기판(W) 반송 시 이를 기초로 반송한다. 기판 반송 방법(S1)은 기판 중심 검출 단계(S10), 기판 어긋남량 산출 단계(S20) 그리고 기판 반송 단계(S30)를 포함한다.
기판 중심 검출 단계(S10)는 도 9의 기판 중심 검출 방법과 동일하게 제공된다.
기판 어긋남량 산출 단계(S20)는 기판 중심 산출 단계(S10)에서 구한 기판(W)의 중심과 기판(W)의 기준 중심을 비교하여 기판(W)의 어긋남량을 산출한다. 기판(W)의 기준 중심은 기판(W)이 이송암(530)에 지지 시 정위치에 놓여졌을 때 기판(W)의 중심 위치를 나타낸다.
기판 반송 단계(S30)에서는 기판 어긋남량 산출 단계(S20)에서 구한 기판(W)의 위치 어긋남량을 기초로 기판(W)의 이동시 기판(W)의 반송 위치를 보정해 기판(W)을 반송한다.
일 예로 위치 어긋남량을 기준으로 이송암(530)을 반송 위치를 보정해 기판(W)을 목표 위치로 반송한다.
이하, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 반송 방법(S2,S3)을 설명한다.
도 20은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 반송 방법을 순차적으로 보여주는 순서도이고, 도 21은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판(W) 반송 방법을 순차적으로 보여주는 순서도이다.
도 20과 도 21를 참고하면, 기판 반송 방법(S2,S3)은 도 19의 기판(W) 반송 방법과 대체로 동일하게 제공된다. 도 20의 기판 반송 방법(S3)에서 기판 중심 검출 단계(S11)는 도 10의 기판 중심 검출 방법과 동일하게 제공된다. 도 21의 기판 반송 방법(S3)에서 기판 중심 검출 단계(S3)는 도 11의 기판(W) 중심 검출 방법과 동일하게 제공된다.
상술한 바와 같이 본 발명은 기판(W)의 실제 중심점을 검출하여 기판(W)이 이송전 기판(W)의 정확한 위치를 검출할 수 있다. 기판(W) 상에 단부 위치 중에 노치 위치를 정확하게 측정하여 이를 제외하고 기판(W)의 중심점을 검출할 수 있다.
또한, 기판(W)의 실제 중심점을 검출하여 기판(W)의 이송암(530)에 유지된 상태에서 위치 어긋남량을 구할 수 있으며, 이를 기초로 기판(W)의 반송 시 반송 위치를 보정해 기판(W)을 목표 위치로 정확히 반송 할 수 있다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
500: 반송 유닛 510: 베이스
530: 이송암 550: 위치 검출 부재
551: 발광부 553: 수광부
590: 제어기

Claims (42)

  1. 기판의 중심을 검출하는 방법에 있어서,
    상기 기판 상에 4개의 단부 위치를 검출하는 제1위치 검출 단계와;
    검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 노치가 있는 지 여부를 판정하는 노치 유무 판단 단계와;
    상기 노치 유무 판단 단계에서 검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 노치가 있다고 판정되는 경우 상기 기판을 이동시키는 기판 이동 단계와; 그리고
    상기 기판의 중심을 산출하는 중심 산출 단계를 포함하되,
    상기 노치 유무 판단 단계는,
    검출된 상기 4개의 단부 위치 중 서로 대각선 방향에 위치하는 2개의 단부 위치들 간에 거리인 대각선 거리를 각각 산출하며, 각각의 상기 대각선 거리와 상기 기판의 지름간의 차이값을 구하고, 상기 차이값이 기설정된 값보다 크면 노치가 있는 것으로 판정하고,
    상기 중심 산출 단계는,
    상기 기판 상에 4개의 단부 위치를 재검출하는 제2위치 검출 단계와;
    상기 노치 유무 판단 단계에서 기설정된 범위에 있는 상기 대각선 거리를 산출하는데 사용된 상기 2개의 단부 위치와 기설정된 범위를 벗어난 상기 대각선 거리를 산출하는데 사용된 상기 2개의 단부 위치 중 어느 하나를 이용하여 각각 2개의 상기 기판의 중심점을 구하는 제1중심점 산출 단계와;
    상기 제2위치 검출 단계에서 상기 기설정된 범위에 있는 상기 대각선 거리를 산출하는 사용된 상기 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치와 상기 기설정된 범위를 벗어난 상기 대각선 거리를 산출하는데 사용된 상기 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치 중 어느 하나를 이용하여 각각 2개의 상기 기판의 중심점을 구하는 제2중심점 산출 단계와; 그리고
    상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제2중심점 산출 단계에서 산출된 각각의 상기 기판의 중심점의 이동 상태로부터 실제 상기 기판의 중심점을 판정하는 제1판정 단계를 포함하는 기판 중심 검출 방법.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1판정 단계는 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제2중심점 산출 단계에서 산출된 각각 2개의 상기 기판의 중심점 중 상기 기판의 중심점의 이동 상태가 상기 기판의 이동 방향과 동일한 방향으로 이동한 상기 기판의 중심점을 실제 상기 기판의 중심점으로 판정하는 기판 중심 검출 방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1판정 단계는 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제2중심점 산출 단계에서 산출된 각각 2개의 상기 기판의 중심점 중 상기 기판의 중심점의 이동 상태가 상기 기판의 이동 거리와 동일한 이동 거리로 이동한 상기 기판의 중심점을 실제 상기 기판의 중심점으로 판정하는 기판 중심 검출 방법.
  5. 제1항, 3항, 그리고 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 중심 산출 단계는 상기 제1판정 단계에서 상기 기판의 중심점이 산출되지 않는 경우
    상기 기판을 이동시키는 기판 재이동 단계와;
    상기 기판 상에 4개의 단부 위치를 재검출하는 제3위치 검출 단계와;
    상기 제3위치 검출 단계에서 상기 기설정된 범위에 있는 상기 대각선 거리를 산출하는 사용된 상기 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치와 상기 기설정된 범위를 벗어난 상기 대각선 거리를 산출하는데 사용된 상기 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치 중 어느 하나를 이용하여 각각 2개의 상기 기판의 중심점을 구하는 제3중심점 산출 단계와; 그리고
    상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제3중심점 산출 단계에서 산출된 각각의 상기 기판의 중심점의 이동 상태로부터 실제 상기 기판의 중심점을 판정하는 제2판정 단계를 더 포함하는 기판 중심 검출 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제2판정 단계는 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제3중심점 산출 단계에서 산출된 각각 2개의 상기 기판의 중심점 중 상기 기판의 중심점의 이동 상태가 상기 기판의 이동 방향과 동일한 방향으로 이동한 상기 기판의 중심점을 실제 상기 기판의 중심점으로 판정하는 기판 중심 검출 방법.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 제2판정 단계는 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제3중심점 산출 단계에서 산출된 각각 2개의 상기 기판의 중심점 중 상기 기판의 중심점의 이동 상태가 상기 기판의 이동 거리와 동일한 이동 거리로 이동한 상기 기판의 중심점을 실제 상기 기판의 중심점으로 판정하는 기판 중심 검출 방법.
  8. 기판의 중심을 검출하는 방법에 있어서,
    상기 기판 상에 4개의 단부 위치를 검출하는 제1위치 검출 단계와;
    검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 노치가 있는 지 여부를 판정하는 노치 유무 판단 단계와;
    상기 노치 유무 판단 단계에서 검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 노치가 있다고 판정되는 경우 상기 기판을 이동시키는 기판 이동 단계와; 그리고
    상기 기판의 중심을 산출하는 중심 산출 단계를 포함하되,
    상기 노치 유무 판단 단계는,
    검출된 상기 4개의 단부 위치 중 서로 대각선 방향에 위치하는 2개의 단부 위치들 간에 거리인 대각선 거리를 각각 산출하며, 각각의 상기 대각선 거리와 상기 기판의 지름간의 차이값을 구하고, 상기 차이값이 기설정된 값보다 크면 노치가 있는 것으로 판정하고,
    상기 기판의 중심을 검출하는 방법은 상기 기판 이동 단계 후 상기 중심 산출 단계 전 반복 판정 단계를 더 포함하되,
    상기 반복 판정 단계는,
    상기 노치 유무 판단 단계에서 검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 노치가 없다고 판정 될 때까지 상기 제1위치 검출 단계, 상기 노치 유무 판단 단계 그리고 이동 단계를 수행하며,
    상기 중심 산출 단계는 상기 반복 판정 단계 후 검출된 상기 4개의 단부 위치 중 3개 이상의 단부 위치로 기판의 중심을 산출하는 기판 중심 검출 방법.
  9. 제1항 또는 제3항 중 어느 항에 있어서,
    상기 기판의 단부 위치는 4개의 위치 검출 부재에 의해 각각 검출되고, 각각의 상기 위치 검출 부재는,
    광을 조사하는 발광부와
    상기 발광부에서 조사된 광을 수신하는 수광부를 포함하는 기판 중심 검출 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 위치 검출 부재는 레이져 변위 센서로 제공되는 기판 중심 검출 방법.
  11. 기판을 반송하는 방법에 있어서,
    기판에 중심을 산출하는 기판 중심 검출 단계와;
    상기 기판 중심 산출 단계에서 구한 상기 기판의 중심과 기판의 기준 중심을 비교하여 상기 기판의 어긋남량을 구하는 기판 어긋남량 산출 단계와; 그리고
    상기 기판 어긋남량 산출 단계에서 구한 상기 기판의 위치 어긋남량을 기초로 상기 기판의 이동 시 기판의 반송 위치를 보정해 상기 기판을 반송하는 기판 반송 단계를 포함하되,
    상기 기판 중심 검출 단계는,
    상기 기판 상에 4개의 단부 위치를 검출하는 제1위치 검출 단계와;
    검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 노치가 있는 지 여부를 판정하는 노치 유무 판단 단계와;
    상기 노치 유무 판단 단계에서 검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 노치가 있다고 판정되는 경우 상기 기판을 이동시키는 기판 이동 단계와; 그리고
    상기 기판의 중심을 산출하는 중심 산출 단계를 포함하되,
    상기 노치 유무 판단 단계는,
    검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 서로 대각선 방향에 위치하는 2개의 단부 위치들 간에 거리인 대각선 거리를 각각 산출하며, 각각의 상기 대각선 거리와 상기 기판의 지름간의 차이값을 구하고, 상기 차이값이 기설정된 값보다 크면 노치가 있는 것으로 판정하고,
    상기 중심 산출 단계는,
    상기 기판 상에 4개의 단부 위치를 재검출하는 제2위치 검출 단계와;
    상기 노치 유무 판단 단계에서 기설정된 범위에 있는 상기 대각선 거리를 산출하는데 사용된 상기 2개의 단부 위치와 기설정된 범위를 벗어난 상기 대각선 거리를 산출하는데 사용된 상기 2개의 단부 위치 중 어느 하나를 이용하여 각각 2개의 상기 기판의 중심점을 구하는 제1중심점 산출 단계와;
    상기 제2위치 검출 단계에서 상기 기설정된 범위에 있는 상기 대각선 거리를 산출하는 사용된 상기 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치와 상기 기설정된 범위를 벗어난 상기 대각선 거리를 산출하는데 사용된 상기 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치 중 어느 하나를 이용하여 각각 2개의 상기 기판의 중심점을 구하는 제2중심점 산출 단계와; 그리고
    상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제2중심점 산출 단계에서 산출된 각각의 상기 기판의 중심점의 이동 상태로부터 실제 상기 기판의 중심점을 판정하는 제1판정 단계를 포함하는 기판 반송 방법.
  12. 삭제
  13. 제11항에 있어서,
    상기 제1판정 단계는 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제2중심점 산출 단계에서 산출된 각각 2개의 상기 기판의 중심점 중 상기 기판의 중심점의 이동 상태가 상기 기판의 이동 방향과 동일한 방향으로 이동한 상기 기판의 중심점을 실제 상기 기판의 중심점으로 판정하는 기판 반송 방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 제1판정 단계는 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제2중심점 산출 단계에서 산출된 각각 2개의 상기 기판의 중심점 중 상기 기판의 중심점의 이동 상태가 상기 기판의 이동 거리와 동일한 이동 거리로 이동한 상기 기판의 중심점을 실제 상기 기판의 중심점으로 판정하는 기판 반송 방법.
  15. 제11항, 13항, 그리고 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 중심 산출 단계는 상기 제1판정 단계에서 상기 기판의 중심점이 산출되지 않는 경우
    상기 기판을 이동시키는 기판 재이동 단계와;
    상기 기판 상에 4개의 단부 위치를 재검출하는 제3위치 검출 단계와;
    상기 제3위치 검출 단계에서 상기 기설정된 범위에 있는 상기 대각선 거리를 산출하는 사용된 상기 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치와 상기 기설정된 범위를 벗어난 상기 대각선 거리를 산출하는데 사용된 상기 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치 중 어느 하나를 이용하여 각각 2개의 상기 기판의 중심점을 구하는 제3중심점 산출 단계와; 그리고
    상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제3중심점 산출 단계에서 산출된 각각의 상기 기판의 중심점의 이동 상태로부터 실제 상기 기판의 중심점을 판정하는 제2판정 단계를 더 포함하는 기판 반송 방법.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 제2판정 단계는 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제3중심점 산출 단계에서 산출된 각각 2개의 상기 기판의 중심점 중 상기 기판의 중심점의 이동 상태가 상기 기판의 이동 방향과 동일한 방향으로 이동한 상기 기판의 중심점을 실제 상기 기판의 중심점으로 판정하는 기판 반송 방법.
  17. 제15항에 있어서,
    상기 제2판정 단계는 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제3중심점 산출 단계에서 산출된 각각 2개의 상기 기판의 중심점 중 상기 기판의 중심점의 이동 상태가 상기 기판의 이동 거리와 동일한 이동 거리로 이동한 상기 기판의 중심점을 실제 상기 기판의 중심점으로 판정하는 기판 반송 방법.
  18. 기판을 반송하는 방법에 있어서,
    기판에 중심을 산출하는 기판 중심 검출 단계와;
    상기 기판 중심 산출 단계에서 구한 상기 기판의 중심과 기판의 기준 중심을 비교하여 상기 기판의 어긋남량을 구하는 기판 어긋남량 산출 단계와; 그리고
    상기 기판 어긋남량 산출 단계에서 구한 상기 기판의 위치 어긋남량을 기초로 상기 기판의 이동 시 기판의 반송 위치를 보정해 상기 기판을 반송하는 기판 반송 단계를 포함하되,
    상기 기판 중심 검출 단계는,
    상기 기판 상에 4개의 단부 위치를 검출하는 제1위치 검출 단계와;
    검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 노치가 있는 지 여부를 판정하는 노치 유무 판단 단계와;
    상기 노치 유무 판단 단계에서 검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 노치가 있다고 판정되는 경우 상기 기판을 이동시키는 기판 이동 단계와; 그리고
    상기 기판의 중심을 산출하는 중심 산출 단계를 포함하되,
    상기 노치 유무 판단 단계는,
    검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 서로 대각선 방향에 위치하는 2개의 단부 위치들 간에 거리인 대각선 거리를 각각 산출하며, 각각의 상기 대각선 거리와 상기 기판의 지름간의 차이값을 구하고, 상기 차이값이 기설정된 값보다 크면 노치가 있는 것으로 판정하고,
    상기 기판 중심 검출 단계는 상기 기판 이동 단계 후 상기 중심 산출 단계 전 반복 판정 단계를 더 포함하고,
    상기 반복 판정 단계는,
    상기 노치 유무 판단 단계에서 검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 노치가 없다고 판정 될 때까지 상기 제1위치 검출 단계, 상기 노치 유무 판단 단계 그리고 이동 단계를 수행하며,
    상기 중심 산출 단계는 상기 반복 판정 단계 후 검출된 상기 4개의 단부 위치 중 3개 이상의 단부 위치로 기판의 중심을 산출하는 기판 반송 방법.
  19. 제11항 또는 제13항 중 어느 항에 있어서,
    상기 기판의 단부 위치는 4개의 위치 검출 부재에 의해 각각 검출되고, 각각의 상기 위치 검출 부재는,
    광을 조사하는 발광부와
    상기 발광부에서 조사된 광을 수신하는 수광부를 포함하는 기판 반송 방법.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 위치 검출 부재는 레이져 변위 센서로 제공되는 기판 반송 방법.
  21. 기판을 반송하는 유닛에 있어서,
    베이스와;
    상기 베이스에 설치되며, 기판을 지지하는 이송암과;
    상기 이송암에 지지된 기판 상의 4개의 단부 위치를 검출하는 위치 검출 부재와; 그리고
    상기 위치 검출 부재에서 검출된 상기 4개의 단부 위치를 이용해 기판에 중심을 검출하는 제어기를 포함하되,
    상기 제어기는 상기 위치 검출 부재에서 측정된 상기 기판 상에 4개의 단부 위치를 검출하는 제1위치 검출 단계와 검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 노치가 있는 지 여부를 판정하는 노치 유무 판단 단계와 상기 노치 유무 판단 단계에서 검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 노치가 있다고 판정되는 경우 상기 기판을 이동시키는 기판 이동 단계와 상기 기판의 중심을 산출하는 중심 산출 단계를 수행하도록 제어하되,
    상기 노치 유무 판단 단계는,
    검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 서로 대각선 방향에 위치하는 2개의 단부 위치들 간에 거리인 대각선 거리를 각각 산출하며, 각각의 상기 대각선 거리와 상기 기판의 지름간의 차이값을 구하고, 상기 차이값이 기설정된 값보다 크면 노치가 있는 것으로 판정하고,
    상기 중심 산출 단계는,
    상기 기판 상에 4개의 단부 위치를 재검출하는 제2위치 검출 단계와;
    상기 노치 유무 판단 단계에서 기설정된 범위에 있는 상기 대각선 거리를 산출하는데 사용된 상기 2개의 단부 위치와 기설정된 범위를 벗어난 상기 대각선 거리를 산출하는데 사용된 상기 2개의 단부 위치 중 어느 하나를 이용하여 각각 2개의 상기 기판의 중심점을 구하는 제1중심점 산출 단계와;
    상기 제2위치 검출 단계에서 상기 기설정된 범위에 있는 상기 대각선 거리를 산출하는 사용된 상기 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치와 상기 기설정된 범위를 벗어난 상기 대각선 거리를 산출하는데 사용된 상기 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치 중 어느 하나를 이용하여 각각 2개의 상기 기판의 중심점을 구하는 제2중심점 산출 단계와; 그리고
    상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제2중심점 산출 단계에서 산출된 각각의 상기 기판의 중심점의 이동 상태로부터 실제 상기 기판의 중심점을 판정하는 제1판정 단계를 포함하는 반송 유닛.
  22. 삭제
  23. 제21항에 있어서,
    상기 제1판정 단계는 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제2중심점 산출 단계에서 산출된 각각 2개의 상기 기판의 중심점 중 상기 기판의 중심점의 이동 상태가 상기 기판의 이동 방향과 동일한 방향으로 이동한 상기 기판의 중심점을 실제 상기 기판의 중심점으로 판정하는 반송 유닛.
  24. 제21항에 있어서,
    상기 제1판정 단계는 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제2중심점 산출 단계에서 산출된 각각 2개의 상기 기판의 중심점 중 상기 기판의 중심점의 이동 상태가 상기 기판의 이동 거리와 동일한 이동 거리로 이동한 상기 기판의 중심점을 실제 상기 기판의 중심점으로 판정하는 반송 유닛.
  25. 제21항, 제23항, 그리고 제24항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 중심 산출 단계는 상기 제1판정 단계에서 상기 기판의 중심점이 산출되지 않는 경우
    상기 기판을 이동시키는 기판 재이동 단계와;
    상기 기판 상에 4개의 단부 위치를 재검출하는 제3위치 검출 단계와;
    상기 제3위치 검출 단계에서 상기 기설정된 범위에 있는 상기 대각선 거리를 산출하는 사용된 상기 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치와 상기 기설정된 범위를 벗어난 상기 대각선 거리를 산출하는데 사용된 상기 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치 중 어느 하나를 이용하여 각각 2개의 상기 기판의 중심점을 구하는 제3중심점 산출 단계와; 그리고
    상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제3중심점 산출 단계에서 산출된 각각의 상기 기판의 중심점의 이동 상태로부터 실제 상기 기판의 중심점을 판정하는 제2판정 단계를 더 포함하는 반송 유닛.
  26. 제25항에 있어서,
    상기 제2판정 단계는 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제3중심점 산출 단계에서 산출된 각각 2개의 상기 기판의 중심점 중 상기 기판의 중심점의 이동 상태가 상기 기판의 이동 방향과 동일한 방향으로 이동한 상기 기판의 중심점을 실제 상기 기판의 중심점으로 판정하는 반송 유닛.
  27. 제25항에 있어서,
    상기 제2판정 단계는 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제3중심점 산출 단계에서 산출된 각각 2개의 상기 기판의 중심점 중 상기 기판의 중심점의 이동 상태가 상기 기판의 이동 거리와 동일한 이동 거리로 이동한 상기 기판의 중심점을 실제 상기 기판의 중심점으로 판정하는 반송 유닛.
  28. 기판을 반송하는 유닛에 있어서,
    베이스와;
    상기 베이스에 설치되며, 기판을 지지하는 이송암과;
    상기 이송암에 지지된 기판 상의 4개의 단부 위치를 검출하는 위치 검출 부재와; 그리고
    상기 위치 검출 부재에서 검출된 상기 4개의 단부 위치를 이용해 기판에 중심을 검출하는 제어기를 포함하되,
    상기 제어기는 상기 위치 검출 부재에서 측정된 상기 기판 상에 4개의 단부 위치를 검출하는 제1위치 검출 단계와 검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 노치가 있는 지 여부를 판정하는 노치 유무 판단 단계와 상기 노치 유무 판단 단계에서 검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 노치가 있다고 판정되는 경우 상기 기판을 이동시키는 기판 이동 단계와 상기 기판의 중심을 산출하는 중심 산출 단계를 수행하도록 제어하되,
    상기 노치 유무 판단 단계는,
    검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 서로 대각선 방향에 위치하는 2개의 단부 위치들 간에 거리인 대각선 거리를 각각 산출하며, 각각의 상기 대각선 거리와 상기 기판의 지름간의 차이값을 구하고, 상기 차이값이 기설정된 값보다 크면 노치가 있는 것으로 판정하고,
    상기 제어기는 상기 기판 이동 단계 후 상기 중심 산출 단계 전 반복 판정 단계를 더 수행하도록 제어하되,
    상기 반복 판정 단계는,
    상기 노치 유무 판단 단계에서 검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 노치가 없다고 판정 될 때까지 상기 제1위치 검출 단계, 상기 노치 유무 판단 단계 그리고 이동 단계를 수행하며,
    상기 중심 산출 단계는 상기 반복 판정 단계 후 검출된 상기 4개의 단부 위치 중 3개 이상의 단부 위치로 기판의 중심을 산출하는 반송 유닛.
  29. 제21항 또는 제23항 중 어느 항에 있어서,
    상기 위치 검출 부재는 4개가 제공되고 각각의 상기 위치 검출 부재는,
    광을 조사하는 발광부와
    상기 발광부에서 조사된 광을 수신하는 수광부를 포함하는 반송 유닛.
  30. 제29항에 있어서,
    상기 발광부와 상기 수광부는 상기 이송암을 기준으로 상하로 서로 마주보며 위치되는 반송 유닛.
  31. 제29항에 있어서,
    상기 위치 검출 부재는 레이져 변위 센서로 제공되는 반송 유닛.
  32. 기판을 처리 하는 장치에 있어서,
    기판을 반송하는 반송 유닛이 제공된 반송 챔버와
    상기 반송 챔버을 둘러싸며 위치하는 하나 또는 복수의 공정 챔버를 포함하고,
    상기 반송 유닛은,
    베이스와;
    상기 베이스에 설치되며, 기판을 지지하는 이송암과;
    상기 이송암에 지지된 기판 상의 4개의 단부 위치를 검출하는 위치 검출 부재와; 그리고
    상기 위치 검출 부재에서 검출된 4개의 위치를 이용해 기판을 중심을 산출하고, 이를 기초로 기판의 위치 어긋남량을 산출해 기판의 반송 위치를 보정하여 반송하도록 이송암을 제어하는 제어기를 포함하되,
    상기 제어기는 기판에 중심을 산출하는 기판 중심 검출 단계와 상기 기판 중심 산출 단계에서 구한 상기 기판의 중심과 기판의 기준 중심을 비교하여 상기 기판의 어긋남량을 구하는 기판 어긋남량 산출 단계와 상기 기판 어긋남량 산출 단계에서 구한 상기 기판의 위치 어긋남량을 기초로 상기 기판의 이동 시 기판의 반송 위치를 보정해 상기 기판을 반송하는 기판 반송 단계를 수행하도록 상기 이송암을 제어하되,
    상기 기판 중심 검출 단계는,
    상기 기판 상에 4개의 단부 위치를 검출하는 제1위치 검출 단계와;
    검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 노치가 있는 지 여부를 판정하는 노치 유무 판단 단계와;
    상기 노치 유무 판단 단계에서 검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 노치가 있다고 판정되는 경우 상기 기판을 이동시키는 기판 이동 단계와; 그리고
    상기 기판의 중심을 산출하는 중심 산출 단계를 포함하되,
    상기 노치 유무 판단 단계는,
    검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 서로 대각선 방향에 위치하는 2개의 단부 위치들 간에 거리인 대각선 거리를 각각 산출하며, 각각의 상기 대각선 거리와 상기 기판의 지름간의 차이값을 구하고, 상기 차이값이 기설정된 값보다 크면 노치가 있는 것으로 판정하고,
    상기 중심 산출 단계는,
    상기 기판 상에 4개의 단부 위치를 재검출하는 제2위치 검출 단계와;
    상기 노치 유무 판단 단계에서 기설정된 범위에 있는 상기 대각선 거리를 산출하는데 사용된 상기 2개의 단부 위치와 기설정된 범위를 벗어난 상기 대각선 거리를 산출하는데 사용된 상기 2개의 단부 위치 중 어느 하나를 이용하여 각각 2개의 상기 기판의 중심점을 구하는 제1중심점 산출 단계와;
    상기 제2위치 검출 단계에서 상기 기설정된 범위에 있는 상기 대각선 거리를 산출하는 사용된 상기 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치와 상기 기설정된 범위를 벗어난 상기 대각선 거리를 산출하는데 사용된 상기 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치 중 어느 하나를 이용하여 각각 2개의 상기 기판의 중심점을 구하는 제2중심점 산출 단계와; 그리고
    상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제2중심점 산출 단계에서 산출된 각각의 상기 기판의 중심점의 이동 상태로부터 실제 상기 기판의 중심점을 판정하는 제1판정 단계를 포함하는 기판 처리 장치.
  33. 삭제
  34. 제32항에 있어서,
    상기 제1판정 단계는 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제2중심점 산출 단계에서 산출된 각각 2개의 상기 기판의 중심점 중 상기 기판의 중심점의 이동 상태가 상기 기판의 이동 방향과 동일한 방향으로 이동한 상기 기판의 중심점을 실제 상기 기판의 중심점으로 판정하는 기판 처리 장치.
  35. 제32항에 있어서,
    상기 제1판정 단계는 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제2중심점 산출 단계에서 산출된 각각 2개의 상기 기판의 중심점 중 상기 기판의 중심점의 이동 상태가 상기 기판의 이동 거리와 동일한 이동 거리로 이동한 상기 기판의 중심점을 실제 상기 기판의 중심점으로 판정하는 기판 처리 장치.
  36. 제32항, 제34항, 그리고 제35항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 중심 산출 단계는 상기 제1판정 단계에서 상기 기판의 중심점이 산출되지 않는 경우
    상기 기판을 이동시키는 기판 재이동 단계와;
    상기 기판 상에 4개의 단부 위치를 재검출하는 제3위치 검출 단계와;
    상기 제3위치 검출 단계에서 상기 기설정된 범위에 있는 상기 대각선 거리를 산출하는 사용된 상기 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치와 상기 기설정된 범위를 벗어난 상기 대각선 거리를 산출하는데 사용된 상기 2개의 단부 위치와 대응되는 2개의 단부 위치 중 어느 하나를 이용하여 각각 2개의 상기 기판의 중심점을 구하는 제3중심점 산출 단계와; 그리고
    상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제3중심점 산출 단계에서 산출된 각각의 상기 기판의 중심점의 이동 상태로부터 실제 상기 기판의 중심점을 판정하는 제2판정 단계를 더 포함하는 기판 처리 장치.
  37. 제36항에 있어서,
    상기 제2판정 단계는 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제3중심점 산출 단계에서 산출된 각각 2개의 상기 기판의 중심점 중 상기 기판의 중심점의 이동 상태가 상기 기판의 이동 방향과 동일한 방향으로 이동한 상기 기판의 중심점을 실제 상기 기판의 중심점으로 판정하는 기판 처리 장치.
  38. 제36항에 있어서,
    상기 제2판정 단계는 상기 제1중심점 산출 단계와 상기 제3중심점 산출 단계에서 산출된 각각 2개의 상기 기판의 중심점 중 상기 기판의 중심점의 이동 상태가 상기 기판의 이동 거리와 동일한 이동 거리로 이동한 상기 기판의 중심점을 실제 상기 기판의 중심점으로 판정하는 기판 처리 장치.
  39. 기판을 처리 하는 장치에 있어서,
    기판을 반송하는 반송 유닛이 제공된 반송 챔버와
    상기 반송 챔버을 둘러싸며 위치하는 하나 또는 복수의 공정 챔버를 포함하고,
    상기 반송 유닛은,
    베이스와;
    상기 베이스에 설치되며, 기판을 지지하는 이송암과;
    상기 이송암에 지지된 기판 상의 4개의 단부 위치를 검출하는 위치 검출 부재와; 그리고
    상기 위치 검출 부재에서 검출된 4개의 위치를 이용해 기판을 중심을 산출하고, 이를 기초로 기판의 위치 어긋남량을 산출해 기판의 반송 위치를 보정하여 반송하도록 이송암을 제어하는 제어기를 포함하되,
    상기 제어기는 기판에 중심을 산출하는 기판 중심 검출 단계와 상기 기판 중심 산출 단계에서 구한 상기 기판의 중심과 기판의 기준 중심을 비교하여 상기 기판의 어긋남량을 구하는 기판 어긋남량 산출 단계와 상기 기판 어긋남량 산출 단계에서 구한 상기 기판의 위치 어긋남량을 기초로 상기 기판의 이동 시 기판의 반송 위치를 보정해 상기 기판을 반송하는 기판 반송 단계를 수행하도록 상기 이송암을 제어하되,
    상기 기판 중심 검출 단계는,
    상기 기판 상에 4개의 단부 위치를 검출하는 제1위치 검출 단계와;
    검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 노치가 있는 지 여부를 판정하는 노치 유무 판단 단계와;
    상기 노치 유무 판단 단계에서 검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 노치가 있다고 판정되는 경우 상기 기판을 이동시키는 기판 이동 단계와; 그리고
    상기 기판의 중심을 산출하는 중심 산출 단계를 포함하되,
    상기 노치 유무 판단 단계는,
    검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 서로 대각선 방향에 위치하는 2개의 단부 위치들 간에 거리인 대각선 거리를 각각 산출하며, 각각의 상기 대각선 거리와 상기 기판의 지름간의 차이값을 구하고, 상기 차이값이 기설정된 값보다 크면 노치가 있는 것으로 판정하고,
    상기 기판 중심 검출 단계는 상기 기판 이동 단계 후 상기 중심 산출 단계 전 반복 판정 단계를 더 포함하고,
    상기 반복 판정 단계는,
    상기 노치 유무 판단 단계에서 검출된 상기 4개의 단부 위치 중에 노치가 없다고 판정 될 때까지 상기 제1위치 검출 단계, 상기 노치 유무 판단 단계 그리고 이동 단계를 수행하며,
    상기 중심 산출 단계는 상기 반복 판정 단계 후 검출된 상기 4개의 단부 위치 중 3개 이상의 단부 위치로 기판의 중심을 산출하는 기판 처리 장치.
  40. 제32항 또는 제34항에 있어서,
    상기 위치 검출 부재는 4개가 제공되고 각각의 상기 위치 검출 부재는,
    광을 조사하는 발광부와
    상기 발광부에서 조사된 광을 수신하는 수광부를 포함하는 기판 처리 장치.
  41. 제40항에 있어서,
    상기 발광부와 상기 수광부는 상기 이송암을 기준으로 상하로 서로 마주보며 위치되는 기판 처리 장치.
  42. 제40항에 있어서,
    상기 위치 검출 부재는 레이져 변위 센서로 제공되는 기판 처리 장치.

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