KR101720705B1 - 대면적 나노 와이어 그리드 편광 필름의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 이중층(Bilayer) 롤투롤 임플린트 공정 및 수평 진동(Horizontal Vibration) 금속 증착 방법을 이용하여 단순화된 공정으로 생산성을 높인 대면적 나노 와이어 그리드 편광 필름의 제조 방법에 관한 것으로, 필름 기재상에 하부 패턴 형성용 물질층과 상부 패턴 형성용 물질층의 이중층을 코팅하는 단계;임프린트 공정으로 상부 패턴 형성용 물질층을 선택적으로 패터닝하여 상부 성형 패턴층을 형성하는 단계;상기 상부 성형 패턴층을 이용하여 하부 패턴 형성용 물질층을 선택적으로 제거하여 잔류층이 제어되는 하부 현상 패턴층을 형성하는 단계;를 포함하여, 임프린트 패턴층을 형성하는 것이다.

Description

대면적 나노 와이어 그리드 편광 필름의 제조 방법{Method for fabricating Large nano wire grid polarizer film}

본 발명은 편광 필름 제조에 관한 것으로, 구체적으로 이중층 롤투롤 임플린트 공정 및 수평 진동(Horizontal Vibration) 금속 증착 방법을 이용하여 단순화된 공정으로 생산성을 높인 대면적 나노 와이어 그리드 편광 필름의 제조 방법에 관한 것이다.

선편광을 사용하여 화상을 구현하는 방식의 디스플레이어는 근본적으로 선편광판을 통과할 때 휘도의 손실이 발생하고 이러한 손실은 고휘도를 요구하는 HDTV, Notebook, Monitor등의 제품에 필수적인 요소이다.

지금까지 디스플레이의 휘도향상 필름은 DBEF(Dual Brightness Enhancement Film)을 이용하여 반복 적층 방법으로 제작하였다. 하지만 DBEF는 3M사의 독점공급 및 제작공정의 기술적 어려움으로 인하여 최근 DBEF와 동일한 기능을 가지는 나노구조의 금속 와이어그리드(Nano wire grid polarizer, NWGP)를 이용하여 디스플레이어의 휘도향상 연구가 진행되고 있다.

나노구조의 금속 와이어그리드는 기존 DBEF보다 금속을 사용하므로 빛을 반사하는 효율이 매우 높아 반사된 빛을 재반사시켜 그 빛을 다시 사용하므로 모든 빛을 하나의 편광으로 만들 수 있는 장점이 있다.

이러한 원리로 만들어진 나노구조의 금속 와이어그리드 편광필름을 디스플레이어의 백라이트 부분에 적용하면 빛의 투과 효율을 증가시킬 수 있고, 90% 이상의 휘도 향상이 가능하다.

또한 기존의 단일 방향 편광필름에 비하여 상하 좌우 방향의 가시각도 및 가시거리의 제한이 없어 2D/3D 디스플레이에 적용이 용이하며, 기존의 다층 필름 구조의 DBEF와 비교하여 투과도가 높아 콘트라스트 비가 높은 장점이 있다.

NWGP 제작의 가장 핵심은 정밀한 패턴 형성을 통한 금속층 제작 기술이며, 종래의 NWGP 제작은 기판 위에 금속층을 증착하고 상부에 나노 패턴을 제작하여 식각 공정을 통해 제작한다.

하지만, 대면적 제작의 어려움 및 식각 공정 비용의 증가로 인해 최근 롤투롤 공정을 이용하여 폴리머 기판에 패턴을 형성하고 상부에 증착 공정을 통해 금속층을 형성하는 방법에 대한 연구들이 진행되고 있다.

도 1은 종래 기술의 롤투롤 공정을 통한 NWGP 공정 개략도이고, 도 2는 종래 기술의 금속 증착 방법을 나타낸 구성도이다.

도 1에서와 같이, NWGP 공정은 폴리머 기반의 필름 기판 재료를 이용하여 롤투롤 임프린트 공정을 통하여 패턴 성형 공정 및 금속증착 공정 순서로 제작되어 진다.

종래 기술의 롤투롤 성형 기술은 임프린트 공정의 특성상 잔류층이 존재하며 종횡비가 높은 패턴의 구현에 어려움이 존재하고 있다. 롤투롤 공정은 필름 성형 및 이송구간에 곡률이 존재하여 종횡비가 높을 경우 패턴의 파손을 야기하며, 종횡비가 높은 금형 제작에 어려움이 발생한다.

또한, 잔류층은 임프린트 공정의 물리적 가압에 의한 성형으로 발생하는 특징을 갖고 있으며, 이러한 잔류층은 광학 필름에서 요구하는 투과율 및 기능성 패턴의 굴절율에 영향을 주기 때문에 최소한의 잔류층이 존재하여야 한다.

그러나 롤투롤 임프린트 공정시 잔류층 최소화를 위해서는 높은 장력과 높은 가압이 필요하며, 높은 장력 및 가압은 기판 재료의 수축 인장의 변형이 발생한다.

도 2는 종래 기술의 NWGP의 금속층 형성을 나타낸 것으로, 일반적인 증착 기술을 이용하고 있으나 이러한 증착 방법은 편광 필름이 요구하는 투과율을 만족하기가 어렵다.

투과율의 상승을 위해서는 패턴 상부에만 금속이 증착이 되고 패턴과 패턴 사이에 금속 증착이 최대한 낮게 되어야 한다. 하지만 증착 공정의 특성상 모든 면이 균일한 양으로 증착이 되기 때문에 투과율이 낮아지는 문제가 발생한다.

이와 같은 금속 증착 공정은 양각의 패턴과 음각의 패턴 사이에 증착이 이루어지는데, 금속 증착은 금속을 녹여 기화시켜 표면에 증착하는 방법으로 구조물의 표면 형태를 따라 증착이 된다.

따라서, 금속 나노와이어 그리드 구조를 제외한 부분의 제거가 용이하지 않아 투광율이 낮아진다. 또한 금속 나노와이어 그리드 구조의 패턴 두께의 조절이 용이하지 않다.

이와 같이 롤투롤 임프린트 공정 및 금속 증착 공정은 공정비용 및 대면적의 장점이 있지만, 식각 공정에 비해 정밀한 금속층 형성의 어려움으로 인해 현재까지 다양한 방법이 논의되고 있으나, 롤투롤 임프린트 공정 및 증착 공정의 특성상 잔류층 형성 및 부분적인 증착 공정이 어려워 투과율이 낮은 단점이 있다.

따라서, 롤투롤 공정을 통한 NWGP 나노 패턴의 잔류층을 제어하고 식각 공정이 필요없는 원하는 부분에 금속이 증착이 이루어질 수 있도록 하는 새로운 기술 개발이 요구되고 있다.

한국공개특허번호 10-2009-0081924호 한국공개특허번호 10-2013-0012291호

본 발명은 이와 같은 종래 기술의 NWGP 나노 패턴 제조의 문제를 해결하기 위한 것으로, 이중층 롤투롤 임플린트 공정 및 수평 진동(Horizontal Vibration) 금속 증착 방법을 이용하여 단순화된 공정으로 생산성을 높인 대면적 나노 와이어 그리드 편광 필름의 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명은 롤투롤 공정을 통한 NWGP 나노 패턴의 잔류층을 제어하고 식각 공정이 필요 없이 원하는 부분에 금속이 증착이 이루어질 수 있도록 한 대면적 나노 와이어 그리드 편광 필름의 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명은 이중층 롤투롤 임프린트 공정 및 수평 진동 금속 증착 방법을 적용하여 폴리머 기판 소재의 편광 필름을 제작할 수 있도록 한 대면적 나노 와이어 그리드 편광 필름의 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명은 수평 진동(Horizontal Vibration) 금속 증착 방법을 이용하여 이중층 코팅의 하부 현상층의 두께를 조절하고 투과율을 높일 수 있도록 한 대면적 나노 와이어 그리드 편광 필름의 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명은 수평 진동(Horizontal Vibration) 크기를 제어하여 금속 증착 두께의 조절을 가능하도록 한 대면적 나노 와이어 그리드 편광 필름의 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 대면적 나노 와이어 그리드 편광 필름의 제조 방법은 필름 기재상에 하부 패턴 형성용 물질층과 상부 패턴 형성용 물질층의 이중층을 코팅하는 단계;임프린트 공정으로 상부 패턴 형성용 물질층을 선택적으로 패터닝하여 상부 성형 패턴층을 형성하는 단계;상기 상부 성형 패턴층을 이용하여 하부 패턴 형성용 물질층을 선택적으로 제거하여 잔류층이 제어되는 하부 현상 패턴층을 형성하는 단계;를 포함하여, 임프린트 패턴층을 형성하는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 임프린트 패턴층을 이용하여 상기 상부 성형 패턴층의 상부 표면에 금속 증착층을 형성하는 공정시에, 상기 임프린트 패턴층을 좌우로 반복적으로 움직이면서 금속 입자를 증착하는 것을 특징으로 한다.

다른 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 대면적 나노 와이어 그리드 편광 필름의 제조 방법은 필름 기재상에 하부 패턴 형성용 물질층과 상부 패턴 형성용 물질층의 이중층을 코팅하는 단계;임프린트 공정으로 상부 패턴 형성용 물질층을 선택적으로 패터닝하여 상부 성형 패턴층을 형성하는 단계;상기 상부 성형 패턴층을 이용하여 하부 패턴 형성용 물질층을 선택적으로 제거하여 잔류층이 제어되는 하부 현상 패턴층을 형성하여 임프린트 패턴층을 형성하는 단계;상기 임프린트 패턴층을 좌우로 반복적으로 움직이면서 금속 입자를 증착하여 상기 상부 성형 패턴층의 상부 표면에 금속 증착층을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

그리고 임프린트 패턴층을 형성하는 단계에서, 상기 상부 성형 패턴층을 이용한 현상 공정으로 하부 패턴 형성용 물질층을 선택적으로 제거하여 상기 상부 성형 패턴층 및 하부 현상 패턴층의 종횡비를 제어하는 것을 특징으로 한다.

그리고 상부 성형 패턴층의 상부 표면에 금속 증착층을 형성하는 단계에서,상기 임프린트 패턴층을 좌우로 반복적으로 움직이는 것에 의해 증착되는 금속 입자의 부분적인 증착률을 조절하는 것을 특징으로 한다.

그리고 상부 성형 패턴층의 상부 표면에 금속 증착층을 형성하는 단계에서,상기 임프린트 패턴층을 좌우로 반복적으로 움직이는 속도를 변화시켜 증착되는 금속 입자의 증착률을 조절하는 것을 특징으로 한다.

그리고 상부 성형 패턴층의 상부 표면에 금속 증착층을 형성하는 단계에서,상기 임프린트 패턴층의 패턴 방향을 변화시켜 증착되는 금속 입자의 증착률을 조절하는 것을 특징으로 한다.

그리고 상부 성형 패턴층의 상부 표면에 금속 증착층을 형성하는 단계에서,상기 임프린트 패턴층을 좌우로 반복적으로 움직이는 것에 의해 상부 성형 패턴층의 상부 표면의 증착률과, 상부 성형 패턴층과 그에 이웃하는 다른 상부 성형 패턴층 사이의 증착률이 다르게 되도록 제어되는 것을 특징으로 한다.

그리고 상기 기재 필름은 폴리머 기반의 재료로 제조된 것을 특징으로 한다.

그리고 상기 하부 패턴 형성용 물질층은 수용성 폴리머이고, 상부 패턴 형성용 물질층은 폴리머 임프린트 레진인 것을 특징으로 한다.

이와 같은 본 발명에 따른 대면적 나노 와이어 그리드 편광 필름의 제조 방법은 다음과 같은 효과를 갖는다.

첫째, 이중층 롤투롤 임플린트 공정 및 수평 진동(Horizontal Vibration) 금속 증착 방법을 이용하여 단순화된 공정으로 생산성을 높인다.

둘째, 단순한 공정으로 폴리머 기판 소재의 사용이 가능하기 때문에 제조단가를 낮출 수 있다.

셋째, 임프린트 공정시 발생할 수 있는 잔류층을 시각 공정이 없이 제어가 가능하여 NWGP의 투광율을 향상시킬 수 있다.

넷째, 수평 진동(Horizontal Vibration) 금속 증착 공정을 통하여 기존의 증착 공정에 비해 부분적인 증착률을 가질 수 있으며, 투과율을 높일 수 있다.

다섯째, 이중층 코팅의 하부 현상층의 두께 조절 및 수평 진동(Horizontal Vibration)의 속도를 이용하여 금속 증착 두께를 조절할 수 있다.

도 1은 종래 기술의 롤투롤 공정을 통한 NWGP 공정 개략도
도 2는 종래 기술의 금속 증착 방법을 나타낸 구성도
도 3은 본 발명에 따른 이중층 롤투롤 공정을 통한 잔류층 제어를 위한 공정 구성도
도 4는 본 발명에 따른 수평 진동(Horizontal Vibration) 금속 증착 공정을 위한 공정 구성도

이하, 본 발명에 따른 대면적 나노 와이어 그리드 편광 필름의 제조 방법의 바람직한 실시 예에 관하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 발명에 따른 대면적 나노 와이어 그리드 편광 필름의 제조 방법의 특징 및 이점들은 이하에서의 각 실시 예에 대한 상세한 설명을 통해 명백해질 것이다.

도 3은 본 발명에 따른 이중층 롤투롤 공정을 통한 잔류층 제어를 위한 공정 구성도이고, 도 4는 본 발명에 따른 수평 진동(Horizontal Vibration) 금속 증착 공정을 위한 공정 구성도이다.

본 발명은 디스플레이의 휘도 손실을 보상 및 TFT LCD 패널의 상하방향, 좌우방향의 3D 가시각도와 가시거리의 제한을 보완하기 위해 사용되는 나노 금속 와이어 그리드 편광필름(Nano wire grid polarizer, NWGP) 제작을 위한 롤투롤 임프린트의 잔류층 제어 및 금속 증착 기술에 관한 것이다.

본 발명은 잔류층이 없는 롤투롤 임프린트 공정 및 증착 공정을 통한 금속층 형성에서 금속 와이어 그리드 패턴의 상부에 증착이 되어 투과율 최소화를 위한 것으로, 잔류층 제어를 위해 본 발명에서는 임프린트 패턴층을 이중층(Bi-layer) 형태의 코팅을 통해 성형 후 단순한 현상 공정을 통해 잔류층을 제어하고 종횡비가 높은 패턴 구현을 위한 방법을 포함한다.

본 발명은 임프린트 패턴층을 이용하여 상부 성형 패턴층의 상부 표면에 금속 증착층을 형성하는 공정시에, 임프린트 패턴층을 좌우로 반복적으로 움직이면서 금속 입자를 증착하는 것을 포함한다.

일반적인 증착 방법과 달리 증착이 이루어져야 되는 기판(임프린트 패턴층을 갖는 기재 필름)이 좌우로 움직이며 금속이 증착이 이루어진다. 이러한 공정 방법은 패턴이 형성되어 있는 상부와 패턴과 패턴 사이 면의 증착률을 조절할 수 있도록 하기 위한 것이다.

이러한 효과는 좌우 움직임으로 증발된 금속이 패턴 상부에 형성이 이루어질 수 있도록 유도하며, 움직임의 속도 및 방향에 따라 금속 증착의 형태를 변형할 수 있다.

따라서, 이러한 방법은 기존의 금속 증착에서의 문제점을 해결하여 NWGP의 투과율을 높일 수 있다. 또한, 금속층을 높게 형성하여 편광 효율도 증가시킬 수 있다.

따라서, 본 발명에서는 기존의 임프린트 공정시 발생되는 잔류층 제어 및 식각 공정이 필요 없으며, 기존의 금속 증착 공정의 문제점을 해결할 수 있다.

본 발명에 따른 NWGP의 롤투롤 임프린트방법의 가장 큰 특징은 이중층 코팅을 통한 공정으로 하부 현상 패턴층(32a)과 상부 성형 패턴층(33a)의 형태로 다층으로 되어 상부 성형 패턴층(33a)의 성형 후 개방된 하부 패턴 형성용 물질층을 현상 공정에 의해 선택적으로 제거하여 잔류층이 없는 임프린트 패턴층 구조가 되도록 하는 것이다.

구체적으로, 도 3은 이중층 코팅을 통한 롤투롤 임프리트 공정 기술 대한 모식도이다.

먼저, 필름 기재(31)상에 하부 패턴 형성용 물질층(32)과 상부 패턴 형성용 물질층(33)의 이중층을 코팅한다.

그리고 롤 금형(34)을 이용한 롤투롤 임프린트 공정으로 상부 패턴 형성용 물질층(33)을 선택적으로 패터닝하여 상부 성형 패턴층(33a)을 형성한다.

이어, 상기 상부 성형 패턴층(33a)을 이용하여 하부 패턴 형성용 물질층(32)을 현상 공정으로 선택적으로 제거하여 잔류층이 제어되는 하부 현상 패턴층(32a)을 형성하여 임프린트 패턴층(42)을 형성한다.

이와 같은 이중층 코팅에 의해 롤투롤 임프린트 공정으로 상부 패턴 형성용 물질층(33)을 선택적으로 패터닝하여 상부 성형 패턴층(33a)을 형성함과 동시에 하부의 하부 패턴 형성용 물질층(32)을 선택적으로 개방한다.

그리고 선택적으로 개방된 하부 패턴 형성용 물질층(32)을 상부 성형 패턴층(33a)을 마스크로 하여 현상을 하여 종횡비가 높은 형태의 하부 구조를 제작하고 잔류층이 존재하지 않는 구조가 되도록 하는 것이다.

여기서, 하부 패턴 형성용 물질층(32)은 수용성 폴리머이고, 상부 패턴 형성용 물질층(33)은 폴리머 임프린트 레진을 사용하는 것이 바람직하며, 사용 물질은 이로 제한되지 않는다.

이 경우에는 상부의 폴리머 임프린트 레진에 의해 실질적으로 성형이 이루어지며, 하부의 수용성 폴리머는 성형된 폴리머 임프린트 레진이 성형되고 난후 마스크로 사용하여 현상으로 수용성 폴리머를 부분적으로 제거가 이루어지는 형태로 공정이 진행된다.

이와 같이 임프린트 패턴층(42)이 형성되면 도 4에서와 같이, 임프린트 패턴층(42)을 갖는 기재 필름(42)을 수평진동 증착장치(41)에 위치시켜 임프린트 패턴층(42)을 좌우로 반복적으로 움직이면서 금속 입자(43)를 증착하여 임프린트 패턴층(42)의 상부 표면에 금속 증착층(43a)을 형성하여 대면적 나노 와이어 그리드 편광 필름을 제작한다.

이와 같이 수평진동(Horizontal Vibration) 금속 증착을 통하여 금속 나노 와이어 그리드 구조가 제작된다.

즉, 금속 증착이 이루어지고 이중 코팅의 상부층에 증착된 금속층의 증착률은 극대화시키면서 높은 종횡비를 갖도록 제어하고, 패턴과 패턴 사이의 금속 증착률을 제어하여 투광율이 향상되는 구조로 대면적 나노 와이어 그리드 편광 필름을 제작하는 것이다.

이와 같이 본 발명에 따른 대면적 나노 와이어 그리드 편광 필름의 제조 공정은 임프린트 패턴층(42)을 형성하는 단계에서, 상기 상부 성형 패턴층(33a)을 이용한 현상 공정으로 하부 패턴 형성용 물질층(32)을 선택적으로 제거하여 상기 상부 성형 패턴층(33a) 및 하부 현상 패턴층(32a)의 종횡비를 제어하는 것이다.

그리고 상부 성형 패턴층(33a)의 상부 표면에 금속 증착층(43a)을 형성하는 단계에서, 상기 임프린트 패턴층(42)을 좌우로 반복적으로 움직이는 것에 의해 증착되는 금속 입자(43)의 부분적인 증착률을 조절한다.

그리고 상부 성형 패턴층(33a)의 상부 표면에 금속 증착층(43a)을 형성하는 단계에서, 상기 임프린트 패턴층(42)을 좌우로 반복적으로 움직이는 속도를 변화시켜 증착되는 금속 입자(43)의 증착률을 조절하는 것이다.

그리고 상부 성형 패턴층(33a)의 상부 표면에 금속 증착층(43a)을 형성하는 단계에서, 상기 임프린트 패턴층(42)의 패턴 방향을 변화시켜 증착되는 금속 입자(43)의 증착률을 조절하는 것이다.

그리고 상부 성형 패턴층(33a)의 상부 표면에 금속 증착층(43a)을 형성하는 단계에서, 상기 임프린트 패턴층(42)을 좌우로 반복적으로 움직이는 것에 의해 상부 성형 패턴층(33a)의 상부 표면의 증착률과, 상부 성형 패턴층(33a)과 그에 이웃하는 다른 상부 성형 패턴층(33a) 사이의 증착률이 다르게 되도록 제어하는 것이다.

그리고 상기 기재 필름(31)은 폴리머 기반의 재료로 제조된 것을 일 예로 하였으나, 이로 제한되지 않고 롤투롤 임프린트 공정에 적용할 수 있는 다른 물질의 필름이 사용될 수 있음은 당연하다.

이와 같은 공정으로, 상부의 상부 성형 패턴층(33a)을 이용하여 하부층의 현상 공정시 종횡비가 높아지는 형태의 구조로 현상이 되며, 금속증착 공정시 종횡비가 높아 하부의 금속 증착률을 최소화가 가능하다.

또한, 수평진동(Horizontal Vibration) 금속 증착 방법은 좌우 움직임으로 이중층(Bi-layer) 롤투롤 임프린트 공정을 통해 종횡비가 높아진 패턴을 이용하여 패턴의 상부에 증착률이 높고 패턴과 패턴 사이의 증착률을 낮게 조절할 수 있다.

본 발명에서 제안된 공정기술은 식각 공정이 필요 없으며, 금속 와이어의 두께 조절은 하부 현상층의 두께 및 수평 진동 금속 증착 움직임으로 조절이 가능하다. 또한 현상 공정은 기판재료인 폴리머 기반의 재료에 영향이 없어 기존의 식각 공정 기술의 문제를 해결할 수 있다.

이상에서의 설명에서와 같이 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 본 발명이 구현되어 있음을 이해할 수 있을 것이다.

그러므로 명시된 실시 예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 하고, 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구 범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.

31. 필름 기재 32. 하부 패턴 형성용 물질층
32a. 하부 현상 패턴층 33. 상부 패턴 형성용 물질층
33a. 상부 성형 패턴층 34. 롤 금형
41. 수평진동 증착장치 42. 임프린트 패턴층
43. 금속 입자 43a. 금속 증착층

Claims (10)

1. 필름 기재상에 하부 패턴 형성용 물질층과 상부 패턴 형성용 물질층의 이중층을 코팅하는 단계;
   임프린트 공정으로 상부 패턴 형성용 물질층을 선택적으로 패터닝하여 상부 성형 패턴층을 형성하는 단계;
   상기 상부 성형 패턴층을 이용하여 하부 패턴 형성용 물질층을 선택적으로 제거하여 잔류층이 제어되는 하부 현상 패턴층을 형성하여 임프린트 패턴층을 형성하는 단계;
   상기 임프린트 패턴층을 좌우로 반복적으로 움직이면서 금속 입자를 증착하여 상기 상부 성형 패턴층의 상부 표면에 금속 증착층을 형성하는 단계;를 포함하고,
   상기 임프린트 패턴층을 좌우로 반복적으로 움직이는 것에 의해 상부 성형 패턴층의 상부 표면의 증착률과, 상부 성형 패턴층과 그에 이웃하는 다른 상부 성형 패턴층 사이의 증착률이 다르게 되도록 제어되는 것을 특징으로 하는 대면적 나노 와이어 그리드 편광 필름의 제조 방법.
2. 삭제
3. 삭제
4. 제 1 항에 있어서, 임프린트 패턴층을 형성하는 단계에서,
   상기 상부 성형 패턴층을 이용한 현상 공정으로 하부 패턴 형성용 물질층을 선택적으로 제거하여 상기 상부 성형 패턴층 및 하부 현상 패턴층의 종횡비를 제어하는 것을 특징으로 하는 대면적 나노 와이어 그리드 편광 필름의 제조 방법.
5. 제 1 항에 있어서, 상부 성형 패턴층의 상부 표면에 금속 증착층을 형성하는 단계에서,
   상기 임프린트 패턴층을 좌우로 반복적으로 움직이는 것에 의해 증착되는 금속 입자의 부분적인 증착률을 조절하는 것을 특징으로 하는 대면적 나노 와이어 그리드 편광 필름의 제조 방법.
6. 제 1 항에 있어서, 상부 성형 패턴층의 상부 표면에 금속 증착층을 형성하는 단계에서,
   상기 임프린트 패턴층을 좌우로 반복적으로 움직이는 속도를 변화시켜 증착되는 금속 입자의 증착률을 조절하는 것을 특징으로 하는 대면적 나노 와이어 그리드 편광 필름의 제조 방법.
7. 제 1 항에 있어서, 상부 성형 패턴층의 상부 표면에 금속 증착층을 형성하는 단계에서,
   상기 임프린트 패턴층의 패턴 방향을 변화시켜 증착되는 금속 입자의 증착률을 조절하는 것을 특징으로 하는 대면적 나노 와이어 그리드 편광 필름의 제조 방법.
8. 삭제
9. 제 1 항에 있어서, 상기 필름 기재는 폴리머 기반의 재료로 제조된 것을 특징으로 하는 대면적 나노 와이어 그리드 편광 필름의 제조 방법.
10. 제 1 항에 있어서, 상기 하부 패턴 형성용 물질층은 수용성 폴리머이고, 상부 패턴 형성용 물질층은 폴리머 임프린트 레진인 것을 특징으로 하는 대면적 나노 와이어 그리드 편광 필름의 제조 방법.
    
    

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