KR20080024316A - 선 격자 편광자의 제조 방법 - Google Patents

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KR20080024316A
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Abstract

본 발명은 선 격자 편광자의 제조 방법에 관한 것으로, 자기 조립 모노층의 개구들에 의해 이중 폴리머(Co-polymer)의 폴리머를 분리시켜 폴리머로 이루어진 돌출부가 주기적으로 배열되어 있는 가이드 패턴을 형성하는 공정과; 상기 주기적으로 배열되어 있는 가이드 패턴의 각각의 돌출부의 상부면에서 측면 일부까지 금속층을 형성하는 공정으로 구성된다.
따라서, 본 발명은 나노 크기의 선폭을 갖는 돌출부들로 이루어진 가이드 패턴을 형성하고, 이 가이드 패턴으로 나노 크기의 선 격자 편광자를 제작할 수 있는 효과가 있다.
또한, 나노 크기의 선폭을 갖는 돌출부들로 이루어진 가이드 패턴을 형성하고, 이 가이드 패턴을 이용하여 몰드를 형성하고, 이 몰드로 선 격자 편광자를 쉽게 제작할 수 있으므로, 제조 공정을 단순화시킬 수 있고, 대면적화시킬 수 있는 효과가 있다.
선, 격자, 편광자, SAM, 몰드, 가이드, 패턴

Description

선 격자 편광자의 제조 방법 { Method for manufacturing wire grid polarizer }
도 1은 일반적인 와이어 그리드 편광판의 구조물을 설명하기 위한 개념도
도 2a 내지 2i는 본 발명에 따른 와이어 그리드 편광자를 제조하기 위한 가이드 패턴(Guide pattern)을 형성하는 방법을 설명하기 위한 단면도
도 3은 도 2d에서 본 발명에 따른 나노 인프린트 리소그래피(Nano Imprint Lithography, NIL) 공정이 수행된 인프린트용 막 상태를 설명하기 위한 사시도
도 4는 본 발명에 따라 자기 조립 모노층의 홈으로 이중 폴리머에서 폴리머가 분리된 상태를 설명하기 위한 도면
도 5는 본 발명에 따른 가이드 패턴(Guide pattern)에 금속을 증착시켜 선 격자 편광자(Wire grid polarizer)를 제작한 상태의 단면도
도 6은 도 5의 A의 확대도
도 7a와 7b는 본 발명에 따른 가이드 패턴(Guide pattern)으로 폴리머 몰드를 형성하는 방법을 설명하기 위한 단면도
도 8은 도 7b의 폴리머 몰드에 금속을 증착시켜 선 격자 편광자를 제작한 상태의 단면도
도 9a 내지 9d는 도 7b의 폴리머 몰드로 임프린팅하여 선 격자 편광자를 제조하는 방법을 설명하기 위한 단면도
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100,200 : 투명 기판 110 : 투명 절연막
120 : 자기 조립 모노층(Self-assembled monolayer, SAM)
121 : 개구 130 : 인프린트용 막
131 : 홈 140 : 몰드
141,155,183,211 : 돌출부 150 : 이중 폴리머
151,152 : 제 1과 2 폴리머 160 : 가이드 패턴
170 : 금속층 180,210 : 경화용 폴리머
185 : 폴리머 몰드
본 발명은 선 격자 편광자의 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 상호 이격되어 어레이된 금속 와이어는 전자기파의 편광을 선택적으로 투과시키거나 반사시킨다.
즉, 입사되는 전자기파의 파장보다 금속 와이어 배열의 주기가 짧은 경우, 금속 와이어와 평행한 편광 성분(S파)은 반사되고, 수직한 편광 성분(P파)은 투과된다.
이 현상을 이용하여 편광 효율이 우수하고, 투과율이 높으며, 시야각이 넓은 평판 편광자(Planar polarizer)를 제조할 수 있는데, 이러한 소자를 선 격자 편광자(Wire grid polarizer)라고 한다.
한편, 광원에서 출발한 빛의 경우 백라이트를 거치면서 상당량의 광손실이 발생하여 원래 광원의 약 10% 이하의 빛만 보게 된다.
빛의 이용 효율을 증가시킬 수 있다면 배터리 사용시간의 증가와 대화면 LCD TV의 전력소모량 감소 효과를 얻게 된다.
3M사에서 반사형 편광판인 DBEF(Dual Brightness Enhancement Film)를 사용하여 빛의 이용 효율을 향상하고 휘도를 증가시킬 수 있으나, 광학적으로 이방성을 가지는 고분자막과 등방성인 고분자막을 교대로 다층 적층하여 제조하기 때문에 편광판의 가격이 높게 되고, 제조 공정이 복잡하다는 문제점이 있다.
상기의 문제점들을 해결할 수 있는 방법으로써, 선 격자 편광자로 반사형 편광판을 대체하여 빛의 이용 효율을 높여 휘도를 증가시키고 전력 소모를 최소화할 수 있다.
선 격자 편광자는 금속물질이 유리 기판상에 격자 형태로 형성되어 있다.
도 1은 일반적인 선 격자 편광자의 구조를 설명하기 위한 개념도로서, 선 격자 편광자(10)는 투명기판(11)과; 상기 투명기판(11) 상부에 상호 이격되어 배열되어 있는 복수개의 금속 와이어(12)로 구성된다.
상기 복수개의 금속 와이어(12)는 상호 이격되어 있으며, 평행하게 배열되어 있다.
여기서, 입사되는 광의 파장보다 금속 와이어 배열의 주기(T)가 짧을 경우, 상기 와이어 그리드 편광판(10)으로 입사되는 광은 편광 성분에 따라 반사 및 투과한다.
즉, 상기 금속 와이어(12)와 평행한 편광 성분인 'S파'는 반사되고, 수직한 편광 성분인 'P파'는 투과된다.
이러한 현상을 이용하여 고 투과율, 우수한 편광 효율, 넓은 시야각을 가지는 편광자를 제작하여 LCD의 휘도를 향상시킬 수 있다.
그러나 선 격자 편광자가 DBEF를 대체할 수 있는 정도로 우수한 특성을 가지기 위해서는 고 편광 소멸비(High extinction ratio)가 요구되고 이는 금속 격자의 주기를 감소시킴으로 가능할 수 있다.
주기가 짧은 금속격자의 미세 패턴 형성을 위해서는 기본적으로 노광공정과 식각공정이 필요하나, 마스크 재료의 선택, 대면적화의 어려움, 제작 공정의 복잡성과 가격 증가의 문제점들이 있다.
본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 나노 크기의 선폭을 갖는 돌출부들로 이루어진 가이드 패턴을 형성하고, 이 가이드 패턴으로 나노 크기의 선 격자 편광자를 제작할 수 있는 선 격자 편광자의 제조 방법을 제공하는 데 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은 나노 크기의 선폭을 갖는 돌출부들로 이루어진 가이드 패턴을 형성하고, 이 가이드 패턴을 이용하여 몰드를 형성하고, 이 몰드로 선 격자 편광자를 쉽게 제작할 수 있으므로, 제조 공정을 단순화시킬 수 있고, 대면적화시킬 수 있는 선 격자 편광자의 제조 방법을 제공하는 데 있다.
상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 제 1 양태(樣態)는,
상부에 투명 절연막이 형성되어 있고, 상기 투명 절연막 상부에 스트라이프(Stripe) 형태의 주기적인 개구들이 형성된 자기 조립 모노층이 형성되어 있는 투명 기판을 준비하는 단계와;
상기 개구들을 채우며 상기 자기 조립 모노층 상부에 제 1과 2 폴리머로 이루어진 이중 폴리머(Co-polymer)층을 형성하는 단계와;
상기 이중 폴리머층을 열처리하여 제 1과 2 폴리머로 분리시켜 제 1과 2 폴리머를 교대로 배열시키는 단계와;
상기 제 1과 2 폴리머 중 제 2 폴리머를 제거하여, 상기 제 1 폴리머로 이루어진 돌출부가 주기적으로 배열되어 있는 가이드 패턴을 형성하는 단계와;
상기 주기적으로 배열되어 있는 가이드 패턴의 각각의 돌출부의 상부면에서 측면 일부까지 금속층을 형성하는 단계로 이루어진 격자 편광자의 제조 방법이 제공된다.
상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 제 2 양태(樣態)는,
상부에 투명 절연막이 형성되어 있고, 상기 투명 절연막 상부에 스트라이프(Stripe) 형태의 주기적인 개구들이 형성된 자기 조립 모노층이 형성되어 있는 투명 기판을 준비하는 단계와;
상기 개구들을 채우며 상기 자기 조립 모노층 상부에 제 1과 2 폴리머로 이루어진 이중 폴리머(Co-polymer)층을 형성하는 단계와;
상기 이중 폴리머층을 열처리하여 제 1과 2 폴리머로 분리시켜 제 1과 2 폴리머를 교대로 배열시키는 단계와;
상기 제 1과 2 폴리머 중 제 2 폴리머를 제거하여, 상기 제 1 폴리머로 이루어진 돌출부가 주기적으로 배열되어 있는 가이드 패턴을 형성하는 단계와;
상기 가이드 패턴의 각각의 돌출부들 사이에 맞물려 삽입되는 돌출부 패턴이 형성된 폴리머 몰드를 형성하는 단계와;
상기 폴리머 몰드의 돌출부들 각각의 상부면에서 측면 일부까지 금속층을 형성하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 선 격자 편광자의 제조 방법이 제공된다.
상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 제 3 양태(樣態)는,
상부에 투명 절연막이 형성되어 있고, 상기 투명 절연막 상부에 스트라이프(Stripe) 형태의 주기적인 개구들이 형성된 자기 조립 모노층이 형성되어 있는 투명 기판을 준비하는 단계와;
상기 개구들을 채우며 상기 자기 조립 모노층 상부에 제 1과 2 폴리머로 이루어진 이중 폴리머(Co-polymer)층을 형성하는 단계와;
상기 이중 폴리머층을 열처리하여 제 1과 2 폴리머로 분리시켜 제 1과 2 폴리머를 교대로 배열시키는 단계와;
상기 제 1과 2 폴리머 중 제 2 폴리머를 제거하여, 상기 제 1 폴리머로 이루어진 돌출부가 주기적으로 배열되어 있는 가이드 패턴을 형성하는 단계와;
상기 가이드 패턴의 각각의 돌출부들 사이에 맞물려 삽입되는 돌출부 패턴이 형성된 폴리머 몰드를 형성하는 단계와;
상기 폴리머 몰드로, 투명기판 상부에 형성된 경화용 폴리머층을 인프린트(Inprint)하여 상기 경화용 폴리머층에 주기적으로 배열되어 있는 돌출부들을 형성하는 단계와;
상기 경화용 폴리머층의 돌출부들 각각의 상부면에서 측면 일부까지 금속층을 형성하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 선 격자 편광자의 제조 방법이 제공된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하면 다음과 같다.
도 2a 내지 2i는 본 발명에 따른 와이어 그리드 편광자를 제조하기 위한 가이드 패턴(Guide pattern)을 형성하는 방법을 설명하기 위한 단면도로서, 먼저, 투 명 기판(100) 상부에 투명 절연막(110)을 형성한다.(도 2a)
여기서, 상기 투명 기판(100)과 투명 절연막(110)은 광이 투과되는 물질로 형성된다.
즉, 상기 투명 기판(100)은 실리콘 기판이며, 상기 투명 절연막(110)은 실리콘 산화막인 것이 바람직하다.
그 후, 상기 투명 절연막(110) 상부에 자기 조립 모노층(Self-assembled monolayer, SAM)(120)을 형성한다.(도 2b)
여기서, 상기 절연막(110)에 자기 조립 모노층(120)을 형성하는 것을 'SAM'표면처리라 정의한다.
상기 SAM 표면처리의 일례로, OTS(Octadecyltrichloro Silane)를 톨루엔(Toluene)에 1mM로 혼합하고, OTS와 톨루엔이 혼합된 용액에 상기 절연막을 1시간 동안 디핑(Dipping)한 후, 톨루엔을 세척하고 건조시키면, 상기 절연막(110) 상부에 OTS 모노층이 형성된다.
그 다음, 상기 자기 조립 모노층(120) 상부에 인프린트(Inprint)용 막(130)을 형성한다.
여기서, 상기 인프린트용 막(130)은 레지스트막이 바람직하다.
계속하여, 상기 인프린트용 막(130)에 나노 인프린트 리소그래피(Nano Imprint Lithography, NIL) 공정을 수행하여, 스트라이프(Stripe) 형태의 주기적인 홈들(131)을 상기 인프린트용 막(130)에 형성한다.(도 2d)
상기 나노 인프린트 리소그래피 공정은 도 2d에 도시된 바와 같이, 스트라이 프(Stripe) 형태의 주기적인 돌출부들(141)을 갖는 몰드(140)를 상기 인프린트용 막(130)에 가압하여 상기 인프린트용 막(130)에 상기 돌출부들(141)에 대응되는 홈들(131)을 형성하는 것이다.
도 3에는 상기 인프린트용 막(130)에 홈들(131)이 형성되어 있다.
물론, 상기 나노 인프린트 리소그래피 공정은 몰드(140)를 이탈시키는 공정을 포함한다.
상기 인프린트용 막(130)에 형성된 홈들(131)의 선폭(W1)은 50 ~ 150㎚이고, 주기(T)는 200 ~ 500㎚인 것이 바람직하다.
이때, 상기 주기(T)가 200㎚인 경우, 상기 인프린트용 막(130)에 형성된 홈들(131)의 선폭(W1)은 50㎚이고, 홈들(131)이 형성되어 있지 않은 인프린트용 막(130) 영역의 폭(W2)은 150㎚이다.
연이어, 상기 홈들(131)에 노출된 상기 자기 조립 모노층(120) 영역을 제거하여, 상기 자기 조립 모노층(120)에 개구들(121)을 형성한다.(도 2e)
계속하여, 상기 인프린트용 막(130)을 제거한다.(도 2f)
이어서, 상기 개구들(121)을 채우며 자기 조립 모노층(120) 상부에 제 1과 2 폴리머로 이루어진 이중 폴리머(Co-polymer)층(150)을 형성한다.(도 2g)
여기서, 상기 이중 폴리머층(150)은 열처리되면 두 폴리머로 상분리된다.
상기 이중 폴리머층(150)은 PS-b-PMMA와 같은 것으로, 열처리되면 PS와 PMMA로 분리된다.
이때, 상기 인프린트용 막(130)에 형성된 홈들(131)의 선폭(W1)이 50 ~ 150 ㎚이므로, 하나의 폴리머의 선폭은 25 ~ 75㎚가 된다.
그 다음, 상기 이중 폴리머층(150)을 열처리하여 제 1과 2 폴리머로 분리시켜 제 1과 2 폴리머(151,152)를 교대로 배열시킨다.(도 2h)
그 후, 상기 제 1과 2 폴리머(151,152) 중 제 2 폴리머(152)를 제거하여, 제 1 폴리머로 이루어진 돌출부(155)가 주기적으로 배열되어 있는 가이드 패턴(160)을 형성한다.(도 2i)
전술된 바에 의하여, 상기 가이드 패턴(160)의 돌출부(155)의 선폭은 25 ~ 75㎚이므로, 나노 크기로 극미세하게 제작된다.
도 4는 본 발명에 따라 자기 조립 모노층의 홈으로 이중 폴리머에서 폴리머가 분리된 상태를 설명하기 위한 도면으로서, 전술된 바와 같이, 이중 폴리머에 열처리 공정을 수행하면, 이중 폴리머(150)는 두개의 폴리머가 분리되어, 도 4에 도시된 바와 같이,'A'폴리머와 'B'폴리머가 교대로 배열된다.
여기서, 자기 조립 모노층(120)의 개구(121)로 분리되는 폴리머의 선폭을 조절할 수 있다.
즉, 상기 자기 조립 모노층(120)의 개구(121)에서 분리되는 폴리머의 선폭으로 다른 영역에서도 폴리머 분리가 이루어진다.
이때, 상기 개구(121)가 형성되어 있지 않은 자기 조립 모노층(120) 영역의 폭(W5)은 자기 조립 모노층(120)의 개구(121) 폭(W4)의 배수인 것이 바람직하다.
도 5는 본 발명에 따른 가이드 패턴(Guide pattern)에 금속을 증착시켜 선 격자 편광자(Wire grid polarizer)를 제작한 상태의 단면도로서, 도 2i의 공정에서 형성된 주기적으로 배열되어 있는 가이드 패턴(160)의 각각의 돌출부(155)의 상부면에서 측면 일부까지 금속층(170)을 형성하여 선 격자 편광자를 제작한다.
그러므로, 본 발명은 전술된 도 2a 내지 2i와 같은 공정을 수행하여, 나노 크기의 선폭을 갖는 돌출부들로 이루어진 가이드 패턴이 형성됨으로, 선 격자 편광자 역시 나노 크기의 패턴으로 구현된다.
도 6은 도 5의 A의 확대도로서, 금속층(170)은 주기적으로 배열되어 있는 각각의 돌출부(155)의 상부면에서 측면 일부까지 형성되어 있다.
이 금속층(170)은 상기 돌출부(155)의 측면에서 금속을 경사 증착시키면 형성된다.
그리고, 상기 금속층(170)은 알루미늄이 바람직하다.
도 7a와 7b는 본 발명에 따른 가이드 패턴(Guide pattern)으로 폴리머 몰드를 형성하는 방법을 설명하기 위한 단면도로서, 도 2i의 공정에서 형성된, 주기적으로 배열되어 있는 가이드 패턴(160)의 각각의 돌출부(155)를 감싸며 투명 절연막(110)과 자기 조립 모노층(120) 상부에 경화용 폴리머(180)를 도포한다.(도 7a)
그 후, 상기 경화용 폴리머(180)를 경화시킨 후, 돌출부(155)로부터 이탈시키면, 상기 가이드 패턴(160)의 돌출부(155)에 의해 돌출부(183) 패턴이 형성된 폴리머 몰드(185)가 형성된다.(도 7b)
여기서, 상기 폴리머 몰드(185)에는 상기 가이드 패턴(160)의 돌출부들(155) 사이에 맞물려 위치되는 돌출부들(183)이 형성된다.
그리고, 상기 자기 조립 모노층(120)은 도면상 표시를 위하여 두껍게 형성하 였으나, 자기 조립 모노층(120)의 두께는 수 Å 이므로, 상기 폴리머 몰드(183)의 돌출부들(183)의 끝면은 동일 선상에 위치된다.
그러므로, 도 7는 상기 폴리머 몰드(183)의 돌출부들(183)의 끝면은 동일 선상으로 일치시켜 도시하였다.
그러므로, 상기 가이드 패턴(160)은 마스터 몰드(Master mold)의 기능을 수행한다.
그리고, 상기 경화용 폴리머(180)는 자외선 경화용 폴리머가 바람직하다.
도 8은 도 7b의 폴리머 몰드에 금속을 증착시켜 선 격자 편광자를 제작한 상태의 단면도로서, 전술된 도 7a와 7b에서 제작된 폴리머 몰드(185)의 돌출부들(183) 각각의 상부면에서 측면 일부까지 금속층(170)을 형성하여 선 격자 편광자를 제작한다.
도 9a 내지 9d는 도 7b의 폴리머 몰드로 임프린팅하여 선 격자 편광자를 제조하는 방법을 설명하기 위한 단면도로서, 먼저, 투명기판(200) 상부에 경화용 폴리머층(210)을 형성한다.(도 9a)
여기서, 상기 투명기판(200)은 투명한 폴리머 기판, 글래스 기판과 퀄츠(Quartz) 기판 중 어느 하나인 것이 바람직하다.
그 후, 도 7b에서 제작된 폴리머 몰드(185)로 상기 경화용 폴리머층(210)을 인프린팅하여 상기 경화용 폴리머층(210)에 주기적으로 배열되어 있는 돌출부들(211)을 형성한다.(도 9b와 9c)
한편, 상기 폴리머 몰드(185) 표면에는 자기 조립 모노층을 형성하면, 상기 폴리머 몰드(185)의 이탈을 원활하게 할 수 있다.
마지막으로, 상기 경화용 폴리머층(210)의 돌출부들(211) 각각의 상부면에서 측면 일부까지 금속층(170)을 형성한다.(도 9d)
이상 상술한 바와 같이, 따라서, 본 발명은 나노 크기의 선폭을 갖는 돌출부들로 이루어진 가이드 패턴을 형성하고, 이 가이드 패턴으로 나노 크기의 선 격자 편광자를 제작할 수 있는 효과가 있다.
또한, 나노 크기의 선폭을 갖는 돌출부들로 이루어진 가이드 패턴을 형성하고, 이 가이드 패턴을 이용하여 몰드를 형성하고, 이 몰드로 선 격자 편광자를 계속적으로 제작할 수 있으므로, 제조 공정을 단순화시킬 수 있고, 대면적화시킬 수 있는 효과가 있다.
본 발명은 구체적인 예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (10)

  1. 상부에 투명 절연막이 형성되어 있고, 상기 투명 절연막 상부에 스트라이프(Stripe) 형태의 주기적인 개구들이 형성된 자기 조립 모노층이 형성되어 있는 투명 기판을 준비하는 단계와;
    상기 개구들을 채우며 상기 자기 조립 모노층 상부에 제 1과 2 폴리머로 이루어진 이중 폴리머(Co-polymer)층을 형성하는 단계와;
    상기 이중 폴리머층을 열처리하여 제 1과 2 폴리머로 분리시켜 제 1과 2 폴리머를 교대로 배열시키는 단계와;
    상기 제 1과 2 폴리머 중 제 2 폴리머를 제거하여, 상기 제 1 폴리머로 이루어진 돌출부가 주기적으로 배열되어 있는 가이드 패턴을 형성하는 단계와;
    상기 주기적으로 배열되어 있는 가이드 패턴의 각각의 돌출부의 상부면에서 측면 일부까지 금속층을 형성하는 단계로 이루어진 격자 편광자의 제조 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 투명 기판을 준비하는 단계는,
    투명 기판 상부에 투명 절연막과 자기 조립 모노층(Self-assembled monolayer, SAM)을 순차적으로 형성하는 공정과;
    상기 자기 조립 모노층 상부에 인프린트(Inprint)용 막을 형성하는 공정과;
    상기 인프린트용 막에 나노 인프린트 리소그래피(Nano Imprint Lithography, NIL) 공정을 수행하여, 스트라이프(Stripe) 형태의 주기적인 홈들을 상기 인프린트용 막에 형성하는 공정과;
    상기 홈들에 노출된 상기 자기 조립 모노층 영역을 제거하여, 상기 자기 조립 모노층에 개구들을 형성하고, 상기 인프린트용 막을 제거하는 공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 선 격자 편광자의 제조 방법.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 인프린트용 막에 형성된 홈들의
    선폭(W1)은 50 ~ 150㎚이고,
    주기(T)는 200 ~ 500㎚인 것을 특징으로 하는 선 격자 편광자의 제조 방법.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 인프린트용 막은,
    레지스트막인 것을 특징으로 하는 선 격자 편광자의 제조 방법.
  5. 상부에 투명 절연막이 형성되어 있고, 상기 투명 절연막 상부에 스트라이프(Stripe) 형태의 주기적인 개구들이 형성된 자기 조립 모노층이 형성되어 있는 투명 기판을 준비하는 단계와;
    상기 개구들을 채우며 상기 자기 조립 모노층 상부에 제 1과 2 폴리머로 이루어진 이중 폴리머(Co-polymer)층을 형성하는 단계와;
    상기 이중 폴리머층을 열처리하여 제 1과 2 폴리머로 분리시켜 제 1과 2 폴리머를 교대로 배열시키는 단계와;
    상기 제 1과 2 폴리머 중 제 2 폴리머를 제거하여, 상기 제 1 폴리머로 이루어진 돌출부가 주기적으로 배열되어 있는 가이드 패턴을 형성하는 단계와;
    상기 가이드 패턴의 각각의 돌출부들 사이에 맞물려 삽입되는 돌출부 패턴이 형성된 폴리머 몰드를 형성하는 단계와;
    상기 폴리머 몰드의 돌출부들 각각의 상부면에서 측면 일부까지 금속층을 형성하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 선 격자 편광자의 제조 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 폴리머 몰드를 형성하는 단계는,
    상기 가이드 패턴의 각각의 돌출부를 감싸며 절연막과 자기 조립 모노층 상부에 경화용 폴리머를 도포하는 공정과;
    상기 경화용 폴리머를 경화시킨 후, 상기 가이드 패턴의 돌출부로부터 상기 경화된 폴리머를 이탈시켜, 돌출부 패턴이 형성된 폴리머 몰드를 형성하는 공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 선 격자 편광자의 제조 방법.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 투명 기판은 실리콘 기판이며,
    상기 투명 절연막은 실리콘 산화막인 것을 특징으로 하는 선 격자 편광자의 제조 방법.
  8. 상부에 투명 절연막이 형성되어 있고, 상기 투명 절연막 상부에 스트라이프(Stripe) 형태의 주기적인 개구들이 형성된 자기 조립 모노층이 형성되어 있는 투명 기판을 준비하는 단계와;
    상기 개구들을 채우며 상기 자기 조립 모노층 상부에 제 1과 2 폴리머로 이루어진 이중 폴리머(Co-polymer)층을 형성하는 단계와;
    상기 이중 폴리머층을 열처리하여 제 1과 2 폴리머로 분리시켜 제 1과 2 폴리머를 교대로 배열시키는 단계와;
    상기 제 1과 2 폴리머 중 제 2 폴리머를 제거하여, 상기 제 1 폴리머로 이루어진 돌출부가 주기적으로 배열되어 있는 가이드 패턴을 형성하는 단계와;
    상기 가이드 패턴의 각각의 돌출부들 사이에 맞물려 삽입되는 돌출부 패턴이 형성된 폴리머 몰드를 형성하는 단계와;
    상기 폴리머 몰드로, 다른 투명기판 상부에 형성된 경화용 폴리머층을 인프린트(Inprint)하여 상기 경화용 폴리머층에 주기적으로 배열되어 있는 돌출부들을 형성하는 단계와;
    상기 경화용 폴리머층의 돌출부들 각각의 상부면에서 측면 일부까지 금속층을 형성하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 선 격자 편광자의 제조 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 인프린트 공정을 수행하기 전(前)에,
    상기 폴리머 몰드 표면에 자기 조립 모노층을 형성하는 공정이 더 구비된 것을 특징으로 하는 선 격자 편광자의 제조 방법.
  10. 제 1 항 내지 제 6 항, 제 8 항과 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 금속층은,
    알루미늄층인 것을 특징으로 하는 선 격자 편광자의 제조 방법.
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