KR101720448B1 - 액추에이터 유닛 - Google Patents

액추에이터 유닛 Download PDF

Info

Publication number
KR101720448B1
KR101720448B1 KR1020157021067A KR20157021067A KR101720448B1 KR 101720448 B1 KR101720448 B1 KR 101720448B1 KR 1020157021067 A KR1020157021067 A KR 1020157021067A KR 20157021067 A KR20157021067 A KR 20157021067A KR 101720448 B1 KR101720448 B1 KR 101720448B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
valve
pressure
flow rate
actuator unit
discharge passage
Prior art date
Application number
KR1020157021067A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20150104594A (ko
Inventor
다카유키 오가와
Original Assignee
케이와이비 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 케이와이비 가부시키가이샤 filed Critical 케이와이비 가부시키가이샤
Publication of KR20150104594A publication Critical patent/KR20150104594A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101720448B1 publication Critical patent/KR101720448B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61F—RAIL VEHICLE SUSPENSIONS, e.g. UNDERFRAMES, BOGIES OR ARRANGEMENTS OF WHEEL AXLES; RAIL VEHICLES FOR USE ON TRACKS OF DIFFERENT WIDTH; PREVENTING DERAILING OF RAIL VEHICLES; WHEEL GUARDS, OBSTRUCTION REMOVERS OR THE LIKE FOR RAIL VEHICLES
    • B61F5/00—Constructional details of bogies; Connections between bogies and vehicle underframes; Arrangements or devices for adjusting or allowing self-adjustment of wheel axles or bogies when rounding curves
    • B61F5/02—Arrangements permitting limited transverse relative movements between vehicle underframe or bolster and bogie; Connections between underframes and bogies
    • B61F5/22—Guiding of the vehicle underframes with respect to the bogies
    • B61F5/24—Means for damping or minimising the canting, skewing, pitching, or plunging movements of the underframes
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B11/00—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B11/00—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor
    • F15B11/02—Systems essentially incorporating special features for controlling the speed or actuating force of an output member
    • F15B11/028—Systems essentially incorporating special features for controlling the speed or actuating force of an output member for controlling the actuating force
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/18—Combined units comprising both motor and pump
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/20—Fluid pressure source, e.g. accumulator or variable axial piston pump
    • F15B2211/205—Systems with pumps
    • F15B2211/2053—Type of pump
    • F15B2211/20538—Type of pump constant capacity
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/30—Directional control
    • F15B2211/305—Directional control characterised by the type of valves
    • F15B2211/3056—Assemblies of multiple valves
    • F15B2211/30565—Assemblies of multiple valves having multiple valves for a single output member, e.g. for creating higher valve function by use of multiple valves like two 2/2-valves replacing a 5/3-valve
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/40—Flow control
    • F15B2211/405—Flow control characterised by the type of flow control means or valve
    • F15B2211/40507—Flow control characterised by the type of flow control means or valve with constant throttles or orifices
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/40—Flow control
    • F15B2211/415—Flow control characterised by the connections of the flow control means in the circuit
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/40—Flow control
    • F15B2211/415—Flow control characterised by the connections of the flow control means in the circuit
    • F15B2211/41581—Flow control characterised by the connections of the flow control means in the circuit being connected to an output member and a return line

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
  • Fluid-Pressure Circuits (AREA)
  • Actuator (AREA)
  • Fluid-Damping Devices (AREA)

Abstract

액추에이터 유닛이 피스톤으로 구획한 로드측실과 피스톤측실과, 탱크와, 로드측실과 피스톤측실을 연통·차단하는 제1 개폐 밸브와, 피스톤측실과 탱크를 연통·차단하는 제2 개폐 밸브와, 탱크로부터 피스톤측실에 액체를 유입시키는 흡입 통로와, 피스톤측실로부터 로드측실에 액체를 유입시키는 정류 통로와, 로드측실에 액체를 공급하는 펌프와, 로드측실을 탱크에 접속하는 제1, 제2 배출 통로와, 제1 배출 통로에 설치한 제1 패시브 밸브와, 제2 배출 통로에 설치한 제2 패시브 밸브와, 제1 배출 통로를 연통·차단하는 제3 개폐 밸브를 구비한다.

Description

액추에이터 유닛{ACTUATOR UNIT}
본 발명은 액추에이터 유닛에 관한 것이다.
액추에이터 유닛은, 예를 들어 철도 차량에 있어서 차체의 진행 방향에 대해 좌우 방향의 진동을 억제하기 위해, 차체와 대차 사이에 개재 장착되어 사용된다.
JP2010-65797A에는, 실린더와, 실린더 내에 미끄럼 이동 가능하게 삽입되는 피스톤과, 실린더 내에 삽입되어 피스톤에 연결되는 로드와, 실린더 내에 피스톤으로 구획한 로드측실과 피스톤측실과, 탱크와, 로드측실과 피스톤측실을 연통하는 제1 통로의 도중에 설치한 제1 개폐 밸브와, 피스톤측실과 탱크를 연통하는 제2 통로의 도중에 설치한 제2 개폐 밸브와, 로드측실에 작동 유체를 공급하는 펌프와, 펌프를 구동하는 모터와, 로드측실을 탱크에 접속하는 배출 통로와, 배출 통로의 도중에 설치한 가변 릴리프 밸브를 구비하는 액추에이터 유닛이 개시되어 있다.
이 액추에이터 유닛에 의하면, 제1 개폐 밸브와 제2 개폐 밸브를 적절히 개폐시킴으로써 출력하는 추력의 방향을 결정하고, 또한, 모터에 의해 펌프를 정속도로 회전시켜, 일정 유량을 실린더 내에 공급한다. 이와 같이 하면서, 가변 릴리프 밸브의 릴리프압을 조절하여 실린더 내의 압력을 제어함으로써, 원하는 크기의 추력을 요망하는 방향에 출력할 수 있다.
이러한 액추에이터 유닛은, 추력의 크기를 컨트롤하기 위해 가변 릴리프 밸브가 필요하다. 그러나, 가변 릴리프 밸브는, 구조가 매우 복잡하며 대형이며, 구동하기 위한 드라이버(구동 장치)도 필요로 한다. 이로 인해, 액추에이터 유닛이 대형화되고 철도 차량 등에의 탑재성이 나쁘고, 전체 비용이 높아 비경제적이라고 하는 문제가 있다.
이러한 문제를 개선하기 위해, 가변 릴리프 밸브를 사용하지 않고, 통과하는 유량에 대해 일의적으로 압력 손실이 결정되는 압력 유량 특성을 갖는 패시브 밸브를 설치하고, 펌프의 토출량을 조정하여 실린더 내의 압력을 제어함으로써, 액추에이터 유닛을 소형화하고 또한 저비용화하는 것이 생각된다. 이러한 액추에이터 유닛에서는, 패시브 밸브의 압력 유량 특성이, 도 8 중 파선 F7로 나타내는 바와 같이, 패시브 밸브를 통과하는 유량 β1이 비교적 적어도 압력 손실이 어느 정도 크고, 실린더 내의 압력을 비교적 빠른 단계에서 목표 압력 α로 할 수 있는 경우에는, 큰 문제는 없다.
그러나, 상기 액추에이터 유닛은, 댐퍼로서도 기능시키는 것이 가능한 것이다. 댐퍼로서 기능하는 경우에 있어서의 액추에이터 유닛의 감쇠 특성(피스톤 속도에 대한 감쇠력 변화)은 패시브 밸브의 압력 유량 특성에 의해 결정된다. 이로 인해, 액추에이터 유닛에 있어서의 원하는 감쇠 특성을 실현하기 위한 패시브 밸브의 압력 유량 특성이, 예를 들어 도 8 중 실선 F8로 나타내는 바와 같이, 통과하는 유량이 적으면 압력 손실이 비교적 작은 특성인 경우에 있어서는, 액추에이터로서 사용한 경우에 목표 압력 α로 하기 위한 유량이 극히 많아진다.
즉, 원하는 감쇠 특성을 실현하기 위해 최적의 패시브 밸브를 채용한 경우, 패시브 밸브의 압력 유량 특성에 따라서는, 펌프의 토출량이 증가하게 된다. 이로 인해, 모터 속도가 높아지는 것에 의한 소비 전력의 증대나, 모터 속도의 변화율이 커지는 것에 의한 응답성의 저하, 모터나 펌프에 높은 내구성이 요구되는 것과 같은 문제를 발생시킬 우려가 있다. 그 결과로서, 패시브 밸브의 압력 유량 특성이 제한되어, 원하는 감쇠 특성을 실현할 수 없게 될 우려가 있다.
본 발명은 패시브 밸브를 이용하고, 펌프의 토출량을 조정함으로써 실린더 내의 압력을 제어하였다고 해도, 원하는 감쇠 특성을 용이하게 실현하는 것이 가능한 액추에이터 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 형태에 의하면, 액추에이터 유닛이며, 실린더와, 실린더 내에 미끄럼 이동 가능하게 삽입되어 실린더 내를 로드측실과 피스톤측실로 구획하는 피스톤과, 실린더 내에 삽입되어 피스톤에 연결되는 로드와, 탱크와, 로드측실과 피스톤측실을 연통하는 제1 통로에 설치되는 제1 개폐 밸브와, 피스톤측실과 탱크를 연통하는 제2 통로에 설치되는 제2 개폐 밸브와, 탱크로부터 피스톤측실로 향하는 작동 유체의 흐름만을 허용하는 흡입 통로와, 피스톤측실로부터 로드측실로 향하는 작동 유체의 흐름만을 허용하는 정류 통로와, 로드측실에 작동 유체를 공급하는 펌프와, 펌프를 구동하는 모터와, 로드측실을 탱크에 접속하는 제1 배출 통로 및 제2 배출 통로와, 제1 배출 통로에 설치되어 제1 압력 유량 특성을 갖는 제1 패시브 밸브와, 제2 배출 통로에 설치되어 제2 압력 유량 특성을 갖는 제2 패시브 밸브와, 제1 배출 통로 및 제2 배출 통로 중 적어도 어느 한쪽의 연통을 허용 또는 차단하는 전환 밸브를 구비한다.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 있어서의 액추에이터 유닛의 회로도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 형태에 있어서의 액추에이터 유닛의 제1 패시브 밸브와 제2 패시브 밸브의 압력 유량 특성을 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 형태에 있어서의 액추에이터 유닛의 전류 루프의 일례를 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 형태에 있어서의 액추에이터 유닛의 추력과 모터의 토크의 관계를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시 형태에 있어서의 액추에이터 유닛의 회로도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시 형태에 있어서의 액추에이터 유닛의 제1 패시브 밸브의 압력 유량 특성과, 제2 패시브 밸브와 제3 패시브 밸브의 합성의 압력 유량 특성을 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시 형태에 있어서의 액추에이터 유닛의 전환 밸브의 변형예를 나타내는 도면이다.
도 8은 패시브 밸브의 압력 유량 특성의 일례를 나타내는 도면이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여, 본 발명의 실시 형태에 대해 설명한다.
본 발명의 일 실시 형태에 관한 액추에이터 유닛(1A)은, 도 1에 도시하는 바와 같이, 실린더(2)와, 실린더(2) 내에 미끄럼 이동 가능하게 삽입되어 실린더(2) 내를 로드측실(5)과 피스톤측실(6)로 구획하는 피스톤(3)과, 실린더(2) 내에 삽입되어 피스톤(3)에 연결되는 로드(4)와, 탱크(7)와, 로드측실(5)과 피스톤측실(6)을 연통하는 제1 통로(8)의 도중에 설치되는 제1 개폐 밸브(9)와, 피스톤측실(6)과 탱크(7)를 연통하는 제2 통로(10)의 도중에 설치되는 제2 개폐 밸브(11)와, 탱크(7)로부터 피스톤측실(6)로 향하는 작동 유체의 흐름만을 허용하는 흡입 통로(21)와, 피스톤측실(6)로부터 로드측실(5)로 향하는 작동 유체의 흐름만을 허용하는 정류 통로(20)와, 로드측실(5)에 작동 유체를 공급하는 펌프(12)와, 당해 펌프(12)를 구동하는 모터(15)를 구비한다.
액추에이터 유닛(1A)은, 로드측실(5)을 탱크(7)에 접속하는 제1 배출 통로(18) 및 제2 배출 통로(22)와, 제1 배출 통로(18)의 도중에 설치되어 로드측실(5)로부터 탱크(7)에 흐르는 작동 유체에 대한 제1 압력 유량 특성을 갖는 제1 패시브 밸브(19)와, 제2 배출 통로(22)의 도중에 설치되어 로드측실(5)로부터 탱크(7)에 흐르는 작동 유체에 대한 제2 압력 유량 특성을 갖는 제2 패시브 밸브(23)와, 제1 배출 통로(18)의 연통을 허용 또는 차단하는 제3 개폐 밸브(전환 밸브)(24)를 더 구비한다.
로드측실(5)과 피스톤측실(6)에는, 작동 유체로서 작동유가 충전되고, 탱크(7)에는, 작동유 외에 기체가 충전되어 있다. 액추에이터 유닛(1A)의 작동에 사용되는 작동 유체는, 상기한 작동유와 같은 액체 외에, 기체를 사용하는 것도 가능하다. 탱크(7) 내는, 특별히, 기체를 압축하여 충전함으로써 가압 상태로 할 필요는 없다.
액추에이터 유닛(1A)을 신장 작동시키는 경우에는, 제1 개폐 밸브(9)로 제1 통로(8)를 연통 상태로 함과 함께 제2 개폐 밸브(11)를 폐쇄한 상태로 하고, 모터(15)에 의해 펌프(12)를 구동한다. 이와 같이 하여, 실린더(2) 내에 작동유를 공급함으로써, 액추에이터 유닛(1A)을 신장 작동시킬 수 있다. 액추에이터 유닛(1A)을 수축 작동시키는 경우에는, 제2 개폐 밸브(11)로 제2 통로(10)를 연통 상태로 함과 함께 제1 개폐 밸브(9)를 폐쇄한 상태로 하고, 모터(15)에 의해 펌프(12)를 구동한다. 이와 같이 하여, 실린더(2) 내에 작동유를 공급함으로써, 액추에이터 유닛(1A)을 수축 작동시킬 수 있다.
이하, 각 부에 대해 상세하게 설명한다. 실린더(2)는 통 형상이며, 한쪽의 단부인 도 1 중 우측 단부는 덮개(13)에 의해 폐색되고, 다른 쪽의 단부인 도 1 중 좌측 단부에는 환상의 로드 가이드(14)가 장착된다. 또한, 실린더(2) 내에 이동 가능하게 삽입되는 로드(4)가, 로드 가이드(14) 내에 미끄럼 이동 가능하게 삽입된다. 로드(4)는, 일단부를 실린더(2) 밖으로 돌출시키고 있고, 타단부는 실린더(2) 내에 미끄럼 이동 가능하게 삽입되는 피스톤(3)에 연결된다.
로드(4)의 외주와 실린더(2) 사이는 도시를 생략한 시일 부재에 의해 시일되고, 이에 의해 실린더(2) 내는 밀폐 상태로 유지된다. 실린더(2) 내에 피스톤(3)에 의해 구획되는 로드측실(5)과 피스톤측실(6)에는, 상술한 바와 같이 작동 유체로서 작동유가 충전된다.
액추에이터 유닛(1A)에서는, 로드(4)의 단면적을 피스톤(3)의 단면적의 2분의 1로 하여, 피스톤(3)의 로드측실(5)측의 수압 면적이 피스톤측실(6)측의 수압 면적의 2분의 1로 되도록 되어 있다. 이로 인해, 신장 작동 시와 수축 작동 시에서 로드측실(5)의 압력을 동일하게 하면, 신축의 양쪽에서 발생되는 추력이 동등해지고, 액추에이터 유닛(1A)의 변위량에 대한 유량도 신축 양측에서 동일해진다.
상세하게 설명하면, 액추에이터 유닛(1A)을 신장 작동시키는 경우, 로드측실(5)과 피스톤측실(6)을 연통시킨 상태로 되므로, 로드측실(5) 내와 피스톤측실(6) 내의 압력이 동등해져, 액추에이터 유닛(1A)은, 피스톤(3)에 있어서의 로드측실(5)측과 피스톤측실(6)측의 수압 면적차에 상기 압력을 곱한 추력을 발생시킨다. 반대로, 액추에이터 유닛(1A)을 수축 작동시키는 경우, 로드측실(5)과 피스톤측실(6)의 연통이 차단되어 피스톤측실(6)이 탱크(7)에 연통된 상태로 되므로, 액추에이터 유닛(1A)은, 로드측실(5) 내의 압력과 피스톤(3)에 있어서의 로드측실(5)측의 수압 면적을 곱한 추력을 발생시킨다. 이와 같이, 액추에이터 유닛(1A)이 발생시키는 추력은 신축의 양쪽에서 피스톤(3)의 단면적의 2분의 1에 로드측실(5)의 압력을 곱한 값으로 된다. 따라서, 액추에이터 유닛(1A)의 추력을 제어하는 경우, 신장 작동, 수축 작동 모두, 로드측실(5)의 압력을 목표한 압력으로 조절하면 된다. 피스톤(3)의 로드측실(5)측의 수압 면적은 피스톤측실(6)측의 수압 면적의 2분의 1이므로, 신축 양측에서 동일한 추력을 발생시키는 경우에는, 신장 시와 수축 시에서 로드측실(5)의 압력을 동일하게 할 수 있어, 제어가 간소해진다. 또한, 변위량에 대한 유량도 동일해지므로 신축 양측에서 응답성이 동일해지는 이점이 있다. 피스톤(3)의 로드측실(5)측의 수압 면적을 피스톤측실(6)측의 수압 면적의 2분의 1로 설정하지 않는 경우에 있어도, 로드측실(5)의 압력으로 액추에이터 유닛(1A)의 신축 양측의 추력의 제어를 할 수 있는 점은 마찬가지이다.
실린더(2) 밖으로 돌출되는 로드(4)의 도 1 중 좌측 단부와 실린더(2)의 우측 단부를 폐색하는 덮개(13)에는, 도시하지 않은 장착부가 설치된다. 장착부에 의해, 액추에이터 유닛(1A)이 차량에 있어서의 차체와 차축 사이에 개재 장착된다.
로드측실(5)과 피스톤측실(6)은, 제1 통로(8)에 의해 연통되고, 제1 통로(8)의 도중에는, 제1 개폐 밸브(9)가 설치된다. 제1 통로(8)는 실린더(2) 밖에서 로드측실(5)과 피스톤측실(6)을 연통하고 있지만, 피스톤(3)에 설치되어도 된다.
액추에이터 유닛(1A)의 제1 개폐 밸브(9)는 전자 개폐 밸브이다. 제1 개폐 밸브(9)는 제1 통로(8)를 개방하여 로드측실(5)과 피스톤측실(6)을 연통하는 연통 포지션(9b) 및 로드측실(5)과 피스톤측실(6)의 연통을 차단하는 차단 포지션(9c)을 갖는 밸브(9a)와, 차단 포지션(9c)을 취하도록 밸브(9a)를 작동하는 스프링(9d)과, 통전 시에 밸브(9a)를 스프링(9d)에 대항하여 연통 포지션(9b)으로 전환하는 솔레노이드(9e)를 갖는다.
피스톤측실(6)과 탱크(7)는, 제2 통로(10)에 의해 연통되고, 제2 통로(10)의 도중에는, 전자 개폐 밸브인 제2 개폐 밸브(11)가 설치되는 제2 개폐 밸브(11)는, 제2 통로(10)를 개방하여 피스톤측실(6)과 탱크(7)를 연통하는 연통 포지션(11b) 및 피스톤측실(6)과 탱크(7)의 연통을 차단하는 차단 포지션(11c)을 갖는 밸브(11a)와, 차단 포지션(11c)을 취하도록 밸브(11a)를 작동하는 스프링(11d)과, 통전 시에 밸브(11a)를 스프링(11d)에 대항하여 연통 포지션(11b)으로 전환하는 솔레노이드(11e)를 갖는다.
펌프(12)는 모터(15)에 의해 구동되고, 일 방향으로만 작동유를 토출하는 펌프이다. 펌프(12)의 토출구는 공급 통로(16)에 의해 로드측실(5)에 연통되고, 흡입구는 탱크(7)에 연통된다. 펌프(12)는 모터(15)에 의해 구동되면, 작동유를 탱크(7)로부터 흡입하여 로드측실(5)에 공급한다. 모터(15)는 컨트롤러(C)로부터 전류 공급을 받아 회전 구동된다. 상술한 바와 같이 펌프(12)는 일 방향으로만 작동유를 토출하므로 회전 방향의 전환 동작이 없어, 회전 전환 시에 토출량이 변화하는 것과 같은 문제는 전무하다. 따라서, 펌프(12)는 저렴한 기어 펌프 등을 사용할 수 있다. 또한, 펌프(12)의 회전 방향이 항상 동일한 방향이므로, 펌프(12)를 구동하는 구동원인 모터(15)도 회전 방향의 전환이 불필요하다. 따라서, 모터(15)는 회전 방향 전환에 대한 높은 응답성이 요구되지 않아, 저렴한 것을 사용할 수 있다.
공급 통로(16)의 도중에는, 로드측실(5)로부터 펌프(12)로의 작동유의 역류를 저지하는 역지 밸브(17)가 설치된다.
로드측실(5)과 탱크(7)는, 제1 배출 통로(18) 및 제2 배출 통로(22)를 통해 접속된다. 제1 배출 통로(18)의 도중에는, 로드측실(5)로부터 탱크(7)로 흐르는 작동유에 대해 제1 압력 유량 특성을 갖는 제1 패시브 밸브(19)와, 전환 밸브인 제3 개폐 밸브(24)가 직렬로 설치된다. 제2 배출 통로(22)의 도중에는, 로드측실(5)로부터 탱크(7)로 흐르는 작동유에 대한 제2 압력 유량 특성을 갖는 제2 패시브 밸브(23)가 설치된다.
제1 배출 통로(18)의 도중에 설치되는 제1 패시브 밸브(19)는 밸브체(19a)와, 밸브체(19a)를 배면측으로부터 작동하는 스프링(19b)을 갖는다. 제1 패시브 밸브(19)는 상류측인 로드측실(5)로부터 작동유가 공급되면 작동유의 흐름에 소정의 저항을 부여한다. 제1 패시브 밸브(19)는, 예를 들어 도 2 중 실선 F1이나 파선 F2로 나타내는 바와 같이, 통과하는 유량에 대해 일의적으로 압력 손실이 결정되는 제1 압력 유량 특성을 갖는다. 제1 패시브 밸브(19)의 제1 압력 유량 특성은, 도 2에 나타낸 특성에 한정되는 것이 아니라, 유량에 대해 압력 손실이 일의적으로 결정되는 특성이면 된다.
액추에이터 유닛(1A)의 제3 개폐 밸브(24)는 전자 개폐 밸브이다. 제3 개폐 밸브(24)는 제1 배출 통로(18)를 개방하는 연통 포지션(24b) 및 제1 배출 통로(18)의 연통을 차단하는 차단 포지션(24c)을 갖는 밸브(24a)와, 연통 포지션(24b)을 취하도록 밸브(24a)를 작동하는 스프링(24d)과, 통전 시에 밸브(24a)를 스프링(24d)에 대항하여 차단 포지션(24c)으로 전환하는 솔레노이드(24e)를 갖는다. 솔레노이드(24e)의 비통전 시에는 밸브(24a)는 연통 포지션으로 전환된다. 제3 개폐 밸브(24)는 제1 패시브 밸브(19)의 하류인 탱크측에 설치되어 있지만, 제1 패시브 밸브(19)의 상류측에 설치되어도 된다.
제2 배출 통로(22)의 도중에 설치되는 제2 패시브 밸브(23)는 오리피스로 이루어지고, 제2 배출 통로(22)를 통과하는 작동유의 흐름에 소정의 저항을 부여한다. 제2 패시브 밸브(23)는 제1 패시브 밸브(19)와 마찬가지로, 통과하는 유량에 대해 일의적으로 압력 손실이 결정되는 제2 압력 유량 특성을 갖는다. 제2 패시브 밸브(23)의 제2 압력 유량 특성은, 도 2 중 실선 F3으로 나타내는 바와 같이, 제곱 특성으로 된다. 제2 패시브 밸브(23)의 제2 압력 유량 특성은, 도 2에 나타낸 특성에 한정되는 것이 아니라, 유량에 대해 압력 손실이 일의적으로 결정되는 특성이며, 제1 패시브 밸브(19)의 제1 압력 유량 특성과 비교하여, 통과하는 유량에 대한 압력 손실이 커지는 특성이면 된다.
액추에이터 유닛(1A)에는, 피스톤측실(6)로부터 로드측실(5)로 향하는 작동유의 흐름만을 허용하는 정류 통로(20)와, 탱크(7)로부터 피스톤측실(6)로 향하는 작동유의 흐름만을 허용하는 흡입 통로(21)가 설치된다.
다음으로, 액추에이터 유닛(1A)의 작동에 대해 설명한다. 액추에이터 유닛(1A)을 작동시키는 경우, 상술한 바와 같이 로드측실(5)의 압력을 제어함으로써 액추에이터 유닛(1A)의 신축 양측의 추력을 제어할 수 있다.
구체적인 방법의 하나로서는, 제2 패시브 밸브(23)의 제2 압력 유량 특성을 이용하여 로드측실(5)의 압력을 조절함으로써, 액추에이터 유닛(1A)의 추력을 원하는 값으로 제어하는 것이 있다.
예를 들어, 액추에이터 유닛(1A)에 신장 방향의 원하는 추력을 출력시키는 경우, 제1 개폐 밸브(9)를 연통 포지션(9b)으로 하고, 제2 개폐 밸브(11)를 차단 포지션(11c)으로 하고, 제3 개폐 밸브(24)를 차단 포지션(24c)으로 한다. 또한, 모터(15)를 구동하여 펌프(12)로부터 실린더(2) 내에 작동유를 공급한다. 이와 같이 함으로써, 로드측실(5)과 피스톤측실(6)이 연통 상태에 놓여 양자에 펌프(12)로부터 작동유가 공급되고, 피스톤(3)이 도 1 중 좌측 방향으로 압박되어 액추에이터 유닛(1A)은 신장 작동한다.
액추에이터 유닛(1A)에 출력시키고자 하는 추력과 로드측실(5)의 압력은 상기한 바와 같이 비례 관계에 있으므로, 출력시키고자 하는 추력에 대응한 로드측실(5)의 압력이 목표 압력으로 된다. 이러한 목표 압력은, 컨트롤러(C)의 연산 처리에 의해 구해진다. 액추에이터 유닛(1A)에 출력시키고자 하는 추력에 대해서는, 컨트롤러(C)보다도 상위의 제어 장치로부터 컨트롤러(C)에 입력하도록 해도 되고, 컨트롤러(C)가 소정의 제어칙에 준하여 연산하도록 해도 된다.
로드측실(5) 내의 압력을 목표 압력으로 하기 위해서는, 제2 패시브 밸브(23)의 제2 압력 유량 특성을 이용한다. 구체적으로 설명하면, 목표 압력으로부터 제2 패시브 밸브(23)를 통과하는 유량을 구하고, 구한 유량대로 제2 패시브 밸브(23)에 작동유를 공급한다. 목표 압력으로부터 유량을 구하기 위해서는, 예를 들어 탱크압이 대기압이며 목표 압력이 α인 경우, 도 2에 나타내는 바와 같이 제2 패시브 밸브(23)의 압력 유량 특성으로부터 압력 α에 대응하는 유량 β를 판독함으로써 구할 수 있다. 목표 압력에 대응하는 유량은, 이러한 압력 유량 특성을 이용하여, 컨트롤러(C)에서 맵 연산을 행하여 구해도 되고, 목표 압력을 파라미터로 한 함수를 사용하여 유량을 구해도 된다. 이와 같이 함으로써, 제2 패시브 밸브(23)에서의 압력 손실이 목표 압력과 동등해진다. 즉, 상기한 바와 같이 구한 유량대로 작동유를 공급함으로써, 제2 패시브 밸브(23)의 상류의 로드측실(5)의 압력은, 탱크압인 대기압보다 목표 압력분만큼 높아져, 제2 패시브 밸브(23)의 상류의 로드측실(5) 내의 압력이 목표 압력으로 된다.
보다 상세하게 설명하면, 펌프(12)로부터 토출된 작동유는, 제2 개폐 밸브(11)가 차단 포지션(11c)으로 되어 있으므로, 실린더(2)를 통해서는 탱크(7)로는 흐르지 않고, 제2 패시브 밸브(23)를 통과하여 탱크(7)로 복귀된다. 이로 인해, 로드측실(5) 내의 압력은, 제2 패시브 밸브(23)의 압력 손실분만큼 탱크(7) 내의 압력보다 높아져, 목표 압력으로 제어된다. 로드측실(5) 내의 압력을 목표 압력으로 할 수 있는 펌프(12)의 토출 유량이 구해지면, 모터(15)의 회전 속도가 일의적으로 구해진다. 모터(15)를 구한 회전 속도로 제어하면, 로드측실(5) 내의 압력이 목표 압력으로 조절되고, 액추에이터 유닛(1A)의 추력이 원하는 크기로 제어된다.
따라서, 컨트롤러(C)는, 목표 압력으로부터 제2 패시브 밸브(23)의 유량을 구하고, 이 유량으로부터 모터(15)의 회전 속도를 구하고, 모터(15)를 구한 회전 속도로 제어한다. 모터(15)의 회전 속도의 제어는, 모터(15)의 회전 속도를 모니터하여, 피드백 제어하도록 하면 된다. 모터(15)가 AC 모터나 브러시리스 모터인 경우, 모터(15)의 로터의 위치를 센싱하는 센서를 이용하여 회전 속도를 모니터하면 된다. 모터(15)가 브러시가 구비된 모터이며 회전 속도를 모니터하는 센서를 갖고 있지 않은 경우에는, 별도, 회전 속도를 모니터하는 센서를 설치하면 된다. 또한, 탱크압이 대기압이 아닌 경우에는, 목표 압력과 탱크압의 차압분의 압력에 대응하는 유량을, 도 2에 나타내는 압력 유량 특성도로부터 판독하고, 판독한 유량을 펌프(12)가 토출하도록 모터(15)의 회전 속도를 제어하면 된다. 이와 같이 함으로써, 제2 패시브 밸브(23)에서의 압력 손실이, 목표 압력과 탱크압의 차분과 동등해지고, 제2 패시브 밸브(23)의 상류측의 압력이 당해 차분만큼 탱크압보다 높아진다. 따라서, 제2 패시브 밸브(23)의 상류의 로드측실(5) 내의 압력이, 목표 압력으로 된다.
반대로, 액추에이터 유닛(1A)에 수축 방향의 원하는 추력을 출력시키는 경우, 제1 개폐 밸브(9)를 차단 포지션(9c)으로 하고, 제2 개폐 밸브(11)를 연통 포지션(11b)으로 하고, 제3 개폐 밸브(24)를 차단 포지션(24c)으로 한다. 또한, 모터(15)를 구동하여 펌프(12)로부터 실린더(2) 내에 작동유를 공급한다. 이와 같이 함으로써, 피스톤측실(6)과 탱크(7)는 연통 상태에 놓임과 함께, 로드측실(5)과 피스톤측실(6)이 차단 상태에 놓여 로드측실(5)에만 펌프(12)로부터 작동유가 공급된다. 따라서, 피스톤(3)이 도 1 중 우측 방향으로 압박되어 액추에이터 유닛(1A)은 수축 작동한다.
이 경우에도 액추에이터 유닛(1A)에 출력시키고자 하는 추력과 로드측실(5)의 압력은 상기한 바와 같이 비례 관계에 있으므로, 출력시키고자 하는 추력에 대응한 로드측실(5)의 압력이 목표 압력으로 된다. 로드측실(5) 내의 압력을 목표 압력으로 하기 위해서는, 상술한 것과 마찬가지로 제2 패시브 밸브(23)의 제2 압력 유량 특성을 이용하면 된다. 이 경우에도, 펌프(12)로부터 토출된 작동유는, 제1 개폐 밸브(9)가 차단 포지션(9c)으로 되어 있으므로, 실린더(2)를 통해서는 탱크(7)로 흐르지 않고, 제2 패시브 밸브(23)를 통과하여 탱크(7)로 복귀된다. 따라서, 상술한 것과 마찬가지로, 펌프(12)의 토출 유량을 구하고, 이 토출 유량으로부터 모터(15)의 회전 속도를 구하고, 모터(15)를 구한 회전 속도로 제어함으로써, 로드측실(5) 내의 압력이 목표 압력으로 조절되고, 액추에이터 유닛(1A)의 추력이 원하는 크기로 제어된다.
액추에이터 유닛(1A)이 신장할 때에는, 실린더(2)에서 작동유가 부족하므로, 펌프(12)로부터 작동유가 실린더(2) 내에 공급된다. 또한, 액추에이터 유닛(1A)이 수축할 때에는, 실린더(2) 내에서 작동유가 과잉으로 되므로 실린더(2) 내로부터 제1 배출 통로(18)를 통해 탱크(7)로 작동유가 배출된다. 즉, 액추에이터 유닛(1A)이 신축하면 제2 패시브 밸브(23)를 통과하는 유량이 변화하므로, 액추에이터 유닛(1A)의 신축 속도가 높아지면, 로드측실(5) 내의 압력을 목표 압력에 추종시킬 때의 제어 응답성이 열화된다. 이로 인해, 로드측실(5) 내의 압력을 검출하는 압력 센서를 설치하고, 로드측실(5) 내의 압력을 피드백하여 모터(15)의 회전 속도를 제어하도록 하면, 로드측실(5) 내의 압력의 목표 압력에 대한 추종성을 향상시킬 수 있다.
다음으로, 액추에이터 유닛(1A)을 작동시키는 구체적인 방법의 두번째로서, 모터(15)의 토크를 제어함으로써 로드측실(5)의 압력을 조절하여, 액추에이터 유닛(1A)의 추력을 원하는 값으로 제어하는 방법에 대해 설명한다.
액추에이터 유닛(1A)에 신장 방향의 원하는 추력을 출력시키는 경우, 제1 개폐 밸브(9)를 연통 포지션(9b)으로 하고, 제2 개폐 밸브(11)를 차단 포지션(11c)으로 하고, 제3 개폐 밸브(24)를 차단 포지션(24c)으로 한다. 또한, 모터(15)를 구동하여 펌프(12)로부터 실린더(2) 내에 작동유를 공급한다. 이와 같이 함으로써, 로드측실(5)과 피스톤측실(6)이 연통 상태에 놓여 양자에 펌프(12)로부터 작동유가 공급되고, 피스톤(3)이 도 1 중 좌측 방향으로 압박되어 액추에이터 유닛(1A)은 신장 작동한다.
이 작동과 함께, 컨트롤러(C)로 모터(15)의 토크를 조절함으로써, 로드측실(5)의 압력을 로드측실(5)의 압력과 피스톤(3)에 있어서의 피스톤측실(6)측과 로드측실(5)측의 수압 면적차를 곱한 값이 상기 원하는 추력으로 되도록 조절한다. 모터(15)의 토크로 펌프(12)를 구동하고 있고, 펌프(12)가 로드측실(5)의 압력을 받으므로, 펌프(12)의 토출 압력에 비례하는 모터(15)의 토크를 조절함으로써 로드측실(5)의 압력을 제어할 수 있다.
구체적으로는, 컨트롤러(C)는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 토크 지령의 입력을 받아 모터(15)에 흐르는 전류를 제어하는 전류 루프(L)를 구비하고 있다. 전류 루프(L)는, 모터(15)의 도시하지 않은 권선에 흐르는 전류를 검출하는 전류 센서(30)와, 토크 지령과 전류 센서(30)에서 검출한 전류의 편차를 연산하는 연산부(31)와, 연산부(31)에서 구한 편차로부터 전류 지령을 생성하는 보상기(32)를 구비하고 있다. 보상기(32)는, 예를 들어 비례 적분 보상이나, 비례 미분 적분 보상과 같은 주지의 보상을 행하지만, 상기 이외의 보상을 행하도록 해도 된다.
컨트롤러(C)는, 액추에이터 유닛(1A)에 출력시키고자 하는 추력에 대응하는 로드측실(5) 내의 압력인 목표 압력을 구하고, 이 목표 압력을 실현하는 데 필요한 토크인 필요 토크를 구하고, 이 필요 토크를 실현하는 전류 지령을 토크 지령으로서 구한다. 또한, 추력으로부터 목표 압력을 구할 수 있고, 목표 압력으로부터 필요 토크를 구할 수 있고, 필요 토크로부터 전류 지령인 토크 지령을 구할 수 있다. 이로 인해, 실제로는, 컨트롤러(C)는, 추력을 파라미터로 하여, 추력으로부터 토크 지령을 직접 구하도록 하면 된다. 구체적으로는, 모터(15)의 토크와 추력의 관계는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 펌프(12)의 마찰 토크를 절편으로 한 1차식으로 근사할 수 있으므로, 추력으로부터 토크 지령을 간단하게 구할 수 있다. 그리고, 추력과 토크 지령은, 상기한 전류 루프(L)에 입력되어, 모터(15)에 전류가 공급되고, 모터(15)의 토크가 토크 지령대로 제어된다. 이에 의해 로드측실(5) 내의 압력이 목표 압력으로 조절되고, 그 결과, 액추에이터 유닛(1A)이 출력하는 추력이 원하는 추력의 크기로 제어되게 된다.
반대로, 액추에이터 유닛(1A)에 수축 방향의 원하는 추력을 출력시키는 경우, 제1 개폐 밸브(9)를 차단 포지션(9c)으로 하고, 제2 개폐 밸브(11)를 연통 포지션(11b)으로 하고, 제3 개폐 밸브(24)를 차단 포지션(24c)으로 한다. 또한, 모터(15)를 구동하여 펌프(12)로부터 실린더(2) 내에 작동유를 공급한다. 이와 같이 함으로써, 피스톤측실(6)과 탱크(7)는 연통 상태에 놓임과 함께, 로드측실(5)과 피스톤측실(6)이 차단 상태에 놓여 로드측실(5)에만 펌프(12)로부터 작동유가 공급된다. 따라서, 피스톤(3)이 도 1 중 우측 방향으로 압박되어 액추에이터 유닛(1A)은 수축 작동한다.
이 작동과 함께, 상기한 수순과 마찬가지로 하여, 컨트롤러(C)로 모터(15)의 토크를 조절하여 로드측실(5)의 압력과 피스톤(3)에 있어서의 로드측실(5)측의 수압 면적을 곱한 값이 상기 원하는 추력과 동일해지도록 로드측실(5)의 압력을 조절하면 된다.
또한, 펌프(12)를 구동하지 않고, 액추에이터 유닛(1A)을 댐퍼로서 기능시키는 경우에는, 제1 개폐 밸브(9)와 제2 개폐 밸브(11)를 모두 차단 포지션(9c, 11c)으로 하고, 제3 개폐 밸브(24)를 연통 포지션(24b)으로 한다. 액추에이터 유닛(1A)이 신축하면, 실린더(2) 내로부터 작동유가 압출되어 제1 패시브 밸브(19)를 통해 탱크(7)로 작동유가 배출된다. 실린더(2) 내에서 작동유가 부족한 경우에는, 작동유가 탱크(7)로부터 흡입 통로(21)를 통해 실린더(2) 내에 공급된다. 따라서, 액추에이터 유닛(1A)은, 제1 패시브 밸브(19)의 압력 손실에 따른 감쇠력을 발휘한다.
이와 같이, 액추에이터 유닛(1A)은 신장 및 수축 방향의 쌍방향으로 추력을 발휘할 수 있고, 가변 릴리프 밸브를 사용하지 않아도, 그 추력을 간단하게 제어할 수 있다.
또한, 액추에이터 유닛(1A)에서는, 제2 패시브 밸브(23)의 제2 압력 유량 특성이 제1 패시브 밸브(19)의 제1 압력 유량 특성과 비교하여, 통과하는 유량에 대한 압력 손실이 커지도록 설정됨과 함께, 제3 개폐 밸브(전환 밸브)(24)로 제1 패시브 밸브(19)를 설치한 제1 배출 통로(18)를 차단할 수 있다. 이로 인해, 제1 패시브 밸브(19)의 압력 유량 특성을 액추에이터 유닛(1A)에 있어서의 원하는 감쇠 특성(피스톤 속도에 대한 감쇠력 변화)을 실현하기 위해 최적의 특성으로 할 수 있다. 예를 들어, 이 제1 패시브 밸브(19)의 압력 유량 특성이 도 2 중 실선 F1로 나타내는 바와 같은 특성이었다고 해도, 액추에이터 유닛(1A)에 추력을 발생시키는(액추에이터로서 기능시키는) 경우에는, 제1 배출 통로(18)를 차단함으로써, 펌프(12)의 적은 토출량으로 로드측실(5)의 압력을 목표 압력으로 할 수 있다. 또한, 모터 속도의 변화율을 낮춰 응답성을 향상시키거나, 펌프(12)의 내구성을 향상시키거나, 펌프(12)의 소음을 억제할 수 있다. 또한, 액추에이터 유닛(1A)을 댐퍼로서 기능시킬 때에는, 제1 배출 통로(18)를 연통함으로써, 액추에이터 유닛(1A)에 있어서의 원하는 감쇠 특성을 실현할 수 있다.
따라서, 제1, 제2 패시브 밸브(19, 23)를 이용하고, 펌프(12)의 토출량을 조정하여 실린더(2) 내의 압력을 제어함으로써, 액추에이터 유닛(1A)에 있어서의 원하는 감쇠 특성을 용이하게 실현하는 것이 가능해진다.
또한, 본 실시 형태의 경우, 제2 패시브 밸브(23)가 오리피스이며, 오리피스 영역을 형성하고 있으므로, 액추에이터로서 기능시키는 경우에, 모터(15)의 회전 속도를 제로 이상으로 유지할 수 있다. 따라서, 모터(15)의 정지와 가속이 반복됨으로써, 소비 전력이 증가하거나, 베어링의 수명이 짧아지는 것을 억제할 수 있다.
또한, 본 실시 형태의 경우, 펌프(12)의 하류인 공급 통로(16)의 도중에 역지 밸브(17)가 설치되므로, 외력에 의해 액추에이터 유닛(1A)이 강제적으로 신축하는 경우라도, 로드측실(5)로부터 펌프(12)로의 작동유의 역류가 저지되고, 모터(M)의 토크에 의한 추력 이상의 추력을 얻을 수 있다.
다음으로, 본 발명의 다른 실시 형태에 관한 액추에이터 유닛(1B)에 대해 설명한다. 다른 실시 형태에 관한 액추에이터 유닛(1B)의 기본적인 구성은, 일 실시 형태에 있어서의 액추에이터 유닛(1A)과 마찬가지이며, 일 실시 형태와 마찬가지의 구성에 대해서는, 동일 부호를 부여하여 상세한 설명을 생략한다. 다른 실시 형태에 있어서의 액추에이터 유닛(1B)은, 제2 배출 통로(22)의 도중에 제2 패시브 밸브(23)와 병렬로 설치되는 제3 패시브 밸브(25)와, 제2 배출 통로(22)의 연통을 허용 또는 차단하는 제4 개폐 밸브(26)를 구비한다. 제4 개폐 밸브(26)와 제3 개폐 밸브(24)가 청구항 1의 전환 밸브에 상당한다.
액추에이터 유닛(1B)을 신장 작동시키는 경우에는, 제1 개폐 밸브(9)로 제1 통로(8)를 연통 상태로 함과 함께 제2 개폐 밸브(11)를 폐쇄한 상태로 하고, 모터(15)로 펌프(12)를 구동한다. 이와 같이 하여, 실린더(2) 내에 작동유를 공급함으로써, 이 액추에이터 유닛(1B)을 신장 작동시킬 수 있다. 반대로, 액추에이터 유닛(1B)을 수축 작동시키는 경우에는, 제2 개폐 밸브(11)로 제2 통로(10)를 연통 상태로 함과 함께 제1 개폐 밸브(9)를 폐쇄한 상태로 하고, 모터(15)로 펌프(12)를 구동하여, 실린더(2) 내에 작동유를 공급함으로써, 액추에이터 유닛(1B)을 수축 작동시킬 수 있다.
액추에이터 유닛(1B)에서는, 제2 배출 통로(22)는, 주(主) 통로(22a)와, 주 통로(22a)로부터 분기하여 다시 주 통로(22a)에 합류하는 지(支) 통로(22b)를 갖는다. 주 통로(22a)의 도중에는 오리피스로 이루어지는 제2 패시브 밸브(23)가 설치되고, 지 통로(22b)의 도중에는 제3 패시브 밸브(25)가 설치된다.
제3 패시브 밸브(25)는, 밸브체(25a)와, 주 통로(22a)를 차단시키는 방향으로 밸브체(25a)를 작동하는 스프링(25b)을 갖는 릴리프 밸브이다. 밸브체(25a)에 작용하는 제2 배출 통로(22)의 상류로 되는 로드측실(5)의 압력이 밸브 개방압을 초과하면, 주 통로(22a)를 개방시키는 방향으로 밸브체(25a)를 압박하는 로드측실(5)의 압력에 기인하는 추력이 스프링(25b)의 작동력을 극복하게 되어, 밸브체(25a)를 후퇴시켜 주 통로(22a)를 개방한다. 제3 패시브 밸브(25)도, 통과하는 유량에 대해 일의적으로 압력 손실이 결정되는 제3 압력 유량 특성을 갖는다. 제3 압력 유량 특성은, 도 6 중 2점 쇄선 F4로 나타내는 바와 같이, 제1 패시브 밸브(19)의 제1 압력 유량 특성(도 6 중 실선 F1)과 비교하여, 통과하는 유량에 대한 압력 손실이 커지도록 설정된다. 또한, 제3 압력 유량 특성은, 통과하는 유량에 대응하는 압력이 도 6 중 실선 F6으로 나타내는 모터(15)의 토크를 최대로 하였을 때의 압력보다도 하측으로 되도록 설정되어 있다. 즉, 제3 압력 유량 특성은, 통과하는 유량에 대응하는 압력이 모터(15)의 토크를 최대로 하였을 때의 압력을 초과하지 않도록 설정된다.
오리피스로 이루어지는 제2 패시브 밸브(23)의 압력 유량 특성은, 상술한 바와 같이, 도 6 중 1점 쇄선 F3으로 나타내는 바와 같은 제곱 특성을 갖는다. 따라서, 제2 배출 통로(22)를 작동유가 통과할 때의 압력 유량 특성은, 도 6 중 실선 F5로 나타내는 바와 같이, 제2 패시브 밸브(23)와 제3 패시브 밸브(25)의 압력 유량 특성을 합성한 특성으로 된다.
제3 개폐 밸브(24)와 함께 전환 밸브를 구성하는 제4 개폐 밸브(26)는, 전자 개폐 밸브이다. 주 통로(22a) 및 지 통로(22b) 양쪽을 개방하는 연통 포지션(26b) 및 주 통로(22a) 및 지 통로(22b) 양쪽의 연통을 차단하는 차단 포지션(26c)을 갖는 밸브(26a)와, 차단 포지션(26c)을 취하도록 밸브(26a)를 작동하는 스프링(26d)과, 통전 시에 밸브(26a)를 스프링(26d)에 대항하여 연통 포지션(26b)으로 전환하는 솔레노이드(26e)를 갖는다. 제4 개폐 밸브(26)는, 제2 패시브 밸브(23) 및 제3 패시브 밸브(25)의 하류인 탱크측에 설치되어 있지만, 제2 패시브 밸브(23) 및 제3 패시브 밸브(25)의 상류측에 설치해도 된다.
다음으로, 액추에이터 유닛(1B)의 작동에 대해 설명한다. 액추에이터 유닛(1B)을 작동시키는 경우, 상술한 바와 같이 로드측실(5)의 압력을 제어함으로써 액추에이터 유닛(1B)의 신축 양측의 추력을 제어할 수 있다.
구체적인 방법의 첫번째는, 제2 패시브 밸브(23) 및 제3 패시브 밸브(25)의 합성의 압력 유량 특성을 이용하여 로드측실(5)의 압력을 조절함으로써, 액추에이터 유닛(1B)의 추력을 원하는 값으로 제어하는 것이 있다. 이 제어 방법에 대해서는, 일 실시 형태에 있어서 제2 패시브 밸브(23)의 압력 유량 특성을 이용하여, 액추에이터 유닛(1A)의 추력을 원하는 값으로 제어하는 경우와 마찬가지이므로, 여기에서의 상세한 설명을 생략한다.
또한, 액추에이터 유닛(1B)을 작동시키는 구체적인 방법의 두번째로서, 모터(15)의 토크를 제어함으로써 로드측실(5)의 압력을 조절하여, 액추에이터 유닛(1B)의 추력을 원하는 값으로 제어하는 것이 있다. 이 제어 방법에 대해서도, 일 실시 형태에 있어서 모터(15)의 토크를 제어함으로써, 액추에이터 유닛(1A)의 추력을 원하는 값으로 제어하는 경우와 마찬가지이므로, 여기에서의 상세한 설명을 생략한다.
그리고, 어느 방법으로 액추에이터 유닛(1B)의 추력을 원하는 값으로 제어한다고 해도, 액추에이터 유닛(1B)에 신장 방향의 원하는 추력을 출력시키는 경우에는, 제1 개폐 밸브(9)를 연통 포지션(9b)으로 하고, 제2 개폐 밸브(11)를 차단 포지션(11c)으로 한다. 또한, 제3 개폐 밸브(24)를 차단 포지션(24c)으로 하고, 제4 개폐 밸브(26)를 연통 포지션(26b)으로 한다. 또한, 모터(15)를 구동하여 펌프(12)로부터 실린더(2) 내에 작동유를 공급한다. 이와 같이 함으로써, 로드측실(5)과 피스톤측실(6)이 연통 상태에 놓여 양자에 펌프(12)로부터 작동유가 공급되고, 피스톤(3)이 도 5 중 좌측 방향으로 압박되어 액추에이터 유닛(1B)은 신장 작동한다.
반대로, 어느 방법으로 액추에이터 유닛(1B)의 추력을 원하는 값으로 제어한다고 해도, 액추에이터 유닛(1B)에 수축 방향의 원하는 추력을 출력시키는 경우에는, 제1 개폐 밸브(9)를 차단 포지션(9c)으로 하고, 제2 개폐 밸브(11)를 연통 포지션(11b)으로 한다. 또한, 제3 개폐 밸브(24)를 차단 포지션(24c)으로 하고, 제4 개폐 밸브(26)를 연통 포지션(26b)으로 한다. 또한, 모터(15)를 구동하여 펌프(12)로부터 실린더(2) 내에 작동유를 공급한다. 이와 같이 함으로써, 피스톤측실(6)과 탱크(7)는 연통 상태에 놓임과 함께, 로드측실(5)과 피스톤측실(6)이 차단 상태에 놓여 로드측실(5)에만 펌프(12)로부터 작동유가 공급되고, 피스톤(3)이 도 5 중 우측 방향으로 압박되어 액추에이터 유닛(1B)은 수축 작동한다.
또한, 펌프(12)를 구동하지 않고, 액추에이터 유닛(1B)을 댐퍼로서 기능시키는 경우에는, 제1 개폐 밸브(9), 제2 개폐 밸브(11) 및 제4 개폐 밸브(26)를 모두 차단 포지션(9c, 11c, 26c)으로 하고, 제3 개폐 밸브(24)를 연통 포지션(24b)으로 한다. 이와 같이 함으로써, 신축에 의해 실린더(2) 내로부터 작동유가 압출되면 제1 패시브 밸브(19)를 통해 작동유가 탱크(7)로 배출되고, 실린더(2) 내에서 작동유가 부족한 경우에는 탱크(7)로부터 흡입 통로(21)를 통해 작동유가 실린더(2) 내에 공급된다. 따라서, 액추에이터 유닛(1B)은, 제1 패시브 밸브(19)의 압력 손실에 따른 감쇠력을 발휘한다.
이와 같이, 액추에이터 유닛(1B)은, 일 실시 형태와 마찬가지로, 신장 및 수축 방향의 쌍방향으로 추력을 발휘할 수 있고, 가변 릴리프 밸브를 사용하지 않아도, 그 추력을 간단하게 제어할 수 있다.
즉, 액추에이터 유닛(1B)도, 가변 릴리프 밸브를 사용하지 않고, 통과하는 유량에 대해 일의적으로 압력 손실이 결정되는 압력 유량 특성을 갖는 제1, 제2, 제3 패시브 밸브(19, 23, 25)를 설치하고, 펌프(12)의 토출량을 조정하여 실린더(2) 내의 압력을 제어할 수 있으므로, 소형화하고 또한 저비용화할 수 있다.
또한, 액추에이터 유닛(1B)은, 제2 패시브 밸브(23)와 제3 패시브 밸브(25)의 합성의 압력 유량 특성이 제1 패시브 밸브(19)의 제1 압력 유량 특성과 비교하여, 통과하는 유량에 대한 압력 손실이 커지도록 설정됨과 함께, 제1 패시브 밸브(19)를 설치한 제1 배출 통로(18)를 차단할 수 있다. 이로 인해, 제1 패시브 밸브(19)의 압력 유량 특성을 액추에이터 유닛(1B)에 있어서의 원하는 감쇠 특성(피스톤 속도에 대한 감쇠력 변화)을 실현하기 위해 최적의 특성으로 할 수 있다. 예를 들어, 제1 패시브 밸브(19)의 압력 유량 특성이 도 2 중 실선 F1로 나타내는 바와 같은 특성이었다고 해도, 액추에이터 유닛(1B)에 추력을 발생시키는(액추에이터로서 기능시키는) 경우에는, 제1 배출 통로(18)를 차단함으로써, 적은 펌프(12)의 토출량으로 로드측실(5)의 압력을 목표 압력으로 할 수 있다. 또한, 모터 속도의 변화율을 낮춰 응답성을 향상시키거나, 펌프(12)의 내구성을 향상시키거나, 펌프(12)의 소음을 억제할 수 있다. 또한, 액추에이터 유닛(1B)을 댐퍼로서 기능시킬 때에 제1 배출 통로(18)를 연통함으로써, 원하는 감쇠 특성을 실현할 수 있다.
따라서, 제1, 제2, 제3 패시브 밸브(19, 23, 25)를 이용하고, 펌프(12)의 토출량을 조정하여 실린더(2) 내의 압력을 제어함으로써, 원하는 감쇠 특성을 용이하게 실현하는 것이 가능해진다.
또한, 액추에이터 유닛(1B)은, 제3 패시브 밸브(25)가 릴리프 밸브로 이루어지고, 제1 배출 통로(18)를 차단 상태로 하였을 때의 로드측실(5)의 압력을 모터(15)의 토크를 최대로 하였을 때의 압력보다도 작게 유지할 수 있다. 이로 인해, 고추력 지령 시에 지령 토크가 모터(15)의 토크를 초과하여 모터(15)가 스톨하는 것을 억제할 수 있다.
또한, 액추에이터 유닛(1B)도, 액추에이터 유닛(1A)과 마찬가지로, 제2 패시브 밸브(23)가 오리피스로 이루어지고, 오리피스 영역을 형성하고 있으므로, 액추에이터로서 기능시키는 경우에, 모터(15)의 회전 속도를 제로 이상으로 유지할 수 있다. 따라서, 모터(15)의 정지와 가속이 반복됨으로써, 소비 전력이 증가하거나, 베어링의 수명이 짧아지는 것을 억제할 수 있다.
또한, 액추에이터 유닛(1B)에도, 펌프(12)의 하류인 공급 통로(16)의 도중에 역지 밸브(17)가 설치된다. 이로 인해, 외력에 의해 액추에이터 유닛(1B)이 강제적으로 신축시켜지는 경우에 있어도, 로드측실(5)로부터 펌프(12)로의 작동유의 역류가 저지되므로, 모터(M)의 토크에 의한 추력 이상의 추력을 얻을 수 있다.
이상, 본 발명의 실시 형태에 대해 설명하였지만, 상기 실시 형태는 본 발명의 적용예의 일부를 나타낸 것에 지나지 않고, 본 발명의 기술적 범위를 상기 실시 형태의 구체적 구성에 한정하는 취지는 아니다.
예를 들어, 일 실시 형태에 있어서는, 실린더(2) 내의 에어를 배출하기 위한 에어 배출 구멍을 제2 패시브 밸브(23)로서 이용할 수 있다. 다른 실시 형태에 있어서는, 실린더(2) 내의 에어를 배출하기 위한 에어 배출 구멍을 제2 패시브 밸브(23)로서 이용하는 것은 곤란하므로, 상기 구성에 더하여 에어를 배출하기 위한 에어 배출 오리피스를 추가해도 된다.
또한, 모터(15)의 토크를 제어함으로써 로드측실(5)의 압력을 조절하고 액추에이터 유닛(1A, 1B)의 추력을 원하는 값으로 제어하는 경우에는, 제2 패시브 밸브(23)가 상기 제3 패시브 밸브(25)와 마찬가지로 구성되는 릴리프 밸브로 이루어지고, 오리피스와 병렬시키지 않는 구성으로 해도 되지만, 이 경우, 펌프(12)의 기동 토크 이하의 영역에 있어서의 제어가 곤란하다.
또한, 일 실시 형태에서는, 제2 배출 통로(22)는, 상시 연통이 허용되고 있다. 이것 대신에, 제2 배출 통로(22)에 전환 밸브로서의 개폐 밸브를 설치해도 된다. 이 경우에는, 당해 개폐 밸브는, 액추에이터 유닛(1A)을 액추에이터로서 기능시키는 경우에는, 제2 배출 통로(22)의 연통을 허용하고, 댐퍼로서 기능시키는 경우에는, 제2 배출 통로(22)의 연통을 허용 또는 차단하도록 하면 된다.
또한, 일 실시 형태와 같이, 액추에이터 유닛(1A)을 댐퍼로서 기능시킬 때에, 제1 배출 통로(18)와 제2 배출 통로(22)의 양쪽의 연통을 허용하는 경우에는, 제1 패시브 밸브(19)에 의한 압력 손실과 제2 패시브 밸브(23)에 의한 압력 손실이 동일해도 된다. 이 경우에는, 액추에이터 유닛(1A)을 액추에이터로서 기능시킬 때, 제1 배출 통로(18)의 연통을 차단함으로써, 펌프(12)의 적은 토출량으로 로드측실(5)의 압력을 목표 압력으로 할 수 있다. 제1 배출 통로(18) 및 제2 배출 통로(22)의 양쪽에 전환 밸브로서의 개폐 밸브를 설치하는 경우에는, 어느 한쪽의 연통을 차단함으로써, 액추에이터 유닛을 액추에이터로서 기능시킬 때에, 펌프(12)의 적은 토출량으로 로드측실(5)의 압력을 목표 압력으로 할 수 있다.
또한, 다른 실시 형태에 있어서, 전환 밸브가 제3 개폐 밸브(24)와 제4 개폐 밸브(26)로 이루어지지만, 도 7에 도시하는 바와 같이, 전환 밸브가 전자 방향 제어 밸브(27)이며, 제1 배출 통로(18)의 연통을 허용함과 함께 제2 배출 통로(22)의 연통을 차단하는 제1 포지션(27b) 및 제1 배출 통로(18)의 연통을 차단함과 함께 제2 배출 통로(22)의 연통을 허용하는 제2 포지션(27c)을 갖는 밸브(27a)와, 제1 포지션(27b)을 취하도록 밸브(27a)를 작동하는 스프링(27d)과, 통전 시에 밸브(27a)를 스프링(27d)에 대항하여 제2 포지션(27c)으로 전환하는 솔레노이드(27e)를 가지고 있어도 된다.
또한, 상기 실시 형태에 있어서, 제1, 제2, 제3, 제4 개폐 밸브(9, 11, 24, 26)는 전자 밸브였지만, 기계식 등 전자 밸브 이외의 밸브를 사용해도 된다.
본원은 2013년 2월 26일에 일본 특허청에 출원된 일본 특허 출원 제2013-035238호에 기초하는 우선권을 주장하고, 이 출원의 모든 내용은 참조에 의해 본 명세서에 포함된다.

Claims (7)

  1. 액추에이터 유닛이며,
    실린더와,
    상기 실린더 내에 미끄럼 이동 가능하게 삽입되어 상기 실린더 내를 로드측실과 피스톤측실로 구획하는 피스톤과,
    상기 실린더 내에 삽입되어 상기 피스톤에 연결되는 로드와,
    탱크와,
    상기 로드측실과 상기 피스톤측실을 연통하는 제1 통로에 설치되는 제1 개폐 밸브와,
    상기 피스톤측실과 상기 탱크를 연통하는 제2 통로에 설치되는 제2 개폐 밸브와,
    상기 탱크로부터 상기 피스톤측실로 향하는 작동 유체의 흐름만을 허용하는 흡입 통로와,
    상기 피스톤측실로부터 상기 로드측실로 향하는 작동 유체의 흐름만을 허용하는 정류 통로와,
    상기 로드측실에 작동 유체를 공급하는 펌프와,
    상기 펌프를 구동하는 모터와,
    상기 로드측실을 상기 탱크에 접속하는 제1 배출 통로 및 제2 배출 통로와,
    상기 제1 배출 통로에 설치되어 제1 압력 유량 특성을 갖는 제1 패시브 밸브와,
    상기 제2 배출 통로에 설치되어 제2 압력 유량 특성을 갖는 제2 패시브 밸브와,
    상기 제1 배출 통로 및 상기 제2 배출 통로 중 적어도 한쪽의 연통을 허용하는 연통 포지션과, 차단하는 차단 포지션을 전환 가능한 전환 밸브를 구비하고,
    상기 전환 밸브는, 제1 개폐 밸브 및 제2 개폐 밸브의 한쪽을 개방하여 펌프를 구동하는 액추에이터 동작과, 제1 개폐 밸브와 제2 개폐 밸브를 모두 폐쇄하여 펌프의 구동을 정지시키는 댐퍼 동작에 따라, 상기 연통 포지션과 상기 차단 포지션을 전환하도록 구성되는, 액추에이터 유닛.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 전환 밸브는, 적어도 상기 제1 배출 통로의 연통을 허용 또는 차단하고,
    상기 제2 패시브 밸브의 상기 제2 압력 유량 특성은, 상기 제1 패시브 밸브의 상기 제1 압력 유량 특성과 비교하여, 통과하는 유량에 대한 압력 손실이 커지도록 설정되는, 액추에이터 유닛.
  4. 제3항에 있어서, 상기 전환 밸브는 상기 액추에이터 동작에서는 차단 포지션으로 전환되고, 상기 댐퍼 동작에서는 연통 포지션으로 전환되도록 구성되는, 액추에이터 유닛.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제2 패시브 밸브는, 오리피스로 이루어지는, 액추에이터 유닛.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제2 배출 통로에 상기 제2 패시브 밸브와 병렬로 설치되어 제3 압력 유량 특성을 갖는 제3 패시브 밸브를 더 구비하고,
    상기 전환 밸브는, 상기 제1 배출 통로에 설치되고,
    상기 제3 패시브 밸브는, 릴리프 밸브로 이루어지고,
    상기 제3 압력 유량 특성은, 상기 제1 패시브 밸브의 상기 제1 압력 유량 특성과 비교하여, 통과하는 유량에 대한 압력 손실이 커지도록 설정됨과 함께, 상기 전환 밸브가 상기 차단 포지션으로 전환되어 상기 제1 배출 통로를 차단 상태로 하였을 때의 상기 로드측실의 압력을 상기 모터의 토크를 최대로 하였을 때의 압력보다도 작게 유지할 수 있도록 설정되는, 액추에이터 유닛.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 전환 밸브는, 상기 연통 포지션 및 상기 차단 포지션을 갖는 밸브와, 상기 밸브를 작동하는 스프링과, 통전 시에 상기 스프링에 대항하는 솔레노이드를 갖는 전자 밸브이며, 비통전 시에는 상기 제1 배출 통로 및 상기 제2 배출 통로 중 적어도 한쪽의 연통을 허용하도록 전환하는, 액추에이터 유닛.
KR1020157021067A 2013-02-26 2014-01-29 액추에이터 유닛 KR101720448B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013035238A JP5608252B2 (ja) 2013-02-26 2013-02-26 アクチュエータ
JPJP-P-2013-035238 2013-02-26
PCT/JP2014/051958 WO2014132732A1 (ja) 2013-02-26 2014-01-29 アクチュエータユニット

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20150104594A KR20150104594A (ko) 2015-09-15
KR101720448B1 true KR101720448B1 (ko) 2017-03-27

Family

ID=51428006

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020157021067A KR101720448B1 (ko) 2013-02-26 2014-01-29 액추에이터 유닛

Country Status (8)

Country Link
US (1) US10150488B2 (ko)
EP (1) EP2963303B1 (ko)
JP (1) JP5608252B2 (ko)
KR (1) KR101720448B1 (ko)
CN (1) CN104956095B (ko)
CA (1) CA2900232C (ko)
ES (1) ES2651848T3 (ko)
WO (1) WO2014132732A1 (ko)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10851811B2 (en) * 2015-09-10 2020-12-01 Festo Se & Co. Kg Fluid system and process valve
KR102486887B1 (ko) * 2016-06-17 2023-01-11 에이치엘만도 주식회사 유압 액추에이터 및 이를 포함하는 차량용 액티브 서스펜션 장치
JP6725356B2 (ja) * 2016-07-29 2020-07-15 Ｋｙｂ株式会社 鉄道車両用制振装置
JP6879695B2 (ja) * 2016-08-30 2021-06-02 Ｋｙｂ株式会社 セミアクティブダンパ
JP7137160B2 (ja) * 2018-06-13 2022-09-14 Smc株式会社 エアシリンダの流体回路

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002066800A (ja) * 2000-08-25 2002-03-05 Sugiyasu Kogyo Kk 圧縮装置
JP2009160956A (ja) * 2007-12-28 2009-07-23 Kayaba Ind Co Ltd サスペンション装置
JP2010137795A (ja) * 2008-12-15 2010-06-24 Nippon Sharyo Seizo Kaisha Ltd 鉄道車両の制振装置
JP2011202675A (ja) * 2010-03-24 2011-10-13 Kyb Co Ltd アクチュエータユニット

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50127172U (ko) * 1974-04-01 1975-10-18
JPS5670359U (ko) * 1979-10-31 1981-06-10
JPS5841798U (ja) * 1981-09-11 1983-03-19 三菱重工業株式会社 フオ−クリフト等におけるリフトシリンダの油圧回路
JPS5943567U (ja) * 1982-09-08 1984-03-22 株式会社小松製作所 建設機械の作業機油圧回路
JPS61244903A (ja) * 1985-04-23 1986-10-31 Kubota Ltd 油圧装置のアクチェータ駆動圧制御装置
JPS61294031A (ja) * 1985-06-19 1986-12-24 Hitachi Constr Mach Co Ltd 掘削機の油圧回路
JPH1073101A (ja) * 1996-06-24 1998-03-17 Kobe Steel Ltd 油圧機械の油圧駆動装置
US6360538B1 (en) * 1999-07-27 2002-03-26 Caterpillar Inc. Method and an apparatus for an electro-hydraulic system on a work machine
JP4198308B2 (ja) * 2000-08-14 2008-12-17 カヤバ工業株式会社 制振用ダンパ及び制振システム
JP5364323B2 (ja) * 2008-09-12 2013-12-11 カヤバ工業株式会社 シリンダ装置
JP2009180377A (ja) * 2009-05-11 2009-08-13 Tokai Rubber Ind Ltd バルブ内蔵コネクタ
JP5462110B2 (ja) * 2009-09-22 2014-04-02 日本車輌製造株式会社 鉄道車両の制振用ダンパ
JP2011089537A (ja) * 2009-10-20 2011-05-06 Fuji Heavy Ind Ltd 作業車両
JP5822335B2 (ja) * 2011-05-30 2015-11-24 Ｋｙｂ株式会社 鉄道車両用制振装置
WO2013015358A1 (ja) * 2011-07-28 2013-01-31 日立オートモティブシステムズ株式会社 鉄道車両用ダンパ

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002066800A (ja) * 2000-08-25 2002-03-05 Sugiyasu Kogyo Kk 圧縮装置
JP2009160956A (ja) * 2007-12-28 2009-07-23 Kayaba Ind Co Ltd サスペンション装置
JP2010137795A (ja) * 2008-12-15 2010-06-24 Nippon Sharyo Seizo Kaisha Ltd 鉄道車両の制振装置
JP2011202675A (ja) * 2010-03-24 2011-10-13 Kyb Co Ltd アクチュエータユニット

Also Published As

Publication number Publication date
ES2651848T3 (es) 2018-01-30
CA2900232A1 (en) 2014-09-04
KR20150104594A (ko) 2015-09-15
JP5608252B2 (ja) 2014-10-15
US10150488B2 (en) 2018-12-11
US20160001795A1 (en) 2016-01-07
EP2963303A1 (en) 2016-01-06
JP2014163452A (ja) 2014-09-08
CA2900232C (en) 2017-08-29
CN104956095A (zh) 2015-09-30
WO2014132732A1 (ja) 2014-09-04
EP2963303A4 (en) 2016-11-23
CN104956095B (zh) 2016-11-09
EP2963303B1 (en) 2017-11-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101683358B1 (ko) 액추에이터
KR101319641B1 (ko) 실린더 장치
KR101671607B1 (ko) 액추에이터
KR101720448B1 (ko) 액추에이터 유닛
WO2012165471A1 (ja) 鉄道車両用制振装置
KR101675660B1 (ko) 액추에이터
US10066646B2 (en) Actuator unit
KR101718268B1 (ko) 액추에이터 유닛
US20190024343A1 (en) Excavator and control valve for excavator
US20150033720A1 (en) Hydraulic Motor Drive System and Method
EP2989350B1 (en) Hydraulic circuit for the transmissions of industrial and agricultural vehicles
JP6725356B2 (ja) 鉄道車両用制振装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant