KR101712858B1

KR101712858B1 - Stocker apparatus

Info

Publication number: KR101712858B1
Application number: KR1020150184807A
Authority: KR
Inventors: 이종태; 유장원; 이현균
Original assignee: 주식회사 에스에프에이
Priority date: 2015-12-23
Filing date: 2015-12-23
Publication date: 2017-03-07

Abstract

A stocker apparatus is disclosed. According to an embodiment of the present invention, the stocker apparatus comprises: a stocker body; and a fork unit connected to the stocker body to move up and down, and loading a cassette onto a cassette shelf and unloading the cassette from the cassette shelf. The fork unit comprises: a carriage; an up/down frame, capable of moving up and down, one side of which is connected to the carriage and the other side of which is connected to the stocker body; and a level balancing unit connected to both the carriage and the up/down frame and carrying out level balancing operation to reduce a level deviation of the carriage.

Description

STOCKER APPARATUS

본 발명은, 스토커 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 캐리지의 레벨 편차를 줄이기 위한 레벨 밸런싱(balancing) 작업을 정밀하게 수행할 수 있음은 물론, 장치마다 레벨 편차의 예측이 가능하기 때문에 장치의 셋업(set up)에 따른 시간과 비용을 종래보다 현저하게 감소시킬 수 있는 스토커 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a stalker apparatus, more particularly, to a method and apparatus for accurately balancing a level of a carriage, a level balancing operation for reducing a level deviation of a carriage, To a stalker device capable of remarkably reducing the time and cost according to set up.

전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평면디스플레이(Flat Panel Display, FPD)가 등장하고 있다.As the electronic display industry rapidly develops, flat panel displays (FPDs) are emerging.

평면디스플레이(FPD)는 TV나 컴퓨터 모니터, 단말기 등의 디스플레이(Display) 용도로 사용되는 것으로서, 이에는 액정표시장치(LCD, liquid crystal display), 유기전계발광다이오드(OLED, Organic Light Emitting Diodes) 등이 포함될 수 있다.2. Description of the Related Art A flat panel display (FPD) is used for a display such as a TV, a computer monitor, and a terminal, and includes a liquid crystal display (LCD), an organic light emitting diode (OLED) May be included.

액정표시장치(LCD) 또는 유기전계발광다이오드(OLED, Organic Light Emitting Diodes)와 같은 평면디스플레이에서 기판(Glass)의 역할과 기능은 극히 중요한데, 이는 기판에 형성되는 다수의 회로소자의 기능에 따라 평면디스플레이의 전체적인 품질이 영향을 받기 때문이다. 평면디스플레이용 기판은 그 특성상 외부로부터 가해지는 충격에 매우 취약한 성질을 가지고 있기 때문에 취급에 있어서 특별한 주의가 요구된다.The role and function of a glass in a flat panel display such as a liquid crystal display (LCD) or an organic light emitting diode (OLED) is extremely important because it depends on the functions of a plurality of circuit elements formed on the substrate This is because the overall quality of the display is affected. The substrate for a flat display has a property that it is very susceptible to impact from the outside due to its characteristics, so special care is required in handling.

한편, 평면디스플레이를 제조하는 제조공정에서 임의의 공정이 완료된 기판들은 일반적으로 카세트(Cassette)에 탑재되며, 기판들이 탑재된 카세트들은 다음 공정을 수행하는 다른 임의의 장비로 운반되기 전에, 카세트 보관 시스템의 카세트 선반에 임시로 저장된 후 다른 공정을 수행하는 다른 장비로 운반된다.On the other hand, in the manufacturing process for manufacturing a flat panel display, substrates on which any process is completed are generally mounted on a cassette, and cassettes on which the substrates are mounted are transported to a cassette storage system Cassette shelf, and then transported to other equipment that performs other processes.

이는, 각 공정을 수행하는 각 장비들의 기판 처리능력 및 처리시간의 차이에 의해 발생하는 버퍼링(buffering) 문제를 해소하기 위함이다. 이때, 카세트들을 이동시키는 수단으로 스토커 장치가 사용될 수 있다.This is to solve the buffering problem caused by the difference between the substrate processing capability and the processing time of each equipment performing each process. At this time, a stocker apparatus can be used as means for moving the cassettes.

도 1은 종래기술에 따른 스토커 장치의 개략적인 측면 구조도이다.1 is a schematic side view of a conventional stocker apparatus.

이 도면을 참조하면, 종래기술에 따른 스토커 장치(1)는 주행 레일을 따라 주행되는 다수의 휠(2, wheel)을 구비하는 주행 대차(3)와, 주행 대차(3)에 상하 방향을 따라 기립되게 배치되되 하단부가 주행 대차(3)에 고정되는 다수의 마스트(4, mast)와, 마스트(4)에 업/다운(up/down) 이동 가능하게 결합되어 카세트를 카세트 선반(8)으로 이적재시키는 포크 유닛(5, fork unit)을 포함한다.Referring to this figure, a stoker apparatus 1 according to the related art includes a traveling carriage 3 having a plurality of wheels 2 driven along a traveling rail, A plurality of masts 4 that are arranged to stand up and fixed to the traveling carriage 3 and a mast 4 which is coupled to the mast 4 so as to be movable up and down to move the cassette to the cassette shelf 8 And a fork unit (5) for transferring.

이러한 구성을 갖는 스토커 장치(1)는 앞서 기술한 것처럼 휠(2)의 구동에 의해 주행 레일을 따라 이동하면서 마스트(4) 상에서 상하, 좌우로 이동되는 포크 유닛(5)의 동작, 즉 포킹 동작(forking)을 통해 카세트 선반(8)으로부터 카세트를 반출시키거나 카세트를 카세트 선반(8)에 적재시키는 이적재 과정(핸들링)을 수행한다.As described above, the stocker apparatus 1 having such a configuration is capable of moving the fork unit 5 vertically and horizontally on the mast 4 while moving along the running rail by the driving of the wheel 2, (handling) to carry the cassette out of the cassette shelf 8 or for loading the cassette onto the cassette shelf 8 via forking.

이와 같은 구조를 갖는 종래기술에 따른 스토커 장치(1)의 포크 유닛(5)은 캐리지(5a, carriage) 상에 업/다운 프레임(5b, frame)이 조립되는 단순 구조를 가지기 때문에 캐리지(5a)와 업/다운 프레임(5b)의 가공정도 또는 조립공차에 따라 수평상태로 배치되어야 할 캐리지(5a)에 전후좌우 방향으로 레벨(level) 편차가 발생될 수밖에 없으며, 이러한 현상으로 인해 카세트 선반(8)마다 포킹 위치가 상이하여 카세트의 이적재 동작의 안정성이 떨어질 수 있다.Since the fork unit 5 of the conventional stoker apparatus 1 having such a structure has a simple structure in which the up / down frame 5b (frame) is assembled on the carriage 5a, Level deviation in the front, rear, left, and right directions of the carriage 5a to be horizontally arranged according to the machining accuracy or the assembly tolerance of the up / down frame 5b, ), The stability of the transfer operation of the cassette may be deteriorated.

따라서 종래에는 장치의 셋업(set up) 시 캐리지(5a)의 레벨 편차를 줄이기 위한 레벨 밸런싱(balancing) 작업을 진행하게 된다.Therefore, conventionally, a level balancing operation for reducing the level deviation of the carriage 5a is performed when the apparatus is set up.

종래기술에 따른 캐리지(5a)의 레벨 밸런싱 작업은 캐리지(5a)와 업/다운 프레임(5b) 간의 연결부위에 두께가 다양한 라이너(liner)를 넣어 육안으로 레벨 조정을 진행하는 방식으로 진행되어 왔다.The level balancing operation of the carriage 5a according to the related art has been carried out in such a manner that a liner having various thicknesses is put in a connecting portion between the carriage 5a and the up / down frame 5b to adjust the level by the naked eye .

하지만, 이와 같은 종래방식의 경우에는 라이너를 사용한 육안 레벨 조정 방식이기 때문에 캐리지(5a)에 대한 정밀 밸런싱이 불가하며, 또한 스토커 장치마다 레벨 편차의 예측이 불가하기 때문에 다양한 두께의 라이너를 미리 준비해야 하는 등 불필요한 자재 준비 및 오랜 작업시간이 소요될 수밖에 없어 셋업 비용이 상승되는 문제점이 있다.However, in the case of such a conventional method, precise balancing with respect to the carriage 5a is not possible because it is a naked eye level adjustment method using a liner, and since a level deviation can not be predicted for each stocker apparatus, It is necessary to prepare unnecessary materials and long working time, which increases the setup cost.

대한민국 특허공개특허 제10-2009-0046890호Korean Patent Laid-Open No. 10-2009-0046890

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 캐리지의 레벨 편차를 줄이기 위한 레벨 밸런싱(balancing) 작업을 정밀하게 수행할 수 있음은 물론, 장치마다 레벨 편차의 예측이 가능하기 때문에 장치의 셋업(set up)에 따른 시간과 비용을 종래보다 현저하게 감소시킬 수 있는 스토커 장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made keeping in mind the above problems occurring in the prior art, and it is an object of the present invention to provide a method and apparatus for accurately performing a level balancing operation for reducing a level deviation of a carriage, Which is capable of remarkably reducing the time and cost according to the present invention.

본 발명의 일 측면에 따르면, 스토커 본체; 및 상기 스토커 본체에 업/다운(up/down) 이동 가능하게 결합되며, 카세트(cassette)를 카세트 선반으로 이적재시키는 포크 유닛(fork unit)을 포함하며, 상기 포크 유닛은, 캐리지; 일측은 상기 캐리지에 연결되고 타측은 상기 스토커 본체에 업/다운 이동 가능하게 결합되는 업/다운 프레임; 및 상기 캐리지와 상기 업/다운 프레임에 결합되며, 상기 캐리지의 레벨 편차를 줄이기 위한 레벨 밸런싱(balancing) 작업을 진행하는 레벨 밸런싱 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커 장치가 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, a stocker main body; And a fork unit coupled to the stocker body so as to be movable up / down, and transferring a cassette to a cassette lathe, the fork unit comprising: a carriage; An up / down frame having one side connected to the carriage and the other side up / down movably coupled to the stocker body; And a level balancing unit coupled to the carriage and the up / down frame and performing a level balancing operation to reduce a level deviation of the carriage.

상기 레벨 밸런싱 유닛은, 상기 캐리지에 결합되는 회동 플레이트와 상기 업/다운 프레임의 일측을 형성하는 고정 플레이트에 마련될 수 있다.The level balancing unit may be provided on a rotating plate coupled to the carriage and a fixed plate forming one side of the up / down frame.

상기 레벨 밸런싱 유닛은, 상기 회동 플레이트와 상기 고정 플레이트에 걸쳐 배치되되 외면에 나사산이 형성되는 밸런싱 조절용 샤프트; 및 상기 회동 플레이트와 상기 고정 플레이트의 일측에서 상기 밸런싱 조절용 샤프트를 고정시키는 고정부재를 포함할 수 있다.Wherein the level balancing unit includes: a balancing adjusting shaft disposed over the rotating plate and the fixing plate, the balancing adjusting shaft having threads formed on an outer surface thereof; And a fixing member for fixing the balancing adjustment shaft at one side of the rotation plate and the fixing plate.

상기 레벨 밸런싱 유닛은, 상기 회동 플레이트에 결합되어 상기 밸런싱 조절용 샤프트와 나사 맞물림되는 제1 부싱; 및 상기 고정 플레이트에 결합되어 상기 밸런싱 조절용 샤프트와 나사 맞물림되는 제2 부싱을 더 포함할 수 있다.Wherein the level balancing unit includes: a first bushing coupled to the rotating plate and screwed to the balancing adjusting shaft; And a second bushing coupled to the fixed plate and screwed into the balancing adjustment shaft.

상기 제1 부싱과 상기 제2 부싱은 나사산의 방향이 서로 반대 방향일 수 있다.The first bushing and the second bushing may have directions of threads opposite to each other.

상기 밸런싱 조절용 샤프트 내에는 상기 제1 부싱과 상기 제2 부싱 측으로 그리스를 제공하는 그리스 주머니가 형성될 수 있다.A grease bag for providing grease to the first bushing and the second bushing may be formed in the balancing adjustment shaft.

상기 밸런싱 조절용 샤프트의 단부에는 상기 그리스 주머니를 개폐하는 마개가 착탈 가능하게 결합될 수 있다.A stopper for opening and closing the grease bag may be detachably coupled to an end of the shaft for balancing adjustment.

상기 레벨 밸런싱 유닛은, 상기 밸런싱 조절용 샤프트의 반경 방향 외측에 배치되되 상기 회동 플레이트와 상기 고정 플레이트 사이 영역에서 탄성바이어스하는 탄성부재를 더 포함할 수 있다.The level balancing unit may further include an elastic member disposed on a radially outer side of the balancing adjustment shaft and elastically biasing in a region between the rotation plate and the fixed plate.

상기 레벨 밸런싱 유닛은, 상기 캐리지의 각 코너(corner)에 한 쌍씩 사각 구도로 개별조작 가능하게 배치될 수 있다.The level balancing unit may be disposed at each corner of the carriage so as to be individually operable as a pair of squares.

상기 포크 유닛은, 상기 캐리지에 정역 방향으로 회전 가능하게 결합되는 턴테이블; 상기 턴테이블에 이동 가능하게 결합되는 포크 아암; 및 상키 카세트가 로딩되되 상기 포크 아암의 단부에 결합되며, 일측에 스케일 지침이 형성되는 탑 포크를 더 포함하며, 상기 레벨 밸런싱 작업은 상기 카세트 선반의 로드 아암(load arm)에 스케일 지그(scale jig)를 설치한 후, 상기 탑 포크를 전진시켜 상기 스케일 지그와 상기 탑 포크의 스케일 지침의 상대 위치를 확인한 다음 상기 레벨 밸런싱 유닛의 조작을 통해 진행될 수 있다.Wherein the fork unit comprises: a turntable rotatably coupled to the carriage in a forward and reverse direction; A fork arm movably coupled to the turntable; And a top fork coupled to an end of the fork arm and having a scale guide formed on one side thereof, wherein the level balancing operation is performed on a load arm of the cassette shelf with a scale jig And then advances the top fork to confirm the relative position of the scale jig and the scale guide of the top fork, and then proceeds through the operation of the level balancing unit.

상기 스토커 본체는, 레일을 따라 이동가능하게 마련되는 하부 프레임; 상기 하부 프레임에 상호 이격되게 결합된 한 쌍의 마스트 유닛; 및 상기 한 쌍의 마스트 유닛의 상단부를 연결하는 상부 프레임을 포함할 수 있다.The stocker body includes: a lower frame movably provided along a rail; A pair of mast units spaced apart from each other in the lower frame; And an upper frame connecting upper ends of the pair of mast units.

상기 마스트 유닛은, 전면부를 형성하는 프런트 커버의 중심 영역이 개구되어 높이방향을 따라 형성된 전면 노출부를 구비하는 마스트 커버 프레임; 상기 마스트 커버 프레임의 내부에 배치되고 상기 전면 노출부를 통해 상기 포크 유닛과 연결되는 리프팅 블록을 구비하며, 상기 리프팅 블록을 상기 전면 노출부를 따라 이동시켜 상기 포크 유닛을 상하로 이동시키는 승강모듈; 및 상기 리프팅 블록의 적어도 일부 영역을 관통하게 배치되어 상기 리프팅 블록의 이동을 허용하되, 상기 프런트 커버의 내벽에 착탈 가능하게 결합되어 상기 전면 노출부를 차폐시키는 차폐모듈을 포함할 수 있다.The mast unit includes a mast cover frame having a front exposed portion formed along a height direction with a central region of a front cover forming a front portion opened; An elevating module having a lifting block disposed inside the mast cover frame and connected to the fork unit through the front exposed portion, the elevating module moving the lifting block along the front exposed portion to move the fork unit up and down; And a shielding module arranged to penetrate at least a part of the lifting block to permit movement of the lifting block, and a shielding module detachably coupled to an inner wall of the front cover to shield the front exposed portion.

상기 차폐모듈은 상기 전면 노출부를 밀폐시키는 방진벨트일 수 있으며, 상기 방진벨트는, 상기 전면 노출부의 폭에 대응되는 폭으로 마련되며, 상기 승강모듈의 동작으로 인한 진동을 흡수하고 파티클의 비산을 차단하는 방진부; 및 상기 방진부의 양측에서 상기 방진부의 길이방향을 따라 길게 연장되게 마련되되 상기 방진부와 일체로 형성되며, 상기 프런트 커버의 내벽에 자기적으로 결합 가능한 영구자석 재질의 마그네틱 밴드부를 포함할 수 있으며, 상기 프런트 커버의 내벽에는 상기 마그네틱 밴드부와 자기적으로 결합되는 스틸(steel) 플레이부가 마련될 수 있다.The shielding module may be a dustproof belt that seals the front exposed portion. The dustproof belt may be provided at a width corresponding to the width of the front exposed portion to absorb vibration due to the operation of the lifting and lowering module, An anti-vibration part; And a magnetic band portion of a permanent magnet material which is extended from both sides of the dustproof portion along the longitudinal direction of the dustproof portion and is integrally formed with the dustproof portion and is magnetically coupled to the inner wall of the front cover. A steel play part magnetically coupled to the magnetic band part may be provided on an inner wall of the front cover.

본 발명에 따르면, 캐리지의 레벨 편차를 줄이기 위한 레벨 밸런싱(balancing) 작업을 정밀하게 수행할 수 있음은 물론, 장치마다 레벨 편차의 예측이 가능하기 때문에 장치의 셋업(set up)에 따른 시간과 비용을 종래보다 현저하게 감소시킬 수 있다.According to the present invention, a level balancing operation for reducing a level deviation of a carriage can be performed precisely, and a level deviation can be predicted for each apparatus. Therefore, time and cost Can be significantly reduced.

도 1은 종래기술에 따른 스토커 장치의 개략적인 측면 구조도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커 장치가 적용되는 스토커 시스템의 구성도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커 장치의 사시도이다.
도 4는 마스트 유닛의 사시도이다.
도 5는 마스트 커버 프레임의 프런트 커버 일부분을 제거한 상태를 도시한 도면이다.
도 6은 도 5의 절개 단면도이다.
도 7은 마스트 유닛의 단면도이다.
도 8은 포크 유닛의 사시도이다.
도 9는 레벨 밸런싱 작업의 진행을 위한 포크 유닛의 측면 동작도이다.
도 10은 레벨 밸런싱 유닛 영역의 확대 사시도이다.
도 11은 도 10의 분해 사시도이다.
도 12는 도 10의 단면 구조도이다.1 is a schematic side view of a conventional stocker apparatus.
2 is a configuration diagram of a stocker system to which a stocker apparatus according to an embodiment of the present invention is applied.
3 is a perspective view of a stocker apparatus according to an embodiment of the present invention.
4 is a perspective view of the mast unit.
5 is a view showing a state in which a part of the front cover of the mast cover frame is removed.
6 is a cross-sectional view of Fig.
7 is a sectional view of the mast unit.
8 is a perspective view of the fork unit.
9 is a side view of the fork unit for progressing the level balancing operation.
10 is an enlarged perspective view of the level balancing unit area.
11 is an exploded perspective view of Fig.
12 is a cross-sectional structural view of Fig.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부도면 및 첨부도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, operational advantages of the present invention, and objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings and the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference symbols in the drawings denote like elements.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커 장치가 적용되는 스토커 시스템의 구성도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커 장치의 사시도이며, 도 4는 마스트 유닛의 사시도이고, 도 5는 마스트 커버 프레임의 프런트 커버 일부분을 제거한 상태를 도시한 도면이며, 도 6은 도 5의 절개 단면도이고, 도 7은 마스트 유닛의 단면도이며, 도 8은 포크 유닛의 사시도이고, 도 9는 레벨 밸런싱 작업의 진행을 위한 포크 유닛의 측면 동작도이며, 도 10은 레벨 밸런싱 유닛 영역의 확대 사시도이고, 도 11은 도 10의 분해 사시도이며, 도 12는 도 10의 단면 구조도이다.3 is a perspective view of a stocker apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 4 is a perspective view of a mast unit, FIG. 4 is a perspective view of a mast unit, 5 is a cross-sectional view of Fig. 5, Fig. 7 is a cross-sectional view of the mast unit, Fig. 8 is a perspective view of the fork unit, 10 is an enlarged perspective view of the level balancing unit area, FIG. 11 is an exploded perspective view of FIG. 10, and FIG. 12 is a sectional view of the fork unit for progressing a balancing operation.

이들 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 스토커 장치(1)는 캐리지(310, 도 3 및 도 8 참조)의 레벨 편차를 줄이기 위한 레벨 밸런싱(balancing) 작업을 정밀하게 수행할 수 있음은 물론, 장치마다 레벨 편차의 예측이 가능하기 때문에 장치의 셋업(set up)에 따른 시간과 비용을 종래보다 현저하게 감소시킬 수 있도록 한 것으로서, 스토커 본체(200)와, 스토커 본체(200)에 업/다운(up/down) 이동 가능하게 결합되며, 카세트(C, cassette, 도 2 참조)를 카세트 선반(8, 도 2 참조)으로 이적재시키되 레벨 밸런싱 유닛(370)을 구비하는 포크 유닛(300, fork unit)을 포함한다.Referring to these drawings, the stocker apparatus 1 according to the present embodiment can precisely perform a level balancing operation for reducing the level deviation of the carriage 310 (see FIGS. 3 and 8) And it is possible to remarkably reduce the time and cost due to set up of the apparatus since the level deviation can be predicted for each apparatus. The system includes a stocker main body 200, a fork unit 300, fork (not shown) having a level balancing unit 370 which is movably coupled to the cassette shelf 8 (see FIG. 2) unit.

이하, 레벨 밸런싱 유닛(370)을 구비하는 포크 유닛(300)의 자세한 설명에 앞서 도 2에 도시된 스토커 시스템과, 스토커 본체(200)에 대해 먼저 설명하도록 한다.Before describing the fork unit 300 including the level balancing unit 370, the stocker system shown in FIG. 2 and the stocker body 200 will be described first.

도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커 장치(1)가 적용되는 스토커 시스템은 기판이 수납된 카세트(C)가 적재되는 카세트 선반(8)들과 입출고 포트(3)를 구비하는 캐비닛(미도시)과, 입출고 포트(3)와 카세트 선반(8)들 간을 이동하면서 카세트(C)를 운반하는 스토커 장치(1)를 포함할 수 있다.2, a stocker system to which a stocker apparatus 1 according to an embodiment of the present invention is applied includes a cassette shelf 8 on which a cassette C containing a substrate is loaded, and an input / output port 3 And a stocker 1 for transporting the cassette C while moving between the inlet and outlet port 3 and the cassette shelves 8. [

캐비닛(미도시)은 대략 사각 컨테이너(container) 형상으로 카세트(C)들이 임시로 보관되는 장소를 형성한다. 다만, 캐비닛은 내부에 적재될 카세트(C)의 개수와 크기에 따라 적절하게 설계 변경될 수 있다.The cabinet (not shown) forms a place where the cassettes C are temporarily stored in a substantially rectangular container shape. However, the cabinet can be appropriately changed in design according to the number and size of the cassettes C to be loaded therein.

입출고 포트(3)는 카세트(C)가 캐비닛 내외로 출입되는 장소를 가리킨다. 캐비닛에는 필요에 따라서 입출고 포트(3)가 두 개 이상이 마련될 수도 있다. 입출고 포트(3)에는 롤러 컨베이어가 설치될 수 있다. 입출고 포트(3)의 롤러 컨베이어는 캐비닛 외부의 물류 라인과 연결될 수 있고, 각 카세트 선반(8)에서 입출고 포트(3)로 운반된 카세트(C)들은 컨베이어 물류 라인을 따라 임의의 공정 장소로 이송될 수 있다. 물론, 반대로 외부에서 카세트(C)들이 이송되어와 입출고 포트(3)를 통해 카세트 선반(8)에 적재될 수도 있다.The input / output port 3 indicates a place where the cassette C enters and exits inside and outside the cabinet. The cabinet may be provided with two or more I / O ports 3 as required. A roller conveyor may be installed in the input / output port 3. The roller conveyor of the input and output port 3 can be connected to the distribution line outside the cabinet and the cassettes C conveyed from the respective cassette shelves 8 to the entry and exit port 3 are conveyed along the conveyor logistics line to an arbitrary processing site . Of course, conversely, the cassettes C may be transferred from the outside and loaded on the cassette shelf 8 through the input / output ports 3.

카세트 선반(8)들은 캐비닛의 내부에 상하로 길게 마련되는 컬럼(4)에 의해 지지될 수 있다. 또한 카세트 선반(8)들은 캐비닛의 내부에서 스토커 장치(1)가 이동할 수 있는 레일(5)을 사이에 두고 캐비닛의 양측에 각각 배치될 수 있다.The cassette shelves 8 can be supported by the column 4, which is provided upside down in the interior of the cabinet. Also, the cassette shelves 8 can be disposed on both sides of the cabinet, with the rails 5 on which the stocker apparatus 1 can move, within the cabinet.

한편, 스토커 장치(1)는 입출고 포트(3)와 카세트 선반(8)들 간을 이동하면서 카세트(C)를 카세트 선반(8)에 적재시키거나 입출고 포트(3)를 통해 외부로 반출시키는 역할을 한다.On the other hand, the stocker device 1 has a role of loading the cassette C on the cassette shelf 8 or taking it out to the outside through the input / output port 3 while moving between the input / output ports 3 and the cassette shelves 8 .

도 3 내지 도 12를 참조하여 본 실시예에 따른 스토커 장치(1)를 자세히 살펴보면, 스토커 장치(1)는 앞서 기술한 것처럼 스토커 본체(200)와, 스토커 본체(200)에 업/다운(up/down) 이동 가능하게 결합되되 레벨 밸런싱 유닛(370)을 구비하는 포크 유닛(300, fork unit)을 포함할 수 있다.3 to 12, the stocker apparatus 1 includes a stocker main body 200 and the up / down (up) side of the stocker main body 200 as described above. and a fork unit 300 having a level balancing unit 370 movably coupled thereto.

스토커 본체(200)는 도 3에 도시된 바와 같이, 캐비닛 바닥에 설치된 레일(5)을 따라 이동가능하게 마련되는 하부 프레임(210)과, 하부 프레임(210)에 상호 이격되게 결합된 한 쌍의 마스트 유닛(100)과, 한 쌍의 마스트 유닛(100)의 상단부를 연결하는 상부 프레임(220)을 포함할 수 있다.3, the stocker main body 200 includes a lower frame 210 provided to be movable along a rail 5 installed on the cabinet floor, a pair of lower frames 210 spaced apart from each other, A mast unit 100 and an upper frame 220 connecting the upper ends of the pair of mast units 100. [

하부 프레임(210)은 마스트 유닛(100)을 지지하며, 카세트(C)를 캐비닛 내에서 수평방향으로 이송한다. 하부 프레임(210)에는 복수 개의 휠(210a)이 마련되어 레일(5)을 따라 이동할 수 있도록 한다.The lower frame 210 supports the mast unit 100 and transports the cassette C horizontally in the cabinet. A plurality of wheels 210a are provided on the lower frame 210 so as to be able to move along the rails 5.

한 쌍의 마스트 유닛(100)은 포크 유닛(300)을 통해 캐비닛 내의 해당 카세트 선반(8)의 높이로 카세트(C)를 운반하는 역할을 한다. 한 쌍의 마스트 유닛(100)에는 업/다운 프레임(350)이 승하강 가능하게 결합되고 업/다운 프레임(350)은 포크 유닛(300)을 수평하게 지지한다. The pair of mast units 100 serve to transport the cassette C to the height of the corresponding cassette shelf 8 in the cabinet through the fork unit 300. The up / down frame 350 is vertically coupled to the pair of mast units 100 so that the up / down frame 350 supports the fork unit 300 horizontally.

도 4 내지 도 7을 참조하여 마스트 유닛(100)의 구조에 대해 좀 더 자세히 살펴보면, 본 실시예에 적용될 수 있는 마스트 유닛(100)는 전면부의 중심 영역이 높이방향을 따라 개구되어 형성된 전면 노출부(D)를 구비하는 마스트 커버 프레임(110)과, 포크 유닛(300)을 마스트 커버 프레임(110)을 따라 상하로 이동시키는 승강모듈(120)과, 전면 노출부(D)를 차폐시키는 차폐모듈(130)을 포함할 수 있다. 본 실시예처럼 차폐모듈(130)이 포함되는 마스트 유닛(100)이 적용될 경우, 카세트(C)의 운반 시 마스트 커버 프레임(110) 내부에서 파티클이 유출되는 것을 차단시킬 수 있어 유리하다.4 to 7, the mast unit 100, which can be applied to the present embodiment, includes a front exposed portion (not shown) having a central region of the front portion opened along the height direction, A lift module 120 for moving the fork unit 300 upward and downward along the mast cover frame 110 and a shielding module 120 for shielding the front exposed portion D, (130). When the mast unit 100 including the shielding module 130 is applied, it is advantageous to prevent the particles from flowing out of the mast cover frame 110 when the cassette C is transported.

물론, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니므로 차폐모듈(130)이 적용되지 않은 형태의 마스트 유닛(미도시)이 적용될 수도 있으므로 도면의 형상에 본 발명의 권리범위가 제한되지 않는다.Of course, since the scope of the present invention is not limited thereto, a mast unit (not shown) in which the shielding module 130 is not applied may be applied, so that the scope of the present invention is not limited to the shape of the drawings.

마스트 커버 프레임(110)은 하부 프레임(210)에 수직으로 기립되게 설치되는 마스트 프레임(111)과, 마스트 프레임(111)의 전면에 결합되는 프런트 커버(112)와, 마스트 프레임(111)의 후면에 결합되는 리어 커버(113)를 포함한다. 본 실시예에서 프런트 커버(112)와 리어 커버(113)는 마스트 프레임(111)에 형성된 홈에 각각 끼워져 결합될 수 있지만 이와 달리 프런트 커버(112), 리어 커버(113) 및 마스트 커버가 일체로 형성될 수도 있을 것이다.The mast cover frame 110 includes a mast frame 111 installed vertically to the lower frame 210, a front cover 112 coupled to the front surface of the mast frame 111, (Not shown). The front cover 112 and the rear cover 113 can be respectively fitted and engaged with the grooves formed in the mast frame 111. Alternatively, the front cover 112, the rear cover 113, Lt; / RTI >

프런트 커버(112)는 마스트 커버 프레임(110)의 전면부로서 프런트 커버(112)의 중심 영역은 높이 방향을 따라 절취되어 개구되어 형성된 전면 노출부(D)를 구비한다. 또한 프런트 커버(112)의 내벽에는 스틸(steel) 재질의 스틸 플레이트부(112a)가 마련된다. 스틸 플레이트부(112a)는 후술할 방진벨트(130)와 자기적으로 결합될 수 있다. 이러한 프런트 커버(112)는 마스트 프레임(111)과 함께 마스트 커버 프레임(110) 내부에서 리프팅 블록(121)이 상하로 이동할 수 있는 제1 공간을 형성한다.The front cover 112 is a front surface of the mast cover frame 110 and has a central region of the front cover 112 having a front exposed portion D formed by being cut along the height direction. Further, a steel plate portion 112a made of steel is provided on the inner wall of the front cover 112. The steel plate portion 112a may be magnetically coupled to the vibration-proof belt 130 to be described later. The front cover 112 together with the mast frame 111 forms a first space in which the lifting block 121 can move up and down inside the mast cover frame 110.

리어 커버(113)는 마스트 커버 프레임(110)의 후면부로 밀폐된 구조로 마스트 프레임(111)과 함께 제1 공간(H1)과 분리된 제2 공간(H2)을 형성한다. 제2 공간(H2)에는 웨이트 밸런스 추(150)가 상하로 이동가능하게 배치될 수 있다. 웨이트 밸런스 추(150)는 후술할 타이밍 벨트(123)에 연결되어 리프팅 블록(121)에 작용하는 하중을 상쇄시킴으로서 고중량의 카세트(C)를 승강시킬 수 있도록 구동모터(122)에 작용하는 부하를 감소시키는 역할을 담당할 수 있다.The rear cover 113 forms a second space H2 separated from the first space H1 together with the mast frame 111 in a structure sealed by the rear surface of the mast cover frame 110. [ In the second space H2, the weight balance weight 150 can be arranged to be movable up and down. The weight balance weight 150 is connected to a timing belt 123 to be described later to cancel a load acting on the lifting block 121 so that a load acting on the driving motor 122 so as to raise and lower the cassette C It can play a role.

승강모듈(120)은 마스트 커버 프레임(110) 내부에 배치되어 포크 유닛(300)을 상하로 이동시키는 역할을 한다. 이러한 승강모듈(120)은 구동축과 종동축을 이루며 상하로 이격배치되는 한 쌍의 풀리(미도시)와, 한 쌍의 풀리에 맞물림되어 감김 또는 풀림 동작되는 타이밍 벨트(123)와, 타이밍 벨트(123)에 양단부가 연결된 리프팅 블록(121)과, 풀리를 회전 구동시키는 동력을 제공하는 구동모터(122)의 조합으로 구현될 수 있다. 하지만, 이와 달리 승강모듈(120)은 모터 및 볼 스크루의 조합에 의해 구현될 수도 있으므로 도면의 형상에 본 발명의 권리범위가 제한되지 않는다.The lift module 120 is disposed inside the mast cover frame 110 to move the fork unit 300 up and down. The lifting and lowering module 120 includes a pair of pulleys (not shown) that are vertically spaced apart from each other, a timing belt 123 that is engaged with a pair of pulleys and is wound or unwound, A lifting block 121 having both ends connected to the drive pulley 123, and a drive motor 122 providing power for rotationally driving the pulley. However, the elevation module 120 may alternatively be implemented by a combination of a motor and a ball screw, so that the scope of the present invention is not limited to the shape of the drawings.

리프팅 블록(121)은 프런트 커버(112)의 전면 노출부(D)를 통해 포크 유닛(300)을 지지하는 업/다운 프레임(350)과 결합되고 타측은 전술한 제1 공간(H1)에서 마스트 프레임(111)에 길이방향을 따라 결합된 가이드 레일(140)을 따라 슬라이딩 가능하게 결합되어 있다. 이러한 구성으로 승강모듈(120)은 리프팅 블록(121)을 상하로 이동시킴으로써 포크 유닛(300)을 마스트 커버 프레임(110)의 높이 방향을 따라 업/다운시킨다.The lifting block 121 is engaged with the up / down frame 350 supporting the fork unit 300 through the front exposed portion D of the front cover 112 and the other side is engaged with the mast And is slidably coupled along a guide rail 140 coupled to the frame 111 in the longitudinal direction. In this configuration, the lifting module 120 moves the lifting block 121 up and down, thereby moving the fork unit 300 up and down along the height direction of the mast cover frame 110.

차폐모듈(130)은 리프팅 블록(121)이 업/다운 프레임(350)에 결합되어 상하로 이동되는 프런트 커버(112)의 전면 노출부(D)를 차폐시키는 역할을 한다. 본 실시예에서 차폐모듈(130)은 전면 노출부(D)를 커버링(covering)하되 리프팅 블록(121)의 이동은 허용될 수 있게 배치된다.The shielding module 130 shields the front exposed portion D of the front cover 112 to which the lifting block 121 is coupled to the up / down frame 350 to move up and down. In this embodiment, the shielding module 130 covers the front exposed portion D, but the movement of the lifting block 121 is arranged to be allowed.

반드시 그러한 것은 아니지만 본 실시예에서 차폐모듈(130)은 프런트 커버(112)의 전면 노출부(D)를 차폐시킬 수 있는 방진벨트(130)로 적용될 수 있다. 방진벨트(130)는 마스트 커버 프레임(110)의 프런트 커버(112)와 승강모듈(120)의 타이밍 벨트(123) 사이에 배치된다. 이러한 방진벨트(130)는 리프팅 블록(121)의 적어도 일영역을 관통하여 전면 노출부(D)를 커버링한다. 이때, 방진벨트(130)는 리프팅 블록(121)을 관통하도록 되어 있어 방진벨트(130)를 사이에 두고 리프팅 블록(121)의 일측은 프런트 커버(112)의 외부에 노출되어 있고 타측은 프런트 커버(112)의 내부에서 가이드 레일(140)에 슬라이딩 가능하게 결합된다.Although not necessarily, the shielding module 130 in the present embodiment can be applied to the dustproof belt 130 which can shield the front exposed portion D of the front cover 112. [ The dustproof belt 130 is disposed between the front cover 112 of the mast cover frame 110 and the timing belt 123 of the elevation module 120. The dust-proof belt 130 covers at least the front exposed portion D through at least one region of the lifting block 121. At this time, the dust-proof belt 130 passes through the lifting block 121, and one side of the lifting block 121 is exposed to the outside of the front cover 112 with the dust-proof belt 130 interposed therebetween. And is slidably coupled to the guide rail 140 inside the guide rail 112.

방진벨트(130)는 방진부(131)와, 마그네틱 밴드부(132)를 포함할 수 있다. 방진부(131)는 전면 노출부(D)에 대응되는 폭과 길이를 갖도록 형성되어 전면 노출부(D)를 커버링(covering)한다. 이러한 방진부(131)는 승강모듈(120) 구동으로 인한 마스트 커버 프레임(110)내에서 발생하는 진동을 흡수하고 파티클이 외부로 유출되는 것을 차단시킨다. 그리고 마그네틱 밴드부(132)는 프런트 커버(112)의 내벽에 결합되는 부분으로 방진부(131)와 일체로 형성되며 방진부(131)의 양쪽 가장자리에 띠 모양으로 방진부(131)의 길이방향을 따라 연장된다. 마그네틱 밴드부(132)는 영구자석 재질로 마련되어 프런트 커버(112)의 내벽에 마련된 스틸 플레이트부(112a)와 자기적으로 결합될 수 있다. 이처럼 프런트 커버(112)의 내벽에 마그네틱 밴드부(132)를 밀착되게 결합시킴으로써 프런트 커버(112)와 방진벨트(130) 사이에 발생할 수 있는 갭(gap)을 없앨 수 있다.The dustproof belt 130 may include a dustproof portion 131 and a magnetic band portion 132. The dustproof portion 131 is formed to have a width and a length corresponding to the front exposed portion D to cover the front exposed portion D. The dustproof part 131 absorbs vibration generated in the mast cover frame 110 due to the driving of the elevation module 120 and blocks the particles from flowing out to the outside. The magnetic band portion 132 is formed integrally with the dust-proof portion 131 and is coupled to the inner wall of the front cover 112. The longitudinal direction of the dust-proof portion 131 is formed in a strip shape at both edges of the dust- Lt; / RTI > The magnetic band portion 132 is made of a permanent magnet material and can be magnetically coupled to the steel plate portion 112a provided on the inner wall of the front cover 112. [ The gap between the front cover 112 and the dustproof belt 130 can be eliminated by closely attaching the magnetic band portion 132 to the inner wall of the front cover 112.

리프팅 블록(121)은 상하 이동 시 방진벨트(130)가 통과되는 터널부(121b)를 구비하는 리프팅 블록바디(121a)와, 리프팅 블록바디(121a)에 타이밍 벨트(123)를 클램핑(clamping)시키는 클램핑 부재(121c)를 포함한다.The lifting block 121 includes a lifting block body 121a having a tunnel part 121b through which the vibration prevention belt 130 passes during up and down movement and a lifting block body 121a having a lifting block body 121a, And a clamping member 121c.

리프팅 블록(121)은 타이밍 벨트(123)에 연결된다. 구체적으로 살펴보면, 타이밍 벨트(123)는 리프팅 블록바디(121a)의 양단부 영역에 겹치도록 자리배치된 상태에서 클램핑 부재(121c)에 의해 리프팅 블록바디(121a)에 클램핑될 수 있다.The lifting block 121 is connected to the timing belt 123. Specifically, the timing belt 123 can be clamped to the lifting block body 121a by the clamping member 121c in a state where the timing belt 123 is disposed so as to overlap the both end regions of the lifting block body 121a.

또한 리프팅 블록바디(121a)는 중심 영역의 폭이 가장자리보다 두껍게 형성되어 전면 노출부(D)를 통해 프런트 커버(112)의 외부로 돌출될 수 있게 마련된다. 이와 같이 프런트 커버(112)의 외부로 돌출된 영역은 업/다운 프레임(350)과 볼트 결합될 수 있다.In addition, the lifting block body 121a is formed such that the width of the central region is thicker than the edge, so that the lifting block body 121a can protrude to the outside of the front cover 112 through the front exposed portion D. The area of the front cover 112 protruding outward may be bolted to the up / down frame 350.

터널부(121b)는 리프팅 블록바디(121a)의 내부를 관통 형성시킨 부분으로 리프팅 블록(121)의 상하 이동 시 방진벨트(130)가 인출입된다. 터널부(121b)의 양측 입구에는 방진벨트(130)를 터널부(121b)의 내측으로 인입 또는 외측으로 인출되도록 가이드하는 한 쌍의 가이드롤러(R1)와 마련되고 터널부(121b)의 내부에는 방진벨트(130)를 프런트 커버(112)의 내벽에서 떨어지도록 방진벨트(130)를 가압하는 한 쌍의 가압롤러(R2)가 마련된다.The tunnel portion 121b is a portion formed through the inside of the lifting block body 121a, and the vibration-proof belt 130 is pulled out when the lifting block 121 moves up and down. A pair of guide rollers R1 for guiding the dustproof belt 130 to the inside or outside of the tunnel portion 121b are provided at both side entrance portions of the tunnel portion 121b and inside the tunnel portion 121b A pair of pressure rollers R2 for pressing the dustproof belt 130 so that the dustproof belt 130 is separated from the inner wall of the front cover 112 is provided.

가이드롤러(R1)는 리프팅 블록바디(121a)에 회전가능하게 결합되어 방진벨트(130)의 안쪽 면과 구름접촉되고, 가압롤러(R2)는 가이드롤러(R1)와 인접한 위치에서 서로 단차를 두고 터널부(121b) 내부에 회전가능하게 결합되어 방진벨트(130)의 바깥쪽 면을 안쪽으로 가압한다. 이에 따라, 리프팅 블록(121)의 상하 이동에 따라 방진벨트(130)는 리프팅 블록(121)의 터널부(121b)로 인입되면 프런트 커버(112)의 내벽에서 떨어지고 리프팅 블록(121)의 내부로부터 인출되면 프런트 커버(112)의 내벽에 자력에 의해 재결합될 수 있다.The guide roller R1 is rotatably engaged with the lifting block body 121a so as to be in rolling contact with the inner surface of the dustproof belt 130 and the pressure roller R2 is stepped at a position adjacent to the guide roller R1 And is rotatably coupled to the inside of the tunnel portion 121b to press the outer surface of the dustproof belt 130 inward. Accordingly, when the vibration-proof belt 130 is pulled into the tunnel portion 121b of the lifting block 121 in accordance with the upward and downward movement of the lifting block 121, it falls from the inner wall of the front cover 112, And can be recombined by the magnetic force on the inner wall of the front cover 112 when it is drawn out.

한편, 포크 유닛(300)은 도 3, 그리고 도 8 내지 도 12에 도시된 바와 같이, 스토커 본체(200)에 업/다운(up/down) 이동 가능하게 결합되며, 카세트(C, cassette, 도 2 참조)를 카세트 선반(8, 도 2 참조)으로 이적재시키는 역할을 한다.3 and 8 to 12, the fork unit 300 is coupled to the stocker main body 200 so as to be movable up / down, and includes a cassette C 2) to the cassette shelf 8 (see Fig. 2).

이러한 포크 유닛(300)은 캐리지(310)와, 일측은 캐리지(310)에 연결되고 타측은 스토커 본체(200)에 업/다운 이동 가능하게 결합되는 업/다운 프레임(350)과, 캐리지(310)에 정역 방향으로 회전 가능하게 결합되는 턴테이블(320)과, 턴테이블(320)에 이동 가능하게 결합되는 포크 아암(330)과, 카세트(C)가 로딩되되 포크 아암(330)의 단부에 결합되며, 일측에 스케일 지침(341)이 형성되는 탑 포크(340)를 포함할 수 있다.The fork unit 300 includes a carriage 310, an up / down frame 350 connected to the carriage 310 on one side and to the up / down movement on the other side of the stocker body 200, A fork arm 330 that is movably coupled to the turntable 320 and a second arm 330 that is coupled to the end of the fork arm 330 while the cassette C is loaded And a top fork 340 having scale guides 341 formed on one side thereof.

캐리지(310)는 업/다운 프레임(350)에 연결되며, 스토커 본체(200) 상에서 업/다운 이동되는 구조체이다. 즉 캐리지(310)은 사각 판 플레이트 형상으로 양측 모서리 영역이 업/다운 프레임(350)에 결합된다.The carriage 310 is connected to the up / down frame 350 and is moved up / down on the stocker main body 200. That is, the carriage 310 is coupled to the up / down frame 350 in the form of a rectangular plate plate at both side edge regions.

캐리지(310)의 각 코너(corner)에는 회동 플레이트(361)를 구비하는 회동편(360)이 결합된다. 회동편(360)은 힌지(362)를 축으로 하여 일정 각도 내에서 회동될 수 있다.At each corner of the carriage 310, a pivoting piece 360 having a pivoting plate 361 is coupled. The turning piece 360 can be pivoted within a certain angle about the hinge 362 as an axis.

업/다운 프레임(350)은 캐리지(310)을 수평으로 지지하는 부분으로 전술한 리프팅 블록(121)과 볼트 결합되어 리프팅 블록(121)과 함께 마스트 유닛(100)의 높이 방향을 따라 상하로 업/다운(up/down) 승하강될 수 있다.The up / down frame 350 is a part that horizontally supports the carriage 310 and is bolted to the lifting block 121 to be lifted up and down along the height direction of the mast unit 100 together with the lifting block 121. [ / Down (up / down).

캐리지(310)의 상면에는 턴테이블(320)이 정역방향으로 회전 가능하게 마련되며, 턴테이블(320)에는 포크 아암(330)이 결합된다. 포크 아암(330)은 턴테이블(320)에 의해 정역방향으로 회전되어 캐비닛의 양측에 위치된 카세트 선반(8)에 카세트(C)를 로딩 또는 언로딩시킨다.On the upper surface of the carriage 310, a turntable 320 is rotatable in the forward and reverse directions, and the fork arm 330 is coupled to the turntable 320. The fork arm 330 is rotated in the forward and reverse directions by the turntable 320 to load or unload the cassette C on the cassette shelf 8 located on both sides of the cabinet.

본 실시예에 따른 포크 아암(330)은 링크된 두 개의 아암으로 구성되며, 포크 아암(330)의 말단부에는 카세트(C)를 떠서 지지하는 탑 포크(340)이 결합된다. 두 개의 아암은 링크축을 중심으로 서로 상대 회전함으로써 탑 포크(340)을 전진 또는 후진시킬 수 있다.The fork arm 330 according to the present embodiment is composed of two linked arms. To the distal end of the fork arm 330, a top fork 340 supporting the cassette C is coupled. The two arms can rotate relative to each other about the link axis to move the tower fork 340 forward or backward.

한편, 탑 포크(340)가 카세트(C)를 떠서 지지한 후, 턴테이블(320) 또는 포크 아암(330)의 구조에 의해 카세트(C)를 카세트 선반(8)에 이적재시키려면 우선, 캐리지(310)가 수평으로 배치된 상태로 업/다운 프레임(350)에 연결되어야 한다.On the other hand, in order to transfer the cassette C to the cassette shelf 8 by the structure of the turntable 320 or the fork arm 330 after the top fork 340 lifts and supports the cassette C, Down frame 350 in a state in which the frame 310 is horizontally disposed.

그런데, 종전처럼 캐리지(310)와 업/다운 프레임(350)을 단순하게 연결할 경우, 캐리지(310)에 전후좌우 방향으로 레벨(level) 편차가 발생될 수밖에 없는데, 이처럼 캐리지(310)에 레벨 편차가 발생되면 포크 아암(330)과 탑 포크(340)에 의한 포킹 동작(forking) 시 카세트 선반(8)마다 포킹 위치가 상이하여 카세트(C)의 이적재 동작의 안정성이 떨어질 수 있다.When the carriage 310 and the up / down frame 350 are simply connected to each other as in the past, a level deviation in the front, rear, left, and right directions of the carriage 310 must be generated. The forking position may be different for each cassette shelf 8 when forking by the fork arm 330 and the top fork 340 so that the stability of the transfer operation of the cassette C may deteriorate.

따라서 캐리지(310)의 레벨 편차를 줄이기 위한 레벨 밸런싱(balancing) 작업을 진행하게 되는데, 종래에는 앞서 기술한 것처럼 별도의 라이너를 준비하고, 육안으로 확인하면서 라이너를 삽입시키는 방법을 적용하여 왔기 때문에 다양한 두께의 라이너를 미리 준비해야 하는 등 불필요한 자재 준비 및 오랜 작업시간이 소요될 수밖에 없어 셋업 비용이 상승될 수밖에 없었다. 이에, 이러한 단점을 해소하기 위해 본 실시예의 경우, 레벨 밸런싱 유닛(370)을 적용하고 있는 것이다.Accordingly, a level balancing operation for reducing the level deviation of the carriage 310 is performed. Conventionally, as described above, a separate liner is prepared and a method of inserting the liner while confirming with the naked eye has been applied. It is necessary to prepare a thick liner in advance and to prepare unnecessary materials and a long working time, so that the setup cost has to be increased. In order to solve this problem, the level balancing unit 370 is applied in the present embodiment.

특히, 본 실시예에서 레벨 밸런싱 유닛(370)은 포크 유닛(300)에 직접 결합되어 있기 때문에 종전처럼 라이너 등을 사용할 필요가 없으며, 작업이 편리해지는 이점이 있다.Particularly, in this embodiment, since the level balancing unit 370 is directly coupled to the fork unit 300, there is no need to use a liner or the like as before and there is an advantage in that the work becomes convenient.

본 실시예의 포크 유닛(300)에 적용되는 레벨 밸런싱 유닛(370)은 캐리지(310)와 업/다운 프레임(350)에 결합되며, 캐리지(310)의 레벨 편차를 줄이기 위한 레벨 밸런싱(balancing) 작업을 진행하는 역할을 한다.The level balancing unit 370 applied to the fork unit 300 of the present embodiment is connected to the carriage 310 and the up / down frame 350, and performs a level balancing operation for reducing the level deviation of the carriage 310 .

본 실시예에서 레벨 밸런싱 유닛(370)은 캐리지(310)에 결합되는 회동 플레이트(361)와 업/다운 프레임(350)의 일측을 형성하는 고정 플레이트(351)에 마련될 수 있는데, 캐리지(310)의 각 코너(corner)에 한 쌍씩 사각 구도로 개별조작 가능하게 배치될 수 있다. 따라서 상하좌우의 레벨 편차가 다를 수 있는 캐리지(310)의 레벨 밸런싱 작업을 효율적으로 진행할 수 있다.In this embodiment, the level balancing unit 370 may be provided on the pivot plate 361 coupled to the carriage 310 and the fixed plate 351 forming one side of the up / down frame 350, ) Can be individually arranged in a rectangular shape by a pair at each corner of the frame. Accordingly, the level balancing operation of the carriage 310, which may have different level deviations in the up, down, left, and right directions, can be efficiently performed.

이러한 레벨 밸런싱 유닛(370)은 밸런싱 조절용 샤프트(371)와, 회동 플레이트(361)의 일측에서 밸런싱 조절용 샤프트(371)를 고정시키는 고정부재(373)와, 밸런싱 조절용 샤프트(371)의 반경 방향 외측에 배치되되 회동 플레이트(361)와 고정 플레이트(351) 사이 영역에서 탄성바이어스하는 탄성부재(377)를 포함할 수 있다.The level balancing unit 370 includes a balancing adjustment shaft 371, a fixing member 373 for fixing the balancing adjustment shaft 371 at one side of the rotation plate 361, a radially outer side 371 of the balancing adjustment shaft 371, And an elastic member 377 which is disposed on the rotating plate 361 and biases in an area between the rotating plate 361 and the fixed plate 351.

반드시 그러한 것은 아니나 본 실시예에서 고정부재(373)는 통상적인 너트(nut)로 적용될 수 있으며, 탄성부재(377)는 비틀림 코일 압축스프링일 수 있다.Although not necessarily, the fixing member 373 may be applied as a conventional nut in this embodiment, and the elastic member 377 may be a torsion coil compression spring.

밸런싱 조절용 샤프트(371)는 회동 플레이트(361)와 고정 플레이트(351)에 걸쳐 배치되되 외면에 나사산이 형성되는 일종의 볼 스크루이다.The balancing adjustment shaft 371 is a kind of ball screw disposed over the rotating plate 361 and the fixed plate 351 and having a thread formed on the outer surface thereof.

이러한 밸런싱 조절용 샤프트(371)가 회동 플레이트(361)와 고정 플레이트(351)에 걸쳐 나사식으로 체결될 수 있도록 제1 부싱(374)과 제2 부싱(375)이 마련된다.A first bushing 374 and a second bushing 375 are provided so that the balancing adjustment shaft 371 can be screwed on the rotation plate 361 and the fixed plate 351.

제1 부싱(374)은 회동 플레이트(361)에 결합되어 상기 밸런싱 조절용 샤프트(371)와 나사 맞물림되는 합금 금속이고, 제2 부싱(375)은 고정 플레이트(351)에 결합되어 밸런싱 조절용 샤프트(371)와 나사 맞물림되는 합금 금속이다.The first bushing 374 is an alloy metal which is coupled to the rotating plate 361 and is screwed with the balancing adjusting shaft 371. The second bushing 375 is coupled to the fixing plate 351 to rotate the balancing adjusting shaft 371 ) And a screw metal.

본 실시예에서 볼 스크루로 적용될 수 있는 밸런싱 조절용 샤프트(371)는 그 외면의 나사산이 제1 부싱(374)과 제2 부싱(375)에 나사 결합되게 배치되는데, 이때 제1 부싱(374)과 제2 부싱(375)은 나사산의 방향은 서로 반대 방향으로 이루어질 수 있다.In this embodiment, the balancing adjusting shaft 371, which can be applied as a ball screw, is arranged such that threads on the outer surface of the shaft 371 are screwed to the first bushing 374 and the second bushing 375, The second bushing 375 may be threaded in opposite directions.

따라서 밸런싱 조절용 샤프트(371)를 조이면 예컨대, 회동 플레이트(361)와 고정 플레이트(351) 간의 간격이 벌어질 수 있고, 밸런싱 조절용 샤프트(371)를 풀면 회동 플레이트(361)와 고정 플레이트(351) 간의 간격이 좁아질 수 있는데, 이렇게 밸런싱 조절용 샤프트(371)를 조절하여 회동 플레이트(361)와 고정 플레이트(351) 간의 간격을 조절하여 캐리지(310)의 레벨 편차를 줄인 후, 회동 플레이트(361)의 하부에서 고정부재(373)를 조여 밸런싱 조절용 샤프트(371)가 더 이상 회전되지 않도록 할 수 있다.Therefore, when the balancing adjusting shaft 371 is tightened, for example, the gap between the rotating plate 361 and the fixed plate 351 can be increased, and when the balancing adjusting shaft 371 is loosened, the rotating plate 361 and the fixed plate 351 The gap between the rotating plate 361 and the fixed plate 351 may be adjusted by adjusting the balancing adjusting shaft 371 so as to reduce the level deviation of the carriage 310, The fixing member 373 may be tightened at the bottom to prevent the balancing adjustment shaft 371 from rotating further.

한편, 밸런싱 조절용 샤프트(371)는 캐리지(310)에 대한 레벨 밸런싱 작업을 진행하기 위해 마련되지만 밸런싱 조절용 샤프트(371)는 포킹 작업 시 지지축을 형성할 수 있다.Meanwhile, the balancing adjusting shaft 371 is provided for advancing the level balancing operation to the carriage 310, but the balancing adjusting shaft 371 may form a supporting shaft during the forking operation.

따라서 밸런싱 조절용 샤프트(371) 영역에는 포킹 작업 시의 반력을 완충할 수 있는 수단이 요구된다. 이러한 완충 수단은 밸런싱 조절용 샤프트(371)의 반경 방향 외측에서 회동 플레이트(361)와 고정 플레이트(351) 사이 영역에 배치되어 탄성바이어스하는 탄성부재(377)에 의해 수행될 수 있다.Therefore, a means for buffering the reaction force in the forking operation is required in the region of the shaft 371 for balancing adjustment. This buffering means can be performed by an elastic member 377 which is disposed in the region between the rotation plate 361 and the fixing plate 351 at the radially outer side of the balancing adjustment shaft 371 and is elastically biased.

뿐만 아니라 밸런싱 조절용 샤프트(371)가 포킹 작업 시의 지지축을 형성하기 때문에 밸런싱 조절용 샤프트(371)와 제1 및 제2 부싱(374,375) 간에는 적당한 윤활이 필요하다.In addition, since the balancing adjusting shaft 371 forms the supporting shaft in the forking operation, proper lubrication between the balancing adjusting shaft 371 and the first and second bushings 374 and 375 is required.

만약, 밸런싱 조절용 샤프트(371)와 제1 및 제2 부싱(374,375) 간에 그리스(oil)에 의한 윤활이 이루어지지 않을 경우, 밸런싱 조절용 샤프트(371)와 제1 및 제2 부싱(374,375) 중 어느 하나가 파손될 수 있다.If the oil is not lubricated between the balancing adjusting shaft 371 and the first and second bushings 374 and 375, the balancing adjusting shaft 371 and the first and second bushings 374 and 375 One can be destroyed.

이에, 본 실시예의 경우, 밸런싱 조절용 샤프트(371) 내에 그리스 주머니(372)를 형성시키고, 그리스 주머니(372) 내의 그리스가 제1 부싱(374)과 제2 부싱(375) 측으로 그리스를 제공할 수 있도록 하고 있다. 따라서 그리스 주머니(372)에는 제1 부싱(374)과 제2 부싱(375) 측과 연통되는 연통구(372a,372b)가 형성된다.Thus, in this embodiment, the grease bag 372 is formed in the balancing adjustment shaft 371, and the grease in the grease bag 372 can supply grease to the first bushing 374 and the second bushing 375 side . Therefore, the grease bag 372 is provided with the communication holes 372a and 372b communicating with the first bushing 374 and the second bushing 375 side.

평상 시 그리스 주머니(372)가 개방되면 곤란하기 때문에 그리스 주머니(372)의 일단부에는 그리스 주머니(372)를 개폐하는 마개(376)가 착탈 가능하게 결합된다.A plug 376 for opening and closing the grease bag 372 is detachably coupled to one end of the grease bag 372 because the grease bag 372 is difficult to open.

이하, 본 실시예에 따른 스토커 장치(1)를 통해 레벨 밸런싱 작업을 진행하는 과정을 설명한다.Hereinafter, a process of performing the level balancing operation through the stocker apparatus 1 according to the present embodiment will be described.

우선, 도 9처럼 카세트 선반(8)의 로드 아암(410, load arm)에 스케일 지그(420, scale jig)를 설치한다. 스케일 지그(420)에는 다수의 눈금이 형성된다.First, a scale jig 420 is installed on a load arm 410 of a cassette shelf 8 as shown in FIG. In the scale jig 420, a plurality of graduations are formed.

이처럼 카세트 선반(8)의 로드 아암(410)에 스케일 지그(420)를 설치한 후에는 포크 유닛(300)의 탑 포크(340)를 전진시켜 스케일 지그(420)와 탑 포크(340)의 스케일 지침(341)의 상대 위치를 확인한다.After the scale jig 420 is installed on the load arm 410 of the cassette shelf 8 as described above, the top fork 340 of the fork unit 300 is advanced so that the scale jig 420 and the scale of the top fork 340 Confirm the relative position of the instruction (341).

그런 다음, 레벨 밸런싱 유닛(370)을 조작함으로써, 레벨 밸런싱 작업을 진행한다. 이때는 밸런싱 조절용 샤프트(371)를 조이거나 풀면서 진행할 수 있다.Then, by operating the level balancing unit 370, the level balancing operation is performed. At this time, the balancing adjustment shaft 371 can be tightened or loosened.

즉 밸런싱 조절용 샤프트(371)를 조이면 예컨대, 회동 플레이트(361)와 고정 플레이트(351) 간의 간격이 벌어질 수 있고, 밸런싱 조절용 샤프트(371)를 풀면 회동 플레이트(361)와 고정 플레이트(351) 간의 간격이 좁아질 수 있는데, 이렇게 밸런싱 조절용 샤프트(371)를 조절하여 회동 플레이트(361)와 고정 플레이트(351) 간의 간격을 조절하여 캐리지(310)의 레벨 편차를 줄인 후, 회동 플레이트(361)의 하부에서 고정부재(373)를 조여 밸런싱 조절용 샤프트(371)가 더 이상 회전되지 않도록 하면 된다.That is, if the balancing adjustment shaft 371 is tightened, for example, the gap between the rotation plate 361 and the fixing plate 351 can be widened, and when the balancing adjustment shaft 371 is loosened, the rotation plate 361 and the fixing plate 351 The gap between the rotating plate 361 and the fixed plate 351 may be adjusted by adjusting the balancing adjusting shaft 371 so as to reduce the level deviation of the carriage 310, The fixing member 373 may be tightened at the bottom to prevent the balancing adjustment shaft 371 from being further rotated.

이상 설명한 바와 같은 구조와 작용을 갖는 본 실시예에 따르면, 캐리지(310, 도 3 및 도 8 참조)의 레벨 편차를 줄이기 위한 레벨 밸런싱(balancing) 작업을 정밀하게 수행할 수 있음은 물론, 장치마다 레벨 편차의 예측이 가능하기 때문에 장치의 셋업(set up)에 따른 시간과 비용을 종래보다 현저하게 감소시킬 수 있게 된다.According to the present embodiment having the structure and operation as described above, a level balancing operation for reducing the level deviation of the carriage 310 (see Figs. 3 and 8) can be performed precisely, Since the level deviation can be predicted, the time and cost associated with set up of the apparatus can be remarkably reduced as compared with the prior art.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. It is therefore intended that such modifications or alterations be within the scope of the claims appended hereto.

100 : 마스트 유닛 110 : 마스트 커버 프레임
111 : 마스트 프레임 112 : 프런트 커버
112a : 스틸 플레이트부 113 : 리어 커버
120 : 승강모듈 121 : 리프팅 블록
123 : 타이밍 벨트 130 : 방진벨트
140 : 가이드 레일 150 : 웨이트 밸런스 추
200 : 스토커 본체 210 : 하부 프레임
220 : 상부 프레임 300 : 포크 유닛
310 : 캐리지 320 : 턴테이블
330 : 포크 아암 340 : 탑 포크
341 : 스케일 지침 350 : 업/다운 프레임
351 : 고정 플레이트 360 : 회동편
361 : 회동 플레이트 362 : 힌지
370 : 레벨 밸런싱 유닛 371 : 밸런싱 조절용 샤프트
372 : 그리스 주머니 372a,372b : 연통구
373 : 고정부재 374 : 제1 부싱
375 : 제2 부싱 376 : 마개
377 : 탄성부재 410 : 로드 아암
420 : 스케일 지그100: mast unit 110: mast cover frame
111: mast frame 112: front cover
112a: Steel plate portion 113: Rear cover
120: lift module 121: lifting block
123: timing belt 130: dustproof belt
140: Guide rail 150: Weight balance weight
200: Stocker main body 210: Lower frame
220: upper frame 300: fork unit
310: carriage 320: turntable
330: fork arm 340: top fork
341: Scale instruction 350: Up / down frame
351: Fixing plate 360:
361: Rotating plate 362: Hinge
370: Level balancing unit 371: Balancing adjustment shaft
372: Grease bag 372a, 372b:
373: Fixing member 374: First bushing
375: second bushing 376: stopper
377: elastic member 410: load arm
420: Scale jig

Claims

Stocker body; And
A fork unit coupled to the stocker body so as to be movable up / down, and for transferring a cassette to a cassette lathe,
The fork unit includes:
Carriage;
An up / down frame having one side connected to the carriage and the other side up / down movably coupled to the stocker body; And
And a level balancing unit provided on a fixed plate that forms one side of the up / down frame and performs a level balancing operation to reduce a level deviation of the carriage, Stocker device.

delete

The method according to claim 1,
The level balancing unit includes:
A balancing adjusting shaft disposed over the rotating plate and the fixing plate and having threads formed on the outer surface thereof; And
And a fixing member for fixing the balancing adjustment shaft at one side of the rotation plate and the fixing plate.

The method of claim 3,
The level balancing unit includes:
A first bushing coupled to the rotating plate and screwed into the balancing adjusting shaft; And
And a second bushing coupled to the fixing plate and screwed into the shaft for balancing adjustment.

5. The method of claim 4,
Wherein the first bushing and the second bushing are threaded in opposite directions.

5. The method of claim 4,
Wherein a grease bag for providing grease to the first bushing and the second bushing is formed in the balancing adjustment shaft.

The method according to claim 6,
Wherein a stopper for opening and closing the grease bag is detachably coupled to an end of the shaft for balancing adjustment.

The method of claim 3,
The level balancing unit includes:
Further comprising an elastic member disposed on a radially outer side of the balancing adjusting shaft and elastically biasing in a region between the rotating plate and the fixed plate.

The method according to claim 1,
The level balancing unit includes:
Wherein the carriage is individually arranged at each corner of the carriage in a square configuration.

The method according to claim 1,
The fork unit includes:
A turntable rotatably coupled to the carriage in a forward and reverse direction;
A fork arm movably coupled to the turntable; And
Further comprising a top fork coupled to an end of the fork arm and having scale guides on one side thereof,
Wherein the level balancing operation is performed by installing a scale jig on a load arm of the cassette lathe and advancing the top fork to confirm the relative position of the scale guide of the scale jig and the scale fork of the top fork, And the leveling unit proceeds through operation of the level balancing unit.

The method according to claim 1,
The stocker body includes:
A lower frame movably provided along the rail;
A pair of mast units spaced apart from each other in the lower frame; And
And an upper frame connecting the upper ends of the pair of mast units.

12. The method of claim 11,
Wherein the mast unit comprises:
A mast cover frame having a front exposed portion formed along a height direction with a central region of a front cover forming a front portion opened;
An elevating module having a lifting block disposed inside the mast cover frame and connected to the fork unit through the front exposed portion, the elevating module moving the lifting block along the front exposed portion to move the fork unit up and down; And
And a shielding module disposed to penetrate at least a part of the lifting block to allow movement of the lifting block, and a shielding module detachably coupled to an inner wall of the front cover to shield the front exposed portion.

13. The method of claim 12,
Wherein the shielding module seals the front exposed portion,
The dust-
A dustproof portion provided at a width corresponding to the width of the front exposed portion and absorbing vibration due to the operation of the lifting module and blocking scattering of particles; And
And a magnetic band portion of a permanent magnet material which is extended from both sides of the dustproof portion along the longitudinal direction of the dustproof portion and is integrally formed with the dustproof portion and is magnetically coupled to the inner wall of the front cover,
And a steel play part magnetically coupled to the magnetic band part is provided on an inner wall of the front cover.