KR101576544B1

KR101576544B1 - Stocker apparatus

Info

Publication number: KR101576544B1
Application number: KR1020140021256A
Authority: KR
Inventors: 이성일; 김종화
Original assignee: 주식회사 에스에프에이
Priority date: 2014-02-24
Filing date: 2014-02-24
Publication date: 2015-12-10
Also published as: KR20150100000A

Abstract

스토커 장치가 개시된다. 본 발명의 실시예들에 따른 스토커 장치는, 레일을 따라 이동가능하게 마련되는 하부프레임에 상호 이격되도록 결합되는 한 쌍의 마스트 유닛; 및 한 쌍의 마스트 유닛 사이에 배치되어 상하로 이동하며, 기판이 수납되는 카세트를 운반하는 포크 유닛을 포함하며, 마스트 유닛은, 전면부를 형성하는 프런트 커버의 중심 영역이 개구되어 높이방향을 따라 형성된 전면노출부를 구비하는 마스트 커버프레임; 마스트 커버프레임의 내부에 배치되고 전면노출부를 통해 포크 유닛과 연결되는 리프팅 블럭을 구비하며, 리프팅 블럭을 전면노출부를 따라 이동시켜 포크 유닛을 상하로 이동시키는 승강모듈; 및 리프팅 블럭의 적어도 일부 영역을 관통하게 배치되어 리프팅 블럭의 이동을 허용하되, 프런트 커버의 내벽에 착탈 가능하게 결합되어 전면노출부를 차폐시키는 차폐유닛을 포함한다.A stocker apparatus is disclosed. According to embodiments of the present invention, there is provided a stocker apparatus comprising: a pair of mast units coupled to a lower frame movably along a rail so as to be spaced apart from each other; And a fork unit which is disposed between the pair of mast units and moves up and down, and carries a cassette in which the substrate is housed, wherein the mast unit comprises: a central region of the front cover forming the front portion, A mast cover frame having a front exposed portion; A lift module disposed inside the mast cover frame and having a lifting block connected to the fork unit through a front exposed portion, the lifting and lowering module moving the lifting block along the front exposed portion to move the fork unit up and down; And a shielding unit disposed to penetrate at least a portion of the lifting block to allow movement of the lifting block, and a shielding unit detachably coupled to an inner wall of the front cover to shield the front exposed portion.

Description

STOCKER APPARATUS

본 발명은, 스토커 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 카세트 운반 시 소음 및 진동을 줄일 수 있으며 마스트 외부로 파티클이 유출되는 것을 방지할 수 있는 스토커 장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a stocker apparatus, and more particularly, to a stocker apparatus capable of reducing noise and vibration when a cassette is transported and preventing particles from leaking out of the mast.

최근 들어 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평면디스플레이(Flat Panel Display, FPD)가 등장하기 시작하였다.Recently, as the electronic display industry has rapidly developed in the semiconductor industry, a flat panel display (FPD) has begun to emerge.

평면디스플레이(FPD)는, TV나 컴퓨터 모니터 등에 디스플레이(Display)로 주로 사용된 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치로서, 이에는 액정표시장치(LCD, liquid crystal display), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP, Plasma Display Panel), 유기전계발광다이오드(OLED, Organic Light Emitting Diodes) 등이 포함될 수 있다.A flat panel display (FPD) is thinner and lighter than a cathode ray tube (CRT) used mainly as a display in a TV or a computer monitor, and includes a liquid crystal display (LCD) ), A plasma display panel (PDP), an organic light emitting diode (OLED), and the like.

이러한 평면디스플레이(FPD) 중 하나인 박막트랜지스터(TFT, Thin Film Transistor) 액정표시장치(TFTLCD)는, 2장의 얇은 상하 유리기판 사이에 고체와 액체의 중간물질인 액정을 주입하고 상하 유리기판의 전극 전압차로 액정분자의 배열을 변화시킴으로써 명암을 발생시켜 숫자나 영상을 표시하는 일종의 광스위치 현상을 이용한 소자이다.A thin film transistor (TFT) liquid crystal display (TFTLCD) which is one of such flat displays (FPD) is a liquid crystal display device in which a liquid crystal which is an intermediate of solid and liquid is injected between two thin upper and lower glass substrates, It is a kind of device that uses a kind of optical switch phenomenon that changes the arrangement of liquid crystal molecules by voltage difference to generate light and darkness and displays numbers or images.

여기서, 평면디스플레이(FPD)는 박형화, 경량화, 저소비전력화의 우수한 성능으로 인하여 빠른 속도로 기존의 음극선관(CRT)을 대체하고 있는데, 현재, 액정표시장치(LCD)는 전자시계를 비롯하여 전자계산기, TV, 노트북 PC 등 전자제품에서 자동차, 항공기의 속도표시판 및 운행시스템 등에 이르기까지 폭넓게 사용되고 있다.Here, flat panel displays (FPDs) replace CRTs at a rapid rate due to their excellent performance of thinning, light weighting, and low power consumption. Today, liquid crystal displays (LCDs) TVs, and notebook PCs, to automobile, aircraft speed display boards, and operating systems.

한편, 액정표시장치(LCD) 또는 유기전계발광다이오드(OLED, Organic Light Emitting Diodes)와 같은 평면디스플레이에서 글래스(Glass) 기판의 역할과 기능은 극히 중요한데, 이는 글래스 기판에 형성되는 다수의 회로소자의 기능에 따라 평면디스플레이의 전체적인 품질이 영향을 받기 때문이다.On the other hand, the role and function of a glass substrate in a flat display such as a liquid crystal display (LCD) or an organic light emitting diode (OLED) is extremely important. The overall quality of the flat display is affected by the function.

그리고, 평면디스플레이의 글래스 기판은 그 특성상 외부로부터 가해지는 충격에 매우 취약한 성질을 가지고 있기 때문에 취급에 있어서 특별한 주의가 요구된다. The glass substrate of the flat panel display is very susceptible to impact from the outside due to its characteristics, so special care is required in handling.

따라서 평면디스플레이를 제조하는 제조공정에서 글래스 기판을 훼손 없이 효율적으로 이송, 보관할 수 있다면, 생산성을 향상시킬 수 있음은 물론 평면디스플레이의 품질도 유지할 수 있을 것이다.Therefore, if the glass substrate can be efficiently transported and stored in a manufacturing process for manufacturing a flat panel display without any damage, the productivity can be improved and the quality of the flat panel display can be maintained.

평면디스플레이를 제조하는 제조공정에서 임의의 공정이 완료된 글래스 기판들은 일반적으로 카세트(Cassette)에 탑재되는데, 글래스 기판들이 탑재된 카세트들은 다음 공정을 수행하는 다른 임의의 장비로 운반되기 전에, 카세트 보관 시스템의 선반에 임시로 저장된 후 다른 공정을 수행하는 다른 장비로 운반된다. Glass substrates that have undergone any process in the manufacturing process for producing a flat panel display are generally mounted on a cassette in which the cassettes on which the glass substrates are mounted are transported to a cassette storage system Lt; RTI ID = 0.0 > other < / RTI > equipment performing other processes.

이는, 각 공정을 수행하는 각 장비들의 글래스 기판 처리 능력 및 처리 시간의 차이에 의해 발생하는 버퍼링(buffering) 문제를 해소하기 위함이다.This is to solve the buffering problem caused by the difference in the glass substrate processing capability and the processing time of each equipment performing each process.

이때, 카세트들을 이동시키는 수단으로 스토커 장치가 사용된다. 여기서, 스토커 장치는 레일을 따라 이동하면서 선반으로 카세트를 인입하여 적재하거나, 선반으로부터 카세트를 인출하는 등의 일련의 작업을 수행한다.At this time, the stocker apparatus is used as means for moving the cassettes. Here, the stocker apparatus performs a series of operations such as loading and unloading a cassette with a shelf while moving along a rail, or withdrawing a cassette from a shelf.

한편, 종래의 스토커 장치에는, 대한민국 공개특허 10-2009-0046890에 개시되어 있는 바와 같이, 카세트를 승강시키기 위한 수단으로 마스트(mast)와 마스트 내부에 설치된 풀리와 타이밍 벨트가 개시되어 있다. 여기서 선반프레임은 마스트의 개방된 일측면을 통해 타이밍 벨트와 연결되어 상하로 이동된다. On the other hand, as disclosed in Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2009-0046890, a conventional stoker apparatus is provided with a mast and a pulley and a timing belt provided inside the mast as means for raising and lowering the cassette. Here, the shelf frame is connected to the timing belt through one opened side of the mast and moved up and down.

그런데, 이러한 종래의 스토커 장치는 마스트의 내부에서 벨트 구동에 따른 기계적 마찰과 진동으로 발생하는 파티클들이 마스트의 개방된 일측면을 통해 마스트 외부로 유출되는 문제가 있다. However, such a conventional stoker apparatus has a problem that particles generated by mechanical friction and vibration due to belt driving in the mast flow out of the mast through one open side of the mast.

이렇게 마스트 외부로 유출된 파티클들은 카세트 내부에 수용되어 있는 글래스 기판을 훼손시켜 제품의 품질을 저하시키는 요인이 되기 때문에 이를 보완할 수 있는 구조를 갖는 스토커 장치의 개발이 필요한 실정이다. Particles leaking out to the outside of the mast cause damage to the glass substrate accommodated in the cassette, thereby deteriorating the quality of the product. Therefore, it is necessary to develop a stocker having a structure capable of compensating the quality.

대한민국 특허공개특허 10-2009-0046890, 가부시키가이샤 아이에이치아이Korean Patent Laid-Open No. 10-2009-0046890,

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 카세트 운반 시 소음 및 진동을 줄일 수 있으며 마스트(Mast) 외부로 파티클(Particle)이 유출되는 것을 방지할 수 있는 차폐유닛을 구비함으로써 글래스 기판의 훼손 없이 카세트를 운반할 수 있는 스토커 장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a shielding unit capable of reducing noise and vibration during transportation of a cassette and preventing a particle from leaking out of the mast, Thereby providing a stocker apparatus capable of transporting the stocker.

본 발명의 일 측면에 따르면, 레일을 따라 이동가능하게 마련되는 하부프레임에 상호 이격되도록 결합되는 한 쌍의 마스트 유닛; 및 상기 한 쌍의 마스트 유닛 사이에 배치되어 상하로 이동하며, 기판이 수납되는 카세트를 운반하는 포크 유닛을 포함하며, 상기 마스트 유닛은, 전면부를 형성하는 프런트 커버의 중심 영역이 개구되어 높이방향을 따라 형성된 전면노출부를 구비하는 마스트 커버프레임; 상기 마스트 커버프레임의 내부에 배치되고 상기 전면노출부를 통해 상기 포크 유닛과 연결되는 리프팅 블럭을 구비하며, 상기 리프팅 블럭을 상기 전면노출부를 따라 이동시켜 상기 포크 유닛을 상하로 이동시키는 승강모듈; 및 상기 리프팅 블럭의 적어도 일부 영역을 관통하게 배치되어 상기 리프팅 블럭의 이동을 허용하되, 상기 프런트 커버의 내벽에 착탈 가능하게 결합되어 상기 전면노출부를 차폐시키는 차폐유닛을 포함하는 스토커 장치가 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a motorcycle comprising: a pair of mast units coupled to each other so as to be spaced apart from each other in a lower frame movably provided along a rail; And a fork unit which is disposed between the pair of mast units and moves up and down, and carries a cassette in which the substrate is housed, wherein the mast unit has a central region of the front cover which forms the front portion is opened, A mast cover frame having a front exposed portion formed thereon; A lifting module disposed inside the mast cover frame and having a lifting block connected to the fork unit through the front exposed portion and moving the lifting block along the front exposed portion to move the fork unit up and down; And a shielding unit disposed to penetrate at least a part of the lifting block to permit movement of the lifting block and to be detachably coupled to an inner wall of the front cover to shield the front exposed unit. have.

상기 차폐유닛은, 상기 리프팅 블럭의 상하 이동에 따라 상기 리프팅 블럭의 내부로 인입되면 상기 프런트 커버의 내벽에서 떨어지되, 상기 리프팅 블럭의 내부로부터 인출되면 상기 프런트 커버의 내벽에 재결합될 수 있다.The shielding unit may be detached from the inner wall of the front cover when the lifting block is drawn into the lifting block according to the upward and downward movement of the lifting block, and may be recombined with the inner wall of the front cover when drawn out from the inside of the lifting block.

상기 차폐유닛은, 상기 전면노출부를 밀폐시키는 방진벨트이며, 상기 방진벨트는, 상기 전면노출부의 폭에 대응되는 폭으로 마련되며, 상기 승강모듈의 동작으로 인한 진동을 흡수하고 파티클의 비산을 차단하는 방진부; 및 상기 방진부와 일체로 형성되며 상기 프런트 커버의 내벽에 자기적으로 결합가능한 영구자석 재질의 마그네틱 밴드부를 포함할 수 있다. The shielding unit is a dustproof belt that seals the front exposed portion. The dustproof belt is provided at a width corresponding to the width of the front exposed portion, absorbs vibration due to the operation of the lifting and lowering module, A dustproof portion; And a magnetic band portion of a permanent magnet material which is integrally formed with the dustproof portion and is magnetically coupled to the inner wall of the front cover.

상기 마그네틱 밴드부는 상기 방진부를 사이에 두고 양측에 배치되며, 상기 방진부의 길이방향을 따라 길게 연장되게 마련될 수 있다.The magnetic band portion may be disposed on both sides of the dust-proof portion and may extend along the longitudinal direction of the dust-proof portion.

상기 프런트 커버의 내벽에는, 상기 마그네틱 밴드부와 자기적으로 결합되는 스틸(steel) 플레이부가 마련될 수 있다.A steel play part magnetically coupled to the magnetic band part may be provided on the inner wall of the front cover.

상기 리프팅 블럭은, 상기 승강모듈에 의한 이동 시 상기 방진벨트가 통과되는 터널부를 구비하며, 상기 리프팅 블럭을 상기 포크 유닛과 연결시키며 상기 포크 유닛을 지지하는 삼각프레임과 결합되는 리프팅 블럭바디를 포함할 수 있다.The lifting block includes a lifting block body having a tunnel portion through which the dustproof belt passes when the lifting module is moved by the lifting and lowering module, and a lifting block body coupled to the tripping frame for connecting the lifting block to the forking unit and supporting the forking unit .

상기 리프팅 블럭은, 상기 터널부에 인접한 위치에 마련되며, 상기 방진벨트의 안쪽 면과 구름접촉되어 상기 방진벨트를 상기 터널부의 내측 또는 외측으로 가이드하는 가이드롤러; 및 상기 터널부의 내부에 마련되며, 상기 방진벨트를 상기 프런트 커버의 내벽에서 떨어지도록 상기 방진벨트의 바깥쪽 면을 가압하는 가압롤러를 더 포함할 수 있다.The lifting block includes a guide roller provided at a position adjacent to the tunnel portion and in rolling contact with an inner surface of the dustproof belt to guide the dustproof belt to the inside or outside of the tunnel portion. And a pressure roller which is provided inside the tunnel portion and presses the outer surface of the dustproof belt so that the dustproof belt is separated from the inner wall of the front cover.

상기 가이드 롤러는 한 쌍으로 마련되며, 한 쌍의 가이드롤러는 각각 상기 터널부의 양측 입구에 인접하게 배치되며, 상기 가압롤러는 한 쌍으로 마련되며, 한 쌍의 가압롤러는 각각 상기 터널부의 양측 입구에 배치될 수 있다.The pair of guide rollers are disposed adjacent to the openings on both sides of the tunnel portion. The pair of pressure rollers are provided on both sides of the entrance of the tunnel portion, As shown in FIG.

상기 승강모듈은, 상기 마스트 커버프레임 내부에서 상하로 이격 배치되게 마련되는 한 쌍의 풀리; 상기 한 쌍의 풀리를 회전 구동시키는 동력을 제공하는 구동모터; 및 상기 리프팅 블럭바디의 양단부와 연결되며 상기 한 쌍의 풀리에 맞물림되어 감김 또는 풀림 동작되는 타이밍 벨트를 포함할 수 있다.The elevating module includes a pair of pulleys arranged to be vertically spaced from each other in the mast cover frame; A drive motor for providing power for rotationally driving the pair of pulleys; And a timing belt connected to both ends of the lifting block body and engaged with the pair of pulleys to be wound or unwound.

상기 리프팅 블럭은, 상기 타이밍 벨트를 상기 리프팅 블럭바디의 양단부에 클램핑시키는 클램핑부재를 더 포함할 수 있다.The lifting block may further include a clamping member for clamping the timing belt to both ends of the lifting block body.

상기 마스트 유닛은, 상기 마스트 커버프레임 내부에 마련되며, 상기 리프팅 블럭바디가 슬라이딩이동 가능하게 결합되어 상기 리프팅 블럭의 상하 이동을 안내하는 가이드레일을 더 포함할 수 있다.The mast unit may further include a guide rail provided inside the mast cover frame and coupled to the lifting block body so as to be slidably movable to guide the lifting block up and down.

상기 마스트 유닛은, 상기 마스트 커버프레임 내부에 공기를 분사하여 파티클을 비산시키는 에어컴퓨레셔(air compressor); 및 상기 마스트 커버프레임 내부에서 비산되는 파티클을 흡입하는 진공펌프를 포함할 수 있다.The mast unit includes an air compressor for spraying air into the mast cover frame to scatter particles. And a vacuum pump for sucking particles scattered inside the mast cover frame.

상기 마스트 유닛은, 상기 마스트 커버프레임의 적어도 어느 일측 결합되어 상기 마스트 커버프레임 내부의 파티클을 포집하는 팬필터 유닛을 더 포함할 수 있다.The mast unit may further include a fan filter unit coupled to at least one of the mast cover frames to collect particles inside the mast cover frame.

상기 팬필터 유닛은 복수 개가 마련되며, 상기 마스트 커버프레임의 하부와 상기 마스트 커버프레임의 높이방향을 따라 상호 이격되게 배치될 수 있다.A plurality of fan filter units may be provided, and may be spaced apart from each other along a height direction of the mast cover frame and a lower portion of the mast cover frame.

상기 마스트 커버프레임은, 상기 프런트 커버와 결합되어 상기 프런트 커버와 함께 상기 리프팅 블럭이 상하로 이동하는 제1 공간을 형성하는 마스트 프레임; 및 상기 프런트 커버의 반대편에서 상기 마스트 프레임과 결합되어 상기 마스트 프레임과 함께 상기 제1 공간과 분리되고 밀폐된 제2 공간을 형성하는 리어 커버를 더 포함할 수 있다.The mast cover frame is coupled to the front cover to form a first space in which the lifting block moves up and down together with the front cover. And a rear cover coupled to the mast frame at an opposite side of the front cover to form a second space separated from the first space together with the mast frame.

상기 제2 공간에는 상기 리프팅 블럭에 작용하는 하중을 감쇄시키기 위한 웨이트 밸런스 추가 상하로 이동가능하게 마련될 수 있다.The second space may be provided so as to be movable up and down by adding a weight balance for attenuating a load acting on the lifting block.

본 발명의 실시예에 따르면, 카세트 운반 시 소음 및 진동을 줄일 수 있으며 마스트(Mast) 외부로 파티클(Particle)이 유출되는 것을 방지할 수 있는 차폐유닛을 구비함으로써 글래스 기판의 훼손 없이 카세트를 운반할 수 있다.According to the embodiment of the present invention, there is provided a shielding unit capable of reducing noise and vibration during transportation of a cassette and preventing particles from leaking out of the mast, thereby transporting the cassette without damaging the glass substrate .

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 스토커 시스템의 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1의 스토커 장치의 개략적인 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 마스트 유닛의 사시도이다.
도 4는 도 3의 주요 부분 절취 사시도이다.
도 5는 도 4에서 마스트 커버프레임의 프런트 커버 일부분을 제거한 상태를 도시한 도면이다.
도 6은 도 5의 절개 단면도이다.
도 7은 본 실시예에 따른 마스트 유닛의 단면도이다.
도 8은 도 7의 부분 확대도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스트 유닛의 사시도이다.
도 10은 도 9의 마스트 유닛의 하단부의 개략적인 구조도이다.
도 11은 도 10의 절개 단면도이다.1 is a schematic configuration diagram of a stocker system according to an embodiment of the present invention.
2 is a schematic perspective view of the stocker apparatus of FIG.
3 is a perspective view of a mast unit according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a perspective view of the main part taken in FIG. 3; FIG.
FIG. 5 is a view showing a state in which a part of the front cover of the mast cover frame is removed in FIG.
6 is a cross-sectional view of Fig.
7 is a cross-sectional view of the mast unit according to the present embodiment.
8 is a partial enlarged view of Fig.
9 is a perspective view of a mast unit according to another embodiment of the present invention.
10 is a schematic structural view of the lower end of the mast unit of Fig.
11 is a cross-sectional view of Fig.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, operational advantages of the present invention, and objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings and the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference symbols in the drawings denote like elements.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 스토커 장치가 적용되는 스토커 시스템의 개략적인 구성도이다.FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a stocker system to which a stocker apparatus according to an embodiment of the present invention is applied.

스토커 시스템은, 글래스 기판이 수납된 카세트(C)가 적재되는 선반(2)들과 입출고 포트(3)를 구비하는 캐비닛(미도시)과, 입출고 포트(3)와 선반(2)들 간을 이동하면서 카세트(C)를 운반하는 스토커 장치(1)를 포함한다.The stocker system includes a cabinet (not shown) having a shelf 2 on which a cassette C accommodating a glass substrate is placed and an input / output port 3, and a cabinet (not shown) provided between the input / output port 3 and the shelves 2 And a stocker device (1) for transporting the cassette (C) while moving.

도면에 도시하지 않았으나, 캐비닛(미도시)은 대략 사각 컨테이너(contanier) 형상으로 카세트(C)들이 임시로 보관되는 장소를 형성한다. 다만, 캐비닛은 내부에 적재될 카세트(C)의 개수와 크기에 따라 적절하게 설계 변경될 수 있다. Although not shown in the drawing, a cabinet (not shown) forms a place where the cassettes C are temporarily stored in a substantially rectangular container shape. However, the cabinet can be appropriately changed in design according to the number and size of the cassettes C to be loaded therein.

입출고 포트(3)는, 카세트(C)가 캐비닛 내외로 출입되는 장소로, 도시하지는 않았으나, 캐비닛에는 필요에 따라서 입출고 포트(3)가 두 개 이상이 마련될 수도 있다. The entrance and exit port 3 is a place where the cassette C is moved into and out of the cabinet. Although not shown, two or more I / O ports 3 may be provided in the cabinet, if necessary.

입출고 포트(3)에는 롤러 컨베이어가 설치되어 있다. 입출고 포트(3)의 롤러 컨베이어는 캐비닛 외부의 물류 라인과 연결될 수 있고, 각 선반(2)에서 입출고 포트(3)로 운반된 카세트(C)들은 컨베이어 물류 라인을 따라 임의의 공정 장소로 이송될 수 있다. 물론, 반대로 외부에서 카세트(C)들이 이송되어와 입출고 포트(3)를 통해 선반(2)에 적재될 수 있다.The entrance and exit port 3 is provided with a roller conveyor. The roller conveyors of the input and output port 3 can be connected to the distribution lines outside the cabinet and the cassettes C transported from the respective shelves 2 to the entry and exit port 3 are transported to an arbitrary processing site along the conveyor distribution line . Of course, on the contrary, the cassettes C can be transferred from the outside and loaded on the shelf 2 through the entry / exit port 3.

선반(2)들은 캐비닛의 내부에 상하로 길게 마련되는 컬럼(4)에 의해 지지되게 마련된다. 그리고 캐비닛의 내부에서 스토커 장치(1)가 이동할 수 있는 레일(5)을 사이에 두고 캐비닛의 양측벽에 각각 마련될 수 있다. The shelves 2 are provided to be supported by the columns 4, which are arranged vertically in the interior of the cabinet. And can be provided on both side walls of the cabinet with a rail 5 through which the stocker apparatus 1 can move within the cabinet.

스토커 장치(1)는 입출고 포트(3)와 선반(2)들 간을 이동하면서 카세트(C)를 선반(2)에 적재시키거나 입출고 포트(3)를 통해 외부로 반출시키는 역할을 한다.The stocker device 1 serves to load the cassette C on the shelf 2 or carry it out to the outside through the input / output port 3 while moving between the input / output ports 3 and the shelves 2. [

도 2는 도 1의 스토커 장치의 개략적인 사시도이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 마스트 유닛의 사시도이고, 도 4는 도 3의 주요 부분 절취 사시도이고, 도 5는 도 4에서 마스트 커버프레임의 프런트 커버 일부분을 제거한 상태를 도시한 도면이고, 도 6은 도 5의 절개 단면도이고, 도 7은 본 실시예에 따른 마스트 유닛의 단면도이고, 도 8은 도 7의 부분 확대도이다.3 is a perspective view of the mast unit according to the embodiment of the present invention, Fig. 4 is a cutaway perspective view of the main part of Fig. 3, Fig. 5 is a cross- Fig. 6 is a cross-sectional view of Fig. 5, Fig. 7 is a cross-sectional view of the mast unit according to the present embodiment, and Fig. 8 is a partially enlarged view of Fig.

도 2를 참조하여, 본 실시예에 따른 스토커 장치를 살펴보면, 스토커 장치(1)는, 카세트(C)를 핸들링하는 포크 유닛(10)과 레일(5)을 따라 이동하며 포크 유닛(10)을 업/다운(UP/DOWN)시키는 스토커 본체(20)를 포함한다. 2, the stocker apparatus 1 includes a fork unit 10 for handling the cassette C and a fork unit 10 for moving along the rail 5, And a stocker main body 20 for up / down (UP / DOWN).

먼저, 포크 유닛(10)에 대해 간략히 살펴본다. First, the fork unit 10 will be briefly described.

본 실시예에 따른 포크 유닛(10)은, 카세트(C)를 입출고 포트(3)에서 로딩하여 선반(2)에 언로딩할 수 있도록 카세트(C)를 핸들링하는 역할을 한다. The fork unit 10 according to the present embodiment serves to handle the cassette C so that the cassette C can be unloaded onto the shelf 2 by loading the cassette C from the input / output port 3.

이러한 포크 유닛(10)은, 스토커 본체(20)에 결합되어 승하강되는 캐리지(11)와 캐리지(11)에 정,역방향으로 회전되게 마련되는 턴테이블(12)과, 카세트(C)를 선반(2)에 로딩 또는 언로딩시키는 포크 아암(13)과 탑포크(14)로 구성될 수 있다. The fork unit 10 includes a carriage 11 coupled to the stocker main body 20 and ascending and descending and a turntable 12 rotated in the forward and reverse directions on the carriage 11, 2 and a top fork 14 for loading or unloading the fork arm 13 and the fork arm 13, respectively.

캐리지(11)는 사각 판 플레이트 형상으로 양측 모서리 영역이 삼각 프레임(15)에 결합된다. 삼각 프레임(15)은 캐리지(11)를 수평으로 지지하는 부분으로 후술할 리프팅 블럭(121)과 볼트 결합되어 리프팅 블럭(121)과 함께 마스트 유닛(100)의 높이 방향을 따라 상하로 승하강된다. 캐리지(11)의 상면에는 턴테이블(12)이 정,역방향으로 회전 가능하게 마련되고 턴테이블(12)에는 포크 아암(13)이 결합된다.The carriage 11 is coupled to the triangular frame 15 at both side edge regions in the form of a rectangular plate plate. The triangular frame 15 is a part that horizontally supports the carriage 11 and is bolted to a lifting block 121 to be described later and is lifted up and down along the height direction of the mast unit 100 together with the lifting block 121 . A turntable 12 is provided on the upper surface of the carriage 11 so as to be rotatable in forward and reverse directions and a fork arm 13 is coupled to the turntable 12.

포크 아암(13)은 턴테이블(12)에 의해 정,역방향으로 회전되어 캐비닛의 양측벽에 위치한 선반(2)들에 카세트(C)를 로딩 또는 언로딩시킨다.The fork arm 13 is rotated in the forward and reverse directions by the turntable 12 to load or unload the cassette C to the shelves 2 located on both side walls of the cabinet.

본 실시예에 따른 포크 아암(13)은, 링크된 두개의 아암으로 구성되며, 포크 아암(13)의 말단부에는 카세트(C)를 떠서 지지하는 탑포크(14)가 결합된다. 두개의 아암은 링크축을 중심으로 서로 상대 회전함으로써 탑포크(14)를 전진 또는 후진시킬 수 있다. The fork arm 13 according to the present embodiment is constituted by two linked arms and a top fork 14 is attached to the distal end of the fork arm 13 to support the cassette C floating. The two arms can rotate relative to each other about the link shaft to move the tower fork 14 forward or backward.

다음으로 본 실시예에 따른 스토커 본체(20)는, 캐비닛 바닥에 설치된 레일(5)을 따라 이동가능하게 마련되는 하부프레임(21)과, 하부프레임(21)에 상호 이격되게 결합된 한 쌍의 마스트 유닛(100)과, 한 쌍의 마스트 유닛(100)의 상단부를 연결하는 상부프레임(22)을 포함한다. Next, the stocker main body 20 according to the present embodiment includes a lower frame 21 which is provided so as to be movable along a rail 5 provided on the bottom of the cabinet, and a pair of lower frames 21 A mast unit 100, and an upper frame 22 connecting the upper ends of the pair of mast units 100.

하부프레임(21)은 마스트 유닛(100)을 지지하고 카세트(C)를 캐비닛 내에서 수평방향으로 이송하는 역할을 담당한다. 하부프레임(21)은 복수 개의 휠(21a)을 구비하여 레일(5)을 따라 이동하며, 도면에 자세히 도시하지 않았으나, 하부프레임(21)의 상면에는 동력을 발생시키는 모터(미도시)와, 동력을 전달하는 동력전달장치(미도시)가 설치될 수 있다.The lower frame 21 serves to support the mast unit 100 and to transport the cassette C in the horizontal direction in the cabinet. The lower frame 21 includes a plurality of wheels 21a and moves along the rail 5 so as not to be illustrated in detail in the figure. The upper frame 21 has a motor (not shown) A power transmission device (not shown) for transmitting power may be installed.

한 쌍의 마스트 유닛(100)은 캐비닛 내의 해당 선반(2)의 높이로 카세트(C)를 운반하는 역할을 한다. 한 쌍의 마스트 유닛(100)에는 삼각 프레임(15)이 승하강 가능하게 결합되고 삼각 프레임(15)은 포크 유닛(10)을 수평하게 지지한다. The pair of mast units 100 serve to transport the cassette C to the height of the shelf 2 in the cabinet. A triangular frame 15 is coupled to the pair of mast units 100 so as to be ascendable and descendable and a triangular frame 15 supports the fork unit 10 horizontally.

한편, 종래 기술에 따른 마스트 유닛(100)은 전면부가 개방되어 있거나, 부분적으로 밀폐되어 있기 때문에 포크 유닛(10)을 업/다운(UP/DOWN)시키는 과정에서 마스트 유닛(100) 내부에서 진동과 기계적 마찰로 인해 발생하는 파티클이 외부로 유출되는 것을 막을 수 없는 문제점이 있다. The mast unit 100 according to the related art has a front surface opened or partially closed so that the vibration of the inside of the mast unit 100 during the process of up / There is a problem that particles generated due to mechanical friction can not be prevented from flowing out to the outside.

이에 본 발명의 실시예에 따른 스토커 장치(1)는 마스트 유닛(100)에 차폐유닛(130)을 구비함으로써 마스트 유닛(100) 내부에서 발생하는 파티클이 외부로 유출되는 것을 차단시킬 수 있다. Therefore, the stocker apparatus 1 according to the embodiment of the present invention can prevent the particles generated in the mast unit 100 from flowing out to the outside by providing the mast unit 100 with the shielding unit 130.

이하에서는, 도 3 내지 도 8을 참조하여, 이러한 마스트 유닛(100)에 대해 자세히 설명하도록 한다.Hereinafter, the mast unit 100 will be described in detail with reference to Figs. 3 to 8. Fig.

본 실시예에 따른 마스트 유닛(100)은, 전면부의 중심 영역이 높이방향을 따라 개구되어 형성된 전면노출부(D)를 구비하는 마스트 커버프레임(110)과, 포크 유닛(10)을 마스트 커버프레임(110)을 따라 상하로 이동시키는 승강모듈(120)과, 전면노출부(D)를 차폐시키는 차폐유닛(130)을 포함한다.The mast unit 100 according to the present embodiment includes a mast cover frame 110 having a front exposed portion D formed by opening a central region of the front portion along a height direction, A lifting module 120 that moves up and down along the body 110 and a shielding unit 130 that shields the front exposed portion D. [

마스트 커버프레임(110)은 하부프레임(21)에 수직으로 기립되게 설치되는 마스트 프레임(111)과, 마스트 프레임(111)의 전면에 결합되는 프런트 커버(112)와, 마스트 프레임(111)의 후면에 결합되는 리어 커버(113)를 포함한다.The mast cover frame 110 includes a mast frame 111 installed vertically upright on the lower frame 21, a front cover 112 coupled to the front surface of the mast frame 111, (Not shown).

본 실시예에서 프런트 커버(112)와 리어 커버(113)는 마스트 프레임(111)에 형성된 홈에 각각 끼워져 결합될 수 있지만, 이와 달리 프런트 커버(112), 리어 커버(113) 및 마스트 커버가 일체로 형성될 수도 있다. The front cover 112 and the rear cover 113 can be respectively fitted into the grooves formed in the mast frame 111. Alternatively, the front cover 112, the rear cover 113, As shown in FIG.

프런트 커버(112)는 마스트 커버프레임(110)의 전면부로서 프런트 커버(112)의 중심 영역은 높이 방향을 따라 절취되어 개구되어 형성된 전면노출부(D)를 구비한다. 또한 프런트 커버(112)의 내벽에는 스틸(steel) 재질의 스틸 플레이트부(112a)가 마련된다. 스틸 플레이트부(112a)는 후술할 방진벨트(130)와 자기적으로 결합될 수 있다. The front cover 112 is a front surface of the mast cover frame 110 and has a central region of the front cover 112 having a front exposed portion D formed by being cut along the height direction. Further, a steel plate portion 112a made of steel is provided on the inner wall of the front cover 112. The steel plate portion 112a may be magnetically coupled to the vibration-proof belt 130 to be described later.

이러한 프런트 커버(112)는 마스트 프레임(111)과 함께 마스트 커버프레임(110) 내부에서 리프팅 블럭(121)이 상하로 이동할 수 있는 제1 공간을 형성한다. The front cover 112 together with the mast frame 111 forms a first space in which the lifting block 121 can move up and down inside the mast cover frame 110.

리어 커버(113)는 마스트 커버프레임(110)의 후면부로 밀폐된 구조로 마스트 프레임(111)과 함께 제1 공간(H1)과 분리된 제2 공간(H2)을 형성한다. 제2 공간(H2)에는 웨이트 밸런스 추(150)가 상하로 이동가능하게 배치된다. The rear cover 113 forms a second space H2 separated from the first space H1 together with the mast frame 111 in a structure sealed by the rear surface of the mast cover frame 110. [ In the second space H2, a weight balance weight 150 is arranged to be movable up and down.

웨이트 밸런스 추(150)는 후술할 타이밍 벨트(123)에 연결되어 리프팅 블럭(121)에 작용하는 하중을 상쇄시킴으로서 고중량의 카세트(C)를 승강시킬 수 있도록 구동모터(122)에 작용하는 부하를 감소시키는 역할을 담당한다. The weight balance weight 150 is connected to a timing belt 123 to be described later so as to offset the load acting on the lifting block 121 so that the load acting on the driving motor 122 can be raised or lowered .

한편, 승강모듈(120)은 마스트 커버프레임(110) 내부에 배치되어 포크 유닛(10)을 상하로 이동시키는 구성으로, 이에 대해서는 간략히 설명하도록 한다. The lift module 120 is disposed inside the mast cover frame 110 to move the fork unit 10 up and down.

본 실시예에서 승강모듈(120)은, 자세하게 도시하지 않았으나, 구동축과 종동축을 이루며 상하로 이격배치되는 한 쌍의 풀리(미도시)와, 한 쌍의 풀리에 맞물림되어 감김 또는 풀림 동작되는 타이밍 벨트(123)와, 타이밍 벨트(123)에 양단부가 연결된 리프팅 블럭(121)과, 풀리를 회전 구동시키는 동력을 제공하는 구동모터(122)의 조합으로 구성될 수 있다.Although not shown in detail in the present embodiment, the lift module 120 includes a pair of pulleys (not shown) spaced vertically apart from each other and forming a driven shaft with the drive shaft, a timing at which the pair of pulleys is engaged with the pair of pulleys, A belt 123, a lifting block 121 having both ends connected to the timing belt 123, and a drive motor 122 that provides power for rotationally driving the pulley.

참고로, 본 실시예와 달리 승강모듈(120)은, 리프팅 블럭(121)을 상하로 이동시킬 수 있는 어떠한 것이라면 어떠한 조합이라도 무방하다. 예컨데, 승강모듈(120)은 볼스크류(ball screw), 구동모터(122) 조합 등으로 구성될 수도 있을 것이다. For reference, unlike the present embodiment, the lifting module 120 may be any combination capable of moving the lifting block 121 up and down. For example, the lift module 120 may be composed of a combination of a ball screw, a driving motor 122, and the like.

여기서, 리프팅 블럭(121)은, 프런트 커버(112)의 전면노출부(D)를 통해 포크 유닛(10)을 지지하는 삼각 프레임(15)과 결합되고 타측은 전술한 제1 공간(H1)에서 마스트 프레임(111)에 길이방향을 따라 결합된 가이드 레일(140)을 따라 슬라이딩 가능하게 결합되어 있다.The lifting block 121 is connected to the triangular frame 15 supporting the fork unit 10 through the front exposed portion D of the front cover 112 and the other side is connected to the first space H1 And is slidably coupled along a guide rail 140 coupled to the mast frame 111 in the longitudinal direction.

이러한 구성으로 승강모듈(120)은 리프팅 블럭(121)을 상하로 이동시킴으로써 포크 유닛(10)을 마스트 커버프레임(110)의 높이 방향을 따라 업/다운시킨다. The lift module 120 moves the lifting block 121 up and down so that the fork unit 10 moves up and down along the height direction of the mast cover frame 110. [

한편, 차폐유닛(130)은 리프팅 블럭(121)이 삼각 프레임(15)에 결합되어 상하로 이동되는 프런트 커버(112)의 전면노출부(D)를 차폐시키는 역할을 한다. The shielding unit 130 shields the front exposed portion D of the front cover 112, which is coupled to the tripod frame 15 by the lifting block 121 and moves up and down.

본 실시예에서 차폐유닛(130)은 전면노출부(D)를 커버링(covering)하되 리프팅 블럭(121)의 이동은 허용될 수 있게 배치된다. 이하에서는 이러한 차폐유닛(130)과 리프팅 블럭(121)의 구조에 대해 자세히 설명하기로 한다. In this embodiment, the shielding unit 130 covers the front exposed portion D, but the movement of the lifting block 121 is allowed to be disposed. Hereinafter, the structure of the shielding unit 130 and the lifting block 121 will be described in detail.

본 실시예에 따른 차폐유닛(130)으로는 프런트 커버(112)의 전면노출부(D)를 차폐시킬 수 있는 방진벨트(130)가 적용되며, 방진벨트(130)는 마스트 커버프레임(110)의 프런트 커버(112)와 승강모듈(120)의 타이밍 벨트(123) 사이에 배치된다. 이때, 방진벨트(130)는 리프팅 블럭(121)의 적어도 일영역을 관통하여 전면노출부(D)를 커버링한다. The dust cover belt 130 is applied to the mast cover frame 110 so as to shield the front exposed portion D of the front cover 112, And is disposed between the front cover 112 of the lifting module 120 and the timing belt 123 of the lifting module 120. At this time, the dustproof belt 130 passes through at least one region of the lifting block 121 to cover the front exposed portion D.

참고로, 방진벨트(130)는 리프팅 블럭(121)을 관통하도록 되어 있어 방진벨트(130)를 사이에 두고 리프팅 블럭(121)의 일측은 프런트 커버(112)의 외부에 노출되어 있고 타측은 프런트 커버(112)의 내부에서 가이드 레일(140)에 슬라이딩 가능하게 결합되어 있다. The dustproof belt 130 penetrates through the lifting block 121 so that one side of the lifting block 121 is exposed to the outside of the front cover 112 with the dustproof belt 130 interposed therebetween, And is slidably coupled to the guide rail 140 inside the cover 112.

먼저, 본 실시예에 따른 방진벨트(130)는 방진부(131)와, 마그네틱 밴드부(132)로 구성된다. First, the dust-proof belt 130 according to the present embodiment includes a dust-proof part 131 and a magnetic band part 132.

방진부(131)는 전면노출부(D)에 대응되는 폭과 길이를 갖도록 형성되어 전면노출부(D)를 커버링(covering)한다. 이러한 방진부(131)는 승강모듈(120) 구동으로 인한 마스트 커버프레임(110)내에서 발생하는 진동을 흡수하고 파티클이 외부로 유출되는 것을 차단시킨다. The dustproof portion 131 is formed to have a width and a length corresponding to the front exposed portion D to cover the front exposed portion D. The dustproof part 131 absorbs vibration generated in the mast cover frame 110 due to the driving of the elevation module 120 and blocks the particles from flowing out to the outside.

그리고 마그네틱 밴드부(132)는 프런트 커버(112)의 내벽에 결합되는 부분으로 방진부(131)와 일체로 형성되며 방진부(131)의 양쪽 가장자리에 띠 모양으로 방진부(131)의 길이방향을 따라 연장되어 있다. The magnetic band portion 132 is formed integrally with the dust-proof portion 131 and is coupled to the inner wall of the front cover 112. The longitudinal direction of the dust-proof portion 131 is formed in a strip shape at both edges of the dust- .

이러한 마그네틱 밴드부(132)는 영구자석 재질로 마련되어 프런트 커버(112)의 내벽에 마련된 스틸 플레이트부(112a)와 자기적으로 결합된다. The magnetic band part 132 is made of a permanent magnet material and is magnetically coupled to a steel plate part 112a provided on the inner wall of the front cover 112. [

이와 같이, 프런트 커버(112)의 내벽에 마그네틱 밴드부(132)를 밀착되게 결합시킴으로써 프런트 커버(112)와 방진벨트(130) 사이에 발생할 수 있는 갭(gap)을 없앨 수 있다. The gap between the front cover 112 and the dustproof belt 130 can be eliminated by closely attaching the magnetic band portion 132 to the inner wall of the front cover 112.

다음으로, 리프팅 블럭(121)에 대해 살펴보면, 본 실시예 따른 리프팅 블럭(121)은, 상하 이동 시 방진벨트(130)가 통과되는 터널부(121b)를 구비하는 리프팅 블럭바디(121a)와, 리프팅 블럭바디(121a)에 타이밍 벨트(123)를 클램핑(clamping)시키는 클램핑 부재(121c)를 포함한다.The lifting block 121 according to the present embodiment includes a lifting block body 121a having a tunnel portion 121b through which the dustproof belt 130 passes when the lifting block 121 moves up and down, And a clamping member 121c for clamping the timing belt 123 to the lifting block body 121a.

도 5 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 리프팅 블럭(121)은 타이밍 벨트(123)에 연결된다. 구체적으로 살펴보면, 타이밍 벨트(123)는 리프팅 블럭바디(121a)의 양단부 영역에 겹치도록 자리배치된 상태에서 클램핑 부재(121c)에 의해 리프팅 블럭바디(121a)에 클램핑된다. As shown in FIGS. 5-6, the lifting block 121 is connected to the timing belt 123. Specifically, the timing belt 123 is clamped to the lifting block body 121a by the clamping member 121c in a state where the timing belt 123 is disposed so as to overlap the both end regions of the lifting block body 121a.

또한, 리프팅 블럭바디(121a)는 중심 영역의 폭이 가장자리보다 두껍게 형성되어 전면노출부(D)를 통해 프런트 커버(112)의 외부로 돌출될 수 있게 마련된다. 이와 같이 프런트 커버(112)의 외부로 돌출된 영역은 삼각 프레임(15)과 볼트 결합될 수 있다.In addition, the lifting block body 121a is formed such that the width of the central region is thicker than the edge, so that the lifting block body 121a can protrude to the outside of the front cover 112 through the front exposed portion D. The region of the front cover 112 protruding outside may be bolted to the triangular frame 15.

터널부(121b)는 리프팅 블럭바디(121a)의 내부를 관통 형성시킨 부분으로 리프팅 블럭(121)의 상하 이동 시 방진벨트(130)가 인출입된다. The tunnel portion 121b is a portion formed through the inside of the lifting block body 121a, and the vibration insulating belt 130 is pulled out when the lifting block 121 moves up and down.

또한, 터널부(121b)의 양측 입구에는 방진벨트(130)를 터널부(121b)의 내측으로 인입 또는 외측으로 인출되도록 가이드하는 한 쌍의 가이드롤러(R1)와 마련되고 터널부(121b)의 내부에는 방진벨트(130)를 프런트 커버(112)의 내벽에서 떨어지도록 방진벨트(130)를 가압하는 한 쌍의 가압롤러(R2)가 마련된다.The tunnel portion 121b is provided with a pair of guide rollers R1 for guiding the dustproof belt 130 to the inside or outside of the tunnel portion 121b, A pair of pressure rollers R2 for pressing the dustproof belt 130 so as to separate the dustproof belt 130 from the inner wall of the front cover 112 are provided.

가이드롤러(R1)는 리프팅 블럭바디(121a)에 회전가능하게 결합되어 방진벨트(130)의 안쪽 면과 구름접촉되고, 가압롤러(R2)는 가이드롤러(R1)와 인접한 위치에서 서로 단차를 두고 터널부(121b) 내부에 회전가능하게 결합되어 방진벨트(130)의 바깥쪽 면을 안쪽으로 가압한다. The guide roller R1 is rotatably coupled to the lifting block body 121a so as to be in rolling contact with the inner surface of the dustproof belt 130 and the pressure roller R2 is stepped at a position adjacent to the guide roller R1 And is rotatably coupled to the inside of the tunnel portion 121b to press the outer surface of the dustproof belt 130 inward.

이에 따라, 리프팅 블럭(121)의 상하 이동에 따라 방진벨트(130)는 리프팅 블럭(121)의 터널부(121b)로 인입되면 프런트 커버(112)의 내벽에서 떨어지고 리프팅 블럭(121)의 내부로부터 인출되면 프런트 커버(112)의 내벽에 자력에 의해 재결합되게 된다. As the lifting block 121 moves upward and downward, the dustproof belt 130 is pulled into the tunnel portion 121b of the lifting block 121 and then falls from the inner wall of the front cover 112 and is lifted from the inside of the lifting block 121 And is brought into contact with the inner wall of the front cover 112 by magnetic force.

이와 같이, 본 실시예에 따른 스토커 장치(1)는 리프팅 블럭(121)의 상하 이동을 허용하면서도 프런트 커버(112)에 밀찰되어 전면노출부(D)를 완전히 차폐시키는 방진벨트(130)를 구비함으로써 카세트(C)의 운반 시 마스트 커버프레임(110) 내부에서 파티클이 유출되는 것을 차단시킬 수 있다. As described above, the stocker apparatus 1 according to the present embodiment is provided with the anti-vibration belt 130 which is pressed against the front cover 112 to completely block the front exposed portion D while permitting the lifting block 121 to move up and down. So that particles can be prevented from flowing out of the mast cover frame 110 when the cassette C is transported.

도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스트 유닛의 사시도이고, 도 10은 도 9의 마스트 유닛의 하단부의 개략적인 구조도이고, 도 11은 도 10의 절개 단면도이다.FIG. 9 is a perspective view of a mast unit according to another embodiment of the present invention, FIG. 10 is a schematic structural view of a lower end portion of the mast unit of FIG. 9, and FIG. 11 is a cutaway sectional view of FIG.

본 실시예에 따른 스토커 장치는 마스트 커버프레임(110) 내부의 파티클을 크리닝(cleaning)하기 위한 구성을 제외하고는 전술한 실시예에 따른 스토커 장치(1)와 구성이 동일하므로 동일한 구성에 관한 설명은 생략하기로 한다.The stocker apparatus according to the present embodiment has the same configuration as the stocker apparatus 1 according to the above-described embodiment except for a configuration for cleaning particles inside the mast cover frame 110, Is omitted.

도 9 내지 도 11에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 스토커 장치는, 전술한 실시예에 있어서, 마스트 커버프레임(110) 내부에 공기를 분사하여 파티클을 비산시키는 에어컴퓨레셔(160)와, 마스트 커버프레임(110) 내부에서 비산된 파티클을 흡입하는 진공펌프(170)와, 마스트 커버프레임(110) 내부의 파티클을 포집하는 팬필터 유닛(180)을 더 포함한다. 9 to 11, in the above-described embodiment, the stocker apparatus according to the present embodiment includes an air compressor 160 for blowing air into the mast cover frame 110 to scatter particles, A vacuum pump 170 for sucking particles scattered in the mast cover frame 110 and a fan filter unit 180 for collecting particles inside the mast cover frame 110. [

본 실시예에 따른 에어컴퓨레셔(160)와 진공펌프(170)는 마스트 커버프레임(110) 내부에 존재하는 파티클을 능동적으로 제거하기 위한 수단이다. 이에 대해 살펴보면, 에어컴퓨레셔(air compressor,160)와 진공펌프(170)는 마스트 커버프레임(110)의 하단부에 결합되어 있다. 다만, 본 실시예에서는 에어컴퓨레셔(160)와 진공펌프(170)를 마스트 커버프레임(110)의 하단부에 배치시켰으나, 이러한 배치구도에 본 발명의 권리범위가 제한되는 것은 아니며, 이는 필요에 따라 적절히 설계 변경될 수 있다. The air compressor 160 and the vacuum pump 170 according to the present embodiment are means for actively removing particles present in the mast cover frame 110. [ The air compressor 160 and the vacuum pump 170 are coupled to the lower end of the mast cover frame 110. Although the air compressor 160 and the vacuum pump 170 are disposed at the lower end of the mast cover frame 110 in the present embodiment, the scope of the present invention is not limited to this arrangement, The design can be appropriately changed.

본 실시예에 따른 마스트 커버프레임(110)의 크리닝 메커니즘을 간단히 살펴보면, 먼저, 에어컴퓨레셔(160)는 마스트 커버프레임(110)의 하부에 설치된 공기분사노즐(161)을 통해 마스트 커버프레임(110) 내부로 압축공기를 토출시켜 마스트 커버프레임(110) 내벽에서 파티클들을 떨어 뜨린다. 그 다음, 시간 차를 두고 진공펌프(170)를 가동하여 진공압으로 비산된 파티클을 마스트 커버프레임(110)의 하부로 흡입하여 진공펌프(170)의 필터부(미도시)로 파티클을 포집한다. The air compressor 160 is installed in the mast cover frame 110 through the air injection nozzle 161 provided at the lower portion of the mast cover frame 110 And the particles are dropped from the inner wall of the mast cover frame 110. Subsequently, the vacuum pump 170 is operated with a time difference to suck particles scattered by the pneumatic pressure to the lower portion of the mast cover frame 110 to collect the particles with a filter unit (not shown) of the vacuum pump 170 .

이와 같이, 주기적으로 마스트 커버프레임(110) 내부의 파티클을 제거해줌으써 승강모듈(120)의 메인터넌스(maintenace) 주기를 연장할 수 있고 파티클로 인한 잠재적 글래스 기판의 훼손 우려를 줄일 수 있다.By periodically removing the particles in the mast cover frame 110, it is possible to extend the maintenace period of the lifting module 120 and reduce the possibility of damaging the potential glass substrate due to the particles.

팬필터 유닛(180)은 마스트 커버프레임(110) 내부의 파티클을 한 곳으로 포집하는 부분으로 파티클을 흡입하는 팬(fan,181)과 파티클을 포집하는 필터(182) 조합으로 구성된다. The fan filter unit 180 includes a fan 181 for sucking particles and a filter 182 for trapping the particles in the mast cover frame 110.

이러한 팬필터 유닛(180)은 에어 컴퓨레셔(160)와 진공펌프(170)와 별도로 상시 가동되어 마스트 커버프레임(110) 내부에서 발생되는 파티클을 한 곳으로 포집한다. The fan filter unit 180 is normally operated separately from the air compressor 160 and the vacuum pump 170 to collect particles generated in the mast cover frame 110 in one place.

본 실시예에서는 마스트 커버프레임(110)의 하단부 영역에 집중하여 복수 개의 팬필터 유닛(180)이 배치되어 있으나, 팬필터 유닛(180)의 개수와 위치는 필요에 따라 설계 변경더라도 무방하다. 다만, 본 실시예와 같이, 팬필터 유닛(180)은 파티클이 발생되기 쉬운 구동축 풀리(124) 부분이나 기계적 마찰이 큰 부분에 배치되는 것이 바람직하다. In the present embodiment, a plurality of fan filter units 180 are disposed concentrating on the lower end region of the mast cover frame 110. However, the number and positions of the fan filter units 180 may be changed as needed. However, as in the present embodiment, it is preferable that the fan filter unit 180 is disposed at a portion of the drive shaft pulley 124 where particles are liable to be generated or a portion where mechanical friction is large.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Accordingly, such modifications or variations are intended to fall within the scope of the appended claims.

10 : 포크 유닛 20 : 스토커 본체
21 : 하부프레임 22 : 상부프레임
100 : 마스트 유닛 110 : 마스트 커버프레임
111 : 마스트 프레임 112 : 프런트 커버
112a : 스틸 플레이트부 113 : 리어 커버
120 : 승강모듈 121 : 리프팅 블럭
121a : 리프팅 블럭바디 121b : 터널부
121c : 글램핑 부재 122 : 구동모터
123 : 타이밍 벨트 130 : 방진벨트
131 : 방진부 132 : 마그네틱 밴드부
140 : 가이드 레일 150 : 웨이트 밸런스 추
160 : 에어 컴퓨레셔 170 : 진공펌프
180 : 팬필터 유닛 D : 전면노출부
R1 : 가이드롤러 R2 : 가압롤러10: fork unit 20: stocker main body
21: lower frame 22: upper frame
100: mast unit 110: mast cover frame
111: mast frame 112: front cover
112a: Steel plate portion 113: Rear cover
120: lift module 121: lifting block
121a: lifting block body 121b: tunnel part
121c: Glaming member 122: drive motor
123: timing belt 130: dustproof belt
131: Antivibration part 132: Magnetic band part
140: Guide rail 150: Weight balance weight
160: Air compressor 170: Vacuum pump
180: Fan filter unit D: Front exposure unit
R1: guide roller R2: pressure roller

Claims

A pair of mast units coupled to each other so as to be spaced apart from each other on a lower frame movably provided along the rail; And
And a fork unit that is disposed between the pair of mast units and moves up and down, and carries a cassette in which the substrate is housed,
Wherein the mast unit comprises:
A mast cover frame having a front exposed portion formed along a height direction with a central region of a front cover forming a front portion opened;
A lifting module disposed inside the mast cover frame and having a lifting block connected to the fork unit through the front exposed portion and moving the lifting block along the front exposed portion to move the fork unit up and down; And
A shielding unit arranged to penetrate at least a part of the lifting block to permit movement of the lifting block, the shielding unit detachably coupled to an inner wall of the front cover to shield the front exposed portion;
An air compressor for spraying compressed air into the mast cover frame to scatter particles attached to the inner wall of the mast cover frame; And
And a vacuum pump for sucking and collecting particles scattered in the mast cover frame,
The shielding unit includes:
A dustproof portion provided at a width corresponding to the width of the front exposed portion and absorbing vibration due to the operation of the lifting and lowering module and blocking scattering of the particles, a steel plate portion integrally formed with the dustproof portion, And a magnetic band portion of a permanent magnet made of a material capable of being magnetically coupled to the stator.

The method according to claim 1,
The shielding unit includes:
Wherein the lifting block is detached from the inner wall of the front cover when the lifting block is pulled into the lifting block according to the upward / downward movement of the lifting block, and is recombined with the inner wall of the front cover when the lifting block is drawn out from the inside of the lifting block.

delete

The method according to claim 1,
Wherein the magnetic band portion is disposed on both sides of the dust-proof portion with a gap therebetween, and is extended along the longitudinal direction of the dust-proof portion.

delete

The method according to claim 1,
The lifting block comprises:
And a lifting block body having a tunnel portion through which the dustproof belt is passed when the lifting and lowering module is moved by the lifting and lowering module, the lifting block body being coupled to the trip frame for connecting the lifting block to the fork unit and supporting the fork unit. Device.

The method according to claim 6,
The lifting block comprises:
A guide roller provided at a position adjacent to the tunnel portion and in rolling contact with an inner surface of the dustproof belt to guide the dustproof belt to the inside or outside of the tunnel portion; And
Further comprising a pressure roller which is provided inside the tunnel portion and presses the outer surface of the dustproof belt so that the dustproof belt is separated from the inner wall of the front cover.

8. The method of claim 7,
The guide rollers are provided in a pair, and the pair of guide rollers are disposed adjacent to the openings on both sides of the tunnel portion,
Wherein the pressure rollers are provided in a pair, and the pair of pressure rollers are respectively disposed at both sides of the entrance of the tunnel portion.

The method according to claim 6,
The elevating module includes:
A pair of pulleys vertically spaced from each other in the mast cover frame;
A drive motor for providing power for rotationally driving the pair of pulleys; And
And a timing belt connected to both ends of the lifting block body and engaged with the pair of pulleys to be wound or unwound.

10. The method of claim 9,
The lifting block comprises:
And a clamping member for clamping the timing belt to both ends of the lifting block body.

11. The method of claim 10,
Wherein the mast unit comprises:
Further comprising a guide rail provided inside the mast cover frame and coupled to the lifting block body so as to be slidably movable, thereby guiding the lifting block to move up and down.

delete

The method according to claim 1,
Wherein the mast unit comprises:
Further comprising a fan filter unit coupled to at least one side of the mast cover frame to trap particles in the mast cover frame.

14. The method of claim 13,
Wherein the fan filter unit is provided with a plurality of fan filter units and is spaced apart from each other along a height direction of the mast cover frame and a lower portion of the mast cover frame.

The method according to claim 1,
The mast cover frame
A mast frame coupled to the front cover to form a first space in which the lifting block moves up and down together with the front cover; And
Further comprising a rear cover coupled to the mast frame at an opposite side of the front cover to form a second space separated from the first space together with the mast frame and sealed.

16. The method of claim 15,
Wherein the second space is provided to be movable up and down by adding a weight balance for attenuating a load acting on the lifting block.