KR101704710B1 - A probe for the test device - Google Patents

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KR101704710B1 KR1020150018712A KR20150018712A KR101704710B1 KR 101704710 B1 KR101704710 B1 KR 101704710B1 KR 1020150018712 A KR1020150018712 A KR 1020150018712A KR 20150018712 A KR20150018712 A KR 20150018712A KR 101704710 B1 KR101704710 B1 KR 101704710B1
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    • G01R1/06716—Elastic
    • G01R1/06722—Spring-loaded

Abstract

본 발명은 피검사체의 전기적 특성을 검사하기 위한 검사장치용 프로브에 관한 것이다.
프로브는 관상의 배럴과, 상기 배럴의 양단에 결합되는 제1플런저 및 제2플런저와, 상기 제1 및 제2플런저 사이에 개재되어 상기 제1플런저와 제2플런저 중 적어도 하나를 탄성적으로 신축할 수 있게 하는 스프링을 가지며,
상기 배럴은 양단부의 제1플런저결합부와 제2플런저결합부 및 상기 제1 및 제2플런저결합부 사이의 스프링수용부를 가지며,
상기 스프링수용부는 상기 제1플런저결합부 측의 대경부와 상기 제2플런저결합부 측의 상기 대경부보다 작은 내경의 소경부를 갖는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a probe for an inspection apparatus for inspecting electrical characteristics of an object.
The probe includes a tubular barrel, a first plunger and a second plunger which are coupled to both ends of the barrel, and at least one of the first plunger and the second plunger elastically stretchable between the first plunger and the second plunger, And has a spring that allows it to < RTI ID =
Wherein the barrel has a spring receiving portion between the first plunger engaging portion and the second plunger engaging portion at both ends and the first and second plunger engaging portions,
And the spring receiving portion has a large diameter portion having a smaller inner diameter than that of the large diameter portion on the side of the first plunger engagement portion and the large diameter portion on the second plunger engagement portion side.

Figure R1020150018712
Figure R1020150018712

Description

검사장치용 프로브{A PROBE FOR THE TEST DEVICE}[PROBE FOR THE TEST DEVICE]

본 발명은 피검사체의 전기적 특성을 검사하기 위한 검사장치용 프로브에 관한 것이다. The present invention relates to a probe for an inspection apparatus for inspecting electrical characteristics of an object.

반도체 칩은 미세한 전자회로가 고밀도로 집적되어 형성되어 있으며, 제조공정 중에 각 전자회로의 정상 여부를 테스트한다.Semiconductor chips are formed by accumulating fine electronic circuits at high density and test whether each electronic circuit is normal during the manufacturing process.

이러한 반도체 칩의 검사는 반도체 칩의 범프와 테스트 신호를 인가하는 테스트 보드의 패드 사이에 프로브를 개재시켜 검사를 수행한다.This inspection of the semiconductor chip is carried out by interposing a probe between the bumps of the semiconductor chip and the pads of the test board to which the test signals are applied.

도 1은 종래의 일반적인 검사장치용 프로브(10)의 단면도를 나타내는 것이다. 프로브(10)는 관상 배럴(11), 테스트 보드의 패드에 접촉하는 제1플런저(12), 반도체칩의 범프에 접촉하는 제2플런저(13) 및 배럴(11) 내에 제1 및 제2플런저(12,13) 사이에 배치되는 스프링(14)으로 구성된다. 이때, 제1플런저(12)는 검사 시 반도체칩에 가해진 압력에 의해 배럴(11) 내에서 슬라이딩 운동을 한다.1 is a cross-sectional view of a probe 10 for a conventional general inspection apparatus. The probe 10 includes a tubular barrel 11, a first plunger 12 contacting the pad of the test board, a second plunger 13 contacting the bumps of the semiconductor chip, And a spring (14) disposed between the first and second plates (12, 13). At this time, the first plunger 12 performs a sliding motion in the barrel 11 by the pressure applied to the semiconductor chip at the time of inspection.

이때, 스프링(14)은 제1플런저(12)의 슬라이딩이동에 의해 압축되고, 이 압축에 의해 좌굴되어 배럴(11)의 내벽면에 접촉한다. 이러한 스프링(14)의 좌굴은 프로브(10)마다 랜덤하게 발생하여 접촉전도도 및 접촉저항이 상이하게 나타나며, 이는 전체적인 검사의 신뢰성을 저하시키는 요인된다.
At this time, the spring 14 is compressed by the sliding movement of the first plunger 12, and is buckled by this compression to come into contact with the inner wall surface of the barrel 11. Such buckling of the spring 14 is generated randomly for each probe 10, and the contact conductivity and the contact resistance are different from each other, which causes the reliability of the whole inspection to be deteriorated.

본 발명의 목적은 상술한 종래의 문제를 해결하기 위한 것으로 스프링의 좌굴을 일정하고 크게 발생하도록 함으로써 플런저와 배럴 내벽의 접촉을 안정적으로 유지하고 저항편차를 낮출 수 있어 고전류용 테스트가 가능한 검사장치용 프로브를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to solve the above-mentioned conventional problems, and it is an object of the present invention to provide a testing apparatus capable of stably maintaining the contact between the plunger and the inner wall of the barrel, Probe.

본 발명의 다른 목적은 플런저와 배럴 내벽의 접촉 저항에 의해 발생하는 열을 효율적으로 방출할 수 있는 검사장치용 프로브를 제공함에 있다.
Another object of the present invention is to provide a probe for an inspection apparatus capable of efficiently discharging heat generated by contact resistance between a plunger and an inner wall of a barrel.

상술한 과제들의 해결하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 검사장치용 프로브는, 관상의 배럴과, 상기 배럴의 양단에 결합되는 제1플런저 및 제2플런저와, 상기 제1 및 제2플런저 사이에 개재되어 상기 제1플런저와 제2플런저 중 적어도 하나를 탄성적으로 신축할 수 있게 하는 스프링을 가지며, 상기 배럴은 양단부의 제1플런저결합부와 제2플런저결합부 및 상기 제1 및 제2플런저결합부 사이에 스프링수용부를 가지며, 상기 스프링수용부는 상기 제1플런저결합부 측의 대경부와 상기 제2플런저결합부 측의 상기 대경부보다 작은 내경의 소경부를 갖는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a probe for a testing apparatus, comprising: a tubular barrel; a first plunger and a second plunger coupled to both ends of the barrel; Wherein the barrel includes a first plunger engaging portion and a second plunger engaging portion at both ends and a second plunger engaging portion at the opposite ends of the first plunger and the second plunger, And the spring receiving portion has a small diameter portion having an inner diameter smaller than that of the large diameter portion on the side of the first plunger engagement portion and the large diameter portion on the second plunger engagement portion side.

본 발명의 실시예에 따른 검사장치용 프로브는 배럴의 소경부에 위치한 스프링과 배럴 내벽의 접촉성을 향상시키는 한편, 대경부에 위치한 스프링의 좌굴을 일정하고 크게 발생하도록 함으로써 플런저와 배럴 내벽의 접촉을 안정적으로 유지하고 저항편차를 낮출 수 있다.The probe for an inspection apparatus according to the embodiment of the present invention improves the contact between the spring located at the small diameter portion of the barrel and the inner wall of the barrel while allowing the buckling of the spring located at the large diameter portion to occur constantly, Can be stably maintained and resistance variations can be reduced.

상기 소경부의 외표면에 방열요철부를 형성함으로써, 접촉 저항에 의해 발생하는 열을 효율적으로 방출할 수 있다.By forming the heat radiating concave-convex portion on the outer surface of the small-diameter portion, heat generated by the contact resistance can be efficiently discharged.

상기 소경부의 영역에 반경방향으로 관통된 방열공을 포함함으로써, 배럴 내에 발생한 열을 외부로 효율적으로 방출할 수 있다.By including the radiating hole penetrating radially in the region of the small diameter portion, the heat generated in the barrel can be efficiently discharged to the outside.

상기 제1플런저는 상기 배럴에 삽입된 단부에 상기 스프링을 삽입하여 지지하는 스프링결합부를 포함하며, 상기 스프링결합부의 중심축은 상기 제1플런저의 중심축에 대해 편위되게 함으로써 스프링의 좌굴을 일정위치에서 최대한 일정하고 크게 발생하도록 할 수 있다.Wherein the first plunger includes a spring engaging portion for inserting and supporting the spring at an end portion inserted into the barrel, wherein a center axis of the spring engaging portion is displaced with respect to a central axis of the first plunger, It can be made to occur as constant as possible.

상기 대경부와 소경부의 중심축을 서로 편위되게 함으로써 스프링의 좌굴을 일정위치에서 최대한 일정하고 크게 발생하도록 할 수 있다.
By buckling the central axes of the large-diameter portion and the small-diameter portion with each other, the buckling of the spring can be maximized at a constant position.

본 발명에 의한 검사장치용 프로브는 스프링의 좌굴을 일정하고 크게 발생하도록 함으로써 플런저와 배럴 내벽의 접촉을 안정적으로 유지하고 저항편차를 낮출 수 있어 검사의 신뢰성을 높일 수 있다.The probe for an inspection apparatus according to the present invention can stably maintain the contact between the plunger and the inner wall of the barrel by making the buckling of the spring constant and large, and can reduce the resistance variation, thereby enhancing the reliability of the inspection.

또한, 본 발명에 의한 검사장치용 프로브는 소경부의 두꺼운 배럴 두께를 활용하여 플런저와 배럴 내벽의 접촉 저항에 의해 발생하는 열을 효율적으로 방출할 수 있다.
Further, the probe for an inspection apparatus according to the present invention can efficiently dissipate heat generated by the contact resistance between the plunger and the inner wall of the barrel by utilizing the thick barrel thickness of the small diameter portion.

도 1은 종래의 일반적인 프로브를 나타내는 단면도,
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브의 단면도,
도 3은 도 2의 프로브의 동작상태를 나타내는 단면도,
도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 프로브의 단면도, 및
도 5는 본 발명의 제3실시예에 따른 프로브의 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a conventional probe,
2 is a cross-sectional view of a probe according to a first embodiment of the present invention,
FIG. 3 is a sectional view showing the operation state of the probe of FIG. 2,
4 is a cross-sectional view of a probe according to a second embodiment of the present invention, and Fig.
5 is a cross-sectional view of a probe according to a third embodiment of the present invention.

도 2에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브(100)는 관상의 배럴(110)과, 상기 배럴(110)의 양단에 결합되는 제1플런저(120) 및 제2플런저(130)와, 상기 제1 및 제2플런저(120,130) 사이에 개재되어 상기 제1플런저(110)와 제2플런저(120) 중 적어도 하나를 탄성적으로 신축할 수 있게 하는 스프링(140)을 포함한다. 2, the probe 100 according to the first embodiment of the present invention includes a tubular barrel 110, a first plunger 120 and a second plunger 120 coupled to both ends of the barrel 110, And a spring 140 interposed between the first and second plungers 120 and 130 to elastically expand and contract at least one of the first plunger 110 and the second plunger 120 do.

배럴(110)은 양단부의 제1플런저결합부(111)와 제2플런저결합부(112) 및 상기 제1 및 제2플런저결합부(111,112)의 사이의 스프링수용부(113)를 포함한다.The barrel 110 includes a spring receiving portion 113 between the first plunger engaging portion 111 and the second plunger engaging portion 112 at both ends and the first and second plunger engaging portions 111 and 112.

제1플런저결합부(111)는 제1플런저(120)가 부분 삽입된 상태로 배럴(110) 내에서 스프링(140)을 압축하도록 슬라이딩 이동가능하다. 이때, 배럴(110)의 일측 단부, 즉 제1플런저결합부(111)의 끝은 부분 삽입된 제1플런저(120)가 이탈되지 않도록 배럴 중심축을 향해 절곡되어 있다. The first plunger engaging portion 111 is slidably movable so as to compress the spring 140 in the barrel 110 while the first plunger 120 is partially inserted. At this time, one end of the barrel 110, that is, the end of the first plunger engaging part 111 is bent toward the barrel central axis so that the partially inserted first plunger 120 is not released.

제2플런저결합부(112)는 제2플런저(130)가 부분 삽입된 상태로 움직이지 않도록 배럴(110)에 고정되어 있다.The second plunger engaging portion 112 is fixed to the barrel 110 so that the second plunger 130 does not move in a partially inserted state.

상기 스프링수용부(113)는 상기 제1플런저결합부(111) 측의 대경부(114)와 상기 제2플런저결합부(112) 측의 상기 대경부(114)보다 작은 내경의 소경부(116)를 포함한다.The spring receiving portion 113 includes a small diameter portion 116 having an inner diameter smaller than that of the large diameter portion 114 on the first plunger coupling portion 111 side and the large diameter portion 114 on the second plunger coupling portion 112 side ).

배럴(110)은 소경부(116)에 다수의 원주 홈과 같은 방열요철부(118)가 형성되어 있다. 방열요철부(118)는 나사홈과 같은 형상 뿐만 아니라 다양한 형태로 제작될 수 있다. 배럴(110)의 소경부(116)는 두께가 상대적으로 두텁기 때문에 용이하게 나사홈과 같은 방열요철부(118)를 형성할 수 있다. 특히, 프로브(110)에서 발생하는 열은 스프링(140)의 수명을 저하시키는 역할을 한다. 따라서, 방열요철부(118)는 방열을 통해 스프링(140)의 수명을 연장시킬 수 있다.The barrel 110 has a heat radiating convexoconcave portion 118 such as a plurality of circumferential grooves formed in the small diameter portion 116. The heat dissipating concavo-convex part 118 can be formed in various shapes as well as a shape like a screw groove. Since the small diameter portion 116 of the barrel 110 has a relatively large thickness, it is possible to easily form the heat radiating concave portion 118 like the screw groove. Particularly, the heat generated from the probe 110 serves to lower the life of the spring 140. Therefore, the radiating concave-convex portion 118 can extend the service life of the spring 140 through heat radiation.

제 1플런저(120)는 반도체 칩이나 검사회로기판의 패드에 접촉하는 제1팁(123)을 가진 제1전극부(124)와 배럴(110)에 삽입되는 제1배럴삽입부(126)를 포함한다. 제1배럴삽입부(126)의 직경은 배럴(110)의 제1플런저결합부(111)의 내경에 삽입되어 이동하기 적합한 제1직경을 가진다. 제1전극부(124)는 상기 제1배럴삽입부(126)으로부터 단차를 두고 연장하며, 제1직경보다 작은 제2직경을 가진다. 따라서, 제1플런저결합부(111)의 단부에 형성된 절곡부(115)와 단차부(125)에 의해 제1플런저(120)는 배럴(110)로부터 이탈하지 못한다.  The first plunger 120 includes a first electrode portion 124 having a first tip 123 contacting a pad of a semiconductor chip or an inspection circuit board and a first barrel inserting portion 126 inserted into the barrel 110 . The diameter of the first barrel inserting portion 126 is inserted into the inner diameter of the first plunger engaging portion 111 of the barrel 110 and has a first diameter suitable for movement. The first electrode portion 124 extends stepwise from the first barrel inserting portion 126 and has a second diameter smaller than the first diameter. The first plunger 120 can not be separated from the barrel 110 by the bent portion 115 and the stepped portion 125 formed at the end of the first plunger engaging portion 111. [

제1플런저(120)의 제1배럴삽입부(126)의 단부에는 스프링(140) 내경보다 작고 배럴(110) 내측으로 연장하는 스프링결합부(122)를 포함한다. 스프링결합부(122)는 스프링(140)의 일측 단부를 삽입한 상태에서 고정 지지한다. 스프링결합부(122)의 형상은 다양한 형상으로 형성할 수 있다.The first plunger 120 includes a spring engagement portion 122 which is smaller than the inner diameter of the spring 140 and extends inside the barrel 110 at an end of the first barrel insertion portion 126. The spring engagement portion 122 is fixedly supported in a state in which one end of the spring 140 is inserted. The shape of the spring engagement portion 122 can be formed in various shapes.

제2플런저(130)는 반도체 칩이나 검사회로기판의 패드에 접촉하는 제2팁(133)을 가진 제2전극부(134)와 배럴(110)에 삽입되는 제2배럴삽입부(136)를 포함한다. 제2배럴삽입부(136)는 외주 연에 원형홈(135)이 형성되어 있다. 이때, 제2플런저(130)의 제2배럴삽입부(136)를 제2플런저결합부(112)에 삽입한 상태에서 상기 원주홈(135)에 대응하는 배럴(110)의 제2플런저결합부(112) 부분을 가압하여 변형시킴으로써 제2플런저(130)가 제2플런저결합부(112)에 고정 지지될 수 있다. 물론, 제2플런저(130)를 제2플런저결합부(112)에 결합하는 방법은 상술한 방법으로만 한정되지 않으며 다양한 고정 방법이 적용될 수 있다.The second plunger 130 includes a second electrode portion 134 having a second tip 133 contacting a pad of a semiconductor chip or an inspection circuit board and a second barrel inserting portion 136 inserted into the barrel 110 . The second barrel inserting portion 136 is formed with a circular groove 135 in the outer periphery. At this time, in the state where the second barrel inserting portion 136 of the second plunger 130 is inserted into the second plunger engaging portion 112, the second plunger engaging portion 132 of the barrel 110 corresponding to the circumferential groove 135, The second plunger 130 can be fixedly supported on the second plunger engaging portion 112 by pressing and deforming the portion of the second plunger 112. Of course, the method of coupling the second plunger 130 to the second plunger coupling portion 112 is not limited to the above-described method, and various fixing methods can be applied.

제2배럴삽입부(136)의 배럴(110) 내측 단부는 스프링(140)의 타측을 수용하는 테이퍼 돌기(132)가 형성되어 있다. 이때, 스프링(140)의 타측은 테이퍼 돌기(132)에 가압된 상태를 유지하고 있기 때문에, 스프링(140)의 타측은 테이퍼 돌기(132)에 별도로 고정시킬 필요는 없다. The inner end of the barrel 110 of the second barrel inserting portion 136 is formed with a tapered protrusion 132 for receiving the other side of the spring 140. At this time, since the other side of the spring 140 is kept pressed against the tapered protrusion 132, the other side of the spring 140 need not be fixed separately to the tapered protrusion 132.

스프링(140)은 일측이 제1플런저(120)의 스프링결합부(122)에 고정되고 타측이 제2플런저(130)의 테이퍼 돌기(132)에 접촉한 상태에서 배럴(110)의 스프링수용부(113)에 수용되어 있다. 즉, 스프링(140)은 대경부(114)와 소경부(116)에 걸쳐 배치되어 있다. The spring 140 is fixed to the spring receiving portion 122 of the barrel 110 while one side is fixed to the spring engagement portion 122 of the first plunger 120 and the other side is in contact with the tapered projection 132 of the second plunger 130. [ As shown in Fig. That is, the spring 140 is disposed over the large-diameter portion 114 and the small-diameter portion 116.

대경부(114)에 삽입된 스프링의 외경과 대경부(114)의 내경의 차이를 상대적으로 크게 함으로써 대경부(114)에 삽입된 스프링 부분의 좌굴을 가능한한 균일하게 크게 발생하도록 할 수 있다. 이는 대경부(114)에 삽입된 스프링(140)의 길이가 짧고 대경부(114)에 삽입된 스프링의 외경과 대경부(114)의 내경 차이가 상대적으로 크기 때문에 스프링(140)의 좌굴을 일정하고 크게 발생하도록 유도하는 것이 가능하다. 도 3은 제1플런저(120)에 의한 스프링(140) 압축 시에 대경부(114) 측의 스프링 좌굴 현상을 나타내는 도이다. 도3에서 A로 나타낸 바와 같이 대경부(114)의 스프링(140)이 상측으로 좌굴됨으로써 제1플런저(120)의 제1배럴삽입부(126)의 외면은 배럴(110)의 하측 내벽(B)으로 바이어스된다. 결과적으로, 대경부(114)에서의 일정한 스프링(140)의 좌굴은 제1배럴삽입부(126)의 외면과 배럴(110)의 내면의 안정적인 접촉을 보장할 수 있다. The buckling of the spring portion inserted into the large-diameter portion 114 can be made as large as possible by increasing the difference between the outer diameter of the spring inserted into the large-diameter portion 114 and the inner diameter of the large- This is because the spring 140 inserted into the large diameter portion 114 is short and the difference between the outer diameter of the spring inserted into the large diameter portion 114 and the inner diameter of the large diameter portion 114 is relatively large, And it is possible to induce a large occurrence. 3 is a view showing a spring buckling phenomenon on the large-diameter portion 114 side when the spring 140 is compressed by the first plunger 120. FIG. The spring 140 of the large diameter portion 114 is buckled upward so that the outer surface of the first barrel inserting portion 126 of the first plunger 120 abuts against the lower inner wall B of the barrel 110 . As a result, buckling of the constant spring 140 in the large-diameter portion 114 can ensure stable contact between the outer surface of the first barrel inserting portion 126 and the inner surface of the barrel 110.

도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 프로브의 단면도이다. 이하 제1실시예와 동일한 부분의 설명은 생략한다.4 is a cross-sectional view of a probe according to a second embodiment of the present invention. Description of the same portions as in the first embodiment will be omitted.

도 4에 도시된 바와 같이, 제 1플런저(120)는 반도체 칩이나 검사회로기판의 패드에 접촉하는 제1팁(123)을 가진 제1전극부(124)와 배럴(110)에 삽입되는 제1배럴삽입부(126)를 포함한다. 제1플런저(120)의 제1배럴삽입부(126)의 단부에는 스프링(140) 내경보다 작고 배럴(110) 내측으로 연장하는 스프링결합부(122)를 포함한다. 스프링결합부(122)는 스프링(140)의 일측 단부를 삽입한 상태에서 고정 지지한다.4, the first plunger 120 includes a first electrode portion 124 having a first tip 123 contacting a pad of a semiconductor chip or an inspection circuit board, 1 barrel inserting portion 126. The first plunger 120 includes a spring engagement portion 122 which is smaller than the inner diameter of the spring 140 and extends inside the barrel 110 at an end of the first barrel insertion portion 126. The spring engagement portion 122 is fixedly supported in a state in which one end of the spring 140 is inserted.

제2플런저(130)는 반도체 칩이나 검사회로기판의 패드에 접촉하는 제2팁(133)을 가진 제2전극부(134)와 배럴(110)에 삽입되는 제2배럴삽입부(136)를 포함한다. 제2플런저(130)의 중심축은 제1플런저(120)의 중심축과 서로 일치하도록 배치된다. The second plunger 130 includes a second electrode portion 134 having a second tip 133 contacting a pad of a semiconductor chip or an inspection circuit board and a second barrel inserting portion 136 inserted into the barrel 110 . The central axis of the second plunger 130 is arranged to coincide with the center axis of the first plunger 120.

이때, 제1플런저(120)의 스프링결합부(122)의 중심축(XO)을 제1플런저(120)의 중심축(PO)에 편위되도록 배치함으로써 제1플런저(120)와 제2플런저(130) 사이에 고정 배치된 스프링(140)은 배럴(110)의 중심축으로부터 어긋나게 될 수 있다. 따라서, 이러한 배럴(110)의 중심축에 대한 스프링(140)의 편위 배열은 압축 시에 좌굴을 일정위치에서 최대한 일정하고 크게 발생하도록 유도하는 것이 가능하다. The center axis XO of the spring engaging portion 122 of the first plunger 120 is arranged to be offset to the center axis PO of the first plunger 120 so that the distance between the first plunger 120 and the second plunger 120 130 may be offset from the central axis of the barrel 110. Therefore, it is possible to guide the buckling of the spring 140 with respect to the central axis of the barrel 110 so that buckling occurs at a constant and maximum value at the time of compression.

또한, 배럴(110)은 소경부(116) 영역에 반경방향으로 관통된 방열공(119)을 포함하고 있다. 이 방열공(119)은 스프링수용부(113)에서 발생한 열을 외부 방출하는 역할을 한다.In addition, the barrel 110 includes a radiating hole 119 penetrating radially in the region of the small diameter portion 116. The discharge hole 119 serves to discharge heat generated in the spring receiving portion 113 to the outside.

도 5는 본 발명의 제3실시예에 따른 프로브의 단면도이다. 이하 제1실시예와 동일한 부분의 설명은 생략한다.5 is a cross-sectional view of a probe according to a third embodiment of the present invention. Description of the same portions as in the first embodiment will be omitted.

도 5에 도시된 바와 같이, 배럴(110)은 양단부의 제1플런저결합부(111)와 제2플런저결합부(112) 및 상기 제1 및 제2플런저결합부(111,112)의 사이의 스프링수용부(113)를 포함한다.5, the barrel 110 includes a first plunger engaging portion 111 and a second plunger engaging portion 112 at both ends and a spring receiving portion (not shown) between the first plunger engaging portion 111 and the second plunger engaging portion 111, (113).

상기 스프링수용부(113)는 상기 제1플런저결합부(111) 측의 대경부(114)와 상기 제2플런저결합부(112) 측의 상기 대경부(114)보다 작은 내경의 소경부(116)를 포함한다. 이때, 대경부(114)는 그의 중심축(LO)이 소경부(116)의 중심축(SO)에 대해 편위되게 형성되어 있다.The spring receiving portion 113 includes a small diameter portion 116 having an inner diameter smaller than that of the large diameter portion 114 on the first plunger coupling portion 111 side and the large diameter portion 114 on the second plunger coupling portion 112 side ). At this time, the large diameter portion 114 is formed such that its central axis LO is deviated with respect to the central axis SO of the small diameter portion 116.

따라서, 대경부(114)와 소경부(116)에 배치되는 스프링(140)은 배럴(110)의 중심축으로부터 어긋나게 될 수 있다. 따라서, 이러한 배럴(110)의 중심축에 대한 스프링(140)의 편위 배열은 압축 시에 좌굴을 최대한 일정하고 크게 발생하도록 유도하는 것이 가능하다. The spring 140 disposed in the large diameter portion 114 and the small diameter portion 116 can be shifted from the central axis of the barrel 110. [ Therefore, it is possible to induce the buckling of the spring 140 to occur as much as possible at the time of compression as much as possible, with the deviation arrangement of the spring 140 with respect to the central axis of the barrel 110.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징들이 변경되지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것으로 이해할 수 있을 것이다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, . Therefore, it should be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the detailed description and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents are to be construed as being included within the scope of the present invention do.

100: 프로브
110: 배럴
111: 제1플런저결합부
112: 제2플런저결합부
113: 스프링수용부
114: 대경부
116: 소경부
117: 방열요철부
118: 방열공
120: 제1플런저
122: 스프링결합부
130; 제2플런저
140: 스프링100: Probe
110: Barrel
111: first plunger coupling portion
112: second plunger engaging portion
113: spring receiving portion
114:
116:
117: heat radiating concave /
118:
120: first plunger
122:
130; The second plunger
140: spring

Claims (5)

피검사체의 전기적 특성을 검사하기 위한 검사장치용 프로브에 있어서,
관상의 배럴과, 상기 배럴의 양단에 결합되는 제1플런저 및 제2플런저와, 상기 제1 및 제2플런저 사이에 개재되어 상기 제1플런저와 제2플런저 중 적어도 하나를 탄성적으로 신축할 수 있게 하는 스프링을 가지며,
상기 배럴은 양단부의 제1플런저결합부와 제2플런저결합부 및 상기 제1 및 제2플런저결합부 사이의 스프링수용부를 가지며,
상기 스프링수용부는 상기 제1플런저결합부 측의 대경부와 상기 제2플런저결합부 측의 상기 대경부보다 작은 내경의 소경부를 가지며,
상기 대경부와 소경부에 수용되는 스프링은 전체적으로 일정한 직경을 가지며,
상기 대경부와 소경부의 중심축은 서로 편위되어 있는 것을 특징으로 하는 검사장치용 프로브.
A probe for an inspection apparatus for inspecting an electrical characteristic of an object to be inspected,
A tubular barrel, a first plunger and a second plunger that are coupled to both ends of the barrel, and at least one of the first plunger and the second plunger that is interposed between the first plunger and the second plunger, With a spring,
Wherein the barrel has a spring receiving portion between the first plunger engaging portion and the second plunger engaging portion at both ends and the first and second plunger engaging portions,
Wherein the spring receiving portion has a large diameter portion on the large plunger side of the first plunger engagement portion and a small diameter portion on the side of the second plunger engagement portion smaller than the large diameter portion,
The spring received in the large-diameter portion and the small-diameter portion has a uniform diameter as a whole,
And the central axes of the large-diameter portion and the small-diameter portion are offset from each other.
제 1항에 있어서,
상기 소경부의 외표면에 방열요철부를 형성하는 것을 특징으로 하는 검사장치용 프로브.
The method according to claim 1,
And a heat radiating concavo-convex portion is formed on an outer surface of the small-diameter portion.
제 1항에 있어서,
상기 배럴은 소경부의 영역에 반경방향으로 관통된 방열공을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치용 프로브.
The method according to claim 1,
Wherein the barrel includes a radiating hole radially penetrating a region of the small diameter portion.
제 1항에 있어서,
상기 제1플런저는 상기 배럴에 삽입된 단부에 상기 스프링을 삽입하여 지지하는 스프링결합부를 포함하며,
상기 스프링결합부의 중심축은 상기 제1플런저의 중심축에 대해 편위되어 있는 것을 특징으로 하는 검사장치용 프로브.
The method according to claim 1,
Wherein the first plunger includes a spring engaging portion for inserting and supporting the spring at an end portion inserted into the barrel,
And the central axis of the spring engagement portion is offset with respect to the central axis of the first plunger.
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