KR101544499B1 - A test device - Google Patents

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KR101544499B1 KR1020140039426A KR20140039426A KR101544499B1 KR 101544499 B1 KR101544499 B1 KR 101544499B1 KR 1020140039426 A KR1020140039426 A KR 1020140039426A KR 20140039426 A KR20140039426 A KR 20140039426A KR 101544499 B1 KR101544499 B1 KR 101544499B1
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김희철
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리노공업주식회사
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Abstract

The present invention relates to a probe for a test device for connecting a tested contact of an object and a test contact of a test circuit electrically. The probe comprises: a first plunger which contacts the test contact during a test; a second plunger which contacts the test contact of the test circuit; and an elastic body which stretches the first plunger along the test direction. At least one among the first plunger and the second plunger comprises a single body extended toward the test point and a branch contact part which is extended from the body to be branched into at least two and contacts the single test contact. The test device can test the object accurately without regard to the shape of the test contact.

Description

검사장치{A TEST DEVICE}[0001] A TEST DEVICE [0002]

본 발명은 피검사체의 전기적 특성을 검사하기 위한 검사장치용 프로브, 더욱 상세하게는 피검사체의 피검사접점, 예를 들면 카메라모듈의 소켓형 단자에 대해 테스트를 용이하게 하기 위한 검사장치용 프로브에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a probe for an inspection apparatus for inspecting electrical characteristics of an object to be inspected, and more particularly to a probe for an inspection apparatus for facilitating testing of a socket-type terminal of a camera module, .

반도체 칩과 같은 피검사체는 미세한 전자회로가 고밀도로 집적되어 형성되어 있으며, 제조공정 중에 각 전자회로의 정상 여부를 테스트한다.A test object such as a semiconductor chip has fine electronic circuits formed at high density and tests whether each electronic circuit is normal during the manufacturing process.

도 1에 나타낸 바와 같은 종래의 검사장치용 프로브(10)는 원통형 배럴(12), 일측에 팁(tip)을 갖고 타측은 원통형 배럴(12)에 부분 삽입되는 상부플런저, 일측에 팁(tip)을 갖고 타측이 상기 배럴(12)에 부분 삽입되는 하부 플런저(13), 및 상기 배럴(12) 내에 위치하고 상하 플런저(11,13) 사이에 배치되는 스프링(14)을 포함하여 구성한다.The probe 10 for a conventional inspecting apparatus as shown in Fig. 1 has a cylindrical barrel 12, an upper plunger having a tip at one side and a partly inserted into the cylindrical barrel 12 at the other side, And a spring 14 disposed in the barrel 12 and disposed between the upper and lower plungers 11 and 13. The upper plunger 11 and the lower plunger 11 are disposed in the barrel 12,

일반적으로 피검사체의 피검사접점은 범프(bump), 패드(pad), 판상 리드 단자, 플러그 소켓 단자 형상 등 다양한 형상을 가질 수 있다.Generally, the inspecting contact of the object to be inspected may have various shapes such as a bump, a pad, a plate-like lead terminal, and a plug socket terminal shape.

예를 들면 카메라모듈과 같은 피검사체의 소켓형 단자(1)는 검사장치용 프로브(10)의 상부 플런저 팁(tip)에 의해 접촉한다. 소켓형 단자(1)는 평면이 아닌 곡면을 형상을 이루고 재질 또한 경질의 금속 재질로 이루어져 테스트 시에 정확하게 플런저(11)의 팁이 소켓형 단자에 접촉하지 못하는 문제가 발생하고 있다.
The socket type terminal 1 of the object to be inspected such as a camera module is contacted by the upper plunger tip of the probe 10 for the inspection apparatus. The socket-type terminal 1 is formed in a curved shape rather than a flat surface, and the material of the socket-type terminal 1 is also made of a hard metal material, so that the tip of the plunger 11 can not accurately contact with the socket-

본 발명의 목적은 상술한 문제를 해결하기 위한 것으로, 피검사체의 피검사접점의 형상과 관계없이 검사를 정확히 할 수 있는 검사장치용 프로브를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, and to provide a probe for an inspection apparatus which can accurately inspect irrespective of the shape of an object to be inspected of an object to be inspected.

본 발명의 다른 목적은 검사의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 검사장치용 프로브를 제공함에 있다.
It is another object of the present invention to provide a probe for an inspection apparatus capable of improving the reliability of inspection.

상술한 본 발명의 과제를 달성하기 위한 검사장치용 프로브에 있어서, 상기 프로브는 검사 시 피검사접점에 접촉하는 제1 플런저, 검사회로의 검사접점에 접촉하는 제2플런저 및 상기 제1, 제플런저를 검사방향에 따라 신축시키는 탄성체를 포함하며, 상기 제1플런저와 제2플런저 중 적어도 하나는 피검사접점을 향해 연장하는 단일의 몸체 및 상기 몸체로부터 연장하여 적어도 2개 이상으로 분지(分枝)되어 상기 단일의 피검사접점의 적어도 2 이상의 지점에 접촉하는 분지(分枝) 접촉부를 구비하는 것을 특징으로 한다.In order to attain the above object of the present invention, there is provided a probe for an inspection apparatus, comprising: a first plunger contacting an inspected contact during inspection; a second plunger contacting an inspection contact of an inspection circuit; Wherein at least one of the first plunger and the second plunger has a single body extending toward the inspected contact and at least two branches extended from the body, And a branch contact portion contacting the at least two points of the single inspecting contact.

상기 분지 접촉부는 판상 부재로부터 형성된 클립형태를 포함할 수 있다.The branch contacting portion may include a clip shape formed from a plate-shaped member.

상기 분지 접촉부는 팁부(tip)를 포함하며, 상기 복수의 팁부(tip)는 서로 다른 높이를 가질 수 있다.The branch contacting portion includes a tip, and the plurality of tips may have different heights.

상기 팁부(tip)는 피검사체의 접촉 지점 형상에 적합하도록 가공될 수 있다.The tip may be machined to conform to the contact point shape of the object.

상기 분지 접촉부는 검사 시에 가해지는 압력을 흡수하는 압력흡수부를 포함할 수 있다.The branch contacting portion may include a pressure absorbing portion that absorbs the pressure applied at the time of inspection.

상기 분지 접촉부는 상기 단일의 몸체에 결합될 수 있다.
The branch contacting portion may be coupled to the single body.

본 발명에 의한 검사장치용 프로브는 피검사체의 피검사접점의 형상에 상관없이 정확한 검사를 수행할 수 있을 뿐만 아니라 검사 시에 접촉저항을 낮출 수 있어 검사 신뢰성을 높일 수 있다.
INDUSTRIAL APPLICABILITY The probe for an inspection apparatus according to the present invention can perform accurate inspection irrespective of the shape of an object to be inspected of an object to be inspected, reduce contact resistance at the time of inspection, and improve the reliability of inspection.

도 1은 종래의 검사장치용 프로브를 나타내는 도,
도 2 및 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 검사장치용 프로브를 나타내는 도 및
도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 검사장치용 프로브를 나타내는 도이다.1 is a view showing a probe for a conventional inspection apparatus,
2 and 3 are views showing a probe for an inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention;
4 is a view showing a probe for an inspection apparatus according to a second embodiment of the present invention.

이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 이하 실시예는 본 발명의 사상과 직접적인 관련이 있는 구성들에 관해서만 설명하며, 그 외의 구성에 관해서는 설명을 생략한다. 그러나, 본 발명의 사상이 적용된 장치 또는 시스템을 구현함에 있어서, 이와 같이 설명이 생략된 구성이 불필요함을 의미하는 것이 아님을 밝힌다. 설명의 편의상 본 발명과 직접적으로 관련이 없는 부분은 생략하였고, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하였다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Hereinafter, embodiments will be described with respect to configurations directly related to the spirit of the present invention, and description of other configurations will be omitted. However, it is to be understood that, in the implementation of the apparatus or system to which the spirit of the present invention is applied, it is not meant that the configuration omitted from the description is unnecessary. Parts which are not directly related to the present invention are omitted for convenience of description, and the same or similar components are denoted by the same reference numerals throughout the specification.

도 2 내지 3에 나타낸 바와 같이 본 발명에 따른 검사장치용 프로브(100)는 검사 시 피검사접점(1-1,1-2)에 접촉하는 제1 플런저(110), 검사회로의 검사접점(미도시)에 접촉하는 제2플런저(130) 및 상기 제1, 제2플런저(110,130)를 검사방향에 따라 신축시키는 탄성체를 수용하는 원통형의 배럴(120)을 포함하여 구성할 수 있다.2 to 3, the probe 100 for an inspection apparatus according to the present invention includes a first plunger 110 which contacts the inspected contacts 1-1 and 1-2 during inspection, And a cylindrical barrel 120 that receives an elastic body that expands and contracts the first and second plungers 110 and 130 along the examination direction.

카메라모듈과 같은 피검사체의 전기적 특성을 검사하기 위해서는 도 2에 나타낸 바와 같은 단자(1-1,1-2)에 프로브(100)를 접촉시켜야 한다. 즉, 상기 카메라모듈의 피검사접점(1-1,1-2)은 판상 부재를 절곡하여 형성한 리?터클 소켓 형상으로 구성되어 있다. 따라서, 본 발명에 따른 검사장치용 프로브(100)는 이러한 피검사접점(1-1,1-2)에 적합하도록 제작한 것이다. In order to inspect electrical characteristics of an object such as a camera module, the probes 100 should be in contact with the terminals 1-1 and 1-2 as shown in FIG. That is, the inspecting contacts 1-1 and 1-2 of the camera module are formed in the shape of a rectangle socket formed by bending a plate-like member. Therefore, the probe 100 for an inspection apparatus according to the present invention is manufactured so as to be suitable for the tested contacts 1-1 and 1-2.

제1플런저(110)는 피검사접점을 향해 연장하는 단일의 몸체(112) 및 상기 몸체(112)로부터 연장하여 상기 단일의 피검사접점의 적어도 2 이상의 지점에 접촉하는 분지(分枝) 접촉부(114,116,118)를 포함하여 구성할 수 있다.The first plunger 110 includes a single body 112 extending toward the inspected contact and a branch contact portion extending from the body 112 to contact at least two points of the single inspected contact 114, 116, 118).

상기 제1플런저(110)의 몸체(112)는 일측이 배럴(120)에 부분 삽입되고 타측은 상기 분지 접촉부의 결합부(114)에 결합될 수 있다. 상기 몸체(112)와 결합부(114)는 억지끼워 맞춤, 나사결합, 용접, 접착제 중 적어도 하나를 이용하여 결합될 수 있다.One end of the body 112 of the first plunger 110 may be partially inserted into the barrel 120 and the other end thereof may be coupled to the engaging portion 114 of the branch contacting portion. The body 112 and the coupling part 114 may be coupled using at least one of interference fit, screw engagement, welding, and adhesive.

분지(分枝) 접촉부(114,116,118)는 상기 몸체(112)에 결합되는 결합부(114), 상기 결합부(114)로부터 분지(分枝)되어 연장하는 제1분지부(116), 및 제2분지부(118)를 포함할 수 있다.The branch contacting portions 114,116 and 118 include a coupling portion 114 coupled to the body 112, a first branch portion 116 extending from the coupling portion 114 and extending from the coupling portion 114, And may include a branch portion 118.

분지(分枝) 접촉부(114,116,118)는 판상 부재를 이용한 가공을 통하여 클립형상으로 제조될 수 있다. 따라서, 클립형상의 분지접촉부(116,118)는 판상의 피검사접점(1-1,1-2)에 면접촉함으로써 접촉저항을 줄일 수 있고 접촉의 정확도를 높일 수 있다. The branch contacts 114, 116, 118 can be made into a clip shape through processing using a sheet-like member. Therefore, the clip-shaped branch contacting portions 116 and 118 are in surface contact with the plate-like inspected contacts 1-1 and 1-2, so that the contact resistance can be reduced and the contact accuracy can be increased.

상기 제1분지부(116)와 제2분지부(118) 사이에는 검사 시에 가해지는 압력을 흡수하는 압력흡수부(113)를 포함할 수 있다. 검사시에 피검사체의 피검사접점(1-1,1-2)을 가압함에 따라 가해진 압력은 배럴(120) 내에 포함된 스프링(미도시)을 가압하게 된다. 스프링을 가압이 어느 정도 진행되면 제1 및 제2 분지부(116,118)를 가압하게 된다. 물론 가압 초기에도 어느 정도 제1 및 제2 분지부(116,118)에 영향을 미칠 수 있다. 이와 같이 검사 시에 가해지는 압력에 의해 제1 및 제2 분지부(116,118)는 변형될 수 있다. 이때, 제1 및 제2 분지부(116,118)의 변형을 방지하기 위해 제1 및 제2 분지부(116,118)의 각 하부 폭을 좁게 만곡시킨 압력흡수부(113)를 제공할 수 있다.Between the first branched portion 116 and the second branched portion 118, a pressure absorbing portion 113 for absorbing a pressure applied at the time of inspection may be included. During the inspection, the pressure applied by pushing the inspecting contacts 1-1 and 1-2 of the object under test pushes the spring (not shown) contained in the barrel 120. When the pressing of the spring progresses to some extent, the first and second branch portions 116 and 118 are pressed. Of course, the first and second branch portions 116 and 118 can be influenced to some extent at the beginning of the pressurization. Thus, the first and second branch portions 116 and 118 can be deformed by the pressure applied at the time of inspection. In order to prevent the deformation of the first and second branch portions 116 and 118, the pressure absorbing portion 113 may be provided with the lower widths of the first and second branch portions 116 and 118 narrowly curved.

제1 및 제2분지부(116,118)의 팁(tip) 높이는 피검사접점의 위치가 높고 낮은 경우 서로 다르게 형성할 수 있다.The height of the tips of the first and second branch portions 116 and 118 can be different from each other when the positions of the inspected contacts are high and low.

제1 및 제2 분지부(116,118)의 단부는 피검사체의 피검사접점(1-1,1-2) 형상에 적합하도록 가공하는 것이 바람직하다. 즉, 도 2에 나타낸 바와 같이, 제1 분지부(116)와 제2 분지부(118)는 반원형 단자부(1-1, 1-2)의 볼록곡면 형상에 맞게 오목곡면 형상으로 가공됨으로써 검사 시에 접촉 정확성을 높일 수 있을 뿐만 아니라 접촉저항을 더욱 낮출 수 있다. 또한, 2개의 제1 및 제2 분지접촉부(116,118)를 이용함으로써 검사 정밀도를 더욱 높일 수 있다. It is preferable that the end portions of the first and second branch portions 116 and 118 are processed to conform to the shape of the inspected contacts 1-1 and 1-2 of the inspection object. 2, the first branched portion 116 and the second branched portion 118 are machined into a concave curved shape conforming to the convex curved shape of the semicircular terminal portions 1-1 and 1-2, Not only can the contact accuracy be improved, but also the contact resistance can be further reduced. Further, by using the two first and second branch contacting portions 116 and 118, the inspection accuracy can be further increased.

상부 플런저(110)에서 몸체(112)와 분지접촉부(114,116,118)는 분리되어 제조된 후 서로 결합하는 것이 바람직하나, 단일 판상부재를 이용하여 가공에 의한 단일체로 제조하는 것도 가능하다. 따라서, 피검사체의 피검사접점(1-1,1-2)의 형상과 관계 없이 상부 플런저의 몸체(112), 배럴(120), 하부 플런저(110) 및 스프링(미도시)으로 구성되는 프로브(100)를 제작한 후, 피검사체의 피검사접점(1-1,1-2)에 맞는 형상의 분지접촉부(114,116,118)를 별도로 제작하여 필요 시 조립하여 사용하는 것이 가능하다. 결과적으로 다양한 형태의 피검사접점에 맞는 분지접촉부만을 별도로 제작하고 나머지 부분은 공용으로 사용함으로써 프로브 제조비용을 줄일 수 있다. 특히, 프로브(100)의 수명 중 피검사체에 접촉하는 부분의 수명이 가장 짧기 때문에 손상 시에 분지접촉부(104,116,118)만을 교체하여 사용하는 것이 가능하다. In the upper plunger 110, it is preferable that the body 112 and the branch contact portions 114, 116 and 118 are separately manufactured and then coupled to each other. However, it is also possible to manufacture the body 112 by processing using a single plate member. Therefore, a probe (not shown) composed of the body 112 of the upper plunger, the barrel 120, the lower plunger 110 and the spring (not shown), regardless of the shape of the inspected contacts 1-1 and 1-2 of the object to be inspected The branch contacting portions 114, 116 and 118 of the shape corresponding to the inspecting contacts 1-1 and 1-2 of the object to be inspected may be manufactured separately and assembled if necessary. As a result, it is possible to reduce the manufacturing cost of the probe by separately fabricating the branch contact portions corresponding to the various types of inspected contacts and using the remaining portions for common use. In particular, since the life span of the portion contacting the test subject during the life of the probe 100 is the shortest, it is possible to replace and use only the branch contacting portions 104, 116 and 118 at the time of damage.

만일 판상부재를 이용하여 단일체로 몸체(112)와 분지접촉부(114, 116, 118)를 제조할 경우, 전체적인 형상을 1차 가공한 후에, 몸체(112) 부분만을 배럴(120) 내에 삽입되어 배럴(120) 내벽에 접촉하기 알맞은 형상으로 2차 가공할 수도 있다.In the case of manufacturing the body 112 and the branch contacting portions 114, 116, 118 by using the plate member, only the portion of the body 112 is inserted into the barrel 120 after the entire shape is first processed, It is also possible to perform secondary processing in an appropriate shape to contact the inner wall of the body 120.

도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 검사장치용 프로브(100)를 나타낸 것이다. 도시한 바와 같이, 상부 플런저(110)는 몸체(112)에 결합되는 3개의 분지접촉부(116,117,118)를 포함하여 구성할 수도 있다. 즉, 분지접촉부는 제3분지접촉부(117)를 더 포함할 수 있다. 이와 같이 피검사체의 피검사접점(1-1,1-2)에 3개의 분지접촉부(116,117,118)을 이용하여 검사를 수행하면 접촉 정확성을 높일 수 있어 검사의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 물론 상부 플런저(110)는 4개 이상의 분지접촉부를 적용하는 것도 가능하다.4 shows a probe 100 for an inspection apparatus according to a second embodiment of the present invention. As shown, the upper plunger 110 may include three branch contacts 116, 117, 118 coupled to the body 112. That is, the branch contacting portion may further include a third branch contacting portion 117. When the inspection is performed using the three branch contact portions 116, 117, and 118 on the inspected contacts 1-1 and 1-2 of the inspection object, the contact accuracy can be improved and the reliability of the inspection can be improved. Of course, it is also possible for the upper plunger 110 to apply four or more branch contacts.

또한, 분지접촉부의 구성을 상부 플런저(110)에만 적용하는 것으로 설명하였지만 필요에 따라 하부 플런저(130)에도 적용할 수 있다. 즉 검사회로의 검사접점(미도시) 형상에 따라 적용하는 것도 가능하다. Although it has been described that the configuration of the branch contacting portion is applied only to the upper plunger 110, it may be applied to the lower plunger 130 as required. That is, depending on the shape of an inspection contact (not shown) of the inspection circuit.

상기한 실시예는 예시적인 것에 불과한 것으로, 당해 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 하기의 특허청구범위에 기재된 발명의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.The above-described embodiments are merely illustrative, and various modifications and equivalents may be made by those skilled in the art. Accordingly, the true scope of protection of the present invention should be determined by the technical idea of the invention described in the following claims.

100: 검사장치용 프로브
110: 상부 플런저
112: 몸체
114: 결합부
116:제1분지접촉부
117:제3분지접촉부
118: 제2분지접촉부
120: 배럴
130: 하부 플런저100: Probe probe
110: upper plunger
112: Body
114:
116: first branch contact
117: third branch contact
118: second branch contact
120: Barrel
130: Lower plunger

Claims (6)

피검사체의 피검사접점과 검사회로의 검사접점을 전기적으로 연결하기 위한 검사장치용 프로브에 있어서,
상기 프로브는 검사 시 피검사접점에 접촉하는 제1 플런저, 검사회로의 검사접점에 접촉하는 제2플런저 및 상기 제1, 제2플런저를 검사방향에 따라 신축시키는 탄성체를 포함하며,
상기 제1플런저와 제2플런저 중 적어도 하나는 피검사접점을 향해 연장하는 단일의 몸체 및 상기 몸체로부터 연장하여 적어도 2개 이상으로 분지(分枝)되어 상기 단일의 피검사접점의 적어도 2 이상의 지점에 접촉하는 분지(分枝) 접촉부를 구비하며,
상기 분지 접촉부는 검사 시에 가해지는 압력을 흡수하는 압력흡수부를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치용 프로브.
A probe for an inspection apparatus for electrically connecting an inspection target of an inspection object with an inspection target of an inspection circuit,
The probe includes a first plunger contacting the inspected contact during inspection, a second plunger contacting the inspection contacts of the inspection circuit, and an elastic body extending and contracting the first and second plungers in the inspection direction,
At least one of the first plunger and the second plunger has a single body extending toward an inspected contact and at least two branches extending from the body so as to be branched at least to two or more points And a branch abutment portion that abuts on the abutment portion,
Wherein the branch contacting portion includes a pressure absorbing portion for absorbing a pressure applied at the time of inspection.
제 1항에 있어서,
상기 분지 접촉부는 판상 부재로부터 형성된 클립형태를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치용 프로브.
The method according to claim 1,
Wherein the branch contacting portion comprises a clip form formed from a plate-like member.
제2항에 있어서,
상기 분지 접촉부는 팁부(tip)를 포함하며,
상기 복수의 팁부(tip)는 서로 다른 높이를 갖는 것을 특징으로 하는 검사장치용 프로브.
3. The method of claim 2,
The branch contacting portion includes a tip,
Wherein the plurality of tips have different heights.
제3항에 있어서,
상기 팁부(tip)는 피검사체의 접촉 지점 형상에 적합하도록 가공된 것을 특징으로 하는 검사장치용 프로브.
The method of claim 3,
Wherein the tip is machined to conform to a shape of a contact point of the object to be inspected.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 분지 접촉부는 상기 단일의 몸체에 결합되는 것을 특징으로 하는 검사장치용 프로브.
The method according to claim 1,
Wherein the branch contacting portion is coupled to the single body.
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