KR101690185B1 - 클린룸 내에서 사용되는 가습 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 클린룸 내의 특정 위치에서 국부적으로 소망하는 습도를 자동으로 유지할 수 있게 하고 적절한 량의 급수가 자동으로 이루어질 수 있는, 클린룸 내에서 사용되는 가습 장치에 관한 것이다. 본 발명에 의한, 클린룸 내에서 사용되는 가습 장치는 초순수가 급수되는 급수관이 삽입되는 급수관 삽입부와, 상기 급수관 삽입부를 통해 공급된 초순수를 저장하여 수증기를 발생하는 수조부와, 전자부품이 설치된 전자부품부가 각각 형성된 본체; 상기 본체 상부를 커버하며 상기 본체 후방부에서 발생되는 바람을 위로 배출하는 공기 배출공과, 이 공기 배출공으로부터 배출되는 바람을 상기 수조부에 주입시키는 복수의 공기 주입공과, 상기 수조부로부터 발생되는 수증기를 외부로 배출하는 복수의 수증기 배출관이 삽입되는 복수의 관 삽입공이 각각 형성된 중간 덮개; 및 상기 중간 덮개의 공기 배출공 및 공기 주입공을 모두 상부에서 커버하도록 구성된 상부 덮개를 포함하는, 클린룸 내에서 사용되는 가습 장치로서: 외기의 온도 및 습도를 감지하도록 구성된 온/습도 센서; 유저의 키조작에 의해 습도 및 가습량을 설정하기 위해 원격 신호를 발생하도록 구성된 리모트 컨트롤러; 상기 리모트 컨트롤러로부터 원격 신호를 입력받아 이에 상응하는 설정 신호를 출력하도록 구성된 리모트 센서; 상기 본체의 전자부품부에 장착되어 작동시 외기를 흡입하여 상기 중간 덮개의 공기 배출공을 통해 배기하는 모터; 상기 수조부의 하부에 복수개 장착되어 작동시 물을 작은 알갱이로 쪼개 비산시켜 수증기를 발생시키는 초음파 진동자; 상기 온/습도 센서로부터 감지된 외기의 온도 및 습도를 인식하고 이 인식된 습도를 상기 리모트 센서를 통해 설정된 습도와 비교하여 이에 상응하는 제어신호를 출력하는 제어부; 상기 제어부로부터 출력되는 제어 신호에 의해 스위칭 동작되어 상기 모터에 인가되는 모터 구동 전원의 위상을 제어하도록 구성된 모터 위상 제어부; 상기 제어부로부터 출력되는 제어 신호에 의해 스위칭 동작되어 상기 초음파 진동자에 인가되는 초음파 진동자 구동 전원을 단속하도록 구성된 초음파 진동자 구동부; 및 상기 제어부로부터 출력되는 제어신호를 인가받아 외기의 온도 및 습도 정보를 표시하도록 구성된 표시부를 포함한다.

Description

클린룸 내에서 사용되는 가습 장치{HUMIDIFIER THAT IS USED IN CLEAN ROOM}
본 발명은 반도체 제조 라인에 설치되는 클린룸 내에서 국부적으로 습도를 유지시키기 위한 가습 장치에 관한 것으로, 특히 클린룸 내의 특정 위치에서 국부적으로 소망하는 습도를 자동으로 유지할 수 있게 하고 적절한 량의 급수가 자동으로 이루어질 수 있는, 클린룸 내에서 사용되는 가습 장치에 관한 것이다.
통상적으로, 반도체 제조 라인의 클린룸에서는 습도의 높고 낮음에 따라 정전기가 발생하게 되고 이로 인해 제조되는 반도체 제품에 불량이 발생하기도 한다.
이와 같은 클린룸 내에서 정전기의 발생을 억제하기 위한, 반도체 제조 설비의 클린룸으로 공급되는 공기의 여과 그리고 온도와 습도를 제어하는 공조 장치는, 예컨대 국내 등록 특허 제1254934호 공보에 개시된 바와 같이, 입구 공기를 공기 조화하기 위한 증발기와, 상기 증발기의 냉방 용량을 제어하도록 온/오프 사이클링을 이루는 응축기와, 상기 증발기와 응축기 사이의 냉매 순환을 위한 도관과, 상기 도관을 통해 흐르는 냉매의 흐름 경로를 제어하기 위한 밸브, 및 상기 도관 사이에 위치하며 상기 증발기와 응축기의 동작에 따라 발생되는 열중 여분의 열에너지를 축적하는 축열기와, 압축기를 구비한 공기조화 시스템에 있어서, 상기 응축기는 다수의 냉매 응축수단을 구비하고 유입되는 냉매를 균등 분배받아 각각 응축 동작하되 각각의 냉매 응축수단의 후단에 제어신호에 의해 냉매 배출을 온, 오프하는 다수의 밸브를 구비함으로써 냉매 응축효율을 세밀하게 제어할 수 있도록 구성되며, 상기 축열기 및 압축기의 동작과 증발기의 동작에 의해 배출되는 폐열의 정도에 따라 제어신호에 의해 배출 공기 온도에 영향을 미치도록 냉매의 팽창을 조절하기 위해 냉매를 재가열하도록 다수의 냉매 재가열 수단을 구비하고 유입되는 냉매를 균등 분배받아 각각 재가열 동작하되 각각의 냉매 재가열수단의 전단에 제어신호에 의해 냉매 배출을 온, 오프하는 다수의 밸브를 구비함으로써 냉매 가열효율을 세밀하게 제어할 수 있도록 구성된 재가열히터, 상기 축열기와 압축기의 동작에 따라 배출되는 폐열을 상기 재가열 히터 측으로 공급하는 도관 사이에 위치하며 상기 재가열 히터 측으로 전달되는 냉매의 량을 제어하는 다수의 솔레노이드 밸브, 및 배출 공기 습도에 영향을 미치도록 공기 조화된 입구 공기의 선택된 일부에 미세 물방울을 분포시키는 가습기를 포함한다.
그러나, 상기와 같이 구성된 공조 장치는 클린룸 내의 습도를 조절하기 위해 가습기에 의해 클린룸 내로 주입되는 공기 습도에 영향을 미치도록 미세 물방울을 분포시키는, 클린룸 내 전체의 습도를 조절하는 방식이므로, 클린룸 내에서 다른 처리 공정에 비해 습도 민감도가 높은 처리 공정이 존재할 경우 이 공정에 대한 국부적인 습도 조절이 불가능하다는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 본 발명의 목적은 클린룸 내의 특정 위치에서 국부적으로 소망하는 습도를 자동으로 유지할 수 있게 하는, 클린룸 내에서 사용되는 가습 장치를 제공하는 데에 있다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 적절량의 급수가 자동으로 이루어질 수 있는, 클린룸 내에서 사용되는 가습 장치를 제공하는 데에 있다.
상기의 목적을 달성하기 위해 본 발명의 실시형태에 의한, 클린룸 내에서 사용되는 가습 장치는 초순수가 급수되는 급수관이 삽입되는 급수관 삽입부와, 상기 급수관 삽입부를 통해 공급된 초순수를 저장하여 수증기를 발생하는 수조부와, 전자부품이 설치된 전자부품부가 각각 형성된 본체; 상기 본체 상부를 커버하며 상기 본체 후방부에서 발생되는 바람을 위로 배출하는 공기 배출공과, 이 공기 배출공으로부터 배출되는 바람을 상기 수조부에 주입시키는 복수의 공기 주입공과, 상기 수조부로부터 발생되는 수증기를 외부로 배출하는 복수의 수증기 배출관이 삽입되는 복수의 관 삽입공이 각각 형성된 중간 덮개; 및 상기 중간 덮개의 공기 배출공 및 공기 주입공을 모두 상부에서 커버하도록 구성된 상부 덮개를 포함하는, 클린룸 내에서 사용되는 가습 장치로서: 외기의 온도 및 습도를 감지하도록 구성된 온/습도 센서; 유저의 키조작에 의해 습도 및 가습량을 설정하기 위해 원격 신호를 발생하도록 구성된 리모트 컨트롤러; 상기 리모트 컨트롤러로부터 원격 신호를 입력받아 이에 상응하는 설정 신호를 출력하도록 구성된 리모트 센서; 상기 본체의 전자부품부에 장착되어 작동시 외기를 흡입하여 상기 중간 덮개의 공기 배출공을 통해 배기하는 모터; 상기 수조부의 하부에 복수개 장착되어 작동시 물을 작은 알갱이로 쪼개 비산시켜 수증기를 발생시키는 초음파 진동자; 상기 온/습도 센서로부터 감지된 외기의 온도 및 습도를 인식하고 이 인식된 습도를 상기 리모트 센서를 통해 설정된 습도와 비교하여 이에 상응하는 제어신호를 출력하는 제어부; 상기 제어부로부터 출력되는 제어 신호에 의해 스위칭 동작되어 상기 모터에 인가되는 모터 구동 전원의 위상을 제어하도록 구성된 모터 위상 제어부; 상기 제어부로부터 출력되는 제어 신호에 의해 스위칭 동작되어 상기 초음파 진동자에 인가되는 초음파 진동자 구동 전원을 단속하도록 구성된 초음파 진동자 구동부; 및 상기 제어부로부터 출력되는 제어신호를 인가받아 외기의 온도 및 습도 정보를 표시하도록 구성된 표시부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 실시형태에 의한, 클린룸 내에서 사용되는 가습 장치는 상기 수조부에 장착되어 최저 수위를 감지하는 최저 수위 센서, 상기 수조부에 장착되어 최고 수위를 감지하는 최고 수위 센서, 작동시 상기 수조부에 초순수를 공급하도록 구성된 솔레노이드 밸브, 및 상기 최저 수위 센서 및 최고 수위 센서로부터 감지된 최저 수위 및 최고 수위에 따라 온, 오프 동작되어 상기 솔레노이드 밸브에 인가되는 솔레노이드 밸브 구동전원을 단속하도록 구성된 릴레이를 더 포함할 수 있다.
상기 실시형태에 의한, 클린룸 내에서 사용되는 가습 장치는 상기 본체의 수조부와 상기 전자 부품부를 분할하는 칸막이를 관통하여 장착되어서 상기 전자 부품부에서 발생된 열을 상기 수조부로 전도시키는 복수의 방열판을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시형태에 의한, 클린룸 내에서 사용되는 가습 장치에 의하면, 클린룸 내의 국소적인 외기의 온도 및 습도를 감지하여 리모트 컨트롤러에 의해 설정된 습도와 비교하여 그 비교 결과에 따라 초음파 진동자의 동작을 제어함으로써, 클린룸 내의 특정 위치에서 국부적으로 소망하는 습도를 자동으로 유지할 수 있게 한다는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 실시형태에 의한, 클린룸 내에서 사용되는 가습 장치에 의하면, 수조부 내의 수위를 감지하여 이 수조부 내에 공급되는 초순수의 양을 자동으로 조절할 수 있도록 함으로써, 수조부 내에 적절량의 급수가 자동으로 이루어질 수 있다는 다른 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 의한, 클린룸 내에서 사용되는 가습 장치의 전체 외관도이다.
도 2는 도 1의 후면도이다.
도 3은 도 1의 좌측면도이다.
도 4는 도 1에서 수증기 배출관이 제거된 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 의한, 클린룸 내에서 사용되는 가습 장치에서 상부 및 중간부 덮개가 제거된 평면도이다.
도 6은 도 5에 도시된 수조부에 대한 상세도이다.
도 7은 도 1에 도시된 중간 덮개의 사시도이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 의한, 클린룸 내에서 사용되는 가습 장치의 상세 회로도이다.
이하, 본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 의한, 클린룸 내에서 사용되는 가습 장치의 전체 외관도이며, 도 2는 도 1의 후면도이며, 도 3은 도 1의 좌측면도이며, 도 4는 도 1에서 수증기 배출관이 제거된 도면이며, 도 5는 본 발명의 실시예에 의한, 클린룸 내에서 사용되는 가습 장치에서 상부 및 중간부 덮개가 제거된 평면도이며, 도 6은 도 5에 도시된 수조부에 대한 상세도이며, 도 7은 도 1에 도시된 중간 덮개의 사시도이며, 도 8은 본 발명의 실시예에 의한, 클린룸 내에서 사용되는 가습 장치의 상세 회로도이다.
본 발명의 실시예에 의한, 클린룸 내에서 사용되는 가습 장치는, 도 1 내지 8에 도시된 바와 같이, 본체(1), 중간 덮개(10), 상부 덮개(20), 온/습도 센서(100), 리모트 컨트롤러(RC), 리모트 센서(110), 모터 위상 제어부(300), 초음파 진동자 구동부(310), 모터(400), 초음파 진동자(410), 제어부(200), 및 표시부(320)를 포함한다.
본체(1)에는, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 초순수가 급수되는 급수관(도시안됨)이 삽입되는 급수관 삽입부(9)가 좌측에 형성되어 있으며, 급수관 삽입부(9) 및 연결관(9a)을 통해 공급된 초순수를 저장하여 수증기를 발생하는 수조부(5)가 전방에 형성되어 있으며, 전자부품이 설치된 전자부품부(3)가 수조부(5)의 후방에 형성되어 있다.
중간 덮개(10)는 본체(1) 상부를 커버한다. 중간 덮개(10)에는, 도 5 및 7에 도시된 바와 같이, 본체(1)의 후방부에서 모터(400)에 의해 발생되는 바람을 위로 배출하는 공기 배출공(10c)과, 이 공기 배출공(10c)으로부터 배출되는 바람을 수조부(5)에 주입시키는 복수의 공기 주입공(10b)과, 수조부(5)로부터 발생되는 수증기를 외부로 배출하는 복수의 수증기 배출관(30)이 삽입되는 복수의 관 삽입공(10a)이 각각 형성되어 있다.
상부 덮개(20)는 중간 덮개(10)의 공기 배출공(10c) 및 공기 주입공(10b)을 모두 상부에서 커버하도록 구성되어 있어 공기 배출공(10c)으로부터 공기 주입공(10b)으로의 모터(400)에서 발생된 바람의 경로를 형성한다.
온/습도 센서(100)는 본체(1)의 일측에 장착되며 외기의 온도 및 습도를 감지하는 역할을 한다.
리모트 컨트롤러(RC)는 유저의 키조작에 의해 습도 및 가습량을 설정하기 위해 원격의 신호를 발생하는 역할을 한다.
리모트 센서(110)는 본체(1)의 일측에 장착되며 리모트 컨트롤러(RC)로부터 원격 신호를 입력받아 이에 상응하는 설정 신호를 제어부(200)에 출력하도록 구성되어 있다.
모터(400)는 본체(1)의 전자부품부(3) 후방부에 장착되며 작동시 공기 흡입공(3)(도 2 참조)을 통해 외기를 흡입하여 기류를 형성하여서 중간 덮개(10)의 공기 배출공(10c)을 통해 배기하는 역할을 한다.
초음파 진동자(410)는 수조부(5)의 하부에 복수개 장착되며 작동시 물을 작은 알갱이로 쪼개 비산시켜 수증기를 발생시키는 역할을 한다.
제어부(200)는 본체(1)의 전자부품부(3)에 장착되며 본 발명의 장치 전체를 제어하는 마이크로프로세서로서, 온/습도 센서(100)를 통해 감지된 외기의 온도 및 습도를 인식하고 이 인식된 습도를 리모트 센서(110)를 통해 설정된 습도와 비교하여 이에 상응하는 제어신호를 출력하는 역할을 한다.
모터 위상 제어부(300)는 본체(1)의 전자부품부(3)에 장착되며 제어부(200)로부터 출력되는 제어 신호에 의해 스위칭 동작되어 모터(400)에 인가되는 모터 구동 전원의 위상을 제어하는 역할을 한다.
초음파 진동자 구동부(310)는 본체(1)의 전자부품부(3)에 장착되며 제어부(200)로부터 출력되는 제어 신호에 의해 스위칭 동작되어 초음파 진동자(410)에 인가되는 초음파 진동자 구동 전원을 단속하는 역할을 한다.
표시부(320)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 본체(1)의 좌측에 장착되며 제어부(200)로부터 출력되는 제어신호를 인가받아 외기의 온도 및 습도 정보를 표시하도록 구성된 디스플레이 장치이다.
최저 수위 센서(120a)는 수조부(5)에 장착되어 최저 수위를 감지하는 역할을 한다.
최고 수위 센서(120b)는 수조부(5)에 장착되어 최고 수위를 감지하는 역할을 한다.
솔레노이드 밸브(330)는 작동시 수조부(5)에 초순수를 공급하는 전자밸브이다.
릴레이(210)는 최저 수위 센서(120a) 및 최고 수위 센서(120b)로부터 감지된 최저 수위 및 최고 수위에 따라 온, 오프 동작되어 솔레노이드 밸브(330)에 인가되는 솔레노이드 밸브 구동전원을 단속하는 역할을 한다. 좀더 상세하게는, 릴레이(210)는 최저 수위 센서(120a)를 통해 최저 수위가 감지되면 온동작되어 수조부(5)에 급수가 이루어지게 하는 한편, 최고 수위 센서(120b)를 통해 최고 수위가 감지되면 오프동작되어 수조부(5)에 급수가 중단되게 한다. 따라서, 수조부(5)에는 항상 일정한 수위가 유지되게 된다.
방열판(HP)은, 도 6에 도시된 바와 같이, 본체(1)의 수조부(5)와 전자 부품부(3)를 분할하는 칸막이(7)를 관통하여 복수개 장착되어서 전자 부품부(3)에서 발생된 열을 수조부(5)로 전도시키는 역할을 한다. 따라서 전자부품부(3)의 과열을 효과적으로 차단할 수 있게 한다.
이하, 상기한 바와 같이 구성된 본 발명의 실시예에 의한, 클린룸 내에서 사용되는 가습 장치의 작용을 설명하기로 한다.
먼저, 수조부(5)에 일정량의 급수가 유지되는 동작에 대해서 설명하기로 한다.
전원 스위치(S)가 온동작되면, 최저 수위 센서(120a)는 최저 수위를 감지하게 되고, 릴레이(210)가 온동작되어 솔레노이드 밸브(330)에 구동 전원이 인가되게 된다.
이에 따라서, 수조부(5)에 초순수가 급수되게 되어 일정시간이 경과되면, 최고 수위 센서(120b)는 최고 수위를 감지하게 되고, 릴레이(210)는 오프동작되어 솔레노이드 밸브(330)에 구동전원의 공급이 차단되게 되어서 수조부(5)로의 급수는 중단되게 된다.
이어서, 가습 동작에 대해 설명하기로 한다.
먼저, 본 발명의 가습장치를 클린룸 내의 소정 위치에 장치하고, 유저가 리모트 컨트롤러(RC)를 조작하여 제어부(200)에 소망하는 습도와 가습량을 설정한다.
이어서, 제어부(200)는 온/습도 센서(100)로부터 감지된 외기의 온도와 습도를 인식하고, 이 인식된 습도가 상기 설정된 습도 이상인지의 여부를 판단한다.
상기 판단 결과, 인식된 습도가 상기 설정된 습도보다 작으면 제어부(200)가 초음파 진동자(410)를 구동시켜 수조부(5)에서 수증기를 발생시키고, 모터(400)를 설정된 속도로 회전시키면 수조부(5)에 소정 세기의 바람이 공급되게 되며, 이에 따라 발생된 수증기는 바람의 힘에 의해 유도되어 수증기 배출관(30)을 통해 배출되게 됨으로써 클린룸 내의 소정 위치를 국부적으로 가습하게 되어 정전기의 발생을 미연에 방지한다.
한편, 상기 판단 결과, 인식된 습도가 상기 설정된 습도 이상이 되면 제어부(200)는 초음파 진동자(410)의 구동을 정지시켜서 수증기의 발생이 이루어지지 않게 된다.
더욱이, 표시부(320)에는 습도 및 온도에 대한 정보 또는 가습기의 진행과정이 디스플레이된다.
한편, 위의 작동은 리모트 컨트롤러(RC)에 의해 설정된 습도 및 가습량에 따라 자동으로 습도 및 가습량이 조절되는 과정에 대해서 설명하였으나, 수동으로 리모트 컨트롤러(RC)에 의해 습도 및 가습량을 조절할 수도 있다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 실시예에 의한, 클린룸 내에서 사용되는 가습 장치에 의하면, 클린룸 내의 국소적인 외기의 온도 및 습도를 감지하여 리모트 컨트롤러에 의해 설정된 습도와 비교하여 그 비교 결과에 따라 초음파 진동자의 동작을 제어함으로써, 클린룸 내의 특정 위치에서 국부적으로 소망하는 습도를 자동으로 유지할 수 있게 한다.
또한, 본 발명의 실시예에 의한, 클린룸 내에서 사용되는 가습 장치에 의하면, 수조부 내의 수위를 감지하여 이 수조부 내에 공급되는 초순수의 양을 자동으로 조절할 수 있도록 함으로써, 수조부 내에 적절량의 급수가 자동으로 이루어질 수 있다.
도면과 명세서에는 최적의 실시예가 개시되었으며, 특정한 용어들이 사용되었으나 이는 단지 본 발명의 실시형태를 설명하기 위한 목적으로 사용된 것이지 의미를 한정하거나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
1: 본체 3: 전자 부품부
5: 수조부 7: 칸막이
9: 급수관 삽입부 9a: 연결관
10: 중간 덮개 10a: 관 삽입공
10b: 공기 주입공 10c: 공기 배출공
20: 상부 덮개 30: 수증기 배출관
100: 온/습도 센서 110: 리모트 센서
120a: 최저 수위 센서 120b: 최고 수위 센서
200: 제어부 210: 릴레이
300: 모터 위상 제어부 310: 초음파 진동자 구동부
320: 표시부 330: 솔레노이드 밸브
400: 모터 410: 초음파 진동자
RC: 리모트 컨트롤러 HP: 방열판
S: 전원 스위치

Claims (3)

  1. 초순수가 급수되는 급수관이 삽입되는 급수관 삽입부와, 상기 급수관 삽입부를 통해 공급된 초순수를 저장하여 수증기를 발생하는 수조부와, 전자부품이 설치된 전자부품부가 각각 형성된 본체;
    상기 본체 상부를 커버하며 상기 본체 후방부에서 발생되는 바람을 위로 배출하는 공기 배출공과, 이 공기 배출공으로부터 배출되는 바람을 상기 수조부에 주입시키는 복수의 공기 주입공과, 상기 수조부로부터 발생되는 수증기를 외부로 배출하는 복수의 수증기 배출관이 삽입되는 복수의 관 삽입공이 각각 형성된 중간 덮개; 및
    상기 중간 덮개의 공기 배출공 및 공기 주입공을 모두 상부에서 커버하도록 구성된 상부 덮개를 포함하는, 클린룸 내에서 사용되는 가습 장치로서:
    외기의 온도 및 습도를 감지하도록 구성된 온/습도 센서;
    유저의 키조작에 의해 습도 및 가습량을 설정하기 위해 원격 신호를 발생하도록 구성된 리모트 컨트롤러;
    상기 리모트 컨트롤러로부터 원격 신호를 입력받아 이에 상응하는 설정 신호를 출력하도록 구성된 리모트 센서;
    상기 본체의 전자부품부에 장착되어 작동시 외기를 흡입하여 상기 중간 덮개의 공기 배출공을 통해 배기하는 모터;
    상기 수조부의 하부에 복수개 장착되어 작동시 물을 작은 알갱이로 쪼개 비산시켜 수증기를 발생시키는 초음파 진동자;
    상기 온/습도 센서로부터 감지된 외기의 온도 및 습도를 인식하고 이 인식된 습도를 상기 리모트 센서를 통해 설정된 습도와 비교하여 이에 상응하는 제어신호를 출력하는 제어부;
    상기 제어부로부터 출력되는 제어 신호에 의해 스위칭 동작되어 상기 모터에 인가되는 모터 구동 전원의 위상을 제어하도록 구성된 모터 위상 제어부;
    상기 제어부로부터 출력되는 제어 신호에 의해 스위칭 동작되어 상기 초음파 진동자에 인가되는 초음파 진동자 구동 전원을 단속하도록 구성된 초음파 진동자 구동부; 및
    상기 제어부로부터 출력되는 제어신호를 인가받아 외기의 온도 및 습도 정보를 표시하도록 구성된 표시부를 포함하며:
    상기 본체의 수조부와 상기 전자 부품부를 분할하는 칸막이를 관통하여 장착되어서 상기 전자 부품부에서 발생된 열을 상기 수조부로 전도시키는 복수의 방열판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 클린룸 내에서 사용되는 가습 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 수조부에 장착되어 최저 수위를 감지하는 최저 수위 센서;
    상기 수조부에 장착되어 최고 수위를 감지하는 최고 수위 센서;
    작동시 상기 수조부에 초순수를 공급하도록 구성된 솔레노이드 밸브; 및
    상기 최저 수위 센서 및 최고 수위 센서로부터 감지된 최저 수위 및 최고 수위에 따라 온, 오프 동작되어 상기 솔레노이드 밸브에 인가되는 솔레노이드 밸브 구동전원을 단속하도록 구성된 릴레이를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 클린룸 내에서 사용되는 가습 장치.
  3. 삭제
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